KR102668858B1 - Hybrid Leak Inspection Device - Google Patents
Hybrid Leak Inspection Device Download PDFInfo
- Publication number
- KR102668858B1 KR102668858B1 KR1020210139055A KR20210139055A KR102668858B1 KR 102668858 B1 KR102668858 B1 KR 102668858B1 KR 1020210139055 A KR1020210139055 A KR 1020210139055A KR 20210139055 A KR20210139055 A KR 20210139055A KR 102668858 B1 KR102668858 B1 KR 102668858B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- pressure
- flow path
- pressure sensor
- hybrid
- compressed air
- Prior art date
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 98
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010998 test method Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 15
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 230000003584 silencer Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0092—Pressure sensor associated with other sensors, e.g. for measuring acceleration or temperature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
- G01L27/002—Calibrating, i.e. establishing true relation between transducer output value and value to be measured, zeroing, linearising or span error determination
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/08—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of piezoelectric devices, i.e. electric circuits therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
본 발명은 미세 누설 검사를 위한 차압식 누설 검사방법과 큰 누설 검사를 위한 직압식 누설 검사방법을 하나의 장치로 일체화하여 구현한 하이브리드형 누설 검사장치에 관한 것으로,
본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치는,
공기를 주입하는 공기 주입부; 상기 공기 주입부로부터 공급된 공기를 압축하여 생성된 압축공기를 이용하여 피검사체의 누설 여부를 검사하는 누설 검사부를 포함한다. 상기 누설 검사부는, 누설이 없는 기준품과 상기 피검사체에 상기 압축 공기를 주입하여 평형 상태를 만든 후, 상기 기준품과 상기 피검사체의 압력 차이를 측정하여 손실된 압력을 측정하는 차압 센서; 및, 상기 피검사체에 주입된 상기 압축 공기가 기설정된 시간 동안 손실되는 압력을 측정하는 직압 센서;을 포함한다.The present invention relates to a hybrid leak test device that integrates a differential pressure leak test method for micro leak test and a direct pressure leak test method for large leak test into one device,
A hybrid leakage inspection device according to an embodiment of the present invention,
An air injection unit for injecting air; It includes a leakage inspection unit that tests for leakage of the object to be inspected using compressed air generated by compressing the air supplied from the air injection unit. The leakage test unit includes a differential pressure sensor that injects the compressed air into a leak-free standard product and the test object to create an equilibrium state, and then measures the pressure difference between the standard product and the test object to measure the lost pressure; And, a direct pressure sensor that measures the pressure lost by the compressed air injected into the object to be inspected during a preset time.
Description
본 발명은 미세 누설 검사를 위한 차압식 누설 검사방법과 큰 누설 검사를 위한 직압식 누설 검사방법을 하나의 장치로 일체화하여 구현한 하이브리드형 누설 검사장치에 관한 것이다. The present invention relates to a hybrid leak test device that integrates a differential pressure leak test method for micro leak test and a direct pressure leak test method for large leak test into one device.
종래부터, 누설 방지가 필요한 제품 또는 부품을 생산함에 있어서는, 그 생산 공정 라인 상에서 누설 여부를 판정하여, 제품의 불량 여부를 판정하고 있다. 특히, 작동 유체를 사용하고 있는 부품에서의 실링은 구성 부품의 노화 방지나 고장 방지의 측면에서 매우 중요한 요소이며, 예컨대 작동 유체를 사용하고 있는 자동차 부품이 적용된 완성차에 있어서 누설이 발생한 경우에는 차량의 운행 자체가 불가능하게 되는 문제가 발생한다. Conventionally, when producing products or parts that require leakage prevention, leakage is determined on the production process line to determine whether the product is defective. In particular, sealing of parts using working fluid is a very important element in terms of preventing aging or failure of component parts. For example, if leakage occurs in a finished vehicle with automobile parts using working fluid, the sealing of the vehicle may occur. Problems arise that make driving itself impossible.
따라서, 자동차 부품 중 작동유체가 사용되는 부품에 대해서는, 그 생산 공정 라인 상에서 누설 시험을 실시하게 되는데, 물과 같은 액체를 사용하는 경우, 엔진 등에 장착되기 전에 녹이 발생하는 등의 문제가 발생할 수 있으므로, 통상 공기를 사용하여 누설 검사를 진행한다.Therefore, for automobile parts that use working fluid, leakage tests are performed on the production process line. When liquids such as water are used, problems such as rust may occur before being installed in the engine, etc. , Leakage testing is usually performed using air.
특히, 전기 자동차 시장 확대로 배터리의 수요가 지속해서 증가하는 가운데, 배터리 팩키지의 기밀성 유지는 매우 중요한 요소이며, 이를 적절하게 시험하고 판단할 수 있는 검사 시스템의 수요가 증가하고 있다.In particular, as the demand for batteries continues to increase due to the expansion of the electric vehicle market, maintaining the confidentiality of the battery package is a very important factor, and the demand for inspection systems that can properly test and judge this is increasing.
배터리의 패키지 부품은 종류에 따라 일부 누설을 허용하는 기준을 갖고 있거나, 누설 기준이 느슨한 예도 있는데, 이 경우 차압식으로 검사할 수 없고 직압식의 장비를 별도로 구비해야 하므로, 공정 구축을 위한 공간과 비용이 가중되고 있는 문제가 있다.Depending on the type, battery package parts have standards that allow for some leakage, or there are cases where leakage standards are loose. In this case, differential pressure testing is not possible and direct pressure type equipment must be separately equipped, requiring space and space for process construction. There is a problem of increasing costs.
