KR102652624B1 - Flexible heater with improved welding joint - Google Patents

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Abstract

용접 이음이 개선된 플렉시블 히터가 개시된다. 본 발명에 따른 용접 이음이 개선된 플렉시블 히터는 가스의 이동을 안내하기 위한 가스 유로를 형성하는 라이너, 상기 라이너의 외측을 둘러싸는 주름관 형상의 외측 벨로우즈, 상기 외측 벨로우즈의 양단에 각각 배치되는 플랜지 커버, 상기 외측 벨로우즈의 단부 외측에 끼워지는 외측 벨로우즈 슬리브, 및 상기 플랜지 커버와 상기 외측 벨로우즈 슬리브 사이에 배치되고 일단이 상기 플랜지 커버에 결합되는 외측 플랜지 슬리브를 포함하고, 상기 외측 벨로우즈는 상기 외측 벨로우즈 슬리브 및 상기 외측 플랜지 슬리브와 함께 용접된다.A flexible heater with improved weld joints is disclosed. The flexible heater with an improved weld joint according to the present invention includes a liner that forms a gas flow path for guiding the movement of gas, an outer bellows in the shape of a corrugated pipe surrounding the outside of the liner, and a flange cover disposed on both ends of the outer bellows. , an outer bellows sleeve fitted to the outside of an end of the outer bellows, and an outer flange sleeve disposed between the flange cover and the outer bellows sleeve and one end of which is coupled to the flange cover, the outer bellows being the outer bellows sleeve. and welded together with the outer flange sleeve.

Description

용접 이음이 개선된 플렉시블 히터{FLEXIBLE HEATER WITH IMPROVED WELDING JOINT}Flexible heater with improved weld joint {FLEXIBLE HEATER WITH IMPROVED WELDING JOINT}

본 발명은 반도체 등의 제조 공정에 있어서 반응 가스나 공정 가스의 이동을 안내하는 배관 설비로 사용되는 플렉시블 히터에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible heater used as piping equipment to guide the movement of reaction gas or process gas in the manufacturing process of semiconductors, etc.

일반적으로, 반도체 등의 제조 공정에서는 프로세스 챔버에서 반응 가스나 공정 가스를 사용하고, 특정 공정이 완료되면 잔류 가스나 반응 부산물을 배관 라인을 통해 배출한다. Generally, in the manufacturing process of semiconductors, etc., reaction gas or process gas is used in a process chamber, and when a specific process is completed, residual gas or reaction by-products are discharged through a piping line.

도 1은 일반적인 반도체의 제조 공정에서 배기되는 가스의 배출 과정을 설명하기 위한 개략도이다.Figure 1 is a schematic diagram illustrating the exhaust gas exhaust process in a general semiconductor manufacturing process.

도 1을 참조하면, 통상의 화학기상증착 설비에서 화학기상증착 공정을 수행한 후 프로세스 챔버(미도시)로부터 배기되는 가스는 프로세스 챔버의 출구 측에 연결된 진공 펌프(30)에 의해 배관 라인(10)을 따라 스크러버(Scrubber, 20)로 배출된다. 이때, 진공 펌프(10)는 프로세스 챔버로부터 배기 가스를 흡입한 후 배관 라인(10)을 따라 스크러버(20)로 압송하고, 스크러버(20)는 배관 라인(10)을 따라 유입되는 배기 가스를 처리한다. Referring to FIG. 1, after performing a chemical vapor deposition process in a typical chemical vapor deposition facility, the gas exhausted from the process chamber (not shown) is pumped through the piping line 10 by the vacuum pump 30 connected to the outlet side of the process chamber. ) and is discharged to a scrubber (20). At this time, the vacuum pump 10 sucks the exhaust gas from the process chamber and pumps it to the scrubber 20 along the pipe line 10, and the scrubber 20 processes the exhaust gas flowing in along the pipe line 10. do.

그런데, 배기 가스가 배관 라인(10)을 통과하는 과정에서 배관 라인(10)의 내부에 미세한 분진 형태의 파우더가 생성되는 문제가 있었다. 이러한 파우더가 배관 라인(10)의 내벽에 응축되면 배기압의 저하에 따른 설비 에러가 발생하고, 배관 라인(10)이 파우더에 의해 막히면 배기 가스가 역류하여 공정 불량을 일으키며, 뿐만 아니라 진공 펌프(30)의 성능 저하 문제도 유발한다. 상기와 같은 파우더의 발생은 배관 라인(10)을 따라 이동되는 배기 가스의 온도가 설정 온도 범위 이하로 낮아질 때 크게 발생하는 것으로 확인되었고, 배관 라인(10)을 따라 이동되는 배기 가스의 온도가 설정 온도 범위로 유지되면 줄어드는 것으로 확인되고 있다. However, as the exhaust gas passes through the pipe line 10, there is a problem in that powder in the form of fine dust is generated inside the pipe line 10. If this powder condenses on the inner wall of the piping line 10, equipment errors will occur due to a decrease in exhaust pressure, and if the piping line 10 is blocked by the powder, the exhaust gas will flow back, causing process failure, and not only that, but the vacuum pump ( 30) It also causes performance degradation problems. It was confirmed that the generation of powder as described above occurs significantly when the temperature of the exhaust gas moving along the piping line 10 falls below the set temperature range, and the temperature of the exhaust gas moving along the piping line 10 is set. It has been confirmed that it decreases when the temperature range is maintained.

또한, 배관 라인(10)은 프로세스 챔버와 스크러버(20)의 설치 위치에 따라 직선 형상이 아닌 곡선 형상으로 형성되어야 한다. 그런데, 배관 라인(10)이 특정 부위에서 급격히 꺾이는 형상으로 구부려지면 배관 라인(10)의 구부려진 부분에서 파우더의 발생이 증가하기 때문에 배관 라인(10)을 부드러운 곡선 형상으로 구부릴 필요성이 있다.Additionally, the piping line 10 must be formed in a curved shape rather than a straight line depending on the installation location of the process chamber and the scrubber 20. However, if the pipe line 10 is bent into a sharply curved shape at a specific location, the generation of powder increases in the bent portion of the pipe line 10, so there is a need to bend the pipe line 10 into a smooth curved shape.

이에, 최근에는 구부림이 용이함과 아울러 배기 가스의 가열이 가능한 플렉시블 히터(Flexible Heater)가 배관 라인(10)으로 사용되고 있는데, 플렉시블 히터는 주름관 형상으로 부드럽게 구부리는 것이 가능하며, 열선을 구비하고 있어서 열선의 열을 이용하여 배기 가스의 온도 조절이 가능하다.Accordingly, recently, a flexible heater that is easy to bend and capable of heating exhaust gas has been used as the piping line 10. The flexible heater can be gently bent into a corrugated pipe shape and is equipped with a heating wire. It is possible to control the temperature of the exhaust gas using heat.

여기서, 플렉시블 히터(11)는 도 1에 도시된 바와 같이 주름관 형상의 벨로우즈(Bellows, 11b) 및 플랜지(Flange, 11a)를 포함하는데, 이때 플랜지(11a)는 벨로우즈(11b)의 양단부를 진공 펌프(30) 또는 스크러버(20)에 연결하기 위한 배관 부품으로, 벨로우즈(11b)와 직접 용접하는 방식으로 결합된다.Here, the flexible heater 11 includes a corrugated pipe-shaped bellows (Bellows, 11b) and a flange (Flange, 11a), as shown in FIG. 1, where the flange (11a) connects both ends of the bellows (11b) with a vacuum pump. (30) or a piping part for connection to the scrubber (20), and is connected to the bellows (11b) by direct welding.

그런데, 배관 라인(10)으로 플렉시블 히터(11)를 적용한 노력에도 불구하고, 공간 협소 등의 이슈 때문에 플렉시블 히터(11)를 도 1의 ‘A’영역 및 ‘B’영역과 같이 거의 90도로 구부려서 진공 펌프(30) 또는 스크러버(20)와 연결할 수밖에 없는데, 이 과정에서 플렉시블 히터(11)를 무리하게 구부릴 경우, 플렉시블 히터(11)의 플랜지(11a)와 벨로우즈(11b) 간 용접 이음 부위에 크랙이나 찢어짐(터짐)이 발생하여 해당 용접 이음 부위에서 배기 가스가 누출되는 문제점이 있었다.However, despite efforts to apply the flexible heater 11 to the piping line 10, due to issues such as space narrowness, the flexible heater 11 was bent at almost 90 degrees, as in the 'A' area and 'B' area of Figure 1. There is no choice but to connect it to the vacuum pump 30 or scrubber 20, but if the flexible heater 11 is excessively bent during this process, cracks may occur at the weld joint between the flange 11a and the bellows 11b of the flexible heater 11. There was a problem with exhaust gas leaking from the weld joint area due to tearing (rupture).

