KR102668858B1 - Hybrid Leak Inspection Device - Google Patents

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KR102668858B1
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김환식
김환섭
신형균
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경일대학교산학협력단
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Abstract

본 발명은 미세 누설 검사를 위한 차압식 누설 검사방법과 큰 누설 검사를 위한 직압식 누설 검사방법을 하나의 장치로 일체화하여 구현한 하이브리드형 누설 검사장치에 관한 것으로,
본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치는,
공기를 주입하는 공기 주입부; 상기 공기 주입부로부터 공급된 공기를 압축하여 생성된 압축공기를 이용하여 피검사체의 누설 여부를 검사하는 누설 검사부를 포함한다. 상기 누설 검사부는, 누설이 없는 기준품과 상기 피검사체에 상기 압축 공기를 주입하여 평형 상태를 만든 후, 상기 기준품과 상기 피검사체의 압력 차이를 측정하여 손실된 압력을 측정하는 차압 센서; 및, 상기 피검사체에 주입된 상기 압축 공기가 기설정된 시간 동안 손실되는 압력을 측정하는 직압 센서;을 포함한다.
The present invention relates to a hybrid leak test device that integrates a differential pressure leak test method for micro leak test and a direct pressure leak test method for large leak test into one device,
A hybrid leakage inspection device according to an embodiment of the present invention,
An air injection unit for injecting air; It includes a leakage inspection unit that tests for leakage of the object to be inspected using compressed air generated by compressing the air supplied from the air injection unit. The leakage test unit includes a differential pressure sensor that injects the compressed air into a leak-free standard product and the test object to create an equilibrium state, and then measures the pressure difference between the standard product and the test object to measure the lost pressure; And, a direct pressure sensor that measures the pressure lost by the compressed air injected into the object to be inspected during a preset time.

Description

하이브리드형 누설 검사장치 {Hybrid Leak Inspection Device}Hybrid Leak Inspection Device {Hybrid Leak Inspection Device}

본 발명은 미세 누설 검사를 위한 차압식 누설 검사방법과 큰 누설 검사를 위한 직압식 누설 검사방법을 하나의 장치로 일체화하여 구현한 하이브리드형 누설 검사장치에 관한 것이다. The present invention relates to a hybrid leak test device that integrates a differential pressure leak test method for micro leak test and a direct pressure leak test method for large leak test into one device.

종래부터, 누설 방지가 필요한 제품 또는 부품을 생산함에 있어서는, 그 생산 공정 라인 상에서 누설 여부를 판정하여, 제품의 불량 여부를 판정하고 있다. 특히, 작동 유체를 사용하고 있는 부품에서의 실링은 구성 부품의 노화 방지나 고장 방지의 측면에서 매우 중요한 요소이며, 예컨대 작동 유체를 사용하고 있는 자동차 부품이 적용된 완성차에 있어서 누설이 발생한 경우에는 차량의 운행 자체가 불가능하게 되는 문제가 발생한다. Conventionally, when producing products or parts that require leakage prevention, leakage is determined on the production process line to determine whether the product is defective. In particular, sealing of parts using working fluid is a very important element in terms of preventing aging or failure of component parts. For example, if leakage occurs in a finished vehicle with automobile parts using working fluid, the sealing of the vehicle may occur. Problems arise that make driving itself impossible.

따라서, 자동차 부품 중 작동유체가 사용되는 부품에 대해서는, 그 생산 공정 라인 상에서 누설 시험을 실시하게 되는데, 물과 같은 액체를 사용하는 경우, 엔진 등에 장착되기 전에 녹이 발생하는 등의 문제가 발생할 수 있으므로, 통상 공기를 사용하여 누설 검사를 진행한다.Therefore, for automobile parts that use working fluid, leakage tests are performed on the production process line. When liquids such as water are used, problems such as rust may occur before being installed in the engine, etc. , Leakage testing is usually performed using air.

특히, 전기 자동차 시장 확대로 배터리의 수요가 지속해서 증가하는 가운데, 배터리 팩키지의 기밀성 유지는 매우 중요한 요소이며, 이를 적절하게 시험하고 판단할 수 있는 검사 시스템의 수요가 증가하고 있다.In particular, as the demand for batteries continues to increase due to the expansion of the electric vehicle market, maintaining the confidentiality of the battery package is a very important factor, and the demand for inspection systems that can properly test and judge this is increasing.

배터리의 패키지 부품은 종류에 따라 일부 누설을 허용하는 기준을 갖고 있거나, 누설 기준이 느슨한 예도 있는데, 이 경우 차압식으로 검사할 수 없고 직압식의 장비를 별도로 구비해야 하므로, 공정 구축을 위한 공간과 비용이 가중되고 있는 문제가 있다.Depending on the type, battery package parts have standards that allow for some leakage, or there are cases where leakage standards are loose. In this case, differential pressure testing is not possible and direct pressure type equipment must be separately equipped, requiring space and space for process construction. There is a problem of increasing costs.

한국등록특허 10-1468990호Korean Patent No. 10-1468990

본 발명은 미세 누설 검사를 위한 차압식 누설 검사방법과 큰 누설 검사를 위한 직압식 누설 검사방법을 하나의 장치로 일체화하여 구현한 하이브리드형 누설 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The purpose of the present invention is to provide a hybrid leak test device that integrates a differential pressure leak test method for micro leak test and a direct pressure leak test method for large leak test into one device.

본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치는,A hybrid leakage inspection device according to an embodiment of the present invention,

공기를 주입하는 공기 주입부; 상기 공기 주입부로부터 공급된 공기를 압축하여 생성된 압축공기를 이용하여 피검사체의 누설 여부를 검사하는 누설 검사부를 포함한다. 상기 누설 검사부는, 누설이 없는 기준품과 상기 피검사체에 상기 압축 공기를 주입하여 평형 상태를 만든 후, 상기 기준품과 상기 피검사체의 압력 차이를 측정하여 손실된 압력을 측정하는 차압 센서; 및, 상기 피검사체에 주입된 상기 압축 공기가 기설정된 시간 동안 손실되는 압력을 측정하는 직압 센서;을 포함한다.An air injection unit for injecting air; It includes a leakage inspection unit that tests for leakage of the object to be inspected using compressed air generated by compressing the air supplied from the air injection unit. The leakage test unit includes a differential pressure sensor that injects the compressed air into a leak-free standard product and the test object to create an equilibrium state, and then measures the pressure difference between the standard product and the test object to measure the lost pressure; And, a direct pressure sensor that measures the pressure lost by the compressed air injected into the object to be inspected during a preset time.

본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치에 있어서, 상기 차압 센서는 다이어프램을 포함하고, 상기 다이어프램을 기준으로 다이어프램의 양측면에 하나씩 연결된 두 압력 간의 차이를 측정하며, 상기 직압 센서는 압전형 압력 센서, 공진형 압력 센서, 스트레인게이지형 압력 센서, 정전용량형 압력 센서 중 적어도 어느 하나일 수 있다..In the hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention, the differential pressure sensor includes a diaphragm and measures the difference between two pressures connected to both sides of the diaphragm, one by one, based on the diaphragm, and the direct pressure sensor is a piezoelectric pressure sensor. It may be at least one of a sensor, a resonance-type pressure sensor, a strain gauge-type pressure sensor, and a capacitance-type pressure sensor.

본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치에 있어서, 상기 누설 검사부는, 상기 공기 주입부를 통해 주입된 공기를 압력 측정을 위한 기준압이 될 때까지 압축하는 정압기와, 상기 정압기에서 압축된 압축 공기를 상기 기준품으로 공급하는 제1 유로와, 상기 정압기에서 압축된 압축 공기를 상기 피검사체로 공급하는 제2 유로와, 상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 연결하며, 상기 차압 센서가 설치되는 제3 유로와, 상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 연결하고, 상기 직압 센서가 설치되며, 상기 제3 유로와 병렬로 연결되는 제4 유로와, 상기 제1 유로와 상기 제2 유로 상에 각각 설치되어 상기 기준품과 상기 피검사체로 주입되는 압축 공기의 유동을 온오프하는 주입 밸브와, 상기 제4 유로 상에 설치되는 검사 밸브를 포함할 수 있다.In the hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention, the leak detection unit includes a static pressure unit that compresses the air injected through the air injection unit until it reaches a reference pressure for pressure measurement, and the compression compressed by the static pressure unit. A first flow path for supplying air to the reference product, a second flow path for supplying compressed air from the static pressure machine to the test object, the first flow path and the second flow path are connected, and the differential pressure sensor is installed. a third flow path connecting the first flow path and the second flow path, the direct pressure sensor is installed, a fourth flow path connected in parallel with the third flow path, and a fourth flow path connected to the first flow path and the second flow path. It may include an injection valve installed on each of the reference products and the inspection object to turn on and off the flow of compressed air injected into the test object, and an inspection valve installed on the fourth flow path.

본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치에 있어서, 상기 검사 밸브는, 상기 기준품 및 상기 피검사체에 압축 공기가 채워지는 동안에는 개방되어 있다가, 상기 기준품 및 피검사체에 압축 공기가 다 채워져서, 검사 준비가 완료되면 폐쇄되어 상기 기준품 측의 공간과 상기 피검사체 측의 공간이 서로 분리되도록 할 수 있다. In the hybrid leak testing device according to an embodiment of the present invention, the inspection valve is open while the reference product and the test object are filled with compressed air, and then the standard product and the test object are filled with compressed air. It can be filled and closed when inspection preparations are completed so that the space on the reference product side and the space on the inspection object side are separated from each other.

본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치에 있어서, 하이브리드형 누설 검사장치의 하우징 내부에 설치되는 제1 온도 센서와, 상기 기준품의 외부 표면에 설치되는 제2 온도 센서와, 상기 피검사체의 외부 표면에 설치되는 제3 온도 센서와, 상기 제1 내지 제3 온도 센서에 의해 측정된 온도값을 기반으로 누설 검사시의 온도에 따른 압력 편차를 보정하는 압력 편차 보정부를 더 포함할 수 있다.In the hybrid leak testing device according to an embodiment of the present invention, a first temperature sensor installed inside the housing of the hybrid leak testing device, a second temperature sensor installed on the outer surface of the reference product, and the test object. It may further include a third temperature sensor installed on the external surface, and a pressure deviation correction unit that corrects the pressure deviation depending on the temperature during the leak test based on the temperature values measured by the first to third temperature sensors.

기타 본 발명의 다양한 측면에 따른 구현예들의 구체적인 사항은 이하의 상세한 설명에 포함되어 있다.Details of other implementations of various aspects of the present invention are included in the detailed description below.

본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치에 의하면, 미세 누설 검사를 위한 차압식 누설 검사방법과 큰 누설 검사를 위한 직압식 누설 검사방법을 하나의 장치로 일체화하여 구현할 수 있다.According to the hybrid leak testing device according to an embodiment of the present invention, the differential pressure leak testing method for micro leak testing and the direct pressure leak testing method for large leak testing can be integrated and implemented into one device.

또한, 하나의 장치로 차압식 및 직압식으로 측정할 수 있으므로, 이들 각각의 측정 방식을 위한 별도의 장비를 구비할 필요가 없게 되어, 공정 구축을 위한 공간과 비용을 감소시킬 수 있게 된다.In addition, since differential pressure and direct pressure can be measured with a single device, there is no need to provide separate equipment for each measurement method, thereby reducing space and cost for process construction.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치가 도시된 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치의 누설검사부가 도시된 블록도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치의 동작 과정이 도시된 순서도이다.
Figure 1 is a perspective view showing a hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a cross-sectional view showing a hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a block diagram showing a leak detection unit of a hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a flowchart showing the operation process of a hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예를 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Since the present invention can be modified in various ways and can have various embodiments, specific embodiments will be exemplified and explained in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all transformations, equivalents, and substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention.

본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 발명에서, '포함하다' 또는 '가지다' 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치를 설명한다.The terms used in the present invention are only used to describe specific embodiments and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present invention, terms such as 'include' or 'have' are intended to designate the presence of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but are not intended to indicate the presence of one or more other features. It should be understood that this does not exclude in advance the possibility of the existence or addition of elements, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. Hereinafter, a hybrid type leakage inspection device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치가 도시된 사시도이다.Figure 1 is a perspective view showing a hybrid type leak detection device according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치(100)의 하우징(H)에는, 외부에서 작동 조건 등을 입력하거나 검사 상태를 시각적으로 출력할 수 있는 인터페이스부(101)와, 피검사체의 누설 여부를 보여주는 압력 게이지(102)와, 누설 여부 검사 대상인 피검사체가 접속되는 접속구(103)와, 검사 완료 후 압축 공기를 외부로 배출하는 배기구(104)가 형성된다.Referring to FIG. 1, the housing (H) of the hybrid leak detection device 100 according to an embodiment of the present invention is equipped with an interface unit 101 that can input operating conditions from the outside or visually output the inspection status. ), a pressure gauge 102 that shows whether the object to be inspected is leaking, a connection port 103 to which the object to be tested for leakage is connected, and an exhaust port 104 that discharges compressed air to the outside after completion of the test are formed.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치가 도시된 단면도이다.Figure 2 is a cross-sectional view showing a hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치(100)는, 공기 주입부(110), 누설 검사부(120)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the hybrid type leak detection device 100 according to an embodiment of the present invention includes an air injection unit 110 and a leak detection unit 120.

공기 주입부(110)는 외부의 공기를 유입받는 유입구(111)와 유입된 공기의 압력을 조절하는 레귤레이터(112)와, 압력 조절된 공기를 누설 검사부(120)로 공급하는 공급 튜브(113)를 포함한다.The air injection unit 110 includes an inlet 111 that receives external air, a regulator 112 that adjusts the pressure of the introduced air, and a supply tube 113 that supplies pressure-adjusted air to the leak detection unit 120. Includes.

누설 검사부(120)는 공급 튜브(113)를 통해 공급된 공기를 압축하여 생성된 압축공기를 이용하여 피검사체의 누설 여부를 검사한다. 이에 대해, 도 3을 참조하여 설명한다.The leakage inspection unit 120 tests the object to be inspected for leaks using compressed air generated by compressing air supplied through the supply tube 113. This will be explained with reference to FIG. 3 .

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치의 누설검사부(120)가 도시된 블록도이다.Figure 3 is a block diagram showing the leakage test unit 120 of the hybrid type leakage test device according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 누설검사부(120)는 차압 센서(121)와 직압 센서(122)를 병렬로 연결하여, 하나의 장치로 미세 누설 검사 및 큰 누설 검사를 수행할 수 있도록 한다. Referring to FIG. 3, the leakage test unit 120 connects the differential pressure sensor 121 and the direct pressure sensor 122 in parallel to enable micro-leakage test and large-leakage test to be performed with one device.

구체적으로, 누설검사부(120)는 차압 센서(121), 직압 센서(122), 정압기(123), 기준품(124, Reference), 주입 밸브(125 : 125a, 125b), 검사 밸브(126), 오리피스(127), 배출 밸브(128), 소음기(129), 및 제1 ~ 제4 유로(L1 ~ L4)를 포함할 수 있다. 제2 유로(L2)는 누설 여부 검사 대상인 피검사체(Work)가 접속되는 접속구(103)와 일체로 연결된다. 또는, 접속구(103) 자체가 제2 유로(L2)의 일부일 수 있다. 이하의 설명에서, 제2 유로(L2)는 접속구(103)를 포함하는 것으로 설명한다.Specifically, the leakage test unit 120 includes a differential pressure sensor 121, a direct pressure sensor 122, a constant pressure regulator 123, a reference product 124, an injection valve 125: 125a, 125b, an inspection valve 126, It may include an orifice 127, a discharge valve 128, a silencer 129, and first to fourth flow paths (L1 to L4). The second flow path L2 is integrally connected to the connection port 103 to which the work to be inspected for leakage is connected. Alternatively, the connection port 103 itself may be part of the second flow path L2. In the following description, the second flow path L2 is described as including the connection port 103.

차압 센서(121)는 다이어프램(121a)을 포함하며, 다이어프램(121a)을 기준으로 다이어프램의 양측면에 하나씩 연결된 두 압력 간의 차이를 측정한다. 즉, 차압 센서(121)는 일정한 체적의 기준품(124)에 채워진 공기 압력과 피검사체(Work)에 채워진 공기 압력의 차이를 측정한다. The differential pressure sensor 121 includes a diaphragm 121a and measures the difference between two pressures connected to each side of the diaphragm, based on the diaphragm 121a. That is, the differential pressure sensor 121 measures the difference between the air pressure filled in the standard product 124 of a certain volume and the air pressure filled in the work.

피검사체(Work)에 누설이 있는 경우, 피검사체(Work)에 채워진 공기는 누설되면서 압력이 감소하게 되며, 차압 센서(121)의 다이어프램은 압력이 감소하는 피검사체 측으로 이동하고, 차압 센서(121)는 그 이동량으로부터 압력의 차이를 측정할 수 있다. 또한, 압력차로부터 피검사체의 누설량을 측정할 수 있다. 차압 센서(121)는 제1 유로(L1)와 제2 유로(L2)를 연결하는 제3 유로(L3) 상에 설치될 수 있다.If there is a leak in the test object (Work), the air filled in the test object (Work) leaks and the pressure decreases, and the diaphragm of the differential pressure sensor 121 moves to the test object where the pressure decreases, and the differential pressure sensor 121 ) can measure the difference in pressure from the amount of movement. Additionally, the amount of leakage of the inspected object can be measured from the pressure difference. The differential pressure sensor 121 may be installed on the third flow path (L3) connecting the first flow path (L1) and the second flow path (L2).

직압 센서(122)는 피검사체(Work)에 압력을 가한 후, 일정 기간 주어진 시간 동안 손실된 압력을 측정한다. 또한, 손실된 압력으로부터 피검사체의 누설량을 측정할 수 있다. 이러한 직압 센서(122)는 차압 센서를 제외한 통상의 압력 센서일 수 있으며, 압전형 압력 센서, 공진형 압력 센서, 스트레인게이지형 압력 센서, 정전용량형 압력 센서 등이 있으며, 본 발명에서는 특별히 한정되지 않는다. 직압 센서(122)는 제1 유로(L1)와 제2 유로(L2)를 연결하는 제4 유로(L4) 상에 설치될 수 있다.The direct pressure sensor 122 measures the pressure lost for a given period of time after applying pressure to the object (Work). Additionally, the amount of leakage of the test object can be measured from the lost pressure. This direct pressure sensor 122 may be a typical pressure sensor excluding differential pressure sensors, and includes piezoelectric pressure sensors, resonance-type pressure sensors, strain gauge-type pressure sensors, capacitance-type pressure sensors, etc., and is not specifically limited in the present invention. No. The direct pressure sensor 122 may be installed on the fourth flow path (L4) connecting the first flow path (L1) and the second flow path (L2).

이때, 차압 센서(121)가 설치된 제3 유로(L3)와 직압 센서(122)가 설치된 제4 유로(L4)는 병렬로 연결된다.At this time, the third flow path (L3) in which the differential pressure sensor 121 is installed and the fourth flow path (L4) in which the direct pressure sensor 122 is installed are connected in parallel.

정압기(123)는 공급 튜브(113)를 통해 공급된 공기를 압축한다. 정압기(123)는 압력 측정을 위한 기준압이 될 때까지 공기를 압축한다. 기준압이 된 압축 공기는 제1 유로(L1) 및 제2 유로(L2)를 통해 기준품(124) 및 피검사체로 주입된다.The pressure regulator 123 compresses the air supplied through the supply tube 113. The pressure regulator 123 compresses the air until it becomes a reference pressure for pressure measurement. The compressed air that has become the standard pressure is injected into the reference product 124 and the object to be inspected through the first flow path L1 and the second flow path L2.

기준품(124)은 일정한 체적을 가지며 누설이 없는 압축 공기 수용체이다.The reference product 124 is a compressed air receiver with a constant volume and no leakage.

주입 밸브(125a, 125b)는 제1 유로(L1)와 제2 유로(L2) 상에 각각 설치되어 기준품(124) 및 피검사체로 주입되는 압축 공기의 유동을 온오프(on-off)한다. 주입 밸브(125a, 125b)는 기준품(124) 및 피검사체에 압축 공기가 다 채워지면 차단될 수 있다. The injection valves 125a and 125b are installed on the first flow path L1 and the second flow path L2, respectively, to turn on and off the flow of compressed air injected into the reference product 124 and the test object. . The injection valves 125a and 125b may be blocked when the reference product 124 and the test object are completely filled with compressed air.

검사 밸브(126)는 직압 센서(122)가 설치된 제4 유로(L4) 상에 설치되며, 기준품(124) 및 피검사체(Work)에 압축 공기가 채워지는 동안에는 개방되어 있다가, 기준품(124) 및 피검사체(Work)에 압축 공기가 다 채워져서, 검사 준비가 완료되면 폐쇄되어 기준품(124) 측의 공간과 피검사체(Work) 측의 공간이 서로 분리되도록 한다.The inspection valve 126 is installed on the fourth flow path (L4) where the direct pressure sensor 122 is installed, and is open while the reference product 124 and the work object are filled with compressed air, and then the reference product ( 124) and the test object (Work) are filled with compressed air, and when inspection preparations are completed, they are closed so that the space on the standard product 124 side and the space on the test object (Work) side are separated from each other.

오리피스(127)는 제2 유로(L2) 상에서 주입 밸브(125b)의 후단에 설치된다. 오리피스(127)는 제2 유로(L2)를 통해 공급되는 압축 공기의 유량을 조절하기 위한 유출구이다. 작업자는 오리피스(127)를 이용하여 피검사체(Work) 측 공간의 압력을 선형적으로 낮추면서 차압 센서(121)의 동작을 관찰하여, 미리 설정된 거동 요건과 차이가 발생할 경우, 오프셋 만큼 Zero Set을 변경하여 차압 센서(121)를 캘리브레이션할 수 있다.The orifice 127 is installed at the rear end of the injection valve 125b on the second flow path L2. The orifice 127 is an outlet for controlling the flow rate of compressed air supplied through the second flow path L2. The operator observes the operation of the differential pressure sensor 121 while linearly lowering the pressure in the space on the work side using the orifice 127, and if a difference occurs with the preset behavior requirements, Zero Set by the offset. The differential pressure sensor 121 can be calibrated by changing.

검사가 완료되면, 배출 밸브(128)가 개방되고 누설검사부(120) 내의 압축 공기는 배기구(104)를 통해 외부로 배출된다. 이때, 배기구(104)에는 소음기(129)가 설치되어, 압축 공기의 외부 배출시 발생하는 소음을 저감시킨다. When the test is completed, the discharge valve 128 is opened and the compressed air in the leakage test unit 120 is discharged to the outside through the exhaust port 104. At this time, a silencer 129 is installed in the exhaust port 104 to reduce noise generated when compressed air is discharged to the outside.

다음, 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치의 동작 과정을 설명한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치의 동작 과정이 도시된 순서도이다.Next, the operation process of the hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 4. Figure 4 is a flowchart showing the operation process of a hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention.

먼저, 작업자는 검사 대상인 피검사체가 누설 범위를 판단한다. (S100) 피검사체의 누설 범위는 피검사체의 종류에 따라 경험적으로 또는 통계적으로 결정될 수 있다. 여기서, 미세 누설과 큰 누설을 판단하는 기준은 누설 압력이 0.1 bar인 경우를 기준으로 할 수 있다. 물론, 이는 예시일 뿐 이에 한정되는 것은 아니다.First, the operator determines the extent of leakage of the object being inspected. (S100) The leakage range of the test object can be determined empirically or statistically depending on the type of test object. Here, the standard for determining fine leakage and large leakage can be based on the case where the leakage pressure is 0.1 bar. Of course, this is only an example and is not limited to this.

1. 주로 미세 누설이 발생하는 피검사체인 경우1. In case of an object to be inspected where micro-leakage mainly occurs

주로 미세 누설이 발생하는 피검사체로 판단된 경우, 작업자는 인터페이스부(101)를 통해 미세 누설 검사를 선택한다. (S111) 누설 검사장치의 제어부(미도시)는 주입 밸브(125a, 125b) 및 검사 밸브(126)를 모두 개방(open)하여 기준품(124) 및 피검사체(Work)에 압축 공기를 주입한다. (S112)If it is determined that the object to be inspected mainly experiences micro-leakage, the operator selects micro-leakage testing through the interface unit 101. (S111) The control unit (not shown) of the leakage test device opens both the injection valves 125a and 125b and the inspection valve 126 to inject compressed air into the standard product 124 and the work. . (S112)

다음, 기준품(124) 및 피검사체(Work)에 압축 공기가 모두 채워지면, 제어부(미도시)는 주입 밸브(125a, 125b) 및 검사 밸브(126)를 모두 폐쇄(closed)한다. (S113)Next, when the reference product 124 and the test object (Work) are completely filled with compressed air, the control unit (not shown) closes all the injection valves 125a and 125b and the inspection valve 126. (S113)

다음, 소정 시간 경과 후, 제어부는 차압 센서(121)에 의해 측정된 값을 압력 게이지(102)를 통해 디스플레이한다. (S114) 이때, 측정값은 압력 차이이거나 또는 압력 차이를 누설량으로 환산한 값일 수 있다.Next, after a predetermined time has elapsed, the control unit displays the value measured by the differential pressure sensor 121 through the pressure gauge 102. (S114) At this time, the measured value may be a pressure difference or a value converted from the pressure difference to a leakage amount.

2. 주로 큰 누설이 발생하는 피검사체인 경우2. In the case of an object to be inspected where large leakage occurs mainly.

주로 큰 누설이 발생하는 피검사체로 판단된 경우, 작업자는 인터페이스부(101)를 통해 큰 누설 검사를 선택한다. (S121) 누설 검사장치의 제어부(미도시)는 제2 유로(L2)의 주입 밸브(125b)는 개방(open)하고, 제1 유로(L1)의 주입 밸브(125a) 및 검사 밸브(126)를 폐쇄(closed)하여 피검사체(Work)에 압축 공기를 주입한다. (S122)If it is determined that the test object is one in which large leakage occurs, the operator selects the large leakage test through the interface unit 101. (S121) The control unit (not shown) of the leakage test device opens the injection valve 125b of the second flow path L2, and opens the injection valve 125a and the inspection valve 126 of the first flow path L1. is closed and compressed air is injected into the work. (S122)

다음, 피검사체(Work)에 압축 공기가 모두 채워지면, 제어부(미도시)는 제1 유로(L1)의 주입 밸브(125a)를 폐쇄(closed)한다. (S123)Next, when the test object (Work) is completely filled with compressed air, the control unit (not shown) closes the injection valve 125a of the first flow path L1. (S123)

다음, 소정 시간 경과 후, 제어부는 직압 센서(122)에 의해 측정된 값을 압력 게이지(102)를 통해 디스플레이한다. (S124) 이때, 측정값은 압력 차이이거나 또는 압력 차이를 누설량으로 환산한 값일 수 있다.Next, after a predetermined time has elapsed, the control unit displays the value measured by the direct pressure sensor 122 through the pressure gauge 102. (S124) At this time, the measured value may be a pressure difference or a value converted from the pressure difference to a leakage amount.

3. 누설 범위를 알 수 없는 경우3. When the scope of the leak is unknown

작업자가 피검사체의 누설 범위를 알 수 없는 경우, 작업자는 인터페이스부(101)를 통해 통합 누설 검사를 선택한다. (S131) 누설 검사장치의 제어부(미도시)는 주입 밸브(125a, 125b) 및 검사 밸브(126)를 모두 개방(open)하여 기준품(124) 및 피검사체(Work)에 압축 공기를 주입한다. (S132)If the operator does not know the leakage range of the object to be inspected, the operator selects integrated leakage testing through the interface unit 101. (S131) The control unit (not shown) of the leakage test device opens both the injection valves 125a and 125b and the inspection valve 126 to inject compressed air into the standard product 124 and the work. . (S132)

다음, 기준품(124) 및 피검사체(Work)에 압축 공기가 모두 채워지면, 제어부(미도시)는 주입 밸브(125a, 125b) 및 검사 밸브(126)를 모두 폐쇄(closed)한다. (S133)Next, when the reference product 124 and the test object (Work) are completely filled with compressed air, the control unit (not shown) closes all the injection valves 125a and 125b and the inspection valve 126. (S133)

다음, 소정 시간 경과 후, 제어부는 차압 센서(121)에 의해 측정된 값 또는 직압 센서(122)에 의해 측정된 값 중에 어느 하나를 압력 게이지(102)를 통해 디스플레이한다. (S134) 이때, 측정값은 압력 차이이거나 또는 압력 차이를 누설량으로 환산한 값일 수 있다.Next, after a predetermined time has elapsed, the control unit displays either the value measured by the differential pressure sensor 121 or the value measured by the direct pressure sensor 122 through the pressure gauge 102. (S134) At this time, the measured value may be a pressure difference or a value converted from the pressure difference to a leakage amount.

만약, 피검사체가 미세 누설을 갖고 있는 경우, 차압 센서(121)에 의해 측정될 수 있다. 이 경우, 직압 센서(122)는 유의미한 압력 차이값을 측정할 수 없게 될 수 있다.If the object to be inspected has micro-leakage, it can be measured by the differential pressure sensor 121. In this case, the direct pressure sensor 122 may not be able to measure a significant pressure difference value.

또한, 만약, 피검사체가 큰 누설을 갖고 있는 경우, 차압 센서(121)의 다이어프램은 피검사체(Work) 측으로 최대한 이동하게 되어 차압 센서(121)의 측정 한계(측정 범위)를 넘어 가게 되어 측정 불가 상태가 되나, 직압 센서(122)의 측정 범위 내에 있게 되어 직압 센서(122)에 의해 측정될 수 있다. In addition, if the object to be inspected has a large leak, the diaphragm of the differential pressure sensor 121 moves as much as possible toward the object to be inspected (Work), thereby exceeding the measurement limit (measurement range) of the differential pressure sensor 121, making measurement impossible. However, it is within the measurement range of the direct pressure sensor 122 and can be measured by the direct pressure sensor 122.

한편, 누설 검사시 사용되는 압축 공기는, 누설 검사시의 온도에 따라 영향을 받게 되어 누설 검사부(120)의 검사 결과는 온도에 따른 압력 편차가 발생할 수 있다. Meanwhile, the compressed air used during the leak test is affected by the temperature at the time of the leak test, so the test results of the leak test unit 120 may have pressure differences depending on the temperature.

이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치는 이러한 압력 편차를 보정하는 압력 편차 보정부(미도시)를 더 포함할 수 있다. Accordingly, the hybrid leak detection device according to an embodiment of the present invention may further include a pressure deviation correction unit (not shown) that corrects the pressure deviation.

또한, 압력 편차를 산출하기 위해 하이브리드형 누설 검사장치(100)의 하우징(H) 내부에 설치되는 제1 온도 센서(미도시)와, 기준품(124)의 외부 표면에 설치되는 제2 온도 센서(미도시)와, 피검사체(Work)의 외부 표면에 설치되는 제3 온도 센서(미도시)를 더 포함할 수 있다.In addition, a first temperature sensor (not shown) installed inside the housing (H) of the hybrid leak detection device 100 to calculate the pressure deviation, and a second temperature sensor installed on the outer surface of the reference product 124. (not shown) and a third temperature sensor (not shown) installed on the external surface of the work.

압력 편차 보정부는, 다음 식과 같은 이상기체 상태방정식을 기반하여 압력 편차를 보정한다.The pressure deviation correction unit corrects the pressure deviation based on the ideal gas equation of state as shown in the following equation.

PV = nRT = (W/M)RT , ρ = PM/RTPV = nRT = (W/M)RT , ρ = PM/RT

여기서, P는 압력(atm), V는 부피(㎥), n은 몰수(W/M), R은 0.082(atm, ㎥/kg mole K), W는 무게(kg), M은 분자량, ρ는 밀도(㎏/㎥)이다.Here, P is pressure (atm), V is volume (㎥), n is number of moles (W/M), R is 0.082 (atm, ㎥/kg mole K), W is weight (kg), M is molecular weight, ρ is the density (kg/㎥).

제1 내지 제3 온도 센서를 이용하여 측정한 값은 다음 [표 1]과 같이 표시한다.The values measured using the first to third temperature sensors are shown in the following [Table 1].

기준품 (Master)Standard product (Master) 피검사체 (Work)Test object (Work) 변수variable 기호sign 비고note 변수variable 기호sign 비고note 검사장치 내부온도Internal temperature of inspection device Tmo,iTmo,i 초기온도
(제1 온도센서)
initial temperature
(1st temperature sensor)
외기온도outside temperature T∞T∞
기준품 표면온도Standard product surface temperature Tms,iTms,i 초기온도(제2 온도센서)Initial temperature (second temperature sensor) 피검사체
표면온도
test object
surface temperature
Ts,iTs,i 초기온도
(제3 온도센서)
initial temperature
(3rd temperature sensor)
부피volume VmVMs 일정schedule 부피volume VsVs. Vm=Vs=VVm=Vs=V

압력 편차 보정부에서 압력 편차를 보정하는 제1 과정은 다음과 같다.The first process of correcting the pressure deviation in the pressure deviation correction unit is as follows.

1) △Tm,i= Tmo,i - Tms,i 1) △Tm,i=Tmo,i - Tms,i

△Tm,i ≤ 설정값 △Tm,i ≤ set value

Pm : Tms,i를 통해 압력 계산 Pm: pressure calculation via Tms,i

2) △Ts,i = T∞ - Ts,i2) △Ts,i = T∞ - Ts,i

△Ts,i ≤ 설정값 △Ts,i ≤ set value

Ps : Ts,i를 통해 압력 계산 Ps: Calculate pressure through Ts,i

3) 온도(Ts,i)에서 10회(측정=일정시간/10) 측정 반복 3) Repeat measurement 10 times (measurement = constant time/10) at temperature (Ts,i)

1회 측정을 통해 각 기준품과 피검사체의 압력변화 △P1 산출 Calculate the pressure change △P1 of each reference product and test object through one measurement

△P1 = nR(T1 - Tsi) △P1 = nR(T1 - Tsi)

2회 측정을 통해 각 기준품과 피검사체의 압력변화 △P2 산출 Calculate pressure change △P2 of each reference product and test object through two measurements

△P2 = nR(T2 - T1) △P2 = nR(T2 - T1)

. . . . . .

10회 측정을 통해 각 기준품과 피검사체의 압력변화 △P10 산출 Calculate pressure change △P10 of each reference product and test object through 10 measurements

4) 각 기준품과 피검사체 압력 편차 : 시간변수 반영4) Pressure deviation between each reference product and the test object: Reflected as time variable

Pa,m = △P1,m + △P2,m + ·· + △P10,m Pa,m = △P1,m + △P2,m + ·· + △P10,m

Pa,s = △P1,s + △P2,s + ·· + △P10,s Pa,s = △P1,s + △P2,s + ·· + △P10,s

5) 압력 편차 보정 (반영)5) Pressure deviation correction (reflection)

기준품 : Ps,m(보정 압력값) = Pm(측정값) - Pa,m(압력편차) Standard product: Ps,m (corrected pressure value) = Pm (measured value) - Pa,m (pressure deviation)

피검사체 : Ps,s(보정 압력값) = Ps(측정값) - Pas(압력편차) Test object: Ps,s (corrected pressure value) = Ps (measured value) - Pas (pressure deviation)

압력 편차 보정부에서 압력 편차를 보정하는 제2 과정은 다음과 같다.The second process of correcting the pressure deviation in the pressure deviation correction unit is as follows.

1) 기준품과 피검사체의 온도 안정화 (Warm_up time)1) Stabilization of temperature of reference product and test object (Warm_up time)

온도점검 일정한 시간 기준내 Temperature check within a certain time standard

2) 일정한 시각에서, 기준품과 피검사체의 표면온도 Tm, Ts 측정2) Measurement of surface temperature Tm and Ts of reference product and test object at a certain time

3) 온도 편차 산출3) Temperature deviation calculation

△Ts = |Tm - Ts| << 설정값 △Ts = |Tm - Ts| << Setting value

4) 온도(Ts,i)에서 10회(측정=일정시간/10) 측정 반복 4) Repeat measurement 10 times (measurement = constant time/10) at temperature (Ts,i)

1회 측정을 통해 기준품과 피검사체의 압력변화 △P1 산출 Calculate pressure change △P1 between reference product and test object through one-time measurement

△P1 = nR(T1 - Tsi) △P1 = nR(T1 - Tsi)

2회 측정을 통해 기준품과 피검사체의 압력변화 △P2 산출 Calculate pressure change △P2 of reference product and test object through two measurements

△P2 = nR(T2 - T1) △P2 = nR(T2 - T1)

. . . . . .

10회 측정을 통해 기준품과 피검사체의 압력변화 △P10 산출 Calculate pressure change △P10 between reference product and test object through 10 measurements

5) 기준품과 피검사체의 압력 편차 산출 : 시간변수 반영5) Calculation of pressure difference between reference product and test object: Reflection of time variable

Pa,m = △P1,m + △P2,m + ·· + △P10,m Pa,m = △P1,m + △P2,m + ·· + △P10,m

Pa,s = △P1,s + △P2,s + ·· + △P10,s Pa,s = △P1,s + △P2,s + ·· + △P10,s

6) 압력 편차 보정 (반영)6) Pressure deviation correction (reflection)

기준품 : Ps,m(보정 압력값) = Pm(측정값) - Pa,m(압력편차) Standard product: Ps,m (corrected pressure value) = Pm (measured value) - Pa,m (pressure deviation)

피검사체 : Ps,s(보정 압력값) = Ps(측정값) - Pas(압력편차) Test object: Ps,s (corrected pressure value) = Ps (measured value) - Pas (pressure deviation)

이와 같은, 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드형 누설 검사장치에 의하면, 미세 누설 검사를 위한 차압식 누설 검사방법과 큰 누설 검사를 위한 직압식 누설 검사방법을 하나의 장치로 일체화하여 구현할 수 있다.According to the hybrid leak testing device according to an embodiment of the present invention, the differential pressure leak testing method for micro leak testing and the direct pressure leak testing method for large leak testing can be integrated and implemented into one device. .

또한, 하나의 장치로 차압식 및 직압식으로 측정할 수 있으므로, 이들 각각의 측정 방식을 위한 별도의 장비를 구비할 필요가 없게 되어, 공정 구축을 위한 공간과 비용을 감소시킬 수 있게 된다.In addition, since differential pressure and direct pressure can be measured with a single device, there is no need to provide separate equipment for each measurement method, thereby reducing space and cost for process construction.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.Above, an embodiment of the present invention has been described, but those skilled in the art can add, change, delete or add components without departing from the spirit of the present invention as set forth in the patent claims. The present invention may be modified and changed in various ways, and this will also be included within the scope of rights of the present invention.

100 : 하이브리드형 누설 검사장치
101 : 인터페이스부 102 : 압력 게이지
103 : 접속구 104 : 배기구
110 : 공기 주입부
111 : 유입구 112 : 레귤레이터
113 : 공급 튜브
120 : 누설 검사부
121 : 차압 센서 122 : 직압 센서
123 : 정압기 124 : 기준품
125 : 주입 밸브 126 : 검사 밸브
127 : 오리피스 128 : 배출 밸브
129 : 소음기 L1 ~ L4 : 제1 ~ 제4 유로
100: Hybrid leak inspection device
101: interface part 102: pressure gauge
103: connection port 104: exhaust port
110: air injection part
111: inlet 112: regulator
113: supply tube
120: Leakage inspection unit
121: differential pressure sensor 122: direct pressure sensor
123: static pressure device 124: standard product
125: injection valve 126: inspection valve
127: Orifice 128: Discharge valve
129: Silencer L1 ~ L4: 1st ~ 4th flow path

Claims (5)

하이브리드형 누설 검사장치에 있어서,
공기를 주입하는 공기 주입부; 및
상기 공기 주입부로부터 공급된 공기를 압축하여 생성된 압축 공기를 이용하여 피검사체의 누설 여부를 검사하는 누설 검사부를 포함하며,
상기 누설 검사부는:
누설이 없는 기준품과 상기 피검사체에 상기 압축 공기를 주입하여 평형 상태를 만든 후, 상기 기준품과 상기 피검사체의 압력 차이를 측정하여 손실된 압력을 측정하는 차압 센서와,
상기 피검사체에 주입된 상기 압축 공기가 기설정된 시간 동안 손실되는 압력을 측정하는 직압 센서와,
상기 공기 주입부를 통해 주입된 공기를 압력 측정을 위한 기준압이 될 때까지 압축하는 정압기와,
상기 정압기에서 압축된 압축 공기를 상기 기준품으로 공급하는 제1 유로와,
상기 정압기에서 압축된 압축 공기를 상기 피검사체로 공급하는 제2 유로와,
상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 연결하며, 상기 차압 센서가 설치되는 제3 유로와,
상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 연결하고, 상기 직압 센서가 설치되며, 상기 제3 유로와 병렬로 연결되는 제4 유로와,
상기 제1 유로와 상기 제2 유로 상에 각각 설치되어 상기 기준품과 상기 피검사체로 주입되는 압축 공기의 유동을 온오프하는 주입 밸브와,
상기 제4 유로 상에 설치되는 검사 밸브를 포함하는,
하이브리드형 누설 검사장치.
In the hybrid leak detection device,
An air injection unit for injecting air; and
It includes a leakage inspection unit that tests for leakage of the object to be inspected using compressed air generated by compressing the air supplied from the air injection unit,
The leakage inspection unit:
A differential pressure sensor that creates an equilibrium state by injecting the compressed air into a leak-free standard product and the test object, and then measures the pressure loss by measuring the pressure difference between the standard product and the test object;
A direct pressure sensor that measures the pressure lost by the compressed air injected into the object to be inspected during a preset period of time,
A static pressure device that compresses the air injected through the air injection unit until it reaches a reference pressure for pressure measurement;
A first flow path that supplies compressed air compressed in the pressure regulator to the standard product,
a second flow path that supplies compressed air compressed in the static pressure device to the object to be inspected;
A third flow path connecting the first flow path and the second flow path and in which the differential pressure sensor is installed,
A fourth flow path connecting the first flow path and the second flow path, having the direct pressure sensor installed, and connected in parallel with the third flow path,
Injection valves installed on the first flow path and the second flow path respectively to turn on and off the flow of compressed air injected into the reference product and the test object;
Including an inspection valve installed on the fourth flow path,
Hybrid leak detection device.
청구항 1에 있어서,
상기 차압 센서는 다이어프램을 포함하고, 상기 다이어프램을 기준으로 다이어프램의 양측면에 하나씩 연결된 두 압력 간의 차이를 측정하며,
상기 직압 센서는 압전형 압력 센서, 공진형 압력 센서, 스트레인게이지형 압력 센서, 정전용량형 압력 센서 중 적어도 어느 하나인,
하이브리드형 누설 검사장치.
In claim 1,
The differential pressure sensor includes a diaphragm and measures the difference between two pressures connected to each side of the diaphragm with the diaphragm as the reference,
The direct pressure sensor is at least one of a piezoelectric pressure sensor, a resonance-type pressure sensor, a strain gauge-type pressure sensor, and a capacitance-type pressure sensor.
Hybrid leak detection device.
삭제delete 청구항 1에 있어서, 상기 검사 밸브는,
상기 기준품 및 상기 피검사체에 압축 공기가 채워지는 동안에는 개방되어 있다가, 상기 기준품 및 피검사체에 압축 공기가 다 채워져서, 검사 준비가 완료되면 폐쇄되어 상기 기준품 측의 공간과 상기 피검사체 측의 공간이 서로 분리되도록 하는, 하이브리드형 누설 검사장치.
The method of claim 1, wherein the inspection valve,
It is open while the standard product and the test object are filled with compressed air, and when the standard product and the test object are completely filled with compressed air and inspection preparations are completed, it is closed to create a space on the side of the standard product and the test object. A hybrid leak detection device that separates the space on each side from each other.
청구항 1, 청구항 2, 또는 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
하이브리드형 누설 검사장치의 하우징 내부에 설치되는 제1 온도 센서와, 상기 기준품의 외부 표면에 설치되는 제2 온도 센서와, 상기 피검사체의 외부 표면에 설치되는 제3 온도 센서와,
상기 제1 내지 제3 온도 센서에 의해 측정된 온도값을 기반으로 누설 검사시의 온도에 따른 압력 편차를 보정하는 압력 편차 보정부를 더 포함하는,
하이브리드형 누설 검사장치.
The method of claim 1, claim 2, or claim 4,
A first temperature sensor installed inside the housing of the hybrid leak testing device, a second temperature sensor installed on the outer surface of the reference product, and a third temperature sensor installed on the outer surface of the test object;
Further comprising a pressure deviation correction unit that corrects the pressure deviation depending on the temperature during the leak test based on the temperature value measured by the first to third temperature sensors,
Hybrid leak detection device.
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