KR102648974B1 - Graphene Oxide And Method for Manufacturing Of The Same, Display Device Comprising The Same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드를 제조하여 투과율 및 전기적 특성이 우수한 그래핀 옥사이드를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 옥사이드는 가장자리가 산화되어 산소 원자를 가지고 층간 박리된 것이다. 그래핀 옥사이드는 시트(sheet) 형상이다. The present invention provides graphene oxide with excellent transmittance and electrical properties by manufacturing graphene oxide with oxidized edges. Graphene oxide according to an embodiment of the present invention has its edges oxidized and the layers are separated with oxygen atoms. Graphene oxide is in the shape of a sheet.

Description

그래핀 옥사이드 및 그 제조방법, 이를 포함하는 표시장치{Graphene Oxide And Method for Manufacturing Of The Same, Display Device Comprising The Same}Graphene oxide and its manufacturing method, display device comprising the same {Graphene Oxide And Method for Manufacturing Of The Same, Display Device Comprising The Same}

본 발명은 그래핀 옥사이드 및 그 제조방법, 이를 포함하는 표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to graphene oxide, a method of manufacturing the same, and a display device including the same.

그래핀은 탄소의 동소체 중 하나로서, 탄소 원자들이 각각 sp2 결합으로 연결된 단일 원자층 두께의 2차원 구조이며, 벤젠 형태의 탄소 고리가 연결되어 벌집 구조의 결정을 이룬다.Graphene is one of the allotropes of carbon, and is a two-dimensional structure with a single atomic layer thickness in which carbon atoms are each connected by sp2 bonds, and benzene-type carbon rings are connected to form a honeycomb crystal.

그래핀을 제조하는 방법으로는 기계적 박리법, 화학기상증착법(CVD), 유기 용매법, 그라파이트(graphite)의 산화-환원법 등의 총 4가지 방법이 알려져 있으며, 이 중에서 그라파이트의 산화-환원법이 대량 생산이 용이하다는 측면에서 가장 선호되고 있다.A total of four methods are known to produce graphene: mechanical exfoliation, chemical vapor deposition (CVD), organic solvent method, and graphite oxidation-reduction method. Among these, the graphite oxidation-reduction method is used in large quantities. It is most preferred in terms of ease of production.

그라파이트의 산화-환원법은 산소를 기반으로 하는 관능기를 유도하여 층간에 파이 전자 밀도를 줄임으로써 반데르발스 인력을 낮추어 층간의 박리를 용이하게 하는 것으로서, 그라파이트를 산화시키는 방법에는 현재까지 허머스(Hummers) 방법, 스타우덴마이어(Staudenmaier) 방법, 브로디(Brodie) 방법 등이 주로 알려져 있다.The oxidation-reduction method of graphite is to reduce the pi electron density between layers by inducing oxygen-based functional groups, thereby lowering the van der Waals attraction to facilitate separation between layers. To date, methods for oxidizing graphite include Hummers. ) method, Staudenmaier method, Brodie method, etc. are mainly known.

그러나 전술한 산화 공정은 강산과 강산화제를 조합하여 극한 조건으로 산화시키기 때문에 환원 후에도 본래의 그래핀 구조로 복원되지 않을 뿐 아니라 환원 과정을 거친 후에는 산소가 잔존하기 때문에, 그래핀의 대량 생산에는 용이하지만 고품질의 그래핀을 제조할 수 없다는 단점이 있다. 또한, 일반적으로 그래파이트 층간의 산화에서, 최초로 하이드록시기 및 에폭시기가 만들어지고 산화반응이 지속적으로 진행될수록 에터(ether) 등을 거쳐 최종적으로 카르복실기가 만들어지게 되는데, 이 과정에서 그래핀을 이루는 탄소-탄소 결합이 끊어져 결함(defect)이 발생하고 이는 환원 후에도 완벽하게 복원되지 않아 그래핀 본연의 전기적 특성이 저하되는 문제가 있다.However, since the above-described oxidation process combines a strong acid and a strong oxidizing agent to oxidize under extreme conditions, the original graphene structure is not restored even after reduction, and oxygen remains after the reduction process, so it is not suitable for mass production of graphene. Although it is easy, it has the disadvantage of not being able to produce high-quality graphene. In addition, generally, in oxidation between graphite layers, hydroxy groups and epoxy groups are first created, and as the oxidation reaction continues, ether, etc. are finally created, and carboxyl groups are created. In this process, the carbon that makes up graphene- Carbon bonds are broken, causing defects, and these are not completely restored even after reduction, causing a problem in that graphene's original electrical properties deteriorate.

본 발명은 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드를 제조하여 투과율 및 전기적 특성이 우수한 그래핀 옥사이드를 제공한다. The present invention provides graphene oxide with excellent transmittance and electrical properties by manufacturing graphene oxide with oxidized edges.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 옥사이드는 가장자리가 산화되어 산소 원자를 가지고 층간 박리된 것이다. 그래핀 옥사이드는 시트(sheet) 형상이다.In order to achieve the above object, the edges of graphene oxide according to an embodiment of the present invention are oxidized and the layers are separated with oxygen atoms. Graphene oxide is in the shape of a sheet.

본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 옥사이드의 제조방법은 진한 황산이 담긴 용기에 그래파이트를 분산시키고 물을 투입하는 제1 단계, 용기에 과망간산칼륨을 투입하여 그래파이트를 산화시키는 제2 단계, 용기에 과산화수소를 투입하여 산화를 종료시키고 워싱하여 가장자리가 산화된 그래파이트를 수득하는 제3 단계, 및 수득한 그래파이트를 층간 박리하여, 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드를 수득하는 제4 단계를 포함한다.The method for producing graphene oxide according to an embodiment of the present invention includes a first step of dispersing graphite in a container containing concentrated sulfuric acid and adding water, a second step of oxidizing graphite by adding potassium permanganate to the container, and adding water to the container. It includes a third step of adding hydrogen peroxide to terminate oxidation and washing to obtain graphite with oxidized edges, and a fourth step of peeling the obtained graphite between layers to obtain graphene oxide with oxidized edges.

그래파이트와 물의 함량비는 1:13 내지 1:20이 되도록 상기 물을 투입한다.The water is added so that the content ratio of graphite to water is 1:13 to 1:20.

물을 투입하여 진한 황산은 묽은 황산으로 변하고, 묽은 황산의 농도는 50% 내지 60%이다.By adding water, concentrated sulfuric acid changes to dilute sulfuric acid, and the concentration of dilute sulfuric acid is 50% to 60%.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 기판, 박막트랜지스터 및 화소 전극을 포함한다. 박막트랜지스터는 기판 상에 배치되며, 액티브층, 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한다. 화소 전극은 박막트랜지스터에 연결되며, 가장자리가 산화되어 산소 원자를 가지고 층간 박리된 그래핀 옥사이드를 포함한다.Additionally, a display device according to an embodiment of the present invention includes a substrate, a thin film transistor, and a pixel electrode. A thin film transistor is disposed on a substrate and includes an active layer, a gate electrode, a source electrode, and a drain electrode. The pixel electrode is connected to a thin film transistor and includes graphene oxide whose edges are oxidized and exfoliated with oxygen atoms.

그래핀 옥사이드는 시트 형상이다.Graphene oxide is in the form of a sheet.

화소 전극 상에 위치하는 발광층, 발광층 상에 위치하는 대향 전극, 대향 전극 상에 위치하는 봉지층, 및 봉지층 상에 위치하는 커버윈도우를 더 포함한다.It further includes a light-emitting layer positioned on the pixel electrode, an opposing electrode positioned on the light-emitting layer, an encapsulation layer positioned on the opposing electrode, and a cover window positioned on the encapsulation layer.

