KR19980026707A - 부취제 농도의 측정방법, 부취제 농도 측정장치 및 부취제 첨가 시스템 - Google Patents

Abstract

탄화수소가스를 주성분으로 하는 미부취가스에 부취제를 첨가한 구성의 부취후 가스에 있어서의 부취제 농도의 측정에 있어서, 상기 부취제에 흡수되기 쉽고, 상기 미부취가스에 흡수되기 어려운 검출용 자외선에 대한 상기 부취후가스의 흡광도인 검출용 부취후가스 흡광도를 구하는 검출용 흡광도 측정공정과, 상기 검출용 측정공정에서 얻어진 상기 검출용 부취후가스 흡광도를 사용하여 상기 부취후가스중에 있어서의 상기 부취제 농도를 구하는 농도 도출공정을 갖추고, 이를 구성한다.

부취제 농도를 연속적으로 측정하고, 리얼타임으로 실시할 수 있는 부취제 농도 측정방법을 얻는다.

Description

부취제 농도의 측정방법, 부취제 농도 측정장치 및 부취제 첨가 시스템

도시가스에는 디메틸 설파이드(이하, DMS라 약칭한다), 터셔리부틸메르캅탄(이하, TBM이라 약칭한다), 테트라 히드로티오펜(이하, THT라 약칭한다), 이소프로필 머캅탄(이하, IPM이라 약칭한다), 노르말 프로필 머캅탄(이하, NPM이라 약칭한다), 에틸 머캅탄(이하, EM이라 약칭한다), 디에틸 설파이드(이하, DES라 약칭한다)라는 유기 황화합물인 부취제가 첨가된다. 여기서, 이같은 부취제의 첨가상태(어느 부취제가 첨가되어 있는지)는 이미 판명되어 있다.

본 출원은 이와 같은 부취제를 첨가하는 도시가스, 프로판 가스 등에 있어서 부취제의 농도를 연속적으로 리얼타임으로 측정 기록하는 기술에 관한 것이다.

[종래의 기술]

과거에는 부취제 농도를 측정하는 경우는 샘플가스를 송출배관(4∼100kgf/㎠정도의 고압가스 공급배관)으로부터 샘플링하는 것인데, 이 샘플링에 있어서는 고압상태로부터 대기압상태로의 감압공정을 필요로 했다. 그리고 얻어진 샘플링 가스를 현장으로부터 떨어진 분석실에 설치된 FPD(염광광도 검출기)부 가스 크로마토그래프를 사용하여 농도 측정을 하고 있다.

따라서, 상기의 종래 기술에 있어서는 이하와 같은 문제가 있었다.

측정에는 대기압에 가까운 샘플이 필요하므로, 샘플가스는 감압공정을 거칠 필요가 있고, 대기압상태에서 가스 크로마토그래프로 미부취가스(예를 들면 도시가스의 일종인 13A)와 부취제 성분과를 분리하면서 그 농도를 측정할 필요가 있다. 따라서, 전체적으로 측정에 시간이 걸린다.

그 결과, 예를 들면 고압배관 특정 부위에서 연속적인 리얼타임이 정량 농도 감시는 불가능하다. 부취제 농도의 시간적인 변화상황을 정확하게 파악하고 기록할 수 없었다. 당연히 리얼타임 베이스에서의 부취제 농도 제어는 불가능하였다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기 문제를 해소할 수 있는 부취제 농도의 측정방법 및 측정장치를 얻음과 동시에 본 출원의 장치를 이용하고, 부취제 농도를 연속적으로 리얼타임으로 제어할 수 있는 부취제 첨가 시스템을 얻는 것에 있다.

제1도는 본 출원의 부취제 농도 측정장치의 사용 상황을 나타내는 도면.

제2도는 흡광도 검출기의 상세구조를 나타내는 도면.

제3도는 DMS를 첨가한 부취후가스의 흡수 스펙트럼을 나타내는 도면.

제4도는 TBM을 첨가한 부취후가스의 흡수 스펙트럼을 나타내는 도면.

제5도는 THT를 첨가한 부취후가스의 흡수 스텍트럼을 나타내는 도면.

제6도는 미부취가스로서의 13A가스의 흡수 스텍트럼을 나타내는 도면.

제7도는 DMS에 있어서의 부취제 농도와 흡광도의 관계를 나타내는 도면.

제8도는 TBM에 있어서의 부취제 농도와 흡광도의 관계를 나타내는 도면.

제9도는 THT에 있어서의 부취제 농도와 흡광도의 관계를 나타내는 도면.

상기의 목적을 달성하기 위해서는 탄화수소가스를 주성분으로 하는 미부취가스에 부취제를 첨가한 구성의 부취후(付臭後)가스의 부취제 농도 측정에 있어서 청구항 1에 기재되어 있듯이, 이하와 같은 방법을 채용하면 된다.

즉, 상기 부취제에 흡수되기 쉽고, 상기 미부취가스에 흡수되기 어려운 검출용 자외선에 대한 상기 부취후가스의 흡광도인 검출용 부취후가스 흡광도를 구하는 검출용 흡광도 측정공정과,

상기 검출용 흡광도 측정공정에서 구해진 상기 검출용 부취후가스흡광도를 사용하여 상기 부취후가스중에 있어서 상기 부취제 농도를 구하는 농도 도출공정을 구비하여, 부취제 농도를 측정하는 것이다.

이 방법에 있어서는 부취제 농도의 측정에 소위 자외선흡수법이 채용된다. 여기서 미부취가스로서의 탄화수소를 주성분으로 하는 가스와 상기와 같은 부취제를 혼합하여 얻을 수 있는 가스를 대상으로 하는 경우, 미부취가스에 흡수되기 어렵고, 부취제에는 흡수되기 쉬운 파장의 자외선이 존재한다. 따라서, 이와 같은 특성의 자외선을 검출용 자외선으로 채용하여 측정에 사용한다. 그리고 검출용 흡광도 측정공정에 있어서 부취후가스의 이 자외선에 대한 흡광도를 구한다.

이 흡광도를 검출용 자외선의 파장 기인 특성에 의해 부취후가스중에 함유된 부취제 농도에 관계(구체적으로 거의 비례)한 것이 된다. 따라서 농도 도출공정에 있어서, 이 검출용 부취후가스 흡광도에 기초하여 부취제 농도를 구할 수 있다.

이하, 일례로서 도시가스에 DMS를 첨가한 경우의 구체예에 대해 설명한다.

제3도에 미부취가스의 일례인 도시가스(13A가스)에 부취제인 DMS를 45.8ppm첨가한 부취후가스의 각 파장의 흡광도를 나타내었다. 도면상의 실선이 각각 파장에 있어서 흡광도 분포를 나타내고 있다.

한편, 제6도에 미부취가스의 일례인 도시가스(13A가스) 단독의 경우의 각 파장에 있어서 흡광도 분포를 나타내고 있다. 제3도와 제6도와의 비교에 의해, 예를 들면 190nm∼210nm의 파장역의 자외선이 부취제에 의해 흡수되기 쉬울 뿐만 아니라 미부취가스에 의해 흡수되기 어려운 것임을 알 수 있다.

