KR102582147B1 - Method for mounting electro device of 2 dimensional film type - Google Patents

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Abstract

본원은 피검물 상에 2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법에 있어서, 상기 전자 소자는 기재 및 상기 기재 상에 형성된 신호 측정부를 포함하고, 상기 전자 소자는 피검물과 소정의 각도를 이루도록 배치되고, 상기 소정의 각도는 상기 전자 소자에 수평 방향으로 작용하는 응력이 0 이 되는 각도인 것인, 2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법에 관한 것이다.The present application relates to a method of disposing a two-dimensional film-type electronic device on an object to be inspected, wherein the electronic device includes a substrate and a signal measuring unit formed on the substrate, and the electronic device is disposed at a predetermined angle with the object to be inspected. , The predetermined angle is an angle at which the stress acting on the electronic device in the horizontal direction is 0. The method relates to a method of arranging a two-dimensional film-type electronic device.

Description

2 차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법 {METHOD FOR MOUNTING ELECTRO DEVICE OF 2 DIMENSIONAL FILM TYPE}{METHOD FOR MOUNTING ELECTRO DEVICE OF 2 DIMENSIONAL FILM TYPE}

본원은 2 차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법에 관한 것이다.This disclosure relates to methods of placing two-dimensional film-type electronic devices.

전자 소자(Electro device)는 전자 회로를 구성하기 위해 사용되는 부품을 의미한다. 이러한 전자 소자는 내부 구조와 구성 물질의 화학적 구성에 따라 특정 목적을 갖고 기능을 수행할 수 있다. 구체적으로, 압력센서, 엑츄에이터 등의 디바이스들은 내부 구조체의 변형을 통하여 신호의 변화를 발생시키고, 생화학 센서(bio-chemical sensor), 저항, 캐패시터, 등의 디바이스들은 구성 물질 자체를 통해 신호의 변화를 발생시킬 수 있다.Electronic device refers to parts used to construct electronic circuits. These electronic devices can perform functions with specific purposes depending on their internal structure and chemical composition of constituent materials. Specifically, devices such as pressure sensors and actuators generate signal changes through deformation of the internal structure, and devices such as bio-chemical sensors, resistors, capacitors, etc. generate signal changes through the constituent materials themselves. It can occur.

그러나 전자 소자의 내부 구조체에 예상치 못한 변형이 발생할 경우, 작동 메커니즘의 효율 변화로 잘못된 신호가 출력될 수 있다. 따라서 내부 구조의 변화를 통해 신호를 출력하는 전자 소자는 필요한 상황에서만 구조의 변화가 일어나야 하고, 그렇지 않은 경우 내부 구조체의 변화를 최대한 억제해야 한다. 이와 관련하여, 의도하지 않은 않는 내부 구조체의 변화는 주변 동적 환경에 의해서 발생할 수 있다.However, if unexpected deformation occurs in the internal structure of an electronic device, incorrect signals may be output due to changes in the efficiency of the operating mechanism. Therefore, in electronic devices that output signals through changes in their internal structure, structural changes should occur only when necessary, and if not, changes in the internal structure should be suppressed as much as possible. In this regard, unintentional changes in the internal structure may occur due to the surrounding dynamic environment.

구체적으로, 과거의 전자 소자들은 크기가 크고 경질이었기 때문에, 주변 환경에 의해 완전히 파손될지언정 주변 환경에 의한 영향없이 특정 기능만을 수행하였다. 그러나, 최근의 전자 소자는 소형화되고 유연성을 가지면서 주변 동적 환경, 예를 들어 압축, 인장, 굽힘, 온도 등의 영향을 받아 동적 잡음이 발생할 수 있다. Specifically, because electronic devices in the past were large and hard, they only performed specific functions without being affected by the surrounding environment, even if they were completely damaged by the surrounding environment. However, while recent electronic devices have become smaller and more flexible, dynamic noise may be generated under the influence of surrounding dynamic environments, such as compression, tension, bending, and temperature.

본원의 배경이 되는 기술인 일본 공개특허공보 제2020-171368호는 인체 장착형 센서 장치, 생체 정보 측정 장치, 생체 정보 측정 시스템 및 인체 장착형 센서 장치의 제어 방법에 대한 것이다. Japanese Patent Publication No. 2020-171368, which is the background technology of this application, relates to a body-mounted sensor device, a biometric information measurement device, a biometric information measurement system, and a control method of a human body-mounted sensor device.

본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 다양한 전자 소자에 인가되는 동적 잡음을 최소화하기 위해 2 차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The purpose of the present application is to solve the problems of the prior art described above, and to provide a method of arranging two-dimensional film-type electronic devices to minimize dynamic noise applied to various electronic devices.

또한, 상기 2 차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법을 이용하여, 동적 잡음을 최소화하는 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.Additionally, the object is to provide a system that minimizes dynamic noise using the method of arranging the two-dimensional film-type electronic devices.

다만, 본원의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.However, the technical challenges sought to be achieved by the embodiments of the present application are not limited to the technical challenges described above, and other technical challenges may exist.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제 1 측면은 피검물 상에 2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법에 있어서, 상기 전자 소자는 기재 및 상기 기재 상에 형성된 신호 측정부를 포함하고, 상기 전자 소자는 피검물과 소정의 각도를 이루도록 배치되고, 상기 소정의 각도는 상기 전자 소자에 수평 방향으로 작용하는 응력이 0 이 되는 각도인 것인, 2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법에 대한 것이다.As a technical means for achieving the above-mentioned technical problem, the first aspect of the present application is a method of disposing a two-dimensional film-type electronic device on an object to be inspected, wherein the electronic device includes a substrate and a signal measuring unit formed on the substrate. And, the electronic device is arranged to form a predetermined angle with the object to be inspected, and the predetermined angle is an angle at which the stress acting on the electronic device in the horizontal direction is 0. Disposing a two-dimensional film-type electronic device. It's about the method.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 소정의 각도는 하기 수학식 1 에 따라 산출된 각도 θ 에 따라 결정될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one implementation of the present application, the predetermined angle may be determined according to the angle θ calculated according to Equation 1 below, but is not limited thereto.

[수학식 1][Equation 1]

(수학식 1 에서, ν 는 기재의 푸아송비(Poisson's ratio)를 의미함).(In Equation 1, ν means Poisson's ratio of the substrate).

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 소정의 각도는 상기 각도 θ 의 80% 내지 120% 일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the predetermined angle may be 80% to 120% of the angle θ, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 기재의 푸아송비는 0 초과 0.5 이하일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the Poisson's ratio of the substrate may be greater than 0 and less than or equal to 0.5, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 2 차원 필름형 전자 소자는 상기 피검물에 가해지는 동적 잡음에 의한 신호의 세기 변화를 최소화하기 위해 상기 피검물과 소정의 각도를 이루도록 상기 피검물 상에 배치될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the two-dimensional film-type electronic device is disposed on the object to be measured at a predetermined angle to minimize the change in signal intensity due to dynamic noise applied to the object. However, it is not limited to this.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 전자 소자에 가해지는 응력은, 인장 응력, 압축 응력, 굽힘 응력(bending stress), 전단 응력, 비틀림 응력, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 응력을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the stress applied to the electronic device may include a stress selected from the group consisting of tensile stress, compressive stress, bending stress, shear stress, torsional stress, and combinations thereof. However, it is not limited to this.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 신호 측정부는 그래핀, 전이금속 칼코게나이드, 흑린, h-BN, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 이차원 필름을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. According to one embodiment of the present application, the signal measuring unit may include a two-dimensional film selected from the group consisting of graphene, transition metal chalcogenide, black phosphorus, h-BN, and combinations thereof, but is not limited thereto. .

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 기재는 PET (Polyethylene terephthalate), PE (Polyethylene), PUA (polyurethaneacrylate), PA (Polyamide), PP (Polypropylene), PBT (Polybutylene terephthalate), PTT (polytrimethylene terephthalate), PI (Polyimide), PU (poly urethane), PVDF (Polyvinylidene fluoride), PDMS (Polydimethylsiloxane), PB (Polybutadiene), PUA (polyurethane-acrylate), SBR (Styrene Butadiene Rubber), PVDF-TrFE (Polyvinylidene fluoride-trifluoroethylene) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the substrate is PET (Polyethylene terephthalate), PE (Polyethylene), PUA (polyurethaneacrylate), PA (Polyamide), PP (Polypropylene), PBT (Polybutylene terephthalate), PTT (polytrimethylene terephthalate), PI (Polyimide), PU (poly urethane), PVDF (Polyvinylidene fluoride), PDMS (Polydimethylsiloxane), PB (Polybutadiene), PUA (polyurethane-acrylate), SBR (Styrene Butadiene Rubber), PVDF-TrFE (Polyvinylidene fluoride-trifluoroethylene) and It may include, but is not limited to, those selected from the group consisting of combinations thereof.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 피검물은 피부, 인공 피부, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the test object may include, but is not limited to, one selected from the group consisting of skin, artificial skin, and combinations thereof.

