KR19980074701A - 반도체 제조용 모터펌프 - Google Patents

Abstract

육안으로 단자박스의 내부를 확인할 수 있도록 단자뚜껑을 투명체로 만든 반도체 제조용 모터펌프에 관한 것이다.

본 발명은 모터구동을 위한 단자들을 보호하는 단자박스가 구비된 반도체 제조용 모터펌프에 있어서, 상기 단자박스에 내부의 단자를 육안으로 확인하는 것이 가능하도록 하는 투명체의 절연재질인 투명 PVC단자뚜껑을 고정하여 구성됨을 특징으로 한다.

따라서 단자박스내의 침수여부와 단자의 열화 및 쇼트를 육안으로 확인하여 단자뚜껑을 개폐하는 등의 번거로운 점검과정이 필요없고 따라서 점검시간동안의 작업중단이 없으며 단자뚜껑의 취급시에 안전하여 일상점검이 가능하고 격막 등의 내부재 교체시기를 알아 사고를 미연에 방지할 수 있는 효과를 갖는다.

Description

반도체 제조용 모터펌프

본 발명은 반도체 제조용 모터펌프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 육안으로 단자박스의 내부를 확인할 수 있도록 단자뚜껑을 투명체로 만든 반도체 제조용 모터펌프에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조설비에는 공정챔버로 공급되고 배기되는 기체나 액체의 이송기능이 필수적으로 요구된다.

이런 기능을 담당하는 기계요소로 전동기를 사용하여 작동유체의 회전원심력이나 체적변화를 유도함으로써 형성된 압력에 의해 기체나 액체를 수송하는 모터펌프가 반도체 제조설비에 널리 사용되고 있다.

일반적으로 모터펌프는 모터부와 펌프부로 나누어진다. 모터부는 전기로 유도된 전자기력으로 작동하는 회전자와 회전자를 감싸는 고정자와 몸체, 그리고 회전의 중심축으로써 회전력을 외부로 전달하는 주축으로 구성되며, 펌프부는 주축과 연결되어 회전하면서 작동유체의 원심력을 유발하는 날개차와 날개차로부터 유발된 원심력을 작동유체의 압력으로 바꾸어 고압을 형성하는 케이싱, 그리고 작동유체의 입출구인 흡입관 및 배출관으로 구성되어 있다.

상기 펌프부는 날개차를 회전시키는 대신 기어 및 로터리를 회전시켜서 작동유체의 체적변화를 유도하여 압력차를 만드는 종류도 있다.

어떠한 종류의 모터펌프이든지 모터펌프에는 공급되는 전원으로부터 모터부를 연결하는 전선케이블과, 모터와 전선케이블의 연결단자를 관리하는 단자박스가 설치된다.

이러한 모터펌프의 종류는 모터에 공급되는 전원의 종류와 모터의 구조와 펌프의 종류에 따라서 여러종류로 나눌 수 있다.

반도체 제조설비에 사용되는 모터펌프는 작동유체의 점도와 밀도, 이송속도, 이송조건 등에 따라서 적합한 종류가 결정되며 특히 분진을 고려하여 모터부와 펌프부가 얇은 격막으로 분리되어 있는 일체형 모터펌프를 사용한다.

통상적인 반도체 제조용 모터펌프를 도1에 도시하였다.

도1에서와 같이 흡입되는 작동유체와 배출되는 작동유체사이의 압력차를 유발하는 펌프부(18)는 얇은 격막을 사이로 회전동력을 발생하는 모터부(14)의 주축과 연결되어 있고 도시하지 않았지만 작동유체를 이송하는 통로로 흡입관과 배출관이 펌프부(18)에 연결되어 있다.

작동유체는 상기 펌프부(18)의 내부와 흡입관 그리고 배출관내부에 충만하게 된다.

모터부(14)는 회전자와 고정자로 구성되며 회전자의 회전축에는 외부로 회전력을 전달하는 주축이 연결되어 있다.

상기 모터부(14)에 전력을 공급하는 전선케이블(16)은 모터부(14)에 연결되며 연결부의 단자들을 관리, 보호하기 위해서 단자박스(12)와 단자뚜껑(10)이 모터부(14)의 측면에 설치되어 있다. 단자박스(12)와 단자뚜껑(10)은 볼트(11)로 체결된다.

그 외에도 모터펌프를 지면에 고정하여 지지하는 받임대 등이 있다.

펌프부(18)는, 펌프부(18)내로 작동유체가 유입되는 통로인 흡입관과 유출되는 통로인 배출관 사이의 압력차를 만든다.

이러한 압력차를 만들기 위해서 모터부(14)의 회전력을 이용하여 펌프부(18)는 날개차나 기어 및 로터리를 회전시키고 유발된 압력차로 펌프부(18)의 내부에 충만되어 있는 작동유체는 흡입관에서 배출관으로 이송되게 된다.

모터부(14)는 전선케이블(16)로부터 공급되는 전기를 전자기력으로 변환하여 회전자의 회전을 유도하고 유도된 회전자의 회전력을 주축을 통해서 펌프부(18)로 전달한다.

격막은 모터부(14)의 이러한 전기적인 특성 때문에 작동유체로 충만되는 펌프부(18)와의 방수 및 방진의 역할을 한다.

모터부(14)와 전선케이블(16)을 연결하는 단자부분은 고전압으로 인해 취급시 주의가 요구되며 필요시 분리가 가능하도록 단자박스(12)를 두어 관리할 수 있게 했으며 단자박스(12)에는 볼트(11)로 체결한 단자뚜껑(10)을 만들어 점검과 분리작업시 개방할 수 있도록 하였다.

그러나 고압의 전류가 흐르는 단자부분은 모터부(14)에 높은 부하가 걸리거나 또는 모터부 및 전선의 노화로 부식되거나 하여 전선저항이 높아지고 열화되여 화재가 발생하거나 잦은 쇼트로 단전사고 내지 각종 감전사고의 원인이 되어 왔다.

특히, 반도체 공정에서 세정액 내지 화학용매로 광범위하게 사용되는 초순수물을 이송할 경우에 펌프부와 모터부 사이에 위치하는 격막과 내부재의 부식 마모로 인해서 펌프부로부터 누출된 물이 모터부로 유입되고 유입된 물이 단자박스로 누적되어 단자의 침수로 인한 방전 및 쇼트 등의 전기 사고와 모터부의 성능저하로 인한 설비의 수리가 빈번하게 발생했다.

일반적으로 금속재질의 단자뚜껑을 단자박스에 부착하여 단자들을 관리하던 종래의 방법은 단자박스내의 침수여부와 열화 및 쇼트를 단자뚜껑의 해제 없이 육안으로 확인할 수 없기 때문에 단자박스를 점검하기 위해서 볼트체결을 일일이 해제하여 단자를 확인하고 다시 볼트를 체결하는 일련의 점검과정이 매우 번거로울 뿐만이 아니라 장시간을 요하며 점검시에 안전을 위해서 단전검사를 하게 되는데 이때의 작업중단으로 인해서 생기는 손실을 막을 수 없었다. 따라서 작업에 차질이 없는 한도에서 일정한 주기를 두고 주기적으로 단자검사를 하거나 사고가 발생했을 때야 비로서 검사를 했었다.

또한, 도체의 단자뚜껑이 단자의 쇼트를 유발하고 단자가 방전했을 경우에는 작업자가 단자뚜껑의 개폐하거나 관리하기에 감전사고의 위험이 있었다.따라서 작업자의 안전을 고려하여 일상적인 점검에 어려움이 있었으며 또한, 주기적인 점검으로 돌발적인 사고를 예방할 수 없기 때문에 사고가 발생할 경우에 사고원인을 신속하게 파악하기 힘들고 따라서 전체설비로 사고가 확대되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 단자박스내의 침수여부와 단자의 열화 및 쇼트를 육안으로 확인하도록 투명한 절연재질의 단자뚜껑을 사용하여 뚜껑을 개폐하는 등의 번거로운 점검과정이 필요없고 점검시간동안에 작업을 계속할 수 있는 반도체 제조용 모터펌프를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 단자가 쇼트되고 방전되지 않도록 절연재질의 단자뚜껑을 사용하여 작업의 안전성을 높이는 반도체 제조용 모터펌프를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 손쉽게 일상적인 점검이 가능하도록 투명체의 단자뚜껑을 사용하여 격막 등의 내부재의 교체시기를 알아 돌발적인 사고를 미연에 방지하여 사고가 설비전체에 영향을 미치지 않도록 하는 반도체 제조용 모터펌프를 제공함에 있다.

도1은 종래의 반도체 제조용 모터펌프를 나타낸 사시도이다.

도2는 본 발명에 따른 반도체 제조용 모터펌프를 나타낸 사시도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10: 금속재질의 단자뚜껑 20: 투명 PVC단자뚜껑

11, 21: 볼트 12, 22: 단자박스

14, 24: 모터부 16, 26: 전선케이블

18, 28: 펌프부

상기의 목적은 모터구동을 위한 단자들을 보호하는 단자박스가 구비된 반도체 제조용 모터펌프에 있어서, 상기 단자박스에 내부의 단자를 육안으로 확인하는 것이 가능하도록 하는 투명체의 절연재질인 투명 PVC단자뚜껑을 고정하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 모터펌프에 의해 달성될 수 있다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명 한다.

