KR102558699B1 - Micro led display device whitout bezel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 베젤을 최소화할 수 있는 마이크로LED(Light Emitting Device) 표시장치에 관한 것으로, 상면에 박막트랜지스터가 배치된 기판과, 상기 기판 상면에 구비된 복수의 마이크로LED(Light Emitting Device)와, 상기 기판의 측면 또는 배면중 적어도 1면에 형성된 운하형상의 복수의 홈과, 상기 홈 내부 및 기판의 상면에 형성된 링크라인으로 구성된다.The present invention relates to a micro LED (Light Emitting Device) display device capable of minimizing a bezel, and is composed of a substrate on which thin film transistors are disposed, a plurality of micro LEDs (Light Emitting Devices) provided on the upper surface of the substrate, a plurality of canal-shaped grooves formed on at least one of the side surface or rear surface of the substrate, and link lines formed inside the grooves and on the upper surface of the substrate.

Figure R1020170168188
Figure R1020170168188

Description

베젤리스 마이크로LED 표시장치{MICRO LED DISPLAY DEVICE WHITOUT BEZEL}Bezel-less micro LED display {MICRO LED DISPLAY DEVICE WHITOUT BEZEL}

본 발명은 베젤을 최소화할 수 있는 마이크로LED 표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to a micro LED display device capable of minimizing a bezel.

공액고분자(conjugate polymer)의 하나인 폴리(p-페닐린비닐린)(PPV)을 이용한 유기전계 발광소자가 개발된 이래 전도성을 지닌 공액고분자와 같은 유기물에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다. 이러한 유기물을 박막트랜지스터(Thin Film Transistor), 센서, 레이저, 광전소자 등에 응용하기 위한 연구도 계속 진행되고 있으며, 그 중에서도 유기전계발광 표시장치에 대한 연구가 가장 활발하게 진행되고 있다.Since organic electroluminescent devices using poly(p-phenylinvinyline) (PPV), which is one of the conjugate polymers, have been developed, research on organic materials such as conductive conjugated polymers has been actively conducted. Research on the application of these organic materials to thin film transistors, sensors, lasers, photoelectric devices, etc. is still being conducted, and among them, research on organic light emitting display devices is being actively conducted.

인광물질(phosphors) 계통의 무기물로 이루어진 전계발광소자의 경우 작동전압이 교류 200V 이상 필요하고 소자의 제작 공정이 진공증착으로 이루어지기 때문에 대형화가 어렵고 특히 청색발광이 어려울 뿐만 아니라 제조가격이 높다는 단점이 있다. 그러나, 유기물로 이루어진 전계발광소자는 뛰어난 발광효율, 대면적화의 용이화, 공정의 간편성, 특히 청색발광을 용이하게 얻을 수 있다는 장점과 함께 휠 수 있는 전계발광소자의 개발이 가능하다는 점등에 의하여 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.In the case of an electroluminescent device made of inorganic materials of the phosphors system, an operating voltage of 200 V or more is required, and since the manufacturing process of the device is performed by vacuum deposition, it is difficult to increase the size and especially difficult to emit blue light, and the manufacturing cost is high. However, electroluminescent devices made of organic materials are in the limelight as a next-generation display device due to their excellent luminous efficiency, ease of large-area display, simplicity of process, and especially the ability to easily obtain blue light emission, as well as the possibility of developing bendable electroluminescent devices.

현재에는 액정표시장치와 마찬가지로 각 화소(pixel)에 능동형 구동소자를 구비한 액티브 매트릭스(Active Matrix) 유기전계발광 표시장치가 평판표시장치(Flat Panel Display)로서 활발히 연구되고 있다.Currently, an active matrix organic light emitting display having an active driving element in each pixel, like a liquid crystal display, is being actively researched as a flat panel display.

그러나, 이러한 유기전계발광 표시장치는 다음과 같은 문제가 있다.However, such an organic light emitting display device has the following problems.

일반적으로 유기전계발광 표시장치는 미세한 금속 섀도우마스크를 이용하여 기판상에 유기발광층을 증착한다. 그러나, 이러한 금속 섀도우마스크를 이용한 공정에서는 대면적 유기전계발광 표시장치를 형성하는 데에 한계가 있었다. 또한, 고해상도의 표시장치의 경우 금속 섀도우마스크를 고해상도로 제작해야 하지만, 이 금속 섀도우마스크의 제작에도 한계가 있었다.In general, an organic light emitting display device deposits an organic light emitting layer on a substrate using a fine metal shadow mask. However, a process using such a metal shadow mask has limitations in forming a large-area organic light emitting display device. In addition, in the case of a high-resolution display device, a metal shadow mask must be manufactured in high resolution, but there are limitations in manufacturing the metal shadow mask.

이러한 문제를 해결하기 위해, 백색 발광소자와 컬러필터를 조합한 유기전계발광 표시장치가 제안되고 있다. 이러한 백색 유기전계발광 표시장치에서는 유기물질의 사용량이 적고 공정시간이 짧으며 수율이 높고 비용이 절감된다는 장점이 있다. 그러나, 백색 유기전계발광 표시장치에서는 컬러필터에 의한 광흡수로 인해 휘도가 저하되며 색순도가 저하되는 문제가 발생하게 된다. 또한, 여전히 대면적 크기의 표시장치를 제작하는데에는 한계가 있었다.In order to solve this problem, an organic light emitting display device combining a white light emitting device and a color filter has been proposed. Such a white organic light emitting display device has advantages in that the amount of organic materials used is small, the processing time is short, the yield is high, and the cost is reduced. However, in the white organic light emitting display device, luminance and color purity are deteriorated due to light absorption by the color filter. In addition, there are still limitations in manufacturing a large-area display device.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 베젤면적을 최소화할 수 있는 마이크로LED 표시장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a micro LED display device capable of minimizing a bezel area.

본 발명의 다른 목적은 1매의 기판에 의해 제작가능한 마이크로LED 표시장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a micro LED display device that can be manufactured using a single substrate.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 마이크로LED 표시패널은 상면에 박막트랜지스터가 배치된 기판과, 상기 기판 상면에 구비된 복수의 마이크로LED(Light Emitting Device)와, 상기 기판의 측면 또는 배면중 적어도 1면에 형성된 운하형상의 복수의 홈과, 상기 홈 내부 및 기판의 상면에 형성된 링크라인으로 구성된다.In order to achieve the above object, a microLED display panel according to the present invention is composed of a substrate on which thin film transistors are disposed, a plurality of micro LEDs (Light Emitting Devices) provided on the upper surface of the substrate, a plurality of canal-shaped grooves formed on at least one of the side surface or rear surface of the substrate, and link lines formed inside the grooves and on the upper surface of the substrate.

상기 홈 내부에는 링크라인을 덮는 매립층이 구비되며, 기판의 하면에는 신호모듈이 구비되어 링크라인을 통해 마이크로LED에 신호를 인가한다.A buried layer covering the link line is provided inside the groove, and a signal module is provided on the lower surface of the substrate to apply a signal to the microLED through the link line.

또한, 본 발명에 따른 타일링 마이크로LED 표시장치는 상기 구조의 마이크로LED 표시패널이 복수개 타일링되어 구성되며, 상기 인접하는 마이크로LED 표시패널의 기판 측면이 조립 공차의 간격을 두고 배치된다.In addition, the tiling micro LED display device according to the present invention is configured by tiling a plurality of micro LED display panels having the above structure, and substrate side surfaces of the adjacent micro LED display panels are disposed at intervals of assembly tolerances.

본 발명의 마이크로LED 표시장치에서는 링크라인이 기판의 측면에 배치되어 기판 상면의 패드와 기판 배면의 신호모듈이 접속되므로, FPCB 등과 같은 연결수단의 배치공간이 필요없게 되어 베젤을 대폭 감소할 수 있게 된다. 더욱이, 본 발명에서는 기판의 배면 및 측면에 복수의 홈을 형성하여 상기 홈 내부에 링크라인을 형성함으로써 베젤을 더욱 감소할 수 있게 된다.In the micro LED display device of the present invention, since the link line is disposed on the side of the substrate to connect the pad on the upper surface of the substrate and the signal module on the rear surface of the substrate, space for arranging a connection means such as FPCB is unnecessary, and the bezel can be greatly reduced. Furthermore, in the present invention, a bezel can be further reduced by forming a plurality of grooves on the back and side surfaces of the substrate and forming link lines in the grooves.

또한, 본 발명에서는 기판의 배면에 형성된 홈 내부에 링크라인을 형성하므로, 기판 상면의 사진식각공정시 배면이 공정테이블에 놓이는 경우에도 고정테이블과의 접촉에 의한 불량이 발생하지 않는다. 더욱이, 홈 내부에는 매립층이 구비되므로, 상면 공정시의 증착이나 식각에 의한 불량도 방지할 수 있게 된다. 그 결과 본 발명에서는 1매의 기판의 상하면 각각에 박막트랜지스터와 회로모듈을 구비할 수 있게 되므로, 제조비용이 절감되고 무게 및 부피를 감소시킬 수 있게 된다.In addition, in the present invention, since the link line is formed inside the groove formed on the back surface of the substrate, even when the back surface is placed on a process table during the photo-etching process of the upper surface of the substrate, defects due to contact with the fixed table do not occur. Moreover, since the buried layer is provided inside the groove, defects due to deposition or etching during the upper surface process can be prevented. As a result, in the present invention, thin film transistors and circuit modules can be provided on the upper and lower surfaces of a single substrate, so that manufacturing costs can be reduced and weight and volume can be reduced.

도 1은 본 발명에 따른 마이크로LED 표시장치를 개략적으로 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 마이크로LED 표시장치의 구조를 구체적으로 나타내는 단면도.
도 3은 도 2에 도시된 마이크로LED의 구조를 나타내는 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 마이크로LED 표시장치의 배면 및 측면을 나타내는 부분 사시도.
도 5a 및 도 5b는 각각 도 4의 A영역 사시도 및 단면도.
도 6a 및 도 6b는 각각 도 4의 B영역 사시도 및 단면도.
도 7은 복수의 마이크로LED 표시패널로 이루어진 타일링 마이크로LED 표시장치를 개략적으로 나타내는 사시도.
도 8은 기판의 측면 및 배면에 홈이 형성되지 않는 구조의 마이크로LED 표시패널의 부분 단면도.
도 9a는 기판의 측면 및 배면에 홈이 형성되지 않는 구조의 마이크로LED 표시패널이 타일링된 구조를 나타내는 도면.
도 9b는 본 발명에 따른 마이크로LED 표시패널이 타일링된 구조를 나타내는 도면.
도 10은 본 발명에 따른 마이크로LED 표시장치의 제조방법을 나타내는 플로우챠트.
1 is a perspective view schematically illustrating a micro LED display device according to the present invention;
Figure 2 is a cross-sectional view showing the structure of a micro LED display device according to the present invention in detail.
3 is a cross-sectional view showing the structure of the microLED shown in FIG. 2;
Figure 4 is a partial perspective view showing the rear and side of the micro LED display device according to the present invention.
5A and 5B are a perspective view and a cross-sectional view of area A of FIG. 4, respectively.
6a and 6b are a perspective view and a cross-sectional view of region B of FIG. 4, respectively.
7 is a perspective view schematically illustrating a tiling micro LED display device composed of a plurality of micro LED display panels;
8 is a partial cross-sectional view of a micro LED display panel having a structure in which grooves are not formed on the side and rear surfaces of a substrate.
9A is a view showing a structure in which a micro LED display panel having a structure in which grooves are not formed on the side and rear surfaces of a substrate is tiled;
9B is a diagram showing a tiled structure of a microLED display panel according to the present invention.
10 is a flowchart showing a method of manufacturing a micro LED display device according to the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention, and methods of achieving them, will become clear with reference to the detailed description of the following embodiments taken in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various different forms, and only the present embodiments make the disclosure of the present invention complete, and those skilled in the art are provided to fully inform the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급한 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.The shapes, sizes, ratios, angles, numbers, etc. disclosed in the drawings for explaining the embodiments of the present invention are illustrative, so the present invention is not limited to the details shown. Like reference numbers designate like elements throughout the specification. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of related known technologies may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description will be omitted. When 'includes', 'has', 'consists of', etc. mentioned in this specification is used, other parts may be added unless 'only' is used. In the case where a component is expressed in the singular, the case including the plural is included unless otherwise explicitly stated.