여기서 이 예의 경우는 쉽게 흡수되기 위해서는 흡광도가 0.004 이상인 것이 바람직하고, 흡광도가 0.004 미만이면 흡수되기 어렵다.

나아가서는 제7도에 상기예에 있어서의 부취제 농도와 제3도에 있어서의 특정과장의 자외선의 흡광도와의 관계를 나타내었다. 이 예에서는 검출용 자외선으로서 파장 196nm인 것, 204nm, 209nm인 것을 채용하고 있는 예를 나타내고 있다.

도면으로 알 수 있듯이 부취제 농도와 흡광도와는 일치 근사관계를 유지하게 되어 있고 검출용 자외선의 흡광도를 구함으로써 이 흡광도로부터 부취제 농도를 구할 수 있음을 알 수 있다.

따라서 이와 같은 부취제 농도의 측정 방법을 채용함으로써, 예를 들면 LNG의 기화 플랜트내에서 가스가 감압상태에 있는 공급배관내에 있어서도 부취제 농도를 리얼타임 베이스에서 측정할 수 있게 되었다. 더욱이 본 출원에 있어서는 가스에 의한 자외선 흡수를 측정원리를 하기 때문에, 짧은 시간으로 정밀도 있게 연속측정할 수 있어 부취제 농도의 관리가 용이해졌다.

상기와 같은 방법을 취하는 경우에 미부취가스에 의한 흡광이 노이즈로서 남아 문제가 되는 예가 있다. 이와 같은 경우는 이하와 같은 방법을 채용함으로써 이 문제를 해소할 수 있다.

즉, 청구항 2에 기재되어 있듯이 상기 검출용 자외선에 대한 상기 미부취가스의 흡광도인 제1보정용 미부취가스 흡광도를 구하는 제1보정용 흡광도 측정공정을 갖추고, 상기 검출용 부취후가스 흡광도로부터 상기 제1보정용 미부취가스 흡광도를 기준점으로 하는 부취제 농도 대응 흡광도를 구하고, 구해진 상기 부취제 농도 대응 흡광도에 기초하여 상기 농도 도출공정에 있어서 상기 부취제 농도를 구하는 것이다.

이 방법을 취하는 경우는 예를 들면 제1보정용 미부취가스 흡광도를 0점으로 하고 검출용 부취후가스 흡광도의 보정을 행하고, 부취제만에 기초하는 정보에 따라 흡광도를 구하는 것이 가능하게 되므로 보다 정확한 측정을 행할 수 있다.

청구항 2에 기재한 경우에 있어서는 검출용 자외선에 대해 부취후가스와 미 부취가스의 양방의 흡광도를 구할 필요가 있다. 따라서 이 방법으로는 샘플가스의 취출계통이 2계통 필요하다. 이것은 장치계를 결과적으로 복잡하게 한다.

이에 대한 대책으로서 부취후가스만을 흡광도 측정의 대상으로 하고, 파장이 다른 검출용 자외선을 사용하려는 것이 이하의 제안이다.

즉, 상기 부취제 및 미부취가스(탄화수소가스가 주성분)중 어디에도 흡수되기 어려운 보정용 자외선에 대한 상기 부취후가스의 흡광도인 제2보정용 부취후가스 흡광도를 구하는 제2보정용 흡광도 측정공정을 갖추고, 상기 검출용 부취후가스 흡광도로부터, 상기 제2보정용 부취후가스 흡광도를 기준점으로 하는 부취제 농도 대응 흡광도를 구하고, 구해진 상기 부취제 농도 대응 흡광도에 기초하여, 상기 농도 도출공정에 있어서 상기 부취제 농도를 구하는 것이다.

이 방법에 있어서는 같은 자외선이면서 부취제 및 탄화수소가스에 대해 그 흡광 도 특성이 다른 한쌍의 파장의 자외선을 부취후가스에 대해 사용하게 된다. 즉 상술한 검출용 자외선을 부취제의 농도를 특정하기 위한 자외선으로서 사용하는 것으로 한편으로는 보정용 자외선을 베이스(예를 들면, 0점 보정용)로서 사용하게 된다. 그리고 양자에 대한 흡광도를 구하여, 제2보정용 부취후가스 흡광도를 기준으로 하여 검출용 부취후가스 흡광도를 보정하고, 부취제 기인의 흡광도(부취제 농도 대응 흡광도)를 취출함으로써 부취제 농도를 얻는다.

이와 같은 방법을 취하는 경우는, 부취후가스만을 대상으로 하여 다른 파장의 자외선에 대한 흡광도를 구하는 조작만으로 보다 부취제 농도에 대응한 정확한 측정을 할 수 있다.

부취제의 첨가에 있어서는 복수종의 부취제가 첨가되는 경우가 있다. 이와 같은 경우에 종별로 그러한 농도를 측정하는 것은 농도 제어상 대단히 중요하다. 이와 같은 경우에는 이하와 같이 행할 필요가 있다.

즉, 청구항 4에 기재되어 있는 바와 같이 상기 부취제가 복수종 첨가되어 있는 경우에, 상기 검출용 자외선의 파장으로서 상기 부취제에 흡수되기 쉽고 상기 미부취가스에 흡수되기 어려운 특성임과 동시에 상호 상기 복수의 부취제간에서 흡광특성이 다른 복수의 검출용 자외선 파장을 미리 선정해 두고, 상기 부취제의 종수 이상의 수의 상기 검출용 자외선 파장에서의 상기 부취후가스의 흡광도인 검출용 부취후가스 흡광도를 각각 측정하여, 측정된 복수의 상기 검출용 부취후가스 흡광도로부터 상기 복수종의 부취제 각각의 농도를 구하는 것이다.

이 방법에 있어서는 복수종의 부취제의 농도를 각별히 측정하기 위해, 적어도 이 부취제 종수 이상의 수의 검출용 자외선 파장 각각에 대한 흡광도가 측정된다. 한편, 이러한 파장에 대한 각 부취제 단독·소정 농도에서의 흡광도는 각 파장마다 각 부취제별로 미리 알 수 있으므로 이러한 데이터를 기초로 하여 각 부취제의 농도를 구할 수 있다.

일례로서의 각 종별의 농도의 도출방법에 대해 설명하면, 제7,8,9도에 나타나 있듯이, 각 부취제의 농도와 흡광도는 발명자들의 검토에 의해 일차 선형 근사로 할 수 있으므로 이와 같은 복수의 파장에 대한 흡광도를 계측하면, 혼합계에 있어서의 복수종의 부취제 농도를 각별히 단순한 일차선형의 연립방정식을 해석함으로써 답(농도)으로서 얻을 수 있다.

이와 같은 방법을 취하는 경우는 다른 복수의 파장의 검출용 자외선에 대한 흡광도를 구하는 조작만으로 목적으로 하는 각 부취제의 농도를 양호하게 얻을 수 있고, 부취제 종마다 나중의 농도 제어 등을 용이하고 확실하게 행할 수 있다.

더욱이 부취제 농도의 측정에 있어서는 측정대상의 가스 온도와 압력은 매우 다양하다. 따라서 이와 같은 문제에 대한 대책도 필요하게 된다.

그러므로 이와 같은 경우는 청구항 5에 기재되어 있듯이, 이하와 같은 방법을 채용하게 된다.

부취후가스의 온도와 압력을 구하는 온도/압력검출공정을 구비하여, 상기 온도/압력검출공정에서 얻어진 부취후가스 온도와 압력에 따라 상기 흡광도를 기준상태에 있어서 흡광도로 교정환산하고, 상기 기준 상태에 있어서 흡광도에 기초하여 상기 부취제의 농도를 구하는 것이다.

이와 같이 온도/압력교정을 행함으로써 기준상태에 있어서의 농도를 쉽게 알 수 있다.

지금까지 설명해온 부취제로서는 이것이 디메틸설파이드, 터셔리부틸메트캅탄, 테트라 히드로피오펜, 이소프로필 머캅탄, 노르말 프로필 머캅탄, 에틸 머캅탄, 디에틸 설파이드로부터 선택된 어느 1종 이상을 포함하는 경우가 본 출원에 있어서는 바람직하다.

이러한 부취제가 가장 많이 사용되고 있고 본 출원의 적용이 용이하기 때문이다.

이하 지금까지 설명해온 검출용 자외선, 보정용 자외선에 대해 설명한다.

상기 검출용 자외선으로서는 그 파장이 190nm∼220nm의 범위내에 있는 것이 바람직하다.

상기 파장역에 있는 자외선은 일반적으로, 다양한 종류의 부취제에 대해 흡수되기 쉽고, 미부취가스에 흡수되기 어려운 경향을 나타내는 것으로, 이와 같은 파장역에 있는 자외선을 검출용 자외선으로 사용함으로써 본 출원의 목적에 합치되는 유용한 측정을 행할 수 있다.

상기 검출용 자외선이, 더 상세하게는 파장 196nm, 204nm, 209nm중 검출용 특정 자외선을 포함, 각각 반치폭이 1.5∼3nm인 것이 바람직하다.

이와 같은 파장역에 있는 자외선을 후술하는 실시의 형태에서 나타나 있듯이 부취제에 흡수되기 쉽고, 미부취가스(실질상은 탄화수소 가스)에 흡수되기 어려운 현저한 특성을 가진다. 따라서 이와 같은 자외선을 검출용 자외선으로서 사용함으로써 본 출원의 목적에 합치한 유용한 측정을 행할 수 있다.

상기 보정용 자외선으로서는 이 보정용 자외선의 파장이 235nm∼300nm의 범위 내에 있는 것이 바람직하다.

상기의 파장역에 있는 자외선은 일반적으로, 부취제 및 미부취가스중 어디에도 흡수되기 어려운 경향을 나타내는 것으로, 이와 같은 파장역에 있는 자외선을 보정용 자외선으로서 사용함으로써 본 출원의 목적에 합치하는 유용한 측정을 행할 수 있다.

상기 보정용 자외선이, 더욱 상게하게 말하자면, 파장 250nm의 보정용 특정 자외선을 포함, 반치폭이 0.5nm∼3nm인 것이 바람직하다.

이와 같은 파장역에 있는 자외선은 후술하는 실시의 형태에 나타나 있듯이, 부취제 및 미부취가스중 어디에도 흡수되기 어려운 현저한 특성을 가진다. 따라서 이와 같은 자외선을 보정용 자외선으로서 사용함으로써, 본 출원의 목적에 합치되는 유용한 측정을 행할 수 있다.

이하, 상기 본 출원의 부취제 농도의 측정방법을 사용하는 측정장치에 대해 그 개략을 설명한다.

이것은 청구항 11에 기재되어 있듯이 이하와 같이 구성하게 된다.

탄화수소가스를 주성분으로 하는 미부취가스에 부취제를 첨가한 구성의 부취후 가스에 있어서 부취제 농도측정 장치에 있어서,

상기 부취제에 흡수되기 쉽고 상기 미부취가스에는 흡수되기 어려운 검출 자외선에 대한 상기 부취후가스의 흡광도인 검출용 부취후가스 흡광도를 검출가능한 흡광도 측정기구를 구비, 상기 흡광도 측정기구에 의해 구해진 상기 검출용 부취후가스 흡광도를 사용하여 상기 부취후가스중에 있어서 상기 부취제 농도를 구하는 농도 도출수단을 구비하고 있다.

이 장치의 경우는 흡광도 측정기구에 의해 검출용 부취후가스 흡광도를 구하고, 이 검출용 부취후가스 흡광도로부터 농도 도출수단에 의해 부취제 농도를 구하게 된다.

앞서 설명했듯이 미 부취가스에 의한 노이즈를 문제로 하는 경우에는 청구항 12에 기재되어 있듯이, 청구항 11 기재의 장치구성에 덧붙여 이하의 장치구성을 취할 필요가 있다.

상기 흡광도 측정기구가 상기 부취제 및 미부취가스(탄화수소가스가 주성분)의 어디에도 흡수되기 어려운 보정용 자외선에 대한 상기 부취후가스의 흡광도인 제2보정용 부취후가스 흡광도를 검출가능하게 구성하고, 상기 검출용 부취후가스흡광도로부터 상기 제2보정용 부취후가스 흡광도를 기준점으로 하는 부취제 농도 대응 흡광도를 구하고, 구해진 상기 부취제 농도 대응 흡광도에 기초하여 상기 농도 도출수단이 상기 부취제 농도를 구하는 구성이 되는 것이다.

이 부취제 농도 측정 장치에 있어서는 흡광도 측정기구에 의해 지금까지 설명해온 것과 마찬가지로 검출용 자외선에 대한 검출용 부취후가스 흡광도와 보정용 자외선에 대한 제2보정용 부취후가스 흡광도와를 측정한다. 여기서 검출용 부취후가스 흡광도는 말하자면, 부취제 농도에 관련한 정보로서, 제2보정용 부취후가스 흡광도는 부취제 농도에 관여가 적어 측정기구 그 자체의 특성에 기인하는 정보이다.

따라서, 후자의 제2보정용 부취후가스 흡광도를 예를 들면 0점이라고 한 기준점으로 하고, 검출용 부취후가스 흡광도를 보정함으로써 부취제 농도 기인의 정보를 정확하게 파악하고, 부취제의 농도 도출에 이용할 수 있다.

그리고 본 출원의 장치에 있어서는 흡광도 측정기구로부터 얻어진 검출용 부취후가스 흡광도, 제2보정용 부취후가스 흡광도를 이용하여, 제2보정용 부취후가스 흡광도를 기준으로 하는 부취제 농도 대응 흡광도를 검출용 부취후가스 흡광도로부터 구하고, 이 구해진 부취제 농도 대응 흡광도로부터 부취제 농도를 구하는 것이다.

결과적으로 본 출원에 있어서는 부취제에 관한 가스의 흡광도와 제로 기준점의 흡광도를 구하여, 적절한 기준하에 부취제 농도를 구하기 위해 리얼타임의 농도 측정이 가능해짐과 동시에 장치계도 부취후가스를 대상으로 하기만 하면 되며, 간략화 할 수 있어 상당히 유용하다고 할 수 있다.

나아가서는 앞서 설명했듯이 복수종의 부취제를 대상으로 하는 경우는 장치에 이하의 구성을 부가함으로써 부취제 마다의 농도를 구할 수 있게 된다.

즉, 청구상 13에 기재한 바와 같이 이하와 같이 구성한다.

복수의 상기 부취제를 대상으로 하고, 상기 검출용 자외선의 파장으로서 상기 부취제에 흡수되기 쉽게 상기 미부취가스에 흡수되기 어려운 특성으로, 동시에 상호 상기 복수의 부취제간에서 흡광특성이 다른 복수의 검출용 자외선 파장을 기억한 기억수단을 갖추고, 첨가된 상기 부취제의 종수 이상의 수의 상기 검출용 자외선 파장에서의 상기 부취후가스의 흡광도인 검출용 부취후가스 흡광도를 상기 흡광도 측정기구가 각각 측정할 수 있게 구성되고, 상기 농도 도출 수단이 측정된 복수의 상기 검출용 부취후가스 흡광도로부터 상기 복수종의 부취제 각각의 농도를 구하는 것이다.

한편, 본 출원의 부취제 농도 측정장치는 리얼타임의 농도측정을 가능하게 하므로 이것을 부취제 첨가 시스템에 수용함으로써 첨가제 농도의 제어를 양호하게 행할 수 있는 시스템을 짤 수 있게 된다. 이러한 경우 장치계도 부취후가스를 대상으로 하기만 하면 되며, 간략화할 수 있어 상당히 유용하다.

즉, 지금까지 설명해 온 구성의 부취제 농도 측정장치를 갖춤과 동시에 미부취가스에 부취제를 첨가가능한 부취제 첨가장치를 갖추고, 상기 부취제 가스에 대한 상기 부취제 농도 측정장치로부터의 측정결과에 따라 상기 부취제 첨가장치를 작동시켜, 상기 부취후가스내에 있어서의 상기 부취제 농도를 목표 농도로 제어하는 제어수단을 갖춘 부취제 첨가 시스템을 구축함으로써 상당히 유용한 시스템을 얻을 수 있다.

[발명의 실시의 형태]

본 출원의 실시의 형태를 도면에 기초하여 설명한다.

제1도에는 본 출원의 부취제 농도 측정장치 1 및 이것을 채용한 부취제 첨가 시스템의 사용상황이 나타나 있다.

이 도면은 도시부에 공급되는 미부취가스인 도시가스(구체적으로는 13A가스)를 제조하는 도시가스 제조공장에 있어서, 탱크(T)에 접속된 고압 상태에 있는 가스 공급배관(2)을 나타내고 있고, 부취제의 첨가장치(3)가 구비되어 있다. 따라서 부취제 첨가장치(3)로부터 가스 공급배관(2)내에 부취제가 첨가되고 가스는 미부취가스에 그 화학적 성분이 기지의 부취제가 첨가된 부취후가스가 된다. 본 출원의 부취제 농도 측정장치(1)에 구비되어 있는 플로우 셀(flow cell)(4)이 이 가스 공급배관(2)으로부터 분지된 분지관 부위(5)에 마련되어 있다. 따라서 본 출원 장치에서는 이 플로우 셀(4)에 부취후가스가 고압 상태에서 도입되고 도입된 부취후가스에 대해 측정을 행하게 된다.

13A 가스의 성분조성에 대해 설명하면 이것은 메탄 88%, 에탄6%, 프로판4%, 부탄 2%정도의 정량비로 혼합된 가스로, 복수종의 탄화수소가스를 혼합하여 구성되어 있다.

부취제로서는 DMS, TBM, THT, IPM, NPM, EM, DES 등이 알려져 있는데, 이하의 설명에서는 상기 2종이 함께 첨가되는 경우에 대해 주로 설명한다.

한편, 가스 공급배관(2)은 4∼100kfg/㎠ 정도의 압력상태로 설정되고, 이 가스 공급배관(2)의 하류측은 도시가스 소비지(6)로 연결되어 있다. 따라서 부취제의 농도 측정에 필요한 샘플가스도 그대로 소비지(6)로 보내진다.

본 출원의 부취제 농도 측정 장치(1)는 소위, 자외선 흡광검출기(7)와 이 자외선 흡광검출기(7)를 동작제어함과 동시에 이것으로부터의 검출정보를 해석하는 컴퓨터로 구성되는 동작해석장치(8)를 주요한 기기로서 갖추고 있다. 전술한 가스 공급배관(2)에는 온도계(12) 및 압력계(13)가 갖추어져 있고, 이러한 검출계(12,13)로부터의 계측 결과도 동작 해석 장치(8)에 모아져 이후의 처리에 사용할 수 있게 된다.

나아가서는 이 장치(1)는, 측정 데이타를 축차경시적으로 표시함과 동시에 기억하는 표시기억장치(82)와 고압 상태의 부취후가스에 첨가되어 있는 부취제의 농도를 측정하고, 그 측정농도가 상하로 관리범위로 넘는 경우에 경보를 발하는 경보기구(9)를 갖추고 있다. 그리고 시스템을 짜는 데 있어서는 전술한 부취제 첨가장치(3)의 부취제의 첨가량을 적절한 양으로 제어하는(부취제 농도공급속도제어) 제어수단(10)을 갖추고, 농도 유지 관리의 목적을 달성하도록 구축되어 있다.

자외선 흡광 검출기(7)의 상세 구성을 제2도로 나타내었다.

자외선 흡광 검출기(7)는 앞서 말한 플로우 셀(4)을 그 측정부로 하는 것으로, 측정부에 소정의 파장의 자외선을 조사하기 위한 광학계(70)(D2램프70a, 평면경 70b, 제1구면경70c, 입사 슬릿 70d, 회절격자70e, 제2구면경70f)와 이 광학계(70)로부터 조사된 자외선으로, 측정부를 투과한 자외선을 검지하는 시료광검지기(71)와, 측정부에 도달하기 까지의 자외선을 플로우 셀(4)로부터 상수측으로 분리하고, 대조광 검지기(72)로 보내는 하프 밀러(73)를 갖추고 구성되어 있다. 상기 시료광 검지기(71)에서는 시료광의 강도가 대조광 검지기(72)로는 대조광의 강도가 검지되고, 프리업(74)으로 보내져 증폭된 후, 흡광도의 도출에 사용된다.

이 검출기(7)에 있어서는 회절격자(70e)가 제2도에 있어서의 지면 표리방향의 축 Z주위에 회동가능하게 구성되어 있고, 이 회동에 의해 조사되는 자외선의 파장을 변경 설정할 수 있다.

이 자외선 흡광검출기(7)에 의해 플로우 셀(4) 내에 있는 가스(본 출원의 경우 구체적으로는 고압 상태에 있는 부취후가스)의 흡광도를 각 자외선의 파장에 따라 스펙트럼으로서 검출할 수 있다. 여기서 검출가능한 파장범위는 190nm∼370nm이다. 나아가서는 플로우 셀(4)의 광노광(光路長)은 10∼50nm정도로 설정되어 있다.