또한, 본원의 제 2 측면은, 피검물과 소정의 각도를 이루도록 2 차원 필름형 전자 소자를 포함하고, 상기 2 차원 필름형 전자 소자는 상기 피검물에 가해지는 동적 잡음에 의한 신호의 세기 변화를 최소화하기 위해 피검물과 소정의 각도를 이루도록 배치된 것이고, 상기 2차원 필름형 전자 소자로부터 발생하는 전자 신호를 분석하는 것인, 동적 잡음 최소화 시스템을 제공한다.In addition, the second aspect of the present application includes a two-dimensional film-type electronic device so as to form a predetermined angle with the object to be inspected, and the two-dimensional film-type electronic device is configured to detect a change in signal intensity due to dynamic noise applied to the object to be inspected. A dynamic noise minimization system is provided, which is arranged to form a predetermined angle with the object to be measured and analyzes electronic signals generated from the two-dimensional film-type electronic device.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 동적 잡음 최소화 시스템은 압력 센서, 속도 센서, 가속도 센서, 진동 센서, 유속 센서, 열 센서, 저항, 커패시터, 트랜지스터, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것에 적용될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the dynamic noise minimization system may be applied to a device selected from the group consisting of a pressure sensor, a speed sensor, an acceleration sensor, a vibration sensor, a flow sensor, a heat sensor, a resistor, a capacitor, a transistor, and combinations thereof. However, it is not limited to this.

상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본원을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.The above-described means of solving the problem are merely illustrative and should not be construed as intended to limit the present application. In addition to the exemplary embodiments described above, additional embodiments may be present in the drawings and detailed description of the invention.

종래의 벌크형 전자 소자들이 소형화되고 유연해지면서, 생체 삽입 디바이스, 피부 부착 디바이스, 웨어러벌 디바이스, 소프트 로보틱스 등 다양한 동적 환경에서 전자 소자를 활용하는 경우가 증가하였다. 그러나, 이러한 동적 환경은 수축, 인장, 밴딩 등 동적 잡음을 유발하여 전자 소자의 작동에 악영향을 끼칠 수 있는 문제가 있다.As conventional bulk electronic devices have become smaller and more flexible, the use of electronic devices in various dynamic environments such as bio-implantable devices, skin-attached devices, wearable devices, and soft robotics has increased. However, this dynamic environment causes dynamic noise such as shrinkage, tension, and bending, which may adversely affect the operation of electronic devices.

전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 본원에 따른 2 차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법은, 동적 잡음이 발생하는 공간과 독립적인 차원 갖는 공간에 전자 소자를 배치함으로써, 상기 전자 소자의 작동에 동적 잡음의 영향을 최소화할 수 있다.According to the means for solving the problem of the present application described above, the method of arranging a two-dimensional film-type electronic device according to the present application is to arrange the electronic device in a space with dimensions independent of the space where dynamic noise occurs, thereby improving the operation of the electronic device. The impact of dynamic noise can be minimized.

또한, 본원에 따른 2 차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법은 디바이스와 디바이스가 배치된 환경과의 상관관계를 통해 동적 잡음의 영향을 최소화하는 것으로서, 기 발명된 소자에도 적용할 수 있다.In addition, the method of arranging a two-dimensional film-type electronic device according to the present application minimizes the influence of dynamic noise through the correlation between the device and the environment in which the device is placed, and can also be applied to previously invented devices.

또한, 본원에 따른 2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법은, 동적 잡음에 의한 대미지로부터 소자의 손상 및 노후화를 방지하여 전자 소자의 수명을 연장할 수 있다.In addition, the method of arranging a two-dimensional film-type electronic device according to the present application can extend the lifespan of the electronic device by preventing damage and aging of the device from damage caused by dynamic noise.

또한, 본원에 따른 동적 잡음 최소화 시스템은, 뇌파, 심전도, 맥박, 호흡 등의 생체 신호를 실시간으로 모니터링하면서 종래의 기술에 비해 동적 잡음에 의한 영향이 적어 정확도가 높다.In addition, the dynamic noise minimization system according to the present application monitors biological signals such as brain waves, electrocardiogram, pulse, and respiration in real time and has high accuracy due to less influence by dynamic noise compared to conventional technology.

또한, 본원에 따른 동적 잡음 최소화 시스템은 가상현실 게임, 재활 치료 기술에 사용가능하다.Additionally, the dynamic noise minimization system according to the present application can be used in virtual reality games and rehabilitation treatment technology.

다만, 본원에서 얻을 수 있는 효과는 상기된 바와 같은 효과들로 한정되지 않으며, 또 다른 효과들이 존재할 수 있다.However, the effects that can be obtained herein are not limited to the effects described above, and other effects may exist.

도 1 은 종래의 전자 소자에서 발생하는 신호를 모사한 그림이다.
도 2 는 응력 변환 이론(stress transformation)에 대한 그림이다.
도 3 은 본원의 일 구현예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자와 피검물 사이의 각도에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 구조 변화의 모식도이다.
도 4 는 본원의 일 구현예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 구조 변화를 시뮬레이션한 그림이다.
도 5 는 본원의 일 구현예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 구조 변화를 시뮬레이션한 그림이다.
도 6 은 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 배치 각도와 인장에 의해 발생하는 노이즈 사이의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 7 은 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 배치 각도와 압축에 의해 발생하는 노이즈 사이의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 8 은 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 각도와 구조 변화 정도 사이의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 9 는 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 배치 각도와 굽힘에 의해 발생하는 노이즈 사이의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 10 은 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 각도별 노이즈에 대한 민감도를 표현한 그래프이다.
도 11 의 (a) 는 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자에 노이즈를 가하는 그림이고, (b) 는 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자에 가해진 노이즈와 발생하는 신호 사이의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 12 의 (a) 는 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자에 노이즈를 가하는 그림이고, (b) 는 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자에 가해진 노이즈와 발생하는 신호 사이의 관계를 나타낸 그래프이다.
Figure 1 is a diagram simulating a signal generated from a conventional electronic device.
Figure 2 is an illustration of stress transformation theory.
Figure 3 is a schematic diagram of a change in structure of a two-dimensional film-type electronic device depending on the angle between the two-dimensional film-type electronic device and an object to be inspected according to an embodiment of the present application.
Figure 4 is a diagram simulating the structural change of a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application.
Figure 5 is a diagram simulating the structural change of a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application.
FIG. 6 is a graph showing the relationship between the arrangement angle of a two-dimensional film-type electronic device and noise generated by tension according to an embodiment of the present application.
FIG. 7 is a graph showing the relationship between the arrangement angle of a two-dimensional film-type electronic device and noise generated by compression according to an embodiment of the present application.
Figure 8 is a graph showing the relationship between the angle and the degree of structural change of a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application.
FIG. 9 is a graph showing the relationship between noise generated by bending and an arrangement angle of a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application.
Figure 10 is a graph expressing the sensitivity to noise by angle of a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application.
11 (a) is a diagram showing noise applied to a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application, and (b) is a diagram showing noise applied to a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application and the noise generated. This is a graph showing the relationship between signals.
12 (a) is a diagram showing noise applied to a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application, and (b) is a diagram showing noise applied to a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application and the noise generated. This is a graph showing the relationship between signals.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. Below, with reference to the attached drawings, embodiments of the present application will be described in detail so that those skilled in the art can easily implement them.

그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.However, the present application may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly explain the present application in the drawings, parts that are not related to the description are omitted, and similar reference numerals are assigned to similar parts throughout the specification.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다 Throughout this specification, when a part is said to be “connected” to another part, this includes not only the case where it is “directly connected,” but also the case where it is “electrically connected” with another element in between. do

본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에", "상부에", "상단에", "하에", "하부에", "하단에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.Throughout this specification, when a member is said to be located “on”, “above”, “at the top”, “below”, “at the bottom”, or “at the bottom” of another member, this means that a member is located on another member. This includes not only cases where they are in contact, but also cases where another member exists between two members.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification of the present application, when a part "includes" a certain component, this means that it may further include other components rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

본 명세서에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 또한, 본원 명세서 전체에서, "~ 하는 단계" 또는 "~의 단계"는 "~를 위한 단계"를 의미하지 않는다. As used herein, the terms “about,” “substantially,” and the like are used to mean at or close to a numerical value when manufacturing and material tolerances inherent in the stated meaning are presented, and to aid understanding of the present application. It is used to prevent unscrupulous infringers from unfairly exploiting disclosures in which precise or absolute figures are mentioned. Additionally, throughout the specification herein, “a step of” or “a step of” does not mean “a step for.”

본원 명세서 전체에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 "이들의 조합"의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.Throughout this specification, the term "combination thereof" included in the Markushi format expression means a mixture or combination of one or more components selected from the group consisting of the components described in the Markushi format expression, It means including one or more selected from the group consisting of.

본원 명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 의 기재는, "A 또는 B, 또는, A 및 B" 를 의미한다.Throughout this specification, description of “A and/or B” means “A or B, or A and B.”

