KR19980023672A - Electron beam landing pattern forming apparatus and method - Google Patents

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KR19980023672A KR1019960043171A KR19960043171A KR19980023672A KR 19980023672 A KR19980023672 A KR 19980023672A KR 1019960043171 A KR1019960043171 A KR 1019960043171A KR 19960043171 A KR19960043171 A KR 19960043171A KR 19980023672 A KR19980023672 A KR 19980023672A
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

본 발명은 전자빔 랜딩 패턴 형성장치 및 방법에 관한 것으로, 노광장치의 상부에는 패널을 안착시키기 위한 면판이 구비되어 있고, 이 노광장치의 하부에는 광원램프를 상부에 설치한 광원부가 전,후.좌,우 이동가능하도록 설치되어 있으며, 이 광원부로부터 일정높이(L)로 이격된 부위에는 노광렌즈가 고정부재에 결합된 노광장치에 있어서, 상기 고정부재의 일측 저면에는 다수개의 랙크가 일정길이로 하향설치되어 있으며, 이 랙크는 피니언과 맞물린 상태에서 정,역구동모터로 연결된 구조와, 아울러 상기 광원램프를 기준으로하여 노광렌즈의 상승높이((L'+α')의 최저지점과 최고지점을 적어도 여러번 반복하여 평면상 패널의 X축과 Y축이 교차하는 중심에서 Y축으로 이동되는 G빔 노광의 이동량(Vs)에 따라 비대칭 전자빔 패턴의 반복적인 합성에 의해 사각형 모양의 전자빔 랜딩 패턴을 형성시켜, G빔에 대한 전자빔 랜딩 패턴의 비틀림을 보정하고, 이에따라 미스랜딩 방지로 인하여 색순도를 향상시킬 수 있는 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for forming an electron beam landing pattern, wherein an upper surface of an exposure apparatus is provided with a face plate for seating a panel, and a lower portion of the exposure apparatus is provided with a light source lamp provided at an upper side, front, rear, and left. In the exposure apparatus, the exposure lens is coupled to the fixing member at a portion spaced apart from the light source by a certain height (L) from the light source, and a plurality of racks are downwardly fixed at a bottom of one side of the fixing member. The rack has a structure connected to the forward and reverse driving motors in engagement with the pinion, and the lowest and highest points of the rising height ((L '+ α') of the exposure lens based on the light source lamp. By repeating the repetitive synthesis of an asymmetric electron beam pattern according to the amount of shift (Vs) of the G-beam exposure shifted from the center where the X-axis and Y-axis of the planar panel cross each other at least repeatedly. To form an electron beam landing pattern of a square shape, correcting the distortion of the electron beam landing pattern of the G beam and yiettara due to miss landing to avoid that can improve the color purity.

Description

전자빔 랜딩 패턴 형성장치 및 방법Electron beam landing pattern forming apparatus and method

본 발명은 전자빔 랜딩 패턴형성장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는The present invention relates to an electron beam landing pattern forming apparatus and method, more specifically

노광시, 노광렌즈를 수직으로 이동시켜 전자빔 랜딩 패턴을 비대칭되도록 형성하고, 아울러 상,하 비대칭 랜딩의 반복적인 합성에 의한 전자빔의 굴곡을 보상하도록 한 전자빔 랜딩 패턴형성장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an electron beam landing pattern forming apparatus and method for shifting an exposure lens vertically to make an electron beam landing pattern asymmetrical, and to compensate for bending of an electron beam by repeated synthesis of up and down asymmetrical landings.

