KR102584957B1 - aerosol evaporator - Google Patents

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KR102584957B1
KR102584957B1 KR1020197017745A KR20197017745A KR102584957B1 KR 102584957 B1 KR102584957 B1 KR 102584957B1 KR 1020197017745 A KR1020197017745 A KR 1020197017745A KR 20197017745 A KR20197017745 A KR 20197017745A KR 102584957 B1 KR102584957 B1 KR 102584957B1
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빌헬름 요제프 토마스 크뤼켄
미하엘 롱
릭 반 데어 하이덴
나엘 알 아흐마드
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아익스트론 에스이
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Abstract

본 발명은 캐리어 가스 유동 내에서 운반된, 특히 에어로졸 또는 서스펜션의 액체 또는 고체 입자들의 증발에 의해 생성된 증기를 제공하기 위한 장치에 관한 것이며, 상기 장치는, 가열된 열 전달 표면들을 포함하는 증발 몸체(17)의 정면(17') 앞에서 간격(a)을 두고 하우징(1)에서 개방되는, 공급 라인(2)의 개구(5)의 축(A) 방향으로 상기 에어로졸 또는 상기 서스펜션의 유동을 공급하기 위한 하나 이상의 공급 라인(2)을 구비한다. 효율을 높이기 위해, 상기 개구(5)와 상기 정면(17) 사이에 배치된, 하나 또는 복수의 충돌 표면(11, 12, 24)을 구비한 충돌 몸체(15)가 제공되어 있고, 이때 상기 회전 대칭적인 충돌 표면들(11, 12, 24)은 상기 축(A)에 대해 10 도보다 크고 80 도보다 작은 각도(α, β)로 비스듬하게 조정되어 있다. The present invention relates to a device for providing vapor produced by evaporation of liquid or solid particles, especially of an aerosol or suspension, carried in a carrier gas flow, the device comprising: an evaporating body comprising heated heat transfer surfaces; Supply the flow of said aerosol or said suspension in the direction of axis A of the opening (5) of the supply line (2), which opens in the housing (1) at a distance (a) in front of the front face (17') of (17). It is provided with one or more supply lines (2) for: In order to increase efficiency, an impact body 15 is provided, arranged between the opening 5 and the front surface 17, with one or more impact surfaces 11, 12, 24, wherein the rotation occurs. The symmetrical impact surfaces 11, 12, 24 are tilted at angles α, β greater than 10 degrees and less than 80 degrees relative to the axis A.

Description

에어로졸 증발기aerosol evaporator

본 발명은 캐리어 가스 유동 내에서 운반된 증기를 제공하기 위한 장치에 관한 것이며, 이때 상기 증기는 에어로졸의 액체 또는 고체 입자들의 증발에 의해 생성된다. 하우징 내에는, 가열된 열 전달 표면들을 포함하는 증발 몸체가 위치한다. 에어로졸 유동을 운반하기 위한 공급 라인이 상기 하우징에서 개방된다. 상기 공급 라인의 개구(5)는 상기 증발 몸체의 정면에 대해 간격을 갖는다. 상기 개구를 관통하는 축은 실질적으로 상기 정면상에서 수직으로 놓인다. 에어로졸 대신에 서스펜션이 상기 공급 라인을 통해 상기 증발 몸체 내로 제공될 수도 있다.The present invention relates to an apparatus for providing vapor carried in a carrier gas flow, wherein said vapor is produced by evaporation of liquid or solid particles of an aerosol. Within the housing, an evaporating body containing heated heat transfer surfaces is located. A supply line for carrying the aerosol flow opens in the housing. The openings 5 of the supply line are spaced relative to the front of the evaporating body. The axis passing through the opening lies substantially vertically on the front surface. Instead of an aerosol, a suspension may be provided into the vaporizing body via the supply line.

독일 특허 출원서 DE 10 2014 109 194 A1호는, 실질적으로 정사각형의 횡단면을 갖는 하우징을 구비한 유사한 종류의 장치를 기술한다. 상기 하우징의 덮개에서 상기 하우징 내로 에어로졸을 공급하기 위한 공급 라인이 개방되고, 이때 상기 공급 라인의 개구는 전기적으로 가열 가능한 예비 가열 몸체 내에 삽입되어 있다. 상기 예비 가열 몸체의 상류에 있는 분배 챔버에는 퍼지 가스 유동(purge gas stream)이 유입되고, 상기 퍼지 가스 유동은 상기 기공성 예비 가열 몸체를 통해 상기 예비 가열 몸체의 하류에 배치되어 있는 이격 공간 내로 흐른다. 상기 하나 또는 복수의 공급 라인도 마찬가지로 상기 이격 공간에서 개방된다. 상기 예비 가열 몸체의 유동 배출 표면으로부터 간격을 두고 증발 몸체가 위치하고, 상기 증발 몸체의 열 전달 표면들은 전기적으로 증발 온도로 가열된다. 상기 공급 라인의 개구로부터 외부로 운반된 에어로졸은 입자 빔(particle beam)을 형성하고, 상기 입자 빔은, 그 바닥 표면이 상기 증발 몸체의 정면의 표면보다 현저히 더 작은 빔 원뿔(beam cone)로 상기 증발 몸체에 부딪친다. 그에 따라 에어로졸 입자들의 증발은 실질적으로 단지 상기 빔 원뿔의 영역 내에서만 이루어진다. 그곳에서 상기 증발 몸체로부터 증발 열이 제거됨으로써, 결과적으로 상기 증발 몸체는 그곳에서 현저히 냉각된다. 유동 방향으로 연속적으로 배치된 복수의 증발 몸체가 제공되어 있다.German patent application DE 10 2014 109 194 A1 describes a device of a similar kind with a housing having a substantially square cross-section. A supply line for supplying aerosol into the housing is opened in the cover of the housing, the opening of the supply line being inserted into an electrically heatable pre-heating body. A purge gas stream flows into the distribution chamber upstream of the preheating body, the purge gas stream flowing through the porous preheating body into a space disposed downstream of the preheating body. . The one or more supply lines are likewise opened in the space. An evaporating body is positioned at a distance from the flow discharge surface of the pre-heating body, and the heat transfer surfaces of the evaporating body are electrically heated to the evaporating temperature. The aerosol transported outward from the opening of the supply line forms a particle beam, which is formed into a beam cone whose bottom surface is significantly smaller than the front surface of the evaporating body. It hits the evaporating body. Evaporation of aerosol particles thus takes place substantially only within the area of the beam cone. The heat of evaporation is removed there from the evaporating body, and consequently the evaporating body is significantly cooled there. A plurality of evaporating bodies arranged sequentially in the flow direction are provided.

선행 기술, 그리고 특히 독일 특허 출원서 DE 10 2010 000 388 A1호로부터, 가스들을 균일하게 분배하기 위한 가스 유입 부재 내에서 충돌 몸체를 사용하는 것이 공지되어 있다.From the prior art, and especially from the German patent application DE 10 2010 000 388 A1, it is known to use an impingement body in the gas inlet member for uniformly distributing the gases.

국제 특허 출원서 WO 2012/175124 A1호도 마찬가지로, 에어로졸을 이송하는 캐리어 가스 빔이 증발 몸체의 전면상으로 조정되어 있는 유사한 종류의 장치를 기술한다.International patent application WO 2012/175124 A1 likewise describes a similar type of device in which the carrier gas beam carrying the aerosol is steered onto the front surface of the evaporating body.

미국 특허 출원서 US 2002/0020767 A1호로부터, 공급 튜브에 의해 가스가 가스 분배 챔버 내로 공급되는 가스 분배기가 공지되어 있다. 상기 튜브의 개구 앞에는 배플판(baffle plate)이 놓인다. 상기 배플판은, 망 형태로 배치되어 있는 복수의 개구를 포함하는 분리판으로부터 간격을 두고 있다.From US patent application US 2002/0020767 A1, a gas distributor is known in which gas is supplied into a gas distribution chamber by means of a supply tube. A baffle plate is placed in front of the opening of the tube. The baffle plate is spaced apart from a separation plate including a plurality of openings arranged in a mesh shape.

독일 특허 출원서 DE 10 2011 051 261 A1호는 기판상에 유기층들을 증착하기 위한 장치를 기술한다.German patent application DE 10 2011 051 261 A1 describes an apparatus for depositing organic layers on a substrate.

독일 특허 출원서 DE 196 54 321 A1호는 에어로졸이 배플판-어레인지먼트를 향해 흐르는 에어로졸 발생기를 기술한다.The German patent application DE 196 54 321 A1 describes an aerosol generator in which the aerosol flows towards a baffle plate-arrangement.

본 발명의 과제는, 유사한 종류의 장치를 사용에 바람직하게 개선하고, 특히 상기 장치의 증발 능력을 개선하는 것이다.The object of the present invention is to improve the use of devices of a similar type, and in particular to improve the evaporation capacity of said devices.

상기 과제는 청구항들에 제시된 본 발명에 의해 해결되며, 이때 종속 청구항들은 단지 주 청구항에 제시된 본 발명의 바람직한 개선예들만을 나타내는 것이 아니라, 상기 과제의 독립적인 해결책들도 나타낸다.The problem is solved by the invention presented in the claims, wherein the dependent claims do not only represent preferred developments of the invention presented in the main claim, but also represent independent solutions of the problem.

