KR19980066574U - Ionizer antistatic device - Google Patents

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Abstract

본 고안은 각종 장비나 제품에 대전되어 있는 정전기를 제거하는 이오나이저(ionizer) 제전 장치에 관한 것으로서, 특히 이오나이저의 몸체 단면이 유선형으로 형성되고 상기 이오나이저 하단에 설치된 에미터 측의 상기 몸체 외측면에 상단에서 하단까지 길게 가이드 홈이 형성되어, 필터를 통과하여 상기 이오나이저를 지나는 기류가 층류 유동을 함과 동시에 상기 가이드 홈을 따라 유도되어 더 강한 흐름을 형성함으로써 제전 대상물의 제전 시간이 감소되고 역대전이 방지되어 제전 성능이 향상되도록 하는 이오나이저 제전 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an ionizer antistatic device that removes static electricity charged in various equipment or products, and in particular, the body section of the ionizer is formed in a streamlined shape, and the other side of the body on the emitter side installed at the bottom of the ionizer. Guide grooves are formed on the side from the top to the bottom, and the air flow passing through the filter through the ionizer flows through the laminar flow and is led along the guide groove to form a stronger flow, thereby reducing the static elimination time of the static elimination object. The present invention relates to an ionizer antistatic device for preventing reverse charging and improving antistatic performance.

Description

이오나이저 제전 장치Ionizer antistatic device

본 고안은 각종 장비나 제품 등에 대전된 정전기를 제거하는 이오나이저(ionizer) 제전 장치에 관한 것으로서, 특히 상부 기류를 이용하여 대상물에 대전된 정전기를 제거하는 다운 플로우형(Down Flow)형 이오나이저 제전 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an ionizer antistatic device for removing static electricity charged in various equipment or products, and particularly, a down flow type ionizer static elimination for removing static electricity charged to an object using an upper airflow. Relates to a device.

일반적인 다운 플로우형 이오나이저 제전 장치는 도 1에 도시된 바와 같이 이온화를 진행하여 음이온 또는 양이온을 공급하는 이오나이저(1)와, 상기 이오나이저(1)를 지지하는 지지대(5)와, 상기 이오나이저(1)에 전원을 인가하는 전선(6)과, 상기 이오나이저(1)의 상측에 위치되어 기류의 불순물을 걸러주는 필터(7)와, 상기 이오나이저(1)에 의해 제전되는 기판(9)을 고정하는 진공 패드(8)를 포함하여 구성된다.A general downflow ionizer static eliminator includes an ionizer (1) for supplying anions or cations by ionization as shown in FIG. 1, a support (5) for supporting the ionizer (1), and the ionizer A wire 6 for supplying power to the ionizer 1, a filter 7 positioned above the ionizer 1 to filter out impurities in the airflow, and a substrate charged by the ionizer 1 And a vacuum pad 8 for fixing 9).

여기서, 상기 이오나이저(1)는 그 내부에 가스가 저장된 몸체(2)와, 상기 몸체(2)의 하단에 설치되고 상기 전선(6)에 의해 고전압으로 인가되어 음이온 또는 양이온을 방사시키는 에미터(3)와, 상기 에미터(3)의 주위에 장착되어 상기 에미터(3)를 보호하는 보호캡(4)을 포함하여 구성되어 있다.Here, the ionizer 1 is an emitter that emits anions or cations by applying a high voltage by the body (2) and the lower end of the body (2) and the wire (6) is stored therein the gas (2) (3) and a protective cap (4) mounted around the emitter (3) to protect the emitter (3).

상기와 같이 구성된 이오나이저 제전 장치에 사용되는 종래 기술에 의한 이오나이저(1)는 도 2a와 같이 상기 몸체(2)의 상단부와 하단부의 모서리가 모두 각형으로 형성된 것과, 도 2b와 같이 상기 몸체(2)의 상단부는 모서리가 각형이고 하단부의 모서리는 곡형으로 형성된 것과, 도 2c와 같이 상기 몸체(2)의 상단부와 하단부의 모서리가 모두 곡형으로 형성된 것이 있다.The ionizer 1 according to the prior art used in the ionizer antistatic device configured as described above is formed in the corners of both the upper end and the lower end of the body 2, as shown in Figure 2a, as shown in Figure 2b 2) the upper end of the corner is a corner and the lower end of the corner is formed in a curved shape, as shown in Figure 2c the upper end and the lower end of the body 2 are all formed in a curved shape.

