KR102660739B1 - High-delta pressure with dirty flow service application contril valve - Google Patents

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KR102660739B1
KR102660739B1 KR1020230181321A KR20230181321A KR102660739B1 KR 102660739 B1 KR102660739 B1 KR 102660739B1 KR 1020230181321 A KR1020230181321 A KR 1020230181321A KR 20230181321 A KR20230181321 A KR 20230181321A KR 102660739 B1 KR102660739 B1 KR 102660739B1
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김제훈
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Abstract

본 발명은 유체에 포함된 이물질에 의해 막히는 것을 방지할 수 있는 고차압 이물질 배출형 제어밸브에 관한 것으로서, 밸브 바디(110)에 유입통로(111)와 배출통로(112)가 형성되고, 밸브 바디(110)의 내부에 밸브 구멍(113)이 형성되어, 밸브 구멍(113)이 유입통로(111)와 배출통로(112) 사이에 배치되고, 밸브 구멍(113)에 밸브 시트(120)가 배치되고, 밸브 구멍(113)의 상부에 갤러리(115)가 형성되고, 갤러리(115)에 케이지(130)가 배치되어, 케이지(130)가 밸브 시트(120)에 안착되고, 케이지(130)의 중공부(131)에 플러그(140)가 배치되어, 플러그(140)의 승하강에 의해 밸브 구멍(113)이 개폐되고, 플러그(140)의 상단에 밸브 스템(149)이 연결되어, 밸브 스템(149)이 밸브 바디(110)의 상단에 배치된 본넷(150)을 통해 액추에이터에 연결되는 고차압 이물질 배출형 제어밸브에 있어서, 갤러리(115)에서 케이지(130)를 중심으로 배출통로(112)의 반대편 내주면에 케이지(130)의 일부를 감싸도록 덧살부(160)가 형성되는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a high differential pressure foreign matter discharge type control valve that can prevent clogging by foreign substances contained in the fluid. An inlet passage 111 and an discharge passage 112 are formed in the valve body 110, and the valve body ( A valve hole 113 is formed inside the valve hole 110, the valve hole 113 is disposed between the inlet passage 111 and the discharge passage 112, and the valve seat 120 is disposed in the valve hole 113. , a gallery 115 is formed in the upper part of the valve hole 113, a cage 130 is disposed in the gallery 115, the cage 130 is seated on the valve seat 120, and the hollow of the cage 130 A plug 140 is disposed in the part 131, the valve hole 113 is opened and closed by raising and lowering the plug 140, and the valve stem 149 is connected to the upper end of the plug 140, so that the valve stem ( In the high differential pressure foreign matter discharge control valve 149) connected to the actuator through the bonnet 150 disposed on the top of the valve body 110, the discharge passage 112 is centered on the cage 130 in the gallery 115. It is characterized in that an overlay 160 is formed on the opposite inner peripheral surface to surround a part of the cage 130.

Description

고차압 이물질 배출형 제어밸브{HIGH-DELTA PRESSURE WITH DIRTY FLOW SERVICE APPLICATION CONTRIL VALVE}High differential pressure foreign matter discharge type control valve {HIGH-DELTA PRESSURE WITH DIRTY FLOW SERVICE APPLICATION CONTRIL VALVE}

본 발명은 유체에 포함된 이물질에 의해 막히는 것을 방지할 수 있는 고차압 이물질 배출형 제어밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 갤러리에서 케이지를 중심으로 배출통로의 반대편 내주면에 케이지의 일부를 감싸도록 덧살부를 형성함으로써, 케이지가 덧살부에 밀착되어, 유체에 포함된 이물질이 배출통로의 반대편에 배치된 밸브 바디의 내주면에 적층되어 쌓이는 것을 방지할 수 있는 고차압 이물질 배출형 제어밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a high differential pressure foreign matter discharge type control valve that can prevent clogging by foreign substances contained in the fluid. More specifically, the present invention relates to a control valve of a high differential pressure foreign matter discharge type, and more specifically, an overlay is formed on the inner peripheral surface opposite to the discharge passage centered on the cage in the gallery to surround a part of the cage. The present invention relates to a high differential pressure foreign matter discharge type control valve that is formed so that the cage is in close contact with the overlay, thereby preventing foreign matter contained in the fluid from accumulating on the inner peripheral surface of the valve body disposed on the opposite side of the discharge passage.

대한민국 특허공개 제10-2023-0037326호(2023년 3월 16일, 공개)에 "고압 드럼 스타트업 블로우다운 밸브"가 소개되어 있다.“High-pressure drum start-up blowdown valve” is introduced in Korean Patent Publication No. 10-2023-0037326 (published March 16, 2023).

상기 고압 드럼 스타트업 블로우다운 밸브는 제1 방향으로 연장되는 유체유입구 및 상기 제1 방향의 역방향인 제2 방향으로 연장되는 유체배출구를 포함하는 밸브바디부; 및 상기 유체유입구 및 상기 유체배출구 사이에 직립되게 배치되어 상기 유체유입구 및 상기 유체배출구 사이를 개폐하는 유체 제어부를 포함하고, 상기 유체 제어부는, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직하는 제3 방향을 따라 일정 간격으로 배열되고 고리 형상을 갖는 다수의 환형입구 및 상기 환형입구들 사이에 배치되는 다수의 캐비티를 포함하고, 상기 제3 방향에 평행하게 배치되어 상기 유체유입구 및 상기 유체배출구 사이를 밀폐하는 케이지; 기둥 형상이고, 상기 케이지 내부로 삽입되어 외면이 상기 환형입구들의 내경에 밀착하고, 상기 캐비티의 개수에 대응하는 개수로 상기 기둥 형상의 높이 방향을 따라 배열되고 상기 기둥 형상의 외면으로부터 오목하게 형성되는 다수의 개방부를 포함하고, 평상시 상기 유체유입구에 마주하는 상기 케이지의 하단부를 밀폐하는 플러그; 및 상기 플러그의 상단에 연결되는 스템을 포함한다.The high-pressure drum startup blowdown valve includes a valve body portion including a fluid inlet extending in a first direction and a fluid outlet extending in a second direction opposite to the first direction. and a fluid control unit disposed upright between the fluid inlet and the fluid outlet to open and close the space between the fluid inlet and the fluid outlet, wherein the fluid control unit includes a third unit perpendicular to the first direction and the second direction. It includes a plurality of annular inlets arranged at regular intervals along a direction and having a ring shape, and a plurality of cavities disposed between the annular inlets, and is arranged parallel to the third direction to form a space between the fluid inlet and the fluid outlet. airtight cage; It has a pillar shape, is inserted into the cage, and its outer surface is in close contact with the inner diameter of the annular inlet, is arranged along the height direction of the pillar shape in a number corresponding to the number of cavities, and is concavely formed from the outer surface of the pillar shape. a plug that includes a plurality of openings and seals the lower end of the cage that normally faces the fluid inlet; and a stem connected to the top of the plug.