우선적으로 그리고 실질적으로, 축 내에서 공급 라인의 개구와 증발 몸체의 정면 사이에 배치되어 있는 충돌 몸체가 제안된다. 상기 증발 몸체는 에어로졸 유동의 빔 원뿔 내에, 다시 말해 상기 개구의 축 내에 놓여 있는 하나 또는 복수의 충돌 표면을 구비한다. 일반적으로 10 ㎛ 내지 500 ㎛의 범위 내에서, 예를 들어 대략 50 ㎛의 지름을 갖는 에어로졸 입자들은, 실질적으로 상기 축에 대해 평행하게 조정된 운동량(momentum)에 의해 상기 공급 라인의 개구로부터 배출된다. 유동 방향으로 다음에 배치된 상기 증발 몸체 내에서 증발되기 위해, 상기 공급 라인의 개구로부터 에어로졸뿐만 아니라 서스펜션도 배출될 수 있다. 캐리어 가스가 수력학적 법칙들에 따라 특히 와류를 형성하면서 개구와 정면 사이의 이격 공간 내에서 분배되는 동안, 상기 에어로졸 입자들은 실질적으로 탄도 궤도(ballistic trajectory)상에서 이동하여 충돌 표면들 상에 부딪친다. 상기 에어로졸 입자들은 상기 충돌 표면들에서 반사되고, 이때 반사각은 대략 입사각에 상응한다. 특히 상기 충돌 표면들은 상기 축에 대해 비스듬한 각도로 조정되어 있고, 이때 상기 축에 대해 서로 다른 각도들로 기울어진 복수의 충돌 표면은 방사 방향으로 서로 나란히, 그리고/또는 축 방향으로 연속적으로 배치될 수 있다. 상기 입자들이 반사에 의해, 그리고 특히 정면으로부터 멀어지는 방향으로 속도 성분 또는 이동 성분을 갖는 반사에 의해 상기 전체 정면에 걸쳐서 분배되는 방식으로, 상기 충돌 표면들은 바람직하게 배치되어 있고 그리고 상기 축에 대한 상기 충돌 표면들의 각도가 선택된다. 이 경우, 반사된 입자들은 바람직하게, 개구와 정면 사이의 상기 이격 공간을 관류하는 캐리어 가스 유동에 의해 적어도 함께 영향을 받는 아크 궤도상에서 이동하고, 이때 상기 캐리어 가스 유동은 바람직하게 하나 이상의 공급 라인의 하나 이상의 개구를 둘러싸는 균일한 유동이다. 바람직하게 상기 충돌 몸체는 회전 대칭적인 형상을 갖고, 이때 상기 충돌 몸체의 회전 축이 상기 공급 라인 개구의 축 내에 놓이는 방식으로, 상기 충돌 몸체는 바람직하게 상기 이격 공간 내에 배치되어 있다. 상기 충돌 몸체는 상기 증발 몸체의 정면상에 놓일 수 있다. 그러나 상기 충돌 몸체는 상기 정면으로부터 간격을 둘 수도 있다. 상기 하나 또는 복수의 충돌 표면은 원뿔 표면 또는 원뿔대 표면의 형태를 가질 수 있다. 상기 충돌 몸체의 수평 단면은 바람직하게 상기 개구의 수평 단면보다 더 크다. 바람직하게 상기 축에 대해 횡 방향으로 진행하는 평면 내에 있는 상기 충돌 몸체의 수평 단면은 상기 축에 대해 횡 방향으로 진행하는 상기 공급 라인의 개구의 수평 단면보다 적어도 2배, 바람직하게 적어도 5배 더 크다. 특히 바람직한 하나의 형성예에서 충돌 몸체는 축 방향으로 연속적으로 배치된 2개의 동축 원뿔 표면 또는 원뿔대 표면에 의해 형성된다. 제 1 충돌 표면은 원뿔 재킷 표면을 따라서 진행하고, 이때 상기 원뿔 재킷 표면은 상기 축에 대해 20 내지 30 도의 범위 내에서 각도를 갖는다. 링 형태의 경계선 또는 경계 구역을 형성하면서 상기 제 1 충돌 표면에 제 2 충돌 표면이 연결되고, 상기 제 2 충돌 표면은 상기 제 1 충돌 표면의 외부에서 방사 방향으로 연장되고 상기 축에 대해 60 내지 85 도의 각도를 갖는다. 상기 장치는, 그 개구들이 공동 평면 내에 놓여 있는 복수의 공급 라인을 포함할 수 있다. 상기 하나 또는 복수의 공급 라인의 하나 또는 복수의 개구가 연장되는 상기 평면 내에 예비 가열 몸체가 배치될 수 있고, 상기 예비 가열 몸체는 캐리어 가스가 관류할 수 있는 고체 폼으로 구성된다. 전류가 관류함으로써 전기 전도성의 상기 고체 폼은 가열되고, 그 결과 상기 고체 폼을 통과하는 캐리어 가스는 상승한 온도를 갖게 되고, 상기 캐리어 가스는 상기 상승한 온도로 상기 공급 라인의 개구의 주변에서 상기 이격 공간 내로 유입된다. 상기 개구로부터 상기 축 방향으로 상기 이격 공간 내로 유입되는 입자들은 상기 2개의 충돌 표면상으로 부딪치고 서로 다른 반사각으로 반사되며, 이때 상기 제 1 충돌 표면으로부터 반사되는 입자들은 재차 상기 제 2 충돌 표면으로부터 반사될 수 있다. 상기 충돌 표면들에서 반사된 에어로졸 입자들이 실질적으로 균일한 표면 분포로 상기 증발 몸체의 정면상으로 부딪치는 방식으로 상기 충돌 몸체의 배치 및 상기 충돌 표면들의 프로파일이 선택됨으로써, 결과적으로 상기 열 전달 표면에 의한 열 전달이 빔 원뿔의 영역 내에서만이 아니라, 실질적으로 상기 증발 몸체의 전체 횡단면 상에서 이루어진다. 그뿐 아니라, 에어로졸 입자들이 다시 상기 공급 라인 내로 반사될 수 없는 방식으로 상기 충돌 몸체의 적어도 축에 가까운 중앙부가 형성되어 있다. 증발될 입자들을 실질적으로 상기 증발 몸체의 전체 표면에 걸쳐서 바람직하게 균일하게 분배하기 위해, 본 발명에 따른 조치들은, 상기 개구로부터 대량으로 배출되는 입자들, 특히 높은 속도의 입자들이 상기 증발 몸체 또는 유동 방향으로 연속적으로 배치된 복수의 증발 몸체를 증발되지 않은 상태로 통과할 수 있는 상황을 방지한다. 본 발명의 하나의 개선예에서 충돌 몸체는 능동적 또는 수동적으로 가열된다. 이는 충돌 표면들 상에서 증기가 응축되는 상황을 방지한다. 그에 따라 상기 충돌 표면들은 바람직하게 서스펜션 또는 에어로졸의 입자들의 증발 온도보다 더 높은 온도를 갖는다.Primarily and substantially, an impinging body is proposed, which is arranged in the axis between the opening of the supply line and the front face of the evaporating body. The evaporating body has one or more impact surfaces lying within the beam cone of the aerosol flow, ie within the axis of the aperture. Aerosol particles, generally in the range from 10 μm to 500 μm, for example with a diameter of approximately 50 μm, are expelled from the opening of the supply line with a momentum adjusted substantially parallel to the axis. . From the opening of the supply line, aerosols as well as suspensions can be discharged to evaporate in the evaporating body disposed next in the direction of flow. While the carrier gas is distributed in the space between the aperture and the front surface according to the hydraulic laws, in particular forming a vortex, the aerosol particles move on a substantially ballistic trajectory and hit the impact surfaces. The aerosol particles reflect from the impact surfaces, with the angle of reflection approximately corresponding to the angle of incidence. In particular, the impact surfaces are adjusted at an oblique angle with respect to the axis, wherein a plurality of impact surfaces inclined at different angles with respect to the axis can be arranged radially side by side and/or axially successively. there is. The impact surfaces are preferably arranged in such a way that the particles are distributed over the entire front by reflection, and in particular by reflection with a velocity component or a movement component in the direction away from the front, and the collision about the axis The angles of the surfaces are selected. In this case, the reflected particles preferably move on an arc trajectory that is at least jointly influenced by the carrier gas flow flowing through the space between the opening and the front surface, wherein the carrier gas flow preferably flows through one or more supply lines. Uniform flow surrounding one or more openings. The impact body preferably has a rotationally symmetrical shape, wherein the impact body is preferably arranged in the space in such a way that the axis of rotation of the impact body lies within the axis of the supply line opening. The impact body may lie on the front of the evaporation body. However, the impact body may also be spaced from the front. The one or more impact surfaces may have the form of a conical surface or a truncated cone surface. The horizontal cross-section of the impact body is preferably larger than the horizontal cross-section of the opening. Preferably the horizontal cross section of the impact body in a plane running transverse to the axis is at least twice, preferably at least five times larger than the horizontal cross section of the opening of the supply line running transverse to the axis. . In one particularly preferred configuration, the impact body is formed by two coaxial conical or truncated cone surfaces arranged axially successively. The first impact surface runs along a conical jacket surface, where the conical jacket surface has an angle in the range of 20 to 30 degrees relative to the axis. A second impact surface is connected to the first impact surface forming a ring-shaped border or border zone, the second impact surface extending radially outside the first impact surface and extending at an angle of 60 to 85 degrees relative to the axis. It has an angle of degrees. The device may comprise a plurality of supply lines whose openings lie in a common plane. A pre-heating body can be arranged in the plane through which one or more openings of the one or more supply lines extend, the pre-heating body being composed of a solid foam through which a carrier gas can flow. The electrically conductive solid foam is heated by flowing current, so that the carrier gas passing through the solid foam has an elevated temperature, and the carrier gas is at the elevated temperature in the space around the opening of the supply line. flows into me. Particles flowing into the separation space in the axial direction from the opening collide with the two collision surfaces and are reflected at different reflection angles, wherein particles reflected from the first collision surface are reflected again from the second collision surface. It can be. The arrangement of the impact bodies and the profile of the impact surfaces are selected in such a way that the aerosol particles reflected from the impact surfaces impinge on the front of the evaporation body with a substantially uniform surface distribution, resulting in the heat transfer surface. The heat transfer takes place not only within the area of the beam cone, but substantially over the entire cross-section of the evaporating body. In addition, at least a central part of the impact body close to the axis is formed in such a way that aerosol particles cannot be reflected back into the supply line. In order to distribute the particles to be evaporated preferably uniformly over substantially the entire surface of the evaporating body, the measures according to the invention ensure that the particles discharged from the opening in large quantities, especially those with high velocities, are directed to the evaporating body or the flow. Prevents a situation where a plurality of evaporation bodies arranged sequentially in one direction may pass through without being evaporated. In one refinement of the invention the impact body is heated either actively or passively. This prevents the situation where vapors condense on the impact surfaces. The impact surfaces therefore preferably have a temperature higher than the evaporation temperature of the particles of the suspension or aerosol.

