KR19980018723A - 기록 헤드와 회전 디스크 사이의 공기 베어링 높이 측정 방법 및 장치 (a methodolgy for the determination of the minimum and gap flying height of a thin-film slider) - Google Patents

기록 헤드와 회전 디스크 사이의 공기 베어링 높이 측정 방법 및 장치 (a methodolgy for the determination of the minimum and gap flying height of a thin-film slider) Download PDF

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Abstract

본 발명은 회전 디스크로부터 공기 베어링만큼 분리되는 기록 헤드의 부상 높이를 측정하기 위한 방법 및 장치를 제공한다. 기록 헤드는 슬라이딩판의 경계면으로부터 연장되는 트레일링에지를 구비한다. 이 트레일링에지는 내장된 기록/독출 소자 및 외부 첨단을 갖는다. 기록 헤드는 디스크와 헤드의 임의 지점간의 거리를 측정할 수 있는 부상 높이 테스트기속에 로드된다. 부상 높이 테스트기는 헤드와 디스크간의 공기 베어링을 발생시키기 위해 회전하는 투명 디스크를 구비한다. 외부 첨단은 공기 베어링 높이 hm만큼 디스크로부터 분리된다. 기록/독출 소자는 공기 베어링 높이 hg만큼 디스크로부터 분리된다. 슬라이딩판 경계면은 공기 베어링 높이 hi만큼 디스크로부터 분리된다. 기록/독출 소자와 디스크간의 거리를 구하기 위해 부상 높이 테스트기로 부상 높이 hg를 측정한다. 또한, 공기 베어링의 최소 높이를 판정하기 위해 부상 높이 테스트기로 부상 높이 hi-hm을 측정한다. 슬라이딩판 및 트레일링에지의 굴절률 n 및 소광 계수 k는 초기에 타원편광계로 측정될 수 있고, 공기 베어링 높이 hg, hi 및 hm을 계산하기 위해 부상 높이 테스트기에 의해 이용된다. 아울러, 부상 높이 측정값의 정확도를 검증하기 위해 슬라이더의 단면이 측정되어 이용될 수 있다.

Description

기록 헤드와 회전 디스크 사이의 공기 베어링 높이 측정 방법 및 장치
본 발명은 하드 디스크 드라이브의 자기 헤드의 공기 베어링 높이 측정과 검증의 방법 및 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 하드 디스크 드라이브는 회전 자기 디스크의 자기 필드를 자화시키고 감지하는 자기 변환기를 구비한다. 상기 자기 변환기는 자기 변환기와 상기 자기 디스크간의 공기 베어링을 생성시키는 유체역학적 특성을 갖는 슬라이더속에 일체로 장치된다. 상기 공기 베어링으로 인해 상기 디스크와 슬라이더간의 접촉 및 그에 따른 기계적 마모가 방지된다. 변환기의 감도를 가장 효과적으로 활용하기 위해서는 공기 베어링의 높이를 최소화하는 것이 바람직하다.
상기 슬라이더는 통상적으로, 하드 디스크 드라이브 제조시 공기 베어링 높이가 설계 규격에 규정된 범위를 유지하도록 부상 높이 테스트기로 테스트를 거친다.
부상 높이 테스트기는 일반적으로 슬라이더를 투명 디스크에 인접하게 위치시키는 로우더(loader)를 구비한다. 상기 투명 디스크가 회전하여 슬라이더와 디스크사이에 공기 베어링이 생성된다. 광 빔은 디스크를 통해 지향되고, 슬라이더/디스크 경계면에서 반사된다. 반사된 광 빔은 광검출기에 의해 검출되는 간섭 무늬를 발생시킨다. 이러한 간섭 무늬는 컴퓨터에 의해 분석되어 슬라이더의 부상 높이를 결정하게 된다.
