KR102623221B1 - Pressure sensor unit - Google Patents
Pressure sensor unit Download PDFInfo
- Publication number
- KR102623221B1 KR102623221B1 KR1020210180541A KR20210180541A KR102623221B1 KR 102623221 B1 KR102623221 B1 KR 102623221B1 KR 1020210180541 A KR1020210180541 A KR 1020210180541A KR 20210180541 A KR20210180541 A KR 20210180541A KR 102623221 B1 KR102623221 B1 KR 102623221B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- fluid
- pressure
- pressure sensor
- cap
- sensor unit
- Prior art date
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 138
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 3
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 18
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 13
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 13
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
- G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
- G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
- G01L7/082—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type construction or mounting of diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0609—Pressure pulsation damping arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
Abstract
압력 센서 유닛이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른, 유체의 압력을 측정하는 압력 센서 유닛은, 하우징; 상기 하우징 일단에 마련되며, 내부에 유체를 도입하는 유체 도입로와, 상기 유체의 압력에 따라 변형되는 다이어프램과, 상기 다이어프램의 변형을 측정하는 압력 센서가 마련된 포트부; 및 상기 하우징 내부에 마련되며, 상기 압력 센서의 신호를 처리하는 회로기판; 상기 하우징의 타단에 마련되며, 상기 회로기판으로부터 상기 압력 센서 신호를 전달받아 외부 기기로 전달하는 커넥터부; 포함하고, 상기 포트부는, 상기 유체 도입로와 유체연통 가능하도록 상기 포트부의 상기 다이어프램의 반대측에 장착되어 상기 유체 도입로에서의 유체의 압력을 조절하는 압력 조절 캡;을 포함할 수 있다.A pressure sensor unit is disclosed. According to an embodiment of the present invention, a pressure sensor unit that measures fluid pressure includes a housing; a port portion provided at one end of the housing and provided with a fluid introduction path for introducing fluid into the interior, a diaphragm that is deformed according to the pressure of the fluid, and a pressure sensor that measures deformation of the diaphragm; and a circuit board provided inside the housing and processing signals from the pressure sensor. a connector portion provided at the other end of the housing and receiving the pressure sensor signal from the circuit board and transmitting it to an external device; The port portion may include a pressure control cap that is mounted on the opposite side of the diaphragm of the port portion to enable fluid communication with the fluid introduction passage and adjusts the pressure of the fluid in the fluid introduction passage.
Description
본 발명은 압력 센서 유닛에 관한 것이다. 더 자세하게는, 체결 상대물에 체결되는 압력 센서 유닛에서, 급격한 압력 상승으로 상기 압력 센서 유닛의 다이어프램이 손상되는 것을 방지하기 위한 압력 조절 캡을 구비하는 압력 센서 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure sensor unit. More specifically, it relates to a pressure sensor unit that is fastened to a fastening partner and has a pressure control cap to prevent the diaphragm of the pressure sensor unit from being damaged due to a sudden increase in pressure.
압력 센서 유닛은 압력을 감지해서 전기 신호로 변환시키는 센서로서, 가전 제품을 비롯하여 자동차, 의료기기, 환경 제어와 산업체의 시스템 제어 등에서 광범위하게 응용되고 있다. 이 중 자동차 또는 선박에 적용되는 압력 센서 유닛은 기계식에서 반도체 및 MEMS형으로 전환되어왔다. MEMS형 압력 센서는 실리콘 멤브레인(membrane) 또는 다이어프램(diaphragm)의 얇은 막이 외부 압력에 따라 휘는 정도를 감지하여 신호로 변환하여 압력을 측정한다.A pressure sensor unit is a sensor that detects pressure and converts it into an electrical signal, and is widely used in home appliances, automobiles, medical devices, environmental control, and industrial system control. Among these, pressure sensor units applied to automobiles or ships have been converted from mechanical types to semiconductor and MEMS types. A MEMS-type pressure sensor measures pressure by detecting the degree to which a thin silicon membrane or diaphragm bends according to external pressure and converting it into a signal.
또한, 자동차 또는 선박에 적용되는 압력 센서 유닛은 가혹한 환경에서 높은 신뢰성이 보장되어야 한다. 뿐만 아니라, 자동차 또는 선박은 주행 경로의 외부적인 환경에 의해 진동 및 충격이 빈번하게 발생한다. 이러한 물리적인 외력에도 안정적으로 압력을 측정하여 출력해야 하는 높은 수준의 요구조건을 만족해야 한다.Additionally, pressure sensor units applied to automobiles or ships must ensure high reliability in harsh environments. In addition, vibration and shock frequently occur in cars or ships due to the external environment of the driving path. It must meet high-level requirements to stably measure and output pressure despite such physical external forces.
한편, 압력 센서 유닛이 장착되는 체결 상대물 내에서 유동하는 피측정 유체는 상기 압력 센서 유닛의 유체 도입로로 인입되는 과정에서 순간적으로 고압으로 급격한 압력 변동이 발생할 수 있고, 이 경우 압력 센서 유닛의 다이어프램이 손상될 가능성이 있다.On the other hand, the fluid to be measured flowing within the fastening partner on which the pressure sensor unit is mounted may momentarily experience high pressure and rapid pressure fluctuations in the process of being introduced into the fluid introduction passage of the pressure sensor unit. In this case, the pressure sensor unit's There is a possibility that the diaphragm may be damaged.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서 유닛은 유체 도입로로 인입되는 과정에서 급격한 압력 변동에 의해 다이어프램이 손상되는 것을 방지할 수 있는 압력 센서 유닛을 제공하고자 한다.The present invention is intended to solve the above-described problem. The pressure sensor unit according to an embodiment of the present invention is a pressure sensor unit that can prevent the diaphragm from being damaged by sudden pressure fluctuations in the process of being introduced into the fluid introduction passage. We would like to provide
또한, 다단 압력 조절 캡을 이용하여 다양한 압력 변동에 대응할 수 있는 압력 조절 캡을 구비하는 압력 센서 유닛을 제공하고자 한다.In addition, the present invention seeks to provide a pressure sensor unit having a pressure control cap that can respond to various pressure fluctuations using a multi-stage pressure control cap.
또한, 물리적 외력이 지속적으로 가해져도 내부 부속품의 위치가 견고하게 유지되는 압력 센서 유닛을 제공하고자 한다.In addition, the goal is to provide a pressure sensor unit in which the position of the internal components is firmly maintained even when external physical force is continuously applied.
또한, 외부의 진동에 압력 신호를 안정적으로 전달되는 회로 구조를 가진 압력 센서 유닛을 제공하고자 한다.In addition, it is intended to provide a pressure sensor unit with a circuit structure that stably transmits pressure signals to external vibrations.
본 발명의 해결 과제들은 이상에서 언급한 내용으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the contents mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.
본 발명의 일 실시예에 따른 유체의 압력을 측정하는 압력 센서 유닛은, 하우징; 상기 하우징 일단에 마련되며, 내부에 유체를 도입하는 유체 도입로와, 상기 유체의 압력에 따라 변형되는 다이어프램과, 상기 다이어프램의 변형을 측정하는 압력 센서가 마련된 포트부; 상기 하우징 내부에 마련되며, 상기 압력 센서의 신호를 처리하는 회로기판; 및 상기 하우징의 타단에 마련되며, 상기 회로기판으로부터 상기 압력 센서 신호를 전달받아 외부 기기로 전달하는 커넥터부;를 포함하고, 상기 포트부는, 상기 유체 도입로와 유체연통 가능하도록 상기 다이어프램의 반대측에 상기 포트부에 장착되어 상기 유체 도입로에서의 유체의 압력을 조절하는 압력 조절 캡;을 포함할 수 있다.A pressure sensor unit for measuring fluid pressure according to an embodiment of the present invention includes a housing; a port portion provided at one end of the housing and provided with a fluid introduction path for introducing fluid into the interior, a diaphragm that is deformed according to the pressure of the fluid, and a pressure sensor that measures deformation of the diaphragm; a circuit board provided inside the housing and processing signals from the pressure sensor; and a connector portion provided at the other end of the housing, which receives the pressure sensor signal from the circuit board and transmits it to an external device, wherein the port portion is located on the opposite side of the diaphragm to enable fluid communication with the fluid introduction path. It may include a pressure control cap mounted on the port portion to control the pressure of the fluid in the fluid introduction passage.