상기 이격 공간은 상기 공급 라인의 개구 또는 상기 예비 가열 몸체의 가스 배출 표면과 상기 증발 몸체의 정면 사이에서 10 내지 30 ㎜의 간격을 규정할 수 있다. 상기 증발 몸체의 정면으로부터 상기 공급 라인의 개구 또는 상기 개구를 둘러싸는 상기 예비 가열 몸체의 간격은 상기 충돌 몸체의 지름보다 더 크다. 그러나 바람직하게 상기 간격은 상기 충돌 몸체의 지름의 2배보다는 더 작다. 상기 공급 라인의 개구 단부는, 상기 예비 가열 몸체의 개구 내에 삽입되어 있는 절연 슬리브 내에 배치될 수 있다. 상기 공급 라인의 개구부는 상기 증발 몸체를 향해 있는 상기 예비 가열 몸체의 전면과 같은 높이로 진행할 수 있다. 그러나 상기 개구는 상기 전면 위로 돌출하거나, 또는 요형으로(re-entrant) 배치될 수 있음으로써, 결과적으로 리세스가 형성된다.The spacing may define a gap of 10 to 30 mm between the opening of the supply line or the gas outlet surface of the pre-heating body and the front face of the evaporating body. The spacing of the opening of the supply line or the pre-heating body surrounding the opening from the front of the evaporating body is greater than the diameter of the impinging body. However, preferably the gap is smaller than twice the diameter of the impact body. The open end of the supply line may be placed in an insulating sleeve inserted into the opening of the preheating body. The opening of the supply line may run flush with the front of the preheating body towards the evaporation body. However, the opening may protrude above the front surface, or may be arranged re-entrant, resulting in the formation of a recess.

대안적인 하나의 형성예에서, 위에서 기술된 것처럼 사용되고 배치되어 있는 충돌 몸체는 회전 비대칭적인 형상을 가질 수 있다. 본 발명의 대상과 같은 회전 대칭적인 충돌 몸체는 도면 축의 축 방향으로 연속적으로 놓여 있는 충돌 표면들을 구비하고, 이때 상기 충돌 표면들은 서로 직접적으로 인접할 수 있지만, 축 방향으로 서로 간격을 둘 수도 있다. 2개의 충돌 표면의 축 방향 간격을 위해, 상기 충돌 몸체는 원통 재킷 표면을 구비한 원통 섹션을 포함할 수 있다. 특히 제 2 충돌 표면과 동일한 경사각을 가질 수 있는 제 3 충돌 표면이 상기 제 2 충돌 표면으로부터 축 방향으로 간격을 두고 있다. 상기 기울어진 충돌 표면은 증발 몸체의 정면에 직접 인접할 수 있다. 그러나 원통형 바닥이 상기 증발 몸체의 정면에 인접할 수도 있는데, 상기 원통형 바닥은 꺾임부 또는 만곡부를 형성하면서 제 2 또는 제 3 충돌 표면으로 이어지고, 상기 제 2 또는 제 3 충돌 표면에는 마찬가지로 꺾임부 또는 만곡부를 형성하면서 추가 충돌 표면들 또는 원통 재킷 표면들이 연결될 수 있다. 회전 비대칭적으로 설계된 충돌 몸체는 근본적으로 동일한 구조를 가질 수 있다. 그러나 이 경우, 원뿔 표면들 또는 원뿔대 표면들은 원형의 바닥 표면을 갖지 않고, 타원형 또는 계란형 또는 다각형의 바닥 표면을 갖는다. 상기 충돌 몸체의 도면 축은 이와 같은 바닥 표면을 수직으로 가로지를 수 있다. 그러나 상기 충돌 몸체의 도면 축이 각도를 형성하면서 상기 원형, 타원형 또는 계란형 또는 다각형의 바닥 표면을 가로지를 수도 있다. 충돌 몸체가 상기 유형의 형상을 갖는 경우, 상기 충돌 몸체의 도면 축은 공급 라인의 개구의 축에 대해 각도를 갖는다. 상기 충돌 몸체의 도면 축은 상기 공급 라인의 개구의 중심축과 일치한다. 그러나 상기 공급 라인에 대한 상기 충돌 몸체의 이와 같은 중심 배치와 다르게, 충돌 몸체는 공급 라인에 대해 편심으로 배치될 수도 있다. 이 경우, 상기 충돌 몸체의 도면 축은 개구의 중심축에 대해 방사 방향으로 변위되어 있다. 본 발명의 하나의 개선예에서 에어로졸의 각각 하나의 공급 라인의 복수의 개구가 증발 몸체의 정면 방향으로 이격 공간에서 개방되고, 이때 각각의 개구에 하나의 충돌 몸체가 할당되어 있으며, 상기 충돌 몸체는 상기 개구로부터 배출되는 에어로졸을 충돌 표면들에 의해 운동 편형시킨다. 상기 충돌 몸체들은 이 경우에서도 상기 개구의 중심축을 기준으로 중심 또는 편심 배치될 수 있다. 상기 충돌 몸체들은 이 경우에서도 회전 대칭적인 또는 회전 비대칭적인 형상을 가질 수 있다. 본 발명의 하나의 개선예에서 증발 몸체의 전면은 동일한 크기를 갖고 동일하게 설계된 복수의, 특히 4개의 부분 표면을 형성하고, 이때 각각의 부분 표면에 하나의 공급 라인이 할당되어 있다. 바람직하게 충돌 몸체들은 상기 부분 표면들의 각각 하나의 중심을 기준으로 축 방향으로 변위되어 배치되어 있다. 그러나 상기 충돌 몸체들은 개구들에 대해 축 방향으로 변위되어 배치될 수도 있다. 정면의 중점을 기준으로 축 방향 변위는 상기 중점으로부터 멀어지는 방향으로, 그리고 상기 중점 쪽 방향으로 이루어질 수 있다. 바람직하게 상기 정면의 중점을 기준으로 모든 충돌 몸체들이 대칭적으로 변위되어 설계 또는 배치되어 있다.In one alternative configuration, the impact body used and positioned as described above may have a rotationally asymmetric shape. A rotationally symmetrical impact body, such as the subject of the present invention, has impact surfaces lying continuously in the axial direction of the plane axis, where the impact surfaces may be directly adjacent to each other, but may also be axially spaced from each other. For axial spacing of the two impact surfaces, the impact body may comprise a cylindrical section with a cylindrical jacket surface. In particular, a third impact surface, which may have the same inclination angle as the second impact surface, is axially spaced from said second impact surface. The inclined impact surface may be directly adjacent to the front of the evaporating body. However, a cylindrical bottom may also be adjacent to the front of the evaporating body, wherein the cylindrical bottom extends to a second or third impact surface forming a bend or bend, wherein the second or third impact surface also has a bend or bend. Additional impact surfaces or cylindrical jacket surfaces may be connected forming . Impact bodies designed to be rotationally asymmetric can have essentially the same structure. However, in this case, the cone surfaces or truncated cone surfaces do not have a circular bottom surface, but an oval or oval or polygonal bottom surface. The plane axis of the impact body may cross this floor surface perpendicularly. However, the plane axis of the impact body may also intersect the circular, oval, oval or polygonal bottom surface forming an angle. When the impact body has a shape of the above type, the drawing axis of the impact body has an angle with respect to the axis of the opening of the supply line. The drawing axis of the impact body coincides with the central axis of the opening of the supply line. However, unlike this central arrangement of the impact body with respect to the supply line, the impact body may be arranged eccentrically with respect to the supply line. In this case, the drawing axis of the impact body is radially displaced relative to the central axis of the opening. In one improvement of the present invention, a plurality of openings of each supply line of the aerosol are opened in a spaced apart space in the front direction of the evaporating body, wherein one impact body is assigned to each opening, the impact body being The aerosol discharged from the opening is subjected to movement and deformation by impact surfaces. Even in this case, the impact bodies may be arranged centrally or eccentrically with respect to the central axis of the opening. The impact bodies may also in this case have a rotationally symmetrical or rotationally asymmetric shape. In one development of the invention, the front surface of the evaporating body forms a plurality, in particular four partial surfaces of identical size and identical design, with one supply line being assigned to each partial surface. Preferably, the impact bodies are arranged with an axial displacement relative to one center of each of the partial surfaces. However, the impact bodies may also be arranged axially displaced relative to the openings. Axial displacement based on the midpoint of the front may occur in a direction away from the midpoint and toward the midpoint. Preferably, all impact bodies are designed or arranged to be symmetrically displaced based on the midpoint of the front.