도 1은 공기 베어링(3)에 의해 회전 디스크(2)로부터 분리된 기록 헤드 슬라이더(1)를 나타낸 것이다. 기록 헤드 슬라이더(1)는 슬라이더(1)의 트레일링에지(5)에 내장되는 기록/독출 소자(4)를 포함한다. 상기 슬라이더(1)의 트레일링에지(trailing edge)(5)는 Al2O3-TiC 물질로 구성되는 슬라이딩판(6)으로부터 연장된다. 상기 기록/독출 소자(4)는 일반적으로 상기 기록/독출 소자(4)의 가장자리를 경사지게 에워싸고 있는 Al2O3층으로 덮여져 있다. 상기 Al2O3층으로 기록/독출 소자를 경사지게 에워싸는 공정은 트레일링에지(5)와 슬라이딩판(6) 사이의 리세스(recess) 7을 생성시킬 수 있다.
부상 높이 테스트기는 일반적으로 상기 슬라이더(1)의 리딩에지(leading edge)에서의 공기 베어링 높이 hl 및 상기 슬라이딩판(6)과 트레일링에지(5)의 경계면을 향하는 공기 베어링 높이 ht를 측정하고, 이러한 hl 및 ht는 슬라이더(1)의 경사도(pitch) α를 계산하는데 이용된다. 또한 상기 높이 테스트기는 기록 헤드/디스크 경계면의 신뢰도 및 내구성을 평가하는데 이용되는 ht 값을 제공한다. 기록 헤드/디스크 경계면을 보다 정확하게 분석하기 위해서는 기록/독출 소자(4)와 디스크(2)간의 부상 높이 hg 및 슬라이더(1)와 회전 디스크(2)간의 최소 부상 높이를 측정하는 것이 바람직하다. 상기 최소 부상 높이는 회전 디스크(2)와 슬라이딩판(6) 경계면 간의 높이 hi 또는 회전 디스크(2)와 트레일링에지(5)의 첨단간의 높이 hm이 될 수도 있다. 이같은 최소 부상 높이는 헤드/디스크 경계면의 신뢰도 및 내구성을 평가하는데 유용하다. 갭 부상 높이 hg는 기록/독출 소자(4)의 성능을 분석하는데 이용될 수 있다. 따라서, 최소 부상 높이 및, 기록/독출 소자(4)와 회전 디스크(2) 간의 갭 부상 높이 hg를 측정할 수 있는 방법 및 장치를 제공하고, 부상 높이 측정값의 정확도를 검증하는 것이 바람직하다.
그러나, 종래의 하드 디스크 드라이브에 있어서는, 헤드/디스크 경계면의 신뢰도 및 내구성을 평가하고, 기록/독출 소자(4)의 성능을 분석하는 및 부상 높이 측정값의 정확도를 검증하는데 어려움이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 회전 디스크로부터 공기 베어링만큼 떨어진 기록 헤드의 부상 높이를 측정하기 위한 방법 및 장치를 제공하는데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 헤드 슬라이딩판의 경계면으로부터 연장되고 상기 헤드 슬라이딩판의 공기 베어링 표면으로부터 움푹 들어가 형성되며 외부 첨단 및 공기 베어링 표면을 구비한 트레일링에지의 내부에 기록/독출 소자가 위치하는 기록 헤드와 회전 디스크간의 공기 베어링 높이를 측정하기 위한 방법이 제공되고, 상기 공기 베어링 높이 측정 방법은 헤드 슬라이딩판의 경계면이 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hi 만큼 분리되고, 기록/독출 소자가 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hg 만큼 분리되며, 트레일링에지의 외부 첨단이 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hm 만큼 분리되도록, 디스크를 회전시키는 단계와, 공기 베어링 높이 hi, hg 및 hm을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 특징에 따라, 기록 헤드는 슬라이딩판의 경계면으로부터 연장되는 트레일링에지를 구비하고, 상기 트레일링에지에는 기록/독출 소자가 내장되어 있고, 외부 첨단이 형성되어 있다. 또한, 기록 헤드는 디스크와 헤드상의 임의 지점간의 거리를 측정할 수 있는 부상 높이 테스트기 속에 로드된다. 상기 부상 높이 테스트기는 헤드와 디스크 사이에 공기 베어링을 생성하도록 회전되는 투명 디스크를 포함한다. 상기 부상 높이 테스트기를 통해, 공기 베어링 높이 hg를 측정하여 기록/독출 소자와 디스크간의 거리를 구할 수 있고, 공기 베어링 높이 hi-hm을 측정하여 공기 베어링의 최소 높이를 결정할 수 있다. 슬라이딩판 및 트레일링에지의 굴절률 n 및 소광계수 k는 초기에 타원편광계로 측정되고, 상기 부상 높이 테스트기에 의해 사용되어 공기 베어링 높이 hg, hi 및 hm을 계산할 수 있다. 아울러, 헤드 슬라이더의 단면이 측정 및 이용되어 부상 높이 측정값의 정확도를 검증할 수 있게 된다.