또한, 상기 압력 조절 캡은, 판상의 형상을 갖는 바디와, 상기 유체 도입로와 유체연통하도록 상기 바디를 관통하여 형성되는 유체 관통홀을 포함하고, 상기 유체 관통홀의 직경은 상기 유체 도입로의 직경보다 작을 수 있다.In addition, the pressure control cap includes a body having a plate-shaped shape, and a fluid through hole formed through the body to communicate fluidly with the fluid introduction passage, and the diameter of the fluid through hole is the diameter of the fluid introduction passage. It can be smaller than
또한, 상기 유체 관통홀의 직경은 상기 유체 도입로의 직경의 50% 이하이고, 0.5mm 내지 2mm 일 수 있다.Additionally, the diameter of the fluid through hole is less than 50% of the diameter of the fluid introduction passage and may be 0.5 mm to 2 mm.
또한, 상기 포트부의 하부에는 상기 압력 조절 캡의 장착을 안내하는 가이드 돌기가 하부로 돌출되어 형성되고, 상기 압력 조절 캡의 바디 둘레에는 상기 가이드 돌기에 안착되는 플랜지가 마련될 수 있다.In addition, a guide protrusion that guides the installation of the pressure adjustment cap is formed at the bottom of the port portion and protrudes downward, and a flange that is seated on the guide protrusion may be provided around the body of the pressure adjustment cap.
또한, 상기 가이드 돌기 내주면과 상기 압력 조절 캡의 상기 바디의 외주면은 소성변형을 통해 결합될 수 있다.Additionally, the inner peripheral surface of the guide protrusion and the outer peripheral surface of the body of the pressure adjustment cap may be coupled through plastic deformation.
또한, 상기 압력 조절 캡은 상기 가이드 돌기 내에서 상기 포트부에 용접되어 고정될 수 있다.Additionally, the pressure adjustment cap may be welded and fixed to the port portion within the guide protrusion.
또한, 상기 압력 조절 캡은, 내부에 소정의 챔버를 형성하는 바디와, 상기 유체 도입로와 유체연통하도록 상기 바디의 상면 및 하면을 관통하여 형성되는 유체 관통홀을 포함하고, 상기 유체 관통홀의 직경은 상기 유체 도입로의 직경보다 작을 수 있다.In addition, the pressure control cap includes a body forming a predetermined chamber therein, and a fluid through hole formed through the upper and lower surfaces of the body to communicate fluidly with the fluid introduction passage, and the diameter of the fluid through hole. may be smaller than the diameter of the fluid introduction passage.
또한, 상기 압력 조절 캡은 복수의 압력 조절 서브 캡이 다단으로 적층한 형태로 구성되고, 각각의 상기 압력 조절 서브 캡은, 판상의 형상을 갖는 바디와, 상기 바디를 관통하여 형성되는 유체 관통홀과, 상기 바디의 둘레에 마련되는 플랜지와, 상기 플랜지의 내부에 마련되어 다른 압력 조절 서브 캡의 바디를 수용할 수 있는 수용부를 포함하며, 상부에 위치하는 압력 조절 서브 캡의 플랜지는, 하부에 위치하는 압력 조절 서브 캡의 플랜지에 안착되고, 상기 상부에 위치하는 상기 압력 조절 서브 캡의 바디와 상기 하부에 위치하는 상기 압력 조절 서브 캡의 바디 사이에는 소정의 공간이 형성될 수 있다.In addition, the pressure control cap is composed of a plurality of pressure control sub caps stacked in multiple stages, each pressure control sub cap having a body having a plate shape, and a fluid through hole formed through the body. and a flange provided around the body, and a receiving portion provided inside the flange to accommodate the body of another pressure adjustment sub cap, and the flange of the pressure adjustment sub cap located at the upper portion is located at the lower portion. It is seated on the flange of the pressure adjustment sub cap, and a predetermined space may be formed between the body of the pressure adjustment sub cap located at the upper portion and the body of the pressure adjustment sub cap located at the lower portion.
본 발명의 일 실시예에 따른 유체의 압력을 측정하는 압력 센서 유닛의 포트부는, 상기 압력 센서 유닛의 하우징 일단에 마련되며, 내부에 유체를 도입하는 유체 도입로; 상기 유체의 압력에 따라 변형되는 다이어프램; 상기 다이어프램의 변형을 측정하는 압력 센서; 및 상기 유체 도입로와 유체연통 가능하도록 상기 다이어프램의 반대측에 상기 포트부에 장착되어 상기 유체 도입로에서의 유체의 압력을 조절하는 압력 조절 캡;을 포함할 수 있다.The port portion of the pressure sensor unit for measuring the pressure of fluid according to an embodiment of the present invention is provided at one end of the housing of the pressure sensor unit and includes a fluid introduction path for introducing fluid therein; A diaphragm deformed according to the pressure of the fluid; a pressure sensor that measures deformation of the diaphragm; and a pressure control cap mounted on the port portion on the opposite side of the diaphragm to enable fluid communication with the fluid introduction path and adjusting the pressure of the fluid in the fluid introduction path.
본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서 유닛은 유체 도입로로 인입되는 과정에서 급격한 압력 변동에 의해 다이어프램이 손상되는 것을 방지할 수 있다.The pressure sensor unit according to an embodiment of the present invention can prevent the diaphragm from being damaged by sudden pressure fluctuations in the process of being introduced into the fluid introduction passage.
또한, 다단 압력 조절 캡을 이용하여 다양한 압력 변동에 대응할 수 있다.Additionally, it is possible to respond to various pressure fluctuations by using a multi-stage pressure adjustment cap.
또한, 물리적 외력이 지속적으로 가해져도 내부 부속품의 위치가 견고하게 유지될 수 있다.Additionally, the position of the internal components can be firmly maintained even when external physical force is continuously applied.
또한, 외부의 진동에 압력 신호를 안정적으로 전달할 수 있다.Additionally, pressure signals can be stably transmitted to external vibrations.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 내용으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the contents mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서 유닛의 사시도이다.
도 2는 도 1의 압력 센서 유닛의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 압력 센서 유닛의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 조절 캡의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡의 사시도이다.
도 7은 도 6의 압력 조절 캡의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡의 사시도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡의 사시도이다.1 is a perspective view of a pressure sensor unit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view of the pressure sensor unit of FIG. 1.
Figure 3 is a cross-sectional view of the pressure sensor unit of Figure 1;
Figure 4 is a perspective view of a pressure adjustment cap according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a cross-sectional view of a pressure control cap according to another embodiment of the present invention.
Figure 6 is a perspective view of a pressure adjustment cap according to another embodiment of the present invention.
Figure 7 is a cross-sectional view of the pressure regulating cap of Figure 6;
Figure 8 is a perspective view of a pressure adjustment cap according to another embodiment of the present invention.
Figure 9 is a perspective view of a pressure adjustment cap according to another embodiment of the present invention.
Figure 10 is a perspective view of a pressure adjustment cap according to another embodiment of the present invention.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예가 상세하게 설명된다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고, 도면에서 본 발명의 실시예를 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략되었다.Below, with reference to the attached drawings, embodiments of the present invention are described in detail so that those skilled in the art can easily implement the present invention. However, the present invention may be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In addition, in order to clearly explain the embodiments of the present invention in the drawings, parts unrelated to the description have been omitted.
본 명세서에서 사용된 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다.The terms used herein are merely used to describe specific embodiments and are not intended to limit the invention. Singular expressions may include plural expressions, unless the context clearly indicates otherwise.
본 명세서에서, "포함하다", "가지다" 또는 "구비하다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것으로서, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해될 수 있다.In this specification, terms such as “include,” “have,” or “equipped with” are intended to designate the presence of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification. It can be understood that it does not exclude in advance the existence or possibility of addition of other features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
또한, 본 발명의 실시예에 나타나는 구성부들은 서로 다른 특징적인 기능들을 나타내기 위해 독립적으로 도시되는 것으로, 각 구성부들이 분리된 부속품 구성단위로 이루어짐을 의미하지 않는다. 즉, 각 구성부는 설명의 편의상 각각의 구성부로 나열하여 기술되고, 각 구성부 중 적어도 두 개의 구성부가 합쳐져 하나의 구성부로 이루어지거나, 하나의 구성부가 복수 개의 구성부로 나뉘어져 기능을 수행할 수 있다. 이러한 각 구성부의 통합된 실시예 및 분리된 실시예도 본 발명의 본질에서 벗어나지 않는 한 본 발명의 권리 범위에 포함된다.In addition, the components appearing in the embodiments of the present invention are shown independently to show different characteristic functions, and this does not mean that each component is made of a separate accessory unit. That is, for convenience of explanation, each component is listed and described as each component, and at least two of each component may be combined to form one component, or one component may be divided into a plurality of components to perform a function. Integrated embodiments and separate embodiments of each of these components are also included in the scope of the present invention as long as they do not deviate from the essence of the present invention.