화소 전극과 동일 평면 상 또는 하부에서 이격되어 위치하는 공통 전극, 및 공통 전극 상에 위치하는 액정층을 더 포함한다.It further includes a common electrode positioned spaced apart from or below the same plane as the pixel electrode, and a liquid crystal layer positioned on the common electrode.

본 발명의 실시예에 따른 그래핀 옥사이드 및 그 제조방법은 진한 황산에 물을 첨가하여 진한 황산 조건을 미리 깨어줌으로써, 그래파이트의 산화 반응을 느려지게 한다. 따라서, 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드를 얻을 수 있다.Graphene oxide and its production method according to an embodiment of the present invention slow the oxidation reaction of graphite by adding water to concentrated sulfuric acid to break the concentrated sulfuric acid conditions in advance. Therefore, graphene oxide with oxidized edges can be obtained.

또한, 본 발명의 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드는 박막으로서 투과율과 전기 전도도가 매우 우수한 이점이 있다. In addition, the edge-oxidized graphene oxide of the present invention has the advantage of excellent transmittance and electrical conductivity as a thin film.

도 1은 본 발명의 그래핀 옥사이드를 모식화한 도면.
도 2는 본 발명의 그래핀 옥사이드의 제조방법을 공정별로 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 제조 공정별 그래파이트의 구조를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치를 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치를 나타낸 단면도.
도 6은 비교예 1에 따라 제조된 그래파이트의 라만 결과를 나타낸 그래프.
도 7은 비교예 2에 따라 제조된 그래핀 옥사이드의 라만 결과를 나타낸 도면.
도 8은 실시예에 따라 제조된 그래핀 옥사이드의 라만 결과를 나타낸 도면.
도 9는 비교예 1, 2 및 실시예에 따라 제조된 그래파이트 및 그래핀 옥사이드들의 XPS 결과를 나타낸 그래프.
도 10은 비교예 1, 2 및 실시예에 따라 제조된 그래파이트 및 그래핀 옥사이드들의 FTIR 결과를 나타낸 그래프.
도 11은 비교예 1, 2 및 실시예에 따라 제조된 그래파이트 및 그래핀 옥사이드들의 TGA 결과를 나타낸 그래프.
도 12는 비교예 2에 따라 제조된 그래핀 옥사이드의 TEM 측정 결과를 나타낸 도면.
도 13은 실시예에 따라 제조된 그래핀 옥사이드의 TEM 측정 결과를 나타낸 도면.
도 14는 비교예 2 및 실시예에 따라 제조된 그래핀 옥사이드 박막들의 투과율에 따른 면저항을 측정하여 나타낸 그래프.
Figure 1 is a schematic diagram of graphene oxide of the present invention.
Figure 2 is a diagram showing the method for producing graphene oxide according to the present invention by process.
Figure 3 is a diagram showing the structure of graphite for each manufacturing process of the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional view showing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a cross-sectional view showing an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention.
Figure 6 is a graph showing Raman results of graphite manufactured according to Comparative Example 1.
Figure 7 is a diagram showing Raman results of graphene oxide prepared according to Comparative Example 2.
Figure 8 is a diagram showing Raman results of graphene oxide prepared according to an example.
Figure 9 is a graph showing the XPS results of graphite and graphene oxide prepared according to Comparative Examples 1 and 2 and Examples.
Figure 10 is a graph showing FTIR results of graphite and graphene oxide prepared according to Comparative Examples 1 and 2 and Examples.
Figure 11 is a graph showing the TGA results of graphite and graphene oxide prepared according to Comparative Examples 1 and 2 and Examples.
Figure 12 is a diagram showing the TEM measurement results of graphene oxide prepared according to Comparative Example 2.
Figure 13 is a diagram showing the TEM measurement results of graphene oxide prepared according to an example.
Figure 14 is a graph showing sheet resistance measured according to transmittance of graphene oxide thin films manufactured according to Comparative Example 2 and Examples.

이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 실시예들을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, some embodiments of the present invention will be described in detail through illustrative drawings. When adding reference numerals to components in each drawing, it should be noted that identical components are given the same reference numerals as much as possible even if they are shown in different drawings. Additionally, when describing embodiments of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted.

또한, 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 같은 맥락에서, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "상"에 또는 "아래"에 형성된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접 또는 또 다른 구성 요소를 개재하여 간접적으로 형성되는 것을 모두 포함하는 것으로 이해되어야 할 것이다.Additionally, when describing the components of the invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are only used to distinguish the component from other components, and the nature, order, or order of the component is not limited by the term. When a component is described as being “connected,” “coupled,” or “connected” to another component, that component may be directly connected or connected to that other component, but there is another component between each component. It will be understood that elements may be “connected,” “combined,” or “connected.” In the same context, when a component is described as being formed “on” or “under” another component, that component means that it is formed directly on that other component or indirectly through another component. It should be understood as including.

하기에서 개시하는 본 발명에 따른 표시장치는 유기발광표시장치, 액정표시장치, 전기영동표시장치 등일 수 있다. 본 발명에서는 액정표시장치를 예로 설명한다. 액정표시장치는 박막트랜지스터 상에 화소 전극과 공통 전극이 형성된 박막트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판, 이 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 이루어지는데, 이러한 액정표시장치에서는 공통 전극과 화소 전극에서 수직 또는 수평으로 걸리는 전기장에 의해 액정을 구동한다. 또한, 본 발명에 따른 표시장치는 유기발광표시장치에도 사용 가능하다. 예를 들어, 유기발광표시장치는 박막트랜지스터에 연결된 제1 전극과, 제2 전극, 및 이들 사이에 유기물로 이루어진 발광층을 포함한다. 따라서, 제1 전극으로부터 공급받는 정공과 제2 전극으로부터 공급받는 전자가 발광층 내에서 결합하여 정공-전자쌍인 여기자(exciton)를 형성하고, 여기자가 바닥상태로 돌아오면서 발생하는 에너지에 의해 발광한다. 후술하는 본 발명의 그래핀 옥사이드는 전술한 표시장치의 화소 전극에 사용할 수 있다. The display device according to the present invention disclosed below may be an organic light emitting display device, a liquid crystal display device, an electrophoretic display device, etc. In the present invention, a liquid crystal display device is explained as an example. A liquid crystal display device consists of a thin film transistor array substrate with a pixel electrode and a common electrode formed on a thin film transistor, a color filter substrate, and a liquid crystal layer sandwiched between the two substrates. In this liquid crystal display device, the common electrode and the pixel electrode are positioned vertically or The liquid crystal is driven by a horizontal electric field. Additionally, the display device according to the present invention can also be used in an organic light emitting display device. For example, an organic light emitting display device includes a first electrode connected to a thin film transistor, a second electrode, and a light emitting layer made of organic material between them. Therefore, holes supplied from the first electrode and electrons supplied from the second electrode combine in the light emitting layer to form excitons, which are hole-electron pairs, and emit light by the energy generated when the excitons return to the ground state. The graphene oxide of the present invention, which will be described later, can be used in the pixel electrode of the above-described display device.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예들을 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the attached drawings.

본 발명은 부분 산화된 그래핀 옥사이드 및 그 제조방법을 개시하고, 이를 이용한 전극을 포함하는 박막트랜지스터 어레이 기판 및 표시장치를 개시한다. 도 1은 본 발명의 그래핀 옥사이드를 모식화한 도면이다.The present invention discloses partially oxidized graphene oxide and a method for manufacturing the same, and a thin film transistor array substrate and display device including electrodes using the same. Figure 1 is a schematic diagram of graphene oxide of the present invention.

부분 산화된 partially oxidized 그래핀graphene 옥사이드oxide

본 발명의 그래핀 옥사이드는 가장자리에 산소 원자를 가지고 층간 박리된 그래핀 옥사이드이다. 이 그래핀 옥사이드는 층간 박리되어 시트(sheet) 형상을 이룬다. The graphene oxide of the present invention is graphene oxide that has oxygen atoms at the edges and is exfoliated from layer to layer. This graphene oxide is peeled off between layers to form a sheet.

도 1을 참조하면, 본 발명의 그래핀 옥사이드는 탄소가 허니콤 구조로 결합되어 각각 하나의 시트 형상의 그래핀 옥사이드를 이룬다. 각 그래핀 옥사이드들은 가장자리에 빨간색으로 나타나는 산소 원자가 결합되어 가장자리가 부분적으로 산화된다. 즉, 그래핀 옥사이드의 면상에는 산화되지 않아 산소 원자가 존재하지 않고, 그래핀 옥사이드의 가장자리는 산화되어 산소 원자가 결합된다. 즉, 본 발명의 그래핀 옥사이드는 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드일 수 있다. Referring to Figure 1, in the graphene oxide of the present invention, carbon is combined in a honeycomb structure to form a single sheet-shaped graphene oxide. The edges of each graphene oxide are partially oxidized by combining oxygen atoms that appear red at the edges. In other words, oxygen atoms do not exist on the surface of the graphene oxide because it is not oxidized, and the edges of the graphene oxide are oxidized and oxygen atoms are combined. That is, the graphene oxide of the present invention may be graphene oxide whose edges are oxidized.

본 발명의 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드는 환원 후에도 그래핀 본연의 전기적 특성을 나타내 커패시터 전극, 트랜지스터 전극, 표시장치의 전극 등 전기 소자의 전극으로서 활용할 수 있을 뿐만 아니라, 투명성을 나타내 투명 전극 분야에의 활용도 가능하다. 또한, 본 발명의 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드는 박막트랜지스터의 액티브층에 포함되어 이동도를 향상시키는 역할로 활용도 가능하다. Graphene oxide with oxidized edges of the present invention not only exhibits the natural electrical properties of graphene even after reduction and can be used as electrodes for electrical devices such as capacitor electrodes, transistor electrodes, and display electrodes, but also exhibits transparency and is used in the field of transparent electrodes. It is also possible to use . In addition, the graphene oxide with oxidized edges of the present invention can be included in the active layer of a thin film transistor and used to improve mobility.

가장자리가 산화된 oxidized edges 그래핀graphene 옥사이드의of oxide 제조방법 Manufacturing method

본 발명의 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드는 일반적으로 알려진 산화 후 환원방법과는 다르게, 부분 산화하는 공정을 통해 가장자리에만 부분적으로 산화될 수 있다. Graphene oxide with oxidized edges of the present invention can be partially oxidized only at the edges through a partial oxidation process, unlike the generally known oxidation-then-reduction method.

도 2는 본 발명의 그래핀 옥사이드의 제조방법을 공정별로 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 제조 공정별 그래파이트의 구조를 나타낸 도면이다.Figure 2 is a diagram showing the manufacturing method of graphene oxide of the present invention for each process, and Figure 3 is a diagram showing the structure of graphite for each manufacturing process of the present invention.

본 발명의 부분 산화된 그래핀 옥사이드는 다음과 같이 4단계의 제조방법을 통해 제조될 수 있다. 진한 황산이 담긴 용기에 그래파이트를 분산시키고 물을 투입하는 제1 단계, 용기에 산화제를 투입하여 그래파이트를 산화시키는 제2 단계, 용기에 과산화수소를 투입하여 산화를 종료시키고 워싱하여 가장자리가 부분적으로 산화된 그래핀 옥사이드를 수득하는 제3 단계, 및 수득한 그래핀 옥사이드를 층간 박리하는 제4 단계를 포함하여 제조될 수 있다. The partially oxidized graphene oxide of the present invention can be manufactured through a four-step manufacturing method as follows. The first step is to disperse graphite in a container containing concentrated sulfuric acid and add water, the second step is to oxidize the graphite by adding an oxidizing agent to the container, the oxidation is completed by adding hydrogen peroxide to the container, and the edges are partially oxidized by washing. It can be manufactured including a third step of obtaining graphene oxide, and a fourth step of peeling the obtained graphene oxide between layers.

본 발명의 부분 산화된 그래핀 옥사이드를 제조하는 방법을 도 2 및 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.The method for producing partially oxidized graphene oxide of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 and 3 as follows.

<S1> 진한 황산에 그래파이트와 물을 순차적으로 첨가.<S1> Add graphite and water sequentially to concentrated sulfuric acid.

<S2> 그래파이트에 산화제를 첨가.<S2> Adding an oxidizing agent to graphite.

<S3> 그래파이트에 과산화수소를 첨가 후 워싱하여 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드 수득.<S3> Add hydrogen peroxide to graphite and wash it to obtain graphene oxide with oxidized edges.

<S4> 그래핀 옥사이드를 층간 박리.<S4> Delamination of graphene oxide.

이하, 본 발명의 그래핀 옥사이드의 제조방법을 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the method for producing graphene oxide of the present invention will be described in more detail as follows.

제1 단계first stage <S1> <S1>

출발 원료로 사용되는 그래파이트는 천연 그래파이트(natural graphite), 키쉬 그래파이트(kish graphite), 인조 그래파이트(synthetic graphite), 팽창 그래파이트(expandable graphite 또는 expanded graphite), 또는 이들의 혼합물을 사용할 수 있다.Graphite used as a starting material may be natural graphite, Kish graphite, synthetic graphite, expanded graphite or expanded graphite, or a mixture thereof.

후속하는 그래파이트와 산화제의 반응은 산 존재하에서 수행되는 것이 바람직하므로, 그래파이트 함유 용액은 황산, 질산, 인산 또는 카르복실산 등을 사용할 수 있다. Since the subsequent reaction between graphite and the oxidizing agent is preferably performed in the presence of acid, sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid, or carboxylic acid can be used as the graphite-containing solution.

본 발명에서는 그래파이트 함유 용액에 물을 첨가한다. 종래의 허머스 방법에서 95% 내지 98% 농도의 진한 황산을 사용하는 것과 달리, 물을 첨가함으로써 진한 황산 조건을 깨뜨려 묽은 황산 조건으로 바꾼다. 예를 들어, 묽은 황산의 농도는 50% 내지 60% 농도일 수 있다. In the present invention, water is added to the graphite-containing solution. Unlike the conventional hummus method, which uses concentrated sulfuric acid with a concentration of 95% to 98%, the concentrated sulfuric acid condition is broken by adding water and changed to dilute sulfuric acid condition. For example, the concentration of dilute sulfuric acid may be 50% to 60% concentration.

본 단계에서 물은 그래파이트 함량에 따라 그 함량이 달라지는데, 그래파이트와 물의 함량비는 1:13 내지 1:20으로 투입할 수 있다. 이때 함량은 볼륨%이다. 여기서, 그래파이트와 물의 함량비가 1:13 이상이면 진한 황산을 묽은 황산 조건으로 바꿔 산화 반응을 느려지게 하여 그래파이트의 가장자리를 산화시킬 수 있고, 후술하는 칠산화망간이 일부 잔존할 수 있어 그래파이트의 면상에 산화가 진행될 수 있는 것을 방지할 수 있다. 그래파이트와 물의 함량비가 1:20 이하이면 그래파이트의 분산이 급격히 저하되어 산화 반응이 효율적으로 일어나지 않는 것을 방지할 수 있다.In this step, the content of water varies depending on the graphite content, and the content ratio of graphite to water can be added at a ratio of 1:13 to 1:20. In this case, the content is in volume %. Here, if the content ratio of graphite and water is 1:13 or more, the oxidation reaction can be slowed by changing the concentrated sulfuric acid to dilute sulfuric acid conditions to oxidize the edges of the graphite, and some of the manganese heptaoxide described later may remain on the surface of the graphite. This can prevent oxidation from occurring. If the content ratio of graphite and water is less than 1:20, the dispersion of graphite decreases rapidly, preventing the oxidation reaction from occurring efficiently.