도 1은 공기 베어링에 의해 기록 헤드가 회전 디스크로부터 분리된 상태를 나타낸 개략도.
도 2는 공기 베어링의 높이를 측정하는 부상 높이 테스트기를 나타낸 개략도.
도 3은 회전 디스크 위를 부상하는 기록 헤드를 나타낸 개략도.
도 4는 기록 헤드의 굴절률 n 및 소광계수 k값을 측정하는 타원편광계(ellipsometer)의 빔 위치를 나타낸 개략도.
도 5는 기록 헤드의 트레일링에지에 있는 부상 높이 테스트기의 빔 위치를 나타낸 개략도.
도 6은 부상 높이 테스트기의 정확도를 증명하기 위해 취해진 부상 높이 측정을 나타낸 개략도.
도 7은 표면 거칠기 측정 장치(profilometer)에 의해 측정된 기록 헤드의 단면을 그래프로 나타낸 도면.
도 8은 측정된 값을 표면 거칠기 측정 장치에 제공된 단면과 비교하여 그래프로 나타낸 도면.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
1,14: 기록 헤드 2,16: 회전 디스크
3,12: 공기 베어링 4,30: 기록/독출 소자
5,32: 트레일링에지 6,36: 슬라이딩판
10: 부상 높이 테스트기 16: 투명 디스크
18: 스핀들 20: x-y 테이블
22: 광원 24: 광빔
26: 광검출기 28 컴퓨터
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 도면전체를 통하여 동일한 부분에는 동일한 도면부호를 사용하기로 한다.
도 2는 디스크(16)로부터 기록 헤드(14)를 분리시키는 공기 베어링(12)의 높이를 측정하는 테스트기(10)를 나타낸 것이다. 상기 디스크(16)는 투명하고, x-y 테이블(20)에 부착되는 스핀들(18)에 장착된다. 또한, 상기 투명 디스크(16)를 통해서 헤드(14)상으로 광 빔(24)을 지향시킬 수 있는 광원(22)이 상기 x-y 테이블(20)에 장착된다. 상기 x-y 테이블(20)은 상기 광 빔(24)이 헤드상의 각기 다른 위치에서 반사되도록 상기 광원(22)을 이동시킬 수 있다.
상기 광 빔(24)은 헤드/디스크 경계면에서 반사되어 상기 투명 디스크(16)를 통해 되돌아온다. 상기 반사된 광 빔은 광검출기(26)에 의해 검출되는 간섭 무늬를 일으킨다. 상기 광검출기(26)는 공기 베어링의 높이를 결정하기 위해 상기 간섭 무늬를 분석할 수 있는 컴퓨터(28)에 연결된다. 상기 광원(22), 투명 디스크(16), x-y 테이블(20), 광검출기(26) 및 컴퓨터(28)는 캘리포니아주 샌디애고시에 소재하는 Phase Metrics사에서 판매되는 부상 높이 테스트기로 구성할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 기록 헤드(14)는 트레일링에지(32)에 내장된 기록/독출 소자(30)를 구비한다. 상기 트레일링에지(32)는 리딩에지(38)를 갖는 슬라이딩판(36)의 경계면(34)로부터 연장되고, 슬라이딩판(36)의 공기 베어링 표면(42)로부터 리시드되어 형성되는 공기 베어링 표면(40)을 구비한다. 기록 헤드(14)가 투명 디스크(16)위에서 부상 이동할 때, 슬라이딩판(36)의 경계면(34)은 회전 디스크(16)로부터 공기 베어링 높이 hi 만큼 분리된다. 기록/독출 소자(30)는 회전 디스크(16)로 부터 공기 베어링 높이 hg 만큼 떨어진다. 트레일링에지(32)의 첨단은 회전 디스크(16)로부터 공기 베어링 높이 hm 만큼 분리된다.