본 발명은 미세 누설 검사를 위한 차압식 누설 검사방법과 큰 누설 검사를 위한 직압식 누설 검사방법을 하나의 장치로 일체화하여 구현한 하이브리드형 누설 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The purpose of the present invention is to provide a hybrid leak test device that integrates a differential pressure leak test method for micro leak test and a direct pressure leak test method for large leak test into one device.
본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치는,A hybrid leakage inspection device according to an embodiment of the present invention,
공기를 주입하는 공기 주입부; 상기 공기 주입부로부터 공급된 공기를 압축하여 생성된 압축공기를 이용하여 피검사체의 누설 여부를 검사하는 누설 검사부를 포함한다. 상기 누설 검사부는, 누설이 없는 기준품과 상기 피검사체에 상기 압축 공기를 주입하여 평형 상태를 만든 후, 상기 기준품과 상기 피검사체의 압력 차이를 측정하여 손실된 압력을 측정하는 차압 센서; 및, 상기 피검사체에 주입된 상기 압축 공기가 기설정된 시간 동안 손실되는 압력을 측정하는 직압 센서;을 포함한다.An air injection unit for injecting air; It includes a leakage inspection unit that tests for leakage of the object to be inspected using compressed air generated by compressing the air supplied from the air injection unit. The leakage test unit includes a differential pressure sensor that injects the compressed air into a leak-free standard product and the test object to create an equilibrium state, and then measures the pressure difference between the standard product and the test object to measure the lost pressure; And, a direct pressure sensor that measures the pressure lost by the compressed air injected into the object to be inspected during a preset time.
본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치에 있어서, 상기 차압 센서는 다이어프램을 포함하고, 상기 다이어프램을 기준으로 다이어프램의 양측면에 하나씩 연결된 두 압력 간의 차이를 측정하며, 상기 직압 센서는 압전형 압력 센서, 공진형 압력 센서, 스트레인게이지형 압력 센서, 정전용량형 압력 센서 중 적어도 어느 하나일 수 있다..In the hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention, the differential pressure sensor includes a diaphragm and measures the difference between two pressures connected to both sides of the diaphragm, one by one, based on the diaphragm, and the direct pressure sensor is a piezoelectric pressure sensor. It may be at least one of a sensor, a resonance-type pressure sensor, a strain gauge-type pressure sensor, and a capacitance-type pressure sensor.
본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치에 있어서, 상기 누설 검사부는, 상기 공기 주입부를 통해 주입된 공기를 압력 측정을 위한 기준압이 될 때까지 압축하는 정압기와, 상기 정압기에서 압축된 압축 공기를 상기 기준품으로 공급하는 제1 유로와, 상기 정압기에서 압축된 압축 공기를 상기 피검사체로 공급하는 제2 유로와, 상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 연결하며, 상기 차압 센서가 설치되는 제3 유로와, 상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 연결하고, 상기 직압 센서가 설치되며, 상기 제3 유로와 병렬로 연결되는 제4 유로와, 상기 제1 유로와 상기 제2 유로 상에 각각 설치되어 상기 기준품과 상기 피검사체로 주입되는 압축 공기의 유동을 온오프하는 주입 밸브와, 상기 제4 유로 상에 설치되는 검사 밸브를 포함할 수 있다.In the hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention, the leak detection unit includes a static pressure unit that compresses the air injected through the air injection unit until it reaches a reference pressure for pressure measurement, and the compression compressed by the static pressure unit. A first flow path for supplying air to the reference product, a second flow path for supplying compressed air from the static pressure machine to the test object, the first flow path and the second flow path are connected, and the differential pressure sensor is installed. a third flow path connecting the first flow path and the second flow path, the direct pressure sensor is installed, a fourth flow path connected in parallel with the third flow path, and a fourth flow path connected to the first flow path and the second flow path. It may include an injection valve installed on each of the reference products and the inspection object to turn on and off the flow of compressed air injected into the test object, and an inspection valve installed on the fourth flow path.
본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치에 있어서, 상기 검사 밸브는, 상기 기준품 및 상기 피검사체에 압축 공기가 채워지는 동안에는 개방되어 있다가, 상기 기준품 및 피검사체에 압축 공기가 다 채워져서, 검사 준비가 완료되면 폐쇄되어 상기 기준품 측의 공간과 상기 피검사체 측의 공간이 서로 분리되도록 할 수 있다. In the hybrid leak testing device according to an embodiment of the present invention, the inspection valve is open while the reference product and the test object are filled with compressed air, and then the standard product and the test object are filled with compressed air. It can be filled and closed when inspection preparations are completed so that the space on the reference product side and the space on the inspection object side are separated from each other.
본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치에 있어서, 하이브리드형 누설 검사장치의 하우징 내부에 설치되는 제1 온도 센서와, 상기 기준품의 외부 표면에 설치되는 제2 온도 센서와, 상기 피검사체의 외부 표면에 설치되는 제3 온도 센서와, 상기 제1 내지 제3 온도 센서에 의해 측정된 온도값을 기반으로 누설 검사시의 온도에 따른 압력 편차를 보정하는 압력 편차 보정부를 더 포함할 수 있다.In the hybrid leak testing device according to an embodiment of the present invention, a first temperature sensor installed inside the housing of the hybrid leak testing device, a second temperature sensor installed on the outer surface of the reference product, and the test object. It may further include a third temperature sensor installed on the external surface, and a pressure deviation correction unit that corrects the pressure deviation depending on the temperature during the leak test based on the temperature values measured by the first to third temperature sensors.
