KR102635905B1

KR102635905B1 - Ald밸브의 정상동작 테스트 장치 및 방법

Info

Publication number: KR102635905B1
Application number: KR1020230171990A
Authority: KR
Inventors: 심광현
Original assignee: 디에스이테크 주식회사
Priority date: 2023-12-01
Filing date: 2023-12-01
Publication date: 2024-02-13

Abstract

본 발명은 ALD밸브의 정상동작 테스트 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 메모리(memory) 및 상기 메모리와 연결된 프로세서(processor)를 포함하고, 상기 프로세서는, ALD밸브의 동작을 제어하는 액츄에이터에 연결되어 유체의 공급을 제어하는 제1 밸브에게 상기 액츄에이터에 상기 유체의 공급을 나타내는 유체공급신호를 송신하고, 상기 유체공급신호를 송신하는 제1 시간을 확인하고, 상기 액츄에이터 내부의 유량을 측정하는 제1 센서로부터 상기 유체공급신호에 따라 액츄에이터 내부의 유량이 변화하는 제2 시간에 대한 정보를 수신하고, 상기 제1 시간 및 상기 제2 시간의 차이를 나타내는 제3 시간을 기반으로 신호전달안정성을 판단할 수 있다.

Description

ALD밸브의 정상동작 테스트 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR TESTING NORMAL OPERATION OF ALD VALVE}

본 발명은 ALD밸브의 정상동작 테스트 장치 및 방법에 관한 것이다.

본 명세서에서 달리 표시되지 않는 한, 이 섹션에 설명되는 내용들은 이 출원의 청구항들에 대한 종래 기술이 아니며, 이 섹션에 포함된다고 하여 종래 기술이라고 인정되는 것은 아니다.

ALD(Atomic Layer Deposition)란 원자층 증착이란 기술로써, 반도체 소자 제조에 사용되는 방법을 말한다. 지금까지 반도체 소자 제조에 PVD 또는 CVD 기술이 이용되었으나, 이러한 기존의 기술은 선폭 90nm 이하의 나노급 초고집적 소자 제조에 적용하기에는 한계가 있었고, 이에, ALD가 반도체 제조에 필수적인 기술로 주목받고 있다.

ALD는 원료의 공급을 제어하는 밸브의 성능에 따라 성공여부가 좌우되기 때문에 밸브의 적절한 제어 및 관리가 매우 중요하다.

이에, 본 발명에서는 ALD에 사용되는 ALD밸브의 정상동작을 테스트할 수 있는 기술을 제안하고자 한다.

한국등록특허 제10-2166660호 (2020.10.12.)

본 발명의 일 실시예는 ALD밸브의 정상동작 테스트 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 메모리(memory) 및 상기 메모리와 연결된 프로세서(processor)를 포함하고, 상기 프로세서는, ALD밸브의 동작을 제어하는 액츄에이터에 연결되어 유체의 공급을 제어하는 제1 밸브에게 상기 액츄에이터에 상기 유체의 공급을 나타내는 유체공급신호를 송신하고, 상기 유체공급신호를 송신하는 제1 시간을 확인하고, 상기 액츄에이터 내부의 유량을 측정하는 제1 센서로부터 상기 유체공급신호에 따라 액츄에이터 내부의 유량이 변화하는 제2 시간에 대한 정보를 수신하고, 상기 제1 시간 및 상기 제2 시간의 차이를 나타내는 제3 시간을 기반으로 신호전달안정성을 판단할 수 있다.

이 때, 상기 프로세서는, 상기 유체공급신호와 상기 유체의 공급중단을 나타내는 유체공급중단신호를 기설정된 제1 주기로 반복하여 상기 제1 밸브에게 송신하고, 현재시점을 기준으로 상기 제1 주기별 상기 제3 시간을 기설정된 제1 개수만큼 추출하여, 제1 평균시간차이를 도출하고, 상기 제1 평균시간차이와 기설정된 임계시간차이를 비교하여, 상기 제1 평균시간차이가 상기 임계시간차이를 초과하는 경우, 상기 신호전달안정성이 낮은 것으로 판단하고, 관리자가 사용하는 사용자단말에게 신호전달체계의 점검요청을 나타내는 점검요청정보를 송신할 수 있다.