구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.In interpreting the components, even if there is no separate explicit description, it is interpreted as including the error range.

위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.In the case of a description of a positional relationship, for example, when the positional relationship of two parts is described as 'on ~', 'upon ~', 'on ~ below', 'next to', etc., one or more other parts may be located between the two parts unless 'directly' or 'directly' is used.

시간 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~후에', '~에 이어서', '~다음에', '~전에' 등으로 시간적 선후 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 연속적이지 않은 경우도 포함할 수 있다.In the case of a description of a temporal relationship, for example, when a temporal precedence relationship is described with 'after', 'after', 'after', 'before', etc., it may include non-continuous cases unless 'immediately' or 'directly' is used.

제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성 요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.Although first, second, etc. are used to describe various components, these components are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another. Therefore, the first component mentioned below may also be the second component within the technical spirit of the present invention.

본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.Each feature of the various embodiments of the present invention can be partially or entirely combined or combined with each other, technically various interlocking and driving are possible, and each embodiment can be implemented independently of each other or can be implemented together in a related relationship.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로LED 표시장치를 나타내는 도면이다.1 is a diagram showing a micro LED display device according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로LED 표시장치(100)는 기판(110)과, 상기 기판(110)상에 실장된 복수의 마이크로LED(140)로 구성된다.As shown in FIG. 1 , a micro LED display device 100 according to an embodiment of the present invention includes a substrate 110 and a plurality of micro LEDs 140 mounted on the substrate 110 .

상기 기판(110)은 유리와 같이 투명한 물질로 구성될 수 있으며, 복수의 화소영역(P)이 형성된다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 기판(110)은 TFT어레이기판으로서, 상면의 화소영역(P)에는 상기 마이크로LED(140)를 구동하기 위한 박막트랜지스터와 각종 배선들이 형성된다. 상기 박막트랜지스터가 온(on)되면, 상기 배선을 통해 외부로부터 입력된 구동신호가 마이크로 LED(140)에 인가되어 상기 마이크로LED(140)가 발광하게 되어 화상을 구현한다.The substrate 110 may be made of a transparent material such as glass, and a plurality of pixel regions P are formed. Although not shown in the drawings, the substrate 110 is a TFT array substrate, and thin film transistors and various wirings for driving the micro LED 140 are formed in the pixel region P on the upper surface. When the thin film transistor is turned on, a driving signal input from the outside through the wiring is applied to the micro LED 140 so that the micro LED 140 emits light to implement an image.

이때, 기판(110)의 각각의 화소영역(P)에는 R,G,B의 단색광을 각각 발광하는 3개의 마이크로LED(140R,140G,140B)가 실장되므로, 외부로부터의 신호인가에 의해 R,G,B용 마이크로LED(140R,140G,140B)로부터 R,G,B컬러의 광이 발광되어 화상을 표시할 수 있게 된다.At this time, since three micro LEDs 140R, 140G, and 140B emitting monochromatic lights of R, G, and B, respectively, are mounted in each pixel region P of the substrate 110, R, G, and B color lights are emitted from the R, G, and B micro LEDs 140R, 140G, and 140B when an external signal is applied to display an image.

상기 마이크로LED(140R,140G,140B)는 기판(110)의 TFT어레이공정과는 별개의 공정에 의해 제작된다. 일반적인 유기전계발광 표시장치에서는 TFT어레이공정과 유기발광층이 모두 포토공정에 의해 형성되는 반면에, 본 발명의 마이크로LED 표시장치에서는 기판(110)상에 배치되는 박막트랜지스터와 각종 배선은 포토공정에 의해 형성되지만, 마이크로LED(140R,140G,140B)는 별도의 공정에 의해 제작되며, 별도로 제작된 마이크로LED(140R,140G,140B)를 기판(110) 상에 전사(transfer)함으로써 표시장치가 제작된다.The micro LEDs 140R, 140G, and 140B are manufactured by a process separate from the TFT array process of the substrate 110. In a general organic light emitting display device, both the TFT array process and the organic light emitting layer are formed by a photo process, whereas in the micro LED display device of the present invention, the thin film transistors and various wirings disposed on the substrate 110 are formed by a photo process. fer) to produce a display device.

마이크로LED(140)는 10-100㎛ 크기의 LED로서, Al, Ga, N, P, As In 등의 무기물재료를 사파이어기판 또는 실리콘기판 위에 복수개 박막성장시킨 후, 상기 사파이어기판 또는 실리콘기판을 절단 분리함으로써 형성될 수 있다. 이와 같이, 마이크로LED(140)는 미세한 크기로 형성되므로, 플라스틱과 같이 플렉서블한 기판에 전사할 수 있게 되어 플렉서블한 표시장치의 제작이 가능하게 된다. 또한, 마이크로LED(140)는 유기발광층과는 달리 무기물질을 박막성장시켜 형성하므로, 제조공정이 단순하고 수율이 향상된다. 그리고, 낱개로 분리된 마이크로LED(140)를 대면적 기판(110)상에 단순히 전사하므로, 대면적 표시장치의 제작이 가능하게 된다. 더욱이, 무기물재료로 이루어진 마이크로LED(140)는 유기발광물질에 의해 제작된 LED에 비해 휘도가 높고 수명이 길며, 단가가 낮다는 장점이 있다.The microLED 140 is an LED with a size of 10-100 μm. After growing a plurality of thin films of inorganic materials such as Al, Ga, N, P, As In, etc. on a sapphire substrate or a silicon substrate, the sapphire substrate or silicon substrate. It can be formed by cutting and separating. In this way, since the microLED 140 is formed in a fine size, it can be transferred to a flexible substrate such as plastic, and thus a flexible display device can be manufactured. In addition, since the microLED 140 is formed by growing an inorganic material as a thin film, unlike the organic light emitting layer, the manufacturing process is simple and the yield is improved. In addition, since the individually separated microLEDs 140 are simply transferred onto the large area substrate 110, a large area display device can be manufactured. Furthermore, the micro LED 140 made of inorganic materials has advantages of high luminance, long lifespan, and low unit cost compared to LEDs made of organic light emitting materials.

도면에는 도시하지 않았지만, 상기 기판(110)에는 복수의 게이트 라인과 데이터라인이 수직 및 수평방향으로 배치되어 매트릭스형상의 복수의 화소영역(P)을 정의한다. 이때, 상기 게이트라인 및 데이터라인은 마이크로LED(140)와 접속되며, 상기 게이트라인 및 데이터라인의 단부에는 각각 외부와 연결되는 게이트패드 및 데이터패드가 구비되어, 외부의 신호가 상기 게이트라인 및 데이터라인을 통해 마이크로LED(140)에 인가됨으로써 상기 마이크로LED(140)가 동작하여 발광하게 된다.Although not shown in the drawings, a plurality of gate lines and data lines are vertically and horizontally disposed on the substrate 110 to define a plurality of matrix-shaped pixel regions P. At this time, the gate line and the data line are connected to the micro LED 140, and a gate pad and a data pad connected to the outside are provided at ends of the gate line and the data line, respectively. As an external signal is applied to the micro LED 140 through the gate line and the data line, the micro LED 140 operates and emits light.

도 2는 본 발명에 따른 마이크로LED 표시장치(100)의 구조를 구체적으로 나타내는 단면도이다. 이때, 도면에는 설명의 편의를 위해 마이크로LED 표시장치(100)의 최외곽 서브화소만을 도시하였다.2 is a cross-sectional view showing the structure of a micro LED display device 100 according to the present invention in detail. At this time, only the outermost sub-pixels of the microLED display device 100 are shown in the drawings for convenience of explanation.

도 2에 도시된 바와 같이, 기판(110)의 표시영역에는 박막트랜지스터(TFT)가 배치되고 패드영역에는 패드(152)가 배치된다. 상기 기판(110)은 유리와 같이 투명한 물질로 구성되지만, 이에 한정되는 것이 아니라 투명한 다양한 물질로 구성될 수 있다. 또한, 상기 기판(110)은 플렉서블한 투명물질로 구성될 수도 있다.As shown in FIG. 2 , a thin film transistor (TFT) is disposed in the display area of the substrate 110 and a pad 152 is disposed in the pad area. The substrate 110 is made of a transparent material such as glass, but is not limited thereto and may be made of various transparent materials. Also, the substrate 110 may be made of a flexible transparent material.

상기 박막트랜지스터(TFT)는 기판(110) 상에 형성된 게이트전극(101)과, 상기 기판(110) 전체 영역에 걸쳐 형성되어 게이트전극(101)을 덮는 게이트절연층(112)과, 상기 게이트절연층(112) 위에 형성된 반도체층(103)과, 상기 반도체층(103) 위에 형성된 소스전극(105) 및 드레인전극(107)으로 구성된다.The thin film transistor (TFT) is composed of a gate electrode 101 formed on a substrate 110, a gate insulating layer 112 formed over the entire area of the substrate 110 to cover the gate electrode 101, a semiconductor layer 103 formed on the gate insulating layer 112, and a source electrode 105 and a drain electrode 107 formed on the semiconductor layer 103.

상기 게이트전극(101)은 Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al 또는 Al합금 등의 금속 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있으며, 게이트절연층(112)은 SiOx 또는 SiNx와 같은 무기절연물질로 이루어진 단일층 또는 SiOx 및 SiNx으로 이루어진 복수의 층으로 이루어질 수 있다. The gate electrode 101 may be formed of a metal such as Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al or an Al alloy or an alloy thereof, and the gate insulating layer 112 may be formed of a single layer made of an inorganic insulating material such as SiOx or SiNx or a plurality of layers made of SiOx and SiNx.

반도체층(103)은 비정질실리콘과 같은 비정질반도체로 구성될 수도 있고, IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide), TiO2, ZnO, WO3, SnO2와 같은 산화물반도체로 구성될 수 있다. 산화물반도체로 반도체층(103)을 형성하는 경우, 박막트랜지스터(TFT)의 크기를 감소시킬 수 있고 구동전력을 감소시킬 수 있고 전기이동도를 향상시킬 수 있게 된다. 물론, 본 발명에서는 박막트랜지스터의 반도체층이 특정 물질에 한정되는 것이 아니라, 현재 박막트랜지스터에 사용되는 모든 종류의 반도체물질을 사용할 수 있을 것이다.The semiconductor layer 103 may be formed of an amorphous semiconductor such as amorphous silicon or an oxide semiconductor such as indium gallium zinc oxide (IGZO), TiO 2 , ZnO, WO 3 , or SnO 2 . When the semiconductor layer 103 is formed of an oxide semiconductor, the size of the thin film transistor (TFT) can be reduced, driving power can be reduced, and electrical mobility can be improved. Of course, in the present invention, the semiconductor layer of the thin film transistor is not limited to a specific material, and all types of semiconductor materials currently used in thin film transistors can be used.

상기 소스전극(105) 및 드레인전극(107)은 Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al, Al합금 등과 같은 금속 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 드레인전극(107)은 마이크로LED에 신호를 인가하는 제1전극으로 작용한다.The source electrode 105 and the drain electrode 107 may be made of metals such as Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al, Al alloys or alloys thereof. At this time, the drain electrode 107 serves as a first electrode for applying a signal to the microLED.

한편, 도면에서는 박막트랜지스터(TFT)가 바텀게이크(bottom gate)방식 박막트랜지스터지만, 본 발명이 이러한 특정 구조의 박막트랜지스터에 한정되는 것이 아니라 탑게이트(top gate)방식 박막트랜지스터와 같이 다양한 구조의 박막트랜지터가 적용될 수 있을 것이다.Meanwhile, in the drawing, the thin film transistor (TFT) is a bottom gate type thin film transistor, but the present invention is not limited to such a specific structure thin film transistor, and various structures such as a top gate type thin film transistor may be applied.

상기 패드영역에 배치되는 패드(152)는 Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al 또는 Al합금 등의 금속 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있다. 이때 상기 패드(152)는 박막트랜지스터(TFT)의 게이트전극(101)과 다른 공정에 의해 형성될 수 있지만, 공정의 단순화를 위해서는 상기 패드(152)를 게이트전극(101)과 동일한 공정에서 형성하는 것이 바람직할 것이다.The pad 152 disposed in the pad region may be formed of a metal such as Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al, or an Al alloy or an alloy thereof. At this time, the pad 152 may be formed by a process different from that of the gate electrode 101 of the thin film transistor (TFT), but in order to simplify the process, it is preferable to form the pad 152 in the same process as the gate electrode 101.

