KR102528268B1 - Vibration time reduction device for precision measurement table for semiconductor parts - Google Patents

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KR102528268B1 KR1020200184765A KR20200184765A KR102528268B1 KR 102528268 B1 KR102528268 B1 KR 102528268B1 KR 1020200184765 A KR1020200184765 A KR 1020200184765A KR 20200184765 A KR20200184765 A KR 20200184765A KR 102528268 B1 KR102528268 B1 KR 102528268B1
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Abstract

본 발명은 지진 등 여타의 흔들림 진동 충격을 흡수할 수 있도록 공기압으로 충전되는 튜브형 쇽업쇼버가 정사각형 제진대바닥판에 설치되고 1,000kg(1톤) 이상의 석정반테이블이 상기한 쇽업쇼버 윗면에 수평으로 설치되는 제진대 반도체 부품 정밀 측정기에 있어서, 네 변의 길이가 동일한 정사각형의 제진대바닥판 네 모서리 안쪽 바닥면에 환상(環狀)의 단턱홈을 구비한 관통구멍을 수직 형성하고 상기 관통구멍에는 간극조절축과 하우징실린더의 결합으로 이루어지는 진동시간단축장치를 수직 설치하되, 상기의 하우징실린더는 렌치사용부를 상단부에 형성하고 길이방향 중심에 암나사선구멍을 형성하며 또 하부에는 계단형 단턱과 숫나사선을 가진 고정볼트축을 일체로 형성하여 제진대바닥판의 환상의 단턱홈을 구비한 관통구멍에 끼워서 고정너트로 고정하고, 간극조절축은 그 상단부에 렌치사용부를 가진 헤드를 형성하고 축 외주면(外周面) 전체에는 숫나사선을 형성하며 상기 숫나사선에는 단속너트를 체결해서 상기 하우징실린더의 암나사선구멍에 결합해서 석정반테이블 밑면과 헤드 사이의 간극을 조절하여 지진 등의 충격으로 진동하는 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간을 단축하는 특징이 있다.In the present invention, a tubular shock absorber charged with pneumatic pressure is installed on the bottom plate of a square anti-vibration table to absorb other shaking vibration shocks such as earthquakes, and a stone table of 1,000 kg (1 ton) or more is placed horizontally on the upper surface of the shock absorber. In the installed vibration isolation table semiconductor component precision measuring device, a through hole having an annular stepped groove is vertically formed on the inner bottom surface of the four corners of a square vibration isolation table bottom plate with four sides equal in length, and a gap is formed in the through hole The vibration time reduction device consisting of the combination of the control shaft and the housing cylinder is installed vertically, but the housing cylinder forms a wrench use part at the upper end, forms a female screw hole in the center in the longitudinal direction, and has a stepped step and a male screw line at the lower part. The fixing bolt shaft is integrally formed, inserted into the through-hole having an annular stepped groove of the bottom plate of the vibration isolation table, and fixed with a fixing nut. A male screw line is formed throughout, and an interrupted nut is fastened to the male screw line and coupled to the female screw hole of the housing cylinder to adjust the gap between the bottom surface of the granite table and the head. It has the characteristic of shortening the oscillation time of

Description

반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치{Vibration time reduction device for precision measurement table for semiconductor parts}Vibration time reduction device for precision measurement table for semiconductor parts}

본 발명은 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치에 관한 것으로 더 구체적으로는 반도체 부품을 정밀 측정하는 작업 중에 지진이 발생하거나 작업자 실수로 반도체 부품 정밀 측정기의 석정반테이블에 가해지는 충격으로 석정반테이블에 흔들림 진동이 발생할 때 흔들림 진동 시간을 단축하여 흔들림 진동으로 작동이 멈춰진 반도체 부품 정밀 측정기를 신속하게 재가동할 수 있도록 한다.
충격 흔들림으로 진동하는 석정반테이블이 완전한 안정을 찾기까지는 상당한 시간이 요구된다. 반도체 부품을 정밀 측정하는 업무는 반도체 부품을 정밀 측정업무를 수행하는 기업의 이윤을 좌우하는 주된 업무이고 생업이다.
한편, 반도체 부품을 정밀 측정하는 업무는 짧은 시간에 상당량의 반도체 부품을 정밀 측정하여 상당한 이윤을 제공한다. 그러므로 지진 등 여타의 충격 진동으로 반도체 부품 정밀 측정기가 멈춰 선다는 것은 결국 전문 기업에 상당한 경제적 손실이 발생하는 것을 의미하고, 따라서 지진 등 여타의 흔들림 진동이 발생한 석정반테이블의 진동 시간을 단축하는 것은 멈춰선 반도체 부품 정밀 측정기의 재가동 시간을 앞당겨서 손실을 최소화 할 수 있게 되는 것이다.
본 발명 실시 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치에 의하면 간극조절축의 높낮이를 미세하게 조절(마이크로 조정; micro adjustment)하여 석정반테이블의 흔들임 진동시간을 혁신적으로 단축한다.The present invention relates to an apparatus for reducing the vibration time of a precision measuring table for semiconductor parts, and more specifically, when an earthquake occurs during an operation of precisely measuring a semiconductor part or an impact applied to a granite table of a precision measuring instrument for semiconductor parts by an operator's mistake When shaking vibration occurs on the table, it shortens the shaking vibration time so that the precision measuring device for semiconductor parts that has stopped working due to shaking vibration can be quickly restarted.
A considerable amount of time is required for the granite table, which vibrates due to shock shaking, to find complete stability. The task of precisely measuring semiconductor components is the main task and livelihood that determines the profits of companies that perform precise measurement of semiconductor components.
On the other hand, the task of precisely measuring semiconductor components provides significant profits by precisely measuring a large amount of semiconductor components in a short time. Therefore, if the precision measuring machine for semiconductor parts stops due to earthquake or other shock vibrations, it means that a specialized company will eventually incur significant economic losses. It is possible to minimize the loss by shortening the restart time of the semiconductor component precision measuring machine.
According to the device for reducing the vibration time of the precision measurement table for semiconductor parts according to the present invention, the height of the gap adjusting shaft is minutely adjusted (micro-adjusted) to innovatively reduce the shaking vibration time of the granite table.