앞에서 설명한 흡광도A란, I_O를 대조광강도, I를 시료광 강도로서 하기식으로 정의된다.

A=log₁₀(I_O/I)

전술한 동작 해석 장치(8)는 자외선 흡광 검출기(7)의 검출결과로부터, 부취제 기인의 흡광도를 구하고, 부취제의 농도를 구하는 해석·표시부로 구성되어 있다.

여기서 동작 해석 장치(8)에 있어서 해석에 사용되는 데이터의 파장은 2종으로 나눌 수 있다.

그 제1종은 부취제에 흡수되기 쉽고, 미부취가스에 흡수되기 어려운 특성을 구비한 검출용 자외선 파장의 것으로, 대표적인 예로서는 그 중심파장이 각각 196nm, 204nm, 209nm으로, 그 대역 반치폭이 각각 0.5∼3nm의 것을 들 수 있다. 이러한 파장역의 자외선을 본 출원에 있어서는 검출용 특정 자외선이라 부른다. 이 제1종으로서 사용하는 자외선은 그 파장이 190∼220nm의 범위에 있는 것인 바람직하다.

다음에 그 제2종은 부취제 및 탄화수소가스를 주성분으로 하는 미부취가스, 어디에도 흡수되기 어려운 특성을 가진 보정용 자외선 파장의 것으로, 대표예로서는 그 중심파장이 250nm으로 그 대역 반치폭이 0.5∼3nm인 것을 들 수 있다. 이러한 파장역의 자외선을 본 출원에 있어서는 보정용 특정 자외선이라 부른다. 이 자외선은 부취제 및 미 부취가스에 대해 공히 흡수되어 어려운 특성을 갖는 것이다. 이 제2종으로서 사용하는 자외선은 그 파장이 235∼300nm의 범위에 있는 것이 바람직하다.

이러한 2종의 자외선에 대한 흡광도를, 자외선 흡광검출기(7)의 스펙트럼 데이터로부터, 동작 해석 장치(8)는 추출한다. 현실적으로는 동작해석장치(8) 측에 자외선 흡광 검출기(7)에 대한 작동 지령과, 그 지령에 대응하여 얻어지는 검출정보의 대응을 취하여, 필요한 흡광도를 구하는 프로그램이 격납되어 있고, 동작 해석장치(8)의 지령으로, 희망하는 파장에 대응한 흡광도 데이터의 취득이 가능해진다.

여기서 부취제에 흡수되기 쉽고, 미부취가스로 흡수되기 어려운 상기 검출용 자외선 파장의 검출용 자외선에 대한 부취후가스의 흡광도인 검출용 부취후가스 흡광도를 구하는 공정을 검출용 흡광도 측정 공정이라 부르고, 부취제 및 미부취가스, 어디에도 흡수되기 어려운 보정용 자외선 파장의 보정용 자외선에 대한 부취후가스의 흡광도인 제2보정용 부취후가스 흡광도를 구하는 공정을 제2보정용 흡광도 측정 공정이라 부른다.

그러면 이와 같이하여 얻어진 검출용 부취후가스 흡광도와 제2보정용 부취후가스 흡광도로부터 동작해석장치(8)에서는 진짜 부취제 농도만에 대응한 흡광도(부취제 농도 대응 흡광도)를 구한다. 즉, 장치(8)에는 농도 대응 흡광 도출수단(80)이 구비되고, 이 수단이 검출용 부취후가스 흡광도로부터 제2보정용 부취후가스 흡광도를 감산한 값을, 부취제 농도 대응 흡광도로 함으로써, 제2보정용 부취후가스 흡광도를 0점(일종의 기준점)으로 하는 정규화된 데이터를 얻을 수 있게 되어 있다.

따라서 본 출원의 장치(1)에서는 검출용 자외선 파장에 대한 흡광도의 측정과 보정용 자외선 파장에 대한 흡광도의 측정을 거의 동일한 부취후가스를 대상으로 하여 행하게 되므로, 측정 상황에 적합한 양호한 데이터를 얻을 수 있고, 정확한 부취제 농도를 얻을 수 있다.

여기서 부취제 농도 대응 흡광도로서는 상기 3종의 검출용 자외선 파장에 대응하여 각각의 파장 대응의 흡광도를 얻게 된다.

그러면 이 부취제 농도측정장치(1)는 측정 상태에 있는 부취후가스의 압력 및 온도를 검출 내지는 모니터할 수 있게 구성되어 있고, 지금까지 설명해온 흡광도(부취제 농도 대응 흡광도 내지는 0점 보정을 실시하지 않는 흡광도 각각)을 부취후가스의 압력, 온도 상태에 따라서 이것을 기준 상태(절대압력 30kgf/㎠, 온도 20℃)에 온도/압력교정하도록 구성되어 있다.

이 온도/압력교정식을 이하에 나타내었다.

[수학식 1]

온도/압력 흡광도 교정식(절대압력 30kgf/㎠ 기준)

흡광도 교정 계수: k λ

파장 196nm에 대한 것: 0

파장 204nm에 대한 것: -0.001

파장 209nm에 대한 것: 0

파장 250nm에 대한 것: 0

A: 절대압력 30kgf/㎠기준의 부취제 농도의 대응한 교정흡광도(-)

a_i: 본 출원의 방법에 의해 0점 보정을 실시한 부취제 농도 대응 흡광도(-)

P_i: 측정시의 샘플링 가스의 게이지 압력(kgf/㎠)

t_i: 측정시의 샘플링가스의 온도(℃)

i는 측정 데이터인 것을 나타냄

따라서 이 장치(1)에서는 항상 기준 상태에 대응한 부취제 농도를 얻을 수 있다.

다음으로, 이렇게 하여 얻어진 부취제 농도 대응 흡광도로부터 부취제 농도를 끌어내는 방법에 대해 설명한다. 이 흡광도로부터 부취제 농도의 도출에 있어서는 원칙적으로는 제7,8,9도에 나타나 있는 각 부취제 농도와 부취제 농도 대응 흡광도와의 관계지표(실체상은 일차관계식)가 사용된다. 즉, 이 동작해석장치(8)의 메모리(81)에는 이와 같은 관계지표가 격납되어 있고, 제7도에서 파선 화살표로 표시했듯이 흡광도의 특정에 따라, 각 부취제의 농도를 알 수 있다.

본 실시형태와 같이 2종의 부취제(DMS, TBM)가 혼합되어 있는 경우의 각 부취제 농도의 도출은 이하의 식에 기초하여 행할 수 있다.

[수학식 2]

계산식

A 특정의 파장(상기식의 경우는 λ196, λ204)에 대한 측정된 흡광도(단, 값은 상기한 식1에 따라 기준 상태로 교정되어 있다).

동식에 있어서 첨자는 각각, 파장종 및 부취제의 종별을 나타낸다.

C 부취후가스(혼합계)에 있어서 각 부취제의 농도

첨자는 각각 부취제의 종별을 나타낸다.