이하에서는 본원의 2 차원 필름형 전자 소자의 배치 방법에 대하여, 구현예 및 실시예와 도면을 참조하여 구체적으로 설명하도록 한다. 그러나 본원이 이러한 구현예 및 실시예와 도면에 제한되는 것은 아니다.Hereinafter, the method of arranging the two-dimensional film-type electronic device of the present application will be described in detail with reference to implementation examples, examples, and drawings. However, the present application is not limited to these embodiments, examples, and drawings.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제 1 측면은 피검물 상에 2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법에 있어서, 상기 전자 소자는 기재 및 상기 기재 상에 형성된 신호 측정부를 포함하고, 상기 전자 소자는 피검물과 소정의 각도를 이루도록 배치되고, 상기 소정의 각도는 상기 전자 소자에 수평 방향으로 작용하는 응력이 0 이 되는 각도인 것인, 2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법에 대한 것이다.As a technical means for achieving the above-mentioned technical problem, the first aspect of the present application is a method of disposing a two-dimensional film-type electronic device on an object to be inspected, wherein the electronic device includes a substrate and a signal measuring unit formed on the substrate. And, the electronic device is arranged to form a predetermined angle with the object to be inspected, and the predetermined angle is an angle at which the stress acting on the electronic device in the horizontal direction is 0. Disposing a two-dimensional film-type electronic device. It's about the method.

종래의 벌크형 전자 소자가 소형화되고 유연해지면서 소형 전자 소자가 개발되었다. 이러한 소형 전자 소자는 동적 환경에서 사용가능한 피부 부착 디바이스, 웨어러벌 디바이스, 소프트 로보틱스 등 다양한 형태로 구현될 수 있으나, 상기 동적 환경에 위치한 전자 소자들은 동적 환경에 의해 형태가 변화하여, 종래의 벌크형 전자 소자에 비해 신호의 세기가 불규칙적으로 변화하는 문제가 존재한다.As conventional bulk electronic devices have become smaller and more flexible, small electronic devices have been developed. These small electronic devices can be implemented in various forms such as skin-attached devices, wearable devices, and soft robotics that can be used in a dynamic environment. However, electronic devices located in the dynamic environment change their shape due to the dynamic environment, and are similar to conventional bulk electronic devices. There is a problem that the signal strength changes irregularly compared to the device.

도 1 은 종래의 전자 소자에서 발생하는 신호를 모사한 그림이다. 구체적으로 도 1 의 (a) 는 동적 잡음가 없는 환경에서 전자 소자가 발생시키는 신호를 의미하고, (b) 는 동적 잡음이 존재하는 환경에서 전자 소자가 발생시키는 신호를 의미한다. 도 1 을 참조하면, 동일한 전자 소자라도 동적 잡음의 발생에 의해 고르지 못한 신호가 발생할 수 있기 때문에, 이러한 동적 잡음를 최소화하기 위한 연구가 필요하다.Figure 1 is a diagram simulating a signal generated from a conventional electronic device. Specifically, (a) in FIG. 1 refers to a signal generated by an electronic device in an environment without dynamic noise, and (b) refers to a signal generated by an electronic device in an environment with dynamic noise. Referring to FIG. 1, even in the same electronic device, uneven signals may be generated due to dynamic noise, so research is needed to minimize such dynamic noise.

본원은 소형화된 전자 소자로서, 피부 부착 디바이스, 웨어러벌 디바이스, 소프트 로보틱스 등으로서 사용될 수 있는 2 차원 필름형 전자 소자를 피검물에 배치하는 방법을 제공함으로써 상술한 문제를 해결할 수 있는 방법을 제공한다.The present application provides a method to solve the above-mentioned problems by providing a method of placing a two-dimensional film-type electronic device, which is a miniaturized electronic device and can be used as a skin-attached device, wearable device, soft robotics, etc., on an object to be inspected. .

본원에 따른 동적 잡음은, 전자 소자의 형상을 변화시키는 힘, 속도, 가속도, 유속, 진동 등을 의미하는 것으로서, 본원에 따른 2 차원 필름형 전자 소자에서 발생하는 신호에 오차를 제공할 수 있다. 구체적으로, 2 차원 전자 소자는, 소자의 변형을 통해 신호를 측정하는 2 차원 필름형 소자와, 소자의 변형과 무관하게 신호를 측정하는 2 차원 필름형 소자로 분류될 수 있다.Dynamic noise according to the present application refers to force, speed, acceleration, flow rate, vibration, etc. that change the shape of an electronic device, and may provide errors in signals generated from the two-dimensional film-type electronic device according to the present application. Specifically, two-dimensional electronic devices can be classified into two-dimensional film-type devices that measure signals through deformation of the device, and two-dimensional film-type devices that measure signals regardless of deformation of the device.

소자의 변형을 통해 신호를 측정하는 2 차원 필름형 소자는 관측 대상에 의해 형상이 변화되어 타겟이 되는 신호를 측정할 수 있다. 이 때, 상기 2 차원 필름형 전자 소자에 동적 잡음과 타겟 신호가 혼합된 신호가 인가될 경우, 상기 동적 잡음을 응력 변환하면 상기 동적 잡음에 의한 힘이 2차원 필름에 수평 또는 수직한 방향으로 작용하고, 상기 타겟 신호는 상기 2 차원 필름에 90° 로 인가되어 형태 변화를 유발할 수 있다. 그러나, 상기 동적 잡음에 의한 힘이 상기 2 차원 필름의 형태를 변화시킬 경우, 상기 2차원 필름형 전자 소자에서 측정된 신호에 오차가 발생할 수 있다.A two-dimensional film-type device that measures signals through deformation of the device can measure the target signal by changing its shape depending on the object of observation. At this time, when a mixed signal of dynamic noise and target signal is applied to the two-dimensional film-type electronic device, when the dynamic noise is converted into stress, the force due to the dynamic noise acts on the two-dimensional film in a horizontal or vertical direction. And, the target signal can be applied to the two-dimensional film at an angle of 90° to cause a change in shape. However, when the force caused by the dynamic noise changes the shape of the two-dimensional film, errors may occur in the signal measured from the two-dimensional film-type electronic device.

한편, 소자의 변형과 무관하게 신호를 측정 또는 발생시키는 2 차원 필름형 소자의 경우, 소자의 형상 변화에 의해 측정 또는 발생된 신호에 오차가 발생할 수 있다.Meanwhile, in the case of a two-dimensional film-type device that measures or generates a signal regardless of the deformation of the device, errors may occur in the measured or generated signal due to changes in the shape of the device.

예를 들어, 벌크형 압력 센서에 압력을 인가할 때 벌크형 압력 센서의 형상이 변하지 않으면 상기 벌크형 압력 센서는 인가된 압력 만을 측정할 수 있다. 그러나, 본원의 2 차원 필름형 전자 소자와 같이 소형화되고 유연한 전자 소자인 유연 압력 센서에 압력을 인가하면, 인가된 압력에 의해 유연 압력 센서의 형상이 변화할 수 있고, 이에 따라 상기 유연 압력 센서는 인가된 압력에 대한 신호 뿐만 아니라 소자의 형태 변화에 따른 신호도 같이 발생시킬 수 있다. 따라서, 상기 소자의 형태 변화에 따른 신호를 최소화할 필요가 있다.For example, if the shape of the bulk pressure sensor does not change when pressure is applied to the bulk pressure sensor, the bulk pressure sensor can only measure the applied pressure. However, when pressure is applied to a flexible pressure sensor, which is a miniaturized and flexible electronic device such as the two-dimensional film-type electronic device of the present application, the shape of the flexible pressure sensor may change due to the applied pressure, and accordingly, the flexible pressure sensor In addition to signals for applied pressure, signals can also be generated depending on changes in the shape of the device. Therefore, there is a need to minimize signals resulting from changes in the shape of the device.

이와 관련하여, 상기 동적 잡음이 힘으로서 전자 소자에 인가될 경우, 상기 전자 소자에 인가되는 힘은 응력 변환 이론에 따라 분해될 수 있다.In this regard, when the dynamic noise is applied to an electronic device as a force, the force applied to the electronic device can be decomposed according to stress transformation theory.

도 2 는 응력 변환 이론(stress transformation)에 대한 그림이다.Figure 2 is an illustration of stress transformation theory.

도 2 를 참조하면, xy 평면 상에 기울어지지 않고 배치된 물체와 달리, xy 평면 상에 기울여져서 배치된 물체는 x' 축 방향의 힘과 y' 축 방향의 힘을 받고, 상기 x' 축 방향의 힘과 y' 축 방향의 힘은 각각 x 축 방향의 힘과 y 축 방향의 힘의 조합으로 표현될 수 있다. 이 때 특정 조건을 만족하면, 상기 xy 평면 상에 기울여져서 배치된 물체는 기울어진 각도에 따라 x'축 또는 y' 축 방향의 힘을 최소화할 수 있다.Referring to FIG. 2, unlike an object placed without being tilted on the xy plane, an object placed tilted on the xy plane receives a force in the x'-axis direction and a force in the y'-axis direction, and is applied in the x'-axis direction. The force in the y'-axis direction and the force in the y'-axis direction can be expressed as a combination of the force in the x-axis direction and the force in the y-axis direction, respectively. At this time, if certain conditions are met, an object tilted and placed on the xy plane can minimize force in the x'-axis or y'-axis direction depending on the tilt angle.

