KR102532094B1 - Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor - Google Patents

Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor Download PDF

Info

Publication number
KR102532094B1
KR102532094B1 KR1020230022810A KR20230022810A KR102532094B1 KR 102532094 B1 KR102532094 B1 KR 102532094B1 KR 1020230022810 A KR1020230022810 A KR 1020230022810A KR 20230022810 A KR20230022810 A KR 20230022810A KR 102532094 B1 KR102532094 B1 KR 102532094B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
barrel body
hole
barrel
incident
inner barrel
Prior art date
Application number
KR1020230022810A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
유갑규
전형천
Original Assignee
주식회사 브이엘
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 브이엘 filed Critical 주식회사 브이엘
Priority to KR1020230022810A priority Critical patent/KR102532094B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102532094B1 publication Critical patent/KR102532094B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/028—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/023—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10—Energy storage using batteries

Abstract

개시되는 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더가 내부 경통 부재와, 입사측 렌즈 부재와, 중간 경통 부재와, 외부 경통 부재를 포함함에 따라, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 작동 중에 광에 의해 발생된 내부 경통 몸체의 내부의 열기가 내부 경통측 배출홀, 중간 경통측 배출홀, 중간 경통 몸체의 외곽과 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈 및 외부 경통 개방홀을 통해 외부로 배출될 수 있게 되고, 그에 따라 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 작동 중에 발생되는 열기에 의해 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 구성 요소들인 상기 내부 경통 부재, 상기 입사측 렌즈 부재, 상기 중간 경통 부재 등이 가열되면서 상기 입사측 렌즈 부재 등의 렌즈가 임의로 초점 이동되는 현상의 발생이 방지될 수 있게 되는 장점이 있다.As the disclosed beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors includes an inner barrel member, an incident-side lens member, an intermediate barrel member, and an outer barrel member, during operation of the beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors, light The heat generated inside the inner barrel body can be discharged to the outside through the discharge hole on the inner barrel side, the discharge hole on the middle barrel side, the gap between the outer barrel body and the inner barrel body, and the outer barrel opening hole. , Accordingly, the internal barrel member, the incident side lens member, the intermediate barrel member, etc., which are components of the secondary battery and semiconductor inspection beam expander, are caused by heat generated during operation of the secondary battery and semiconductor inspection beam expander. There is an advantage in that occurrence of a phenomenon in which a lens such as the incident-side lens member is arbitrarily shifted in focus while being heated can be prevented.

Description

이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더{Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor}Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor {Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor}

본 발명은 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 관한 것이다.The present invention relates to a beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors.

이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더는 이차전지 및 반도체를 검사하기 위해 사용되는 레이저에서 나오는 빛과 같은 평행 광선속을 굵은 평행 광선속으로 변화하기 위해서 초점 위치를 일치시킨 두 쌍의 렌즈로 구성된 장치를 말한다.A beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors refers to a device composed of two pairs of lenses whose focal positions are matched in order to change a bundle of parallel rays, such as light from a laser used for inspecting secondary batteries and semiconductors, into a bundle of thick parallel rays.

이러한 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.What can be presented as an example of such a beam expander for secondary battery and semiconductor inspection is that of the patent document presented below.

그러나, 종래의 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 의하면, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 작동 중에 레이저의 열기에 의해 빔 익스팬더의 구성 요소들이 가열되면서 렌즈가 임의로 초점 이동(focus shift)되는 현상이 발생되는 문제가 있었다.However, according to the conventional beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors, while the beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors is operated, the elements of the beam expander are heated by the heat of the laser and the lens is arbitrarily shifted in focus. There was a problem that caused the phenomenon.

공개특허 제 10-2017-0063807호, 공개일자: 2017.06.08., 발명의 명칭: 만곡된 반사 편광기를 갖는 빔 익스팬더Patent Publication No. 10-2017-0063807, Publication date: 2017.06.08., Title of the invention: Beam expander with curved reflective polarizer

본 발명은 작동 중에 발생되는 열기에 의해 구성 요소들이 가열되면서 렌즈가 임의로 초점 이동되는 현상의 발생이 방지될 수 있도록 하는 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor capable of preventing a phenomenon in which a lens is arbitrarily moved in focus while components are heated by heat generated during operation.

본 발명의 일 측면에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더는 내부가 빈 실린더 형태로 형성되는 내부 경통 몸체를 포함하는 내부 경통 부재; 상기 내부 경통 몸체의 내부에 광이 입사되는 쪽인 상기 내부 경통 몸체의 내부의 일 측부에 삽입되어 상기 내부 경통 몸체의 길이 방향으로 이동 가능한 입사측 렌즈 부재; 상기 내부 경통 몸체의 외곽을 감싸되 상기 내부 경통 몸체에 대해 상대적으로 회전될 수 있도록 배치되는 중간 경통 몸체를 포함하고, 상기 입사측 렌즈 부재의 이동을 위한 외력의 인가를 위한 중간 경통 부재; 및 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 소정 간격 이격되면서 상기 중간 경통 몸체의 외곽을 감싸되 상기 중간 경통 몸체가 내부에서 회전될 수 있도록 배치되는 외부 경통 몸체와, 상기 중간 경통 몸체의 회전을 위한 외력 인가를 위해 상기 중간 경통 몸체의 일부가 외부에 대해 노출되도록 상기 외부 경통 몸체의 일정 부분이 개방된 형태로 이루어진 외부 경통 개방홀을 포함하는 외부 경통 부재;를 포함하고,A beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors according to an aspect of the present invention includes an inner barrel member including an inner barrel body formed in an empty cylindrical shape; an incident-side lens member inserted into one side of the inner barrel body, which is a side on which light is incident into the inner barrel body, and movable in the longitudinal direction of the inner barrel body; an intermediate barrel member for applying an external force for moving the incident-side lens member, including an intermediate barrel body wrapped around the outer barrel body and disposed to rotate relatively with respect to the inner barrel body; and an external barrel body spaced apart from the periphery of the intermediate barrel body by a predetermined distance and wrapped around the periphery of the intermediate barrel body so that the intermediate barrel body can be rotated inside, and applying an external force for rotation of the intermediate barrel body. An external barrel member including an external barrel opening hole in which a certain portion of the external barrel body is opened so that a portion of the intermediate barrel body is exposed to the outside,

상기 내부 경통 부재는 상기 내부 경통 몸체의 내부의 열기의 배출을 위한 내부 경통측 배출홀을 포함하고, 상기 중간 경통 부재는 상기 내부 경통측 배출홀을 통해 배출된 열기의 배출을 위해 상기 내부 경통측 배출홀과 연통되는 중간 경통측 배출홀을 포함하고, 상기 내부 경통 몸체의 내부의 열기는 상기 내부 경통측 배출홀, 상기 중간 경통측 배출홀, 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈 및 상기 외부 경통 개방홀을 통해 외부로 배출될 수 있는 것을 특징으로 한다.The inner barrel member includes an inner barrel-side discharge hole for discharging heat inside the inner barrel body, and the intermediate barrel member includes an inner barrel-side discharge hole for discharging hot air discharged through the inner barrel-side discharge hole. and an intermediate barrel-side discharge hole communicating with the discharge hole, and heat inside the inner barrel body is discharged from the inner barrel-side discharge hole, the intermediate barrel-side discharge hole, the outer periphery of the intermediate barrel body, and the inner portion of the outer barrel body. It is characterized in that it can be discharged to the outside through the gap between the barrel and the external barrel opening hole.

본 발명의 일 측면에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 의하면, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더가 내부 경통 부재와, 입사측 렌즈 부재와, 중간 경통 부재와, 외부 경통 부재를 포함함에 따라, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 작동 중에 광에 의해 발생된 내부 경통 몸체의 내부의 열기가 내부 경통측 배출홀, 중간 경통측 배출홀, 중간 경통 몸체의 외곽과 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈 및 외부 경통 개방홀을 통해 외부로 배출될 수 있게 되고, 그에 따라 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 작동 중에 발생되는 열기에 의해 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 구성 요소들인 상기 내부 경통 부재, 상기 입사측 렌즈 부재, 상기 중간 경통 부재 등이 가열되면서 상기 입사측 렌즈 부재 등의 렌즈가 임의로 초점 이동되는 현상의 발생이 방지될 수 있게 되는 효과가 있다.According to the beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors according to an aspect of the present invention, the beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors includes an inner barrel member, an incident-side lens member, an intermediate barrel member, and an external barrel member. Accordingly, during the operation of the beam expander for inspecting the secondary battery and semiconductor, heat generated by light inside the inner barrel body is transferred to the discharge hole on the inner barrel side, the discharge hole on the middle barrel side, the outer periphery of the intermediate barrel body and the inner side of the outer barrel body. Components of the beam expander for inspecting the secondary battery and semiconductor can be discharged to the outside through the gap between the gaps and the external barrel opening hole, and accordingly, the heat generated during operation of the beam expander for inspecting the secondary battery and semiconductor There is an effect of preventing the occurrence of a phenomenon in which the lenses of the incident-side lens member are arbitrarily shifted in focus while the inner barrel member, the incident-side lens member, and the intermediate barrel member are heated.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더를 위에서 내려다본 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 대한 분해 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 대한 단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더를 구성하는 중간 경통 부재에 대한 단면도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 일부를 확대한 단면도.1 is a perspective view looking down from above of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention;
2 is an exploded perspective view of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of an intermediate barrel member constituting a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention.
5 is a partially enlarged cross-sectional view of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 대하여 설명한다.Hereinafter, a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더를 위에서 내려다본 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 대한 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 대한 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더를 구성하는 중간 경통 부재에 대한 단면도이다.1 is a perspective view looking down from above of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention. 3 is a cross-sectional view of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an intermediate barrel member constituting a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention. is a cross-section of

도 1 내지 도 4를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)는 내부 경통 부재(140)와, 입사측 렌즈 부재(150)와, 중간 경통 부재(130)와, 외부 경통 부재(110)를 포함한다.1 to 4 together, the beam expander 100 for inspecting secondary batteries and semiconductors according to the present embodiment includes an inner barrel member 140, an incident-side lens member 150, and an intermediate barrel member 130. and an external barrel member 110.

또한, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)는 사출측 렌즈 부재(160)를 더 포함한다.In addition, the beam expander 100 for inspecting secondary batteries and semiconductors further includes an emission-side lens member 160 .

상기 내부 경통 부재(140)는 내부가 빈 실린더 형태로 형성되는 내부 경통 몸체(141)와, 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부의 열기의 배출을 위한 내부 경통측 배출홀(143, 144)을 포함하는 것이다.The inner barrel member 140 includes an inner barrel body 141 formed in the shape of a hollow cylinder and internal barrel-side discharge holes 143 and 144 for discharging hot air inside the inner barrel body 141. to include

또한, 상기 내부 경통 부재(140)는 상기 내부 경통 몸체(141)의 길이 방향으로 소정 길이의 장공(長孔) 형태로 형성되는 내부 경통측 가이드홀(142)과, 상기 내부 경통 몸체(141) 중 광이 사출되는 쪽의 말단 부분에 상기 내부 경통 몸체(141)에 비해 상대적으로 큰 직경의 원형 플랜지 형태로 형성되는 내부 경통측 플랜지(145)와, 상기 내부 경통측 플랜지(145)로부터 소정 길이로 연장되되 내부가 빈 실린더 형태로 형성되고 상기 내부 경통 몸체(141)에 비해서는 소정 크기만큼 상대적으로 큰 직경이면서 상기 내부 경통측 플랜지(145)에 비해서는 소정 크기만큼 상대적으로 작은 직경으로 형성되는 내부 경통측 연장체(146)와, 상기 내부 경통측 연장체(146)의 길이 방향으로 소정 길이의 장공 형태로 형성되는 연장측 가이드홀(147)을 포함한다.In addition, the inner barrel member 140 includes an inner barrel-side guide hole 142 formed in the form of a long hole having a predetermined length in the longitudinal direction of the inner barrel body 141, and the inner barrel body 141. An inner barrel-side flange 145 formed in the form of a circular flange having a relatively larger diameter than the inner barrel body 141 at the distal end of the light emitting side, and a predetermined length from the inner barrel-side flange 145 It extends to but is formed in the shape of an empty cylinder and has a relatively large diameter by a predetermined size compared to the inner barrel body 141 and a relatively small diameter by a predetermined size compared to the inner barrel side flange 145. It includes an inner barrel-side extension body 146 and an extension-side guide hole 147 formed in the form of a long hole having a predetermined length in the longitudinal direction of the inner barrel-side extension body 146.

상기 내부 경통측 배출홀(143, 144)은 복수 개로 이루어지되, 상기 내부 경통 몸체(141)에 소정 간격으로 서로 이격되도록 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 관통 형성된다.The inner barrel-side discharge holes 143 and 144 are formed in plurality, and are formed through the inner barrel body 141 along the circumference of the inner barrel body 141 so as to be spaced apart from each other at predetermined intervals.

상세히, 상기 내부 경통측 배출홀(143, 144)은 상기 내부 경통 몸체(141) 중 광이 입사되는 쪽 부분에 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 서로 이격되도록 복수 개 형성되는 입사측 내부 배출홀(143)과, 상기 내부 경통 몸체(141) 중 광이 사출되는 쪽 부분에 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 서로 이격되도록 복수 개 형성되는 사출측 내부 배출홀(144)을 포함한다.In detail, a plurality of the inner barrel-side discharge holes 143 and 144 are formed in a portion of the inner barrel body 141 on which light is incident so as to be spaced apart from each other along the circumference of the inner barrel body 141. Includes a discharge hole 143 and a plurality of emission-side internal discharge holes 144 formed in a portion of the inner barrel body 141 on which light is emitted, spaced apart from each other along the circumference of the inner barrel body 141 do.

상기 내부 경통 몸체(141) 중 광이 입사되는 쪽 부분의 동일 원주 상에 복수 개의 상기 입사측 내부 배출홀(143)이 서로 이격되도록 배치되고, 상기 내부 경통 몸체(141) 중 광이 사출되는 쪽 부분의 동일 원주 상에 복수 개의 상기 사출측 내부 배출홀(144)이 서로 이격되도록 배치된다.A plurality of incident-side internal discharge holes 143 are arranged to be spaced apart from each other on the same circumference of the light incident side of the inner barrel body 141, and the light is emitted side of the inner barrel body 141. A plurality of the ejection-side internal discharge holes 144 are spaced apart from each other on the same circumference of the part.

상기 입사측 렌즈 부재(150)는 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부에 광이 입사되는 쪽인 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부의 일 측부에 삽입되어 상기 내부 경통 몸체(141)의 길이 방향으로 이동 가능한 것이다.The incident-side lens member 150 is inserted into one side of the inside of the inner barrel body 141, which is the side on which light is incident into the inner barrel body 141, and extends in the longitudinal direction of the inner barrel body 141. it is movable

상기 입사측 렌즈 부재(150)는 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부에서 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부를 따라 이동될 수 있도록 소정 폭의 원형 실린더 형태로 형성되는 입사측 렌즈 몸체(151)와, 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 내부에 삽입되는 입사측 렌즈체(152)와, 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외부로 소정 높이로 돌출되어 상기 내부 경통측 가이드홀(142)을 관통하여 상기 내부 경통측 가이드홀(142)을 따라 이동되면서 상기 입사측 렌즈 몸체(151)가 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부를 따라 이동될 때 상기 입사측 렌즈 몸체(151)가 상기 내부 경통 몸체(141)에 대해 회전되는 것을 방지해주는 입사측 렌즈 돌출체(153)와, 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면 중 일 측부에 치우쳐서 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면을 따라 둘러진 형태로 배치되고 고무 등 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면과 상기 내부 경통 몸체(141)의 내면 사이를 밀폐시키는 입사측 렌즈 제 1 밀폐링(155)과, 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면 중 타 측부에 치우쳐서 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면을 따라 둘러진 형태로 배치되고 고무 등 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면과 상기 내부 경통 몸체(141)의 내면 사이를 밀폐시키는 입사측 렌즈 제 2 밀폐링(156)을 포함한다.The incident-side lens member 150 is an incident-side lens body 151 formed in a circular cylinder shape with a predetermined width so as to be moved along the inside of the inner barrel body 141 from the inside of the inner barrel body 141 And, the incident-side lens body 152 inserted into the incident-side lens body 151 and protruding outside the incident-side lens body 151 to a predetermined height to form the inner barrel-side guide hole 142 When the incident-side lens body 151 is moved along the inside of the inner barrel body 141 while passing through and moving along the guide hole 142 on the inner barrel side, the incident-side lens body 151 moves along the inner barrel body 141. An incident-side lens protrusion 153 preventing rotation with respect to the body 141, and an incident-side lens body 151 biased to one side of the outer surface of the incident-side lens body 151 and surrounded along the outer surface of the incident-side lens body 151 a first sealing ring 155 of the incident side lens disposed in a shape and made of an elastic material such as rubber to seal between the outer surface of the incident side lens body 151 and the inner surface of the inner barrel body 141; It is disposed in a form surrounded by the outer surface of the incident-side lens body 151, biased toward the other side of the outer surface of the incident-side lens body 151, and is made of a material having elasticity such as rubber, so that the outer surface of the incident-side lens body 151 and A second sealing ring 156 for sealing the incident-side lens between inner surfaces of the inner barrel body 141 is included.

상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면 중 상기 입사측 렌즈 돌출체(153)를 사이에 두고 각 측부에 상기 입사측 렌즈 제 1 밀폐링(155)과 상기 입사측 렌즈 제 2 밀폐링(156)이 각각 배치됨으로써, 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면과 상기 내부 경통 몸체(141)의 내면 사이가 더욱 밀폐될 수 있어서, 먼지 등의 이물질의 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부로의 유입이 차단될 수 있게 된다.The incident-side lens first sealing ring 155 and the incident-side lens second sealing ring 156 are formed on each side of the incident-side lens protruding body 153 of the outer surface of the incident-side lens body 151. By disposing these lenses, the space between the outer surface of the lens body 151 and the inner surface of the inner lens barrel body 141 can be further sealed, so that foreign substances such as dust are introduced into the inner barrel body 141. this can be blocked.

상기 중간 경통 부재(130)는 내부가 빈 실린더 형태로 형성되되 상기 내부 경통 몸체(141)에 비해 소정 크기만큼 상대적으로 큰 직경으로 형성되어 상기 내부 경통 몸체(141)의 외곽을 감싸되 상기 내부 경통 몸체(141)에 대해 상대적으로 회전될 수 있도록 배치되는 중간 경통 몸체(131)를 포함하고, 상기 입사측 렌즈 부재(150)의 이동을 위한 외력의 인가를 위한 것이다.The intermediate barrel member 130 is formed in the shape of an empty cylinder and has a relatively larger diameter than the inner barrel body 141 by a predetermined size, and surrounds the outside of the inner barrel body 141 to cover the inner barrel body 141. It includes an intermediate barrel body 131 disposed to be relatively rotatable with respect to the body 141, and is for applying an external force for moving the lens member 150 on the incident side.

작업자가 상기 중간 경통 몸체(131)를 손으로 잡고 외력을 가하여 상기 중간 경통 몸체(131)를 돌려줄 수 있다.A worker may rotate the intermediate barrel body 131 by holding the intermediate barrel body 131 with his hand and applying an external force.

상기 중간 경통 부재(130)는 상기 내부 경통측 배출홀(143, 144)을 통해 배출된 열기의 배출을 위해 상기 내부 경통측 배출홀(143, 144)과 각각 연통되는 중간 경통측 배출홀(132, 133)을 포함한다.The intermediate barrel member 130 is an intermediate barrel-side discharge hole 132 communicating with the inner barrel-side discharge holes 143 and 144, respectively, to discharge hot air discharged through the inner barrel-side discharge holes 143 and 144. , 133).

상기 중간 경통 몸체(131)가 외력에 의해 회전될 때 상기 중간 경통측 배출홀(132, 133)이 상기 내부 경통측 배출홀(143, 144) 중 적어도 하나와 연통될 수 있도록 상기 중간 경통측 배출홀(132, 133)은 상기 중간 경통 몸체(131)에 소정 길이의 장공(長孔) 형태로 관통 형성된다.When the intermediate barrel body 131 is rotated by an external force, the intermediate barrel side discharge holes 132 and 133 communicate with at least one of the inner barrel side discharge holes 143 and 144. The holes 132 and 133 are formed through the intermediate barrel body 131 in the form of long holes having a predetermined length.

상기 중간 경통측 배출홀(132, 133)은 상기 중간 경통 몸체(131) 중 광이 입사되는 쪽 부분에 상기 중간 경통 몸체(131)의 원주를 따라 소정 길이의 장공 형태로 형성되는 입사측 중간 배출홀(132)과, 상기 중간 경통 몸체(131) 중 광이 사출되는 쪽 부분에 상기 중간 경통 몸체(131)의 원주를 따라 소정 길이의 장공 형태로 형성되는 사출측 중간 배출홀(133)을 포함한다.The intermediate barrel-side discharge holes 132 and 133 are formed in the form of long holes of a predetermined length along the circumference of the intermediate barrel body 131 at a portion of the intermediate barrel body 131 on which light is incident. A hole 132 and an emission-side intermediate discharge hole 133 formed in the form of a long hole having a predetermined length along the circumference of the intermediate barrel body 131 at a portion of the intermediate barrel body 131 on which the light is emitted do.

상기 입사측 중간 배출홀(132)은 상기 입사측 내부 배출홀(143)과 연통될 수 있는 위치에 형성되고, 상기 사출측 중간 배출홀(133)은 상기 사출측 내부 배출홀(144)과 연통될 수 있는 위치에 형성된다.The entrance-side intermediate discharge hole 132 is formed at a position where it can communicate with the incident-side internal discharge hole 143, and the emission-side intermediate discharge hole 133 communicates with the emission-side internal discharge hole 144. formed where possible.

상기 입사측 내부 배출홀(143)이 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 서로 이격되도록 복수 개 형성되고, 상기 입사측 중간 배출홀(132)은 상기 입사측 내부 배출홀(143)과 연통될 수 있는 위치에 소정 길이의 장공 형태로 형성되고, 상기 사출측 내부 배출홀(144)이 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 서로 이격되도록 복수 개 형성되고, 상기 사출측 중간 배출홀(133)은 상기 사출측 내부 배출홀(144)과 연통될 수 있는 위치에 소정 길이의 장공 형태로 형성된다.A plurality of incident-side internal discharge holes 143 are formed to be spaced apart from each other along the circumference of the inner barrel body 141, and the incident-side intermediate discharge hole 132 communicates with the incident-side internal discharge hole 143. It is formed in the form of a long hole of a predetermined length at a position that can be formed, and a plurality of ejection-side internal discharge holes 144 are formed so as to be spaced apart from each other along the circumference of the inner barrel body 141, and the ejection-side intermediate discharge hole ( 133) is formed in the form of a long hole having a predetermined length at a position that can communicate with the ejection-side internal discharge hole 144.

상기 입사측 내부 배출홀(143)은 상기 입사측 중간 배출홀(132)과 맞물릴 수 있는 직경의 원형의 홀로 형성되어 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 서로 이격되도록 형성되고, 상기 입사측 중간 배출홀(132)은 상기 입사측 내부 배출홀(143)과 맞물릴 수 있는 폭으로 상기 중간 경통 몸체(131)의 원주 방향으로 소정 길이의 장공 형태로 형성되되 상기 중간 경통 몸체(131)의 원주를 따라 복수 개가 서로 이격되도록 형성되고, 상기 사출측 내부 배출홀(144)은 상기 사출측 중간 배출홀(133)과 맞물릴 수 있는 직경의 원형의 홀로 형성되어 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 서로 이격되도록 형성되고, 상기 사출측 중간 배출홀(133)은 상기 사출측 내부 배출홀(144)과 맞물릴 수 있는 폭으로 상기 중간 경통 몸체(131)의 원주 방향으로 소정 길이의 장공 형태로 형성되되 상기 중간 경통 몸체(131)의 원주를 따라 복수 개가 서로 이격되도록 형성됨으로써, 상기 중간 경통 몸체(131)가 외력에 의해 회전될 때, 상기 입사측 중간 배출홀(132)은 복수 개의 상기 입사측 내부 배출홀(143) 중 적어도 하나와 연통되고, 상기 사출측 중간 배출홀(133)은 복수 개의 상기 사출측 내부 배출홀(144) 중 적어도 하나와 연통된다. 바람직하게는, 상기 입사측 중간 배출홀(132) 각각은 상기 입사측 내부 배출홀(143)의 다수 개와 연통되고, 상기 사출측 중간 배출홀(133) 각각은 상기 사출측 내부 배출홀(144)의 다수 개와 연통될 수 있다. 그러면, 상기 입사측 중간 배출홀(132)과 상기 사출측 중간 배출홀(133) 각각은 상기 중간 경통 몸체(131)의 회전과 무관하게 상기 입사측 내부 배출홀(143)과 상기 사출측 내부 배출홀(144) 각각과 항상 연통된 형태를 유지할 수 있게 된다.The incident-side internal discharge hole 143 is formed as a circular hole with a diameter that can engage with the incident-side intermediate discharge hole 132 and is spaced apart from each other along the circumference of the inner barrel body 141, The side intermediate discharge hole 132 is formed in the form of a long hole having a predetermined length in the circumferential direction of the intermediate barrel body 131 with a width that can engage with the internal discharge hole 143 on the incident side, and the intermediate barrel body 131 are formed to be spaced apart from each other along the circumference of the , and the ejection-side inner discharge hole 144 is formed as a circular hole with a diameter that can be engaged with the ejection-side intermediate discharge hole 133, so that the inner barrel body 141 are formed to be spaced apart from each other along the circumference of, and the ejection-side intermediate discharge hole 133 has a width that can be engaged with the ejection-side internal discharge hole 144 and has a predetermined length in the circumferential direction of the intermediate barrel body 131. It is formed in the form of a long hole and is spaced apart from each other along the circumference of the intermediate barrel body 131, so that when the intermediate barrel body 131 is rotated by an external force, the middle barrel discharge hole 132 on the incident side is formed in a plurality of places. The discharge-side intermediate discharge hole 133 communicates with at least one of the plurality of discharge-side internal discharge holes 144 . Preferably, each of the incident-side intermediate discharge holes 132 communicates with a plurality of the incident-side internal discharge holes 143, and each of the emission-side intermediate discharge holes 133 is connected to the emission-side internal discharge hole 144. Can communicate with a number of dogs. Then, each of the incident-side intermediate discharge hole 132 and the emission-side intermediate discharge hole 133 is discharged from the incident-side internal discharge hole 143 and the emission-side internal discharge hole 143 regardless of the rotation of the intermediate barrel body 131. It is possible to maintain a form always in communication with each of the holes 144 .

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 중간 경통 몸체(131)의 내면에는 광의 진행 방향으로 경사진 형태로 소정 길이로 길게 형성되어 상기 입사측 렌즈 돌출체(153)의 말단부가 삽입되어 이동될 수 있는 중간 경통측 가이드홀(134)을 포함한다.As shown in FIG. 4, the inner surface of the intermediate barrel body 131 is formed with a predetermined length in an inclined shape in the traveling direction of the light, and the distal end of the incident side lens protrusion 153 can be inserted and moved. A middle barrel-side guide hole 134 is included.

상기 중간 경통 몸체(131)가 외력에 의해 회전될 때, 상기 입사측 렌즈 돌출체(153)가 상기 내부 경통측 가이드홀(142)을 관통한 상태여서 상기 입사측 렌즈 몸체(151)는 상기 내부 경통 몸체(141)에 대해 비회전되면서, 상기 입사측 렌즈 돌출체(153)의 말단부가 상기 중간 경통측 가이드홀(134)에 삽입된 상태여서 상기 입사측 렌즈 돌출체(153)의 말단부가 상기 중간 경통측 가이드홀(134)을 따라 이동되고, 그에 따라 상기 입사측 렌즈 부재(150)가 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부에서 전후진되면서 이동될 수 있게 된다.When the intermediate barrel body 131 is rotated by an external force, the incident-side lens protrusion 153 passes through the inner barrel-side guide hole 142, so that the incident-side lens body 151 moves through the inner barrel-side guide hole 142. While being non-rotated with respect to the lens barrel body 141, the distal end of the incident-side lens protrusion 153 is inserted into the middle barrel-side guide hole 134, so that the distal end of the incident-side lens protrusion 153 is inserted into the middle barrel-side guide hole 134. It moves along the intermediate barrel-side guide hole 134, and accordingly, the incident-side lens member 150 can move forward and backward inside the inner barrel body 141.

상기 외부 경통 부재(110)는 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽과 소정 간격 이격되어 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽과의 사이에 소정 간격의 틈(113, 114)을 형성하면서 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽을 감싸되 상기 중간 경통 몸체(131)가 내부에서 회전될 수 있도록 배치되는 외부 경통 몸체(111)와, 상기 중간 경통 몸체(131)의 회전을 위한 외력 인가를 위해 상기 중간 경통 몸체(131)의 일부가 외부에 대해 노출되도록 상기 외부 경통 몸체(111)의 일정 부분이 개방된 형태로 이루어진 외부 경통 개방홀(112)을 포함한다.The outer barrel member 110 is spaced apart from the periphery of the intermediate barrel body 131 by a predetermined distance, forming gaps 113 and 114 with a predetermined interval between the outer barrel body 131 and the intermediate barrel body 131. An outer barrel body 111 wrapped around the outside of the body 131 but disposed so that the intermediate barrel body 131 can rotate inside, and the intermediate barrel body 111 to apply an external force for rotation of the intermediate barrel body 131 It includes an external barrel opening hole 112 in which a certain portion of the external barrel body 111 is opened so that a part of the barrel body 131 is exposed to the outside.

작업자가 상기 중간 경통 몸체(131) 중 상기 외부 경통 개방홀(112)을 통해 노출된 부분을 손으로 잡고 외력을 가하여 상기 중간 경통 몸체(131)를 돌려줄 수 있다.An operator may rotate the intermediate barrel body 131 by holding a portion of the intermediate barrel body 131 exposed through the external barrel opening hole 112 with his hand and applying an external force.

상기 외부 경통 개방홀(112)은 상기 중간 경통 몸체(131) 중 상기 입사측 중간 배출홀(132)과 상기 사출측 중간 배출홀(133) 사이의 부분과 대면되도록 형성되어, 상기 외부 경통 개방홀(112)은 상기 입사측 중간 배출홀(132)과 상기 사출측 중간 배출홀(133)과 비대면되도록 서로 어긋나게 배치된다. 그러면, 상기 외부 경통 개방홀(112)을 통해 먼지 등의 외부의 이물질이 상기 입사측 중간 배출홀(132)과 상기 사출측 중간 배출홀(133)을 통해 곧바로 유입되는 현상이 방지될 수 있게 된다.The external barrel opening hole 112 is formed to face a portion of the intermediate barrel body 131 between the entrance-side intermediate discharge hole 132 and the emission-side intermediate discharge hole 133, so as to face the external barrel opening hole 112 are disposed offset from each other so that the incident-side intermediate discharge hole 132 and the emission-side intermediate discharge hole 133 do not face each other. Then, it is possible to prevent a phenomenon in which foreign substances such as dust directly flow in through the outer barrel opening hole 112 through the middle discharge hole 132 on the incident side and the middle discharge hole 133 on the ejection side. .

본 실시예에서는, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)의 작동 중에 광에 의해 발생된 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부의 열기가 상기 내부 경통측 배출홀(143, 144), 상기 중간 경통측 배출홀(132, 133), 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(111)의 내곽 사이의 틈(113, 114) 및 상기 외부 경통 개방홀(112)을 통해 외부로 배출될 수 있게 된다.In this embodiment, heat generated inside the inner barrel body 141 by light during operation of the beam expander 100 for inspecting the secondary battery and semiconductor is discharged through the discharge holes 143 and 144 on the inner barrel side, the through the intermediate barrel-side discharge holes 132 and 133, the gaps 113 and 114 between the outer periphery of the intermediate barrel body 131 and the inner periphery of the outer barrel body 111, and the external barrel opening hole 112 can be emitted with

상세히, 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부의 열기 중 일부는 상기 입사측 내부 배출홀(143), 상기 입사측 중간 배출홀(132), 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(111)의 내곽 사이의 틈(113, 114) 중 상기 입사측 중간 배출홀(132)과 연통된 부분(113) 및 상기 외부 경통 개방홀(112)을 통해 외부로 배출되고, 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부의 열기 중 나머지는 상기 사출측 내부 배출홀(144), 상기 사출측 중간 배출홀(133), 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(111)의 내곽 사이의 틈(113, 114) 중 상기 사출측 중간 배출홀(133)과 연통된 부분(114) 및 상기 외부 경통 개방홀(112)을 통해 외부로 배출될 수 있게 된다.In detail, some of the heat inside the inner barrel body 141 is transmitted through the incident-side internal discharge hole 143, the incident-side intermediate discharge hole 132, the outer body of the intermediate barrel body 131, and the external barrel body. It is discharged to the outside through the part 113 communicating with the middle discharge hole 132 on the incident side of the gaps 113 and 114 between the inner shells of the barrel 111 and the external barrel opening hole 112, and is discharged to the outside through the internal barrel body. The remainder of the heat inside 141 is the emission-side internal discharge hole 144, the emission-side intermediate discharge hole 133, between the outer periphery of the intermediate barrel body 131 and the inner circumference of the external barrel body 111. Among the gaps 113 and 114, the discharge side can be discharged to the outside through the portion 114 communicating with the middle discharge hole 133 on the ejection side and the external barrel opening hole 112.

상기 사출측 렌즈 부재(160)는 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)로부터 광이 사출(射出)되는 쪽인 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내부에 삽입되어 상기 내부 경통측 연장체(146)의 길이 방향으로 이동 가능하고, 상기 입사측 렌즈 부재(150)와 연동되어 상기 입사측 렌즈 부재(150)를 통해 입사된 광의 광선속을 변화시키는 것이다.The emitting-side lens member 160 is inserted into the inner barrel-side extension 146, which is the side on which light is emitted from the secondary battery and semiconductor inspection beam expander 100, and is inserted into the inner barrel-side extension 146. ), and is interlocked with the incident-side lens member 150 to change the ray flux of light incident through the incident-side lens member 150.

상기 사출측 렌즈 부재(160)는 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내부에서 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내부를 따라 이동될 수 있도록 소정 폭의 원형 실린더 형태로 형성되는 사출측 렌즈 몸체(161)와, 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 내부에 삽입되어 상기 입사측 렌즈체(152)와 연동되어 광선속을 변화시키는 사출측 렌즈체(162)와, 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외부로 소정 높이로 돌출되어 상기 연장측 가이드홀(147)을 관통하여 상기 연장측 가이드홀(147)을 따라 이동되면서 상기 사출측 렌즈 몸체(161)가 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내부를 따라 이동될 때 상기 사출측 렌즈 몸체(161)가 상기 내부 경통측 연장체(146)에 대해 회전되는 것을 방지해주는 사출측 렌즈 돌출체(163)와, 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면 중 일 측부에 치우쳐서 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면을 따라 둘러진 형태로 배치되고 고무 등 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면과 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내면 사이를 밀폐시키는 사출측 렌즈 제 1 밀폐링(165)과, 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면 중 타 측부에 치우쳐서 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면을 따라 둘러진 형태로 배치되고 고무 등 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면과 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내면 사이를 밀폐시키는 사출측 렌즈 제 2 밀폐링(166)을 포함한다.The emission-side lens member 160 is formed in a circular cylinder shape with a predetermined width so as to be moved along the inside of the inner barrel-side extension body 146 from the inside of the inner barrel-side extension body 146 (emission-side lens body) ( 161), the emitting-side lens body 162 that is inserted into the emitting-side lens body 161 and interlocks with the incident-side lens body 152 to change the light beam, and the emitting-side lens body 161 It protrudes to the outside at a predetermined height and penetrates the extension-side guide hole 147 and moves along the extension-side guide hole 147 so that the ejection-side lens body 161 penetrates the inside of the inner barrel-side extension body 146. One of the outer surface of the ejection-side lens body 161 and the ejection-side lens protrusion 163 that prevents the ejection-side lens body 161 from rotating relative to the inner barrel-side extension body 146 when moved along the ejection-side lens body 161. The outer surface of the ejection-side lens body 161 and the inner surface of the inner barrel-side extension body 146 are arranged in a form that is surrounded along the outer surface of the ejection-side lens body 161 and is made of an elastic material such as rubber. A first sealing ring 165 of the ejection-side lens that seals the gap between the ejection-side lens body 161 and the outer surface of the ejection-side lens body 161 are disposed in a form surrounded by the outer surface of the ejection-side lens body 161 and are biased toward the other side. and a second sealing ring 166 made of a material having isoelasticity and sealing between the outer surface of the ejection-side lens body 161 and the inner surface of the inner barrel-side extending body 146.

상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면 중 상기 사출측 렌즈 돌출체(163)를 사이에 두고 각 측부에 상기 사출측 렌즈 제 1 밀폐링(165)과 상기 사출측 렌즈 제 2 밀폐링(166)이 각각 배치됨으로써, 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면과 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내면 사이가 더욱 밀폐될 수 있어서, 먼지 등의 이물질의 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내부로의 유입이 차단될 수 있게 된다.The ejection-side lens first sealing ring 165 and the ejection-side lens second sealing ring 166 are formed on each side of the outer surface of the ejection-side lens body 161 with the ejection-side lens protrusion 163 interposed therebetween. By disposing these lenses, the outer surface of the ejection-side lens body 161 and the inner surface of the inner barrel-side extension body 146 can be further sealed, so that foreign substances such as dust are prevented from entering the inner barrel-side extension body 146. inflow can be blocked.

상기 내부 경통측 연장체(146)의 외면에는 상기 내부 경통측 연장체(146)를 감싸면서 상기 내부 경통측 연장체(146)의 외면을 따라 회전될 수 있는 연장체측 외통 부재(120)가 배치된다.An extension body-side outer cylinder member 120 that surrounds the inner barrel-side extension body 146 and is rotatable along the outer surface of the inner barrel-side extension body 146 is disposed on an outer surface of the inner barrel-side extension body 146 .

상기 연장체측 외통 부재(120)는 상기 내부 경통측 연장체(146)를 감쌀 수 있도록 내부가 빈 실린더 형태로 형성되고, 상기 내부 경통측 연장체(146)에 비해 소정 크기만큼 큰 직경으로 형성된다.The extension body-side outer cylinder member 120 is formed in a hollow cylinder shape to surround the inner barrel-side extension body 146 and has a larger diameter than the inner barrel-side extension body 146 by a predetermined size.

작업자가 상기 연장체측 외통 부재(120)를 손으로 잡고 외력을 인가하여 상기 연장체측 외통 부재(120)를 회전시킬 수 있다.A worker may hold the elongated body-side outer cylinder member 120 with his hand and apply an external force to rotate the elongated body-side outer cylinder member 120 .

상기 연장체측 외통 부재(120)의 내면에는 상기 중간 경통측 가이드홀(134)처럼 광의 진행 방향으로 경사진 형태로 소정 길이로 길게 형성되어 상기 사출측 렌즈 돌출체(163)의 말단부가 삽입되어 이동될 수 있는 연장체측 외통 가이드홀이 형성된다.Like the intermediate barrel-side guide hole 134, the inner surface of the extension body-side outer cylinder member 120 is formed to have a predetermined length and is inclined in the light propagation direction, and the distal end of the ejection-side lens protrusion 163 is inserted and moved. An outer guide hole on the extension body side, which can be formed, is formed.

상기 연장체측 외통 부재(120)가 외력에 의해 회전될 때, 상기 사출측 렌즈 돌출체(163)가 상기 연장측 가이드홀(147)을 관통한 상태여서 상기 사출측 렌즈 몸체(161)는 상기 내부 경통측 연장체(146)에 대해 비회전되면서, 상기 사출측 렌즈 돌출체(163)의 말단부가 상기 연장체측 외통 가이드홀에 삽입된 상태여서 상기 사출측 렌즈 돌출체(163)의 말단부가 상기 연장체측 외통 가이드홀을 따라 이동되고, 그에 따라 상기 사출측 렌즈 부재(160)가 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내부에서 전후진되면서 이동될 수 있게 된다.When the extension-side outer cylinder member 120 is rotated by an external force, the ejection-side lens protrusion 163 passes through the extension-side guide hole 147, so that the ejection-side lens body 161 moves along the inner side. While being non-rotated with respect to the barrel-side extension body 146, the distal end of the ejection-side lens protrusion 163 is inserted into the extension-side outer cylinder guide hole, so that the distal end of the ejection-side lens protrusion 163 extends toward the extension-body side. It moves along the outer tube guide hole, and accordingly, the ejection-side lens member 160 can be moved forward and backward inside the inner barrel-side extension body 146 .

상기와 같이, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)가 상기 내부 경통 부재(140)와, 상기 입사측 렌즈 부재(150)와, 상기 중간 경통 부재(130)와, 상기 외부 경통 부재(110)를 포함함에 따라, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)의 작동 중에 광에 의해 발생된 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부의 열기가 상기 내부 경통측 배출홀(143, 144), 상기 중간 경통측 배출홀(132, 133), 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(111)의 내곽 사이의 틈(113, 114) 및 상기 외부 경통 개방홀(112)을 통해 외부로 배출될 수 있게 되고, 그에 따라 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)의 작동 중에 발생되는 열기에 의해 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)의 구성 요소들인 상기 내부 경통 부재(140), 상기 입사측 렌즈 부재(150), 상기 중간 경통 부재(130) 등이 가열되면서 상기 입사측 렌즈 부재(150) 등의 렌즈가 임의로 초점 이동되는 현상의 발생이 방지될 수 있게 된다.As described above, the secondary battery and semiconductor inspection beam expander 100 includes the internal barrel member 140, the incident-side lens member 150, the intermediate barrel member 130, and the external barrel member ( 110), heat inside the inner barrel body 141 generated by light during the operation of the beam expander 100 for inspecting the secondary battery and semiconductor is discharged through the discharge holes 143 and 144 on the inner barrel side. , the intermediate barrel-side discharge holes 132 and 133, the gaps 113 and 114 between the outer periphery of the intermediate barrel body 131 and the inner periphery of the external barrel body 111, and the external barrel opening hole 112 Therefore, heat generated during the operation of the beam expander 100 for inspecting the secondary battery and semiconductor may be discharged to the outside through the internal barrel, which is a component of the beam expander 100 for inspecting the secondary battery and semiconductor. As the member 140, the incident-side lens member 150, and the intermediate barrel member 130 are heated, a phenomenon in which the lenses such as the incident-side lens member 150 are arbitrarily shifted in focus can be prevented from occurring. .

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.Hereinafter, a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In performing this description, descriptions overlapping with those already described in the above-described embodiment of the present invention are replaced therewith, and will be omitted here.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 일부를 확대한 단면도이다.5 is a partially enlarged cross-sectional view of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to another embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 실시예에서는, 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)이 외부 경통 개방홀(212)과 연통되는 말단부에서의 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽면에는 이물질 수용홀(273)이 함몰 형성된다.Referring to FIG. 5 , in this embodiment, the gap 214 between the outer circumference of the intermediate barrel body 231 and the inner circumference of the outer barrel body 211 communicates with the external barrel opening hole 212 at the end of the intermediate barrel body 212 . A foreign material accommodating hole 273 is recessed on the outer surface of the barrel body 231 .

상기 이물질 수용홀(273)은 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)의 말단부의 앞쪽에 소정 크기로 상기 외부 경통 개방홀(212)과 연통되도록 형성되되, 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214) 쪽으로 갈수록 점진적으로 깊어지는 경사면을 가지는 형태로 형성된다.The foreign matter accommodating hole 273 has a predetermined size in front of the distal end of the gap 214 between the outer periphery of the intermediate barrel body 231 and the inner periphery of the outer barrel body 211, and the external barrel opening hole 212 and It is formed to be in communication with each other and has an inclined surface that gradually deepens toward the gap 214 between the outer periphery of the intermediate barrel body 231 and the inner periphery of the outer barrel body 211.

상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽면에서 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)의 말단부에 대면되는 부분에는 상기 이물질 수용홀(273)과 연통되는 기류 입사홀(272)이 함몰 형성된다.The outer surface of the intermediate barrel body 231 faces the distal end of the gap 214 between the outer periphery of the intermediate barrel body 231 and the inner periphery of the outer barrel body 211, and the foreign matter accommodating hole 273 An airflow entrance hole 272 communicating with is formed in a depression.

상기 기류 입사홀(272)은 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)의 내부(중간 경통측 배출홀(233)을 향하는 쪽 부분) 쪽으로 갈수록 점진적으로 얕아지는 경사면을 가지는 형태로 형성된다.The airflow entrance hole 272 is directed toward the inside of the gap 214 between the outer periphery of the intermediate barrel body 231 and the inner periphery of the outer barrel body 211 (the part facing the middle barrel side discharge hole 233). It is formed in a shape having a slope that gradually becomes shallower as it goes.

상기 외부 경통 몸체(211)에서 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)을 이루는 부분의 내곽면에는 기류 투사홀(271)이 함몰 형성된다.An airflow projection hole 271 is recessed on the inner surface of the outer barrel body 211 forming the gap 214 between the outer barrel body 231 and the outer barrel body 211, the inner barrel body 211. .

상기 기류 투사홀(271)은 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)의 내부 쪽으로 갈수록 점진적으로 깊어지는 경사면을 가지는 형태로 형성되고, 상기 기류 투사홀(271)의 초두 부분은 상기 기류 입사홀(272)의 말미 부분과 소정 크기만큼 대면되도록 형성된다.The airflow projection hole 271 is formed in a shape having a slope gradually deepening toward the inside of the gap 214 between the outer periphery of the intermediate barrel body 231 and the inner periphery of the outer barrel body 211, and The first part of the projection hole 271 is formed to face the end part of the air flow entrance hole 272 by a predetermined size.

상기 외부 경통 몸체(211)에서 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)을 이루는 부분의 내곽면 중 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 향하는 쪽 부분에는 상기 기류 투사홀(271)과 연통되는 기류 유도홀(270)이 형성된다.In the outer barrel body 211, the intermediate barrel-side discharge hole 233 of the inner surface of the part forming the gap 214 between the outer shell of the intermediate barrel body 231 and the inner barrel body 211 is removed. An airflow induction hole 270 communicating with the airflow projection hole 271 is formed on the facing side.

상기 기류 유도홀(270)은 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)의 내부 쪽으로 갈수록 점진적으로 얕아지는 경사면을 가지는 형태로 형성되고, 상기 기류 유도홀(270)의 말미 부분은 상기 중간 경통측 배출홀(233)과 대면되도록 형성된다.The airflow guide hole 270 is formed in a shape having an inclined surface that gradually becomes shallower towards the inside of the gap 214 between the outer periphery of the intermediate barrel body 231 and the inner periphery of the outer barrel body 211, An end portion of the air flow guide hole 270 is formed to face the middle barrel-side discharge hole 233 .

상기와 같이 구성되면, 내부 경통 몸체(241)의 내부에서 발생된 열기를 포함한 기류가 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 통해 유동된 다음 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)을 통과하여 상기 외부 경통 개방홀(212)을 통해 배출될 때, 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 통해 유동된 기류 중 일부가 상기 기류 유도홀(270)로 입사되어 상기 기류 유도홀(270)을 통해 유동된 다음 상기 기류 투사홀(271)로 입사되어 상기 기류 투사홀(271)에 의해 상기 기류 입사홀(272) 쪽으로 방향 전환되면서 투사되고, 상기 기류 입사홀(272) 쪽으로 투사된 기류가 상기 이물질 수용홀(273)로 입사되어 상기 이물질 수용홀(273)을 통해 상승되면서 유동되어 상기 외부 경통 개방홀(212)로 향하게 됨으로써, 상기 외부 경통 개방홀(212)을 통해 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214) 쪽으로 인입되던 먼지 등의 이물질이 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)으로 유입되지 못하고 상기 이물질 수용홀(273)로 낙하되어 수용되어 있다가, 상기 기류 유도홀(270), 상기 기류 투사홀(271), 상기 기류 입사홀(272) 및 상기 이물질 수용홀(273)을 통해 순차적으로 유동된 기류에 의해 상기 외부 경통 개방홀(212) 쪽으로 비산될 수 있게 되고, 그에 따라 상기 내부 경통 몸체(241)의 내부의 열기가 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)을 통해 외부로 배출될 수 있으면서도, 상기 외부 경통 개방홀(212)을 통해 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214) 쪽으로 먼지 등의 이물질이 임의 유입되는 현상이 방지될 수 있게 된다.When configured as described above, airflow including hot air generated inside the inner barrel body 241 flows through the middle barrel side discharge hole 233, and then the outer barrel body 231 and the outer barrel body When discharged through the outer barrel opening hole 212 through the gap 214 between the inner shells of the barrel 211, some of the airflow flowing through the middle barrel-side discharge hole 233 passes through the airflow guide hole ( 270), flows through the airflow induction hole 270, and then enters the airflow projection hole 271, and is projected while being turned toward the airflow entrance hole 272 by the airflow projection hole 271, The airflow projected toward the airflow entrance hole 272 is incident into the foreign matter accommodation hole 273, rises and flows through the foreign matter accommodation hole 273, and is directed to the external barrel opening hole 212, whereby the external barrel Foreign matter such as dust introduced into the gap 214 between the outer periphery of the intermediate barrel body 231 and the inner periphery of the outer barrel body 211 through the opening hole 212 is removed from the outer surface of the intermediate barrel body 231. It does not flow into the gap 214 between the insides of the outer barrel body 211 and falls into the foreign matter accommodating hole 273 and is accommodated, then the air flow induction hole 270, the air flow projection hole 271, The airflow sequentially flowing through the airflow entrance hole 272 and the foreign matter accommodation hole 273 can be scattered toward the outer barrel opening hole 212, and thus the inside of the inner barrel body 241. While the heat of the middle barrel can be discharged to the outside through the gap 214 between the outer rim of the intermediate barrel body 231 and the inner rim of the outer barrel body 211, the intermediate barrel through the external barrel opening hole 212. A phenomenon in which foreign matter such as dust is arbitrarily introduced into the gap 214 between the outer periphery of the body 231 and the inner periphery of the outer barrel body 211 can be prevented.

한편, 상기 중간 경통 몸체(231)에는 상기 기류 입사홀(272)과 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 연통시키는 입사 배출 연통관(276)이 형성된다.On the other hand, the middle barrel body 231 is formed with an entrance/exit communication pipe 276 communicating the airflow entrance hole 272 and the intermediate barrel-side discharge hole 233.

상기 입사 배출 연통관(276)은 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)과 평행하도록 상기 중간 경통 몸체(231)를 관통한 형태로 형성된다.The entrance/exit communication pipe 276 is formed in a shape penetrating the intermediate barrel body 231 so as to be parallel to the gap 214 between the outer rim of the intermediate barrel body 231 and the inner rim of the outer barrel body 211. .

상기 중간 경통측 배출홀(233)의 주변 부분 중 상기 입사 배출 연통관(276)의 입구의 상단부에서는 소정 길이로 기류 유입 돌출체(274)가 돌출되어, 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 통해 유동되던 기류 중 일부가 상기 기류 유입 돌출체(274)에 의해 막히면서 상기 입사 배출 연통관(276)으로 유입되어 상기 기류 입사홀(272) 쪽으로 유동될 수 있게 된다.An air flow inlet protrusion 274 protrudes to a predetermined length from the upper end of the inlet of the entrance/exit communication pipe 276 among the peripheral parts of the intermediate barrel-side discharge hole 233, and passes through the intermediate barrel-side discharge hole 233. Some of the flowing airflow is blocked by the airflow inlet protruding body 274 and flows into the entrance/exit communication pipe 276 to flow toward the airflow entrance hole 272 .

상기 입사 배출 연통관(276)의 입구 부분(275)은 상기 입사 배출 연통관(276)의 다른 부분에 비해 점진적으로 확장된 형태로 형성되어, 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 통해 유동되던 기류의 상기 입사 배출 연통관(276) 쪽으로의 인입이 원활하게 이루어지도록 한다.The inlet portion 275 of the entrance/exit communication tube 276 is formed in a form gradually expanded compared to other parts of the entrance/exit communication tube 276, so that the air flow flowing through the middle barrel-side discharge hole 233 Inlet to the entrance/exit communication pipe 276 is performed smoothly.

상기와 같이 구성되면, 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 통해 유동되던 기류 중 일부가 상기 기류 유입 돌출체(274)에 의해 막히면서 상기 입사 배출 연통관(276)으로 유입되어 상기 기류 입사홀(272) 쪽으로 유동되어, 상기 기류 유도홀(270), 상기 기류 투사홀(271), 상기 기류 입사홀(272) 및 상기 이물질 수용홀(273)을 통해 순차적으로 유동된 기류와 함께 상기 이물질 수용홀(273) 쪽으로 유동되어 상기 이물질 수용홀(273)의 내부에 있는 이물질을 비산시킬 수 있게 된다.When configured as described above, a portion of the airflow flowing through the middle barrel-side discharge hole 233 is blocked by the airflow inlet protruding body 274 and flows into the input/output communication pipe 276 to flow into the airflow entrance hole 272 ), together with the airflow sequentially flowing through the airflow induction hole 270, the airflow projection hole 271, the airflow entrance hole 272, and the foreign matter accommodation hole 273, along with the foreign matter accommodation hole ( 273) to scatter the foreign matter in the foreign matter accommodating hole 273.

상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.Although the present invention has been shown and described in relation to specific embodiments above, those skilled in the art may modify the present invention in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. And it will be appreciated that it can be changed. However, it should be clearly stated that all of these modifications and variations are included within the scope of the present invention.

본 발명의 일 측면에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 의하면, 작동 중에 발생되는 열기에 의해 구성 요소들이 가열되면서 렌즈가 임의로 초점 이동되는 현상의 발생이 방지될 수 있도록 할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.According to the beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors according to one aspect of the present invention, it is possible to prevent the occurrence of a phenomenon in which a lens is arbitrarily moved in focus while components are heated by heat generated during operation, thereby preventing the occurrence of a phenomenon in which a lens is arbitrarily moved. It is assumed that the availability is high.

100 : 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더
110 : 외부 경통 부재
130 : 중간 경통 부재
140 : 내부 경통 부재
150 : 입사측 렌즈 부재100: Beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors
110: member of external barrel
130: middle barrel member
140: member of internal barrel
150: incident side lens member

Claims (5)

내부가 빈 실린더 형태로 형성되는 내부 경통 몸체를 포함하는 내부 경통 부재;
상기 내부 경통 몸체의 내부에 광이 입사되는 쪽인 상기 내부 경통 몸체의 내부의 일 측부에 삽입되어 상기 내부 경통 몸체의 길이 방향으로 이동 가능한 입사측 렌즈 부재;
상기 내부 경통 몸체의 외곽을 감싸되 상기 내부 경통 몸체에 대해 상대적으로 회전될 수 있도록 배치되는 중간 경통 몸체를 포함하고, 상기 입사측 렌즈 부재의 이동을 위한 외력의 인가를 위한 중간 경통 부재; 및
상기 중간 경통 몸체의 외곽과 소정 간격 이격되면서 상기 중간 경통 몸체의 외곽을 감싸되 상기 중간 경통 몸체가 내부에서 회전될 수 있도록 배치되는 외부 경통 몸체와,
상기 중간 경통 몸체의 회전을 위한 외력 인가를 위해 상기 중간 경통 몸체의 일부가 외부에 대해 노출되도록 상기 외부 경통 몸체의 일정 부분이 개방된 형태로 이루어진 외부 경통 개방홀을 포함하는 외부 경통 부재;를 포함하고,
상기 내부 경통 부재는 상기 내부 경통 몸체의 내부의 열기의 배출을 위한 내부 경통측 배출홀을 포함하고,
상기 중간 경통 부재는 상기 내부 경통측 배출홀을 통해 배출된 열기의 배출을 위해 상기 내부 경통측 배출홀과 연통되는 중간 경통측 배출홀을 포함하고,
상기 내부 경통 몸체의 내부의 열기는 상기 내부 경통측 배출홀, 상기 중간 경통측 배출홀, 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈 및 상기 외부 경통 개방홀을 통해 외부로 배출될 수 있는 것을 특징으로 하는 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더.an inner barrel member including an inner barrel body formed in the shape of an empty cylinder;
an incident-side lens member inserted into one side of the inner barrel body, which is a side on which light is incident into the inner barrel body, and movable in the longitudinal direction of the inner barrel body;
an intermediate barrel member for applying an external force for moving the incident-side lens member, including an intermediate barrel body wrapped around the outer barrel body and disposed to rotate relatively with respect to the inner barrel body; and
an outer barrel body spaced apart from the periphery of the intermediate barrel body by a predetermined distance and wrapped around the periphery of the intermediate barrel body so that the intermediate barrel body can be rotated inside;
An external barrel member including an external barrel opening hole in which a certain portion of the external barrel body is open so that a portion of the intermediate barrel body is exposed to the outside in order to apply an external force for rotation of the intermediate barrel body. do,
The inner barrel member includes an inner barrel-side discharge hole for discharging hot air inside the inner barrel body,
The intermediate barrel member includes an intermediate barrel-side discharge hole communicating with the inner barrel-side discharge hole for discharging hot air discharged through the inner barrel-side discharge hole,
The heat inside the inner barrel body is discharged to the outside through the inner barrel-side discharge hole, the intermediate barrel-side discharge hole, the gap between the outer barrel body and the outer barrel body, and the outer barrel opening hole. Beam expander for secondary battery and semiconductor inspection, characterized in that it can be. 제 1 항에 있어서,
상기 내부 경통측 배출홀은 복수 개로 이루어지되, 상기 내부 경통 몸체에 소정 간격으로 서로 이격되도록 상기 내부 경통 몸체의 원주를 따라 관통 형성되고,
상기 중간 경통 몸체가 외력에 의해 회전될 때 상기 중간 경통측 배출홀이 상기 내부 경통측 배출홀 중 적어도 하나와 연통될 수 있도록 상기 중간 경통측 배출홀은 상기 중간 경통 몸체에 소정 길이의 장공(長孔) 형태로 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더.According to claim 1,
The inner barrel-side discharge hole is formed in plurality, and is formed through the inner barrel body along the circumference of the inner barrel body so as to be spaced apart from each other at a predetermined interval.
When the intermediate barrel body is rotated by an external force, the intermediate barrel-side discharge hole may communicate with at least one of the inner barrel-side discharge holes. A beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors, characterized in that it is formed through a concave shape. 제 2 항에 있어서,
상기 내부 경통측 배출홀은
상기 내부 경통 몸체 중 광이 입사되는 쪽 부분에 상기 내부 경통 몸체의 원주를 따라 복수 개 형성되는 입사측 내부 배출홀과,
상기 내부 경통 몸체 중 광이 사출되는 쪽 부분에 상기 내부 경통 몸체의 원주를 따라 복수 개 형성되는 사출측 내부 배출홀을 포함하고,
상기 중간 경통측 배출홀은
상기 중간 경통 몸체 중 광이 입사되는 쪽 부분에 상기 중간 경통 몸체의 원주를 따라 소정 길이의 장공 형태로 형성되는 입사측 중간 배출홀과,
상기 중간 경통 몸체 중 광이 사출되는 쪽 부분에 상기 중간 경통 몸체의 원주를 따라 소정 길이의 장공 형태로 형성되는 사출측 중간 배출홀을 포함하고,
상기 중간 경통 몸체가 외력에 의해 회전될 때, 상기 입사측 중간 배출홀은 복수 개의 상기 입사측 내부 배출홀 중 적어도 하나와 연통되고, 상기 사출측 중간 배출홀은 복수 개의 상기 사출측 내부 배출홀 중 적어도 하나와 연통되는 것을 특징으로 하는 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더.According to claim 2,
The discharge hole on the inner barrel side is
a plurality of incident-side internal discharge holes formed along the circumference of the inner barrel body in a portion of the inner barrel body on which light is incident;
a plurality of emission-side internal discharge holes formed along a circumference of the inner barrel body at a portion of the inner barrel body from which light is emitted;
The middle barrel side discharge hole is
an entrance-side intermediate discharge hole formed in the form of a long hole having a predetermined length along the circumference of the intermediate barrel body at a portion of the intermediate barrel body on which light is incident;
An emission-side intermediate discharge hole formed in the form of a long hole having a predetermined length along the circumference of the intermediate barrel body at a portion of the intermediate barrel body from which light is emitted, and
When the intermediate barrel body is rotated by an external force, the incident-side intermediate discharge hole communicates with at least one of the plurality of incident-side internal discharge holes, and the emission-side intermediate discharge hole is among the plurality of emission-side internal discharge holes. Beam expander for secondary battery and semiconductor inspection, characterized in that in communication with at least one. 제 3 항에 있어서,
상기 내부 경통 부재는
상기 내부 경통 몸체의 길이 방향으로 소정 길이의 장공 형태로 형성되는 내부 경통측 가이드홀을 포함하고,
상기 입사측 렌즈 부재는
상기 내부 경통 몸체의 내부에서 상기 내부 경통 몸체의 내부를 따라 이동될 수 있도록 소정 폭의 원형 실린더 형태로 형성되는 입사측 렌즈 몸체와,
상기 입사측 렌즈 몸체의 내부에 삽입되는 입사측 렌즈체와,
상기 입사측 렌즈 몸체의 외부로 소정 높이로 돌출되어 상기 내부 경통측 가이드홀을 관통하여 상기 내부 경통측 가이드홀을 따라 이동되면서 상기 입사측 렌즈 몸체가 상기 내부 경통 몸체의 내부를 따라 이동될 때 상기 입사측 렌즈 몸체가 상기 내부 경통 몸체에 대해 회전되는 것을 방지해주는 입사측 렌즈 돌출체와,
상기 입사측 렌즈 몸체의 외면 중 일 측부에 치우쳐서 상기 입사측 렌즈 몸체의 외면을 따라 둘러진 형태로 배치되고 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 입사측 렌즈 몸체의 외면과 상기 내부 경통 몸체의 내면 사이를 밀폐시키는 입사측 렌즈 제 1 밀폐링과,
상기 입사측 렌즈 몸체의 외면 중 타 측부에 치우쳐서 상기 입사측 렌즈 몸체의 외면을 따라 둘러진 형태로 배치되고 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 입사측 렌즈 몸체의 외면과 상기 내부 경통 몸체의 내면 사이를 밀폐시키는 입사측 렌즈 제 2 밀폐링을 포함하는 것을 특징으로 하는 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더.According to claim 3,
The internal barrel member is
An inner barrel-side guide hole formed in the form of a long hole having a predetermined length in the longitudinal direction of the inner barrel body,
The incident-side lens member is
an entrance-side lens body formed in a circular cylinder shape with a predetermined width so as to be movable from inside the inner barrel body along the inside of the inner barrel body;
an incident-side lens body inserted into the incident-side lens body;
When the incident-side lens body protrudes to the outside of the incident-side lens body at a predetermined height and passes through the inner barrel-side guide hole and moves along the inner barrel-side guide hole, the incident-side lens body moves along the inside of the inner barrel body. an incident-side lens protrusion preventing the incident-side lens body from being rotated with respect to the inner lens barrel body;
The outer surface of the incident-side lens body is biased toward one side of the outer surface of the incident-side lens body and is disposed along the outer surface of the incident-side lens body and is made of a material having elasticity to seal between the outer surface of the incident-side lens body and the inner surface of the inner barrel body. a first sealing ring of the lens on the incident side;
The outer surface of the incident-side lens body is biased toward the other side of the incident-side lens body and is disposed along the outer surface of the incident-side lens body and is made of a material having elasticity to seal between the outer surface of the incident-side lens body and the inner surface of the inner barrel body. Beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors, characterized in that it comprises a second sealing ring on the incident side lens. 제 4 항에 있어서,
상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈이 상기 외부 경통 개방홀과 연통되는 말단부에서의 상기 중간 경통 몸체의 외곽면에는 이물질 수용홀이 함몰 형성되고,
상기 이물질 수용홀은 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈의 말단부의 앞쪽에 소정 크기로 상기 외부 경통 개방홀과 연통되도록 형성되되, 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈 쪽으로 갈수록 점진적으로 깊어지는 경사면을 가지는 형태로 형성되고,
상기 중간 경통 몸체의 외곽면에서 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈의 말단부에 대면되는 부분에는 상기 이물질 수용홀과 연통되는 기류 입사홀이 함몰 형성되고,
상기 기류 입사홀은 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈의 내부 쪽으로 갈수록 점진적으로 얕아지는 경사면을 가지는 형태로 형성되고,
상기 외부 경통 몸체에서 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈을 이루는 부분의 내곽면에는 기류 투사홀이 함몰 형성되고,
상기 기류 투사홀은 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈의 내부 쪽으로 갈수록 점진적으로 깊어지는 경사면을 가지는 형태로 형성되고, 상기 기류 투사홀의 초두 부분은 상기 기류 입사홀의 말미 부분과 소정 크기만큼 대면되도록 형성되고,
상기 외부 경통 몸체에서 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈을 이루는 부분의 내곽면 중 상기 중간 경통측 배출홀을 향하는 쪽 부분에는 상기 기류 투사홀과 연통되는 기류 유도홀이 형성되고,
상기 기류 유도홀은 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈의 내부 쪽으로 갈수록 점진적으로 얕아지는 경사면을 가지는 형태로 형성되고, 상기 기류 유도홀의 말미 부분은 상기 중간 경통측 배출홀과 대면되도록 형성되고,
상기 내부 경통 몸체의 내부에서 발생된 열기를 포함한 기류가 상기 중간 경통측 배출홀을 통해 유동된 다음 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈을 통과하여 상기 외부 경통 개방홀을 통해 배출될 때, 상기 중간 경통측 배출홀을 통해 유동된 기류 중 일부가 상기 기류 유도홀로 입사되어 상기 기류 유도홀을 통해 유동된 다음 상기 기류 투사홀로 입사되어 상기 기류 투사홀에 의해 상기 기류 입사홀 쪽으로 방향 전환되면서 투사되고, 상기 기류 입사홀 쪽으로 투사된 기류가 상기 이물질 수용홀로 입사되어 상기 이물질 수용홀을 통해 상승되면서 유동되어 상기 외부 경통 개방홀로 향하게 됨으로써, 상기 외부 경통 개방홀을 통해 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈 쪽으로 인입되던 이물질이 상기 이물질 수용홀로 낙하되어 수용되어 있다가, 상기 기류 유도홀, 상기 기류 투사홀, 상기 기류 입사홀 및 상기 이물질 수용홀을 통해 순차적으로 유동된 기류에 의해 상기 외부 경통 개방홀 쪽으로 비산될 수 있게 되는 것을 특징으로 하는 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더.
According to claim 4,
A foreign material accommodating hole is recessed on the outer surface of the intermediate barrel body at the distal end where the gap between the outer barrel body and the outer barrel body communicates with the outer barrel opening hole,
The foreign matter accommodating hole is formed in a predetermined size in front of the distal end of the gap between the outer barrel body and the outer barrel body to communicate with the outer barrel opening hole, and communicates with the outer barrel body and the outer barrel body. It is formed in the form of a slope that gradually deepens toward the gap between the inside of the body,
An air flow entrance hole communicating with the foreign matter accommodation hole is recessed at a portion of the outer surface of the intermediate barrel body facing the distal end of the gap between the outer barrel body and the outer barrel body,
The air flow entry hole is formed in a shape having an inclined surface gradually becoming shallower towards the inside of the gap between the outer periphery of the intermediate barrel body and the inner periphery of the outer barrel body,
An airflow projection hole is recessed on an inner surface of a portion of the outer barrel body that forms a gap between the outer barrel body and the outer barrel body,
The air flow projection hole is formed in the form of a slope gradually deepening toward the inside of the gap between the outer periphery of the middle barrel body and the inner periphery of the outer barrel body, and the first part of the air flow projection hole is formed with the end part of the air flow entrance hole and the other side. It is formed to face a predetermined size,
An airflow induction hole communicating with the airflow projection hole is formed on the inner side of the outer barrel body facing the middle barrel side discharge hole of the inner surface of the part forming the gap between the outer barrel body and the outer barrel body. formed,
The airflow induction hole is formed in the form of a slope gradually becoming shallower towards the inside of the gap between the outer periphery of the intermediate barrel body and the inner periphery of the outer barrel body, and the airflow guiding hole is formed at the end of the intermediate barrel side discharge hole It is formed to face,
The airflow including the heat generated inside the inner barrel body flows through the middle barrel side discharge hole and then passes through the gap between the outer barrel body and the outer barrel body to open the outer barrel opening hole. When discharged through the middle barrel side discharge hole, a part of the airflow flowing through the middle barrel-side discharge hole enters the airflow induction hole, flows through the airflow induction hole, and then enters the airflow projection hole and is transmitted through the airflow projection hole to the airflow entrance hole. The airflow projected toward the airflow entrance hole enters the foreign matter accommodation hole, rises through the foreign matter accommodation hole, and flows toward the external barrel opening hole, whereby the intermediate barrel through the external barrel opening hole. A foreign substance introduced into the gap between the outer periphery of the body and the inner periphery of the outer barrel body falls into the foreign substance accommodating hole and is accommodated therein, through the air flow induction hole, the air flow projection hole, the air flow entrance hole, and the foreign substance accommodating hole. A beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors, characterized in that it can be scattered toward the outer barrel opening hole by the sequentially flowing airflow.
KR1020230022810A 2023-02-21 2023-02-21 Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor KR102532094B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020230022810A KR102532094B1 (en) 2023-02-21 2023-02-21 Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020230022810A KR102532094B1 (en) 2023-02-21 2023-02-21 Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102532094B1 true KR102532094B1 (en) 2023-05-12

Family

ID=86385509

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020230022810A KR102532094B1 (en) 2023-02-21 2023-02-21 Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102532094B1 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6057818A (en) * 1983-09-09 1985-04-03 Ricoh Co Ltd Beam expander for laser light
KR20130141352A (en) * 2012-06-15 2013-12-26 가부시키가이샤 브이엘시 Spatial light communication device
KR20170063807A (en) 2015-09-03 2017-06-08 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 Beam expander with a curved reflective polarizer
JP2019053277A (en) * 2017-06-23 2019-04-04 アスフェリコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Optical modular system for near-field beam density distribution with alternating beam density profile
JP6643584B2 (en) * 2014-08-20 2020-02-12 リサーチ トライアングル インスティテュート Apparatus, system and method for particle detection
CN114815123A (en) * 2022-05-11 2022-07-29 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 Laser beam expander

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6057818A (en) * 1983-09-09 1985-04-03 Ricoh Co Ltd Beam expander for laser light
KR20130141352A (en) * 2012-06-15 2013-12-26 가부시키가이샤 브이엘시 Spatial light communication device
JP6643584B2 (en) * 2014-08-20 2020-02-12 リサーチ トライアングル インスティテュート Apparatus, system and method for particle detection
KR20170063807A (en) 2015-09-03 2017-06-08 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 Beam expander with a curved reflective polarizer
JP2019053277A (en) * 2017-06-23 2019-04-04 アスフェリコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Optical modular system for near-field beam density distribution with alternating beam density profile
JP6726703B2 (en) * 2017-06-23 2020-07-22 アスフェリコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Optical module system for near-field beam density distribution with alternating beam density profile
CN114815123A (en) * 2022-05-11 2022-07-29 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 Laser beam expander

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6351634B2 (en) Apparatus including optical device and reflector
JP6528562B2 (en) Projection optical device and projector
JP2017510850A (en) Optical system for light collimation
TWI504922B (en) Lens module
EP3009886A1 (en) Illumination apparatus, pattern irradiation device, and 3d measurement system
KR102532094B1 (en) Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor
US7522355B2 (en) Lens unit and manufacturing method thereof
KR102158115B1 (en) Portable hair care device
CN110770617B (en) Device for coupling out radiation from an optical fiber, optical fiber cable and machining head
KR100620505B1 (en) Nozzle device for laser beam machining
KR20040098532A (en) Projection lens unit
JP2017223829A (en) Lens unit
JP5570156B2 (en) Lens barrel and imaging device
US20040136777A1 (en) Bayonet coupling for axially mounting one of two relatively rotatable ring-shaped members on the other
US20210289096A1 (en) Light-shielding member, reading apparatus, and image forming apparatus
JP4694416B2 (en) Optical element
JP2012220734A (en) Lens barrel and imaging apparatus
JP2010145632A (en) Mount cap
WO2014112285A1 (en) Optical connector device
JP4694415B2 (en) Optical element
JP2021051274A5 (en)
JP2019132870A (en) Illumination device
JP4873996B2 (en) Optical element
RU2677052C1 (en) Light-absorbing device
CN112955805B (en) Optical system device and lenticular lens

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant