KR19980030957A - Semiconductor Electron Generator - Google Patents
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Abstract
복수개의 일렉트론 캐소드로 구비되는 필라멘트를 이용하여 사용시간을 개선시킨 반도체 일렉트론 발생장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor electron generating device having improved use time by using a filament provided with a plurality of electron cathodes.
본 발명은, 일렉트론과의 충돌로 중성가스를 이온화시키기 위하여 일렉트론 캐소드 및 일렉트론 어노드로 이루어지는 필라멘트가 구비되는 반도체 일렉트론 발생장치에 있어서, 복수개로 구비되는 상기 일렉트론 캐소드, 공정수행시 상기 복수개의 일렉트론 캐소드 중 하나의 일렉트론 캐소드만을 이용하기 위하여 선택적으로 전원공급을 변환인가할 수 있도록 구비되는 전원공급변환부 및 상기 전원공급의 인가여부를 확인할 수 있도록 구비되는 전원공급확인부를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다.The present invention relates to a semiconductor electron generating device comprising a filament consisting of an electron cathode and an electron anode in order to ionize neutral gas by collision with an electron, wherein the electron cathode is provided in plurality, and the plurality of electron cathodes during the process It is characterized in that it comprises a power supply conversion unit provided to selectively convert the power supply in order to use only one of the electron cathode and the power supply confirmation unit provided to confirm whether the power supply is applied.
따라서, 본 발명에 의하면 필라멘트의 수명연장 및 단선여부의 용이한 확인으로 생산성을 극대화시키는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, there is an effect of maximizing productivity by easily checking whether the filament is extended and disconnected.
Description
본 발명은 반도체 일렉트론 발생장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수개의 일렉트론 캐소드(Electron Cathode)로 구비되는 필라멘트(Filament)를 이용하여 사용시간을 개선시킨 반도체 일렉트론 발생장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor electron generating device, and more particularly, to a semiconductor electron generating device having improved use time by using a filament provided with a plurality of electron cathodes.
일반적으로 반도체 제조에서는 일렉트론과의 충돌로 불활성가스를 이온화시켜 공정을 수행할 수 있도록 이온 건(Ion Gun) 내에 일렉트론을 발생시키는 필라멘트를 구비하는 일렉트론 발생장치를 이용한다.In general, semiconductor manufacturing uses an electron generating apparatus having a filament for generating an electron in an ion gun so as to ionize an inert gas by collision with the electron and perform a process.
도1은 종래의 반도체 일렉트론 발생장치를 나타내는 모식도이다.1 is a schematic diagram showing a conventional semiconductor electron generator.
먼저, 일렉트론을 발생시키기 위하여 일렉트론 캐소드(10) 및 일렉트론 어노드(Anode)(12)로 이루어지는 필라멘트(1)가 구비되어 있다.First, a filament 1 composed of an electron cathode 10 and an electron anode 12 is provided to generate an electron.
그리고 필라멘트(1)의 일렉트론 캐소드(10)에 전원을 공급하기 위하여 전원공급부(2)가 구비되어 있다.In addition, a power supply unit 2 is provided to supply power to the electron cathode 10 of the filament 1.
종래의 필라멘트(1)는 일렉트론 어노드(12)를 중심으로 일렉트론 캐소드(10)가 하나만 구비되어 있었다.The conventional filament 1 was provided with only one electron cathode 10 around the electron anode 12.
그래서 이온을 발생시키는 필라멘트(1)는 빈번한 일렉트론 캐소드(10)의 단선으로 인해 그 수명이 짧았고, 그에 상당하는 교체작업이 수행되었다.Thus, the filament 1 for generating ions has a short life due to frequent disconnection of the electron cathode 10, and a corresponding replacement work has been performed.
또한 공정수행 중 일렉트론 캐소드(10)가 단선이 되어도 그 단선여부를 확인할 수 없었다.In addition, even if the electro-electrode cathode 10 was disconnected during the process, it was not possible to confirm the disconnection.
이로 인해 이온화되지 않은 가스를 공급받아 공정이 수행되는 경우도 발생하였다.As a result, the process may be performed by receiving gas that is not ionized.
따라서 종래의 일렉트론 발생장치의 필라멘트는 그 수명이 짧았고, 일렉트론 캐소드의 단선의 여부를 확인할 수 없어 생산성을 저하시키는 문제점이 있었다.Therefore, the filament of the conventional electron generating apparatus has a short lifespan, there is a problem that can not determine whether the electron cathode is disconnected, there is a problem that lowers the productivity.
본 발명의 목적은, 일렉트론을 발생시키는 필라멘트의 수명연장 및 단선여부의 확인으로 생산성을 극대화시키기 위한 반도체 일렉트론 발생장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a semiconductor electron generating device for maximizing productivity by extending the life of the filament generating the electron and confirming disconnection.
도1은 종래의 반도체 일렉트론 발생장치를 나타내는 모식도이다.1 is a schematic diagram showing a conventional semiconductor electron generator.