도면에는 도시하지 않았지만, 상기 패드는 게이트절연층(112) 위에 형성될 수 있다. 이때, 상기 패드는 박막트랜지스터(TFT)의 소스전극(105) 및 드레인전극(107)과 다른 공정에 의해 형성될 수 있지만, 공정의 단순화를 위해서는 상기 패드를 소스전극(105) 및 드레인전극(107)과 동일한 공정에서 형성하는 것이 바람직할 것이다.Although not shown in the drawing, the pad may be formed on the gate insulating layer 112 . At this time, the pad may be formed by a process different from that of the source electrode 105 and the drain electrode 107 of the thin film transistor (TFT), but to simplify the process, it is preferable to form the pad in the same process as the source electrode 105 and the drain electrode 107.

또한, 표시영역의 게이트절연층(114) 위에는 제2전극(109)이 형성된다. 이때, 상기 제2전극(109)은 Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al 또는 Al합금 등의 금속 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있으며, 제2전극(107)(즉, 박막트랜지스터의 드레인전극)과 동일한 공정에 의해 형성될 수 있다.In addition, a second electrode 109 is formed on the gate insulating layer 114 of the display area. At this time, the second electrode 109 may be formed of a metal such as Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al or an Al alloy or an alloy thereof, and may be formed by the same process as the second electrode 107 (ie, the drain electrode of the thin film transistor).

상기 박막트랜지스터(TFT)가 형성된 기판(110) 위에는 제1절연층(114)이 형성되며, 표시영역의 상기 제1절연층(114) 위에 마이크로LED(140)가 배치된다. 이때, 도면에서는 상기 제1절연층(114)의 일부가 제거되고 상기 제거된 영역에 마이크로LED(140)가 배치되지만, 상기 제1절연층(114)가 제거되지 않을 수도 있다. 상기 제1절연층(114)은 포토아크릴과 같은 유기층으로 구성될 수도 있고, 무기층/유기층으로 구성될 수도 있으며 무기층/유기층/무기층으로 구성될 수도 있다.A first insulating layer 114 is formed on the substrate 110 on which the thin film transistor (TFT) is formed, and a micro LED 140 is disposed on the first insulating layer 114 in a display area. At this time, in the drawing, a portion of the first insulating layer 114 is removed and the microLED 140 is disposed in the removed region, but the first insulating layer 114 may not be removed. The first insulating layer 114 may be composed of an organic layer such as photoacrylic, an inorganic layer/organic layer, or an inorganic layer/organic layer/inorganic layer.

상기 마이크로LED(140)는 Ⅲ-Ⅴ족 질화물 반도체물질을 주로 사용하지만, 이에 한정되는 것은 아니다.The microLED 140 mainly uses a group III-V nitride semiconductor material, but is not limited thereto.

도 3은 본 발명에 따른 표시장치의 마이크로LED(140)의 구조를 나타내는 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 마이크로LED(140)는 도핑되지 않은 GaN층(144), 상기 GaN층(144) 위에 배치된 n-형 GaN층(145), 상기 n-형 GaN층(145) 위에 배치된 다중양자우물(Multi-Quantum-Well: MQW) 구조를 가진 활성층(146), 상기 활성층(145) 위에 배치된 p-형 GaN층(147), 투명도전성물질로 형성되어 상기 p-형 GaN층(147) 위에 배치되는 오믹접촉층(148), 상기 오믹접촉층(148)의 일부와 접촉되는 p-형 전극(141), 상기 활성층(146), p-형 GaN층(147) 및 오믹접촉층(148)의 일부를 식각하여 노출되는 n-형 GaN층(145)의 일부와 접촉되는 n-형 전극(143)으로 구성된다.3 is a diagram showing the structure of the microLED 140 of the display device according to the present invention. As shown in FIG. 3, the microLED 140 according to the present invention includes an undoped GaN layer 144, an n-type GaN layer 145 disposed on the GaN layer 144, an active layer 146 having a multi-quantum-well (MQW) structure disposed on the n-type GaN layer 145, and a p-type GaN layer 147 disposed on the active layer 145. ), an ohmic contact layer 148 formed of a transparent conductive material and disposed on the p-type GaN layer 147, a p-type electrode 141 in contact with a portion of the ohmic contact layer 148, and an n-type electrode 143 in contact with a portion of the n-type GaN layer 145 exposed by etching portions of the active layer 146, the p-type GaN layer 147, and the ohmic contact layer 148 It consists of

상기 n-형 GaN층(145)은 활성층(146)에 전자를 공급하기 위한 층으로, GaN 반도체층에 Si와 같은 n-형 불순물을 도핑함으로써 형성된다.The n-type GaN layer 145 is a layer for supplying electrons to the active layer 146 and is formed by doping a GaN semiconductor layer with an n-type impurity such as Si.

상기 활성층(146)은 주입되는 전자와 정공이 결합되어 광을 발산하는 층이다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 활성층(146)의 다중양자우물구조는 복수의 장벽층과 우물층이 교대로 배치되며, 상기 우물층은 InGaN층으로 구성되고 장벽층은 GaN으로 구성되지만 이에 한정되는 것은 아니다.The active layer 146 is a layer in which injected electrons and holes are combined to emit light. Although not shown in the drawing, the multi-quantum well structure of the active layer 146 includes a plurality of barrier layers and well layers alternately arranged, the well layer being composed of an InGaN layer and the barrier layer being composed of GaN, but is not limited thereto.

상기 p-형 GaN층(147)은 활성층(146)에 정공을 주입하기 위한 층으로, GaN 반도체층에 Mg, Zn 및 Be와 같은 p-형 불순물이 도핑되어 형성된다.The p-type GaN layer 147 is a layer for injecting holes into the active layer 146, and is formed by doping a GaN semiconductor layer with p-type impurities such as Mg, Zn, and Be.

상기 오믹접촉층(148)은 p-형 GaN층(147)과 p-형 전극(141)을 오믹접촉(ohmic contact)시키기 위한 것으로, ITO(Indium Tin Oxide), IGZO(Indium Galium Zinc Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 투명한 금속산화물을 사용할 수 있다.The ohmic contact layer 148 is for making ohmic contact between the p-type GaN layer 147 and the p-type electrode 141, and a transparent metal oxide such as indium tin oxide (ITO), indium gallium zinc oxide (IGZO), or indium zinc oxide (IZO) may be used.

상기 p-형 전극(141)과 n-형 전극(143)은 Ni, Au, Pt, Ti, Al, Cr 중 적어도 하나의 금속 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 복수의 층으로 구성될 수 있다.The p-type electrode 141 and the n-type electrode 143 may be formed of a single layer or a plurality of layers made of at least one metal among Ni, Au, Pt, Ti, Al, and Cr or an alloy thereof.

이러한 구조의 마이크로LED(140)에서 p-형 전극(141) 및 n-형 전극(143)에 전압이 인가됨에 따라 n-형 GaN층(145) 및 p-형 GaN층(147)으로부터 활성층(145)으로 각각 전자 및 정공이 주입되면, 상기 활성층(146)내에는 여기자(exciton)가 생성되며 이 여기자가 소멸(decay)함에 따라 발광층의 LUMO(Lowest Unoccupied Molecular Orbital)와 HOMO(Highest Occupied Molecular Orbital)의 에너지 차이에 해당하는 광이 발생하게 되어 외부로 발산하게 된다.In the microLED 140 having such a structure, when electrons and holes are injected from the n-type GaN layer 145 and the p-type GaN layer 147 to the active layer 145 as voltage is applied to the p-type electrode 141 and the n-type electrode 143, excitons are generated in the active layer 146, and as these excitons decay, the LUMO (Lowest Unoccupied Light corresponding to the energy difference between Molecular Orbital (Molecular Orbital) and HOMO (Highest Occupied Molecular Orbital) is generated and emitted to the outside.

이때, 마이크로LED(140)에서 발광하는 광의 파장은 활성층(146)의 다중양자우물구조의 장벽층의 두께를 조절함으로써 조절할 수 있게 된다.At this time, the wavelength of light emitted from the microLED 140 can be adjusted by adjusting the thickness of the barrier layer of the multi-quantum well structure of the active layer 146 .

상기 마이크로LED(140)는 약 10-100㎛ 크기로 형성된다. 도면에 도시하지 않았지만, 상기 마이크로LED(140)는 기판 위에 버퍼층을 형성하고 상기 버퍼층 위에 GaN 박막을 성장함으로써 제작된다. 이때, GaN 박막의 성장을 위한 기판으로는 사파이어(sapphire), 실리콘(si), GaN, 실리콘 카바이드(SiC), 갈륨비소(GaAs), 산화아연(ZnO) 등이 사용될 수 있다.The micro LED 140 is formed to have a size of about 10-100 μm. Although not shown in the drawing, the microLED 140 is manufactured by forming a buffer layer on a substrate and growing a GaN thin film on the buffer layer. In this case, sapphire, silicon (si), GaN, silicon carbide (SiC), gallium arsenide (GaAs), zinc oxide (ZnO), or the like may be used as a substrate for growing the GaN thin film.

또한, 버퍼층은 GaN 박막성장용 기판이 GaN기판이 아닌 다른 물질로 이루어진 경우, 기판상에 에피(Epi)층인 n-GaN층(120)을 직접 성장시킬 때 발생하는 격자부정합에 의한 품질저하를 방지하기 위한 것으로, AlN 또는 GaN 등이 사용될 수 있다.In addition, when the substrate for growing a GaN thin film is made of a material other than the GaN substrate, the buffer layer is to prevent quality degradation due to lattice mismatch that occurs when the n-GaN layer 120, which is an Epi layer, is directly grown on the substrate, and AlN or GaN may be used.

상기 n-형 GaN층(145)은 불순물이 도핑되지 않은 GaN층(144)을 성장시킨 후, 상기 도핑되지 않은 박막의 상부에 Si와 같은 n형 불순물을 도핑함으로써 형성될 수 있다. 또한, p-형 GaN층(147)은 도핑되지 않은 GaN박막을 성장시킨 후 Mg, Zn, Be 등의 p-형 불순물을 도핑함으로써 형성할 수 있다.The n-type GaN layer 145 may be formed by growing a GaN layer 144 undoped with impurities and then doping an n-type impurity such as Si on top of the undoped thin film. In addition, the p-type GaN layer 147 can be formed by growing an undoped GaN thin film and then doping it with a p-type impurity such as Mg, Zn, or Be.

도면에서는 특정 구조의 마이크로LED(140)가 제1절연층(114) 위에 배치되지만, 본 발명이 이러한 특정구조의 마이크로LED(140)만 한정되는 것이 아니라 수직구조 마이크로LED 및 수평구조 마이크로LED와 같이 다양한 구조의 마이크로LED를 적용할 수 있을 것이다.In the drawing, a microLED 140 having a specific structure is disposed on the first insulating layer 114, but the present invention is not limited to the microLED 140 having a specific structure, and microLEDs having various structures such as a vertical microLED and a horizontal microLED may be applied.

다시, 도 2를 참조하면, 상기 마이크로LED(140)가 실장된 제1절연층(114) 위에는 제2절연층(116)이 형성된다. 이때, 상기 제2절연층(116)은 포토아크릴과 같은 유기층으로 구성될 수도 있고, 무기층/유기층으로 구성될 수도 있으며 무기층/유기층/무기층으로 구성될 수도 있으며, 마이크로LED(140)의 상부 영역을 덮는다.Again, referring to FIG. 2 , a second insulating layer 116 is formed on the first insulating layer 114 on which the micro LED 140 is mounted. At this time, the second insulating layer 116 may be composed of an organic layer such as photoacrylic, may be composed of an inorganic layer/organic layer, or may be composed of an inorganic layer/organic layer/inorganic layer, and the upper area of the micro LED 140. Covers.

상기 박막트랜지스터(TFT)와 제2전극(119) 상부의 제1절연층(114) 및 제2절연층(116)에는 각각 제1컨택홀(114a) 및 제2컨택홀(114b)이 형성되어 박막트랜지스터(TFT)의 드레인전극(107)과 제2전극(119)이 각각 외부로 노출된다. 또한, 상기 마이크로LED(140)의 p-형 전극(141)과 n-형 전극(143) 상부의 제2절연층(116)에는 각각 제3컨택홀(116a) 및 제4컨택홀(116b)이 형성되어 상기 p-형 전극(141)과 n-형 전극(143)이 외부로 노출된다.A first contact hole 114a and a second contact hole 114b are formed in the first insulating layer 114 and the second insulating layer 116 above the thin film transistor (TFT) and the second electrode 119, respectively, so that the drain electrode 107 and the second electrode 119 of the thin film transistor (TFT) are exposed to the outside, respectively. In addition, a third contact hole 116a and a fourth contact hole 116b are formed in the second insulating layer 116 above the p-type electrode 141 and the n-type electrode 143 of the microLED 140, respectively, so that the p-type electrode 141 and the n-type electrode 143 are exposed to the outside.

상기 제2절연층(116)의 상부에는 ITO, IGZO나 IGO와 같은 투명한 금속산화물로 구성된 제1연결전극(117a) 및 제2연결전극(117b)이 형성되어, 상기 제1컨택홀(114a) 및 제3컨택홀(116a)을 통해 박막트랜지스터(TFT)의 드레인전극(107)과 마이크로LED(140)의 p-형 전극(141)이 상기 제1연결전극(117a)에 의해 전기적으로 접속되며, 제2컨택홀(114b) 및 제4컨택홀(116b)을 통해 제2전극(109)과 마이크로LED(140)의 n-형 전극(143)이 상기 제2연결전극(117b)에 의해 전기적으로 접속된다.A first connection electrode 117a and a second connection electrode 117b made of a transparent metal oxide such as ITO, IGZO, or IGO are formed on the second insulating layer 116, and the drain electrode 107 of the thin film transistor (TFT) and the p-type electrode 141 of the micro LED 140 are connected through the first contact hole 114a and the third contact hole 116a. It is electrically connected by the first connection electrode 117a, and the second electrode 109 and the n-type electrode 143 of the microLED 140 are electrically connected by the second connection electrode 117b through the second contact hole 114b and the fourth contact hole 116b.

한편, 패드영역의 기판(110) 상면에는 링크라인(154)이 형성되며 기판(110)의 배면에는 신호모듈(170)이 배치되어, 상기 링크라인(154)을 통해 패드(152)와 전기적으로 접속된다.Meanwhile, a link line 154 is formed on the upper surface of the substrate 110 in the pad area, and a signal module 170 is disposed on the rear surface of the substrate 110, and is electrically connected to the pad 152 through the link line 154.

상기 신호모듈(170)은 타이밍 콘트롤러, EEPROM 등의 메모리, 마이크로LED(140)를 구동하기 위한 전압원 등의 회로와 상기 링크라인(154)과 전기적으로 접속되는 각종 배선이 형성된 PCB(Printed Circuit Board)일 수 있으며, 게이트라인과 데이터라인에 각각 주사신호 및 영상신호를 인가하는 게이트구동부 및 데이터구동부기 형성된 PCB일 수도 있다.The signal module 170 may be a printed circuit board (PCB) formed with circuits such as a timing controller, a memory such as EEPROM, a voltage source for driving the micro LED 140, and various wires electrically connected to the link line 154, or may be a PCB formed with a gate driver and data driver for applying scan signals and image signals to gate lines and data lines, respectively.

이러한 구조에서는 상기 신호모듈(170)에서 출력된 신호가 링크라인(154)을 통해 패드(152)에 인가된 후, 게이트라인 및 데이터라인을 통해 신호가 공급되어 박막트랜지스터(TFT)가 턴온된다. 상기 박막트랜지스터(TFT)가 턴온됨에 따라 박막트랜지스터(TFT) 및 제2전극(109)을 통해 마이크로LED(140)에 신호가 공급됨으로써 마이크로LED(140)가 발광하게 된다.In this structure, after the signal output from the signal module 170 is applied to the pad 152 through the link line 154, the signal is supplied through the gate line and the data line to turn on the thin film transistor (TFT). As the thin film transistor (TFT) is turned on, a signal is supplied to the micro LED 140 through the thin film transistor (TFT) and the second electrode 109, so that the micro LED 140 emits light.

한편, 상기 링크라인(154)은 기판(110)의 상면, 측면 및 배면에 형성되어 패드(152) 및 신호모듈(170)을 전기적으로 접속한다. 상기 링크라인(154)이 배치되는 기판(110)의 배면에는 신호모듈(170)로부터 기판(110)의 측면까지 연장되는 운하형상의 복수의 제1홈(162)이 형성된다. 또한, 기판(110)의 측면에는 상면에서 측면까지 연장되는 운하형상의 복수의 제2홈(164)이 형성된다. 상기 링크라인(154)은 상기 복수의 홈(162,164) 내부에 형성된다.Meanwhile, the link line 154 is formed on the top, side, and rear surfaces of the substrate 110 to electrically connect the pad 152 and the signal module 170. A plurality of first canal-shaped grooves 162 extending from the signal module 170 to the side of the substrate 110 are formed on the rear surface of the substrate 110 on which the link line 154 is disposed. In addition, a plurality of canal-shaped second grooves 164 extending from the upper surface to the side surface of the substrate 110 are formed. The link line 154 is formed inside the plurality of grooves 162 and 164 .

이때, 상기 링크라인(154)은 복수개 형성되어 기판(110)에 배치된 복수의 게이트패드 및 데이터패드와 일대일로 연결되므로, 기판(110)의 측면과 배면에 형성되는 홈(162,164)도 복수개 형성되어 게이트패드 및 데이터패드와 일대일로 대응된다.At this time, since a plurality of link lines 154 are formed and connected to the plurality of gate pads and data pads disposed on the substrate 110 on a one-to-one basis, a plurality of grooves 162 and 164 formed on the side and rear surfaces of the substrate 110 are also formed to correspond to the gate pads and data pads on a one-to-one basis.

상기 링크라인(154)이 형성된 복수의 홈(162,164) 내부는 절연물질이 채워져 상기 링크라인(154)이 외부로 노출되어 부식되는 것을 방지할 수 있게 된다.The plurality of grooves 162 and 164 in which the link line 154 is formed are filled with an insulating material to prevent the link line 154 from being exposed and corroded.

또한, 상기 기판(110) 상면에는 무기물질 또/및 유기물질로 이루어진 버퍼층(118)이 형성되어 상기 마이크로LED(140) 및 기판(110) 상면의 링크라인(154)을 덮을 수 있게 된다.In addition, a buffer layer 118 made of an inorganic material or/and an organic material is formed on the upper surface of the substrate 110 to cover the micro LED 140 and the link line 154 on the upper surface of the substrate 110.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 링크라인(154)이 기판(110)의 상면에서 측면을 거쳐 배면으로 형성되어 신호모듈(170)과 연결되므로, 표시장치의 베젤면적을 최소화할 수 있게 된다.As described above, in the present invention, since the link line 154 is formed from the upper surface of the substrate 110 to the rear surface through the side surface and is connected to the signal module 170, the bezel area of the display device can be minimized.

종래의 유기전계발광 표시소자의 경우, 패드영역에 각종 배선이 형성된 FPCB(Flexible Printed Circuit Board)가 부착된 후, 상기 FPCB가 후면으로 접혀져 후면의 신호모듈과 접속되었다. 따라서, 종래 유기전계발광 표시소자의 경우 FPCB가 접착되는 영역이 필요하게 되어 패드영역의 면적이 증가하게 되고 FPCB가 후방으로 접혀지는 공간이 필요하게 되므로, 표시영역 외곽에는 설정된 면적의 베젤영역을 확보해야만 한다.In the case of a conventional organic light emitting display device, a flexible printed circuit board (FPCB) having various wires formed thereon is attached to a pad area, and then the FPCB is folded on its back side and connected to a signal module on the back side. Therefore, in the case of a conventional organic light emitting display device, an area to which the FPCB is adhered is required, so the area of the pad area is increased and a space in which the FPCB is folded backward is required. Therefore, a bezel area of a set area must be secured outside the display area.

그러나, 본 발명의 마이크로LED 표시장치에서는 FPCB없이 링크라인(154)이 기판(110)의 측면에 배치되어 기판(110) 상면의 패드(152)와 기판(110) 배면의 신호모듈(170)이 접속되므로, FPCB의 부착영역 및 접히는 공간이 필요없게 되어 베젤을 대폭 감소할 수 있게 된다.However, in the micro LED display device of the present invention, the link line 154 is disposed on the side surface of the substrate 110 without the FPCB, and the pad 152 on the upper surface of the substrate 110 and the signal module 170 on the rear surface of the substrate 110 are connected. Therefore, the attachment area and folding space of the FPCB are unnecessary, and the bezel can be greatly reduced.

더욱이, 본 발명에서는 기판(110)의 배면 및 측면에 복수의 홈(162,164)을 형성하여 상기 홈(162,164) 내부에 링크라인(154)을 형성함으로써 베젤을 더욱 감소시킬 수 있게 되는데, 이하에서는 이를 좀더 자세히 설명한다.Furthermore, in the present invention, a plurality of grooves 162 and 164 are formed on the back and side surfaces of the substrate 110 to form the link line 154 inside the grooves 162 and 164, thereby further reducing the bezel. This will be described in more detail below.

도 4는 본 발명에 따른 마이크로LED 표시장치의 측면 및 배면을 나타내는 부분 사시도이다.4 is a partial perspective view showing the side and rear surfaces of the micro LED display device according to the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 기판(110)의 배면(110a)에는 신호모듈(170)이 배치되며, 기판(110)의 배면(110a) 및 측면(110b)에는 복수의 링크라인(154)이 배치된다. 상기 신호모듈(170)에는 내부에 형성되는 각종 배선과 접속되는 패드부(172)가 형성되며, 상기 패드부(172)는 링크라인(154)과 전기적으로 접속된다.As shown in FIG. 4, the signal module 170 is disposed on the rear surface 110a of the substrate 110, and a plurality of link lines 154 are disposed on the rear surface 110a and the side surface 110b of the substrate 110. The signal module 170 has a pad portion 172 connected to various wires formed therein, and the pad portion 172 is electrically connected to the link line 154.

이때, 상기 신호모듈 패드부(172)의 폭은 기판(110)의 폭보다 작고 링크라인(154)은 기판(110)의 배면(110a) 및 측면(110b)의 폭 전체 영역에 걸쳐 배치되므로, 기판 배면(110a)에 배치되는 링크라인(154)은 신호모듈 패드부(172) 측에서 기판 측면(110b)측으로 부채꼴 형상으로 배치된다.At this time, since the width of the signal module pad part 172 is smaller than the width of the substrate 110 and the link line 154 is disposed over the entire width of the rear surface 110a and the side surface 110b of the substrate 110, the link line 154 disposed on the rear surface 110a of the substrate is disposed in a fan shape from the signal module pad part 172 side to the side surface 110b of the substrate.

도 5는 기판(110)의 배면(110a) 일부 영역을 나타내는 도 4의 A 영역 확대도로서, 도 5a는 사시도이고 도 5b는 도 5a의 I-I'선 단면도이다.FIG. 5 is an enlarged view of area A of FIG. 4 showing a partial area of the rear surface 110a of the substrate 110. FIG. 5A is a perspective view and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line II′ of FIG. 5A.

도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 기판(110)의 배면(110a)에는 신호모듈(170)로부터 측면(110b)과 인접하는 모서리까지 연장되는 복수의 제1홈(162)이 형성된다. 이때, 상기 제1홈(162)은 단면이 지름이 R인 반원형상의 운하(canal)형상으로 형성될 수도 있고, 단면이 2/3이나 1/3 또는 1/4 원형상의 운하형상으로 형성될 수도 있다. 또한, 상기 제1홈(162)은 단면이 반타원형상 또는 사각형상이나 삼각형상과 같은 다각형상과 같이 다양한 형상으로 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 5A and 5B, a plurality of first grooves 162 extending from the signal module 170 to the corner adjacent to the side surface 110b are formed on the rear surface 110a of the substrate 110. At this time, the first groove 162 may be formed in a semicircular canal shape having a diameter of R in cross section, or may be formed in a canal shape in a 2/3, 1/3 or 1/4 circular cross section. In addition, the first groove 162 may be formed in various shapes such as a semi-elliptical cross section or a polygonal shape such as a quadrangular shape or a triangular shape.