이에, 플렉시블 히터의 벨로우즈를 무리하게 구부리더라도 벨로우즈와 플랜지 간의 용접 이음 부위에 크랙이나 찢어짐이 발생하지 않도록 하는 플렉시블 히터의 개선된 용접 이음 구조에 대한 연구와 개발이 절실히 요구되고 있다.Accordingly, there is an urgent need for research and development on an improved weld joint structure for flexible heaters that prevents cracks or tears from occurring at the weld joint between the bellows and flange even if the bellows of the flexible heater is excessively bent.

관련 선행기술문헌으로는 한국 등록특허공보 제10-1891731호(발명의 명칭: 플렉시블 히터, 공고일자: 2018년 08월 27일), 한국 등록특허공보 제10-1530612호(발명의 명칭: 히팅 파이프의 온도 제어 시스템, 공고일자: 2015년 06월 22일), 한국 등록특허공보 제10-1899336호(발명의 명칭: 플렉시블 히터 및 그 플렉시블 히터의 가스 누출 감지 시스템, 공개일자: 2018년 09월 17일) 등이 있다.Related prior art documents include Korean Patent Publication No. 10-1891731 (title of the invention: Flexible Heater, publication date: August 27, 2018), Korean Patent Publication No. 10-1530612 (title of the invention: Heating Pipe) Temperature control system, Announcement date: June 22, 2015), Korean Patent Publication No. 10-1899336 (Invention title: Flexible heater and gas leak detection system for the flexible heater, Publication date: September 17, 2018 1), etc.

본 발명의 목적은, 플렉시블 히터를 진공 펌프 또는 스크러버 등에 연결하는 과정에서 플렉시블 히터를 무리하게 혹은 급격한 각도로 구부리더라도 벨로우즈와 플랜지 간의 용접 이음 부위에 크랙이나 찢어짐이 발생하지 않도록 하면서도 용접 포인트의 개수를 줄일 수 있도록 용접 이음 구조를 개선하여 용접 이음 부위에서 가스의 누출을 방지할 수 있는 플렉시블 히터를 제공하는 것이다.The purpose of the present invention is to prevent cracks or tears from occurring at the weld joint between the bellows and the flange even if the flexible heater is bent excessively or at a sharp angle in the process of connecting the flexible heater to a vacuum pump or scrubber, while reducing the number of welding points. The goal is to provide a flexible heater that can prevent gas leakage from the weld joint area by improving the weld joint structure to reduce gas leakage.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 플렉시블 히터의 플랜지를 진공 펌프 또는 스크러버 등에 연결하기 위해 플렉시블 히터의 플랜지에 클램프를 체결하는 과정에서 협소한 작업 공간에도 불구하고 작업자가 클램프의 체결 작업을 수월하게 수행할 수 있는 플렉시블 히터를 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to enable the worker to easily perform the clamping operation despite a narrow work space in the process of fastening the clamp to the flange of the flexible heater to connect the flange of the flexible heater to a vacuum pump or scrubber. The goal is to provide a flexible heater that can do this.

상기 목적은, 본 발명의 일 실시예에 따라, 가스의 이동을 안내하기 위한 가스 유로를 형성하는 라이너, 상기 라이너의 외측을 둘러싸는 주름관 형상의 외측 벨로우즈, 상기 외측 벨로우즈의 양단에 각각 배치되는 플랜지 커버, 상기 외측 벨로우즈의 단부 외측에 끼워지는 외측 벨로우즈 슬리브, 및 상기 플랜지 커버와 상기 외측 벨로우즈 슬리브 사이에 배치되고 일단이 상기 플랜지 커버에 결합되는 외측 플랜지 슬리브를 포함하고, 상기 외측 벨로우즈는 상기 외측 벨로우즈 슬리브 및 상기 외측 플랜지 슬리브와 함께 용접되는 것을 특징으로 하는 용접 이음이 개선된 플렉시블 히터에 의해 달성된다.The above object is, according to an embodiment of the present invention, a liner forming a gas flow path for guiding the movement of gas, an outer bellows in the shape of a corrugated pipe surrounding the outside of the liner, and flanges disposed at both ends of the outer bellows. It includes a cover, an outer bellows sleeve fitted to the outside of an end of the outer bellows, and an outer flange sleeve disposed between the flange cover and the outer bellows sleeve and one end of which is coupled to the flange cover, and the outer bellows is connected to the outer bellows. A welded joint characterized by welding together the sleeve and the outer flange sleeve is achieved by the improved flexible heater.

바람직하게, 상기 외측 벨로우즈의 끝단에는 반경방향 외측으로 확장되어 상기 외측 벨로우즈 슬리브와 상기 외측 플랜지 슬리브 사이에 개재된 상태에서 함께 용접되는 이음 플랜지부가 마련될 수 있다.Preferably, the end of the outer bellows may be provided with a joint flange portion that extends radially outward and is welded together while interposed between the outer bellows sleeve and the outer flange sleeve.

바람직하게, 상기 외측 벨로우즈의 이음 플랜지부는 상기 외측 벨로우즈 슬리브와 상기 외측 플랜지 슬리브 사이에 개재된 상태에서 상기 외측 벨로우즈 슬리브 및 상기 외측 플랜지 슬리브에 대해 반경방향 외측으로 돌출될 수 있다.Preferably, the joint flange portion of the outer bellows may be interposed between the outer bellows sleeve and the outer flange sleeve and protrude radially outward with respect to the outer bellows sleeve and the outer flange sleeve.

바람직하게, 상기 플렉시블 히터는 상기 외측 벨로우즈와 상기 라이너 사이에 배치되는 주름관 형상의 내측 벨로우즈, 상기 라이너의 가스 유로의 양단과 각각 연통되어 상기 가스가 유입되거나 배출될 수 있도록 상기 플랜지 커버를 관통하여 상기 라이너의 양단에 각각 연결되는 플랜지 파이프, 상기 내측 벨로우즈의 단부 외측에 끼워지는 내측 벨로우즈 슬리브, 상기 플랜지 파이프와 상기 내측 벨로우즈 슬리브 사이에 배치되고 일단이 상기 플랜지 파이프에 결합되는 내측 플랜지 슬리브를 더 포함하고, 상기 내측 벨로우즈의 끝단에는 반경방향 외측으로 확장되어 상기 내측 벨로우즈 슬리브와 상기 내측 플랜지 슬리브 사이에 개재된 상태에서 함께 용접되는 이음 플랜지부가 마련될 수 있다.Preferably, the flexible heater communicates with an inner bellows in the shape of a corrugated pipe disposed between the outer bellows and the liner and both ends of the gas flow path of the liner, respectively, and penetrates the flange cover to allow the gas to flow in or out. It further includes a flange pipe connected to both ends of the liner, an inner bellows sleeve fitted on the outer side of the end of the inner bellows, and an inner flange sleeve disposed between the flange pipe and the inner bellows sleeve and having one end coupled to the flange pipe. , A joint flange portion may be provided at the end of the inner bellows that extends radially outward and is welded together in a state sandwiched between the inner bellows sleeve and the inner flange sleeve.

바람직하게, 상기 내측 벨로우즈의 이음 플랜지부는 상기 내측 벨로우즈 슬리브와 상기 내측 플랜지 슬리브 사이에 개재된 상태에서 상기 내측 벨로우즈 슬리브 및 상기 내측 플랜지 슬리브에 대해 반경방향 외측으로 돌출될 수 있다.Preferably, the joint flange portion of the inner bellows may be interposed between the inner bellows sleeve and the inner flange sleeve and protrude radially outward with respect to the inner bellows sleeve and the inner flange sleeve.

바람직하게, 상기 플렉시블 히터는 상기 라이너의 내부에 삽입 배치되고 상기 내측 벨로우즈 슬리브 및 상기 내측 플랜지 슬리브와 함께 용접되는 라이너 슬리브를 더 포함할 수 있다.Preferably, the flexible heater may further include a liner sleeve inserted into the liner and welded with the inner bellows sleeve and the inner flange sleeve.

바람직하게, 상기 라이너 슬리브의 끝단에는 반경방향 외측으로 확장되어 상기 내측 벨로우즈 슬리브와 상기 내측 플랜지 슬리브 사이에 개재된 상태에서 함께 용접되는 이음 플랜지부가 마련될 수 있다.Preferably, the end of the liner sleeve may be provided with a joint flange portion that extends radially outward and is welded together while being interposed between the inner bellows sleeve and the inner flange sleeve.

바람직하게, 상기 라이너 슬리브의 이음 플랜지부는 상기 내측 벨로우즈 슬리브와 상기 내측 플랜지 슬리브 사이에 개재된 상태에서 상기 내측 벨로우즈 슬리브 및 상기 내측 플랜지 슬리브에 대해 반경방향 외측으로 돌출될 수 있다. Preferably, the joint flange portion of the liner sleeve may protrude radially outward with respect to the inner bellows sleeve and the inner flange sleeve while being interposed between the inner bellows sleeve and the inner flange sleeve.