일반적으로, 칼라음극선관은 여러 가지 부품으로 이루어져 있고, 그 중에서 음극선관의 전면에는 패널이 갖추어져 있다. 이 패널은 여러공정을 거쳐 완성되는데, 이 음극선관의 패널 내면에 R.G.B의 3색 형광막을 형성시키기 위한 스크린 공정이 있으며, 이 각각의 형광막을 인하시키기 위하여 패널의 내부에 섀도우마스크를 장착 후, 노광시키게 되는 것이다.In general, the color cathode ray tube consists of various components, among which a front panel of the cathode ray tube is provided. This panel is completed through several processes, and there is a screen process for forming an RGB three-color fluorescent film on the inner surface of the cathode ray tube, and a shadow mask is mounted on the inside of the panel to reduce the respective fluorescent films. It is to be made.

첨부된 예시도면 도 1 및 도 2는 종래의 노광장치를 나타낸 것으로 먼저, 노광장치(10)의 외부에는 케이스(도시되지 않았음)가 설치되어 있고, 이 케이스의 상부에는 섀도우마스크(12)가 내장된 패널(14)을 고정.안착시키기 위한 면판(16)이 구비되어 있다.1 and 2 show a conventional exposure apparatus. First, a case (not shown) is installed outside the exposure apparatus 10, and a shadow mask 12 is provided on the upper portion of the exposure apparatus 10. A face plate 16 is provided for fixing and seating the built-in panel 14.

한편, 노광장치(10)의 하단부에는 광원램프(18)를 상부에 설치한 광원부(20)가 요동장치(도시되지 않았음)에 의해 전,후.좌,우 이동가능하도록 구비되어 있고, 이 광원부(20)로부터 일정높이(L)로 이격된 부위에는 각 빔에 대한 노광렌즈(22)가 설치되어 있으며, 이 노광렌즈(22)와 패널(14)의 사이에는 노광렌즈(22)에서 굴절된 빛을 더욱 굴절시켜 패널(14)의 양측곡면까지 도달될 수 있도록 보정렌즈(24)가 설치되어 있다.On the other hand, at the lower end of the exposure apparatus 10, the light source unit 20 having the light source lamp 18 installed thereon is provided to be moved forward, backward, left, and right by a rocking device (not shown). The exposure lens 22 for each beam is provided in the part spaced apart from the light source 20 by a predetermined height L, and is refracted by the exposure lens 22 between the exposure lens 22 and the panel 14. The correction lens 24 is provided so that the light can be further refracted to reach both curved surfaces of the panel 14.

또한, 상기 노광렌즈(22)의 외부에는 이 노광렌즈(22)를 삽입.고정시키도록 기어로 형성된 고정부재(26)가 설치되어 있고, 이 고정부재(26)는 모터(28)의 회전에 의하여 회전되는 기어(30)와 맞물려 회전되도록 설치되어 있으며, 이 고정부재(26)의 하부에는 상기 케이스에 연결되어 광원부(20)의 위치이동에 따라 노광렌즈(22)를 이동시킬 수 있도록 이동부재(32)가 연결.설치되어 있다.In addition, a fixing member 26 formed of a gear is provided on the outside of the exposure lens 22 so as to insert and fix the exposure lens 22. The fixing member 26 is adapted to the rotation of the motor 28. It is installed so as to rotate in engagement with the gear 30 is rotated by, the lower portion of the fixing member 26 is connected to the case to move the exposure lens 22 to move the exposure lens 22 in accordance with the position of the light source unit 20 (32) is connected and installed.

상기와 같이 구성된 노광장치(10)는 먼저, 광원램프(18)에서 주사되는 광원이 섀도우마스크(12)를 통하여 패널(14)의 내면에 도포된 각 형광체에 도달되어 노광을 하게 되는 것이다.In the exposure apparatus 10 configured as described above, first, the light source scanned by the light source lamp 18 reaches each phosphor coated on the inner surface of the panel 14 through the shadow mask 12 to be exposed.

