KR102582275B1 - Auto teaching device and method of foup transfer robot - Google Patents

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Abstract

본 발명은 풉 이송 로봇에 부착된 티칭 핀과 스테이지에 형성된 티칭 센서 모듈을 이용하여 기판이 수납된 풉이 로딩 또는 언로딩되는 스테이지의 위치를 자동을 티칭할 수 있도록 한 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치를 개시하며, 풉이 수납되는 스토커; 상기 풉을 상기 스토커로 로딩하거나 상기 스토커로부터 언로딩하기 위한 로봇암을 구비하며, 상기 로봇 암에 티칭을 위한 티칭 핀이 구비된 풉 이송 로봇; 상기 풉 이송 로봇의 상기 로봇암과 마주하는 상기 스토커 내에 배치되며 상기 풉 이송 로봇의 티칭을 위한 티칭 센서 모듈이 형성된 스테이지; 및 상기 티칭 센서 모듈에서 획득된 정보를 이용하여 상기 풉 이송 로봇의 티칭을 수행하는 제어부;를 구비한다.The present invention is an auto-teaching device for a FOOF transfer robot that allows the FOOF, which houses a substrate, to automatically teach the position of the stage on which it is loaded or unloaded, using a teaching pin attached to the FOOF transfer robot and a teaching sensor module formed on the stage. Initiates a stoker in which the pooch is stored; a foop transfer robot having a robot arm for loading or unloading the foop into or from the stocker, and having a teaching pin for teaching on the robot arm; a stage disposed in the stocker facing the robot arm of the FOOP transfer robot and formed with a teaching sensor module for teaching the FOOP transfer robot; and a control unit that performs teaching of the POOF transfer robot using information obtained from the teaching sensor module.

Description

풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치 및 오토 티칭 방법{AUTO TEACHING DEVICE AND METHOD OF FOUP TRANSFER ROBOT}Auto teaching device and auto teaching method of FOUP TRANSFER ROBOT {AUTO TEACHING DEVICE AND METHOD OF FOUP TRANSFER ROBOT}

본 발명은 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 풉 이송 로봇에 부착된 티칭 핀과 스테이지에 형성된 티칭 센서 모듈을 이용하여 기판이 수납된 풉이 로딩 또는 언로딩되는 스테이지의 위치를 자동을 티칭할 수 있도록 한 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an automatic teaching device and method for a FOOP transfer robot, and more specifically, to a stage where a FOOP containing a substrate is loaded or unloaded using a teaching pin attached to the FOOP transfer robot and a teaching sensor module formed on the stage. This relates to an auto-teaching device and method for a pooch transfer robot that can automatically teach the position of.

반도체 산업이 급속도로 발전하면서 화학 기상 증착(Chemical Vapor Deposition : CVD) 또는 원자층 증착(Atomic Layer Deposition : ALD) 등의 공정을 수행하여 반도체 소자를 제조하는 반도체 제조 장치가 등장하고 있다.As the semiconductor industry develops rapidly, semiconductor manufacturing equipment that manufactures semiconductor devices by performing processes such as chemical vapor deposition (CVD) or atomic layer deposition (ALD) is emerging.

이러한 반도체 소자를 제조하는 제조공정에서 임의의 공정이 완료된 기판들은 일반적으로 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP)에 탑재되며, 기판이 탑재된 풉들은 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 운반되기 전에 스테이지에 임시로 저장된 후 다른 공정을 수행하는 장비로 운반된다. 이때 풉을 이동시키는 수단으로 풉 이송 로봇(Foup Transfer Robot : FTR)이 사용될 수 있다.In the manufacturing process for manufacturing these semiconductor devices, substrates that have completed certain processes are generally mounted on a FOUP (Front Opening Unified Pod: FOUP), and the FOUPs loaded with substrates are transported to any other equipment that performs the next process. It is temporarily stored on the stage and then transported to equipment that performs other processes. At this time, a foup transfer robot (FTR) can be used as a means of moving the foup.

풉 이송 로봇은 스테이지 방향의 X축과, 스테이지에 평행한 방향의 Y축 및 스테이지에 대해 수직인 방향의 Z축으로 이동하면서 풉을 스테이지의 정위치에 놓아야 하는데 이에 따라 풉 이송 로봇이 스테이지의 정위치에 있는지를 확인하는 과정이 필요하다.The POOF transfer robot must move in the A process is needed to check whether the location is there.

풉 이송 로봇이 스테이지로 풉을 로딩하거나 스테이지로부터 풉을 언로딩하기 위해서는 풉 이송 로봇이 스테이지의 정위치를 미리 알고 있어야 한다. 이에 따라 스테이지의 정위치에 대한 티칭이 필요하다. 이를 위해, 작업자가 풉 이송 로봇을 수동으로 조작하여 스테이지의 위치로 이동시키고, 해당 위치를 풉 이송 로봇의 컨트롤러에 수동으로 저장한다. 이를 모든 스테이지에 대해 반복 실시함으로써 모든 스토터의 정위치를 티칭하게 된다.In order for the foop transfer robot to load the foop onto the stage or unload the foop from the stage, the foop transfer robot must know the exact position of the stage in advance. Accordingly, teaching about the correct position of the stage is necessary. For this purpose, the operator manually operates the FOOP transfer robot to move it to the position of the stage, and manually stores the position in the FOOP transfer robot's controller. By repeating this for all stages, the correct positions of all stators are taught.

이와 같이 종래에는 풉 이송 로봇이 풉을 로딩 또는 언로딩하기 위한 스테이지의 정위치를 티칭하기 위해 작업자가 일일이 각 스테이지의 X축, Y축 및 Z축의 좌표를 확인하여 풉 이송 로봇의 컨트롤러에 수동으로 입력하여야 하는 불편함이 있었다.In this way, in the past, in order for the FOOF transfer robot to teach the correct position of the stage for loading or unloading the FOOK, the operator had to check the coordinates of the There was the inconvenience of having to input it.

한편, FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard)와 같이 낮은 곳에 위치한 스테이지의 경우 작업자가 수동으로 풉 이송 로봇의 위치를 정리할 수 있지만 작업자의 키 이상의 높이에 있는 스테이지의 경우 작업자가 수동으로 풉 이송 로봇의 위치를 정리하기도 어려울 뿐만 아니라 고소 작업에 따른 안전사고 발생의 위험이 있었다.Meanwhile, in the case of a stage located low, such as FIMS (Front-Opening Interface Mechanical Standard), the operator can manually adjust the position of the unwind transfer robot, but in the case of a stage that is higher than the worker's height, the operator can manually unwind the transfer robot. Not only was it difficult to organize the location, but there was a risk of safety accidents due to working at heights.