기타 본 발명의 다양한 측면에 따른 구현예들의 구체적인 사항은 이하의 상세한 설명에 포함되어 있다.Details of other implementations of various aspects of the present invention are included in the detailed description below.
본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치에 의하면, 미세 누설 검사를 위한 차압식 누설 검사방법과 큰 누설 검사를 위한 직압식 누설 검사방법을 하나의 장치로 일체화하여 구현할 수 있다.According to the hybrid leak testing device according to an embodiment of the present invention, the differential pressure leak testing method for micro leak testing and the direct pressure leak testing method for large leak testing can be integrated and implemented into one device.
또한, 하나의 장치로 차압식 및 직압식으로 측정할 수 있으므로, 이들 각각의 측정 방식을 위한 별도의 장비를 구비할 필요가 없게 되어, 공정 구축을 위한 공간과 비용을 감소시킬 수 있게 된다.In addition, since differential pressure and direct pressure can be measured with a single device, there is no need to provide separate equipment for each measurement method, thereby reducing space and cost for process construction.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치가 도시된 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치의 누설검사부가 도시된 블록도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치의 동작 과정이 도시된 순서도이다.Figure 1 is a perspective view showing a hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a cross-sectional view showing a hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a block diagram showing a leak detection unit of a hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a flowchart showing the operation process of a hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예를 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Since the present invention can be modified in various ways and can have various embodiments, specific embodiments will be exemplified and explained in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all transformations, equivalents, and substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention.
본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 발명에서, '포함하다' 또는 '가지다' 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치를 설명한다.The terms used in the present invention are only used to describe specific embodiments and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present invention, terms such as 'include' or 'have' are intended to designate the presence of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but are not intended to indicate the presence of one or more other features. It should be understood that this does not exclude in advance the possibility of the existence or addition of elements, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. Hereinafter, a hybrid type leakage inspection device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치가 도시된 사시도이다.Figure 1 is a perspective view showing a hybrid type leak detection device according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치(100)의 하우징(H)에는, 외부에서 작동 조건 등을 입력하거나 검사 상태를 시각적으로 출력할 수 있는 인터페이스부(101)와, 피검사체의 누설 여부를 보여주는 압력 게이지(102)와, 누설 여부 검사 대상인 피검사체가 접속되는 접속구(103)와, 검사 완료 후 압축 공기를 외부로 배출하는 배기구(104)가 형성된다.Referring to FIG. 1, the housing (H) of the hybrid
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치가 도시된 단면도이다.Figure 2 is a cross-sectional view showing a hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치(100)는, 공기 주입부(110), 누설 검사부(120)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the hybrid type
공기 주입부(110)는 외부의 공기를 유입받는 유입구(111)와 유입된 공기의 압력을 조절하는 레귤레이터(112)와, 압력 조절된 공기를 누설 검사부(120)로 공급하는 공급 튜브(113)를 포함한다.The air injection unit 110 includes an
누설 검사부(120)는 공급 튜브(113)를 통해 공급된 공기를 압축하여 생성된 압축공기를 이용하여 피검사체의 누설 여부를 검사한다. 이에 대해, 도 3을 참조하여 설명한다.The
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치의 누설검사부(120)가 도시된 블록도이다.Figure 3 is a block diagram showing the
도 3을 참조하면, 누설검사부(120)는 차압 센서(121)와 직압 센서(122)를 병렬로 연결하여, 하나의 장치로 미세 누설 검사 및 큰 누설 검사를 수행할 수 있도록 한다. Referring to FIG. 3, the
구체적으로, 누설검사부(120)는 차압 센서(121), 직압 센서(122), 정압기(123), 기준품(124, Reference), 주입 밸브(125 : 125a, 125b), 검사 밸브(126), 오리피스(127), 배출 밸브(128), 소음기(129), 및 제1 ~ 제4 유로(L1 ~ L4)를 포함할 수 있다. 제2 유로(L2)는 누설 여부 검사 대상인 피검사체(Work)가 접속되는 접속구(103)와 일체로 연결된다. 또는, 접속구(103) 자체가 제2 유로(L2)의 일부일 수 있다. 이하의 설명에서, 제2 유로(L2)는 접속구(103)를 포함하는 것으로 설명한다.Specifically, the
차압 센서(121)는 다이어프램(121a)을 포함하며, 다이어프램(121a)을 기준으로 다이어프램의 양측면에 하나씩 연결된 두 압력 간의 차이를 측정한다. 즉, 차압 센서(121)는 일정한 체적의 기준품(124)에 채워진 공기 압력과 피검사체(Work)에 채워진 공기 압력의 차이를 측정한다. The
피검사체(Work)에 누설이 있는 경우, 피검사체(Work)에 채워진 공기는 누설되면서 압력이 감소하게 되며, 차압 센서(121)의 다이어프램은 압력이 감소하는 피검사체 측으로 이동하고, 차압 센서(121)는 그 이동량으로부터 압력의 차이를 측정할 수 있다. 또한, 압력차로부터 피검사체의 누설량을 측정할 수 있다. 차압 센서(121)는 제1 유로(L1)와 제2 유로(L2)를 연결하는 제3 유로(L3) 상에 설치될 수 있다.If there is a leak in the test object (Work), the air filled in the test object (Work) leaks and the pressure decreases, and the diaphragm of the
직압 센서(122)는 피검사체(Work)에 압력을 가한 후, 일정 기간 주어진 시간 동안 손실된 압력을 측정한다. 또한, 손실된 압력으로부터 피검사체의 누설량을 측정할 수 있다. 이러한 직압 센서(122)는 차압 센서를 제외한 통상의 압력 센서일 수 있으며, 압전형 압력 센서, 공진형 압력 센서, 스트레인게이지형 압력 센서, 정전용량형 압력 센서 등이 있으며, 본 발명에서는 특별히 한정되지 않는다. 직압 센서(122)는 제1 유로(L1)와 제2 유로(L2)를 연결하는 제4 유로(L4) 상에 설치될 수 있다.The
이때, 차압 센서(121)가 설치된 제3 유로(L3)와 직압 센서(122)가 설치된 제4 유로(L4)는 병렬로 연결된다.At this time, the third flow path (L3) in which the
정압기(123)는 공급 튜브(113)를 통해 공급된 공기를 압축한다. 정압기(123)는 압력 측정을 위한 기준압이 될 때까지 공기를 압축한다. 기준압이 된 압축 공기는 제1 유로(L1) 및 제2 유로(L2)를 통해 기준품(124) 및 피검사체로 주입된다.The
기준품(124)은 일정한 체적을 가지며 누설이 없는 압축 공기 수용체이다.The
주입 밸브(125a, 125b)는 제1 유로(L1)와 제2 유로(L2) 상에 각각 설치되어 기준품(124) 및 피검사체로 주입되는 압축 공기의 유동을 온오프(on-off)한다. 주입 밸브(125a, 125b)는 기준품(124) 및 피검사체에 압축 공기가 다 채워지면 차단될 수 있다. The
검사 밸브(126)는 직압 센서(122)가 설치된 제4 유로(L4) 상에 설치되며, 기준품(124) 및 피검사체(Work)에 압축 공기가 채워지는 동안에는 개방되어 있다가, 기준품(124) 및 피검사체(Work)에 압축 공기가 다 채워져서, 검사 준비가 완료되면 폐쇄되어 기준품(124) 측의 공간과 피검사체(Work) 측의 공간이 서로 분리되도록 한다.The
오리피스(127)는 제2 유로(L2) 상에서 주입 밸브(125b)의 후단에 설치된다. 오리피스(127)는 제2 유로(L2)를 통해 공급되는 압축 공기의 유량을 조절하기 위한 유출구이다. 작업자는 오리피스(127)를 이용하여 피검사체(Work) 측 공간의 압력을 선형적으로 낮추면서 차압 센서(121)의 동작을 관찰하여, 미리 설정된 거동 요건과 차이가 발생할 경우, 오프셋 만큼 Zero Set을 변경하여 차압 센서(121)를 캘리브레이션할 수 있다.The
검사가 완료되면, 배출 밸브(128)가 개방되고 누설검사부(120) 내의 압축 공기는 배기구(104)를 통해 외부로 배출된다. 이때, 배기구(104)에는 소음기(129)가 설치되어, 압축 공기의 외부 배출시 발생하는 소음을 저감시킨다. When the test is completed, the
다음, 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치의 동작 과정을 설명한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치의 동작 과정이 도시된 순서도이다.Next, the operation process of the hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 4. Figure 4 is a flowchart showing the operation process of a hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention.
먼저, 작업자는 검사 대상인 피검사체가 누설 범위를 판단한다. (S100) 피검사체의 누설 범위는 피검사체의 종류에 따라 경험적으로 또는 통계적으로 결정될 수 있다. 여기서, 미세 누설과 큰 누설을 판단하는 기준은 누설 압력이 0.1 bar인 경우를 기준으로 할 수 있다. 물론, 이는 예시일 뿐 이에 한정되는 것은 아니다.First, the operator determines the extent of leakage of the object being inspected. (S100) The leakage range of the test object can be determined empirically or statistically depending on the type of test object. Here, the standard for determining fine leakage and large leakage can be based on the case where the leakage pressure is 0.1 bar. Of course, this is only an example and is not limited to this.
1. 주로 미세 누설이 발생하는 피검사체인 경우1. In case of an object to be inspected where micro-leakage mainly occurs
주로 미세 누설이 발생하는 피검사체로 판단된 경우, 작업자는 인터페이스부(101)를 통해 미세 누설 검사를 선택한다. (S111) 누설 검사장치의 제어부(미도시)는 주입 밸브(125a, 125b) 및 검사 밸브(126)를 모두 개방(open)하여 기준품(124) 및 피검사체(Work)에 압축 공기를 주입한다. (S112)If it is determined that the object to be inspected mainly experiences micro-leakage, the operator selects micro-leakage testing through the
다음, 기준품(124) 및 피검사체(Work)에 압축 공기가 모두 채워지면, 제어부(미도시)는 주입 밸브(125a, 125b) 및 검사 밸브(126)를 모두 폐쇄(closed)한다. (S113)Next, when the
다음, 소정 시간 경과 후, 제어부는 차압 센서(121)에 의해 측정된 값을 압력 게이지(102)를 통해 디스플레이한다. (S114) 이때, 측정값은 압력 차이이거나 또는 압력 차이를 누설량으로 환산한 값일 수 있다.Next, after a predetermined time has elapsed, the control unit displays the value measured by the
2. 주로 큰 누설이 발생하는 피검사체인 경우2. In the case of an object to be inspected where large leakage occurs mainly.
주로 큰 누설이 발생하는 피검사체로 판단된 경우, 작업자는 인터페이스부(101)를 통해 큰 누설 검사를 선택한다. (S121) 누설 검사장치의 제어부(미도시)는 제2 유로(L2)의 주입 밸브(125b)는 개방(open)하고, 제1 유로(L1)의 주입 밸브(125a) 및 검사 밸브(126)를 폐쇄(closed)하여 피검사체(Work)에 압축 공기를 주입한다. (S122)If it is determined that the test object is one in which large leakage occurs, the operator selects the large leakage test through the
다음, 피검사체(Work)에 압축 공기가 모두 채워지면, 제어부(미도시)는 제1 유로(L1)의 주입 밸브(125a)를 폐쇄(closed)한다. (S123)Next, when the test object (Work) is completely filled with compressed air, the control unit (not shown) closes the
다음, 소정 시간 경과 후, 제어부는 직압 센서(122)에 의해 측정된 값을 압력 게이지(102)를 통해 디스플레이한다. (S124) 이때, 측정값은 압력 차이이거나 또는 압력 차이를 누설량으로 환산한 값일 수 있다.Next, after a predetermined time has elapsed, the control unit displays the value measured by the
3. 누설 범위를 알 수 없는 경우3. When the scope of the leak is unknown
작업자가 피검사체의 누설 범위를 알 수 없는 경우, 작업자는 인터페이스부(101)를 통해 통합 누설 검사를 선택한다. (S131) 누설 검사장치의 제어부(미도시)는 주입 밸브(125a, 125b) 및 검사 밸브(126)를 모두 개방(open)하여 기준품(124) 및 피검사체(Work)에 압축 공기를 주입한다. (S132)If the operator does not know the leakage range of the object to be inspected, the operator selects integrated leakage testing through the
다음, 기준품(124) 및 피검사체(Work)에 압축 공기가 모두 채워지면, 제어부(미도시)는 주입 밸브(125a, 125b) 및 검사 밸브(126)를 모두 폐쇄(closed)한다. (S133)Next, when the
다음, 소정 시간 경과 후, 제어부는 차압 센서(121)에 의해 측정된 값 또는 직압 센서(122)에 의해 측정된 값 중에 어느 하나를 압력 게이지(102)를 통해 디스플레이한다. (S134) 이때, 측정값은 압력 차이이거나 또는 압력 차이를 누설량으로 환산한 값일 수 있다.Next, after a predetermined time has elapsed, the control unit displays either the value measured by the
만약, 피검사체가 미세 누설을 갖고 있는 경우, 차압 센서(121)에 의해 측정될 수 있다. 이 경우, 직압 센서(122)는 유의미한 압력 차이값을 측정할 수 없게 될 수 있다.If the object to be inspected has micro-leakage, it can be measured by the
또한, 만약, 피검사체가 큰 누설을 갖고 있는 경우, 차압 센서(121)의 다이어프램은 피검사체(Work) 측으로 최대한 이동하게 되어 차압 센서(121)의 측정 한계(측정 범위)를 넘어 가게 되어 측정 불가 상태가 되나, 직압 센서(122)의 측정 범위 내에 있게 되어 직압 센서(122)에 의해 측정될 수 있다. In addition, if the object to be inspected has a large leak, the diaphragm of the
한편, 누설 검사시 사용되는 압축 공기는, 누설 검사시의 온도에 따라 영향을 받게 되어 누설 검사부(120)의 검사 결과는 온도에 따른 압력 편차가 발생할 수 있다. Meanwhile, the compressed air used during the leak test is affected by the temperature at the time of the leak test, so the test results of the
이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치는 이러한 압력 편차를 보정하는 압력 편차 보정부(미도시)를 더 포함할 수 있다. Accordingly, the hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention may further include a pressure deviation correction unit (not shown) that corrects the pressure deviation.
또한, 압력 편차를 산출하기 위해 하이브리드형 누설 검사장치(100)의 하우징(H) 내부에 설치되는 제1 온도 센서(미도시)와, 기준품(124)의 외부 표면에 설치되는 제2 온도 센서(미도시)와, 피검사체(Work)의 외부 표면에 설치되는 제3 온도 센서(미도시)를 더 포함할 수 있다.In addition, a first temperature sensor (not shown) installed inside the housing (H) of the hybrid
압력 편차 보정부는, 다음 식과 같은 이상기체 상태방정식을 기반하여 압력 편차를 보정한다.The pressure deviation correction unit corrects the pressure deviation based on the ideal gas equation of state as shown in the following equation.
PV = nRT = (W/M)RT , ρ = PM/RTPV = nRT = (W/M)RT , ρ = PM/RT
여기서, P는 압력(atm), V는 부피(㎥), n은 몰수(W/M), R은 0.082(atm, ㎥/kg mole K), W는 무게(kg), M은 분자량, ρ는 밀도(㎏/㎥)이다.Here, P is pressure (atm), V is volume (㎥), n is number of moles (W/M), R is 0.082 (atm, ㎥/kg mole K), W is weight (kg), M is molecular weight, ρ is the density (kg/㎥).