또한, 이하의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 보다 명확하게 설명하기 위해서 제공되는 것으로서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.Additionally, the following embodiments are provided to provide a clearer explanation to those with average knowledge in the art, and the shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clearer explanation.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described with reference to the attached drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서 유닛의 사시도이고, 도 2는 도 1의 압력 센서 유닛의 분해 사시도이다. 도 3은 도 1의 압력 센서 유닛의 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 조절 캡의 사시도이다.Figure 1 is a perspective view of a pressure sensor unit according to an embodiment of the present invention, and Figure 2 is an exploded perspective view of the pressure sensor unit of Figure 1. Figure 3 is a cross-sectional view of the pressure sensor unit of Figure 1, and Figure 4 is a perspective view of a pressure adjustment cap according to an embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서 유닛(100)은 유체(F)의 압력을 측정하기 위해 마련된 것으로서, 하우징(110), 포트부(120), 제1 회로기판(130), 신호전달 탄성체(140), 가이드부(150) 및 커넥터부(160)를 포함할 수 있다. 압력 센서 유닛(100)은 압력 센서(124)가 측정한 유체(F)의 압력 측정값을 외부로 전달할 수 있다. 유체(F)는, 일례로, 수소나 공기 , 기타 액체나 기체일 수 있다.1 to 4, the pressure sensor unit 100 according to an embodiment of the present invention is provided to measure the pressure of the fluid F, and includes a housing 110, a port portion 120, and a first It may include a circuit board 130, a signal transmission elastic body 140, a guide part 150, and a connector part 160. The pressure sensor unit 100 may transmit the pressure measurement value of the fluid F measured by the pressure sensor 124 to the outside. The fluid F may be, for example, hydrogen, air, or other liquid or gas.
하우징(110)은 하우징(110) 내부에 마련되는 구성요소를 보호하기 위해 마련된 것으로서, 금속 재질의 원통 형상으로 형성될 수 있다.The housing 110 is provided to protect components provided inside the housing 110, and may be formed in a cylindrical shape made of metal.
포트부(120)는 유체(F)의 압력을 측정하기 위한 것으로서, 하우징(110)의 일단에 마련될 수 있다. 포트부(120)는 압력을 측정하고자 하는 유체(F)가 인입되는 인입부(121)를 포함할 수 있다. 인입부(121)는 포트부(120) 일단에 소정의 길이를 가지며 돌출되어 형성될 수 있다. 인입부(121)의 외면에는 체결 상대물과 결합 가능하도록 나사산(121a)이 형성될 수 있으며, 인입부(121) 내부에는 인입된 유체(F)가 연통되도록 유체 도입로(122)가 마련될 수 있다. 유체 도입로(122)의 일단은 유체(F)가 인입되도록 개방될 수 있다. 인입부(121)가 상기 체결 상대물과 결합되면, 상기 체결 상대물 내부로 도입되는 유체(F)가 유체 도입로(122)으로 인입될 수 있다. 유체 도입로(122)의 타단에는 유체(F)의 압력에 따라 변형되는 다이어프램(123)이 마련될 수 있다. 다이어프램(123)의 일면에는 다이어프램(123)의 변형율을 감지하여 유체(F)의 압력을 측정하는 압력 센서(124)가 마련될 수 있다. 일례로, 압력 센서(124)는 스트레인 게이지로서, MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) 타입의 반도체 공정에 의해 제조되는 것일 수 있다. 인입부(121)에는 상기 체결 상대물과의 기밀을 유지하기 위해 오링(O-Ring)과 같은 씰링부재(125)가 마련될 수 있다.The port portion 120 is for measuring the pressure of the fluid F and may be provided at one end of the housing 110. The port portion 120 may include an inlet portion 121 through which the fluid F whose pressure is to be measured is introduced. The inlet portion 121 may be formed to protrude from one end of the port portion 120 and have a predetermined length. A screw thread 121a may be formed on the outer surface of the inlet part 121 to enable coupling with a fastening partner, and a fluid introduction passage 122 may be provided inside the inlet part 121 to communicate with the inlet fluid F. You can. One end of the fluid introduction passage 122 may be opened to allow the fluid F to enter. When the inlet portion 121 is coupled to the fastening partner, the fluid F introduced into the fastening partner may be introduced into the fluid introduction passage 122. A diaphragm 123 that is deformed according to the pressure of the fluid F may be provided at the other end of the fluid introduction passage 122. A pressure sensor 124 may be provided on one surface of the diaphragm 123 to measure the pressure of the fluid F by detecting the strain rate of the diaphragm 123. For example, the pressure sensor 124 is a strain gauge and may be manufactured using a MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) type semiconductor process. A sealing member 125 such as an O-Ring may be provided in the inlet portion 121 to maintain airtightness with the fastening partner.
제1 회로기판(130)은 압력 센서(124)가 측정한 유체(F)의 압력 신호를 압력 센서(124)로부터 수신하여 처리하거나 상기 압력 신호를 외부기기와 연결된 커넥터부(160)로 전달하기 위한 것으로, 하우징(110) 내부에 수평으로 마련될 수 있다. 커넥터부(160)는 제1 회로기판(130)으로부터 수신한 상기 압력 신호를 연결된 상기 외부기기에 전달하기 위한 것으로, 제1 회로기판(130)과 전기적으로 연결되는 제2 회로기판(161)을 포함할 수 있다. 제1 회로기판(130)과 제2 회로기판(161)은 서로 평행하도록 배치되고, 각각은 신호전달 탄성체(140)를 통해 전기적으로 연결될 수 있다. 신호전달 탄성체(140)는 도전성을 가지는 재료로 탄성을 가지는 형상으로 형성될 수 있으며, 일례로, 스프링 형태로 마련될 수 있다. 제1 회로기판(130)과 제2 회로기판(161)은 탄성을 가지는 신호전달 탄성체(140)를 이용해 전기적으로 연결되므로 압력 센서 유닛(100)가 진동하거나 압력 센서 유닛(100)에 외란이 발생하여도 안정적으로 신호를 전달할 수 있다.The first circuit board 130 receives and processes the pressure signal of the fluid F measured by the pressure sensor 124 or transmits the pressure signal to the connector unit 160 connected to an external device. For this purpose, it may be provided horizontally inside the housing 110. The connector portion 160 is for transmitting the pressure signal received from the first circuit board 130 to the connected external device, and includes a second circuit board 161 that is electrically connected to the first circuit board 130. It can be included. The first circuit board 130 and the second circuit board 161 are arranged parallel to each other, and each may be electrically connected to the signal transmission elastic body 140. The signal transmission elastic body 140 may be made of a conductive material and may be formed into an elastic shape. For example, it may be provided in the form of a spring. Since the first circuit board 130 and the second circuit board 161 are electrically connected using the elastic signal transmission elastic body 140, the pressure sensor unit 100 vibrates or a disturbance occurs in the pressure sensor unit 100. Even so, the signal can be transmitted stably.
하우징(110) 내부의, 제1 회로기판(130)과 제2 회로기판(161) 사이에는 원통형의 가이드부(150)가 마련될 수 있다. 가이드부(150)는 제1 회로기판(130)과 제2 회로기판(161)을 연결하는 신호전달 탄성체(140)의 좌굴을 방지하기 위해 마련된 것으로서, 관통구(151), 절단부(152), 홈부(154) 또는 회전방지 홈(155)을 포함할 수 있다. 신호전달 탄성체(140)는 관통구(151)에 삽입됨으로써 관통구(151)의 가이드에 따라 좌굴이 방지될 수 있다. 관통구(151)는 신호전달 탄성체(140)가 정 위치에서의 이탈을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 신호전달 탄성체(140)가 제1 회로기판(130)과 제2 회로기판(161)에 정위치에 접촉되도록 안내할 수 있다. 가이드부(150)는 신호전달 탄성체(140)가 접촉되어도 상기 압력 신호의 누락이 발생하지 않도록 비도전성 재질로 형성될 수 있다.A cylindrical guide portion 150 may be provided between the first circuit board 130 and the second circuit board 161 inside the housing 110. The guide portion 150 is provided to prevent buckling of the signal transmission elastic body 140 connecting the first circuit board 130 and the second circuit board 161, and includes a through hole 151, a cut portion 152, It may include a groove 154 or an anti-rotation groove 155. By inserting the signal transmission elastic body 140 into the through hole 151, buckling can be prevented according to the guide of the through hole 151. The through hole 151 not only prevents the signal transmission elastic body 140 from leaving its original position, but also allows the signal transmission elastic body 140 to be fixed to the first circuit board 130 and the second circuit board 161. It can guide you to reach the location. The guide portion 150 may be formed of a non-conductive material so that the pressure signal is not lost even when the signal transmission elastic body 140 is contacted.
커넥터부(160)는 하우징(110)의 타단에 마련되며, 제2 회로기판(161)과 더불어 복수의 신호전달 핀(162), 연결홈(163) 및 결합부(164)를 포함할 수 있다. 신호전달 핀(162)은 제2 회로기판(161)으로부터 상기 압력 신호를 수신하여 상기 외부기기에 전달하기 위해 마련된 것이다. 신호전달 핀(162)의 일측은 제2 회로기판(161)에 형성된 접점홀(162a)을 관통하며 제2 회로기판(161)과 연결될 수 있다. 신호전달 핀(162)과 접점홀(162a)은 서로 접촉되어 연결되거나 모재가 용융되었다가 다시 응고되며 신호전달 핀(162)과 접점홀(162a)을 연결할 수 있다. 이때, 상기 모재는 도전성을 가지는 물질일 수 있으며, 일례로, 납 또는 은일 수 있다. 가이드부(150)는 커넥터부(160)가 가이드부(150)에 안착될 때, 신호전달 핀(162)이 파손되지 않도록 커넥터부(160)와 맞닿는 일측에 소정의 깊이를 가지는 홈부(154)가 마련될 수 있다. 신호전달 핀(162)의 타측은 상기 외부기기에 연결될 수 있도록 연결홈(163)에 노출될 수 있다. 연결홈(163)은 상기 외부기기의 연결단자가 삽입되어 커넥터부(160)의 신호전달 핀(162)과 연결되도록 소정의 깊이를 가질 수 있다. The connector portion 160 is provided at the other end of the housing 110 and may include a plurality of signal transmission pins 162, connection grooves 163, and coupling portions 164 along with the second circuit board 161. . The signal transmission pin 162 is provided to receive the pressure signal from the second circuit board 161 and transmit it to the external device. One side of the signal transmission pin 162 may pass through the contact hole 162a formed in the second circuit board 161 and be connected to the second circuit board 161. The signal transmission pin 162 and the contact hole 162a may be connected by contacting each other, or the base material may be melted and solidified again to connect the signal transmission pin 162 and the contact hole 162a. At this time, the base material may be a conductive material, for example, lead or silver. The guide portion 150 includes a groove portion 154 having a predetermined depth on one side in contact with the connector portion 160 to prevent the signal transmission pin 162 from being damaged when the connector portion 160 is seated on the guide portion 150. can be prepared. The other side of the signal transmission pin 162 may be exposed to the connection groove 163 so that it can be connected to the external device. The connection groove 163 may have a predetermined depth so that the connection terminal of the external device can be inserted and connected to the signal transmission pin 162 of the connector portion 160.
결합부(164)는 커넥터부(160)의 일측이 하방으로 돌출되며 형성된 부분으로서, 가이드부(150)와 대응되어 커넥터부(160)와 가이드부(150)의 상대회전을 방지할 수 있다. 구체적으로 설명하면, 가이드부(150)의 절단부(152)는 결합부(164)와 대응되도록 가이드부(150)의 일측이 절단된 형상일 수 있다. 이때, 가이드부(150) 단면의 외주는 ‘D컷’ 형상일 수 있다. 가이드부(150)에 커넥터부(160)가 안착할 때, 결합부(164)가 절단부(152)에 대응하는 형상을 가짐으로써 가이드부(150)와 커넥터부(160)의 상대회전이 방지될 수 있다. 또한, 절단부(152)와 결합부(164)는 작업자 또는 자동조립 장치가 가이드부(150)와 커넥터부(160)의 방향을 식별하고 각각을 정위치에 조립하도록 강제함으로써 제조 공정 상의 실수를 줄일 수 있다. 일 실시예에 있어서, 가이드부(150)는 커넥터 지지부(153)를 더 포함할 수도 있다. 커넥터 지지부(153)는 커넥터부(160)가 가이드부(150)에 안착될 때, 결합부(164)가 안착되는 부분일 수 있다. 결합부(164)가 커넥터 지지부(153)에 안착됨으로써, 커넥터부(160)가 보다 견고하게 가이드부(150)에 지지되며 서로의 상대회전도 방지할 수 있다. 커넥터부(160)와 하우징(110) 사이에는 수밀을 유지하기 위해 오링(O-Ring)과 같은 씰링부재(165)가 하나 이상 마련될 수 있다.The coupling portion 164 is a portion formed on one side of the connector portion 160 that protrudes downward, and corresponds to the guide portion 150 to prevent relative rotation of the connector portion 160 and the guide portion 150. To be specific, the cut portion 152 of the guide portion 150 may have a shape in which one side of the guide portion 150 is cut to correspond to the coupling portion 164. At this time, the outer circumference of the cross section of the guide unit 150 may have a ‘D cut’ shape. When the connector portion 160 is seated on the guide portion 150, the coupling portion 164 has a shape corresponding to the cut portion 152, thereby preventing relative rotation of the guide portion 150 and the connector portion 160. You can. In addition, the cutting part 152 and the coupling part 164 reduce mistakes in the manufacturing process by forcing the operator or automatic assembly device to identify the direction of the guide part 150 and the connector part 160 and assemble each in the correct position. You can. In one embodiment, the guide unit 150 may further include a connector support unit 153. The connector support portion 153 may be a portion on which the coupling portion 164 is seated when the connector portion 160 is seated on the guide portion 150. By seating the coupling portion 164 on the connector support portion 153, the connector portion 160 is more firmly supported by the guide portion 150 and relative rotation of the connector portion 160 can be prevented. One or more sealing members 165, such as an O-Ring, may be provided between the connector portion 160 and the housing 110 to maintain watertightness.
본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서 유닛(100)은 기판 지지부(170)를 더 포함할 수 있다. 기판 지지부(170)는 제1 회로기판(130)과 다이어프램(123)이 소정의 거리를 가지도록 제1 회로기판(130)을 지지하기 위해 마련된 것으로서, 하우징(110) 내부에 환형으로 마련될 수 있다. 기판 지지부(170)는 다이어프램(123)이 내부에 위치하도록 포트부(120)의 일면에 안착될 수 있으며, 제1 회로기판(130)은 기판 지지부(170)에 안착되어 지지될 수 있다. 기판 지지부(170)는 기판 지지부(170)의 외경보다 작은 직경을 가지는 제1 회로기판(130)이 안착될 수 있도록 상부에 내측으로 절곡하며 연장 형성되는 절곡부(171)를 포함할 수 있다. 본 실시예에 있어서, 절곡부(171)는 기판 지지부(170)의 외주를 따라 소정의 거리를 가지며 복수개가 형성될 수 있다. 이와 대응되도록 기판 지지부(170)의 외주를 따라 안착되는 가이드부(150)에는 복수의 회전방지 홈(155)이 형성될 수 있다. 가이드부(150)가 기판 지지부(170)에 안착될 때, 각각의 회전방지 홈(155)이 각각의 절곡부(171)에 대응되어 삽입됨으로써, 가이드부(150)와 기판 지지부(170)의 상대회전이 방지될 수 있다.The pressure sensor unit 100 according to an embodiment of the present invention may further include a substrate support portion 170. The board support portion 170 is provided to support the first circuit board 130 so that the first circuit board 130 and the diaphragm 123 have a predetermined distance, and may be provided in a ring shape inside the housing 110. there is. The substrate supporter 170 may be seated on one surface of the port portion 120 so that the diaphragm 123 is located inside, and the first circuit board 130 may be supported by being seated on the substrate supporter 170. The substrate supporter 170 may include a bent portion 171 that is bent inward and extends at the top so that the first circuit board 130, which has a smaller diameter than the outer diameter of the substrate supporter 170, can be seated. In this embodiment, a plurality of bent portions 171 may be formed at a predetermined distance along the outer circumference of the substrate support portion 170. To correspond to this, a plurality of rotation prevention grooves 155 may be formed in the guide portion 150 seated along the outer periphery of the substrate support portion 170. When the guide part 150 is seated on the substrate support part 170, each anti-rotation groove 155 is inserted corresponding to each bent part 171, so that the guide part 150 and the substrate support part 170 Relative rotation can be prevented.