또한 각 계수 a, b는 이하와 같게 되어 있다.

a(196nm, DMS)= 0.009557, a(196nm, TBM)=0.002402,b(196nm)=0.01788

a(204nm, DMS)=0.006936, a(204nm, TBM)=0.007171, b(204nm)=0.01343

각 계수 a,b는 제7,8,9도에 나타난 바와 같이 관계지표로부터 구할 수 있다.

여기서, 파장의 조합으로서는 상기 3종가운데 임의의 2종을 선택하여 행할 수 있다.

이상 설명하였듯이 본 출원의 부취제 농도 측정장치(1)는 부취제에 흡수되기 쉽고, 미부취가스에 흡수되기 어려운 검출 자외선 파장의 검출용 자외선에 대한 부취후가스의 흡광도인 검출용 부취후가스 흡광도와 부취제 및 미부취가스중 어디에도 흡수되기 어려운 보정용 자외선 파장의 보정용 자외선에 대한 부취후가스의 흡광도인 제2보정용 부취후가스 흡광도를 측정할 수 있는 흡광도 측정기구(11)(구체적으로는 자외선 흡광검출기(7)와 그 검출기(7)의 측정결과로부터 각 검출용 자외선에 대응한 부취제 농도 대응 흡광도를 구하는 수단으로 구성된다)와 상기 검출용 부취후가스 흡광도로부터 상기 제2보정용 부취후가스 흡광도를 기준점으로 하는 부취제 농도 대응 흡광도를 구하는 농도 대응 흡광도출수단(80)을 갖추고, 상기 농도 대응 흡광도출수단(80)에 의해 얻을 수 있는 상기 부취제 농도 대응 흡광도에 기초하여 상기 부취제 농도를 구하는 구성으로 되어 있다. 여기서 흡광도로부터 부취제 농도를 도출하는 수단을 농도도출수단(800)이라 부른다.

이하, 장치(1)의 작동을 본 출원의 부취제 농도의 측정방법과 함께 설명한다.

장치(1)의 동작 상태에서는 플로우 셀(4)에 부취처리가 된 가스가 도입되는 구성으로 되어 있고, 자외선 흡수 검출기(7)가 동작해석장치(8)의 지령에 따라 연속적으로 움직이게 된다. 그리고, 검출용 부취후가스 흡광도(상기 3종 가운데 선택된 2종으로, 상술한 식을 사용하는 경우는 중심파장 196nm 및 204nm의 검출용 특정 자외선에 대한 것), 제2보정용 부취후가스 흡광도(1종)가 검출된다. 그 다음, 구해진 검출용 부취후가스 흡광도로부터 제2보정용 부취후가스 흡광도가 감산되고, 동시에 계측되는 온도·압력 데이터를 이용하여 온도·압력교정되고, 부취제 농도 대응 흡광도를 구할 수 있다. 그리고 이 부취제 농도 대응 흡광도에 의해 앞서 설명한 식 및 제7,8,9도에 나타나 있듯이 미리 기억되어 있는 관계지표를 참고로하여 부취제 농도가 도출된다.

이와 같이 하여 부취제의 농도를 측정할 수 있다.

상기 방법에 따라, DMS(2ppm)과 TBM(0.3ppm)과의 혼합계에 있어서 게이지 가스압이 15∼40kgf/㎠(5kgf/㎠씩 압력증가)의 경우에 대해, 각 압력하에서 4 케이스씩 측정했다. 측정은 전부 24 케이스 실시하였는데, 본 출원 방법에 의하면 평균치(DMS(2.01ppm), TBM(0.31ppm)로 측정할 수 있고, FPD부 가스크로마토그래피에 의한 분석으로 거의 차이가 인정되지 않았다. 이와 같은 정밀도로 측정할 수 있는 기술은 아직 알려져 있지 않다.

이하, 본 출원의 부취제 농도의 측정방법 및 부취제 농도 측정장치(1)의 작동을 검증하기 위해 발명자가 실시한 실험에 대해 설명한다.

1. 부취제의 자외선 흡수 스펙트럼

앞에서 설명한 DMS, TBM, THT에 관해서 그 흡수 스펙트럼을 각각 구하였다. 제 3,4,5도는 각각 각 부취제의 스펙트럼을 나타내고 있다.

더욱이, 제6도에 본 출원에 있어서의 베이스 가스로 되어 있는 13A가스의 흡수 스펙트럼을 나타내었다. 검토대상으로 한 자외선의 파장 범위는 190∼250nm이다. 이러한 도면으로부터 알 수 있듯이 13A 가스와 부취제와의 관계에 있어서 양자중 어디에도 흡수되기 어려운 자외선이 있음과 동시에 전자에 흡수되기 어렵고, 후자에 흡수되기 쉬운 자외선이 있음을 알 수 있다.

2. 부취제의 흡광도와 농도와의 관계

2-1 DMS흡광도의 농도 의존성

이 실험결과를 제7도에 나타내었다. 흡광도가 196nm, 204nm, 209nm의 모든 검출용 특정 자외선에 대해 DMS의 농도에 비례하여 흡광도가 증가하고 있다. 이처럼 흡광도와 농도의 관계는 상관성이 좋은 비례 관계가 되어 있다.

제7도에서 식으로 나타나는 회귀선은 3종의 검출용 자외선 파장에 각각 대응한 흡광도와 부취제 농도(DMS단체에 관한다)관계의 회귀선이다.

따라서, 부취제에 DMS만을 포함하는 경우에는 전술한 검출용 특정자외선에 대한 흡광도를 구함으로써 이 종류의 부취제 농도를 얻을 수 있다.

2-2 TBM 흡광도의 농도 의존성

이 실험결과를 전술한 대로 제8도로 나타내었다. 흡광도가 196nm, 204nm, 209nm의 모든 검출용 특정 자외선에 대해 TBM의 농도에 비례하여 흡광도가 증가하고 있다. 이처럼 흡광도와 농도의 관계는 상관성이 좋은 비례 관계로 되어 있다.

제8도에 있어서 식으로 나타나는 회귀선은 3종의 검출용 자외선 파장에 각각 대응한 흡광도와 부취제 농도(DMS단체에 관한다)관계의 회귀선이다.

따라서, 부취제에 TBM만을 포함하는 경우에는 전술한 검출용 특정 자외선에 대한 흡광도를 구함으로써, 이 종의 부취제 농도를 얻을 수 있다.

2-3 THT흡광도의 농도의존성

이 실험결과를 전술한 대로 제9도로 나타내었다. 흡광도가 196nm, 204nm, 209nm의 모든 검출용 특정 자외선에 대해 THT의 농도에 비례하여 흡광도가 증가하고 있다. 이처럼 흡광도와 농도의 관계는 상관성이 좋은 비례관계가 되어 있다.

제9도에 있어서 식으로 나타나는 회귀선은 3종의 검출용 자외선 파장에 각각 대응한 흡광도와 부취제 농도(THT단체에 관한다)관계의 회귀선이다.

따라서, 부취제에 THT만을 포함하는 경우에는 전술한 검출용 특정 자외선에 대한 흡광도를 구함으로써 이 종의 부취제 농도를 얻을 수 있다.

[다른 실시의 형태예]

본 출원의 다른 실시의 형태예에 대해 이하에 설명한다.

(가) 상기 실시의 형태에 있어서는 주로 부취제로서 DMS, TBM을 혼합한 경우에 대하여 주로 설명하였는데, 본 출원의 방법은 THT, 상기 기판의 부취제를 대상으로 하는 경우에 있어서도 적응 가능하다.

나아가서는 상기 실시의 형태에 있어서는 미부취가스로서 도시가스(13A)를 대상으로 했는데, 임의의 탄화수소가스를 혼합한 가스에 관하여 적응가능하다.

이와 같은 미부취가스로서 탄소수가 4이하인 탄화수소가스가 사용되고, 부취제로써 DMS, TBM, THT로부터 선택된 1종 이상의 부취제를 사용하는 경우는 검출용 자외선으로써 그 파장대역이 190nm∼220nm범위에 있는 것을 선택하는 것이 바람직하다.

이 대역에서는 미부취가스 및 미부취가스의 주성분인 탄화수소가스에 의한 검출용 자외선의 흡수가 적고, 부취제에 의한 흡수가 현저하므로, 측정을 정확하게 할 수 있다.

(나) 더욱이 상기 실시의 형태에 있어서의 보정용 자외선으로서는 중심파장이 250nm으로 반치폭이 0.5∼3nm인 보정용 특정자외선을 사용했는데, 이와 같은 보정용 자외선의 파장이 235∼300nm에 있어도 좋다.

(다) 상기 실시의 형태에 있어서는 부취제로서 2종의 부취제가 첨가되는 경우를 나타내었는데, 1종만이 첨가되는 경우, 3종 이상이 첨가되는 경우에 있어서도 파장이 다른 검출용 자외선을, 부취제의 수에 대응하여 증가함으로써 각 부취제의 농도를 상기 계산식과 동등한 방법에 의해 구할 수 있다.

여기서 일종의 부취제를 대사응로하여 복수의 파장이 자외선에 대한 흡광도를 구하여, 부취제 농도를 구하는 경우는 각 파장으로부터 구한 농도를 예를 들면 총계, 평균을 구함으로써 보다 정확한 부취제 농도를 얻을 수 있다. 즉, 예를 들면 DMS를 대상으로 하는 경우, 제7도에 나타내는 3개의 지표선으로부터 각각 농도 추정치를 구하고, 그러한 평균을 취함으로써 보다 정확도가 높은 측정을 할 수 있다.

한편, 복수종의 부취제를 대상으로 하여, 복수종의 파장의 자외선에 대한 흡광도를 구하는 경우는 미리 제시한 수식과 마찬자지로 각 종별 부취제 농도를 얻을 수 있다. 이 경우, 부취제종의 수와 파장을 달리하는 자외선의 수는 후자의 수가 전자의 수에 비해 같거나 크면 좋다. 한편 부취제3종을 모두 혼합하는 경우는 임의 2자의 혼합물의 흡광특성과 잔여의 1자의 흡광특성을 구해 두고, 전자와 후자에 대응하여 각각 농도 특정을 실시하여도 좋다.

즉, 본 출원에서 말하는 부취제란 물(物)이 특정된 단일한 부취제만으로 이루어진 경우 및 전체적으로 복수의 부취제가 소정의 비율로 혼합되어 이루어지는 것을 대상으로 하고 있다. 즉 혼합물의 경우는 이 혼합형태의 부취제의 흡광특성을 구해두고 혼합물의 농도를 미부취가스에 대해 특정할 수 있다.

(라) 부취후가스의 흡광도로부터 부취제의 농도를 구하는 경우에 있어서는 상술한 대로 제7,8,9도에 나타난 것과 같은 관계도를 사용할 수 있는 이외에 관계수표, 일차 근사식 등의 근사식 등을 사용할 수 있다. 요컨대, 미리 판명되어 있는 관계지표를 구해 두고, 이에 기초하여 부취제 농도를 구하면 된다.

(마) 더욱이 본 출원의 부취제 농도 측정 장치는 고압 상태에 있는 현장에 갖출 수 있는 이외에 임의의 장소에 갖출 수 있다.

과거에 부취제 농도의 측정은 샘플가스 압력이 대기압에 가까운 상태에서 실시되고 있고 이 경우는 본 출원의 방법을 취할 수 있는데, 본 출원의 경우는 특히 부취후가스가 고압 상태에 있는 경우, 부취제의 절대량이 많으므로, 이 상태에서의 측정이 반대로 쉽고, 현장 적응이 쉬운 바람직한 시스템이 되어 있다. 여기서 부취제 농도의 정확한 연속측정, 기록, 나아가서는 농도 제어가 가능하게 됨으로써 큰 이점이 있다.

(바) 상기의 실시의 형태에 있어서는 소위 0점 보정을 실시하는데 부취후가스의 보정용 자외선에 대한 흡광도를 구하고, 이것을 실시하고 있다. 그러나 부취후가스를 대상으로 하지 않고, 미부취가스로부터 이 보정을 실시하는 구성을 택할 수도 있다. 이 경우는 측정공정과 마찬가지로 검출용 자외선을 사용하여 이하의 구성을 채용하게 된다.

즉, 검출용 자외선에 대한 미부취가스의 흡광도인 제1보정용 미부취가스 흡광도를 구하는 제1보정용 흡광도 측정공정을 갖추고, 별도 측정되어 있는 검출용 부취후가스 흡광도로부터 제1보정용 비부취가스 흡광도를 기준점으로 하는 부취제 농도 대응 흡광도를 구하고 구해진 부취제 농도 대응 흡광도에 기초하여 앞서 설명한 농도 도출공정에 있어서 부취제 농도를 구하는 것이다.

그런데 이 구성에 있어서는 부취후가스의 흡광도를 구함과 동시에 제1보정용 미부취가스 흡광도를 구하고, 나아가서는 이러한 차이로서의 부취제 흡광도를 구하고, 이 값으로부터 부취제의 농도를 구하는데, 본 출원에서 사용하는 검출용 자외선은 기본적으로는 미부취가스에는 흡수되기 어려우므로 제1보정용 미부취가스 흡광도는 0으로 가능하다. 따라서 이 경우는 상기 감산을 행하는 일 없이, 직접 부취후가스의 흡광도로부터 부취제 농도를 구하는 구성을 채용할 수 있다.

이 경우는 장치구성을 간략화할 수 있고, 경비도 절약된다.

(사) 보정용 흡광도(제1 및 제2)에 관해서는 이것을 직접 측정할 필요가 없는 경우도 있다. 즉, 미부취가스의 물성은 이것을 제조할 때에 엄격하게 관리되고 있으므로 물성이 비교적 일정하다. 따라서 이와 같은 가스에 있어서는 그 표준적인 흡광도를 기억장치에 기억시켜 두고 이 기억장치로부터 적의, 흡광도값을 불러내어 실제 부취후가스의 흡광도로부터 감산하는 구성으로 하는 것도 가능하다.

내용없음

Claims (14)

1. 탄화수소가스를 주성분으로 하는 미부취가스에 부취제를 첨가한 구성의 부취후 가스에 있어서의 부취제 농도의 측정방법에 있어서,

   상기 부취제에 흡수되기 쉽고, 상기 미부취가스에 흡수되기 어려운 검출용 자외선에 대한 상기 부취후가스의 흡광도인 검출용 부취후가스 흡광도를 구하는 검출용 흡광도 측정공정과,

   상기 검출용 흡광도 측정공정에서 얻어진 상기 검출용 부취후가스 흡광도를 사용하여 상기 부취후가스중에 있어서 상기 부취제 농도를 구하는 농도 도출공정을 갖춘 부취제 농도의 측정방법.
2. 상기 검출용 자외선에 대한 상기 미부취가스의 흡광도인 제1보정용 미부취가스 흡광도를 구하는 제1보정용 흡광도 측정공정을 갖추고,

   상기 검출용 부취후가스 흡광도로부터 상기 제1보정용 미부취가스 흡광도를 기준점으로 하는 부취제 농도 대응 흡광도를 구하고, 구해진 상기 부취제 농도 대응 흡광도에 기초하여, 상기 농도 도출공정에 있어서 상기 부취제 농도를 구하는 청구항 1 기재의 부취제 농도의 측정방법.
3. 상기 부취제 및 탄화수소가스 중 어디에도 흡수되기 어려운 보정용 자외선에 대한 상기 부취후가스의 흡광도인 제2보정용 부취후가스 흡광도를 구하는 제2보정용 흡광도 측정공정을 갗추고,

   상기 검출용 부취후가스 흡광도로부터 상기 제2보정용 부취후가스 흡광도를 기준점으로 하는 부취제 농도 대응 흡광도를 구하고, 구해진 상기 부취제 농도 대응 흡광도에 기초하여, 상기 농도 도출공정에 있어서 상기 부취제 농도를 구하는 청구항 1 기재의 부취제 농도의 측정방법.
4. 상기 부취제가 복수종 첨가되어 있는 경우에,

   상기 검출용 자외선의 파장으로서, 상기 부취제에 흡수되기 쉽고 상기 미부취가스에 흡수되기 어려운 특성이며, 동시에 상호 상기 복수의 부취제 사이에서 흡광 특성이 다른 복수의 검출용 자외선 파장을 미리 선정하여 두고,

   상기 부취제의 종수 이상의 수의 상기 검출용 자외선 파장에서의 상기 부취후가스의 흡광도인 검출용 부취후가스 흡광도를 각각 측정하고,

   측정된 복수의 상기 검출용 부취후가스 흡광도로부터 상기 복수종의 부취제 각각의 농도를 구하는 청구항 1∼3중의 어느 한 항 기재의 부취제 농도의 측정방법.
5. 부취후가스의 온도와 압력을 구하는 온도/압력검출공정을 구비하고, 상기 온도/압력검출공정에서 얻어지는 부취후가스 온도와 압력에 따라 상기 흡광도를 기준 상태에 있어서의 흡광도로 교정 환산하고, 상기 기준상태에 있어서 흡광도에 기초하여 상기 부취제의 농도를 구하는 청구항 1∼4중 어느 한 항 기재의 부취제 농도의 측정방법.
6. 상기 부취제에, 디메틸설파이드, 터셔리부틸머캅탄, 테트라 히드로티오펜, 이소프로필 머캅탄, 노르말 프로필 머캅탄, 에틸 머캅탄, 디에틸 설파이드로부터 선택되는 어느 1종 이상을 포함하는 청구항 1∼5중 어느 한 항 기재의 부취제 농도의 측정방법.
7. 상기 검출용 자외선의 파장이 190nm∼220nm범위내에 있는 청구항 1∼6항 중 어느 한 항 기재의 부취제 농도의 측정방법.
8. 상기 검출용 자외선이 파장 196nm, 204nm, 209nm중 어느 하나의 검출용 특정 자외선을 포함, 각각 반치폭이 0.5∼3nm인 청구항 1∼7중 어느 한 항 기재의 부취제 농도의 측정방법.
9. 상기 보정용 자외선이 파장이 235∼300nm인 범위내에 있는 청구항 3 기재의 부취제 농도의 측정방법.
10. 상기 보정용 자외선이 파장 250nm인 보정용 특정 자외선을 포함, 반치폭이 0.5∼3nm인 청구항 3 또는 9 기재의 부취제 농도의 측정방법.
11. 탄화수소가스를 주성분으로 하는 미부취가스에 부취제를 첨가한 구성의 부취후가스에 있어서의 부취제 농도 측정장치에 있어서,

    상기 부취제에 흡수되기 쉽고 상기 미부취가스에 흡수되기 어려운 검출용 자외선에 대한 상기 부취후가스의 흡광도인 검출용 부취후가스 흡광도를 검출가능한 흡광도 측정기구를 갖추고,

    상기 흡광도 측정기구에 의해 구해진 상기 검출용 부취후가스 흡광도를 사용하여 상기 부취후가스중에 있어서 상기 부취제 농도를 구하는 농도 도출수단을 갖춘 부취제 농도의 측정장치.
12. 상기 흡광도 측정기구가 상기 부취제 및 탄화수소가스 중 어디에도 흡수되기 어려운 보정용 자외선에 대한 상기 부취후가스의 흡광도인 제2보정용 부취후가스 흡광도를 검출가능하게 구성하고,

    상기 검출용 부취후가스 흡광도로부터 상기 제2보정용 부취후가스 흡광도를 기준점으로 하는 부취제 농도 대응 흡광도를 구하고, 구해진 상기 부취제 농도 대응 흡광도에 기초하여, 상기 농도 도출수단이 상기 부취제 농도를 구하는 청구항 11 기재의 부취제 농도의 측정장치.
13. 복수의 상기 부취제를 대상으로 하고,

    상기 검출용 자외선의 파장으로서, 상기 부취제에 흡수되기 쉽고 상기 미부취가스에 흡수되기 어려운 특성이며, 동시에 상호 상기 복수의 부취제간에서 흡광 특성이 다른 복수의 검출용 자외선 파장을 기억한 기억수단을 갖추고,

    첨가된 상기 부취제의 종수 이상의 수의 상기 검출용 자외선 파장에서의 상기 부취후가스의 흡광도인 검출용 부취후가스 흡광도를 상기 흡광도 측정기구가 각각 측정가능하게 구성되어,

    상기 농도 도출수단이 측정된 복수의 상기 검출용 부취후가스 흡광도로부터 상기 복수종의 부취제 각각의 농도를 구하는 청구항 11 또는 12 기재의 부취제 농도의 측정장치.
14. 청구항 11∼13항 중 어느 한 항 기재의 부취제 농도 측정장치를 구비함과 동시에 미부취가스에 부취제를 첨가가능한 부취제 첨가장치를 갖추고, 상기 부취후가스에 대한 상기 부취제 농도 측정장치로부터의 측정결과에 따라 상기 부취제 첨가장치를 동작시켜, 상기 부취후가스내에 있어서의 상기 부취제 농도를 목표 농도로 제어하는 제어수단을 구비한 부취제 첨가 시스템.