KR19990039567A - Ferroelectric recording medium and recording method thereof - Google Patents

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KR19990039567A
KR19990039567A KR1019970059716A KR19970059716A KR19990039567A KR 19990039567 A KR19990039567 A KR 19990039567A KR 1019970059716 A KR1019970059716 A KR 1019970059716A KR 19970059716 A KR19970059716 A KR 19970059716A KR 19990039567 A KR19990039567 A KR 19990039567A
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김병만
유인경
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윤종용
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 정보를 장기간 저장할 수 있는 강유전체 기록 매체 및 그 기록 재생 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 강유전체 기록 매체는 하부 전극/삽입층/강유전체층/상부 전극/유전체층이 순차로 적층된 구조를 가지고 그 위에 팁을 배치하여 기록하거나 재생한다. 일단 팁에 전압을 인가하여 분극된 도메인을 안정되게 유지시키면서 읽을 때에는 유전체막을 충전시키고 정보를 보관할 때에는 유전체를 방전(discharging)시키는 원리이므로 정보 저장 시간을 반영구적으로 유지한다.The present invention relates to a ferroelectric recording medium capable of storing information for a long time and a method of recording and reproducing the same. The ferroelectric recording medium according to the present invention has a structure in which lower electrodes / insertion layers / ferroelectric layers / upper electrodes / dielectric layers are sequentially stacked and a tip is disposed thereon to record or reproduce. Once the voltage is applied to the tip to keep the polarized domain stable, the dielectric film is charged when reading and the dielectric is discharged when storing the information, thus maintaining information storage time semi-permanently.

Description

강유전체 기록 매체 및 그 기록 재생 방법Ferroelectric recording medium and recording method thereof

본 발명은 정보를 장기간 저장할 수 있는 강유전체 기록 매체 및 그 기록 재생 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a ferroelectric recording medium capable of storing information for a long time and a method of recording and reproducing the same.

도 1은 종래의 강유전체 기록 매체의 개략적 구조를 보여주는 수직 단면도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 강유전체 기록 매체는 하부 전극(10) 상에 강유전체층(20)을 적층한 구조로 되어 있다. 따라서, 종래의 기록 재생 방법은 도 2a 내지 도 2c에 도시된 바와 같이, STM(scanning tunneling microscope), SPM(scanning probe microscope), 혹은 AFM(atomic force microscope) 팁(30)과 하부전극 사이에 전압을 인가하여 스캐닝(scanning) 하면서 강유전체층(20)에 분극 유도하고, 도메인(domain)을 형성시켜 기록한 후, 읽을 때에는 기록할 때와는 반대되는 전압을 가하여 스캐닝할 때 기록되지 않은 부위에서는 팁(30)이 움직이지 않고 기록된 부위에서는 쿠우롬력(coulomb force, 정전기력)에 의해 팁이 튀어오르는 것을 감지한다. 인가 전압에 따라 팁을 끌어당기는 방법을 사용할 수 도 있다. 즉, 도 2a에 도시된 바와 같이, 팁(30)과 아래전극 사이에 전압(-Vw)을 인가하여 강유전체층(20)에 분극을 생성시키면 정보가 기록된다. 도 2b는 정보가 기록된 상태를 보여준다. 다음에, 도 2c에 도시된 바와 같이, 정보가 기록된(강유전체층에 분극이 형성된) 기록 매체에 있어서, 팁(30)과 아래전극 사이에 읽기 전압(+Vr)을 인가하면 강유전체의 분극에 의한 쌍극자와 팁 간의 정전기력(반발력)에 의해 팁이 상승하게 된다. 이 정전기력을 감지함으로써 정보를 읽을 수 있는 것이다.1 is a vertical sectional view showing a schematic structure of a conventional ferroelectric recording medium. As shown, the conventional ferroelectric recording medium has a structure in which the ferroelectric layer 20 is laminated on the lower electrode 10. Therefore, the conventional recording and reproducing method is a voltage between the scanning tunneling microscope (STM), the scanning probe microscope (SPM), or the atomic force microscope (AFM) tip 30 and the lower electrode, as shown in Figs. 2A to 2C. After scanning by applying polarization to the ferroelectric layer 20, and forming and recording a domain (domain), the reading at the non-recorded site when applying a voltage that is opposite to the recording when the tip ( 30) The tip is detected by the coulomb force (electrostatic force) in the recorded area without moving. Depending on the applied voltage, a method of pulling the tip may be used. That is, as illustrated in FIG. 2A, when polarization is generated in the ferroelectric layer 20 by applying a voltage (-Vw) between the tip 30 and the lower electrode, information is recorded. 2B shows a state in which information is recorded. Next, as shown in Fig. 2C, in a recording medium in which information is recorded (polarization is formed in the ferroelectric layer), when a read voltage (+ Vr) is applied between the tip 30 and the lower electrode, the polarization of the ferroelectric is applied to the polarization of the ferroelectric. The tip is raised by the electrostatic force (repulsive force) between the dipole and the tip. By sensing this electrostatic force, information can be read.