물은 그래파이트 함유 용액의 온도를 70도 이하로 유지하면서 투입한다.Water is added while maintaining the temperature of the graphite-containing solution below 70 degrees.

제2 단계<S2>Second step <S2>

본 단계는 앞서 준비된 용액에 산화제를 첨가하여 산화시키는 단계이다. This step is to oxidize the previously prepared solution by adding an oxidizing agent.

본 발명에 사용되는 산화제는 예를 들어 과망간산, 염소산, 또는 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 성분을 포함할 수 있다. 예를 들어, 산화제는 과망간산칼륨, 과망간산칼슘, 과망간산암모늄, 과망간산나트륨, 염소산칼륨, 염소산나트륨, 염소산암모늄 또는 이들의 혼합물을 들 수 있다. The oxidizing agent used in the present invention may include, for example, a component selected from the group consisting of permanganic acid, chloric acid, or a combination thereof. For example, the oxidizing agent may include potassium permanganate, calcium permanganate, ammonium permanganate, sodium permanganate, potassium chlorate, sodium chlorate, ammonium chlorate, or mixtures thereof.

묽은 황산 조건에서 과망간산칼륨이 첨가되면, 칠산화망간을 만들어 내고 칠산화망간이 물과 반응하여 과망간산이온(MnO4-)으로 돌아가는 역반응이 일어난다. 과망간산이온은 칠산화망간보다는 강력하지 않아 그래파이트의 기저면(basal plane) 부분은 공격하지 못하므로 상대적으로 반응성이 높은 그래파이트의 가장자리 부분부터 산화를 시작한다.When potassium permanganate is added under diluted sulfuric acid conditions, manganese heptaoxide is produced and the reverse reaction occurs in which manganese heptaoxide reacts with water to return to permanganate ion (MnO 4 -). Permanganate ions are less powerful than manganese heptaoxide, so they cannot attack the basal plane of graphite, so oxidation begins at the edges of graphite, which are relatively highly reactive.

반응 시간은 최대 24시간 동안 천천히 반응시키고, 반응조의 온도는 70도에서 수행된다.The reaction time is slow for up to 24 hours, and the temperature of the reaction tank is 70 degrees.

제3 단계<S3>Step 3 <S3>

본 단계에서는 반응 종료제를 첨가하여 산화 반응을 종료시키는 단계이다. 반응 종료제는 과산화수소(H2O2)를 사용할 수 있다. 과망간산이온은 과산화수소를 만나게 되면 망간이온으로 변화하여 산화력을 상실하게 된다. 즉, 과산화수소가 산화를 종료시키는 역할을 한다. In this step, the oxidation reaction is terminated by adding a reaction terminating agent. Hydrogen peroxide (H 2 O 2 ) can be used as a reaction terminating agent. When permanganate ion encounters hydrogen peroxide, it changes into manganese ion and loses its oxidizing power. In other words, hydrogen peroxide plays a role in ending oxidation.

과산화수소의 함량은 그래파이트 함량에 일정 비율로 첨가된다. 그래파이트와 과산화수소의 함량비는 1:5 이상을 첨가하여, 산화 반응을 완전히 종료시킬 수 있다.The content of hydrogen peroxide is added in a certain ratio to the graphite content. By adding graphite to hydrogen peroxide in a content ratio of 1:5 or more, the oxidation reaction can be completely terminated.

이후 잡 이온 제거 및 중성화를 위해 원심분리를 이용해 염산으로 3회 세척하고 증류수로 5회 세척한다. 따라서, 가장자리가 산화된 그래파이트를 수득한다. Afterwards, to remove and neutralize foreign ions, it is centrifuged and washed three times with hydrochloric acid and five times with distilled water. Accordingly, graphite with oxidized edges is obtained.

제4 단계<S4>Step 4 <S4>

이전의 단계를 통해 수득된 가장자리가 산화된 그래파이트는 층간 박리를 수행하여 각각의 분리되어 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드를 수득한다. 층간 박리는 호모게나이저, 쿠에트테일러 반응기, 고압 균질기, 초음파 분쇄기 또는 이들의 조합으로 수행될 수 있다. The edge-oxidized graphite obtained through the previous step is subjected to interlayer exfoliation to obtain individual edge-oxidized graphene oxides. Delamination may be performed using a homogenizer, Couette-Taylor reactor, high pressure homogenizer, ultrasonicator, or a combination thereof.

이상의 박리 단계 이후에, 그래핀 옥사이드의 세척 및 분리 단계를 추가로 수행할 수 있다. 세척 및 분리는 필터프레스, 원심분리기, 데칸트 또는 이들의 조합으로 수행될 수 있다. After the above peeling step, washing and separation steps of graphene oxide may be additionally performed. Washing and separation can be performed using a filter press, centrifuge, decanter, or a combination of these.

본 발명의 제조방법에 따르면, 진한 황산에 물을 첨가하여 진한 황산 조건을 미리 깨어줌으로써, 그래파이트의 산화 반응을 느려지게 한다. 따라서, 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드를 얻을 수 있다.According to the manufacturing method of the present invention, the oxidation reaction of graphite is slowed by adding water to concentrated sulfuric acid to break the concentrated sulfuric acid condition in advance. Therefore, graphene oxide with oxidized edges can be obtained.

전술한 본 발명의 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드는 박막트랜지스터 어레이 기판의 화소 전극 및 이를 포함하는 표시장치에 사용할 수 있다. 하기에서는 박막트랜지스터 어레이 기판의 화소 전극 및 이를 포함하는 표시장치를 예로 설명하지만 전술한 바와 같이, 전기 소자의 다양한 도전 재료로 사용 가능하다.The graphene oxide with oxidized edges of the present invention described above can be used in pixel electrodes of thin film transistor array substrates and display devices including the same. In the following, a pixel electrode of a thin film transistor array substrate and a display device including the same will be described as an example, but as described above, it can be used as a variety of conductive materials for electrical devices.

박막트랜지스터thin film transistor 어레이 기판 및 표시장치 Array substrate and display device

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치를 나타낸 단면도이고, 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치를 나타낸 단면도이다.FIG. 4 is a cross-sectional view showing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view showing an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention.

본 발명에서 개시하는 박막트랜지스터 어레이 기판은 액티브층 하부에 게이트 전극이 위치하는 바텀 게이트형(bottom-gate type) 박막트랜지스터를 예로 설명한다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 게이트 전극이 액티브층 상부에 위치하는 탑 게이트형(top-gate type) 박막트랜지스터 등 공지된 박막트랜지스터의 구조를 모두 적용할 수 있다.The thin film transistor array substrate disclosed in the present invention is explained as an example of a bottom-gate type thin film transistor in which the gate electrode is located below the active layer. However, the present invention is not limited to this, and the structure of all known thin film transistors, such as a top-gate type thin film transistor in which the gate electrode is located above the active layer, can be applied.

도 4를 참조하면, 기판(110) 상에 게이트 전극(120)이 위치한다. 기판(110)은 투명하거나 불투명한 유리, 플라스틱 또는 금속으로 이루어진다. 게이트 전극(120)은 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 탄탈륨(Ta) 및 텅스텐(W)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금의 단층이나 다층으로 이루어진다. 게이트 전극(120) 상에 게이트 전극(120)을 절연시키는 게이트 절연막(130)이 위치한다. 게이트 절연막(130)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx) 또는 이들의 다층으로 이루어진다. Referring to FIG. 4, the gate electrode 120 is located on the substrate 110. The substrate 110 is made of transparent or opaque glass, plastic, or metal. The gate electrode 120 is made of copper (Cu), molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and tantalum (Ta). and tungsten (W), or an alloy thereof. A gate insulating film 130 that insulates the gate electrode 120 is located on the gate electrode 120. The gate insulating film 130 is made of a silicon oxide film (SiOx), a silicon nitride film (SiNx), or a multilayer thereof.