도 2 에서는 기재되지 않았으나, 상기 물체의 양측 말단에만 y 축 방향의 힘이 작용하고, 상기 물체의 중앙에 y 축 방향에 힘이 작용하지 않을 경우, 상기 물체는 굽힘될 수 있다.Although not depicted in FIG. 2, if a force in the y-axis direction only acts on both ends of the object and no force in the y-axis direction acts on the center of the object, the object may be bent.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 소정의 각도는 하기 수학식 1 에 따라 산출된 각도 θ 에 따라 결정될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one implementation of the present application, the predetermined angle may be determined according to the angle θ calculated according to Equation 1 below, but is not limited thereto.

[수학식 1][Equation 1]

(수학식 1 에서, ν 는 기재의 푸아송비(Poisson's ratio)를 의미함). (In Equation 1, ν means Poisson's ratio of the substrate).

본원에 따른 푸아송비는 특정 물체가 인장력의 작용에 따라 그 방향으로 늘어날 때 가로 방향 변형도와 세로 방향 변형도 사이의 비율을 의미한다.Poisson's ratio according to the present application refers to the ratio between the transverse strain and the longitudinal strain when a specific object is stretched in that direction under the action of tensile force.

후술하겠지만, 상기 소정의 각도는 상기 수학식 1 에 따라 산출된 각도뿐만 아니라, 상기 2 차원 필름형 전자 소자의 작동 대상(예를 들어 인장, 압축, 굽힘, 온도, 속도, 유속 등)에 따라 정해질 수 있다.As will be described later, the predetermined angle is determined not only according to the angle calculated according to Equation 1, but also according to the operating target (e.g., tension, compression, bending, temperature, speed, flow rate, etc.) of the two-dimensional film-type electronic device. It can happen.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 소정의 각도는 상기 각도 θ 의 80% 내지 120% 일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the predetermined angle may be 80% to 120% of the angle θ, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 기재의 푸아송비는 0 초과 0.5 이하일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the Poisson's ratio of the substrate may be greater than 0 and less than or equal to 0.5, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 소정의 각도는 30° 내지 90° 일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the predetermined angle may be 30° to 90°, but is not limited thereto.

예를 들어, 피검물의 푸아송비가 0.45 내지 0.5 이고, 상기 2 차원 필름형 전자 소자에 상기 피검물에 의한 압축 노이즈만 작용하는 경우, 상기 소정의 각도는 30° 에 가까울수록 바람직하고, 상기 2 차원 필름형 전자 소자에 상기 피검물에 의한 인장 노이즈만이 작용하는 경우 상기 소정의 각도는 70° 에 가까울수록 바람직하며, 상기 2 차원 필름형 전자 소자에 상기 피검물에 의한 압축 노이즈 및 인장 노이즈가 동시에 작용하여 두 노이즈에 의한 방해를 받는 경우 상기 소정의 각도는 50° 내지 70° 일 수 있다.For example, when the Poisson's ratio of the test object is 0.45 to 0.5 and only compression noise caused by the test object acts on the two-dimensional film-type electronic device, the predetermined angle is preferably closer to 30°, and the two-dimensional When only the tensile noise caused by the object to be measured acts on the film-type electronic device, it is preferable that the predetermined angle is closer to 70°, and the compression noise and the tensile noise caused by the object to be measured are simultaneously applied to the two-dimensional film-type electronic device. When the noise is interrupted by two noises, the predetermined angle may be 50° to 70°.

이와 관련하여, 압축 노이즈에 의해서만 신호를 발생시키는 2 차원 필름형 전자 소자와 피검물 사이의 각도가 80°를 초과하거나, 인장 노이즈에 의해서만 신호를 발생시키는 2 차원 필름형 전자 소자와 피검물 사이의 각도가 20° 미만인 경우, 버클링 효과(Buckling Effect)가 발생하여 압축 또는 인장에 의해 상기 2 차원 필름형 전자 소자의 형상이 과도하게 변형되어 신호 측정부에서 신호가 발생되지 못하거나 소자가 파손되는 문제가 발생할 수 있다.In this regard, the angle between a two-dimensional film-type electronic device that generates a signal only by compression noise and the object to be inspected exceeds 80°, or the angle between a two-dimensional film-type electronic device that generates a signal only by tensile noise and the object to be inspected exceeds 80°. If the angle is less than 20°, a buckling effect occurs and the shape of the two-dimensional film-type electronic device is excessively deformed due to compression or tension, resulting in a signal not being generated in the signal measuring unit or the device being damaged. Problems may arise.

본원에 따른 버클링 효과는, 특정 물체가 내/외부에서 인가되는 힘을 견디지 못하고 원래의 모습에서 변형되는 것을 의미한다.The buckling effect according to the present application means that a specific object cannot withstand forces applied from the inside or outside and is deformed from its original shape.

예를 들어, 인장에 의해서만 신호를 발생시키는 2 차원 필름형 전자 소자와 피검물 사이의 각도가 평행에 가까울 경우, 상기 2 차원 필름형 전자 소자에 수평 방향으로 작용하는 응력에 의해 상기 신호 측정부가 인장될 수 있고, 상기 신호 측정부의 인장에 의해 상기 신호 측정부에서 발생하는 신호가 왜곡될 수 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 인장 센서형 2 차원 필름형 전자 소자와 피검물 사이의 각도를 크게 할수록 상기 수평 방향으로 작용하는 응력이 작아져 상기 신호 측정부의 인장 변형 정도(strain)가 작아져 상기 신호 측정부가 인장에 의한 신호만을 측정할 수 있다. 그러나, 상기 각도가 80° 를 초과할 경우 버클링 효과가 발생하여 인장 도중 전단력(shear stress)에 의해 상기 신호 측정부가 파손될 수 있다. For example, when the angle between a two-dimensional film-type electronic device that generates a signal only by tension and the object to be measured is close to parallel, the signal measuring unit is stretched by stress acting on the two-dimensional film-type electronic device in the horizontal direction. may be, and the signal generated from the signal measurement unit may be distorted due to tension of the signal measurement unit. To solve this problem, as the angle between the tensile sensor-type two-dimensional film-type electronic device and the object to be measured increases, the stress acting in the horizontal direction decreases, thereby reducing the degree of tensile strain of the signal measuring unit, thereby reducing the signal measurement. Only signals resulting from additional tension can be measured. However, if the angle exceeds 80°, a buckling effect may occur and the signal measuring unit may be damaged by shear stress during tensioning.

또 한 예를 들어, 압축에 의해서만 신호를 발생시키는 2 차원 필름형 전자 소자와 피검물 사이의 각도가 수직에 가까울 경우, 상기 2 차원 필름형 전자 소자에 수직 방향으로 작용하는 응력에 의해 상기 신호 측정부가 압축될 수 있고, 상기 신호 측정부의 압축에 의해 상기 신호 측정부에서 발생하는 신호가 왜곡될 수 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 상기 압축 센서형 2 차원 필름형 전자 소자와 피검물 사이의 각도를 작게 할수록 수직 방향으로 작용하는 응력이 작아져 상기 신호 측정부의 압축 변형 정도(strain)가 작아져 상기 신호 측정부가 압축에 의한 신호만을 측정할 수 있다. 그러나, 상기 각도가 20° 미만일 경우 버클링 효과가 발생하여 압축 도중 전단력(shear stress)에 의해 상기 신호 측정부가 파손될 수 있다. Also, for example, when the angle between a two-dimensional film-type electronic device that generates a signal only by compression and the object to be tested is close to vertical, the signal is measured by stress acting in the vertical direction on the two-dimensional film-type electronic device. Additional compression may occur, and the signal generated from the signal measurement unit may be distorted due to compression of the signal measurement unit. To solve this problem, as the angle between the compression sensor-type two-dimensional film-type electronic device and the object to be measured decreases, the stress acting in the vertical direction decreases, thereby reducing the degree of compression strain of the signal measurement unit, thereby reducing the signal measurement. Only signals resulting from additive compression can be measured. However, if the angle is less than 20°, a buckling effect may occur and the signal measuring unit may be damaged by shear stress during compression.

압축과 인장 양측에 의해 신호를 발생시키는 2 차원 필름형 전자 소자의 경우, 상기 2 차원 필름형 전자 소자와 피검물 사이의 각도는 압축에 의한 영향과 인장에 의한 영향을 모두 고려하여 결정될 수 있다.In the case of a two-dimensional film-type electronic device that generates a signal by both compression and tension, the angle between the two-dimensional film-type electronic device and the object to be tested can be determined by considering both the influence of compression and the influence of tension.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 2 차원 필름형 전자 소자는 상기 피검물에 가해지는 동적 잡음에 의한 신호의 세기 변화를 최소화하기 위해 상기 피검물과 소정의 각도를 이루도록 상기 피검물 상에 배치될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the two-dimensional film-type electronic device is disposed on the object to be measured at a predetermined angle to minimize the change in signal intensity due to dynamic noise applied to the object. However, it is not limited to this.

상술하였듯, 상기 피검물에 가해지는 동적 잡음은, 상기 2 차원 필름형 전자 소자의 형상을 변화시키기 위해 힘의 형태를 가질 수 있다. 이 때, 상기 피검물에 가해지는 힘은 응력으로 변환되어 상기 2 차원 필름형 전자 소자에 인가될 수 있고, 상기 2 차원 필름형 전자 소자는 신호의 세기 변화를 최소화하기 위해 형상이 최소한으로 변화될 필요가 있다.As described above, dynamic noise applied to the object may take the form of a force to change the shape of the two-dimensional film-type electronic device. At this time, the force applied to the object can be converted into stress and applied to the two-dimensional film-type electronic device, and the two-dimensional film-type electronic device has a minimal change in shape to minimize the change in signal intensity. There is a need.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 신호 측정부는 크랙을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one implementation of the present application, the signal measuring unit may include a crack, but is not limited thereto.

도 3 은 본원의 일 구현예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자와 피검물 사이의 각도에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 구조 변화의 모식도이고, 도 4 및 도 5 는 본원의 일 구현예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 구조 변화를 시뮬레이션한 그림이다. 이와 관련하여, 도 3 내지 도 5 는 2 차원 필름형 전자 소자의 구조 변화를 위해 크랙을 포함하는 것이며, 크랙의 변화를 관찰함으로써 상기 2 차원 필름형 전자 소자와 피검물 사이의 각도가 2 차원 필름형 전자 소자의 구조 변화에 미치는 영향을 분석할 수 있다.Figure 3 is a schematic diagram of the structural change of a two-dimensional film-type electronic device according to the angle between the two-dimensional film-type electronic device and the object to be tested according to an embodiment of the present application, and Figures 4 and 5 are schematic diagrams according to an embodiment of the present application. This is a picture simulating the structural change of a two-dimensional film-type electronic device. In this regard, FIGS. 3 to 5 include cracks to change the structure of a two-dimensional film-type electronic device, and by observing the change in the crack, the angle between the two-dimensional film-type electronic device and the object to be tested is determined by measuring the two-dimensional film. The impact of changes in the structure of electronic devices can be analyzed.

도 3 을 참조하면, 도 3 은 2 차원 필름형 전자 소자가 배치된 피검물에 인장력을 가할 때, 상기 전자 소자와 피검물 사이의 각도와 2 차원 필름형 전자 소자의 크랙 사이의 관계를 나타낸 것이다 (도 3 의 좌측 하단). 이 때 상기 전자 소자가 수직하게 위치한 경우(도 3 의 좌측 상단)와 달리, 상기 전자 소자가 비스듬히 위치한 경우(도 3 의 우측 상단) 및 상기 전자 소자가 피검물과 평행하기 위치한 경우(도 3 의 우측 하단)는 크랙의 폭이 넓어지는 문제가 발생한다.Referring to FIG. 3, when a tensile force is applied to an object on which a two-dimensional film-type electronic device is disposed, it shows the relationship between the angle between the electronic device and the object and the crack of the two-dimensional film-type electronic device. (bottom left of Figure 3). At this time, unlike the case where the electronic device is positioned vertically (top left of FIG. 3), the case where the electronic device is positioned obliquely (top right of FIG. 3) and the case where the electronic device is positioned parallel to the object to be tested (top left of FIG. 3) In the lower right corner, a problem occurs where the width of the crack becomes wider.

또한 도 4 를 참조하면, 상기 피검물에 인장력을 가할 때, 상기 전자 소자와 피검물 사이의 각도가 작을 경우 크랙의 폭이 넓어지고, 각도가 커질수록 크랙의 폭이 변형없는 각도를 지나 폭이 다시 좁아지고 있다. 또한, 도 5 를 참조하면 각도가 작으면 폭이 좁아지다가, 각도가 커질수록 크랙의 폭에 변형이 발생하지 않는 지점을 거쳐 폭이 커지게 되며, 상기 피검물에 압축력을 가하면 상기 전자 소자와 피검물 사이의 각도에 따라 상기 크랙이 변형되는 문제가 발생한다.Also, referring to FIG. 4, when applying a tensile force to the object to be inspected, if the angle between the electronic device and the object to be inspected is small, the width of the crack widens, and as the angle increases, the width of the crack passes the angle without deformation. It's getting narrower again. In addition, referring to Figure 5, when the angle is small, the width becomes narrow, but as the angle increases, the width of the crack increases through a point where no deformation occurs, and when a compressive force is applied to the object to be inspected, the electronic device and the test object are separated. A problem occurs in which the crack is deformed depending on the angle between the water.

본원의 일 구현예에 다르면, 상기 2 차원 필름형 전자 소자는, 상기 동적 잡음이 발생하는 공간과 독립적인 차원을 갖는 공간에 배치된 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the two-dimensional film-type electronic device may be disposed in a space having dimensions independent of the space in which the dynamic noise occurs, but is not limited thereto.

상술하였듯, 상기 2 차원 필름형 전자 소자는 상기 피검물과 소정의 각도를 이루도록 배치된 것이다. 이 때, 상기 소정의 각도에 의해, 상기 동적 잡음이 상기 2 차원 필름형 전자 소자의 신호 측정부에 미치는 영향이 제거 또는 최소화된다. 즉, 상기 동적 잡음이 발생하는 공간과 상기 2 차원 필름형 전자 소자가 배치된 공간은 서로 독립적인 차원을 가지는 것으로 해석할 수 있다.As described above, the two-dimensional film-type electronic device is arranged to form a predetermined angle with the object to be inspected. At this time, the influence of the dynamic noise on the signal measurement unit of the two-dimensional film-type electronic device is removed or minimized by the predetermined angle. In other words, the space where the dynamic noise occurs and the space where the two-dimensional film-type electronic device is placed can be interpreted as having independent dimensions.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 전자 소자에 가해지는 응력은, 인장 응력, 압축 응력, 굽힘 응력(bending stress), 전단 응력, 비틀림 응력, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 응력을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 피검물에서 동적 잡음이 발생하여 상기 전자 소자에 힘이 가해질 경우, 상기 전자 소자의 중심과 힘이 이루는 각도에 따라 상기 전자 소자는 인장 응력, 압축 응력, 굽힘 응력, 전단 응력, 비틀림 응력 등의 응력이 작용될 수 있다.According to one embodiment of the present application, the stress applied to the electronic device may include a stress selected from the group consisting of tensile stress, compressive stress, bending stress, shear stress, torsional stress, and combinations thereof. However, it is not limited to this. For example, when dynamic noise occurs in the object and a force is applied to the electronic device, the electronic device experiences tensile stress, compressive stress, bending stress, shear stress, etc., depending on the angle between the center of the electronic device and the force. Stress such as torsional stress may be applied.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 신호 측정부는 그래핀, 전이금속 칼코게나이드, 흑린, h-BN, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 이차원 필름을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the signal measuring unit may include a two-dimensional film selected from the group consisting of graphene, transition metal chalcogenide, black phosphorus, h-BN, and combinations thereof, but is not limited thereto. .

또한, 상기 신호 측정부는 Pt, Au, Cr, Cu, Mg, Ti, Al, Mo, C, Si, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.Additionally, the signal measuring unit may include one selected from the group consisting of Pt, Au, Cr, Cu, Mg, Ti, Al, Mo, C, Si, and combinations thereof, but is not limited thereto.

상기 신호 측정부는 센서로서 활용될 수 있는 물질을 모두 포함할 수 있다.The signal measuring unit may include any material that can be used as a sensor.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 기재는 PET (Polyethylene terephthalate), PE (Polyethylene), PUA (polyurethaneacrylate), PA (Polyamide), PP (Polypropylene), PBT (Polybutylene terephthalate), PTT (polytrimethylene terephthalate), PI (Polyimide), PU (poly urethane), PVDF (Polyvinylidene fluoride), PDMS (Polydimethylsiloxane), PB (Polybutadiene), PUA (polyurethane-acrylate), SBR (Styrene Butadiene Rubber), PVDF-TrFE (Polyvinylidene fluoride-trifluoroethylene) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the substrate is PET (Polyethylene terephthalate), PE (Polyethylene), PUA (polyurethaneacrylate), PA (Polyamide), PP (Polypropylene), PBT (Polybutylene terephthalate), PTT (polytrimethylene terephthalate), PI (Polyimide), PU (poly urethane), PVDF (Polyvinylidene fluoride), PDMS (Polydimethylsiloxane), PB (Polybutadiene), PUA (polyurethane-acrylate), SBR (Styrene Butadiene Rubber), PVDF-TrFE (Polyvinylidene fluoride-trifluoroethylene) and It may include, but is not limited to, those selected from the group consisting of combinations thereof.

또한, 상기 기재는 상기 신호 측정부와 동일한 재질의 이차원 필름을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.Additionally, the substrate may include a two-dimensional film made of the same material as the signal measuring unit, but is not limited thereto.

예를 들어, 상기 2 차원 필름형 전자 소자는, 고분자 기판 및 상기 고분자 기판 상에 형성된 이차원 필름을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.For example, the two-dimensional film-type electronic device may include a polymer substrate and a two-dimensional film formed on the polymer substrate, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 피검물은 피부, 인공 피부, 생체 조직, PDMS, ecoflex, 하이드로겔, 테가덤, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 바람직하게는, 상기 피검물은 피부, 생체 조직, 인공 피부, 겔, 및 반창고 등을 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present application, the specimen may include, but is limited to, one selected from the group consisting of skin, artificial skin, biological tissue, PDMS, ecoflex, hydrogel, Tegaderm, and combinations thereof. That is not the case. Preferably, the test object may include skin, biological tissue, artificial skin, gel, and bandage.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 신호 측정부에서 측정되는 신호는 상기 2 차원 필름형 전자 소자 또는 상기 신호 측정부에서 측정되는 저항, 전류, 전압, 커패시터, 임피던스, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것으로 표현될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the signal measured by the signal measuring unit is a group consisting of the two-dimensional film-type electronic device or resistance, current, voltage, capacitor, impedance, and combinations thereof measured by the signal measuring unit. It may be expressed as selected from, but is not limited to this.

상술하였듯, 상기 2 차원 필름형 전자 소자는 소자의 변형을 통해 타겟 신호를 측정하는 소자와, 소자의 변형과 무관하게 타겟 신호를 측정하는 소자로 나뉠 수 있다. 상기 2 차원 필름형 전자 소자가 소자의 변형과 무관하게 타겟 신호를 측정하는 소자의 경우 온도, 조도, 케미컬 센서 등이 있을 수 있다. 예를 들어, 상기 온도 센서는 온도가 높아지면 물질의 2 차원 필름형 전자 소자의 전기 전도도가 달라지는 현상을 이용해 온도를 측정할 수 있다. As described above, the two-dimensional film-type electronic device can be divided into devices that measure the target signal through deformation of the device and devices that measure the target signal regardless of deformation of the device. In the case where the two-dimensional film-type electronic device measures a target signal regardless of deformation of the device, there may be a temperature, illuminance, chemical sensor, etc. For example, the temperature sensor can measure temperature by using the phenomenon that the electrical conductivity of a two-dimensional film-type electronic device of a material changes as the temperature increases.

또한, 상기 2 차원 필름형 전자 소자가 소자의 변형을 통해 타겟 신호를 측정하는 소자인 경우 타겟 신호(예를 들어 압력, 힘, 속도, 가속도, 유속, 진동 등)에 의해 상기 전자 소자의 물리적 형상이 변화되어 상기 타겟 신호는 저항, 전류, 전압, 커패시터, 임피던스 등의 형태로 측정될 수 있다.In addition, when the two-dimensional film-type electronic device is a device that measures a target signal through deformation of the device, the physical shape of the electronic device is determined by the target signal (e.g., pressure, force, speed, acceleration, flow rate, vibration, etc.). This change allows the target signal to be measured in the form of resistance, current, voltage, capacitor, impedance, etc.

이와 관련하여, 상기 신호는 전자 소자가 측정하고자 하는 대상 뿐만 아니라, 전자 소자의 주변 환경에서 발생하는 변화에 의해서도 발생할 수 있다. 일반적으로 주변 환경의 변화에 의해 발생하는 신호는 전자 소자가 측정하고자 하는 대상에 의해 발생하는 신호보다 작을 수 있으나, 상기 환경 변화에 의해 상기 전자 소자의 내부 구조가 변화함으로써 상기 전자 소자에서 잘못된 신호가 발생할 수 있다. 본원은 이러한 문제를 방지하기 위해 2 차원 필름형 전자 소자와 피검물 사이의 각도를 조절하는 것이다.In this regard, the signal may be generated not only by the object that the electronic device is intended to measure, but also by changes that occur in the surrounding environment of the electronic device. In general, the signal generated by a change in the surrounding environment may be smaller than the signal generated by the object that the electronic device is intended to measure, but the internal structure of the electronic device changes due to the environmental change, resulting in an incorrect signal from the electronic device. It can happen. In order to prevent this problem, the present invention adjusts the angle between the two-dimensional film-type electronic device and the object to be inspected.

상기 2 차원 필름형 전자 소자는 측정 대상(예를 들어 인장, 압축, 굽힘, 온도, 속도, 유속 등)에 의해 저항이 변화되고, 상기 저항이 변화됨으로써 상기 2 차원 필름형 전자 소자에 흐르는 전류가 변화하여 신호의 세기가 약해지거나 강해지기 때문에, 상기 2 차원 필름형 전자 소자에서 발생하는 신호의 세기는 상기 2 차원 필름형 전자 소자 또는 상기 신호 측정부의 저항 또는 상기 신호 측정부에서 흐르는 전류의 세기로 표현될 수 있다.The resistance of the two-dimensional film-type electronic device changes depending on the measurement object (e.g., tension, compression, bending, temperature, speed, flow rate, etc.), and as the resistance changes, the current flowing in the two-dimensional film-type electronic device changes. Since the intensity of the signal becomes weaker or stronger as it changes, the intensity of the signal generated from the two-dimensional film-type electronic device is determined by the resistance of the two-dimensional film-type electronic device or the signal measurement unit or the intensity of the current flowing in the signal measurement unit. can be expressed.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 2 차원 필름형 전자 소자는 트랜지스터 또는 2 차원 박막일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the two-dimensional film-type electronic device may be a transistor or a two-dimensional thin film, but is not limited thereto.

상기 2 차원 필름형 전자 소자가 트랜지스터와 같이 전극을 포함할 경우, 이차원 필름을 포함하는 신호 측정부에 흐르는 전류의 변화를 측정할 수 있다. 반면, 상기 2 차원 필름형 전자 소자가 단순한 2 차원 박막일 경우. 상기 2 차원 박막은 외부의 전원과 연결되어 저항 또는 전류의 세기가 측정될 수 있다.When the two-dimensional film-type electronic device includes an electrode, such as a transistor, a change in current flowing through a signal measuring unit including the two-dimensional film can be measured. On the other hand, when the two-dimensional film-type electronic device is a simple two-dimensional thin film. The two-dimensional thin film can be connected to an external power source to measure resistance or current strength.

또한, 본원의 제 2 측면은, 피검물과 소정의 각도를 이루도록 2 차원 필름형 전자 소자를 포함하고, 상기 2 차원 필름형 전자 소자는 상기 피검물에 가해지는 동적 잡음에 의한 신호의 세기 변화를 최소화하기 위해 피검물과 소정의 각도를 이루도록 배치된 것이고, 상기 2차원 필름형 전자 소자로부터 발생하는 전자 신호를 분석하는 것인, 동적 잡음 최소화 시스템을 제공한다.In addition, the second aspect of the present application includes a two-dimensional film-type electronic device so as to form a predetermined angle with the object to be inspected, and the two-dimensional film-type electronic device is configured to detect a change in signal intensity due to dynamic noise applied to the object to be inspected. A dynamic noise minimization system is provided, which is arranged to form a predetermined angle with the object to be measured and analyzes electronic signals generated from the two-dimensional film-type electronic device.

본원의 제 2 측면에 따른 동적 잡음 최소화 시스템에 대하여, 본원의 제 1 측면과 중복되는 부분들에 대해서는 상세한 설명을 생략하였으나, 그 설명이 생략되었더라도 본원의 제 1 측면에 기재된 내용은 본원의 제 2 측면에 동일하게 적용될 수 있다.Regarding the dynamic noise minimization system according to the second aspect of the present application, detailed description of parts overlapping with the first aspect of the present application has been omitted. However, even if the description is omitted, the content described in the first aspect of the present application is the same as the second aspect of the present application. The same can be applied to the side.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 동적 잡음 최소화 시스템은 압력 센서, 속도 센서, 가속도 센서, 진동 센서, 열 센서, 유속 센서, 저항, 커패시터, 트랜지스터, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것에 적용될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the dynamic noise minimization system may be applied to a device selected from the group consisting of a pressure sensor, a speed sensor, an acceleration sensor, a vibration sensor, a heat sensor, a flow rate sensor, a resistor, a capacitor, a transistor, and combinations thereof. However, it is not limited to this.

또한, 상기 동적 잡음 최소화 시스템은 뇌파, 심전도, 맥박, 호흡 등의 생체 신호를 모니터링할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.Additionally, the dynamic noise minimization system can monitor biological signals such as brain waves, electrocardiogram, pulse, and respiration, but is not limited thereto.

상술하였듯, 상기 동적 잡음은 전자 소자의 형상을 변화시키는 힘, 온도, 속도, 유속 등을 포함할 수 있는 것으로서, 상기 2 차원 필름형 전자 소자는 상기 동적 잡음의 영향을 최소화하기 위해 피검물과 소정의 각도를 이루도록 배치된 것이다.As described above, the dynamic noise may include force, temperature, speed, flow rate, etc. that change the shape of the electronic device, and the two-dimensional film-type electronic device is connected to the object to be measured to minimize the influence of the dynamic noise. It is arranged to form a predetermined angle.

이하 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명하고자 하나, 하기의 실시예는 단지 설명의 목적을 위한 것이며 본원의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다.The present invention will be described in more detail through the following examples. However, the following examples are for illustrative purposes only and are not intended to limit the scope of the present application.

[실시예 1][Example 1]

[실시예 1-1] : 2차원 필름형 전자 소자의 제조[Example 1-1]: Manufacturing of two-dimensional film-type electronic device

6 μm 두께의 PET 상에 PUA 를 도포하고, 상기 PUA 를 경화하였다. 이어서, 섀도우 마스크를 사용하여 상기 PUA 상에 20 nm 두께의 Pt 를 증착하고, 밴딩을 통해 상기 Pt 상에 크랙을 형성한 후, 섀도우 마스크를 사용해 얼라이닝하고 Cr-Au 전극을 증착하였다.PUA was applied on PET with a thickness of 6 μm, and the PUA was cured. Next, Pt with a thickness of 20 nm was deposited on the PUA using a shadow mask, a crack was formed on the Pt through banding, alignment was performed using a shadow mask, and a Cr-Au electrode was deposited.

[실시예 1-2] : 2 차원 필름형 전자 소자를 배치[Example 1-2]: Arrangement of two-dimensional film-type electronic device

상기 실시예1-1 의 2 차원 필름형 전자 소자를 피검물에 배치하였다. 이어서, 피검물과 2 차원 필름형 전자 소자 사이의 각도를 조절하면서, 동시에 상기 피검물 또는 2 차원 필름형 전자 소자를 압축, 인장, 또는 굽힘시키며 상기 2 차원 필름형 전자 소자에서 발생하는 신호의 세기 등을 분석하였다.The two-dimensional film-type electronic device of Example 1-1 was placed on the object to be tested. Then, while adjusting the angle between the test object and the two-dimensional film-type electronic device, the test object or the two-dimensional film-type electronic device is simultaneously compressed, stretched, or bent, and the intensity of the signal generated from the two-dimensional film-type electronic device is adjusted. etc. were analyzed.

[실험예 1][Experimental Example 1]

상기 실시예 1 에 따른 2 차원 필름형 전자 소자에 압축 또는 인장을 가하며, 발생하는 신호의 세기를 분석하였다.Compression or tension was applied to the two-dimensional film-type electronic device according to Example 1, and the intensity of the generated signal was analyzed.

도 6 은 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 배치 각도와 인장에 의해 발생하는 노이즈 사이의 관계를 나타낸 그래프이고, 도 7 은 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 배치 각도와 압축에 의해 발생하는 노이즈 사이의 관계를 나타낸 그래프이며, 도 8 은 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 각도와 구조 변화 정도 사이의 관계를 나타낸 그래프이다. 구체적으로, 도 8 은 상기 2 차원 필름형 전자 소자에 압축 및 인장을 동시에 가할 때의 그래프이다.FIG. 6 is a graph showing the relationship between the arrangement angle of a two-dimensional film-type electronic device and noise generated by tension according to an embodiment of the present application, and FIG. 7 is a graph showing a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application. It is a graph showing the relationship between the arrangement angle of and noise generated by compression, and FIG. 8 is a graph showing the relationship between the angle and the degree of structural change of a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application. Specifically, FIG. 8 is a graph when compression and tension are simultaneously applied to the two-dimensional film-type electronic device.

도 6 을 참조하면, 상기 2 차원 필름형 전자 소자와 상기 피검물 사이의 각도가 0° 에 가까울수록 저항이 커지고, 70° 에 가까울수록 저항이 작아지고 있다. 이는 상기 2차원 필름형 전자 소자가 인장에 의해 모양이 변형되기 때문에 저항이 변화되는 것으로서, 상기 2 차원 필름형 전자 소자와 상기 피검물 사이의 각도가 0° 인 경우 상기 2 차원 필름형 전자 소자를 통해 인장을 측정하기 어려울 수 있다.Referring to FIG. 6, the closer the angle between the two-dimensional film-type electronic device and the object to be inspected, the greater the resistance, and the closer the angle is to 70°, the smaller the resistance. This is because the two-dimensional film-type electronic device is deformed in shape by tension, so the resistance changes. When the angle between the two-dimensional film-type electronic device and the object is 0°, the two-dimensional film-type electronic device It can be difficult to measure tension through

또한 도 7 을 참조하면, 상기 2 차원 필름형 전자 소자와 상기 피검물 사이의 각도가 90° 에 가까울수록 저항이 커지고, 30° 에 가까울수록 저항이 작아지고 있다. 이는 상기 2차원 필름형 전자 소자가 압축에 의해 모양이 변형되기 때문에 저항이 변화되는 것으로서, 상기 2 차원 필름형 전자 소자와 상기 피검물 사이의 각도가 90° 인 경우 상기 2 차원 필름형 전자 소자를 통해 압축을 측정하기 어려울 수 있다.Also, referring to FIG. 7, the closer the angle between the two-dimensional film-type electronic device and the object to be tested is to 90°, the greater the resistance is, and the closer it is to 30°, the smaller the resistance is. This is because the two-dimensional film-type electronic device is deformed in shape by compression, so the resistance changes. When the angle between the two-dimensional film-type electronic device and the object is 90°, the two-dimensional film-type electronic device Compression can be difficult to measure through

상기 2 차원 필름형 전자 소자와 상기 피검물 사이의 각도가 80° 이상일 때 인장을 가하거나, 상기 2 차원 필름형 전자 소자와 상기 피검물 사이의 각도가 20° 이하일 때 압축을 가할 경우 버클링 현상이 발생하여 상기 2 차원 전자 소자가 파손되어 변형(strain)이 일어나지 않을 수 있다Buckling phenomenon when tension is applied when the angle between the two-dimensional film-type electronic device and the object to be inspected is 80° or more, or compression is applied when the angle between the two-dimensional film-type electronic device and the object to be inspected is 20° or less. This may cause the two-dimensional electronic device to be damaged and no strain to occur.

도 8 을 참조하면, 상기 2 차원 필름형 전자 소자와 피검물 사이의 각도가 작은 경우, 상기 2 차원 필름형 전자 소자에 가해지는 응력(Crack stress)는 작으나 상기 2 차원 필름형 전자 소자의 변형(Crack Gap)이 클 수 있다. 상기 각도가 커질수록 응력이 증가하고 변형이 작아질 수 있으며, 이론적으로는 변형과 응력 양측의 영향이 최소가 되는 약 55° 이다. 그러나, 실제로는 상기 압축 및 인장에 의해 상기 2 차원 필름형 전자 소자가 굽힘되는 등의 문제가 발생할 수 있기 때문에 약 70° 에서 변형과 응력 양측의 영향이 최소가 될 수 있다.Referring to FIG. 8, when the angle between the two-dimensional film-type electronic device and the object to be tested is small, the stress (crack stress) applied to the two-dimensional film-type electronic device is small, but the deformation of the two-dimensional film-type electronic device ( Crack Gap) can be large. As the angle increases, stress increases and deformation decreases. In theory, it is about 55°, where the influence of both deformation and stress is minimal. However, in reality, problems such as bending of the two-dimensional film-type electronic device may occur due to the compression and tension, so the effects of both strain and stress can be minimized at about 70°.

[실험예 2][Experimental Example 2]

상기 실시예 1 에 따른 2 차원 필름형 전자 소자에 굽힘을 가하며, 발생하는 신호의 세기를 분석하였다.The two-dimensional film-type electronic device according to Example 1 was bent, and the intensity of the generated signal was analyzed.

도 9 는 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 배치 각도와 굽힘에 의해 발생하는 노이즈 사이의 관계를 나타낸 그래프이다. 구체적으로, 도 9 의 좌측은 인장 및 압축에 대한 민감도이고, 우측은 굽힘에 대한 민감도이다.FIG. 9 is a graph showing the relationship between noise generated by bending and an arrangement angle of a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application. Specifically, the left side of Figure 9 represents sensitivity to tension and compression, and the right side represents sensitivity to bending.

도 9 를 참조하면, 상기 2 차원 필름형 전자 소자의 배치 각도가 90° 에 가까울수록 굽힘에 의한 영향이 감소하는 것을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 9, it can be seen that as the arrangement angle of the two-dimensional film-type electronic device approaches 90°, the influence of bending decreases.

[실험예 3][Experimental Example 3]

도 10 은 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자의 각도별 노이즈에 대한 민감도를 표현한 그래프이다.Figure 10 is a graph expressing the sensitivity to noise by angle of a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application.

도 10 을 참조하면, 상기 2 차원 필름형 전자 소자의 배치 각도가 커질수록 인장 및 굽힘에 의한 민감도가 감소하나 압축에 의한 민감도가 커짐을 확인할 수 있다. 따라서, 상기 2 차원 필름형 전자 소자와 피검물 사이의 각도는, 압축 및 인장의 영향이 유사한 50° 내지 60° 일 수 있다.Referring to FIG. 10, it can be seen that as the arrangement angle of the two-dimensional film-type electronic device increases, sensitivity due to tension and bending decreases, but sensitivity due to compression increases. Accordingly, the angle between the two-dimensional film-type electronic device and the object to be tested may be 50° to 60°, where the effects of compression and tension are similar.