또한, 상기 광원이 패널(14) 내면에 도달하는 과정 중에는 먼저, 랜딩하는 전자빔의 궤도에 따르고, 노광렌즈(22)와 보정렌즈(24)를 통과하면서 패널(14)의 크기와 곡면에 의한 궤도를 보정하여 패널(14)에 도달하게 되는 것이다.In addition, during the process of reaching the inner surface of the panel 14, the light source first follows the trajectory of the landing electron beam and passes through the exposure lens 22 and the correction lens 24, and thus the trajectory according to the size and curved surface of the panel 14. The panel 14 is reached by calibrating.

그러나, 상기와 같이 구성된 노광장치는 먼저, 광원램프를 기준으로하여 노광렌즈 까지 일정한 높이(L)로 고정되어 있고, 아울러 R.G.B빔에 대한 노광렌즈 중 G 빔에 대한 노광렌즈가 평면으로 형성되어 있어서, 패널의 크기와 곡면에 따른 G빔 노광시, 이 G빔이 패널을 평면상으로 X축과 Y축이 교차하는 중심에 일치하게 될 경우, 패널의 양측부위에는 첨부된 예시도면 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 G빔에 대한 비틀림으로 자기의 형광점을 벗어나 다른 형광점을 조사하는 미스랜딩이 발생하게 되고, 아울러 혼색으로 인한 색순도 저하와 제품의 품질을 격하시키는 문제점이 있었다.However, the exposure apparatus configured as described above is fixed at a constant height (L) to the exposure lens based on the light source lamp, and the exposure lens for the G beam among the exposure lenses for the RGB beam is formed in a plane. In the case of exposing the G beam according to the size and curved surface of the panel, when the G beam coincides with the center of the panel where the X axis and the Y axis intersect, the sides of the panel are attached. As shown in Fig. 4, the mis-landing to irradiate other fluorescent points out of the fluorescence point due to the twisting of the G-beam occurs, and there is also a problem of degrading color purity and product quality due to mixed color.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, G빔에 대한 노광시, 노광렌즈를 수직으로 이동시켜 전자빔 랜딩 패턴을 비대칭되도록 형성하고, 아울러 상,하 비대칭 랜딩의 반복적인 합성에 의한 G빔의 굴곡을 보상하도록 한 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, and when the exposure to the G-beam, the exposure lens is moved vertically to form an electron beam landing pattern asymmetrical, and by the repeated synthesis of the up, down asymmetric landing This is to compensate for the bending of the G-beam.

상기와 같은 본 발명의 노광장치의 상부에는 패널을 안착시키기 위한 면판이 구비되어 있고, 이 노광장치의 하부에는 광원램프를 상부에 설치한 광원부가 전,후.좌,우 이동가능하도록 설치되어 있으며, 이 광원부로부터 일정높이(L)로 이격된 부위에는 노광렌즈가 고정부재에 결합된 노광장치에 있어서, 상기 고정부재의 일측 저면에는 다수개의 랙크가 일정길이로 하향 설치되어 있으며, 이 랙크는 피니언과 맞물린 상태에서 정,역구동모터로 연결된 구조와, 아울러 상기 광원램프를 기준으로하여 노광렌즈의 상승높이((L'+α')의 최저지점과 최고지점을 적어도 여러번 반복하여 평면상 패널의 X축과 Y축이 교차하는 중심에서 Y축으로 이동되는 G빔 노광의 이동량(Vs)에 따라 비대칭 전자빔 패턴의 반복적인 합성에 의해 사각형 모양의 전자빔 랜딩 패턴을 형성시켜, G빔에 대한 전자빔 랜딩 패턴의 비틀림을 보정하고, 이에따라 미스랜딩 방지로 인하여 색순도를 향상시킬 수 있는 점에 특징이 있다.The upper part of the exposure apparatus of the present invention as described above is provided with a face plate for seating the panel, the lower part of the exposure apparatus is installed to move the front, rear, left, right right side of the light source lamp installed on the top. In an exposure apparatus in which an exposure lens is coupled to a fixing member at a portion separated from the light source by a predetermined height (L), a plurality of racks are installed downward at a predetermined length on one bottom surface of the fixing member. And the structure connected to the forward and reverse driving motors, and at least several times the lowest and highest points of the rising height ((L '+ α') of the exposure lens, based on the light source lamp, at least several times. A rectangular electron beam landing pattern is formed by iterative synthesis of an asymmetric electron beam pattern according to the shift amount (Vs) of the G-beam exposure shifted from the center where the X-axis and the Y-axis intersect to the Y-axis. By sex, correcting the distortion of the electron beam landing pattern of the G beam and yiettara is characterized in that to improve the color purity due to the miss landing prevented.