포트부(120)는, 유체 도입로(122)와 유체연통 가능하도록 포트부(120)의 다이어프램(123)의 반대측에 장착되는 압력 조절 캡(190)을 포함할 수 있다. 압력 조절 캡(190)은 유체 도입로(122)에서의 유체의 압력을 조절하기 위해 마련된 것으로, 판상의 형상을 갖는 바디(194)와, 유체 도입로(122)와 유체연통 가능하도록 바디(194)를 관통하여 형성되는 유체 관통홀(192)을 포함할 수 있다. 여기서, 유체 관통홀(192)의 직경은 포트부(120)의 유체 도입로(122)의 직경보다 작을 수 있다. 일례로, 유체 관통홀(192)의 직경은, 유체 도입로(122)의 50% 이하이고, 0.5mm 내지 2mm의 범위일 수 있다. 유체 관통홀(192)의 직경이 유체 도입로(122)의 직경보다 상대적으로 적기 때문에, 유체 관통홀(192)은 베르누이 효과를 얻을 수 있는 벤추리 노즐과 같은 기능을 수행할 수 있다. 따라서, 유체 관통홀(192)을 지나는 유체 도입로(122)에서는 압력 강하가 발생하게 된다. 압력 조절 캡(190)이 없는 상태에서, 유체 도입로(122)로 도입되는 유체의 압력이 급격히 상승하는 비정상 상태의 경우, 과도한 압력이 다이어프램(123)에 미치게 되면 다이어프램(123)이 손상될 수 있다. 본 실시예에 따른 압력 센서 유닛(100)은 유체 도입로(122)의 전단에 압력 조절 캡(190)을 구비함으로써, 비정상 상태에서의 급격한 압력 상승이 발생하는 경우에도, 유체 관통홀(192)을 통과한 유체는 압력강하가 일어나므로, 다이어프램(123)의 손상을 방지할 수 있다.The port portion 120 may include a pressure adjustment cap 190 mounted on the opposite side of the diaphragm 123 of the port portion 120 to enable fluid communication with the fluid introduction path 122. The pressure adjustment cap 190 is provided to control the pressure of the fluid in the fluid introduction passage 122, and includes a body 194 having a plate-shaped shape and a body 194 to enable fluid communication with the fluid introduction passage 122. ) may include a fluid through-hole 192 formed by penetrating. Here, the diameter of the fluid through hole 192 may be smaller than the diameter of the fluid introduction path 122 of the port portion 120. For example, the diameter of the fluid through hole 192 is less than 50% of the fluid introduction passage 122 and may range from 0.5 mm to 2 mm. Since the diameter of the fluid through hole 192 is relatively smaller than the diameter of the fluid introduction path 122, the fluid through hole 192 can perform the same function as a Venturi nozzle that can achieve the Bernoulli effect. Accordingly, a pressure drop occurs in the fluid introduction path 122 passing through the fluid through hole 192. In the absence of the pressure control cap 190, in an abnormal state in which the pressure of the fluid introduced into the fluid introduction passage 122 rises rapidly, the diaphragm 123 may be damaged if excessive pressure is applied to the diaphragm 123. there is. The pressure sensor unit 100 according to this embodiment is provided with a pressure adjustment cap 190 at the front of the fluid introduction path 122, so that even when a sudden pressure increase occurs in an abnormal state, the fluid through hole 192 Since the fluid passing through causes a pressure drop, damage to the diaphragm 123 can be prevented.
도 3 및 도 4를 재 참조하면, 포트부(120)의 하부에는 압력 조절 캡(190)의 장착을 안내하는 가이드 돌기(129)가 하부로 돌출되어 형성되고, 압력 조절 캡(190)의 바디(194) 둘레에는 가이드 돌기(129)에 안착되는 플랜지(196)가 형성될 수 있다. 가이드 돌기(129)의 내주면으로 압력 조절 캡(19)의 바디(194)는 삽입되고, 가이드 돌기(129)의 하부면을 따라서 압력 조절 캡(1990)의 플랜지(196)가 맞닿아 장착될 수 있다. 이 경우, 압력 조절 캡(190)은 플랜지(196)와 가이드 돌기(129)의 맞닿는 면을 따라 용접되어 포트부(120)에 고정될 수 있다. Referring back to FIGS. 3 and 4, a guide protrusion 129 is formed on the lower part of the port portion 120 to guide the installation of the pressure adjustment cap 190, protruding downward, and the body of the pressure adjustment cap 190 A flange 196 that is seated on the guide protrusion 129 may be formed around (194). The body 194 of the pressure adjustment cap 19 is inserted into the inner peripheral surface of the guide protrusion 129, and the flange 196 of the pressure adjustment cap 1990 can be mounted in contact with the lower surface of the guide protrusion 129. there is. In this case, the pressure adjustment cap 190 may be welded along the contact surface of the flange 196 and the guide protrusion 129 and fixed to the port portion 120.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡을 나타내는 도면이다.Figure 5 is a diagram showing a pressure adjustment cap according to another embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡(190)은 전술한 실시예와 달리, 압력 조절 캡(190)이 포트부(120)와 강제끼움 방식(forced-insertion)으로 밀봉 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 강제끼움 방식은 결합면의 소성변형을 통해 2개의 부재가 서로 밀착 결합되는 것으로, 압력 조절 캡(190)의 재질의 경도는 포트부(120)의 재질의 경도보다 클 수 있다. 구체적으로 본 실시예에서 압력 조절 캡(190)의 바디(194) 둘레에는 하나 이상의 돌기(197)가 형성되고, 압력 조절 캡(190)과 맞닿게 되는 포트부(120)의 내주면에는 결합홀(194)이 마련될 수 있다. 바디(194)의 돌기(197)가 결합홀(194)에 압입되어 끼워지면서, 결합홀(194)의 표면이 강제적으로 깎아지면서 돌기(197)와 결합홀(194) 사이의 공간을 메우게 되어 밀봉 결합을 형성할 수 있다. Referring to FIG. 5, the pressure adjustment cap 190 according to another embodiment of the present invention is different from the above-described embodiment, in which the pressure adjustment cap 190 is forced-inserted with the port portion 120. Can be sealed and joined. In this case, in the forced fitting method, two members are tightly coupled to each other through plastic deformation of the coupling surface, and the hardness of the material of the pressure adjustment cap 190 may be greater than the hardness of the material of the port portion 120. Specifically, in this embodiment, one or more protrusions 197 are formed around the body 194 of the pressure adjustment cap 190, and a coupling hole ( 194) can be provided. As the protrusion 197 of the body 194 is press-fitted into the coupling hole 194, the surface of the coupling hole 194 is forcibly shaved to fill the space between the protrusion 197 and the coupling hole 194. A sealing bond can be formed.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡의 사시도이고, 도 7은 도 6의 압력 조절 캡의 단면도이다.Figure 6 is a perspective view of a pressure control cap according to another embodiment of the present invention, and Figure 7 is a cross-sectional view of the pressure control cap of Figure 6.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡(190-1)은 복수의 압력 조절 서브 캡(190a, 190b)이 다단으로 적층한 형태로 구성될 수 있다. 구체적으로, 각각의 압력 조절 서브 캡(190a, 190b)은 판상의 형상을 갖는 바디(194a, 194b)와 바디(194a, 194b)를 관통하여 형성되는 유체 관통홀(192a, 192b)과, 바디(194a, 194b)의 둘레에 마련되는 플랜지(196a, 196b)와, 플랜지(196a, 196b)의 내부에 마련되는 수용부(193a, 193b)를 포함할 수 있다. 어느 하나의 압력 조절 서브 캡(190a)의 수용부(193a)는 다른 압력 조절 서브 캡(190b)의 바디(194b)를 수용할 수 있다. 이 경우, 상부에 위치하는 압력 조절 서브 캡(190a)의 플랜지(196a)는 하부에 위치하는 압력 조절 서브 캡(190b)의 플랜지(196b)에 안착되고, 상부에 위치하는 압력 조절 서브 캡(190a)의 바디(194a)와 하부에 위치하는 압력 조절 서브 캡(190b)의 바디(194b) 사이에는 소정의 공간(C1)이 형성될 수 있다. 공간(C1)은 플랜지(196a, 196b)의 두께(T2)와 바디(194a, 194b)의 두께(T1)의 차이에 의해 크기가 결정될 수 있다. 본 실시예에 따른 압력 조절 캡(190-1)은 도 4에 도시된 단일의 압력 조절 캡(190)을 사용하는 경우와 비교할 때, 다단의 오리피스 구조를 사용함으로써 다단으로 감압되는 효과를 얻을 수 있다. 본 실시예에서는, 단일의 압력 조절 캡(190)을 사용하는 것과 비교하여 다단으로 서서히 압력 강하를 함으로써, 포트부(120)의 유체 도입로(122)에 손상을 주거나 소음이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 본 실시예에서, 2개의 압력 조절 서브 캡(190a, 190b)을 사용하는 것을 예를 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니고, 사용례에 따라 다수의 압력 조절 서브 캡을 사용할 수도 있다.Referring to FIGS. 6 and 7 , the pressure control cap 190-1 according to another embodiment of the present invention may be configured by stacking a plurality of pressure control sub-caps 190a and 190b in multiple stages. Specifically, each pressure control sub-cap (190a, 190b) has a plate-shaped body (194a, 194b), a fluid through-hole (192a, 192b) formed through the body (194a, 194b), and a body ( It may include flanges 196a and 196b provided around the flanges 194a and 194b, and receiving portions 193a and 193b provided inside the flanges 196a and 196b. The receiving portion 193a of one pressure adjustment sub-cap 190a may accommodate the body 194b of the other pressure adjustment sub-cap 190b. In this case, the flange 196a of the pressure adjustment sub cap 190a located at the top is seated on the flange 196b of the pressure adjustment sub cap 190b located at the bottom, and the pressure adjustment sub cap 190a located at the top ) A predetermined space C1 may be formed between the body 194a and the body 194b of the pressure control sub cap 190b located below. The size of the space C1 may be determined by the difference between the thickness T2 of the flanges 196a and 196b and the thickness T1 of the bodies 194a and 194b. The pressure control cap 190-1 according to this embodiment can achieve the effect of reducing pressure in multiple stages by using a multi-stage orifice structure compared to the case of using the single pressure control cap 190 shown in FIG. 4. there is. In this embodiment, by gradually lowering the pressure in multiple stages compared to using a single pressure control cap 190, damage to the fluid introduction passage 122 of the port portion 120 or noise generation can be prevented. You can. In this embodiment, the use of two pressure control sub caps 190a and 190b has been described as an example, but the present invention is not limited thereto, and a plurality of pressure control sub caps may be used depending on the usage.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡의 사시도이다.Figure 8 is a perspective view of a pressure adjustment cap according to another embodiment of the present invention.
도 8을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡(190-2)은, 도 4에 도시된 압력 조절 서브 캡(190)과 비교할 때, 바디(194)가 내부에 소정의 챔버(C2)를 형성할 수 있다. 유체 관통홀(192a, 192b)은 바디(194)의 상면 및 하면을 관통하여 형성될 수 있다. 유체 관통홀(192a, 192b)의 직경은 포트부(120)의 유체 도입로(122)의 직경보다 작을 수 있다. 본 실시예에 따른 압력 조절 캡(190-2) 역시 도 7에 도시된 압력 조절 캡(190-1)과 마찬가지로 다단의 압력 강하 효과를 발휘할 수 있다.Referring to FIG. 8, the pressure adjustment cap 190-2 according to another embodiment of the present invention has a body 194 inside a predetermined amount when compared to the pressure adjustment sub cap 190 shown in FIG. 4. A chamber (C2) can be formed. The fluid through holes 192a and 192b may be formed through the upper and lower surfaces of the body 194. The diameter of the fluid through-holes 192a and 192b may be smaller than the diameter of the fluid introduction path 122 of the port portion 120. The pressure control cap 190-2 according to this embodiment can also exert a multi-stage pressure drop effect like the pressure control cap 190-1 shown in FIG. 7.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡의 사시도이다.Figure 9 is a perspective view of a pressure adjustment cap according to another embodiment of the present invention.
도 9를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡(190-3)은 도 4에 도시된 압력 조절 캡(190)과 비교할 때 유체 관통홀(192-1)의 형상이 유체 흐름 방향으로 서서히 감소하는, 단면이 사다리꼴 형상인 점이 상이하다. 즉, 본 실시예에 따른 유체 관통홀(192-1)은 단면이 서서히 줄어드는 형상으로, 유체 관통홀(192-1)은 노즐을 형성할 수 있다. 노즐 형상을 갖는 유체 관통홀(192-1)은 감압 효과가 상대적으로 줄어들 수 있다. 도 4의 압력 조절 캡(190)과 비교할 때, 본 실시예에서의 압력 조절 캡(190-3)은 동일한 조건에서 차압이 급격하게 발생하는 것을 억제하기 위한 용도로 사용할 수 있다.Referring to FIG. 9, the pressure control cap 190-3 according to another embodiment of the present invention has a shape of the fluid through hole 192-1 compared to the pressure control cap 190 shown in FIG. 4. It differs in that it has a trapezoidal cross-section that gradually decreases in the flow direction. That is, the fluid through-hole 192-1 according to this embodiment has a shape whose cross-section gradually decreases, and the fluid through-hole 192-1 can form a nozzle. The pressure reduction effect of the fluid through hole 192-1 having a nozzle shape may be relatively reduced. Compared to the pressure control cap 190 of FIG. 4, the pressure control cap 190-3 in this embodiment can be used to suppress sudden generation of differential pressure under the same conditions.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡의 사시도이다.Figure 10 is a perspective view of a pressure adjustment cap according to another embodiment of the present invention.
도 10을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력 조절 캡(190-4)은 도 4에 도시된 압력 조절 캡(190)과 비교할 때 유체 관통홀(192, 192-2)이 복수개 마련되는 것을 제외하고는 동일하다. 본 실시예에서는 바디(194)의 중앙부에 1개의 유체 관통홀(192)이 마련되고, 그 주변의 둘레를 따라 사방으로 4개의 유체 관통홀(192-2)이 등간격으로 배치될 수 있다. 유체 관통홀의 개수는 압력 센서 유닛(100)의 크기, 유체 도입로(122)의 크기, 및 요구되는 감압정도에 따라 변경될 수 있다.Referring to FIG. 10, the pressure control cap 190-4 according to another embodiment of the present invention has a plurality of fluid through holes 192 and 192-2 compared to the pressure control cap 190 shown in FIG. 4. It is the same except for what is provided. In this embodiment, one fluid through hole 192 is provided in the center of the body 194, and four fluid through holes 192-2 may be arranged at equal intervals in all directions along the circumference of the body 194. The number of fluid through holes may vary depending on the size of the pressure sensor unit 100, the size of the fluid introduction passage 122, and the required degree of pressure reduction.
상술한 실시예에 따른 압력 센서 유닛은 유체 도입로로 인입되는 과정에서 급격한 압력 변동에 의해 다이어프램이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 다단 압력 조절 캡을 이용하여 다양한 압력 변동에 대응할 수 있다. 또한, 물리적 외력이 지속적으로 가해져도 내부 부속품의 위치가 견고하게 유지될 수 있고, 외부의 진동에 압력 신호를 안정적으로 전달할 수 있다.The pressure sensor unit according to the above-described embodiment can prevent the diaphragm from being damaged by sudden pressure fluctuations in the process of being introduced into the fluid introduction passage. Additionally, it is possible to respond to various pressure fluctuations by using a multi-stage pressure adjustment cap. In addition, even when external physical force is continuously applied, the position of the internal components can be firmly maintained, and pressure signals can be stably transmitted to external vibrations.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해서 정해져야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are merely illustrative, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true scope of technical protection of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.
100: 압력 센서 유닛 110: 하우징
120: 포트부 130: 제1 회로기판
140: 신호전달 탄성체 150: 가이드부
160: 커넥터부 170: 기판 지지부
190, 190-1, 190-2, 190-3, 190-4: 압력 조절 캡100: pressure sensor unit 110: housing
120: port portion 130: first circuit board
140: signal transmission elastic body 150: guide part
160: Connector portion 170: Board support portion
190, 190-1, 190-2, 190-3, 190-4: Pressure regulating cap
Claims (9)
하우징;
상기 하우징 일단에 마련되며, 내부에 유체를 도입하는 유체 도입로와, 상기 유체의 압력에 따라 변형되는 다이어프램과, 상기 다이어프램의 변형을 측정하는 압력 센서가 마련된 포트부;
상기 하우징 내부에 마련되며, 상기 압력 센서의 신호를 처리하는 회로기판; 및
상기 하우징의 타단에 마련되며, 상기 회로기판으로부터 상기 압력 센서 신호를 전달받아 외부 기기로 전달하는 커넥터부; 포함하고,
상기 포트부는, 상기 유체 도입로와 유체연통 가능하도록 상기 다이어프램의 반대측에 상기 포트부에 장착되어 상기 유체 도입로에서의 유체의 압력을 조절하는 압력 조절 캡;을 포함하며,
상기 압력 조절 캡은, 내부에 소정의 챔버를 형성하는 바디와, 상기 유체 도입로와 유체연통하도록 상기 바디의 상면 및 하면을 관통하여 형성되는 유체 관통홀을 포함하고, 상기 유체 관통홀의 직경은 상기 유체 도입로의 직경보다 작은 것인 압력 센서 유닛.
In the pressure sensor unit that measures the pressure of the fluid,
housing;
a port portion provided at one end of the housing and provided with a fluid introduction path for introducing fluid into the interior, a diaphragm that is deformed according to the pressure of the fluid, and a pressure sensor that measures deformation of the diaphragm;
a circuit board provided inside the housing and processing signals from the pressure sensor; and
a connector portion provided at the other end of the housing and receiving the pressure sensor signal from the circuit board and transmitting it to an external device; Contains,
The port portion includes a pressure control cap that is mounted on the port portion on the opposite side of the diaphragm to enable fluid communication with the fluid introduction passage and adjusts the pressure of the fluid in the fluid introduction passage,
The pressure control cap includes a body forming a predetermined chamber therein, and a fluid through hole formed through the upper and lower surfaces of the body to communicate fluidly with the fluid introduction passage, and the diameter of the fluid through hole is the above. A pressure sensor unit that is smaller than the diameter of the fluid introduction path.
하우징;
상기 하우징 일단에 마련되며, 내부에 유체를 도입하는 유체 도입로와, 상기 유체의 압력에 따라 변형되는 다이어프램과, 상기 다이어프램의 변형을 측정하는 압력 센서가 마련된 포트부;
상기 하우징 내부에 마련되며, 상기 압력 센서의 신호를 처리하는 회로기판; 및
상기 하우징의 타단에 마련되며, 상기 회로기판으로부터 상기 압력 센서 신호를 전달받아 외부 기기로 전달하는 커넥터부; 포함하고,
상기 포트부는, 상기 유체 도입로와 유체연통 가능하도록 상기 다이어프램의 반대측에 상기 포트부에 장착되어 상기 유체 도입로에서의 유체의 압력을 조절하는 압력 조절 캡;을 포함하며,
상기 압력 조절 캡은 복수의 압력 조절 서브 캡이 다단으로 적층한 형태로 구성되고,
각각의 상기 압력 조절 서브 캡은, 판상의 형상을 갖는 바디와, 상기 바디를 관통하여 형성되는 유체 관통홀과, 상기 바디의 둘레에 마련되는 플랜지와, 상기 플랜지의 내부에 마련되어 다른 압력 조절 서브 캡의 바디를 수용할 수 있는 수용부를 포함하며,
상부에 위치하는 압력 조절 서브 캡의 플랜지는, 하부에 위치하는 압력 조절 서브 캡의 플랜지에 안착되고, 상기 상부에 위치하는 상기 압력 조절 서브 캡의 바디와 상기 하부에 위치하는 상기 압력 조절 서브 캡의 바디 사이에는 소정의 공간이 형성되는 것인 압력 센서 유닛.
In the pressure sensor unit that measures the pressure of the fluid,
housing;
a port portion provided at one end of the housing and provided with a fluid introduction path for introducing fluid into the interior, a diaphragm that is deformed according to the pressure of the fluid, and a pressure sensor that measures deformation of the diaphragm;
a circuit board provided inside the housing and processing signals from the pressure sensor; and
a connector portion provided at the other end of the housing and receiving the pressure sensor signal from the circuit board and transmitting it to an external device; Contains,
The port portion includes a pressure control cap that is mounted on the port portion on the opposite side of the diaphragm to enable fluid communication with the fluid introduction passage and adjusts the pressure of the fluid in the fluid introduction passage,
The pressure adjustment cap is composed of a plurality of pressure adjustment sub caps stacked in multiple stages,
Each of the pressure adjustment sub caps includes a body having a plate shape, a fluid through hole formed through the body, a flange provided around the body, and another pressure adjustment sub cap provided inside the flange. It includes a receiving portion that can accommodate the body of,
The flange of the pressure adjustment sub cap located at the upper portion is seated on the flange of the pressure adjustment sub cap located at the lower portion, and the body of the pressure adjustment sub cap located at the upper portion and the pressure adjusting sub cap located at the lower portion A pressure sensor unit in which a predetermined space is formed between bodies.
상기 압력 조절 서브 캡은, 판상의 형상을 갖는 바디와, 상기 유체 도입로와 유체연통하도록 상기 바디를 관통하여 형성되는 유체 관통홀을 포함하고,
상기 유체 관통홀의 직경은 상기 유체 도입로의 직경보다 작은 것인 압력 센서 유닛.
According to paragraph 2,
The pressure control sub-cap includes a body having a plate-shaped shape, and a fluid through-hole formed through the body to communicate fluidly with the fluid introduction passage,
A pressure sensor unit wherein the diameter of the fluid through hole is smaller than the diameter of the fluid introduction passage.
상기 유체 관통홀의 직경은 상기 유체 도입로의 직경의 50% 이하이고, 0.5mm 내지 2mm 인 것인 압력 센서 유닛.
According to claim 1 or 3,
A pressure sensor unit wherein the diameter of the fluid through hole is less than 50% of the diameter of the fluid introduction passage and is 0.5 mm to 2 mm.
상기 포트부의 하부에는 상기 압력 조절 캡의 장착을 안내하는 가이드 돌기가 하부로 돌출되어 형성되고,
상기 압력 조절 캡의 바디 둘레에는 상기 가이드 돌기에 안착되는 플랜지가 마련되는 것인 압력 센서 유닛.
According to claim 1 or 2,
A guide protrusion is formed at the bottom of the port portion to protrude downward to guide the installation of the pressure adjustment cap,
A pressure sensor unit wherein a flange is provided around the body of the pressure adjustment cap and is seated on the guide protrusion.
상기 가이드 돌기 내주면과 상기 압력 조절 캡의 상기 바디의 외주면은 소성변형을 통해 결합되는 것인 압력 센서 유닛.
According to clause 5,
A pressure sensor unit wherein the inner peripheral surface of the guide protrusion and the outer peripheral surface of the body of the pressure control cap are coupled through plastic deformation.
상기 압력 조절 캡은 상기 가이드 돌기 내에서 상기 포트부에 용접되어 고정되는 것인 압력 센서 유닛.
According to clause 5,
The pressure sensor unit is wherein the pressure adjustment cap is welded and fixed to the port portion within the guide protrusion.
상기 압력 센서 유닛의 하우징 일단에 마련되며, 내부에 유체를 도입하는 유체 도입로;
상기 유체의 압력에 따라 변형되는 다이어프램;
상기 다이어프램의 변형을 측정하는 압력 센서; 및
상기 유체 도입로와 유체연통 가능하도록 상기 다이어프램의 반대측에 상기 포트부에 장착되어 상기 유체 도입로에서의 유체의 압력을 조절하는 압력 조절 캡;을 포함하며,
상기 압력 조절 캡은, 내부에 소정의 챔버를 형성하는 바디와, 상기 유체 도입로와 유체연통하도록 상기 바디의 상면 및 하면을 관통하여 형성되는 유체 관통홀을 포함하고, 상기 유체 관통홀의 직경은 상기 유체 도입로의 직경보다 작은 압력 센서 유닛의 포트부.
As a port portion of a pressure sensor unit that measures fluid pressure,
a fluid introduction passage provided at one end of the housing of the pressure sensor unit and introducing fluid therein;
A diaphragm deformed according to the pressure of the fluid;
a pressure sensor that measures deformation of the diaphragm; and
It includes a pressure control cap that is mounted on the port portion on the opposite side of the diaphragm to enable fluid communication with the fluid introduction path and adjusts the pressure of the fluid in the fluid introduction path,
The pressure control cap includes a body forming a predetermined chamber therein, and a fluid through hole formed through the upper and lower surfaces of the body to communicate fluidly with the fluid introduction passage, and the diameter of the fluid through hole is the above. Port portion of the pressure sensor unit that is smaller than the diameter of the fluid introduction passage.
상기 압력 센서 유닛의 하우징 일단에 마련되며, 내부에 유체를 도입하는 유체 도입로;
상기 유체의 압력에 따라 변형되는 다이어프램;
상기 다이어프램의 변형을 측정하는 압력 센서; 및
상기 유체 도입로와 유체연통 가능하도록 상기 다이어프램의 반대측에 상기 포트부에 장착되어 상기 유체 도입로에서의 유체의 압력을 조절하는 압력 조절 캡;을 포함하며,
상기 압력 조절 캡은 복수의 압력 조절 서브 캡이 다단으로 적층한 형태로 구성되고,
각각의 상기 압력 조절 서브 캡은, 판상의 형상을 갖는 바디와, 상기 바디를 관통하여 형성되는 유체 관통홀과, 상기 바디의 둘레에 마련되는 플랜지와, 상기 플랜지의 내부에 마련되어 다른 압력 조절 서브 캡의 바디를 수용할 수 있는 수용부를 포함하며,
상부에 위치하는 압력 조절 서브 캡의 플랜지는, 하부에 위치하는 압력 조절 서브 캡의 플랜지에 안착되고, 상기 상부에 위치하는 상기 압력 조절 서브 캡의 바디와 상기 하부에 위치하는 상기 압력 조절 서브 캡의 바디 사이에는 소정의 공간이 형성되는 것인 압력 센서 유닛의 포트부.
As a port portion of a pressure sensor unit that measures fluid pressure,
a fluid introduction passage provided at one end of the housing of the pressure sensor unit and introducing fluid therein;
A diaphragm deformed according to the pressure of the fluid;
a pressure sensor that measures deformation of the diaphragm; and
It includes a pressure control cap that is mounted on the port portion on the opposite side of the diaphragm to enable fluid communication with the fluid introduction path and adjusts the pressure of the fluid in the fluid introduction path,
The pressure adjustment cap is composed of a plurality of pressure adjustment sub caps stacked in multiple stages,
Each of the pressure adjustment sub caps includes a body having a plate shape, a fluid through hole formed through the body, a flange provided around the body, and another pressure adjustment sub cap provided inside the flange. It includes a receiving portion that can accommodate the body of,
The flange of the pressure adjustment sub cap located at the upper portion is seated on the flange of the pressure adjustment sub cap located at the lower portion, and the body of the pressure adjustment sub cap located at the upper portion and the pressure adjusting sub cap located at the lower portion The port portion of the pressure sensor unit in which a predetermined space is formed between the bodies.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210180541A KR102623221B1 (en) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | Pressure sensor unit |
| PCT/KR2022/002847 WO2023113104A1 (en) | 2021-12-16 | 2022-02-28 | Pressure sensor unit |
| KR1020240000777A KR20240007771A (en) | 2021-12-16 | 2024-01-03 | Pressure sensor unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210180541A KR102623221B1 (en) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | Pressure sensor unit |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020240000777A Division KR20240007771A (en) | 2021-12-16 | 2024-01-03 | Pressure sensor unit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230091432A KR20230091432A (en) | 2023-06-23 |
| KR102623221B1 true KR102623221B1 (en) | 2024-01-10 |
Family
ID=86774614
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210180541A KR102623221B1 (en) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | Pressure sensor unit |
| KR1020240000777A KR20240007771A (en) | 2021-12-16 | 2024-01-03 | Pressure sensor unit |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020240000777A KR20240007771A (en) | 2021-12-16 | 2024-01-03 | Pressure sensor unit |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (2) | KR102623221B1 (en) |
| WO (1) | WO2023113104A1 (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016028047A1 (en) * | 2014-08-19 | 2016-02-25 | 타이코에이엠피 주식회사 | Pressure sensor |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001133345A (en) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Fuji Koki Corp | Pressure sensor |
| US7204150B2 (en) * | 2005-01-14 | 2007-04-17 | Mks Instruments, Inc. | Turbo sump for use with capacitive pressure sensor |
| KR101256753B1 (en) * | 2011-10-05 | 2013-04-19 | 주식회사 현대케피코 | Semi-conductor pressure sensor module with preventing structure for physical shock of continuous over-pressure of fluid flow |
| JP2014055826A (en) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Saginomiya Seisakusho Inc | Pressure sensor |
| JP2016035270A (en) * | 2014-08-01 | 2016-03-17 | 株式会社神戸製鋼所 | Pulsation reduction mechanism |
| KR102394154B1 (en) * | 2017-08-09 | 2022-05-09 | 주식회사 만도 | Oil pressure generator for brake system |
| KR102146046B1 (en) | 2019-03-26 | 2020-08-19 | 한국단자공업 주식회사 | Pressure sensor |
-
2021
- 2021-12-16 KR KR1020210180541A patent/KR102623221B1/en active IP Right Grant
-
2022
- 2022-02-28 WO PCT/KR2022/002847 patent/WO2023113104A1/en unknown
-
2024
- 2024-01-03 KR KR1020240000777A patent/KR20240007771A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016028047A1 (en) * | 2014-08-19 | 2016-02-25 | 타이코에이엠피 주식회사 | Pressure sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20230091432A (en) | 2023-06-23 |
| KR20240007771A (en) | 2024-01-16 |
| WO2023113104A1 (en) | 2023-06-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9003899B2 (en) | Force sensor | |
| US9310229B2 (en) | Sensor system and method for manufacturing a sensor system | |
| EP3581905B1 (en) | Physical quantity measuring device | |
| AU2011254029A1 (en) | Force sensor | |
| KR102257310B1 (en) | Differential pressure sensing die | |
| CN107271098B (en) | Pressure sensor | |
| KR102623221B1 (en) | Pressure sensor unit | |
| CN215296319U (en) | Sensor with a sensor element | |
| KR102408569B1 (en) | Pressure sensor unit | |
| JP2017166872A (en) | Pressure sensor module and connection structure of pressure sensor module | |
| CN115683199A (en) | Sensor with a sensor element | |
| KR102564528B1 (en) | Pressure sensor unit having temperature sensor | |
| CN214893828U (en) | Pressure sensor | |
| KR102471049B1 (en) | Pressure sensor unit | |
| KR102485905B1 (en) | Pressure sensor unit | |
| KR102597323B1 (en) | Pressure sensor and manufacturing thereof | |
| KR20230168469A (en) | Pressure sensor unit | |
| KR102447939B1 (en) | A signal transfer assembly and a pressure sensor unit using the same | |
| KR102434356B1 (en) | Pressure sensor unit | |
| JP7004596B2 (en) | pressure sensor | |
| EP3514517B1 (en) | Pressure sensor media interface with integrated seal and diaphragm | |
| JP7087375B2 (en) | pressure sensor | |
| US10520382B2 (en) | Pressure sensor module with spring-loaded electrical contact pins | |
| KR102434354B1 (en) | Pressure sensor unit | |
| KR20230152213A (en) | Sensor module |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right |