제1 내지 제3 온도 센서를 이용하여 측정한 값은 다음 [표 1]과 같이 표시한다.The values measured using the first to third temperature sensors are shown in the following [Table 1].
(제1 온도센서)initial temperature
(1st temperature sensor)
표면온도test object
surface temperature
(제3 온도센서)initial temperature
(3rd temperature sensor)
압력 편차 보정부에서 압력 편차를 보정하는 제1 과정은 다음과 같다.The first process of correcting the pressure deviation in the pressure deviation correction unit is as follows.
1) △Tm,i= Tmo,i - Tms,i 1) △Tm,i=Tmo,i - Tms,i
△Tm,i ≤ 설정값 △Tm,i ≤ set value
Pm : Tms,i를 통해 압력 계산 Pm: pressure calculation via Tms,i
2) △Ts,i = T∞ - Ts,i2) △Ts,i = T∞ - Ts,i
△Ts,i ≤ 설정값 △Ts,i ≤ set value
Ps : Ts,i를 통해 압력 계산 Ps: Calculate pressure through Ts,i
3) 온도(Ts,i)에서 10회(측정=일정시간/10) 측정 반복 3) Repeat measurement 10 times (measurement = constant time/10) at temperature (Ts,i)
1회 측정을 통해 각 기준품과 피검사체의 압력변화 △P1 산출 Calculate the pressure change △P1 of each reference product and test object through one measurement
△P1 = nR(T1 - Tsi) △P1 = nR(T1 - Tsi)
2회 측정을 통해 각 기준품과 피검사체의 압력변화 △P2 산출 Calculate pressure change △P2 of each reference product and test object through two measurements
△P2 = nR(T2 - T1) △P2 = nR(T2 - T1)
. . . . . .
10회 측정을 통해 각 기준품과 피검사체의 압력변화 △P10 산출 Calculate pressure change △P10 of each reference product and test object through 10 measurements
4) 각 기준품과 피검사체 압력 편차 : 시간변수 반영4) Pressure deviation between each reference product and the test object: Reflected as time variable
Pa,m = △P1,m + △P2,m + ·· + △P10,m Pa,m = △P1,m + △P2,m + ·· + △P10,m
Pa,s = △P1,s + △P2,s + ·· + △P10,s Pa,s = △P1,s + △P2,s + ·· + △P10,s
5) 압력 편차 보정 (반영)5) Pressure deviation correction (reflection)
기준품 : Ps,m(보정 압력값) = Pm(측정값) - Pa,m(압력편차) Standard product: Ps,m (corrected pressure value) = Pm (measured value) - Pa,m (pressure deviation)
피검사체 : Ps,s(보정 압력값) = Ps(측정값) - Pas(압력편차) Test object: Ps,s (corrected pressure value) = Ps (measured value) - Pas (pressure deviation)
압력 편차 보정부에서 압력 편차를 보정하는 제2 과정은 다음과 같다.The second process of correcting the pressure deviation in the pressure deviation correction unit is as follows.
1) 기준품과 피검사체의 온도 안정화 (Warm_up time)1) Stabilization of temperature of reference product and test object (Warm_up time)
온도점검 일정한 시간 기준내 Temperature check within a certain time standard
2) 일정한 시각에서, 기준품과 피검사체의 표면온도 Tm, Ts 측정2) Measurement of surface temperature Tm and Ts of reference product and test object at a certain time
3) 온도 편차 산출3) Temperature deviation calculation
△Ts = |Tm - Ts| << 설정값 △Ts = |Tm - Ts| << Setting value
4) 온도(Ts,i)에서 10회(측정=일정시간/10) 측정 반복 4) Repeat measurement 10 times (measurement = constant time/10) at temperature (Ts,i)
1회 측정을 통해 기준품과 피검사체의 압력변화 △P1 산출 Calculate pressure change △P1 between reference product and test object through one-time measurement
△P1 = nR(T1 - Tsi) △P1 = nR(T1 - Tsi)
2회 측정을 통해 기준품과 피검사체의 압력변화 △P2 산출 Calculate pressure change △P2 of reference product and test object through two measurements
△P2 = nR(T2 - T1) △P2 = nR(T2 - T1)
. . . . . .
10회 측정을 통해 기준품과 피검사체의 압력변화 △P10 산출 Calculate pressure change △P10 between reference product and test object through 10 measurements
5) 기준품과 피검사체의 압력 편차 산출 : 시간변수 반영5) Calculation of pressure difference between reference product and test object: Reflection of time variable
Pa,m = △P1,m + △P2,m + ·· + △P10,m Pa,m = △P1,m + △P2,m + ·· + △P10,m
Pa,s = △P1,s + △P2,s + ·· + △P10,s Pa,s = △P1,s + △P2,s + ·· + △P10,s
6) 압력 편차 보정 (반영)6) Pressure deviation correction (reflection)
기준품 : Ps,m(보정 압력값) = Pm(측정값) - Pa,m(압력편차) Standard product: Ps,m (corrected pressure value) = Pm (measured value) - Pa,m (pressure deviation)
피검사체 : Ps,s(보정 압력값) = Ps(측정값) - Pas(압력편차) Test object: Ps,s (corrected pressure value) = Ps (measured value) - Pas (pressure deviation)
이와 같은, 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치에 의하면, 미세 누설 검사를 위한 차압식 누설 검사방법과 큰 누설 검사를 위한 직압식 누설 검사방법을 하나의 장치로 일체화하여 구현할 수 있다.According to the hybrid leak testing device according to an embodiment of the present invention, the differential pressure leak testing method for micro leak testing and the direct pressure leak testing method for large leak testing can be integrated and implemented into one device. .