이 때, 상기 프로세서는, 상기 제1 밸브 및 상기 제1 센서의 스펙에 기반하여 기설정되는 스펙기준시간차이와 과거이력에 기반하는 전체 상기 제3 시간의 평균으로 도출되는 제2 평균시간차이를 기반으로 상기 임계시간차이를 도출할 수 있다.

이 때, 상기 임계시간차이는, 아래 수학식에 의하여 도출되되,

ctd는 상기 임계시간차이를 의미하고, a는 상기 스펙기준시간차이를 의미하고, b는 상기 제2 평균시간차이를 의미할 수 있다.

이 때, 상기 프로세서는, 상기 제1 센서로부터 상기 액츄에이터 내부의 유량을 나타내는 제1 유량정보를 수신하고, 상기 제1 유량정보를 기반으로 시간의 흐름에 따른 유량의 변화를 나타내는 제1 유량그래프를 도출하고, 상기 제1 밸브에 연결되어 유체를 공급하는 호스의 유량을 측정하는 제2 센서로부터 제2 유량정보를 수신하고, 상기 제2 유량정보를 기반으로 시간의 흐름에 따른 유량의 변화를 나타내는 제2 유량그래프를 도출하고, 상기 제1 유량그래프 및 상기 제2 유량그래프를 기반으로 상기 액츄에이터의 균열여부를 판단할 수 있다.

이 때, 상기 프로세서는, 상기 제1 유량그래프 및 상기 제2 유량그래프를 상기 제1 주기별로 구분하고, 동일한 상기 제1 주기 동안의 상기 제1 유량그래프에서 도출되는 제1 총유량과 상기 제2 유량그래프에서 도출되는 제2 총유량의 차이를 나타내는 제1 총유량차이를 도출하고, 상기 제1 총유량차이와 기설정된 임계총유량차이를 비교하여 상기 액츄에이터의 균열여부를 판단할 수 있다.

이 때, 상기 프로세서는, 상기 제1 총유량차이와 상기 임계총유량차이의 비율을 나타내는 총유량차이비율을 도출하고, 상기 총유량차이비율이 기설정된 정상비율과 오차범위 이내인 경우, 상기 액츄에이터에 균열이 발생하지 않은 것으로 판단하고, 상기 총유량차이비율이 상기 정상비율과 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 액츄에이터에 균열이 발생한 것으로 판단하여, 상기 사용자단말에게 상기 액츄에이터의 균열발생여부의 점검을 나타내는 균열점검정보를 송신할 수 있다.

이 때, 상기 임계총유량차이는, 아래 수학식에 의하여 도출되되,

ctfd는 상기 임계총유량차이를 의미하고, n은 기설정된 제2 개수를 의미하고, f1(t)는 상기 제1 유량그래프를 의미하고, f2(t)는 상기 제2 유량그래프를 의미하고, t0_i는 i번째 상기 제1 주기의 시작시간을 의미하고, t1_i는 i번째 상기 제1 주기의 종료시간을 의미하고, t3_i는 i번째 상기 제1 주기의 상기 제3 시간을 의미할 수 있다.

이 때, 상기 총유량차이비율은, 아래 수학식에 의하여 도출되되,

rtfd는 상기 총유량차이비율을 의미하고, ctfd는 상기 임계총유량차이를 의미하고, t0_p는 현재시점의 상기 제1 주기의 시작시간을 의미하고, t1_p는 현재시점의 상기 제1 주기의 종료시간을 의미하고, t3_p는 현재시점의 상기 제1 주기의 상기 제3 시간을 의미할 수 있다.

이 때, 상기 프로세서는, 상기 총유량차이비율이 상기 정상비율과 오차범위를 벗어나는 경우, 현재시점을 기준으로 이전 제1 주기의 제2 총유량차이를 기설정된 제3 개수만큼 추출하여 제1 총유량평균을 도출하고, 현재시점을 기준으로 이후 제1 주기의 제3 총유량차이를 상기 제3 개수만큼 추출하여 제2 총유량평균을 도출하고, 상기 제2 총유량평균과 상기 제1 총유량평균의 비율이 상기 정상비율과 상기 오차범위 이내인 경우, 상기 액츄에이터의 균열이 일시적인 것임을 나타내는 일시균열정보를 상기 사용자단말에게 송신하고, 상기 제2 총유량평균과 상기 제1 총유량평균의 비율이 상기 정상비율과 상기 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 액츄에이터의 균열이 확실한 것임을 나타내는 확정균열정보를 상기 사용자단말에게 송신할 수 있다.