슬라이딩판(36)은 통상 Al2O3-TiC 물질로 구성된다. 상기 슬라이딩판(36)의 트레일링에지(32)는 슬라이딩판(36)의 굴절률 n값 및 소광계수 k값과는 다른 n 및 k값을 갖는 Al2O3를 포함한다. 부상 높이 테스트기(10)는 미리 정해진 n 및 k값을 이용하여 공기 베어링 높이를 계산한다. 상기 테스트기(10)의 정확도를 향상시키기 위해 헤드(14)의 실제 n 및 k값을 측정하는 것이 바람직하다. 실제 n 및 k값은 타원편광계(도시생략)로 측정 가능하다. 타원편광계는 기록 헤드(14)에서 반사된 편광 빔을 이용하여 n 및 k값을 계산한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 타원편광계의 광 빔(44)은 슬라이딩판(36)의 6개의 각기 다른 위치 및 트레일링에지(32)의 9개의 각기 다른 위치로 지향되어, 15개의 별도의 n 및 k측정값을 제공하는 것이 바람직하다. 슬라이딩판(36)의 n 및 k측정값은 평균화되어 n에 대한 단일 평균값 및 k에 대한 단일 평균값을 제공한다.
Al2O3로 구성되는 트레일링에지(32)는 반투명하다. 기록/독출 소자(30)는 구리와 같은 불투명 물질로 구성된다. 기록/독출 소자(4) 상에서의 트레일링에지(32)의 유효 n 및 k값은 트레일링에지(32)의 나머지 부분에서의 n 및 k값과 다를 것이다. 타원편광계는 에지 부분의 광학 특성의 변화를 보상하기 위해 상기 트레일링에지(32)의 각 위치에 따라 구별된 n 및 k값을 제공할 수 있다. 광빔(44)의 직경은 헤드(14)상의 15개의 상이한 위치를 측정할 수 있을 정도로 충분히 작아야 한다. 50μm의 폭을 갖는 헤드의 경우, 광빔(44)은 10μm의 직경을 가져야 할 것이다. 타원편광계 광원의 파장은 부상 높이 테스트기(10)의 파장과 동일해야 한다. 광의 각 파장에 대한 별개의 n 및 k값이 측정될 수 있다.
상기 n 및 k값은 타원 편광 변수 ￥ 및 ㅿ로부터 계산될 수 있다. 상기 Al2O3와 같은 반투명 물질의 변수 ㅿ는 0에 가깝다. 비교적 작은 ㅿ값으로 인해, 소광계수 k의 정확도가 감소될 것이다. 거의 90도에 가까운 ㅿ값을 얻는 것이 바람직하다. k 값 및 부상 높이 테스트기(10)의 정확도를 향상시키기 위해, ㅿ값을 90도로 상승시킬 리타더(retarder)가 타원편광계 내에 배치될 수 있다.
측정된 n 및 k 값이 부상 높이 테스트기(10)에 공급되어 여러가지 공기 베어링(12)의 높이가 계산된다. 도 3을 참조하면, x-y 테이블(20)은 광빔(24)이 헤드(14)의 기록/독출 부분에서 반사되도록 광원(22)을 이동시킴으로써, 트레일링에지(32)의 적절한 n 및 k값을 이용하여 공기 베이링 높이 ht를 측정할 수 있다. 그후 상기 x-y 테이블(20)은 광빔(24)이 슬라이딩판(36) 경계면(34)에서 반사되도록 광원(22)을 이동시켜, 슬라이딩판(36)의 n 및 k값을 이용하여 공기 베어링 높이 hi를 측정할 수 있다. 그후 상기 x-y 테이블(20)은 광원(22)을 이동시켜, 트레일링에지(32)의 적절한 n 및 k값을 이용하여 공기 베어링 높이 hm을 측정할 수 있다. 상기 테스트기(10)로 광 빔하에 있는 슬라이더의 평균값을 측정하기 때문에, 부상높이 hi 및 hm을 측정하는데 이용되는 광 빔은 경계면(34) 및 첨단의 에지만을 커버하기 위해서는 상기 광빔은 비교적 작은 범위, 일반적으로는 10μm의 범위에서 유지되어야 한다.