이와 같이, 강유전체를 이용한 정보 저장은 강유전체의 분극을 이용한다. 강유전체는 분극 속도가 나노초(nsec) 단위이기 때문에 1기가(Giga)급 이상의 기록매체로서 적당한 물질이다. 그러나 일반적으로 강유전체를 정보기록매체로 사용하는데 있어서 정보를 유지시키는 것이 용이하지 않다. 즉, 기록된 정보가 오래 지속되지 못한다는 문제가 있다. 이는 강유전체가 분극되면 도메인(domain)이 형성되고, 도메인은 전기 쌍극자로서, 이 쌍극자의 극성과 균형을 유지할 만한 속박 전하(bound charge)를 필요로 하는데, 종래의 강유전체 기록 매체는 상부 전극이 없어 속박 전하를 충분히 확보하지 못하여 도메인(domain)이 스스로 소멸되는 이른바 탈분극(depolarization)에 의해 정보를 오래동안 유지시킬 수 없기 때문이다.In this way, information storage using the ferroelectric uses polarization of the ferroelectric. Ferroelectrics are suitable materials for recording media of more than 1 gigabyte because the polarization rate is in nanoseconds. In general, however, it is not easy to maintain information in using a ferroelectric as an information recording medium. That is, there is a problem that the recorded information does not last long. This is because when the ferroelectric is polarized, a domain is formed, and the domain is an electric dipole, and needs a bound charge that can be balanced with the polarity of the dipole. Conventional ferroelectric recording media has no upper electrode and is bound This is because the information cannot be retained for a long time by so-called depolarization, in which domains disappear by themselves due to insufficient charge.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하고자 창안된 것으로, 탈분극 현상이 일어나지 않아 정보를 오래동안 유지시킬 수 있는 강유전체 기록 매체 및 그 기록 재생 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a ferroelectric recording medium and a recording / reproducing method thereof capable of maintaining information for a long time without depolarization phenomenon.

도 1은 종래의 강유전체 기록 매체의 개략적 구조를 보여주는 수직 단면도,1 is a vertical sectional view showing a schematic structure of a conventional ferroelectric recording medium;

도 2a 내지 도 2c는 도 1의 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법을 설명하기 위한 설명도,2A to 2C are explanatory diagrams for explaining the recording / reproducing method of the ferroelectric recording medium of FIG. 1;

도 3a 내지 도 3c는 각각 본 발명에 따른 강유전체 기록 매체의 구조를 보여주는 수직 단면도,3A to 3C are vertical cross-sectional views each showing a structure of a ferroelectric recording medium according to the present invention;

도 4a 내지 도 4c는 도 3a 혹은 도 3b의 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법을 설명하기 위한 설명도,4A to 4C are explanatory diagrams for explaining the recording / reproducing method of the ferroelectric recording medium of FIG. 3A or 3B;