도 1은 일반적인 노광장치를 나타낸 측면도1 is a side view showing a general exposure apparatus

도 2는 도 1을 개략적으로 나타낸 개략도FIG. 2 is a schematic diagram schematically showing FIG. 1

도 3은 G빔에 따른 전자빔 랜딩 패턴을 나타낸 도면,3 is a view illustrating an electron beam landing pattern according to a G beam;

도 4는 도 3에 의한 G빔의 노광상태를 나타낸 도면4 is a view showing an exposure state of a G beam according to FIG. 3;

도 5는 본 발명의 전자빔 랜딩 패턴형성장치 및 방법을 나타낸 도면5 illustrates an electron beam landing pattern forming apparatus and method of the present invention.

도 6은 도 5를 개략적으로 나타낸 도면6 is a schematic view of FIG.

도 7은 G빔의 이동량(Vs)에 따른 전자빔 랜딩 패턴형상을 나타낸 것으로 (a)는 이동량이 적은 경우를 나타낸 도면, (b)는 이동량이 큰 경우를 나타낸 도면,(c) 는 (A),(B)의 합성에 의한 전자빔 랜딩 패턴을 나타낸 도면7 is a view showing an electron beam landing pattern shape according to the movement amount Vs of the G beam, (a) shows a case where the movement amount is small, (b) shows a case where the movement amount is large, and (c) shows (A) A diagram showing an electron beam landing pattern by combining (B)

도 8은 도 7에 의한 G빔의 노광상태를 나타낸 도면8 is a view illustrating an exposure state of a G beam according to FIG. 7;

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10 : 노광장치12 : 섀도우마스크10: exposure apparatus 12: shadow mask

14 : 패널16 : 면판14 panel 16: face plate

18 : 광원램프20 : 광원부18: light source lamp 20: light source

22 : 노광렌즈24 : 보정렌즈22: exposure lens 24: correction lens

26,40 : 고정부재28 : 모터26,40: fixing member 28: motor

30 : 기어32 : 이동부재30: gear 32: moving member

42 : 랙크44 : 정,역구동모터42: rack 44: forward and reverse drive motor

46 : 피니언46: pinion

이하 첨부된 예시도면 도 5 및 도 6은 본 발명의 전자빔 랜딩 패턴 형성장치 및 방법을 나타낸 도면인 바, 도 1 및 도 4와 동일한 참조번호는 동일한 부품을 표시하므로 이에 대한 설명은 생략하고 도 1 및 도 4와 상이한 점에 대해서만 설명하기로 한다.5 and 6 are views illustrating an electron beam landing pattern forming apparatus and method according to the present invention, the same reference numerals as in FIGS. 1 and 4 denote the same parts, and thus description thereof will be omitted. Only the points different from FIG. 4 will be described.

첨부된 예시도면 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 노광장치(10)의 상부에는 패널(14)을 안착시키기 위한 면판(16)이 구비되어 있고, 이 노광장치(10)의 하단부에는 광원램프(18)를 상부에 설치한 광원부(20)가 전,후.좌,우 이동가능하도록 설치되어 있으며, 이 광원부(20)로부터 일정높이((L'+α')로 이격된 부위에는 각 빔에 대한 노광렌즈(22)가 설치되어 있으며, 이 노광렌즈(22)와 패널(14)의 사이에는 이 패널(14)의 양측 곡면까지 도달될 수 있도록 보정렌즈(24)가 설치되어 있다.5 and 6, an upper surface of the exposure apparatus 10 is provided with a face plate 16 for seating the panel 14, and a light source lamp is provided at the lower end of the exposure apparatus 10. The light source unit 20 having the upper portion 18 is provided to be moved forward, rear, left, and right, and the beams are separated from the light source unit 20 at a predetermined height ((L '+ α'). An exposure lens 22 is provided, and a correction lens 24 is provided between the exposure lens 22 and the panel 14 so as to reach both curved surfaces of the panel 14.