상기 제1홈(162)내에는 링크라인(154)이 배치된다 상기 링크라인(154)은 신호모듈(170)과 패드(152)를 전기적으로 접속하는 것으로, Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al 또는 Al합금 등의 금속 또는 이들의 합금을 스퍼터링(sputtering)법에 의해 적층하고 에칭함으로써 형성될 수도 있고 점도가 있는 액상 Ag 등을 제1홈(162) 내부에 도포함으로써 형성될 수도 있다.A link line 154 is disposed in the first groove 162. The link line 154 electrically connects the signal module 170 and the pad 152, and may be formed by laminating and etching a metal such as Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al or an Al alloy or an alloy thereof by a sputtering method, or by coating liquid Ag having a viscosity into the first groove 162.

또한, 상기 링크라인(154)이 형성된 제1홈(162) 내부는 절연물질로 이루어진 매립층(155)이 형성되어 상기 링크라인(154)이 매립층(155)에 의해 매립될 수 있다. 상기 매립층(155)은 무기절연물질이나 유기절연물질을 사용할 수 있고 수지와 같은 폴리머가 사용될 수 있다. 복수의 제1홈(162)이 매립층(155)에 의해 매립됨에 따라, 제1홈(162)이 형성된 영역도 기판(110)의 표면과 편평한 평면을 형성한다. 또한, 상기 매립층(155)에 의해 상기 링크라인(154)이 외부로 노출되어 산화되는 것을 방지할 수 있고 외부로부터 보호되어 외부의 충격으로 인해 파손되는 것을 방지할 수 있게 된다.In addition, a filling layer 155 made of an insulating material is formed inside the first groove 162 in which the link line 154 is formed, so that the link line 154 can be buried by the filling layer 155 . The buried layer 155 may be formed of an inorganic insulating material or an organic insulating material, or a polymer such as resin. As the plurality of first grooves 162 are buried by the filling layer 155 , the area where the first grooves 162 are formed also forms a flat plane with the surface of the substrate 110 . In addition, the link line 154 can be prevented from being exposed to the outside and oxidized by the filling layer 155, and can be protected from the outside to prevent damage due to external impact.

도 6은 도 4의 B영역을 나타내는 도면으로, 도 6a는 확대 사시도이고 도 6b는 단면도이다.FIG. 6 is a view showing region B of FIG. 4 , wherein FIG. 6A is an enlarged perspective view and FIG. 6B is a cross-sectional view.

도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 기판(110)의 측면(110b)에는 상면과 인접하는 상측 모서리에서 하면과 인접하는 하측 모서리로 연장되는 복수의 제2홈(164)이 형성된다. 이때, 상기 제2홈(164)은 단면의 지름이 R인 반원형상의 운하형상 형성될 수도 있고, 단면이 2/3이나 1/3 또는 1/4 원형상의 운하형상으로 형성될 수도 있다. 또한, 상기 제2홈(164)은 단면이 반타원형상 또는 사각형상이나 삼각형상과 같은 다각형상과 같이 다양한 형상으로 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 6A and 6B , a plurality of second grooves 164 extending from an upper edge adjacent to the upper surface to a lower edge adjacent to the lower surface are formed on the side surface 110b of the substrate 110. At this time, the second groove 164 may be formed in a semicircular canal shape with a cross section of R, or may be formed in a 2/3, 1/3 or 1/4 circular canal shape in cross section. In addition, the second groove 164 may be formed in various shapes such as a semi-elliptical cross section or a polygonal shape such as a quadrangular shape or a triangular shape.

상기 제2홈(164)내에는 링크라인(154)이 배치된다 상기 링크라인(154)은 신호모듈(170)과 패드(152)를 전기적으로 접속하는 것으로, Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al 또는 Al합금 등의 금속 또는 이들의 합금을 스퍼터링(sputtering)법에 의해 적층하고 에칭함으로써 형성될 수도 있고 점도가 있는 액상 Ag를 제2홈(164) 내부에 도포함으로써 형성될 수도 있다.A link line 154 is disposed in the second groove 164. The link line 154 electrically connects the signal module 170 and the pad 152, and may be formed by laminating and etching a metal such as Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al or an Al alloy or an alloy thereof by a sputtering method, or by coating liquid Ag having a viscosity inside the second groove 164.

상기 제2홈(164)의 링크라인(154)은 제1홈(162)의 링크라인(154)과 동일 공정에 의해 일체로 형성되지만, 서로 다른 공정에 의해 형성될 수도 있을 것이다.The link line 154 of the second groove 164 is formed integrally with the link line 154 of the first groove 162 by the same process, but may be formed by different processes.

상기 링크라인(154)이 형성된 제2홈(164) 내부에도 절연물질로 이루어진 매립층(155)이 형성되어 상기 링크라인(154)이 외부로 노출되어 산화되는 것을 방지할 수 있고 외부로부터 보호되어 외부의 충격으로 인해 파손되는 것을 방지할 수 있게 된다. 이때, 상기 제2홈(164) 내부의 매립층(155)은 제1홈(162) 내부의 매립층(155)과 동일 물질로 동일 공정에서 형성되지만, 다른 공정에서 다른 물질로 형성될 수도 있다.A buried layer 155 made of an insulating material is also formed inside the second groove 164 in which the link line 154 is formed to prevent the link line 154 from being exposed to the outside and being oxidized, and is protected from the outside to prevent damage due to external impact. At this time, the buried layer 155 inside the second groove 164 is formed of the same material as the buried layer 155 inside the first groove 162 in the same process, but may be formed of a different material in a different process.

상기와 같이, 본 발명에서는 링크라인(154)을 기판(110)의 측면(110b)에 형성하여 배면(110a)의 신호모듈(170)을 패드(152)와 연결하므로, 베젤영역을 최소화할 수 있게 된다.As described above, in the present invention, since the link line 154 is formed on the side surface 110b of the substrate 110 to connect the signal module 170 on the rear surface 110a to the pad 152, the bezel area can be minimized.

더욱이, 본 발명에서는 기판(110)의 배면(110a) 및 측면(110b)에 신호모듈(170)로부터 상면으로 연장되는 운하형상의 복수의 제1홈(162) 및 제2홈(164)을 형성하고 상기 제1홈(162)과 제2홈(164) 내부에 절연물질로 매립되는 링크라인(154)을 형성한다.Furthermore, in the present invention, a plurality of first grooves 162 and second grooves 164 in a canal shape extending upward from the signal module 170 are formed on the rear surface 110a and side surface 110b of the substrate 110, and the first groove 162 and the second groove 164 are filled with an insulating material and a link line 154 is formed.

링크라인(154)이 기판(110) 측면(110b) 표면에 일정 높이를 가진 패턴으로 형성되는 경우, 상기 링크라인(154)이 외부로 노출되므로, 상기 링크라인(154)을 보호하기 위한 별도의 보호층을 형성하거나 기판(110)의 상부에 형성되는 버퍼층(118)을 기판(110)의 측면까지 연장하여 형성해야만 한다. 따라서, 이 구조의 경우 기판(110)의 측면(110b)에 별도의 보호층이나 버퍼층을 형성해야만 하므로, 제조공정이 복잡해지고 제조비용이 상승하게 된다. 또한, 링크라인(154)과 보호층이 기판(110)의 측면으로부터 돌출되기 때문에, 표시장치의 베젤영역의 면적이 증가하게 된다. 더욱이, 표시장치를 외부 케이스와 조립할 때, 기판(110)의 측면(110b)의 표면에 형성된 링크라인(154)이 외부케이스와 충돌할 수 있다. 따라서, 일정 수준의 조립공차를 확보해야만 하므로, 표시장치의 베젤영역의 면적이 더욱 증가하게 된다.When the link line 154 is formed in a pattern having a certain height on the surface of the side surface 110b of the substrate 110, since the link line 154 is exposed to the outside, a separate protective layer for protecting the link line 154 must be formed or the buffer layer 118 formed on the upper part of the substrate 110 must be formed by extending to the side surface of the substrate 110. Therefore, in the case of this structure, since a separate protective layer or buffer layer must be formed on the side surface 110b of the substrate 110, the manufacturing process becomes complicated and the manufacturing cost increases. In addition, since the link line 154 and the protective layer protrude from the side of the substrate 110, the area of the bezel area of the display device increases. Moreover, when assembling the display device with the outer case, the link line 154 formed on the surface of the side surface 110b of the substrate 110 may collide with the outer case. Accordingly, since a certain level of assembly tolerance must be secured, the area of the bezel area of the display device is further increased.

도 7은 본 발명에 다른 실시예에 따른 마이크로LED 표시장치를 나타내는 도면이다. 이 실시예의 마이크로LED 표시장치는 복수의 마이크로LED 표시패널(200)이 타일링(tiling)된 표시장치이다. 도면에서는 설명의 편의를 위해 4개의 마이크로LED 표시패널(200)이 타일링되어 있지만, 상기 마이크로LED 표시패널(200)이 6개, 8개 또는 그 이상이 타일링되어 마이크로LED 표시장치를 형성할 수 있다.7 is a diagram showing a micro LED display device according to another embodiment of the present invention. The micro LED display device of this embodiment is a display device in which a plurality of micro LED display panels 200 are tiled. In the drawing, four microLED display panels 200 are tiled for convenience of description, but six, eight or more microLED display panels 200 may be tiled to form a microLED display device.

상기 마이크로LED 표시패널(200)은 도 1에 도시된 마이크로LED 표시장치(100)와 동일한 구조로 구성된다. 도 1에 도시된 실시예에서는 하나의 마이크로LED 표시패널이 마이크로LED 표시장치를 구성하며, 도 7에 도시된 실시예에서는 복수의 마이크로LED 표시패널이 마이크로LED 표시장치를 구성한다.The micro LED display panel 200 has the same structure as the micro LED display device 100 shown in FIG. 1 . In the embodiment shown in FIG. 1, one microLED display panel constitutes a microLED display device, and in the embodiment shown in FIG. 7, a plurality of microLED display panels constitutes a microLED display device.

도 7에 도시된 바와 같이, 이 실시예의 마이크로LED 표시장치에서는 복수의 마이크로LED 표시패널(200)이 타일링되어 구성된다. 이때, 마이크로LED 표시패널(200) 각각은 복수의 화소영역(P)을 포함하며, 각각의 화소영역(P)에는 R,G,B 마이크로LED(240R,240B,240G)가 나란히 배열된다.As shown in FIG. 7 , in the micro LED display device of this embodiment, a plurality of micro LED display panels 200 are tiled. At this time, each micro LED display panel 200 includes a plurality of pixel regions P, and R, G, and B micro LEDs 240R, 240B, and 240G are arranged side by side in each pixel region P.

복수의 마이크로LED 표시패널(200)은 설정된 간격(d)으로 타일링되도록 설계된다. 실제 타일링된 마이크로LED 표시패널(200) 사이의 간격(d1)이 설정된 간격(d)보다 큰 경우(d1>d), 마이크로LED 표시패널(200) 사이에 화상이 구현되지 않은 심(seam)영역이 사용자에게 인식되며, 특히 상기 심영역이 광이 출사되지 않아 암선으로 표시된다.The plurality of micro LED display panels 200 are designed to be tiled at set intervals d. When the distance d1 between the actually tiled microLED display panels 200 is greater than the set distance d (d1>d), a seam area between the microLED display panels 200 where no image is implemented is recognized by the user. In particular, the seam area is displayed as a dark line because no light is emitted.

마이크로LED 표시패널(200) 내부의 하나의 화소영역(P)내에 구비되는 마이크로LED(240G)와 인접하는 화소영역(P) 내에 구비되는 마이크로LED(240R)는 ℓ1의 간격으로 배치되며, 인접하게 타일링되는 2개의 마이크로LED 표시패널(200)의 최인접 마이크로LED(240G,240R)은 ℓ2의 간격으로 배치된다. The micro LEDs 240G provided in one pixel area P inside the micro LED display panel 200 and the micro LEDs 240R provided in the adjacent pixel area P are arranged at an interval of ℓ1, and the nearest micro LEDs 240G and 240R of two adjacently tiled microLED display panels 200 are arranged at an interval of ℓ2.