게이트 절연막(130) 상에 액티브층(140)이 위치한다. 액티브층(140)은 비정질 실리콘, 다결정 실리콘, 산화물 반도체, 탄소 동소체 또는 이들의 혼합을 포함하여 구성된다. 액티브층(140) 상에 액티브층(140)의 일측에 컨택하는 소스 전극(150a)과, 액티브층(140)의 타측에 컨택하는 드레인 전극(150b)이 위치한다. 소스 전극(150a) 및 드레인 전극(150b)은 단일층 또는 다층으로 이루어질 수 있으며, 단일층일 경우에는 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다. 또한, 소스 전극(150a) 및 드레인 전극(150b)이 다층일 경우에는 몰리브덴/알루미늄-네오디뮴, 몰리브덴/알루미늄 또는 티타늄/알루미늄의 2중층이거나 몰리브덴/알루미늄-네오디뮴/몰리브덴, 몰리브덴/알루미늄/몰리브덴 또는 티타늄/알루미늄/티타늄의 3중층으로 이루어질 수 있다.The active layer 140 is located on the gate insulating film 130. The active layer 140 includes amorphous silicon, polycrystalline silicon, an oxide semiconductor, a carbon allotrope, or a mixture thereof. A source electrode 150a contacting one side of the active layer 140 and a drain electrode 150b contacting the other side of the active layer 140 are located on the active layer 140. The source electrode 150a and the drain electrode 150b may be made of a single layer or multiple layers. In the case of a single layer, molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), It may be made of any one selected from the group consisting of nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu), or an alloy thereof. In addition, when the source electrode 150a and the drain electrode 150b are multilayered, they are a double layer of molybdenum/aluminum-neodymium, molybdenum/aluminum, or titanium/aluminum, or a double layer of molybdenum/aluminum-neodymium/molybdenum, molybdenum/aluminum/molybdenum, or titanium. It can be made of a triple layer of /aluminum/titanium.

소스 전극(150a)과 드레인 전극(150b) 상에 유기절연막(160)이 위치한다. 유기절연막(160)은 하부의 단차를 평탄화하는 것으로, 포토아크릴(photo acryl), 폴리이미드(polyimide), 벤조사이클로부틴계 수지(benzocyclobutene resin), 아크릴레이트계 수지(acrylate) 등의 유기물로 이루어질 수 있다. 유기절연막(160)은 드레인 전극(150b)을 노출하는 비어홀(165)을 포함한다. 도시하지 않았지만, 소스 전극(150a)과 드레인 전극(150b) 상에 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx) 또는 이들의 다층으로 이루어지는 패시베이션막이 위치할 수도 있다. An organic insulating film 160 is located on the source electrode 150a and the drain electrode 150b. The organic insulating film 160 is used to flatten the lower step and may be made of organic materials such as photo acryl, polyimide, benzocyclobutene resin, or acrylate. there is. The organic insulating film 160 includes a via hole 165 exposing the drain electrode 150b. Although not shown, a passivation film made of silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), or a multilayer thereof may be positioned on the source electrode 150a and the drain electrode 150b.

유기절연막(160) 상에 화소 전극(170)과 공통 전극(180)이 위치한다. 화소 전극(170)은 유기절연막(160)에 형성된 비어홀(165)을 통해 드레인 전극(150b)과 연결된다. 화소 전극(170) 및 공통 전극(180)은 본 발명의 그래핀 옥사이드로 이루어질 수 있다. 본 발명의 그래핀 옥사이드는 전기 전도도가 우수하고 투명성을 나타내므로 화소 전극으로 사용 가능하다. 화소 전극(170)과 공통 전극(180)은 서로 교번하여 배치되어, 화소 전극(170)과 공통 전극(180) 사이에 수평 전계를 형성한다.The pixel electrode 170 and the common electrode 180 are located on the organic insulating film 160. The pixel electrode 170 is connected to the drain electrode 150b through the via hole 165 formed in the organic insulating film 160. The pixel electrode 170 and the common electrode 180 may be made of graphene oxide according to the present invention. The graphene oxide of the present invention has excellent electrical conductivity and transparency, so it can be used as a pixel electrode. The pixel electrode 170 and the common electrode 180 are arranged alternately to form a horizontal electric field between the pixel electrode 170 and the common electrode 180.

기판(110)과 대향하는 상부기판(190)이 위치하고, 기판(110)과 상부기판(190) 사이에 액정층(LC)이 위치한다. 본 발명의 실시예에서는 화소 전극(170)과 공통 전극(180)이 동일 평면 상에 위치하는 IPS(in-plane switching) 액정표시장치를 예로 설명하였다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 화소 전극(170) 하부에 공통 전극(180)이 위치할 수도 있고, 공통 전극(180)이 상부기판(190)에 위치할 수도 있다.An upper substrate 190 is located opposite to the substrate 110, and a liquid crystal layer (LC) is located between the substrate 110 and the upper substrate 190. In the embodiment of the present invention, an in-plane switching (IPS) liquid crystal display device in which the pixel electrode 170 and the common electrode 180 are located on the same plane is described as an example. However, the present invention is not limited to this, and the common electrode 180 may be located below the pixel electrode 170, or the common electrode 180 may be located on the upper substrate 190.

한편, 도 5를 참조하면, 본 발명의 표시장치는 유기발광 다이오드를 포함하는 유기발광표시장치일 수 있다. 보다 자세하게, 소스 전극(150a)과 드레인 전극(150b) 상에 유기절연막(160)이 위치한다. 유기절연막(160)은 드레인 전극(150b)을 노출하는 비어홀(165)을 포함한다. Meanwhile, referring to FIG. 5, the display device of the present invention may be an organic light emitting display device including an organic light emitting diode. In more detail, the organic insulating film 160 is located on the source electrode 150a and the drain electrode 150b. The organic insulating film 160 includes a via hole 165 exposing the drain electrode 150b.

유기절연막(160) 상에 화소 전극(170)이 위치한다. 화소 전극(170)은 유기절연막(160)에 형성된 비어홀(165)을 통해 드레인 전극(150b)과 연결된다. 화소 전극(170)은 본 발명의 그래핀 옥사이드로 이루어질 수 있다. 본 발명의 그래핀 옥사이드는 전기 전도도가 우수하고 투명성을 나타내므로 화소 전극으로 사용 가능하다. The pixel electrode 170 is located on the organic insulating film 160. The pixel electrode 170 is connected to the drain electrode 150b through the via hole 165 formed in the organic insulating film 160. The pixel electrode 170 may be made of graphene oxide of the present invention. The graphene oxide of the present invention has excellent electrical conductivity and transparency, so it can be used as a pixel electrode.

화소 전극(170) 상에 뱅크층(175)이 위치한다. 뱅크층(175)은 화소 전극(170)의 일부를 노출하여 화소를 정의하는 화소정의막일 수 있다. 뱅크층(175) 및 노출된 화소 전극(170) 상에 유기막층(190)이 위치한다. 유기막층(190)은 전자와 정공이 결합하여 발광하는 발광층을 포함하고, 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 또는 전자주입층을 포함할 수 있다. 유기막층(190)이 형성된 기판(110) 상에 대향 전극(200)이 위치한다. 대향 전극(200)은 캐소드 전극으로 일함수가 낮은 마그네슘(Mg), 칼슘(Ca), 알루미늄(Al), 은(Ag) 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다. 따라서, 화소 전극(170), 유기막층(190) 및 대향 전극(200)을 포함하는 유기발광 다이오드(OLED)가 구성된다.The bank layer 175 is located on the pixel electrode 170. The bank layer 175 may be a pixel defining layer that exposes a portion of the pixel electrode 170 to define a pixel. The organic layer 190 is located on the bank layer 175 and the exposed pixel electrode 170. The organic layer 190 includes a light emitting layer that emits light by combining electrons and holes, and may include a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, or an electron injection layer. The counter electrode 200 is located on the substrate 110 on which the organic layer 190 is formed. The counter electrode 200 is a cathode electrode and may be made of magnesium (Mg), calcium (Ca), aluminum (Al), silver (Ag), or an alloy thereof with a low work function. Accordingly, an organic light emitting diode (OLED) including a pixel electrode 170, an organic layer 190, and a counter electrode 200 is configured.

유기발광 다이오드(OLED)가 형성된 기판(110) 상에 봉지층(210)이 위치한다. 봉지층(210)은 하부의 유기발광 다이오드(OLED)를 포함하는 기판(110)을 봉지하는 것으로 무기막, 유기막 또는 이들의 다층 구조로 이루어질 수 있다. 봉지층(210) 상에 커버윈도우(220)가 위치하여 유기발광표시장치를 구성한다. The encapsulation layer 210 is located on the substrate 110 on which the organic light emitting diode (OLED) is formed. The encapsulation layer 210 encapsulates the substrate 110 including the underlying organic light emitting diode (OLED) and may be made of an inorganic film, an organic film, or a multilayer structure thereof. A cover window 220 is located on the encapsulation layer 210 to form an organic light emitting display device.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 그래핀 옥사이드에 대한 실험예를 개시한다. 하기 실험예는 본 발명의 일 실시예일 뿐 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, experimental examples of graphene oxide according to embodiments of the present invention will be disclosed. The following experimental example is only an example of the present invention and the present invention is not limited thereto.

실험 1 : 가장자리가 산화된 Experiment 1: Edge oxidized 그래핀graphene 옥사이드oxide 증명 proof

비교예Comparative example 1 One

출발 원료의 그래파이트를 준비하였다.Graphite as a starting material was prepared.

비교예Comparative example 2 2

허머스 방법(Hummers method)을 이용하여 전체 산화된 그래핀 옥사이드를 제조하였다.Fully oxidized graphene oxide was prepared using the Hummers method.

실시예Example

저온반응조를 이용해 온도를 0℃로 낮춘 진한 황산 148ml에 흑연 3g을 300rpm으로 섞어주고 뷰렛을 이용해 천천히 70℃를 넘지 않도록 증류수 50ml를 투입한다. 이후 250ml 증류수에 혼합되어있던 과망간산 18g을 천천히 투입해준 뒤 반응조의 온도를 70℃로 높여주고 최대 24시간 동안 반응을 진행시킨다. 이후 30% 과산화수소 10ml를 투입하여 반응을 종료하고 원심분리를 이용해 1M 염산으로 15분씩 3회, 증류수로 30분씩 5회 4000rpm으로 원심분리하여 가장자리가 산화 그래파이트(EOG)를 얻는다. 수득한 가장자리가 산화 그래파이트는 0.1M 수산화나트륨에 12시간 이상 혼합해준 뒤 수조형 초음파발생기를 이용해 6시간 동안 초음파를 주사하여 박리를 진행한다. 박리된 가장자리가 산화 그래핀(LPEOG) 분산액은 4000rpm에서 1시간 동안 3회 반복하여 상등액을 걷어내는 과정을 통해 수득한다. 수득한 가장자리가 산화 그래핀 분산액은 증류수에 10회 이상 투석하여 pH를 중성에 가깝게 만들어주어 수산화나트륨을 제거해 줌으로써 가장자리가 산화 그래핀 옥사이드를 제조하였다. Using a low-temperature reaction tank, mix 3 g of graphite with 148 ml of concentrated sulfuric acid, lowered to 0°C at 300 rpm, and slowly add 50 ml of distilled water using a burette so that the temperature does not exceed 70°C. Afterwards, 18 g of permanganic acid mixed in 250 ml of distilled water was slowly added, the temperature of the reaction tank was raised to 70°C, and the reaction was allowed to proceed for up to 24 hours. Afterwards, 10 ml of 30% hydrogen peroxide was added to terminate the reaction, and then centrifuged at 4000 rpm three times for 15 minutes each with 1 M hydrochloric acid and five times for 30 minutes each with distilled water to obtain oxidized graphite (EOG). The obtained edge graphite oxide is mixed with 0.1M sodium hydroxide for more than 12 hours and then exfoliated by injecting ultrasonic waves for 6 hours using a water tank type ultrasonic generator. The exfoliated edge graphene oxide (LPEOG) dispersion is obtained by removing the supernatant three times at 4000 rpm for 1 hour. The obtained edged graphene oxide dispersion was dialyzed against distilled water more than 10 times to bring the pH close to neutral and remove sodium hydroxide to prepare edged graphene oxide.

전술한 비교예 1, 2 및 실시예에 따라 제조된 그래파이트 및 그래핀 옥사이드들을 라만(Raman), XPS(X-ray photoelectron spectroscopy), FTIR(Fourier transform infrared spectroscopy) 및 TGA(Thermogravimetric analysis) 분석하였다. 도 6은 비교예 1에 따라 제조된 그래파이트의 라만 결과이고, 도 7은 비교예 2에 따라 제조된 그래핀 옥사이드의 라만 결과이고, 도 8은 실시예에 따라 제조된 그래핀 옥사이드의 라만 결과이며, 도 9는 비교예 1, 2 및 실시예에 따라 제조된 그래파이트 및 그래핀 옥사이드들의 XPS 결과이며, 도 10은 비교예 1, 2 및 실시예에 따라 제조된 그래파이트 및 그래핀 옥사이드들의 FTIR 결과이고, 도 11은 비교예 1, 2 및 실시예에 따라 제조된 그래파이트 및 그래핀 옥사이드들의 TGA 결과이다. (도 9 내지 도 11에서, 실시예 #1, #2, #3은 실시예에 따라 각각 제조된 그래핀 옥사이드를 의미한다.) 도 12는 비교예 2에 따라 제조된 그래핀 옥사이드의 TEM 측정 결과이고, 도 13은 실시예에 따라 제조된 그래핀 옥사이드의 TEM 측정 결과이다.Graphite and graphene oxide prepared according to the above-mentioned Comparative Examples 1 and 2 and Examples were analyzed by Raman, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR), and thermogravimetric analysis (TGA). Figure 6 is the Raman result of graphite prepared according to Comparative Example 1, Figure 7 is the Raman result of graphene oxide prepared according to Comparative Example 2, and Figure 8 is the Raman result of graphene oxide prepared according to Example. , Figure 9 is the XPS results of graphite and graphene oxide prepared according to Comparative Examples 1 and 2 and Examples, and Figure 10 is the FTIR result of graphite and graphene oxide prepared according to Comparative Examples 1 and 2 and Examples. , Figure 11 is the TGA results of graphite and graphene oxide prepared according to Comparative Examples 1 and 2 and Examples. (In FIGS. 9 to 11, Examples #1, #2, and #3 refer to graphene oxide prepared according to each example.) Figure 12 is a TEM measurement of graphene oxide prepared according to Comparative Example 2. This is the result, and Figure 13 is the TEM measurement result of graphene oxide prepared according to the example.

먼저, 도 6을 참조하면 비교예 1의 그래파이트는 기저면(basal plane)과 가장자리(edge) 모두 결정화도가 0.1 미만으로 산화되지 않았음을 확인하였다. 도 7을 참조하면, 비교예 2의 전체 산화된 그래핀 옥사이드는 기저면과 가장자리 모두 결정화도가 1 이상으로 모두 산화된 것을 확인하였다. 도 8을 참조하면, 실시예의 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드는 기저면의 결정화도가 0.33이고 가장자리의 결정화도가 1.08로 나타났다. 즉, 가장자리가 산화되었고 기저면은 비교예 2에 비해 산화가 진행되지 않음을 확인할 수 있었다.First, referring to FIG. 6, it was confirmed that the graphite of Comparative Example 1 had a crystallinity of less than 0.1 on both the basal plane and the edge and was not oxidized. Referring to FIG. 7, it was confirmed that the fully oxidized graphene oxide of Comparative Example 2 was oxidized to a crystallinity of 1 or more on both the base and the edges. Referring to FIG. 8, the edge-oxidized graphene oxide of the example showed a basal plane crystallinity of 0.33 and an edge crystallinity of 1.08. In other words, it was confirmed that the edge was oxidized and the base surface was not oxidized compared to Comparative Example 2.

