KR102577174B1 - response time measuring device for high-speed machine - Google Patents

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KR102577174B1
KR102577174B1 KR1020230021908A KR20230021908A KR102577174B1 KR 102577174 B1 KR102577174 B1 KR 102577174B1 KR 1020230021908 A KR1020230021908 A KR 1020230021908A KR 20230021908 A KR20230021908 A KR 20230021908A KR 102577174 B1 KR102577174 B1 KR 102577174B1
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response time
control
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KR1020230021908A
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윤석현
정남석
강재혁
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Abstract

The present invention generally relates to technology for accurately measuring the response time of high-speed equipment. In particular, the present invention includes a control panel in semiconductor equipment, and a communication device configured to sense command signals and sensor signals transmitted and received between high-speed equipment. By configuring the timer to start by a command signal and stop the timer by a sensor signal, the response time is calculated. The response time of high-speed equipment is accurately measured without being disturbed by the scan time of the entire control program on the control panel.

Description

고속 설비의 응답시간 측정 장치 {response time measuring device for high-speed machine}Response time measuring device for high-speed equipment {response time measuring device for high-speed machine}

본 발명은 일반적으로 고속 설비의 응답시간을 정확하게 측정하는 기술에 관한 것이다. The present invention generally relates to technology for accurately measuring the response time of high-speed equipment.

특히, 본 발명은 반도체 장비 등에서 제어반 및 고속 설비로부터 구분되고 이들 간에 송수신되는 명령 시그널과 센서 시그널을 센싱하도록 형성한 통신 장치가 명령 시그널에 의해 타이머를 스타트하고 센서 시그널에 의해 타이머를 스톱하여 응답시간을 연산하도록 구성함으로써 제어반의 제어 프로그램 전체의 스캔타임에 의해 방해받지 않고 고속 설비의 응답시간을 정확하게 측정하는 기술에 관한 것이다. In particular, the present invention is a communication device formed to sense command signals and sensor signals transmitted and received between the control panel and high-speed equipment in semiconductor equipment, etc., and starts the timer by the command signal and stops the timer by the sensor signal to determine the response time. It is about a technology that accurately measures the response time of high-speed equipment without being disturbed by the scan time of the entire control program of the control panel by configuring to calculate .

일반적으로 장비에 사용되는 각종 설비의 응답시간을 측정할 필요가 있다. In general, it is necessary to measure the response time of various equipment used in equipment.

[도 1]은 일반적인 응답시간 측정 구성의 블록도이고, [도 2]는 일반적인 응답시간 측정 방식의 개념도이다. [Figure 1] is a block diagram of a general response time measurement configuration, and [Figure 2] is a conceptual diagram of a general response time measurement method.

본 명세서에서는 반도체 장비를 예로 들어 본 발명을 설명한다. 다만, 본 발명의 적용범위가 반도체 장비에 한정되는 것은 아니다. In this specification, the present invention is explained using semiconductor equipment as an example. However, the scope of application of the present invention is not limited to semiconductor equipment.

[도 1]을 참조하면, 반도체 장비(10)는 제어반(11)과 각종의 설비(12)를 구비한다. 설비(12)는 여러 단위 설비(12a ~ 12d)를 그룹화하여 나타낸 것이다. 제어반(11)은 설비(12)를 제어하기 위한 명령 시그널을 출력하고, 설비(12)는 제어 명령에 따라 동작을 수행한다. Referring to [FIG. 1], the semiconductor equipment 10 includes a control panel 11 and various facilities 12. Equipment 12 represents several unit equipment (12a to 12d) grouped together. The control panel 11 outputs a command signal to control the equipment 12, and the equipment 12 performs operations according to the control command.

센서(12e)(예: 엔코더)는 설비(12)의 동작을 감지하여 센서 시그널을 출력한다. 이때, 센서(12e)는 설비(12)의 내부에 설치되어 있을 수도 있고, 설비(12)의 외부에 부착되어 있을 수도 있다. The sensor 12e (e.g. encoder) detects the operation of the equipment 12 and outputs a sensor signal. At this time, the sensor 12e may be installed inside the facility 12 or may be attached to the outside of the facility 12.

제어반(11)은 센서 시그널을 수신하고, 이 센서 시그널로부터 설비(12)가 제어 명령에 응답하여 동작을 수행하였다는 사실을 인식한다. The control panel 11 receives a sensor signal and recognizes from this sensor signal that the equipment 12 has performed an operation in response to the control command.