또한, 하나의 장치로 차압식 및 직압식으로 측정할 수 있으므로, 이들 각각의 측정 방식을 위한 별도의 장비를 구비할 필요가 없게 되어, 공정 구축을 위한 공간과 비용을 감소시킬 수 있게 된다.In addition, since differential pressure and direct pressure can be measured with a single device, there is no need to provide separate equipment for each measurement method, thereby reducing space and cost for process construction.
이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.Above, an embodiment of the present invention has been described, but those skilled in the art can add, change, delete or add components without departing from the spirit of the present invention as set forth in the patent claims. The present invention may be modified and changed in various ways, and this will also be included within the scope of rights of the present invention.
100 : 하이브리드형 누설 검사장치
101 : 인터페이스부 102 : 압력 게이지
103 : 접속구 104 : 배기구
110 : 공기 주입부
111 : 유입구 112 : 레귤레이터
113 : 공급 튜브
120 : 누설 검사부
121 : 차압 센서 122 : 직압 센서
123 : 정압기 124 : 기준품
125 : 주입 밸브 126 : 검사 밸브
127 : 오리피스 128 : 배출 밸브
129 : 소음기 L1 ~ L4 : 제1 ~ 제4 유로100: Hybrid leak inspection device
101: interface part 102: pressure gauge
103: connection port 104: exhaust port
110: air injection part
111: inlet 112: regulator
113: supply tube
120: Leakage inspection unit
121: differential pressure sensor 122: direct pressure sensor
123: static pressure device 124: standard product
125: injection valve 126: inspection valve
127: Orifice 128: Discharge valve
129: Silencer L1 ~ L4: 1st ~ 4th flow path
Claims (5)
공기를 주입하는 공기 주입부; 및
상기 공기 주입부로부터 공급된 공기를 압축하여 생성된 압축 공기를 이용하여 피검사체의 누설 여부를 검사하는 누설 검사부를 포함하며,
상기 누설 검사부는:
누설이 없는 기준품과 상기 피검사체에 상기 압축 공기를 주입하여 평형 상태를 만든 후, 상기 기준품과 상기 피검사체의 압력 차이를 측정하여 손실된 압력을 측정하는 차압 센서와,
상기 피검사체에 주입된 상기 압축 공기가 기설정된 시간 동안 손실되는 압력을 측정하는 직압 센서와,
상기 공기 주입부를 통해 주입된 공기를 압력 측정을 위한 기준압이 될 때까지 압축하는 정압기와,
상기 정압기에서 압축된 압축 공기를 상기 기준품으로 공급하는 제1 유로와,
상기 정압기에서 압축된 압축 공기를 상기 피검사체로 공급하는 제2 유로와,
상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 연결하며, 상기 차압 센서가 설치되는 제3 유로와,
상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 연결하고, 상기 직압 센서가 설치되며, 상기 제3 유로와 병렬로 연결되는 제4 유로와,
상기 제1 유로와 상기 제2 유로 상에 각각 설치되어 상기 기준품과 상기 피검사체로 주입되는 압축 공기의 유동을 온오프하는 주입 밸브와,
상기 제4 유로 상에 설치되는 검사 밸브를 포함하는,
하이브리드형 누설 검사장치.
In the hybrid leak detection device,
An air injection unit for injecting air; and
It includes a leakage inspection unit that tests for leakage of the object to be inspected using compressed air generated by compressing the air supplied from the air injection unit,
The leakage inspection unit:
A differential pressure sensor that creates an equilibrium state by injecting the compressed air into a leak-free standard product and the test object, and then measures the pressure loss by measuring the pressure difference between the standard product and the test object;
A direct pressure sensor that measures the pressure lost by the compressed air injected into the object to be inspected during a preset period of time,
A static pressure device that compresses the air injected through the air injection unit until it reaches a reference pressure for pressure measurement;
A first flow path that supplies compressed air compressed in the pressure regulator to the standard product,
a second flow path that supplies compressed air compressed in the static pressure device to the object to be inspected;
A third flow path connecting the first flow path and the second flow path and in which the differential pressure sensor is installed,
A fourth flow path connecting the first flow path and the second flow path, having the direct pressure sensor installed, and connected in parallel with the third flow path,
Injection valves installed on the first flow path and the second flow path respectively to turn on and off the flow of compressed air injected into the reference product and the test object;
Including an inspection valve installed on the fourth flow path,
Hybrid leak detection device.
상기 차압 센서는 다이어프램을 포함하고, 상기 다이어프램을 기준으로 다이어프램의 양측면에 하나씩 연결된 두 압력 간의 차이를 측정하며,
상기 직압 센서는 압전형 압력 센서, 공진형 압력 센서, 스트레인게이지형 압력 센서, 정전용량형 압력 센서 중 적어도 어느 하나인,
하이브리드형 누설 검사장치.
In claim 1,
The differential pressure sensor includes a diaphragm and measures the difference between two pressures connected to each side of the diaphragm with the diaphragm as the reference,
The direct pressure sensor is at least one of a piezoelectric pressure sensor, a resonance-type pressure sensor, a strain gauge-type pressure sensor, and a capacitance-type pressure sensor.
Hybrid leak detection device.
