KR102568289B1 - Calibration apparatus for 6 axis force-torque sensor - Google Patents
Calibration apparatus for 6 axis force-torque sensor Download PDFInfo
- Publication number
- KR102568289B1 KR102568289B1 KR1020210157210A KR20210157210A KR102568289B1 KR 102568289 B1 KR102568289 B1 KR 102568289B1 KR 1020210157210 A KR1020210157210 A KR 1020210157210A KR 20210157210 A KR20210157210 A KR 20210157210A KR 102568289 B1 KR102568289 B1 KR 102568289B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- force
- torque
- torque sensor
- axis force
- axis
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L25/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring force, torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L25/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring force, torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency
- G01L25/003—Testing or calibrating of apparatus for measuring force, torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency for measuring torque
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L25/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring force, torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency
- G01L25/006—Testing or calibrating of apparatus for measuring force, torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency for measuring work or mechanical power or mechanical efficiency
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/0028—Force sensors associated with force applying means
- G01L5/0038—Force sensors associated with force applying means applying a pushing force
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/0028—Force sensors associated with force applying means
- G01L5/0042—Force sensors associated with force applying means applying a torque
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
본 발명은 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치에 관한 것으로, 서로 직교하는 3축을 중심으로 회전하는 캘리브레이션용 토크와, 서로 직교하는 3축 방향으로 작용하는 캘리브레이션용 힘을 6축 힘토크 센서에 인가하여 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력 오차를 자동으로 보상하도록 한 것이다.The present invention relates to a 6-axis force-torque sensor calibration device, which applies a calibration torque rotating around 3 axes orthogonal to each other and a calibration force acting in 3-axis directions orthogonal to each other to a 6-axis force-torque sensor. It is designed to automatically compensate the torque output and force output error of the shaft force torque sensor.
Description
본 발명은 센서 출력 캘리브레이션(Calibration) 기술에 관련한 것으로, 특히 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a sensor output calibration technology, and more particularly to a 6-axis force-torque sensor calibration device.
6축 힘토크 센서는 서로 직교하는 3축을 중심으로 회전하는 토크와, 서로 직교하는 3축 방향의 힘을 감지 또는 측정하는 센서로, 주로 스트레인 게이지 방식이나, 정전 용량 방식 6축 힘토크 센서가 잘 알려져 있다.The 6-axis force-torque sensor is a sensor that detects or measures the torque rotating around 3 axes orthogonal to each other and the force in the direction of 3 axes orthogonal to each other. The strain gauge type or capacitance type 6-axis force-torque sensor is well known. It is known.
이러한 6축 힘토크 센서는 아무리 정밀하게 제조되었다 하더라도 토크 출력과 힘 출력에 오차가 발생하기 때문에, 정확한 출력을 위해서는 토크 출력과 힘 출력 오차에 대한 보상 즉, 캘리브레이션(Calibration)을 해야만 한다.No matter how precisely these 6-axis force-torque sensors are manufactured, since errors occur in torque output and force output, compensation for torque output and force output errors, that is, calibration, must be performed for accurate output.
따라서, 본 발명자는 서로 직교하는 3축을 중심으로 회전하는 캘리브레이션용 토크와, 서로 직교하는 3축 방향으로 작용하는 캘리브레이션용 힘을 6축 힘토크 센서에 인가하여 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력 오차를 자동으로 보상하는 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치에 대한 연구를 하였다.Therefore, the present inventor applies a calibration torque rotating around three axes orthogonal to each other and a calibration force acting in three directions orthogonal to each other to a 6-axis force-torque sensor to obtain torque output and force of the 6-axis force-torque sensor A 6-axis force-torque sensor calibration device that automatically compensates for output errors was studied.
본 발명은 서로 직교하는 3축을 중심으로 회전하는 캘리브레이션용 토크와, 서로 직교하는 3축 방향으로 작용하는 캘리브레이션용 힘을 6축 힘토크 센서에 인가하여 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력 오차를 자동으로 보상하는 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치를 제공함을 그 목적으로 한다.The present invention applies a calibration torque rotating around 3 axes orthogonal to each other and a calibration force acting in 3 axes orthogonal to each other to a 6-axis force torque sensor to obtain torque output and force output error of the 6-axis force torque sensor Its object is to provide a 6-axis force-torque sensor calibration device that automatically compensates for.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 양상에 따르면, 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치가 6축 힘토크 센서가 장착되는 6축 힘토크 센서 지그와; 6축 힘토크 센서의 토크 출력값을 캘리브레이션(Calibration) 하기 위해 6축 힘토크 센서 지그를 고정하는 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부와; 6축 힘토크 센서의 힘 출력값을 캘리브레이션(Calibration) 하기 위해 6축 힘토크 센서 지그를 고정하는 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부와; 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 또는 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 위치로 6축 힘토크 센서가 장착된 6축 힘토크 센서 지그를 로딩(Loading)하는 6축 힘토크 센서 로딩부와; 토크 기준 분동을 공급하는 토크 기준 분동 공급부와; 힘 기준 분동을 공급하는 힘 기준 분동 공급부와; 토크 기준 분동 공급부에 의해 공급되는 토크 기준 분동으로부터 토크 캘리브레이션을 위한 토크를 발생시켜 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그에 장착되는 6축 힘토크 센서에 인가하는 캘리브레이션용 토크 인가부와; 힘 기준 분동 공급부에 의해 공급되는 힘 기준 분동으로부터 힘 캘리브레이션을 위한 힘을 발생시켜 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그에 장착되는 6축 힘토크 센서에 인가하는 캘리브레이션용 힘 인가부를 포함한다.According to one aspect of the present invention for achieving the above object, a 6-axis force-torque sensor calibration device includes a 6-axis force-torque sensor jig to which the 6-axis force-torque sensor is mounted; A 6-axis force-torque sensor jig fixing part for torque correction for fixing the 6-axis force-torque sensor jig in order to calibrate the torque output value of the 6-axis force-torque sensor; A 6-axis force-torque sensor jig fixing part for force correction for fixing the 6-axis force-torque sensor jig to calibrate the force output value of the 6-axis force-torque sensor; The 6-axis force-torque sensor loading part that loads the 6-axis force-torque sensor jig with the 6-axis force-torque sensor to the position of the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for torque compensation or the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for force compensation. and; a torque reference weight supply unit supplying a torque reference weight; a force reference weight supply unit supplying a force reference weight; The torque for torque calibration is generated from the torque reference weight supplied by the torque reference weight supplier and applied to the 6-axis force-torque sensor mounted on the 6-axis force-torque sensor jig fixed by the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for torque correction. a torque application unit for calibration; Force for force calibration is generated from the force reference weight supplied by the force reference weight supplier and applied to the 6-axis force-torque sensor mounted on the 6-axis force-torque sensor jig fixed by the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for force calibration It includes a force application unit for calibration.
본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 캘리브레이션용 토크 인가부가 토크 기준 분동 공급부에 의해 공급되는 토크 기준 분동을 거치하되, 거치되는 토크 기준 분동에 의해 회전하여 토크를 발생시켜 6축 힘토크 센서에 인가하는 토크 기준 분동 거치 아암 형태로 구현될 수 있다.According to an additional aspect of the present invention, the calibration torque application unit mounts the torque reference weight supplied by the torque reference weight supply unit, and rotates by the mounted torque reference weight to generate torque and apply it to the 6-axis force torque sensor It may be implemented in the form of a torque-based weight bearing arm.
본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치가 토크 기준 분동 거치 아암의 수평을 유지하는 토크 기준 분동 거치 아암 수평 유지부를 더 포함할 수 있다.According to an additional aspect of the present invention, the 6-axis force-torque sensor calibration device may further include a torque reference weight mounting arm leveling unit for maintaining a level of the torque reference weight mounting arm.
본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 토크 기준 분동 거치 아암 수평 유지부가 토크 기준 분동 거치 아암에 거치되는 토크 기준 분동에 의해 회전한 토크 기준 분동 거치 아암이 수평 상태로 복귀하도록 토크 기준 분동 거치 아암을 회전시키는 서보모터(Servomotor)와; 서보모터를 감속시키는 감속기와; 토크 기준 분동 거치 아암의 수평 상태를 검출하는 절대값 엔코더와; 절대값 엔코더에 의해 검출되는 토크 기준 분동 거치 아암의 수평 상태값에 따라 서보모터에 의한 회전력을 토크 기준 분동 거치 아암측으로 전달하거나 또는 단속하는 수평 유지 전자 클러치와; 절대값 엔코더에 의해 검출되는 토크 기준 분동 거치 아암의 수평 상태값에 따라 6축 힘토크 센서에 토크를 인가 또는 단속하는 캘리브레이션용 전자 클러치와; 서보모터에 의한 회전력을 토크 기준 분동 거치 아암으로 링크시켜 전달하는 커플링을 포함할 수 있다.According to an additional aspect of the present invention, the torque reference weight mounting arm horizontal holding unit rotates the torque reference weight mounting arm so that the torque reference weight mounting arm rotated by the torque reference weight mounted on the torque reference weight mounting arm returns to a horizontal state. With a servo motor (Servomotor) to do; a reducer for decelerating the servo motor; an absolute value encoder for detecting a horizontal state of the torque reference weight arm; a leveling electromagnetic clutch that transmits or regulates the rotational force by the servomotor to the torque reference weight arm side according to the horizontal state value of the torque reference weight bearing arm detected by the absolute value encoder; an electromagnetic clutch for calibration that applies or regulates torque to the 6-axis force-torque sensor according to the horizontal state value of the torque-based weight bearing arm detected by the absolute value encoder; It may include a coupling that transfers rotational force by the servomotor by linking it to a torque-based weight mounting arm.
본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부가 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부와 수직한 방향으로 이격되어 배치되도록 구현될 수 있다.According to an additional aspect of the present invention, the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for force correction may be implemented to be spaced apart from the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for torque compensation in a direction perpendicular to the arrangement.