그리고 도 5a 및 도 5b는 도 3c의 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법을 설명하기 위한 설명도이다.5A and 5B are explanatory diagrams for explaining the recording / reproducing method of the ferroelectric recording medium of FIG. 3C.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

1. 팁 2. 유전체막 혹은 절연체막1. Tip 2. Dielectric film or insulator film

3. 상부 전극 4. 강유전체3. Upper electrode 4. Ferroelectric

5. 하부 전극 6. 삽입층5. Lower electrode 6. Insertion layer

10. 전극 20. 강유전체층10. Electrode 20. Ferroelectric layer

30. 팁30. Tips

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 강유전체 기록 매체는, 하부 전극; 상기 하부 전극 상에 적층된 강유전체층; 상기 강유전체 상에 적층된 상부 전극; 및 상기 상부 전극 상에 적층된 유전체층;를 구비한 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the ferroelectric recording medium according to the present invention includes a lower electrode; A ferroelectric layer stacked on the lower electrode; An upper electrode stacked on the ferroelectric; And a dielectric layer stacked on the upper electrode.

본 발명에 있어서, 상기 하부 전극과 상기 강유전체층의 사이에 제조 공정상 피로를 줄이기 위한 삽입층을 더 구비하고, 상기 상부 전극과 상기 강유전체층의 사이에 제조 공정상 피로를 줄이기 위한 삽입층을 더 구비하며, 상기 상부 전극은 반도체 물질로 형성된 것이 바람직하며, 상기 유전체층 대신에 절연층이 구비된 것도 바람직하다.In the present invention, an insertion layer is further provided between the lower electrode and the ferroelectric layer to reduce fatigue in the manufacturing process, and an insertion layer for reducing fatigue in the manufacturing process is further provided between the upper electrode and the ferroelectric layer. The upper electrode may be formed of a semiconductor material, and an insulating layer may be provided instead of the dielectric layer.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법은, 하부 전극/강유전체/상부 전극/유전체층의 순으로 적층된 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법에 있어서, (가) 상기 팁과 하부 전극 간의 전위차를 이용하여 상기 유전체층에 속박 전하를 형성하여 "1"을 기록하는 단계; (나) 상기 상부 전극을 접지하여 상기 유전체층의 속박 전하가 상기 상부 전극으로 방전되도록 유도하여 기록을 저장하는 단계; 및 (다) 상기 팁에 상기 전위차 보다 작은 동일 극성의 전위차를 인가하여 상기 상부 전극의 속박 전하를 상기 유전체층으로 유도하여 상기 유전체층을 재충전시킴으로서 "1"을 읽는 단계; 및 (라) 상기 상부 전극을 다시 접지하여 재충전된 상기 유전체층의 속박 전하를 상기 상부 전극으로 방전되도록 유도하여 기록을 그대로 저장하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the recording and reproducing method of the ferroelectric recording medium according to the present invention in order to achieve the above object, in the recording and reproducing method of the ferroelectric recording medium laminated in the order of the lower electrode / ferroelectric / upper electrode / dielectric layer (A) Using the potential difference between the tip and the lower electrode to form a bond charge in the dielectric layer to record " 1 "; (B) grounding the upper electrode to induce a bond charge of the dielectric layer to be discharged to the upper electrode to store a record; And (c) reading " 1 " by applying a potential difference of the same polarity less than the potential difference to the tip to induce a bond charge of the upper electrode to the dielectric layer to recharge the dielectric layer; And (d) inducing the confinement charge of the recharged dielectric layer to be discharged to the upper electrode by grounding the upper electrode again and storing the record as it is.

본 발명에 있어서, 상기 (가) 단계는 "0"을 기록 하는 단계인 것도 무방하다.In the present invention, the step (a) may be a step of recording "0".