부상 높이 hi와 hm을 비교하여 공기 베어링의 정확한 최소 높이를 결정할 수 있다. 부상 높이 hg는 기록/독출 소자(30)와 디스크(16) 간의 거리 측정에 제공되고, 이 값은 변환기(30)의 성능을 분석하는데 이용될 수 있다.
기록/독출 소자(30)를 포함하는 헤드부(14)는 트레일링에지(32)의 나머지 부분과 다른 n 및 k값을 가질 수 있다. 가변하는 n 및 k값을 최소화시키기 위해 광빔(24)은 기록/독출 소자(30)의 영역보다 최소 20배 큰 스폿 영역을 가질 수 있다.
만약, 직경이 보다 작은 광빔이 테스트기에 의해 이용되는 경우, 상기 기록/독출 소자(30)는 강도 조정 중에 바람직하지 못한 주파수 변조를 야기시킬 수도 있다.
이와는 달리, 도 5에 도시된 바와 같이, 동일한 n 및 k값을 갖는 영역에서 기록/독출 소자(30)를 두고 서로 반대 방향에서의 두 개의 다른 부상 높이 측정값 hg1 및 hg2가 취해 질 수 있다. 상기 부상 높이 측정값 hg1 및 hg2의 평균값은 갭 부상 높이 hg로서 이용될 수 있다.
공기 베어링 높이 측정값의 정확도를 검증하는 것이 바람직하다. 상기 측정값들은 기록 헤드(14)의 상이한 지점들을 따라 측정된 값을 기록 헤드(14)의 단면과 비교함으로써 검증될 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 부상 높이 테스트기(10)를 이용하여 4개의 상이한 공기 베어링 높이 h1, h2, h3 및 h4가 측정될 수 있다. 공기 베어링 높이 h1 및 h2는 Al2O3-TiC 물질로 구성된 슬라이딩판(36)과 관련이 있고, 비교적 정확한 것으로 판단된다. 공기 베어링 높이 h2, h3 및 h4는 각각 hi, hg 및 hm일 수도 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 헤드(14)의 공기 베어링 표면에 대해 표면 높이 단면이 만들어진다. 이 단면은 표면 거칠기 측정장치(profilometer), 원자 현미경 또는 기타 다른 수단에 의해 생성될 수 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 표면 높이 단면 데이터는 헤드의 경사도 α에 따라 반전 및 회전된 다음, 증가하여 단면의 대응 지점이 h1과 같아진다. 상기와 같이 반전 및 회전된 단면 데이터에는 측정된 공기 베어링 높이 h1, h2, h3 및 h4가 오버레이(overlay)된다. 경사도는 측정된 높이 h1 및 h2로부터 계산될 수 있다.
상기 반전 및 회전된 단면 데이터가 오버레이됨으로써 부상 높이 h1 및 h2값은 상기 단면 위의 대응지점 상에 해당하게 된다. 만약, 부상 높이 테스트기의 정확도가 100%라면, 측정값 h3 및 h4는 헤드의 단면 데이터에 해당된다. 측정값 h3과 h4 및 그에 대응하는 단면 데이터 지점 사이의 편차는 테스트기에서 오차를 나타낼 것이다.
지금까지, 특정 실시예와 관련하여 본 발명이 설명되었지만, 상기 본 발명에 대한 개시는 단지 본 발명의 적용례에 불과한 것이고, 본 발명은 본 발명을 수행하기 위한 최상 모드로서 본 명세서에 개시된 특정 실시예에 국한되는 것은 아니다.
또한, 하기 특허청구의 범위에 의해 마련되는 본 발명의 원리나 분야를 일탈하지 않는 범위 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변경될 수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 기록 헤드의 부상 높이 테스트기는 하드 디스크 드라이브의 자기 기록 헤드의 정확한 갭 부상 높이 및 최소 부상 높이를 측정할 수 있어서, 기록/독출 소자의 성능을 분석하는 것은 물론, 헤드/디스크 경계면의 신뢰도 및 내구성을 평가할 수 있고, 부상 높이 측정값의 정확도를 검증할 수 있다.

