KR102528195B1 - Air Curtain Device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 로드포트모듈에 의해 풉(FOUP)의 도어가 개방되었을 때, 공기 막을 형성하여 풉 이송 모듈(EFEM)의 내부에 있는 공기, 수분, 흄 등의 파티클(Particle)이 풉의 내부로 유입되지 않도록 하는 에어커튼 장치에 관한 것이다. 이러한 에어커튼 장치는 로드포트모듈에서 풉의 도어가 개방될 때, 작동하며 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 배출하는 공기공급기계와 연결되는 공기유입분사부; 상단면이 공기유입분사부와 연통되고, 양측면에 로드포트모듈과 연결되는 연결모듈이 형성된 상부케이스와, 상부케이스의 수용 공간에 수용되는 제1필터와, 상부케이스의 수용 공간에 수용되며 제1필터의 하면에 위치하는 제2필터, 그리고 공기유입분사부에서 유입된 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 하방으로 분사되도록 복수 개의 홀이 형성된 하부케이스를 포함하는 하우징부를 포함한다.In the present invention, when the door of the FOUP is opened by the load port module, an air film is formed so that particles such as air, moisture, and fumes inside the EFEM flow into the FOUP It relates to an air curtain device that prevents This air curtain device operates when the door of the foop is opened in the load port module and includes an air inlet injection unit connected to an air supply machine that discharges CDA (Clean Dry Air) or nitrogen; An upper case having an upper surface in communication with the air intake/jet unit and having connection modules connected to the load port module on both sides thereof, a first filter accommodated in the accommodation space of the upper case, and a first filter accommodated in the accommodation space of the upper case. It includes a housing including a second filter located on a lower surface of the filter and a lower case having a plurality of holes formed therein so that CDA (Clean Dry Air) or nitrogen introduced from the air inlet/jet unit is sprayed downward.

Description

에어커튼 장치{Air Curtain Device}Air Curtain Device {Air Curtain Device}

본 발명은 반도체 제조용 장비의 기술분야에 속한다.The present invention belongs to the technical field of equipment for manufacturing semiconductors.

반도체 웨이퍼(Wafer)는 IC(Integrated Circuit)를 제조하는 반도체의 얇은 판을 일컫는다. 이와 같은 반도체 웨이퍼는 각종 박막을 증착하고, 패턴을 노광 한 후, 이를 에칭하고 세정하는 공정을 거치게 된다. 이러한 공정 과정은 공정 챔버(PM: Process Module)에서 진행된다.Semiconductor wafer (Wafer) refers to a thin plate of semiconductor for manufacturing IC (Integrated Circuit). Such a semiconductor wafer goes through a process of depositing various thin films, exposing patterns, and then etching and cleaning them. This process process is performed in a process chamber (PM: Process Module).

웨이퍼는 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod)에 인입된 후, 로드포트모듈(LPM: Load Port Module)에 안착되고, 풉 이송 모듈(EFEM: Equipment Front End Module) 및 로드 락(Load lock)을 통해 공정 챔버(PM: Process Module)로 이송된다.After the wafer is introduced into the FOUP (Front Opening Unified Pod), it is seated on the Load Port Module (LPM), and is transferred through the EFEM (Equipment Front End Module) and the load lock. It is transferred to the process chamber (PM: Process Module).

가공된 이후, 웨이퍼는 다시 역순으로 이동하며 풉(FOUP)으로 반송된다. 그리고 풉은 다른 장비로 이송된다.After being processed, the wafers are transported back to the FOUP in reverse order. And the foop is transferred to another machine.

웨이퍼는 전술 한 이송 및 반송되는 과정 그리고 풉의 내부에서 저장되는 시간 동안 불순물에 의해 오염되기 쉽다.Wafers are likely to be contaminated by impurities during the transfer and conveyance described above and during the storage time inside the foop.

이에, 현재에는 웨이퍼의 이송 시, 웨이퍼의 부식을 촉진시키는 불순물의 입자를 차단하는 장치 개발이 활발하게 진행되고 있다. 일례로, 웨이퍼의 가공을 위한 이동의 시작점인 웨이퍼가 안착된 풉(FOUP)의 도어가 개방되었을 때, 풉(FOUP)의 내부로 불순물이 유입되지 않도록 하는 장치 그리고 풉(FOUP)의 내부로 질소를 공급하는 장치 LPM등이 개발되고 있다.Accordingly, during wafer transfer, development of a device for blocking impurity particles that promote wafer corrosion is currently being actively pursued. For example, when the door of the FOUP where the wafer is seated, which is the starting point of the movement for wafer processing, is opened, a device that prevents impurities from entering the FOUP and nitrogen into the FOUP A device such as LPM that supplies is being developed.

대한민국 등록특허 제10-0941842호 (공고일: 2010년 02월 11일)Republic of Korea Patent No. 10-0941842 (Announcement date: February 11, 2010)

본 발명은 로드포트모듈(LPM)에 의해 풉(FOUP)의 도어가 개방되었을 때, 개구부에 에어커튼을 형성하여 풉 이송 모듈(EFEM)의 내부에 있는 공기, 수분, 흄, 및 파티클(Particle)이 풉의 내부로 유입되지 않도록 한다. 그리고 에어커튼 장치에서 풉의 중앙부의 내부로 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 주입시켜 풉의 내부로 공급되는 질소의 순환도를 높여 풉의 내부 습도가 균형적으로 맞춰질 수 있도록 한다.In the present invention, when the door of the FOUP is opened by the load port module (LPM), an air curtain is formed at the opening to remove air, moisture, fumes, and particles inside the EFEM. Make sure that it does not flow into the inside of this foo. In addition, CDA (Clean Dry Air) or nitrogen is injected from the air curtain device into the center of the foop to increase the circulation of nitrogen supplied to the inside of the foop so that the internal humidity of the foop is balanced.

본 발명은 풉의 내부로 불순물의 인입을 차단하고, 풉의 내부로 유입되는 질소의 순환도를 높여 전술되어 있는 문제를 해결하고자 한다.The present invention is intended to solve the above-mentioned problems by blocking the introduction of impurities into the foop and increasing the circulation of nitrogen flowing into the foop.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problem to be solved by the present invention is not limited to the problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위한 본 발명의 풉이 안착되는 로드포트모듈의 후면의 상단에 설치되는 에어커튼 장치에 있어서, 로드포트모듈에서 풉의 도어가 개방될 때 작동하며 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 배출하는 공기공급기계와 연결되는 공기유입분사부, 상단면이 공기유입분사부와 연통되고, 양측면에 로드포트모듈과 연결되는 연결모듈이 형성된 상부케이스와 상부케이스의 수용 공간에 수용되는 제1필터와 상부케이스의 수용 공간에 수용되며 제1필터의 하면에 위치하는 제2필터 그리고 공기유입분사부에서 유입된 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 하방으로 분사되도록 복수 개의 홀이 형성된 하부케이스가 구비된 하우징부를 포함하고, 하부케이스는 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 풉의 내부 중앙부로 배출하도록 경사진 제1홀과 풉의 도어가 슬라이딩 이동하는 방향과 수평 방향으로 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 배출시키는 제2홀을 포함할 수 있다. 그리고 제1홀의 하부에 길이 방향을 따라 설치되며 제1홀에서 분사되는 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소가 풉의 내부 중앙부로 배출되도록 가이드하는 가이드날개판과 가이드날개판의 일단에 연결된 측면판을 포함한다.In the air curtain device installed at the top of the rear surface of the load port module in which the FOUP of the present invention is seated to achieve the above object, it operates when the door of the FOUP is opened in the load port module and CDA (Clean Dry Air ) or an air inlet injection unit connected to an air supply machine that discharges nitrogen, an upper case in which a top surface is in communication with the air inlet injection unit, and a connection module connected to the load port module is formed on both sides and accommodated in the accommodation space of the upper case A first filter and a second filter located in the receiving space of the upper case and located on the lower surface of the first filter, and a plurality of holes are formed to spray CDA (Clean Dry Air) or nitrogen introduced from the air inlet and injection unit downward. It includes a housing with a lower case, and the lower case has a first hole inclined to discharge CDA (Clean Dry Air) or nitrogen to the inner center of the foop and the door of the foop slides and moves in the horizontal direction and CDA (Clean Dry Air) or a second hole for discharging nitrogen. In addition, it is installed along the longitudinal direction at the bottom of the first hole and guides the CDA (Clean Dry Air) or nitrogen injected from the first hole to be discharged to the inner center of the FOUP and the side plate connected to one end of the guide blade plate. include

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공기유입분사부는, 공기공급기계와 연결되는 밸브모듈과, 밸브모듈에 설치되어 제1방향으로 연장 설치되어 상부케이스와 연결되는 제1분기관과, 밸브모듈에 설치되어 제1방향과 대향되는 방향인 제2방향으로 연장 설치되어 상부케이스인 제2분기관을 포함할 수 있다.The air inlet injection unit includes a valve module connected to the air supply machine, a first branch pipe installed on the valve module extending in a first direction and connected to the upper case, and a direction opposite to the first direction installed on the valve module. It extends in the second direction and may include a second branch pipe that is an upper case.

본 발명에 따른 에어커튼 장치는, 풉 이송 모듈의 내부에 존재하는 공기, 수분 및 파티클(Particle)이 풉(FOUP)의 내부로 유입을 차단할 수 있음을 물론, 풉의 내부에서 순환하는 질소의 순환도를 높여 풉의 내부 상태의 청정도를 높일 수 있는 효과가 있다.The air curtain device according to the present invention can block the inflow of air, moisture, and particles present inside the FOUP into the FOUP, as well as the circulation of nitrogen circulating inside the FOUP There is an effect of increasing the cleanliness of the internal state of the fooup by increasing the degree.

도 1은 본 발명의 제1실시예의 따른 에어커튼 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 에어커튼 장치가 설치되는 로드포트모듈의 사시도이다.
도 3은 도 1의 에어커튼 장치의 작동 관계도를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 1의 에어커튼 장치의 분해사시도를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 1의 에어커튼 장치를 I-I' 선으로 절단한 단면도이다.
도 6은 도 1의 에어커튼 장치를 Ⅱ-Ⅱ' 선으로 절단한 단면도이다.
도 7은 도 1의 에어커튼 장치의 제1홀 및 제2홀에서 분사되는 CDA를 나타낸 도면이다.
도 8은 가이드날개판이 설치된 에어커튼 장치의 사시도이다.
도 9는 도 8의 에어커튼 장치의 작동도이다.
도 10은 에어커튼 장치의 작동도를 나타낸 도면이다.1 is a perspective view of an air curtain device according to a first embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a load port module in which an air curtain device of the present invention is installed.
FIG. 3 is a diagram showing an operational relationship of the air curtain device of FIG. 1 .
4 is an exploded perspective view of the air curtain device of FIG. 1;
5 is a cross-sectional view of the air curtain device of FIG. 1 taken along line II'.
6 is a cross-sectional view of the air curtain device of FIG. 1 taken along line II-II'.
FIG. 7 is a view showing CDA injected from the first hole and the second hole of the air curtain device of FIG. 1 .
8 is a perspective view of an air curtain device in which a guide wing plate is installed.
9 is an operation diagram of the air curtain device of FIG. 8 .
10 is a diagram showing an operation diagram of an air curtain device.

본 발명의 이점 및 특징 그리고 그것들을 달성하기 위한 장치는 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되지는 않는다. 본 발명은 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Advantages and features of the present invention and apparatuses for achieving them will become clear with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below. The present invention can be implemented in a variety of different forms, and only this embodiment is provided to complete the disclosure of the present invention and to fully inform those skilled in the art of the scope of the invention to which the present invention belongs will be.

본 발명의 청구범위는 청구항에 의해 정의될 수 있다. 아울러, 본 명세서 전체에 걸쳐 기재된 동일 참조부호는 동일 구성요소를 지칭한다.The claims of the present invention can be defined by the claims. In addition, the same reference numerals described throughout this specification refer to the same components.

이하, 본 발명에 대한 설명이 간결하고 명확해질 수 있도록 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 에어커튼 장치에 대해 개괄적으로 설명한다.Hereinafter, the air curtain device of the present invention will be generally described with reference to FIGS. 1 to 3 so that the description of the present invention can be concise and clear.

도 1은 본 발명의 일 실시예의 따른 에어커튼 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 에어커튼 장치가 설치되는 로드포트모듈의 사시도이다. 그리고 도 3은 도 1의 에어커튼 장치의 작동 관계도를 나타낸 도면이다.1 is a perspective view of an air curtain device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view of a load port module in which the air curtain device of the present invention is installed. And Figure 3 is a diagram showing the operation relationship of the air curtain device of Figure 1.

에어커튼 장치(1)는 로드포트모듈(B)에 의해 풉(A)의 도어가 개방되었을 때, 에어커튼을 형성하여 풉 이송 모듈(EFEM)의 내부에 있는 공기, 수분, 흄 등의 파티클(Particle)이 풉의 내부로 유입되지 않도록 한다. 이와 같은 에어커튼 장치(1)는 도 2에 도시된 바와 같이 로드포트모듈(B)의 후면의 상단에 설치되어 작동될 수 있다. 특히, 에어커튼 장치(1)는 도 3에 도시된 바와 같이 공기공급기계(F)와 연결되어 로드포트모듈(B)에 의해 개방된 풉의 도어(C)가 개방과 연동하여 작동하며 로드포트모듈의 개구에 에어 커튼을 즉각적으로 형성시킬 수 있다.The air curtain device (1) forms an air curtain when the door of the foop (A) is opened by the load port module (B), and particles such as air, moisture, and fumes inside the foop transfer module (EFEM) Particle) does not flow into the inside of the foop. As shown in FIG. 2 , such an air curtain device 1 may be installed and operated at the top of the rear surface of the load port module B. In particular, as shown in FIG. 3, the air curtain device 1 is connected to the air supply machine F and operates in conjunction with the opening of the door C of the FOUP opened by the load port module B, and the load port An air curtain can be instantaneously formed over the opening of the module.

이와 같이 에어커튼 장치(1)는 풉의 도어 개방에 대응하여 작동하며 풉 이송 모듈(D)의 내부에 있는 공기, 수분(H2O), 흄(Hume) 등의 파티클(Particle)이 풉의 내부로 유입되지 않도록 한다. 아울러, 에어커튼 장치(1)는 풉의 내부의 중앙으로 CDA 또는 질소를 배출하며 풉의 내부를 순환하는 질소의 순환도를 높여 풉의 내부 습도가 균일해질 수 있도록 한다. 만약, 질소가 원활하게 순화되질 않을 경우, 풉의 내부에 안착된 웨이퍼의 특정 영역은 오염되게 된다. 그리고 이러한 오염에 의해 웨이퍼 사용이 불가능하게 되는 문제를 발생시킨다.In this way, the air curtain device (1) operates in response to the opening of the foop door, and particles such as air, moisture (H2O), and fumes inside the foop transfer module (D) are transferred to the inside of the foop. make sure not to infiltrate. In addition, the air curtain device 1 discharges CDA or nitrogen to the center of the inside of the foop and increases the circulation of nitrogen circulating inside the foop so that the internal humidity of the foop is uniform. If the nitrogen is not smoothly purified, a specific area of the wafer seated in the foop is contaminated. In addition, such contamination causes a problem in which the use of the wafer becomes impossible.

이와 같은 문제를 해결하는 에어커튼 장치(1)는 공기유입분사부(10) 및 하우징부(20)를 구성요소로 포함한다.The air curtain device 1 that solves this problem includes an air inlet/jet unit 10 and a housing unit 20 as components.

이하, 도 4 내지 도 6을 참조하여, 에어커튼 장치(1)를 구성하는 구성요소에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, components constituting the air curtain device 1 will be described in detail with reference to FIGS. 4 to 6 .

도 4는 도 1의 에어커튼 장치의 분해사시도를 나타낸 도면이고, 도 5는 도 1의 에어커튼 장치를 I-I’선으로 절단한 단면도이다. 그리고 도 6은 도 1의 에어커튼 장치를 Ⅱ-Ⅱ’ 선으로 절단한 단면도이다.4 is an exploded perspective view of the air curtain device of FIG. 1, and FIG. 5 is a cross-sectional view of the air curtain device of FIG. 1 taken along the line II'. 6 is a cross-sectional view of the air curtain device of FIG. 1 taken along line II-II'.

공기유입분사부(10)는 공기공급기계(F)와 연결되어 공기공급기계(F)에서 배출되는 CDA(Clean Dry Air)를 하우징부(20)의 내부로 배출한다. 이러한 공기유입분사부(10)는 밸브모듈(110), 제1분기관(121) 및 제2분기관(122)을 구성요소로 포함한다. 여기서, 밸브모듈(110)은 솔레노이드 밸브로 형성되어 공기공급기계와 연결되며 공기공급기계에서 전송되는 신호에 따라 작동하며 CDA 또는 질소의 이동 흐름을 제어할 수 있다. 그리고 제1분기관(121)은 파이프 관으로 형성되어 밸브모듈(110)에 제1방향으로 연장 설치되어 상부케이스(210)와 연결된다. 그리고 제2분기관(122)은 파이프 관으로 형성되어 밸브모듈(110)에 제2방향으로 연장 설치되어 상부케이스(210)와 연결된다.The air inlet/jet unit 10 is connected to the air supply machine F and discharges clean dry air (CDA) discharged from the air supply machine F to the inside of the housing part 20 . The air intake injection unit 10 includes a valve module 110, a first branch pipe 121 and a second branch pipe 122 as components. Here, the valve module 110 is formed as a solenoid valve, is connected to an air supply machine, operates according to a signal transmitted from the air supply machine, and can control the moving flow of CDA or nitrogen. Also, the first branch pipe 121 is formed as a pipe and is extended to the valve module 110 in a first direction and connected to the upper case 210 . Also, the second branch pipe 122 is formed as a pipe and extends from the valve module 110 in the second direction to be connected to the upper case 210 .

이와 같이, 제1분기관(121)과 제2분기관(122)은 밸브모듈(110)을 중심으로 대향 되게 배치된다. 이렇게 배치된 제1분기관(121)과 제2분기관(122)은 밸브모듈(110)로부터 유입되는 CDA를 하우징부(20)에 균일하게 배출시킨다.In this way, the first branch pipe 121 and the second branch pipe 122 are disposed to face each other with the valve module 110 as the center. The first branch pipe 121 and the second branch pipe 122 arranged in this way uniformly discharges the CDA introduced from the valve module 110 to the housing part 20 .

하우징부(20)는 로드포트모듈(B)의 후면 상단에 설치되어 풉(A)의 내부 및 로드포트모듈(B)의 도어개폐부가 슬라이딩 하는 방향으로 CDA 또는 질소를 분사하는 장치가 된다. 이와 같은 하우징부(20)는 상부케이스(210), 제1속판(215), 제1필터(220), 제2속판(225), 슬릿홀판(226), 제2필터(260) 및 하부케이스(240)를 포함한다. 여기서, 상부케이스(210)는 도 4에 도시된 바와 같이 직육면체의 하우징으로 형성된다. 이러한 상부케이스의 상단면에는 제1홀(2401)과 제2홀(2402)이 형성되어 공기유입분사부(10)와 연통된다. 그리고 상부케이스의 양측면에는 연결모듈(201)이 형성되어 로드포트모듈(B)과 연결된다. 이때, 연결모듈(201)은 로드포트모듈(B)에 설정 각도 회전 가능하게 연결되어 기존의 풉(A)의 내부로 분사되는 CDA 또는 질소를 중력과 평행한 방향으로 분사되도록 하고, 기존의 중력과 평행한 방향으로 분사되는 CDA 또는 질소를 설정 각도와 대응되도록 지표면으로 분사한다.The housing part 20 is installed at the top of the rear surface of the load port module (B) and becomes a device for injecting CDA or nitrogen in the direction in which the inside of the pull (A) and the door opening/closing part of the load port module (B) slide. The housing unit 20 includes an upper case 210, a first inner plate 215, a first filter 220, a second inner plate 225, a slit hole plate 226, a second filter 260, and a lower case. (240). Here, the upper case 210 is formed as a rectangular parallelepiped housing as shown in FIG. 4 . A first hole 2401 and a second hole 2402 are formed on the upper surface of the upper case to communicate with the air inlet/jet unit 10 . In addition, connection modules 201 are formed on both sides of the upper case to be connected to the load port module (B). At this time, the connection module 201 is rotatably connected to the load port module (B) so that the CDA or nitrogen injected into the existing pull (A) is injected in a direction parallel to gravity, and the existing gravity CDA or nitrogen sprayed in a direction parallel to is sprayed to the ground surface corresponding to the set angle.

제1속판(215)은 상부케이스(210)의 수용 공간에 수용되어 제1필터(220)가 상부케이스(210)의 상면의 뒤 측에 직접적으로 닫지 않도록 한다. 즉, 제1속판(215)은 상부케이스(210)와 제1필터(220)를 이격시킨다. 이때, 이격 거리는 제1속판(215)의 두께와 대응될 수 있다.The first inner plate 215 is accommodated in the accommodation space of the upper case 210 to prevent the first filter 220 from directly closing the rear side of the upper surface of the upper case 210 . That is, the first inner plate 215 separates the upper case 210 and the first filter 220 . In this case, the separation distance may correspond to the thickness of the first inner plate 215 .

제1필터(220)는 상부케이스(210)의 수용 공간에 수용되며 제1속판(215)에 의해 상부케이스(210)와 이격된다. 이때, 공기유입분사부(10)에서 분사되는 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소는 제1필터(220)로 원활하게 유입되어 1차 여과될 수 있다. 제2속판(225)은 제1필터(220)의 하부면에 접하며 슬릿홀판(226)이 제1필터(220)와 직접적으로 닿지 않도록 한다. 즉, 제2속판(225)은 제1필터(220)와 슬릿홀판(226)을 이격시킨다. 이때, 이격 거리는 제2속판(225)의 두께와 대응될 수 있다.The first filter 220 is accommodated in the accommodation space of the upper case 210 and is spaced apart from the upper case 210 by the first inner plate 215 . At this time, clean dry air (CDA) or nitrogen injected from the air inlet/jet unit 10 smoothly flows into the first filter 220 and can be filtered first. The second inner plate 225 contacts the lower surface of the first filter 220 and prevents the slit hole plate 226 from directly contacting the first filter 220 . That is, the second inner plate 225 separates the first filter 220 from the slit hole plate 226 . In this case, the separation distance may correspond to the thickness of the second inner plate 225 .

이를 통해, 제1필터(220)를 통해 1차 여과된 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소는 슬릿홀판(226)으로 원활하게 배출된다.Through this, clean dry air (CDA) or nitrogen primarily filtered through the first filter 220 is smoothly discharged to the slit hole plate 226 .

슬릿홀판(226)은 길이방향을 따라 긴 장공홀이 복수 개 형성된 판이 된다. 여기서, 장공홀은 제1필터(220)를 통과한 CDA 또는 질소가 원활하게 제2필터(260)로 이동될 수 있는 너비를 갖는 홀로 형성될 수 있다. 그리고 이러한 홀의 너비 및 길이에 맞춰 CDA 또는 질소가 배출된다.The slit hole plate 226 is a plate formed with a plurality of long hole holes along the longitudinal direction. Here, the long hole may be formed as a hole having a width through which CDA or nitrogen passing through the first filter 220 can smoothly move to the second filter 260 . And CDA or nitrogen is discharged according to the width and length of these holes.

제2필터(260)는 확산필터로 형성되어 어느 한쪽으로 편중될 수 있는 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 전체로 퍼질 수 있도록 한다.The second filter 260 is formed as a diffusion filter so that clean dry air (CDA) or nitrogen, which may be biased to one side, can be spread throughout.

하부케이스(240)는 복수 개의 홀(2400)이 형성된 하부 하우징이 되어 상부케이스와 착탈된다. 이와 같은 하부케이스(240)는 복수 개의 홀(2400)을 통해 공기유입분사부(10)에서 유입된 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 하방으로 분사되도록 한다. 여기서, 홀(2400)은 서로 다른 타입 일례로, 경사진 홀 및 경사지진 않은 홀로 형성되어 공기유입분사부(10)에서 유입되는 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 서로 다른 방향으로 분사할 수 있다.The lower case 240 becomes a lower housing having a plurality of holes 2400 and is detachable from the upper case. The lower case 240 as described above allows CDA (Clean Dry Air) or nitrogen introduced from the air inlet/jet unit 10 to be injected downward through the plurality of holes 2400 . Here, the holes 2400 are formed of different types, for example, an inclined hole and a non-sloping hole, so that CDA (Clean Dry Air) or nitrogen introduced from the air injector 10 can be injected in different directions. .

제1홀(2401)은 도 6에 도시된 바와 같이 경사진 홀로 형성된다. 그리고 제2홀(2402)은 도 6에 도시된 바와 같이, 경사지지 않은 홀로 형성된다.As shown in FIG. 6, the first hole 2401 is formed as an inclined hole. And, as shown in FIG. 6, the second hole 2402 is formed as a non-sloping hole.

이하, 도 7을 참조하여 에어커튼 장치의 작동에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the operation of the air curtain device will be described in detail with reference to FIG. 7 .

도 7은 도 1의 에어커튼 장치의 제1홀 및 제2홀에서 분사되는 CDA 또는 질소를 나타낸 도면이다.FIG. 7 is a view showing CDA or nitrogen sprayed from the first hole and the second hole of the air curtain device of FIG. 1 .

제1홀(2401)은 풉(A)의 내부 중앙부로 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 배출하도록 하며, 풉의 내부에서 순환하는 질소의 순화도를 높일 수 있다. 여기서, 풉의 내부의 중앙부는 풉의 너비의 중간지점 및 높이의 중간지점이 될 수 있다.The first hole 2401 allows CDA (Clean Dry Air) or nitrogen to be discharged to the inner center of the foop A, and the purity of nitrogen circulating inside the foop can be increased. Here, the central part of the inside of the foo may be the midpoint of the width and the midpoint of the height of the foo.

그리고 제2홀(2402)은 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소가 바닥면과 수직한 방향 즉, 중력방향으로 배출될 수 있도록 한다. 다시 말해, CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 풉의 도어(C)가 슬라이딩 이동하는 방향과 수평 방향으로 배출되도록 한다.And, the second hole 2402 allows CDA (Clean Dry Air) or nitrogen to be discharged in a direction perpendicular to the bottom surface, that is, in the direction of gravity. In other words, CDA (Clean Dry Air) or nitrogen is discharged in the direction in which the door (C) of the foo slides and moves horizontally.

이하, 도 8 및 도 9를 참조하여, 하부케이스에 가이드날개판이 설치된 상태의 에어커튼 장치에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, with reference to FIGS. 8 and 9, the air curtain device in a state where the guide blade plate is installed in the lower case will be described in detail.

도 8은 가이드날개판이 설치된 에어커튼 장치의 사시도이고, 도 9는 도 8의 에어커튼 장치의 작동도이다.8 is a perspective view of an air curtain device in which a guide wing plate is installed, and FIG. 9 is an operation view of the air curtain device of FIG. 8 .

도 8에 도시된 바와 같이, 하부케이스(240)의 하부면에는 가이드날개판(2403)이 설치된다. 여기서, 가이드날개판(2403)은 하부면에 길이 방향을 따라 설치되고, 홀(2400)에서 분사되는 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소가 풉의 내부 중앙부로 배출되도록 하는 가이드 한다. 이때, 가이드날개판(2403)은 공기공급기계(F)에서 전달되는 신호에 따라 회전될 수 있다. 이와 같은 가이드날개판(2403)을 포함하는 에어커튼 장치(1)는 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소가 풉의 내부에 고르게 유입되어, 풉 내부에 채워진 질소 가스의 순환도를 높일 수 있다.As shown in FIG. 8 , a guide wing plate 2403 is installed on the lower surface of the lower case 240 . Here, the guide wing plate 2403 is installed along the longitudinal direction on the lower surface, and guides CDA (Clean Dry Air) or nitrogen sprayed from the hole 2400 to be discharged to the inner central portion of the FOUP. At this time, the guide wing plate 2403 can be rotated according to the signal transmitted from the air supply machine (F). In the air curtain device 1 including the guide wing plate 2403, CDA (Clean Dry Air) or nitrogen is evenly introduced into the foop, and the circulation of the nitrogen gas filled in the foop can be increased.

이하, 도 10을 참조하여 에어커튼 장치의 작동에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the operation of the air curtain device will be described in detail with reference to FIG. 10 .

도 10은 에어커튼 장치의 작동도를 나타낸 도면이다.10 is a diagram showing an operation diagram of an air curtain device.

도 10의 (a)에 도시된 바와 같이, 공기유입분사부(10)는 로드포트모듈(B)의 도어 개폐부가 작동하여, 풉의 도어(C)가 개방되면 공기공급기계(F)가 작동하며 공기유입분사부(10)에서 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소가 배출되도록 한다. 이때, 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이, 공기유입분사부에서 분사되는 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소는 제1홀(2401)을 통해, 풉(A)의 내부로 유입되고, 제2홀(2402)을 통해 개구부에 에어커튼을 형성한다. 이때, 제1홀(2401)을 통해 풉(A)의 내부로 유입된 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소는 풉에 채워진 질소가 풉의 특정 위치에 정체되지 않고, 원활하게 순환될 수 있도록 한다. 즉, 풉(A)의 내부로 유입된 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소는 풉에 채워진 질소 가스의 순환도를 높인다. 아울러, 개구부에 형성된 에어커튼은 풉 이송 모듈(EFEM)의 내부에 있는 공기, 수분(H2O), 흄(Hume) 등의 파티클(Particle)이 풉의 내부에 유입되지 않도록 한다.As shown in (a) of FIG. 10, the air inlet injection unit 10 operates the door opening and closing part of the load port module (B), and when the door (C) of the FOUP is opened, the air supply machine (F) operates. and CDA (Clean Dry Air) or nitrogen is discharged from the air inlet/jet unit 10. At this time, as shown in (b) of FIG. 10, CDA (Clean Dry Air) or nitrogen injected from the air inlet injection unit is introduced into the foop A through the first hole 2401, and An air curtain is formed in the opening through the 2 holes 2402. At this time, CDA (Clean Dry Air) or nitrogen introduced into the foop A through the first hole 2401 allows the nitrogen filled in the foop to circulate smoothly without being stagnant at a specific location of the foop. That is, CDA (Clean Dry Air) or nitrogen introduced into the foo (A) increases the circulation of the nitrogen gas filled in the foo (A). In addition, the air curtain formed at the opening prevents particles such as air, moisture (H2O), and fumes inside the EFEM from entering the inside of the FOUP.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.Although the embodiments of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. you will be able to understand Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive.

1: 에어커튼 장치 10: 공기유입분사부
110: 밸브모듈 121: 제1분기관
122: 제2분기관 20: 하우징부
201: 연결모듈 210: 상부케이스
2101: 제1연통홀 2102: 제2연통홀
215: 제1속판
220: 제1필터 225: 제2속판
226: 슬릿홀판 240: 하부케이스
2400: 홀
2401: 제1홀 2402: 제2홀
2403: 가이드날개판 260: 제2필터
A: 풉 (Front Opening Unified Pod)
B: 로드포트모듈 (Load Port Module)
C: 도어
D: EFEM (Equipment Front End Module)
E: FFU (Fan Filter Unit)
F: 공기공급기계1: air curtain device 10: air inlet injection unit
110: valve module 121: first branch pipe
122: second branch pipe 20: housing part
201: connection module 210: upper case
2101: first communication hole 2102: second communication hole
215: first plate
220: first filter 225: second inner plate
226: slit hole plate 240: lower case
2400: hall
2401: first hole 2402: second hole
2403: guide blade plate 260: second filter
A: Front Opening Unified Pod
B: Load Port Module
C: door
D: EFEM (Equipment Front End Module)
E: FFU (Fan Filter Unit)
F: air supply machine

Claims (4)

풉(A)이 안착되는 로드포트모듈(B)의 후면의 상단에 설치되는 에어커튼 장치(1)에 있어서,
로드포트모듈(B)에서 풉의 도어(C)가 개방될 때, 작동하며 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 배출하는 공기공급기계(F)와 연결되는 공기유입분사부(10);
상단면이 공기유입분사부(10)와 연통되고, 양측면에 로드포트모듈(B)과 연결되는 연결모듈(201)이 형성된 상부케이스(210)와, 상부케이스(210)의 수용 공간에 수용되는 제1필터(220)와, 상부케이스(210)의 수용 공간에 수용되며 제1필터(220)의 하면에 위치하는 제2필터(260), 그리고 공기유입분사부(10)에서 유입된 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 하방으로 분사되도록 복수 개의 홀(2400)이 형성된 하부케이스(240)가 구비된 하우징부(20)를 포함하고,
하부케이스(240)는,
CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 풉(A)의 내부로 배출하도록 경사진 제1홀(2401)과 풉의 도어(C)가 슬라이딩 이동하는 방향과 수평 방향으로 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소를 배출시키는 제2홀(2402)을 포함하고,
제1홀(2401)의 하부에 길이 방향을 따라 설치되며 제1홀(2401)에서 분사되는 CDA(Clean Dry Air) 또는 질소가 풉의 내부 중앙부로 배출되도록 가이드하는 가이드날개판(2403)과 가이드날개판(2403)의 일단 및 타단에 연결된 측면판(2404)을 포함하는, 에어커튼 장치.In the air curtain device (1) installed on the top of the back of the load port module (B) on which the pull (A) is seated,
An air inlet injection unit 10 that operates when the door (C) of the foo is opened in the load port module (B) and is connected to an air supply machine (F) that discharges CDA (Clean Dry Air) or nitrogen;
An upper case 210 in which the upper surface communicates with the air inlet and spray unit 10 and a connection module 201 connected to the load port module (B) is formed on both sides, and is accommodated in the accommodation space of the upper case 210 The first filter 220, the second filter 260 accommodated in the receiving space of the upper case 210 and located on the lower surface of the first filter 220, and the CDA introduced from the air inlet spray unit 10 ( It includes a housing part 20 equipped with a lower case 240 in which a plurality of holes 2400 are formed to spray clean dry air or nitrogen downward,
The lower case 240,
CDA (Clean Dry Air) or nitrogen in the horizontal direction and the direction in which the slanted first hole (2401) and the door (C) of the foop slide to discharge CDA (Clean Dry Air) or nitrogen into the foo (A) Including a second hole 2402 for discharging,
A guide wing plate 2403 and a guide installed along the length of the lower part of the first hole 2401 and guiding CDA (Clean Dry Air) or nitrogen injected from the first hole 2401 to be discharged to the inner center of the FOUP An air curtain device comprising a side plate 2404 connected to one end and the other end of the wing plate 2403. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 공기유입분사부(10)는,
공기공급기계와 연결되는 밸브모듈(110)과,
밸브모듈(110)에 설치되어 제1방향으로 연장 설치되어 상부케이스(210)와 연결되는 제1분기관(121)과,
밸브모듈(110)에 설치되어 제1방향과 대향되는 방향인 제2방향으로 연장 설치되어 상부케이스(210)인 제2분기관(122)을 포함하는, 에어커튼 장치.The method of claim 1, wherein the air injector 10,
A valve module 110 connected to the air supply machine;
A first branch pipe 121 installed in the valve module 110 and extending in a first direction and connected to the upper case 210;
An air curtain device that is installed in the valve module 110 and extends in a second direction opposite to the first direction and includes a second branch pipe 122 that is an upper case 210.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102143208B1 (en) * 2018-09-13 2020-08-12 주식회사 케이씨티 Load Port Module and Load Purge Purge System Having Air Curtain Unit

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3759492B2 (en) 2002-12-03 2006-03-22 近藤工業株式会社 Mini-environment semiconductor manufacturing equipment
JP4301456B2 (en) * 2005-11-30 2009-07-22 Ｔｄｋ株式会社 Closed container lid opening and closing system
KR20130035140A (en) * 2011-09-29 2013-04-08 (주)해피글로벌솔루션 Air curtain system for preventing diffusion of chemicals
JP6686014B2 (en) * 2014-10-24 2020-04-22 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ System, apparatus and method for purging a substrate carrier at a factory interface
KR20200063404A (en) * 2018-11-27 2020-06-05 브릴리언 네트워크 앤드 오토메이션 인티그레이티드 시스템 씨오 엘티디 Blowing device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102143208B1 (en) * 2018-09-13 2020-08-12 주식회사 케이씨티 Load Port Module and Load Purge Purge System Having Air Curtain Unit

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