한편, 풉 이송 로봇 및 스테이지의 설치 장소를 달리하는 경우에는 시스템의 크기 및 레이 아웃 등의 이유로 풉 이송 로봇 및 스테이지를 해체한 후 새로운 장소에서 재조립을 하게 된다. 이때 스테이지의 조립 공차나 로봇의 조립공차 등과 같은 여러가지 원인으로 인해 정위치가 제대로 맞지 않는 경우가 발생하게 된다. 이와 같이 스테이지의 정위치가 일치하지 않는 경우에는 앞서 설명한 것과 동일하게 수동으로 풉 이송 로봇의 위치를 조정하여 풉 이송 로봇을 스테이지의 정위치에 가져다 놓고 변한 값만큼 저장을 하여 그 위치를 티칭하는 과정을 반복해야 하는 문제가 발생한다.On the other hand, when the installation location of the FOOF transfer robot and stage is different, the FOOF transfer robot and stage must be dismantled and reassembled in a new location for reasons such as the size and layout of the system. At this time, there are cases where the correct position is not properly aligned due to various reasons such as the assembly tolerance of the stage or the assembly tolerance of the robot. In this case, if the exact position of the stage does not match, the process of manually adjusting the position of the PUP transfer robot as described above, bringing the PUP transfer robot to the correct position on the stage, and saving the changed value to teach the position. A problem arises that requires repetition.

이에 따라 풉이 로딩 또는 언로딩되는 스테이지의 위치를 자동으로 티칭할 수 있도록 개선된 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치 및 방법의 개발이 요구되고 있다.Accordingly, there is a demand for the development of an improved auto-teaching device and method for an improved FOOF transfer robot that can automatically teach the position of the stage where the FOOF is loaded or unloaded.

본 발명은 티칭 핀을 구비한 풉 이송 로봇을 스테이지에 형성된 티칭 센서 모듈로 이동시켜 티칭 핀의 X축, Y축 및 Z축의 좌표값을 찾도록 하여 스테이지의 정위치를 자동으로 티칭할 수 있도록 한 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치를 제공함을 목적으로 한다.The present invention moves a poof transfer robot equipped with a teaching pin to a teaching sensor module formed on a stage to find the coordinate values of the X-axis, Y-axis, and Z-axis of the teaching pin, so that the correct position of the stage can be automatically taught. The purpose is to provide an automatic teaching device for transfer robots.

또한, 본 발명은 스테이지의 정위치를 자동으로 티칭할 수 있도록 한 풉 이송 로봇의 오토 티칭 방법을 제공함을 다른 목적으로 한다.Another purpose of the present invention is to provide an auto-teaching method for a FOOF transfer robot that can automatically teach the correct position of the stage.

본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치는, 풉이 수납되는 스토커; 상기 풉을 상기 스토커로 로딩하거나 상기 스토커로부터 언로딩하기 위한 로봇암을 구비하며, 상기 로봇 암에 티칭을 위한 티칭 핀이 구비된 풉 이송 로봇; 상기 풉 이송 로봇의 상기 로봇암과 마주하는 상기 스토커 내에 배치되며 상기 풉 이송 로봇의 티칭을 위한 티칭 센서 모듈이 형성된 스테이지; 및 상기 티칭 센서 모듈에서 획득된 정보를 이용하여 상기 풉 이송 로봇의 티칭을 수행하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The auto-teaching device for the FOOF transfer robot according to the present invention includes a stocker in which the FOOF is stored; a foop transfer robot having a robot arm for loading or unloading the foop into or from the stocker, and having a teaching pin for teaching on the robot arm; a stage disposed in the stocker facing the robot arm of the FOOP transfer robot and formed with a teaching sensor module for teaching the FOOP transfer robot; and a control unit that performs teaching of the POOF transfer robot using information obtained from the teaching sensor module.

또한, 본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 방법은, 제1 설계 디폴트 값과 제2 설계 디폴트 값을 설정하는 설계 디폴트 값 설정단계; 풉이 수납되는 스토커로 상기 풉을 로딩하거나 상기 스토커로부터 언로딩하기 하기 위한 풉 이송 로봇을 상기 제1 설계 디폴트 값에 따른 위치로 이동시키는 풉 이송 로봇 이동단계: 상기 제1 설계 디폴트 값에 따른 위치로부터 상기 풉 이송 로봇을 미세 이동시키면서 상기 스토커 내에 배치된 스테이지에 형성된 티칭 센서 모듈을 이용하여 상기 풉 이송 로봇의 로봇암에 배치된 티칭 핀의 위치를 측정하는 티칭 핀 위치측정 단계; 상기 측정된 상기 티칭 핀의 위치가 상기 제2 설계 디폴트 값에 따른 위치와 일치하는지 여부를 비교하는 위치비교 단계; 및 상기 비교 결과에 따라 상기 풉 이송 로봇의 티칭을 수행하는 풉 이송 로봇 티칭 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the auto-teaching method of the FOOF transfer robot according to the present invention includes a design default value setting step of setting a first design default value and a second design default value; A FOOF transfer robot movement step of moving the FOOF transfer robot to a position according to the first design default value for loading or unloading the FOOF from the stocker in which the FOOF is stored: Position according to the first design default value A teaching pin position measurement step of measuring the position of a teaching pin disposed on the robot arm of the FOOK transfer robot using a teaching sensor module formed on a stage disposed in the stocker while slightly moving the FOOF transfer robot from; A position comparison step of comparing whether the measured position of the teaching pin matches a position according to the second design default value; and a FOOF transfer robot teaching step of performing teaching of the FOOF transfer robot according to the comparison result.

본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치 및 방법에 의하면, 풉 이송 로봇에 부착된 티칭 핀과 스테이지에 형성된 티칭 센서 모듈을 이용하여 기판이 수납된 풉의 로딩 또는 언로딩 위치를 자동을 티칭하여 학습시간을 단축시킬 수 있으며, 풉 이송 로봇의 정위치 이탈 여부를 정기적으로 체크할 수 있는 효과가 있다.According to the automatic teaching device and method for the foop transfer robot according to the present invention, the loading or unloading position of the foop in which the substrate is stored is automatically taught using the teaching pin attached to the foop transfer robot and the teaching sensor module formed on the stage. Learning time can be shortened, and it has the effect of regularly checking whether the FOOF transfer robot deviates from its original position.

또한, 작업자의 키 이상의 높이에 있는 스테이지의 정위치를 자동을 티칭할 수 있도록 함으로써 고소 작업에 따른 작업자의 안전사고 발생 위험을 감소시킬 수 있는 장점이 있다.In addition, it has the advantage of reducing the risk of safety accidents to workers due to working at heights by automatically teaching the correct position of the stage at a height higher than the worker's height.

한편, 본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치는 풉 이송 로봇에 티칭 핀을 구비하고 스테이지에 티칭 센서 모듈을 형성함으로써 티칭 센서의 케이블 포설의 어려움이나 단선의 위험을 감소시킬 수 있는 또 다른 장점이 있다.On the other hand, the automatic teaching device of the FOOF transfer robot according to the present invention has another advantage in that it can reduce the difficulty of laying the cable of the teaching sensor or the risk of disconnection by equipping the FOOF transfer robot with a teaching pin and forming a teaching sensor module on the stage. There is.

도 1은 본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치의 일 실시예를 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치의 풉 이송 로봇과 스테이지의 배치 상태를 나타내는 도면.
도 3은 본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치의 풉 이송 로봇과 스테이지의 배치 상태를 나타내는 평면도.
도 4는 도 3의 A부분의 확대도.
도 5는 X축 센서 또는 Y축 센서가 티칭 핀의 X축 위치 또는 Y축 위치를 감지하는 것을 설명하기 위한 도면.
도 6은 Z축 센서가 티칭 핀의 Z축 위치를 감지하는 것을 설명하기 위한 도면.
도 7은 본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 방법의 흐름도.Figure 1 is a configuration diagram showing an embodiment of an auto-teaching device for a pooch transfer robot according to the present invention.
Figure 2 is a diagram showing the arrangement state of the FOOP transfer robot and stage of the FOOP transfer robot auto-teaching device according to the present invention.
Figure 3 is a plan view showing the arrangement state of the FOOF transfer robot and stage of the FOOF transfer robot auto-teaching device according to the present invention.
Figure 4 is an enlarged view of portion A of Figure 3.
Figure 5 is a diagram for explaining how an X-axis sensor or a Y-axis sensor detects the X-axis position or Y-axis position of a teaching pin.
Figure 6 is a diagram for explaining how a Z-axis sensor detects the Z-axis position of a teaching pin.
Figure 7 is a flowchart of the auto-teaching method of the POOF transfer robot according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어는 통상적이거나 사전적 의미로 한정되어 해석되지 아니하며, 본 발명의 기술적 사항에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. Terms used in this specification and patent claims should not be construed as limited to their usual or dictionary meanings, but should be construed with meanings and concepts consistent with the technical details of the present invention.

본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예이며, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로, 본 출원 시점에서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있다.The embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are preferred embodiments of the present invention, and do not represent the entire technical idea of the present invention, so various equivalents and modifications that can replace them at the time of filing the present application are available. There may be.

도 1은 본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치의 일 실시예를 나타내는 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치의 풉 이송 로봇과 스테이지의 배치 상태를 설명하기 위한 도면이다. 또한 도 3은 본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치의 스테이지의 상세도이고, 도 4는 도 3의 부분 확대도이다.Figure 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the auto-teaching device for the FOOP transfer robot according to the present invention, and Figure 2 illustrates the arrangement state of the FOOP transfer robot and stage of the auto-teaching device for the FOOP transfer robot according to the present invention. This is a drawing for In addition, Figure 3 is a detailed view of the stage of the auto-teaching device of the Foop transfer robot according to the present invention, and Figure 4 is a partial enlarged view of Figure 3.

도 1 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치는 스토커(110), 풉 이송 로봇(120)과 스테이지(130) 및 제어부(미도시)를 포함하여 구성된다.Referring to FIGS. 1 to 4 , the auto-teaching device for the FOOP transfer robot according to the present invention includes a stocker 110, a FOOP transfer robot 120, a stage 130, and a control unit (not shown).

스토커(110)는 복수개의 풉(FOUP, 140)이 수납될 수 있는 공간을 포함하여 구성되며 상기 스토커(110)의 전방에는 풉(140)을 이송하기 위한 풉 이송 로봇(120)이 배치될 수 있다. The stocker 110 is configured to include a space in which a plurality of FOUPs 140 can be stored, and a FOUP transfer robot 120 for transferring the FOUPs 140 can be placed in front of the stocker 110. there is.

상기 풉 이송 로봇(120)은 풉(FOUP)이 수납되는 스토커(110)로 상기 풉을 로딩하거나 상기 스토커로부터 언로딩하기 위한 로봇암(121)을 구비하며, 상기 로봇암(121)의 하부에는 티칭을 위한 티칭 핀(122)이 구비되어 있다.The FOUP transfer robot 120 is provided with a robot arm 121 for loading or unloading the FOUP into a stocker 110 in which the FOUP is stored, and a lower part of the robot arm 121. A teaching pin 122 is provided for teaching.

상기 풉 이송 로봇(120)은 상기 스테이지(130)의 모서리인 스테이지 기준면(132)에 평행한 제1 수평방향인 Y축방향과 수직방향인 Z축방향으로 이동되며, 상기 로봇암(121)은 상기 Y축방향에 수직하는 제2 수평방향인 X축방향으로 이동하면서 상기 풉을 스토커(110)로 로딩하거나 상기 스토커(110)로부터 언로딩한다.The pooch transfer robot 120 moves in the Y-axis direction, which is a first horizontal direction parallel to the stage reference surface 132, which is the corner of the stage 130, and the Z-axis direction, which is a vertical direction, and the robot arm 121 is The pooh is loaded into or unloaded from the stocker 110 while moving in the X-axis direction, which is a second horizontal direction perpendicular to the Y-axis direction.

상기 스테이지(130)는 상기 풉 이송 로봇(120)의 상기 로봇암(121)과 마주하는 상기 스토커(110) 내에 배치되며, 상기 풉 이송 로봇(120)의 티칭을 위한 정보를 획득하기 위한 티칭 센서 모듈(131)이 형성되어 있다. 상기 티칭 센서 모듈(131)은, 상기 로봇암(121)의 하부면과 마주하는 상기 스테이지(130)의 상부면의 일부를 파낸 후 그 안에 고정시키는 형태로 스테이지(130)에 형성된다.The stage 130 is disposed in the stocker 110 facing the robot arm 121 of the FOOP transfer robot 120, and includes a teaching sensor for acquiring information for teaching the FOOP transfer robot 120. A module 131 is formed. The teaching sensor module 131 is formed on the stage 130 by digging out a portion of the upper surface of the stage 130 facing the lower surface of the robot arm 121 and then fixing it therein.

풉 이송 로봇(120)이 스테이지(130)의 위치를 제대로 티칭하려면 X축과, Y축 및 Z축의 방향과 위치를 모두 알아야 한다. 따라서, 본 발명에서는 로봇암(121)의 하부면에 티칭 핀(122)을 형성하고 스테이지(130)의 상부면에 티칭 센서 모듈(131)을 형성하여 티칭 핀(122)의 X축과, Y축 및 Z축의 방향과 위치를 모두 감지할 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.In order for the transfer robot 120 to properly teach the position of the stage 130, it must know the directions and positions of the X-axis, Y-axis, and Z-axis. Therefore, in the present invention, the teaching pin 122 is formed on the lower surface of the robot arm 121 and the teaching sensor module 131 is formed on the upper surface of the stage 130, so that the It is characterized by being able to detect both the direction and position of the axis and Z axis.

상기 티칭 센서 모듈(131)은, 상기 티칭 핀(122)의 X축 방향의 위치를 감지하기 위한 X축 센서(131X), 상기 티칭 핀(122)의 Y축 방향의 위치를 감지하기 위한 Y축 센서(131Y) 및 상기 티칭 핀(122)의 Z축 방향의 위치를 감지하기 위한 Z축 센서(131Z)를 포함한다.The teaching sensor module 131 includes an X-axis sensor 131X for detecting the position of the teaching pin 122 in the It includes a sensor 131Y and a Z-axis sensor 131Z for detecting the position of the teaching pin 122 in the Z-axis direction.

상기 X축 센서(131X), Y축 센서(131Y) 및 Z축 센서(131Z)는, 각각 발광부와 수광부를 구비하며 검출대상물체가 발광부와 수광부 사이에 위치하는 경우 발광부에서 방출된 빛이 검출대상물체에 의해 차단되어 수광부에 전달되지 않는 현상을 이용하여 검출대상물체의 위치를 확인하는 말굽형 센서를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 X축 센서(131X), Y축 센서(131Y) 및 Z축 센서(131Z)는, 상기 말굽형 센서의 발광부와 수광부 사이에 상기 티칭 핀(122)이 위치할 때 상기 티칭 핀(122)의 X축 좌표값, Y축 좌표값 및 Z축 좌표값을 각각 확인할 수 있다.The X-axis sensor 131 It is desirable to use a horseshoe-shaped sensor that confirms the location of the detection object by taking advantage of the phenomenon that the light is blocked by the detection object and is not transmitted to the light receiver. The X-axis sensor 131 You can check the X-axis coordinate value, Y-axis coordinate value, and Z-axis coordinate value, respectively.

이때 상기 X축 센서(131X) 및 Y축 센서(131Y)는 상기 발광부와 수광부가 상기 스테이지(130)의 상부면에 대하여 수직방향으로 설치되어 상기 티칭 핀(122)이 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 이동하면서 상기 발광부와 수광부 사이에 위치할 때 상기 티칭 핀의 X축 좌표값 및 Y축 좌표값을 각각 확인할 수 있다. At this time, the X-axis sensor 131 When moving in the Y-axis direction and positioned between the light emitting unit and the light receiving unit, the X-axis coordinate value and Y-axis coordinate value of the teaching pin can be confirmed, respectively.

한편, 상기 Z축 센서(131Z)는, 상기 발광부와 수광부가 상기 스테이지(130)의 상부면에 대하여 수평방향으로 설치되어 상기 티칭 핀(122)이 상기 Z축 방향으로 이동하면서 상기 발광부와 수광부 사이에 위치할 때 상기 티칭 핀의 Z축 좌표값을 확인할 수 있다.Meanwhile, in the Z-axis sensor 131Z, the light emitting unit and the light receiving unit are installed in a horizontal direction with respect to the upper surface of the stage 130, so that the teaching pin 122 moves in the Z-axis direction and connects the light emitting unit and the light receiving unit. When positioned between light receivers, the Z-axis coordinate value of the teaching pin can be confirmed.

한편, 제어부(미도시)는 상기 티칭 센서 모듈(131)에서 획득된 상기 풉 이송 로봇의 티칭 핀의 X축, Y축 및 Z축의 위치 정보를 이용하여 상기 풉 이송 로봇(120)의 티칭을 수행한다.Meanwhile, the control unit (not shown) performs teaching of the FOOF transfer robot 120 using the position information of the X-axis, Y-axis, and Z-axis of the teaching pin of the FOOF transfer robot obtained from the teaching sensor module 131. do.

도 5는 X축 센서 또는 Y축 센서가 티칭 핀의 X축 위치 또는 Y축 위치를 감지하는 것을 설명하기 위한 도면이고, 도 6은 Z축 센서가 티칭 핀의 Z축 위치를 감지하는 것을 설명하기 위한 도면이다.Figure 5 is a diagram to explain that the X-axis sensor or Y-axis sensor detects the This is a drawing for

도 5에 도시된 바와 같이 로봇암(121)이 제1 설계 디폴트 값에 따른 위치로부터 X축 방향으로 이동하면서 X축 센서(131X)의 발광부와 수광부 사이에 상기 티칭 핀(122)이 위치할 때 X축 센서(131X)는 티칭 핀(122)의 X축 좌표 값을 감지한 후 이를 제2 설계 디폴트 값과 비교하여 그 차이값을 이용하여 상기 풉 이송 로봇(120)의 X축 좌표 값에 대한 티칭을 수행한다. As shown in FIG. 5, while the robot arm 121 moves in the When the X-axis sensor 131X detects the Perform teaching on

또한, 로봇암(121)이 제1 설계 디폴트 값에 따른 위치로부터 Y축 방향으로 이동하면서 Y축 센서(131Y)의 발광부와 수광부 사이에 상기 티칭 핀(122)이 위치할 때 Y축 센서(131Y)는 티칭 핀(122)의 Y축 좌표 값을 감지한 후 이를 제2 설계 디폴트 값과 비교하여 그 차이값을 이용하여 상기 풉 이송 로봇(120)의 Y축 좌표 값에 대한 티칭을 수행한다. In addition, when the robot arm 121 moves in the Y-axis direction from a position according to the first design default value and the teaching pin 122 is located between the light emitting part and the light receiving part of the Y-axis sensor 131Y, the Y-axis sensor ( 131Y) detects the Y-axis coordinate value of the teaching pin 122, compares it with the second design default value, and uses the difference to perform teaching on the Y-axis coordinate value of the pooh transfer robot 120. .

한편, 도 6에 도시된 바와 같이 로봇암(121)이 제1 설계 디폴트 값에 따른 위치로부터 Z축 방향으로 이동할 때 Z축 센서(131Z)의 발광부와 수광부 사이에 상기 티칭 핀(122)이 위치할 때 Z축 센서(131Z)는 티칭 핀(122)의 Z축 좌표 값을 감지한 후 이를 제2 설계 디폴트 값과 비교하여 그 차이값을 이용하여 상기 풉 이송 로봇(120)의 Z축 좌표 값에 대한 티칭을 수행한다.Meanwhile, as shown in FIG. 6, when the robot arm 121 moves in the Z-axis direction from a position according to the first design default value, the teaching pin 122 is located between the light emitting part and the light receiving part of the Z-axis sensor 131Z. When positioned, the Z-axis sensor 131Z detects the Z-axis coordinate value of the teaching pin 122, compares it with the second design default value, and uses the difference to determine the Z-axis coordinate value of the pooh transfer robot 120. Perform teaching on values.

즉, 풉 이송 로봇(120)의 로봇암(121)이 제1 설계 디폴트 값에 따른 위치로부터 X축과, Y축 및 Z축의 방향으로 미세 이동하면서 티칭 핀(122)의 X축 좌표값, Y축 좌표값 및 Z축 좌표값을 감지한 후 이를 제2 설계 디폴트 값과 비교하여 그 차이값을 이용하여 상기 풉 이송 로봇(120)에 대한 티칭을 수행한다.That is, while the robot arm 121 of the pooch transfer robot 120 moves slightly in the directions of the X-axis, Y-axis, and Z-axis from the position according to the first design default value, the After detecting the axis coordinate value and Z-axis coordinate value, they are compared with the second design default value and the difference value is used to perform teaching for the FOOF transfer robot 120.

본 발명에서는 티칭 핀(122)이 X축과, Y축 및 Z축의 방향으로 각각 이동을 하면서 X축 센서(131X), Y축 센서(131Y) 및 Z축 센서(131Z)의 발광부와 수광부 사이에 위치하는 과정을 적어도 한번 이상 실시해야 티칭 핀(122)의 X축 좌표값, Y축 좌표값 및 Z축 좌표값을 각각 확인할 수 있다.In the present invention, the teaching pin 122 moves in the directions of the The positioning process must be performed at least once to check the X-axis coordinate value, Y-axis coordinate value, and Z-axis coordinate value of the teaching pin 122, respectively.

측정의 정확도를 향상시키기 위해서는 티칭 핀(122)이 X축과, Y축 및 Z축의 방향으로 각각 이동을 하면서 X축 센서(131X), Y축 센서(131Y) 및 Z축 센서(131Z)의 발광부와 수광부 사이에 위치하도록하여 티칭 핀(122)의 X축 좌표값, Y축 좌표값 및 Z축 좌표값을 각각 확인는 과정을 복수 회 실시하여 그 평균값을 사용할 수도 있다.In order to improve measurement accuracy, the teaching pin 122 moves in the directions of the It is possible to perform the process of checking the

도 1에서는 1열의 스토커들이 구비되어 있으나 2열의 스토커들이 서로 평행하게 배치될 수도 있으며 이 경우 풉 이송 로봇(120)은 2열의 스토커들 사이에 배치될 수 있다.In Figure 1, one row of stockers is provided, but two rows of stockers may be arranged parallel to each other, and in this case, the foo transfer robot 120 may be placed between the two rows of stockers.

이와 같이 풉 이송 로봇(120)이 2열의 스토커들 사이에 배치되는 경우에는 티칭 센서 모듈(131)을 풉 이송 로봇(120)의 앞에 위치하는 프론트 스테이지와 풉 이송 로봇(120)의 뒤에 위치하는 리어 스테이지의 두 곳에 설치하여 상기 티칭 핀의 X축 좌표값, Y축 좌표값 및 Z축 좌표값을 각각 확인할 수 있다.In this way, when the pooh transfer robot 120 is placed between two rows of stockers, the teaching sensor module 131 is placed on the front stage located in front of the pooh transfer robot 120 and the rear stage located behind the pooh transfer robot 120. By installing it in two places on the stage, you can check the X-axis coordinate value, Y-axis coordinate value, and Z-axis coordinate value of the teaching pin, respectively.

도 7은 본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 방법의 흐름도이다.Figure 7 is a flowchart of the auto-teaching method of the FOOF transfer robot according to the present invention.

도 7을 참고하면 본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 방법은 설계 디폴트 값 설정단계(S100), 풉 이송 로봇 이동단계(S200), 티칭 핀 위치측정 단계(S300), 위치비교 단계(S400) 및 풉 이송 로봇 티칭 단계(S500)를 포함한다.Referring to Figure 7, the auto-teaching method of the FOOP transfer robot according to the present invention includes a design default value setting step (S100), a FOOP transfer robot movement step (S200), a teaching pin position measurement step (S300), and a position comparison step (S400). and a Pooh transfer robot teaching step (S500).

설계 디폴트 값 설정단계(S100)에서는 기준이 될 수 있는 임의의 스테이지(130)의 티칭 센서 모듈(131)의 위치에 따른 좌표값을 제1 설계 디폴트 값으로 설정하고, 상기 풉 이송 로봇에 형성된 티칭 핀(122)의 위치에 따른 좌표값을 제2 설계 디폴트 값으로 설정한다.In the design default value setting step (S100), the coordinate value according to the position of the teaching sensor module 131 of an arbitrary stage 130, which can be used as a reference, is set as the first design default value, and the teaching formed in the pooh transfer robot is set as the first design default value. The coordinate value according to the position of the pin 122 is set as the second design default value.

상기 제1 설계 디폴트 값과 상기 제2 설계 디폴트 값은, 상기 로봇암(121)과 마주하는 상기 스테이지(130)의 모서리인 스테이지 기준면(132)에 평행한 제1 수평방향인 Y축 방향의 좌표값과, 수직방향인 Z축 방향의 좌표값 및 상기 Y축 방향에 수직하는 제2 수평방향인 X축 방향의 좌표값이다.The first design default value and the second design default value are coordinates in the Y-axis direction, which is a first horizontal direction parallel to the stage reference surface 132, which is a corner of the stage 130 facing the robot arm 121. value, a coordinate value in the Z-axis direction, which is a vertical direction, and a coordinate value in the X-axis direction, which is a second horizontal direction perpendicular to the Y-axis direction.

제1 설계 디폴트 값을 설정하지 않으면 티칭을 위해 풉 이송 로봇이 이동해야 할 최초의 위치를 알 수 없게 된다. 따라서 스테이지(130)의 티칭 센서 모듈(131)의 근처까지 풉 이송 로봇(120)을 이동시키기 위해서는 제1 설계 디폴트 값을 설정할 필요가 있다.If the first design default value is not set, the initial position to which the pooh transfer robot should move for teaching will not be known. Therefore, in order to move the poof transfer robot 120 to the vicinity of the teaching sensor module 131 of the stage 130, it is necessary to set the first design default value.

풉 이송 로봇 이동단계(S200)에서는 풉(FOUP)이 수납되는 스토커로 상기 풉을 로딩하거나 상기 스토커로부터 언로딩하기 하기 위한 풉 이송 로봇을 상기 제1 설계 디폴트 값에 따른 위치로 이동시킨다.In the FOUP transfer robot movement step (S200), the FOUP transfer robot for loading or unloading the FOUP into a stocker where the FOUP is stored is moved to a position according to the first design default value.

이어서 티칭 핀 위치측정 단계(S300)에서는 상기 제1 설계 디폴트 값에 따른 위치로부터 X축, Y축 및 Z축 방향으로 상기 풉 이송 로봇(120)을 미세 이동시키면서 티칭 센서 모듈(131)에 배치된 X축 센서(131X), Y축 센서(131Y) 및 Z축 센서(131Z)를 이용하여 로봇암(121)에 배치된 티칭 핀(131)의 X축, Y축 및 Z축 좌표값에 따른 위치를 측정한다.Subsequently, in the teaching pin position measurement step (S300), the poo transfer robot 120 is slightly moved in the Position according to the X-axis, Y-axis, and Z-axis coordinate values of the teaching pin 131 placed on the robot arm 121 using the Measure.

위치비교 단계(S400)에서는 상기 측정된 상기 티칭 핀(131)의 위치가 상기 제2 설계 디폴트 값에 따른 위치와 일치하는지 여부를 비교한다.In the position comparison step (S400), it is compared whether the measured position of the teaching pin 131 matches the position according to the second design default value.

풉 이송 로봇 티칭 단계(S500)에서는 상기 측정된 상기 티칭 핀(131)의 위치가 상기 제2 설계 디폴트 값에 따른 위치와 일치하는 경우라면 위치가 변경된 것이 아니므로 정위치로 인식하고 이를 정위치 디폴트 값으로 설정하여 상기 풉 이송 로봇의 티칭을 수행한다.In the transfer robot teaching step (S500), if the measured position of the teaching pin 131 matches the position according to the second design default value, the position has not changed, so it is recognized as the correct position and defaults to the correct position. Set the value to perform teaching of the FOOF transfer robot.

한편, 상기 측정된 상기 티칭 핀(131)의 위치가 상기 제2 설계 디폴트 값에 따른 위치와 일치하지 않는 경우라면 위치가 변경된 것이므로, 상기 제1 설계 디폴트 값에 따른 위치로부터 X축, Y축 및 Z축 방향으로 상기 풉 이송 로봇(120)을 미세 이동시키면서 티칭 센서 모듈(131)에 배치된 X축 센서(131X), Y축 센서(131Y) 및 Z축 센서(131Z)를 이용하여 로봇암(121)에 배치된 티칭 핀(122)의 X축, Y축 및 Z축 좌표값에 따른 위치를 측정하는 과정을 반복한다. 이후 상기 측정된 티칭 핀(122)의 위치가 상기 제2 설계 디폴트 값에 따른 위치와 일치하는 경우라면 이를 정위치 디폴트 값으로 설정하여 상기 풉 이송 로봇의 티칭을 수행한다.Meanwhile, if the measured position of the teaching pin 131 does not match the position according to the second design default value, the position has been changed, and from the position according to the first design default value, the While slightly moving the pooch transfer robot 120 in the Z-axis direction, the robot arm ( The process of measuring the position according to the X-axis, Y-axis, and Z-axis coordinate values of the teaching pin 122 placed at 121) is repeated. Afterwards, if the measured position of the teaching pin 122 matches the position according to the second design default value, this is set as the default position value and teaching of the pooh transfer robot is performed.

이어서 모든 스테이지에 대해 티칭 핀(122)의 정위치 설정이 완료되었는지 여부를 판단한 후(S600) 모든 스테이지에 대해 티칭 핀(122)의 정위치 설정이 완료되었으면 티칭 작업을 종료한다.Next, it is determined whether the setting of the teaching pin 122 has been completed for all stages (S600), and if the setting of the teaching pin 122 has been completed for all stages, the teaching work is completed.

한편, 도 7에서는 모든 스테이지에 대해 티칭 핀의 정위치 설정이 완료되면 티칭 작업을 종료하는 것으로 설명하였으나 임의의 스테이지에 대해 티칭 핀의 정위치 설정이 완료되면 티칭 작업을 종료하고 다른 스테이지에 대해서는 티칭 핀의 정위치 설정이 완료된 스테이지를 표지석으로 하여 미리 지정된 위치값 만큼 오프셋(offset)을 적용하여 일괄보정함으로써 간접적으로 오토 티칭 작업을 수행하도록 할 수도 있다. Meanwhile, in FIG. 7, it is explained that the teaching work is completed when the correct position setting of the teaching pin is completed for all stages. However, when the correct position setting of the teaching pin is completed for any stage, the teaching work is terminated and teaching is completed for other stages. Auto-teaching work can be performed indirectly by using the stage on which the correct position setting of the pin has been completed as a marker and collectively correcting it by applying an offset equal to the pre-designated position value.

살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치 및 방법에 의하면 풉 이송 로봇에 티칭 핀을 구비하고 스테이지의 상부면에 티칭 핀의 위치를 감지할 수 있는 티칭 센서 모듈을 형성함으로써 티칭 핀의 X축, Y축 및 Z축 좌표값에 따른 위치를 측정할 수 있다.As described above, according to the auto-teaching device and method for the FOOP transfer robot according to the present invention, the FOOP transfer robot is equipped with a teaching pin and a teaching sensor module capable of detecting the position of the teaching pin is formed on the upper surface of the stage to detect the position of the teaching pin. You can measure the position according to the X-, Y-, and Z-axis coordinate values.

이를 통해 기판이 수납된 풉이 로딩 또는 언로딩되는 스테이지와 풉 이송 로봇의 정위치를 자동을 티칭하여 학습시간을 단축시킬 수 있으며, 풉 이송 로봇의 정위치 이탈 여부를 정기적으로 체크할 수 있는 효과가 있다. 또한, 작업자의 키 이상의 높이에 있는 스테이지의 정위치를 자동을 티칭할 수 있도록 함으로써 고소 작업에 따른 작업자의 안전사고 발생 위험을 감소시킬 수 있는 장점이 있다.Through this, the learning time can be shortened by automatically teaching the correct position of the stage where the FOOP, which houses the substrate, is loaded or unloaded, and the FOOP transfer robot, and it has the effect of regularly checking whether the FOOP transfer robot has deviated from its original position. There is. In addition, it has the advantage of reducing the risk of safety accidents to workers due to working at heights by automatically teaching the correct position of the stage at a height higher than the worker's height.

Claims (16)

풉이 수납되는 스토커;
상기 풉을 상기 스토커로 로딩하거나 상기 스토커로부터 언로딩하기 위한 로봇암을 구비하며, 상기 로봇 암에 티칭을 위한 티칭 핀이 구비된 풉 이송 로봇;
상기 풉 이송 로봇의 상기 로봇암과 마주하는 상기 스토커 내에 배치되며 상기 풉 이송 로봇의 티칭을 위한 티칭 센서 모듈이 형성된 스테이지; 및
상기 티칭 센서 모듈에서 획득된 정보를 이용하여 상기 풉 이송 로봇의 티칭을 수행하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치Stocker where pooch is stored;
a foop transfer robot having a robot arm for loading or unloading the foop into or from the stocker, and having a teaching pin for teaching on the robot arm;
a stage disposed in the stocker facing the robot arm of the FOOP transfer robot and formed with a teaching sensor module for teaching the FOOP transfer robot; and
An auto-teaching device for the FOOP transfer robot, comprising a control unit that performs teaching of the FOOP transfer robot using information acquired from the teaching sensor module. 제1 항에 있어서, 상기 풉 이송 로봇은
상기 스테이지의 모서리인 스테이지 기준면에 평행한 제1 수평방향인 Y축방향과 수직방향인 Z축방향으로 이동되며, 상기 로봇암은 상기 Y축방향에 수직하는 제2 수평방향인 X축방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치.The method of claim 1, wherein the poo transfer robot is
It moves in the Z-axis direction, which is perpendicular to the Y-axis direction, which is a first horizontal direction parallel to the stage reference plane, which is the corner of the stage, and the robot arm moves in the X-axis direction, which is a second horizontal direction perpendicular to the Y-axis direction. An auto-teaching device for the FOOF transfer robot. 제1 항에 있어서, 상기 티칭 핀은,
상기 로봇암의 하부면에 고정되어 형성된 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치.The method of claim 1, wherein the teaching pin is:
An auto-teaching device for a FOOP transfer robot, characterized in that it is fixed to the lower surface of the robot arm. 제1 항에 있어서, 상기 티칭 센서 모듈은,
상기 티칭 핀의 X축 방향의 위치를 감지하기 위한 X축 센서;
상기 티칭 핀의 Y축 방향의 위치를 감지하기 위한 Y축 센서; 및
상기 티칭 핀의 Z축 방향의 위치를 감지하기 위한 Z축 센서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치.The method of claim 1, wherein the teaching sensor module,
an X-axis sensor for detecting the position of the teaching pin in the X-axis direction;
a Y-axis sensor for detecting the position of the teaching pin in the Y-axis direction; and
An auto-teaching device for a FOOF transfer robot, comprising a Z-axis sensor for detecting the position of the teaching pin in the Z-axis direction. 제4 항에 있어서, 상기 X축 센서, Y축 센서 및 Z축 센서는,
각각 발광부와 수광부를 구비한 말굽형 센서인 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치.The method of claim 4, wherein the X-axis sensor, Y-axis sensor, and Z-axis sensor are:
An auto-teaching device for the FOOF transfer robot, characterized by a horseshoe-shaped sensor each equipped with a light emitting part and a light receiving part. 제5 항에 있어서, 상기 X축 센서, Y축 센서 및 Z축 센서는,
상기 발광부와 수광부 사이에 상기 티칭 핀이 위치할 때 상기 티칭 핀의 X축 좌표값, Y축 좌표값 및 Z축 좌표값을 각각 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치.The method of claim 5, wherein the X-axis sensor, Y-axis sensor, and Z-axis sensor are:
An auto-teaching device for a FOOF transfer robot, characterized in that it is possible to check the X-axis coordinate value, Y-axis coordinate value, and Z-axis coordinate value of the teaching pin when the teaching pin is located between the light emitting unit and the light receiving unit. 제5 항에 있어서,
상기 X축 센서 및 Y축 센서는,
상기 발광부와 수광부가 상기 스테이지에 대해 수직방향으로 설치되어 상기 상기 티칭 핀이 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 이동하면서 상기 발광부와 수광부 사이에 위치할 때 상기 티칭 핀의 X축 좌표값 및 Y축 좌표값을 각각 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치.According to clause 5,
The X-axis sensor and Y-axis sensor are,
When the light emitting unit and the light receiving unit are installed in a vertical direction with respect to the stage and the teaching pin moves in the X-axis direction and the Y-axis direction and is located between the light emitting unit and the light receiving unit, the X-axis coordinate value of the teaching pin An auto-teaching device for a pooch transfer robot, characterized in that it can check the Y-axis coordinate values, respectively. 제5 항에 있어서, 상기 Z축 센서는,
상기 발광부와 수광부가 상기 스테이지에 대해 수평방향으로 설치되어 상기 상기 티칭 핀이 상기 Z축 방향으로 이동하면서 상기 발광부와 수광부 사이에 위치할 때 상기 티칭 핀의 Z축 좌표값을 각각 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치.The method of claim 5, wherein the Z-axis sensor is:
The light emitting unit and the light receiving unit are installed in a horizontal direction with respect to the stage, so that the Z-axis coordinate value of the teaching pin can be confirmed when the teaching pin moves in the Z-axis direction and is located between the light emitting unit and the light receiving unit. An auto-teaching device for the FOOF transfer robot, characterized in that: 제1 설계 디폴트 값과 제2 설계 디폴트 값을 설정하는 설계 디폴트 값 설정단계;
풉이 수납되는 스토커로 상기 풉을 로딩하거나 상기 스토커로부터 언로딩하기 하기 위한 풉 이송 로봇을 상기 제1 설계 디폴트 값에 따른 위치로 이동시키는 풉 이송 로봇 이동단계:
상기 제1 설계 디폴트 값에 따른 위치로부터 상기 풉 이송 로봇을 미세 이동시키면서 상기 스토커 내에 배치된 스테이지에 형성된 티칭 센서 모듈을 이용하여 상기 풉 이송 로봇의 로봇암에 배치된 티칭 핀의 위치를 측정하는 티칭 핀 위치측정 단계;
상기 측정된 상기 티칭 핀의 위치가 상기 제2 설계 디폴트 값에 따른 위치와 일치하는지 여부를 비교하는 위치비교 단계; 및
상기 비교 결과에 따라 상기 풉 이송 로봇의 티칭을 수행하는 풉 이송 로봇 티칭 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 방법.A design default value setting step of setting a first design default value and a second design default value;
A FOOF transfer robot movement step of moving the FOOF transfer robot to a position according to the first design default value for loading or unloading the FOOK into a stocker in which the FOOF is stored:
Teaching that measures the position of a teaching pin placed on the robot arm of the FOOP transfer robot using a teaching sensor module formed on a stage disposed in the stocker while slightly moving the FOOP transfer robot from a position according to the first design default value. Pin position measurement step;
A position comparison step of comparing whether the measured position of the teaching pin matches a position according to the second design default value; and
An auto-teaching method for a FOOP transfer robot comprising a FOOP transfer robot teaching step of performing teaching of the FOOP transfer robot according to the comparison result. 제9 항에 있어서, 상기 제1 설계 디폴트 값은
상기 티칭 센서 모듈의 위치에 따른 좌표값이며, 상기 좌표값은 상기 스테이지의 모서리인 스테이지 기준면에 평행한 제1 수평방향인 Y축방향 좌표값과, 수직방향인 Z축방향 좌표값 및 상기 Y축방향에 수직하는 제2 수평방향인 X축방향 좌표값인 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 방법.The method of claim 9, wherein the first design default value is
It is a coordinate value according to the position of the teaching sensor module, and the coordinate value includes a Y-axis coordinate value in a first horizontal direction parallel to the stage reference plane, which is a corner of the stage, a vertical Z-axis coordinate value, and the Y-axis. An auto-teaching method for a FOOF transfer robot, characterized in that the X-axis direction coordinate value is the second horizontal direction perpendicular to the direction. 제9 항에 있어서, 상기 제2 설계 디폴트 값은
상기 티칭 핀의 위치에 따른 좌표값이며, 상기 좌표값은 상기 스테이지의 모서리인 스테이지 기준면에 평행한 제1 수평방향인 Y축방향 좌표값과, 수직방향인 Z축방향 좌표값 및 상기 Y축방향에 수직하는 제2 수평방향인 X축방향 좌표값인 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 방법.The method of claim 9, wherein the second design default value is
It is a coordinate value according to the position of the teaching pin, and the coordinate value is a Y-axis direction coordinate value in a first horizontal direction parallel to the stage reference surface, which is a corner of the stage, a vertical Z-axis coordinate value, and the Y-axis direction. An auto-teaching method for a FOOF transfer robot, characterized in that the coordinate value is in the X-axis direction, which is the second horizontal direction perpendicular to . 제9 항에 있어서, 상기 풉 이송 로봇 티칭 단계는
상기 비교결과 상기 측정된 상기 티칭 핀의 위치와 상기 제2 설계 디폴트 값에 따른 위치가 일치하는 경우 그 위치를 상기 티칭 핀의 정위치로 설정하여 티칭을 수행하는 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 방법.The method of claim 9, wherein the FOOP transfer robot teaching step is
As a result of the comparison, if the measured position of the teaching pin matches the position according to the second design default value, teaching is performed by setting the position as the correct position of the teaching pin. Teaching method. 제9 항에 있어서,
상기 비교결과 상기 측정된 상기 티칭 핀의 위치와 상기 제2 설계 디폴트 값에 따른 위치가 일치하지 않는 경우 상기 티칭 핀 위치측정 단계를 다시 수행하도록 하는 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 방법.According to clause 9,
As a result of the comparison, if the measured position of the teaching pin does not match the position according to the second design default value, the teaching pin position measurement step is performed again. 제9 항에 있어서, 상기 풉 이송 로봇 티칭 단계는
상기 티칭 핀 위치측정 단계를 다시 수행하여 측정된 상기 티칭 핀의 위치와 상기 제2 설계 디폴트 값에 따른 위치가 일치하는 경우 그 위치를 상기 티칭 핀의 정위치로 설정하여 티칭을 수행하는 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 방법.The method of claim 9, wherein the FOOP transfer robot teaching step is
If the position of the teaching pin measured by performing the teaching pin position measurement step again matches the position according to the second design default value, teaching is performed by setting the position as the correct position of the teaching pin. Auto-teaching method of the Pooh transfer robot. 제9 항에 있어서,
상기 풉 이송 로봇 티칭 단계 이후, 모든 스테이지에 대해 상기 티칭 핀의 정위치 설정이 완료되었는지 여부를 판단하여 정위치 설정이 완료되지 않은 스테이지에 대해 상기 풉 이송 로봇 이동단계 내지 상기 풉 이송 로봇 티칭 단계를 반복하여 실시하는 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 방법.According to clause 9,
After the FOOP transfer robot teaching step, it is determined whether the home position setting of the teaching pin has been completed for all stages, and the FOOP transfer robot moving step to the FOOP transfer robot teaching step are performed for the stages for which the home position setting has not been completed. An auto-teaching method for a FOOF transfer robot, characterized in that it is carried out repeatedly. 제9 항에 있어서,
상기 풉 이송 로봇 티칭 단계 이후, 모든 스테이지에 대해 상기 티칭 핀의 정위치 설정이 완료되었는지 여부를 판단하여 모든 스테이지에 대해 상기 티칭 핀의 정위치 설정이 완료된 경우 티칭을 종료하는 것을 특징으로 하는 풉 이송 로봇의 오토 티칭 방법.According to clause 9,
After the FOOP transfer robot teaching step, it is determined whether the home position setting of the teaching pin has been completed for all stages, and teaching is terminated when the home position setting of the teaching pin is completed for all stages. Auto-teaching method for robots.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100575159B1 (en) * 2004-08-16 2006-04-28 삼성전자주식회사 Teaching apparatus of transfer robot
KR102264851B1 (en) * 2014-10-23 2021-06-14 세메스 주식회사 Fork robot and methode of calculating inserting distance of a fork
KR20160088110A (en) * 2015-01-15 2016-07-25 주식회사 엘지실트론 Teaching Jig for Aligning Wafer and Teaching Method Thereof
KR101816992B1 (en) * 2016-04-15 2018-01-11 로체 시스템즈(주) Auto teaching system for a transferring robot

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101647923B1 (en) 2015-04-29 2016-08-11 세메스 주식회사 Stocker for receiving cassettes and method of teaching a stocker robot disposed therein

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