여기서, 본 발명은 노광렌즈(22)의 외부에는 이 노광렌즈(22)를 삽입.고정시키도록 고정부재(40)가 설치되어 있는데, 이 고정부재(40)의 일측 저면에는 랙크(42)가 일정길이로 하향설치되어 있으며, 이 랙크(42)는 정,역구동모터(44)로 연결된 피니언(46)과 맞물려 회전되도록 설치되어 있다.Here, in the present invention, the fixing member 40 is provided to the outside of the exposure lens 22 to insert and fix the exposure lens 22. The rack 42 is provided at one bottom of the fixing member 40. It is installed downward to a certain length, the rack 42 is installed to rotate in engagement with the pinion 46 connected to the forward, reverse drive motor (44).

상기와 같이 구성된 본 발명의 노광광장치(10)는 먼저, 섀도우마스크(12)의 하부에 설치된 광원램프(18)에서 주사되는 광원이 섀도우마스크(12)를 통하여 패널(14)의 내면에 도포된 각 형광체에 도달하여 노광을 하게 되고, 상기 광원이 패널(14) 내면에 도달하는 과정 중 에는 먼저, 랜딩하는 전자빔의 궤도에 따르고, 보정렌즈(24)를 통과하면서 패널(14)의 크기와 곡면에 의한 궤도를 보정하여 도달하게 되는 것이다.In the exposure light apparatus 10 of the present invention configured as described above, first, a light source scanned from a light source lamp 18 installed under the shadow mask 12 is applied to the inner surface of the panel 14 through the shadow mask 12. Each of the phosphors is exposed to light, and the light source reaches the inner surface of the panel 14. First, the light source follows the trajectory of the landing electron beam, and passes through the correction lens 24. The trajectory by the curved surface is reached.

상기와 같이 노광공정을 수행하는 과정 중에 본 발명은 먼저, G빔을 노광시, 이 G빔에 대한 노광렌즈(22)는 광원램프(18)를 기준으로하여 일정한 높이(L')위치에서 노광을 시작하게 되는데, 이때 첨부된 예시도면 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 상기 고정부재(40)의 하부에 설치된 정,역구동모터(44)의 작동에 의해 피니언(46)을 시계방향으로 회전시키면, 이 피니언(46)과 맞물린 랙크(42)가 수직 상승하여 결국, G빔에 대한 노광렌즈(22)가 일정거리((L'+α')로 상승하게 된다.In the process of performing the exposure process as described above, the present invention first, when exposing the G-beam, the exposure lens 22 for the G-beam is exposed at a constant height (L ') position relative to the light source lamp 18 At this time, the pinion 46 in the clockwise direction by the operation of the forward and reverse drive motor 44 installed in the lower portion of the holding member 40 as shown in the accompanying drawings shown in Figure 5 and 6 When rotated, the rack 42 engaged with the pinion 46 rises vertically, and as a result, the exposure lens 22 with respect to the G beam is raised at a constant distance (L '+ α').