Claims (20)

  1. 헤드 슬라이딩판의 경계면으로부터 연장되고 상기 헤드 슬라이딩판의 공기 베어링 표면으로부터 움푹 들어가 형성되며 바깥쪽 첨단 및 공기 베어링 표면을 구비한 트레일링에지의 내부에 기록/독출 소자가 위치하는 기록 헤드와 회전 디스크간의 공기 베어링 높이 측정 방법에 있어서,
    상기 헤드 슬라이딩판의 경계면이 상기 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hi 만큼 떨어지고, 상기 기록/독출 소자가 상기 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hg 만큼 떨어지며, 상기 트레일링에지의 외부 첨단이 상기 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hm 만큼 떨어지도록 상기 디스크를 회전시키는 과정과,
    상기 공기 베어링 높이 hi, hg 및 hm을 측정하는 과정을 포함함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 공기 베어링 높이는 광빔을 상기 디스크를 통해 지향시키고, 상기 기록 헤드에서 반사된 광빔을 검출함으로써 측정함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 헤드 슬라이딩판의 광학 특성 및 상기 트레일링에지의 광학 특성을 측정하고, 상기 광학 특성을 이용하여 상기 공기 베어링 높이 hi, hg 및 hm을 측정하는 과정을 더 포함함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 광학 특성은 상기 헤드 슬라이딩판 및 트레일링에지의 굴절률 n 및 소광계수 k를 포함함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 높이 hg는 상기 기록/독출 소자의 서로 반대편에 위치한 높이 hg1 및 hg2를 측정하고, 상기 높이 hg1과 hg2의 평균값을 계산함으로써 측정함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 높이 hg는 상기 기록/독출 소자 영역의 최소 20 배인 스폿 영역을 갖는 광빔으로 측정되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 헤드 슬라이딩판 및 트레일링에지의 다수의 단면 데이터를 측정하고, 상기 단면 데이터를 반전, 회전 및 증가시키고, 다수개의 공기 베어링 높이를 측정한 다음, 오차를 판정하기 위해 상기 측정된 공기 베어링 높이를 상기 반전, 회전 및 증가된 단면 데이터와 비교하는 과정을 더 포함함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 측정된 공기 베어링 높이는 상기 슬라이딩판 및 트레일링에지 상의 지점들을 포함함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 방법.
  9. 헤드 슬라이딩판의 경계면으로부터 연장되고 상기 헤드 슬라이딩판의 공기 베어링 표면으로부터 움푹 들어가 형성되며 바깥쪽 첨단 및 공기 베어링 표면을 구비한 트레일링에지의 내부에 기록/독출 소자가 위치하는 기록 헤드와 회전 디스크간의 공기 베어링 높이 측정 방법에 있어서,
    상기 헤드 슬라이딩판 및 트레일링에지의 굴절률 n 및 소광계수 k를 측정하는 과정과,
    상기 헤드 슬라이딩판의 경계면이 상기 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hi 만큼 분리되고, 상기 기록/독출 소자가 상기 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hg 만큼 분리되며, 상기 트레일링에지의 바깥쪽 첨단이 상기 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hm 만큼 분리되도록 디스크를 회전시키는 과정과,
    상기 헤드 슬라이딩판 및 트레일링에지의 굴절률 n 및 소광계수 k를 이용하여 상기 공기 베어링 높이 hi, hg 및 hm을 측정하는 과정과,
    상기 헤드 슬라이딩판 및 트레일링에지의 다수개의 단면데이터를 측정하는 과정과,
    상기 기록 헤드상의 공기 베어링 높이 h1을 측정하는 과정과,
    상기 단면데이터의 대응 지점이 상기 높이 h1과 동일해 지도록 상기 단면 데이터를 변경하는 과정과,
    오차를 판정하기 위해 상기 측정된 높이 hg 및 hm을 상기 변경된 단면 데이터의 대응 지점과 비교하는 과정으로 이루어짐을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 공기 베어링 높이는 광빔을 상기 디스크를 통해 지향시키고, 상기 기록 헤드에서 반사된 광빔을 검출함으로써 측정함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 높이 hg는 상기 기록/독출 소자의 서로 반대 방향에 위치한 높이 hg1 및 hg2를 측정하고, 상기 높이 hg1과 hg2의 평균값을 계산함으로써 측정함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 높이 hg는 상기 기록/독출 소자 영역의 최소 20 배인 스폿 영역을 갖는 광빔으로 측정함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 방법.