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법은, 하부 전극/강유전체/상부 전극의 순으로 적층된 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법에 있어서, (가) 상기 팁과 하부 전극 간에 전위차를 인가하여 "1"을 기록하는 단계; 및 (나) 상기 팁에 상기 전위차 보다 작은 반대 극성의 전위차를 인가하여 "1"을 읽는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the recording and reproducing method of the ferroelectric recording medium according to the present invention in order to achieve the above object, in the recording and reproducing method of the ferroelectric recording medium stacked in the order of the lower electrode / ferroelectric / upper electrode, (A) the tip Applying a potential difference between the lower electrode and the lower electrode to record "1"; And (b) reading a "1" by applying a potential difference of opposite polarity smaller than the potential difference to the tip.

본 발명에 있어서, 상기 (가) 단계는 "0"을 기록 하는 단계인 것도 무방하다.In the present invention, the step (a) may be a step of recording "0".

이하 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 강유전체 기록 매체 및 그 기록 재생 방법을 상세하게 설명한다.A ferroelectric recording medium and a recording / reproducing method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 3a 내지 도 3c는 각각 본 발명에 따른 강유전체 기록 매체의 구조를 보여주는 수직 단면도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 강유전체 기록 매체는 하부 전극(5) 상에 강유전체층(4), 상부 전극(3) 및 유전체(2)를 순차로 적층한 기본 구조를 갖는다. 여기에, 제조 공정시 피로를 막기 위하여 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 하부 전극(5)과 강유전체층(4) 사이에 삽입층(6)을 더 형성한다. 더욱이, 도 3a에 도시된 바와 같이, 강유전체층(4)과 상부 전극(3) 사이에도 삽입층(6')을 형성하기도 한다. 또한, 도 3c에 도시된 바와 같이, 상부 전극(3) 위에 유전체층(2)을 적층하지 않고 그대로 기록 매체로 사용하기도 한다. 그 작동 원리에 대해서는 나중에 도 5a 및 도 5b를 참조하여 설명하기로 한다.3A to 3C are vertical cross-sectional views each showing the structure of a ferroelectric recording medium according to the present invention. As shown, the ferroelectric recording medium according to the present invention has a basic structure in which the ferroelectric layer 4, the upper electrode 3, and the dielectric material 2 are sequentially stacked on the lower electrode 5. In order to prevent fatigue in the manufacturing process, as shown in FIGS. 3A and 3B, an insertion layer 6 is further formed between the lower electrode 5 and the ferroelectric layer 4. Furthermore, as shown in FIG. 3A, an insertion layer 6 ′ may also be formed between the ferroelectric layer 4 and the upper electrode 3. In addition, as shown in FIG. 3C, the dielectric layer 2 may be used as a recording medium without being laminated on the upper electrode 3. The principle of operation will be described later with reference to FIGS. 5A and 5B.

이와 같은 구조의 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법은 상부 전극(3)을 사용하고 그 위에 절연체 막(2)이나 유전체막(강유전체를 포함; 2)을 형성하여 기록할 때는 종래 방식 대로 하며, 정보를 저장하기 위하여 유전체막(2)에 일시적으로 유도된 전하를 상부 전극(3)에 속박되도록 상부 전극(3)을 속박하는 등, 전기 회로적으로 처리하여 도메인이 안정되게 하는 방법이다. 기록된 정보를 읽을 때에는 종래의 방식대로 읽되, 기록되지 않은 부분이 분극되지 않는 전압 범위 내에서 이미 기록된 부분의 속박 전하를 유전체막(2) 쪽으로 유도시켜 이를 검출할 수 있는 전압 범위를 선택한다. 이를 상세하게 설명하면 다음과 같다.The method of recording and reproducing a ferroelectric recording medium having such a structure uses the upper electrode 3, and when the insulator film 2 or the dielectric film (including the ferroelectric) is formed and recorded thereon, the conventional method is used. In order to store, the electric charges temporarily induced in the dielectric film 2 are bound to the upper electrode 3 so as to be bound to the upper electrode 3. When reading the recorded information, it is read in a conventional manner, but within the voltage range in which the unrecorded part is not polarized, the bound charge of the already recorded part is directed toward the dielectric film 2 to select a voltage range capable of detecting it. . This will be described in detail as follows.

먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이, 종래와 같은 방법으로 하부 전극(5)과 팁(1) 사이에 전압(-Vw)을 인가하여 스캐닝해 가면서 도메인을 형성한다. 그리고 기록된 정보를 유지시키기 위하여, 도 4b에 도시된 바와 같이, 상부 전극(3)을 접지하면 유전체막(2) 위에 형성되어 있던 속박 전하들이 사라지고 대신 상부 전극(3)에 속박 전하가 형성된다. 금속 혹은 도전성 세라믹으로 만들어지는 상부 전극(3)에 속박 전하가 형성되면, 이는 안정된 전기적 균형을 이루기 때문에 도메인(domain)이 반영구적으로 유지된다. 그 다음 기록된 정보를 읽을 때에는 기록 당시의 인가 전압과 같은 극성의 전압을 이용하되 기록 때 사용했던 전압 보다는 작은 전압(Vr<Vw)을 사용하여 스캐닝하면 기록되지 않은 부위는 아무런 신호가 없고 기록된 부위에서는 유전체막(2)이 다시 충전(charging)되면서 상부 전극(3)의 속박 전하들이 소멸된다. 이 때 유전체막(2)이 충전되면서 팁을 통하여 전하가 공급되므로 전기적 신호가 검출된다. 일단 읽고나면, 형성된 도메인에 의해 기록 초기와 같이 속박 전하들이 유전체막(2) 위에 다시 형성되므로 다음의 재생을 위하여 상부 전극(3)을 다시 접지하여 정보를 유지시킨다.First, as shown in FIG. 4A, a domain is formed while scanning by applying a voltage (-Vw) between the lower electrode 5 and the tip 1 in a conventional manner. In order to retain the recorded information, as shown in FIG. 4B, when the upper electrode 3 is grounded, the bond charges formed on the dielectric film 2 disappear, and instead, the bond charges are formed on the upper electrode 3. . When a bond charge is formed on the upper electrode 3 made of a metal or conductive ceramic, the domain remains semi-permanently because it forms a stable electrical balance. Then, when reading the recorded information, use the same polarity voltage as the applied voltage at the time of recording, but scan with a voltage (Vr <Vw) smaller than the voltage used at the time of recording. At the site, the charges of the upper electrode 3 disappear as the dielectric film 2 is charged again. At this time, since the electric charge is supplied through the tip while the dielectric film 2 is charged, an electrical signal is detected. Once read, the confinement charges are formed again on the dielectric film 2 as in the beginning of writing by the formed domain, so that the upper electrode 3 is grounded again for retaining information for the next reproduction.

도메인을 균질하고도 방향성이 일정하게 유지되게 하려면 강유전체가 단결정 혹은 에피택시(epitaxy)로 제작되는 것이 바람직하며, 피로(fatigue)가 발생하지 않도록 하는 것이 바람직하다. 이 모든 것을 충족시킬 수 있는 방법은 단일 전극 외에도 전도성 세라믹과 함께 다중층(multilayer)으로 형성하여 에피택시 혹은 단결정 형태로 강유전체를 성장시키고 도전성 세라믹의 영향을 받아 피로(fatigue)가 없도록 하는 것이 바람직하다. 따라서 삽입층(6)이 전극과 강유전체 사이에 제작되는데 삽입층 물질은 도전성 세라믹을 사용하거나 금속을 사용하기도 한다. 따라서 전극도 도전성 세라믹 혹은 반도체를 사용하거나 금속을 사용한다. 또한, 다중층(multilayer)는 3개층 이상일 수 있다. 도전성 세라믹으로서는 RuOx, IrOx,등의 금속 산화물이다.In order to keep the domain homogeneous and directional, it is preferable that the ferroelectric is made of single crystal or epitaxy, and it is preferable that fatigue does not occur. In order to satisfy all of these, it is desirable to form a multilayer together with a conductive ceramic in addition to a single electrode to grow ferroelectric in epitaxy or single crystal form and to avoid fatigue under the influence of the conductive ceramic. . Thus, the interlayer 6 is fabricated between the electrode and the ferroelectric, and the interlayer material may use a conductive ceramic or a metal. Therefore, the electrode also uses a conductive ceramic, a semiconductor, or a metal. In addition, the multilayer may be three or more layers. Examples of the conductive ceramics include metal oxides such as RuO x , IrO x , and the like.

한편, 도 5a 및 도 5b는 도 3c의 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법을 설명하기 위한 설명도이다. 도시된 바와 같이, 이 기록 매체의 구조는 상부 전극(3) 상에 유전체층이 없는 구조이다. 그러나, 상부 전극(3)과 팁(1) 사이에는 공기가 존재하기 때문에 이 공기를 유전체로 이용한 점에 특징이 있다. 즉, 도 5a에 도시된 바와 같이, 팁(1)을 상부 전극(3)으로부터 일정한 간격을 두고 팁(1)과 하부 전극(5) 사이에 전압(-Vw)을 인가하면 강유전체층(4)에 분극이 일어난다(도메인이 형성된다). 이와 같이 하면 공기로부터 상부 전극(3)에 속박 전하가 형성된다. 이 것이 "쓰기" 과정이다. 다음에, 도 5b에 도시된 바와 같이, "쓰기"시와 반대 극성의 전압(+Vr)을 인가하여 도메인에 의한 정전기력을 감지하여 읽는다.5A and 5B are explanatory diagrams for explaining the recording / reproducing method of the ferroelectric recording medium of FIG. 3C. As shown, this recording medium has a structure without a dielectric layer on the upper electrode 3. However, since air exists between the upper electrode 3 and the tip 1, this air is used as a dielectric. That is, as shown in FIG. 5A, when the tip 1 is applied with a voltage (-Vw) between the tip 1 and the lower electrode 5 at regular intervals from the upper electrode 3, the ferroelectric layer 4 is applied. Polarization occurs (domains are formed). In this way, a bond charge is formed in the upper electrode 3 from air. This is the "write" process. Next, as illustrated in FIG. 5B, a voltage (+ Vr) having a polarity opposite to that at the time of “write” is applied to sense and read an electrostatic force by the domain.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 강유전체 기록 매체는 하부 전극/삽입층/강유전체층/상부 전극/유전체층이 순차로 적층된 구조를 가지고 그 위에 팁을 배치하여 기록하거나 재생한다. 일단 팁에 전압을 인가하여 분극된 도메인을 안정되게 유지시키면서 읽을 때에는 유전체막을 충전시키고 정보를 보관할 때에는 유전체를 방전(discharging)시키는 원리이므로 정보 저장 시간을 반영구적으로 유지시킬 수 있다.As described above, the ferroelectric recording medium according to the present invention has a structure in which the lower electrode / insertion layer / ferroelectric layer / upper electrode / dielectric layer are sequentially stacked and a tip is disposed thereon to record or reproduce. Once the voltage is applied to the tip to keep the polarized domain stable and the dielectric film is charged when reading and the dielectric is discharged when the information is stored, the information storage time can be semi-permanently maintained.

Claims (10)

하부 전극;Lower electrode; 상기 하부 전극 상에 적층된 강유전체층;A ferroelectric layer stacked on the lower electrode; 상기 강유전체 상에 적층된 상부 전극; 및An upper electrode stacked on the ferroelectric; And 상기 상부 전극 상에 적층된 유전체층;를A dielectric layer stacked on the upper electrode; 구비한 것을 특징으로 하는 강유전체 기록 매체.A ferroelectric recording medium, comprising: 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 하부 전극과 상기 강유전체층의 사이에 제조 공정상 피로를 줄이기 위한 삽입층을 더 구비한 것을 특징으로 하는 강유전체 기록 매체.And an insertion layer between the lower electrode and the ferroelectric layer to reduce fatigue in the manufacturing process. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 상부 전극과 상기 강유전체층의 사이에 제조 공정상 피로를 줄이기 위한 삽입층을 더 구비한 것을 특징으로 하는 강유전체 기록 매체.And an insertion layer between the upper electrode and the ferroelectric layer to reduce fatigue in the manufacturing process. 제2항 또는 제3항에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 하부 전극, 상기 상부 전극 및 상기 삽입층은 각각 금속, 도전성 세라믹 및 반도체 중 적어도 어느 한 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 강유전체 기록 매체.And the lower electrode, the upper electrode, and the insertion layer are each formed of at least one of a metal, a conductive ceramic, and a semiconductor. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 상부 전극은 반도체 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 강유전체 기록 매체.And the upper electrode is formed of a semiconductor material. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유전체층 대신에 절연층이 구비된 것을 특징으로 하는 강유전체 기록 매체.An insulating layer is provided in place of the dielectric layer. 하부 전극/강유전체/상부 전극/유전체층의 순으로 적층된 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법에 있어서,A recording / reproducing method of a ferroelectric recording medium stacked in the order of a lower electrode / ferroelectric / upper electrode / dielectric layer, (가) 상기 팁과 하부 전극 간의 전위차를 이용하여 상기 유전체층에 속박 전하를 형성하여 "1"을 기록하는 단계;(A) forming a bond charge in the dielectric layer using the potential difference between the tip and the lower electrode to record " 1 "; (나) 상기 상부 전극을 접지하여 상기 유전체층의 속박 전하가 상기 상부 전극으로 방전되도록 유도하여 기록을 저장하는 단계; 및(B) grounding the upper electrode to induce a bond charge of the dielectric layer to be discharged to the upper electrode to store a record; And (다) 상기 팁에 상기 전위차 보다 작은 동일 극성의 전위차를 인가하여 상기 상부 전극의 속박 전하를 상기 유전체층으로 유도하여 상기 유전체층을 재충전시킴으로서 "1"을 읽는 단계; 및(C) reading " 1 " by applying a potential difference of the same polarity less than the potential difference to the tip to induce a bond charge of the upper electrode to the dielectric layer to recharge the dielectric layer; And (라) 상기 상부 전극을 다시 접지하여 재충전된 상기 유전체층의 속박 전하를 상기 상부 전극으로 방전되도록 유도하여 기록을 그대로 저장하는 단계;를(D) grounding the upper electrode again to induce the constrained charge of the recharged dielectric layer to be discharged to the upper electrode and storing the record as it is; 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법.And a recording and reproducing method of a ferroelectric recording medium. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 (가) 단계는 "0"을 기록 하는 단계인 것을 특징으로 하는 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법.And the step (a) is a step of recording " 0 ". 하부 전극/강유전체/상부 전극의 순으로 적층된 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법에 있어서,A recording and reproducing method of a ferroelectric recording medium stacked in the order of a lower electrode / ferroelectric / upper electrode, (가) 상기 팁과 하부 전극 간에 전위차를 인가하여 "1"을 기록하는 단계; 및(A) recording a "1" by applying a potential difference between the tip and the lower electrode; And (나) 상기 팁에 상기 전위차 보다 작은 반대 극성의 전위차를 인가하여 "1"을 읽는 단계;를(B) reading a "1" by applying a potential difference of opposite polarity smaller than the potential difference to the tip; 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법.And a recording and reproducing method of a ferroelectric recording medium. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 (가) 단계는 "0"을 기록 하는 단계인 것을 특징으로 하는 강유전체 기록 매체의 기록 재생 방법.And the step (a) is a step of recording " 0 ".
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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