그리고, 상기 광원램프(18)를 기준으로하여 노광렌즈(22)의 상승높이((L'+α')에서 최저지점과 최고지점을 적어도 2회 이상반복하게 되면, 첨부된 예시도면 도 7에 도시된 바와 같이 패널(14)을 평면상 X축과 Y축이 교차하는 중심에서 Y축을 기준으로하여 수직으로 이동되는 G빔의 이동량(Vs)에 따라 (a),(b)와 같은 비대칭 전자빔 랜딩 패턴을 형성하게 되고, 이와 같이 비대칭 전자빔 패턴을 반복적인 합성에 의해 결국, (c)와 같은 사각형 모양의 전자빔 랜딩 팬턴을 형성하게 됨으로서, 첨부된 예시도면 도 8에 도시된 바와 같이 G빔의 랜딩 패턴에 대한 비틀림을 보정하게 되는 것이다.When the lowest point and the highest point are repeated at least two times at the rising height (L '+ α') of the exposure lens 22 with respect to the light source lamp 18, the accompanying drawings as shown in FIG. As shown, the panel 14 is asymmetrical electron beam such as (a) and (b) according to the amount of movement (Vs) of the G-beam that is vertically moved about the Y-axis at the center where the X-axis and Y-axis cross on the plane. The landing pattern is formed, and thus, the asymmetric electron beam pattern is repeatedly formed to form a square electron beam landing pantone as shown in (c). As shown in FIG. This is to correct the distortion of the landing pattern.

위와 같이 본 발명은 G빔에 대한 노광시, 노광렌즈를 수직으로 이동시켜 전자빔 랜딩 패턴을 비대칭되도록 형성하고, 아울러 상,하 비대칭 랜딩의 반복적인 합성에 의한 G빔의 굴곡을 보상하여, 미스랜딩 방지로 색순도 향상과 제품의 성능을 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention forms an electron beam landing pattern asymmetrically by moving the exposure lens vertically during exposure to the G beam, and compensates for the bending of the G beam by repetitive synthesis of the up and down asymmetric landings. Prevention has the effect of improving color purity and maximizing product performance.

Claims (2)

노광장치의 상부에는 패널을 안착시키기 위한 면판이 구비되어 있고, 이 노광장치의 하부에는 광원램프를 상부에 설치한 광원부가 전,후.좌,우 이동가능하도록 설치되어 있으며, 이 광원부로부터 일정높이(L)로 이격된 부위에는 노광렌즈가 고정부재에 결합된 노광장치에 있어서, 상기 고정부재의 일측 저면에는 다수개의 랙크가 일정길이로 하향 설치되어 있으며, 이 랙크는 피니언과 맞물린 상태에서 정,역구동모터로 연결된 것을 특징으로 하는 전자빔 랜딩 패턴 형성장치.The upper part of the exposure apparatus is provided with a face plate for seating the panel, and the lower part of the exposure apparatus is provided so that the light source part provided with the light source lamp on the upper part is movable to front, rear, left and right, and has a fixed height from the light source part. An exposure apparatus in which an exposure lens is coupled to a fixing member at a portion spaced by (L), wherein a plurality of racks are installed downward at a predetermined length on one bottom surface of the fixing member, and the racks are connected to the pinion in a fixed state. Electron beam landing pattern forming apparatus characterized in that connected to the reverse drive motor. 상기 광원램프를 기준으로하여 노광렌즈의 상승높이((L'+α')의 최저지점과 최고지점을 적어도 여러번 반복하여 평면상 패널의 X축과 Y축이 교차하는 중심에서 Y축으로 이동되는 G빔 노광의 이동량(Vs)에 따라 비대칭 전자빔 패턴의 반복적인 합성에 의해 사각형 모양의 전자빔 랜딩 패턴을 형성시키도록 한 것을 특징으로 하는 전자빔 랜딩 패턴 형성 방법.The lowest and highest points of the rising height ((L '+ α') of the exposure lens are repeated at least several times on the basis of the light source lamp to move from the center where the X and Y axes of the flat panel intersect to the Y axis. A method of forming an electron beam landing pattern, characterized in that to form a rectangular electron beam landing pattern by repetitive synthesis of an asymmetric electron beam pattern in accordance with the shift amount Vs of G beam exposure.
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