본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 6축 힘토크 센서 로딩부가 6축 힘토크 센서가 장착되는 6축 힘토크 센서 지그를 상부에서 고정하는 6축 힘토크 센서 지그 홀더와; 6축 힘토크 센서 지그 홀더에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그를 수평 방향으로 90도 회전시키는 제1턴 스테이지와; 6축 힘토크 센서 지그 홀더에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그를 수직 방향으로 90도 회전시키는 제2턴 스테이지와; 6축 힘토크 센서 지그 홀더에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그를 수직 방향으로 승하강시키는 6축 센서 로딩용 직교로봇을 포함할 수 있다.According to an additional aspect of the present invention, the 6-axis force-torque sensor loading part fixes the 6-axis force-torque sensor jig on which the 6-axis force-torque sensor is mounted, and a jig holder for the 6-axis force-torque sensor; a first turn stage which rotates the 6-axis force-torque sensor jig fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder by 90 degrees in a horizontal direction; a second turn stage which rotates the 6-axis force-torque sensor jig fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder by 90 degrees in a vertical direction; A 6-axis sensor-loading cartesian robot for lifting and lowering the 6-axis force-torque sensor jig fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder in a vertical direction may be included.
본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 캘리브레이션용 힘 인가부가 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부를 슬라이딩(sliding) 시키는 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더와; 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더 양측 중심과, 한쌍의 힘 기준 분동 간에 각각 연결되는 한쌍의 와이어와; 한쌍의 힘 기준 분동에 의해 수직 방향으로 작용하는 중력을 한쌍의 와이어를 통해 수평 방향의 왕복력으로 변환하여 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더에 인가함으로써 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더를 수평 방향으로 왕복 운동시키는 한쌍의 로울러를 포함할 수 있다.According to an additional aspect of the present invention, a 6-axis force torque sensor jig fixing slider for force correction by which the force applying unit for calibration slides the 6-axis force torque sensor jig fixing portion for force correction; a pair of wires respectively connected between centers on both sides of the 6-axis force torque sensor jig fixing part slider for force correction and a pair of force reference weights; The gravity acting in the vertical direction by a pair of force reference weights is converted into reciprocating force in the horizontal direction through a pair of wires and applied to the slider of the 6-axis force-torque sensor jig for force correction. It may include a pair of rollers for reciprocating the government slider in the horizontal direction.
본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 토크 기준 분동 공급부가 6축 힘토크 센서의 토크 출력값 캘리브레이션을 위한 기준 무게인 토크 기준 분동과; 토크 기준 분동을 로딩(Loading)하는 토크 기준 분동 로딩 로봇을 포함할 수 있다.According to an additional aspect of the present invention, the torque reference weight supply unit includes a torque reference weight that is a reference weight for calibrating a torque output value of a 6-axis force-torque sensor; A torque reference weight loading robot for loading torque reference weights may be included.
본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 힘 기준 분동 공급부가 6축 힘토크 센서의 힘 출력값 캘리브레이션을 위한 기준 무게인 힘 기준 분동과; 힘 기준 분동을 로딩(Loading)하는 힘 기준 분동 로딩 로봇을 포함할 수 있다.According to an additional aspect of the present invention, the force reference weight supply unit includes a force reference weight that is a reference weight for calibrating a force output value of a 6-axis force torque sensor; A force-based weight loading robot for loading force-based weights may be included.
본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치가 캘리브레이션용 토크 인가부로부터 토크 캘리브레이션을 위한 토크와, 캘리브레이션용 힘 인가부로부터 힘 캘리브레이션을 위한 힘을 인가받은 6축 힘토크 센서로부터 출력되는 토크 출력값과 힘 출력값의 상관 관계에 기반하여 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력을 캘리브레이션(Calibration) 하는 제어부를 더 포함할 수 있다.According to an additional aspect of the present invention, a 6-axis force-torque sensor calibration apparatus receives torque for torque calibration from a torque applicator for calibration and force for force calibration from a force-applier for calibration, from the 6-axis force-torque sensor A control unit for calibrating the torque output and the force output of the 6-axis force-torque sensor based on the correlation between the torque output value and the force output value may be further included.
본 발명은 서로 직교하는 3축을 중심으로 회전하는 캘리브레이션용 토크와, 서로 직교하는 3축 방향으로 작용하는 캘리브레이션용 힘을 6축 힘토크 센서에 인가하여 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력 오차를 자동으로 보상함으로써 수동 방식으로 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력 오차를 보상하는 종래의 방식에 비해 오차 보상에 소요되는 시간을 단축할 수 있고, 오차 보상 정밀도를 향상할 수 있는 효과가 있다.The present invention applies a calibration torque rotating around 3 axes orthogonal to each other and a calibration force acting in 3 axes orthogonal to each other to a 6-axis force torque sensor to obtain torque output and force output error of the 6-axis force torque sensor By automatically compensating for , the time required for error compensation can be shortened and the error compensation precision can be improved compared to the conventional method of manually compensating the torque output and force output error of the 6-axis force-torque sensor. there is.
또한, 본 발명은 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력 오차 보상 자동화를 통해 6축 힘토크 센서 생산성 및 원가를 절감할 수 있고, 신뢰성을 향상할 수 있으므로, 6축 힘토크 센서 사용에 대한 범용성을 향상할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention can reduce the productivity and cost of the 6-axis force-torque sensor through the automation of torque output and force output error compensation of the 6-axis force-torque sensor, and can improve reliability. It has the effect of improving versatility.
도 1 은 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 일 실시예의 구성을 도시한 사시도이다.
도 2 는 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 6축 힘토크 센서 지그의 일 실시예를 도시한 분해 사시도이다.
도 3 은 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 6축 힘토크 센서 로딩부의 일 실시예의 구성을 도시한 사시도이다.
도 4 는 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 제2턴 스테이지가 동작하지 않은 상태에서 6축 힘토크 센서 지그가 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부에 결합된 것을 예시한 사시도이다.
도 5 는 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 제2턴 스테이지가 동작한 상태에서 6축 힘토크 센서 지그가 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부에 결합된 것을 예시한 사시도이다.
도 6 은 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 제2턴 스테이지가 동작하지 않은 상태에서 6축 힘토크 센서 지그가 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부에 결합된 것을 예시한 사시도이다.
도 7 은 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 제2턴 스테이지가 동작한 상태에서 6축 힘토크 센서 지그가 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부에 결합된 것을 예시한 사시도이다.
도 8 은 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 토크 기준 분동 공급부의 일 실시예의 구성을 도시한 사시도이다.
도 9 는 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 힘 기준 분동 공급부의 일 실시예의 구성을 도시한 사시도이다.
도 10 은 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 토크 기준 분동 거치 아암 수평 유지부의 일 실시예의 구성을 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of a 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention.
2 is an exploded perspective view showing an embodiment of a 6-axis force-torque sensor jig of a 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention.
3 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of a 6-axis force-torque sensor loading unit of the 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention.
4 is a perspective view illustrating that the 6-axis force-torque sensor jig is coupled to the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for torque correction in a state where the second turn stage of the 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention is not operating .
5 is a perspective view illustrating that the 6-axis force-torque sensor jig is coupled to the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for torque compensation in a state in which the second turn stage of the 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention is in operation.
6 is a perspective view illustrating that the 6-axis force-torque sensor jig is coupled to the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for force calibration in a state where the second turn stage of the 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention is not operating .
7 is a perspective view illustrating that the 6-axis force-torque sensor jig is coupled to the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for force calibration in a state in which the second turn stage of the 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention operates.
8 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of a torque reference weight supply unit of a 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention.
9 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of a force reference weight supply unit of a 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention.
10 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of a horizontal holding unit for a torque standard weight mounting arm of a 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다. 특정 실시예들이 도면에 예시되고 관련된 상세한 설명이 기재되어 있으나, 이는 본 발명의 다양한 실시예들을 특정한 형태로 한정하려는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily understand and reproduce the present invention through preferred embodiments described with reference to the accompanying drawings. Although specific embodiments are illustrated in the drawings and related details are described, they are not intended to limit the various embodiments of the present invention to any particular form.
본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the embodiments of the present invention, the detailed description will be omitted.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. It is understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, but other elements may exist in the middle. It should be.
반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있어야 할 것이다.On the other hand, when a component is referred to as “directly connected” or “directly connected” to another component, it should be understood that no other component exists in the middle.
도 1 은 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 일 실시예의 구성을 도시한 사시도이다. 도 1 에 도시한 바와 같이, 이 실시예에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치(100)는 6축 힘토크 센서 지그(110)와, 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120)와, 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)와, 6축 힘토크 센서 로딩부(140)와, 토크 기준 분동 공급부(150)와, 힘 기준 분동 공급부(160)와, 캘리브레이션용 토크 인가부(170)와, 캘리브레이션용 힘 인가부(180)를 포함한다.1 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of a 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention. As shown in FIG. 1, the 6-axis force-torque sensor calibration device 100 according to this embodiment includes a 6-axis force-torque sensor jig 110, a 6-axis force-torque sensor jig fixing part 120 for torque correction, A 6-axis force-torque sensor jig fixing unit 130 for force correction, a 6-axis force-torque sensor loading unit 140, a torque reference weight supply unit 150, a force reference weight supply unit 160, and a torque application unit for calibration 170 and a force application unit 180 for calibration.
이 때, 6축 힘토크 센서 지그(110)와, 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120)와, 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)와, 6축 힘토크 센서 로딩부(140)와, 캘리브레이션용 토크 인가부(170)와, 캘리브레이션용 힘 인가부(180) 등은 복수의 프레임(102)들에 의해 지지되는 베이스 플레이트(101) 상부에 설치될 수 있다. 한편, 토크 기준 분동 공급부(150)와, 힘 기준 분동 공급부(160)는 복수의 프레임(102)들에 의해 지지되는 베이스 플레이트(101) 하부에 설치될 수 있다.At this time, the 6-axis force-torque sensor jig 110, the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 120 for torque correction, the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 130 for force correction, and the 6-axis force-torque sensor loading The unit 140 , the torque application unit 170 for calibration, the force application unit 180 for calibration, and the like may be installed on the base plate 101 supported by the plurality of frames 102 . Meanwhile, the torque reference weight supply unit 150 and the force reference weight supply unit 160 may be installed below the base plate 101 supported by the plurality of frames 102 .