이때, ℓ1의 간격은 하나의 마이크로LED 표시패널(200)내에 배치되어 화상을 구현하기 위한 최적의 간격으로서, 이 간격(ℓ1) 보다 큰 간격으로 마이크로LED(240G,240R)가 배치되면 화질이 저하된다. 또한, 마이크로LED(240G,240R) 사이의 간격이 증가하여 실제 간격이 설정 간격의 설정 범위(α)를 초과하여 마이크로LED(240G,240R)가 배치되면 두개의 마이크로LED(240G,240R) 사이의 심영역은 암선으로 표시된다.At this time, the interval ℓ1 is an optimal interval for realizing an image by being disposed within one microLED display panel 200, and if the microLEDs 240G and 240R are disposed at intervals greater than this interval ℓ1, the image quality deteriorates. In addition, if the distance between the micro LEDs 240G and 240R increases so that the actual distance exceeds the set range α of the set distance and the micro LEDs 240G and 240R are disposed, the core area between the two micro LEDs 240G and 240R is indicated by a dark line.

복수의 마이크로LED 표시패널(200)을 타일링할 때, 인접하는 마이크로LED 표시패널(200)의 간격(d1)이 설정된 간격을 초과하면(d1>d), 서로 인접하는 마이크로LED 표시패널(200)의 최인접 마이크로LED(240G,240R)의 간격(ℓ2)이 하나의 마이크로LED 표시패널(200) 내부의 마이크로LED(240G,240R)의 간격(ℓ1)을 초과하여(ℓ2>ℓ1) 마이크로LED 표시패널(200)의 경계영역에서 화질이 저하된다.When tiling the plurality of micro LED display panels 200, if the distance d1 between adjacent micro LED display panels 200 exceeds the set distance (d1>d), the distance ℓ2 between the micro LEDs 240G and 240R closest to each other in the micro LED display panel 200 exceeds the distance ℓ1 between the micro LEDs 240G and 240R inside one micro LED display panel 200 (ℓ2> ℓ1) Image quality deteriorates in the boundary area of the micro LED display panel 200 .

특히, 인접하는 마이크로LED 표시패널(200)의 최인접 마이크로LED(240G,240R)의 간격(ℓ2)이 하나의 마이크로LED 표시패널(200) 내부의 마이크로LED(240G,240R)의 간격(ℓ1)보다 설정 범위(α)를 넘어 초과할 때(ℓ2>ℓ1+α), 인접하는 마이크로LED 표시패널(200) 사이의 심영역이 암선으로 표시된다.In particular, when the interval ℓ2 between the closest microLEDs 240G and 240R of the adjacent microLED display panel 200 exceeds the interval ℓ1 between the microLEDs 240G and 240R inside one microLED display panel 200 by exceeding the set range α (ℓ2>ℓ1+α), the deep region between the adjacent microLED display panels 200 is displayed as a dark line.

마이크로LED 표시패널(200)의 전면의 마이크로LED(240)와 후면의 회로모듈(도면표시하지 않음)을 연결하는 링크라인을 기판 측면의 표면에 형성하는 경우, 측면에는 링크라인 뿐만 아니라 보호층이 형성되므로, 인접하는 마이크로LED 표시패널(200) 사이의 간격(d1)을 설정된 간격(d)으로 형성하기가 어려웠다. When the link line connecting the micro LED 240 on the front side of the micro LED display panel 200 and the circuit module (not shown) on the back side is formed on the surface of the side surface of the substrate, not only the link line but also the protective layer is formed on the side surface. Therefore, it is difficult to form the distance d1 between adjacent micro LED display panels 200 to the set distance d.

이러한 마이크로LED 표시패널(200) 사이의 간격 증가에 의한 문제를 해결하기 위해, 인접하는 화소의 R,G,B 마이크로LED(240R,240B,240G)의 배치를 다른 화소의 R,G,B 마이크로LED(240R,240B,240G)의 배치와 다르게 하여, 마이크로LED 표시패널(200) 사이의 간격 증가에 따른 마이크로LED 표시패널(200)의 최인접 마이크로LED(240G,240R)의 간격(ℓ2)을 감소시킬 수 있게 된다. 그러나, 이 경우, 다른 화소와의 R,G,B 마이크로LED(240R,240B,240G)의 배치차이로 인해, 제조공정이 복잡해지고 수율이 저하되는 문제가 있었다.In order to solve the problem caused by the increase in the distance between the micro LED display panels 200, the arrangement of the R, G, B micro LEDs 240R, 240B, and 240G of adjacent pixels is different from the arrangement of the R, G, B micro LEDs 240R, 240B, and 240G of other pixels. 40R) to reduce the interval ℓ2. However, in this case, due to a difference in arrangement of the R, G, and B microLEDs 240R, 240B, and 240G from other pixels, the manufacturing process becomes complicated and the yield decreases.

본 발명에서는 마이크로LED 표시패널(200)의 전면의 마이크로LED(240)와 후면의 회로모듈(도면표시하지 않음)을 연결하는 링크라인을 기판의 측면에 형성된 운하형상의 홈에 배치함으로써 타일링 마이크로LED 표시장치의 인접하는 마이크로LED 표시패널(200)의 간격을 최소화할 수 있으므로, 최인접 마이크로LED(240G,240R)의 간격(ℓ2)을 하나의 마이크로LED 표시패널(200) 내부의 마이크로LED(240G,240R)의 간격(ℓ1)과 동일하게 할 수 있게 된다.In the present invention, since the distance between adjacent microLED display panels 200 of the tiling microLED display device can be minimized by disposing the link line connecting the microLED 240 on the front side of the microLED display panel 200 and the circuit module (not shown) on the back side of the substrate in a canal-shaped groove formed on the side surface of the substrate, the distance ℓ2 between the closest microLEDs 240G and 240R is the microLED 240G inside the microLED display panel 200. 240R) can be made the same as the interval ℓ1.

이하에서는 본 발명에 따른 타일링 마이크로LED 표시장치가 암선을 제거할 수 있는 구성임을 좀더 구체적으로 설명한다.Hereinafter, it will be described in more detail that the tiling micro LED display device according to the present invention has a configuration capable of removing dark lines.

도 8은 운하형상의 홈이 형성되지 않고 링크라인이 기판의 측면에 배치되는 마이크로LED 표시패널(300)의 외곽영역의 일부 단면도이다.8 is a partial cross-sectional view of the outer region of the micro LED display panel 300 in which no canal-shaped groove is formed and link lines are disposed on the side surface of the substrate.

도 8에 도시된 바와 같이, 이 구조의 마이크로LED 표시패널(300)에서는 제1기판(310a)과 제2기판(310b)이 구비되고 제1기판(310a)의 상면에는 박막트랜지스터, 게이트라인과 데이터라인과 같은 각종 배선, 패드(352), 링크라인(354)이 배치되며, 제2기판(310a)의 하면에는 회로모듈과 상기 회로모듈과 접속되는 링크라인(354)이 배치된다.As shown in FIG. 8, in the micro LED display panel 300 of this structure, a first substrate 310a and a second substrate 310b are provided, and thin film transistors, various wires such as gate lines and data lines, pads 352, and link lines 354 are disposed on the upper surface of the first substrate 310a, and a circuit module and a link line 354 connected to the circuit module are disposed on the lower surface of the second substrate 310a. ) is placed.

본 발명의 마이크로LED 표시패널에서는 1매의 기판만으로 구성된데 반해, 이 구조의 마이크로LED 표시패널(300)에서는 2매의 기판이 필요한데, 그 이유는 다음과 같다.The micro LED display panel of the present invention is composed of only one substrate, whereas the micro LED display panel 300 of this structure requires two substrates for the following reason.

일반적으로, 기판의 상면에 배치되는 박막트랜지스터와 각종 배선은 모두 사진식각공정에서 형성되며, 이들 사진식각공정은 진공챔버내에 배치된 공정테이블에 기판을 올려 놓은 후 금속과 절연물질 등을 증착하고 식각함으로써 진행된다.In general, thin film transistors and various wirings disposed on the upper surface of a substrate are all formed in a photolithography process, and these photolithography processes are performed by placing a substrate on a process table disposed in a vacuum chamber, depositing and etching metals and insulating materials, etc.

따라서, 예를 들어, 1매의 기판의 하면의 표면에 링크라인 형성한 후 상면에 사진식각공정을 진행하기 위해서는, 기판을 반전하여 신호배선이 형성된 하면을 공정테이블에 접촉하도록 공정테이블에 올려 놓고 상면을 상부방향을 향하도록 배치한 상태에서 박막트랜지스터 공정 등을 진행한다. 따라서, 기판이 하면에 형성된 링크라인(354)이 공정테이블과 접촉하여 링크라인(354)이 파손되어 불량이 발생하게 된다.Therefore, for example, in order to perform a photolithography process on the upper surface after forming a link line on the surface of the lower surface of a single substrate, the substrate is inverted and the lower surface on which the signal wiring is formed is placed on the process table so as to contact the process table, and the thin film transistor process or the like is performed with the upper surface facing upward. Therefore, the link line 354 formed on the lower surface of the substrate contacts the process table, and the link line 354 is damaged, resulting in a defect.

또한, 상면의 증착공정중 원하지 않는 금속이나 절연층이 기판 하면에 증착되어 상기 링크라인(354)이 단락되거나 식각공정중 에천트가 하면의 링크라인(354)을 식각하여 상기 링크라인(354)이 단선되는 등의 불량이 발생하게 된다.In addition, during the deposition process of the upper surface, an unwanted metal or insulating layer is deposited on the lower surface of the substrate, resulting in a short circuit of the link line 354, or an etchant etching the link line 354 of the lower surface during the etching process, thereby causing defects such as disconnection of the link line 354.

또한, 상면에 박막트랜지스터와 같은 각종 소자를 형성한 후 하면에 링크라인(354)을 형성하는 경우에도, 링크라인(354)이 형성공정시 박막트랜지스터와 같은 각종 소자가 공정테이블과 접촉하게 되므로, 불량이 발생할 수 있다. 또한, 링크라인(354)을 형성한 후 마이크로LED를 전사하기 위한 전사공정시 다시 링크라인(354)이 형성된 하면이 공정테이블과 접촉하게 되어 링크라인(354)에 불량이 발생하게 된다.In addition, even when the link line 354 is formed on the lower surface after forming various elements such as thin film transistors on the upper surface, defects may occur because various elements such as the thin film transistors come into contact with the process table during the formation process of the link line 354. In addition, during a transfer process for transferring the micro LED after the link line 354 is formed, the lower surface on which the link line 354 is formed comes into contact with the process table again, resulting in defects in the link line 354 .

이러한 불량을 방지하기 위해, 이 구조의 마이크로LED 표시장치에서는 서로 다른 공정에서 제1기판(310a)의 전면에 박막트랜지스터 등의 소자를 형성하고 마이크로LED를 전사하며 제2기판(310b)의 배면에 링크라인(354)을 형성한 후, 상기 제1기판(310a) 및 제2기판(310b)을 합착함으로써 공정테이블과의 충돌, 증착이나 식각에 의한 불량을 방지할 수 있게 된다.In order to prevent such defects, in the micro LED display device having this structure, elements such as thin film transistors are formed on the front surface of the first substrate 310a in different processes, the micro LED is transferred, and the link line 354 is formed on the rear surface of the second substrate 310b. After forming, the first substrate 310a and the second substrate 310b are bonded together, thereby preventing collision with the process table and defects due to deposition or etching.

다시 도 8을 참조하면, 제1기판(310a)과 제2기판(310b)은 접착제(357)에 의해 서로 합착된다.Referring back to FIG. 8 , the first substrate 310a and the second substrate 310b are bonded to each other by an adhesive 357 .

제1기판(310a)의 상면과 제2기판(310b)의 하면에 각각 형성된 링크라인(354)은 제1기판(310a)과 제2기판(310b)의 측면에 형성된 링크라인(354)에 의해 연결된다. 이때, 제1기판(310a)의 상면과 제2기판(310b)의 하면에 각각 형성된 링크라인(354)과 제1기판(310a)과 제2기판(310b)의 측면에 형성된 링크라인(354)은 서로 다른 물질 및 구조로 형성될 수 있지만, 동일 물질로 일체로 형성되는 것이 바람직하다.The link lines 354 respectively formed on the upper surface of the first substrate 310a and the lower surface of the second substrate 310b are connected by link lines 354 formed on the side surfaces of the first substrate 310a and the second substrate 310b. At this time, the link lines 354 formed on the upper surface of the first substrate 310a and the lower surface of the second substrate 310b, respectively, and the link lines 354 formed on the side surfaces of the first substrate 310a and the second substrate 310b may be formed of different materials and structures, but are preferably integrally formed of the same material.

상기 제1기판(310a)의 상면과 제2기판(310b)의 하면, 제1기판(310a)과 제2기판(310b)의 측면에는 버퍼층(318)이 형성되어 외부로 노출되는 링크라인(354)을 보호하여 상기 링크라인(354)이 파손되거나 부식되는 것을 방지할 수 있게 된다. A buffer layer 318 is formed on the upper surface of the first substrate 310a, the lower surface of the second substrate 310b, and the side surfaces of the first substrate 310a and the second substrate 310b to protect the link line 354 exposed to the outside, thereby preventing the link line 354 from being damaged or corroded.

이때, 상기 버퍼층(318)은 제1기판(310a)과 제2기판(310b)의 측면에 형성된 링크라인(354)은 t1의 두께로 형성되고 버퍼층(318)은 t2의 두께로 형성된다.At this time, in the buffer layer 318, the link line 354 formed on the side surfaces of the first substrate 310a and the second substrate 310b is formed to a thickness of t1, and the buffer layer 318 is formed to a thickness of t2.

도 9a 및 도 9b는 각각 도 8에 도시된 구조의 마이크로LED 표시패널과 본 발명의 실시예에 따른 마이크로LED 표시패널이 타일링된 구조를 나타내는 부분 단면도이다.9A and 9B are partial cross-sectional views illustrating a structure in which the microLED display panel of the structure shown in FIG. 8 and the microLED display panel according to an exemplary embodiment of the present invention are tiled, respectively.

도 9a에 도시된 바와 같이, 이 구조의 마이크로LED 표시장치에서는 서로 타일링되는 마이크로LED 표시패널(300)의 제1기판(310a) 및 제2기판(310b)의 측면에는 링크라인(354)과 버퍼층(318)이 형성되므로, 서로 타일링되는 마이크로LED 표시패널(300) 사이에는 2층의 링크라인(354)과 버퍼층(318)이 형성되어, 상기 마이크로LED 표시패널(300) 사이의 간격(d2)이 d2=2t1+2t2+β(여기서, β는 타일링 마이크로LED 표시장치의 조립공차)가 된다.As shown in FIG. 9A , in the microLED display device having this structure, since link lines 354 and buffer layers 318 are formed on the side surfaces of the first and second substrates 310a and 310b of the microLED display panel 300 that are tiled with each other, two layers of link lines 354 and buffer layers 318 are formed between the microLED display panels 300 that are tiled with each other, so that the microLED display panel 300 ) becomes d2 = 2t1 + 2t2 + β (here, β is the assembly tolerance of the tiling micro LED display).

도 9b에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 마이크로LED 표시장치에서는 기판(210)의 측면과 하면에 각각 운하형상의 복수의 홈(262,264)이 형성되며, 상기 홈(262,264) 내부에 링크라인(254)이 형성된다. 또한, 버퍼층(218)은 기판(210)의 상면에만 형성되고 기판(210)의 측면에는 형성되지 않는다.As shown in FIG. 9B, in the micro LED display device according to the present invention, a plurality of canal-shaped grooves 262 and 264 are formed on the side and bottom surfaces of the substrate 210, respectively, and the link line 254 is formed inside the grooves 262 and 264. In addition, the buffer layer 218 is formed only on the upper surface of the substrate 210 and is not formed on the side surface of the substrate 210 .

따라서, 본 발명에 따른 마이크로LED 표시장치에서는 마이크로LED 표시패널(200)의 측면에 링크라인(254)과 버퍼층(218)이 형성되지 않으므로, 인접하는 마이크로LED 표시패널(200) 사이에는 어떠한 층이 존재하지 않게 된다. 따라서, 인접하는 마이크로LED 표시패널(200) 사이의 간격(d1)는 실질적으로 타일링 마이크로LED 표시장치의 타일링공차(β)와 동일하게 된다(d1=β).Therefore, in the microLED display device according to the present invention, since the link line 254 and the buffer layer 218 are not formed on the side of the microLED display panel 200, there is no layer between adjacent microLED display panels 200. Therefore, the distance d1 between adjacent micro LED display panels 200 is substantially equal to the tiling tolerance β of the tiling micro LED display device (d1 = β).

다시 말해서, 본 발명의 마이크로LED 표시패널(200) 사이의 간격(d3)이 도 8에 도시된 구조의 마이크로LED 표시패널(300) 사이의 간격(d2)에 비해 작게 형성된다(d1<d2). 이와 같이, 본 발명의 타일링 마이크로LED 표시장치는 마이크로LED 표시패널(200) 사이의 간격을 최소화할 수 있게 되어, 마이크로LED 표시패널(200) 사이에 심영역이 암선으로 표시되는 발생하는 불량을 방지할 수 있게 된다.In other words, the distance d3 between the micro LED display panels 200 of the present invention is smaller than the distance d2 between the micro LED display panels 300 of the structure shown in FIG. 8 (d1 < d2). In this way, the tiling micro LED display device of the present invention can minimize the distance between the micro LED display panels 200, thereby preventing a defect in which the deep area between the micro LED display panels 200 is displayed as a dark line.

이와 같이, 본 발명에 따른 타일링 마이크로LED 표시장치에서는 타일링시 마이크로LED 표시패널의 설정 간격(d)을 타일링공차와 유사할 정도로 작게 설계할 수 있게 되므로, 마이크로LED 표시패널 사이에 암선이 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.As described above, in the tiling micro LED display device according to the present invention, since the setting interval (d) of the micro LED display panels during tiling can be designed to be small enough to be similar to the tiling tolerance, it is possible to prevent dark lines from occurring between the micro LED display panels.

또한, 설정 간격(d)을 최소화할 수 있으므로, 인접하게 타일링되는 2개의 마이크로LED 표시패널(200)의 최인접 마이크로LED(240G,240R) 사이의 간격(ℓ2)을 한 마이크로LED 표시패널(200)내의 인접하는 화소영역(P)의 최인접 마이크로LED(240G,240R) 사이의 간격(ℓ1)과 유사하게 설정할 수 있으므로, 마이크로LED 표시패널 사이 영역에서 화질이 저하되는 것을 방지할 수 있게 된다.In addition, since the setting interval d can be minimized, the interval ℓ2 between the closest microLEDs 240G and 240R of the two microLED display panels 200 that are adjacently tiled can be set to be similar to the interval ℓ1 between the adjacent microLEDs 240G and 240R of the adjacent pixel area P in one microLED display panel 200, so that the image quality in the area between the microLED display panels can be prevented from deteriorating. .

이하에서는 본 발명에 따른 타일링 마이크로LED 표시장치의 제조방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a tiling micro LED display device according to the present invention will be described.

도 10은 본 발명에 따른 타일링 마이크로LED 표시장치의 제조방법을 나타내는 도면이다. 이때의 마이크로LED 표시장치는 도 1 및 도 2에 도시된 구조의 표시패널이 복수개 타일링된 표시장치이다.10 is a diagram illustrating a manufacturing method of a tiling micro LED display device according to the present invention. At this time, the micro LED display device is a display device in which a plurality of display panels having the structure shown in FIGS. 1 and 2 are tiled.

도면에 도시된 바와 같이, 우선 유리와 같은 투명한 기판(100)을 가공하여 기판의 배면과 측면에 운하형상을 가진 복수의 홈(162,164)을 형성한다(S101). 이때, 상기 제1홈(162)과 제2홈(164)은 서로 연결되어 하나의 홈을 형성할 수 있다.As shown in the figure, first, a transparent substrate 100 such as glass is processed to form a plurality of canal-shaped grooves 162 and 164 on the back and side surfaces of the substrate (S101). At this time, the first groove 162 and the second groove 164 may be connected to each other to form one groove.

상기 홈(162,164)은 기판(110) 측면과 배면상에 일부 영역이 노출되는 레지스트패턴을 형성한 후, 상기 기판에 식각액을 작용하여 노출된 영역을 식각함으로써 형성할 수 있다. 또한, 상기 기판(110)의 가장자리영역을 따라 복수의 홀(hole)을 형성한 후, 상기 홀의 중심이나 1/3선 또는 2/3 선을 따라 기판을 절단하거나 그라인딩(grinding)하여 기판의 측면에 홈(164)을 형성할 수도 있다. 그러나, 상기 홈(162,164)은 특정 방법에 의해 형성되는 것이 아니라 다양한 방법에 의해 형성될 수 있다.The grooves 162 and 164 may be formed by forming a resist pattern on the side surface and rear surface of the substrate 110 to expose some areas, and then etching the exposed areas by applying an etchant to the substrate. In addition, after forming a plurality of holes along the edge region of the substrate 110, the substrate is cut or ground along the center of the hole or along the 1/3 line or 2/3 line to form the groove 164 on the side of the substrate. However, the grooves 162 and 164 are not formed by a specific method, but may be formed by various methods.

이어서, 공정테이블 상에 기판을 올려 놓은 후, 상기 홈(162,164) 내부에 도전물질을 도포하여 링크라인(154)을 형성한다(S102). 이때, 상기 도전물질은 점도를 가진 Ag나 Au, 또는 Al과 같은 도전물질을 도포함으로써 형성할 수 있고, 금속을 스퍼터링과 같은 증착공정에 의해 적층하고 식각하여 형성할 수도 있다.Subsequently, after placing the substrate on the process table, a conductive material is applied to the inside of the grooves 162 and 164 to form link lines 154 (S102). In this case, the conductive material may be formed by applying a conductive material such as Ag, Au, or Al having a viscosity, or may be formed by depositing and etching a metal by a deposition process such as sputtering.

상기 링크라인(154)을 형성한 후, 상기 홈 내부에는 절연물질(매립층)을 채워 상기 링크라인(154)을 외부의 충격이나 이물질로부터 보호할 수 있다. 이때, 상기 절연물질로는 수지와 같은 폴리머, 포토아크릴과 같은 유기물질, SiOx나 SiNx와 같은 무기물질이 사용될 수 있다. 상기 절연물질은 링크라인(154)을 덮도록 홈(162,164)의 일부 영역에만 도포될 수 있고 홈(162,164) 내부를 완전히 채워 표면이 기판(110)의 측면 및 배면의 표면과 동일한 레벨을 형성할 수도 있으며, 홈(162,164)의 내부 면적보다 더 많은 물질이 도포되어 기판(110)의 측면 및 배면의 측면으로부터 튀어나올 수도 있다.After the link line 154 is formed, an insulating material (burial layer) may be filled in the groove to protect the link line 154 from external impact or foreign matter. At this time, as the insulating material, a polymer such as resin, an organic material such as photoacrylic, or an inorganic material such as SiOx or SiNx may be used. The insulating material may be applied only to a portion of the grooves 162 and 164 so as to cover the link line 154, completely fill the inside of the grooves 162 and 164 so that the surface is at the same level as the surface of the side surface and the rear surface of the substrate 110, or more material than the inner area of the grooves 162 and 164 may protrude from the side surface and the rear surface of the substrate 110.

그 후, 기판(110)의 상면이 상부로 향하고 링크라인(154)이 형성된 배면을 공정테이블에 접촉하도록 기판(110)을 반전한 후, 상기 기판(110) 상면에 사진식각공정에 의해 박막트랜지스터와, 게이트라인 및 데이터라인과 같은 각종 배선을 형성한 후 그 위에 제1절연층(114)을 형성한다(S103). 또한, 상기 박막트랜지스터의 게이트전극의 형성과 동시에 패드(152)를 형성하고 소스전극(105) 및 드레인전극(107)의 형성과 동시에 제2전극(109)을 형성한다. After that, the substrate 110 is inverted so that the upper surface of the substrate 110 faces upward and the rear surface on which the link line 154 is formed is in contact with the process table, and then thin film transistors and various wires such as gate lines and data lines are formed on the upper surface of the substrate 110 by a photolithography process, and then a first insulating layer 114 is formed thereon (S103). In addition, the pad 152 is formed simultaneously with the formation of the gate electrode of the thin film transistor, and the second electrode 109 is formed simultaneously with the formation of the source electrode 105 and the drain electrode 107.