상기와 같이 구성된 이오나이저 제전 장치의 동작은 다음과 같다.Operation of the ionizer antistatic device configured as described above is as follows.

먼저, 상기 필터(7)를 통해 불순물을 제거한 청정 공기를 상기 이오나이저(1)를 향하여 불어 보낸다. 이후, 상기 이오나이저(1)에 연결된 전선(6)에 의해 상기 에미터(3)가 고전압으로 인가되면, 상기 에미터(3)에서 발생된 이온이 기판(9)을 향하여 방사된다. 이때, 상기 이온은 상기 진공 패드(8) 위에 올려진 기판(9)까지 상기 필터(7)를 통과하여 나오는 기류에 의해 전달되어 상기 기판(9) 상에 대전되어 있는 정전기를 제거한다.First, clean air from which impurities are removed through the filter 7 is blown toward the ionizer 1. Thereafter, when the emitter 3 is applied at a high voltage by the wire 6 connected to the ionizer 1, ions generated in the emitter 3 are radiated toward the substrate 9. At this time, the ions are transferred by the airflow passing through the filter 7 to the substrate 9 mounted on the vacuum pad 8 to remove the static electricity charged on the substrate 9.

그러나 종래 기술에 따른 이오나이저 제전 장치는 상기 이오나이저(1)의 몸체(2)가 공기의 저항을 많이 받는 형상이므로 상기 필터(7)를 통과하여 나온 기류가 상기 이오나이저(1)를 지날 때 상기 이오나이저(1)의 상단부 측에서 난류 유동이 형성되게 된다. 이와 같이 난류 유동이 형성되면 공기의 흐름에 일정한 와류가 형성되어 상기 기류가 불규칙한 운동을 하게 되므로 상기 에미터(3)로부터 방사된 이온의 일부가 상기 기판(9)으로 전달되지 못하게 된다.However, the ionizer antistatic device according to the prior art has a shape in which the body 2 of the ionizer 1 receives a lot of air resistance, so when the airflow passing through the filter 7 passes through the ionizer 1. Turbulent flow is formed at the upper end side of the ionizer 1. When the turbulent flow is formed in this way, a constant vortex is formed in the flow of air, and thus the air flow is in an irregular motion so that some of the ions radiated from the emitter 3 cannot be transferred to the substrate 9.

따라서, 상기 기판(9) 상의 정전기가 중화되는 시간이 길어지고, 상기 기판(9)에 역대전이 일어나게 되며, 상기 기판(9)에 도달되는 이온의 양이 불안정하게 되어 제전 성능이 저하되는 문제점이 있다. 또한, 이오나이저 제전 장치의 운영비가 증가되고 장치의 유지 관리가 어려워지는 문제점이 있다.Therefore, the time for which the static electricity on the substrate 9 is neutralized becomes long, reverse charge occurs on the substrate 9, and the amount of ions reaching the substrate 9 becomes unstable, which lowers the static elimination performance. have. In addition, there is a problem that the operating cost of the ionizer antistatic device is increased and the maintenance of the device becomes difficult.

본 고안은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 필터를 통과하여 나온 기류의 흐름이 층류를 유지하도록 이오나이저의 형상을 변화시킴으로써 제전 성능이 향상되도록 하는 이오나이저 제전 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, to provide an ionizer static elimination device to improve the antistatic performance by changing the shape of the ionizer to maintain the laminar flow of air flow through the filter to provide a The purpose is.

도 1은 일반적인 이오나이저 제전 장치가 도시된 구성도.1 is a configuration diagram showing a typical ionizer antistatic device.

도 2a, 도 2b, 도 2c는 종래 기술에 따른 이오나이저의 형상이 도시된 측면도.Figures 2a, 2b, 2c is a side view showing the shape of the ionizer according to the prior art.