  13. 헤드 슬라이딩판의 경계면으로부터 연장되고 상기 헤드 슬라이딩판의 공기 베어링 표면으로부터 움푹 들어가 형성되며 바깥쪽 첨단 및 공기 베어링 표면을 구비한 트레일링에지의 내부에 기록/독출 소자가 위치하는 기록 헤드의 공기 베어링의 측정된 높이를 입증하기 위한 방법으로서, 상기 헤드 슬라이딩판이 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hi 만큼 떨어지고, 상기 기록/독출 소자가 상기 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hg 만큼 떨어지며, 상기 트레일링에지의 외부 첨단이 상기 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hm 만큼 떨어지는, 공기 베어링의 측정된 높이 입증 방법에 있어서,
    상기 헤드 슬라이딩판 및 트레일링에지의 단면 데이터를 측정하는 과정과,
    상기 기록 헤드상의 공기 베어링 높이 h1을 측정하는 과정과,
    상기 단면 데이터의 대응 지점이 상기 높이 h1과 동일해 지도록 상기 단면 데이터를 변경하는 과정과,
    오차를 판정하기 위해 상기 측정된 높이 hg 및 hm을 상기 변경된 단면 데이터의 대응 지점과 비교하는 과정으로 이루어짐을 특징으로 측정된 높이 입증 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 단면 데이터는 상기 측정된 단면 데이터를 반전 및 회전시킴으로써 변경됨을 특징으로 하는 측정된 높이 입증 방법.
  15. 헤드 슬라이딩판의 경계면으로부터 연장되고 상기 헤드 슬라이딩판의 공기 베어링 표면으로부터 움푹 들어가 형성되며 바깥쪽 첨단 및 공기 베어링 표면을 구비한 트레일링에지의 내부에 기록/독출 소자가 위치하는 기록 헤드와 회전 디스크간의 공기 베어링 높이를 측정 장치에 있어서,
    상기 헤드 슬라이딩판의 경계면이 상기 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hi 만큼 떨어지고, 상기 기록/독출 소자가 상기 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hg 만큼 떨어지며, 상기 트레일링에지의 외부 첨단이 상기 회전 디스크로부터 공기 베어링 높이 hm 만큼 떨어지도록 상기 기록 헤드에 인접한 채 회전하는 디스크와,
    광빔이 상기 기록 헤드에서 반사되도록 상기 광빔을 상기 디스크를 통해 지향시키는 광원과,
    상기 반사된 광빔을 검출하는 광검출기와,
    상기 광빔이 상기 헤드 슬라이딩판의 경계면, 상기 기록/독출 소자 및 트레일링에지의 첨단에서 각각 반사되도록 상기 기록 헤드에 대해 상기 광빔을 이동시키는 기구부와,
    상기 반사된 광빔으로부터 상기 높이 hi, hg 및 hm을 계산하는 컴퓨터로 구성됨을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 헤드 슬라이딩판 및 트레일링에지의 광학 특성을 측정하는 타원편광계를 더 구비하고, 상기 광학 특성은 상기 높이 hi, hg 및 hm을 계산하는데 이용함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 장치.
  17. 제15항에 있어서, 상기 광학 특성은 상기 헤드 슬라이딩판 및 트레일링에지의 굴절률 n 및 소광계수 k를 포함함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 장치.
  18. 제15항에 있어서, 상기 광빔은 상기 높이 hg를 측정하기 위해 상기 기록/독출 소자의 서로 반대 방향의 위치로 이동함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 장치.
  19. 제15항에 있어서, 상기 광빔은 상기 기록/독출 소자 영역의 최소 20배인 스폿 영역을 구비함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 장치.
  20. 제19항에 있어서, 오차를 판정하기 위해 상기 측정된 높이와 비교되는 다수의 단면 데이터를 측정하는 표면 거칠기 측정 장치를 더 구비함을 특징으로 하는 공기 베어링 높이 측정 장치.
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