KR19980027916U - 누설액체 감지장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 소정의 저장탱크 등으로부터 누설되는 액체물질을 감지하기 위한 누설액체 감지장치에 관한 것으로, 소정의 간격을 두고 배치된 두 가닥의 제 1 도체와 제 2 도체가 소정의 저항체(R)를 통해 연결된 센서부와; 그 센서부에 소정의 전원을 인가함과 아울러 그에 따라 센서부에 흐르는 전류를 검출함으로써 그 센서부의 저항을 검출하는 것으로, 누설액체에 의한 상기 센서부의 저항값 변화 뿐만 아니라 그 센서부의 불량에 따른 저항값 변화를 검출할 수 있는 리크감지부로 구성되는 것을 특징으로 한다. 이때, 상기 리크감지부는, 액체가 누설됨에 따라 정상적인 저항값(R) 보다 낮아지게 되는 센서부의 저항값(R₁)을 감지할 수 있도록, 상기 정상적인 저항값(R) 보다 작은 소정의 제 1 기준저항값(R_DS1)으로 설정/셋팅된 제 1 리크감지기와, 제 1 센싱도체 또는 제 2 센싱도체가 단선됨에 따라 무한대(∞)로 증가하게 되는 센서부의 저항값을 감지할 수 있도록, 상기 정상적인 저항값(R) 보다 큰 소정의 제 2 기준저항값(R_DS2)으로 설정/셋팅된 제 2 리크감지기로 구성될 수 있다. 이와 같은 본 고안은, 액체가 누설된 경우 뿐만 아니라 그 누설을 감지하는 센서부의 불량을 감지할 수 있는 효과가 있다.

Description

누설액체 감지장치

본 고안은 소정의 저장탱크 등으로부터 누설되는 액체물질을 감지하기 위한 누설액체 감지장치에 관한 것으로, 특히 누설된 액체에 의하여 그의 저항이 변함에 따라 그 액체의 누설여부를 감지하게 되는 센서부를 통해 액체물질의 누설여부를 감지할 수 있을 뿐만 아니라 그 센서부의 불량(단선)을 감지할 수 있도록 한 누설액체 감지장치에 관한 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술에 대해서 상세히 설면한다.

도 1은 수용액이나 화학물질 등을 사용하는 반도체소자 제조장치에서 상기 수용액이나 화학물질이 저장탱크로부터 누설되는지를 감시하도록 구성된 종래 기술에 따른 누설액체 감지장치의 구성회로도이고, 도 2는 상기 도 1에 블럭으로 도시된 리크감지기의 출력을 나타낸 파형도로서, 이를 참조하여 구성과 동작에 대해서 설명하면 다음과 같다.

우선, 구성에 대해서 살펴보면, 도 1에 도시된 바와 같이 소정의 간격을 두고 배치된 두 가닥의 제 1 센싱도체(21)와 제 2 센싱도체(22)가 개방되어 있는 센서부와; 그 센서부에 소정의 전원을 인가함과 아울러 그에 따른 전류를 검출하여 액체물질의 누설여부를 간단히 판단할 수 있는 신호(저항값)로 출력하는 리크감지기(LEAK DETECTER) (10)로 구성됨을 알 수 있다.

이때, 상기 리크감지기(10)의 출력은, 도 2에 도시된 바와 같이 각 상황에 따른 제 1 센싱도체(21)와 제 2 센싱도체(22) 사이의 저항값으로 누설여부를 표시하는데, 액체가 누설되지 않은 경우(T₁이전)에는 무한대(∞)를 출력하고, 액체(60)가 누설됨으로써 제 1 센싱도체(21)와 제 2 센싱도체(22)가 연결된 경우(T₁이후)에는 그 액체(60)의 저항에 따른 값(R₁)을 출력한다. 이때, 상기 리크감지기(10)에는 액체(60)의 누설여부의 판단하기 위한 소정의 기준저항값(DETECTER SETPOINT;R_DS)이 셋팅되어 있는데, 그 기준저항값(R_DS)은 상기 리크감지기(10)의 출력이 그 보다 작은 경우(R_DSR₁)에 액체가 누설된 것으로 판단할 수 있도록 적절한 값으로 설정/세팅된다.

이와 같이 구성된 종래 누설액체 감지장치의 동작에 대해서 설명하면 다음과 같다.

리크감지기(10)가 제 1 센싱도체(21)와 제 2 센싱도체(22) 사이에 소정의 전위차(V)를 형성시킴과 아울러 그 제 1 센싱도체(21)와 제 2 센싱도체(22) 사이에 흐르는 전류를 검출하여 그에 대응하는 저항을 출력하는데, 그 출력은 제 1 센싱도체(21)와 제 2 센싱도체(22) 사이에 절연물질만이 있으면 무한대(∞)가 되고, 소정의 전도성 물질이 그들을 연결하면 그 전동성 물질의 저항(R₁)이 된다.

일예로, 도 2에 도시된 바와 같이 처음에는 무한대를 출력하다가, 1에 도시된 바와 같이 소정의 액체물질(60)이 제 1 센싱도체(21)와 제 2 센싱도체(22)를 연결하게 되면, 그 액체물질(60)을 통해 제 1 센싱도체(21)와 제 2 센싱도체(22) 사이를 흐르는 전류를 검출하여 상기 액체물질(60)의 저항(R₁)을 출력한다. 따라서, 조작자는 상기와 같은 출력(R₁)과 세팅된 기준저항값(R_DS)을 통해 액체의 누설여부를 판단하게 되는데, 상기와 같이 출력저항값(R₁)이 기준저항값(R_DS) 보다 작은 경우에는 액체가 누설되었음을 쉽게 판단할 수 있다. 그리고, 그 판단결과에 따라 장비에 대한 조치를 취하여 액체가 누설되지 않도록 한다.

그러나, 상기와 같은 종래 기술은, 도 3에 도시된 바와 같이 제 1 센싱도체나 제 2 센싱도체가 단선됨과 아울러 누설된 액체가 단선된 부분을 연결하게 되면, 도 4에 도시된 바와 같이 리크감지기가 무한대를 출력하게 되므로 액체의 누설여부를 감지해 내지 못하게 되는 문제점이 있었다.

이에 본 고안은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 액체물질의 누설을 감지할 수 있을 뿐만 아니라 상기와 같이 누설여부를 감지하는 센서부의 불량(단선)여부를 감지할 수 있도록 함으로써, 액체물질의 누설과 장치의 불량(단선)을 구분하여 감지할 수 있도록 한 누설액체 감지장치를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 누설액체 감지장치에 대략적인 구성회로도

도 2는 상기 도 1에 도시된 누설액체 감지장치의 출력신호 파형도

도 3과 상기 도 1에 도시된 센서부의 제 1 도체가 단선된 경우의 회로도

도 4는 상기 도 3에 도시된 회로의 출력신호 파형도

도 5는 본 고안에 따른 누설액체 감지장치의 대략적인 구성회로도

도 6은 상기 도 5에 도시된 누설액체 감지장치의 출력신호 파형도

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10a : 제 1 리크감지기10b : 제 2 리크감지기

21, 22 : 센싱도체R_DS1: 제 1 기준저항값

R_DS2: 제 2 기준저항값

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은, 소정의 간격을 두고 배치된 두 가닥의 제 1 센싱도체와 제 2 센싱도체가 소정의 저항체(R)를 통해 연결된 센서부와; 그 센서부에 소정의 전원을 인가함과 아울러 그에 따라 센서부에 흐르는 전류를 검출함으로써 그 센서부의 저항을 검출하는 것으로, 누설액체에 의한 상기 센서부의 저항값 변화 뿐만 아니라 그 센서부의 불량(제 1 센싱도체나 제 2 센싱도체의 단선)에 따른 저항값 변화를 검출할 수 있는 리크감지부로 구성되는 것을 특징으로 한다.

이때, 리크감지부는 소정의 물질의 센서부의 제 1 센싱도체와 제 2 센싱도체를 연결하는 경우에 그 소정의 물질에 따른 센서부의 저항값 변화를 검출하기 위한 제 1 리크감지기(LEAK DETECTER)와, 상기 센서부의 불량(단선)에 따른 저항값 변화를 검출하기 위한 제 2 리크감지기로 구성될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 대해서 상세히 설명한다.

도 5는 본 고안의 바람직한 실시에에 따른 누설액체 감지장치의 대략적인 구성회로도이고, 도 6은 상기 누설액체 감지장치의 출력신호를 나타낸 파형도로서, 이를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

우선, 구성에 대해서 설명하면, 도 5에 도시된 바와 같이 소정의 간격을 두고 배치된 두 가닥의 제 1 센싱도체(21)와 제 2 센싱도체(22)가 소정의 저항체(R)를 통해 연결된 센서부와; 그 센서부와 병렬로 연결된 것으로, 누설액체를 감지하기 위한 제 1 리크감지기(10a) 및 상기 센서부의 불량(단선)을 감지할 수 있는 제 2 리크감지기(10b)로 구성됨을 알 수 있다.

이때, 센서부에 소정의 전원을 인가함과 아울러 그에 따라 센서부에 흐르는 전류를 검출함으로써 그 센서부의 저항을 검출하게 되는 상기 제1,2 리크감지기(10a, 10b)는, 그들이 감지하는 대상에 따라 설정된 소정의 기준저항값이 셋팅되어 있다. 즉, 누설액체를 감지하기 위한 제 1 리크감지기(10a)는, 액체가 누설됨에 따라 정상적인 저항값(R) 보다 낮아지게 되는 센서부의 저항값(R₁)을 감지할 수 있도록, 상기 정상적인 저항값(R) 보다 작은 소정의 제 1 기준저항값(DETECTER SETPOINT) (R_DS1)으로 설정/셋팅되고, 센서부의 불량를 감지하기 위한 제 2 리크감지기(10b)는, 제 1 센싱도체(21) 또는 제 2 센싱도체(22)가 단선됨에 따라 무한대(∞)로 증가하게 되는 센서부의 저항값을 감지할 수 있도록, 상기 정상적인 저항값(R) 보다 큰 소정의 제 2 기준저항값(R_DS2)으로 설정/셋팅된다.

이와 같이 구성된 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 누설액체 감지장치의 동작에 대해서 설명하면 다음과 같다.

액체물질이 누설되지도 않고 센서부의 제 1 센싱도체(21)나 제 2 센싱도체(22)가 단선되지 않은 정상적인 상태에서는, 제 1,2 리크감지기(10a, 10b)가 센서부의 고유저항(R)을 출력하게 된다.

이후, 소정의 원인이 누설된 액체가 제 1 센싱도체(21)와 제 2 센싱도체(22)를 연결하게 됨으로써 그 센서부를 흐르는 전류가 증가하게 되면, 그 전류를 검출하여 센서부의 저항을 검출하는 제 1 리크감지기(10a)가 그 검출저항(R₁)이 센서부의 고유저항(R) 보다 낮아지는 시점(T₁)에서 액체의 누설을 알려주는 신호를 출력하게 된다.

그리고, 소정의 원인으로 제 1 센싱도체(21)나 제 2 센싱도체가 단선됨으로써 그 센서부를 흐르는 전류가 증가하게 되면, 그 전류를 검출하여 센서부의 저항을 검출하는 제 2 리크감지기(10b)가 그 검출저항이 센서부의 고유저항(R) 보다 높아지는 시점(T₂)에서 센서부의 불량(단선)을 알려주는 신호를 출력하게 된다.

상술한 바와 같은 본 고안은, 액체가 누설된 경우 뿐만 아니라 그 누설을 감지하는 센서부의 불량를 감지할 수 있는 것으로, 특히 반도체 제조장비에 적용되는 경우에는 그 장비에 의하여 제조되는 제품의 특성 열화를 예방할 수 있는 효과를 준다.

Claims (3)

1. 소정의 간격을 두고 배치된 두 가닥의 제 1 센싱도체와 제 2 센싱도체가 소정의 저항체(R)를 통해 연결된 센서부와; 그 센서부에 소정의 전원을 인가함과 아울러 그에 따라 센서부에 흐르는 전류를 검출함으로써 그 센서부의 저항을 검출하는 것으로, 누설액체에 의한 상기 센서부의 저항값 변화 뿐만 아니라 그 센서부의 불량(제 1 센싱도체나 제 2 센싱도체의 단선)에 따른 저항값 변화를 검출할 수 있는 리크감지부로 구성되는 것을 특징으로 하는 누설액체 감지장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 리크감지부는 소정의 물질의 센서부의 제 1 센싱도체와 제 2 센싱도체를 연결하는 경우에 그 소정의 물질에 따른 센서부의 저항값 변화를 검출하기 위한 제 1 리크감지기와, 상기 센서부의 불량(단선)에 따른 저항값 변화를 검출하기 위한 제 2 리크감지기로 구성되는 것을 특징으로 하는 누설액체 감지장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 센서부에 소정의 전원을 인가함과 아울러 그에 따라 센서부에 흐르는 전류를 검출함으로써 그 센서부의 저항을 검출하게 되는 상기 제 1,2 리크감지기는, 그들이 감지하는 대상에 따라 설정된 소정의 기준저항값이 설정/셋팅되는데, 누설액체를 감지하기 위한 제 1 리크감지기는, 액체가 누설됨에 따라 정상적인 저항값(R) 보다 낮아지게 되는 센서부의 저항값(R₁)을 감지할 수 있도록, 상기 정상적인 저항값(R) 보다 작은 소정의 제 1 기준저항값(R_DS1)으로 설정/셋팅되고, 센서부의 불량를 감지하기 위한 제 2 리크감지기는, 제 1 센싱도체(21) 또는 제 2 센싱도체(22)가 단선됨에 따라 무한대(∞)로 증가하게 되는 센서부의 저항값을 감지할 수 있도록, 상기 정상적인 저항값(R) 보다 큰 소정의 제 2 기준저항값(R_DS2)으로 설정/셋팅되는 것을 특징으로 하는 누설액체 감지장치.