도 3은 본 고안에 따른 이오나이저의 일 실시 예가 도시된 구성도,3 is a configuration diagram showing an embodiment of the ionizer according to the present invention,

도 4는 본 고안의 일 실시 예에 따른 이오나이저가 도시된 측면도,4 is a side view showing the ionizer according to an embodiment of the present invention,

도 5는 본 고안에 따른 이오나이저의 다른 실시 예가 도시된 구성도이다.5 is a configuration diagram showing another embodiment of the ionizer according to the present invention.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

51 : 이오나이저 61 : 몸체51: ionizer 61: body

62 : 가이드 홈 65 : 유선캡62: guide groove 65: wired cap

상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 이오나이저 제전 장치의 특징은, 이오나이저의 하단에 설치된 에미터를 통해 이온을 방사하여 제전 대상물에 대전된 정전기를 제거하는 이오나이저 제전 장치에 있어서, 상기 이오나이저는 그 몸체의 단면이 유선형으로 형성된 것이다.A feature of the ionizer antistatic device according to the present invention for achieving the above object is, in the ionizer antistatic device to remove the static electricity charged on the object to be discharged by emitting ions through an emitter installed at the bottom of the ionizer, The ionizer is formed in a streamlined cross section of the body.

또한, 본 고안의 부가적인 특징은, 상기 이오나이저는 상기 에미터 근처의 몸체 외측면에 상단에서 하단까지 길게 가이드 홈이 형성되는데 있다.In addition, an additional feature of the present invention is that the ionizer is formed with a guide groove extending from the top to the bottom on the outer surface of the body near the emitter.

또한, 본 고안에 따른 이오나이저 제전 장치는 이오나이저의 하단에 설치된 에미터를 통해 이온을 방사하여 제전 대상물에 대전된 정전기를 제거하는 이오나이저 제전 장치에 있어서, 상기 이오나이저는 그 몸체의 상단에 호형의 단면을 갖는 유선캡이 끼워진 것을 특징으로 한다.In addition, the ionizer antistatic device according to the present invention in the ionizer antistatic device to remove the static electricity charged on the object to be discharged by emitting ions through an emitter installed at the bottom of the ionizer, the ionizer is at the top of the body A wired cap having an arc-shaped cross section is fitted.

또한, 상기와 같이 구성된 본 고안은 상기 필터를 통과하여 상기 이오나이저를 지나는 기류가 층류 유동을 함과 동시에 상기 가이드 홈을 따라 유도되어 더 강한 흐름을 형성함으로써 제전 대상물의 제전 처리 시간이 감소되고 역대전이 방지되어 제전 성능이 향상되는 이점이 있다.In addition, the present invention configured as described above, the air flow passing through the filter and passing through the ionizer has a laminar flow flow and is guided along the guide groove to form a stronger flow, thereby reducing the static elimination processing time of the static elimination object and the reverse There is an advantage that the antistatic transfer is improved to improve the antistatic performance.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 실시 예를 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the present invention.

도 3은 본 고안에 따른 이오나이저의 일 실시 예가 도시된 구성도, 도 4a는 본 고안에 따른 이오나이저의 일 실시 예가 도시된 정면도, 도 4b는 도 4a의 측면도, 도 5는 본 고안에 따른 이오나이저의 다른 실시 예가 도시된 구성도이다.Figure 3 is a block diagram showing an embodiment of the ionizer according to the present invention, Figure 4a is a front view showing an embodiment of the ionizer according to the present invention, Figure 4b is a side view of Figure 4a, Figure 5 is the present invention Another embodiment of the ionizer according to the configuration is shown.

본 고안에 따른 이오나이저 제전 장치는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 이온화를 진행하여 음이온 또는 양이온을 공급하는 이오나이저(51)와, 상기 이오나이저(51)를 지지하는 지지대(55)와, 상기 이오나이저(51)에 전원을 인가하는 전선(56)과, 상기 이오나이저(51)의 상측에 위치되어 기류의 불순물을 제거하는 필터(57)와, 상기 이오나이저(51)에 의해 제전되는 제전 대상물(59)을 고정하는 진공 패드(58)를 포함하여 구성된다.The ionizer static eliminator according to the present invention includes an ionizer 51 for supplying anions or cations by ionization as shown in FIGS. 3 and 4, a support 55 for supporting the ionizer 51, and And an electric wire 56 for supplying power to the ionizer 51, a filter 57 positioned above the ionizer 51 to remove impurities in the airflow, and an ionizer 51. It is configured to include a vacuum pad 58 for fixing the antistatic object 59 to be.

여기서, 상기 이오나이저(51)는 그 단면이 유선형으로 형성되어 그 내부에 가스가 저장된 몸체(61)와, 상기 몸체(61)의 하단에 설치되고 상기 전선(56)에 의해 고전압으로 인가되어 음이온 또는 양이온을 방사시키는 에미터(53)와, 상기 에미터(53)의 주위에 장착되어 상기 에미터(53)를 보호하는 보호캡(54)을 포함하여 구성되어 있다.Here, the ionizer 51 is formed in a streamlined cross-section of the body 61, the gas is stored therein, and is installed at the lower end of the body 61 and is applied at a high voltage by the wire 56 to the negative ion Or an emitter 53 for emitting cations and a protective cap 54 mounted around the emitter 53 to protect the emitter 53.

또한, 상기 몸체(61)는 상기 에미터(53) 근처의 외측면에 상단에서 하단까지 길게 가이드 홈(62)이 형성된다.In addition, the body 61 is formed with a guide groove 62 extending from the upper end to the lower end on the outer surface near the emitter 53.

상기와 같이 구성된 본 고안에 따른 이오나이저 제전 장치는 다음과 같이 동작된다.The ionizer antistatic device according to the present invention configured as described above is operated as follows.

먼저, 상기 필터(57)를 통해 불순물을 제거한 청정 공기의 기류를 상기 이오나이저(51)를 향하여 불어 보낸다. 이때, 상기 몸체(61)는 그 단면이 유선형으로 형성되고 상기 에미터(53) 근처의 외측면에 상단에서 하단까지 길게 가이드 홈(62)이 형성되어 있으므로, 상기 기류는 각 분자가 서로 층을 이루어 나란히 흐르는 층류 유동을 하고 상기 가이드 홈(62)을 따라서 유도되어 더 강한 흐름을 형성하게 된다.First, a stream of clean air from which impurities are removed through the filter 57 is blown toward the ionizer 51. At this time, the body 61 is formed in a streamlined cross-section and the guide groove 62 is formed long from the top to the bottom on the outer surface near the emitter 53, the air flow is a layer of each molecule Laminar flow flowing side by side and guided along the guide groove 62 to form a stronger flow.

이후, 상기 이오나이저(51)에 연결된 전선(56)에 의해 상기 에미터(53)가 고전압으로 인가되면, 상기 에미터(53)에서 발생된 이온이 제전 대상물(59)을 향하여 방사된다. 이때, 상기 이온은 상기 진공 패드(58) 위에 올려진 제전 대상물(59)까지 상기 필터(57)를 통과하여 나오는 기류에 의해 전달되어 상기 제전 대상물(9) 상에 대전되어 있는 정전기를 제거한다.Subsequently, when the emitter 53 is applied at a high voltage by the wire 56 connected to the ionizer 51, the ions generated by the emitter 53 are radiated toward the antistatic object 59. At this time, the ions are transmitted by the airflow passing through the filter 57 to the antistatic object 59 placed on the vacuum pad 58 to remove the static electricity charged on the antistatic object 9.

한편, 본 고안에 따른 이오나이저 제전 장치의 다른 실시 예는 도 5에 도시된 바와 같이 이오나이저(1)의 몸체(2) 상단에 호형의 단면을 갖는 유선캡을 끼움으로써, 상기 이오나이저(1)를 개조하지 않고도 공기에 대한 저항을 줄여 난류 유동을 억제할 수 있으므로, 별도의 설비 투자 없이 종래의 설비를 그대로 사용하면서 제전 성능을 향상시킬 수 있게 된다. 이외의 구성과 동작은 상기한 일 실시 예와 유사하다.On the other hand, another embodiment of the ionizer antistatic device according to the present invention by inserting a wired cap having an arc-shaped cross section on the top of the body (2) of the ionizer 1, the ionizer (1) Since the turbulent flow can be suppressed by reducing the resistance to air without remodeling), it is possible to improve the static elimination performance while using the conventional equipment without additional equipment investment. Other configurations and operations are similar to the above-described embodiment.

본 고안에 따른 이오나이저 제전 장치는 이오나이저(51)의 몸체(61) 단면이 유선형으로 형성되고 상기 이오나이저(51) 하단에 설치된 에미터(53) 근처의 상기 몸체(61) 외측면에 상단에서 하단까지 길게 가이드 홈(62)이 형성되어, 필터(57)를 통과하여 상기 이오나이저(51)를 지나는 기류가 층류 유동을 함과 동시에 상기 가이드 홈(62)을 따라 유도되어 더 강한 흐름을 형성함으로써, 제전 대상물(59)의 제전 처리 시간이 감소되고 역대전이 방지되어 제전 성능이 향상되는 이점이 있다.The ionizer antistatic device according to the present invention is formed in a streamlined cross-section of the body 61 of the ionizer 51 and has an upper end on the outer surface of the body 61 near the emitter 53 installed at the bottom of the ionizer 51. The guide groove 62 is formed to extend from the lower end to the lower end, so that the airflow passing through the filter 57 and passing through the ionizer 51 undergoes laminar flow and is led along the guide groove 62 to provide a stronger flow. By forming it, there is an advantage that the antistatic treatment time of the antistatic object 59 is reduced and reverse charging is prevented to improve the antistatic performance.

또한, 본 고안은 상기 에미터(53)로부터 상기 제전 대상물(59)로 전달되는 이온의 양이 일정하게 유지되어 이온량의 조절이 용이하고, 그에 따라 장치의 유지 및 관리가 용이하여 운영비가 절감되는 이점이 있다.In addition, the present invention maintains a constant amount of ions transferred from the emitter 53 to the antistatic object 59 is easy to control the amount of ions, and thus easy to maintain and manage the device to reduce operating costs There is an advantage.

Claims (3)

이오나이저의 하단에 설치된 에미터를 통해 이온을 방사하여 제전 대상물에 대전된 정전기를 제거하는 이오나이저 제전 장치에 있어서,In the ionizer antistatic device to remove the static electricity charged on the object to be discharged by emitting ions through an emitter installed at the bottom of the ionizer, 상기 이오나이저는 그 몸체의 단면이 유선형으로 형성된 것을 특징으로 하는 이오나이저 제전 장치.The ionizer is an ionizer antistatic device, characterized in that the cross section of the body is formed in a streamlined. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이오나이저는 상기 에미터 근처의 몸체 외측면에 상단에서 하단까지 길게 가이드 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 이오나이저 제전 장치.The ionizer antistatic device, characterized in that the guide groove is formed long from the top to the bottom on the outer surface of the body near the emitter. 이오나이저의 하단에 설치된 에미터를 통해 이온을 방사하여 제전 대상물에 대전된 정전기를 제거하는 이오나이저 제전 장치에 있어서,In the ionizer antistatic device to remove the static electricity charged on the object to be discharged by emitting ions through an emitter installed at the bottom of the ionizer, 상기 이오나이저는 그 몸체의 상단에 호형의 단면을 갖는 유선캡이 끼워진 것을 특징으로 하는 이오나이저 제전 장치.The ionizer is an ionizer antistatic device, characterized in that the wired cap having an arc-shaped cross section is fitted to the top of the body.
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KR100955456B1 (en) * 2006-10-31 2010-04-29 에스엠시 가부시키가이샤 Ionizer

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KR100420979B1 (en) * 2000-01-17 2004-03-02 샤프 가부시키가이샤 Ionizer
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