6축 힘토크 센서 지그(110)는 6축 힘토크 센서(200)가 장착된다. 6축 힘토크 센서(200)는 정밀한 검출값 도출을 위해 힘/토크 측정 원점이 6축 힘토크 센서(200) 상부면 중심에 형성되는 것이 바람직하다.The 6-axis force-torque sensor jig 110 is equipped with the 6-axis force-torque sensor 200. In the 6-axis force-torque sensor 200, it is preferable that the origin of force/torque measurement is formed at the center of the upper surface of the 6-axis force-torque sensor 200 in order to derive a precise detection value.
그 이유는 x, y, z축이 힘/토크 측정 원점에서 서로 수직하게 직교하지 않고 분산된다면, 힘/토크 캘리브레이션시 인가되는 힘과 토크가 분산되어 부정확하게 입력되므로, 6축 힘토크 센서(200)의 힘 출력값 및 토크 출력값의 신뢰성을 확보할 수 없기 때문이다.The reason is that if the x, y, and z axes are not orthogonal to each other at the origin of the force/torque measurement and are dispersed, the force and torque applied during force/torque calibration are dispersed and input incorrectly, so the 6-axis force-torque sensor (200 This is because reliability of the force output value and torque output value of ) cannot be secured.
도 2 는 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 6축 힘토크 센서 지그의 일 실시예를 도시한 분해 사시도이다. 도 2 에 도시한 바와 같이, 6축 힘토크 센서 지그(110)는 지그 본체(111)와, 한쌍의 x축 아마추어(112)와, 한쌍의 y축 아마추어(113)와, 홀딩캡(114)을 포함할 수 있다.2 is an exploded perspective view showing an embodiment of a 6-axis force-torque sensor jig of a 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention. As shown in FIG. 2, the 6-axis force torque sensor jig 110 includes a jig body 111, a pair of x-axis armatures 112, a pair of y-axis armatures 113, and a holding cap 114 can include
지그 본체(111)는 6축 힘토크 센서(200)가 삽입되어 장착되는 원통 형상으로 구현될 수 있으며, 한쌍의 x축 아마추어(112) 및 한쌍의 y축 아마추어(113)가 각각 삽입되어 고정되는 아마추어 탑재돌기(111a)들이 원통 형상의 지그 본체(111) 외연에 서로 직교하는 방향으로 돌출 형성될 수 있다.The jig body 111 may be implemented in a cylindrical shape in which the 6-axis force-torque sensor 200 is inserted and mounted, and a pair of x-axis armatures 112 and a pair of y-axis armatures 113 are inserted and fixed Armature mounting protrusions 111a may protrude from the outer periphery of the cylindrical jig body 111 in directions orthogonal to each other.
한쌍의 x축 아마추어(112)는 6축 힘토크 센서 지그(110)가 수평 방향으로 회전하지 않은 상태에서 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120) 및 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)에 의해 고정되는 부분이다.The pair of x-axis armatures 112 include a 6-axis force-torque sensor jig fixing part 120 for torque correction and a 6-axis force-torque sensor jig for force correction in a state where the 6-axis force torque sensor jig 110 does not rotate in the horizontal direction. It is a part fixed by the government 130.
한쌍의 y축 아마추어(113)는 6축 힘토크 센서 지그(110)가 수평 방향으로 90도 회전한 상태에서 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120) 및 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)에 의해 고정되는 부분이다.A pair of y-axis armatures 113 include a 6-axis force torque sensor jig fixing part 120 for torque correction and a 6-axis force torque sensor jig for force correction in a state where the 6-axis force torque sensor jig 110 is rotated 90 degrees in the horizontal direction. This part is fixed by the fixing part 130.
홀딩캡(114)은 추후 설명할 6축 힘토크 센서 로딩부(140)의 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 홀딩되어 고정되는 부분이다.The holding cap 114 is a part held and fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141 of the 6-axis force-torque sensor loading part 140 to be described later.
토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120)는 6축 힘토크 센서(200)의 토크 출력값을 캘리브레이션(Calibration) 하기 위해 6축 힘토크 센서 지그(110)를 고정한다.The 6-axis force-torque sensor jig fixing part 120 for torque correction fixes the 6-axis force-torque sensor jig 110 to calibrate the torque output value of the 6-axis force-torque sensor 200 .
예컨대, 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120)가 한쌍의 힘토크 센서 지그 결합 스테이터(121)와, 회전 샤프트(122)와, 토크 전달부(123)를 포함할 수 있다.For example, the 6-axis force torque sensor jig fixing part 120 for torque compensation may include a pair of force torque sensor jig coupling stators 121 , a rotating shaft 122 , and a torque transmission part 123 .
한쌍의 힘토크 센서 지그 결합 스테이터(121)는 6축 힘토크 센서 지그(110)의 한쌍의 x축 아마추어(112) 또는 한쌍의 y축 아마추어(113)를 여자(Excitation)시켜 자기적으로 결합 고정시킨다.The pair of force torque sensor jig coupling stators 121 magnetically couple and fix by excitation of the pair of x-axis armatures 112 or the pair of y-axis armatures 113 of the 6-axis force torque sensor jig 110 let it
회전 샤프트(122)는 캘리브레이션용 토크 인가부(170)에 의해 인가되는 토크에 의해 회전하는 회전 축으로, 토크 전달부(123)로 토크를 전달한다.The rotating shaft 122 is a rotating shaft that rotates by the torque applied by the torque application unit 170 for calibration, and transmits the torque to the torque transmitting unit 123 .
토크 전달부(123)는 회전 샤프트(122)에 의해 전달되는 토크를 한쌍의 힘토크 센서 지그 결합 스테이터(121)로 전달하여 6축 힘토크 센서 지그(110)에 장착되는 6축 힘토크 센서(200)에 토크를 인가한다.The torque transfer unit 123 transfers the torque transmitted by the rotating shaft 122 to the pair of force torque sensor jig coupling stators 121, and the 6-axis force-torque sensor mounted on the 6-axis force torque sensor jig 110 ( 200) is applied with torque.
힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)는 6축 힘토크 센서(200)의 힘 출력값을 캘리브레이션(Calibration) 하기 위해 6축 힘토크 센서 지그(110)를 고정한다. The 6-axis force-torque sensor jig fixing part 130 for force calibration fixes the 6-axis force-torque sensor jig 110 to calibrate the force output value of the 6-axis force-torque sensor 200 .
이 때, 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)가 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120)와 수직한 방향으로 이격되어 배치되도록 구현되어 설치 면적을 최소화하면서도 캘리브레이션 작업이 수직 방향에서 효율적으로 수행되도록 구현될 수 있다.At this time, the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 130 for force correction is implemented to be spaced apart from the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 120 for torque correction in a vertical direction, so that the installation area is minimized while the calibration work is performed vertically. It can be implemented to be performed efficiently in the direction.
예컨대, 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)가 한쌍의 힘토크 센서 지그 결합 스테이터(131)와, 힘 전달부(132)를 포함할 수 있다.For example, the 6-axis force torque sensor jig fixing part 130 for force correction may include a pair of force torque sensor jig coupling stators 131 and a force transmitting part 132 .
한쌍의 힘토크 센서 지그 결합 스테이터(131)는 6축 힘토크 센서 지그(110)의 한쌍의 x축 아마추어(112) 또는 한쌍의 y축 아마추어(113)를 여자(Excitation)시켜 자기적으로 결합 고정시킨다.The pair of force torque sensor jig coupling stators 131 magnetically couple and fix by excitation of the pair of x-axis armatures 112 or the pair of y-axis armatures 113 of the 6-axis force torque sensor jig 110 let it
힘 전달부(132)는 캘리브레이션용 힘 인가부(180)에 의해 인가되는 힘을 한쌍의 힘토크 센서 지그 결합 스테이터(131)로 전달하여 6축 힘토크 센서 지그(110)에 장착되는 6축 힘토크 센서(200)에 힘을 인가한다.The force transmitting unit 132 transmits the force applied by the force applying unit 180 for calibration to the pair of force torque sensor jig coupling stators 131, and the 6-axis force mounted on the 6-axis force torque sensor jig 110 A force is applied to the torque sensor 200.
6축 힘토크 센서 로딩부(140)는 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120) 또는 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130) 위치로 6축 힘토크 센서(200)가 장착된 6축 힘토크 센서 지그(110)를 로딩(Loading)한다.The 6-axis force-torque sensor loading part 140 is equipped with a 6-axis force-torque sensor 200 at the position of the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 120 for torque compensation or the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 130 for force compensation. The 6-axis force-torque sensor jig 110 is loaded.
도 3 은 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 6축 힘토크 센서 로딩부의 일 실시예의 구성을 도시한 사시도이다. 도 3 에 도시한 바와 같이, 6축 힘토크 센서 로딩부(140)는 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)와, 제1턴 스테이지(142)와, 제2턴 스테이지(143)와, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)을 포함한다.3 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of a 6-axis force-torque sensor loading unit of the 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention. As shown in FIG. 3, the 6-axis force-torque sensor loading unit 140 includes a 6-axis force-torque sensor jig holder 141, a first turn stage 142, a second turn stage 143, and 6 It includes a Cartesian robot 144 for axis sensor loading.
6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)는 6축 힘토크 센서(200)가 장착되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 상부에서 고정한다.The 6-axis force-torque sensor jig holder 141 fixes the 6-axis force-torque sensor jig 110 on which the 6-axis force-torque sensor 200 is mounted from the top.
제1턴 스테이지(142)는 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수평 방향으로 90도 회전시킨다.The first turn stage 142 rotates the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141 by 90 degrees in the horizontal direction.
제2턴 스테이지(143)는 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 90도 회전시킨다.The second turn stage 143 rotates the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141 by 90 degrees in a vertical direction.
6축 센서 로딩용 직교로봇(144)은 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 승하강시킨다. 한편, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)이 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)의 초기 위치를 검출하는 원점 센서(144a)를 더 포함할 수도 있다.The 6-axis sensor loading cartesian robot 144 raises and lowers the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141 in the vertical direction. On the other hand, the Cartesian robot 144 for loading the 6-axis sensor further includes an origin sensor 144a for detecting the initial position of the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141. You may.
이 때, 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)는 제1턴 스테이지(142)에 의해 기구적으로 결합되어 구속되고, 제1턴 스테이지(142)는 제2턴 스테이지(143)에 의해 기구적으로 결합되어 구속될 수 있다.At this time, the 6-axis force-torque sensor jig holder 141 is mechanically coupled and restrained by the first turn stage 142, and the first turn stage 142 is mechanically coupled by the second turn stage 143. can be bound and bound.
한편, 제2턴 스테이지(143)는 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)에 의해 기구적으로 결합되어 구속되고, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)은 베이스 플레이트(101) 상부에 고정 설치되는 고정 브라켓(145)에 의해 고정될 수 있다.On the other hand, the second turn stage 143 is mechanically coupled and restrained by the 6-axis sensor loading Cartesian robot 144, and the 6-axis sensor loading Cartesian robot 144 is fixedly installed on the base plate 101 It can be fixed by the fixing bracket 145 that is.
이에 따라, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)에 의해 축 힘토크 센서 지그 홀더(141)와, 제1턴 스테이지(142)와, 제2턴 스테이지(143)가 전체적으로 수직 방향으로 승하강 구동된다.Accordingly, the axial force-torque sensor jig holder 141, the first turn stage 142, and the second turn stage 143 are vertically driven as a whole by the 6-axis sensor loading cartesian robot 144. do.
도 4 는 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 제2턴 스테이지가 동작하지 않은 상태에서 6축 힘토크 센서 지그가 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부에 결합된 것을 예시한 사시도이다.4 is a perspective view illustrating that the 6-axis force-torque sensor jig is coupled to the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for torque correction in a state where the second turn stage of the 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention is not operating .
6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)의 초기 위치는 도 3 에 도시한 바와 같이 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)와 수직한 방향으로 이격되어 배치되는 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120) 상부에 위치한다. As shown in FIG. 3, the initial position of the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141 is perpendicular to the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 130 for force correction. It is located above the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 120 for torque correction that is spaced apart in the direction.
6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)의 초기 위치에서 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)이 구동되어 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 하강시켜 도 4 에 도시한 바와 같이 제2턴 스테이지(143)가 동작하지 않은 상태에서 6축 힘토크 센서 지그(110)를 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120)에 결합시키고, x축 토크 캘리브레이션을 수행한다.The 6-axis force-torque sensor loading cartesian robot 144 is driven at the initial position of the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141, and the 6-axis force-torque sensor jig holder 141 4 by lowering the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the vertical direction, and as shown in FIG. The 6-axis force-torque sensor for calibration is coupled to the jig fixing part 120, and x-axis torque calibration is performed.
x축 토크 캘리브레이션이 종료되면, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)이 구동되어 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 승강시켜 도 3 에 도시한 바와 같이 6축 힘토크 센서 지그(110)를 초기 위치로 복귀시킨다.When the x-axis torque calibration is completed, the 6-axis sensor loading cartesian robot 144 is driven to lift the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141 in the vertical direction. As shown in FIG. 3, the 6-axis force-torque sensor jig 110 is returned to its initial position.
이 상태에서 제1턴 스테이지(142)를 수평 방향으로 90도 시계 방향으로 회전시켜 토크 캘리브레이션 방향을 y축으로 변경하고, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)이 구동되어 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 하강시켜 6축 힘토크 센서 지그(110)를 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120)에 결합시키고, y축 토크 캘리브레이션을 수행한다.In this state, the first turn stage 142 is rotated 90 degrees clockwise in the horizontal direction to change the torque calibration direction to the y-axis, and the 6-axis sensor loading Cartesian robot 144 is driven to generate the 6-axis force-torque sensor jig The 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the holder 141 is lowered vertically to combine the 6-axis force-torque sensor jig 110 with the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 120 for torque compensation, Perform y-axis torque calibration.
도 5 는 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 제2턴 스테이지가 동작한 상태에서 6축 힘토크 센서 지그가 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부에 결합된 것을 예시한 사시도이다.5 is a perspective view illustrating that the 6-axis force-torque sensor jig is coupled to the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for torque compensation in a state in which the second turn stage of the 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention is in operation.
y축 토크 캘리브레이션이 종료되면, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)이 구동되어 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 승강시켜 6축 힘토크 센서 지그(110)를 초기 위치로 복귀시킨 후 제1턴 스테이지(142)를 수평 방향으로 90도 반시계 방향으로 회전시킨다.When the y-axis torque calibration is completed, the Cartesian robot 144 for loading the 6-axis sensor is driven to lift the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141 in the vertical direction. After returning the 6-axis force-torque sensor jig 110 to its initial position, the first turn stage 142 is rotated 90 degrees counterclockwise in the horizontal direction.
이 상태에서 제2턴 스테이지(143)를 수직 방향으로 90도 시계 방향으로 회전시켜 토크 캘리브레이션 방향을 z축으로 변경하고, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)이 구동되어 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 하강시켜 도 5 에 도시한 바와 같이 제2턴 스테이지(143)가 동작한 상태에서 6축 힘토크 센서 지그(110)를 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120)에 결합시키고, z축 토크 캘리브레이션을 수행한다.In this state, the second turn stage 143 is rotated 90 degrees clockwise in the vertical direction to change the torque calibration direction to the z-axis, and the 6-axis sensor loading Cartesian robot 144 is driven to generate the 6-axis force-torque sensor jig The 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the holder 141 is lowered in the vertical direction, and as shown in FIG. ) is coupled to the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 120 for torque correction, and z-axis torque calibration is performed.
z축 토크 캘리브레이션이 종료되면, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)이 구동되어 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 승강시켜 6축 힘토크 센서 지그(110)를 초기 위치로 복귀시킨 후 제2턴 스테이지(143)를 수직 방향으로 90도 반시계 방향으로 회전시킨다.When the z-axis torque calibration is completed, the Cartesian robot 144 for loading the 6-axis sensor is driven to lift the 6-axis force torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force torque sensor jig holder 141 in the vertical direction. After returning the 6-axis force-torque sensor jig 110 to its initial position, the second turn stage 143 is rotated 90 degrees counterclockwise in the vertical direction.
도 6 은 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 제2턴 스테이지가 동작하지 않은 상태에서 6축 힘토크 센서 지그가 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부에 결합된 것을 예시한 사시도이다.6 is a perspective view illustrating that the 6-axis force-torque sensor jig is coupled to the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for force calibration in a state where the second turn stage of the 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention is not operating .
x, y, z축 토크 캘리브레이션이 종료되면, 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)의 초기 위치에서 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)이 구동되어 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 하강시켜 도 6 에 도시한 바와 같이 제2턴 스테이지(143)가 동작하지 않은 상태에서 6축 힘토크 센서 지그(110)를 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)에 결합시키고, x축 힘 캘리브레이션을 수행한다.When the x, y, and z-axis torque calibration is finished, the Cartesian robot 144 for loading the 6-axis sensor at the initial position of the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141 The 6-axis force-torque sensor jig 110, which is driven and fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141, is lowered in the vertical direction, and as shown in FIG. 6, the second turn stage 143 is not operating. In , the 6-axis force-torque sensor jig 110 is coupled to the 6-axis force-torque sensor jig fixture 130 for force calibration, and x-axis force calibration is performed.
x축 힘 캘리브레이션이 종료되면, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)이 구동되어 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 승강시켜 도 3 에 도시한 바와 같이 6축 힘토크 센서 지그(110)를 초기 위치로 복귀시킨다.When the x-axis force calibration is completed, the Cartesian robot 144 for loading the 6-axis sensor is driven to lift the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141 in the vertical direction. As shown in FIG. 3, the 6-axis force-torque sensor jig 110 is returned to its initial position.
이 상태에서 제1턴 스테이지(142)를 수평 방향으로 90도 시계 방향으로 회전시켜 힘 캘리브레이션 방향을 y축으로 변경하고, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)이 구동되어 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 하강시켜 6축 힘토크 센서 지그(110)를 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)에 결합시키고, y축 힘 캘리브레이션을 수행한다.In this state, the first turn stage 142 is rotated 90 degrees clockwise in the horizontal direction to change the force calibration direction to the y-axis, and the 6-axis sensor loading cartesian robot 144 is driven to generate the 6-axis force-torque sensor jig The 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the holder 141 is lowered vertically to combine the 6-axis force-torque sensor jig 110 with the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 130 for force correction, Perform y-axis force calibration.
도 7 은 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 제2턴 스테이지가 동작한 상태에서 6축 힘토크 센서 지그가 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부에 결합된 것을 예시한 사시도이다.7 is a perspective view illustrating that the 6-axis force-torque sensor jig is coupled to the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for force calibration in a state in which the second turn stage of the 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention operates.
y축 힘 캘리브레이션이 종료되면, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)이 구동되어 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 승강시켜 6축 힘토크 센서 지그(110)를 초기 위치로 복귀시킨 후 제1턴 스테이지(142)를 수평 방향으로 90도 반시계 방향으로 회전시킨다.When the y-axis force calibration is completed, the Cartesian robot 144 for loading the 6-axis sensor is driven to lift the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141 in the vertical direction. After returning the 6-axis force-torque sensor jig 110 to its initial position, the first turn stage 142 is rotated 90 degrees counterclockwise in the horizontal direction.
이 상태에서 제2턴 스테이지(143)를 수직 방향으로 90도 시계 방향으로 회전시켜 힘 캘리브레이션 방향을 z축으로 변경하고, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)이 구동되어 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 하강시켜 도 7 에 도시한 바와 같이 제2턴 스테이지(143)가 동작한 상태에서 6축 힘토크 센서 지그(110)를 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)에 결합시키고, z축 힘 캘리브레이션을 수행한다.In this state, the second turn stage 143 is rotated 90 degrees clockwise in the vertical direction to change the force calibration direction to the z-axis, and the 6-axis sensor loading Cartesian robot 144 is driven to generate the 6-axis force-torque sensor jig The 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the holder 141 is lowered in the vertical direction, and the second turn stage 143 is operated as shown in FIG. ) is coupled to the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 130 for force correction, and z-axis force calibration is performed.
z축 힘 캘리브레이션이 종료되면, 6축 센서 로딩용 직교로봇(144)이 구동되어 6축 힘토크 센서 지그 홀더(141)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)를 수직 방향으로 승강시켜 6축 힘토크 센서 지그(110)를 초기 위치로 복귀시킨 후 제2턴 스테이지(143)를 수직 방향으로 90도 반시계 방향으로 회전시킨다.When the z-axis force calibration is completed, the orthogonal robot 144 for loading the 6-axis sensor is driven to lift the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder 141 in the vertical direction. After returning the 6-axis force-torque sensor jig 110 to its initial position, the second turn stage 143 is rotated 90 degrees counterclockwise in the vertical direction.
토크 기준 분동 공급부(150)는 토크 기준 분동(151)을 공급한다. 도 8 은 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 토크 기준 분동 공급부의 일 실시예의 구성을 도시한 사시도이다.The torque reference weight supply unit 150 supplies the torque reference weight 151 . 8 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of a torque reference weight supply unit of a 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention.
도 8 에 도시한 바와 같이, 토크 기준 분동 공급부(150)는 토크 기준 분동(151)과, 토크 기준 분동 로딩 로봇(152)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 8 , the torque reference weight supply unit 150 may include a torque reference weight 151 and a torque reference weight loading robot 152 .
토크 기준 분동(151)은 6축 힘토크 센서(200)의 토크 출력값 캘리브레이션을 위한 기준 무게로, 토크 캘리브레이션 하고자 하는 범위를 정밀 등급에 따라 균등하게 나누어진 N개의 균등한 단위 분동들로 구성될 수 있다.The torque reference weight 151 is a reference weight for calibrating the torque output value of the 6-axis force-torque sensor 200, and can be composed of N equal unit weights equally divided according to the precision grade of the range to be torque calibrated. there is.
토크 기준 분동 로딩 로봇(152)은 토크 기준 분동(151)을 로딩(Loading)하되, 토크 캘리브레이션시 1/N로 설정된 구간별로 토크 기준 분동(151) 상승과 하강을 통하여 토크 기준 분동(151)을 로딩하도록 구현될 수 있다.The torque reference weight loading robot 152 loads the torque reference weight 151, but during torque calibration, the torque reference weight 151 is loaded by raising and lowering the torque reference weight 151 for each section set to 1/N. It can be implemented to load.
힘 기준 분동 공급부(160)는 힘 기준 분동(161)을 공급한다. 도 9 는 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 힘 기준 분동 공급부의 일 실시예의 구성을 도시한 사시도이다.The force reference weight supply unit 160 supplies a force reference weight 161 . 9 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of a force reference weight supply unit of a 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention.
도 9 에 도시한 바와 같이, 힘 기준 분동 공급부(160)는 힘 기준 분동(161)과, 힘 기준 분동 로딩 로봇(162)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 9 , the force reference weight supply unit 160 may include a force reference weight 161 and a force reference weight loading robot 162 .
힘 기준 분동(161)은 6축 힘토크 센서(200)의 힘 출력값 캘리브레이션을 위한 기준 무게로, 힘 캘리브레이션 하고자 하는 범위를 정밀 등급에 따라 균등하게 나누어진 N개의 균등한 단위 분동들로 구성될 수 있다.The force reference weight 161 is a reference weight for calibrating the force output value of the 6-axis force-torque sensor 200, and can be composed of N equal unit weights equally divided according to the precision grade of the range to be force calibrated. there is.
힘 기준 분동 로딩 로봇(162)은 힘 기준 분동(161)을 로딩(Loading)하되, 힘 캘리브레이션시 1/N로 설정된 구간별로 힘 기준 분동(161) 상승과 하강을 통하여 힘 기준 분동(161)을 로딩하도록 구현될 수 있다.The force reference weight loading robot 162 loads the force reference weight 161, but during force calibration, the force reference weight 161 is loaded by raising and lowering the force reference weight 161 for each section set to 1/N. It can be implemented to load.
캘리브레이션용 토크 인가부(170)는 토크 기준 분동 공급부(150)에 의해 공급되는 토크 기준 분동(151)으로부터 토크 캘리브레이션을 위한 토크를 발생시켜 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)에 장착되는 6축 힘토크 센서(200)에 인가한다.The torque application unit 170 for calibration generates torque for torque calibration from the torque reference weight 151 supplied by the torque reference weight supply unit 150 and uses the 6-axis force torque sensor jig fixing unit 120 for torque calibration. It is applied to the 6-axis force-torque sensor 200 mounted on the fixed 6-axis force-torque sensor jig 110.
예컨대, 캘리브레이션용 토크 인가부(170)가 토크 기준 분동 공급부(150)에 의해 공급되는 토크 기준 분동(151)을 거치하되, 거치되는 토크 기준 분동(151)에 의해 회전하여 토크를 발생시켜 6축 힘토크 센서(200)에 인가하는 토크 기준 분동 거치 아암 형태로 구현될 수 있다.For example, the torque reference weight 151 supplied by the torque reference weight supply unit 150 is mounted by the torque application unit 170 for calibration, and is rotated by the mounted torque reference weight 151 to generate torque so that the 6-axis It may be implemented in the form of an arm for holding a torque reference weight applied to the force torque sensor 200 .
토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(120)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)에 장착되는 6축 힘토크 센서(200)에 캘리브레이션용 토크 인가부(170)를 통해 토크를 인가하면서, 위에 설명한 바와 같이 x, y, z축 토크 캘리브레이션을 수행한다.6-axis force-torque sensor for torque correction The torque is applied to the 6-axis force-torque sensor 200 mounted on the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the jig fixing part 120 through the torque application unit 170 for calibration. While applying, perform x, y, z axis torque calibration as described above.
캘리브레이션용 힘 인가부(180)는 힘 기준 분동 공급부(160)에 의해 공급되는 힘 기준 분동(161)으로부터 힘 캘리브레이션을 위한 힘을 발생시켜 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)에 장착되는 6축 힘토크 센서(200)에 인가한다.The force applying unit 180 for calibration generates force for force calibration from the force standard weight 161 supplied by the force standard weight supply unit 160, and uses the 6-axis force torque sensor jig fixing unit 130 for force calibration. It is applied to the 6-axis force-torque sensor 200 mounted on the fixed 6-axis force-torque sensor jig 110.
예컨대, 캘리브레이션용 힘 인가부(180)가 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더(181)와, 한쌍의 와이어(182)와, 한쌍의 로울러(183)를 포함할 수 있다.For example, the force application unit 180 for calibration may include a 6-axis force-torque sensor jig fixing slider 181 for force calibration, a pair of wires 182, and a pair of rollers 183.
힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더(181)는 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)를 슬라이딩(sliding) 시킨다.The 6-axis force torque sensor jig fixing part slider 181 for force compensation slides the 6-axis force torque sensor jig fixing part 130 for force compensation.
한쌍의 와이어(182)는 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더(181) 양측 중심과, 한쌍의 힘 기준 분동(161) 간에 각각 연결된다.A pair of wires 182 are connected between the center of both sides of the 6-axis force torque sensor jig fixing slider 181 for force correction and the pair of force reference weights 161, respectively.
한쌍의 로울러(183)는 한쌍의 힘 기준 분동(161)에 의해 수직 방향으로 작용하는 중력을 한쌍의 와이어(182)를 통해 수평 방향의 왕복력으로 변환하여 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더(181)에 인가함으로써 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더를 수평 방향으로 왕복 운동시킨다.The pair of rollers 183 converts the gravity acting in the vertical direction by the pair of force reference weights 161 into the reciprocating force in the horizontal direction through the pair of wires 182, 6-axis force torque sensor jig fixture for force correction By applying to the slider 181, the 6-axis force-torque sensor jig fixing slider for force correction is reciprocated in the horizontal direction.
그러면, 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더(181) 왕복 운동에 의해 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)가 슬라이딩 되면서 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)에 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)에 장착되는 6축 힘토크 센서(200)에 캘리브레이션용 힘이 인가된다. Then, the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 130 for force correction slides by the reciprocating motion of the 6-axis force-torque sensor jig fixing part slider 181 for force correction, and slides to the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 130 for force correction. Calibration force is applied to the 6-axis force-torque sensor 200 mounted on the fixed 6-axis force-torque sensor jig 110 .
힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부(130)에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그(110)에 장착되는 6축 힘토크 센서(200)에 캘리브레이션용 힘 인가부(180)를 통해 힘을 인가하면서, 위에 설명한 바와 같이 x, y, z축 힘 캘리브레이션을 수행한다.Force is applied to the 6-axis force-torque sensor 200 mounted on the 6-axis force-torque sensor jig 110 fixed by the 6-axis force-torque sensor jig fixing part 130 through the force applying unit 180 for calibration While applying, perform x, y, and z-axis force calibration as described above.
이와 같이 구현함에 의해 본 발명은 서로 직교하는 3축을 중심으로 회전하는 캘리브레이션용 토크와, 서로 직교하는 3축 방향으로 작용하는 캘리브레이션용 힘을 6축 힘토크 센서에 인가하여 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력 오차를 자동으로 보상함으로써 수동 방식으로 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력 오차를 보상하는 종래의 방식에 비해 오차 보상에 소요되는 시간을 단축할 수 있고, 오차 보상 정밀도를 향상할 수 있다.By implementing in this way, the present invention applies a calibration torque rotating around three axes orthogonal to each other and a calibration force acting in three axes orthogonal to each other to the 6-axis force torque sensor, thereby obtaining the torque of the 6-axis force torque sensor By automatically compensating the output and force output errors, the time required for error compensation can be shortened and the error compensation precision improved compared to the conventional method of manually compensating for the torque output and force output errors of the 6-axis force-torque sensor. can do.
또한, 본 발명은 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력 오차 보상 자동화를 통해 6축 힘토크 센서 생산성 및 원가를 절감할 수 있고, 신뢰성을 향상할 수 있으므로, 6축 힘토크 센서 사용에 대한 범용성을 향상할 수 있다.In addition, the present invention can reduce the productivity and cost of the 6-axis force-torque sensor through the automation of torque output and force output error compensation of the 6-axis force-torque sensor, and can improve reliability. Versatility can be improved.
한편, 발명의 부가적인 양상에 따르면, 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치(100)가 토크 기준 분동 거치 아암 수평 유지부(190)를 더 포함할 수 있다. 토크 기준 분동 거치 아암 수평 유지부(190)는 캘리브레이션용 토크 인가부(170)로 사용되는 토크 기준 분동 거치 아암의 수평을 유지한다.Meanwhile, according to an additional aspect of the present invention, the 6-axis force-torque sensor calibration device 100 may further include a torque reference weight mounting arm leveling unit 190 . The torque reference weight placement arm leveling unit 190 maintains a level of the torque reference weight placement arm used as the torque application unit 170 for calibration.
도 10 은 본 발명에 따른 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치의 토크 기준 분동 거치 아암 수평 유지부의 일 실시예의 구성을 도시한 사시도이다. 도 10 에 도시한 바와 같이, 토크 기준 분동 거치 아암 수평 유지부(190)는 서보모터(Servomotor)(191)와, 감속기(192)와, 절대값 엔코더(193)와, 수평 유지 전자 클러치(194)와, 캘리브레이션용 전자 클러치(195)와, 커플링(196)을 포함한다.10 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of a leveling unit for a torque standard weight mounting arm of a 6-axis force-torque sensor calibration device according to the present invention. As shown in FIG. 10, the torque reference weight holding arm leveling unit 190 includes a servomotor 191, a speed reducer 192, an absolute value encoder 193, and a leveling electromagnetic clutch 194. ), an electromagnetic clutch 195 for calibration, and a coupling 196.
서보모터(Servomotor)(191)는 토크 기준 분동 거치 아암에 거치되는 토크 기준 분동(151)에 의해 회전한 토크 기준 분동 거치 아암이 수평 상태로 복귀하도록 토크 기준 분동 거치 아암을 회전시킨다.A servomotor 191 rotates the torque reference weight arm, which is rotated by the torque reference weight 151 mounted on the torque reference weight arm, to return to a horizontal state.
감속기(192)는 서보모터(191)를 감속시킨다. 절대값 엔코더(193)는 토크 기준 분동 거치 아암의 수평 상태를 검출한다. 절대값 엔코더(193)에 의해 토크 기준 분동 거치 아암의 수평 상태를 검출하여, 수평 상태를 벗어날 경우 서보모터(191)와 감속기(192)를 통해 토크 기준 분동 거치 아암을 수평 상태로 복귀시킨다.The reducer 192 decelerates the servomotor 191. The absolute value encoder 193 detects the horizontal state of the torque reference weight bearing arm. The horizontal state of the torque reference weight bearing arm is detected by the absolute value encoder 193, and when it is out of the horizontal state, the torque reference weight bearing arm is returned to the horizontal state through the servomotor 191 and the reducer 192.
한편, 토크 기준 분동 거치 아암의 상부에 수평 레벨기(도면 도시 생략)를 더 부착하여 이를 통해 토크 기준 분동 거치 아암의 수평 상태를 육안으로도 확인하도록 구현될 수도 있다.Meanwhile, a horizontal level (not shown) may be further attached to the upper portion of the torque reference weight arm to visually check the horizontal state of the torque reference weight arm.
수평 유지 전자 클러치(194)는 절대값 엔코더(193)에 의해 검출되는 토크 기준 분동 거치 아암의 수평 상태값에 따라 서보모터(191)에 의한 회전력을 토크 기준 분동 거치 아암측으로 전달하거나 또는 단속한다.The leveling electromagnetic clutch 194 transmits or regulates the rotational force by the servomotor 191 to the torque reference weight arm side according to the horizontal state value of the torque reference weight bearing arm detected by the absolute value encoder 193.
캘리브레이션용 전자 클러치(195)는 절대값 엔코더(193)에 의해 검출되는 토크 기준 분동 거치 아암의 수평 상태값에 따라 6축 힘토크 센서(200)에 토크를 인가 또는 단속한다.The electronic clutch 195 for calibration applies or regulates torque to the 6-axis force-torque sensor 200 according to the horizontal state value of the torque reference weight bearing arm detected by the absolute value encoder 193 .
커플링(196)은 서보모터(191)에 의한 회전력을 토크 기준 분동 거치 아암으로 링크시켜 전달한다.The coupling 196 transmits the rotational force of the servomotor 191 by linking it to the torque reference weight bearing arm.
예컨대, 절대값 엔코더(193)에 의해 검출되는 토크 기준 분동 거치 아암의 수평 상태값이 설정값을 벗어날 경우, 캘리브레이션용 전자 클러치(195)는 오픈(Open)되어 열리고, 수평 유지 전자 클러치(194)는 클로우즈(Close)되어 닫혀서 수평 유지 전자 클러치(194)가 서보모터(191)에 의한 회전력을 감속기(192)를 통해 감속하여 토크 기준 분동 거치 아암측으로 전달함으로써 토크 기준 분동 거치 아암이 수평 상태로 복귀하도록 구현될 수 있다.For example, when the horizontal state value of the torque reference weight bearing arm detected by the absolute value encoder 193 deviates from the set value, the calibration electromagnetic clutch 195 is opened and opened, and the horizontal maintenance electromagnetic clutch 194 is closed and closed so that the leveling electromagnetic clutch 194 decelerates the rotational force by the servo motor 191 through the reducer 192 and transmits it to the torque reference weight bearing arm side, so that the torque reference weight bearing arm returns to a horizontal state can be implemented to
한편, 토크 기준 분동 거치 아암이 수평 상태로 복귀되면, 캘리브레이션용 전자 클러치(195)는 클로우즈(Close)되어 닫히고, 수평 유지 전자 클러치(194)는 오픈(Open)되어 열려서, 캘리브레이션용 전자 클러치(195)를 통해 6축 힘토크 센서(200)에 토크가 인가되도록 구현될 수 있다.On the other hand, when the torque reference weight bearing arm is returned to the horizontal state, the calibration electromagnetic clutch 195 is closed and closed, and the leveling electromagnetic clutch 194 is opened and opened, so that the calibration electromagnetic clutch 195 ), it can be implemented so that torque is applied to the 6-axis force-torque sensor 200.
이와 같이 구현함에 의해 본 발명은 6축 힘토크 센서(200)에 토크를 인가하는 캘리브레이션용 토크 인가부(170)로 사용되는 토크 기준 분동 거치 아암이 6축 힘토크 센서(200)에 토크를 인가한 후 토크 기준 분동 거치 아암 수평 유지부(190)에 의해 수평 상태로 복귀되도록 함으로써 토크 기준 분동 거치 아암이 수평 상태를 유지하도록 할 수 있다.By implementing in this way, the present invention applies a torque reference weight holding arm used as a torque application unit 170 for calibration to apply torque to the 6-axis force-torque sensor 200 to apply torque to the 6-axis force-torque sensor 200 After that, the arm for holding the torque reference weight can be maintained in a horizontal state by returning it to a horizontal state by the arm leveling unit 190 for holding the torque reference weight.
한편, 발명의 부가적인 양상에 따르면, 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치(100)가 제어부(도면 도시 생략)를 더 포함할 수 있다. 제어부는 캘리브레이션용 토크 인가부(170)로부터 토크 캘리브레이션을 위한 토크와, 캘리브레이션용 힘 인가부(180)로부터 힘 캘리브레이션을 위한 힘을 인가받은 6축 힘토크 센서(200)로부터 출력되는 토크 출력값과 힘 출력값의 상관 관계에 기반하여 6축 힘토크 센서(200)의 토크 출력과 힘 출력을 캘리브레이션(Calibration) 한다.Meanwhile, according to an additional aspect of the present invention, the 6-axis force-torque sensor calibration device 100 may further include a controller (not shown). The control unit receives the torque for torque calibration from the calibration torque application unit 170 and the force for force calibration from the calibration force application unit 180, and outputs a torque output value and force output from the 6-axis force torque sensor 200 Based on the correlation of the output values, the torque output and the force output of the 6-axis force-torque sensor 200 are calibrated.
예컨대, 캘리브레이션용 토크 인가부(170)로부터 입력되는 토크 캘리브레이션을 위한 x, y, z축 토크의 크기가 Tx, Ty, Tz이고, 캘리브레이션용 힘 인가부(180)로부터 입력되는 힘 캘리브레이션을 위한 힘의 크기가 Fx, Fy, Fz이고, 6축 힘토크 센서(200)로부터 출력되는 Tx, Ty, Tz에 대응하는 정전 용량값(토크 출력값)이 Ctx, Cty, Ctz이고, Fx, Fy, Fz에 대응하는 정전 용량값(힘 출력값)이 Cfz, Cfy, Cfz라 하자.For example, the magnitudes of the x, y, and z-axis torques for torque calibration input from the calibration torque application unit 170 are Tx, Ty, and Tz, and the force input from the calibration force application unit 180 is the force for calibration is Fx, Fy, and Fz, capacitance values (torque output values) corresponding to Tx, Ty, and Tz output from the 6-axis force-torque sensor 200 are Ctx, Cty, and Ctz, and Fx, Fy, and Fz are Let the corresponding capacitance values (force output values) be Cfz, Cfy, and Cfz.