이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따르면, ALD밸브의 정상동작 테스트 장치 및 방법을 제공할 수 있다.

본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 특정한 바람직한 실시예들의 상기에서 설명한 바와 같은 또한 다른 측면들과, 특징들 및 이득들은 첨부 도면들과 함께 처리되는 하기의 설명으로부터 보다 명백하게 될 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 ALD밸브의 정상동작 테스트 장치의 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 신호전달 시간차를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 유량그래프 및 제2 유량그래프를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 유량그래프와 제2 유량그래프의 제3 시간 차이를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 일시균열 또는 확정균열의 예시를 나타내는 그래프이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 ALD밸브의 정상동작 테스트 방법의 흐름도이다.
상기 도면들을 통해, 유사 참조 번호들은 동일한 혹은 유사한 엘리먼트들과, 특징들 및 구조들을 도시하기 위해 사용된다는 것에 유의해야만 한다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.

마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

이때, 처리 흐름도 도면들의 각 블록과 흐름도 도면들의 조합들은 컴퓨터 프로그램 인스트럭션들에 의해 수행될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 이들 컴퓨터 프로그램 인스트럭션들은 범용 컴퓨터, 특수용 컴퓨터 또는 기타 프로그램 가능한 데이터 프로세싱 장비의 프로세서에 탑재될 수 있으므로, 컴퓨터 또는 기타 프로그램 가능한 데이터 프로세싱 장비의 프로세서를 통해 수행되는 그 인스트럭션들이 흐름도 블록(들)에서 설명된 기능들을 수행하는 수단을 생성하게 된다. 이들 컴퓨터 프로그램 인스트럭션들은 특정 방식으로 기능을 구현하기 위해 컴퓨터 또는 기타 프로그램 가능한 데이터 프로세싱 장비를 지향할 수 있는 컴퓨터 이용 가능 또는 컴퓨터 판독 가능 메모리에 저장되는 것도 가능하므로, 그 컴퓨터 이용가능 또는 컴퓨터 판독 가능 메모리에 저장된 인스트럭션들은 흐름도 블록(들)에서 설명된 기능을 수행하는 인스트럭션 수단을 내포하는 제조 품목을 생산하는 것도 가능하다. 컴퓨터 프로그램 인스트럭션들은 컴퓨터 또는 기타 프로그램 가능한 데이터 프로세싱 장비 상에 탑재되는 것도 가능하므로, 컴퓨터 또는 기타 프로그램 가능한 데이터 프로세싱 장비 상에서 일련의 동작 단계들이 수행되어 컴퓨터로 실행되는 프로세스를 생성해서 컴퓨터 또는 기타 프로그램 가능한 데이터 프로세싱 장비를 수행하는 인스트럭션들은 흐름도 블록(들)에서 설명된 기능들을 실행하기 위한 단계들을 제공하는 것도 가능하다.

또한, 각 블록은 특정된 논리적 기능(들)을 실행하기 위한 하나 이상의 실행 가능한 인스트럭션들을 포함하는 모듈, 세그먼트 또는 코드의 일부를 나타낼 수 있다. 또, 몇 가지 대체 실행 예들에서는 블록들에서 언급된 기능들이 순서를 벗어나서 발생하는 것도 가능함을 주목해야 한다. 예컨대, 잇달아 도시되어 있는 두 개의 블록들은 사실 실질적으로 동시에 수행되는 것도 가능하고 또는 그 블록들이 때때로 해당하는 기능에 따라 역순으로 수행되는 것도 가능하다.

이 때, 본 실시 예에서 사용되는 '~부'라는 용어는 소프트웨어 또는 FPGA(field-Programmable Gate Array) 또는 ASIC(Application Specific Integrated Circuit)과 같은 하드웨어 구성요소를 의미하며, '~부'는 어떤 역할들을 수행한다. 그렇지만 '~부'는 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. '~부'는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. 따라서, 일 예로서 '~부'는 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들, 및 변수들을 포함한다. 구성요소들과 '~부'들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소들 및 '~부'들로 결합되거나 추가적인 구성요소들과 '~부'들로 더 분리될 수 있다. 뿐만 아니라, 구성요소들 및 '~부'들은 디바이스 또는 보안 멀티미디어카드 내의 하나 또는 그 이상의 CPU들을 재생시키도록 구현될 수도 있다.

본 발명의 실시예들을 구체적으로 설명함에 있어서, 특정 시스템의 예를 주된 대상으로 할 것이지만, 본 명세서에서 청구하고자 하는 주요한 요지는 유사한 기술적 배경을 가지는 여타의 통신 시스템 및 서비스에도 본 명세서에 개시된 범위를 크게 벗어나지 아니하는 범위에서 적용 가능하며, 이는 당해 기술분야에서 숙련된 기술적 지식을 가진 자의 판단으로 가능할 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 ALD밸브의 정상동작 테스트 장치의 개념도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 ALD밸브의 정상동작 테스트 장치는 ALD밸브 구동에 필요한 유체의 공급을 제어하는 제1 밸브의 명령 시간과 ALD밸브의 유체의 전달시간을 기반으로 신호전달안정성을 평가할 수 있고, 문제가 있는 것으로 판단되는 경우, 관리자가 사용하는 사용자단말로 장비들을 점검하도록 할 수 있다.

한편, ALD밸브의 정상동작 테스트 장치는 본 발명에서 '전자 장치(100)'로 호칭될 수도 있다.

이 때, 사용자단말(200)은 통신 가능한 데스크탑 컴퓨터(desktop computer), 랩탑 컴퓨터(laptop computer), 노트북(notebook), 스마트폰(smart phone), 태블릿 PC(tablet PC), 모바일폰(mobile phone), 스마트 워치(smart watch), 스마트 글래스(smart glass), e-book 리더기, PMP(portable multimedia player), 휴대용 게임기, 네비게이션(navigation) 장치, 디지털 카메라(digital camera), DMB(digital multimedia broadcasting) 재생기, 디지털 음성 녹음기(digital audio recorder), 디지털 음성 재생기(digital audio player), 디지털 동영상 녹화기(digital video recorder), 디지털 동영상 재생기(digital video player), PDA(Personal Digital Assistant) 등을 포함할 수 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(100)의 블록도이다.

일 실시예에 따른 전자 장치(100)는 프로세서(110) 및 메모리(120)를 포함한다. 프로세서(110)는 전술한 적어도 하나의 방법을 수행할 수 있다. 메모리(120)는 상술한 방법과 관련된 정보를 저장하거나 상술한 방법이 구현된 프로그램을 저장할 수 있다. 메모리(120)는 휘발성 메모리 또는 비휘발성 메모리일 수 있다. 메모리(120)는 '데이터베이스', '저장부' 등으로 호칭될 수 있다.

프로세서(110)는 프로그램을 실행하고, 전자 장치(100)를 제어할 수 있다. 프로세서(110)에 의하여 실행되는 프로그램의 코드는 메모리(120)에 저장될 수 있다. 장치(100)는 입출력 장치(미도시)를 통하여 외부 장치(예를 들어, 퍼스널 컴퓨터 또는 네트워크)에 연결되고, 데이터를 교환할 수 있다.

이 때, 상기 프로세서(110)는, ALD밸브의 동작을 제어하는 액츄에이터에 연결되어 유체의 공급을 제어하는 제1 밸브에게 상기 액츄에이터에 상기 유체의 공급을 나타내는 유체공급신호를 송신할 수 있다.

상기 제1 밸브는 2/3way 솔레노이드 밸브일 수 있으며, 상기 ALD밸브의 동작을 위하여 액츄에이터에 유체의 공급을 제어할 수 있다.

또한, 상기 프로세서(110)는, 상기 유체공급신호를 송신하는 제1 시간을 확인할 수 있다.

또한, 상기 프로세서(110)는, 상기 액츄에이터 내부의 유량을 측정하는 제1 센서로부터 상기 유체공급신호에 따라 액츄에이터 내부의 유량이 변화하는 제2 시간에 대한 정보를 수신할 수 있다.

또한, 상기 프로세서(110)는, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제1 시간 및 상기 제2 시간의 차이를 나타내는 제3 시간을 기반으로 신호전달안정성을 판단할 수 있다.