기판(110)의 반전에 의해 기판(110)이 배면이 공정테이블의 상면과 접촉하게 된다. 본 발명에서는 링크라인(154)이 기판(110)의 배면에 형성된 홈(162)의 내부에 형성되므로, 기판(110)이 반전되어 배면이 공정테이블과 접촉하는 경우에도 상기 링크라인(154)이 공정테이블과 접촉하지 않게 된다. 더욱이, 홈(162) 내부에는 링크라인(154)을 보호하기 위한 매립층(또는 보호막)이 형성되어 있으므로, 반전에 의해 링크라인(154)이 파손되는 것을 확실하게 방지할 수 있게 된다.By inverting the substrate 110, the back surface of the substrate 110 comes into contact with the upper surface of the process table. In the present invention, since the link line 154 is formed inside the groove 162 formed on the rear surface of the substrate 110, even when the substrate 110 is inverted and the rear surface contacts the process table, the link line 154 does not come into contact with the process table. Moreover, since a buried layer (or protective film) for protecting the link line 154 is formed inside the groove 162, it is possible to reliably prevent the link line 154 from being damaged by reversal.

기판의 배면에 홈이 형성되지 않아 링크라인이 기판 배면의 표면에 형성되는 구조의 마이크로LED 표시장치의 경우, TFT공정시 배면이 공정테이블과 접촉하므로 배면에 형성된 링크라인이 파손될 수 있다. 또한, TFT공정시 사용되는 식각액 등에 의해 상기 링크라인이 식각되어 링크라인이 단선되는 문제가 발생한다. 따라서, 이러한 구조의 마이크로LED 표시장치에서는 2매의 기판을 사용하여 하나의 기판 상면에는 TFT를 형성하고 다른 기판의 하면에는 링크라인을 형성한 후, 2매의 기판을 합착해야만 한다.In the case of a micro LED display device having a structure in which a groove is not formed on the rear surface of the substrate and link lines are formed on the surface of the rear surface of the substrate, since the rear surface contacts the process table during the TFT process, the link line formed on the rear surface may be damaged. In addition, the link line is etched by an etchant used in the TFT process, resulting in disconnection of the link line. Therefore, in a micro LED display device having this structure, two substrates must be used to form a TFT on the upper surface of one substrate and a link line on the lower surface of the other substrate, and then bond the two substrates together.

그러나, 본 발명에서는 기판(110)의 상하면에 각각 TFT(TFT)와 링크라인(154)을 형성하므로, 2매의 기판을 사용하는 구조에 비해 제조비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 표시장치의 부피 및 무게를 감축할 수 있게 된다.However, in the present invention, since the TFT (TFT) and the link line 154 are formed on the upper and lower surfaces of the substrate 110, respectively, it is possible to reduce the manufacturing cost as well as the volume and weight of the display device compared to a structure using two substrates.

다시 도 10을 참조하면, 박막트랜지스터(TFT) 및 배선을 형성한 후, 기판(110) 상면에 마이크로LED(140)를 전사한다(S104).Referring back to FIG. 10 , after forming the thin film transistor (TFT) and wiring, the micro LED 140 is transferred to the upper surface of the substrate 110 (S104).

마이크로LED(140)의 전사는 사파이어나 실리콘기판상에 성장하여 형성된 마이크로LED을 칩단위로 분리한 후, 분리된 마이크로LED(140)를 기판(110)으로 옮기는 것으로, 정전헤드(electrostatic head)의 정전기에 의해 마이크로LED(140)를 전사할 수도 있고 탄성을 가진 고분자물질로 정전헤드를 구성하여 마이크로LED(140)를 전사할 수 있다. 그러나, 상기 마이크로LED(140)의 전사가 이러한 방법에 의해 한정되는 것이 아니라 다양한 방법에 의해 이루어질 수 있을 것이다.The microLED 140 is transferred by separating the microLED 140 grown on a sapphire or silicon substrate into chip units, and then transferring the separated microLED 140 to the substrate 110. However, the transfer of the micro LED 140 is not limited to this method and may be performed by various methods.

이어서, 상기 기판(110) 상에 ITO나 IGZO, IGO와 같은 투명한 금속산화물을 적층하고 식각하여, 상기 제1컨택홀(114a) 및 제3컨택홀(116a)을 통해 박막트랜지스터(TFT)의 드레인전극(107)과 마이크로LED(140)의 p-형 전극(141)을 전기적으로 접속하고, 제2컨택홀(114b) 및 제4컨택홀(116b)을 통해 제2전극(109)과 마이크로LED(140)의 n-형 전극(143)을 전기적으로 접속한다(S105).Subsequently, a transparent metal oxide such as ITO, IGZO, or IGO is laminated on the substrate 110 and etched to electrically connect the drain electrode 107 of the thin film transistor (TFT) and the p-type electrode 141 of the micro LED 140 through the first contact hole 114a and the third contact hole 116a, and the second contact hole 114b and the fourth contact hole 116 Through b), the second electrode 109 and the n-type electrode 143 of the micro LED 140 are electrically connected (S105).

그 후, 기판(110) 상부에 무기물질 또는/및 유기물질을 적층하여 버퍼층(118)을 형성하여 마이크로LED 표시패널을 완성한다(106). 이때, 상기 버퍼층(118)은 기판(110)의 상면에만 형성되어 상면에 배치되어 외부로 노출된 패드(152)와 링크라인(154)을 덮는다. 그러나, 상기 버퍼층(118)은 기판(110)의 측면과 배면에는 형성되지 않는다.Thereafter, an inorganic material or/and an organic material is laminated on the substrate 110 to form a buffer layer 118 to complete the micro LED display panel (106). At this time, the buffer layer 118 is formed only on the upper surface of the substrate 110 and is disposed on the upper surface to cover the pad 152 and the link line 154 exposed to the outside. However, the buffer layer 118 is not formed on the side surface and the rear surface of the substrate 110 .

이어서, 상기 완성된 복수의 마이크로LED 표시패널을 타일링하여 마이크로LED 표시장치를 제작한다(S107).Subsequently, a micro LED display device is fabricated by tiling the plurality of micro LED display panels completed (S107).

상술한 상세한 설명에서는 본 발명을 특정구조로 구체적으로 설명하고 있지만, 이는 설명의 편의를 위한 것이다. 그러나, 본 발명이 이러한 특정 구조에 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, 상술한 설명에서는 특정 구조의 마이크로LED가 사용되고 있지만 다양한 구조의 마이크로LED도 사용될 수 있을 것이다. 또한, 상술한 설명에서는 마이크로LED가 제1절연층 위에 전사되지만, 마이크로LED의 전사 위치가 이러한 위치에 특정되는 것이 아니라 다양한 층 위에 전사될 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 권리범위는 상술한 상세한 설명에 의해 결정되는 것이 아니라 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.In the above detailed description, although the present invention is specifically described as a specific structure, this is for convenience of description. However, the present invention is not limited to this specific structure. For example, although a microLED having a specific structure is used in the above description, microLEDs having various structures may also be used. Also, in the above description, the microLED is transferred on the first insulating layer, but the transfer location of the microLED is not specific to this location, and may be transferred on various layers. Therefore, the scope of the present invention is not determined by the above detailed description, but should be determined by what is equivalent to the claims and claims.

100: 마이크로LED 표시장치 110: 기판
140: 마이크로LED 152: 패드
154: 링크라인 162,164: 홈
170: 회로모듈
100: micro LED display device 110: substrate
140: microLED 152: pad
154: link line 162, 164: home
170: circuit module

Claims (9)

상면에 박막트랜지스터 및 전극이 배치된 기판;
상기 기판의 상면에 구비된 복수의 수평구조 마이크로LED(Light Emitting Device);
상기 기판의 측면 및 배면의 일부 영역이 제거되어 상기 기판의 측면 및 배면에 형성된 운하형상의 복수의 홈;
상기 기판의 측면 및 배면의 상기 홈 내부 및 상기 기판의 상면에 형성된 링크라인;
상기 기판의 측면 및 배면의 상기 홈 내부에 구비되어 상기 링크라인을 덮는 매립층;
상기 기판의 상면에 형성되어 상기 링크라인에 접속된 패드; 및
상기 박막트랜지스터 및 상기 전극 위에 구비되어 상면에 상기 수평구조 마이크로LED가 배치되는 제1절연층;
상기 수평구조 마이크로LED가 배치된 제1절연층 위에 구비된 제2절연층;
상기 제2절연층의 상면에 형성되고, 상기 제1절연층 및 상기 제2절연층에 형성된 관통홀들을 통하여 상기 수평구조 마이크로LED를 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극 및 상기 전극과 접속시키는 제1연결전극 및 제2연결전극; 및
상기 기판의 상면에 형성되어 상기 제2절연층, 상기 제1연결전극, 상기 제2연결전극, 상기 패드 및 상기 링크라인을 덮는 버퍼층을 포함하는 마이크로LED 표시패널.
a substrate on which thin film transistors and electrodes are disposed;
A plurality of horizontal structure micro LED (Light Emitting Device) provided on the upper surface of the substrate;
a plurality of canal-shaped grooves formed on the side surface and the rear surface of the substrate by removing partial regions of the side surface and the rear surface of the substrate;
Link lines formed inside the grooves on the side and rear surfaces of the substrate and on the upper surface of the substrate;
a buried layer provided inside the grooves on the side and rear surfaces of the substrate to cover the link line;
a pad formed on an upper surface of the substrate and connected to the link line; and
a first insulating layer provided on the thin film transistor and the electrode and having the horizontal structure microLED disposed thereon;
a second insulating layer provided on the first insulating layer on which the horizontal structure microLED is disposed;
A first connection electrode and a second connection electrode formed on an upper surface of the second insulating layer and connecting the horizontal structure microLED to the drain electrode and the electrode of the thin film transistor through through-holes formed in the first insulating layer and the second insulating layer; and
A micro LED display panel comprising a buffer layer formed on an upper surface of the substrate and covering the second insulating layer, the first connection electrode, the second connection electrode, the pad, and the link line.
제1항에 있어서, 상기 수평구조 마이크로LED는 10-100㎛의 크기인 마이크로LED 표시패널.The micro LED display panel of claim 1 , wherein the horizontal structure micro LED has a size of 10 to 100 μm. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 매립층은 유기물질, 무기물질, 폴리머중 적어도 하나의 물질로 구성된 마이크로LED 표시패널.The micro LED display panel of claim 1 , wherein the filling layer is made of at least one of an organic material, an inorganic material, and a polymer. 제1항에 있어서, 상기 기판의 측면에 형성된 홈은 기판의 상면과 인접하는 모서리에서 기판의 배면과 인접하는 모서리로 연장되는 마이크로LED 표시패널.The microLED display panel of claim 1 , wherein the groove formed on the side surface of the substrate extends from an edge adjacent to the upper surface of the substrate to an edge adjacent to the rear surface of the substrate. 제1항에 있어서, 상기 기판의 배면에 배치되어 기판의 상면의 상기 수평구조 마이크로LED에 신호를 공급하는 신호모듈을 추가로 포함하는 마이크로LED 표시패널.The micro LED display panel of claim 1 , further comprising a signal module disposed on the rear surface of the substrate and supplying signals to the horizontal structure micro LED on the upper surface of the substrate. 제6항에 있어서, 기판의 배면에 형성되는 홈은 신호모듈로부터 측면과 인접하는 모서리로 연장되는 마이크로LED 표시패널.7. The microLED display panel of claim 6, wherein the groove formed on the rear surface of the substrate extends from the signal module to a corner adjacent to the side surface of the substrate. 삭제delete 제1항, 제2항, 제4항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 구조의 마이크로LED 표시패널이 복수개 타일링되어 구성되며,
인접하는 마이크로LED 표시패널의 기판 측면이 조립 공차의 간격을 두고 배치되는 것을 특징으로 하는 타일링 마이크로LED 표시장치.
A plurality of micro LED display panels having the structure according to any one of claims 1, 2, and 4 to 7 are tiled,
A tiling micro LED display device, characterized in that substrate sides of adjacent micro LED display panels are arranged at intervals of an assembly tolerance.
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