그러나, 상기 고압 드럼 스타트업 블로우다운 밸브는, 도 1에 도시된 것처럼, 케이지(11)가 배치되는 갤러리(15)에서, 케이지(11)를 중심으로 유체배출구(12)의 반대편에 공간(15a)이 형성되어 있어, 상기 공간(15a)에 유체에 포함된 이물질이 쌓이게 되면서, 결국 퇴적된 이물질에 의해 유체배출구(12)와 연결되는 갤러리(15)의 나머지 공간(15b)이 막히게 되거나 유배배출구(12)의 통로가 좁아지는 단점이 있다.However, as shown in FIG. 1, the high-pressure drum start-up blowdown valve has a space 15a on the opposite side of the fluid outlet 12 centered on the cage 11 in the gallery 15 where the cage 11 is disposed. ) is formed, and as foreign substances contained in the fluid accumulate in the space 15a, the remaining space 15b of the gallery 15 connected to the fluid outlet 12 is eventually blocked by the accumulated foreign substances or the oil discharge outlet is blocked. There is a disadvantage that the passage in (12) becomes narrow.

따라서, 본 발명의 목적은 갤러리에서 케이지를 중심으로 배출통로의 반대편 내주면에 케이지의 일부를 감싸도록 덧살부를 형성함으로써, 케이지가 덧살부에 밀착되어, 유체에 포함된 이물질이 배출통로의 반대편에 배치된 밸브 바디의 내주면에 적층되어 쌓이는 것을 방지할 수 있고, 밸브 바디의 내주면에 쌓이는 이물질에 의해 유체의 흐름이 간섭되거나 갤러리 또는 배출통로가 막히는 것을 방지할 수 있는 고차압 이물질 배출형 제어밸브를 제공하는 것이다.Therefore, the purpose of the present invention is to form an overlay to surround a part of the cage on the inner peripheral surface on the opposite side of the discharge passage centered on the cage in the gallery, so that the cage is in close contact with the overlay, and foreign substances contained in the fluid are placed on the opposite side of the discharge passage. Provides a high differential pressure foreign matter discharge type control valve that can prevent stacking on the inner circumferential surface of the valve body and prevent the flow of fluid from being interfered with or the gallery or discharge passage blocked by foreign matter accumulating on the inner circumferential surface of the valve body. will be.

본 발명의 다른 목적은 구성요소의 조립이 간편하고, 구조적으로 견고하고, 밸브 바디의 유입통로로 제공되는 유체가 플러그의 밸런스 홀과 배출구멍을 통해 본넷의 밸런스 챔버로 공급됨으로써, 밸런스 챔버의 유체로부터 플러그의 하부 원통부가 하부로 작용하는 면압을 받게 되어, 플러그가 하강 상태를 유지하기 용이하고, 적은 힘으로 플러그의 선단 헤드로 밸브 구멍을 닫을 수 있어, 소형의 액추에이터를 사용할 수 있는 고차압 이물질 배출형 제어밸브를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is that the components are easy to assemble, are structurally strong, and the fluid provided through the inflow passage of the valve body is supplied to the balance chamber of the bonnet through the balance hole and discharge hole of the plug, thereby maintaining the fluid in the balance chamber. The lower cylindrical part of the plug receives surface pressure acting downward, making it easy for the plug to maintain its lowering state, and the valve hole can be closed with the tip head of the plug with little force, allowing the use of a small actuator. A discharge-type control valve is provided.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 고차압 이물질 배출형 제어밸브의 일례는,An example of a high differential pressure foreign matter discharge control valve according to the present invention to achieve the above object is,

밸브 바디에 유입통로와 배출통로가 형성되고, 밸브 바디의 내부에 밸브 구멍이 형성되어, 밸브 구멍이 유입통로와 배출통로 사이에 배치되고, 밸브 구멍에 밸브 시트가 배치되고, 밸브 구멍의 상부에 갤러리가 형성되고, 갤러리에 케이지가 배치되어, 케이지가 밸브 시트에 안착되고, 케이지의 중공부에 플러그가 배치되어, 플러그의 승하강에 의해 밸브 구멍이 개폐되고, 플러그의 상단에 밸브 스템이 연결되어, 밸브 스템이 밸브 바디의 상단에 배치된 본넷을 통해 액추에이터에 연결되는 고차압 이물질 배출형 제어밸브에 있어서, An inflow passage and an discharge passage are formed in the valve body, a valve hole is formed inside the valve body, the valve hole is disposed between the inflow passage and the discharge passage, a valve seat is disposed in the valve hole, and an upper part of the valve hole A gallery is formed, a cage is placed in the gallery, the cage is seated on the valve seat, a plug is placed in the hollow part of the cage, the valve hole is opened and closed by the rise and fall of the plug, and the valve stem is connected to the top of the plug. In the high differential pressure foreign matter discharge control valve, the valve stem is connected to the actuator through a bonnet disposed on the top of the valve body,

갤러리에서 케이지를 중심으로 배출통로의 반대편 내주면에 케이지의 일부를 감싸도록 덧살부가 형성되는 것을 특징으로 한다.It is characterized in that an overlay is formed to surround a part of the cage on the inner peripheral surface opposite to the discharge passage centered on the cage in the gallery.

상기 덧살부는 케이지를 중심으로 배출통로의 반대편인 마루부가 가장 높게 배치되고, 마루부를 중심으로 양쪽으로 안내 경사면이 형성되고, 양쪽의 안내 경사면이 마루부에서 갤러리의 내주면을 따라 배출통로 쪽으로 갈수록 낮아지도록 경사지게 형성되고, 마루부가 케이지의 유체토출구멍 보다 하부에 배치되고, 안내 경사면의 하단부가 밸브 구멍의 측부에 배치되는 것을 특징으로 한다.The overlay part is arranged so that the ridge on the opposite side of the discharge passage is the highest around the cage, guide slopes are formed on both sides around the ridge, and the guide slopes on both sides are lowered from the ridge toward the discharge passage along the inner peripheral surface of the gallery. It is formed inclinedly, the ridge is disposed lower than the fluid discharge hole of the cage, and the lower end of the guide inclined surface is disposed on the side of the valve hole.

상기 안내 경사면은 CVD(Chemical Vapor Deposition ; 화학적기상증착 방식)으로 표면처리되는 것을 특징으로 한다.The guide slope is characterized by surface treatment using CVD (Chemical Vapor Deposition).

상기 CVD 방식은 HDPCVD(High Density Plasma CVD) 방식이고, 2번의 증착으로 제 1 증착막과 제 2 증착막이 형성되며, 제 1 증착막을 형성하는 반응가스는 질소가스와 실란(SiH4)이 1:2의 부피비로 혼합된 것을 사용하고, 제 2 증착막을 형성하는 반응가스는 질소가스와 자일렌(Xylene)이 1:2의 부피비로 혼합된 것을 사용하는 것을 특징으로 한다.The CVD method is a High Density Plasma CVD (HDPCVD) method, and the first deposition film and the second deposition film are formed through two depositions, and the reaction gas for forming the first deposition film is nitrogen gas and silane (SiH 4 ) in a ratio of 1:2. A mixture in a volume ratio of is used, and the reaction gas for forming the second deposition film is characterized in that nitrogen gas and xylene are mixed in a volume ratio of 1:2.

또한, 본 발명은 케이지와 본넷 사이에 밸런스 실린더가 배치되어, 밸런스 실린더가 밸브 바디의 상부 장착부의 내주면에 밀착되고, 본넷의 밸런스 챔버가 밸런스 실린더의 상부에 배치되고, 밸런스 실린더의 중공부에 플러그의 상부 바디가 끼워지고, 상부 바디가 하부 원통부와 상부 원통부로 구분되어, 하부 원통부의 직경이 상부 원통부의 직경 보다 크게 형성되어, 하부 원통부가 밸런스 실린더의 내주면에 밀착되고, 상부 원통부와 밸런스 실린더 사이에 이동통로가 형성되어, 이동통로가 본넷의 밸런스 챔버와 연결되고, 플러그의 중심에 밸런스 홀이 상하로 길게 천공되고, 밸런스 홀의 상단이 상부 바디에 형성된 배출구멍과 연결되고, 배출구멍이 이동통로와 연결되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, a balance cylinder is disposed between the cage and the bonnet, the balance cylinder is in close contact with the inner peripheral surface of the upper mounting part of the valve body, the balance chamber of the bonnet is disposed at the upper part of the balance cylinder, and a plug is installed in the hollow part of the balance cylinder. The upper body is fitted, the upper body is divided into a lower cylindrical part and an upper cylindrical part, the diameter of the lower cylindrical part is formed larger than the diameter of the upper cylindrical part, the lower cylindrical part is in close contact with the inner peripheral surface of the balance cylinder, and the upper cylindrical part and the balance A moving passage is formed between the cylinders, and the moving passage is connected to the balance chamber of the bonnet. A balance hole is drilled long up and down in the center of the plug, the upper end of the balance hole is connected to the discharge hole formed in the upper body, and the discharge hole is It is characterized by being connected to a moving passage.

상기 케이지는 내주면에 복수개의 링돌기가 소정간격으로 형성되고, 복수개의 링돌기에 의해 중공부가 복수개의 격실로 구분됨으로써, 밸브 시트와 제 1 링돌기 사이에 제 1 격실이 배치되고, 제 1 링돌기와 제 2 링돌기 사이에 제 2 격실이 배치되고, 제 2 링돌기와 제 3 링돌기 사이에 제 3 격실이 배치되고, 제 3 격실의 상부에 유체토출구멍이 방사상으로 형성되고,The cage has a plurality of ring protrusions formed at predetermined intervals on the inner peripheral surface, and the hollow portion is divided into a plurality of compartments by the plurality of ring protrusions, so that a first compartment is disposed between the valve seat and the first ring protrusion, and the first ring A second compartment is disposed between the protrusion and the second ring protrusion, a third compartment is disposed between the second ring protrusion and the third ring protrusion, and a fluid discharge hole is formed radially in the upper part of the third compartment,

상기 플러그는 선단 헤드와 상부 바디 사이에 원통형 로브가 배치되고, 선단 헤드와 원통형 로브 사이에 하부 목부가 배치되고, 원통형 로브와 상부 바디 사이에 상부 목부가 배치되고, 하부 목부와 상부 목부의 직경이 선단 헤드, 원통형 로브 및 상부 바디부의 직경에 비해 상대적으로 작게 형성되고, 원통형 로브의 둘레에 4개의 절취부가 형성되어, 제 1 및 제 2 절취부에 대해 제 3 및 제 4 절취부가 상대적으로 상부에 배치되고, 제 1 절취부와 제 2 절취부가 같은 높이 위치에서 서로 대칭되게 배치되고, 제 3 절취부와 제 4 절취부가 같은 높이 위치에서 서로 대칭되게 배치되고, 제 1 및 제 2 절취부 사이에 제 3 및 제 4 절취부가 배치되도록, 제 1 및 제 2 절취부에 대해 제 3 및 제 4 절취부가 직각으로 배치되는 것을 특징으로 한다.The plug has a cylindrical lobe disposed between the distal head and the upper body, a lower neck portion disposed between the distal head and the cylindrical lobe, an upper neck portion disposed between the cylindrical lobe and the upper body, and a diameter of the lower neck and the upper neck. It is formed to be relatively small compared to the diameters of the distal head, the cylindrical lobe, and the upper body portion, and four cutouts are formed around the circumference of the cylindrical lobe, so that the third and fourth cutouts are relatively upper with respect to the first and second cutouts. arranged, the first cut part and the second cut part are arranged symmetrically to each other at the same height position, the third cut part and the fourth cut part are arranged symmetrically to each other at the same height position, and between the first and second cut parts The third and fourth cutouts are disposed at a right angle to the first and second cutouts.

이것에 의해, 본 발명에 따른 고차압 이물질 배출형 제어밸브는 유체에 포함된 이물질이 배출통로의 반대편에 배치된 밸브 바디의 내주면에 적층되어 쌓이는 것을 방지할 수 있고, 밸브 바디의 내주면에 쌓이는 이물질에 의해 유체의 흐름이 간섭되거나 갤러리 또는 배출통로가 막히는 것을 방지할 수 있으며, 구성요소의 조립이 간편하고, 구조적으로 견고하고, 적은 힘으로 플러그의 선단 헤드로 밸브 구멍을 닫을 수 있어, 소형의 액추에이터를 사용할 수 있는 효과가 있다.By this, the high differential pressure foreign matter discharge type control valve according to the present invention can prevent foreign matter contained in the fluid from accumulating on the inner peripheral surface of the valve body disposed on the opposite side of the discharge passage, and can prevent foreign material accumulated on the inner peripheral surface of the valve body. It prevents the flow of fluid from being interfered with or the gallery or discharge passage from being blocked. It is easy to assemble the components, is structurally sturdy, and the valve hole can be closed with the tip head of the plug with little force, making it a compact actuator. There is an effect that can be used.

도 1은 종래의 블로우다운 밸브를 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 고차압 이물질 배출형 제어밸브를 도시한 단면도이다.
도 3은 밸브 바디의 내부에 덧살부가 형성된 것을 도시한 투상도이다.
도 4는 밸브 바디를 도시한 도 3의 A-A선에 따른 단면도이다.
도 5는 밸브 바디를 도시한 도 3의 B-B선에 따른 단면도이다.
도 6은 플러그가 하부로 면압을 받는 구조를 설명하기 위해, 본 발명에 따른 고차압 이물질 배출형 제어밸브를 도시한 단면도이다.
도 7은 유체가 감압된 상태로 배출되는 것을 설명하기 위해, 본 발명에 따른 고차압 이물질 배출형 제어밸브를 도시한 단면도이다.
도 8은 캐이지에 플러그가 배치된 상태를 확대 도시한 것이다.
도 9는 플러그를 도시한 사시도이다.Figure 1 is a cross-sectional view showing a conventional blowdown valve.
Figure 2 is a cross-sectional view showing a high differential pressure foreign matter discharge control valve according to the present invention.
Figure 3 is a perspective view showing an overlay formed inside the valve body.
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 3 showing the valve body.
FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 3 showing the valve body.
Figure 6 is a cross-sectional view showing a high differential pressure foreign matter discharge control valve according to the present invention to explain the structure in which the plug receives surface pressure from the bottom.
Figure 7 is a cross-sectional view showing a high differential pressure foreign matter discharge control valve according to the present invention to explain that fluid is discharged in a reduced pressure state.
Figure 8 is an enlarged view of a state in which a plug is placed in a cage.
Figure 9 is a perspective view showing the plug.

이하, 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 이러한 설명은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였으며, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 본 명세서 상에서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. This description is not intended to limit the present invention to specific embodiments, but should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals are used for similar components, and unless otherwise defined, all terms used in this specification, including technical or scientific terms, are within the scope of common knowledge in the technical field to which the present invention pertains. It has the same meaning as generally understood by those who have it.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.Throughout the specification, when it is said that a part “includes” a certain element, this means that it may further include other elements rather than excluding other elements, unless specifically stated to the contrary.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 고차압 이물질 배출형 제어밸브는 밸브 바디(110)에 유입통로(111)와 배출통로(112)가 형성되고, 밸브 바디(110)의 내부에 밸브 구멍(113)이 형성되어, 밸브 구멍(113)이 유입통로(111)와 배출통로(112) 사이에 배치되고, 밸브 구멍(113)에 밸브 시트(120)가 배치되고, 밸브 구멍(113)의 상부에 갤러리(115)가 형성되고, 갤러리(115)에 케이지(130)가 배치되어, 케이지(130)가 밸브 시트(120)에 안착되고, 케이지(130)의 중공부(131)에 플러그(140)가 배치되어, 플러그(140)의 승하강에 의해 밸브 구멍(113)이 개폐되고, 플러그(140)의 상단에 밸브 스템(149)이 연결되어, 밸브 스템(149)이 밸브 바디(110)의 상단에 배치된 본넷(150)을 통해 액추에이터(도시하지 않음)에 연결된다.Referring to FIG. 2, the high differential pressure foreign matter discharge control valve according to the present invention has an inlet passage 111 and an discharge passage 112 formed in the valve body 110, and a valve hole 113 inside the valve body 110. ) is formed, the valve hole 113 is disposed between the inlet passage 111 and the discharge passage 112, the valve seat 120 is disposed in the valve hole 113, and the valve seat 120 is disposed on the upper part of the valve hole 113. A gallery 115 is formed, a cage 130 is placed in the gallery 115, the cage 130 is seated on the valve seat 120, and a plug 140 is installed in the hollow portion 131 of the cage 130. is disposed, the valve hole 113 is opened and closed by the rise and fall of the plug 140, and the valve stem 149 is connected to the top of the plug 140, so that the valve stem 149 is connected to the valve body 110. It is connected to an actuator (not shown) through the bonnet 150 placed at the top.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 고차압 이물질 배출형 제어밸브에 있어서, 본 발명은 갤러리(115)에서 케이지(130)를 중심으로 배출통로(112)의 반대편 내주면에 케이지(130)의 일부를 감싸도록 덧살부(160)가 형성된다.2 to 4, in the high differential pressure foreign matter discharge control valve according to the present invention configured as described above, the present invention is located on the inner peripheral surface opposite to the discharge passage 112 centered on the cage 130 in the gallery 115. An overlay portion 160 is formed to surround a portion of the cage 130.

상기 덧살부(160)는 케이지(130)를 중심으로 배출통로(112)의 반대편인 마루부(161)가 가장 높게 배치되고, 마루부(161)를 중심으로 양쪽으로 안내 경사면(162)이 형성되고, 양쪽의 안내 경사면(162)이 마루부(161)에서 갤러리(115)의 내주면을 따라 배출통로(112) 쪽으로 갈수록 낮아지도록 경사지게 형성되고, 마루부(161)가 케이지(130)의 유체토출구멍(135) 보다 하부에 배치되고, 안내 경사면(162)의 하단부(162a)가 밸브 구멍(113)의 측부에 배치된다.The oversill portion 160 is arranged with the highest ridge portion 161 on the opposite side of the discharge passage 112 centered on the cage 130, and guide inclined surfaces 162 are formed on both sides of the ridge portion 161. In addition, the guide inclined surfaces 162 on both sides are formed to be inclined to decrease from the ridge 161 along the inner peripheral surface of the gallery 115 toward the discharge passage 112, and the ridge 161 discharges fluid from the cage 130. It is disposed lower than the hole 135, and the lower end 162a of the guide inclined surface 162 is disposed on the side of the valve hole 113.

이것에 의해, 본 발명은 케이지(130)의 상단부에 형성된 복수개의 유체토출구멍(135 ; 135a, 135b,....)을 통해 유체가 밸브 바디(110)의 토출통로(112)로 공급될 때, 유체토출구멍(135 ; 135a, 135b,....)들 중 밸브 바디(110)의 토출통로(112) 쪽으로 배치된 유체토출구멍(135b)을 통해 배출되는 유체는 바로 토출통로(112)로 이동되고, 유체토출구멍(135 ; 135a, 135b,....)들 중 토출통로(112) 반대쪽으로 배치된 유체토출구멍(135a)을 통해 배출되는 유체는 덧살부(160)의 안내 경사면(162)을 따라 토출통로(112)로 이동된다.By this, the present invention allows fluid to be supplied to the discharge passage 112 of the valve body 110 through a plurality of fluid discharge holes 135 (135a, 135b,....) formed at the upper end of the cage 130. At this time, among the fluid discharge holes (135; 135a, 135b,...), the fluid discharged through the fluid discharge hole (135b) disposed toward the discharge passage 112 of the valve body 110 is directly discharged through the discharge passage 112. ), and the fluid discharged through the fluid discharge hole (135a) disposed on the opposite side of the discharge passage (112) among the fluid discharge holes (135; 135a, 135b,...) is guided by the overburden portion (160). It moves to the discharge passage 112 along the inclined surface 162.

이와 같이, 본 발명은 갤러리(115)에서 케이지(130)를 중심으로 배출통로(112)의 반대편 내주면에 케이지(130)의 일부를 감싸도록 덧살부(160)가 형성되고, 케이지(130)가 덧살부(160)에 밀착되어, 유체에 포함된 이물질이 배출통로(112)의 반대편에 배치된 밸브 바디(110)의 내주면에 적층되어 쌓이는 것을 방지함으로써, 밸브 바디(110)의 내주면에 쌓인 이물질에 의해 유체의 흐름이 간섭되거나 갤러리(115) 또는 배출통로(112)가 막히는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.In this way, in the present invention, an overlay 160 is formed to surround a part of the cage 130 on the inner peripheral surface opposite to the discharge passage 112 centered on the cage 130 in the gallery 115, and the cage 130 It is in close contact with the overburden portion 160 to prevent foreign substances contained in the fluid from accumulating on the inner peripheral surface of the valve body 110 disposed on the opposite side of the discharge passage 112, thereby preventing foreign substances accumulated on the inner peripheral surface of the valve body 110. There is an advantage in preventing the flow of fluid from being interfered with or the gallery 115 or discharge passage 112 from being blocked.

또한, 본 발명은 상기 안내 경사면(162)은 표면이 CVD(Chemical Vapor Deposition ; 화학적기상증착 방식)으로 처리됨으로써, 안내 경사면의 표면을 매끄럽게 하고, 내마모성, 내식성을 높여 표면에 이물질이 쌓이는 것을 방지한다.In addition, in the present invention, the surface of the guide slope 162 is treated with CVD (Chemical Vapor Deposition) to smooth the surface of the guide slope and increase wear resistance and corrosion resistance to prevent foreign substances from accumulating on the surface. .

상기 CVD 방식은 HDPCVD(High Density Plasma CVD) 방식이고, 2번의 증착으로 제 1 증착막과 제 2 증착막이 형성되며, 제 1 증착막을 형성하는 반응가스는 질소가스와 실란(SiH4)이 1:2의 부피비로 혼합된 것을 사용하고, 제 2 증착막을 형성하는 반응가스는 질소가스와 자일렌(Xylene)이 1:2의 부피비로 혼합된 것을 사용한다.The CVD method is a High Density Plasma CVD (HDPCVD) method, and the first deposition film and the second deposition film are formed through two depositions, and the reaction gas for forming the first deposition film is nitrogen gas and silane (SiH 4 ) in a ratio of 1:2. A mixture of nitrogen gas and xylene in a volume ratio of 1:2 is used as the reaction gas for forming the second deposition film.

여기서, 질소가스는 불활성가스이고, 실란은 내수성과 발수성 및 계면분리 억제성을 확보하기 위해 첨가된다. 그리고, 자일렌은 액상자일렌을 기화시킨 것을 사용하며, 고경도, 내마모성을 확보하기 위해 첨가된다.Here, nitrogen gas is an inert gas, and silane is added to ensure water resistance, water repellency, and interfacial separation inhibition. Additionally, xylene is used by vaporizing liquid xylene, and is added to ensure high hardness and wear resistance.

특히, 상기 제 2 증착막 형성을 위해 액상자일렌을 사용할 때, 액상자일렌 100중량부에 대해, HDFS(Heptadeca-fluoro-1,1,2,2-tetra-hydrodecyltrichloro-silane) 10중량부, VCI(Volatile Corrosion Inhibitor) 분산액 5.5중량부가 더 첨가된 상태로 사용하면 더욱 좋다.In particular, when using liquid xylene to form the second deposition film, 10 parts by weight of HDFS (Heptadeca-fluoro-1,1,2,2-tetra-hydrodecyltrichloro-silane), VCI, for 100 parts by weight of liquid xylene (Volatile Corrosion Inhibitor) It is better to use it with 5.5 parts by weight of dispersion added.

이 경우, HDPS는 트리클로로실란(trichlorosilane) 계열로서 실란이 포함된 제1증착막과의 부착력, 결합력을 높이기 위함일 뿐만 아니라, 강한 소수성과 강고한 박막 형성을 위해 사용된다.In this case, HDPS is a trichlorosilane series and is used not only to increase adhesion and bonding strength with the first deposited film containing silane, but also to form a strong thin film with strong hydrophobicity.

또한, VCI(Volatile Corrosion Inhibitor) 분산액은 VCI파우더를 알코올에 분산시킨 것으로 내부식성, 내침식성을 강화시킨다.Additionally, VCI (Volatile Corrosion Inhibitor) dispersion is made by dispersing VCI powder in alcohol, which enhances corrosion resistance and corrosion resistance.

도 6을 참조하면, 또한, 본 발명에 따른 고차압 이물질 배출형 제어밸브는 케이지(130)와 본넷(150) 사이에 밸런스 실린더(170)가 배치되어, 밸런스 실린더(170)가 밸브 바디(110)의 상부 장착부(117)의 내주면(117a)에 밀착되고, 본넷(150)의 밸런스 챔버(151)가 밸런스 실린더(170)의 상부에 배치되고, 밸런스 실린더(170)의 중공부(171)에 플러그(140)의 상부 바디(141)가 끼워지고, 상부 바디(141)가 하부 원통부(142)와 상부 원통부(143)로 구분되어, 하부 원통부(142)의 직경이 상부 원통부(153)의 직경 보다 크게 형성되어, 하부 원통부(142)가 밸런스 실린더(170)의 내주면에 밀착되고, 상부 원통부(143)와 밸런스 실린더(170) 사이에 이동통로(172)가 형성되어, 이동통로(172)가 본넷(150)의 밸런스 챔버(151)와 연결되고, 플러그(140)의 중심에 밸런스 홀(145)이 상하로 길게 천공되고, 밸런스 홀(145)의 상단이 상부 바디(141)에 형성된 배출구멍(146)과 연결되고, 배출구멍(146)이 이동통로(172)와 연결된다.Referring to FIG. 6, in the high differential pressure foreign matter discharge control valve according to the present invention, a balance cylinder 170 is disposed between the cage 130 and the bonnet 150, so that the balance cylinder 170 is connected to the valve body 110. is in close contact with the inner peripheral surface 117a of the upper mounting portion 117, and the balance chamber 151 of the bonnet 150 is disposed on the upper part of the balance cylinder 170, and is plugged into the hollow portion 171 of the balance cylinder 170. The upper body 141 of (140) is inserted, and the upper body 141 is divided into a lower cylindrical part 142 and an upper cylindrical part 143, so that the diameter of the lower cylindrical part 142 is the upper cylindrical part 153. ) is formed larger than the diameter of the lower cylindrical portion 142 is in close contact with the inner peripheral surface of the balance cylinder 170, and a moving passage 172 is formed between the upper cylindrical portion 143 and the balance cylinder 170, allowing movement. The passage 172 is connected to the balance chamber 151 of the bonnet 150, and a balance hole 145 is drilled vertically in the center of the plug 140, and the upper end of the balance hole 145 is connected to the upper body 141. ) is connected to the discharge hole 146 formed in the discharge hole 146, and the discharge hole 146 is connected to the moving passage 172.

상기 배출구멍(146)은 복수개가 상부 바디(141)의 둘레에 천공되어, 밸런스 홀(145)의 상단과 수직하게 연결되고, 상부 원통부(143)의 하단에 배치된다.A plurality of discharge holes 146 are drilled around the upper body 141, are connected perpendicularly to the upper end of the balance hole 145, and are disposed at the lower end of the upper cylindrical portion 143.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 고차압 이물질 배출형 제어밸브는 밸브 시트(120)에 케이지(130)를 안착하고, 케이지(130)에 밸런스 실린더(170)가 안착되도록, 밸런스 실린더(170)를 밸브 바디(110)의 상부 장착부(117)에 끼우고, 플러그(140)를 실린더(170)를 통해 케이지(130)에 끼우고, 본넷(150)을 밸브 바디(110)의 장착부(117)에 결합하는 간단한 구조로 되어 있어, 조립이 간편하고, 구조적으로 견고하고, 유입통로(111)의 유체가 플러그(140)의 밸런스 홀(145)과 배출구멍(146)을 통해 본넷(150)의 밸런스 챔버(151)로 공급됨으로써, 밸런스 챔버(151)의 유체로부터 플러그(140)의 하부 원통부(142)가 하부로 작용하는 면압을 받게 되어, 플러그(140)가 하강 상태를 유지하기 용이하고, 적은 힘으로 플러그(140)의 선단 헤드(147)가 밸브 구멍(113)을 닫을 수 있어, 소형의 액추에이터를 사용할 수 있는 장점이 있다.In the high differential pressure foreign matter discharge control valve according to the present invention configured as described above, the cage 130 is seated on the valve seat 120, and the balance cylinder 170 is installed so that the balance cylinder 170 is seated on the cage 130. It is inserted into the upper mounting part 117 of the body 110, the plug 140 is inserted into the cage 130 through the cylinder 170, and the bonnet 150 is coupled to the mounting part 117 of the valve body 110. It has a simple structure, is easy to assemble, is structurally strong, and the fluid in the inlet passage 111 flows into the balance chamber of the bonnet 150 through the balance hole 145 and the discharge hole 146 of the plug 140. By being supplied to (151), the lower cylindrical portion 142 of the plug 140 receives a surface pressure acting downward from the fluid in the balance chamber 151, making it easy for the plug 140 to maintain its lowered state and reducing pressure. The tip head 147 of the plug 140 can close the valve hole 113 with force, which has the advantage of allowing the use of a small actuator.

도 7 내지 도 9를 참조하면, 또한, 상기 케이지(130)는 내주면에 복수개의 링돌기(132a, 132b, 132c, 132d)가 소정간격으로 형성되고, 복수개의 링돌기(132a, 132b, 132c, 132d)에 의해 중공부(131)가 복수개의 격실(131a, 131b, 131c, 131d)로 구분됨으로써, 밸브 시트(120)와 제 1 링돌기(132a) 사이에 제 1 격실(131a)이 배치되고, 제 1 링돌기(132a)와 제 2 링돌기(132b) 사이에 제 2 격실(131b)이 배치되고, 제 2 링돌기(132b)와 제 3 링돌기(132c) 사이에 제 3 격실(131c)이 배치되고, 제 3 격실(131c)의 상부에 유체토출구멍(135)이 방사상으로 형성된다.Referring to FIGS. 7 to 9, the cage 130 has a plurality of ring protrusions (132a, 132b, 132c, 132d) formed at predetermined intervals on the inner peripheral surface, and a plurality of ring protrusions (132a, 132b, 132c, The hollow portion 131 is divided into a plurality of compartments 131a, 131b, 131c, and 131d by 132d, so that the first compartment 131a is disposed between the valve seat 120 and the first ring protrusion 132a. , the second compartment (131b) is disposed between the first ring protrusion (132a) and the second ring protrusion (132b), and the third compartment (131c) is disposed between the second ring protrusion (132b) and the third ring protrusion (132c). ) is disposed, and a fluid discharge hole 135 is formed radially in the upper part of the third compartment 131c.

상기 플러그(140)는 선단 헤드(147)와 상부 바디(141) 사이에 원통형 로브(148)가 배치되고, 선단 헤드(147)와 원통형 로브(148) 사이에 하부 목부(1441)가 배치되고, 원통형 로브(147)와 상부 바디(141) 사이에 상부 목부(1442)가 배치되고, 하부 목부(1441)와 상부 목부(1442)의 직경이 선단 헤드(147), 원통형 로브(148) 및 상부 바디부(141)의 직경에 비해 상대적으로 작게 형성되고, 원통형 로브(148)의 둘레에 4개의 절취부(1481, 1482, 1483, 1484)가 형성되어, 제 1 및 제 2 절취부(1481, 1482)에 대해 제 3 및 제 4 절취부(1483, 1484)가 상대적으로 상부에 배치되고, 제 1 절취부(1481)와 제 2 절취부(1482)가 같은 높이 위치에서 서로 대칭되게 배치되고, 제 3 절취부(1483)와 제 4 절취부(1484)가 같은 높이 위치에서 서로 대칭되게 배치되고, 제 1 및 제 2 절취부(1481, 1482) 사이에 제 3 및 제 4 절취부(1483, 1484)가 배치되도록, 제 1 및 제 2 절취부(1481, 1482)에 대해 제 3 및 제 4 절취부(1483, 1484)가 직각으로 배치된다.The plug 140 has a cylindrical lobe 148 disposed between the distal head 147 and the upper body 141, and a lower neck portion 1441 is disposed between the distal head 147 and the cylindrical lobe 148, An upper neck 1442 is disposed between the cylindrical lobe 147 and the upper body 141, and the diameters of the lower neck 1441 and the upper neck 1442 are equal to those of the distal head 147, the cylindrical lobe 148, and the upper body. It is formed to be relatively small compared to the diameter of the portion 141, and four cut portions (1481, 1482, 1483, 1484) are formed around the cylindrical lobe 148, so that the first and second cut portions (1481, 1482) ), the third and fourth cutouts 1483 and 1484 are arranged relatively at the top, the first cutouts 1481 and the second cutouts 1482 are arranged symmetrically to each other at the same height position, and the The third cut part 1483 and the fourth cut part 1484 are arranged symmetrically at the same height, and the third and fourth cut parts 1483 and 1484 are formed between the first and second cut parts 1481 and 1482. ), the third and fourth cutouts 1483 and 1484 are arranged at right angles to the first and second cutouts 1481 and 1482.

이것에 의해, 플러그(140)의 선단 헤드(147)가 상승하여, 밸브 구멍(113)이 개방되면, 플러그(140)의 하부 목부(1441)가 제 1 링돌기(132a)의 위치에 배치되고, 제 1 및 제 2 절취부(1481, 1482)가 제 2 링돌기(132b)의 위치에 배치되고, 제 3 및 제 4 절취부(1483, 1484)가 제 3 링돌기(132c)의 둘레에 배치됨으로써, 밸브 구멍(113)을 통해 케이지(130)의 제 1 격실(131a)로 공급된 유체가 제 1 링돌기(132a)와 하부 목부(1441) 사이를 통과하여 제 2 격실(131b)로 공급되는 과정에서 1차로 감압되고, 제 2 격실(131b)의 유체가 제 1 및 제 2 절취부(1481, 1482)와 제 2 링돌기(132b) 사이를 통해 제 3 격실(131c)로 공급되는 과정에서 2차로 감압되고, 제 3 격실(131c)의 유체가 제 3 및 제 4 절취부(1483, 1484)와 제 3 링돌기(132c) 사이를 통해 제 4 격실(131d)로 공급되는 과정에서 3차로 감압되고, 감압된 유체가 케이지(130)의 유체토출구멍(135)을 통해 배출통로(112)로 이송된다.As a result, when the tip head 147 of the plug 140 rises and the valve hole 113 is opened, the lower neck portion 1441 of the plug 140 is disposed at the position of the first ring protrusion 132a. , the first and second cutouts 1481 and 1482 are disposed at the positions of the second ring protrusions 132b, and the third and fourth cutouts 1483 and 1484 are disposed around the third ring protrusions 132c. By being disposed, the fluid supplied to the first compartment 131a of the cage 130 through the valve hole 113 passes between the first ring protrusion 132a and the lower neck 1441 to the second compartment 131b. During the supply process, the pressure is first reduced, and the fluid in the second compartment (131b) is supplied to the third compartment (131c) through between the first and second cutouts (1481, 1482) and the second ring protrusion (132b). In the process, the pressure is secondarily reduced, and the fluid in the third compartment (131c) is supplied to the fourth compartment (131d) through between the third and fourth cutouts (1483, 1484) and the third ring protrusion (132c). The pressure is reduced three times, and the depressurized fluid is transferred to the discharge passage 112 through the fluid discharge hole 135 of the cage 130.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. As described above, the present invention has been described with specific details such as specific components and limited embodiments and drawings, but this is only provided to facilitate a more general understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above embodiments. , those skilled in the art can make various modifications and variations from this description.

따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Accordingly, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and the scope of the patent claims described later as well as all things that are equivalent or equivalent to the scope of this patent claim shall fall within the scope of the spirit of the present invention. .

110 : 밸브 바디 120 ; 밸브 시트
130 : 케이지 140 : 플러그
150 : 본넷 160 : 덧살부110: valve body 120; valve seat
130: cage 140: plug
150: Bonnet 160: Oversal part

Claims (6)

밸브 바디(110)에 유입통로(111)와 배출통로(112)가 형성되고, 밸브 바디(110)의 내부에 밸브 구멍(113)이 형성되어, 밸브 구멍(113)이 유입통로(111)와 배출통로(112) 사이에 배치되고, 밸브 구멍(113)에 밸브 시트(120)가 배치되고, 밸브 구멍(113)의 상부에 갤러리(115)가 형성되고, 갤러리(115)에 케이지(130)가 배치되어, 케이지(130)가 밸브 시트(120)에 안착되고, 케이지(130)의 중공부(131)에 플러그(140)가 배치되어, 플러그(140)의 승하강에 의해 밸브 구멍(113)이 개폐되고, 플러그(140)의 상단에 밸브 스템(149)이 연결되어, 밸브 스템(149)이 밸브 바디(110)의 상단에 배치된 본넷(150)을 통해 액추에이터에 연결되는 고차압 이물질 배출형 제어밸브에 있어서,
갤러리(115)에서 케이지(130)를 중심으로 배출통로(112)의 반대편 내주면에 케이지(130)의 일부를 감싸도록 덧살부(160)가 형성되고,
상기 덧살부(160)는 케이지(130)를 중심으로 배출통로(112)의 반대편인 마루부(161)가 가장 높게 배치되고, 마루부(161)를 중심으로 양쪽으로 안내 경사면(162)이 형성되고, 양쪽의 안내 경사면(162)이 마루부(161)에서 갤러리(115)의 내주면을 따라 배출통로(112) 쪽으로 갈수록 낮아지도록 경사지게 형성되고, 마루부(161)가 케이지(130)의 유체토출구멍(135) 보다 하부에 배치되고, 안내 경사면(162)의 하단부(162a)가 밸브 구멍(113)의 측부에 배치되는 것을 특징으로 하는 고차압 이물질 배출형 제어밸브.
An inlet passage 111 and an discharge passage 112 are formed in the valve body 110, and a valve hole 113 is formed inside the valve body 110, so that the valve hole 113 is connected to the inlet passage 111 and the valve hole 113. It is disposed between the discharge passages 112, a valve seat 120 is disposed in the valve hole 113, a gallery 115 is formed in the upper part of the valve hole 113, and a cage 130 is placed in the gallery 115. is disposed, the cage 130 is seated on the valve seat 120, and the plug 140 is disposed in the hollow portion 131 of the cage 130, and the valve hole 113 is moved up and down by the elevation of the plug 140. ) is opened and closed, the valve stem 149 is connected to the top of the plug 140, and the valve stem 149 is connected to the actuator through the bonnet 150 disposed on the top of the valve body 110. In the discharge type control valve,
In the gallery 115, an overlay 160 is formed on the inner peripheral surface opposite to the discharge passage 112 centered on the cage 130 to surround a part of the cage 130,
The overlay portion 160 is arranged with the highest ridge portion 161 on the opposite side of the discharge passage 112 centered on the cage 130, and guide inclined surfaces 162 are formed on both sides of the ridge portion 161. In addition, the guide inclined surfaces 162 on both sides are formed to be inclined to decrease from the ridge 161 along the inner peripheral surface of the gallery 115 toward the discharge passage 112, and the ridge 161 discharges fluid from the cage 130. A high differential pressure foreign matter discharge type control valve disposed lower than the hole 135, and characterized in that the lower end (162a) of the guide inclined surface (162) is disposed on the side of the valve hole (113).
 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 안내 경사면(162)은 CVD(Chemical Vapor Deposition ; 화학적기상증착 방식)으로 표면처리되는 것을 특징으로 하는 고차압 이물질 배출형 제어밸브.
According to claim 1,
A high differential pressure foreign matter discharge control valve, characterized in that the guide inclined surface 162 is surface treated by CVD (Chemical Vapor Deposition).
 제 3 항에 있어서,
상기 CVD 방식은 HDPCVD(High Density Plasma CVD) 방식이고, 2번의 증착으로 제 1 증착막과 제 2 증착막이 형성되며, 제 1 증착막을 형성하는 반응가스는 질소가스와 실란(SiH4)이 1:2의 부피비로 혼합된 것을 사용하고, 제 2 증착막을 형성하는 반응가스는 질소가스와 자일렌(Xylene)이 1:2의 부피비로 혼합된 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 고차압 이물질 배출형 제어밸브.
According to claim 3,
The CVD method is a High Density Plasma CVD (HDPCVD) method, and the first deposition film and the second deposition film are formed through two depositions, and the reaction gas for forming the first deposition film is nitrogen gas and silane (SiH 4 ) in a ratio of 1:2. A high differential pressure foreign matter discharge control valve, characterized in that a mixture of nitrogen gas and xylene in a volume ratio of 1:2 is used as the reaction gas for forming the second deposition film.
 제 1 항에 있어서,
케이지(130)와 본넷(150) 사이에 밸런스 실린더(170)가 배치되어, 밸런스 실린더(170)가 밸브 바디(110)의 상부 장착부(117)의 내주면(117a)에 밀착되고, 본넷(150)의 밸런스 챔버(151)가 밸런스 실린더(170)의 상부에 배치되고, 밸런스 실린더(170)의 중공부(171)에 플러그(140)의 상부 바디(141)가 끼워지고, 상부 바디(141)가 하부 원통부(142)와 상부 원통부(143)로 구분되어, 하부 원통부(142)의 직경이 상부 원통부(153)의 직경 보다 크게 형성되어, 하부 원통부(142)가 밸런스 실린더(170)의 내주면에 밀착되고, 상부 원통부(143)와 밸런스 실린더(170) 사이에 이동통로(172)가 형성되어, 이동통로(172)가 본넷(150)의 밸런스 챔버(151)와 연결되고, 플러그(140)의 중심에 밸런스 홀(145)이 상하로 길게 천공되고, 밸런스 홀(145)의 상단이 상부 바디(141)에 형성된 배출구멍(146)과 연결되고, 배출구멍(146)이 이동통로(172)와 연결되는 것을 특징으로 하는 고차압 이물질 배출형 제어밸브.
According to claim 1,
The balance cylinder 170 is disposed between the cage 130 and the bonnet 150, so that the balance cylinder 170 is in close contact with the inner peripheral surface 117a of the upper mounting portion 117 of the valve body 110, and the bonnet 150 The balance chamber 151 is disposed on the upper part of the balance cylinder 170, the upper body 141 of the plug 140 is inserted into the hollow part 171 of the balance cylinder 170, and the upper body 141 is It is divided into a lower cylindrical part 142 and an upper cylindrical part 143, and the diameter of the lower cylindrical part 142 is formed to be larger than the diameter of the upper cylindrical part 153, so that the lower cylindrical part 142 is a balance cylinder 170. ), and a moving passage 172 is formed between the upper cylindrical portion 143 and the balance cylinder 170, so that the moving passage 172 is connected to the balance chamber 151 of the bonnet 150, A balance hole 145 is drilled vertically in the center of the plug 140, and the upper end of the balance hole 145 is connected to the discharge hole 146 formed in the upper body 141, and the discharge hole 146 moves. A high differential pressure foreign matter discharge control valve, characterized in that it is connected to the passage (172).
 제 1 항에 있어서,
상기 케이지(130)는 내주면에 복수개의 링돌기(132a, 132b, 132c, 132d)가 소정간격으로 형성되고, 복수개의 링돌기(132a, 132b, 132c, 132d)에 의해 중공부(131)가 복수개의 격실(131a, 131b, 131c, 131d)로 구분됨으로써, 밸브 시트(120)와 제 1 링돌기(132a) 사이에 제 1 격실(131a)이 배치되고, 제 1 링돌기(132a)와 제 2 링돌기(132b) 사이에 제 2 격실(131b)이 배치되고, 제 2 링돌기(132b)와 제 3 링돌기(132c) 사이에 제 3 격실(131c)이 배치되고, 제 3 격실(131c)의 상부에 유체토출구멍(135)이 방사상으로 형성되고,
상기 플러그(140)는 선단 헤드(147)와 상부 바디(141) 사이에 원통형 로브(148)가 배치되고, 선단 헤드(147)와 원통형 로브(148) 사이에 하부 목부(1441)가 배치되고, 원통형 로브(147)와 상부 바디(141) 사이에 상부 목부(1442)가 배치되고, 하부 목부(1441)와 상부 목부(1442)의 직경이 선단 헤드(147), 원통형 로브(148) 및 상부 바디부(141)의 직경에 비해 상대적으로 작게 형성되고, 원통형 로브(148)의 둘레에 4개의 절취부(1481, 1482, 1483, 1484)가 형성되어, 제 1 및 제 2 절취부(1481, 1482)에 대해 제 3 및 제 4 절취부(1483, 1484)가 상대적으로 상부에 배치되고, 제 1 절취부(1481)와 제 2 절취부(1482)가 같은 높이 위치에서 서로 대칭되게 배치되고, 제 3 절취부(1483)와 제 4 절취부(1484)가 같은 높이 위치에서 서로 대칭되게 배치되고, 제 1 및 제 2 절취부(1481, 1482) 사이에 제 3 및 제 4 절취부(1483, 1484)가 배치되도록, 제 1 및 제 2 절취부(1481, 1482)에 대해 제 3 및 제 4 절취부(1483, 1484)가 직각으로 배치되는 것을 특징으로 하는 고차압 이물질 배출형 제어밸브.
According to claim 1,
The cage 130 has a plurality of ring protrusions (132a, 132b, 132c, 132d) formed at predetermined intervals on the inner peripheral surface, and a plurality of hollow portions 131 are formed by the plurality of ring protrusions (132a, 132b, 132c, 132d). By being divided into compartments 131a, 131b, 131c, and 131d, the first compartment 131a is disposed between the valve seat 120 and the first ring protrusion 132a, and the first ring protrusion 132a and the second A second compartment (131b) is disposed between the ring protrusions (132b), and a third compartment (131c) is disposed between the second ring protrusions (132b) and the third ring protrusions (132c), and the third compartment (131c) A fluid discharge hole 135 is formed radially in the upper part of
The plug 140 has a cylindrical lobe 148 disposed between the distal head 147 and the upper body 141, and a lower neck portion 1441 is disposed between the distal head 147 and the cylindrical lobe 148, An upper neck 1442 is disposed between the cylindrical lobe 147 and the upper body 141, and the diameters of the lower neck 1441 and the upper neck 1442 are equal to those of the distal head 147, the cylindrical lobe 148, and the upper body. It is formed to be relatively small compared to the diameter of the portion 141, and four cut portions (1481, 1482, 1483, 1484) are formed around the cylindrical lobe 148, so that the first and second cut portions (1481, 1482) ), the third and fourth cutouts 1483 and 1484 are arranged relatively at the top, the first cutouts 1481 and the second cutouts 1482 are arranged symmetrically to each other at the same height position, and the The third cut part 1483 and the fourth cut part 1484 are arranged symmetrically at the same height, and the third and fourth cut parts 1483 and 1484 are formed between the first and second cut parts 1481 and 1482. ) A high differential pressure foreign matter discharge type control valve, characterized in that the third and fourth cutouts (1483, 1484) are arranged at right angles to the first and second cutouts (1481, 1482).
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