도 9의 (a)를 참조하면, 비교예 1은 C-C 및 C=C 탄소 결합 비율이 91%로 매우 높게 나타나 산화되지 않았음을 확인하였다. 비교예 2는 C-C 및 C=C 탄소 결합 비율이 51.6%이고 C-0H, C-O-C, C=O, C-OOH의 산소 결합 비율이 나머지 48,4%로 나타나 절반 정도 산화되었음을 확인하였다. 실시예#1 내지 #3은 C-C 및 C=C 탄소 결합 비율이 각각 72.1%, 69.5%, 66.8%이고 C-0H, C-O-C, C=O, C-OOH의 산소 결합 비율이 각각 27.9%, 30.5%, 33.2%로 나타나 일부가 산화되었음을 확인하였다. 도 9의 (b)를 참조하면, 비교예 1은 탄소 원자의 개수를 산소 원자의 개수로 나눈 값이 약 8로 산소 원자의 개수가 그만큼 적어 산화되지 않았음을 확인하였다. 비교예 2는 탄소 원자의 개수를 산소 원자의 개수로 나눈 값이 약 2로 산소 원자의 개수가 그만큼 많이 산화되었음을 확인하였다. 실시예는 탄소 원자의 개수를 산소 원자의 개수로 나눈 값이 약 3으로 산소 원자의 개수가 일부 존재하여 일부가 산화되었음을 확인하였다.Referring to (a) of Figure 9, Comparative Example 1 showed a very high C-C and C=C carbon bond ratio of 91%, confirming that it was not oxidized. In Comparative Example 2, the C-C and C=C carbon bond ratio was 51.6%, and the remaining oxygen bond ratio of C-0H, C-O-C, C=O, and C-OOH was 48.4%, confirming that it was about half oxidized. Examples #1 to #3 have C-C and C=C carbon bond ratios of 72.1%, 69.5%, and 66.8%, respectively, and oxygen bond ratios of C-0H, C-O-C, C=O, and C-OOH of 27.9% and 30.5, respectively. %, 33.2%, confirming that part of it was oxidized. Referring to (b) of FIG. 9, in Comparative Example 1, the number of carbon atoms divided by the number of oxygen atoms was about 8, confirming that the number of oxygen atoms was so small that it was not oxidized. In Comparative Example 2, the number of carbon atoms divided by the number of oxygen atoms was approximately 2, confirming that the number of oxygen atoms was significantly oxidized. In the example, the number of carbon atoms divided by the number of oxygen atoms was approximately 3, confirming that some oxygen atoms were present and some were oxidized.

도 10을 참조하면, 비교예 1은 C=O, C-O, C-O-C, C-OH 결합에 해당되는 파장에서 피크가 나타나지 않아 산화되지 않았음을 확인하였다. 비교예 2는 O-H, C=O, C-O, C-O-C, C-OH 결합에 해당되는 파장에서 피크가 크게 나타나 많이 산화되었음을 확인하였다. 실시예는 O-H, C=O, C-O, C-O-C, C-OH 결합에 해당되는 파장에서 피크가 작게 나타나 일부 산화되었음을 확인하였다.Referring to FIG. 10, it was confirmed that Comparative Example 1 was not oxidized as no peaks appeared at the wavelengths corresponding to C=O, C-O, C-O-C, and C-OH bonds. Comparative Example 2 showed large peaks at wavelengths corresponding to O-H, C=O, C-O, C-O-C, and C-OH bonds, confirming that it was heavily oxidized. In the example, it was confirmed that some oxidation occurred as peaks appeared small at the wavelengths corresponding to O-H, C=O, C-O, C-O-C, and C-OH bonds.

도 11을 참조하면, 비교예 1은 약 300℃의 온도에서 중량비가 약 100%로 나타나 산소 등의 결함이 없어 고열에 분해되지 않았고 이를 통해 산화되지 않았음을 확인하였다. 비교예 2는 약 300℃의 온도에서 중량비가 약 60%로 나타나 산소 등의 결함이 많아 고열에 분해되었고 이를 통해 많이 산화되었음을 확인하였다. 실시예는 약 300℃의 온도에서 중량비가 약 90%로 나타나 산소 등의 결함이 소량 존재하여 고열에 일부가 분해되었고 이를 통해 일부 산화되었음을 확인하였다. Referring to Figure 11, Comparative Example 1 showed a weight ratio of about 100% at a temperature of about 300°C, so it was confirmed that it did not decompose at high heat due to no defects such as oxygen and was not oxidized. In Comparative Example 2, the weight ratio was about 60% at a temperature of about 300°C, and it was confirmed that it was decomposed at high heat due to many defects such as oxygen and was greatly oxidized. In the example, the weight ratio was about 90% at a temperature of about 300°C, and it was confirmed that a small amount of defects such as oxygen were present, and some of them were decomposed at high heat and partially oxidized.

한편, 도 12를 참조하면, 비교예 2는 TEM 이미지에서 하얀 점이 나타나지 않아 결정구조의 파괴가 많이 이루어졌고, 이를 통해 많이 산화되었음을 확인하였다. 도 13을 참조하면 실시예는 TEM 이미지에서 결정 구조에서만 나타나는 하얀 점이 많이 나타났고, 이를 통해 많이 산화되지 않았음을 확인하였다. Meanwhile, referring to FIG. 12, in Comparative Example 2, no white dots appeared in the TEM image, so it was confirmed that the crystal structure was greatly destroyed, and through this, it was heavily oxidized. Referring to FIG. 13, in the TEM image of the example, many white dots appeared only in the crystal structure, confirming that there was not much oxidation.

전술한 실험 1의 결과를 통해, 본 발명의 실시예에 따라 제조된 그래핀 옥사이드는 가장자리에서 일부 산화되었음을 확인할 수 있다.Through the results of Experiment 1 described above, it can be confirmed that the graphene oxide prepared according to an example of the present invention was partially oxidized at the edges.

실험 2 : Experiment 2: 그래핀graphene 옥사이드oxide 박막의 특성 측정 Measurement of properties of thin films

전술한 비교예 2 및 실시예에 따라 제조된 그래핀 옥사이드들을 환원시킨 후, 각각 벌크(bulk)한 박막을 제조하였다. 이렇게 제조된 그래핀 옥사이드들의 투과율에 따른 면저항을 측정하여 도 14에 나타내었다.After reducing the graphene oxides prepared according to the above-described Comparative Example 2 and Example, bulk thin films were prepared, respectively. The sheet resistance according to the transmittance of the graphene oxides prepared in this way was measured and shown in Figure 14.

도 14를 참조하면, 비교예 2에 따라 제조된 그래핀 옥사이드 박막은 투과율이 높아질수록 면저항이 현저히 상승하여 약 90%의 투과율에서 약 100kΩ/sq의 면저항을 나타내었다. 반면, 실시예에 따라 제조된 그래핀 옥사이드 박막은 투과율이 높아져도 면저항의 상승이 크지 않았으며, 약 90%의 투과율에서 약 10kΩ/sq의 면저항을 나타내었다. Referring to FIG. 14, the sheet resistance of the graphene oxide thin film manufactured according to Comparative Example 2 increased significantly as the transmittance increased, showing a sheet resistance of about 100 kΩ/sq at a transmittance of about 90%. On the other hand, the graphene oxide thin film manufactured according to the example did not have a significant increase in sheet resistance even as the transmittance increased, and showed a sheet resistance of about 10 kΩ/sq at a transmittance of about 90%.

실험 2의 결과를 통해, 본 발명의 실시예에 따라 제조된 그래핀 옥사이드 박막은 투과율과 전기 전도도가 매우 우수한 것을 확인할 수 있었다.Through the results of Experiment 2, it was confirmed that the graphene oxide thin film manufactured according to an example of the present invention had very excellent transmittance and electrical conductivity.

참고로, 비교예 2 및 실시예에 따라 제조된 그래핀 옥사이드들을 약 500℃에서 환원시켜 박막을 제조한 경우, 실시예의 그래핀 옥사이드 박막은 비교예 2에 비해 약 56%(3,470S/m에서 5,440S/m로 증가) 향상된 전기 전도도 특성을 나타내었다. 비교예 2 및 실시예에 따라 제조된 그래핀 옥사이드들을 약 1100℃에서 환원시켜 박막을 제조한 경우, 실시예의 그래핀 옥사이드 박막은 비교예 2에 비해 약 70%(68,800S/m에서 120,000S/m로 증가) 향상된 전기 전도도 특성을 나타내었다. 또한, 비교예 2 및 실시예에 따라 제조된 그래핀 옥사이드들을 약 1100℃에서 환원시켜 투명 전극 박막을 제조한 경우, 실시예의 그래핀 옥사이드 박막은 약 80%의 투과율에서 비교예 2에 비해 41% 향상된 전기 전도도 특성을 나타내었다.For reference, when the graphene oxides prepared according to Comparative Example 2 and Examples were reduced at about 500 ° C to produce a thin film, the graphene oxide thin film of the Example was about 56% (at 3,470 S/m) compared to Comparative Example 2. increased to 5,440 S/m) and showed improved electrical conductivity characteristics. When thin films were produced by reducing the graphene oxides prepared according to Comparative Example 2 and Examples at about 1100°C, the graphene oxide thin films of Examples had about 70% (68,800 S/m to 120,000 S/m) compared to Comparative Example 2. m) showed improved electrical conductivity characteristics. In addition, when a transparent electrode thin film was manufactured by reducing the graphene oxides prepared according to Comparative Example 2 and Examples at about 1100 ° C., the graphene oxide thin film of Examples had a transmittance of about 80%, which was 41% compared to Comparative Example 2. It showed improved electrical conductivity properties.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드는 15.0mg/ml에 달하는 고농도로 압축이 가능하며 이를 이용해 붓을 이용한 패터닝이 가능하다.In addition, graphene oxide with oxidized edges according to an embodiment of the present invention can be compressed to a high concentration of up to 15.0 mg/ml, and patterning using a brush is possible using this.

전술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 그래핀 옥사이드 및 그 제조방법은 진한 황산에 물을 첨가하여 진한 황산 조건을 미리 깨어줌으로써, 그래파이트의 산화 반응을 느려지게 한다. 따라서, 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드를 얻을 수 있다.As described above, graphene oxide and its manufacturing method according to an embodiment of the present invention slow the oxidation reaction of graphite by adding water to concentrated sulfuric acid to break the concentrated sulfuric acid conditions in advance. Therefore, graphene oxide with oxidized edges can be obtained.

또한, 본 발명의 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드는 박막으로서 투과율과 전기 전도도가 매우 우수한 이점이 있다.In addition, the edge-oxidized graphene oxide of the present invention has the advantage of excellent transmittance and electrical conductivity as a thin film.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경과 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Through the above-described content, those skilled in the art will be able to see that various changes and modifications can be made without departing from the technical idea of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to what is described in the detailed description of the specification, but should be defined by the scope of the patent claims.

110 : 기판 120 : 반도체층
130 : 게이트 절연막 140 : 게이트 전극
150a: 소스 전극 150b: 드레인 전극
160 : 유기절연막 170 : 화소 전극
180 : 공통 전극 LC : 액정층
110: substrate 120: semiconductor layer
130: gate insulating film 140: gate electrode
150a: source electrode 150b: drain electrode
160: organic insulating film 170: pixel electrode
180: Common electrode LC: Liquid crystal layer

Claims (9)

삭제delete 삭제delete 진한 황산이 담긴 용기에 그래파이트를 분산시키고 물을 투입하는 제1 단계;
상기 용기에 과망간산칼륨을 투입하여 상기 그래파이트를 산화시키는 제2 단계;
상기 용기에 과산화수소를 투입하여 산화를 종료시키고 워싱하여 가장자리가 산화된 그래파이트를 수득하는 제3 단계; 및
상기 수득한 그래파이트를 층간 박리하여, 가장자리가 산화된 그래핀 옥사이드를 수득하는 제4 단계를 포함하되,
상기 그래파이트와 상기 물의 함량비는 1:13 내지 1:20이 되도록 상기 물을 투입하고,
상기 물을 투입하여 상기 진한 황산은 묽은 황산으로 변하고, 상기 묽은 황산의 농도는 50% 내지 60%인 그래핀 옥사이드의 제조방법.
A first step of dispersing graphite in a container containing concentrated sulfuric acid and adding water;
A second step of oxidizing the graphite by adding potassium permanganate to the container;
A third step of adding hydrogen peroxide to the container to terminate oxidation and washing to obtain graphite with oxidized edges; and
A fourth step of peeling the obtained graphite from layer to layer to obtain graphene oxide with oxidized edges,
The water is added so that the content ratio of the graphite and the water is 1:13 to 1:20,
A method of producing graphene oxide wherein the concentrated sulfuric acid is changed into dilute sulfuric acid by adding the water, and the concentration of the dilute sulfuric acid is 50% to 60%.
삭제delete 삭제delete 기판;
상기 기판 상에 배치되며, 액티브층, 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터;
상기 박막트랜지스터에 연결되며, 가장자리가 산화되어 산소 원자를 가지고 층간 박리된 그래핀 옥사이드를 포함하는 화소 전극; 및
상기 화소 전극 상에 형성되는 유기절연막을 포함하되,
상기 화소 전극은 상기 유기절연막을 관통하는 비아홀을 통해 상기 드레인 전극과 연결되는 표시장치.
Board;
A thin film transistor disposed on the substrate and including an active layer, a gate electrode, a source electrode, and a drain electrode;
a pixel electrode connected to the thin film transistor and including graphene oxide whose edges are oxidized and have oxygen atoms and are exfoliated between layers; and
An organic insulating film formed on the pixel electrode,
A display device in which the pixel electrode is connected to the drain electrode through a via hole penetrating the organic insulating film.
제6 항에 있어서,
상기 그래핀 옥사이드는 시트 형상인 표시장치.
According to clause 6,
The graphene oxide is a display device in the form of a sheet.
제6 항 또는 제7 항에 있어서,
상기 화소 전극 상에 위치하는 발광층;
상기 발광층 상에 위치하는 대향 전극;
상기 대향 전극 상에 위치하는 봉지층; 및
상기 봉지층 상에 위치하는 커버윈도우를 더 포함하는 표시장치.
According to claim 6 or 7,
A light emitting layer located on the pixel electrode;
A counter electrode located on the light emitting layer;
an encapsulation layer located on the opposing electrode; and
A display device further comprising a cover window located on the encapsulation layer.
제6 항 또는 제7 항에 있어서,
상기 화소 전극과 동일 평면 상 또는 하부에서 이격되어 위치하는 공통 전극; 및
상기 공통 전극 상에 위치하는 액정층을 더 포함하는 표시장치.
According to claim 6 or 7,
a common electrode positioned spaced apart from or below the same plane as the pixel electrode; and
A display device further comprising a liquid crystal layer located on the common electrode.
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