도2는 본 발명에 따른 반도체 일렉트론 발생장치의 실시예를 나타내는 모식도이다.Fig. 2 is a schematic diagram showing an embodiment of a semiconductor electron generation device according to the present invention.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of symbols for main parts of drawing
1, 3 : 필라멘트 2, 4 : 전원공급부1, 3: filament 2, 4: power supply
5 : 전원공급변환부 6 : 전원공급확인부5: power supply conversion unit 6: power supply confirmation unit
10, 30 : 일렉트론 캐소드 12, 32 : 일렉트론 어노드10, 30: electron cathode 12, 32: electron anode
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 일렉트론 발생장치는, 일렉트론과의 충돌로 중성가스를 이온화시키기 위하여 일렉트론 캐소드 및 일렉트론 어노드로 이루어지는 필라멘트가 구비되는 반도체 일렉트론 발생장치에 있어서, 복수개로 구비되는 상기 일렉트론 캐소드, 공정수행시 상기 복수개의 일렉트론 캐소드 중 하나의 일렉트론 캐소드만을 이용하기 위하여 선택적으로 전원공급을 변환인가할 수 있도록 구비되는 전원공급변환부 및 상기 전원공급의 인가여부를 확인할 수 있도록 구비되는 전원공급확인부를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다.A semiconductor electron generating device according to the present invention for achieving the above object is a semiconductor electron generating device having a filament composed of an electron cathode and an electron anode in order to ionize a neutral gas by collision with an electron, the plurality of which is provided A power supply conversion unit and a power supply conversion unit provided to selectively convert a power supply to use only one electron cathode of the plurality of electron cathodes during the process of performing the electron cathode and the process are provided to confirm whether the power supply is applied or not. Characterized in that it is provided with a power supply confirmation.
그리고 상기 전원공급변환부는 로터리 전환스위치로 이루어지는 것이 바람직하다.The power supply conversion unit is preferably made of a rotary switching switch.
또한 상기 전원공급확인부는 램프로 이루어져서 상기 램프의 온/오프로 전원공급을 확인하는 것이 효율적이다.In addition, the power supply confirmation unit is made of a lamp, it is efficient to check the power supply by the on / off of the lamp.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도2는 본 발명에 따른 반도체 일렉트론 발생장치의 실시예를 나타내는 모식도이다.Fig. 2 is a schematic diagram showing an embodiment of a semiconductor electron generation device according to the present invention.
먼저, 일렉트론을 발생시키기 위하여 복수개의 일렉트론 캐소드(30)의 중심으로 일렉트론 어노드(32)가 구비되어 이루어지는 필라멘트(3) 및 필라멘트(3)의 일렉트론 캐소드(30)에 전원을 공급하기 위하여 전원공급부(4)가 구비된다.First, a power supply unit for supplying power to the filament 3 and the electron cathode 30 of the filament 3 is provided with an electron anode 32 in the center of the plurality of electron cathode 30 to generate an electron (4) is provided.
그리고 공정수행시 복수개의 일렉트론 캐소드(30) 중 하나의 일렉트론 캐소드에만 전원공급을 인가하는 전원공급변환부(5) 및 전원공급의 인가여부를 확인하는 전원공급확인부(6)가 구비된다.In addition, a power supply converting unit 5 for supplying power to only one of the plurality of electron cathodes 30 during the process is provided, and a power supply checking unit 6 for confirming whether the power supply is applied.
여기서 전원공급변환부(5)는 로터리(Rotary) 전환스위치를 이용하는 것이 효율적이고, 또한 전원공급확인부(6)는 램프(Lamp)로 구비되어 램프의 온/오프(On/Off)확인으로 전원공급의 인가여부를 확인하는 것이 효율적이다.Here, the power supply conversion unit 5 is efficient to use a rotary switch, the power supply confirmation unit 6 is provided with a lamp (Lamp) to check the power on / off (On / Off) It is efficient to check whether the supply is approved.
이러한 구성으로 이루어지는 본 발명은, 공정수행시 필라멘트(3)의 일렉트론 캐소드(30)가 단선이 되어도 전원공급변환부(5)를 조작하여 다른 일렉트론 캐소드를 이용하면 계속적으로 공정을 수행할 수 있어 그 수명을 연장시킨다.According to the present invention having such a configuration, even when the electromagnet 30 of the filament 3 is disconnected during the process, the process can be continuously performed by using the other electromagnet by operating the power supply conversion unit 5. Extends life
또한 공정수행시 일렉트론 캐소드(30)의 단선여부를 전원공급확인부(6)로 용이하게 확인할 수 있어 효율적인 공정수행을 유도할 수 있다.In addition, it is possible to easily check whether the disconnection of the electro-electron cathode 30 at the time of performing the process, thereby inducing efficient process performance.
즉, 공정수행시 필라멘트(3)의 일렉트론 캐소드(30)가 단선이 되면 전원공급확인부(6)를 이용하여 단선여부를 확인한 후 전원공급변환부(5)를 조작하여 복수개로 구비되는 일렉트론 캐소드(30) 중 단선이 되지 않은 일렉트론 캐소드를 이용하면 계속적으로 일렉트론을 발생시킬 수 있는 것이다.In other words, if the electromagnet 30 of the filament 3 is disconnected during the process, the electromagnet provided with a plurality of electron cathodes is operated by checking the disconnection using the power supply confirmation unit 6 and then manipulating the power supply converter 5. If the electron cathode is not disconnected in (30), the electron can be continuously generated.
따라서, 본 발명에 의하면 필라멘트의 수명연장 및 단선의 여부의 용이한 확인으로 생산성을 극대화시키는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, there is an effect of maximizing productivity by easily checking whether the filament is extended and disconnected.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960050438A KR19980030957A (en) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | Semiconductor Electron Generator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960050438A KR19980030957A (en) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | Semiconductor Electron Generator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980030957A true KR19980030957A (en) | 1998-07-25 |
Family
ID=66315860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960050438A KR19980030957A (en) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | Semiconductor Electron Generator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19980030957A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100706799B1 (en) * | 2005-10-07 | 2007-04-12 | 삼성전자주식회사 | Filament member and ion source of an ion implantation apparatus having the filament member |
-
1996
- 1996-10-30 KR KR1019960050438A patent/KR19980030957A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100706799B1 (en) * | 2005-10-07 | 2007-04-12 | 삼성전자주식회사 | Filament member and ion source of an ion implantation apparatus having the filament member |
| US7652264B2 (en) | 2005-10-07 | 2010-01-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Filament member, ion source, and ion implantation apparatus |
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