ALD밸브는 빠른 동작을 위하여 빠른 제어가 가능해야 하므로, 상기 제1 시간 및 상기 제2 시간의 차이가 길어질 수록 성능이 저하되기 때문에, 적절한 시간차이 이내로 동작하는지를 지속적으로 모니터링할 필요가 있기 때문이다.

보다 상세하게 살펴보면, 상기 프로세서(110)는, 상기 유체공급신호와 상기 유체의 공급중단을 나타내는 유체공급중단신호를 기설정된 제1 주기로 반복하여 상기 제1 밸브에게 송신할 수 있다.

이 때, 상기 제1 주기는 ALD밸브 제어에 필요한 시간간격으로 설정될 수 있으며, 예를 들면, 7ms 이내로 설정됨이 바람직하다.

또한, 상기 프로세서(110)는, 현재시점을 기준으로 상기 제1 주기별 상기 제3 시간을 기설정된 제1 개수만큼 추출하여, 제1 평균시간차이를 도출할 수 있다.

이 때, 상기 제1 개수는 본 발명의 관리자가 임의로 설정할 수 있으며 예를 들면, 10개 또는 100개로 설정될 수 있다.

또한, 상기 프로세서(110)는, 상기 제1 평균시간차이와 기설정된 임계시간차이를 비교하여, 상기 제1 평균시간차이가 상기 임계시간차이를 초과하는 경우, 상기 신호전달안정성이 낮은 것으로 판단하고, 관리자가 사용하는 사용자단말에게 신호전달체계의 점검요청을 나타내는 점검요청정보를 송신할 수 있다.

상기 임계시간차이와 관련하여 보다 상세하게 살펴보면, 상기 프로세서(110)는, 상기 제1 밸브 및 상기 제1 센서의 스펙에 기반하여 기설정되는 스펙기준시간차이와 과거이력에 기반하는 전체 상기 제3 시간의 평균으로 도출되는 제2 평균시간차이를 기반으로 상기 임계시간차이를 도출할 수 있다.

이 때, 상기 스펙기준시간차이는 상기 제1 밸브의 동작신호에 따른 동작 시간과 상기 제1 센서의 유량 측정에 따른 정보 송신시간에 대한 데이터시트를 통하여 본 발명의 관리자에 의해 설정될 수 있다.

이 때, 상기 임계시간차이는, 아래 수학식 1에 의하여 도출될 수 있다.

[수학식 1]

이 때, ctd는 상기 임계시간차이를 의미하고, a는 상기 스펙기준시간차이를 의미하고, b는 상기 제2 평균시간차이를 의미할 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 유량그래프 및 제2 유량그래프를 나타내는 도면이다.

상기 ALD밸브의 동작을 제어하는 액츄에이터에 균열이 발생한 경우, 정확하고 정밀한 동작이 어려울 수 있다. 따라서, 액츄에이터에 균열이 발생하였는지를 실시간으로 모니터링하고 감지할 필요가 있다.

이를 위하여, 도 4를 참조하면, 상기 프로세서(110)는, 상기 제1 센서로부터 상기 액츄에이터 내부의 유량을 나타내는 제1 유량정보를 수신하고, 상기 제1 유량정보를 기반으로 시간의 흐름에 따른 유량의 변화를 나타내는 제1 유량그래프를 도출하고, 상기 제1 밸브에 연결되어 유체를 공급하는 호스의 유량을 측정하는 제2 센서로부터 제2 유량정보를 수신하고, 상기 제2 유량정보를 기반으로 시간의 흐름에 따른 유량의 변화를 나타내는 제2 유량그래프를 도출하고, 상기 제1 유량그래프 및 상기 제2 유량그래프를 기반으로 상기 액츄에이터의 균열여부를 판단할 수 있다.

이 때, 제2 센서는 MFM(Mass Flow Meter) 즉, 질량 유량 측정기일 수 있으며, 경로상에 흐르는 유체의 양을 측정하는 센서일 수 있다.