[실험예 4][Experimental Example 4]

도 11 및 12 의 (a) 는 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자에 노이즈를 가하는 그림이고, (b) 는 본원의 일 실시예에 따른 2 차원 필름형 전자 소자에 가해진 노이즈와 발생하는 신호 사이의 관계를 나타낸 그래프이다. 구체적으로, 도 11 의 (a) 의 좌측은 피검물과 2 차원 필름형 전자 소자 사이의 각도가 0° 일 때 피검물을 인장시킨 것이고 (도 11 의 (b) 의 0° 에 대응), 우측은 피검물과 2 차원 필름형 전자 소자 사이의 각도가 57° 일 때 피검물을 인장시킨 것이고 (도 11 의 (b) 의 57° 에 대응), 도 12 의 (a) 의 좌측은 피검물과 2 차원 필름형 전자 소자 사이의 각도가 0° 일 때 피검물을 굽힘한 것이고 (도 12 의 (b) 의 0° 에 대응), 우측은 피검물과 2 차원 필름형 전자 소자 사이의 각도가 57° 일 때 피검물을 굽힘한 것이다 (도 12 의 (b) 의 57° 에 대응).11 and 12 (a) is a diagram showing noise applied to a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application, and (b) is a diagram showing noise applied to a two-dimensional film-type electronic device according to an embodiment of the present application This is a graph showing the relationship between generated signals. Specifically, the left side of FIG. 11 (a) shows the object being stretched when the angle between the object and the two-dimensional film-type electronic device is 0° (corresponding to 0° in FIG. 11 (b)), and the right side of FIG. The object is stretched when the angle between the object and the two-dimensional film-type electronic device is 57° (corresponding to 57° in (b) of FIG. 11), and the left side of (a) of FIG. 12 is between the object and the test object. The object to be tested is bent when the angle between the two-dimensional film-type electronic device is 0° (corresponding to 0° in (b) of FIG. 12), and on the right, the angle between the test object and the two-dimensional film-type electronic device is 57 degrees. When °, the object is bent (corresponding to 57° in (b) of Figure 12).

도 11 및 도 12 를 참조하면, 피검물과 2 차원 필름형 전자 소자 사이의 각도가 0° 인 경우 이론값(expectation, 점선)과 측정값(measured, 실선) 사이의 오차가 매우 큼을 확인할 수 있다. 그러나, 피검물과 2 차원 필름형 전자 소자 사이의 각도가 57° 인 경우, 이론값과 측정값 사이의 오차가 작아졌음을 확인할 수 있다.Referring to Figures 11 and 12, it can be seen that when the angle between the test object and the two-dimensional film-type electronic device is 0°, the error between the theoretical value (expectation, dotted line) and the measured value (solid line) is very large. . However, it can be seen that when the angle between the test object and the two-dimensional film-type electronic device is 57°, the error between the theoretical value and the measured value is reduced.

전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The description of the present application described above is for illustrative purposes, and those skilled in the art will understand that the present application can be easily modified into other specific forms without changing its technical idea or essential features. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive. For example, each component described as unitary may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may also be implemented in a combined form.

본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present application is indicated by the claims described below rather than the detailed description above, and all changes or modified forms derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present application.

Claims (11)

피검물 상에 2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법에 있어서,
상기 전자 소자는 기재 및 상기 기재 상에 형성된 신호 측정부를 포함하고,
상기 전자 소자는 상기 피검물의 일 면 상에 배치되되, 상기 피검물의 일 면과 상기 전자 소자의 일 면은 소정의 각도를 이루고,
상기 소정의 각도는 상기 전자 소자에 수평 방향으로 작용하는 응력이 0 이 되는 각도인 것인,
2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법.
In a method of placing a two-dimensional film-type electronic device on an object to be inspected,
The electronic device includes a substrate and a signal measurement unit formed on the substrate,
The electronic device is disposed on one side of the test object, and one side of the test object and one side of the electronic device form a predetermined angle,
The predetermined angle is an angle at which the stress acting on the electronic device in the horizontal direction is 0,
Method for placing two-dimensional film-type electronic devices.
제 1 항에 있어서,
상기 소정의 각도는 하기 수학식 1 에 따라 산출된 각도 θ 에 따라 결정되는 것인,
2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법:
[수학식 1]

(수학식 1 에서, ν 는 기재의 푸아송비(Poisson's ratio)를 의미함).
According to claim 1,
The predetermined angle is determined according to the angle θ calculated according to Equation 1 below,
How to place two-dimensional film-type electronic devices:
[Equation 1]

(In Equation 1, ν means Poisson's ratio of the substrate).
제 2 항에 있어서,
상기 소정의 각도는 상기 각도 θ 의 80% 내지 120% 인 것인, 2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법.
According to claim 2,
A method of arranging a two-dimensional film-type electronic device, wherein the predetermined angle is 80% to 120% of the angle θ.
제 2 항에 있어서,
상기 기재의 푸아송비는 0 초과 0.5 이하인, 2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법.
According to claim 2,
A method of arranging a two-dimensional film-type electronic device, wherein the Poisson's ratio of the substrate is greater than 0 and less than or equal to 0.5.
제 1 항에 있어서,
상기 2 차원 필름형 전자 소자는 상기 피검물에 가해지는 동적 잡음에 의한 신호의 세기 변화를 최소화하기 위해 상기 피검물과 소정의 각도를 이루도록 상기 피검물 상에 배치된 것인, 2 차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법.
According to claim 1,
The two-dimensional film-type electronic device is disposed on the object to be measured at a predetermined angle to minimize the change in signal intensity due to dynamic noise applied to the object. How to place elements.
제 1 항에 있어서,
상기 전자 소자에 가해지는 응력은, 인장 응력, 압축 응력, 굽힘 응력(bending stress), 전단 응력, 비틀림 응력, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 응력을 포함하는 것인, 2 차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법.
According to claim 1,
The stress applied to the electronic device includes a stress selected from the group consisting of tensile stress, compressive stress, bending stress, shear stress, torsional stress, and combinations thereof. How to place elements.
제 1 항에 있어서,
상기 신호 측정부는 그래핀, 전이금속 칼코게나이드, 흑린, h-BN, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 이차원 필름을 포함하는 것인, 2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법.
According to claim 1,
Wherein the signal measuring unit includes a two-dimensional film selected from the group consisting of graphene, transition metal chalcogenide, black phosphorus, h-BN, and combinations thereof.
제 1 항에 있어서,
상기 기재는 PET (Polyethylene terephthalate), PE (Polyethylene), PUA (polyurethaneacrylate), PA (Polyamide), PP (Polypropylene), PBT (Polybutylene terephthalate), PTT (polytrimethylene terephthalate), PI (Polyimide), PU (poly urethane), PVDF (Polyvinylidene fluoride), PDMS (Polydimethylsiloxane), PB (Polybutadiene), PUA (polyurethane-acrylate), SBR (Styrene Butadiene Rubber), PVDF-TrFE (Polyvinylidene fluoride-trifluoroethylene) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 것인, 2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법.
According to claim 1,
The substrate includes PET (Polyethylene terephthalate), PE (Polyethylene), PUA (polyurethaneacrylate), PA (Polyamide), PP (Polypropylene), PBT (Polybutylene terephthalate), PTT (polytrimethylene terephthalate), PI (Polyimide), PU (poly urethane) ), PVDF (Polyvinylidene fluoride), PDMS (Polydimethylsiloxane), PB (Polybutadiene), PUA (polyurethane-acrylate), SBR (Styrene Butadiene Rubber), PVDF-TrFE (Polyvinylidene fluoride-trifluoroethylene), and combinations thereof. A method of placing a two-dimensional film-type electronic device, comprising the selected:
제 1 항에 있어서,
상기 피검물은 피부, 인공 피부, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 것인, 2차원 필름형 전자 소자를 배치하는 방법.
According to claim 1,
A method of placing a two-dimensional film-type electronic device, wherein the object includes one selected from the group consisting of skin, artificial skin, and combinations thereof.
피검물과 소정의 각도를 이루도록 2 차원 필름형 전자 소자를 포함하고,
상기 2 차원 필름형 전자 소자는 상기 피검물에 가해지는 동적 잡음에 의한 신호의 세기 변화를 최소화하기 위해 상기 피검물의 일 면 상에 배치되되, 상기 피검물의 일 면과 상기 2차원 필름형 전자 소자의 일 면은 소정의 각도를 이루고,
상기 2차원 필름형 전자 소자로부터 발생하는 전자 신호를 분석하는 것인,
동적 잡음 최소화 시스템.
It includes a two-dimensional film-type electronic element so as to form a predetermined angle with the object to be inspected,
The two-dimensional film-type electronic device is disposed on one side of the test object to minimize changes in signal intensity due to dynamic noise applied to the test object, and one side of the test object and the two-dimensional film-type electronic device are One side forms a predetermined angle,
Analyzing the electronic signal generated from the two-dimensional film-type electronic device,
Dynamic noise minimization system.
제 10 항에 있어서,
상기 동적 잡음 최소화 시스템은 압력 센서, 속도 센서, 가속도 센서, 유속 센서, 열 센서, 진동 센서, 저항, 커패시터, 트랜지스터, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것에 적용되는 것인, 동적 잡음 최소화 시스템.

According to claim 10,
The dynamic noise minimization system is applied to a device selected from the group consisting of a pressure sensor, a speed sensor, an acceleration sensor, a flow sensor, a heat sensor, a vibration sensor, a resistor, a capacitor, a transistor, and combinations thereof. .

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