다음에서 본 발명은 실시예들에 의해 더 상세하게 설명된다.
도 1은 캐리어 가스 유동 내에서 운반된, 에어로졸의 액체 또는 고체 입자들의 증발에 의해 생성된 증기를 제공하기 위한 소스 어레인지먼트(source arrangement)의 개략적인 횡단면도이고,
도 2는 소스 어레인지먼트의 하우징 내에 배치되어 있는 충돌 몸체의 확대된 횡단면도이며,
도 3은 도 2에 따른 도면의 제 2 실시예이고,
도 4는 도 2에 따른 도면의 제 3 실시예이며,
도 5는 공급 라인(2)을 기준으로, 충돌 몸체(10)의 편심 배치를 보여주는 개략도이고,
도 6은 공급 라인의 축(A)에 대해 기울어진 축(B)을 구비한 충돌 몸체(10)의 배치를 보여주는 개략도이며,
도 7은 도 6의 화살표(7)에 따른 평면도이고, 그리고
도 8은 동일한 크기를 갖고 동일하게 설계된 부분 표면들(t, u, v, w) 내에 배치되어 있고, 각각 에어로졸의 유동 방향으로 공급 라인들(2)의 하부에 배치되어 있는 4개의 충돌 몸체(10)를 구비한 증발 몸체(17)의 정면(17')의 평면도이다.In the following, the invention is explained in more detail by examples.
1 is a schematic cross-sectional view of a source arrangement for providing vapor produced by evaporation of liquid or solid particles of an aerosol, carried in a carrier gas flow;
Figure 2 is an enlarged cross-sectional view of the impact body disposed within the housing of the source arrangement;
Figure 3 is a second embodiment of the drawing according to Figure 2,
Figure 4 is a third embodiment of the drawing according to Figure 2,
Figure 5 is a schematic diagram showing the eccentric arrangement of the impact body 10 with respect to the supply line 2,
Figure 6 is a schematic diagram showing the arrangement of the impact body 10 with an axis B inclined with respect to the axis A of the supply line,
Figure 7 is a top view according to arrow 7 in Figure 6, and
Figure 8 shows four impact bodies ( This is a plan view of the front side 17' of the evaporation body 17 provided with 10).

본 발명에 따른 소스 어레인지먼트는 코팅 장치 내에서 사용되며, 상기 코팅 장치에 의해서는 OLED-디스플레이들을 제조하기 위해 기판들, 특히 유리 기판들이 유기 분자들에 의해 코팅된다. 도면들에 도시되지 않은 에어로졸 발생기에서는 액체 또는 고체 출발 물질들로부터 에어로졸 흐름(21)이 생성되고, 상기 에어로졸 흐름은 공급 라인(2)을 관류한다. 에어로졸 입자들은 대략 50 ㎛의 평균 지름을 갖고 감소한 압력에서 상기 공급 라인을 통해 운반되며, 이때 상기 압력은 1 내지 10 mbar일 수 있다.The source arrangement according to the invention is used in a coating apparatus by which substrates, especially glass substrates, are coated with organic molecules for producing OLED-displays. In an aerosol generator, not shown in the figures, an aerosol stream 21 is generated from liquid or solid starting materials, which flows through the supply line 2. Aerosol particles have an average diameter of approximately 50 μm and are transported through the supply line at reduced pressure, which may be between 1 and 10 mbar.

상기 소스 어레인지먼트의 하우징(1)은 대략 원통형 형상의 공동부를 둘러싸고, 이때 상기 공동부는 바람직하게 직사각형의 횡단면을 갖는다. 상기 하우징(1)의 상부 영역 내에서 상기 공급 라인(2)이 상기 하우징 내로 안내되고 중공 랜스를 형성하며, 상기 중공 랜스의 단부는 상기 하우징의 공동의 전체 횡단면을 채우는 예비 가열 몸체(8)의 개구 내에 삽입되어 있다. 실시예에는 단 하나의 공급 라인(2)만이 도시되어 있다. 그러나 서로 평행하게 배치된 복수의 공급 라인이 제공될 수 있다.The housing 1 of the source arrangement encloses a cavity of approximately cylindrical shape, which cavity preferably has a rectangular cross-section. In the upper region of the housing 1 the supply line 2 is guided into the housing and forms a hollow lance, the end of which is connected to a preheating body 8 that fills the entire cross-section of the cavity of the housing. It is inserted into the opening. In the embodiment only one supply line 2 is shown. However, a plurality of supply lines arranged parallel to each other may be provided.

퍼지 가스 공급 라인(3)을 통해 퍼지 가스(purge gas)(22)가 예비 챔버(4) 내로 공급되고, 상기 예비 챔버는 상기 예비 가열 몸체(8)의 상류에서 연장된다. 상기 예비 가열 몸체(8)는, 예를 들어 국제 특허 출원서 WO 2012/175124 A1호에 기술되는 것과 같은 전기 전도성 폼으로 구성된다. 전류가 관류함으로써 상기 예비 가열 몸체(8)는 가열되고, 그 결과 상기 예비 가열 몸체(8)를 통과하는 퍼지 가스(22)가 가열된다. 상기 공급 라인(2)의 개구 단부는 전기 절연성 슬리브(6) 내에 삽입되어 있다.A purge gas 22 is supplied into the pre-chamber 4 through a purge gas supply line 3, which extends upstream of the pre-heating body 8. The preheating body 8 is made of electrically conductive foam, for example as described in international patent application WO 2012/175124 A1. The pre-heating body 8 is heated by the current flowing through it, and as a result the purge gas 22 passing through the pre-heating body 8 is heated. The open end of the supply line (2) is inserted into an electrically insulating sleeve (6).

실시예에서는 상기 공급 라인(2)이 5 ㎜의 내경(D0)을 갖는다. 상기 개구 단부(2)는 하류에 있는 상기 예비 가열 몸체(8)의 평면 전면에 대하여 요형으로 개방됨으로써, 결과적으로 이격 공간(9) 내로 유입되는 상기 에어로졸 흐름(21)이 관류하는 개구(5)는 리세스(7) 내에 놓인다.In the embodiment, the supply line 2 has an inner diameter D0 of 5 mm. The opening end (2) opens concavely with respect to the planar front surface of the downstream pre-heating body (8), resulting in an opening (5) through which the aerosol stream (21) flowing into the space (9) flows. lies within the recess (7).

상기 개구(5)의 가스 배출 표면에 대해 수직 방향으로 축(A)이 연장되고, 상기 축은 상기 공급 라인(2)의 중심을 통해 진행하고 대략 22 ㎜의 간격(a)에 걸쳐서 상기 이격 공간(9)을 통해 연장된다.An axis A extends in a direction perpendicular to the gas outlet surface of the opening 5, which axis runs through the center of the supply line 2 and spans a gap a of approximately 22 mm. It is extended through 9).

유동 방향 또는 상기 축(A)의 방향으로, 하류에 있는 상기 예비 가열 몸체(8) 또는 상기 개구(5)의 정면에 대하여 제 1 증발 몸체(17)의 정면(17')이 마주 놓인다. 상기 증발 몸체(17)는 유동 방향으로 상기 제 1 증발 몸체(17) 다음에 배치된 추가 증발 몸체들(18, 19)과 마찬가지로 전기 전도성의 가스가 통과하는 기공성 재료, 예를 들어 국제 특허 출원서 WO 2012/175124에 기술된 것과 같은 폼으로부터 제조되었다. 상기 증발 몸체들(17, 18, 19)의 폼의 셀 벽들은 열 전달 표면들을 형성하고, 상기 열 전달 표면들은 증발 열을 에어로졸 입자들에 전달할 수 있으며, 상기 증발 열에 의해 상기 에어로졸 입자들은 증기 형태로 증발된다. 이를 위해, 상기 축(A)의 방향으로 서로 약간 간격을 둘 수도 있는 상기 증발 몸체들(17, 18, 19)은 전기적으로 가열된다. 이 경우, 상기 서로 다른 증발 몸체들 내에서의 전기적 가열은 독립적으로 조정될 수 있다.In the direction of flow or the axis A, the front face 17' of the first evaporation body 17 faces the front face of the opening 5 or the pre-heating body 8 located downstream. The evaporation body 17 is made of a porous material through which an electrically conductive gas passes, as well as further evaporation bodies 18, 19 arranged after the first evaporation body 17 in the direction of flow, for example International Patent Application It was prepared from the same foam as described in WO 2012/175124. The foam cell walls of the evaporation bodies 17, 18, 19 form heat transfer surfaces, which can transfer the heat of evaporation to the aerosol particles, by which the aerosol particles are in vapor form. evaporates. For this purpose, the evaporating bodies 17, 18, 19, which may be slightly spaced from each other in the direction of the axis A, are electrically heated. In this case, the electrical heating in the different evaporation bodies can be adjusted independently.