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본 발명 실시 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치는 반도체 부품 정밀측정기의 석정반테이블 네 모퉁이 밑면에 설치되어 석정반테이블이 흔들림 진동할 때 밑면이 진동시간단축장치인 간극조절축의 상단부 헤드에 부딧쳐서 석정반테이블의 흔들림 진동 범위를 축소시켜서 석정반테이블의 빠른 안정을 도와준다.
더 상세히 설명해서 본 발명 실시 반도체 부품 정밀측정기는 전자 및 반도체 및 광학 실험 업무를 수행하는 전문 기술분야에서 사용되고 있는 초정밀 측정기계 장치로서 석정반테이블 위에 측정장치가 구비된다.
한편, 상기의 석정반테이블은 그것이 어떤 기계장치에 사용이 되건 무진동(無振動)에 완전한 수평을 조건이어야 하며 미세한 흔들린 진동을 흡수할 수 있도록 쇽업쇼버 상면에 안착 설치되어 공기층이 흔들림 진동을 흡수할 수 있게 된다.
2011.06.28. 국내 특허등록 제1046361호(이하 '선등록특허'라함)에 의하면, "시간 지연 제어(time delay control)를 이용한 공압 제진대는, 유량의 흐름을 제어 입력으로 하여 시간 지연 제어를 한다. 유량의 흐름은 서보 밸브의 입력과 출력을 1차 근사화하여 측정할 수 있다. The device for reducing the vibration time of the precision measuring table for semiconductor parts according to the present invention is installed on the bottom of the four corners of the stone table of the precision measuring device for semiconductor parts, and when the table is shaken and vibrates, the bottom surface hits the upper head of the gap control shaft, which is the device for reducing the vibration time. It helps to quickly stabilize the granite table by reducing the range of shaking and vibration of the granite table by hitting it.
More specifically, the precision measuring device for semiconductor parts according to the present invention is an ultra-precision measuring instrument used in the field of electronic, semiconductor and optical testing, and is equipped with a measuring device on a granite table.
On the other hand, the above-mentioned granite table must be perfectly level with no vibration no matter what machine it is used in, and it is installed on the upper surface of the shock absorber to absorb minute shaking vibration so that the air layer can absorb shaking vibration. be able to
2011.06.28. According to Korean Patent Registration No. 1046361 (hereinafter referred to as 'pre-registered patent'), "a pneumatic vibration isolation table using time delay control performs time delay control by using the flow of flow as a control input. Flow of flow can be measured by first approximating the input and output of the servo valve.

시간 지연 제어의 설계는 시간 지연을 결정하는 단계, 감쇠비와 고유 진동수를 결정하는 단계 및 제어 입력의 불확실성을 나타내기 위한 양의 상수를 결정하는 단계를 포함한다.The design of the time delay control includes determining the time delay, determining the damping ratio and natural frequency, and determining a positive constant to represent the uncertainty of the control input.

일 실시예에 따른 시간 지연 제어를 이용한 공압 제진대는 표본화 시간(sampling time)을 시간 지연으로 결정할 수 있다.A pneumatic vibration isolation table using time delay control according to an embodiment may determine a sampling time as a time delay.

일 실시예에 따른 시간 지연 제어를 이용한 공압 제진대는, 유량의 흐름을 제어 입력으로 하여 시간 지연 제어를 한다.A pneumatic vibration isolation table using time delay control according to an embodiment performs time delay control by using a flow of flow as a control input.

유량의 흐름은 서보 밸브의 입력과 출력을 1차 근사화하여 측정할 수 있다. 시간 지연 제어의 설계는 시간 지연을 결정하는 단계, 감쇠비와 고유 진동수를 결정하는 단계 및 제어 입력의 불확실성을 나타내기 위한 양의 상수를 시스템에서 잡음 응답이 나타나지 않는 값으로 결정하는 단계를 포함한다. 시간 지연은 표본화 시간으로 결정할 수 있다.The flow of flow can be measured by first approximating the input and output of the servo valve. The design of the time delay control includes determining a time delay, determining a damping ratio and a natural frequency, and determining a positive constant for representing the uncertainty of a control input as a value at which no noise response appears in the system. The time delay can be determined by the sampling time.

일 실시예에 따른 시간 지연 제어를 이용한 공압 제진대에서 양의 상수는 분석적으로 선택된 후, 시스템에서 잡음 응답이 나타내지 않을 때까지 양의 상수 값을 줄여가면서 결정될 수 있다.After a positive constant is analytically selected in a pneumatic vibration isolation table using time delay control according to an embodiment, the value of the positive constant may be determined while decreasing the value of the positive constant until the system does not show a noise response.

일 실시예에 따른 시간 지연 제어를 이용한 공압 제진대에서 양의 상수는 작은 초기값으로 설정된 후, 시스템에서 잡음 응답이 나타날 때까지 양의 상수 값을 늘려가면서 결정될 수 있다.In the pneumatic vibration isolation table using time delay control according to an embodiment, a positive constant may be set to a small initial value, and then the positive constant value may be increased until a noise response appears in the system.

일 실시예에 따른 시간 지연 제어(time delay control)를 이용한 공압 제진대는 시간 지연 제어는 유량의 흐름을 제어 입력으로 한다. The time delay control of the pneumatic vibration isolation table using time delay control according to an embodiment uses the flow of flow as a control input.

유량의 흐름은 서보 밸브의 입력과 출력을 1차 근사화하여 측정할 수 있다.The flow of flow can be measured by first approximating the input and output of the servo valve.

공압 제진대는 하나의 가속도계를 이용해 가속도 신호를 측정하며, 측정된 가속도 신호를 미분하거나 적분해서 제어한다.The pneumatic vibration isolation unit measures the acceleration signal using one accelerometer, and controls the measured acceleration signal by differentiating or integrating it.

일 실시예에 따른 시간 지연 제어를 이용한 공압 제진대는 잡음 효과를 완화시키기 위한 저역 통과 필터(low pass filter)를 포함할 수 있다.The pneumatic vibration isolation table using time delay control according to an embodiment may include a low pass filter for mitigating noise effects.

일 실시예에 따른 공압 제진대에 적용 가능한 시간 지연 제어 방법은 유량의 흐름을 제어 입력으로 한다. 유량의 흐름은 서보 밸브의 입력과 출력을 1차 근사화하여 측정할 수 있다. A time delay control method applicable to a pneumatic vibration isolation table according to an embodiment uses a flow of flow as a control input. The flow of flow can be measured by first approximating the input and output of the servo valve.

시간 지연 제어 방법은 시간지연을 결정하는 단계, 감쇠비와 고유 진동수를 결정하는 단계 및 제어 입력의 불확실성을 나타내기 위한 양의 상수를 결정하는 단계를 포함하여 설계된다. 시간 지연은 표본화 시간으로 결정할 수 있다. 라는 내용의 시간 지연 제어 방법 및 이를 이용한 공압 제진대가 알려져 있다.The time delay control method is designed including determining a time delay, determining a damping ratio and a natural frequency, and determining a positive constant to represent the uncertainty of a control input. The time delay can be determined by the sampling time. A time delay control method and a pneumatic vibration isolation table using the same are known.

한편, 상기한 선등록특허를 비롯한 공압을 이용한 공지의 제진장치에는 통상적으로 정사각형의 제진대 테이블의 저면 네 곳에는 제진대 테이블의 기울기를 감지는 수평레벨장치와 이 수평레벨장치의 높낮이 상태 여부에 따라 공기압이 충전되거나 배출되어 제진대 테이블이 최상의 수평상태를 유지시켜주면서 공기압으로 충격을 흡수하도록 설계된 충격흡수 공기압장치(Shock adsorber)를 가지며 이 공기압장치 부근에는 공기압이 빠지는 등 문제가 발생할 때 제진대 테이블이 허용범위 이상 내려안지 못하도록 제진대 테이블을 받쳐주는 받침대가 구비되고, 상기 제진대 밑면에 설치된 받침대는 다양한 사정을 고려해서 받침대의 상단면을 제진대 테이블저면으로부터 20mm 이상 간격이 유지되게 설치된다.On the other hand, in known vibration isolation devices using pneumatics, including the above-mentioned prior registered patents, a horizontal level device that detects the inclination of the vibration isolation table at four places on the bottom of a square anti-vibration table table, and whether the horizontal level device is in a high or low state It has a shock absorber designed to absorb shock with air pressure while maintaining the best horizontal state of the table of the vibration isolation table by charging or discharging air pressure according to the air pressure. A pedestal is provided to support the table of the vibration isolation table so that the table does not fall down beyond the permissible range, and the pedestal installed on the bottom of the vibration isolation table is installed so that the upper surface of the pedestal is maintained at a distance of 20 mm or more from the bottom of the table of the vibration isolation table in consideration of various circumstances. .

그리고 상기의 제진대 테이블은, 작업자의 작업 중 실수이거나 혹은 공기압불균형으로 수평레벨이 재조정 중이거나 특히, 지진 현상으로 건물바닥에 진동이 발생할 때에는 그 진동이 크거나 미세하든지 흔들리거나 진동이 있게 되며, 따라서 흔들리거나 미세한 진동의 영향을 받은 제진대 테이블은 흔들림 진동이 완전한 정지로 안정을 찾기까지 상당한 시간이 요구되므로, 짧은 시간에 많은 정밀측정이 실시되어야 하는 현장에서는 정밀측정 작업이 중단되면서 많은 경제적 손실이 발생하는 문제를 해결하지 못하고 있다.In addition, the above-mentioned vibration isolation table is shaken or vibrates whether it is large or fine when the horizontal level is being readjusted due to a worker's mistake or air pressure imbalance, or when vibration occurs on the floor of the building due to an earthquake phenomenon, Therefore, it takes a considerable amount of time for vibration isolation tables to be shaken or affected by minute vibrations until the shaking and vibrations completely stop and stabilize. Therefore, in the field where a lot of precision measurements must be performed in a short time, precision measurement work is stopped, resulting in a lot of economic loss. It doesn't solve the problem that arises.

그래서 본 발명에서는 위와 같은 종래 문제를 효과적인 방법으로 해결할 수 있도록 안출하게 되었는바, 본 발명 실시 받침대 기능을 가진 고정밀 측정테이블의 진동시간 단축장치에 의하면 높낮이를 미세하게 조절할 수 있도록 하는 마이크로레벨러에 의해 해결할 수 있게 된다.Therefore, in the present invention, the above conventional problems have been devised to be solved in an effective way, according to the vibration time reduction device of the high-precision measuring table having a support function according to the present invention, it can be solved by a micro-leveler that can finely adjust the height. be able to

본 발명 실시의 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치는, 지진 등 여타의 충격으로 흔들림 진동하는 석정반테이블이 진동하는 시간을 단축하는 방법으로, 길이방향 중심에 암나사선구멍이 형성되고 하부에는 단층형 단턱과 숫나사선을 가지는 하우징실린더와 헤드를 회전시켜서 높낮이를 조정할 수 있게 되는 간극조절축을 결합 구성한 진동시간단축장치를 제진대바닥판 네 모퉁이에 세워 설치하여 석정반테이블의 진동 시간을 단축한다.
본 발명 실시 진동시간단축장치의 하우징실린더 및 간극조절축의 암나사선 및 숫나나선은 나사산의 간격이 불과 1mm를 벗어나지 않는 조밀한 간격으로 구성되기 때문에 간극조절축의 헤드 높낮이를 미세하게 조정(마이크로 조정; micro adjustment)할 수 있고 따라서 반도체 부품 정밀측정기가 설치되는 전문 업체의 지역이 어디이건 그 지형의 특성에 따라 그리고 또 계절적인 영향으로 신축작용하는 상태에 따라 석정반테이블 밑면과 헤드 상면과의 간극을 미세하게 조정할 수 있다.The apparatus for reducing the vibration time of the precision measuring table for semiconductor parts according to the present invention is a method for shortening the vibration time of the granite table that is shaken and vibrated by other shocks such as earthquakes. A vibration time reduction device consisting of a combination of a housing cylinder with a single-layered step and a male thread and a gap control shaft that can adjust the height by rotating the head is erected at the four corners of the bottom plate of the vibration isolation table to reduce the vibration time of the granite table. .
Since the female screw line and the male screw line of the housing cylinder and the gap control shaft of the vibration time reduction device of the present invention are composed of dense intervals that do not exceed only 1 mm, the height of the head of the gap control shaft is finely adjusted (micro adjustment; micro adjustment), and therefore, the gap between the bottom of the granite table and the top of the head can be finely adjusted according to the characteristics of the topography and the condition of expansion and contraction due to seasonal influences wherever the semiconductor parts precision measuring device is installed. can be adjusted accordingly.

상기 목적 달성을 위한 본 발명 실시의 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치는, 지진 등의 진동 흔들림 충격을 흡수하는 제진대 반도체 부품 정밀 측정기에 있어서, 저면에 하향테두리가 형성되고 직각부마다 안쪽에 단층형상의 단턱을 가진 관통구멍이 형성된 제진대바닥판에 렌치사용부가 상단부에 형성되고 길이방향 중심부에 암나사선구멍이 형성되며 또 단층형상의 단턱과 숫나사선을 가진 하우징실린더가 고정너트로 고정 결합된다.
그리고 상기 하우징실린더에는 렌치사용부를 가진 헤드가 상단부에 형성되고 또 상기 헤드에서부터 하부 말단부까지 숫나사선을 구비한 간극조절축이 결합되어 진동시간단축장치가 구성된다.
상기 구성된 진동시간단축장치는 헤드 상면과 석정반테이블 밑면 간극이 더 가까이 근접(近接)할 수록 흔들림 진동하는 석정반테이블 밑면이 헤드 상면에 닿는 시간이 빨라지면서 흔들림 진동 범위를 좁혀주는 원리에 의해 석정반테이블의 진동 시간이 단축된다.In order to achieve the above object, an apparatus for reducing the vibration time of a precision measurement table for semiconductor parts according to an embodiment of the present invention is a precision measuring instrument for semiconductor parts on a vibration isolation table that absorbs vibration shaking shock such as an earthquake, and a downward edge is formed on the bottom surface and each right angle part is inside. The wrench use part is formed at the upper end of the vibration isolation table bottom plate with a through hole with a single-layered step, and a female screw hole is formed in the center in the longitudinal direction, and the housing cylinder with a single-layered step and a male screw is fixed with a fixing nut. are combined
In addition, a head having a wrench use portion is formed at an upper end of the housing cylinder, and a gap control shaft having a male thread from the head to the lower end portion is coupled to form a vibration time reduction device.
The vibration time reduction device configured above is based on the principle of narrowing the range of shaking and vibration by shortening the time for the bottom of the granite table, which vibrates, to reach the top of the head as the gap between the top of the head and the bottom of the granite table gets closer. The vibration time of the half table is shortened.

본 발명 실시의 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치는, 하우징실린더와 간극조절축의 나사산 간격이 1mm를 벗어나지 않게 조밀한 간격으로 구성되기 때문에 높낮이가 미세하게 조정 가능하여 반도체 부품 정밀측정 업체의 지역이 어디이거나 또는 그 지형이 어떤 특성이 있건 상관 없이 지역 및 지형 특성에 알맞은 간극을 설정해서 사용할 수 있다.
본 발명 실시의 반도체 부품 정밀측정기의 석정반테이블 진동시간단축장치는, 석정반테이블 네 모퉁이 밑에에 설치되고 개별적으로 높낮이를 조절할 수 있게 되므로 지면 또는 제진대바닥판의 수평이 고르지 않을 지라도 간극조절축의 헤드 높낮이를 달리하여 석정반테이블과의 정밀한 간극으로 맞출 수 있게 된다.
아울러서 본 발명 실시의 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치는, 반도체 부품 정밀측정 업체가 업무의 특성상 반도체 부품 정밀측정장치를 설치하기에 적합한 지역으로서 프레스 가공업체 및 업무상 지면에 진동이 큰 업체가 없는 지역 및 지진 이력이 없고 미진 등이 없는 지형을 찾기 위한 수고와 비용을 절약할 수 있다.
본 발명 실시 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치는, 그 구조가 간단하여 저렴한 공급으로 손쉽게 사용할 수 있고 특히, 업체에서 현재 사용하고 있는 반도체 부품 정밀측정장치에도 설치해서 사용할 수 있게 되는 호환성을 제공한다.
따라서 본 발명 실시의 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치는, 지진 등 여타의 충격 진동으로 멈춰선 반도체 부품 정밀측정기의 재 가동(再 可動) 시간을 앞당겨서 반도체 부품을 전문으로 정밀 측정하는 업체의 수익을 창출하는 효과를 제공할 수 있게 되는 것이다.The device for reducing the vibration time of the precision measurement table for semiconductor parts according to the present invention is composed of a tight interval between the housing cylinder and the gap adjusting shaft so that the thread spacing does not exceed 1 mm, so that the height can be finely adjusted. Regardless of where the terrain is or what characteristics the terrain has, it can be used by setting a gap suitable for the region and terrain characteristics.
The granite table vibration time reduction device of the semiconductor component precision measuring device according to the present invention is installed under the four corners of the granite table and can individually adjust the height, so that even if the ground or the bottom plate of the vibration isolation table is uneven, the clearance adjustment shaft By changing the height of the head, it is possible to fit it into a precise gap with the granite table.
In addition, the device for reducing the vibration time of the precision measuring table for semiconductor parts according to the embodiment of the present invention is a suitable area for semiconductor parts precision measuring companies to install semiconductor parts precision measuring devices due to the nature of their work. It is possible to save the effort and expense of finding an area without earthquake history and topography without tremors.
The device for reducing the vibration time of the precision measurement table for semiconductor parts in accordance with the present invention has a simple structure and can be easily used with low-cost supply, and in particular, it provides compatibility that can be installed and used in the precision measuring device for semiconductor parts currently used by the company. do.
Therefore, the device for reducing the vibration time of the precision measuring table for semiconductor parts according to the embodiment of the present invention advances the restart time of the precision measuring machine for semiconductor parts that has been stopped due to earthquakes and other shock vibrations, thereby accelerating the profits of companies specializing in precision measurement of semiconductor parts. will be able to provide the effect of creating

도 1 은 본 발명 실시 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치가 설치 사용되는 상태를 설명하는 제진대 정밀측정기의 사시도
도 2 는 본 발명 실시 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치의 설치상태를 일부확대 정면예시도
도 3 은 본 발명 실시 진동시간 단축장치의 구조를 설명하는 확대 단면예시도
도 4 는 본 발명 실시 진동시간 단축장치의 다른 실시예를 설명하는 확대 단면예시도
도 5 는 본 발명 실시 진동시간 단축장치의 또 다른 실시예를 나타낸 확대 단면예시도1 is a perspective view of a vibration isolation table precision measuring device explaining a state in which a vibration time reduction device of a precision measuring table for semiconductor parts in accordance with the present invention is installed and used
Figure 2 is a partially enlarged front view of the installed state of the vibration time reduction device of the precision measurement table for semiconductor parts in accordance with the present invention.
Figure 3 is an enlarged cross-sectional view illustrating the structure of the vibration time reduction device according to the present invention
4 is an enlarged cross-sectional view illustrating another embodiment of the device for reducing vibration time according to the present invention;
5 is an enlarged cross-sectional view showing another embodiment of the device for reducing vibration time according to the present invention;

본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단될 경우에는 그 상세한 설명을 생략하였다.In the description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description is omitted.

또한, 후술 되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다.In addition, terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to user's intention or custom.

그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것임은 물론이다. Therefore, it goes without saying that the definition should be made based on the contents throughout this specification.

이어서, 본 발명 실시 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치의 세부적인 구성과 바람직한 실시예 및 작동상태 등을 이하 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Next, the detailed configuration, preferred embodiment, and operating state of the device for reducing the vibration time of the precise measurement table for semiconductor parts according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 은 본 발명 실시 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치가 설치 사용되는 상태를 설명하는 제진대 정밀측정기의 사시도이고, 도 2 는 본 발명 실시 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치의 설치상태를 일부확대 정면예시도이며, 도 3 은 본 발명 실시 진동시간 단축장치의 구조를 설명하는 확대 단면예시도이고, 도 4 는 본 발명 실시 진동시간 단축장치의 다른 실시예를 설명하는 확대 단면예시도이며, 도 5 는 본 발명 실시 진동시간 단축장치의 또 다른 실시예를 나타낸 확대 단면예시도로서, 상기 도면에 따라 상세히 설명한다.1 is a perspective view of a vibration isolation table precision measuring device explaining a state in which a device for reducing vibration time of a precision measurement table for semiconductor parts according to the present invention is installed and used, and FIG. 2 is a perspective view of a device for reducing vibration time for a precise measurement table for semiconductor parts according to the present invention Figure 3 is an enlarged cross-sectional example illustrating the structure of the vibration time reduction apparatus according to the present invention, and Figure 4 is an enlarged cross-sectional example illustrating another embodiment of the vibration time reduction apparatus according to the present invention. Figure 5 is an enlarged cross-sectional illustrative view showing another embodiment of the vibration time reduction device of the present invention, which will be described in detail according to the above drawing.

본 발명 실시의 진동시간단축장치(10)는, 하우징실린더(30)와 이 하우징실린더(30)에 암수나사로 결합되는 간극조절축(20)의 결합 구성되어 도 1 예시와 같이 제진대바닥판(101) 의 네 모퉁이 안쪽에 수직형태로 설치 고정된다.
진동시간단축장치(10) 근접부에는 수평레벨감지봉(112a)와 레벨링크조정노-브(112b) 및 레벨링크(112c)의 결합으로 구성된 수평유지장치(112)가 도 2 예시와 같이 장치된다.
상기의 진동시간단축장치(10)는 헤드(22)의 상단면과 석정반테이블(113)의 밑면 간극을 근접상태로 조정한다. 상기와 같이 진동시간단축장치(10)는 헤드(22)의 상단면과 석정반테이블(113)의 밑면 간극을 근접상태로 조정해 놓게 되면 지진 등 여타의 충격으로 뒤뚱뒤뚱 흔들림 진동하는 석정반테이블(113)이 네 모퉁이에 기둥처럼 세워져 있는 진동시간단축장치(10)의 헤드(22) 상단면을 충격하여 뒤뚱뒤뚱 흔들리는 범위(範圍)가 좁혀져서 흔들림 진동 시간이 단축된다.
진동시간단축장치(10) 근접부에 장치된 수평유지장치(112)는 흔들림 진동하는 석정반테이블(113)의 흔들림 진동이 멈춰지고 안정이 되었을 때 석정반테이블(113)의 수평레벨(기울기)을 계측하고 전자적으로 연결된 에어컴프레셔(도시 없음)를 작동시켜서 기울어진 방향의 쇽업쇼버(111)에 공기압을 보충하는 방법으로 석정반테이블(113)을 수평상태로 복원시켜준다.
상기 작동하는 수평유지장치(112)는 수평레벨감지봉(112a)이 석정반테이블(113) 저면에 접촉한 상태에서 수평상태를 감시하고 레벨링크조정노-브(112b)는 상기 수평레벨감지봉(112a)이 석정반테이블(113)에 접촉되는 압력을 조정한다.
더 구체적으로 상기 제진대바닥판(101)은 정사각형으로 형성된다. 그리고 정사각형 네 모퉁이 안쪽에 삽입구멍(102)을 관통 형성하는데 이때의 삽입구멍(102)상부 내주연에는 도 3 예시와 같이 계단형 단턱홈(102a)을 형성한다.
상기의 삽입구멍(102)에는 하우징실린더(30)가 고정너트(40)로 제진대바닥판(101)에서 견고하게 결합된다. 이때의 하우징실린더(30)는 도 3 예시와 같이 상단부에 렌치사용부(33)를 형성하고 길이방향 중심부에는 암나사선구멍(31)을 형성하며 또 하부에는 계단형 단턱(32a) 및 고정볼트축(32)이 형성된다.
상기 형성된 하우징실린더(30)는 그 하부 고정볼트축(32)이 상기 제진대바닥판(101)의 네 모퉁이 안쪽에 형성된 계단형 단턱홈(102a)에 수직으로 삽인되어 제진대바닥판(101) 밑면에서 고정너트(40)를 고정볼트축(32)에 체결해서 견고하게 결합한다. 그리고 상기 결합한 하우징실린더(30)에는 간극조절축(20)이 결합된다.
상기의 간극조절축(20)은 도 3 예시와 같이 렌치사용면(21)을 가진 헤드(22)를 상단부에 일체로 형성하고 또 외주면(外周面) 전체에는 숫나사선(23)을 형성한다. 상기 형성한 숫나사선(23)에는 단속너트(50)를 결합한다. 이어서 상기 단속너트(50)가 결합된 간극조절축(20)을 하우징실린더(30)의 암나사선구멍(31)에 일치시킨 상태에서 헤드(22)를 회전시켜서 간극조절축(20)과 하우징실린더(20)가 결합구성된 진동시간단축장치(10)를 구성한다.
한편, 상기의 하우징실린더(30)를 제진대바닥판(101)에 결합하는 방법은 고정볼트축(32)을 관통구멍(102)에 삽입한 상태에서 별도의 렌치(공구)를 렌치사용부(33)와 고정볼트축(32)에 끼워서 조이는 방법으로 견고하게 결합한다.
그리고 상기의 간극조절축(20)은 하우징실린더(30)의 암나사선구멍(31)에 결합된 상태에서 단속너트(50)를 느슨하게 풀어놓고 헤드(22)를 회전시켜서 헤드(22)의 상면이 석정반테이블(113)과 설정한 간극이 되기까지 높인 다음 상기 풀어놓은 단속너트(50)를 조여서 하우징실린더(30)에 간극조절축(20)을 견고하게 고정한다.
상기와 같이 조여진 단속너트(50)는 간극조절축(20)을 상부로 끌어당기는 힘이 작용하여 간극조절축(20)이 암나사선구멍(31)으로부터 자연적으로 풀리지 않는 견고한 결합상태로 유지하게 되므로, 반도체 부품 정밀측정장치에 흔들림 진동이 발생하더라도 설정된 간극은 변함 없이 유지된다.
한편, 렌치를 렌치사용부(21)에 끼운 상태에서 시계방향으로 회전시키면 헤드(22)가 낮아지면서 석정반테이블(113) 저면과의 간극이 벌어지게 되고 반대 방향으로 회전시키게 되면 헤드(22)가 상승하여 석정반테이블(113) 저면과의 간극이 좁혀진다.
아울러서 간극이 벌어지면 지진 등 여타의 충격이 발생했을 때 석정반테이블(113)이 흔들리는 진동시간은 길어지고 간극이 좁혀지면 진동 시간은 단축된다.
본 발명의 다른 실시예는 도 4 및 도 5 예시와 같이 제진대바닥판(101)에 형성하는 관통구멍(102)에 암나사선을 형성해서 하우징실린더(30)를 직접 볼트너트 방식으로 결합하는 수단이 선택될 수도 있으며 또 어떤 경우에는 하우징실린더(30)의 중심부에 관통암나사선구멍(31a)을 형성함으로써, 하우징실린더(30)를 제진대바닥판(101)에 직접 고정할 수 있도록 한다.The vibration time reduction device 10 according to the embodiment of the present invention is composed of a combination of a housing cylinder 30 and a gap adjusting shaft 20 coupled to the housing cylinder 30 with male and female screws, and as shown in FIG. 1, the bottom plate of the vibration isolation table ( 101) is installed and fixed in a vertical form inside the four corners.
In the vicinity of the vibration time reduction device 10, a leveling device 112 composed of a combination of a horizontal level detection rod 112a, a level link adjustment knob 112b, and a level link 112c is installed as shown in FIG. do.
The vibration time reduction device 10 adjusts the gap between the top surface of the head 22 and the bottom surface of the stone table 113 to a close state. As described above, when the vibration time reduction device 10 adjusts the gap between the top surface of the head 22 and the bottom surface of the granite table 113 to a close state, the granite table wobbles and vibrates due to other shocks such as earthquakes. (113) impacts the top surface of the head 22 of the vibration time reduction device 10 erected like a pillar at the four corners, and the shaking range is narrowed, so that the shaking vibration time is shortened.
The horizontal level (slope) of the granite table 113 when the shaking vibration of the granite table 113 that shakes and vibrates is stopped and stabilized by the leveling device 112 installed in the vicinity of the vibration time reduction device 10 is measured and an air compressor (not shown) connected electronically is operated to restore the granite table 113 to a horizontal state by supplementing air pressure to the inclined shock absorber 111.
The operating leveling device 112 monitors the horizontal state while the horizontal level detecting rod 112a is in contact with the bottom surface of the granite table 113, and the level link adjustment knob 112b is the horizontal level detecting rod. (112a) adjusts the pressure applied to the granite table 113.
More specifically, the vibration isolation table bottom plate 101 is formed in a square shape. In addition, the insertion hole 102 is formed through the inside of the four corners of the square, and at this time, a step-shaped stepped groove 102a is formed on the upper inner periphery of the insertion hole 102 as shown in the example of FIG.
The housing cylinder 30 is firmly coupled to the vibration isolation table bottom plate 101 with a fixing nut 40 to the insertion hole 102 . At this time, the housing cylinder 30 forms a wrench use portion 33 at the upper end and a female screw hole 31 at the center in the longitudinal direction, as shown in the example of FIG. (32) is formed.
The formed housing cylinder 30 has its lower fixing bolt shaft 32 vertically inserted into the step-shaped stepped grooves 102a formed inside the four corners of the vibration isolation table bottom plate 101. Fasten the fixing nut 40 to the fixing bolt shaft 32 at the bottom to firmly couple. Further, a clearance adjusting shaft 20 is coupled to the coupled housing cylinder 30 .
As shown in the example of FIG. 3, the clearance adjusting shaft 20 integrally forms the head 22 having the wrench use surface 21 at the upper end, and forms a male thread 23 on the entire outer circumferential surface. An intermittent nut 50 is coupled to the male thread 23 formed above. Then, in a state in which the gap adjusting shaft 20 to which the intermittent nut 50 is coupled coincides with the female threaded hole 31 of the housing cylinder 30, the head 22 is rotated so that the gap adjusting shaft 20 and the housing cylinder (20) constitutes the combined vibration time reduction device (10).
On the other hand, in the above method of coupling the housing cylinder 30 to the vibration isolation table bottom plate 101, a separate wrench (tool) is inserted into the through hole 102 while the fixing bolt shaft 32 is inserted into the wrench use portion ( 33) and the fixing bolt shaft 32 are tightly coupled by tightening.
In addition, the clearance adjusting shaft 20 is coupled to the female threaded hole 31 of the housing cylinder 30 by loosening the intermittent nut 50 and rotating the head 22 so that the upper surface of the head 22 is After raising it until it reaches the set gap with the stone table 113, the loosened intermittent nut 50 is tightened to firmly fix the gap adjusting shaft 20 to the housing cylinder 30.
The intermittent nut 50 tightened as described above exerts a force that pulls the clearance adjusting shaft 20 upward so that the clearance adjusting shaft 20 is maintained in a solid coupled state in which it is not naturally released from the female threaded hole 31. , Even if shake vibration occurs in the semiconductor component precision measuring device, the set gap is maintained without change.
On the other hand, if the wrench is rotated clockwise while inserted into the wrench use part 21, the head 22 is lowered and the gap with the bottom surface of the granite table 113 widens, and if rotated in the opposite direction, the head 22 rises and the gap with the bottom surface of the granite table 113 is narrowed.
In addition, when the gap is widened, the vibration time during which the granite table 113 is shaken when an earthquake or other shock occurs is increased, and when the gap is narrowed, the vibration time is shortened.
In another embodiment of the present invention, as illustrated in FIGS. 4 and 5 , a means for directly coupling the housing cylinder 30 with a bolt-nut method by forming a female thread in the through hole 102 formed in the vibration isolation table bottom plate 101. In some cases, the through-female screw hole 31a is formed in the center of the housing cylinder 30 so that the housing cylinder 30 can be directly fixed to the bottom plate 101 of the vibration isolation table.

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한편, 제진대정밀측정기(100)는, 공기압 조절이 가능하게 된 네 개의 쇽 업쇼버(Shock absorber)(111)가 제진대바닥판(101)에 장치되어 특정된 높이까지 공기압력을 팽창하는 방법으로 제진대테이블(113)을 들어 올려서 받쳐준다.On the other hand, in the vibration isolation table precision measuring device 100, four shock absorbers 111 capable of adjusting the air pressure are installed on the vibration isolation table bottom plate 101 to expand the air pressure to a specific height The anti-vibration table 113 is lifted and supported.

아울러서 상기의 쇽 업쇼버(111)는 제진대정밀측정기(100)에 전달되는 흔들림 진동 충격을 흡수해서 석정반테이블(113)에 전달되는 진동 충격을 흡수하는 동시에 석정반테이블(113)이 어느 한 방향으로 기울어지면 수평레벨장치(112)가 감지하여 공기압을 보충하는 방식으로 수평레벨을 유지시켜주게 된다.In addition, the shock absorber 111 absorbs the shaking vibration shock transmitted to the anti-vibration table precision measuring device 100 and absorbs the vibration shock transmitted to the granite table 113, and at the same time, the granite table 113 When it is tilted in the direction, the horizontal level device 112 detects and maintains the horizontal level by supplementing the air pressure.

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종래에는 정해진 길이의 받침대(도시없음)를 사용하였고 이 받침대의 상단부는 석정반테이블(113) 밑면으로부터 20mm의 간격을 유지하고 있게 되므로 지진 등 여타의 충격으로 흔들림 진동이 발생하게 되면 석정반대테이블(113)이 20mm 범위에서 바운스(bounce) 작용하게 된다.Conventionally, a pedestal (not shown) of a predetermined length was used, and since the upper end of this pedestal maintains a distance of 20 mm from the bottom of the granite table 113, if shaking vibration occurs due to other shocks such as earthquakes, the granite counter table ( 113) will bounce in the 20mm range.

아울러서 1,000kg(1톤) 이상되는 석정반테이블(113)이 바운스 작용에 의한 웨이빙(Waving) 현상이 멈춰서 안정이 되기까지는 석정반테이블(113)을 떠받치고 있는 수단이 공기압으로 팽창한 튜브형 쇽업쇼버(111)라는 점에서 출렁임 현상이 장시간 진행되고 따라서 제진대정밀측정기(100)가 멈춰서 반도체 부품 정밀 측정업무가 중단되는 시간이 길어지게 되므로 이에 따른 많은 경제적 손실이 따르게 된다.In addition, until the waving phenomenon caused by the bounce action of the granite table 113 of 1,000 kg (1 ton) or more stops and stabilizes, the means supporting the granite table 113 is a tube-type shock absorber that expands with air pressure At the point (111), the sloshing phenomenon proceeds for a long time, and therefore, the anti-vibration counter precision measuring device 100 stops and the time during which the precision measurement of semiconductor parts is stopped is prolonged, resulting in a lot of economic loss.

그러나 본 발명 실시의 진동시간단축장치(10)는 간극조절축(20)의 높낮이를 조절할 수 있게 제공되는 것으로서, 간극조절축(20)의 헤드(22) 상단면과 석정반테이블(113) 밑면 간극을 5mm 이내의 범위까지 간극조정해서 고정할 수 있게 되므로 지진 등 여타의 충격으로 흔들림 진동이 발생했을 때 석정반테이블(113)의 흔들림 진동을 즉시 안정시킬 수 있게 된다.
따라서 종래 수단에서는 흔들림 진동 충격이 발생한 후 그 흔들림 진동이 멈춘 상태에서 석정반테이블(113)의 흔들림 진동이 멈추기까지 5분 이상 지속되고 특히 업무를 재기하기 위한 수평레벨 재조정까지는 적어도 30~40분 이상 소요되는 점을 감안해볼 때, 본 발명 실시의 진동시간단축장치(10) 적용의 석정반테이블(113)은 흔들림 진동이 멈추어 수평레벨이 재조정 되기까지 불과 30초 안에 해결할 수 있게 되므로 제진대정밀측정기(100) 이용에 혁신적인 효과를 제공한다.However, the vibration time reduction device 10 according to the present invention is provided so that the height of the gap adjustment shaft 20 can be adjusted, and the upper surface of the head 22 and the lower surface of the stone table 113 of the gap adjustment shaft 20 Since the gap can be adjusted and fixed within a range of 5 mm or less, the shaking vibration of the granite table 113 can be immediately stabilized when shaking vibration occurs due to other shocks such as an earthquake.
Therefore, in the conventional means, after the shaking vibration shock has occurred, it lasts for 5 minutes or more from the shaking vibration stop state to the shaking vibration of the granite table 113 stopping, and in particular, at least 30 to 40 minutes or more until the horizontal level readjustment to resume work Considering the time required, the granite table 113 applied with the vibration time reduction device 10 of the present invention can be solved within only 30 seconds until the shaking vibration stops and the horizontal level is readjusted, (100) It provides an innovative effect on use.

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이상에서 설명한 본 발명의 실시예에서 설명한 구조에 의해서만 구현되는 것이 아니며, 본 발명의 실시예의 구성에 대응하는 기능을 실현하는 다른 구조를 통해 구현될 수 있으며, 이러한 구성은 앞서 설명한 실시예의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야의 전문가라면 용이하게 구현할 수 있는 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것임은 자명한 것이다.It is not implemented only by the structure described in the above-described embodiments of the present invention, and may be implemented through other structures that realize functions corresponding to the configurations of the embodiments of the present invention. It is obvious that an expert in the technical field to which the invention belongs can easily implement it, and this also falls within the scope of the present invention.

10: 진동시간단축장치 20: 간극조절축
21,33: 렌치사용부 22: 헤드
23, 32a: 숫나사선 30: 하우징실린더
31: 암나사선구멍 31a: 암나사선관통구멍
32: 고정볼트축 32b,: 단턱
40: 고정너트 50: 단속너트
100: 제진대정밀측정기 101: 제진대바닥판
102: 관통구멍 102a: 단턱홈
111: 쇽업쇼버 112: 수평레벨장치
112a: 수평레벨감지봉 112b: 레벨링크조정노-브
112c: 레벨링크 113: 석정반테이블10: Vibration time reduction device 20: Gap control shaft
21,33: wrench use part 22: head
23, 32a: Male thread 30: Housing cylinder
31: female thread hole 31a: female thread through hole
32: fixing bolt shaft 32b,: stepped
40: fixing nut 50: intermittent nut
100: vibration isolation table precision measuring instrument 101: vibration isolation table bottom plate
102: through hole 102a: stepped groove
111: shock absorber 112: horizontal level device
112a: horizontal level detection bar 112b: level link adjustment knob
112c: level link 113: granite table

Claims (3)

지진 등 여타의 흔들림 진동 충격을 흡수할 수 있도록 공기압으로 충전되는 튜브형 쇽업쇼버(111)가 정사각형 제진대바닥판(101)에 설치되고 1,000kg(1톤) 이상의 석정반테이블(113)이 상기한 쇽업쇼버(111) 윗면에 수평으로 설치되는 제진대 반도체 부품 정밀 측정기에 있어서,
네 변의 길이가 동일한 정사각형의 제진대바닥판(101) 네 모서리 안쪽 바닥면에 환상(環狀)의 단턱홈(102a)을 구비한 관통구멍(102)을 수직 형성하고 상기 관통구멍(102)에는 간극조절축(20)과 하우징실린더(30)의 결합으로 이루어지는 진동시간단축장치(10)를 수직 설치하되,
상기의 하우징실린더(30)는 렌치사용부(33)를 상단부에 형성하고 길이방향 중심에 암나사선구멍(31)을 형성하며 또 하부에는 계단형 단턱(32b)과 숫나사선(32a)을 가진 고정볼트축(32)을 일체로 형성하여 제진대바닥판(101)의 환상의 단턱홈(102a)을 구비한 관통구멍(102)에 끼워서 고정너트(40)로 고정하고, 간극조절축(20)은 그 상단부에 렌치사용부(21)를 가진 헤드(22)를 형성하고 축 외주면(外周面) 전체에는 숫나사선(23)을 형성하며 상기 숫나사선(23)에는 단속너트(50)를 체결해서 상기 하우징실린더(30)의 암나사선구멍(31)에 결합해서 석정반테이블(113) 밑면과 헤드(22) 사이의 간극을 조절할 수 있게 구성함을 특징으로 반도체 부품 정밀측정 테이블의 진동시간 단축장치.A tubular shock absorber 111 charged with air pressure to absorb other shaking vibration shocks such as earthquakes is installed on the square anti-vibration base plate 101, and a stone table 113 of 1,000 kg (1 ton) or more is installed as described above. In the vibration isolation table semiconductor component precision measuring device installed horizontally on the upper surface of the shock absorber 111,
A through hole 102 having an annular stepped groove 102a is vertically formed on the inner bottom surface of the four corners of a square vibration isolation table bottom plate 101 having four sides of the same length, and the through hole 102 has the same length. Vertically install the vibration time reduction device 10 made of the combination of the clearance adjustment shaft 20 and the housing cylinder 30,
The housing cylinder 30 has a wrench use portion 33 formed at the upper end, a female thread hole 31 formed at the center in the longitudinal direction, and a stepped step 32b and a male thread 32a at the bottom. The bolt shaft 32 is integrally formed and inserted into the through hole 102 having the annular stepped groove 102a of the vibration isolation table bottom plate 101 and fixed with the fixing nut 40, and the clearance adjustment shaft 20 forms a head 22 having a wrench use portion 21 at its upper end, forms a male thread 23 on the entire outer circumferential surface of the shaft, and fastens an interrupted nut 50 to the male thread 23 It is coupled to the female threaded hole 31 of the housing cylinder 30 to adjust the gap between the bottom of the granite table 113 and the head 22, characterized in that the vibration time reduction device of the precision measurement table for semiconductor parts . 삭제delete 삭제delete
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