KR102662985B1 - Pellicle assembly - Google Patents

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KR102662985B1
KR102662985B1 KR1020210085433A KR20210085433A KR102662985B1 KR 102662985 B1 KR102662985 B1 KR 102662985B1 KR 1020210085433 A KR1020210085433 A KR 1020210085433A KR 20210085433 A KR20210085433 A KR 20210085433A KR 102662985 B1 KR102662985 B1 KR 102662985B1
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최재혁
문성용
김지강
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Abstract

본 발명은 마스크(Mask)와 펠리클(Pellicle) 사이에 완충 구조를 두고 고정 및 분리할 수 있는 펠리클 조립체를 개시한다. 본 발명의 펠리클 조립체는 마스크, 펠리클, 간격 유지 수단과 고정 장치로 구성되어 있다. 펠리클은 마스크의 위쪽에 배치되어 있으며, 제1 표면과, 제1 표면과 대향되는 제2 표면과, 가장자리에 연장되어 있고 구멍이 형성되어 있는 복수의 러그 플레이트를 갖는 펠리클 프레임과, 제1 표면에 부착되어 있는 펠리클 막을 구비한다. 간격 유지 수단은 마스크와 펠리클 프레임 사이에 완충을 위한 간격을 형성하도록 제공되어 있다. 스터드들 각각은 러그 플레이트들 각각의 구멍을 통과하도록 마스크의 표면에 결합되어 있다. 패스너들 각각은 러그 플레이트들 각각의 구멍을 통과하는 스터드들 각각에 착탈할 수 있도록 결합되어 있다. 복수의 패스너 각각은, 디스크와, 탄성 변형에 의해 복수의 스터드 각각에 결합할 수 있도록 형성되어 있는 반 구멍을 갖는 한 쌍의 스프링 클립과, 스프링 클립들 각각의 위쪽에 서로 마주하도록 연장되어 있는 한 쌍의 손잡이를 갖는 로킹 홀더를 구비한다. 손잡이들이 서로 근접되도록 눌러지면 스프링 클립들 각각의 탄성 변형에 의해 형성되는 반 구멍의 직경이 커져 스터드들 각각이 분리되며, 스프링 클립들의 복원 시 반 구멍이 스터드들 각각을 압박하여 고정하도록 구성되어 있다. 본 발명에 의하면, 마스크와 펠리클 사이에 국부적으로 개재되어 있는 간격 유지 수단에 의해 마스크와 펠리클 프레임 사이에 간격이 유지되어 문질러짐에 의한 마스크의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 스터드와 스터드에 탈착할 수 있는 패스너로 구성되는 간단한 구조에 의해 마스크와 펠리클을 간편하게 고정 및 분리할 수 있다.The present invention discloses a pellicle assembly that can be fixed and separated with a buffer structure between a mask and a pellicle. The pellicle assembly of the present invention consists of a mask, a pellicle, a gap maintenance means, and a fixing device. The pellicle is disposed above the mask and includes a pellicle frame having a first surface, a second surface opposite the first surface, a plurality of lug plates extending at the edges and having holes formed therein, and It has a pellicle membrane attached to it. Gap maintaining means are provided to form a cushioning gap between the mask and the pellicle frame. Each of the studs is coupled to the surface of the mask so as to pass through a hole in each of the lug plates. Each of the fasteners is detachably coupled to each of the studs that pass through the holes of each of the lug plates. Each of the plurality of fasteners includes a disk and a pair of spring clips having a half hole formed to be coupled to each of the plurality of studs by elastic deformation, as long as the spring clips extend above each of the spring clips to face each other. It is provided with a locking holder having a pair of handles. When the handles are pressed close to each other, the diameter of the half hole formed by the elastic deformation of each of the spring clips increases and each of the studs is separated. When the spring clips are restored, the half hole is configured to press and secure each of the studs. . According to the present invention, the gap between the mask and the pellicle frame is maintained by the gap maintenance means locally interposed between the mask and the pellicle, thereby preventing damage to the mask due to rubbing. In addition, the mask and pellicle can be easily fixed and separated by a simple structure consisting of studs and fasteners that can be attached and detached from the studs.

Description

펠리클 조립체{PELLICLE ASSEMBLY} Pellicle assembly {PELLICLE ASSEMBLY}

본 발명은 펠리클 조립체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마스크(Mask)와 펠리클(Pellicle) 사이에 완충 구조를 두고 마스크와 펠리클을 간편하게 고정 및 분리할 수 있는 펠리클 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a pellicle assembly, and more specifically, to a pellicle assembly that can easily fix and separate the mask and pellicle with a buffer structure between the mask and the pellicle.

포토리소그래피(Photolithography)는 반도체 디바이스, 액정 표시판 등의 제조에서 반도체 웨이퍼, 액정용 기판의 패터닝에 사용되고 있다. 포토리소그래피에서는 패터닝(Patterning)의 원판으로 마스크가 사용된다. 마스크 상의 패턴은 노광(Exposure)에 의해 웨이퍼, 액정용 기판에 전사된다. 먼지가 마스크에 부착되어 있으면, 먼지로 인하여 빛이 흡수되거나 반사되기 때문에 전사한 패턴이 손상되어 반도체 장치, 액정 표시판 등의 성능이나 수율의 저하를 초래하는 문제가 발생한다. Photolithography is used for patterning semiconductor wafers and liquid crystal substrates in the manufacture of semiconductor devices and liquid crystal displays. In photolithography, a mask is used as a base for patterning. The pattern on the mask is transferred to the wafer or liquid crystal substrate through exposure. If dust adheres to the mask, the transferred pattern is damaged because light is absorbed or reflected by the dust, causing a problem that reduces the performance or yield of semiconductor devices, liquid crystal displays, etc.

포토리소그래피는 보통 클린룸(Cleanroom)에서 행해지지만, 클린룸 내에도 먼지가 존재하므로, 먼지가 마스크 표면에 부착되는 것을 방지하기 위하여 펠리클을 부착하는 방법이 행해지고 있다. 포토리소그래피를 위한 마스크 조립체는 마스크 또는 레티클(Reticle)과, 마스크를 보호하기 위한 펠리클과, 마스크와 펠리클을 고정하기 위한 고정 장치(Fixture or Fixing device)로 구성되어 있다. 먼지는 마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고, 펠리클 막(Pellicle membrane or Pellicle film) 위에 부착된다. 포토리소그래피 시에는 초점이 마스크의 패턴 상에 일치되어 있으므로, 펠리클 상의 먼지는 초점이 맞지 않아 패턴에 전사되지 않는 이점이 있다. Photolithography is usually performed in a cleanroom, but since dust exists even in a cleanroom, a method of attaching a pellicle is used to prevent dust from attaching to the mask surface. The mask assembly for photolithography consists of a mask or reticle, a pellicle to protect the mask, and a fixture or fixing device to fix the mask and pellicle. Dust does not attach directly to the surface of the mask, but rather attaches to the pellicle membrane or Pellicle film. During photolithography, the focus is aligned with the pattern of the mask, so there is an advantage that dust on the pellicle is not transferred to the pattern because it is out of focus.

반도체 제조용 노광 장치의 요구 해상도는 높아져 가고 있고, 그 해상도를 실현하기 위해서 광원의 파장이 점점 더 짧아지고 있다. 구체적으로, UV 광원은 자외광 g선(436), I선(365), KrF 엑시머 레이저(248), ArF 엑시머 레이저(193)에서 극자외선(Extreme Ultraviolet, EUV, 13.5㎚)으로 점점 파장이 짧아지고 있다. 극자외선을 이용한 노광 기술을 실현하기 위하여 극자외선 리소그래피(Extreme ultraviolet(EUV) lithography)용 펠리클이 개발되고 있다. The resolution required for exposure equipment for semiconductor manufacturing is increasing, and in order to realize that resolution, the wavelength of the light source is becoming shorter and shorter. Specifically, the UV light source has a gradually shorter wavelength from ultraviolet g-ray (436), I-ray (365), KrF excimer laser (248), and ArF excimer laser (193) to extreme ultraviolet (EUV, 13.5 nm). I'm losing. In order to realize exposure technology using extreme ultraviolet rays, pellicles for extreme ultraviolet (EUV) lithography are being developed.

한국 공개특허공보 제10-2017-0088379호 '마스크 조립체'는 패터닝 디바이스, 마운트(Mount)와 펠리클 프레임을 포함한다. 펠리클 프레임은 마운트에 의해 패터닝 디바이스에 장착되어 있다. 마운트는 펠리클 프레임과 패터닝 디바이스 사이에 갭(Gap)이 존재하도록 패터닝 디바이스에 대해 펠리클 프레임을 서스펜드하도록 구성되어 있다. 마운트는 패터닝 디바이스와 펠리클 프레임 사이에 해제 가능하게 맞물림 가능한 부착을 제공한다. 위 특허문헌에 개시되어 있는 내용은 본 명세서에 참고로 포함된다. Korean Patent Publication No. 10-2017-0088379 ‘Mask Assembly’ includes a patterning device, a mount, and a pellicle frame. The pellicle frame is mounted on the patterning device by a mount. The mount is configured to suspend the pellicle frame relative to the patterning device so that a gap exists between the pellicle frame and the patterning device. The mount provides a releasably engageable attachment between the patterning device and the pellicle frame. The content disclosed in the above patent document is incorporated herein by reference.

본 발명의 목적은 마스크와 펠리클 사이에 완충 구조를 두고 간격을 유지하여 마스크의 손상을 방지할 수 있는 새로운 펠리클 조립체를 제공하는 데 있다. The purpose of the present invention is to provide a new pellicle assembly that can prevent damage to the mask by maintaining a gap between the mask and the pellicle with a buffer structure.

본 발명의 또 다른 목적은 간단한 구조에 의해 마스크와 펠리클을 간편하게 고정 및 분리하여 생산비를 낮출 수 있는 새로운 펠리클 조립체를 제공하는 데 있다. Another object of the present invention is to provide a new pellicle assembly that can easily fix and separate the mask and pellicle through a simple structure, thereby reducing production costs.

본 발명의 일 측면에 따르면, 펠리클 조립체가 제공된다. 본 발명에 따른 펠리클 조립체는, 마스크의 위쪽에 배치되어 있으며, 제1 표면과, 제1 표면과 대향되는 제2 표면과, 가장자리에 연장되어 있고 구멍이 형성되어 있는 복수의 러그 플레이트를 갖는 펠리클 프레임과, 제1 표면에 부착되어 있는 펠리클 막을 구비하는 펠리클과; 마스크와 펠리클 프레임 사이에 완충을 위한 간격을 형성하도록 제공되어 있는 간격 유지 수단과; 복수의 러그 플레이트 각각의 구멍을 통과하도록 마스크의 표면에 결합되어 있는 복수의 스터드와; 복수의 러그 플레이트 각각의 구멍을 통과하는 복수의 스터드 각각에 착탈할 수 있도록 결합되어 있는 복수의 패스너를 포함한다. 복수의 패스너 각각은, 복수의 스터드 각각이 통과될 수 있도록 중앙에 구멍이 형성되어 있는 디스크와; 디스크의 위쪽에 결합되어 있으며, 탄성 변형에 의해 복수의 스터드 각각에 결합할 수 있도록 형성되어 있는 반 구멍을 갖는 한 쌍의 스프링 클립과, 한 쌍의 스프링 클립 각각의 위쪽에 서로 마주하도록 연장되어 있는 한 쌍의 손잡이를 갖는 로킹 홀더를 구비한다. 한 쌍의 손잡이가 서로 근접되도록 눌러지면 한 쌍의 스프링 클립 각각의 탄성 변형에 의해 형성되는 반 구멍의 직경이 커져 복수의 스터드 각각이 분리되며, 한 쌍의 스프링 클립의 복원 시 반 구멍이 복수의 스터드 각각을 압박하여 고정하도록 구성되어 있다.According to one aspect of the present invention, a pellicle assembly is provided. A pellicle assembly according to the present invention is disposed on top of a mask and has a pellicle frame having a first surface, a second surface opposite the first surface, and a plurality of lug plates extending at the edges and having holes formed therein. a pellicle having a pellicle membrane attached to the first surface; gap maintenance means provided to form a gap for cushioning between the mask and the pellicle frame; a plurality of studs coupled to the surface of the mask so as to pass through holes in each of the plurality of lug plates; It includes a plurality of fasteners that are detachably coupled to each of a plurality of studs passing through holes in each of the plurality of lug plates. Each of the plurality of fasteners includes a disk having a hole formed in the center so that each of the plurality of studs can pass through; A pair of spring clips coupled to the top of the disk and having a half hole formed so as to be coupled to each of a plurality of studs by elastic deformation, and extending to face each other above each pair of spring clips. It is provided with a locking holder having a pair of handles. When a pair of handles are pressed close to each other, the diameter of the half hole formed by the elastic deformation of each of the pair of spring clips increases, thereby separating each of the plurality of studs, and when the pair of spring clips are restored, the half hole is formed by the plurality of studs. It is configured to press and secure each stud.

또한, 본 발명에 따른 마스크 조립체에 있어서, 간격 유지 수단은 마스크와 복수의 러그 플레이트 각각의 사이에 개재되도록 복수의 러그 플레이트의 아랫면에 부착되거나 복수의 러그 플레이트와 이웃하는 마스크의 표면에 부착되어 있는 버퍼 구조물로 이루어진다. In addition, in the mask assembly according to the present invention, the gap maintenance means is attached to the lower surface of the plurality of lug plates so as to be interposed between the mask and each of the plurality of lug plates, or is attached to the surface of the mask adjacent to the plurality of lug plates. It consists of a buffer structure.

본 발명에 따른 펠리클 조립체는, 마스크와 펠리클 사이에 국부적으로 개재되어 있는 간격 유지 수단에 의해 마스크와 펠리클 프레임 사이에 간격이 유지되어 문질러짐에 의한 마스크의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다. 또한, 스터드와 스터드에 탈착할 수 있는 패스너로 구성되는 간단한 구조에 의해 마스크와 펠리클을 간편하게 고정 및 분리할 수 있으므로, 펠리클의 손상 시 마스크를 재사용하여 생산비를 낮출 수 있는 효과가 있다.The pellicle assembly according to the present invention has the effect of preventing damage to the mask due to rubbing by maintaining a gap between the mask and the pellicle frame by a gap maintaining means locally interposed between the mask and the pellicle. In addition, the mask and pellicle can be easily fixed and separated by a simple structure consisting of a stud and a fastener that can be attached to or detached from the stud, so when the pellicle is damaged, the mask can be reused, which has the effect of lowering production costs.

도 1은 본 발명에 따른 제1 실시예의 펠리클 조립체를 분리하여 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 제1 실시예의 펠리클 조립체를 부분적으로 분리하여 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 제1 실시예의 펠리클 조립체를 나타낸 평면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선 단면도이다.
도 5는 도 3의 Ⅴ-Ⅴ선 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 제1 실시예의 펠리클 조립체에서 스터드와 패스너를 분리하여 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 제1 실시예의 펠리클 조립체에서 스터드와 패스너를 분리하여 나타낸 단면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 제1 실시예의 펠리클 조립체에서 스터드와 패스너를 결합하여 나타낸 단면도이다.
도 9는 본 발명에 따른 제2 실시예의 펠리클 조립체를 부분적으로 분리하여 나타낸 사시도이다.
도 10은 본 발명에 따른 제2 실시예의 펠리클 조립체를 나타낸 단면도이다.
도 11은 본 발명에 따른 제3 실시예의 펠리클 조립체를 부분적으로 분리하여 나타낸 사시도이다.
도 12는 본 발명에 따른 제3 실시예의 펠리클 조립체를 나타낸 단면도이다.
도 13은 본 발명에 따른 제4 실시예의 펠리클 조립체를 부분적으로 분리하여 나타낸 사시도이다.
도 14는 본 발명에 따른 제4 실시예의 펠리클 조립체를 나타낸 평면도이다.Figure 1 is an exploded perspective view of the pellicle assembly of the first embodiment according to the present invention.
Figure 2 is a partially separated perspective view of the pellicle assembly of the first embodiment according to the present invention.
Figure 3 is a plan view showing the pellicle assembly of the first embodiment according to the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV of Figure 3.
Figure 5 is a cross-sectional view taken along line V-V of Figure 3.
Figure 6 is a perspective view showing the studs and fasteners separated from the pellicle assembly of the first embodiment according to the present invention.
Figure 7 is a cross-sectional view showing the studs and fasteners separated from the pellicle assembly of the first embodiment according to the present invention.
Figure 8 is a cross-sectional view showing studs and fasteners combined in the pellicle assembly of the first embodiment according to the present invention.
Figure 9 is a partially separated perspective view of the pellicle assembly of the second embodiment according to the present invention.
Figure 10 is a cross-sectional view showing the pellicle assembly of the second embodiment according to the present invention.
Figure 11 is a partially separated perspective view of the pellicle assembly of the third embodiment according to the present invention.
Figure 12 is a cross-sectional view showing the pellicle assembly of the third embodiment according to the present invention.
Figure 13 is a partially separated perspective view of the pellicle assembly of the fourth embodiment according to the present invention.
Figure 14 is a plan view showing the pellicle assembly of the fourth embodiment according to the present invention.

본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들과 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다. 본 발명을 설명하는 데 있어서 도면에 도시되어 있는 구성 요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의를 위해 과장되거나 단순화되어 나타날 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들은 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Other objects, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and preferred embodiments taken in conjunction with the accompanying drawings. In explaining the present invention, the size or shape of components shown in the drawings may be exaggerated or simplified for clarity and convenience of explanation. Additionally, terms specifically defined in consideration of the configuration and operation of the present invention may vary depending on the intention or custom of the user or operator. These terms should be interpreted as meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention based on the content throughout this specification.

이하, 본 발명에 따른 펠리클 조립체에 대한 바람직한 실시예들을 첨부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the pellicle assembly according to the present invention will be described in detail based on the attached drawings.

먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 제1 실시예의 펠리클 조립체(10A)는 마스크(20)를 보호하기 위한 펠리클(30)을 구비한다. 펠리클(30)의 펠리클 프레임(40)은 마스크(20)의 위쪽에 배치되어 있다. 펠리클 프레임(40)은 제1 표면(41) 또는 윗면, 제1 표면(41)에 대향하는 제2 표면(42) 또는 아랫면과, 마스크(20)의 노광을 위하여 형성되어 있는 윈도우(Window: 43)를 갖는다. First, referring to FIG. 1, the pellicle assembly 10A of the first embodiment according to the present invention includes a pellicle 30 to protect the mask 20. The pellicle frame 40 of the pellicle 30 is disposed above the mask 20. The pellicle frame 40 has a first surface 41 or an upper surface, a second surface 42 or a lower surface opposite the first surface 41, and a window (Window: 43) formed for exposure of the mask 20. ) has.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 복수의 러그 플레이트(Lug plate: 44)가 펠리클 프레임(40)의 가장자리로부터 연장되어 있다. 러그 플레이트(44)들 각각은 펠리클 프레임(40)의 서로 마주하는 두 변에 배치되어 있다. 구멍(45)이 러그 플레이트(44)들 각각의 중앙에 형성되어 있다. 구멍(45)은 원형 구멍으로 형성되어 있다. 펠리클 막(50)이 보더(Border: 51)의 표면에 부착되어 있다. 보더(51)는 접착제에 의해 펠리클 프레임(40)의 제1 표면(41)에 부착될 수 있다. 1 to 3, a plurality of lug plates (Lug plates) 44 extend from the edge of the pellicle frame 40. Each of the lug plates 44 is disposed on two sides of the pellicle frame 40 facing each other. A hole 45 is formed in the center of each of the lug plates 44. The hole 45 is formed as a circular hole. A pellicle film 50 is attached to the surface of the border (Border: 51). The border 51 may be attached to the first surface 41 of the pellicle frame 40 by adhesive.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 제1 실시예의 펠리클 조립체(10A)는 마스크(20)와 펠리클 프레임(40) 사이에 충격, 응력 등의 완충을 위하여 마스크(20)와 펠리클 프레임(40) 사이에 제공되어 있는 간격 유지 수단으로 버퍼 구조물(Buffer structure: 60)을 구비한다. 버퍼 구조물(60)은 완충을 위한 간격(Gap: 61)을 마스크(20)와 펠리클 프레임(40) 사이에 형성한다. 버퍼 구조물(60)은 마스크(20)와 러그 플레이트(44)들 각각의 사이에 개재되도록 러그 플레이트(44)들의 아랫면에 부착되어 있는 복수의 탄성체(Elastic body: 62)로 구성되어 있다. 탄성체(62)들은 러그 플레이트(44)들 각각의 아랫면에 도포되어 있는 에폭시 수지(Epoxy resin)와 같은 접착제, 탄성중합체(Elastomer) 등으로 구성될 수 있다. 3 to 5, the pellicle assembly 10A of the first embodiment according to the present invention includes a mask 20 and a pellicle frame to cushion shock, stress, etc. between the mask 20 and the pellicle frame 40. (40) A buffer structure (60) is provided as a means for maintaining the gap between the two. The buffer structure 60 forms a gap 61 for buffering between the mask 20 and the pellicle frame 40. The buffer structure 60 is composed of a plurality of elastic bodies (62) attached to the lower surfaces of the lug plates 44 so as to be interposed between the mask 20 and each of the lug plates 44. The elastic bodies 62 may be composed of an adhesive such as epoxy resin, an elastomer, etc. applied to the lower surface of each of the lug plates 44.

도 1 내지 도 3, 도 6 내지 도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 제1 실시예의 펠리클 조립체(10A)는 마스크(20)와 펠리클 프레임(40)을 고정시키기 위한 고정 장치 또는 결합 메커니즘(Engagement mechanism)으로 마스크(20)의 표면 또는 윗면에 수직하게 결합되어 있는 복수의 스터드(Stud: 70)를 구비한다. 스터드(70)들 각각은 접착제(71)에 의해 마스크(20)의 표면에 수직하게 부착되어 있다. 홈(72)이 스터드(70)들 각각의 하단에 형성되어 있다. 홈(72)은 접착제(71)의 핫 멜트(Hot melt) 접착 시 발생되는 접착제(71)로부터 탈기되는 가스를 수용한다. 스터드(70)들 각각은 러그 플레이트(44)들 각각의 구멍(45)을 통과하도록 배치되어 있다. 스터드(70)들의 상단은 구멍(45)에 끼우기 쉽게 뾰족한 팁(Pointed tip: 73)으로 형성되어 있다. 로킹 그루브(Locking groove: 74)가 뽀족한 팁(73)과 이웃하는 스터드(70)들 각각의 외면에 둘레 방향을 따라 형성되어 있다. 베이스(Base: 75) 또는 디스크(Disk)가 스터드(70)들의 하단에 형성되어 있다. 베이스(75)는 스터드(70)들 각각이 마스크(20)의 표면에 안정적으로 지지되도록 한다. 몇몇 실시예에 있어서, 베이스(75)는 필요에 따라 배제될 수 있다.1 to 3 and 6 to 8, the pellicle assembly 10A of the first embodiment according to the present invention includes a fixing device or engagement mechanism (Engagement) for fixing the mask 20 and the pellicle frame 40. mechanism) and is provided with a plurality of studs (70) vertically coupled to the surface or upper surface of the mask 20. Each of the studs 70 is vertically attached to the surface of the mask 20 with an adhesive 71. A groove 72 is formed at the bottom of each of the studs 70. The groove 72 accommodates gas degassed from the adhesive 71 generated during hot melt bonding of the adhesive 71. Each of the studs 70 is arranged to pass through the hole 45 of each of the lug plates 44. The upper ends of the studs 70 are formed with pointed tips (73) to facilitate insertion into the holes 45. A locking groove (74) is formed along the circumferential direction on the outer surface of each of the studs (70) adjacent to the pointed tip (73). A base (75) or disk (Disk) is formed at the bottom of the studs (70). The base 75 ensures that each of the studs 70 is stably supported on the surface of the mask 20. In some embodiments, base 75 may be excluded if desired.

본 발명에 따른 제1 실시예의 펠리클 조립체(10A)는 구멍(45)을 통과한 스터드(70)를 고정시킬 수 있도록 스터드(70)에 결합되는 복수의 패스너(Fastener: 80)를 구비한다. 패스너(80)는 디스크(Disk: 90)와, 디스크(90)의 위쪽에 결합되어 있는 로킹 홀더(Locking holder: 100)로 구성되어 있다. 스터드(70)가 통과될 수 있는 구멍(91)이 디스크(90)의 중앙에 형성되어 있다. 컬(Curl: 92)이 컬링(Curling)에 의해 디스크(90)의 가장자리에 형성되어 있다. The pellicle assembly 10A of the first embodiment according to the present invention includes a plurality of fasteners 80 coupled to the stud 70 so as to fix the stud 70 passing through the hole 45. The fastener 80 consists of a disk 90 and a locking holder 100 coupled to the top of the disk 90. A hole 91 through which the stud 70 can pass is formed in the center of the disk 90. A curl (92) is formed on the edge of the disk (90) by curling.

로킹 홀더(100)의 가장자리는 컬(92)에 감싸여져 디스크(90)에 결합되어 있다. 로킹 홀더(100)은 용접에 의해 디스크(90)에 결합될 수도 있다. 로킹 홀더(100)는 디스크(90)에 결합되어 있는 베이스(Base: 101)와, 베이스(101)의 양쪽에 형성되어 있으며 탄성 변형에 의해 스터드(70)들 각각에 결합할 수 있도록 형성되어 있는 반 구멍(Half hole: 102)을 갖는 한 쌍의 스프링 클립(Spring clip: 103)과, 스프링 클립(103)들 각각의 위쪽에 서로 마주하도록 연장되어 있는 한 쌍의 손잡이(104)로 구성되어 있다. The edge of the locking holder 100 is wrapped around the curl 92 and coupled to the disk 90. The locking holder 100 may be coupled to the disk 90 by welding. The locking holder 100 is formed on both sides of the base 101 and a base 101 coupled to the disk 90, and is formed to be coupled to each of the studs 70 by elastic deformation. It consists of a pair of spring clips (103) having a half hole (102) and a pair of handles (104) extending above each of the spring clips (103) to face each other. .

스프링 클립(103)들과 손잡이(104)들 각각은 베이스(101)의 양쪽을 프레스 가공하여 형성할 수 있다. 손잡이(104)들이 서로 근접되도록 눌러지면, 스프링 클립(103)들의 탄성 변형에 의해 반 구멍(102)들이 이격되어 반 구멍(102)에 의해 형성되는 직경이 커지게 된다. 따라서 스터드(70)들 각각을 반 구멍(102)에 쉽게 끼울 수 있게 된다. 스프링 클립(103)들이 복원되면 반 구멍(102)은 스터드(70)들을 압박하여 고정시키게 된다. Each of the spring clips 103 and the handle 104 can be formed by pressing both sides of the base 101. When the handles 104 are pressed close to each other, the half holes 102 are spaced apart due to elastic deformation of the spring clips 103, thereby increasing the diameter formed by the half holes 102. Therefore, each of the studs 70 can be easily inserted into the half hole 102. When the spring clips 103 are restored, the half hole 102 presses and secures the studs 70.

패스너(80)들 각각은 로킹 홀더(100)의 위쪽에 배치되도록 디스크(90)에 결합되어 있는 캡(Cap: 110)을 더 구비한다. 캡(110)의 가장자리는 베이스(101)와 함께 컬(92)에 감싸여져 디스크(90)에 결합되어 있다. 스토퍼(Stopper: 111)가 손잡이(104)들 사이에 배치되도록 캡(110)의 위쪽에 돌출되어 있다. 스터드(70)의 뾰족한 팁(73)은 스토퍼(111)에 걸려 스터드(70)의 위치를 구속하게 된다. 한 쌍의 트인 구멍(112)이 손잡이(104)들 각각이 노출될 수 있도록 스토퍼(111)의 양쪽에 형성되어 있다. 손잡이(104)들은 트인 구멍(112)들을 통하여 조작할 수 있다.Each of the fasteners 80 further includes a cap 110 coupled to the disk 90 to be disposed above the locking holder 100. The edge of the cap 110 is wrapped around the curl 92 along with the base 101 and coupled to the disk 90. A stopper (111) protrudes above the cap 110 to be placed between the handles 104. The sharp tip 73 of the stud 70 is caught on the stopper 111 to restrict the position of the stud 70. A pair of open holes 112 are formed on both sides of the stopper 111 so that each of the handles 104 can be exposed. The handles 104 can be manipulated through the open holes 112.

지금부터는, 이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 제1 실시예의 펠리클 조립체에 대한 작용을 설명한다. From now on, the operation of the pellicle assembly of the first embodiment according to the present invention having the above configuration will be described.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 스터드(70)들 각각을 러그 플레이트(44)들의 구멍(45)에 끼워 통과시키고, 펠리클 프레임(40)을 마스크(20)의 위쪽에 놓으면, 마스크(20)와 러그 플레이트(44)들 사이의 탄성체(62)들에 의해 마스크(20)와 펠리클 프레임(40) 사이에 간격(61)이 유지된다. 2 to 5, when each of the studs 70 is passed through the hole 45 of the lug plate 44 and the pellicle frame 40 is placed on the mask 20, the mask 20 A gap 61 is maintained between the mask 20 and the pellicle frame 40 by the elastic bodies 62 between the and lug plates 44.

도 2, 도 6과 도 8을 참조하면, 손잡이(104)들이 서로 가까워지도록 누르면, 스프링 클립(103)들의 탄성 변형에 의해 반 구멍(102)이 벌어져 직경이 커지게 된다. 러그 플레이트(44)들의 구멍(45)을 통하여 돌출되어 있는 스터드(70)의 뾰쪽한 팁(73)을 구멍(45)과 반 구멍(102)에 끼워 통과시킨다. Referring to Figures 2, 6 and 8, when the handles 104 are pressed closer to each other, the half hole 102 opens due to elastic deformation of the spring clips 103 and the diameter increases. The sharp tip 73 of the stud 70 protruding through the hole 45 of the lug plates 44 is inserted into the hole 45 and the half hole 102 and passed through.

도 6과 도 7을 참조하면, 손잡이(104)들을 누르던 힘이 제거되면, 스프링 클립(103)들이 탄성 복원(Elastic recovery)된다. 스프링 클립(103)들의 탄성 복원에 의해 반 구멍(102)이 서로 가까워지면서 스터드(70)들 각각의 외면에 압박되어 고정되게 된다. 반 구멍(102)의 가장자리는 로킹 그루브(74)에 결합되어 결합력을 높여준다. 따라서 스터드(70)들과 패스너(80)들의 결합에 의해 마스크(20)와 펠리클 프레임(40)을 간편하고 견고하게 고정시킬 수 있다. 탄성체(62)들과 간격(61)은 펠리클 프레임(40)에 작용되는 충격, 압력 등을 완충시켜 마스크(20)를 보호한다. 뾰족한 팁(73)은 스토퍼(111)에 걸려 스터드(70)들을 구속시킬 수 있다. Referring to Figures 6 and 7, when the force pressing the handles 104 is removed, the spring clips 103 elastically recover. Due to the elastic restoration of the spring clips 103, the half holes 102 become closer to each other and are pressed and fixed to the outer surface of each of the studs 70. The edge of the half hole 102 is coupled to the locking groove 74 to increase the bonding force. Therefore, the mask 20 and the pellicle frame 40 can be simply and firmly fixed by combining the studs 70 and the fasteners 80. The elastic bodies 62 and the gap 61 protect the mask 20 by cushioning shock, pressure, etc. applied to the pellicle frame 40. The sharp tip 73 can be caught on the stopper 111 to restrain the studs 70.

한편, 도 8에 도시되어 있는 바와 같이, 손잡이(104)들을 누르면 반 구멍(102)이 벌어져 스터드(70)들 각각을 반 구멍(102)과 구멍(45)들을 통하여 쉽게 빼내 마스크(20)와 펠리클 프레임(40)을 간편하게 분리시킬 수 있다. 이와 같은 마스크(20)와 펠리클 프레임(40)의 분리에 의해 펠리클 막(50)의 손상 시 펠리클(30)을 간편하게 교체할 수 있으므로 고가의 마스크(20)를 재사용할 수 있다. Meanwhile, as shown in FIG. 8, when the handles 104 are pressed, the half holes 102 are opened so that each of the studs 70 can be easily removed through the half holes 102 and holes 45 to remove the mask 20 and the studs 70. The pellicle frame 40 can be easily separated. By separating the mask 20 and the pellicle frame 40, the pellicle 30 can be easily replaced when the pellicle film 50 is damaged, so the expensive mask 20 can be reused.

도 9와 도 10에 본 발명에 따른 펠리클 조립체의 제2 실시예가 도시되어 있다. 도 9와 도 10을 참조하면, 제2 실시예의 펠리클 조립체(10B)와 앞에서 설명한 제1 실시예의 펠리클 조립체(10A)의 동일한 구성은 동일한 부호를 부여하고 자세한 설명은 생략한다. 제2 실시예의 펠리클 조립체(10B)와 앞에서 설명한 제1 실시예의 펠리클 조립체(10A)의 차이점은 패스너(80)들 각각이 러그 플레이트(44)에 보유되어 있는 것과 버퍼 구조물(130)에 있다. 9 and 10 show a second embodiment of a pellicle assembly according to the present invention. Referring to Figures 9 and 10, the same components of the pellicle assembly 10B of the second embodiment and the pellicle assembly 10A of the first embodiment described above are assigned the same reference numerals and detailed descriptions are omitted. The difference between the pellicle assembly 10B of the second embodiment and the pellicle assembly 10A of the first embodiment described above lies in the fact that each of the fasteners 80 is held in the lug plate 44 and the buffer structure 130.

제2 실시예의 펠리클 조립체(10B)에 있어서 복수의 리세스(Recess: 46)가 구멍(45)과 연결되도록 러그 플레이트(44)들 각각에 윗면에 형성되어 있다. 패스너(80)들 각각은 리세스(46)들 안에 회전할 수 있도록 수용되어 있다. 복수의 스톱 링(Stop ring: 120)이 리세스(46)들 각각의 내면 위쪽에 결합되어 있다. 스톱 링(120)의 결합을 위하여 리세스(46)들 각각의 내면 위쪽에 링 그루브(Ring groove: 47)가 형성되어 있다. 스톱 링(120)들은 패스너(80)들의 윗면 가장자리를 지지하여 패스너(80)들이 리세스(46)들로부터 이탈되지 않도록 한다. In the pellicle assembly 10B of the second embodiment, a plurality of recesses 46 are formed on the upper surface of each of the lug plates 44 to be connected to the holes 45. Each of the fasteners 80 is rotatably received in recesses 46. A plurality of stop rings (120) are coupled to the upper inner surfaces of each of the recesses (46). A ring groove (Ring groove: 47) is formed on the upper inner surface of each of the recesses (46) for coupling the stop ring (120). The stop rings 120 support the upper edges of the fasteners 80 to prevent the fasteners 80 from being separated from the recesses 46.

이와 같이 스톱 링(120)들이 러그 플레이트(44)들의 리세스(46)들 안에 수용되어 있는 패스너(80)들을 지지하여 이탈을 방지하는 보유 구조에 의하여 스터드(70)들과 패스너(80)들의 결합에 의해 마스크(20)와 펠리클 프레임(40)의 고정 작업을 간편하게 실시할 수 있다. 또한, 패스너(80)들의 분실을 방지하고, 패스너(80)들을 별도로 준비하는 데 소요되는 시간을 단축시켜 작업성을 향상시킬 수 있다. In this way, the stop rings 120 support the fasteners 80 accommodated in the recesses 46 of the lug plates 44 and prevent the studs 70 and the fasteners 80 from being separated. By combining, the mask 20 and the pellicle frame 40 can be easily fixed. In addition, workability can be improved by preventing loss of the fasteners 80 and shortening the time required to separately prepare the fasteners 80.

한편, 버퍼 구조물(130)들은 마스크(20)와 펠리클 프레임(40) 사이에 간격(131)을 형성하도록 러그 플레이트(44)들 각각이 이웃하는 마스크(20)의 표면에 도포되어 있는 탄성체(132)들로 에폭시 수지와 같은 접착제, 탄성중합체 등으로 구성될 수 있다. 몇몇 실시예에 있어서, 버퍼 구조물(130)은 러그 플레이트(44)의 아랫면과 마스크(20)의 윗면에 같이 구성될 수도 있다. On the other hand, the buffer structures 130 are elastic bodies 132 applied to the surface of the mask 20 where each of the lug plates 44 is adjacent to form a gap 131 between the mask 20 and the pellicle frame 40. ) may be composed of adhesives such as epoxy resin, elastomers, etc. In some embodiments, the buffer structure 130 may be configured on the lower surface of the lug plate 44 and the upper surface of the mask 20.

도 11과 도 12에 본 발명에 따른 펠리클 조립체의 제3 실시예가 도시되어 있다. 도 11과 도 12를 참조하면, 제3 실시예의 펠리클 조립체(10C)와 앞에서 설명한 제1 및 제2 실시예의 펠리클 조립체(10A, 10B)의 동일한 구성은 동일한 부호를 부여하고 자세한 설명은 생략한다. 제3 실시예의 펠리클 조립체(10C)와 앞에서 설명한 제1 및 제2 실시예의 펠리클 조립체(10A, 10B)의 차이점은 마스크(20)와 펠리클 프레임(40) 사이에 충격, 응력 등의 완충을 위하여 마스크(20)와 펠리클 프레임(40) 사이에 국부적으로 제공되어 있는 간격 유지 수단에 있다. 11 and 12 show a third embodiment of a pellicle assembly according to the present invention. 11 and 12, the same components of the pellicle assembly 10C of the third embodiment and the pellicle assemblies 10A and 10B of the first and second embodiments described above are assigned the same reference numerals and detailed descriptions are omitted. The difference between the pellicle assembly 10C of the third embodiment and the pellicle assemblies 10A and 10B of the first and second embodiments described above is that a mask is used to cushion shock, stress, etc. between the mask 20 and the pellicle frame 40. There is a gap maintenance means provided locally between (20) and the pellicle frame (40).

제3 실시예의 펠리클 조립체(10C)에 있어서 간격 유지 수단은 마스크(20)와 펠리클 프레임(40) 사이에 간격(141)을 형성하도록 스터드(70)들 각각의 하단에 일체형으로 형성되어 있는 스페이서(Spacer: 140) 또는 플랜지(Flange)로 구성되어 있다. 도 11에 스페이서(140)는 스터드(70)들 각각의 하단에 사각형으로 형성되어 있는 것이 도시되어 있으나, 이는 예시적인 것으로 스페이서(140)는 원형이나 러그 플레이트(44)들 각각의 형상과 유사하게 형성될 수 있다. 스페이서(140)는 스터드(70)과 같은 금속이나 탄성체들로 에폭시 수지와 같은 접착제, 탄성중합체 등으로 구성될 수 있다. 스페이서(140)들은 마스크(20)의 윗면과 러그 플레이트(44)의 아랫면과 마스크(20) 사이에 개재되어 마스크(20)와 펠리클 프레임(40) 사이에 완충을 위한 간격(141)을 유지시킨다. 몇몇 실시예에 있어서, 스페이서(140)들은 제1 및 제2 실시예의 펠리클 조립체(10A, 10B) 각각의 버퍼 구조물(60, 130)을 대신하여 스터드(70)들에 적용될 수 있다. In the pellicle assembly 10C of the third embodiment, the gap maintenance means is a spacer ( Spacer: 140) or flange. In FIG. 11, the spacer 140 is shown to be formed in a square shape at the bottom of each of the studs 70. However, this is an example and the spacer 140 is circular or similar to the shape of each of the lug plates 44. can be formed. The spacer 140 may be made of a metal or elastomer such as the stud 70, an adhesive such as an epoxy resin, or an elastomer. The spacers 140 are interposed between the upper surface of the mask 20, the lower surface of the lug plate 44, and the mask 20 to maintain a gap 141 for buffering between the mask 20 and the pellicle frame 40. . In some embodiments, spacers 140 may be applied to studs 70 in place of buffer structures 60 and 130 of each of the pellicle assemblies 10A and 10B of the first and second embodiments.

도 13과 도 14에 본 발명에 따른 펠리클 조립체의 제4 실시예가 도시되어 있다. 도 13과 도 14를 참조하면, 제4 실시예의 펠리클 조립체(10D)와 앞에서 설명한 제1 내지 제3 실시예의 펠리클 조립체(10A~10C)의 동일한 구성은 동일한 부호를 부여하고 자세한 설명은 생략한다. 제4 실시예의 펠리클 조립체(10D)와 앞에서 설명한 제1 내지 제4 실시예의 펠리클 조립체(10A~10C)의 차이점은 스터드(70)들 각각에 착탈할 수 있도록 결합되는 복수의 패스너(150)에 있다. 13 and 14 show a fourth embodiment of a pellicle assembly according to the present invention. 13 and 14, the same components of the pellicle assembly 10D of the fourth embodiment and the pellicle assemblies 10A to 10C of the first to third embodiments described above are assigned the same reference numerals and detailed descriptions are omitted. The difference between the pellicle assembly 10D of the fourth embodiment and the pellicle assemblies 10A to 10C of the first to fourth embodiments described above lies in the plurality of fasteners 150 that are detachably coupled to each of the studs 70. .

제4 실시예의 펠리클 조립체(10D)의 패스너(150)들 각각은 스프링 클램프(Spring clamp: 151)로 구성되어 있다. 스프링 클램프(151)의 수용을 위하여 복수의 리세스(Recess: 48)가 구멍(45)과 연결되도록 러그 플레이트(44)들 각각에 윗면에 장방형(Rectangular)으로 형성되어 있다. 스터드(70)들 각각은 구멍(45)을 통과하도록 위쪽에 형성되어 있는 헤드(Head: 76)를 갖는다. 스프링 클램프(151)는 구멍(45)을 통과하여 리세스(48)의 바닥과 헤드(76) 사이에 배치되어 있는 스터드(70)들 각각의 외주면을 클램핑(Clamping)하여 마스크(20)와 펠리클 프레임(40)을 견고하게 고정시킬 수 있다. Each of the fasteners 150 of the pellicle assembly 10D of the fourth embodiment is composed of a spring clamp (151). In order to accommodate the spring clamp 151, a plurality of recesses 48 are formed in a rectangular shape on the upper surface of each of the lug plates 44 to be connected to the hole 45. Each of the studs 70 has a head 76 formed at the top so as to pass through the hole 45. The spring clamp 151 passes through the hole 45 and clamps the outer peripheral surface of each of the studs 70 disposed between the bottom of the recess 48 and the head 76 to secure the mask 20 and the pellicle. The frame 40 can be firmly fixed.

스프링 클램프(151)는 제1 클램핑 조(Clamping jaw: 152), 제2 클램핑 조(153), 피봇 조인트(Pivot joint: 154)와 토션 스프링(Torsion spring: 155)을 구비한다. 제1 및 제2 클램핑 조(152, 153)는 서로 마주하도록 배치되어 있다. 제1 및 제2 클램핑 조(152, 153) 각각은 손잡이(152a, 153a)와, 러그 플레이트(44)들 각각의 구멍(45)을 통과하는 스터드(70)들 각각의 외주면을 클램핑할 수 있도록 손잡이(152a, 153a)의 한쪽에 연장되어 있는 조(Jaw: 152b, 153b)를 갖는다. 반원 홈(152c, 153c)이 스터드(70)들 각각의 외주면을 클램핑할 수 있도록 조(152b, 153b)의 내면에 서로 마주하도록 형성되어 있다. 몇몇 실시예에 있어서, 제1 및 제2 클램핑 조(152, 153) 중 어느 하나, 예를 들면 제1 클램핑 조(152)는 러그 플레이트(44)에 고정될 수 있다. The spring clamp 151 includes a first clamping jaw 152, a second clamping jaw 153, a pivot joint 154, and a torsion spring 155. The first and second clamping jaws 152 and 153 are arranged to face each other. The first and second clamping jaws 152 and 153 each clamp the outer peripheral surfaces of the handles 152a and 153a and the studs 70 passing through the holes 45 of each of the lug plates 44. It has jaws (152b, 153b) extending from one side of the handles (152a, 153a). Semicircular grooves 152c and 153c are formed to face each other on the inner surfaces of the jaws 152b and 153b so as to clamp the outer peripheral surfaces of each of the studs 70. In some embodiments, either one of the first and second clamping jaws 152, 153, for example first clamping jaw 152, may be secured to the lug plate 44.

피봇 조인트(154) 또는 힌지 조인트(Hinge joint)는 제1 및 제2 클램핑 조(152, 153)가 서로에 대해 회전할 수 있도록 제1 및 제2 클램핑 조(152, 153)를 연결한다. 피봇 조인트(154)는 손잡이(152a, 153a)와 조(152b, 153b)의 경계에 서로 마주하도록 형성되어 있는 피봇 구멍(Pivot hole: 154a, 154b)과, 제1 및 제2 클램핑 조(152, 153)를 회전시킬 수 있도록 피봇 구멍(154a, 154b)에 결합되어 있는 피봇(154c)을 갖는다. 제1 및 제2 클램핑 조(152, 153)는 피봇(154c)을 중심으로 회전되어 조(152b, 153b)를 근접시키거나 이격시키게 된다. 토션 스프링(155)은 피봇(154c)에 장착되어 제1 및 제2 클램핑 조(152, 153) 각각의 조(152b, 153b)가 서로에 대해 근접되어 스터드(70)들 각각의 외주면을 클램핑하는 방향으로 탄성력을 부여한다. A pivot joint 154 or hinge joint connects the first and second clamping jaws 152, 153 so that the first and second clamping jaws 152, 153 can rotate relative to each other. The pivot joint 154 includes pivot holes 154a, 154b formed at the boundaries of the handles 152a, 153a and the jaws 152b, 153b to face each other, and the first and second clamping jaws 152, It has a pivot (154c) coupled to the pivot holes (154a, 154b) so that it can rotate 153). The first and second clamping jaws 152 and 153 are rotated around the pivot 154c to bring the jaws 152b and 153b closer together or apart. The torsion spring 155 is mounted on the pivot 154c so that each of the first and second clamping jaws 152 and 153 (152b, 153b) is close to each other to clamp the outer peripheral surface of each of the studs 70. Provides elasticity in one direction.

제4 실시예의 펠리클 조립체(10D)에 있어서 조(152b, 153b)가 벌어지도록 손잡이(152a, 153a)를 눌러 피봇(154c)을 중심으로 제1 및 제2 클램핑 조(152, 153)를 회전시킨다. 스터드(70)들 각각을 러그 플레이트(44)들 각각의 구멍(45)에 통과시키고, 벌어져 있는 조(152b, 153b) 사이에 스터드(70)들 각각을 위치시킨다. 손잡이(152a, 153a)를 누르는 힘을 해제하면, 토션 스프링(155)의 탄성 복원력에 의해 제1 및 제2 클램핑 조(152, 153)가 피봇(154c)을 중심으로 회전되어 복귀되고, 조(152b, 153b)가 서로에 대해 근접되어 스터드(70)들 각각을 견고하게 고정시킨다. In the pellicle assembly 10D of the fourth embodiment, the first and second clamping jaws 152 and 153 are rotated around the pivot 154c by pressing the handles 152a and 153a so that the jaws 152b and 153b are opened. . Each of the studs 70 is passed through the hole 45 of each of the lug plates 44, and each of the studs 70 is positioned between the open jaws 152b and 153b. When the force pressing the handles 152a and 153a is released, the first and second clamping jaws 152 and 153 are rotated and returned around the pivot 154c by the elastic restoring force of the torsion spring 155, and the jaws ( 152b and 153b) are close to each other to firmly fix each of the studs 70.

또한, 손잡이(152a, 153a)를 누르면 조(152b, 153b)가 벌여져 스터드(70)들 각각을 쉽게 빼내 마스크(20)와 펠리클 프레임(40)을 간편하게 분리시킬 수 있다. 이와 같은 마스크(20)와 펠리클 프레임(40)의 분리에 의해 펠리클 막(50)의 손상 시 펠리클(30)을 간편하게 교체할 수 있으므로 고가의 마스크(20)를 재사용할 수 있다. Additionally, when the handles 152a and 153a are pressed, the jaws 152b and 153b are opened so that each of the studs 70 can be easily removed to easily separate the mask 20 and the pellicle frame 40. By separating the mask 20 and the pellicle frame 40, the pellicle 30 can be easily replaced when the pellicle film 50 is damaged, so the expensive mask 20 can be reused.

이상에서 설명된 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위 내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.The embodiments described above merely describe preferred embodiments of the present invention, and the scope of the present invention is not limited to the described embodiments, and is within the scope of the technical idea and claims of the present invention. Various changes, modifications or substitutions may be possible, and such embodiments should be understood as falling within the scope of the present invention.

예를 들어, 도 13과 14에서는 반원 홈이 조의 내면에 서로 마주하도록 형성되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 홈은 조의 내면 대신에 스터드들 각각의 외주면에 홈이 형성될 수도 있다.For example, in Figures 13 and 14, semicircular grooves are shown as being formed on the inner surface of the jaw to face each other, but the grooves may be formed on the outer peripheral surface of each of the studs instead of the inner surface of the jaw.

10A, 10B, 10C, 10D: 펠리클 조립체 20: 마스크
30: 펠리클 40: 펠리클 프레임
44: 러그 플레이트 45: 구멍
50: 펠리클 막 60, 130: 버퍼 구조물
61, 131: 간격 62, 132: 탄성체
70: 스터드 80, 150: 패스너
90: 디스크 100: 로킹 홀더
102: 반 구멍 103: 스프링 클립
104: 손잡이 110: 캡
111: 스토퍼 120: 스톱링
140: 스페이서 141: 간격
151: 스프링 클램프 152: 제1 클램핑 조
153: 제2 클램핑 조 154: 피봇 조인트
155: 토션 스프링10A, 10B, 10C, 10D: pellicle assembly 20: mask
30: pellicle 40: pellicle frame
44: Lug plate 45: Hole
50: pellicle membrane 60, 130: buffer structure
61, 131: gap 62, 132: elastic body
70: stud 80, 150: fastener
90: Disk 100: Locking holder
102: Half hole 103: Spring clip
104: handle 110: cap
111: stopper 120: stop ring
140: spacer 141: gap
151: spring clamp 152: first clamping jaw
153: second clamping jaw 154: pivot joint
155: Torsion spring

Claims (10)

마스크의 위쪽에 배치되어 있으며, 제1 표면과, 상기 제1 표면과 대향되는 제2 표면과, 가장자리에 연장되어 있고 구멍이 형성되어 있는 복수의 러그 플레이트를 갖는 펠리클 프레임과, 상기 제1 표면에 부착되어 있는 펠리클 막을 구비하는 펠리클과;
상기 마스크와 상기 펠리클 프레임 사이에 완충을 위한 간격을 형성하도록 제공되어 있는 간격 유지 수단과;
상기 복수의 러그 플레이트 각각의 구멍을 통과하도록 상기 마스크의 표면에 결합되어 있는 복수의 스터드와;
상기 복수의 러그 플레이트 각각의 구멍을 통과하는 상기 복수의 스터드 각각에 착탈할 수 있도록 결합되어 있는 복수의 패스너를 포함하고,
상기 복수의 패스너 각각은,
상기 복수의 스터드 각각이 통과될 수 있도록 중앙에 구멍이 형성되어 있는 디스크와;
상기 디스크의 위쪽에 결합되어 있으며, 탄성 변형에 의해 상기 복수의 스터드 각각에 결합할 수 있도록 형성되어 있는 반 구멍을 갖는 한 쌍의 스프링 클립과, 상기 한 쌍의 스프링 클립 각각의 위쪽에 서로 마주하도록 연장되어 있는 한 쌍의 손잡이를 갖는 로킹 홀더를 구비하고,
상기 한 쌍의 손잡이가 서로 근접되도록 눌러지면 한 쌍의 스프링 클립 각각의 탄성 변형에 의해 형성되는 상기 반 구멍의 직경이 커져 상기 복수의 스터드 각각이 분리되며, 상기 한 쌍의 스프링 클립의 복원 시 상기 반 구멍이 상기 복수의 스터드 각각을 압박하여 고정하도록 구성되어 있는 펠리클 조립체.A pellicle frame disposed above the mask, having a first surface, a second surface opposite the first surface, and a plurality of lug plates extending at the edges and having holes formed therein, and on the first surface A pellicle having an attached pellicle membrane;
gap maintenance means provided to form a gap for cushioning between the mask and the pellicle frame;
a plurality of studs coupled to the surface of the mask so as to pass through each hole of the plurality of lug plates;
A plurality of fasteners are removably coupled to each of the plurality of studs passing through holes of each of the plurality of lug plates,
Each of the plurality of fasteners is,
a disk having a hole formed in the center through which each of the plurality of studs can pass;
A pair of spring clips coupled to the upper side of the disk and having a half hole formed so as to be coupled to each of the plurality of studs by elastic deformation, and facing each other above each of the pair of spring clips. It has a locking holder having a pair of extending handles,
When the pair of handles are pressed to approach each other, the diameter of the half hole formed by elastic deformation of each of the pair of spring clips increases, thereby separating each of the plurality of studs, and when the pair of spring clips are restored, the A pellicle assembly in which a half hole is configured to press and secure each of the plurality of studs. 제1항에 있어서,
상기 간격 유지 수단은 상기 마스크와 상기 복수의 러그 플레이트 각각의 사이에 개재되도록 상기 복수의 러그 플레이트의 아랫면에 부착되어 있는 버퍼 구조물로 이루어지는 펠리클 조립체.According to paragraph 1,
A pellicle assembly wherein the gap maintaining means is a buffer structure attached to the lower surface of the plurality of lug plates so as to be interposed between the mask and each of the plurality of lug plates. 제1항에 있어서,
상기 간격 유지 수단은 상기 마스크와 상기 복수의 러그 플레이트 각각의 사이에 개재되도록 상기 복수의 러그 플레이트와 이웃하는 상기 마스크의 표면에 부착되어 있는 버퍼 구조물로 이루어지는 펠리클 조립체. According to paragraph 1,
The space maintaining means is a pellicle assembly comprised of a buffer structure attached to a surface of the mask adjacent to the plurality of lug plates so as to be interposed between the mask and each of the plurality of lug plates. 제1항에 있어서,
상기 간격 유지 수단은 상기 마스크와 상기 복수의 러그 플레이트 각각의 사이에 개재되도록 상기 복수의 스터드 각각의 하단에 형성되어 있는 스페이서로 이루어지는 펠리클 조립체. According to paragraph 1,
The space maintaining means is a pellicle assembly comprised of a spacer formed at a lower end of each of the plurality of studs to be interposed between the mask and each of the plurality of lug plates. 삭제delete 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 패스너 각각은,
상기 로킹 홀더의 위쪽에 배치되도록 상기 디스크에 결합되어 있는 캡을 더 구비하고, 상기 캡은 상기 반 구멍을 통과한 상기 복수의 스터드 각각을 구속할 수 있도록 중앙에 형성되어 있는 스토퍼를 가지며, 상기 한 쌍의 손잡이 각각이 노출되도록 한 쌍의 트인 구멍이 상기 스토퍼의 양쪽에 형성되어 있는 펠리클 조립체.According to any one of claims 1 to 4,
Each of the plurality of fasteners is,
It further includes a cap coupled to the disk to be disposed above the locking holder, and the cap has a stopper formed at the center to restrain each of the plurality of studs passing through the half hole. A pellicle assembly in which a pair of open holes are formed on both sides of the stopper to expose each of the pair of handles. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 반 구멍의 가장자리가 로킹될 수 있도록 로킹 그루브가 상기 복수의 스터드 각각의 외면에 둘레 방향을 따라 형성되어 있는 펠리클 조립체.According to any one of claims 1 to 4,
A pellicle assembly in which a locking groove is formed along the circumferential direction on the outer surface of each of the plurality of studs so that the edge of the half hole can be locked. 제1항에 있어서,
상기 복수의 러그 플레이트 각각의 윗면에 상기 복수의 패스너 각각을 수용할 수 있도록 리세스가 더 형성되어 있으며, 상기 리세스의 위쪽에 상기 복수의 패스너 각각의 이탈을 방지하도록 복수의 스톱 링 각각이 결합되어 있는 펠리클 조립체. According to paragraph 1,
A recess is further formed on the upper surface of each of the plurality of lug plates to accommodate each of the plurality of fasteners, and a plurality of stop rings are each coupled to the upper side of the recess to prevent each of the plurality of fasteners from being separated. Pellicle assembly. 마스크의 위쪽에 배치되어 있으며, 제1 표면과, 상기 제1 표면과 대향되는 제2 표면과, 가장자리에 연장되어 있고 구멍이 형성되어 있는 복수의 러그 플레이트를 갖는 펠리클 프레임과, 상기 제1 표면에 부착되어 있는 펠리클 막을 구비하는 펠리클과;
상기 마스크와 상기 펠리클 프레임 사이에 완충을 위한 간격을 형성하도록 제공되어 있는 간격 유지 수단과;
상기 복수의 러그 플레이트 각각의 구멍을 통과하도록 상기 마스크의 표면에 결합되어 있는 복수의 스터드와;
상기 복수의 러그 플레이트 각각의 구멍을 통과하는 상기 복수의 스터드 각각에 착탈할 수 있도록 결합되어 있는 복수의 패스너를 포함하고,
상기 복수의 패스너 각각은,
상기 러그 플레이트 각각의 구멍을 통과한 상기 복수의 스터드 각각의 외주면을 클램핑할 수 있도록 서로 마주하도록 배치되어 있는 제1 및 제2 클램핑 조와;
상기 제1 및 제2 클램핑 조가 서로에 대해 회전할 수 있도록 상기 제1 및 제2 클램핑 조를 연결하는 피봇을 갖는 피봇 조인트와;
상기 제1 및 제2 클램핑 조가 상기 복수의 스터드 각각의 외주면을 클램핑하는 방향으로 탄성력을 부여하도록 상기 피봇에 장착되어 있는 토션 스프링으로 구비하는 스프링 클램프로 이루어지는 펠리클 조립체. A pellicle frame disposed above the mask, having a first surface, a second surface opposite the first surface, and a plurality of lug plates extending at the edges and having holes formed therein, and on the first surface A pellicle having an attached pellicle membrane;
gap maintenance means provided to form a gap for cushioning between the mask and the pellicle frame;
a plurality of studs coupled to the surface of the mask so as to pass through each hole of the plurality of lug plates;
A plurality of fasteners are removably coupled to each of the plurality of studs passing through holes of each of the plurality of lug plates,
Each of the plurality of fasteners is,
first and second clamping jaws arranged to face each other to clamp the outer peripheral surfaces of each of the plurality of studs that pass through each hole of the lug plate;
a pivot joint having a pivot connecting the first and second clamping jaws so that the first and second clamping jaws can rotate relative to each other;
A pellicle assembly made of a spring clamp wherein the first and second clamping jaws include a torsion spring mounted on the pivot to provide elastic force in a direction clamping the outer peripheral surface of each of the plurality of studs. 제9항에 있어서,
상기 복수의 클램핑 각각의 외주면을 클램핑할 수 있도록 상기 제1 및 제2 클램핑 조 각각에 서로 마주하도록 반원 홈이 형성되어 있는 펠리클 조립체.According to clause 9,
A pellicle assembly in which semicircular grooves are formed to face each other in each of the first and second clamping jaws so as to clamp the outer peripheral surface of each of the plurality of clamping jaws.
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