바람직하게, 상기 내측/외측 벨로우즈 슬리브의 용접 이음되는 끝단 및 상기 내측/외측 플랜지 슬리브의 용접 이음되는 끝단 각각에는, 반경방향 외측으로 확장되어 상기 내측/외측 벨로우즈와 함께 용접되는 이음 플랜지부가 마련될 수 있다.Preferably, a joint flange portion extending radially outward and welded together with the inner/outer bellows may be provided at each of the welded jointed ends of the inner/outer bellows sleeve and the welded jointed ends of the inner/outer flange sleeve. there is.

바람직하게, 상기 내측/외측 벨로우즈 슬리브의 외주면 및 상기 내측/외측 플랜지 슬리브의 외주면 각각은, 상기 플렉시블 히터의 길이방향을 따라 용접 이음되는 끝단을 향해 점진적으로 직경이 확장될 수 있다.Preferably, each of the outer peripheral surface of the inner/outer bellows sleeve and the outer peripheral surface of the inner/outer flange sleeve may gradually expand in diameter toward an end to be welded along the longitudinal direction of the flexible heater.

바람직하게, 상기 내측 플랜지 슬리브는 그 일단이 상기 플랜지 파이프와 용접 방식으로 결합되고, 상기 외측 플랜지 슬리브는 그 일단이 상기 플랜지 커버와 용접 방식으로 결합될 수 잇다.Preferably, one end of the inner flange sleeve may be coupled to the flange pipe by welding, and one end of the outer flange sleeve may be coupled to the flange cover by welding.

바람직하게, 상기 플랜지 파이프는 상기 플렉시블 히터의 길이방향을 따라 상기 플랜지 커버의 외측으로 돌출되어 클램프가 체결되는 클램프 체결 플랜지부가 마련되고, 상기 플랜지 커버는 상기 클램프 체결 플랜지부에 대한 상기 클램프의 체결 작업이 용이하도록 클램프 체결 공간부가 마련될 수 있다.Preferably, the flange pipe is provided with a clamp fastening flange portion that protrudes to the outside of the flange cover along the longitudinal direction of the flexible heater and the clamp is fastened, and the flange cover performs a fastening operation of the clamp to the clamp fastening flange portion. To facilitate this, a clamp fastening space may be provided.

바람직하게, 상기 클램프 체결 공간부는 상기 플랜지 커버의 외주면이 상기 플렉시블 히터의 길이방향을 따라 상기 클램프 체결 플랜지부를 향해 점진적으로 직경이 축소되는 것에 의해 제공될 수 있다.Preferably, the clamp fastening space portion may be provided by gradually reducing the diameter of the outer peripheral surface of the flange cover toward the clamp fastening flange portion along the longitudinal direction of the flexible heater.

본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 히터의 의하면, 외측 벨로우즈와 플랜지 커버의 용접 이음 구조에 있어서 외측 벨로우즈 슬리브와 외측 프랜지 슬리브를 적용하거나, 내측 벨로우즈와 플랜지 파이프의 용접 이음 구조에 있어서 내측 벨로우즈 슬리브와 내측 프랜지 슬리브를 적용함으로써, 플렉시블 히터를 진공 펌프 또는 스크러버 등에 연결하는 과정에서 플렉시블 히터를 무리하게 혹은 급격한 각도로 구부리더라도 벨로우즈와 플랜지 간의 용접 이음 부위에 크랙이나 찢어짐이 발생하지 않도록 하면서도 용접 포인트의 개수를 줄일 수 있도록 용접 이음 구조를 개선하여 용접 이음 부위에서 가스의 누출을 방지할 수 있다.According to the flexible heater according to an embodiment of the present invention, an outer bellows sleeve and an outer flange sleeve are applied in the welded joint structure of the outer bellows and the flange cover, or the inner bellows sleeve and the inner bellows sleeve are applied in the welded joint structure of the inner bellows and the flange pipe. By applying an inner flange sleeve, cracks or tears do not occur at the weld joint between the bellows and the flange even if the flexible heater is bent excessively or at a sharp angle during the process of connecting the flexible heater to a vacuum pump or scrubber, while reducing the number of welding points. By improving the weld joint structure to reduce gas leakage from the weld joint area can be prevented.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 히터의 의하면, 플랜지 커버의 외주면이 플렉시블 히터의 길이방향을 따라 플랜지 파이프의 클램프 체결 플랜지부를 향해 점진적으로 축소되는 클램프 체결 공간부를 제공함으로써, 플렉시블 히터의 플랜지 파이프를 진공 펌프 또는 스크러버 등에 연결하기 위해 플렉시블 히터의 플랜지 파이프에 클램프를 체결하는 과정에서 협소한 작업 공간에도 불구하고 작업자가 클램프의 체결 작업을 수월하게 수행할 수 있다.In addition, according to the flexible heater according to an embodiment of the present invention, the outer peripheral surface of the flange cover provides a clamp fastening space portion that gradually reduces toward the clamp fastening flange portion of the flange pipe along the longitudinal direction of the flexible heater, thereby providing a clamp fastening space portion of the flexible heater. In the process of fastening a clamp to the flange pipe of a flexible heater to connect the flange pipe to a vacuum pump or scrubber, workers can easily fasten the clamp despite a narrow work space.

도 1은 일반적인 반도체의 제조 공정에서 배기되는 가스의 배출 과정을 설명하기 위한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 히터의 외관을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 플렉시블 히터의 내부 구조를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 2에 도시된 플렉시블 히터에서 외측 벨로우즈와 플랜지 커버 간 용접 이음 구조에 대한 분해 사시도이다.
도 5는 도 2에 도시된 내측 벨로우즈와 플랜지 파이프 간 용접 이음 구조에 대한 분해 사시도이다.
도 6은 도 2에 도시된 플렉시블 히터에서 플랜지 파이프에 클램프를 체결한 모습을 나타낸 도면이다.Figure 1 is a schematic diagram illustrating the exhaust gas exhaust process in a general semiconductor manufacturing process.
Figure 2 is a diagram showing the appearance of a flexible heater according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing the internal structure of the flexible heater shown in FIG. 2.
Figure 4 is an exploded perspective view of the welded joint structure between the outer bellows and the flange cover in the flexible heater shown in Figure 2.
Figure 5 is an exploded perspective view of the welded joint structure between the inner bellows and flange pipe shown in Figure 2.
FIG. 6 is a diagram showing a clamp fastened to a flange pipe in the flexible heater shown in FIG. 2.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, its operational advantages, and the objectives achieved by practicing the present invention, reference should be made to the accompanying drawings illustrating preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by explaining preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. However, in describing the present invention, descriptions of already known functions or configurations will be omitted to make the gist of the present invention clear.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 히터의 외관을 나타낸 도면이고, 도 3은 도 2에 도시된 플렉시블 히터의 내부 구조를 나타낸 도면이다. 그리고, 도 4는 도 2에 도시된 플렉시블 히터에서 외측 벨로우즈와 플랜지 커버 간 용접 이음 구조의 분해 사시도이고, 도 5는 도 2에 도시된 내측 벨로우즈와 플랜지 파이프 간 용접 이음 구조의 분해 사시도이다.FIG. 2 is a diagram showing the appearance of a flexible heater according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a diagram showing the internal structure of the flexible heater shown in FIG. 2. And, Figure 4 is an exploded perspective view of the welded joint structure between the outer bellows and the flange cover in the flexible heater shown in Figure 2, and Figure 5 is an exploded perspective view of the welded joint structure between the inner bellows and flange pipe shown in Figure 2.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 히터(100)는 라이너(110), 벨로우즈(120,130), 열선(140), 플랜지 커버(150) 및 플랜지 파이프(160)를 포함한다. 참고로, 본 명세서에서 다른 설명이 없는 한 '길이방향'은 플렉시블 히터(100)의 길이방향을 의미하고, '반경방향'은 플렉시블 히터(100)의 반경방향을 의미한다.2 to 5, the flexible heater 100 according to an embodiment of the present invention includes a liner 110, bellows 120 and 130, a heating wire 140, a flange cover 150, and a flange pipe 160. Includes. For reference, unless otherwise specified in this specification, 'longitudinal direction' refers to the longitudinal direction of the flexible heater 100, and 'radial direction' refers to the radial direction of the flexible heater 100.

라이너(110)는 반도체 등의 제조 공정에서 발생되는 각종 가스의 이동을 안내하기 위한 가스 유로를 형성하는 관 형상의 부재이다. 이러한 라이너(110)는 자유롭게 구부려질 수 있도록 인터록(interlock) 구조로 형성된다. The liner 110 is a tubular member that forms a gas flow path to guide the movement of various gases generated in the manufacturing process of semiconductors and the like. This liner 110 is formed in an interlock structure so that it can be freely bent.

벨로우즈(120,130)는 라이너(110)의 외측을 둘러싸는 외측 벨로우즈(120), 및 외측 벨로우즈(120)와 라이너(110) 사이에 배치되는 내측 벨로우즈(130)를 포함하다. 즉, 라이너(110), 내측 벨로우즈(130) 및 외측 벨로우즈(120)는 차례대로 중첩 배치되는 다중관 구조를 제공한다. 이에, 라이너(110)에서 누출된 가스가 내측 벨로우즈(130) 및 외측 벨로우즈(120)에 의해 이중으로 누출이 차단될 수 있다. 즉, 벨로우즈(120,130)는 외측 벨로우즈(120)와 내측 벨로우즈(130)의 이중 주름관 구조이므로 둘 중 어느 하나가 손상되더라도 다른 하나에 의해 배기 가스의 누출이 안정적으로 차단될 수 있다. 다만, 본 발명에 있어서 벨로우즈는 외측 벨로우즈(120)와 내측 벨로우즈(130)의 이중 주름관 구조에 한정되지 아니하고, 외측 벨로우즈(120)만의 단일의 주름관 구조로 제공될 수 있다.The bellows 120 and 130 include an outer bellows 120 surrounding the outside of the liner 110, and an inner bellows 130 disposed between the outer bellows 120 and the liner 110. That is, the liner 110, the inner bellows 130, and the outer bellows 120 provide a multi-pipe structure in which they are sequentially overlapped. Accordingly, the gas leaking from the liner 110 can be double blocked by the inner bellows 130 and the outer bellows 120. That is, since the bellows 120 and 130 have a double corrugated pipe structure of the outer bellows 120 and the inner bellows 130, leakage of exhaust gas can be stably blocked by the other even if either one is damaged. However, in the present invention, the bellows is not limited to a double corrugated pipe structure of the outer bellows 120 and the inner bellows 130, and may be provided as a single corrugated pipe structure of only the outer bellows 120.

외측 벨로우즈(120)는 내측 벨로우즈(130)의 외측을 둘러싸는 주름관 형상의 부재이다. 외측 벨로우즈(120)는 내부식성이 우수한 금속 소재로 제작되며, 골과 산의 요철부가 형성되어 부드럽게 구부려질 수 있다.The outer bellows 120 is a corrugated pipe-shaped member surrounding the outer side of the inner bellows 130. The outer bellows 120 is made of a metal material with excellent corrosion resistance, and the unevenness of the valleys and peaks is formed so that it can be bent smoothly.

내측 벨로우즈(130)는 라이너(110)의 외측을 둘러싸는 주름관 형상의 부재이다. 내측 벨로우즈(130)는 외측 벨로우즈(120)와 마찬가지로, 내부식성이 우수한 금속 소재로 제작되며, 골과 산의 요철부가 형성되어 부드럽게 구부려질 수 있다. 한편, 내측 벨로우즈(130)는 플렉시블 히터(100)의 안전성을 높이기 위하여 2겹으로 형성될 수 있다.The inner bellows 130 is a corrugated pipe-shaped member surrounding the outside of the liner 110. Like the outer bellows 120, the inner bellows 130 is made of a metal material with excellent corrosion resistance, and the unevenness of valleys and peaks is formed so that it can be bent smoothly. Meanwhile, the inner bellows 130 may be formed in two layers to increase the safety of the flexible heater 100.

열선(140)은 전기의 공급시 열을 발생하는 시스 히터(sheath heater)로서, 가스의 온도가 소정 온도로 유지되도록 라이너(110)를 통해 이동하는 가스를 가열하기 위한 수단이다. 이러한 열선(140)은 도 3에 도시된 바와 같이 내측 벨로우즈(130) 및 플랜지 파이프(160)의 외측을 길이방향을 따라 나선 형상으로 감싸도록 배치된다. 이에, 열선(140)에서 발생되는 열에 의해 내측 벨로우즈(130) 및 플랜지 파이프(160)가 직접 가열되고, 라이너(110) 및 플랜지 파이프(160)를 따라 이동하는 가스도 함께 가열될 수 있다.The heating wire 140 is a sheath heater that generates heat when electricity is supplied, and is a means for heating the gas moving through the liner 110 so that the temperature of the gas is maintained at a predetermined temperature. As shown in FIG. 3, the heating wire 140 is arranged to surround the outer side of the inner bellows 130 and the flange pipe 160 in a spiral shape along the longitudinal direction. Accordingly, the inner bellows 130 and the flange pipe 160 are directly heated by the heat generated from the heating wire 140, and the gas moving along the liner 110 and the flange pipe 160 may also be heated.

플랜지 커버(150)는 외측 벨로우즈(120)의 양단에 각각 연결되어 플랜지 파이프(160)의 외측을 둘러싸는 부재이다. 이러한 플랜지 커버(150)는 플렉시블 히터(100)의 양단에 동일한 형상으로 각각 형성되거나 서로 다른 형상으로 각각 형성될 수 있다. 예컨대, 도 2에서 우측에 위치한 플랜지 커버(150)는 전원 인가 장치(300), 가스 누설 감지 장치(310) 등이 장착되는 공간을 확보하도록 도 2에서 좌측에 위치한 플랜지 커버(150)보다 더 길게 형성될 수 있다.The flange cover 150 is a member connected to both ends of the outer bellows 120 and surrounding the outside of the flange pipe 160. These flange covers 150 may be formed at both ends of the flexible heater 100 in the same shape or may be formed in different shapes. For example, the flange cover 150 located on the right in FIG. 2 is longer than the flange cover 150 located on the left in FIG. 2 to secure space for mounting the power supply device 300, gas leak detection device 310, etc. can be formed.

플랜지 커버(150)의 일단면은 외측 벨로우즈(120)와 연통될 수 있도록 개방된 구조로, 후술하는 용접 이음 구조에 의해 외측 벨로우즈(120)와 결합된다. 그리고, 플랜지 커버(150)의 타단면은 플랜지 파이프(160)가 플랜지 커버(150)의 외측으로 돌출되도록 플랜지 관통구(150a)가 형성된다.One end of the flange cover 150 has an open structure so as to communicate with the outer bellows 120, and is coupled to the outer bellows 120 through a weld joint structure described later. And, the other end surface of the flange cover 150 is formed with a flange through hole 150a so that the flange pipe 160 protrudes to the outside of the flange cover 150.

플랜지 파이프(160)는 라이너(110)의 가스 유로의 양단과 각각 연통되어 진공 펌프(30, 도 1 참조)를 통해 라이너(110)에 가스가 유입되거나 라이너(110)로부터 가스가 스크러버(20, 도 1 참조)로 배출되도록 하는 관 형상의 부재이다. 이러한 플랜지 파이프(160)는 플랜지 커버(150)의 플랜지 관통구(150a)를 통해 플랜지 커버(150)를 관통하여 라이너(110)의 양단에 각각 연결된다. 이때, 플랜지 파이프(160)는 그 외측을 둘러싸는 플랜지 커버(150)와의 사이 공간이 외부와 차단 혹은 밀폐되도록, 플랜지 커버(150)의 플랜지 관통구(150a)의 둘레를 따라 이루어지는 용접에 의해 플랜지 커버(150)와 결합된다. The flange pipe 160 is in communication with both ends of the gas flow path of the liner 110, so that gas flows into the liner 110 through the vacuum pump 30 (see FIG. 1) or gas flows from the liner 110 to the scrubber 20, It is a tubular member that is discharged to (see Figure 1). These flange pipes 160 penetrate the flange cover 150 through the flange through hole 150a of the flange cover 150 and are connected to both ends of the liner 110, respectively. At this time, the flange pipe 160 is flangeed by welding along the circumference of the flange through hole 150a of the flange cover 150 so that the space between it and the flange cover 150 surrounding the outside is blocked or sealed from the outside. It is combined with the cover 150.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 히터(100)에 있어서, 외측 벨로우즈(120)와 플랜지 커버(150)의 용접 이음 구조에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, in the flexible heater 100 according to an embodiment of the present invention, the welded joint structure of the outer bellows 120 and the flange cover 150 will be described in detail.

도 2, 도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 히터(100)는 외측 벨로우즈 슬리브(200) 및 외측 플랜지 슬리브(210)를 더 포함한다. 여기서, 외측 벨로우즈(120)는 외측 벨로우즈 슬리브(200) 및 외측 플랜지 슬리브(210)와 함께 용접되는데, 바람직하게 외측 벨로우즈(120)의 끝단에는 도 3의 'C'영역에 도시된 바와 같이 반경방향 외측으로 확장되어 외측 벨로우즈 슬리브(210)와 외측 플랜지 슬리브(210) 사이에 개재된 상태에서 함께 용접되는 이음 플랜지부(121)가 마련된다.Referring to FIGS. 2, 3, and 4, the flexible heater 100 according to an embodiment of the present invention further includes an outer bellows sleeve 200 and an outer flange sleeve 210. Here, the outer bellows 120 is welded together with the outer bellows sleeve 200 and the outer flange sleeve 210. Preferably, the end of the outer bellows 120 has a radial groove as shown in region 'C' of FIG. 3. A joint flange portion 121 is provided that extends outward and is welded together while interposed between the outer bellows sleeve 210 and the outer flange sleeve 210.

외측 벨로우즈 슬리브(200)는 도 3에 도시된 바와 같이 외측 벨로우즈(120)의 단부 외측에 끼워지는 슬리브 형상의 부재로, 그 내주면이 외측 벨로우즈(120)의 주름이 없는 수평단부(122)에 접촉한 상태로 배치된다. 이때, 외측 벨로우즈 슬리브(200)의 내주면(202)은 대부분(202a)이 일정한 내경으로 이루어지되, 일부가 점진적으로 확장되는 내경으로 이루어지는 확장부(202b)를 포함으로써, 외측 벨로우즈(120)가 구부려질 때 외측 벨로우즈 슬리브(200)에 비해 매우 얇은 두께를 갖는 외측 벨로우즈(120)가 외측 벨로우즈 슬리브(200)의 모서리에 의해 손상되지 않도록 한다. 또한, 외측 벨로우즈 슬리브(200)는 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)와의 접촉 면적이 충분히 확보되도록, 반경방향으로 외측 벨로우즈 슬리브(200)의 내경과 외경 사이가 일정 폭으로 형성된다.As shown in FIG. 3, the outer bellows sleeve 200 is a sleeve-shaped member fitted on the outside of the end of the outer bellows 120, and its inner circumferential surface contacts the wrinkle-free horizontal end 122 of the outer bellows 120. placed in one state. At this time, most of the inner peripheral surface 202 of the outer bellows sleeve 200 (202a) has a constant inner diameter, but a portion includes an expansion portion (202b) with an inner diameter that gradually expands, so that the outer bellows 120 is bent. When falling, the outer bellows 120, which has a much thinner thickness than the outer bellows sleeve 200, is prevented from being damaged by the edges of the outer bellows sleeve 200. In addition, the outer bellows sleeve 200 is formed to have a certain width between the inner diameter and outer diameter of the outer bellows sleeve 200 in the radial direction to ensure a sufficient contact area with the joint flange portion 121 of the outer bellows 120.

한편, 외측 벨로우즈 슬리브(200)의 외주면(203)은 길이방향을 따라 용접 이음되는 끝단을 향해 점진적으로 직경이 확장되어 경사면을 이루는 것, 즉 외측 벨로우즈 슬리브(200)는 길이방향을 따라 용접 이음되는 끝단으로 갈수록 점진적으로 외경이 확장되는 것이 바람직한데, 이는 용접 이음 부위(W1)를 가능한 반경방향 외측으로 돌출시켜 용접 작업의 편의성을 향상시키기 위함이다.Meanwhile, the outer peripheral surface 203 of the outer bellows sleeve 200 gradually expands in diameter toward the end of the welded joint along the longitudinal direction to form an inclined surface, that is, the outer bellows sleeve 200 is welded jointed along the longitudinal direction. It is desirable that the outer diameter gradually expands toward the end. This is to improve the convenience of welding work by protruding the weld joint area W1 as far outward in the radial direction as possible.

또한, 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)와 접촉하는 외측 벨로우즈 슬리브(200)의 끝단에는, 즉 외측 벨로우즈 슬리브(200)의 용접 이음되는 끝단에는, 반경방향 외측으로 확장되고 외주면이 경사면이 아닌 수평면으로 형성되는 이음 플랜지부(201)가 마련되는 것이 바람직하다. 이러한 외측 벨로우즈 슬리브(200)의 이음 플랜지부(201)는 후술할 외측 플랜지 슬리브(210)의 이음 플랜지부(211)와 함께 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)의 끝단부를 접촉 지지한 상태에서 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)와 용접되는 것으로, 용접 작업의 편의성을 향상시키는 한편, 용접 이음 부위(W1)의 강도 및 강성을 향상시키는데도 기여할 수 있다.In addition, the end of the outer bellows sleeve 200 in contact with the joint flange portion 121 of the outer bellows 120, that is, the end to which the outer bellows sleeve 200 is welded, extends radially outward and has an inclined surface on the outer peripheral surface. It is desirable to provide a joint flange portion 201 formed in a horizontal plane other than this. The joint flange portion 201 of the outer bellows sleeve 200 contacts and supports the end of the joint flange portion 121 of the outer bellows 120 together with the joint flange portion 211 of the outer flange sleeve 210, which will be described later. By being welded with the joint flange portion 121 of the outer bellows 120 in this state, the convenience of welding work can be improved, and it can also contribute to improving the strength and rigidity of the welded joint portion W1.

외측 플랜지 슬리브(210)는 도 3에 도시된 바와 같이 플랜지 커버(150)와 외측 벨로우즈 슬리브(200) 사이에 배치되고 일단이 플랜지 커버(150)에 결합되는 슬리브 형상의 부재로, 전술한 외측 벨로우즈 슬리브(200)와 거의 동일한 외관 형상을 가지며 외측 벨로우즈 슬리브(200)와 좌우 대칭으로 배치된다.The outer flange sleeve 210 is a sleeve-shaped member disposed between the flange cover 150 and the outer bellows sleeve 200 as shown in FIG. 3 and one end of which is coupled to the flange cover 150, and is the outer bellows described above. It has almost the same external shape as the sleeve 200 and is arranged left and right symmetrically with the outer bellows sleeve 200.

여기서, 외측 플랜지 슬리브(210)는 그 일단이 플랜지 커버(150)와 용접 방식으로 결합되는데, 구체적으로 외측 플랜지 슬리브(210)의 플랜지 커버(150) 측 일단면(212)이 플랜지 커버(150)의 끝단면에 접촉된 상태에서, 외측 벨로우즈 슬리브(200)와 플랜지 커버(150) 사이의 용접 이음(W2)에 의해 일체로 결합될 수 있다. 또한, 외측 플랜지 슬리브(210)의 내주면(213)은 플랜지 커버(150)와의 일체화된 구조를 확보하는 측면에서 플랜지 커버(150)의 내경과 실질적으로 동일한 크기의 직경으로 일정하게 형성되는 것이 바람직하다.Here, one end of the outer flange sleeve 210 is coupled to the flange cover 150 by welding. Specifically, one end surface 212 of the outer flange sleeve 210 on the flange cover 150 side is connected to the flange cover 150. In a state of contact with the end surface, the outer bellows sleeve 200 and the flange cover 150 can be integrally coupled by a weld joint (W2). In addition, the inner peripheral surface 213 of the outer flange sleeve 210 is preferably formed to have a diameter substantially the same size as the inner diameter of the flange cover 150 in order to ensure an integrated structure with the flange cover 150. .

이러한 외측 플랜지 슬리브(210)는 전술한 외측 벨로우즈 슬리브(200)와 실질적으로 동일한 세부 구성을 포함하고 있고, 이들 세부 구성에 의한 작용효과 또한 동일하다.This outer flange sleeve 210 includes substantially the same detailed configuration as the outer bellows sleeve 200 described above, and the operational effects of these detailed configurations are also the same.

구체적으로, 외측 플랜지 슬리브(210)는 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)와의 접촉 면적이 충분히 확보되도록, 반경방향으로 외측 플랜지 슬리브(210)의 내경과 외경 사이가 일정 폭으로 형성된다. 또한, 외측 플랜지 슬리브(210)의 외주면(214)은 길이방향을 따라 용접 이음되는 끝단을 향해 점진적으로 직경이 확장되어 경사면을 이루는 것, 즉 외측 플랜지 슬리브(210)는 길이방향을 따라 용접 이음되는 끝단으로 갈수록 점진적으로 외경이 확장된다. Specifically, the outer flange sleeve 210 is formed to have a certain width between the inner diameter and outer diameter of the outer flange sleeve 210 in the radial direction to ensure a sufficient contact area with the joint flange portion 121 of the outer bellows 120. . In addition, the outer peripheral surface 214 of the outer flange sleeve 210 gradually expands in diameter toward the end of the welded joint along the longitudinal direction to form an inclined surface, that is, the outer flange sleeve 210 is welded jointed along the longitudinal direction. The outer diameter gradually expands toward the end.

또한, 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)와 접촉하는 외측 플랜지 슬리브(210)의 끝단에는, 즉 외측 플랜지 슬리브(210)의 용접 이음되는 끝단에는, 반경방향 외측으로 확장되고 외주면이 경사면이 아닌 수평면으로 형성되는 이음 플랜지부(211)가 마련되는데, 이러한 외측 플랜지 슬리브(210)의 이음 플랜지부(211)는 전술할 외측 벨로우즈 슬리브(200)의 이음 플랜지부(201)와 함께 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)의 끝단부를 접촉 지지한 상태에서 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)와 용접된다.In addition, the end of the outer flange sleeve 210 in contact with the joint flange portion 121 of the outer bellows 120, that is, the welded end of the outer flange sleeve 210, extends radially outward and has an inclined surface on the outer peripheral surface. Instead, a joint flange portion 211 formed in a horizontal plane is provided. The joint flange portion 211 of the outer flange sleeve 210 is an outer bellows together with the joint flange portion 201 of the outer bellows sleeve 200 described above. The end portion of the joint flange portion 121 of (120) is welded to the joint flange portion 121 of the outer bellows 120 while being contacted and supported.

한편, 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)는 도 3에 도시된 바와 같이 외측 벨로우즈 슬리브(200)와 외측 플랜지 슬리브(210) 사이에 개재되어 외측 벨로우즈 슬리브(200) 및 외측 플랜지 슬리브(210)와 면 접촉된다. 이때, 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)는 외측 벨로우즈(120)의 주름이 없는 수평단부(122)에서 반경방향 외측으로 90도 절곡 연장되는 수직단부로 형성될 수 있다. 이에, 외측 벨로우즈(120)는 그 이음 플랜지부(121)가 외측 벨로우즈 슬리브(200)와 외측 플랜지 슬리브(210) 사이에 개재된 상태에서 하나의 용접 라인(포인트)으로 외측 벨로우즈 슬리브(200) 및 외측 플랜지 슬리브(210)와 일체로 용접 이음될 수 있다.Meanwhile, the joint flange portion 121 of the outer bellows 120 is interposed between the outer bellows sleeve 200 and the outer flange sleeve 210, as shown in Figure 3, and is connected to the outer bellows sleeve 200 and the outer flange sleeve ( 210) is in surface contact. At this time, the joint flange portion 121 of the outer bellows 120 may be formed as a vertical end bent and extended 90 degrees radially outward from the wrinkle-free horizontal end 122 of the outer bellows 120. Accordingly, the outer bellows 120 is connected to the outer bellows sleeve 200 and the outer bellows sleeve 121 with one welding line (point) in a state in which the joint flange portion 121 is interposed between the outer bellows sleeve 200 and the outer flange sleeve 210. It can be welded and jointed integrally with the outer flange sleeve 210.

여기서, 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)는 외측 벨로우즈 슬리브(200)와 외측 플랜지 슬리브(210) 사이에 개재된 상태에서 그 끝단부가 외측 벨로우즈 슬리브(200) 및 외측 플랜지 슬리브(210)에 대해 반경방향 외측으로 돌출되는 것, 즉 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)의 외경이 외측 벨로우즈 슬리브(200) 및 외측 플랜지 슬리브(210)의 외경보다 크게 형성되는 것이 바람직한데, 이는 외측 벨로우즈 슬리브(200) 및 외측 플랜지 슬리브(210)에 비해 상대적으로 얇은 두께를 갖는 상대적으로 얇은 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)가 외측 벨로우즈 슬리브(200)와 외측 플랜지 슬리브(210) 사이에 개재된 상태에서 용접되더라도, 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)의 끝단부를 외부로 노출시켜 용접 이음 부위(W1)의 강도 및 강성을 향상시키기 위함이다. 이때, 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)의 끝단부는 앞서 설명한 바와 같이 외측 벨로우즈 슬리브(200)의 이음 플랜지부(201)와 외측 플랜지 슬리브(210)의 이음 플랜지부(211)에 의해 접촉 지지된다.Here, the joint flange portion 121 of the outer bellows 120 is sandwiched between the outer bellows sleeve 200 and the outer flange sleeve 210, and its end portion is connected to the outer bellows sleeve 200 and the outer flange sleeve 210. It is preferable that the outer diameter of the joint flange portion 121 of the outer bellows 120 is formed to be larger than the outer diameter of the outer bellows sleeve 200 and the outer flange sleeve 210, which protrudes outward in the radial direction. The joint flange portion 121 of the relatively thin outer bellows 120, which has a relatively thin thickness compared to the outer bellows sleeve 200 and the outer flange sleeve 210, is connected to the outer bellows sleeve 200 and the outer flange sleeve 210. Even if welded in an interposed state, the end portion of the joint flange portion 121 of the outer bellows 120 is exposed to the outside to improve the strength and rigidity of the welded joint portion W1. At this time, the end of the joint flange portion 121 of the outer bellows 120 is connected to the joint flange portion 201 of the outer bellows sleeve 200 and the joint flange portion 211 of the outer flange sleeve 210, as described above. Contact supported.

위와 같은 구성에 의해, 외측 벨로우즈(120)와 플랜지 커버(150)는 외측 벨로우즈(120)의 이음 플랜지부(121)가 외측 벨로우즈 슬리브(200)와 외측 플랜지 슬리브(210) 사이에 개재된 상태에서 그 외주면을 따라 한번의 용접 작업을 수행하는 것에 의해 서로 결합될 수 있고, 외측 벨로우즈 슬리브(200)와 외측 플랜지 슬리브(210)의 구조적인 특성에 의해 외측 벨로우즈(120)와 플랜지 커버(150)의 충분한 결합 강도 내지 강성이 안정적으로 확보될 수 있다.By the above configuration, the outer bellows 120 and the flange cover 150 are connected in a state in which the joint flange portion 121 of the outer bellows 120 is interposed between the outer bellows sleeve 200 and the outer flange sleeve 210. They can be joined to each other by performing a single welding operation along the outer peripheral surface, and the outer bellows 120 and the flange cover 150 can be connected to each other by the structural characteristics of the outer bellows sleeve 200 and the outer flange sleeve 210. Sufficient bonding strength or rigidity can be stably secured.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 히터(100)에 있어서, 내측 벨로우즈(130)와 플랜지 파이프(160)의 용접 이음 구조에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, in the flexible heater 100 according to an embodiment of the present invention, the welded joint structure of the inner bellows 130 and the flange pipe 160 will be described in detail.

도 2, 도 3 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 히터(100)는 내측 벨로우즈 슬리브(220) 및 내측 플랜지 슬리브(230)를 더 포함한다. 여기서, 내측 벨로우즈(130)는 내측 벨로우즈 슬리브(220) 및 내측 플랜지 슬리브(230)와 함께 용접되는데, 바람직하게 내측 벨로우즈(130)의 끝단에는 도 3의 'D'영역에 도시된 바와 같이 반경방향 외측으로 확장되어 내측 벨로우즈 슬리브(220)와 내측 플랜지 슬리브(230) 사이에 개재된 상태에서 함께 용접되는 이음 플랜지부(131)가 마련된다.Referring to FIGS. 2, 3, and 5, the flexible heater 100 according to an embodiment of the present invention further includes an inner bellows sleeve 220 and an inner flange sleeve 230. Here, the inner bellows 130 is welded together with the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230. Preferably, the end of the inner bellows 130 has a radial groove as shown in area 'D' of FIG. 3. A joint flange portion 131 is provided that extends outward and is welded together while interposed between the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230.

내측 벨로우즈 슬리브(220)는 도 3에 도시된 바와 같이 내측 벨로우즈(130)의 단부 외측에 끼워지는 슬리브 형상의 부재로, 그 내주면이 내측 벨로우즈(130)의 주름이 없는 수평단부(132)에 접촉한 상태로 배치된다.As shown in FIG. 3, the inner bellows sleeve 220 is a sleeve-shaped member fitted on the outside of the end of the inner bellows 130, and its inner circumferential surface contacts the wrinkle-free horizontal end 132 of the inner bellows 130. placed in one state.

내측 플랜지 슬리브(230)는 도 3에 도시된 바와 같이 플랜지 파이프(160)와 내측 벨로우즈 슬리브(220) 사이에 배치되고 일단이 플랜지 파이프(160)에 결합되는 슬리브 형상의 부재로, 내측 벨로우즈 슬리브(220)와 거의 동일한 외관 형상을 가지며 내측 벨로우즈 슬리브(220)와 좌우 대칭으로 배치된다.The inner flange sleeve 230 is a sleeve-shaped member disposed between the flange pipe 160 and the inner bellows sleeve 220 as shown in Figure 3 and one end of which is coupled to the flange pipe 160. The inner bellows sleeve ( 220) and has an almost identical external shape and is arranged left and right symmetrically with the inner bellows sleeve 220.

그리고, 내측 벨로우즈(130)의 이음 플랜지부(131)는 도 3에 도시된 바와 같이 내측 벨로우즈 슬리브(220)와 내측 플랜지 슬리브(230) 사이에 개재되어 내측 벨로우즈 슬리브(220) 및 내측 플랜지 슬리브(230)와 면 접촉된다. 이때, 내측 벨로우즈(130)의 이음 플랜지부(131)는 내측 벨로우즈(130)의 주름이 없는 수평단부(132)에서 반경방향 외측으로 90도 절곡 연장되는 수직단부로 형성될 수 있다. 이에, 내측 벨로우즈(130)는 그 이음 플랜지부(131)가 내측 벨로우즈 슬리브(220)와 내측 플랜지 슬리브(230) 사이에 개재된 상태에서 하나의 용접 라인(포인트)으로 내측 벨로우즈 슬리브(220) 및 내측 플랜지 슬리브(230)와 일체로 용접 이음될 수 있다.And, the joint flange portion 131 of the inner bellows 130 is interposed between the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230 as shown in FIG. 3 to form the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve ( 230) and is in surface contact. At this time, the joint flange portion 131 of the inner bellows 130 may be formed as a vertical end bent 90 degrees and extending radially outward from the wrinkle-free horizontal end 132 of the inner bellows 130. Accordingly, the inner bellows 130 is connected to the inner bellows sleeve 220 and the inner bellows sleeve 220 with one welding line (point) in a state in which the joint flange portion 131 is interposed between the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230. It can be welded integrally with the inner flange sleeve 230.

위와 같은 구성에 의해, 내측 벨로우즈(130)와 플랜지 파이프(150)는 내측 벨로우즈(130)의 이음 플랜지부(131)가 내측 벨로우즈 슬리브(220)와 내측 플랜지 슬리브(230) 사이에 개재된 상태에서 그 외주면을 따라 한번의 용접 작업을 수행하는 것에 의해 서로 결합될 수 있고, 내측 벨로우즈 슬리브(220)와 내측 플랜지 슬리브(230)의 구조적인 특성에 의해 내측 벨로우즈(130)와 플랜지 파이프(160)의 충분한 결합 강도 내지 강성이 안정적으로 확보될 수 있다.By the above configuration, the inner bellows 130 and the flange pipe 150 are connected in a state where the joint flange portion 131 of the inner bellows 130 is interposed between the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230. They can be joined to each other by performing a single welding operation along the outer peripheral surface, and the inner bellows 130 and the flange pipe 160 can be connected to each other by the structural characteristics of the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230. Sufficient bonding strength or rigidity can be stably secured.

한편, 내측 벨로우즈(130)와 플랜지 파이프(160)의 용접 이음 구조에 있어서 내측 벨로우즈 슬리브(220), 내측 플랜지 슬리브(230) 및 내측 벨로우즈의 이음 플랜지부(131)는, 외측 벨로우즈(120)와 플랜지 커버(150)의 용접 이음 구조에 있어서 외측 벨로우즈 슬리브(200), 외측 플랜지 슬리브(210) 및 외측 벨로우즈의 이음 플랜지부(121)에 각각 대응하고, 실질적으로 세부 구성이 동일하므로, 그 동일한 세부 구성에 대한 자세한 설명은 앞서 외측 벨로우즈 슬리브(200), 외측 플랜지 슬리브(210) 및 외측 벨로우즈의 이음 플랜지부(121)에 관한 설명을 준용하기로 한다.Meanwhile, in the welded joint structure of the inner bellows 130 and the flange pipe 160, the inner bellows sleeve 220, the inner flange sleeve 230, and the joint flange portion 131 of the inner bellows are connected to the outer bellows 120. In the welded joint structure of the flange cover 150, the outer bellows sleeve 200, the outer flange sleeve 210, and the joint flange portion 121 of the outer bellows each correspond to each other, and the detailed configuration is substantially the same, so the details are the same. For detailed description of the configuration, the previous description regarding the outer bellows sleeve 200, the outer flange sleeve 210, and the joint flange portion 121 of the outer bellows will be applied.

도 2, 도 3 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 히터(100)는 라이너 슬리브(240)를 더 포함한다.Referring to FIGS. 2, 3, and 5, the flexible heater 100 according to an embodiment of the present invention further includes a liner sleeve 240.

라이너 슬리브(240)는 라이너(110)의 내부에 삽입 배치되어 내측 벨로우즈 슬리브(220) 및 내측 플랜지 슬리브와 함께 용접되는 것으로, 라이너(110)의 가스 유로 내에 삽입되는 슬리브 몸체부(242), 및 내측 벨로우즈 슬리브(220)와 내측 플랜지 슬리브(230) 사이에 개재되는 이음 플랜지부(241)를 포함한다.The liner sleeve 240 is inserted into the inside of the liner 110 and welded together with the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve, and includes a sleeve body portion 242 inserted into the gas flow path of the liner 110, and It includes a joint flange portion 241 interposed between the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230.

여기서, 라이너 슬리브(240)의 이음 플랜지부(241)는 라이너 슬리브(240)의 끝단에 반경방향 외측으로 확장되도록 마련되고, 내측 벨로우즈 슬리브(220)와 내측 플랜지 슬리브(230) 사이에 개재된 상태에서 함께 용접된다. 구체적으로, 라이너 슬리브(240)의 이음 플랜지부(241)는 도 3의 'D'영역에 도시된 바와 같이 내측 벨로우즈 슬리브(220)와 내측 플랜지 슬리브(230) 사이에 개재되어 내측 벨로우즈(130)의 이음 플랜지부(131) 및 내측 플랜지 슬리브(230)와 면 접촉된다. 이때, 라이너 슬리브(240)의 이음 플랜지부(241)는 슬리브 몸체부(242)에서 반경방향 외측으로 90도 절곡 연장되는 구조로 형성될 수 있다.Here, the joint flange portion 241 of the liner sleeve 240 is provided to extend radially outward at the end of the liner sleeve 240, and is interposed between the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230. are welded together in Specifically, the joint flange portion 241 of the liner sleeve 240 is interposed between the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230, as shown in area 'D' of FIG. 3, to form the inner bellows 130. It is in surface contact with the joint flange portion 131 and the inner flange sleeve 230. At this time, the joint flange portion 241 of the liner sleeve 240 may be formed in a structure bent and extended 90 degrees radially outward from the sleeve body portion 242.

이에, 내측 벨로우즈 슬리브(220)와 내측 플랜지 슬리브(230) 사이에는 앞서 설명한 내측 벨로우즈(130)의 이음 플랜지부(131)와 함께 라이너 슬리브(240)의 이음 플랜지부(241)가 개재되는 구조이므로, 하나의 용접 라인(포인트)으로 라이너 슬리브(240), 내측 벨로우즈(130), 내측 벨로우즈 슬리브(220) 및 내측 플랜지 슬리브(230)가 일체로 용접 이음될 수 있다.Accordingly, the joint flange portion 241 of the liner sleeve 240 along with the joint flange portion 131 of the inner bellows 130 described above are interposed between the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230. , the liner sleeve 240, the inner bellows 130, the inner bellows sleeve 220, and the inner flange sleeve 230 can be welded together with one welding line (point).

한편, 라이너 슬리브(240)의 이음 플랜지부(241)는 내측 벨로우즈(130)의 이음 플랜지부(131)과 마찬가지로, 내측 벨로우즈 슬리브(220)와 내측 플랜지 슬리브(230) 사이에 개재된 상태에서 그 끝단부가 내측 벨로우즈 슬리브(220) 및 내측 플랜지 슬리브(230)에 대해 반경방향 외측으로 돌출되는 것, 즉 라이너 슬리브(240)의 이음 플랜지부(241)의 외경이 내측 벨로우즈 슬리브(220) 및 내측 플랜지 슬리브(230)의 외경보다 크게 형성되는 것이 바람직한데, 이는 라이너 슬리브(240)의 이음 플랜지부(241)가 내측 벨로우즈 슬리브(220)와 내측 플랜지 슬리브(230) 사이에 개재된 상태에서 용접되더라도, 라이너 슬리브(240)의 이음 플랜지부(241)의 끝단부를 외부로 노출시켜 용접 이음 부위(W1)의 강도 및 강성을 향상시키기 위함이다.Meanwhile, the joint flange portion 241 of the liner sleeve 240, like the joint flange portion 131 of the inner bellows 130, is interposed between the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230. The end protrudes radially outward with respect to the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230, that is, the outer diameter of the joint flange portion 241 of the liner sleeve 240 is adjacent to the inner bellows sleeve 220 and the inner flange. It is preferable to be larger than the outer diameter of the sleeve 230, which means that even if the joint flange portion 241 of the liner sleeve 240 is welded between the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230, This is to improve the strength and rigidity of the welded joint portion W1 by exposing the end portion of the joint flange portion 241 of the liner sleeve 240 to the outside.

위와 같은 라이너 슬리브(240)의 구성에 의해, 라이너(110)는 보다 견고하게 지지될 수 있고, 내측 벨로우즈 슬리브(220) 및 내측 플랜지 슬리브(230)에 대한 라이너 슬리브(240)의 용접 이음을 통해 플랜지 파이프(160)와 안정적으로 결합할 수 있다.By the above configuration of the liner sleeve 240, the liner 110 can be supported more firmly, and through the welded joint of the liner sleeve 240 to the inner bellows sleeve 220 and the inner flange sleeve 230. It can be stably combined with the flange pipe 160.

도 6은 도 2에 도시된 플렉시블 히터에서 플랜지 파이프에 클램프를 체결한 모습을 나타낸 도면이다.FIG. 6 is a diagram showing a clamp fastened to a flange pipe in the flexible heater shown in FIG. 2.

도 2, 도 3 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 히터(100)에 있어서, 플랜지 파이프(160)는 길이방향을 따라 플랜지 커버(150)의 외측으로 돌출되어 클램프(170)가 체결되는 클램프 체결 플랜지부(161)가 마련되고, 플랜지 커버(150)는 클램프 체결 플랜지부(161)에 대한 클램프(170)의 체결 작업이 용이하도록 하는 클램프 체결 공간부가 마련된다.2, 3, and 6, in the flexible heater 100 according to an embodiment of the present invention, the flange pipe 160 protrudes outward from the flange cover 150 along the longitudinal direction and forms a clamp ( A clamp fastening flange portion 161 to which 170) is fastened is provided, and the flange cover 150 is provided with a clamp fastening space portion that facilitates fastening of the clamp 170 to the clamp fastening flange portion 161.

플랜지 파이프(160)의 클램프 체결 플랜지부(161)는 플랜지 파이프(160)를 진공 펌프(30, 도 1 참조) 또는 스크러버(20, 도 1 참조)와 연결하기 위해 진공 펌프(30)의 배관 라인(31)과 클램프(170)에 의해 체결되거나 스크러버(20)의 배관 라인(21)과 클램프(미도시)에 의해 체결되는 부분이다.The clamp fastening flange portion 161 of the flange pipe 160 is connected to the piping line of the vacuum pump 30 to connect the flange pipe 160 with the vacuum pump 30 (see FIG. 1) or the scrubber 20 (see FIG. 1). It is a part that is fastened by (31) and the clamp (170) or by the piping line (21) of the scrubber (20) and a clamp (not shown).

플랜지 커버(150)의 클램프 체결 공간부는 플랜지 파이프(160)를 진공 펌프(30) 또는 스크러버(20)와 연결하기 위해 클램프(170)를 체결하는 과정에서 협소한 작업 공간으로 인해 클램프(170)의 체결 작업에 어려움이 발생하는 문제점을 해결하기 위한 것으로, 플랜지 커버(150)의 외주면(151)이 길이방향을 따라 클램프 체결 플랜지부(161)를 향해 점진적으로 직경이 축소되는 것에 의해 제공되는 것이 바람직하다.In the process of fastening the clamp 170 to connect the flange pipe 160 to the vacuum pump 30 or the scrubber 20, the clamp fastening space portion of the flange cover 150 may be damaged due to a narrow work space. In order to solve the problem of difficulty in fastening work, it is preferable that the outer peripheral surface 151 of the flange cover 150 gradually reduces in diameter toward the clamp fastening flange portion 161 along the longitudinal direction. do.

이러한 플랜지 커버(150)의 클램프 체결 공간부의 구성에 의해, 일정한 외경으로 형성된 종래의 플랜지 커버와 대비하여 클램프(170)의 체결 작업시 충분한 주변 공간이 확보되므로, 작업자는 클램프 체결 플랜지부(161)에 대한 클램프(170)의 체결 작업을 수월하게 수행할 수 있게 된다.Due to the configuration of the clamp fastening space portion of the flange cover 150, compared to a conventional flange cover formed with a constant outer diameter, sufficient surrounding space is secured during the fastening operation of the clamp 170, so the operator can use the clamp fastening flange portion 161. The fastening operation of the clamp 170 can be easily performed.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예들을 통해 본 발명을 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 바람직한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.Although the present invention has been described in detail through preferred embodiments of the present invention, the present invention is not limited to the above-described preferred embodiments, and various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. It is obvious to those skilled in the art. Accordingly, such modifications or variations should be considered to fall within the scope of the claims of the present invention.

100: 플렉시블 히터
110: 라이너
120: 외측 벨로우즈
130: 내측 벨로우즈
140: 열선
150: 플랜지 커버
160: 플랜지 파이프
200: 외측 벨로우즈 슬리브
210: 외측 플랜지 슬리브
220: 내측 벨로우즈 슬리브
230: 내측 플랜지 슬리브
240: 라이너 슬리브100: Flexible heater
110: Liner
120: outer bellows
130: inner bellows
140: heated wire
150: Flange cover
160: Flange pipe
200: Outer bellows sleeve
210: Outer flange sleeve
220: inner bellows sleeve
230: inner flange sleeve
240: Liner sleeve

Claims (8)

가스의 이동을 안내하기 위한 가스 유로를 형성하는 라이너;
상기 라이너의 외측을 둘러싸는 주름관 형상의 외측 벨로우즈;
상기 외측 벨로우즈의 양단에 각각 배치되는 플랜지 커버;
상기 외측 벨로우즈의 단부 외측에 끼워지는 외측 벨로우즈 슬리브; 및
상기 플랜지 커버와 상기 외측 벨로우즈 슬리브 사이에 배치되고 일단이 상기 플랜지 커버에 결합되는 외측 플랜지 슬리브
를 포함하고,
상기 외측 벨로우즈는 상기 외측 벨로우즈 슬리브 및 상기 외측 플랜지 슬리브와 함께 용접되며,
상기 외측 벨로우즈의 끝단에는 반경방향 외측으로 확장되어 상기 외측 벨로우즈 슬리브와 상기 외측 플랜지 슬리브 사이에 개재된 상태에서 함께 용접되는 이음 플랜지부가 마련되는 것을 특징으로 하는 용접 이음이 개선된 플렉시블 히터.
A liner forming a gas flow path to guide the movement of gas;
An outer bellows in the shape of a corrugated pipe surrounding the outside of the liner;
Flange covers disposed on both ends of the outer bellows, respectively;
an outer bellows sleeve fitted outside an end of the outer bellows; and
An outer flange sleeve disposed between the flange cover and the outer bellows sleeve and one end of which is coupled to the flange cover.
Including,
The outer bellows is welded together with the outer bellows sleeve and the outer flange sleeve,
A flexible heater with improved welding joints, characterized in that a joint flange portion is provided at the end of the outer bellows, extending radially outward and welded together in a state sandwiched between the outer bellows sleeve and the outer flange sleeve.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 외측 벨로우즈의 이음 플랜지부는
상기 외측 벨로우즈 슬리브와 상기 외측 플랜지 슬리브 사이에 개재된 상태에서 상기 외측 벨로우즈 슬리브 및 상기 외측 플랜지 슬리브에 대해 반경방향 외측으로 돌출되는 것을 특징으로 하는 용접 이음이 개선된 플렉시블 히터.
According to paragraph 1,
The joint flange portion of the outer bellows
A flexible heater with an improved weld joint, characterized in that it protrudes radially outward with respect to the outer bellows sleeve and the outer flange sleeve while being interposed between the outer bellows sleeve and the outer flange sleeve.
 제1항에 있어서,
상기 외측 벨로우즈와 상기 라이너 사이에 배치되는 주름관 형상의 내측 벨로우즈;
상기 라이너의 가스 유로의 양단과 각각 연통되어 상기 가스가 유입되거나 배출될 수 있도록 상기 플랜지 커버를 관통하여 상기 라이너의 양단에 각각 연결되는 플랜지 파이프;
상기 내측 벨로우즈의 단부 외측에 끼워지는 내측 벨로우즈 슬리브;
상기 플랜지 파이프와 상기 내측 벨로우즈 슬리브 사이에 배치되고 일단이 상기 플랜지 파이프에 결합되는 내측 플랜지 슬리브
를 더 포함하고,
상기 내측 벨로우즈의 끝단에는 반경방향 외측으로 확장되어 상기 내측 벨로우즈 슬리브와 상기 내측 플랜지 슬리브 사이에 개재된 상태에서 함께 용접되는 이음 플랜지부가 마련되는 것을 특징으로 하는 용접 이음이 개선된 플렉시블 히터.
According to paragraph 1,
an inner bellows in the shape of a corrugated pipe disposed between the outer bellows and the liner;
Flange pipes connected to both ends of the liner through the flange cover to communicate with both ends of the gas flow path of the liner to allow the gas to flow in or out;
an inner bellows sleeve fitted outside an end of the inner bellows;
An inner flange sleeve disposed between the flange pipe and the inner bellows sleeve and one end of which is coupled to the flange pipe.
It further includes,
A flexible heater with improved welding joints, characterized in that a joint flange portion is provided at the end of the inner bellows, extending radially outward and welded together in a state sandwiched between the inner bellows sleeve and the inner flange sleeve.
 제4항에 있어서,
상기 라이너의 내부에 삽입 배치되고 상기 내측 벨로우즈 슬리브 및 상기 내측 플랜지 슬리브와 함께 용접되는 라이너 슬리브
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 용접 이음이 개선된 플렉시블 히터.
According to clause 4,
A liner sleeve inserted into the liner and welded together with the inner bellows sleeve and the inner flange sleeve.
A flexible heater with improved welding joints, further comprising:
 제5항에 있어서,
상기 라이너 슬리브의 끝단에는 반경방향 외측으로 확장되어 상기 내측 벨로우즈 슬리브와 상기 내측 플랜지 슬리브 사이에 개재된 상태에서 함께 용접되는 이음 플랜지부가 마련되는 것을 특징으로 하는 용접 이음이 개선된 플렉시블 히터.
According to clause 5,
A flexible heater with improved welding joints, characterized in that a joint flange portion is provided at the end of the liner sleeve, extending radially outward and welded together in a state sandwiched between the inner bellows sleeve and the inner flange sleeve.
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KR100402035B1 (en) * 1995-05-17 2003-12-18 보아 아게 Metal expansion joint and vibration absorber apparatus for pipe systems
KR20160145635A (en) * 2014-03-27 2016-12-20 주식회사 에스제이엠 Flexible conduit tube and a connecting device for use in exhaust systems
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