이 때, 상기 프로세서(110)는, 상기 제1 유량그래프 및 상기 제2 유량그래프를 상기 제1 주기별로 구분하고, 동일한 상기 제1 주기 동안의 상기 제1 유량그래프에서 도출되는 제1 총유량과 상기 제2 유량그래프에서 도출되는 제2 총유량의 차이를 나타내는 제1 총유량차이를 도출하고, 상기 제1 총유량차이와 기설정된 임계총유량차이를 비교하여 상기 액츄에이터의 균열여부를 판단할 수 있다.

이 때, 상기 프로세서(110)는, 상기 제1 총유량차이와 상기 임계총유량차이의 비율을 나타내는 총유량차이비율을 도출하고, 상기 총유량차이비율이 기설정된 정상비율과 오차범위 이내인 경우, 상기 액츄에이터에 균열이 발생하지 않은 것으로 판단하고, 상기 총유량차이비율이 상기 정상비율과 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 액츄에이터에 균열이 발생한 것으로 판단하여, 상기 사용자단말에게 상기 액츄에이터의 균열발생여부의 점검을 나타내는 균열점검정보를 송신할 수 있다.

이 때, 상기 정상비율은 상기 제1 총유량차이와 상기 임계총유량차이와 차이가 없는 것이 정상적인 것이므로 1로 설정될 수 있고, 상기 오차범위는 본 발명의 관리자가 임의로 설정하되 10%내외로 설정됨이 바람직하다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 유량그래프와 제2 유량그래프의 제3 시간 차이를 나타내는 도면이다.

도 5를 참조하면, 상기 제1 유량그래프와 상기 제2 유량그래프는 상술한 바와 같이 시간차이가 발생할 수 이를 보정하여 총유량차이를 도출하는 것이 바람직하다.

이에, 상기 임계총유량차이는, 아래 수학식 2에 의하여 도출될 수 있다.

[수학식 2]

이 때, ctfd는 상기 임계총유량차이를 의미하고, n은 기설정된 제2 개수를 의미하고, f1(t)는 상기 제1 유량그래프를 의미하고, f2(t)는 상기 제2 유량그래프를 의미하고, t0_i는 i번째 상기 제1 주기의 시작시간을 의미하고, t1_i는 i번째 상기 제1 주기의 종료시간을 의미하고, t3_i는 i번째 상기 제1 주기의 상기 제3 시간을 의미할 수 있다.

이 때, 상기 제2 개수는, 본 발명의 관리자에 의하여 임의로 설정될 수 있고, 상기 임계총유량차이의 정확성을 위하여 크게 설정하는 것이 바람직하다. 이에, 예를 들면, 10000개 또는 100000개 등으로 설정될 수 있다.

또한, 상기 총유량차이비율은, 아래 수학식 3에 의하여 도출될 수 있다.

[수학식 3]

이 때, rtfd는 상기 총유량차이비율을 의미하고, ctfd는 상기 임계총유량차이를 의미하고, t0_p는 현재시점의 상기 제1 주기의 시작시간을 의미하고, t1_p는 현재시점의 상기 제1 주기의 종료시간을 의미하고, t3_p는 현재시점의 상기 제1 주기의 상기 제3 시간을 의미할 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 일시균열 또는 확정균열의 예시를 나타내는 그래프이다.

도 6을 참조하면, 총유량차이가 일시적 오류 또는 다른 일시적인 이유로 발생할 수 있다. 관리자가 ALD밸브를 점검하는 경우에 모든 공정을 멈춰야 하는데, 생산이 중단되면 그 만큼 손실이 발생할 수 있기 때문에, 점검하는 것은 신중해야 한다.

따라서, 상기 균열점검정보를 송신하되, 해당 균열이 일시적으로 발생한 것인지 아니면 확정적으로 발생한 것인지를 다시 한번 재점검할 필요가 있다.

이를 위하여, 상기 프로세서(110)는, 상기 총유량차이비율이 상기 정상비율과 오차범위를 벗어나는 경우, 현재시점을 기준으로 이전 제1 주기의 제2 총유량차이를 기설정된 제3 개수만큼 추출하여 제1 총유량평균을 도출할 수 있다.

이 때, 상기 제3 개수는 현재 총유량차이가 일시적인 것인지 확정적인 것인지 판단하기 위한 기준으로써, 본 발명의 관리자에 의하여 임의로 설정될 수도 있고, 상기 제1 개수와 동일하게 설정될 수도 있다.

또한, 상기 프로세서(110)는, 현재시점을 기준으로 이후 제1 주기의 제3 총유량차이를 상기 제3 개수만큼 추출하여 제2 총유량평균을 도출하고, 상기 제2 총유량평균과 상기 제1 총유량평균의 비율이 상기 정상비율과 상기 오차범위 이내인 경우, 상기 액츄에이터의 균열이 일시적인 것임을 나타내는 일시균열정보를 상기 사용자단말에게 송신하고, 상기 제2 총유량평균과 상기 제1 총유량평균의 비율이 상기 정상비율과 상기 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 액츄에이터의 균열이 확실한 것임을 나타내는 확정균열정보를 상기 사용자단말에게 송신할 수 있다.

도 6에 도시된 case1은 상기 제2 총유량평균과 상기 제1 총유량평균의 비율이 상기 정상비율과 상기 오차범위 이내인 경우를 나타내는 예시이며, case2는 상기 제2 총유량평균과 상기 제1 총유량평균의 비율이 상기 정상비율과 상기 오차범위를 벗어나는 경우를 나타내는 예시이다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 ALD밸브의 정상동작 테스트 방법의 흐름도이다.

도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 ALD밸브의 정상동작 테스트 방법은 ALD밸브의 동작을 제어하는 액츄에이터에 연결되어 유체의 공급을 제어하는 제1 밸브에게 상기 액츄에이터에 상기 유체의 공급을 나타내는 유체공급신호를 송신할 수 있다(S101).

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 ALD밸브의 정상동작 테스트 방법은 상기 유체공급신호를 송신하는 제1 시간을 확인할 수 있다(S103).

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 ALD밸브의 정상동작 테스트 방법은 상기 액츄에이터 내부의 유량을 측정하는 제1 센서로부터 상기 유체공급신호에 따라 액츄에이터 내부의 유량이 변화하는 제2 시간에 대한 정보를 수신할 수 있다(S105).

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 ALD밸브의 정상동작 테스트 방법은 상기 제1 시간 및 상기 제2 시간의 차이를 나타내는 제3 시간을 기반으로 신호전달안정성을 판단할 수 있다(S107).

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 ALD밸브의 정상동작 테스트 방법은 도 1 내지 도 6에 개시된 ALD밸브의 정상동작 테스트 장치와 동일하게 구성될 수 있다.

이상에서 설명된 실시예들은 하드웨어 구성요소, 소프트웨어 구성요소, 및/또는 하드웨어 구성요소 및 소프트웨어 구성요소의 조합으로 구현될 수 있다. 예를 들어, 실시예들에서 설명된 장치, 방법 및 구성요소는, 예를 들어, 프로세서, 컨트롤러, ALU(arithmetic logic unit), 디지털 신호 프로세서(digital signal processor), 마이크로컴퓨터, FPGA(field programmable gate array), PLU(programmable logic unit), 마이크로프로세서, 또는 명령(instruction)을 실행하고 응답할 수 있는 다른 어떠한 장치와 같이, 하나 이상의 범용 컴퓨터 또는 특수 목적 컴퓨터를 이용하여 구현될 수 있다. 처리 장치는 운영 체제(OS) 및 상기 운영 체제 상에서 수행되는 하나 이상의 소프트웨어 애플리케이션을 수행할 수 있다. 또한, 처리 장치는 소프트웨어의 실행에 응답하여, 데이터를 접근, 저장, 조작, 처리 및 생성할 수도 있다. 이해의 편의를 위하여, 처리 장치는 하나가 사용되는 것으로 설명된 경우도 있지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는, 처리 장치가 복수 개의 처리 요소(processing element) 및/또는 복수 유형의 처리 요소를 포함할 수 있음을 알 수 있다. 예를 들어, 처리 장치는 복수 개의 프로세서 또는 하나의 프로세서 및 하나의 콘트롤러를 포함할 수 있다. 또한, 병렬 프로세서(parallel processor)와 같은, 다른 처리 구성(processing configuration)도 가능하다.

실시예에 따른 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 실시예를 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다. 상기된 하드웨어 장치는 실시예의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.

소프트웨어는 컴퓨터 프로그램(computer program), 코드(code), 명령(instruction), 또는 이들 중 하나 이상의 조합을 포함할 수 있으며, 원하는 대로 동작하도록 처리 장치를 구성하거나 독립적으로 또는 결합적으로(collectively) 처리 장치를 명령할 수 있다. 소프트웨어 및/또는 데이터는, 처리 장치에 의하여 해석되거나 처리 장치에 명령 또는 데이터를 제공하기 위하여, 어떤 유형의 기계, 구성요소(component), 물리적 장치, 가상 장치(virtual equipment), 컴퓨터 저장 매체 또는 장치, 또는 전송되는 신호 파(signal wave)에 영구적으로, 또는 일시적으로 구체화(embody)될 수 있다. 소프트웨어는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템 상에 분산되어서, 분산된 방법으로 저장되거나 실행될 수도 있다. 소프트웨어 및 데이터는 하나 이상의 컴퓨터 판독 가능 기록 매체에 저장될 수 있다.

이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.

Claims

전자 장치에 있어서,
메모리(memory); 및
상기 메모리와 연결된 프로세서(processor); 를 포함하고,
상기 프로세서는:
ALD밸브의 동작을 제어하는 액츄에이터에 연결되어 유체의 공급을 제어하는 제1 밸브에게 상기 액츄에이터에 상기 유체의 공급을 나타내는 유체공급신호를 송신하고,
상기 유체공급신호를 송신하는 제1 시간을 확인하고,
상기 액츄에이터 내부의 유량을 측정하는 제1 센서로부터 상기 유체공급신호에 따라 액츄에이터 내부의 유량이 변화하는 제2 시간에 대한 정보를 수신하고,
상기 제1 시간 및 상기 제2 시간의 차이를 나타내는 제3 시간을 기반으로 신호전달안정성을 판단하는 것을 특징으로 하는, 전자 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 프로세서는,
상기 유체공급신호와 상기 유체의 공급중단을 나타내는 유체공급중단신호를 기설정된 제1 주기로 반복하여 상기 제1 밸브에게 송신하고,
현재시점을 기준으로 상기 제1 주기별 상기 제3 시간을 기설정된 제1 개수만큼 추출하여, 제1 평균시간차이를 도출하고,
상기 제1 평균시간차이와 기설정된 임계시간차이를 비교하여, 상기 제1 평균시간차이가 상기 임계시간차이를 초과하는 경우, 상기 신호전달안정성이 낮은 것으로 판단하고,
관리자가 사용하는 사용자단말에게 신호전달체계의 점검요청을 나타내는 점검요청정보를 송신하는 것을 특징으로 하는, 전자 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 프로세서는,
상기 제1 밸브 및 상기 제1 센서의 스펙에 기반하여 기설정되는 스펙기준시간차이와 과거이력에 기반하는 전체 상기 제3 시간의 평균으로 도출되는 제2 평균시간차이를 기반으로 상기 임계시간차이를 도출하는 것을 특징으로 하는, 전자 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 프로세서는,
상기 제1 센서로부터 상기 액츄에이터 내부의 유량을 나타내는 제1 유량정보를 수신하고,
상기 제1 유량정보를 기반으로 시간의 흐름에 따른 유량의 변화를 나타내는 제1 유량그래프를 도출하고,
상기 제1 밸브에 연결되어 유체를 공급하는 호스의 유량을 측정하는 제2 센서로부터 제2 유량정보를 수신하고,
상기 제2 유량정보를 기반으로 시간의 흐름에 따른 유량의 변화를 나타내는 제2 유량그래프를 도출하고,
상기 제1 유량그래프 및 상기 제2 유량그래프를 기반으로 상기 액츄에이터의 균열여부를 판단하는 것을 특징으로 하는, 전자 장치.
청구항 4에 있어서,
상기 프로세서는,
상기 제1 유량그래프 및 상기 제2 유량그래프를 상기 제1 주기별로 구분하고,
동일한 상기 제1 주기 동안의 상기 제1 유량그래프에서 도출되는 제1 총유량과 상기 제2 유량그래프에서 도출되는 제2 총유량의 차이를 나타내는 제1 총유량차이를 도출하고,
상기 제1 총유량차이와 기설정된 임계총유량차이를 비교하여 상기 액츄에이터의 균열여부를 판단하는 것을 특징으로 하는, 전자 장치.