바람직하게 상기 축(A)에 대해 횡 방향으로 연장되는 평면 내에서 진행하는, 상기 개구(5)를 향해 있는 상기 정면(17')상에는 충돌 몸체(10)가 배치되어 있다. 상기 충돌 몸체는 도면 축을 구비한다. 상기 충돌 몸체는 회전 대칭적으로 설계되어 있다. 상기 도면 축은 상기 축(A) 내에 놓여 있다. 상기 장치가 각각 하나의 개구(5)를 구비한 복수의 공급 라인(2)을 가지면, 도면들에 도시되어 있는 것처럼 각각의 개구(5)의 하류에 하나의 충돌 몸체(10)가 배치되어 있다.An impact body 10 is arranged on the front surface 17' towards the opening 5, preferably running in a plane extending transversely to the axis A. The impact body has a plane axis. The impact body is designed to be rotationally symmetrical. The drawing axis lies within the axis A. If the device has a plurality of supply lines 2, each with an opening 5, one impact body 10 is arranged downstream of each opening 5 as shown in the figures. .

상기 충돌 몸체는, 원뿔 표면상에서 연장되는 제 1 충돌 표면(11)을 갖는다. 상기 원뿔 표면을 규정하는 원뿔의 팁(13)은 상기 축(A) 내에 놓여 있다. 상기 원뿔 표면(11)은 상기 축에 대해, 20 내지 30 도의 범위 내에 놓여 있는 각도(α)를 갖는다. 바람직하게 상기 각도(α)는 대략 25 내지 27 도에 놓인다.The impact body has a first impact surface 11 extending on a conical surface. The tip 13 of the cone defining the conical surface lies within the axis A. The conical surface 11 has an angle α lying in the range of 20 to 30 degrees with respect to the axis. Preferably the angle α lies approximately between 25 and 27 degrees.

상기 제 1 충돌 표면(11)은, 링 구역을 형성하면서 제 2 충돌 표면(12)으로 이어지는 방사 방향 내부 충돌 표면을 형성한다. 상기 제 1 충돌 표면(11)보다 상기 개구(5)로부터 더 멀리 간격을 두고 있는 상기 방사 방향 외부의 제 2 충돌 표면(12)은 원뿔대 재킷 표면상에서 진행한다. 상기 원뿔대 재킷 표면을 규정하는 원뿔대는 상기 축(A)과 일치하는 중심선을 갖는다. 상기 원뿔대 재킷 표면(12)은 상기 축(A)에 대해, 60 내지 85 도의 범위 내에, 바람직하게 대략 78 내지 79 도의 범위 내에 놓여 있는 각도(β)를 갖는다. 상기 방사 방향 내부에 놓인 상기 제 1 충돌 표면(11)이 상기 방사 방향 외부의 제 2 충돌 표면(12)보다 상기 축(A)에 대해 더 뾰족한 경사각(α)을 갖는 경우가 바람직하다. 도시되지 않은 하나의 실시예에서 각도(α)는 더 뾰족하고 그리고/또는 각도(β)는 더 뭉툭할 수 있다. 특히 상기 각도(α)는 0보다 크고 45 도 이하인 값을 갖는다. 특히 상기 각도(β)는 45 도 이상이고 90 도보다 작다.The first impact surface 11 forms a radially internal impact surface that leads to the second impact surface 12, forming a ring region. The radially external second impact surface 12, spaced further from the opening 5 than the first impact surface 11, runs on the truncated cone jacket surface. The truncated cone defining the truncated cone jacket surface has a center line coincident with the axis A. The truncated cone jacket surface 12 has an angle β with respect to the axis A, lying in the range of 60 to 85 degrees, preferably in the range of approximately 78 to 79 degrees. It is advantageous if the first impact surface 11 lying inside the radial direction has a sharper inclination angle α with respect to the axis A than the second impact surface 12 outside the radial direction. In one embodiment, not shown, angle α may be sharper and/or angle β may be blunter. In particular, the angle α has a value greater than 0 and less than or equal to 45 degrees. In particular, the angle β is greater than 45 degrees and less than 90 degrees.

상기 제 1 충돌 표면을 규정하는 원뿔의 높이(H1)는 대략 6 ㎜이다. 원뿔 바닥 표면은 대략 6 ㎜의 지름(D1)을 갖는다. 상기 제 2 충돌 표면(12)을 규정하는 원뿔대의 높이(H2)는 대략 1.5 ㎜이다. 상기 제 2 충돌 표면(12)의 원뿔대의 바닥 표면은 대략 15 ㎜의 지름(D2)을 갖는다.The height H1 of the cone defining the first impact surface is approximately 6 mm. The cone bottom surface has a diameter D1 of approximately 6 mm. The height H2 of the truncated cone defining the second impact surface 12 is approximately 1.5 mm. The truncated bottom surface of the second impact surface 12 has a diameter D2 of approximately 15 mm.

상기 제 1 충돌 표면(11)의 바닥 표면의 지름(D1)이 대략 상기 개구(5)의 지름(D0)에 상응하는 경우가 바람직하다. 특히 바람직하게 상기 지름(D1)은 상기 지름(D0)보다 약간 더 크다.Preferably, the diameter D1 of the bottom surface of the first impact surface 11 approximately corresponds to the diameter D0 of the opening 5. Particularly preferably the diameter D1 is slightly larger than the diameter D0.

상기 장치의 기능 방식은 다음과 같다: 공급 라인(2)을 통해 비활성 가스를 구비한 에어로졸이 축(A) 방향으로 운반된다. 상기 공급 라인(2)은, 퍼지 가스(22)에 의해 씻기는 예비 챔버(4)를 통해 연장된다. 에어로졸 흐름(21)은 개구(5)를 통해 이격 공간(9) 내로 유입된다. 상기 퍼지 가스(22)는 예비 가열 몸체(8)에 의해 예비 가열되어 상기 이격 공간(9) 내로 안내되고 상기 에어로졸 흐름을 둘러싸는 퍼지 가스 흐름을 형성하며, 이때 상기 퍼지 가스 및 캐리어 가스는 동일한 가스일 수 있다. 상기 캐리어 가스에 의해 운반된 에어로졸 입자들은 대략 직선의 궤도들(15, 15') 상에서 이동하여 실질적으로 상기 축(A) 방향으로 상기 이격 공간(9)을 통과하고 충돌 몸체(10)의 제 1 및 제 2 충돌 표면(11, 12)상으로 부딪치고 그곳에서 반사되며, 이때 반사각은 대략 입사각에 상응한다. 상기 궤도(15)상에서 상기 축에 대해 각도(β)만큼 강하게 기울어진 상기 제 2 충돌 표면(12)상으로 유입되는 입자는 정면(17')으로부터 멀어지는 방향으로 반사되고, 상기 충돌 몸체(10)에 대해 방사 방향 간격을 두고 상기 정면(17')상으로 부딪치고 그곳에서 퍼지 가스 유동에 의해 이송되어 증발 몸체(17) 내로 운반되고 그곳에서 증발하기 위해, 상기 축(A)으로부터 멀어지는 방사 방향으로 아크 궤도(16)를 그린다.The way the device functions is as follows: Through the supply line 2, an aerosol with an inert gas is conveyed in the direction of axis A. The supply line (2) extends through the pre-chamber (4) where it is flushed by purge gas (22). The aerosol stream (21) enters the space (9) through the opening (5). The purge gas 22 is preheated by the preheating body 8 to form a purge gas flow that is guided into the space 9 and surrounds the aerosol stream, wherein the purge gas and the carrier gas are the same gas. It can be. The aerosol particles carried by the carrier gas move on approximately straight trajectories 15, 15', passing through the space 9 substantially in the direction of the axis A and colliding with the first impact body 10. and strikes onto the second impact surface 11, 12 and is reflected there, with the angle of reflection approximately corresponding to the angle of incidence. Particles entering the second impact surface 12, which is strongly inclined at an angle β with respect to the axis on the orbit 15, are reflected in a direction away from the front face 17', and the impact body 10 radially away from the axis A to strike on the front 17' at radial intervals relative to the Draw an arc orbit (16).

상기 궤도(15')를 따라서 이동하는 입자는 우선 상기 축(A)에 대해 급격하게 기울어진 상기 제 1 충돌 표면(11)에 부딪치고 그곳에서 편향된다. 그런 다음 상기 충돌 표면(11)에서 편향된 입자는 상기 증발 몸체(17)의 정면(17')에 직접 충돌할 수 있거나, 또는 상기 제 2 충돌 표면(12)에 부딪치는 경우, 재차 반사될 수 있다. 이 경우, 2번 반사된 입자의 아크 형태의 운동 궤도(16')는 상기 제 1 충돌 표면에서 단 한번 반사된 입자의 궤도(16)보다 더 평평하게 진행한다.A particle moving along the trajectory 15' first hits the first impact surface 11, which is steeply inclined with respect to the axis A, and is deflected there. Particles deflected at the impact surface 11 may then directly impact the front face 17' of the evaporation body 17, or may be reflected again when hitting the second impact surface 12. . In this case, the arc-shaped motion trajectory 16' of the twice-reflected particle runs flatter than the trajectory 16 of the particle reflected only once at the first impact surface.

입자들의 반사가 상기 공급 라인 내부로 불가능한 방식으로 상기 충돌 표면들이 기울어져 있다. 그 밖에, 상기 충돌 표면들 상에서 증기의 응축이 이루어지지 않는 온도로 상기 충돌 표면들을 가열하기 위한 조치들이 제공되어 있다.The impact surfaces are tilted in such a way that reflection of particles into the feed line is impossible. In addition, measures are provided for heating the impingement surfaces to a temperature at which no condensation of vapor occurs on the impingement surfaces.

또한, 입자들이 상기 하우징(1)의 하우징 벽에 부딪치는 방식으로 상기 입자들은 상기 충돌 표면들(11, 12)에서 반사된다.Additionally, the particles are reflected from the impact surfaces 11, 12 in such a way that they hit the housing wall of the housing 1.

도면들에서 파선으로 도시된 궤도들은 상기 입자들의 물리적인 운동 궤도들을 단지 상징적으로만 재현한다. 상기 입자들의 지름 및 상기 이격 공간(9) 내부의 전체 압력에 따라서, 상기 입자들의 운동 궤도들은 경우에 따라 결정적으로 상기 퍼지 가스 또는 캐리어 가스의 유동 프로파일에 의해 함께 결정된다.The trajectories shown in dashed lines in the figures only symbolically reproduce the physical motion trajectories of the particles. Depending on the diameter of the particles and the total pressure inside the space 9 , the trajectories of motion of the particles are determined together with the flow profile of the purge gas or carrier gas, as the case may be.

도 3에 도시된 실시예는 충돌 몸체(10)의 도면 축(B)을 중심으로 회전 대칭적으로 연장되는 충돌 표면들(11, 12, 24)을 구비한 충돌 몸체(10)를 보여준다. 제 1 충돌 표면(11)은 원뿔 표면상에서 원뿔 각(α)으로 연장되고 팁(13)을 갖는다. 만곡부 또는 꺾임선을 형성하면서 상기 제 1 충돌 표면(11)은 제 2 충돌 표면(12)으로 이어지고, 상기 제 2 충돌 표면은 제 3 충돌 표면(24)으로부터 간격을 두고 있다. 상기 도면 축(B)에 대한 상기 제 2 충돌 표면(12)의 경사각(β)은 대략 상기 도면 축(B)에 대한 상기 제 3 충돌 표면(24)의 경사각(γ)에 상응한다. 제 2 충돌 표면(12)과 제 3 충돌 표면(24) 사이에 배치되어 있는 원통 표면(20)의 높이(H3)는 상기 제 2 충돌 표면(12)의 높이(H2) 및 상기 제 3 충돌 표면(24)의 높이(H4)보다 더 크다. 증발 몸체(17)의 정면(17')상에 놓이는 상기 충돌 몸체(10)의 바닥 표면은 본 도면에서, 그 원통 표면(20')이 상기 제 3 충돌 표면(24)에 연결되는 추가 원통 섹션의 바닥 표면에 의해 형성된다. 상기 원통 표면(20')의 높이(H5)는 상기 제 3 충돌 표면(24)의 높이(H4)보다 더 크다. 상기 제 3 충돌 표면(24)의 바닥 표면의 지름에 상응하는 상기 충돌 몸체(10)의 바닥 표면의 지름(D3)은 상기 원통 표면(20)의 지름(D2)보다 더 크다.The embodiment shown in FIG. 3 shows an impact body 10 with impact surfaces 11 , 12 , 24 extending rotationally symmetrically about the drawing axis B of the impact body 10 . The first impact surface 11 extends at a cone angle α on the conical surface and has a tip 13. The first impact surface (11) leads to a second impact surface (12), forming a bend or bend, which is spaced from the third impact surface (24). The inclination angle β of the second impact surface 12 with respect to the drawing axis B approximately corresponds to the inclination angle γ of the third impact surface 24 with respect to the drawing axis B. The height H3 of the cylindrical surface 20 disposed between the second impact surface 12 and the third impact surface 24 is equal to the height H2 of the second impact surface 12 and the third impact surface. It is larger than the height (H4) of (24). The bottom surface of the impact body 10, which lies on the front face 17' of the evaporating body 17, is shown in this figure by a further cylindrical section, the cylindrical surface 20' of which is connected to the third impact surface 24. is formed by the bottom surface of The height H5 of the cylindrical surface 20' is greater than the height H4 of the third impact surface 24. The diameter D3 of the bottom surface of the impact body 10, which corresponds to the diameter of the bottom surface of the third impact surface 24, is larger than the diameter D2 of the cylindrical surface 20.

제 2 충돌 몸체(12)가 증발 몸체(17)의 정면(17')에 직접적으로 인접하지 않고, 상기 제 2 충돌 몸체(12)에 원통 표면(20)을 구비한 원통 섹션이 연결됨으로써, 결과적으로 도 3에 도시된 실시예에서와 같이 가장 큰 지름의 충돌 표면이 축(B) 또는 축(A)을 기준으로 상기 정면(17)에 대해 축 방향으로 변위되어 배치되어 있다는 사실만으로, 도 4에 도시된 실시예는 도 2에 도시된 실시예와 실질적으로 다르다.The second impact body 12 is not directly adjacent to the front face 17' of the evaporation body 17, but a cylindrical section with a cylindrical surface 20 is connected to the second impact body 12, resulting in 4 simply by the fact that, as in the embodiment shown in FIG. 3 , the impact surface of the largest diameter is arranged axially displaced with respect to the front face 17 about axis B or A. The embodiment shown in is substantially different from the embodiment shown in FIG. 2 .

도 5는 도 1에 도시된 실시예에서와 다르게, 충돌 몸체(10)의 도면 축(B)이 개구(5)의 중심축(A) 내에 놓여 있지 않은 하나의 실시예를 보여준다. 상기 축(A)에 대해 평행하게 진행하는 상기 도면 축(B)은 상기 축(A)에 대해 방사 방향으로 변위되어 있다.FIG. 5 shows an embodiment in which, unlike the embodiment shown in FIG. 1 , the drawing axis B of the impact body 10 does not lie within the central axis A of the opening 5 . The drawing axis B, which runs parallel to the axis A, is radially displaced with respect to the axis A.

도 6은 충돌 몸체(10)가 회전 대칭적인 형상을 갖지 않는 하나의 추가 실시예를 보여준다. 개구(5)를 통해 진행하는 축(A)에 대해 기울어져서 진행하고 제 1 충돌 표면(11)의 팁(13)을 통해 진행하는 구조 축(B)을 기준으로, 상기 제 1 충돌 표면(11)은 회전 대칭성을 가질 수 있다. 상기 축(A)에 대해 평행하게 진행하는, 도 6에는 도시되지 않은 축을 기준으로, 상기 제 1 충돌 표면(11)은 회전 비대칭적으로 진행한다. 상기 제 1 충돌 표면(11)의 바닥 표면은 타원형 또는 계란형 표면일 수 있다. 상기 바닥 표면에서 상기 제 1 충돌 표면(11)은 꺾임선 또는 만곡부를 형성하면서 중간 충돌 표면(12')으로 이어지고, 상기 중간 충돌 표면은 상기 제 1 충돌 표면(11)과 마찬가지로 원뿔 표면 또는 원뿔과 유사한 표면상에서 연장될 수 있다. 상기 중간 충돌 표면(12')에 제 2 충돌 표면(12)이 연결되고, 상기 제 2 충돌 표면도 마찬가지로 회전 비대칭적으로 진행한다. 상기 충돌 표면들은 원통 재킷 표면들 또는 원뿔 재킷 표면들에 의해 형성될 수 있고, 이때 상기 원뿔 또는 원통의 축들은 서로 기울어져서 진행한다.Figure 6 shows one further embodiment in which the impact body 10 does not have a rotationally symmetrical shape. Said first impact surface (11) runs at an angle with respect to the axis (A) running through the opening (5) and relative to the structural axis (B) which runs through the tip (13) of the first impact surface (11). ) may have rotational symmetry. The first impact surface 11 progresses rotationally asymmetrically about an axis not shown in FIG. 6 , which runs parallel to the axis A. The bottom surface of the first impact surface 11 may be an oval or egg-shaped surface. In the floor surface the first impact surface 11 continues forming a bend or bend into an intermediate impact surface 12', which, like the first impact surface 11, is a cone or cone. Can extend on similar surfaces. A second impact surface 12 is connected to the intermediate impact surface 12', which also progresses rotationally asymmetrically. The impact surfaces may be formed by cylindrical jacket surfaces or conical jacket surfaces, where the axes of the cone or cylinder run at an angle to each other.

도 8은 증발 몸체(17)의 정면(17')의 평면도를 보여준다. 상기 정면(17')의 전면은 정사각형이고 동일한 크기를 갖고 동일하게 설계된 4개의 부분 표면(t, u, v, w)으로 분할된다. 상기 부분 표면들(t, u, v, w) 사이의 파선으로 도시된 경계선들은 상기 정면(17')의 중점에서 교차한다. 이와 같은 중점을 기준으로 4개의 대칭부 내에 공급 라인들(2)의 4개의 개구(5)가 배치되어 있고, 이때 각각의 개구(5)에 하나의 충돌 몸체(10)가 할당되어 있다. 상기 충돌 몸체(10)는 비대칭적인 형상을 가질 수 있고 상기 개구(5)에 대해 비대칭적으로, 특히 편심으로 배치될 수 있다. 바람직하게, 상기 정면(17')의 중점을 기준으로 대칭적인 방식으로 배치되어 있는 동일하게 설계된 충돌 몸체(10)들이 고려된다.Figure 8 shows a plan view of the front side 17' of the evaporation body 17. The front surface of the facade 17' is square and is divided into four partial surfaces t, u, v, w, of equal size and identical design. The boundary lines shown as dashed lines between the partial surfaces t, u, v, w intersect at the midpoint of the front surface 17'. Based on this midpoint, the four openings 5 of the supply lines 2 are arranged in four symmetrical parts, with one impact body 10 assigned to each opening 5. The impact body 10 can have an asymmetrical shape and can be arranged asymmetrically, in particular eccentrically, with respect to the opening 5 . Preferably, identically designed impact bodies 10 arranged in a symmetrical manner with respect to the midpoint of the front face 17' are considered.

상기 실시예들은 본 출원서에 의해 전체적으로 기술된 발명들을 설명하기 위해 이용되며, 상기 발명들은 적어도 다음 특징 조합들에 의해 선행 기술을 각각 독립적으로도 개선한다:The above embodiments are used to illustrate the inventions described in their entirety by this application, which each independently improve upon the prior art by at least the following combinations of features:

개구(5)와 정면(17) 사이에 배치된, 하나 또는 복수의 충돌 표면(11, 12, 24)을 구비한 충돌 몸체(15)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 장치.Device, characterized in that it comprises an impact body (15) arranged between the opening (5) and the front face (17), with one or more impact surfaces (11, 12, 24).

상기 충돌 표면들(11, 12, 24)은, 특히 10 도보다 크고 80 도보다 작은 각도(α, β)로 축(A)에 대해 비스듬하게 조정되어 있는 것을 특징으로 하는, 장치.Device, characterized in that the impact surfaces (11, 12, 24) are adjusted obliquely relative to the axis (A), in particular at angles (α, β) greater than 10 degrees and less than 80 degrees.

상기 하나 또는 복수의 충돌 표면(11, 12, 24)은 상기 축(A)에 대해 회전 대칭적으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 장치.Device, characterized in that the one or more impact surfaces (11, 12, 24) are arranged rotationally symmetrically with respect to the axis (A).

상기 충돌 몸체(10)는, 상기 축(A)에 대해 서로 다른 각도(α, β)로 기울어져서 진행하는 2개 또는 복수의 충돌 표면(11, 12)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 장치.The device is characterized in that the impact body (10) comprises two or more impact surfaces (11, 12) inclined at different angles (α, β) relative to the axis (A).

상기 하나 또는 복수의 충돌 표면(11, 12, 24)은 원뿔 표면 또는 원뿔대 표면을 따라서 연장되고, 원뿔 바닥 표면은 원형 표면, 계란형 표면 또는 타원형 표면인 것을 특징으로 하는, 장치.The device, characterized in that the one or more impact surfaces (11, 12, 24) extend along a conical surface or a truncated cone surface, and the cone bottom surface is a circular surface, an oval surface or an oval surface.

상기 축(A)에 대해 횡 방향으로 연장되는 상기 충돌 몸체(10)의 수평 단면은 상기 축(A)에 대해 횡 방향으로 연장되는 상기 개구(5)의 표면보다 적어도 2배, 바람직하게 적어도 5배 더 큰 것을 특징으로 하는, 장치.The horizontal cross-section of the impact body 10 extending transversely to the axis A is at least twice, preferably at least 5 times, the surface of the opening 5 extending transversely to the axis A. A device characterized by being twice as large.

상기 충돌 몸체(10)는 원뿔 표면상에서 연장되는, 방사 방향 내부에 놓인 제 1 충돌 표면(11)을 포함하고, 원뿔의 팁(13)은 상기 축(A) 내에 놓여 있고, 상기 원뿔 표면은 상기 축(A)에 대해 20 내지 30 도의 각도(α)만큼 기울어져 있으며, 상기 충돌 몸체는 방사 방향 외부에 놓인 제 2 충돌 표면(12)을 포함하고, 상기 제 2 충돌 표면은 타원형 또는 원형 꺾임선을 형성하면서 상기 제 1 충돌 표면(11)에 연결되며 상기 축(A)에 대해 60 내지 85 도의 각도(β)를 갖는 원뿔대 재킷 표면상에서 진행하는 것을 특징으로 하는, 장치.The impact body 10 comprises a first impact surface 11 lying radially inward, extending on a conical surface, the tip 13 of the cone lying within the axis A, the conical surface Inclined by an angle α of 20 to 30 degrees relative to the axis A, the impact body comprises a second impact surface 12 lying radially outward, the second impact surface being elliptical or circularly angled. Characterized in that the device is connected to the first impact surface (11) and runs on a truncated cone jacket surface with an angle (β) of 60 to 85 degrees with respect to the axis (A), forming

상기 개구(5)를 포함하는 상기 공급 라인(2)의 단부는 가열된 예비 가열 몸체(8)의 개구 내에 삽입되어 있고, 상기 예비 가열 몸체(8)는 퍼지 가스(22)에 의해 씻길 수 있으며, 상기 퍼지 가스는 예비 가열 몸체(8)와 증발 몸체(17) 사이의 이격 공간(9) 내로 유입되는 것을 특징으로 하는, 장치.The end of the supply line (2), including the opening (5), is inserted into the opening of a heated pre-heating body (8), which can be purged by purge gas (22). , Characterized in that the purge gas flows into the separation space (9) between the preheating body (8) and the evaporation body (17).

상기 개구(5)의 간격(a)은 상기 충돌 몸체(10)의 지름(D2)의 1배 내지 2배의 범위 내에 놓여 있는 것을 특징으로 하는, 장치.Characterized in that the spacing (a) of the opening (5) lies in the range of 1 to 2 times the diameter (D2) of the impact body (10).

상기 충돌 몸체(10)의 구조 축 또는 도면 축(B)은 상기 개구(5)의 중심을 통해 진행하는 상기 축(A)에 대해 방사 방향으로 변위되어 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 장치.The device, characterized in that the structural or plane axis (B) of the impact body (10) is arranged radially displaced relative to the axis (A) running through the center of the opening (5).

상기 충돌 몸체(10)의 구조 축 또는 도면 축(B)은 상기 축(A)에 대해 각도 변위되어 진행하는 것을 특징으로 하는, 장치.The device, characterized in that the structural or drawing axis (B) of the impact body (10) progresses at an angular displacement with respect to the axis (A).

2개의 충돌 표면(12, 24)은 원통 표면(20)에 의해 서로 간격을 두고 있는 것을 특징으로 하는, 장치.Device, characterized in that the two impact surfaces (12, 24) are spaced from each other by a cylindrical surface (20).

특히 서로 평행하게 진행하는 복수의 공급 라인(20)이 제공되어 있고, 상기 공급 라인들은 증발 몸체(17)의 정면(17')의 부분 표면들(t, u, v, w)의 중심에 대해 변위되어 배치되어 있으며, 각각의 개구(5)에 하나의 충돌 몸체(10)가 할당되어 있고, 상기 충돌 몸체(10)는 특히 회전 비대칭적인 형상 및/또는 상기 공급 라인(2)의 개구(5)의 중심축(A)에 대해 편심 배치를 갖는 것을 특징으로 하는, 장치.In particular, a plurality of supply lines 20 running parallel to each other are provided, which supply lines are relative to the centers of the partial surfaces t, u, v, w of the front face 17' of the evaporating body 17. It is arranged in a displaced manner, with one impact body 10 assigned to each opening 5 , which impact body 10 has in particular a rotationally asymmetrical shape and/or has an opening 5 in the supply line 2. ), characterized in that the device has an eccentric arrangement with respect to the central axis (A).

공지된 모든 특징들은 (그 자체로, 그러나 서로 조합된 상태로도) 본 발명에 있어서 중요하다. 그에 따라, 우선권 서류의 특징들을 본 출원서의 청구 범위 내에 함께 수용할 목적으로도, 본 출원서의 공개 내용에는 해당하는/첨부된 우선권 서류(예비 출원서의 사본)의 공개 내용도 전체적으로 함께 포함된다. 특히 종속 청구항들을 기초로 부분 출원을 진행하기 위해, 종속 청구항들의 특징들은 선행 기술의 독립적이고 진보적인 개선예들을 특징 짓는다. All known features (by themselves but also in combination with each other) are important for the invention. Accordingly, for the purpose of incorporating the features of the priority document together within the scope of the claims of this application, the disclosure of the corresponding/attached priority document (copy of the preliminary application) is also included in its entirety. In particular, for the purpose of proceeding with a partial application based on dependent claims, the features of the dependent claims characterize independent and progressive improvements of the prior art.

1 하우징
2 공급 라인, 에어로졸
3 공급 라인, 퍼지 가스
4 예비 챔버
5 개구
6 슬리브
7 리세스
8 예비 가열 몸체
9 이격 공간
10 충돌 몸체
11 제 1 충돌 표면
12 제 2 충돌 표면
12' 중간 충돌 표면
13 팁
14 바닥
15 궤도
15' 궤도
16 궤도
16' 운동 궤도
17 증발 몸체
17' 정면
18 증발 몸체
19 증발 몸체
20 원통 표면
20' 원통 표면
21 에어로졸 흐름
22 퍼지 가스 흐름
23 증기 유동
24 제 3 충돌 표면
a 간격
t 부분 표면
u 부분 표면
v 부분 표면
w 부분 표면
A 축
B 축
D0 지름
D1 지름
D2 지름
D3 지름
H1 높이
H2 높이
H3 높이
H4 높이
H5 높이
α 경사각
β 각도
γ 각도1 housing
2 Supply line, aerosol
3 supply line, purge gas
4 spare chamber
5 opening
6 sleeves
7 recess
8 Pre-heated body
9 Separation space
10 collision body
11 First impact surface
12 Second impact surface
12' medium impact surface
13 tips
14 floor
15 orbit
15' orbit
16 orbit
16' movement orbit
17 Evaporation body
17' front
18 Evaporation body
19 Evaporation body
20 cylindrical surface
20' cylindrical surface
21 Aerosol flow
22 Purge gas flow
23 Steam Flow
24 Third impact surface
a spacing
t part surface
u part surface
v part surface
w partial surface
A axis
B axis
D0 diameter
D1 diameter
D2 diameter
D3 diameter
H1 height
H2 height
H3 height
H4 height
H5 height
α inclination angle
β angle
γ angle

Claims (15)

증기를 생성하기 위한 장치로서,
상기 장치는 액체 또는 고체 입자들을 포함하는 에어로졸을 생성하기 위한 에어로졸 발생기를 갖고,
상기 장치는, 캐리어 가스 유동과 함께 상기 에어로졸 발생기로부터, 하우징(1) 내에 배치된, 가열된 열 전달 표면들을 갖고 상기 캐리어 가스가 통과하는 증발 몸체(17)로 상기 입자들을 운반하기 위한 공급 라인(2)을 구비하고, 상기 공급 라인(2)의 개구(5)는 상기 하우징(1) 내에 배치된, 가열된 열 전달 표면들을 갖는 상기 증발 몸체(17)의 정면(17')으로부터 이격 공간(9)만큼 이격되고, 상기 개구(5)의 축(A) 방향으로 상기 정면(17')을 향하는 입자 유동을 생성하고, 상기 입자 유동은 상기 하우징(1)의 횡단면을 채우는 예비 가열 본체(8)를 통해 상기 이격 공간(9)으로 유입되는 퍼지 가스 유동으로 둘러싸여 있고,
상기 축 방향으로 상기 개구(5)와 상기 정면(17') 사이에 배치된 충돌 몸체(10)를 포함하고, 상기 충돌 몸체(10)는 상기 축(A)에 대해 횡 방향으로 연장되는 평면 면적을 가지며, 상기 평면 면적은 상기 축(A)에 대해 횡 방향으로 연장되는 상기 개구(5)의 면적보다 2배 초과로 크고, 상기 충돌 몸체(10)는, 상기 충돌 몸체(10)로부터 상기 축(A)의 반경 방향으로 거리를 두고 상기 정면(17') 상에 충돌하고 퍼지 가스 유동에 의해 상기 증발 몸체(17) 내로 운반되는 방식으로, 에어로졸 입자들을 퍼지 가스 유동으로 반사시키는 하나 또는 그 초과의 충돌 표면을 갖는, 장치.A device for generating steam, comprising:
The device has an aerosol generator for generating an aerosol containing liquid or solid particles,
The device comprises a supply line ( 2), wherein the opening 5 of the supply line 2 has a space space ( 9) and generate a particle flow directed towards the front face 17' in the direction of the axis A of the opening 5, the particle flow filling the transverse section of the housing 1. ) is surrounded by a purge gas flow flowing into the separation space (9) through,
comprising an impact body (10) disposed between the opening (5) and the front face (17') in the axial direction, wherein the impact body (10) has a planar area extending transversely to the axis (A). wherein the planar area is more than twice the area of the opening 5 extending transversely to the axis A, and the impact body 10 extends from the impact body 10 to the axis. One or more reflecting aerosol particles into the purge gas flow in such a way that they impact on the front face 17' at a radial distance in (A) and are carried by the purge gas flow into the evaporating body 17. A device having a collision surface of 제 1 항에 있어서,
상기 충돌 몸체(10)는 상기 증발 몸체(17)의 정면(17') 상에 놓여 있는, 장치.According to claim 1,
The device, wherein the impact body (10) lies on the front side (17') of the evaporation body (17). 제 1 항에 있어서,
상기 하나 또는 그 초과의 충돌 표면은, 0과 다르거나, 또는 10 도보다 크고 80 도보다 작은 각도로 상기 축(A)에 대해 비스듬하게 경사져 있는, 장치.According to claim 1,
wherein the one or more impact surfaces are obliquely inclined relative to the axis (A) at an angle other than zero, or greater than 10 degrees and less than 80 degrees. 제 1 항에 있어서,
상기 하나 또는 그 초과의 충돌 표면은 상기 축(A)에 대해 회전 대칭적으로 배치되어 있는, 장치.According to claim 1,
The device wherein the one or more impact surfaces are arranged rotationally symmetrically about the axis (A). 제 2 항에 있어서,
상기 충돌 몸체(10)는, 상기 축(A)에 대해 서로 다른 각도로 경사진 2개 또는 그 초과의 충돌 표면들을 포함하는, 장치.According to claim 2,
The device wherein the impact body (10) comprises two or more impact surfaces inclined at different angles with respect to the axis (A). 제 1 항에 있어서,
상기 하나 또는 그 초과의 충돌 표면은 원뿔 표면 또는 원뿔대 표면을 따라서 연장되고, 원뿔 바닥 표면은 원형 표면, 계란형 표면 또는 타원형 표면인, 장치.According to claim 1,
The device wherein the one or more impact surfaces extend along a cone surface or a truncated cone surface, and the cone bottom surface is a circular surface, an oval surface, or an elliptical surface. 제 1 항에 있어서,
상기 축(A)에 대해 횡 방향으로 연장되는 상기 충돌 몸체(10)의 평면 면적은 상기 축(A)에 대해 횡 방향으로 연장되는 상기 개구(5)의 면적보다 적어도 5배 더 큰, 장치.According to claim 1,
The planar area of the impact body (10) extending transversely to the axis (A) is at least 5 times larger than the area of the opening (5) extending transversely to the axis (A). 제 1 항에 있어서,
상기 충돌 몸체(10)는 원뿔 표면 상에서 연장되는, 반경 방향 내부에 놓인 상기 하나 또는 그 초과의 충돌 표면 중 제 1 충돌 표면(11)을 갖고, 원뿔의 팁(13)은 상기 축(A)에 놓여 있고, 상기 원뿔 표면은 상기 축(A)에 대해 20 내지 30 도의 각도(α)만큼 경사져 있으며,
상기 충돌 몸체는 반경 방향 외부에 놓인 상기 하나 또는 그 초과의 충돌 표면 중 제 2 충돌 표면(12)을 갖고, 상기 제 2 충돌 표면은 타원형 또는 원형 꺾임선을 형성하면서 상기 제 1 충돌 표면(11)에 연결되며 상기 축(A)에 대해 60 내지 85 도의 각도(β)를 갖는 원뿔대 재킷 표면상에서 연장되는, 장치.According to claim 1,
The impact body (10) has a first impact surface (11) of the one or more impact surfaces lying radially inward, extending on a cone surface, the tip (13) of the cone being on the axis (A). lies, the conical surface being inclined at an angle α of 20 to 30 degrees relative to the axis A,
The impact body has a second impact surface (12) of the one or more impact surfaces lying radially outward, the second impact surface forming an elliptical or circular angled line and the first impact surface (11). and extending on the truncated cone jacket surface with an angle (β) of 60 to 85 degrees relative to said axis (A). 제 1 항에 있어서,
상기 개구(5)를 갖는 상기 공급 라인(2)의 단부는 가열된 예비 가열 몸체(8)의 개구 내에 삽입되어 있고, 상기 예비 가열 몸체(8)는 퍼지 가스(purge gas)(22)에 의해 퍼지될 수 있으며, 상기 퍼지 가스는 예비 가열 몸체(8)와 증발 몸체(17) 사이의 이격 공간(9) 내로 유입되는, 장치.According to claim 1,
The end of the supply line (2) with the opening (5) is inserted into the opening of a heated pre-heating body (8), which is purged by a purge gas (22). Apparatus capable of being purged, wherein the purge gas is introduced into the space (9) between the preheating body (8) and the evaporation body (17). 제 9 항에 있어서,
상기 개구(5)의 간격(a)은 상기 충돌 몸체(10)의 지름(D2, D3)의 1배 내지 2배의 범위 내에 놓여 있는, 장치.According to clause 9,
The spacing (a) of the openings (5) lies in the range of 1 to 2 times the diameters (D2, D3) of the impact body (10). 제 1 항에 있어서,
상기 충돌 몸체(10)의 구조 축 또는 도면 축(B)은 상기 개구(5)의 중심을 통과하는 상기 축(A)에 대해 반경 방향으로 변위되어 배치되어 있는, 장치.According to claim 1,
The structural or plane axis (B) of the impact body (10) is arranged radially displaced with respect to the axis (A) passing through the center of the opening (5). 제 3 항에 있어서,
상기 충돌 몸체(10)의 구조 축 또는 도면 축(B)은 상기 축(A)에 대해 각도 변위되어 진행하는, 장치.According to claim 3,
The structural or plane axis (B) of the impact body (10) progresses at an angular displacement with respect to the axis (A). 제 4 항에 있어서,
2개 또는 그 초과의 충돌 표면들은 원통 표면(20)에 의해 서로 이격되는, 장치.According to claim 4,
Apparatus wherein two or more impact surfaces are spaced apart from each other by a cylindrical surface (20). 제 1 항에 있어서,
복수의 공급 라인들(2)이 제공되어 있고, 상기 공급 라인들은 증발 몸체(17)의 정면(17')의 부분 표면들(t, u, v, w)의 중심(z)에 대해 변위되어 배치되어 있으며, 각각의 개구(5)에 하나의 충돌 몸체(10)가 할당되어 있고, 상기 충돌 몸체(10)는 회전 대칭적인 또는 회전 비대칭적인 형상 및/또는 상기 공급 라인(2)의 개구(5)의 중심축(A)에 대해 편심 배치를 갖는, 장치.According to claim 1,
A plurality of supply lines 2 are provided, which are displaced relative to the center z of the partial surfaces t, u, v, w of the front face 17' of the evaporating body 17. It is arranged that one impact body 10 is assigned to each opening 5, which impact body 10 has a rotationally symmetrical or rotationally asymmetric shape and/or the opening of the supply line 2 ( 5) A device having an eccentric arrangement with respect to the central axis (A). 삭제delete
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