반도체 장비(10)에 포함된 설비 중에는 제어 명령에 대한 응답시간이 민감한 것들이 있다. 이 경우에 제어반(11)은 제어 명령을 출력한 후에 해당 설비(12)가 그에 따른 동작을 수행할 때까지 걸린 시간(응답시간)을 타이머로 측정한다. Among the facilities included in the semiconductor equipment 10, there are those that have sensitive response times to control commands. In this case, the control panel 11 measures the time (response time) it takes for the corresponding equipment 12 to perform the corresponding operation after outputting the control command using a timer.

[도 2]를 참조하면, 제어반(11)은 설비(12)에 대한 제어 명령을 출력하면서 타이머를 스타트한다. 이 때의 시각을 T11이라고 표시하였다. Referring to [FIG. 2], the control panel 11 starts a timer while outputting a control command for the equipment 12. The time at this time was indicated as T11.

설비(12)는 제어반(11)의 제어 명령에 따라 동작을 수행하고, 센서(12e)는 그 동작을 감지하여 센서 시그널을 출력한다. 제어반(11)은 센서 시그널을 수신하면 타이머를 스톱한다. 이 때의 시각을 T12라고 표시하였다. 이 경우에 응답시간의 측정치는 T12와 T11 간의 시간 간격이 된다. The equipment 12 performs operations according to control commands from the control panel 11, and the sensor 12e detects the operation and outputs a sensor signal. The control panel 11 stops the timer when it receives the sensor signal. The time at this time was indicated as T12. In this case, the measure of response time is the time interval between T12 and T11.

그런데, 고속으로 동작하는 설비(고속 설비)의 경우에는 이러한 응답시간 측정은 오차의 원인이 된다. However, in the case of equipment that operates at high speeds (high-speed equipment), such response time measurement causes errors.

예를 들어, ALD(원자층 증착, Atomic Layer Deposition) 밸브는 통상적으로 제어 명령에 대한 응답시간이 25 msec이다. 이 응답시간을 지키는지 여부는 반도체 공정에 영향을 주기 때문에 ALD 밸브의 응답시간을 매번 확인해야 한다. For example, ALD (Atomic Layer Deposition) valves typically have a response time to control commands of 25 msec. Whether or not this response time is observed affects the semiconductor process, so the response time of the ALD valve must be checked every time.

종래기술의 응답시간 측정 방식에서는 설비(12)의 실제 응답시간에 제어 프로그램 전체의 스캔타임(scan time)이 합산된 시간이 설비의 응답시간으로 측정된다. 즉, 응답시간 측정치(T12 - T11) 내에는 제어 프로그램 전체의 스캔타임이 포함되어 있다. In the response time measurement method of the prior art, the actual response time of the equipment 12 plus the scan time of the entire control program is measured as the response time of the equipment. In other words, the response time measurements (T12 - T11) include the scan time of the entire control program.

그런데, 제어 프로그램 전체의 스캔타임은 하드웨어 상태나 인터럽트 발행 등에 의해 영향받기 때문에 예측하기 곤란하다. 예를 들어, 인터럽트 발생 상황에 따라서 스캔타임이 수십 msec 증가하는 경우가 간헐적으로 발생할 수 있다. However, the scan time of the entire control program is difficult to predict because it is affected by hardware status or interrupt issuance. For example, depending on the interrupt occurrence situation, the scan time may increase by tens of msec intermittently.

따라서, [도 2]에 의해 얻은 응답시간 측정치를 임계치 25 msec과 대비하는 것은 적절치않다. 이러한 방식으로는 고속 설비가 제대로 응답시간을 나타내고 있는지 여부를 판단할 수 없다. Therefore, it is not appropriate to compare the response time measurement obtained by [Figure 2] with the threshold value of 25 msec. In this way, it is not possible to determine whether high-speed equipment is properly displaying response times.

대한민국 등록특허 10-1473769호 "응답시간 측정 장치, 응답시간 측정 시스템 및 응답시간 측정 방법"Republic of Korea Patent No. 10-1473769 “Response time measurement device, response time measurement system, and response time measurement method” 대한민국 등록실용신안 20-0218316호 "제어 시스템의 응답 시간 측정 장치"Republic of Korea Registered Utility Model No. 20-0218316 “Response time measurement device for control system”

본 발명의 목적은 일반적으로 고속 설비의 응답시간을 정확하게 측정하는 기술을 제공하는 것이다. The purpose of the present invention is to provide a technology for accurately measuring the response time of general high-speed equipment.

특히, 본 발명의 목적은 반도체 장비 등에서 제어반 및 고속 설비로부터 구분되고 이들 간에 송수신되는 명령 시그널과 센서 시그널을 센싱하도록 형성한 통신 장치가 명령 시그널에 의해 타이머를 스타트하고 센서 시그널에 의해 타이머를 스톱하여 응답시간을 연산하도록 구성함으로써 제어반의 제어 프로그램 전체의 스캔타임에 의해 방해받지 않고 고속 설비의 응답시간을 정확하게 측정하는 기술을 제공하는 것이다. In particular, the object of the present invention is to provide a communication device formed to sense command signals and sensor signals transmitted and received between control panels and high-speed equipment in semiconductor equipment, etc., to start a timer by a command signal and stop the timer by a sensor signal. By configuring the response time to be calculated, we provide a technology to accurately measure the response time of high-speed equipment without being disturbed by the scan time of the entire control program of the control panel.

본 발명의 해결 과제는 이 사항에 제한되지 않으며 본 명세서의 기재로부터 다른 해결 과제가 이해될 수 있다. The problem to be solved by the present invention is not limited to this matter, and other problems to be solved can be understood from the description in this specification.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 특정의 장비(예: 반도체 장비) 내에서 제어반(21)의 제어 명령에 대한 고속 설비(22)의 동작 수행의 응답시간을 측정하기 위한 고속 설비의 응답시간 측정용 통신 장치(100)를 제시한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a response time of the high-speed equipment (22) for measuring the response time of the operation of the high-speed equipment (22) to the control command of the control panel (21) within a specific equipment (e.g., semiconductor equipment). A communication device 100 for measurement is presented.

본 발명에 따른 고속 설비의 응답시간 측정용 통신 장치(100)는, 통신 장치(100)의 동작 전원을 공급하는 통신장치 전원부(110); 동작 제어를 위해 제어반(21)이 고속 설비(22)로 출력하는 명령 시그널을 전기적으로 감지하는 명령 시그널 감지부(120); 제어 명령을 반영한 동작에 의해 고속 설비(22)가 출력하는 센서 시그널을 전기적으로 감지하는 센서 시그널 감지부(130); 제어 입력에 의해 스타트 또는 스톱하는 전자타이머를 운영하는 타이머부(140); 명령 시그널의 감지에 대응하여 타이머부(140)를 스타트 제어하고 센서 시그널의 감지에 대응하여 타이머부(140)를 스톱 제어하는 타이머 제어부(150); 스타트 제어할 때의 타이머 값(T21)과 스톱 제어할 때의 타이머 값(T22) 간의 차이로부터 고속 설비(22)의 응답시간을 산출하는 응답시간 연산부(160); 그 산출된 응답시간을 제어반(21)으로 전송하기 위한 디지털 통신부(170);를 포함하여 구성된다. The communication device 100 for measuring the response time of high-speed equipment according to the present invention includes a communication device power supply unit 110 that supplies operating power to the communication device 100; A command signal detection unit 120 that electrically detects a command signal output from the control panel 21 to the high-speed equipment 22 for operation control; A sensor signal detection unit 130 that electrically detects a sensor signal output from the high-speed equipment 22 through an operation that reflects the control command; A timer unit 140 that operates an electronic timer that starts or stops by control input; a timer control unit 150 that starts and controls the timer unit 140 in response to detection of a command signal and stops the timer unit 140 in response to detection of a sensor signal; A response time calculation unit 160 that calculates the response time of the high-speed equipment 22 from the difference between the timer value (T21) during start control and the timer value (T22) during stop control; It is configured to include a digital communication unit 170 for transmitting the calculated response time to the control panel 21.

이때, 고속 설비의 응답시간 측정용 통신 장치(100)는 제어반(21) 및 고속 설비(22)로부터 구분된 하드웨어 장치로 형성되고 제어반(21)의 제어 프로그램과는 독립적으로 동작하도록 구성된다. At this time, the communication device 100 for measuring the response time of the high-speed facility is formed as a hardware device separated from the control panel 21 and the high-speed facility 22 and is configured to operate independently from the control program of the control panel 21.

한편, 본 발명에 따른 고속 설비의 응답시간 측정 장치는, 고속 설비(22)의 동작을 제어하기 위한 명령 시그널을 고속 설비(22)로 출력하는 제어반(21); 통신 장치(100)의 동작 전원을 공급하는 통신장치 전원부(110)와, 제어반(21)으로부터 출력되는 명령 시그널을 전기적으로 감지하는 명령 시그널 감지부(120)와, 제어 명령을 반영한 동작에 의해 고속 설비(22)가 출력하는 센서 시그널을 전기적으로 감지하는 센서 시그널 감지부(130)와, 제어 입력에 의해 스타트 또는 스톱하는 전자타이머를 운영하는 타이머부(140)와, 명령 시그널의 감지에 대응하여 타이머부(140)를 스타트 제어하고 센서 시그널의 감지에 대응하여 타이머부(140)를 스톱 제어하는 타이머 제어부(150)와, 스타트 제어할 때의 타이머 값(T21)과 스톱 제어할 때의 타이머 값(T22) 간의 차이로부터 고속 설비(22)의 응답시간을 산출하는 응답시간 연산부(160)와, 그 산출된 응답시간을 제어반(21)으로 전송하기 위한 디지털 통신부(170)를 구비하고 제어반(21) 및 고속 설비(22)로부터 구분된 하드웨어 장치로 형성되고 제어반(21)의 제어 프로그램과는 독립적으로 동작하도록 구성된 통신 장치(100);를 포함하여 구성된다. Meanwhile, the device for measuring the response time of high-speed equipment according to the present invention includes a control panel 21 that outputs a command signal for controlling the operation of the high-speed equipment 22 to the high-speed equipment 22; A communication device power supply unit 110 that supplies operating power to the communication device 100, a command signal detection unit 120 that electrically detects a command signal output from the control panel 21, and a high-speed operation that reflects the control command. A sensor signal detection unit 130 that electrically detects the sensor signal output by the equipment 22, a timer unit 140 that operates an electronic timer that starts or stops according to a control input, and a A timer control unit 150 that controls the start of the timer 140 and stops the timer 140 in response to detection of a sensor signal, and a timer value (T21) during start control and a timer value during stop control. (T22), a response time calculation unit 160 for calculating the response time of the high-speed equipment 22 from the difference between the two, and a digital communication unit 170 for transmitting the calculated response time to the control panel 21. ) and a communication device 100 formed as a hardware device separate from the high-speed facility 22 and configured to operate independently of the control program of the control panel 21.

본 발명에 따르면 반도체 장비 등에서 고속으로 동작하는 설비에 대해 스캔타임(scan time)에 의해 방해받지 않고 응답시간을 정확하게 측정할 수 있는 장점이 있다. According to the present invention, there is an advantage of being able to accurately measure the response time of equipment that operates at high speed, such as semiconductor equipment, without being disturbed by the scan time.

[도 1]은 일반적인 응답시간 측정 구성의 블록도.
[도 2]는 일반적인 응답시간 측정 방식의 개념도.
[도 3]은 본 발명에 따른 응답시간 측정 구성의 블록도.
[도 4]는 본 발명에 따른 응답시간 측정 방식의 개념도.
[도 5]는 본 발명에 따른 응답시간 측정용 통신 장치의 블록도. [Figure 1] is a block diagram of a typical response time measurement configuration.
[Figure 2] is a conceptual diagram of a general response time measurement method.
[Figure 3] is a block diagram of the response time measurement configuration according to the present invention.
[Figure 4] is a conceptual diagram of the response time measurement method according to the present invention.
[Figure 5] is a block diagram of a communication device for measuring response time according to the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 발명을 설명함에 있어서 종래기술과 중복되는 부분에 대해서는 자세한 설명을 생략할 수 있다. In describing the present invention, detailed descriptions of parts that overlap with the prior art may be omitted.

[도 3]은 본 발명에 따른 응답시간 측정 구성의 블록도이고, [도 4]는 본 발명에 따른 응답시간 측정 방식의 개념도이다. [Figure 3] is a block diagram of the response time measurement configuration according to the present invention, and [Figure 4] is a conceptual diagram of the response time measurement method according to the present invention.

[도 3]을 참조하면, 반도체 장비(20)는 제어반(21)과 각종의 고속 설비(22), 그리고 본 발명에 따른 통신 장치(100)를 구비한다. 제어반(21)은 고속 설비(22)를 제어하기 위한 명령 시그널을 출력하고, 고속 설비(22)는 제어 명령에 따라 동작을 수행한다. 센서(22e)(예: 엔코더)는 고속 설비(22)의 동작을 감지하여 센서 시그널을 출력한다. 제어반(21)은 센서 시그널을 수신하고, 이 센서 시그널로부터 고속 설비(22)가 제어 명령에 응답하여 동작을 수행하였다는 사실을 인식한다. Referring to [FIG. 3], the semiconductor equipment 20 includes a control panel 21, various high-speed facilities 22, and a communication device 100 according to the present invention. The control panel 21 outputs a command signal to control the high-speed equipment 22, and the high-speed equipment 22 performs operations according to the control command. The sensor 22e (e.g. encoder) detects the operation of the high-speed equipment 22 and outputs a sensor signal. The control panel 21 receives a sensor signal and recognizes from this sensor signal that the high-speed equipment 22 has performed an operation in response to the control command.

본 발명은 반도체 장비(20) 등에서 고속 설비(22)(예: ALD 밸브)의 응답시간(response time)을 정확하게 측정하기 위한 통신 장치(100)이다. 통신 장치(100)는 제어반(21) 및 고속 설비(22)로부터 구분된 장치로 이루어지며, 제어반(21)의 제어 프로그램 동작에 의해 영향받지 않는다. 이때, 완전히 분리된 하드웨어의 형태로 통신 장치(100)가 형성된 것에 한정되는 것은 아니며, 제어반(21)의 마이크로프로세서 내부에 통신 장치(100)가 일체로 형성되지 않은 정도로도 충분하다. The present invention is a communication device 100 for accurately measuring the response time of high-speed equipment 22 (eg, ALD valve) in semiconductor equipment 20, etc. The communication device 100 is composed of a separate device from the control panel 21 and the high-speed equipment 22, and is not affected by the control program operation of the control panel 21. At this time, the communication device 100 is not limited to being formed in the form of completely separate hardware, and it is sufficient that the communication device 100 is not formed integrally within the microprocessor of the control panel 21.

[도 4]를 참조하면, 통신 장치(100)는 제어반(21)과 고속 설비(22) 간에 송수신되는 시그널을 전기적으로 센싱한다. 응답시간 측정을 위해 통신 장치(100)는 제어반(21)으로부터 고속 설비(22)로 전송되는 명령 시그널을 감지하면 타이머를 스타트한다. 이 때의 시각을 T21이라고 표시하였다. Referring to [FIG. 4], the communication device 100 electrically senses signals transmitted and received between the control panel 21 and the high-speed equipment 22. To measure the response time, the communication device 100 starts a timer when it detects a command signal transmitted from the control panel 21 to the high-speed facility 22. The time at this time was indicated as T21.

고속 설비(22)는 제어반(21)의 제어 명령에 따라 동작을 수행하고, 센서(22e)는 그 동작을 감지하여 센서 시그널을 출력한다. 이때, 센서(22e)는 고속 설비(22)의 내부에 설치되어 있을 수도 있고, 고속 설비(22)의 외부에 부착되어 있을 수도 있다. The high-speed equipment 22 performs operations according to control commands from the control panel 21, and the sensor 22e detects the operation and outputs a sensor signal. At this time, the sensor 22e may be installed inside the high-speed facility 22 or may be attached to the outside of the high-speed facility 22.

통신 장치(100)는 고속 설비(22)로부터 제어반(21)으로 전송되는 센서 시그널을 감지하면 타이머를 스톱한다. 이 때의 시각을 T22라고 표시하였다. 이 경우에 통신 장치(100)에서 얻어진 응답시간의 측정치는 T22와 T21 간의 시간 간격이 된다. The communication device 100 stops the timer when it detects a sensor signal transmitted from the high-speed facility 22 to the control panel 21. The time at this time was indicated as T22. In this case, the measurement of response time obtained from the communication device 100 is the time interval between T22 and T21.

통신 장치(100)는 응답시간 측정치를 제어반(21)으로 전달한다. 제어반(21)은 응답시간 측정치를 제어 동작에 반영할 수도 있고 사용자 모니터링에 디스플레이 제공할 수도 있다. The communication device 100 transmits the response time measurement to the control panel 21. The control panel 21 may reflect the response time measurement in control operations or provide a display for user monitoring.

본 발명에서는 통신 장치(100)가 제어반(21)과 고속 설비(22)와는 구분된 장치로 구성되었다. 바람직하게는 통신 장치(100)가 별도의 하드웨어 장치로 이루어지고, 디지털 통신(예: UART)에 의해 응답시간 측정치를 제어반(21)으로 전송하는 구조로 구성된다. 이를 통해, 통신 장치(100)는 제어반(21)의 제어 프로그램과는 독립적으로 동작한다. 즉, 통신 장치(100)는 제어반(21)의 제어 프로그램 동작에 의해 영향받지 않게 되고, 그에 따라 통신 장치(100)가 산출하는 응답시간 측정치(T22 - T21) 내에 제어반(21)에서 수행되는 제어 프로그램 전체의 스캔타임이 포함되지 않게 된다. In the present invention, the communication device 100 is configured as a separate device from the control panel 21 and the high-speed facility 22. Preferably, the communication device 100 is comprised of a separate hardware device and is configured to transmit response time measurements to the control panel 21 through digital communication (eg, UART). Through this, the communication device 100 operates independently from the control program of the control panel 21. That is, the communication device 100 is not affected by the control program operation of the control panel 21, and accordingly, the control performed by the control panel 21 within the response time measurements (T22 - T21) calculated by the communication device 100 The scan time of the entire program is not included.

일 실시예로, 통신 장치(100)는 제어반(21)과는 구분된 별도의 마이크로콘트롤러에 의해 구성될 수 있다. 이 마이크로콜트롤러는 통신 장치(100)만을 위한 소규모 제어 프로그램을 구동한다. In one embodiment, the communication device 100 may be configured by a separate microcontroller from the control panel 21. This microcontroller runs a small control program just for the communication device 100.

다른 실시예로, 통신 장치(100)는 소프트웨어 동작을 수행하지 않는 로직 소자에 의해 응답시간 측정치(T22 - T21)를 산출하도록 구성될 수 있다. 소프트웨어 동작이 개입하면 예측 곤란한 시간 지연이 간헐적으로 개입할 수 있기 때문이다. 이에, 소프트웨어 동작 없이 디지털 전기 신호(제어 시그널, 센서 시그널)에 의해 로직 소자가 하드웨어적으로 타이머를 스타트 및 스톱하고 T22과 T21 간의 차이를 연산하도록 구성할 수 있다. 이때, 소프트웨어 동작을 완전히 배제하는 것은 아니다. 제어반(21)이나 고속 설비(22)와의 데이터 송수신 또는 사용자 인터페이스를 위하여 소프트웨어 동작을 수행할 수 있다. In another embodiment, the communication device 100 may be configured to calculate response time measurements (T22 - T21) by logic elements that do not perform software operations. This is because when software operations intervene, unpredictable time delays may occur intermittently. Accordingly, the logic element can be configured to start and stop the timer in hardware and calculate the difference between T22 and T21 by digital electrical signals (control signals, sensor signals) without software operation. At this time, software operation is not completely excluded. Software operations can be performed for data transmission and reception with the control panel 21 or high-speed equipment 22 or user interface.

[도 5]는 본 발명에 따른 고속 설비의 응답시간 측정용 통신 장치(100)의 블록도이다.[Figure 5] is a block diagram of a communication device 100 for measuring response time of high-speed equipment according to the present invention.

[도 5]를 참조하면, 본 발명에 따른 고속 설비의 응답시간 측정용 통신 장치(100)는 통신장치 전원부(110), 명령 시그널 감지부(120), 센서 시그널 감지부(130), 타이머부(140), 타이머 제어부(150), 응답시간 연산부(160), 디지털 통신부(170)를 포함하여 구성된다. Referring to [Figure 5], the communication device 100 for measuring the response time of high-speed equipment according to the present invention includes a communication device power supply unit 110, a command signal detection unit 120, a sensor signal detection unit 130, and a timer unit. (140), a timer control unit 150, a response time calculation unit 160, and a digital communication unit 170.

본 발명에 따른 응답시간 측정용 통신 장치(100)는 제어반(21) 및 고속 설비(22)로부터 구분된 하드웨어 장치로 형성되고 제어반(21)의 제어 프로그램과는 독립적으로 동작하도록 구성된다. 이를 통해, 통신 장치(100)가 산출하는 응답시간 측정치(T22 - T21) 내에 제어반(21)에서 수행되는 제어 프로그램 전체의 스캔타임이 포함되지 않게 된다. The communication device 100 for measuring response time according to the present invention is formed as a hardware device separated from the control panel 21 and the high-speed equipment 22 and is configured to operate independently from the control program of the control panel 21. Through this, the scan time of the entire control program executed in the control panel 21 is not included in the response time measurements (T22 - T21) calculated by the communication device 100.

먼저, 통신장치 전원부(110)는 통신 장치(100)의 동작 전원을 공급하는 구성요소이다. First, the communication device power supply unit 110 is a component that supplies operating power to the communication device 100.

명령 시그널 감지부(120)는 고속 설비(22)의 동작 제어를 위해 제어반(21)이 고속 설비(22)로 출력하는 명령 시그널을 전기적으로 감지하는 구성요소이다. The command signal detection unit 120 is a component that electrically detects a command signal output from the control panel 21 to the high-speed equipment 22 to control the operation of the high-speed equipment 22.

센서 시그널 감지부(130)는 제어반(21)의 제어 명령을 반영하여 고속 설비(22)가 동작한 이후에 고속 설비(22)가 출력하는 센서 시그널을 전기적으로 감지하는 구성요소이다. The sensor signal detection unit 130 is a component that electrically detects a sensor signal output from the high-speed equipment 22 after the high-speed equipment 22 operates by reflecting the control command of the control panel 21.

타이머부(140)는 제어 입력에 의해 스타트 또는 스톱하는 전자타이머(electronic timer)를 운영하는 구성요소이다. The timer unit 140 is a component that operates an electronic timer that starts or stops by control input.

타이머 제어부(150)는 타이머부(140)를 제어하는 구성요소이다. 구체적으로는, 명령 시그널의 감지에 대응하여 타이머부(140)를 스타트 제어하고, 센서 시그널의 감지에 대응하여 타이머부(140)를 스톱 제어한다. The timer control unit 150 is a component that controls the timer unit 140. Specifically, the timer unit 140 is controlled to start in response to detection of a command signal, and the timer unit 140 is controlled to stop in response to detection of a sensor signal.

응답시간 연산부(160)는 스타트 제어할 때의 타이머 값(T21)과 스톱 제어할 때의 타이머 값(T22) 간의 차이로부터 고속 설비(22)의 응답시간을 산출하는 구성요소이다. 일 실시예로, 응답시간 연산부(160)는 ST마이크로일렉트로닉스(STMicroelectronics NV)의 8비트 마이크로콘트롤러 칩 STM8S103F2를 사용하여 구현될 수 있다. The response time calculation unit 160 is a component that calculates the response time of the high-speed equipment 22 from the difference between the timer value (T21) during start control and the timer value (T22) during stop control. In one embodiment, the response time calculation unit 160 may be implemented using an 8-bit microcontroller chip STM8S103F2 from STMicroelectronics NV.

디지털 통신부(170)는 응답시간 연산부(160)가 산출한 응답시간을 디지털 통신(예: UART)에 의해 제어반(21)으로 전송하기 위한 구성요소이다. 일 실시예로, 디지털 통신부(170)는 텍사스 인스트루먼트(Texas Instruments Inc.)의 라인 트랜시버 칩 MAX3232CPW를 사용하여 구현될 수 있다. The digital communication unit 170 is a component for transmitting the response time calculated by the response time calculation unit 160 to the control panel 21 through digital communication (eg, UART). In one embodiment, the digital communication unit 170 may be implemented using a line transceiver chip MAX3232CPW from Texas Instruments Inc.

한편, 본 발명은 컴퓨터가 읽을 수 있는 비휘발성 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드의 형태로 구현되는 것이 가능하다. 이러한 비휘발성 기록매체로는 다양한 형태의 스토리지 장치가 존재하는데 예컨대 하드디스크, SSD, CD-ROM, NAS, 자기테이프, 웹디스크, 클라우드 디스크 등이 있다. 또한, 본 발명은 하드웨어와 결합되어 특정의 절차를 실행시키기 위하여 매체에 저장된 컴퓨터프로그램의 형태로 구현될 수도 있다. Meanwhile, the present invention can be implemented in the form of computer-readable code on a computer-readable non-volatile recording medium. These non-volatile recording media include various types of storage devices, such as hard disks, SSDs, CD-ROMs, NAS, magnetic tapes, web disks, and cloud disks. Additionally, the present invention may be implemented in the form of a computer program stored on a medium in order to execute a specific procedure in combination with hardware.

20 : 반도체 장비
21 : 제어반
22 : 고속 설비
100 : 통신 장치
110 : 통신장치 전원부
120 : 명령 시그널 감지부
130 : 센서 시그널 감지부
140 : 타이머부
150 : 타이머 제어부
160 : 응답시간 연산부
170 : 디지털 통신부20: Semiconductor equipment
21: control panel
22: High-speed equipment
100: communication device
110: Communication device power unit
120: Command signal detection unit
130: Sensor signal detection unit
140: Timer unit
150: Timer control unit
160: Response time calculation unit
170: Digital Communications Department

Claims (3)

삭제delete 삭제delete 특정의 장비에 포함된 고속 설비(22)의 응답시간을 측정하기 위한 장치로서,
상기 고속 설비(22)의 동작을 제어하기 위한 명령 시그널을 상기 고속 설비(22)로 출력하는 제어반(21);
상기 특정의 장비 내에서 상기 제어반(21) 및 상기 고속 설비(22)와는 분리된 하드웨어 장치의 형태로 형성되고 상기 제어반(21)의 제어 프로그램 동작에 의해 영향받지 않도록 상기 제어반(21)의 제어 프로그램과는 독립적으로 동작하게 구성되며 특정의 장비 내에서 상기 제어반(21)의 제어 명령에 반응한 상기 고속 설비(22)의 동작 수행의 응답시간을 측정하기 위한 고속 설비의 응답시간 측정용 통신 장치(100)로서, 통신 장치(100)의 동작 전원을 공급하는 통신장치 전원부(110)와, 상기 제어반(21)으로부터 출력되는 상기 명령 시그널을 전기적으로 감지하는 명령 시그널 감지부(120)와, 제어 명령을 반영한 동작에 의해 상기 고속 설비(22)의 센서(22e)가 출력하는 센서 시그널을 전기적으로 감지하는 센서 시그널 감지부(130)와, 제어 입력에 의해 스타트 또는 스톱하는 전자타이머를 운영하는 타이머부(140)와, 상기 명령 시그널의 감지에 대응하여 상기 타이머부(140)를 스타트 제어하고 상기 센서 시그널의 감지에 대응하여 상기 타이머부(140)를 스톱 제어하는 타이머 제어부(150)와, 상기 스타트 제어할 때의 타이머 값(T21)과 상기 스톱 제어할 때의 타이머 값(T22) 간의 차이로부터 상기 고속 설비(22)의 응답시간을 산출하는 응답시간 연산부(160)와, 상기 산출된 응답시간을 디지털 통신에 의해 상기 제어반(21)으로 전송하기 위한 디지털 통신부(170)를 구비하는 고속 설비의 응답시간 측정용 통신 장치(100);
를 포함하여 구성되는 고속 설비의 응답시간 측정 장치. A device for measuring the response time of high-speed equipment (22) included in specific equipment,
a control panel (21) that outputs a command signal for controlling the operation of the high-speed equipment (22) to the high-speed equipment (22);
The control program of the control panel 21 is formed in the form of a hardware device separate from the control panel 21 and the high-speed equipment 22 within the specific equipment and is not affected by the control program operation of the control panel 21. A communication device for measuring the response time of high-speed equipment ( 100), a communication device power supply unit 110 that supplies operating power to the communication device 100, a command signal detection unit 120 that electrically detects the command signal output from the control panel 21, and a control command A sensor signal detection unit 130 that electrically detects the sensor signal output by the sensor 22e of the high-speed equipment 22 through an operation reflecting the , and a timer unit that operates an electronic timer that starts or stops by control input. (140), a timer control unit 150 that starts and controls the timer unit 140 in response to detection of the command signal and stops the timer unit 140 in response to detection of the sensor signal, and the start A response time calculation unit 160 that calculates the response time of the high-speed equipment 22 from the difference between the timer value (T21) during control and the timer value (T22) during stop control, and the calculated response time A communication device (100) for measuring the response time of high-speed equipment, including a digital communication unit (170) for transmitting to the control panel (21) by digital communication;
A response time measurement device for high-speed equipment, including:
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