그러면, 제어부가 6축 힘토크 센서(200)로부터 토크 출력값과 힘 출력값 Ctx, Cty, Ctz와 Cfz, Cfy, Cfz를 수신하고, 수신된 토크 출력값과 힘 출력값들인 Ctx, Cty, Ctz와 Cfz, Cfy, Cfz의 상관 관계에 기반하여 6축 힘토크 센서(200)의 토크 출력과 힘 출력에 대한 캘리브레이션을 소프트웨어적으로 수행한다. 이 때, 제어부가 6축 힘토크 센서(200) 출력단에 연결되는 PC 등과 같은 컴퓨팅 장치 형태로 구현될 수 있다.Then, the control unit receives the torque output value and the force output value Ctx, Cty, Ctz and Cfz, Cfy, Cfz from the 6-axis force torque sensor 200, and the received torque output value and the force output value Ctx, Cty, Ctz and Cfz, Cfy , Cfz, the torque output and the force output of the 6-axis force-torque sensor 200 are calibrated in software. At this time, the controller may be implemented in the form of a computing device such as a PC connected to the output end of the 6-axis force-torque sensor 200 .
토크 출력값과 힘 출력값의 상관 관계에 기반하여 6축 힘토크 센서(200)의 토크 출력과 힘 출력에 대한 캘리브레이션을 소프트웨어적으로 수행하는 알고리즘은 이 출원전에 이미 다양하게 공지되어 수행되는 통상의 사항이므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.The algorithm for performing software calibration of the torque output and force output of the 6-axis force-torque sensor 200 based on the correlation between the torque output value and the force output value is a common practice that has already been variously known and performed prior to this application. , a detailed description thereof is omitted.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 서로 직교하는 3축을 중심으로 회전하는 캘리브레이션용 토크와, 서로 직교하는 3축 방향으로 작용하는 캘리브레이션용 힘을 6축 힘토크 센서에 인가하여 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력 오차를 자동으로 보상함으로써 수동 방식으로 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력 오차를 보상하는 종래의 방식에 비해 오차 보상에 소요되는 시간을 단축할 수 있고, 오차 보상 정밀도를 향상할 수 있다.As described above, the present invention provides a 6-axis force-torque sensor by applying a calibration torque rotating around 3 axes orthogonal to each other and a calibration force acting in 3-axis directions orthogonal to each other to a 6-axis force-torque sensor. By automatically compensating for torque output and force output errors, the time required for error compensation can be shortened compared to the conventional method of manually compensating for torque output and force output errors of a 6-axis force-torque sensor, and error compensation accuracy can be improved. can improve
또한, 본 발명은 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력 오차 보상 자동화를 통해 6축 힘토크 센서 생산성 및 원가를 절감할 수 있고, 신뢰성을 향상할 수 있으므로, 6축 힘토크 센서 사용에 대한 범용성을 향상할 수 있다.In addition, the present invention can reduce the productivity and cost of the 6-axis force-torque sensor through the automation of torque output and force output error compensation of the 6-axis force-torque sensor, and can improve reliability. Versatility can be improved.
본 명세서 및 도면에 개시된 다양한 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 다양한 실시예들의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. Various embodiments disclosed in this specification and drawings are only presented as specific examples to aid understanding, and are not intended to limit the scope of various embodiments of the present invention.
따라서, 본 발명의 다양한 실시예들의 범위는 여기에서 설명된 실시예들 이외에도 본 발명의 다양한 실시예들의 기술적 사상을 바탕으로 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 다양한 실시예들의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the scope of various embodiments of the present invention includes all changes or modified forms derived based on the technical spirit of various embodiments of the present invention other than the embodiments described herein are included in the scope of various embodiments of the present invention. should be interpreted as being
본 발명은 센서 출력 캘리브레이션(Calibration) 관련 기술분야 및 이의 응용 기술분야에서 산업상으로 이용 가능하다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used industrially in the sensor output calibration related technical field and its application technical field.
100 : 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치
101 : 베이스 플레이트
102 : 프레임
110 : 6축 힘토크 센서 지그
111 : 지그 본체
111a : 아마추어 탑재돌기
112 : x축 아마추어
113 : y축 아마추어
114 : 홀딩캡
120 : 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부
121 : 힘토크 센서 지그 결합 스테이터
122 : 회전 샤프트
123 : 토크 전달부
130 : 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부
131 : 힘토크 센서 지그 결합 스테이터
132 : 힘 전달부
140 : 6축 힘토크 센서 로딩부
141 : 6축 힘토크 센서 지그 홀더
142 : 제1턴 스테이지
143 : 제2턴 스테이지
144 : 6축 센서 로딩용 직교로봇
144a : 원점 센서
145 : 고정 브라켓
150 : 토크 기준 분동 공급부
151 : 토크 기준 분동
152 : 토크 기준 분동 로딩 로봇
160 : 힘 기준 분동 공급부
161 : 힘 기준 분동
162 : 힘 기준 분동 로딩 로봇
170 : 캘리브레이션용 토크 인가부
180 : 캘리브레이션용 힘 인가부
181 : 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더
182 : 와이어
183 : 로울러
190 : 토크 기준 분동 거치 아암 수평 유지부
191 : 서보모터
192 : 감속기
193 : 절대값 엔코더
194 : 수평 유지 전자 클러치
195 : 캘리브레이션용 전자 클러치
196 : 커플링
200 : 6축 힘토크 센서100: 6-axis force-torque sensor calibration device
101: base plate
102: frame
110: 6-axis force torque sensor jig
111: jig body
111a: armature mounting projection
112: x-axis armature
113: y-axis armature
114: holding cap
120: 6-axis force torque sensor jig fixing part for torque compensation
121: force torque sensor jig coupling stator
122: rotating shaft
123: torque transmission unit
130: 6-axis force torque sensor jig fixing part for force correction
131: force torque sensor jig coupling stator
132: force transmission unit
140: 6-axis force-torque sensor loading unit
141: 6-axis force-torque sensor jig holder
142: 1st turn stage
143: 2nd turn stage
144: Cartesian robot for 6-axis sensor loading
144a: origin sensor
145: fixed bracket
150: torque reference weight supply unit
151: torque reference weight
152: torque reference weight loading robot
160: force reference weight supply unit
161: force reference weight
162: force-based weight loading robot
170: torque application unit for calibration
180: force application unit for calibration
181: 6-axis force torque sensor jig fixing slider for force correction
182: wire
183: roller
190: Torque reference weight mounting arm leveling unit
191: servo motor
192: reducer
193: absolute value encoder
194: leveling electromagnetic clutch
195: electronic clutch for calibration
196: Coupling
200: 6-axis force torque sensor
Claims (10)
6축 힘토크 센서의 토크 출력값을 캘리브레이션(Calibration) 하기 위해 6축 힘토크 센서 지그를 고정하는 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부와;
6축 힘토크 센서의 힘 출력값을 캘리브레이션(Calibration) 하기 위해 6축 힘토크 센서 지그를 고정하는 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부와;
토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 또는 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 위치로 6축 힘토크 센서가 장착된 6축 힘토크 센서 지그를 로딩(Loading)하는 6축 힘토크 센서 로딩부와;
토크 기준 분동을 공급하는 토크 기준 분동 공급부와;
힘 기준 분동을 공급하는 힘 기준 분동 공급부와;
토크 기준 분동 공급부에 의해 공급되는 토크 기준 분동을 거치하되, 거치되는 토크 기준 분동에 의해 회전하여 토크 캘리브레이션을 위한 토크를 발생시켜, 토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그에 장착되는 6축 힘토크 센서에 인가하는 토크 기준 분동 거치 아암 형태로 구현되는 캘리브레이션용 토크 인가부와;
토크 기준 분동 거치 아암의 수평을 유지하는 토크 기준 분동 거치 아암 수평 유지부와;
힘 기준 분동 공급부에 의해 공급되는 힘 기준 분동으로부터 힘 캘리브레이션을 위한 힘을 발생시켜 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그에 장착되는 6축 힘토크 센서에 인가하는 캘리브레이션용 힘 인가부를;
포함하는 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치.A 6-axis force-torque sensor jig to which a 6-axis force-torque sensor is mounted;
A 6-axis force-torque sensor jig fixing part for torque correction for fixing the 6-axis force-torque sensor jig in order to calibrate the torque output value of the 6-axis force-torque sensor;
A 6-axis force-torque sensor jig fixing part for force correction for fixing the 6-axis force-torque sensor jig to calibrate the force output value of the 6-axis force-torque sensor;
The 6-axis force-torque sensor loading part that loads the 6-axis force-torque sensor jig with the 6-axis force-torque sensor to the position of the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for torque compensation or the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for force compensation. and;
a torque reference weight supply unit supplying a torque reference weight;
a force reference weight supply unit supplying a force reference weight;
Mounts the torque reference weight supplied by the torque reference weight supply unit, rotates by the mounted torque reference weight to generate torque for torque calibration, 6-axis force for torque correction 6-axis force fixed by the torque sensor jig fixing part a torque application unit for calibration implemented in the form of a standard weight bearing arm for applying torque to a 6-axis force-torque sensor mounted on a torque sensor jig;
a torque reference weight mounting arm leveling unit for maintaining a level of the torque reference weight mounting arm;
Force for force calibration is generated from the force reference weight supplied by the force reference weight supplier and applied to the 6-axis force-torque sensor mounted on the 6-axis force-torque sensor jig fixed by the 6-axis force-torque sensor jig fixing part for force calibration A force application unit for calibration;
6-axis force-torque sensor calibration device.
토크 기준 분동 거치 아암 수평 유지부가:
토크 기준 분동 거치 아암에 거치되는 토크 기준 분동에 의해 회전한 토크 기준 분동 거치 아암이 수평 상태로 복귀하도록 토크 기준 분동 거치 아암을 회전시키는 서보모터(Servomotor)와;
서보모터를 감속시키는 감속기와;
토크 기준 분동 거치 아암의 수평 상태를 검출하는 절대값 엔코더와;
절대값 엔코더에 의해 검출되는 토크 기준 분동 거치 아암의 수평 상태값에 따라 서보모터에 의한 회전력을 토크 기준 분동 거치 아암측으로 전달하거나 또는 단속하는 수평 유지 전자 클러치와;
절대값 엔코더에 의해 검출되는 토크 기준 분동 거치 아암의 수평 상태값에 따라 6축 힘토크 센서에 토크를 인가 또는 단속하는 캘리브레이션용 전자 클러치와;
서보모터에 의한 회전력을 토크 기준 분동 거치 아암으로 링크시켜 전달하는 커플링을;
포함하는 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치.According to claim 1,
Torque reference weight mounting arm leveling part:
a servomotor for rotating the torque reference weight mounting arm so that the torque reference weight mounting arm rotated by the torque reference weight mounted on the torque reference weight mounting arm returns to a horizontal state;
a reducer for decelerating the servo motor;
an absolute value encoder for detecting a horizontal state of the torque reference weight arm;
a leveling electromagnetic clutch that transmits or regulates the rotational force by the servomotor to the torque reference weight arm side according to the horizontal state value of the torque reference weight bearing arm detected by the absolute value encoder;
an electromagnetic clutch for calibration that applies or regulates torque to the 6-axis force-torque sensor according to the horizontal state value of the torque-based weight bearing arm detected by the absolute value encoder;
A coupling that transfers the rotational force by the servomotor by linking it to the torque reference weight mounting arm;
6-axis force-torque sensor calibration device.
힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부가:
토크 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부와 수직한 방향으로 이격되어 배치되는 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치.According to claim 1,
6-axis force-torque sensor jig fixture for force compensation:
6-axis force-torque sensor for torque correction A 6-axis force-torque sensor calibration device that is spaced apart from the jig fixing part in the vertical direction.
6축 힘토크 센서 로딩부가:
6축 힘토크 센서가 장착되는 6축 힘토크 센서 지그를 상부에서 고정하는 6축 힘토크 센서 지그 홀더와;
6축 힘토크 센서 지그 홀더에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그를 수평 방향으로 90도 회전시키는 제1턴 스테이지와;
6축 힘토크 센서 지그 홀더에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그를 수직 방향으로 90도 회전시키는 제2턴 스테이지와;
6축 힘토크 센서 지그 홀더에 의해 고정되는 6축 힘토크 센서 지그를 수직 방향으로 승하강시키는 6축 센서 로딩용 직교로봇을;
포함하는 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치.According to claim 1,
6-axis force-torque sensor loading:
A 6-axis force-torque sensor jig holder for fixing the 6-axis force-torque sensor jig on which the 6-axis force-torque sensor is mounted;
a first turn stage which rotates the 6-axis force-torque sensor jig fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder by 90 degrees in a horizontal direction;
a second turn stage which rotates the 6-axis force-torque sensor jig fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder by 90 degrees in a vertical direction;
A 6-axis sensor loading Cartesian robot that lifts and lowers the 6-axis force-torque sensor jig fixed by the 6-axis force-torque sensor jig holder in the vertical direction;
6-axis force-torque sensor calibration device.
캘리브레이션용 힘 인가부가:
힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부를 슬라이딩(sliding) 시키는 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더와;
힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더 양측 중심과, 한쌍의 힘 기준 분동 간에 각각 연결되는 한쌍의 와이어와;
한쌍의 힘 기준 분동에 의해 수직 방향으로 작용하는 중력을 한쌍의 와이어를 통해 수평 방향의 왕복력으로 변환하여 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더에 인가함으로써 힘 보정용 6축 힘토크 센서 지그 고정부 슬라이더를 수평 방향으로 왕복 운동시키는 한쌍의 로울러를;
포함하는 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치.According to claim 1,
The force application for calibration is:
a 6-axis force torque sensor jig fixing slider for force correction that slides the 6-axis force torque sensor jig fixing portion for force correction;
a pair of wires respectively connected between centers on both sides of the 6-axis force torque sensor jig fixing part slider for force correction and a pair of force reference weights;
The gravity acting in the vertical direction by a pair of force reference weights is converted into reciprocating force in the horizontal direction through a pair of wires and applied to the slider of the 6-axis force-torque sensor jig for force correction. A pair of rollers for reciprocating the top slider in a horizontal direction;
6-axis force-torque sensor calibration device.
토크 기준 분동 공급부가:
6축 힘토크 센서의 토크 출력값 캘리브레이션을 위한 기준 무게인 토크 기준 분동과;
토크 기준 분동을 로딩(Loading)하는 토크 기준 분동 로딩 로봇을;
포함하는 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치.According to claim 1,
The supply of torque reference weights:
a torque reference weight, which is a reference weight for calibrating the torque output value of the 6-axis force-torque sensor;
A torque reference weight loading robot for loading a torque reference weight;
6-axis force-torque sensor calibration device.
힘 기준 분동 공급부가:
6축 힘토크 센서의 힘 출력값 캘리브레이션을 위한 기준 무게인 힘 기준 분동과;
힘 기준 분동을 로딩(Loading)하는 힘 기준 분동 로딩 로봇을;
포함하는 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치.According to claim 1,
The supply of force reference weights:
a force reference weight that is a reference weight for calibrating the force output value of the 6-axis force torque sensor;
a force-based weight loading robot for loading force-based weights;
6-axis force-torque sensor calibration device.
6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치가:
캘리브레이션용 토크 인가부로부터 토크 캘리브레이션을 위한 토크와, 캘리브레이션용 힘 인가부로부터 힘 캘리브레이션을 위한 힘을 인가받은 6축 힘토크 센서로부터 출력되는 토크 출력값과 힘 출력값의 상관 관계에 기반하여 6축 힘토크 센서의 토크 출력과 힘 출력을 캘리브레이션(Calibration) 하는 제어부를;
더 포함하는 6축 힘토크 센서 캘리브레이션 장치.According to any one of claims 1 or 4 to 9,
The 6-axis force-torque sensor calibrator:
6-axis force torque based on the correlation between the torque output value and the force output value output from the 6-axis force torque sensor that receives the torque for torque calibration from the torque application unit for calibration and the force for force calibration from the force application unit for calibration A control unit for calibrating the torque output and force output of the sensor;
A 6-axis force-torque sensor calibration device that further includes.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210157210A KR102568289B1 (en) | 2021-11-16 | 2021-11-16 | Calibration apparatus for 6 axis force-torque sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210157210A KR102568289B1 (en) | 2021-11-16 | 2021-11-16 | Calibration apparatus for 6 axis force-torque sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230071240A KR20230071240A (en) | 2023-05-23 |
| KR102568289B1 true KR102568289B1 (en) | 2023-08-18 |
Family
ID=86544222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210157210A KR102568289B1 (en) | 2021-11-16 | 2021-11-16 | Calibration apparatus for 6 axis force-torque sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102568289B1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116989935B (en) * | 2023-08-03 | 2024-03-29 | 湖北恒隆凯迩必汽车电动转向系统有限公司 | Midpoint calibration equipment and method for torque sensor |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001133351A (en) | 1999-11-04 | 2001-05-18 | Akashi Corp | Torque calibrating apparatus |
| KR101835728B1 (en) | 2016-08-26 | 2018-03-07 | 주식회사 로보터스 | Calibration apparatus for 6-axis sensor |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3627028B2 (en) * | 1997-05-21 | 2005-03-09 | 独立行政法人 宇宙航空研究開発機構 | Force / torque sensor calibration method and apparatus |
| KR102215033B1 (en) | 2019-06-28 | 2021-02-10 | 성균관대학교 산학협력단 | Force/torque sensor capable of auto calibration and auto calibration method |
-
2021
- 2021-11-16 KR KR1020210157210A patent/KR102568289B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001133351A (en) | 1999-11-04 | 2001-05-18 | Akashi Corp | Torque calibrating apparatus |
| KR101835728B1 (en) | 2016-08-26 | 2018-03-07 | 주식회사 로보터스 | Calibration apparatus for 6-axis sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20230071240A (en) | 2023-05-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102469258B1 (en) | Robot adaptive placement system with end-effector position estimation | |
| US20180099421A1 (en) | Displacement measurement device, robot, and robot arm | |
| US9645565B2 (en) | Method and system for determination of at least one property of a joint | |
| US9563601B2 (en) | Force sensor correcting method | |
| US20190009410A1 (en) | Determining An Orientation Of A Robot Relative To The Direction Of Gravity | |
| US10967510B2 (en) | Robot arm processing system and method thereof | |
| CN105965505A (en) | Robot controlling method, robot apparatus, program and recording medium | |
| US20130190926A1 (en) | Method of controlling robot and robot | |
| EP2447696A1 (en) | Wind tunnel balance calibrator | |
| KR102568289B1 (en) | Calibration apparatus for 6 axis force-torque sensor | |
| JP6816495B2 (en) | Robot deflection correction method, robot control device | |
| CN113927599B (en) | Absolute precision compensation method, system, device and computer readable storage medium | |
| JP2010506738A (en) | System and method for automatically processing and / or machining a workpiece | |
| JP6542629B2 (en) | Positioning device and method for machining tool | |
| EP2404712A1 (en) | A dual arm robot and a method for controlling a dual arm robot | |
| JP2011112414A (en) | Force sensor testing device | |
| US11618163B2 (en) | Industrial robot system | |
| CN110053051A (en) | Industrial serial manipulator joint stiffness parameter identification method | |
| KR102394745B1 (en) | Method and apparatus for mounting electronic or optical components on a substrate | |
| EP2122422A2 (en) | A method and an apparatus for compensating for geometrical errors between work objects and a holding device | |
| US20220362898A1 (en) | Apparatus for active contact force control in machining and handling operations | |
| JPH10138075A (en) | Work attitude adjusting device, adjusting tool, and adjusting method | |
| CN112629748A (en) | Combined synchronous calibration device and method for reference type multi-dimensional force sensor | |
| CN111693040A (en) | Mechanical arm collision detection method based on series elastic driver | |
| US11141855B2 (en) | Robot system, method of controlling robot arm, recording medium, and method of manufacturing an article |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |