KR102531420B1 - Apparatus and Method for inspecting display - Google Patents

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KR102531420B1
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한국전자기술연구원
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 검사 장치는 유효 검사 구역 및 검사 불요 구역을 가지는 디스플레이 시료를 지지하는 지지부; 상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 광이 입사되도록 상기 광을 상기 디스플레이 시료에 조사하는 광 조사부; 상기 광이 상기 디스플레이 시료로부터 반사된 반사광에 대한 스펙트럼을 측정하는 분광부; 상기 지지부와 상기 광 조사부를 상대적으로 이동시키는 이동부; 및 상기 광 조사부가 상기 유효 검사 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하고, 상기 광 조사부가 상기 검사 불요 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정 중 하나 이상을 정지하도록 상기 광 조사부 및 상기 분광부를 제어하며, 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. A display inspection apparatus according to an embodiment of the present invention includes a support for supporting a display sample having an effective inspection area and an inspection unnecessary area; a light irradiation unit for radiating the light to the display sample so that the light is incident in a direction perpendicular to the surface of the display sample; a spectrometer for measuring a spectrum of reflected light in which the light is reflected from the display sample; a moving unit that relatively moves the support unit and the light irradiation unit; and performing irradiation of the light on the display sample and measurement of a spectrum of the reflected light while the light irradiator passes through the effective inspection area, and measuring a spectrum of the reflected light while the light irradiator passes through the inspection unnecessary area. The light irradiation unit and the spectrometer are controlled to stop at least one of irradiation of the light and measurement of a spectrum of the reflected light, and determining a structure of a laminate of the effective inspection area based on measurement spectrum data of the effective inspection area. It is characterized in that it comprises a control unit to.

Figure R1020210038595
Figure R1020210038595

Description

디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법{Apparatus and Method for inspecting display} Display inspection device and display inspection method {Apparatus and Method for inspecting display}

본 발명은 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법에 관한 것으로, 상세하게는, 예를 들어, 잉크젯 프린팅 방식으로 제작되는 OLED(Organic Light Emitting Diode) 및 QLED(Quantum dot Light Emitting Diode)와 같은 디스플레이의 박막을 검사할 수 있는 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a display inspection apparatus and a display inspection method, and in detail, for example, thin films of displays such as organic light emitting diodes (OLEDs) and quantum dot light emitting diodes (QLEDs) manufactured by an inkjet printing method. It relates to a display inspection device capable of inspection and a display inspection method.

최근, 핸드폰, 컴퓨터, 및 자동차 등에 디스플레이가 널리 적용됨에 따라, 이러한 디스플레이를 제조하는 과정에서 디스플레이를 구성하는 박막을 신속하게 검사할 수 있는 디스플레이 검사 장치에 대한 필요성이 커지고 있다. Recently, as displays are widely applied to mobile phones, computers, and automobiles, there is a growing need for a display inspection device capable of quickly inspecting a thin film constituting the display in the process of manufacturing such a display.

박막 두께 측정 장치에 관한 종래 기술인 특허문헌 1(한국등록특허공보 제10-0556529호)이 공개되어 있다. 특허문헌 1에 개시된 박막 두께 측정 장치는 일립소메트리(ellipsometry)를 이용하여 박막의 두께를 측정한다. Patent Document 1 (Korean Registered Patent Publication No. 10-0556529), which is a prior art related to a thin film thickness measuring device, has been disclosed. The thin film thickness measurement device disclosed in Patent Document 1 measures the thickness of a thin film using ellipsometry.

도 1a는 종래 기술에 따른 박막 두께 측정 장치에 이용되는 일립소메트리를 설명하기 위한 정면도이고, 도 1b는 종래 기술에 따른 박막 두께 측정 장치에 이용되는 일립소메트리의 문제점을 설명하기 위한 사시도이다.1A is a front view illustrating ellipsometry used in a thin film thickness measuring device according to the prior art, and FIG. 1B is a perspective view illustrating problems of the ellipsometry used in a thin film thickness measuring device according to the prior art.

도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 박막 두께 측정 장치에 이용되는 일립소메트리는, 광(L)이 박막 시료(S')의 표면에 대한 법선(V)과 소정의 각도(θ)를 가지면서 입사되도록 광원(20)에 의해 광(L)을 박막 시료(S')의 표면에 조사하고, 박막 시료(S')로부터 반사된 반사광(Lr)을 디텍터(detector; 30)에 의해 수신한다. 이렇게 수신된 반사광(Lr)의 스펙트럼에 근거하여 박막 시료(S')의 두께를 측정한다. Referring to FIG. 1A, in the ellipsometry used in the thin film thickness measuring device according to the prior art, light L has a normal line V with respect to the surface of the thin film sample S' and a predetermined angle θ. The light L is irradiated onto the surface of the thin film sample S' by the light source 20 so as to be incident, and the reflected light Lr reflected from the thin film sample S' is received by a detector 30. Based on the spectrum of the reflected light Lr thus received, the thickness of the thin film sample S' is measured.

도 1b를 참조하면, 이러한 일립소메트리는, 잉크젯 프린팅을 이용하여 OLED 또는 QLED와 같은 디스플레이로 제조되는 디스플레이 시료(S)의 서브 픽셀(RSP)의 박막(TL)의 두께를 측정하는 데 이용되는 경우, 광원(20)으로부터 조사되는 광(L)이 격벽(B1; PDL(Pixel Define Layer)로도 칭해질 수 있음)에 의해 차단되거나, 광(L)이 서브 픽셀(RSP)의 박막(TL)에 입사되어 반사되더라도 반사광이 격벽(B2)에 의해 차단되기 때문에, 디스플레이 시료(S)의 박막의 두께를 검사하기가 어려운 문제점이 있다. Referring to FIG. 1B, when such ellipsometry is used to measure the thickness of a thin film TL of a sub-pixel RSP of a display sample S manufactured as a display such as OLED or QLED using inkjet printing. , The light L irradiated from the light source 20 is blocked by the barrier rib B1 (which may also be referred to as a pixel define layer (PDL)), or the light L is applied to the thin film TL of the sub-pixel RSP. Since the reflected light is blocked by the barrier rib B2 even though it is incident and reflected, it is difficult to inspect the thickness of the thin film of the display sample S.

또한, AFM(Atomic Force Microscope), SPM(Scanning Probe Microscope), STM(Scanning Tunneling Microscope), 또는 표면 분석기(surface profiler)와 같은 접촉 형태의 두께 측정 검사 장치는 측정 시간이 오래 걸리기 때문에 실시간 검사가 불가능한 문제점이 있다. In addition, contact-type thickness measurement inspection devices such as AFM (Atomic Force Microscope), SPM (Scanning Probe Microscope), STM (Scanning Tunneling Microscope), or surface profiler take a long time to measure, making real-time inspection impossible. There is a problem.

한국등록특허공보 제10-0556529호Korean Registered Patent Publication No. 10-0556529

본 발명의 목적은 디스플레이 시료의 박막 두께를 포함한 적층체의 구조를 빠른 시간에 1nm 수준의 두께 분해능으로 검사할 수 있는 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법을 제공하는 데에 있다. An object of the present invention is to provide a display inspection device and display inspection method capable of inspecting the structure of a laminate including the thickness of a thin film of a display sample in a fast time with a thickness resolution of 1 nm level.

본 발명의 다른 목적은, 물리적인 필터부로 인한 반사광 간섭 또는 반사광 흡수를 방지하면서, 디스플레이 시료의 영역 중 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 선별적으로 판단할 수 있는 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법을 제공하는 데에 있다. Another object of the present invention is to provide a display inspection device and display inspection method capable of selectively determining the structure of a laminate in an effective inspection area among display sample areas while preventing reflection light interference or reflection light absorption due to a physical filter unit. is to provide

본 발명의 또 다른 목적은 실제로 측정된 스펙트럼 데이터에 기반한 피드백을 통해 오차를 최소화하면서 디스플레이 시료의 적층체의 구조를 판단할 수 있는 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법을 제공하는 데에 있다. Another object of the present invention is to provide a display inspection apparatus and a display inspection method capable of determining the structure of a stack of display samples while minimizing errors through feedback based on actually measured spectrum data.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예의 제1 특징에 따르면, 디스플레이 검사 장치는 유효 검사 구역 및 검사 불요 구역을 가지는 디스플레이 시료를 지지하는 지지부; 상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 광이 입사되도록 상기 광을 상기 디스플레이 시료에 조사하는 광 조사부; 상기 광이 상기 디스플레이 시료로부터 반사된 반사광에 대한 스펙트럼을 측정하는 분광부; 상기 지지부와 상기 광 조사부를 상대적으로 이동시키는 이동부; 및 상기 광 조사부가 상기 유효 검사 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하고, 상기 광 조사부가 상기 검사 불요 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정 중 하나 이상을 정지하도록 상기 광 조사부 및 상기 분광부를 제어하며, 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, according to a first feature of an embodiment of the present invention, the display inspection device includes a support for supporting a display sample having an effective inspection area and an inspection unnecessary area; a light irradiation unit for radiating the light to the display sample so that the light is incident in a direction perpendicular to the surface of the display sample; a spectrometer for measuring a spectrum of reflected light in which the light is reflected from the display sample; a moving unit that relatively moves the support unit and the light irradiation unit; and performing irradiation of the light on the display sample and measurement of a spectrum of the reflected light while the light irradiator passes through the effective inspection area, and measuring a spectrum of the reflected light while the light irradiator passes through the inspection unnecessary area. The light irradiation unit and the spectrometer are controlled to stop at least one of irradiation of the light and measurement of a spectrum of the reflected light, and determining a structure of a laminate of the effective inspection area based on measurement spectrum data of the effective inspection area. It is characterized in that it comprises a control unit to.

본 발명의 실시예의 제2 특징에 따르면, 디스플레이 검사 장치는 유효 검사 구역 및 검사 불요 구역을 가지는 디스플레이 시료를 지지하는 지지부; 상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 광이 입사되도록 상기 광을 상기 디스플레이 시료에 조사하는 광 조사부; 상기 광이 상기 디스플레이 시료로부터 반사된 반사광에 대한 스펙트럼을 측정하는 분광부; 상기 지지부와 상기 광 조사부를 상대적으로 이동시키는 이동부; 및 상기 광 조사부가 상기 유효 검사 구역 및 상기 검사 불요 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하도록 상기 광 조사부 및 상기 분광부를 제어하고, 상기 분광부로부터 수신된 측정 스펙트럼 데이터 중 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터를 필터링하며, 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to a second feature of an embodiment of the present invention, the display inspection apparatus includes a support for supporting a display sample having an effective inspection area and an inspection unnecessary area; a light irradiation unit for radiating the light to the display sample so that the light is incident in a direction perpendicular to the surface of the display sample; a spectrometer for measuring a spectrum of reflected light in which the light is reflected from the display sample; a moving unit that relatively moves the support unit and the light irradiation unit; and controlling the light irradiation unit and the spectroscopy unit to irradiate the display sample with the light and measure a spectrum of the reflected light while the light irradiation unit passes through the effective inspection area and the inspection unnecessary area. and a control unit for filtering the measured spectrum data for the effective inspection zone among the measured spectrum data received from the effective inspection zone, and determining the structure of the laminate of the effective inspection zone based on the measured spectrum data for the valid inspection zone. to be

상기 제1 특징 또는 상기 제2 특징에 따른 디스플레이 검사 장치는 상기 제어부가, 미리 정해진 적층체에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피 및 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여, 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단할 수 있다. In the display inspection apparatus according to the first feature or the second feature, the control unit performs the effective inspection based on a recipe including simulation spectrum data corresponding to a predetermined laminate and measurement spectrum data for the valid inspection zone. The structure of the stack of zones can be determined.

상기 디스플레이 검사 장치는 상기 레서피가 상기 적층체의 구조를 판단하기 위한 파라미터를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 시뮬레이션 스펙트럼 데이터 및 상기 파라미터 중 하나 이상을 업데이트할 수 있다. In the display inspection device, the recipe further includes a parameter for determining the structure of the laminate, and the control unit updates at least one of the simulated spectrum data and the parameter based on the measured spectrum data for the valid inspection area. can do.

본 발명의 실시예의 제3 특징에 따르면, 디스플레이 검사 방법은 a) 유효 검사 구역 및 검사 불요 구역을 가지는 디스플레이 시료를 촬상하여 얻어진 이미지에 근거하여 상기 유효 검사 구역 및 상기 검사 불요 구역을 판단하는 단계; b) 상기 디스플레이 시료를 지지하는 지지부와, 상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 광이 입사되도록 상기 광을 상기 디스플레이 시료에 조사하는 광 조사부를 상대적으로 이동시키는 단계; c) 상기 광 조사부가 상기 유효 검사 구역을 통과하는 동안, 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사와 함께, 분광부에 의해 상기 광이 상기 디스플레이 시료로부터 반사된 반사광에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하고, 상기 광 조사부가 상기 검사 불요 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정 중 하나 이상을 정지하도록 상기 광 조사부 및 상기 분광부를 제어하는 단계; 및 d) 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to a third feature of an embodiment of the present invention, a display inspection method includes: a) determining an effective inspection area and an inspection unnecessary area based on an image obtained by imaging a display sample having an effective inspection area and an inspection unnecessary area; b) relatively moving a support for supporting the display sample and a light irradiation unit for radiating the light to the display sample so that the light is incident in a direction perpendicular to the surface of the display sample; c) while the light irradiation unit passes through the effective inspection area, the display sample is irradiated with the light, and a spectral unit measures a spectrum of reflected light reflected from the display sample by the spectrometer; controlling the light irradiation unit and the spectrometer to stop at least one of irradiation of the light to the display sample and measurement of a spectrum of the reflected light while the light irradiation unit passes through the inspection-unnecessary area; and d) determining the structure of the stack of the effective inspection zone based on the measured spectrum data of the effective inspection zone.

본 발명의 실시예의 제4 특징에 따르면, 디스플레이 검사 방법은 a) 유효 검사 구역 및 검사 불요 구역을 가지는 디스플레이 시료를 지지하는 지지부와, 상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 광이 입사되도록 상기 광을 상기 디스플레이 시료에 조사하는 광 조사부를 상대적으로 이동시키는 단계; b) 상기 광 조사부가 상기 유효 검사 구역 및 상기 검사 불요 구역을 통과하는 동안, 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사와 함께, 분광부에 의해 상기 광이 상기 디스플레이 시료로부터 반사된 반사광에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하는 단계; c) 상기 분광부로부터 수신된 측정 스펙트럼 데이터 중 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터를 필터링하는 단계; 및 d) 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to a fourth feature of an embodiment of the present invention, a display inspection method includes a) a support for supporting a display sample having an effective inspection area and an inspection unnecessary area, and the light incident on the light in a direction perpendicular to the surface of the display sample. relatively moving a light irradiation unit for irradiating the display sample; b) While the light irradiator passes through the effective inspection area and the inspection unnecessary area, measuring the spectrum of the reflected light reflected from the display sample by the spectrometer while irradiating the light to the display sample performing; c) filtering the measured spectrum data for the valid inspection region among the measured spectrum data received from the spectrometer; and d) determining the structure of the stack of the effective inspection zone based on the measured spectrum data of the effective inspection zone.

상기 제3 특징 또는 상기 제4 특징에 따른 디스플레이 검사 방법은 상기 d) 단계가, 미리 정해진 적층체에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피 및 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여, 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단할 수 있다. In the display inspection method according to the third feature or the fourth feature, the step d) includes the recipe including the simulated spectrum data corresponding to the predetermined laminate and the measured spectrum data for the valid inspection zone. It is possible to judge the structure of the laminated body in the effective inspection area.

상기 디스플레이 검사 방법은 상기 레서피가 상기 적층체의 구조를 판단하기 위한 파라미터를 더 포함하고, 상기 d) 단계 이후에, e) 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 시뮬레이션 스펙트럼 데이터 및 상기 파라미터 중 하나 이상을 업데이트하는 단계를 더 포함할 수 있다. In the display inspection method, the recipe further includes a parameter for determining the structure of the laminate, and after step d), e) based on the measured spectrum data for the effective inspection zone, the simulated spectrum data and the It may further include updating one or more of the parameters.

본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법을 사용하면 다음과 같은 효과가 달성된다. Using the display inspection apparatus and display inspection method according to the embodiment of the present invention, the following effects are achieved.

1. 디스플레이 시료의 박막 두께를 포함한 적층체의 구조를 빠른 시간에 1nm 수준의 두께 분해능으로 검사할 수 있다. 1. The structure of the laminate, including the thickness of the thin film of the display sample, can be quickly inspected with a thickness resolution of 1 nm.

2. 물리적인 필터부로 인한 반사광 간섭 또는 반사광 흡수를 방지하면서, 디스플레이 시료의 영역 중 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 선별적으로 판단할 수 있다. 2. It is possible to selectively determine the structure of the laminated body of the effective inspection area among the areas of the display sample while preventing reflection light interference or reflection light absorption due to the physical filter unit.

3. 실제로 측정된 스펙트럼 데이터에 기반한 피드백을 통해 오차를 최소화하면서 디스플레이 시료의 적층체의 구조를 판단할 수 있다. 3. The structure of the laminated body of the display sample can be determined while minimizing errors through feedback based on actually measured spectral data.

이하, 본 발명에 따른 의 바람직한 실시형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1a는 종래 기술에 따른 박막 두께 측정 장치에 이용되는 일립소메트리를 설명하기 위한 정면도이다.
도 1b는 종래 기술에 따른 박막 두께 측정 장치에 이용되는 일립소메트리의 문제점을 설명하기 위한 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치의 정면도이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치에 의해 검사되는 디스플레이 시료의 확대 단면도이다.
도 2c는 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치에 의해 검사되는 디스플레이 시료의 확대 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치의 블록도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 방법의 순서도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시형태의 변형예에 따른 디스플레이 검사 방법의 순서도이다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법에 이용되는 제1 실시예에 따른 적층체의 파장에 따른 반사율에 관한 시뮬레이션의 그래프이다.
도 7a 및 7b는 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법에 이용되는 제2 실시예에 따른 적층체의 파장에 따른 반사율에 관한 시뮬레이션의 그래프이다.
도 8은 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법에 이용되는 제3 실시예에 따른 적층체의 파장에 따른 반사율에 관한 시뮬레이션의 그래프이다. Hereinafter, a preferred embodiment of according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
1A is a front view for explaining ellipsometry used in a thin film thickness measuring device according to the prior art.
Figure 1b is a perspective view for explaining the problem of ellipsometry used in the thin film thickness measuring device according to the prior art.
2A is a front view of a display inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
2B is an enlarged cross-sectional view of a display sample inspected by the display inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
2C is an enlarged plan view of a display sample inspected by the display inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a block diagram of a display inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart of a display inspection method according to an embodiment of the present invention.
5 is a flowchart of a method for inspecting a display according to a modified example of an embodiment of the present invention.
6A to 6C are graphs of simulations of reflectance according to wavelengths of the laminate according to the first embodiment used in the display inspection apparatus and display inspection method according to an embodiment of the present invention.
7A and 7B are simulation graphs of reflectance according to wavelength of a laminate according to a second embodiment used in a display inspection apparatus and a display inspection method according to an embodiment of the present invention.
8 is a simulation graph of reflectance according to wavelength of a laminate according to a third embodiment used in a display inspection apparatus and a display inspection method according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법의 바람직한 실시형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of a display inspection apparatus and a display inspection method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a는 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치의 정면도이고, 도 2b는 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치에 의해 검사되는 디스플레이 시료의 확대 단면도이며, 도 2c는 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치에 의해 검사되는 디스플레이 시료의 확대 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치의 블록도이다. Figure 2a is a front view of a display inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2b is an enlarged cross-sectional view of a display sample inspected by the display inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2c is one of the present invention It is an enlarged plan view of a display sample inspected by the display inspection apparatus according to the embodiment, and FIG. 3 is a block diagram of the display inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2c의 경우, 디스플레이 시료(S)의 유효 검사 구역(VA)을 가로지르는 실선 화살표는 광 조사부(120)가 유효 검사 구역(VA)을 통과하는 상태를 나타내며, 디스플레이 시료(S)의 검사 불요 구역(NL)을 가로지르는 점선 화살표는 광 조사부(120)가 검사 불요 구역(NL)을 통과하는 상태를 나타낸다. In the case of FIG. 2C , a solid line arrow crossing the effective inspection area VA of the display sample S indicates a state in which the light irradiation unit 120 passes through the effective inspection area VA, and the display sample S does not need to be inspected. A dotted line arrow crossing the area NL indicates a state in which the light irradiation unit 120 passes through the inspection unnecessary area NL.

또한, 도 3의 경우, 디스플레이 검사 장치(100)의 구성 요소 중 제어부(160)와 신호를 송수신하는 구성요소만이 도시되어 있고, 제어부(160)와 신호를 송수신하지 않는 구성요소인 지지부(110)(도 2a 참조)는 도시되어 있지 않다. In addition, in the case of FIG. 3 , among the components of the display inspection apparatus 100, only components that transmit and receive signals to and from the control unit 160 are shown, and the support unit 110, which is a component that does not transmit and receive signals to and from the controller 160, is shown. ) (see Fig. 2a) is not shown.

도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 방법의 순서도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시형태의 변형예에 따른 디스플레이 검사 방법의 순서도이다. 4 is a flowchart of a display inspection method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a flow chart of a display inspection method according to a modified example of an embodiment of the present invention.

먼저, 도 2b 및 도 2c를 참조하여, 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치(100)에 의해 검사되는 디스플레이 시료(S)를 설명하면 다음과 같다. First, referring to FIGS. 2B and 2C , a display sample S inspected by the display inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention will be described.

디스플레이 시료(S)는 유효 검사 구역(VA) 및 검사 불요 구역(NL)을 가진다. 유효 검사 구역(VA)은 적색광, 녹색광, 및 청색광 중 하나를 방출하는 서브 픽셀(RSP, GSP, BSP)을 포함할 수 있다. 하나의 픽셀(P)은 적색 서브 픽셀(RSP), 녹색 서브 픽셀(GSP), 및 청색 서브 픽셀(BSP)에 의해 구현될 수 있다. 또한, 각각의 서브 픽셀(RSP, GSP, BSP)은 1개 층 이상의 박막(TL1, TL2)이 적층된 적층체(LA)에 의해 구현된다. 검사 불요 구역(NL)은 서브 픽셀(RSP, GSP, BSP)을 구획하는 격벽(B)을 포함할 수 있다. The display sample S has an effective inspection area VA and an inspection unnecessary area NL. The effective inspection area VA may include sub-pixels RSP, GSP, and BSP emitting one of red light, green light, and blue light. One pixel (P) may be implemented by a red sub-pixel (RSP), a green sub-pixel (GSP), and a blue sub-pixel (BSP). In addition, each of the sub-pixels RSP, GSP, and BSP is implemented by a laminate LA in which one or more thin films TL1 and TL2 are stacked. The inspection-unnecessary area NL may include partition walls B partitioning the sub-pixels RSP, GSP, and BSP.

본 명세서에 있어서, "적층체(LA)"는 "복수 층의 박막(TL1, TL2)이 적층된 것"일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, "1개 층의 박막(TL1)으로 이루어진 것"도 포함함에 유의하여야 한다. In the present specification, "laminated body (LA)" may be "a multi-layered thin film (TL1, TL2) is laminated", but is not limited thereto, "made of one layer of thin film (TL1) "It should be noted that also includes

다음으로, 도 2a 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치(100)를 설명하면 다음과 같다. Next, referring to FIGS. 2A to 3 , a display inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention will be described.

디스플레이 검사 장치(100)는 지지부(110), 광 조사부(120), 분광부(130), 이동부(140), 및 제어부(160)를 포함한다. 또한, 디스플레이 검사 장치(100)는 저장부(150) 및 촬상부(170) 중 하나 이상을 더 포함할 수 있다. The display inspection apparatus 100 includes a support unit 110 , a light irradiation unit 120 , a spectroscopic unit 130 , a moving unit 140 , and a control unit 160 . In addition, the display inspection apparatus 100 may further include one or more of the storage unit 150 and the imaging unit 170 .

지지부(110)는 디스플레이 시료(S)를 지지하는 구성요소이다. 예를 들어, 지지부(110)는 디스플레이 시료(S)의 표면(SR)이 광 조사부(120)를 향하도록 디스플레이 시료(S)를 지지할 수 있다. The support part 110 is a component that supports the display sample (S). For example, the support unit 110 may support the display sample S so that the surface SR of the display sample S faces the light irradiation unit 120 .

본 명세서에 있어서, "디스플레이 시료(S)의 표면(SR)"은 "디스플레이 시료(S)의 상면"일 수 있다. In the present specification, the "surface SR of the display sample S" may be the "upper surface of the display sample S".

광 조사부(120)는 디스플레이 시료(S)의 표면(SR)에 수직인 방향으로 광(L)이 입사되도록 광(L)을 디스플레이 시료(S)에 조사하는 구성요소이다. 광 조사부(120)는, 예를 들어, 광원(121), 빔 스플리터(122), 및 대물 렌즈(123)를 포함할 수 있다. 광원(121)은 광(L)을 발생시킨다. 예를 들어, 광원(121)에 의해 발생되는 광(L)은 가시 광선 및 자외선을 포함할 수 있다. 빔 스플리터(122)는 광원(121)으로부터 방출된 광(L)을 디스플레이 시료(S)를 향하여 반사시킨다. 또한, 빔 스플리터(122)는 디스플레이 시료(S)로부터 반사된 반사광(Lr)을 투과시킬 수도 있다. 대물 렌즈(123)는 빔 스플리터(122)로부터 반사된 광(L)이 디스플레이 시료(S)의 표면(SR)에 수직인 방향으로 입사되도록 광(L)을 집중시킨다. The light irradiator 120 is a component that radiates light L to the display sample S so that the light L is incident in a direction perpendicular to the surface SR of the display sample S. The light irradiator 120 may include, for example, a light source 121 , a beam splitter 122 , and an objective lens 123 . The light source 121 generates light (L). For example, the light L generated by the light source 121 may include visible light and ultraviolet light. The beam splitter 122 reflects the light L emitted from the light source 121 toward the display sample S. In addition, the beam splitter 122 may transmit the reflected light Lr reflected from the display sample S. The objective lens 123 concentrates the light L so that the light L reflected from the beam splitter 122 is incident in a direction perpendicular to the surface SR of the display sample S.

예를 들어, 광 조사부(120)에 의해 조사된 광(L)이 디스플레이 시료(S)의 표면(SR)에 입사된 영역인 광 조사 영역(IA)은, 도 2c에 도시된 바와 같이, 직사각형 모양을 가질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 원 모양 등 다양한 모양을 가질 수 있다. 예를 들어, 광 조사 영역(IA)은 서브 픽셀(RSP, GSP, BSP)의 폭(W)에 대응하는 길이(Lia)를 가질 수 있다. For example, the light irradiation area IA, which is an area where the light L irradiated by the light irradiation unit 120 is incident on the surface SR of the display sample S, is a rectangular shape, as shown in FIG. 2C. It may have a shape, but is not limited thereto, and may have various shapes such as a circular shape. For example, the light irradiation area IA may have a length Lia corresponding to the width W of the subpixels RSP, GSP, and BSP.

분광부(130)는 광(L)이 디스플레이 시료(S)로부터 반사된 반사광(Lr)에 대한 스펙트럼을 측정하는 구성요소이다. 예를 들어, 도 2a를 참조하여, 반사광(Lr)은 빔 스플리터(122)를 투과하여 분광부(130)에 입사될 수 있다. 또한, 예를 들어, 분광부(130)는 프레임(도시되지 않음)에 의해 광 조사부(120)에 결합되어 제공될 수 있다. The spectrometer 130 is a component that measures the spectrum of the reflected light Lr of the light L reflected from the display sample S. For example, referring to FIG. 2A , the reflected light Lr may pass through the beam splitter 122 and be incident to the spectrometer 130 . Also, for example, the spectroscopy unit 130 may be provided by being coupled to the light irradiation unit 120 by a frame (not shown).

이동부(140)는 지지부(110)와 광 조사부(120)를 상대적으로 이동시키는 구성요소이다. 본 명세서에서, "이동부(140)는 지지부(110)와 광 조사부(120)를 상대적으로 이동시킨다"는 "이동부(140)가 지지부(110) 및 광 조사부(120) 중 어느 하나 또는 양자를 이동시킴으로써, 지지부(110)의 상면(US)에 대하여 수직인 방향으로 봤을 때 광 조사부(120)가 지지부(110)를 가로지른다"는 것을 의미할 수 있다. 즉, 예를 들어, 이동부(140)는 광 조사부(120)가 고정된 상태에서 지지부(110)를 우측 방향(D1)으로 이동시킬 수도 있고, 지지부(110)가 고정된 상태에서 광 조사부(120)를 좌측 방향(D2)으로 이동시킬 수도 있으며, 광 조사부(120)가 좌측 방향(D2)으로 이동하는 상태에서 지지부(110)를 우측 방향(D1)으로 이동시킬 수도 있다. 예를 들어, 이동부(140)는, 도 2a에 도시된 바와 같이, 컨베이어 벨트에 의해 구현될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 공유압 실린더 또는 리니어 모터와 같은 다양한 수단에 의해 구현될 수 있다. The moving unit 140 is a component that relatively moves the support unit 110 and the light irradiation unit 120 . In the present specification, "the moving unit 140 relatively moves the support unit 110 and the light irradiation unit 120" means that "the moving unit 140 moves either or both of the support unit 110 and the light irradiation unit 120". By moving , the light irradiation unit 120 crosses the support unit 110 when viewed in a direction perpendicular to the top surface US of the support unit 110 . That is, for example, the moving unit 140 may move the support 110 in the right direction D1 while the light irradiation unit 120 is fixed, or the light irradiation unit ( 120 may be moved in the left direction D2, and the support 110 may be moved in the right direction D1 while the light irradiation unit 120 is moving in the left direction D2. For example, as shown in FIG. 2A , the moving unit 140 may be implemented by a conveyor belt, but is not limited thereto, and may be implemented by various means such as a hydraulic cylinder or a linear motor.

제어부(160)는 광 조사부(120)가 유효 검사 구역(VA)을 통과하는 동안 디스플레이 시료(S)에 대한 광(L)의 조사 및 반사광(Lr)에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하고, 광 조사부(120)가 검사 불요 구역(NL)을 통과하는 동안 디스플레이 시료(S)에 대한 광(L)의 조사 및 반사광(Lr)에 대한 스펙트럼의 측정 중 하나 이상을 정지하도록 광 조사부(120) 및 분광부(130)를 제어하며, 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 유효 검사 구역(VA)의 적층체(LA)의 구조를 판단할 수 있다. The control unit 160 irradiates the display sample S with the light L and measures the spectrum of the reflected light Lr while the light irradiation unit 120 passes through the effective inspection area VA. The light irradiation unit 120 and minutes to stop at least one of irradiation of the light L to the display sample S and measurement of the spectrum of the reflected light Lr while the 120 passes through the inspection unnecessary area NL. The miner 130 may be controlled, and the structure of the laminate LA of the effective inspection area VA may be determined based on the measured spectrum data for the effective inspection area VA.

본 명세서에서, "광 조사부(120)가 유효 검사 구역(VA)을 통과한다"는 것은 "광 조사 영역(IA)이 유효 검사 구역(VA)을 통과한다"는 것을 의미할 수 있고, "광 조사부(120)가 검사 불요 구역(NL)을 통과한다"는 것은 "광 조사부(120)가 광(L)을 조사한다면 광 조사 영역(IA)이 검사 불요 구역(NL)에 있는 상태로, 광 조사부(120)가 디스플레이 시료(S)의 영역을 통과한다"를 의미할 수 있다. In the present specification, “the light irradiation unit 120 passes through the effective inspection area VA” may mean “the light irradiation area IA passes through the effective inspection area VA”, and “light irradiation area IA passes through the effective inspection area VA”. "The irradiation unit 120 passes through the inspection unnecessary area NL" means "if the light irradiation unit 120 emits the light L, the light irradiation area IA is in the inspection unnecessary area NL, and the light It may mean that the irradiation unit 120 passes through the area of the display sample S."

본 명세서에 있어서, "제어부(160)에 의해 판단되는 유효 검사 구역(VA)의 적층체(LA)의 구조"는 "적층체(LA)를 구성하는 박막(TL1, TL2)의 두께, 박막(TL1, TL2)의 개수, 박막(TL1, TL2)이 적층된 순서, 및 박막(TL1, TL2)을 이루는 물질 중 하나 이상"일 수 있다. In this specification, "the structure of the laminate LA of the effective inspection area VA determined by the control unit 160" is "the thickness of the thin films TL1 and TL2 constituting the laminate LA, the thin film ( One or more of the number of the thin films TL1 and TL2, the order in which the thin films TL1 and TL2 are stacked, and the materials constituting the thin films TL1 and TL2 may be ".

또한, 제어부(160)는 광 조사부(120)가 유효 검사 구역(VA) 및 검사 불요 구역(NL)을 통과하는 동안 디스플레이 시료(S)에 대한 광(L)의 조사 및 반사광(Lr)에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하도록 광 조사부(120) 및 분광부(130)를 제어하고, 분광부(130)로부터 수신된 측정 스펙트럼 데이터 중 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터를 필터링하며, 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 유효 검사 구역(VA)의 적층체(LA)의 구조를 판단할 수 있다. 예를 들어, 제어부(160)는, 분광부(130)로부터 수신된 측정 스펙트럼 데이터 중 가장 짧은 주기로 나타나는 측정 스펙트럼 데이터를 검사 불요 구역(NL)에 대응하는 측정 스펙트럼 데이터로 판단함으로써, 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터를 필터링할 수 있다. In addition, the control unit 160 controls the irradiation of the light L to the display sample S and the reflection light Lr while the light irradiator 120 passes through the effective inspection area VA and the inspection unnecessary area NL. The light irradiation unit 120 and the spectrometer 130 are controlled to measure the spectrum, the measured spectrum data for the valid inspection area VA is filtered among the measured spectrum data received from the spectrometer 130, and the effective inspection Based on the measured spectrum data for the area VA, the structure of the laminate LA in the effective inspection area VA can be determined. For example, the control unit 160 determines the measurement spectrum data appearing with the shortest cycle among the measurement spectrum data received from the spectrometer 130 as the measurement spectrum data corresponding to the inspection unnecessary area NL, so that the effective inspection area ( VA) can be filtered.

또한, 제어부(160)는, 미리 정해진 적층체(LA)에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피(recipe) 및 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여, 유효 검사 구역(VA)의 적층체(LA)의 구조를 판단할 수 있다.In addition, the control unit 160 determines the effective inspection area (VA) based on the recipe including the simulation spectrum data corresponding to the predetermined laminate (LA) and the measured spectrum data for the effective inspection area (VA). The structure of the laminated body LA of can be determined.

본 명세서에 있어서, "레서피"는 "미리 정해진 적층체(LA)에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 정보" 또는 "미리 정해진 적층체(LA)에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터, 및 적층체(LA)의 구조를 판단하기 위한 파라미터를 포함하는 정보"일 수 있다. In this specification, "recipe" means "information including simulation spectrum data corresponding to a predetermined laminate LA" or "simulated spectrum data corresponding to a predetermined laminate LA, and laminate LA" It may be "information including parameters for determining the structure of

또한, "적층체(LA)의 구조를 판단하기 위한 파라미터"는 "결정론적 판별법에 이용되는 파장 및 광 세기에 관한 제1 파라미터" 및 "머신러닝(machine learning)에 이용되는 매트릭스(matrix)의 상수에 관한 제2 파라미터" 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 예를 들어, "제1 파라미터"는 반사율이 최대가 되는 파장 λmax, 반사율이 최소가 되는 파장 λmin, 최대 반사율 Imax, 최소 반사율 Imin, 및 최소 반사율에 대한 최대 반사율의 비율 Imax/Imin 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 바꿔 말하면, 제어부(160)는 파장 및 광 세기에 관한 제1 파라미터를 이용하는 결정론적 판별법(결정론적 알고리즘), 또는 매트릭스의 상수에 관한 제2 파라미터를 이용하는 머신러닝에 의해 적층체(LA)의 구조를 판단할 수 있다. In addition, "parameters for determining the structure of the laminate LA" are "first parameters related to wavelength and light intensity used in deterministic discrimination" and "matrix used in machine learning It may include one or more of "second parameters related to constants". For example, the "first parameter" is the wavelength at which reflectance is maximized λ max , the wavelength at which reflectance is minimum λ min , the maximum reflectance I max , the minimum reflectance I min , and the ratio of maximum reflectance to minimum reflectance I max / It may include one or more of I min . In other words, the controller 160 determines the structure of the laminate LA by a deterministic discrimination method (deterministic algorithm) using a first parameter related to wavelength and light intensity or machine learning using a second parameter related to a matrix constant. can judge

"미리 정해진 적층체(LA)에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터"는 "미리 정해진 적층체(LA)의 파장에 따른 광의 반사율에 관한 시뮬레이션 그래프"를 포함한다. 또한, 미리 정해진 적층체(LA)에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터"는 "미리 정해진 적층체(LA)의 구조에 관한 정보," 즉, "미리 정해진 적층체(LA)를 구성하는 박막(TL1, TL2)의 두께, 박막(TL1, TL2)의 개수, 박막(TL1, TL2)이 적층된 순서, 및 박막(TL1, TL2)을 이루는 물질 중 하나 이상에 관한 정보"를 더 포함할 수 있다. 또한, "미리 정해진 적층체(LA)를 구성하는 박막(TL1, TL2)을 이루는 물질에 관한 정보"는 "미리 정해진 적층체(LA)를 구성하는 박막(TL1, TL2)을 이루는 물질의 명칭, 굴절율 n, 및 소광계수(消光係數) k 중 하나 이상"을 포함할 수 있다. 여기서, 굴절율 n은 복소 굴절율 n-ik의 실수부에 대응하고, 소광계수 k는 복소 굴절율 n-ik의 허수부에 대응한다. "Simulation spectrum data corresponding to the predetermined laminate LA" includes "simulation graphs relating to reflectance of light according to wavelengths of the predetermined laminate LA". In addition, simulation spectrum data corresponding to the predetermined laminate LA" is "information on the structure of the predetermined laminate LA," that is, "thin films TL1 and TL2 constituting the predetermined laminate LA. ), the number of thin films TL1 and TL2, the order in which the thin films TL1 and TL2 are stacked, and information about one or more of the materials constituting the thin films TL1 and TL2" may be further included. "Information on materials constituting the thin films TL1 and TL2 constituting the predetermined laminate LA" refers to "names of materials constituting the thin films TL1 and TL2 constituting the predetermined laminate LA, refractive index n . do.

도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법에 이용되는 제1 실시예에 따른 적층체의 파장에 따른 반사율에 관한 시뮬레이션의 그래프이다. 6A to 6C are graphs of simulations of reflectance according to wavelengths of the laminate according to the first embodiment used in the display inspection apparatus and display inspection method according to an embodiment of the present invention.

제1 실시예에 따른 적층체로서, 1.75의 굴절율을 가진 1개층의 박막으로 이루어진 적층체를 준비하였다. 도 6a는 박막의 두께를 10~50nm 범위에서 10nm씩 변화시키면서 파장에 따른 반사율을 예측하고 있으며, 도 6b는 박막의 두께를 20~28nm 범위에서 2nm씩 변화시키면서 파장에 따른 반사율을 예측하고 있고, 도 6c는 박막의 두께를 30~38nm 범위에서 2nm씩 변화시키면서 파장에 따른 반사율을 예측하고 있다. As a laminate according to the first embodiment, a laminate composed of one thin film having a refractive index of 1.75 was prepared. Figure 6a predicts the reflectance according to the wavelength while changing the thickness of the thin film by 10 nm in the range of 10 to 50 nm, Figure 6b predicts the reflectance according to the wavelength while changing the thickness of the thin film by 2 nm in the range of 20 to 28 nm, Figure 6c predicts the reflectance according to the wavelength while changing the thickness of the thin film by 2 nm in the range of 30 ~ 38 nm.

이러한 시뮬레이션 그래프에 근거하여, 박막의 두께가 1nm씩 변화할 때, 반사율이 최대가 되는 파장 λmax는 약 7nm씩 변화함을 예측할 수 있다. 결과적으로, 이러한 예측에 근거하여, 1개층의 박막으로 이루어져 있는 적층체에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터와 실제로 측정된 측정 스펙트럼 데이터를 비교함으로써 박막의 두께를 1nm 수준의 분해능으로 검사할 수 있다. Based on this simulation graph, it can be predicted that when the thickness of the thin film changes by 1 nm, the wavelength λ max at which the reflectance is maximized changes by about 7 nm. As a result, based on this prediction, the thickness of the thin film can be inspected with a resolution of 1 nm level by comparing the simulated spectrum data corresponding to the laminate composed of one thin film layer with the actually measured measured spectrum data.

도 7a 및 7b는 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법에 이용되는 제2 실시예에 따른 적층체의 파장에 따른 반사율에 관한 시뮬레이션의 그래프이다. 7A and 7B are simulation graphs of reflectance according to wavelength of a laminate according to a second embodiment used in a display inspection apparatus and a display inspection method according to an embodiment of the present invention.

제2 실시예에 따른 적층체로서, 2개층의 박막으로 이루어진 제1 샘플과 제2 샘플, 및 3개층의 박막으로 이루어진 제3 샘플을 준비하였다. 제1 샘플은 30nm의 두께를 가진 TAPC(TolylAmino Phenyl Cyclohexane) 박막과, 그 위에 적층된 50nm의 두께를 가진 AlQ3 (Tris(8-hydroxyQuinolinato)Aluminium) 박막으로 이루어진 적층체이고, 제2 샘플은 40nm의 두께를 가진 TAPC 박막과, 그 위에 적층된 50nm의 두께를 가진 AlQ3 박막으로 이루어진 적층체이며, 제3 샘플은 30nm의 두께를 가진 TAPC 박막과, 그 위에 적층된 20nm의 두께를 가진 QD(Quantum Dot) 박막과, 그 위에 적층된 50nm의 두께를 가진 AlQ3 박막으로 이루어진 적층체(즉, 제1 샘플의 TAPC 박막과 AlQ3 박막 사이에 20nm의 두께를 가진 QD(Quantum Dot) 박막이 삽입된 구조를 갖는 적층체)이다. TAPC의 굴절율은 1.65이고, AlQ3의 굴절율은 1.75이며, QD의 굴절율은 2.9이다. As the laminate according to the second embodiment, a first sample and a second sample composed of two layers of thin films and a third sample composed of three layers of thin films were prepared. The first sample is a laminate composed of a Tolyl Amino Phenyl Cyclohexane (TAPC) thin film having a thickness of 30 nm and a Tris(8-hydroxyQuinolinato)Aluminium (AlQ3) thin film having a thickness of 50 nm stacked thereon, and the second sample is a laminate of 40 nm It is a laminate consisting of a TAPC thin film having a thickness and an AlQ3 thin film having a thickness of 50 nm stacked thereon, and the third sample is a TAPC thin film having a thickness of 30 nm and a QD (Quantum Dot ) thin film and a laminate made of an AlQ3 thin film having a thickness of 50 nm stacked thereon (ie, having a structure in which a QD (Quantum Dot) thin film having a thickness of 20 nm is inserted between the TAPC thin film and the AlQ3 thin film of the first sample) laminate). The refractive index of TAPC is 1.65, the refractive index of AlQ3 is 1.75, and the refractive index of QD is 2.9.

이러한 시뮬레이션 그래프에 의하면, 복수의 박막으로 이루어진 적층체에 있어서, 하부층의 박막의 두께가 변화될 때, 또는 또 다른 박막이 기존의 박막들 사이에 삽입될 때, 스펙트럼이 변화됨을 알 수 있다. 결과적으로, 복수층의 박막으로 이루어져 있는 적층체에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터와 측정 스펙트럼 데이터를 비교함으로써 적층체를 구성하는 각각의 박막의 두께 및 박막의 개수 등을 검사할 수 있다. According to these simulation graphs, it can be seen that in a laminate composed of a plurality of thin films, the spectrum changes when the thickness of the thin film of the lower layer is changed or when another thin film is inserted between the existing thin films. As a result, the thickness of each thin film constituting the laminate and the number of thin films may be inspected by comparing the simulated spectrum data and the measured spectrum data corresponding to the multilayer laminate.

도 8은 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법에 이용되는 제3 실시예에 따른 적층체의 파장에 따른 반사율에 관한 시뮬레이션의 그래프이다.8 is a simulation graph of reflectance according to wavelength of a laminate according to a third embodiment used in a display inspection apparatus and a display inspection method according to an embodiment of the present invention.

제3 실시예에 따른 적층체로서, 2개층의 박막으로 이루어져 있는 제4 샘플과 제5 샘플을 준비하였다. 제4 샘플은 유리 기판 위에 적층된 50nm의 두께를 가진 제1 박막, 및 제1 박막 위에 적층된 50nm의 두께를 가진 제2 박막으로 이루어진 적층체이고, 제5 샘플은 유리 기판 위에 적층된 50nm의 두께를 가진 제2 박막, 및 제2 박막 위에 적층된 50nm의 두께를 가진 제1 박막으로 이루어진 적층체이다. 즉, 제4 샘플과 제5 샘플은 적층 순서만 달리할 뿐, 나머지 구성은 동일하다. 제1 박막의 굴절율은 1.65이고, 제2 박막의 굴절율은 1.75이다. 유리 기판의 굴절율은 1.5이다. As a laminate according to the third embodiment, a fourth sample and a fifth sample composed of two layers of thin films were prepared. The fourth sample is a laminate composed of a first thin film having a thickness of 50 nm laminated on a glass substrate and a second thin film having a thickness of 50 nm laminated on the first thin film, and the fifth sample is a laminate having a thickness of 50 nm laminated on a glass substrate. It is a laminate composed of a second thin film having a thickness and a first thin film having a thickness of 50 nm stacked on the second thin film. That is, only the stacking order of the fourth sample and the fifth sample is different, and the rest of the configuration is the same. The refractive index of the first thin film is 1.65, and the refractive index of the second thin film is 1.75. The refractive index of the glass substrate is 1.5.

이러한 시뮬레이션 그래프에 의하면, 복수의 박막으로 이루어진 적층체에 있어서, 적층 순서만을 달리하더라도 스펙트럼이 변화됨을 알 수 있다. 결과적으로, 복수층의 박막으로 이루어져 있는 적층체에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터와 측정 스펙트럼 데이터를 비교함으로써 적층체를 구성하는 박막의 적층 순서를 검사할 수 있다. According to these simulation graphs, it can be seen that the spectrum is changed even if only the order of stacking is changed in a laminate composed of a plurality of thin films. As a result, the stacking order of the thin films constituting the laminate can be checked by comparing the simulated spectrum data and the measured spectrum data corresponding to the laminate composed of a plurality of thin films.

또한, 제어부(160)는 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 시뮬레이션 스펙트럼 데이터, 및 적층체(LA)의 구조를 판단하기 위한 파라미터 중 하나 이상을 업데이트할 수 있다. 본 명세서에 있어서, "시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 업데이트하는 것"은 "새로운 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 추가하는 것, 및/또는 기존의 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 변경하는 것"을 포함할 수 있다. 또한, "적층체(LA)의 구조를 판단하기 위한 파라미터를 업데이트하는 것"은 "적층체(LA)의 구조를 판단하기 위한 새로운 파라미터를 추가하는 것, 및/또는 적층체(LA)의 구조를 판단하기 위한 기존의 파라미터를 변경하는 것"을 포함할 수 있다. In addition, the controller 160 may update one or more of simulation spectrum data and parameters for determining the structure of the laminate LA based on the measured spectrum data for the valid inspection area VA. In this specification, “updating simulated spectrum data” may include “adding new simulated spectrum data and/or changing existing simulated spectrum data”. In addition, “updating the parameters for determining the structure of the laminated body LA” means “adding a new parameter for determining the structure of the laminated body LA, and/or the structure of the laminated body LA. It may include "changing an existing parameter for determining

또한, 제어부(160)는 디스플레이 시료(S)를 촬상하여 얻어진 이미지에 근거하여 유효 검사 구역(VA) 및 검사 불요 구역(NL)을 판단할 수 있다. Also, the controller 160 may determine an effective inspection area VA and an inspection unnecessary area NL based on an image obtained by capturing the display sample S.

저장부(150)는 미리 정해진 적층체(LA)에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피를 저장하는 구성요소이다. The storage unit 150 is a component that stores a recipe including simulation spectrum data corresponding to a predetermined laminate LA.

촬상부(170)는 디스플레이 시료(S)를 촬상하는 구성요소이다. The imaging unit 170 is a component that captures an image of the display sample S.

본 발명의 실시예의 제1 특징에 따르면, 디스플레이 검사 장치(100)는 유효 검사 구역(VA) 및 검사 불요 구역(NL)을 가지는 디스플레이 시료(S)를 지지하는 지지부(110); 상기 디스플레이 시료(S)의 표면(SR)에 수직인 방향으로 광(L)이 입사되도록 상기 광(L)을 상기 디스플레이 시료(S)에 조사하는 광 조사부(120); 상기 광(L)이 상기 디스플레이 시료(S)로부터 반사된 반사광(Lr)에 대한 스펙트럼을 측정하는 분광부(130); 상기 지지부(110)와 상기 광 조사부(120)를 상대적으로 이동시키는 이동부(140); 및 상기 광 조사부(120)가 상기 유효 검사 구역(VA)을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료(S)에 대한 상기 광(L)의 조사 및 상기 반사광(Lr)에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하고, 상기 광 조사부(120)가 상기 검사 불요 구역(NL)을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료(S)에 대한 상기 광(L)의 조사 및 상기 반사광(Lr)에 대한 스펙트럼의 측정 중 하나 이상을 정지하도록 상기 광 조사부(120) 및 상기 분광부(130)를 제어하며, 상기 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역(VA)의 적층체(LA)의 구조를 판단하는 제어부(160)를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to a first feature of the embodiment of the present invention, the display inspection apparatus 100 includes a support 110 for supporting a display sample S having an effective inspection area VA and an inspection unnecessary area NL; A light irradiation unit 120 for irradiating the light L to the display sample S so that the light L is incident in a direction perpendicular to the surface SR of the display sample S; a spectrometer 130 measuring a spectrum of reflected light Lr of the light L reflected from the display sample S; a moving unit 140 that relatively moves the support unit 110 and the light irradiation unit 120; and irradiating the light L to the display sample S and measuring a spectrum of the reflected light Lr while the light irradiator 120 passes through the effective inspection area VA. While the light irradiator 120 passes through the inspection unnecessary area NL, at least one of the irradiation of the light L to the display sample S and the measurement of the spectrum of the reflected light Lr is stopped. A control unit that controls the light irradiation unit 120 and the spectroscopic unit 130 and determines the structure of the laminated body LA of the effective inspection area VA based on the measured spectrum data for the effective inspection area VA. It is characterized by including (160).

또한, 본 발명의 실시예의 제2 특징에 따르면, 디스플레이 검사 장치(100)는 유효 검사 구역(VA) 및 검사 불요 구역(NL)을 가지는 디스플레이 시료(S)를 지지하는 지지부(110); 상기 디스플레이 시료(S)의 표면(SR)에 수직인 방향으로 광(L)이 입사되도록 상기 광(L)을 상기 디스플레이 시료(S)에 조사하는 광 조사부(120); 상기 광(L)이 상기 디스플레이 시료(S)로부터 반사된 반사광(Lr)에 대한 스펙트럼을 측정하는 분광부(130); 상기 지지부(110)와 상기 광 조사부(120)를 상대적으로 이동시키는 이동부(140); 및 상기 광 조사부(120)가 상기 유효 검사 구역(VA) 및 상기 검사 불요 구역(NL)을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료(S)에 대한 상기 광(L)의 조사 및 상기 반사광(Lr)에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하도록 상기 광 조사부(120) 및 상기 분광부(130)를 제어하고, 상기 분광부(130)로부터 수신된 측정 스펙트럼 데이터 중 상기 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터를 필터링하며, 상기 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역(VA)의 적층체(LA)의 구조를 판단하는 제어부(160)를 포함하는 것을 특징으로 한다. Further, according to the second feature of the embodiment of the present invention, the display inspection apparatus 100 includes a support 110 for supporting a display sample S having an effective inspection area VA and an inspection unnecessary area NL; A light irradiation unit 120 for irradiating the light L to the display sample S so that the light L is incident in a direction perpendicular to the surface SR of the display sample S; a spectrometer 130 measuring a spectrum of reflected light Lr of the light L reflected from the display sample S; a moving unit 140 that relatively moves the support unit 110 and the light irradiation unit 120; And while the light irradiator 120 passes through the effective inspection area VA and the inspection unnecessary area NL, the light L is irradiated to the display sample S and the reflected light Lr is irradiated. Controls the light irradiator 120 and the spectrometer 130 to measure the spectrum, and filters the measured spectrum data for the valid inspection area VA among the measured spectrum data received from the spectrometer 130 and a control unit 160 for determining the structure of the laminated body LA of the effective inspection area VA based on the measured spectrum data for the effective inspection area VA.

이에 따라, 디스플레이 시료(S)의 박막(TL1, Tl2)의 두께를 포함한 적층체(LA)의 구조를 빠른 시간에 1nm 수준의 두께 분해능으로 검사할 수 있다. 또한, 물리적인 필터부로 인한 반사광(Lr)의 간섭 또는 반사광(Lr)의 흡수를 방지하면서, 디스플레이 시료(S)의 영역 중 유효 검사 구역(VA)의 적층체(LA)의 구조를 선별적으로 판단할 수 있다. Accordingly, the structure of the laminate LA including the thickness of the thin films TL1 and Tl2 of the display sample S can be quickly inspected with a thickness resolution of 1 nm. In addition, while preventing interference or absorption of the reflected light Lr due to the physical filter unit, the structure of the laminated body LA of the effective inspection area VA among the areas of the display sample S is selectively changed. can judge

이와 관련하여, 디스플레이 시료(S)의 상부에 물리적인 필터부를 배치하고, 이러한 물리적인 필터부 내에서 검사 불요 구역(NL)으로부터 반사된 반사광(Lr)을 차단하는 차단 패턴을 생성함으로써, 유효 검사 구역(VA)으로부터 반사된 반사광(Lr)만을 분광부(130)로 입사시키는 비교예를 고려한다. 이러한 비교예는 물리적인 필터부로 인한 반사광 간섭, 및/또는 물리적인 필터부 내를 반사광이 투과하면서 생기는 반사광 흡수가 생기는 문제점이 있다. 이에 반하여, 본 발명의 실시예는, 물리적인 필터부를 사용하는 대신에, 광 조사부(120)가 검사 불요 구역(NL)을 통과하는 동안 디스플레이 시료(S)에 대한 광(L)의 조사 및 반사광(Lr)에 대한 스펙트럼의 측정 중 하나 이상을 정지하도록 광 조사부(120) 및 분광부(130)를 제어하거나, 또는 분광부(130)로부터 수신된 측정 스펙트럼 데이터 중 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터를 필터링하고 있기 때문에, 물리적인 필터부로 인한 반사광(Lr)의 간섭 또는 반사광(Lr)의 흡수를 방지할 수 있다. In this regard, by disposing a physical filter unit on top of the display sample S, and generating a blocking pattern for blocking the reflected light Lr reflected from the inspection-unnecessary area NL within the physical filter unit, effective inspection is performed. A comparative example in which only the reflected light Lr reflected from the area VA is incident to the spectrometer 130 will be considered. This Comparative Example has a problem in that reflected light is interfered with by the physical filter unit and/or reflected light is absorbed while the reflected light is transmitted through the physical filter unit. In contrast, in the embodiment of the present invention, instead of using a physical filter unit, the light irradiation unit 120 irradiates and reflects light L to the display sample S while passing through the inspection unnecessary area NL. The light irradiation unit 120 and the spectrometer 130 are controlled to stop at least one of the spectrum measurements for (Lr), or for the effective inspection area (VA) among the measured spectrum data received from the spectrometer 130. Since the measured spectrum data is filtered, interference of the reflected light Lr or absorption of the reflected light Lr due to the physical filter unit can be prevented.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 검사 장치(100)는 상기 제어부(160)가, 미리 정해진 적층체(LA)에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피 및 상기 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여, 상기 유효 검사 구역(VA)의 적층체(LA)의 구조를 판단하고, 상기 레서피가 상기 적층체(LA)의 구조를 판단하기 위한 파라미터를 더 포함하고, 상기 제어부(160)는 상기 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 시뮬레이션 스펙트럼 데이터 및 상기 파라미터 중 하나 이상을 업데이트할 수 있다. 이에 따라, 실제로 측정된 스펙트럼 데이터에 기반한 피드백을 통해 오차를 최소화하면서 디스플레이 시료(S)의 적층체(LA)의 구조를 판단할 수 있다. In addition, in the display inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, the control unit 160 controls the recipe including simulation spectrum data corresponding to the predetermined laminate LA and the valid inspection area VA. Based on the measured spectrum data, the structure of the laminated body LA of the effective inspection area VA is determined, the recipe further includes a parameter for determining the structure of the laminated body LA, and the control unit ( 160) may update one or more of the simulated spectrum data and the parameter based on the measured spectrum data for the valid inspection area (VA). Accordingly, the structure of the laminated body LA of the display sample S may be determined while minimizing an error through feedback based on actually measured spectrum data.

도 4를 참조하여, 본 발명의 일 실시형태에 따른 디스플레이 검사 방법을 설명하면 다음과 같다. Referring to FIG. 4, a display inspection method according to an embodiment of the present invention will be described.

단계 210에서, 촬상부(170)는 유효 검사 구역(VA) 및 검사 불요 구역(NL)을 가지는 디스플레이 시료(S)를 촬상한다. In step 210, the imaging unit 170 captures an image of the display sample S having the valid inspection area VA and the inspection unnecessary area NL.

단계 220에서, 제어부(160)는 디스플레이 시료(S)의 촬상된 이미지에 근거하여 유효 검사 구역(VA) 및 검사 불요 구역(NL)을 판단한다. In step 220, the controller 160 determines an effective inspection area VA and an inspection unnecessary area NL based on the captured image of the display specimen S.

단계 230에서, 이동부(140)는 디스플레이 시료(S)를 지지하는 지지부(110)와, 디스플레이 시료(S)의 표면(SR)에 수직인 방향으로 광(L)이 입사되도록 광(L)을 디스플레이 시료(S)에 조사하는 광 조사부(120)를 상대적으로 이동시킨다. In step 230, the moving unit 140 moves the light L so that the light L is incident in a direction perpendicular to the support 110 for supporting the display sample S and the surface SR of the display sample S. The light irradiator 120 for irradiating the display sample S is relatively moved.

단계 240에서, 제어부(160)는 광 조사부(120)가 유효 검사 구역(VA)을 통과하는 동안, 디스플레이 시료(S)에 대한 광(L)의 조사와 함께, 광(L)이 디스플레이 시료(S)로부터 반사된 반사광(Lr)에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하고, 광 조사부(120)가 검사 불요 구역(NL)을 통과하는 동안 디스플레이 시료(S)에 대한 광(L)의 조사 및 반사광(Lr)에 대한 스펙트럼의 측정 중 하나 이상을 정지하도록 광 조사부(120) 및 분광부(130)를 제어한다. In step 240, the control unit 160 irradiates the light L to the display sample S while the light irradiator 120 passes through the effective inspection area VA, and the light L is the display sample ( The spectrum of the reflected light (Lr) reflected from S) is measured, and while the light irradiator 120 passes through the inspection-unnecessary area (NL), the light (L) is irradiated to the display sample (S) and reflected light ( The light irradiation unit 120 and the spectroscopy unit 130 are controlled to stop at least one of the spectrum measurements of Lr).

단계 250에서, 제어부(160)는 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 유효 검사 구역(VA)의 적층체(LA)의 구조를 판단한다. 단계 250에서, 제어부(160)에 의해, 미리 정해진 적층체(LA)에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피 및 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여, 유효 검사 구역(VA)의 적층체(LA)의 구조를 판단하는 단계가 포함될 수 있다. In step 250, the controller 160 determines the structure of the laminate LA of the effective inspection area VA based on the measured spectrum data for the valid inspection area VA. In step 250, the effective inspection area (VA) is determined by the control unit 160 based on the recipe including the simulated spectrum data corresponding to the predetermined laminate (LA) and the measured spectrum data for the valid inspection area (VA). A step of determining the structure of the laminated body LA of may be included.

또한, 단계 250 이후에, 제어부(160)에 의해, 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 시뮬레이션 스펙트럼 데이터 및 적층체(LA)의 구조를 판단하기 위한 파라미터 중 하나 이상을 업데이트하는 단계가 더 포함될 수도 있다. In addition, after step 250, the control unit 160 updates one or more of parameters for determining the structure of the laminate LA and the simulation spectrum data based on the measured spectrum data for the effective inspection area VA. Further steps may be included.

도 5를 참조하여, 본 발명의 일 실시형태의 변형예에 따른 디스플레이 검사 방법을 설명하면 다음과 같다. Referring to FIG. 5 , a display inspection method according to a modified example of an embodiment of the present invention will be described.

단계 310에서, 이동부(140)는 유효 검사 구역(VA) 및 검사 불요 구역(NL)을 가지는 디스플레이 시료(S)를 지지하는 지지부(110)와, 디스플레이 시료(110)의 표면(SR)에 수직인 방향으로 광(L)이 입사되도록 광(L)을 디스플레이 시료(S)에 조사하는 광 조사부(120)를 상대적으로 이동시킨다. In step 310, the moving unit 140 is applied to the support 110 for supporting the display sample S having the valid inspection area VA and the inspection unnecessary area NL, and the surface SR of the display sample 110. The light irradiator 120 for irradiating the light L to the display sample S is relatively moved so that the light L is incident in a vertical direction.

단계 320에서, 광 조사부(120)가 유효 검사 구역(VA) 및 검사 불요 구역(NL)을 통과하는 동안, 광 조사부(120)가 디스플레이 시료(S)에 대하여 광(L)을 조사함과 함께, 분광부(130)는 광(L)이 디스플레이 시료(S)로부터 반사된 반사광(Lr)에 대한 스펙트럼의 측정을 수행한다. In step 320, while the light irradiation unit 120 passes through the effective inspection area VA and the inspection unnecessary area NL, the light irradiation unit 120 radiates light L to the display sample S and , The spectrometer 130 measures the spectrum of the reflected light Lr in which the light L is reflected from the display sample S.

단계 330에서, 제어부(160)는 분광부(130)로부터 수신된 측정 스펙트럼 데이터 중 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터를 필터링한다. In step 330, the control unit 160 filters the measured spectrum data for the valid inspection area VA among the measured spectrum data received from the spectrometer 130.

단계 340에서, 제어부(160)는 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 유효 검사 구역(VA)의 적층체(LA)의 구조를 판단한다. 단계 340에서, 제어부(160)에 의해, 미리 정해진 적층체(LA)에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피 및 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여, 유효 검사 구역(VA)의 적층체(LA)의 구조를 판단하는 단계가 포함될 수 있다.In step 340, the controller 160 determines the structure of the laminate LA of the valid inspection area VA based on the measured spectrum data for the valid inspection area VA. In step 340, the effective inspection area (VA) is determined by the control unit 160 based on the recipe including the simulated spectrum data corresponding to the predetermined laminate (LA) and the measured spectrum data for the valid inspection area (VA). A step of determining the structure of the laminated body LA of may be included.

또한, 단계 340 이후에, 제어부(160)에 의해, 유효 검사 구역(VA)에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 시뮬레이션 스펙트럼 데이터 및 적층체(LA)의 구조를 판단하기 위한 파라미터 중 하나 이상을 업데이트하는 단계가 더 포함될 수도 있다.In addition, after step 340, the control unit 160 updates one or more of parameters for determining the structure of the laminate LA and the simulation spectrum data based on the measured spectrum data for the effective inspection area VA. Further steps may be included.

본 발명은 첨부된 예시 도면의 바람직한 실시형태를 중심으로 도시하고 설명하였지만, 이에 한정하지 않고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이하의 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 형태로 실시할 수 있음은 물론이다.Although the present invention has been shown and described with reference to the preferred embodiments of the accompanying exemplary drawings, it is not limited thereto, and those skilled in the art to which the present invention pertains within the scope of the technical idea of the present invention described in the claims below. Of course, it can be implemented in various forms.

20: 광원 30: 디텍터
100: 디스플레이 검사 장치 110: 지지부
120: 광 조사부 121: 광원
122: 빔 스플리터 123: 대물 렌즈
130: 분광부 140: 이동부
150: 저장부 160: 제어부
170: 촬상부 S': 박막 시료
S: 디스플레이 시료 L: 광
Lr: 반사광 P: 픽셀
RSP, GSP, BSP: 서브 픽셀 B, B1, B2, B3, B4: 격벽
TL, TL1, TL2: 박막 LA: 적층체
VA: 유효 검사 구역 NL: 검사 불요 구역
SR: 표면 US: 상면 20: light source 30: detector
100: display inspection device 110: support
120: light irradiation unit 121: light source
122: beam splitter 123: objective lens
130: spectroscopic unit 140: moving unit
150: storage unit 160: control unit
170: imaging unit S': thin film sample
S: display sample L: light
Lr: reflected light P: pixel
RSP, GSP, BSP: Sub-pixels B, B1, B2, B3, B4: Partition
TL, TL1, TL2: thin film LA: laminate
VA: Valid inspection area NL: No inspection area
SR: Surface US: Top

Claims (14)

디스플레이 검사 장치에 있어서,
유효 검사 구역 및 검사 불요 구역을 가지는 디스플레이 시료를 지지하는 지지부;
상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 광이 입사되도록 상기 광을 상기 디스플레이 시료에 조사하는 광 조사부;
상기 광이 상기 디스플레이 시료로부터 반사된 반사광에 대한 스펙트럼을 측정하는 분광부;
상기 지지부와 상기 광 조사부를 상대적으로 이동시키는 이동부; 및
상기 광 조사부가 상기 유효 검사 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하고, 상기 광 조사부가 상기 검사 불요 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정 중 하나 이상을 정지하도록 상기 광 조사부 및 상기 분광부를 제어하며, 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 제어부를 포함하고,
상기 제어부는, 미리 정해진 적층체에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피 및 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여, 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 것을 특징으로 하는
디스플레이 검사 장치. In the display inspection device,
a support for supporting a display sample having an effective inspection area and an inspection unnecessary area;
a light irradiation unit for radiating the light to the display sample so that the light is incident in a direction perpendicular to the surface of the display sample;
a spectrometer for measuring a spectrum of reflected light in which the light is reflected from the display sample;
a moving unit that relatively moves the support unit and the light irradiation unit; and
While the light irradiator passes through the effective inspection area, the light is irradiated to the display sample and a spectrum of the reflected light is measured, and the light irradiation unit performs the measurement of the display sample while passing through the inspection unnecessary area. Controlling the light irradiation unit and the spectroscopy unit to stop at least one of irradiation of light and measurement of a spectrum of the reflected light, and determining a structure of a stack of the effective inspection area based on measurement spectrum data for the effective inspection area including a control unit;
The control unit determines the structure of the laminate of the effective inspection zone based on a recipe including simulation spectrum data corresponding to a predetermined laminate and the measured spectrum data for the effective inspection zone.
display inspection device. 디스플레이 검사 장치에 있어서,
유효 검사 구역 및 검사 불요 구역을 가지는 디스플레이 시료를 지지하는 지지부;
상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 광이 입사되도록 상기 광을 상기 디스플레이 시료에 조사하는 광 조사부;
상기 광이 상기 디스플레이 시료로부터 반사된 반사광에 대한 스펙트럼을 측정하는 분광부;
상기 지지부와 상기 광 조사부를 상대적으로 이동시키는 이동부; 및
상기 광 조사부가 상기 유효 검사 구역 및 상기 검사 불요 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하도록 상기 광 조사부 및 상기 분광부를 제어하고, 상기 분광부로부터 수신된 측정 스펙트럼 데이터 중 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터를 필터링하며, 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 제어부를 포함하고,
상기 제어부는, 미리 정해진 적층체에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피 및 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여, 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 것을 특징으로 하는
디스플레이 검사 장치. In the display inspection device,
a support for supporting a display sample having an effective inspection area and an inspection unnecessary area;
a light irradiation unit for radiating the light to the display sample so that the light is incident in a direction perpendicular to the surface of the display sample;
a spectrometer for measuring a spectrum of reflected light in which the light is reflected from the display sample;
a moving unit that relatively moves the support unit and the light irradiation unit; and
Controls the light irradiation unit and the spectroscopy unit to irradiate the display sample with the light and measure a spectrum of the reflected light while the light irradiation unit passes through the effective inspection area and the inspection unnecessary area; A control unit for filtering the measured spectrum data for the effective inspection region among the received measurement spectrum data, and determining a structure of a laminate of the effective inspection region based on the measured spectrum data for the valid inspection region;
The control unit determines the structure of the laminate of the effective inspection zone based on a recipe including simulation spectrum data corresponding to a predetermined laminate and the measured spectrum data for the effective inspection zone.
display inspection device. 삭제delete 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 레서피는 상기 적층체의 구조를 판단하기 위한 파라미터를 더 포함하고,
상기 제어부는 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 시뮬레이션 스펙트럼 데이터 및 상기 파라미터 중 하나 이상을 업데이트하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치. The method of claim 1 or 2, wherein the recipe further includes a parameter for determining the structure of the laminate,
Wherein the control unit updates at least one of the simulated spectrum data and the parameter based on the measured spectrum data for the valid inspection zone. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제어부에 의해 판단되는 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조는 상기 적층체를 구성하는 박막의 두께, 상기 박막의 개수, 상기 박막이 적층된 순서, 및 상기 박막을 이루는 물질 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치. The method of claim 1 or 2, wherein the structure of the laminate of the effective inspection zone determined by the controller is the thickness of the thin films constituting the laminate, the number of the thin films, the order in which the thin films are stacked, and the Display inspection device, characterized in that at least one of the materials forming the thin film. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 디스플레이 시료를 촬상하여 얻어진 이미지에 근거하여 상기 유효 검사 구역 및 상기 검사 불요 구역을 판단하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치. The display inspection apparatus according to claim 1, wherein the control unit determines the valid inspection area and the inspection unnecessary area based on an image obtained by capturing the display sample. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 광 조사부는 상기 광을 발생시키는 광원, 상기 광원으로부터 방출된 상기 광을 상기 디스플레이 시료를 향하여 반사시키는 빔 스플리터, 및 상기 빔 스플리터로부터 반사된 상기 광이 상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 입사되도록 상기 광을 집중시키는 대물 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치. The method of claim 1 or 2, wherein the light irradiation unit comprises a light source generating the light, a beam splitter reflecting the light emitted from the light source toward the display sample, and the light reflected from the beam splitter is Display inspection apparatus comprising an objective lens for concentrating the light so that it is incident in a direction perpendicular to the surface of the display sample. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유효 검사 구역은 적색광, 녹색광, 및 청색광 중 하나를 방출하는 서브 픽셀을 포함하고, 상기 검사 불요 구역은 상기 서브 픽셀을 구획하는 격벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치. 3. The method of claim 1 or 2, wherein the effective inspection area includes a subpixel emitting one of red light, green light, and blue light, and the inspection unnecessary area includes a barrier rib partitioning the subpixel. display inspection device. 제1항에 있어서, 미리 정해진 적층체에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피를 저장하는 저장부, 및 상기 디스플레이 시료를 촬상하는 촬상부 중 하나 이상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치. The display inspection apparatus according to claim 1, further comprising at least one of a storage unit for storing a recipe including simulation spectrum data corresponding to a predetermined laminate, and an imaging unit for capturing an image of the display sample. 제4항에 있어서, 상기 파라미터는 결정론적 판별법에 이용되는 파장 및 광 세기에 관한 제1 파라미터, 및 머신러닝에 이용되는 매트릭스의 상수에 관한 제2 파라미터 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 방법. The display of claim 4 , wherein the parameters include at least one of a first parameter related to wavelength and light intensity used for deterministic discrimination and a second parameter related to a constant of a matrix used for machine learning. method of inspection. 디스플레이 검사 방법에 있어서,
a) 유효 검사 구역 및 검사 불요 구역을 가지는 디스플레이 시료를 촬상하여 얻어진 이미지에 근거하여 상기 유효 검사 구역 및 상기 검사 불요 구역을 판단하는 단계;
b) 상기 디스플레이 시료를 지지하는 지지부와, 상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 광이 입사되도록 상기 광을 상기 디스플레이 시료에 조사하는 광 조사부를 상대적으로 이동시키는 단계;
c) 상기 광 조사부가 상기 유효 검사 구역을 통과하는 동안, 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사와 함께, 분광부에 의해 상기 광이 상기 디스플레이 시료로부터 반사된 반사광에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하고, 상기 광 조사부가 상기 검사 불요 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정 중 하나 이상을 정지하도록 상기 광 조사부 및 상기 분광부를 제어하는 단계; 및
d) 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 단계를 포함하고,
상기 d) 단계는, 미리 정해진 적층체에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피 및 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여, 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는
디스플레이 검사 방법. In the display inspection method,
a) determining an effective inspection area and an inspection unnecessary area based on an image obtained by capturing a display sample having an effective inspection area and an inspection unnecessary area;
b) relatively moving a support for supporting the display sample and a light irradiation unit for radiating the light to the display sample so that the light is incident in a direction perpendicular to the surface of the display sample;
c) while the light irradiation unit passes through the effective inspection area, the display sample is irradiated with the light, and a spectral unit measures a spectrum of reflected light reflected from the display sample by the spectrometer; controlling the light irradiation unit and the spectrometer to stop at least one of irradiation of the light to the display sample and measurement of a spectrum of the reflected light while the light irradiation unit passes through the inspection-unnecessary area; and
d) determining the structure of the laminate of the effective inspection zone based on the measured spectrum data for the effective inspection zone;
The step d) includes determining the structure of the laminate of the effective inspection zone based on a recipe including simulated spectrum data corresponding to a predetermined laminate and the measured spectrum data for the effective inspection zone. characterized by
How to inspect the display. 디스플레이 검사 방법에 있어서,
a) 유효 검사 구역 및 검사 불요 구역을 가지는 디스플레이 시료를 지지하는 지지부와, 상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 광이 입사되도록 상기 광을 상기 디스플레이 시료에 조사하는 광 조사부를 상대적으로 이동시키는 단계;
b) 상기 광 조사부가 상기 유효 검사 구역 및 상기 검사 불요 구역을 통과하는 동안, 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사와 함께, 분광부에 의해 상기 광이 상기 디스플레이 시료로부터 반사된 반사광에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하는 단계;
c) 상기 분광부로부터 수신된 측정 스펙트럼 데이터 중 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터를 필터링하는 단계; 및
d) 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 단계를 포함하고,
상기 d) 단계는, 미리 정해진 적층체에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피 및 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여, 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는
디스플레이 검사 방법. In the display inspection method,
a) relatively moving a support for supporting a display sample having an effective inspection area and an inspection-unnecessary area, and a light irradiation unit for radiating light to the display sample so that light is incident in a direction perpendicular to the surface of the display sample; ;
b) While the light irradiator passes through the effective inspection area and the inspection unnecessary area, measuring the spectrum of the reflected light reflected from the display sample by the spectrometer while irradiating the light to the display sample performing;
c) filtering the measured spectrum data for the valid inspection region among the measured spectrum data received from the spectrometer; and
d) determining the structure of the laminate of the effective inspection zone based on the measured spectrum data for the effective inspection zone;
The step d) includes determining the structure of the laminate of the effective inspection zone based on a recipe including simulated spectrum data corresponding to a predetermined laminate and the measured spectrum data for the effective inspection zone. characterized by
How to inspect the display. 삭제delete 제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 레서피는 상기 적층체의 구조를 판단하기 위한 파라미터를 더 포함하고,
상기 d) 단계 이후에, e) 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 시뮬레이션 스펙트럼 데이터 및 상기 파라미터 중 하나 이상을 업데이트하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 방법. The method of claim 11 or 12, wherein the recipe further includes a parameter for determining the structure of the laminate,
After the step d), e) updating at least one of the simulated spectrum data and the parameters based on the measured spectrum data for the valid inspection zone.
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