KR19980079459A - High frequency oscillator - Google Patents

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한상용
박광수
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윤종용
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Abstract

본 발명은 고주파 발진장치에 관한 것으로, 작용공간 내로 방출된 열전자와 양극 내의 공진기와의 상호작용으로 인해 고주파를 유기시켜 안테나를 통해 방출하는 고주파 발진장치에 있어서, 상기 양극은, 양극몸체와, 복수개의 제1베인이 형성된 상부플레이트와, 복수개의 제2베인이 형성된 하부플레이트로 구성되며, 상기 제1베인과 제2베인을 인터디지탈 방식으로 직접 결합시킨 다음, 상기 상하부플레이트가 체결되어, 제조 및 조립공정이 간단하여 양산성을 높힐 수 있고, 상하부플레이트에 각각 형성된 부채꼴형의 홈에 의해 공진기의 인덕턴스성분이 증가되므로, 낮은 동작전압(4kV 정도)에서도 기본주파수를 얻을 수 있으며, 고주파의 위상을 안정화시키고, 공진기의 크기를 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 각 베인을 소정길이 연장시키거나 결합홈과 안착홈을 통해 스트랩을 체결함으로써, 스트랩을 용이하게 체결할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a high frequency oscillation apparatus, wherein a high frequency oscillation apparatus emits a high frequency through an antenna due to interaction between hot electrons emitted into a working space and a resonator in an anode, and the anode includes a cathode body and a plurality of anodes. It consists of an upper plate formed with one first vane, and a lower plate formed with a plurality of second vanes, and directly coupling the first vane and the second vane in an interdigital manner, and then the upper and lower plates are fastened and manufactured. As the assembly process is simple, mass production can be improved, and the inductance component of the resonator is increased by the fan-shaped grooves formed on the upper and lower plates, so that the fundamental frequency can be obtained even at a low operating voltage (about 4 kV). Stabilizes, reduces the size of the resonator, and extends each vane a certain length or And by fastening the strap through the mounting groove, it is to be able to easily fasten the strap.

Description

고주파 발진장치High frequency oscillator

본 발명은 저전압에서 안정된 동작특성을 유지하면서 높은 효율과 출력을 갖는 고주파 발진장치에 관한 것이다.The present invention relates to a high frequency oscillator having high efficiency and output while maintaining stable operating characteristics at low voltage.

일반적으로, 고주파 발진장치란 외부로부터 제공되는 고전압에 의해 고주파를 발생하는 것으로서, 의료용, 전자렌지용, 기타 가열용에 사용되는 2450MHz의 고주파를 발생하는 고주파 발진장치와 공업용 가열렌지, 연속파 레이다에 사용되는 915MHz의 고주파를 발생하는 고주파 발진장치로 구분된다.Generally, high frequency oscillator generates high frequency by high voltage supplied from outside, and is used for high frequency oscillator which generates high frequency of 2450MHz used for medical, microwave and other heating, industrial heating range, continuous wave radar. It is divided into a high frequency oscillator which generates a high frequency of 915MHz.

한편, 종래의 통상적인 고주파 발진장치는 도 1과 도 2에 도시된 바와같이, 동파이프 등에 의해 원통형상으로 형성된 양극몸체(13)의 내부에는 고주파 성분을 유기시키도록 복수개의 공동공진기를 형성하는 다수(통상적으로, 짝수개임)개의 베인(15)이 중심방향을 향하여 등간격으로 배치되어 있고, 이들 양극몸체(13)와 베인(15)에 의해 양극(16)이 형성된다.On the other hand, conventional conventional high frequency oscillation apparatus, as shown in Figures 1 and 2, to form a plurality of cavity resonators to induce high frequency components in the inside of the anode body 13 formed in a cylindrical shape by copper pipe or the like A plurality of (usually even) vanes 15 are arranged at equal intervals toward the center direction, and the anodes 16 are formed by these anode bodies 13 and vanes 15.

그리고, 베인(15)의 선단부측에는 상하부에 각각 캐패시턴스를 변화시켜 일정한 공진주파수를 얻기 위해 내측 및 외측균압링(15a,15b)이 베인(15)을 하나 걸러서 각각 접속되어 있고, 양극몸체(13)의 중심축 근처에는 다수개의 베인(15)의 선단부와 필라멘트(17) 사이에 작용공간(12)이 형성되어 있다.The inner and outer equalization rings 15a and 15b are connected to the vane 15 every other vane 15 so as to obtain a constant resonant frequency by varying the capacitance at the upper and lower sides of the vane 15, respectively. Near the central axis of the working space 12 is formed between the leading end of the plurality of vanes 15 and the filament (17).

또한, 작용공간(12)내에는 고열을 발생하도록 텅스텐(W)과 산화토륨(ThO2)을 혼합소결시켜 나선형상으로 권회된 필라멘트(17)가 양극몸체(13)와 동축형상으로 배치되어 있다.In addition, in the working space 12, filaments 17 wound in a spiral shape by mixing and sintering tungsten (W) and thorium oxide (ThO 2 ) so as to generate high heat are arranged coaxially with the anode body 13. .

한편, 필라멘트(17)의 양단부에는 발진에 기여하지 못하는 열전자가 중심축 방향으로 방사되는 것을 방지하기 위해 상부 및 하부엔드햇(20,21)이 고착되어 있고, 하부엔드햇(21)의 중앙부에는 몰리브덴제의 중앙지지체인 제1캐소드지지대(23)가 관통구멍을 통해 상부엔드햇(20)의 하단부에 용접고착되어 있으며, 하부엔드햇(21)의 바닥면에는 몰리브덴제의 제2캐소드지지대(25)가 용접고착되어 있다.On the other hand, the upper and lower end hats 20 and 21 are fixed to both ends of the filament 17 in order to prevent radiating hot electrons that do not contribute to the oscillation in the central axis direction, and at the center of the lower end hat 21. The first cathode support 23, the central support made of molybdenum, is welded to the lower end of the upper end hat 20 through the through hole, and the second cathode support made of molybdenum 25 is formed on the bottom surface of the lower end hat 21. ) Is welded.

여기에서, 제1캐소드지지대(23)는 필라멘트(17)의 중심축을 관통하면서 상부엔드햇(20)을 지지하고, 제1 및 제2캐소드지지대(23,25)는 고주파 발진장치의 음극을 지지고정하는 절연세라믹(27)에 형성된 관통구멍을 통해 전원단자(30b,32b)에 접속되어 있는 외부접속단자(29,31)에 전기적으로 접속되어 필라멘트(17)에 전류를 공급하는 필라멘트 전극이다.Here, the first cathode support 23 supports the upper end hat 20 while passing through the central axis of the filament 17, and the first and second cathode supports 23 and 25 support the cathode of the high frequency oscillator. It is a filament electrode which electrically connects to the external connection terminals 29 and 31 connected to the power supply terminals 30b and 32b through the through hole formed in the insulating ceramic 27, and supplies electric current to the filament 17.

또한, 외부접속단자(29,31)에는 쵸크코일(30,32)의 일단부가 전기적으로 접속되어 있고, 쵸크코일(30,32)의 타단부는 박스필터의 측벽부에 배설되어 있는 캐패시터(34)와 접속되어 있으며, 쵸크코일(30,32)내에는 노이즈를 흡수하는 페라이트(30a,32a)가 쵸크코일(30,32)의 길이방향을 따라 삽입고정되어 있다.In addition, one end of the choke coils 30 and 32 is electrically connected to the external connection terminals 29 and 31, and the other end of the choke coils 30 and 32 is a capacitor 34 disposed at the side wall of the box filter. ), Ferrites 30a and 32a absorbing noise are inserted and fixed in the choke coils 30 and 32 along the longitudinal directions of the choke coils 30 and 32.

그리고, 양극몸체(13)의 상하부 양측개구부에는 필라멘트(17)와 베인(15)에 의해 형성되는 작용공간(12)내에 균일한 자속을 형성하기 위해 자로를 형성하는 깔대기형상의 자성체인 상부 및 하부폴피스(33,35)가 용접고착되어 있고, 상부 및 하부폴피스(33,35)의 상하부에는 상부 및 하부실드컵(37,39)이 각각 기밀하게 용접고착되어 있으며, 상부 및 하부실드컵(37,39)의 상하부에는 양극몸체(13)의 내부를 진공으로 밀봉하기 위하여 안테나세라믹(45) 및 절연세라믹(27)이 기밀하게 용접고착되어 있다.The upper and lower sides of the anode body 13 have upper and lower portions of funnel-shaped magnetic bodies that form a magnetic path to form a uniform magnetic flux in the working space 12 formed by the filaments 17 and the vanes 15. The pole pieces 33 and 35 are welded to each other, and the upper and lower shield cups 37 and 39 are hermetically welded to the upper and lower portions of the upper and lower pole pieces 33 and 35, respectively. At the upper and lower portions of the 37 and 39, the antenna ceramic 45 and the insulating ceramic 27 are hermetically welded to seal the inside of the anode body 13 with vacuum.

또한, 상부 및 하부실드컵(37,39)의 외측면에는 양극몸체(13)내에 일정한 자계분포를 유지시키기 위한 링형상의 마그네트(41,43)가 배치되어 있고, 고주파 발진장치의 출력부를 구성하는 상부실드컵(37)의 상부개구단부에는 후술되는 안테나캡(51)을 절연시키기 위해 원통형상의 안테나세라믹(45)이 접합되어 있다.In addition, ring-shaped magnets 41 and 43 are disposed on the outer surfaces of the upper and lower shield cups 37 and 39 to maintain a constant magnetic field distribution in the anode body 13, and constitute an output portion of the high frequency oscillator. The cylindrical antenna ceramic 45 is joined to the upper opening end of the upper shield cup 37 to insulate the antenna cap 51 described later.

도 1에 있어서, 안테나세라믹(45)의 상부측 선단부에는 동으로 이루어진 배기판(47)이 접합되어 있고, 배기관(47)의 내측 중앙부 근처에는 공동공진기 내에서 발진된 고주파를 출력시키기 위해 베인(15)으로부터 도출된 안테나(49)가 상부폴피스(33)의 관통구멍을 통과하여 축상으로 연장되면서 안테나(49)의 끝이 배기판(47)내에 고정되어 있다.In Fig. 1, an exhaust plate 47 made of copper is joined to an upper end of an antenna ceramic 45, and a vane 15 for outputting high frequency oscillated in a cavity resonator near an inner central part of the exhaust pipe 47. The end of the antenna 49 is fixed in the exhaust plate 47 while the antenna 49 derived from the < RTI ID = 0.0 > is passed through the through hole of the upper pole piece 33 and extends axially.

그리고, 배기관(47)의 의측면에는 배기관(47)의 용접고착부를 보호함은 물론, 전계집중에 의한 스파크방지 및 고주파안테나의 작용을 함과 동시에 고주파출력을 외부로 내보내는 창(Window)역할을 하는 안테나세라믹(45)과 그 위에 안테나캡(51)이 씌워져 있다.In addition, the side of the exhaust pipe 47 serves as a window that not only protects the welded and fixed portion of the exhaust pipe 47 but also prevents sparking due to electric field concentration and acts as a high frequency antenna while simultaneously emitting high frequency output to the outside. An antenna ceramic 45 and an antenna cap 51 are placed thereon.

또한, 양극몸체(13)의 외부에는 양극몸체(13)내의 자속량을 결정하는 상부 및 하부요우크(53} 55)가 설치되어 있고, 양극몸체(13) 및 하부요우크(55) 사이에는 복수개의 알루미늄 냉각핀(57)이 양극몸체(13) 및 하부요우크(55)에 고정된 클램프부재(55a)에 의해 감합배치되어 마그네트(41,43)와 함께 자로 형성용 상부 및 하부요우크(53,55)에 의해 덮여 있다.In addition, an upper and lower yoke 53} 55 is provided outside the anode body 13 to determine the amount of magnetic flux in the anode body 13, and between the anode body 13 and the lower yoke 55. A plurality of aluminum cooling fins 57 are fitted by a clamp member 55a fixed to the anode body 13 and the lower yoke 55 to form the upper and lower yokes together with the magnets 41 and 43. Covered by (53,55).

상기와 같이 구성된 고주파 발진장치의 동작과정에 대하여 도 1과 도 2를 참조하여 설명하기로 한다.An operation process of the high frequency oscillation device configured as described above will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

먼저, 외부접속단자(29,31)를 통해 전원이 인가되면, 외부접속단자(29), 제1캐소드지지대(23), 상부엔드햇(20), 필라멘트(17) 하부엔드햇(21), 제2캐소드지지대(25), 외부접속단자(31)에 의해 폐회로가 구성되어 필라멘트(17)에 동작전류가 공급되어 필라멘트(17)가 가열된 다음, 필라멘트(17)로부터 열전자가 방출되기 시작한다.First, when power is applied through the external connection terminals 29 and 31, the external connection terminal 29, the first cathode support 23, the upper end hat 20, the filament 17 lower end hat 21, The closed circuit is constituted by the second cathode support 25 and the external connection terminal 31 so that an operating current is supplied to the filament 17 so that the filament 17 is heated, and then hot electrons are emitted from the filament 17. .

이때, 제2캐소드지지대(25)와 양극(16)에 인가된 구동전압에 의해 필라멘트(17)의 바깥표면과 베인(15)사이의 작용공간(12)내에는 베인(15)으로부더 필라멘트(17) 측으로 강한 전계가 형성되고, 두 개의 마그네트(41,43)로부터 발생한 자속은 상부요우크(53), 하부요우크(55), 상부폴피스(33), 하부폴피스(35) 및 작용공간(12)으로 이루어지는 자기화로내에 분포되어 작용공간(12) 내에 높은 자속밀도가 형성된다.At this time, due to the driving voltage applied to the second cathode support 25 and the anode 16, the filament (with the vane 15) in the working space 12 between the outer surface of the filament 17 and the vanes 15 17) A strong electric field is formed on the side, and the magnetic flux generated from the two magnets 41 and 43 is applied to the upper yoke 53, the lower yoke 55, the upper pole piece 33, the lower pole piece 35 and the action. It is distributed in the magnetization furnace which consists of the space 12, and high magnetic flux density is formed in the working space 12. FIG.

따라서, 고온의 필라멘트(17) 표면으로부터 작용공간(12)으로 방출되는 열전자는 작용공간(12)내에 존재하는 강한 전계에 의해 베인(15) 또는 양극몸체(13)쪽으로 진행함과 동시에 작용공간(12)내에 형성된 강한 자속밀도에 의해 열전자의 진행방향에 대해 수직으로 힘을 받아 양극(16)쪽으로 진행하면서 나선형의 회전운동을 하게 된다.Therefore, the hot electrons emitted from the surface of the hot filament 17 into the working space 12 travel toward the vane 15 or the anode body 13 by the strong electric field present in the working space 12 and at the same time the working space ( The strong magnetic flux density formed in 12) causes a helical rotational movement while receiving a force perpendicular to the traveling direction of the hot electrons and proceeding toward the anode 16.

이러한 열전자의 운동으로 형성되는 전자군이, 베인(15)에 주기적으로 간섭을 일으키고, 이 간섭에 의해 마주보는 베인 간에 작용하는 정전용량인 캐패시턴스성분(C)과, 마주보는 베인과 이를 연결하는 양극몸체(13)로 이루어지는 인덕턴스성분(L)에 의해 병렬공진회로가 구성된다.The electron group formed by the motion of the hot electrons periodically causes the vane 15 to interfere with each other, and the capacitance component (C), which is a capacitance acting between the vanes facing each other, and the vanes facing the anodes. The parallel resonant circuit is constituted by the inductance component L composed of the body 13.

따라서, 상기한 캐패시턴성분(C)과 인덕턴스성분(L)에 의해 공진주파수, 즉Therefore, the above-mentioned capacitance component (C) and inductance component (L) are the resonant frequency, that is,

가 결정되어 고주파가 유기된 다음, 안테나(49)를 통해 외부로 방출된다. Is determined and the high frequency is induced, and then emitted to the outside through the antenna 49.

한편, 상기한 고주파 발진장치를 이용한 가열장치 또는 의료장치에 있어서, 고주파 발진장치의 동작전압을 낮추는 것은 구조형상과 전원공급회로의 원가절감, 노이즈 감소, 저압에 따른 각 절연 화로물의 원가절감 및 효율향상 등으로 안정성과 경제적으로 여러가지 잇점을 제공하므로 동작전압을 최대한으로 낮추는 기술에 대해 이와 관련된 여러 분야에서 연구되고 있으며, 이화 관련된 기술로는 본원의 출원인에 의해 제안되어 1996년 7읠 6일 대한민국 특허청에 출원된 특96-27348호, 고주파 발진장치가 있다.On the other hand, in the heating device or the medical device using the high frequency oscillation device, lowering the operating voltage of the high frequency oscillation device reduces the cost of the structure, the power supply circuit, noise, and the cost and efficiency of each insulated furnace due to low pressure. As it provides various advantages in terms of stability and economics through improvement, etc., the technology for lowering the operating voltage as much as possible has been studied in various fields related thereto, and as a technology related to catabolism, it was proposed by the applicant of the present application. Japanese Patent Application No. 96-27348, which is a high frequency oscillation device.

이러한 고주파 발진장치는, 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이, 낮은 동작전압(예를 들면, 4kV 정도)에서도 70% 이상의 높은 효율을 얻을 수 있도록 하기 위해, 아래쪽으로 향하는 베인(148)을 가지며 제1공진기를 형성하는 상부플레이트(138)와, 위쪽을 향하는 베인(150)을 가지며 제2공진기를 형성하는 하부플레이트(146)와, 상기 제1, 2공진기를 분리시키도록 상부플레이트(138) 및 하부플레이트(146)의 사이에 중앙 플레이트(136)를 구비하고, 필라멘트(114)와 양극몸체(104) 사이에 필라멘트(114)로부터 방사되는 가열된 에너지를 받아서 작용공간 내로 열전자를 방출하는 에미터(116)가 설치되어 있는 구조로 형성되며, 중앙 플레이트(136)의 상하측으로 향하는 베인(108)은 동일한 위치에서 서로 반대되는 방향으로 상부플레이트(138)의 베인(148)과 하부플레이트(146)의 베인(150)과 서로 충돌하지 않고 교차되는 형태, 즉 인터디지탈(lnterdigital : 손가락을 짝지끼는 형태)로 맞물리도록 구성되어 있다.As shown in FIGS. 3 and 4, the high frequency oscillator has a vane 148 facing downward in order to obtain a high efficiency of 70% or more even at a low operating voltage (for example, about 4 kV). An upper plate 138 forming a first resonator, a lower plate 146 having a vane 150 facing upward, and forming a second resonator, and an upper plate 138 separating the first and second resonators. And an center plate 136 between the lower plates 146 and receiving heated energy radiated from the filament 114 between the filament 114 and the anode body 104 to emit hot electrons into the working space. The vane 108 is formed in a structure in which the rotor 116 is installed, and the vanes 108 facing upward and downward of the center plate 136 are opposite to each other at the same position and the vane 148 and the lower plate 146 in opposite directions. Vane (1) 50) and interdigitated without interfering with each other, that is, interdigital (lnterdigital).

그러나, 상기한 바와 같은 종래의 고주파 발진장치는 상부플레이트와 하부플레이트의 각 베인과 중앙 플레이트의 상하측으로 형성된 베인이 인터디지탈 방식으로 서로 결합되는 구조로 형성되어 있기 때문에, 그 제조공정이 복잡할 뿐만 아니라 결합시키는 공정 또한 번거러워 양산성이 어려운 문제점이 있었다.However, the conventional high frequency oscillation apparatus as described above has a complicated manufacturing process because each vane of the upper plate and the lower plate and the vanes formed on the upper and lower sides of the center plate are connected to each other in an interdigital manner. Not only the bonding process is cumbersome, but also difficult to mass production problems.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 의하여 안출된 것으로, 중앙 플레이트 없이 상부플레이트의 베인과 하부플레이트의 베인을 인터디지탈방식으로 직접 결합시켜 제조 및 조립공정을 간단하게 하여 양산성을 높힐 수 있는 고주파 발진장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.Therefore, the present invention has been devised to solve the above problems, by directly combining the vane of the upper plate and the lower plate without the center plate in an interdigital way to simplify the manufacturing and assembly process to increase the productivity The purpose is to provide a high frequency oscillator.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 고주파 발진장치는, 작용공간 내로 방출된 열전자화 양극 내의 공진기와의 상호작용으로 인해 고주파를, 유기시켜 안테나를 통해 방출하는 고주파 발진장치에 있어서, 상기 양극은, 양극몸체와, 복수개의 제1베인이 형성된 상부플레이트와, 복수개의 제2베인이 형성된 하부플레이트로 구성되며, 상기 제1베인과 제2베인을 인터디지탈 방식으로 직접 결합시킨 다음, 상기 상하부플레이트가 체결되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the high frequency oscillation apparatus according to the present invention, in the high frequency oscillation apparatus for emitting a high frequency, through the antenna due to the interaction with the resonator in the thermoelectronic anode emitted into the working space, the anode is And an anode body, an upper plate on which a plurality of first vanes are formed, and a lower plate on which a plurality of second vanes are formed, and directly combining the first vane and the second vane in an interdigital manner, and then the upper and lower plates. It is characterized in that the fastening.

도 1은 종래의 통상적인 고주파 발진장치의 종단면도,1 is a longitudinal sectional view of a conventional conventional high frequency oscillation apparatus,

도 2는 종래의 통상적인 고주파 발진장치 내의 양극몸체의 종단면도,Figure 2 is a longitudinal cross-sectional view of the positive electrode body in a conventional conventional high frequency oscillator;

도 3은 종래의 통상적인 저전압 고주파 발진장치의 분해사시도,3 is an exploded perspective view of a conventional low voltage high frequency oscillation apparatus,

도 4는 도 3에 도시된 고주파 발진장치의 종단면도,4 is a longitudinal cross-sectional view of the high frequency oscillator shown in FIG.

도 5는 본 발명에 따른 고주파 발진장치의 분해사시도,5 is an exploded perspective view of a high frequency oscillation apparatus according to the present invention,

도 6은 본 발명에 따른 고주파 발진장치의 상부플레이트를 도시한 도면,6 is a view showing an upper plate of the high frequency oscillation apparatus according to the present invention;

도 7은 본 발명에 따른 고주파 발진장치의 하부플레이트를 도시한 도면,7 is a view showing a lower plate of the high frequency oscillation apparatus according to the present invention;

도 8은 본 발명에 따른 고주파 발진장치의 상부플레이트와 하부플레이트가 결합된 것을 도시한 도면,8 is a view showing a combination of the upper plate and the lower plate of the high frequency oscillation apparatus according to the present invention,

도 9는 본 발명의 일실시예에 따라 스트랩이 체결되는 것을 설명하기 위한 도면,9 is a view for explaining that the strap is fastened according to an embodiment of the present invention,

도 10 내지 도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따라 스트랩이 체결되는 것을 설명하기 위한 도면,10 to 12 are views for explaining that the strap is fastened according to another embodiment of the present invention,

도 13은 본 발명에 따른 고주파 발진장치가 양극몸체에 결합되는 것을 설명하기 위한 도면,13 is a view for explaining that the high frequency oscillation apparatus according to the present invention is coupled to the positive electrode body;

도 14는 도 13의 CC'를 기준으로 절단한 일부절개 사시도.14 is a partially cutaway perspective view taken along the line CC ′ of FIG. 13.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

204 : 양극몸체 238 : 상부플레이트204: bipolar body 238: upper plate

246 : 하부플레이트 248, 250 : 베인246: lower plate 248, 250: vane

256, 258, 266, 268 : 부채꼴홈256, 258, 266, 268: Fan Groove

272 : 관통홀 274 : 결합부272: through hole 274: coupling portion

362, 367 : 안착홈 364, 369 결합홈362, 367: settling grooves 364, 369 coupling grooves

360, 365 : 스트랩360, 365: strap

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하기로 한다. 한편, 종래의 구성과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 중복된 기재를 피하기 위해 그에 대한 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the same part as a conventional structure, and description is abbreviate | omitted in order to avoid the overlapping description.

도 5는 본 발명에 따른 고주파 발진장치의 분해사시도이다.5 is an exploded perspective view of the high frequency oscillation apparatus according to the present invention.

도 5에 도시한 바와같이, 상부플레이트(238)는 아래쪽으로 향하는 복수개의 베인(248)을 가지고, 하부플레이트(246)는 위쪽을 향하는 복수개의 베인(250)을 가지며, 상부플레이트(238)의 베인(248)과 하부플레이트(246)의 베인(250)은 인터디지탈 방식으로 결합된다.As shown in FIG. 5, the upper plate 238 has a plurality of vanes 248 facing downwards, the lower plate 246 has a plurality of vanes 250 facing upwards, and The vanes 250 of the vanes 248 and the lower plate 246 are coupled in an interdigital manner.

즉, 종래의 고주파 발진장치에서 중앙 플레이트(136)의 베인(108)과 상하부플레이트(138,146)의 각 베인(148,150)이 인터디지탈 방식으로 결합되는 것에 비해, 본 발명에 따른 고주파 발진장치는 상부플레이트(238)의 베인(248)과 하부플레이트(246)의 베인(250)이 직접 인터디지탈 방식으로 결합된다.That is, in the conventional high frequency oscillator, the vane 108 of the center plate 136 and the vanes 148 and 150 of the upper and lower plates 138 and 146 are coupled in an interdigital manner, whereas the high frequency oscillator according to the present invention has an upper plate. Vanes 248 of 238 and vanes 250 of lower plate 246 are directly coupled in an interdigital manner.

그리고, 도 6은 본 발명에 따른 고주파 발진장치의 상부플레이트를 도시한 도면이고, 도 7은 본 발명에 따른 고주파 발진장치의 하부플레이트를 도시한 도면이며, 도 8은 본 발명에 따른 고주파 발진장치의 상부플레이트와 하부플레이트가 결합된 것을 도시한 도면이다.6 is a view showing an upper plate of the high frequency oscillation apparatus according to the present invention, FIG. 7 is a view showing a lower plate of the high frequency oscillation apparatus according to the present invention, and FIG. 8 is a high frequency oscillation apparatus according to the present invention. The upper plate and the lower plate of the figure is combined.

도 6 내지 도 8을 참조하면 알 수 있듯이, 상하부플레이트(238,246)의 상부 및 하부 소정부분에는 부채꼴형의 홈(256,258,266,268)을 각각 형성시켜 인덕턴스성분을 증가시킴으로써, 공진기의 크기가 줄어들면서 감소되는 인덕턴스성분을 보상한다.6 to 8, the upper and lower predetermined portions of the upper and lower plates 238 and 246 respectively form fan-shaped grooves 256, 258, 266 and 268 to increase the inductance component, thereby reducing the size of the resonator. Compensate for the ingredients.

이때, 상부플레이트(238)의 상부에 형성된 부채꼴형의 홈(258,268)과 하부플레이트(246)의 하부에 형성된 부채꼴형의 홈(256,266)은, 도 8에 도시된 바와 같이, 조립시에 그 위치가 일치되도록 형성되어 있다.At this time, the fan-shaped grooves 258 and 268 formed on the upper portion of the upper plate 238 and the fan-shaped grooves 256 and 266 formed on the lower portion of the lower plate 246 are positioned at the time of assembly, as shown in FIG. Are formed to match.

따라서, 상부플레이트(238)와 하부플레이트(246)의 상부 및 하부 소정부분에 각각 형성된 부채꼴형의 홈(256,258,266,268)에 의해 인덕턴스 성분이 증가되므로, 공진기의 크기가 작아지더라도 인덕턴스성분이 보완되어 낮은 동작전압(4kV 정도)에서 기본주파수(2.45GHz)를 얻을 수 있다.Therefore, since the inductance component is increased by the fan-shaped grooves 256, 258, 266 and 268 formed in the upper and lower predetermined portions of the upper plate 238 and the lower plate 246, respectively, the inductance component is compensated for even though the size of the resonator is small. At the operating voltage (about 4kV), the fundamental frequency (2.45GHz) can be obtained.

또한, 상부플레이트(238)와 안테나(270)가 접속되지 않도록 상부플레이트(238)의 상부 소정부분, 바람직하게는 부채꼴형의 홈(268)상에 안테나(270)의 둘레보다 큰 사각형의 권통홀(272)이 형성되고, 하부플레이트(246)의 내측에는 안테나(270)가 장착되는 결합부(274)가 형성되어 안테나(270)가 상부플레이트(238)의 상부에 형성된 사각형의 관통홀(272)에 관통된 다음, 하부플레이트(246)에 형성된 결합부(274)에 브레이징 공법에 의해 결합된다.In addition, the rectangular winding hole larger than the circumference of the antenna 270 on the upper predetermined portion of the upper plate 238, preferably the fan-shaped groove 268 so that the upper plate 238 and the antenna 270 are not connected. 272 is formed, and a coupling part 274 in which the antenna 270 is mounted is formed inside the lower plate 246 so that the antenna 270 has a rectangular through hole 272 formed on the upper plate 238. ) And then coupled to the coupling portion 274 formed on the lower plate 246 by the brazing method.

따라서, 안테나(270)가 상부플레이트(238)의 상부에 형성된 관통홀(272)을 관통하여 하부플레이트(246)의 결합부(274)에 결합되므로, 공진기의 외형크기를 축소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 양질의 고주파를 외부로 방출시킬 수 있다.Therefore, since the antenna 270 is coupled to the coupling part 274 of the lower plate 246 through the through hole 272 formed on the upper plate 238, it is possible to reduce the external size of the resonator. In addition, it can emit high-quality high frequency to the outside.

그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 상부플레이트(238)에 형성된 복수개의 베인(248) 중에 안테나(270)가 접촉된 베인으로부터 전자군의 회전방향의 앞쪽 소정부분에 설정된 정전용량을 갖는 베인쌍(A)이 형성되어 있고, 이 베인쌍(A)의 대향하는 부분에는 하부플레이트(246)에 형성된 베인쌍(B')이 인터디지탈 방식으로 결합되도록 결합홈(B)이 형성되어 있다.And, as shown in Figure 6, vane pair having a capacitance set in a predetermined portion in the front of the rotation direction of the electron group from the vanes that the antenna 270 is in contact among the plurality of vanes 248 formed on the upper plate 238 (A) is formed, and in the opposing part of this vane pair A, the coupling groove B is formed so that the vane pair B 'formed in the lower plate 246 may be couple | bonded in an interdigital manner.

또한, 도 7에 도시된 바와 같이, 하부플레이트(246)에 형성된 복수개의 베인(250) 중에 안테나(270)가 접촉된 베인으로부터 전자군의 회전방향의 앞쪽 소정부분에 설정된 정전용량을 갖는 베인쌍(B')이 형성되어 있고, 이 베인쌍(B')의 대향하는 부분에는 상부플레이트(238)에 형성된 베인쌍(A)이 인터디지탈 방식으로 결합되도록 결합홈(A')이 형성되어 있다.In addition, as illustrated in FIG. 7, a vane pair having a capacitance set in a predetermined portion in front of the rotation direction of the electron group from the vanes in which the antenna 270 contacts among the plurality of vanes 250 formed on the lower plate 246. (B ') is formed, and the joining groove (A') is formed in the opposing part of this vane pair (B ') so that the vane pair (A) formed in the upper plate 238 may be coupled in an interdigital manner. .

그리고, 도 8에 도시된 바와 같이, 상부플레이트(238)에 형성된 베인쌍(A)은 하부플레이트(246)에 형성된 결합홈(A')과, 하부플레이트(246)에 형성된 베인쌍(B')은 상부플레이트(238)에 형성된 결합홈(B)에 각각 끼어짐으로써, 인터디지탈 방식으로 결합된다.As shown in FIG. 8, the vane pair A formed on the upper plate 238 includes a coupling groove A ′ formed on the lower plate 246 and a vane pair B ′ formed on the lower plate 246. ) Is fitted into the coupling groove (B) formed in the upper plate 238, respectively, is coupled in an interdigital manner.

따라서, 안테나(270)가 접속된 베인을 통과하면서 안테나(270)의 전위에 의해 전자군의 이동이 지연되더라도, 안테나(270)가 접속된 베인으로부터 전자군의 화전방향의 앞쪽 소정부분에 형성된 베인쌍(A, B')에 존재하는 설정된 정전용량에 의해 전자군의 위상이 보상되어 고주파의 위상이 일정하에 유지됨으로써, 고주파의 위상깨짐, 즉 모딩현상이 방지된다.Therefore, even if the movement of the electron group is delayed by the potential of the antenna 270 while the antenna 270 is passing through the connected vanes, the vane formed at a predetermined portion in front of the field direction of the electron group from the vane to which the antenna 270 is connected The phase of the electron group is compensated by the set capacitances present in the pairs A and B ', and the phase of the high frequency is kept constant, thereby preventing the phase breakage, that is, the phenomenon of high frequency.

한편, 인터디지탈 방식으로 결합되는 상하부플레이트(238,246)의 각 베인(248,250)에 스트랩(360,365)을 체결하기 위해, 도 9에 도시된 바와같이, 각 베인(248,250)은 그 길이방향(즉, 상부플레이트(238)의 베인(248)은 하측방향, 하부플레이트(246)의 베인(250)은 상측방향)으로 각각 소정길이로 연장되어 형성시키고, 상측으로 연장시킨 하부플레이트(246)의 베인(250)에 상부스트랩(360)을 체결함과 동시에, 하측으로 연장된 상부플레이트(238)의 베인(248)에 하부스트랩(365)을 체결한다.Meanwhile, in order to fasten the straps 360 and 365 to the vanes 248 and 250 of the upper and lower plates 238 and 246 which are coupled in an interdigital manner, as illustrated in FIG. 9, each vane 248 and 250 has a longitudinal direction (ie, an upper portion). The vanes 248 of the plate 238 are formed to extend in a predetermined length in the downward direction and the vanes 250 of the lower plate 246 are upward, respectively, and the vanes 250 of the lower plate 246 extended upward. At the same time, the upper strap 360 is fastened to the lower strap 365 at the same time as the vane 248 of the upper plate 238 extending downward.

따라서, 인터디지탈 방식으로 결합되는 상하부플레이트(238,246)의 각 베인(248,250)에 스트랩(360,365)을 용이하게 체결할 수 있다.Accordingly, the straps 360 and 365 may be easily fastened to the vanes 248 and 250 of the upper and lower plates 238 and 246 which are coupled in an interdigital manner.

또한, 도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 상부플레이트(238)의 상부에 상 부스트랩(360)을 안착시키기 위해 안착홈(362)을 형성하고, 상부플레이트(238)의 각 베인(248)의 하측일부에 하부스트랩(365)을 체결시키기 위해 결합홈(364)을 형성한다.In addition, as shown in FIGS. 10 to 12, the mounting groove 362 is formed to seat the upper boost 360 on the upper plate 238, and each vane 248 of the upper plate 238. A coupling groove 364 is formed in order to fasten the lower strap 365 to a lower portion of the bottom portion).

그리고, 하부플레이트(246)의 하부에 하부스트랩(365)을 안착시키기 위해 안착홈(367)을 형성하고, 하부플레이트(246)의 각 베인(250)의 상측일부에 상부스트랩(360)을 체결시키기 위해 결합홈(369)을 형성한다.Then, a seating groove 367 is formed to seat the lower strap 365 on the lower portion of the lower plate 246, and the upper strap 360 is fastened to an upper portion of each vane 250 of the lower plate 246. In order to form a coupling groove 369.

이때, 도 12에 도시된 바와 같이, 상부플레이트(238)의 상부에 형성되는 안착홈(362)의 직경은 상부스트랩(360)과 상부플레이트(238)의 각 베인(248)이 연결되지 않도록 하부플레이트(246)에 형성된 결합홈(369)의 직경보다 크게 형성하고, 하부플레이트(246)의 하부에 형성되는 안착홈(367)의 직경은 하부스트랩(365)과 하부플레이트(246)의 각 베인(250)이 연결되지 않도록 상부플레이트(238)에 형성된 고정홈(364)의 직경보다 크게 형성한다.At this time, as shown in Figure 12, the diameter of the seating groove 362 formed in the upper portion of the upper plate 238 is lower so that each vane 248 of the upper strap 360 and the upper plate 238 is not connected It is formed larger than the diameter of the coupling groove 369 formed in the plate 246, the diameter of the seating groove 367 formed in the lower portion of the lower plate 246 is each vane of the lower strap 365 and the lower plate 246 It is formed larger than the diameter of the fixing groove 364 formed in the upper plate 238 so that the 250 is not connected.

따라서, 상부스트랩(360)이 하부플레이트(246)의 각 베인(250)의 상측에 형성된 결합홈(369)에 체결됨과 동시에 상부플레이트(238)의 상부에 형성된 안착홈(362)에 안착되고, 하부스트랩(365)이 상부플레이트(238)의 각 베인(248)의 하측에 형성된 결합홈(364)에 체결됨과 동시에 하부플레이트(246)의 하측에 형성된 안착홈(367)에 안착됨으로써, 인터디지탈 방식으로 결합되는 상하부플레이트(238,246)의 각 베인(248, 250)에 스트랩(360,365)을 용이하게 체결할 수 있다.Thus, the upper strap 360 is fastened to the coupling groove 369 formed on the upper side of each vane 250 of the lower plate 246 and seated in the mounting groove 362 formed on the upper plate 238, The lower strap 365 is fastened to the coupling groove 364 formed at the lower side of each vane 248 of the upper plate 238 and simultaneously seated in the mounting groove 367 formed at the lower side of the lower plate 246. Straps 360 and 365 may be easily fastened to the vanes 248 and 250 of the upper and lower plates 238 and 246 which are coupled in a manner.

다른 한편, 도 13은 본 발명에 따른 고주파 발진장치가 양극몸체에 결합되는 것을 설명하기 위한 도면이고, 도 14는 도 13의 CC'를 기준으로 절단한 일부절개 사시도이다.On the other hand, Figure 13 is a view for explaining that the high frequency oscillation apparatus according to the present invention is coupled to the positive electrode body, Figure 14 is a partially cut perspective view cut on the basis of CC 'of FIG.

도 13과 도 14를 참조하면 알 수 있듯이, 인터디지탈 방식으로 결합되는 각 베인(248,250)의 외측과 양극몸체(204) 간에 다수개의 상하부슬롯(280,282)을 개재하여 결합시킴으로써, 공진기의 인덕턴스성분을 증가시켜 고주파 출력을 안정시킴과 동시에, 외형을 축소시킬 수 있다.13 and 14, the inductance component of the resonator is coupled by interposing a plurality of upper and lower slots 280 and 282 between the outer side of each vane 248 and 250 coupled in an interdigital manner and the anode body 204. It can be increased to stabilize the high frequency output while reducing the appearance.

이때, 상부슬롯(280)은 하부플레이트(246)에 접속되지 않으면서 상부플레이트(238)에 체결되고, 하부슬롯(282)은 상부플레이트(238)에 접속되지 않으면서 하부플레이트(246)에 체결된다.At this time, the upper slot 280 is fastened to the upper plate 238 without being connected to the lower plate 246, the lower slot 282 is fastened to the lower plate 246 without being connected to the upper plate 238 do.

상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 고주파 발진장치의 작용효과에 대하여 도 5 내지 도 14를 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.Effects of the high frequency oscillation apparatus according to the present invention configured as described above will be described in detail with reference to FIGS. 5 to 14.

먼저, 낮은 전압(예를 들면, 4kV)이 외부접속단자(29,31)를 통해 인가되면, 필라멘트(114)에 동작전류가 공급되어 가열되고, 필라멘트(114)의 가열에 의해 에미터(116)로부터 열전자가 작용공간(12) 내로 방출되기 시작한다.First, when a low voltage (for example, 4 kV) is applied through the external connection terminals 29 and 31, the operating current is supplied to the filament 114 and heated, and the emitter 116 is heated by the filament 114. Hot electrons begin to be released into the working space 12.

이때, 음극과 양극몸체(204)에 인가되는 구동전압에 의해 에미터(116)의 외부표면과 베인(248,250)간의 작용공간(12)내에서 강한 전계가 형성되고, 이 강한 전계는 베인(248,250)에서 출발하여 에미터(116)로 이른다.At this time, a strong electric field is formed in the working space 12 between the outer surface of the emitter 116 and the vanes 248 and 250 by the driving voltage applied to the cathode and the anode body 204, and the strong electric field is the vane 248,250. ) To emitter 116.

그리고, 마그네트(41,43 ), 하부폴피스(33), 하부폴리스(35) 및 작용고간(12)으로 이루어지는 자기 폐회로내에 분포되어 작용공간(12)내에는 높은 자속밀도가 형성된다.In addition, the magnetic flux is distributed in the magnetic closed circuit including the magnets 41 and 43, the lower pole piece 33, the lower poly 35, and the working ridge 12 to form a high magnetic flux density in the working space 12.

이에 따라, 에미터(116) 표면으로부터 작용공간(12)으로 방출되는 열전자는 음극과 양극몸체(204)사이에 존재하는 강한 전계분포에 따라 전자군이 생성되고, 생성된 전자군은 작용공간(12)내에 존재하는 강한 자기장에 의해 진행방향에 대해 수직으로 힘을 받아 작용공간(12)내에서 나선형의 회전운동을 시작한다.Accordingly, the hot electrons emitted from the surface of the emitter 116 into the working space 12 generate electron groups according to the strong electric field distribution existing between the cathode and the anode body 204, and the generated electron groups represent the working space ( It is forced by the strong magnetic field present in 12) perpendicular to the direction of travel to start the spiral rotational movement in the working space 12.

이러한 열전자의 운동으로 형성되는 전자군이, 상부플레이트(238)와 하부플레이트(246)에 의해 형성된 공진기화, 인더디지탈 방식으로 결합된 각 베인(248,250)에 의해 형성된 부공진기 내의 캐패시턴스성분(c)과, 인덕턴스성분(L)에 의해 병렬공진회로가 구성된다.Capacitance component (c) in the sub-resonator formed by each of the vanes 248 and 250 coupled by the resonator and the digital method formed by the upper plate 238 and the lower plate 246 is formed by the movement of the hot electrons. And an inductance component (L) constitute a parallel resonant circuit.

따라서,상기한 캐패시턴스성분(C)과 인덕턴스성분(L)에 의해 공진주파수, 즉Accordingly, the above-described capacitance component (C) and inductance component (L) are the resonant frequency, that is,

가 결정되어 고주파가 유기된 다음, 안테나(270)를 통해 외부로 방출된다. Is determined and the high frequency is induced, and then emitted to the outside through the antenna 270.

이때, 상부플레이트(238)의 베인(248)과 하부플레이트(246)의 베인(250)이 서로 인터디지탈방식으로 직접 결합되므로, 중앙 플레이트(136)를 매개로 상하부 플레이트(138,146)가 인터디지탈 방식으로 결합되는 종래의 고주파 발진장치에 비해 그 구조가 간단하여 제조 및 조립공정이 단순해지므로, 양산성을 높힐 수 있는 것이다.At this time, since the vanes 248 of the upper plate 238 and the vanes 250 of the lower plate 246 are directly coupled to each other in an interdigital manner, the upper and lower plates 138 and 146 are interdigital through the central plate 136. Compared with the conventional high frequency oscillation apparatus coupled to the structure is simple, so that the manufacturing and assembly process is simplified, it is possible to increase the mass production.

또한, 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 상부플레이트(238)의 상부에 형성된 부채꼴형의 홈(258,268)과 하부플레이트(246)의 하부에 형성된 부채꼴형의 홈(256,266)에 의해 공진기의 인덕턴스성분이 증가되므로, 공진기의 크기가 작아지더라도 인덕턴스성분이 보상되어 낮은 동작전압(4kV 정도)에서 기본주파수(2.45GHz)를 얻을 수 있다.6 to 8, the fan-shaped grooves 258 and 268 formed on the upper plate 238 and the fan-shaped grooves 256 and 266 formed on the lower portion of the lower plate 246 of the resonator. Since the inductance component is increased, the inductance component is compensated even if the size of the resonator is small, so that a fundamental frequency (2.45 GHz) can be obtained at a low operating voltage (about 4 kV).

그리고, 안테나(270)가 상부플레이트(238)의 상부 소정부분에 형성된 관통홀(272)을 관통하여 하부플레이트(246)의 결합부(274)에 결합되므로, 공진기의 외형크기를 축소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 양질의 고주파를 외부로 방출시킬 수 있다.In addition, since the antenna 270 is coupled to the coupling portion 274 of the lower plate 246 through the through hole 272 formed in the upper predetermined portion of the upper plate 238, the outer size of the resonator may be reduced. In addition, it can emit high-quality high frequency to the outside.

또한, 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 상부플레이트(238)에 형성된 베인쌍(A)이 하부플레이트(246)에 형성된 결합홈(A')과, 하부플레이트(246)에 형성된 베인쌍(B')이 상부플레이트(238)에 형성된 결합홈(B)에 각각 인터디지탈 방식으로 결합되므로, 안테나(270)가 접속된 베인을 통과하면서 안테나(270)의 전위에 의해 전자군의 이동이 지연되더라도, 베인쌍(A, B')에 존재하는 설정된 정전용량에 의해 전자군의 위상이 보상되어 고주파의 위상이 일정하게 유지됨으로써, 고주파의 위상깨짐, 즉 모딩형상을 방지할 수 있다.6 to 8, the vane pair A formed in the upper plate 238 includes a coupling groove A ′ formed in the lower plate 246, and a vane pair formed in the lower plate 246. Since B 'is coupled to the coupling groove B formed in the upper plate 238 in an interdigital manner, the electron group is moved by the electric potential of the antenna 270 while passing through the vanes to which the antenna 270 is connected. Even if delayed, the phase of the electron group is compensated by the set capacitances present in the vane pairs A and B ', and the phase of the high frequency is kept constant, thereby preventing the phase breakage of the high frequency, that is, the modulating shape.

한편, 도 9에 도시된 바와 같이, 상하부플레이트(238,246)의 각 베인(248,250)의 길이방향(즉, 상부플레이트(238)의 베인(250)은 하측방향, 하부플레이트(246)의 베인은 상측방향)으로 각각 소정길이로 연장시키고, 상측으로 연장시킨 하부플레이트(246)의 베인(250)에 상부스트랩(360)을 체결함과 동시에, 하측으로 연장된 상부플레이트(238)의 베인(248)에 하부스트랩(365)을 체결함으로서, 인터디지탈 방식으로 결합되는 상하부플레이트(238,246)의 각 베인(248,250)에 스트랩(360,365)을 용이하게 체결할 수있다.On the other hand, as shown in Figure 9, the longitudinal direction of each vane (248, 250) of the upper and lower plates (238, 246) (that is, the vanes 250 of the upper plate 238 is lower, the vanes of the lower plate 246 is upper side). Direction) and each of the vanes 248 of the upper plate 238 extending downward while fastening the upper strap 360 to the vanes 250 of the lower plate 246 extending upward by a predetermined length. By fastening the lower straps 365 to the straps, the straps 360 and 365 can be easily fastened to the vanes 248 and 250 of the upper and lower plates 238 and 246 coupled in an interdigital manner.

또한, 도 10 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 상부스트랩(360)이 하부플레이트(246)의 각 베인(250)의 상측에 형성된 결합홈(369)에 체결됨과 동시에 상부플레이트(238)의 상부에 형성된 안착홈(362)에 안착되고, 하부스트랩(365)이 상부플레이트(238)의 각 베인(248)의 하측에 형성된 결합홈(364)에 체결됨과 동시에 하부플레이트(246)의 하측에 형성된 안착홈(367)에 안착됨으로써, 인터디지탈 방식으로 결합되는 상하부플레이트(238,246)의 각 베인(248,250)에 스트랩(360,365)을 용이하게 체결할 수 있다.In addition, as shown in Figure 10 to 11, the upper strap 360 is fastened to the engaging groove 369 formed on the upper side of each vane 250 of the lower plate 246 and at the same time the upper portion of the upper plate 238 It is seated in the mounting groove 362 formed in the lower strap 365 is fastened to the coupling groove 364 formed on the lower side of each vane 248 of the upper plate 238 and formed at the lower side of the lower plate 246 By being seated in the seating groove 367, the straps 360 and 365 may be easily fastened to the vanes 248 and 250 of the upper and lower plates 238 and 246 coupled in the interdigital manner.

이때, 도 12에 도시된 바와 같이, 상부플레이트(238)의 상부에 형성된 안착홈(362)의 직경이 하부플레이트(246)에 형성된 결합홈(369)의 직경보다 크게 형성되어 상부스트랩(360)이 상부플레이트(238)의 각 베인(248)과 연결되지 않고, 하부플레이트(246)의 하부에 형성된 안착홈(367)의 직경이 상부플레이트(238)에 형성된 고정홈(364)의 직경보다 크게 형성되어 하부스트랩(365)이 하부플레이트(246)의 각 베인(250)과 연결되지 않는다.At this time, as shown in Figure 12, the diameter of the mounting groove 362 formed in the upper portion of the upper plate 238 is formed larger than the diameter of the coupling groove 369 formed in the lower plate 246, the upper strap 360 Not connected to each vane 248 of the upper plate 238, the diameter of the mounting groove 367 formed in the lower portion of the lower plate 246 is larger than the diameter of the fixing groove 364 formed in the upper plate 238 The lower strap 365 is not connected to each vane 250 of the lower plate 246.

그리고, 도 13과 도 14에 도시된 바와 같이, 인더디지탈 방식으로 결합된 상하부플레이트(238,246)가 다수개(바람직하게는, 8개)의 상하부슬롯(280,282)을 개재하여 양극몸체(204)에 결합되므로, 공진기의 인덕턴스성분이 증가되어 고주파 출력의 안정은 물론, 외형을 축소시킬 수 있다.13 and 14, the upper and lower plates 238 and 246 coupled in an digital manner are connected to the anode body 204 through a plurality of (preferably, eight) upper and lower slots 280 and 282. Since the coupling, the inductance component of the resonator is increased to stabilize the high frequency output and to reduce the appearance.

이때, 상부슬롯(280)은 하부플레이트(246)이 접속되지 않으면서 상부 플레이트(238)에 체결되고, 하부슬롯(282)은 상부플레이트(238)에 접속되지 않으면서 하부플레이트(246)에 체결된다.At this time, the upper slot 280 is fastened to the upper plate 238 without the lower plate 246 connected, the lower slot 282 is fastened to the lower plate 246 without being connected to the upper plate 238 do.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명을 이용하면, 상부플레이트의 베인과 하부플레이트의 베인이 인터디지탈 방식으로 직접 결합되므로, 제조 및 조립공정이 간단하여 양산성을 높힐 수 있고, 상하부플레이트의 상부 및 하부에 각각 형성된 부채꼴형의 홈에 의해 공진기의 인덕턴스성분이 증가되므로, 공진기의 크기가 작아지더라도 인덕턴스성분이 보완되어 낮은 동작전압(4kV 정도)에서도 기본주파수(2.45GHz)를 얻을 수 있는 효과가 있다.As described above, by using the present invention, the vanes of the upper plate and the vane of the lower plate are directly coupled in an interdigital manner, so that the manufacturing and assembly processes are simple and the mass productivity can be increased, and the upper and lower portions of the upper and lower plates are Since the inductance component of the resonator is increased by the fan-shaped grooves formed respectively, the inductance component is compensated even if the size of the resonator is small, so that the fundamental frequency (2.45 GHz) can be obtained even at a low operating voltage (about 4 kV).

또한, 안테나가 상부플레이트의 상부 소정부분에 형성된 관통홀을 관통하여 하부플레이트의 결합부에 결합되므로, 공진기의 외형크기를 축소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 양질의 고주파를 외부로 방출시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, since the antenna is coupled to the coupling portion of the lower plate through the through-hole formed in the upper predetermined portion of the upper plate, not only can reduce the outer size of the resonator, but also the effect of emitting high-quality high frequency to the outside have.

또한, 공진기 내에서 유기되는 고주파의 위상이 안테나가 접속된 베인을 통과하면서 안테나의 전위에 의해 지연되더라도, 상하부플레이트에 형성된 베인쌍에 존재하는 정전용량에 의해 고주파의 위상이 보상되므로, 상하부플레이트의 각 베인으로부터 유기되는 고주파의 위상을 일정하게 유지시킴으로써, 고주파 위상깨짐(모딩현상)을 방지할 수 있다.In addition, even if the phase of the high frequency induced in the resonator is delayed by the potential of the antenna while passing through the vane to which the antenna is connected, the phase of the high frequency is compensated by the capacitance present in the vane pair formed on the upper and lower plates. By keeping the phase of the high frequency induced from each vane constant, it is possible to prevent high frequency phase break (modulation).

또한, 상하부플레이트의 각 베인을 그 길이방향으로 소정길이 연장시켜 상하부스트랩을 각각 체결하거나, 상하부플레이트에 형성된 안착홈과 각 베인에 형성된 결합홈을 통해 상하부스트랩을 각각 체결할수 있으므로, 인터디지탈 방식으로 결합되는 각 베인에 스트랩을 용이하게 체결할 수 있는 효과가 있다.In addition, each vane of the upper and lower plates extend a predetermined length in the longitudinal direction thereof to fasten the upper and lower straps, or the upper and lower straps can be fastened respectively through a seating groove formed in the upper and lower plates and a coupling groove formed in each vane. There is an effect that can easily fasten the strap to each vane to be coupled.

또한, 인터디지탈 방식으로 결합된 상하부플레이트가 다수개의 상하부슬롯을 개재하여 양극몸체에 결합되므로, 공진기의 인덕턴스성분이 증가되어 고주파 출력의 안정은 물론, 외형을 축소시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, since the upper and lower plates coupled by the interdigital method are coupled to the anode body via a plurality of upper and lower slots, the inductance component of the resonator is increased to stabilize the high frequency output and reduce the appearance.

Claims (8)

작용공간 내로 방출된 열전자와 양극 내의 공진기와의 상호작용으로 인해 고주파를 유기시켜 안테나를 통해 방출하는 고주파 발진장치에 있어서, 상기 양극은, 양극몸체와, 복수개의 제1베인이 형성된 상부플레이트와, 복수개의 제2베인이 형성된 하부플레이트로 구성되며, 상기 제1베인과 제2베인을 인터디지탈 방식으로 직접 결합시킨 다음, 상기 상하부플레이트가 체결되는 것을 특징으로 하는 고주파 발진장치.In the high frequency oscillation apparatus which induces a high frequency due to the interaction between the hot electrons emitted into the working space and the resonator in the anode, the anode comprises: an anode body, an upper plate on which a plurality of first vanes are formed; A high frequency oscillation apparatus comprising: a lower plate having a plurality of second vanes formed thereon, wherein the first vane and the second vane are directly coupled in an interdigital manner, and then the upper and lower plates are fastened. 제 1 항에 있어서, 상기 상하부플레이트에 설정된 소정의 정전용량을 갖는 베인쌍이 각각 형성되고, 상기 각 베인쌍이 인터디지탈 방식으로 결합되도록 상기 형성된 베인쌍의 대향하는 부분에 결합홈이 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 고주파 발진장치.The vane pair having a predetermined capacitance set in the upper and lower plates, respectively, and the coupling groove is formed in the opposing portions of the formed vane pair so that each vane pair is coupled in an interdigital manner. High frequency oscillator. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 상하부플레이트의 상부 및 하부에 홈을 각각 형성시킨 것을 특징으로 하는 고주파 발진장치.The high frequency oscillator according to claim 1 or 2, wherein grooves are formed in upper and lower portions of the upper and lower plates, respectively. 제 3 항에 있어서, 상기 상하부플레이트에 형성되는 홈은 부채꼴 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 고주파 발진장치.4. The high frequency oscillation apparatus according to claim 3, wherein the grooves formed in the upper and lower plates are fan-shaped. 제 3 항에 있어서, 상기 상부플레이트의 상부 소정부분에 상기안테나의 둘레 보다 큰 관통홀이 형성되고, 상기 하부플레이트의 내측에 결합부가 형성되며, 상기 안테나가 상기 상부플레이트의 상부에 형성된 관통홀을 관통하여 상기 결합부에 결합되는 것을 특징으로하는 고주파 발진장치.4. The through hole of claim 3, wherein a through hole larger than a circumference of the antenna is formed in the upper predetermined portion of the upper plate, a coupling portion is formed inside the lower plate, and the antenna has a through hole formed on the upper plate. High frequency oscillator, characterized in that coupled to the coupling portion through. 제 5 항에 있어서, 상기 제1 및 제2베인은 그 길이방향으로 소정길이 연장되어 스트랩과 체결되는 것을 특징으로 하는 고주파 발진장치.6. The high frequency oscillation apparatus according to claim 5, wherein the first and second vanes extend a predetermined length in the longitudinal direction thereof and are fastened to the strap. 제 5 항에 있어서, 상기 상하부플레이트의 상부 및 하부에 각각 안착홈을 형성하고, 상기 제1베인과 제2베인에 상기 안착홈 보다 직경이 작은 결합홈을 각각 형성하여, 상기 제2베인에 형성된 결합홈에 상부스트랩을 체결하면서 상기 상부플레이트의 상부에 형성된 안착홈에 안착시키고, 상기 제1베인에 형성된 결합홈에 하부스트랩을 체결하면서 상기 하부플레이트의 하부에 형성된 안착홈에 안착시키는 것을 특징으로 하는 고주파 발진장치.The method of claim 5, wherein the upper and lower plates of the upper and lower mounting grooves are respectively formed, and the first and second vanes are formed in the second vane by respectively forming a coupling groove having a smaller diameter than the mounting groove. It is characterized by seating in the seating groove formed in the lower portion of the lower plate while fastening the upper strap in the coupling groove and seated in the seating groove formed in the upper portion of the upper plate, and fastening the lower strap to the coupling groove formed in the first vane. High frequency oscillator. 제 1 항에 있어서, 상기 상부플레이트의 외측이 다수개의 상부슬롯을 개재하여 상기 양극몸체에 결합되고, 상기 하부플레이트의 외측이 다수개의 하부슬롯을 개재하여 상기 양극몸체에 결합되는 것을 특징으로 하는 고주파 발진장치.According to claim 1, wherein the outer side of the upper plate is coupled to the positive electrode body via a plurality of upper slots, the outer side of the lower plate is coupled to the positive electrode body via a plurality of lower slots. Oscillator.
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