도2는 본 발명에 따른 반도체 제조용 모터펌프의 바람직한 실시예를 나타낸 사시도이다.

도2를 참조하여 설명하면 반도체 제조용 모터펌프는 작동유체를 흡입하는 흡입관과 배출관이 펌프부(28)에 연결되어 펌프부(28)는 내부에 회전하는 날개차나 기어 및 로터리 등를 구비한다. 펌프부(28)와 모터부(24)는 펌프부(28)에 충만한 작동유체가 모터부(24)로 침투하는 것을 막는 격막으로 격리되어 펌프부(28)와 모터부(24)로 구분된다.

모터부(24)의 내부에는 회전자와 고정자로 이루어지며 회전자의 회전하는 중심축에 주축을 연결하여 모터부(24)의 회전력을 펌프부(28)로 전달하도록 하였다.

모터부(24)에 동력을 공급하기 위해서 전원에서 모터부(24)까지 전선케이블(26)을 연결하고 연결한 전선의 단자들을 한 곳에 모아서 관리하도록 한단자박스(22)를 구비한다.

이러한 통상의 반도체 제조용 모터펌프에서 본 발명의 반도체 제조용 모터펌프는 단자박스(22)에 내부의 단자를 육안으로 확인하는 것이 가능하도록 투명체의 절연재질로 만든 단자뚜껑(20)을 구비한다.

단자뚜껑(20)은 필요시에 개폐할 수 있게 볼트(21) 등으로 체결하고 상기 투명체의 절연재질은 투명 PVC가 바람직하다.

이러한 반도체 제조용 모터펌프의 동작을 설명하면, 먼저 도2에 도시된 바와 같이 흡입관과 배출관의 압력차를 만들기 위해 펌프부(28)는 내부에 회전하는 날개차가 내부에 충만한 작동유체에 원심력을 준다. 날개차 대신에 기어 및 로터리 등의 회전을 이용하여 작동유체의 체적을 변화시켜서 유동을 만드는 종류도 있다.

회전력은 모터부(24)의 주축으로부터 펌프부(28)에 전달되는데 모터부는 회전자와 고정자를 구비하며 회전자와 고정자의 상호 전자기적인 힘의 작용에 의해 회전자의 주축을 회전시키게 된다.

격막은 펌프부(28)와 모터부(24)를 격리시키고 펌프부(28)에서 유입되는 작동유체를 방지하는 방수의 기능을 한다.

그러나 격막은 모터부의(24)의 회전으로 마모되기 쉽고 그밖에 진동으로 인해 모터펌프 내부재가 마모로 미세한 틈이 생겨 작동유체가 유입하게 되고 유입된 작동유체로 인하여 모터부(24)의 하측면에 설치된 단자박스(22)가 침수된다. 이러한 경우 단자의 열화 및 쇼트는 물론이고 모터부(24)의 성능저하와 방치할 경우에는 모터부(24)의 파손을 유발하게 된다.

투명체의 절연재질인 투명 PVC단자뚜껑(20)은 단자박스(22)가 침수하는 것을 단자뚜껑의 해제 없이 육안으로 확인할 수 있도록 단자박스(22)에 고정 설치하여 사전에 격막 등의 내부재 교체시기를 알아 단자의 열화 및 쇼트를 예방하게 된다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조용 모터펌프에 의하면, 단자박스내의 침수여부와 단자의 열화 및 쇼트를 육안으로 확인하여 단자뚜껑을 개폐하는 등의 번거로운 점검과정이 필요없고 따라서 점검시간 동안의 작업중단이 없으며 단자뚜껑의 취급시에 안전하여 일상점검이 가능하고 격막 등의 내부재 교체시기를 알아 사고를 미연에 방지할 수 있는 효과를 갖는 것이다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (3)

1. 모터구동을 위한 단자들을 보호하는 단자박스가 구비된 반도체 제조용 모터펌프에 있어서,

   상기 단자박스에 내부의 단자를 육안으로 확인하는 것이 가능하도록 투명체의 단자뚜껑을 고정하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 모터펌프.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 투명체의 단자뚜껑은 절연재질임을 특징으로 하는 반도체 제조용 모터펌프.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 절연재질은 투명 PVC임을 특징으로 하는 반도체 제조용 모터펌프.