상기 기준품 및 상기 피검사체에 압축 공기가 채워지는 동안에는 개방되어 있다가, 상기 기준품 및 피검사체에 압축 공기가 다 채워져서, 검사 준비가 완료되면 폐쇄되어 상기 기준품 측의 공간과 상기 피검사체 측의 공간이 서로 분리되도록 하는, 하이브리드형 누설 검사장치.
The method of claim 1, wherein the inspection valve,
It is open while the standard product and the test object are filled with compressed air, and when the standard product and the test object are completely filled with compressed air and inspection preparations are completed, it is closed to create a space on the side of the standard product and the test object. A hybrid leak detection device that separates the space on each side from each other.
하이브리드형 누설 검사장치의 하우징 내부에 설치되는 제1 온도 센서와, 상기 기준품의 외부 표면에 설치되는 제2 온도 센서와, 상기 피검사체의 외부 표면에 설치되는 제3 온도 센서와,
상기 제1 내지 제3 온도 센서에 의해 측정된 온도값을 기반으로 누설 검사시의 온도에 따른 압력 편차를 보정하는 압력 편차 보정부를 더 포함하는,
하이브리드형 누설 검사장치.The method of claim 1, claim 2, or claim 4,
A first temperature sensor installed inside the housing of the hybrid leak testing device, a second temperature sensor installed on the outer surface of the reference product, and a third temperature sensor installed on the outer surface of the test object;
Further comprising a pressure deviation correction unit that corrects the pressure deviation depending on the temperature during the leak test based on the temperature value measured by the first to third temperature sensors,
Hybrid leak detection device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210139055A KR102668858B1 (en) | 2021-10-19 | 2021-10-19 | Hybrid Leak Inspection Device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210139055A KR102668858B1 (en) | 2021-10-19 | 2021-10-19 | Hybrid Leak Inspection Device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20230056087A KR20230056087A (en) | 2023-04-27 |
KR102668858B1 true KR102668858B1 (en) | 2024-05-24 |
Family
ID=86099896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020210139055A KR102668858B1 (en) | 2021-10-19 | 2021-10-19 | Hybrid Leak Inspection Device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102668858B1 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000046686A (en) * | 1998-07-30 | 2000-02-18 | Tahara:Kk | Air leakage detecting method for hollow container |
JP2001004481A (en) * | 1999-06-16 | 2001-01-12 | Denso Corp | Measuring device for leakage amount and leakage inspecting device |
JP2004177275A (en) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Toyota Motor Corp | Method of leak test and device for leak test |
KR101439919B1 (en) * | 2014-06-12 | 2014-09-15 | 엘앤텍(주) | Airtight inspection apparatus |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101468990B1 (en) | 2013-04-17 | 2014-12-05 | 태원물산주식회사 | Leak inspection apparatus using pressure-difference |
-
2021
- 2021-10-19 KR KR1020210139055A patent/KR102668858B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000046686A (en) * | 1998-07-30 | 2000-02-18 | Tahara:Kk | Air leakage detecting method for hollow container |
JP2001004481A (en) * | 1999-06-16 | 2001-01-12 | Denso Corp | Measuring device for leakage amount and leakage inspecting device |
JP2004177275A (en) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Toyota Motor Corp | Method of leak test and device for leak test |
KR101439919B1 (en) * | 2014-06-12 | 2014-09-15 | 엘앤텍(주) | Airtight inspection apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20230056087A (en) | 2023-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9638560B2 (en) | Calibration method and flow rate measurement method for flow rate controller for gas supply device | |
US5600996A (en) | Method and apparatus for testing the tightness of housings | |
TWI494554B (en) | Method and device for differential pressure measurement | |
JP2018179840A (en) | Air leak tester and air leak test method | |
KR20220081031A (en) | Tightness test system and test method for valve | |
KR20140124691A (en) | Leak inspection apparatus using pressure-difference and leak inspection method | |
CN113790852A (en) | Detection device and detection method for detecting performance of high-pressure hydrogen pressure reducing valve | |
KR102668858B1 (en) | Hybrid Leak Inspection Device | |
CN210071254U (en) | Differential pressure type air tightness tester | |
KR20080101297A (en) | Leakage detection equipment for seal ring on steel ring of oil pump | |
KR20220081032A (en) | Performance test system and test method for valve | |
JP6650734B2 (en) | Volume measurement method and airtightness / leakage test method using it | |
KR101174270B1 (en) | Measurement System and Methods of Pumping Speed of Vacuum Pumps Using Sonic Nozzles | |
US20140053636A1 (en) | Evaluation of leak testing instruments | |
CN208239032U (en) | A kind of seal cavity air tightness detecting system | |
KR20080021421A (en) | Fluid tightness test apparatus with integrated positive and negative pressurizer | |
CN204085808U (en) | A kind of air-tightness detection device | |
KR101439919B1 (en) | Airtight inspection apparatus | |
CN103210206B (en) | Measurement device and for determining the method and apparatus that injection valve leaks | |
JP2005077310A (en) | Gas measuring device and self-diagnosis method therefor | |
KR200463038Y1 (en) | Appratus for checking gas pressure regulator | |
US11473999B2 (en) | Leak inspection device and leak inspection method | |
JPH07119585A (en) | Fuel injection valve inspecting device | |
KR20020037923A (en) | The Checking System for Gasoline Engine Injecting Device | |
US4840058A (en) | Method of leak testing a cavity |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |