KR102528177B1 - Apparatus for Electrodeposition of Electrolytic Copper Foil and Apparatus for Manufacturing of Electrolytic Copper Foil - Google Patents

Apparatus for Electrodeposition of Electrolytic Copper Foil and Apparatus for Manufacturing of Electrolytic Copper Foil Download PDF

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Abstract

본 발명은 전해액을 이용하여 전기도금(電氣鍍金) 방식으로 동박을 전착(電着)시키는 음극부; 전해액을 통해 상기 음극부와 통전(通電)되는 양극부; 상기 동박의 두께를 측정하는 측정부; 및 상기 음극부와 상기 양극부 사이에 배치된 전원전극을 포함하는 전해동박 전착장치 및 전해동박 제조장치에 관한 것이다.The present invention is a cathode portion for electrodepositing copper foil in an electroplating method using an electrolyte; an anode part that is electrically connected to the cathode part through an electrolyte; a measuring unit for measuring the thickness of the copper foil; and an electrolytic copper foil electrodeposition device and an electrodeposite copper foil manufacturing device including a power electrode disposed between the cathode part and the anode part.

Description

전해동박 전착장치 및 전해동박 제조장치{Apparatus for Electrodeposition of Electrolytic Copper Foil and Apparatus for Manufacturing of Electrolytic Copper Foil}Electrolytic copper foil electrodeposition apparatus and electrolytic copper foil manufacturing apparatus {Apparatus for Electrodeposition of Electrolytic Copper Foil and Apparatus for Manufacturing of Electrolytic Copper Foil}

본 발명은 동박을 전착시키는 전해동박 전착장치 및 동박을 제조하는 전해동박 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to an electrolytic copper foil electrodeposition device for electrodepositing copper foil and an electrodeposited copper foil manufacturing device for manufacturing copper foil.

동박(銅箔)은 이차전지용 음극, 연성인쇄회로기판(Flexible Printed Circuit Board: FPCB) 등 다양한 제품을 제조하는데 이용되고 있다. 이러한 동박은 양극과 음극 사이에 전해액을 공급한 뒤 전류를 흐르게 하는 전기도금(電氣鍍金) 방식을 통해 제조된다. 이와 같이 전기도금 방식을 통해 동박을 제조함에 있어서, 전해동박 제조장치가 이용된다. 또한, 전해동박 제조장치는 동박 전착(電着)에 이용되는 설비로, 전해동박 전착장치를 구비할 수 있다.Copper foil is used to manufacture various products such as anodes for secondary batteries and flexible printed circuit boards (FPCB). Such a copper foil is manufactured through an electroplating method in which an electrolyte is supplied between an anode and a cathode and then current flows. In manufacturing copper foil through the electroplating method as described above, an electrodeposited copper foil manufacturing apparatus is used. In addition, the electrodeposited copper foil manufacturing apparatus is equipment used for electrodeposition of copper foil, and may include an electrodeposition apparatus for electrodeposited copper foil.

도 1은 종래 기술에 따른 전해동박 전착장치에 있어서 전착된 동박이 음극부(2)로부터 권출되는 모습을 나타낸 개략적인 사시도이다.1 is a schematic perspective view showing how an electrodeposited copper foil is unwound from a cathode part 2 in an electrolytic copper foil electrodeposition apparatus according to the prior art.

도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 전해동박 전착장치(100)는 양극부(110), 및 음극부(120)를 포함한다.Referring to FIG. 1 , an electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 100 according to the prior art includes an anode part 110 and a cathode part 120.

상기 양극부(110)는 전해액을 통해 상기 음극부(120)와 통전(通電)되는 것이다. 상기 양극부(110)는 전기도금을 수행함에 있어 양극으로 기능한다. The anode part 110 is electrically connected to the cathode part 120 through the electrolyte. The anode part 110 functions as an anode in performing electroplating.

상기 음극부(120)는 전해액을 이용하여 전기도금 방식으로 상기 동박(200)을 전착시키는 것이다. 상기 음극부(120)는 전기도금을 수행함에 있어 음극으로 기능한다.The cathode portion 120 is formed by electrodepositing the copper foil 200 by electroplating using an electrolyte. The cathode part 120 functions as a cathode in performing electroplating.

전해액 공급장치(미도시)가 상기 양극부(110) 및 상기 음극부(120)의 사이에 전해액을 공급하면, 상기 양극부(110) 및 상기 음극부(120)는 서로 통전되면서 전기도금 작업을 수행한다. 이 경우, 상기 전해액에 용해된 동(銅) 이온이 상기 음극부(120)에서 환원(還元)됨에 따라, 상기 음극부(120)는 상기 동박(200)을 전착시킨다. 상기 음극부(120)는 음극축(121)을 중심으로 회전하면서, 상기 동박(200)의 전착작업 및 권출(捲出)작업을 연속적으로 수행한다. 상기 동박(200)은 상기 음극부(120)로부터 권출방향으로 권출된 후에 권취부(미도시) 쪽으로 운반되어 상기 권취부에 권취된다.When an electrolyte supplying device (not shown) supplies electrolyte between the anode part 110 and the cathode part 120, the anode part 110 and the cathode part 120 conduct an electroplating operation while being energized with each other. carry out In this case, as copper ions dissolved in the electrolyte are reduced in the cathode part 120, the cathode part 120 electrodeposits the copper foil 200. The cathode part 120 continuously performs electrodeposition and unwinding of the copper foil 200 while rotating around the cathode shaft 121 . After the copper foil 200 is unwound from the cathode part 120 in the unwinding direction, it is transported toward a winding part (not shown) and wound around the winding part.

여기서, 종래 기술에 따른 전해동박 전착장치(100)는 상기 음극부(120)가 연속적으로 전착작업 및 권출작업을 수행함에 따라, 폭방향을 따라 상기 동박(200)의 두께편차가 발생되도록 구현된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 전해동박 전착장치(100)는 상기 음극부(120)로부터 권출된 상기 동박(200)의 두께에 대한 균일성을 저하시키는 문제가 있다.Here, in the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 100 according to the prior art, as the cathode part 120 continuously performs electrodeposition and unwinding operations, the thickness deviation of the copper foil 200 occurs along the width direction. Accordingly, the electrodeposited copper foil electrodeposition apparatus 100 according to the prior art has a problem of lowering the uniformity of the thickness of the copper foil 200 unwound from the cathode part 120 .

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 동박의 두께에 대한 균일성이 저하되는 정도를 저감시킬 수 있는 전해동박 전착장치 및 전해동박 제조장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention has been made to solve the above-described problems, and is to provide an electrodeposited copper foil electrodeposition device and an electrodeposited copper foil manufacturing device capable of reducing the degree of degradation in the uniformity of the thickness of the copper foil.

본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.The present invention may include the following configuration in order to solve the above problems.

본 발명에 따른 전해동박 전착장치는 전해액을 이용하여 전기도금(電氣鍍金) 방식으로 동박을 전착(電着)시키는 음극부; 전해액을 통해 상기 음극부와 통전(通電)되는 양극부; 상기 동박의 두께를 측정하는 측정부; 상기 음극부와 상기 양극부 사이에 배치된 전원전극; 및 상기 전원전극에 상기 동박의 폭방향으로 이동 가능하게 결합된 복수개의 이동전극을 포함할 수 있다. 상기 이동전극들 중에서 제1이동전극은 상기 측정부가 측정한 결과에 따라 상기 이동전극들 중에서 제2이동전극으로부터 이격된 거리가 변경되도록 상기 전원전극에 결합될 수 있다.An electrolytic copper foil electrodeposition device according to the present invention includes a cathode portion for electrodepositing copper foil in an electroplating method using an electrolyte; an anode part that is electrically connected to the cathode part through an electrolyte; a measuring unit for measuring the thickness of the copper foil; a power electrode disposed between the cathode part and the anode part; and a plurality of movable electrodes movably coupled to the power electrode in the width direction of the copper foil. Among the movable electrodes, a first movable electrode may be coupled to the power supply electrode such that a distance separated from the second movable electrode among the movable electrodes is changed according to a result measured by the measuring unit.

본 발명에 따른 전해동박 전착장치는 전해액을 이용하여 전기도금(電氣鍍金) 방식으로 동박을 전착(電着)시키는 음극부; 전해액을 통해 상기 음극부와 통전(通電)되는 양극부; 상기 동박의 두께를 측정하는 측정부; 상기 음극부와 상기 양극부 사이에 배치된 전원전극; 및 상기 전원전극에 상기 동박의 두께방향으로 이동 가능하게 결합된 복수개의 이동전극을 포함할 수 있다. 상기 이동전극들은 상기 측정부가 측정한 결과에 따라 상기 음극부와의 이격된 거리가 변경되도록 상기 전원전극에 결합될 수 있다.An electrolytic copper foil electrodeposition device according to the present invention includes a cathode portion for electrodepositing copper foil in an electroplating method using an electrolyte; an anode part that is electrically connected to the cathode part through an electrolyte; a measuring unit for measuring the thickness of the copper foil; a power electrode disposed between the cathode part and the anode part; and a plurality of movable electrodes movably coupled to the power electrode in the thickness direction of the copper foil. The movable electrodes may be coupled to the power electrode such that a distance from the cathode part is changed according to the measurement result of the measuring part.

본 발명에 따른 전해동박 제조장치는 전해액을 이용하여 전기도금(電氣鍍金) 방식으로 동박을 전착(電着)시키는 음극부; 전해액을 통해 상기 음극부와 통전(通電)되는 양극부; 상기 동박의 두께를 측정하는 측정부; 상기 음극부와 상기 양극부 사이에 배치된 전원전극; 상기 전원전극에 상기 동박의 폭방향으로 이동 가능하게 결합된 복수개의 이동전극; 상기 음극부로부터 권출된 동박을 운반하는 운반부; 및 상기 운반부로부터 운반된 동박을 권취하는 권취부를 포함할 수 있다.An electrolytic copper foil manufacturing apparatus according to the present invention includes a cathode part for electrodepositing copper foil in an electroplating method using an electrolyte; an anode part that is electrically connected to the cathode part through an electrolyte; a measuring unit for measuring the thickness of the copper foil; a power electrode disposed between the cathode part and the anode part; a plurality of movable electrodes movably coupled to the power electrode in the width direction of the copper foil; a carrying unit for transporting the copper foil unwound from the cathode unit; and a winding unit winding the copper foil transported from the transport unit.

본 발명에 따른 전해동박 제조장치는 전해액을 이용하여 전기도금(電氣鍍金) 방식으로 동박을 전착(電着)시키는 음극부; 전해액을 통해 상기 음극부와 통전(通電)되는 양극부; 상기 동박의 두께를 측정하는 측정부; 상기 음극부와 상기 양극부 사이에 배치된 전원전극; 상기 전원전극에 상기 동박의 두께방향으로 이동 가능하게 결합된 복수개의 이동전극; 상기 음극부로부터 권출된 동박을 운반하는 운반부; 및 상기 운반부로부터 운반된 동박을 권취하는 권취부를 포함할 수 있다.An electrolytic copper foil manufacturing apparatus according to the present invention includes a cathode part for electrodepositing copper foil in an electroplating method using an electrolyte; an anode part that is electrically connected to the cathode part through an electrolyte; a measuring unit for measuring the thickness of the copper foil; a power electrode disposed between the cathode part and the anode part; a plurality of movable electrodes movably coupled to the power electrode in the thickness direction of the copper foil; a carrying unit for transporting the copper foil unwound from the cathode unit; and a winding unit winding the copper foil transported from the transport unit.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.According to the present invention, the following effects can be achieved.

본 발명은 동박의 두께편차를 감소시키도록 구현됨으로써, 동박의 두께에 대한 균일성을 증대시킬 수 있다.The present invention is implemented to reduce the thickness deviation of the copper foil, thereby increasing the uniformity of the thickness of the copper foil.

도 1은 종래 기술에 따른 전해동박 전착장치에 대한 개략적인 측면도
도 2는 본 발명에 따른 전해동박 제조장치에 대한 개략적인 측면도
도 3은 본 발명에 따른 전해동박 전착장치에 대한 개략적인 사시도
도 4는 본 발명에 따른 전해동박 전착장치에 대한 개략적인 측면도
도 5는 본 발명에 따른 전해동박 전착장치의 이동전극들을 나타낸 개략적인 정면도
도 6은 이동전극들이 폭방향을 따라 이동함으로써 동박의 두께편차를 감소시키는 것을 설명하기 위한 개념적인 평면도
도 7은 이동전극들이 두께방향을 따라 이동함으로써 동박의 두께편차를 감소시키는 것을 설명하기 위한 개념적인 평면도
도 8은 본 발명에 따른 전해동박 전착장치의 이동전극, 및 전원전극을 나타낸 개략적인 정면도
도 9는 본 발명에 따른 전해동박 전착장치에 있어서 폭가이드부재, 및 폭가이드홈을 설명하기 위한 개념적인 사시도
도 10은 본 발명에 따른 전해동박 전착장치의 댐을 나타낸 개략적인 측면도
도 11은 본 발명에 따른 전해동박 전착장치의 댐을 나타낸 개략적인 정면도
도 12는 본 발명에 따른 전해동박 전착장치에 있어서 회전부를 나타낸 개략적인 정면도
도 13은 회전부가 제1이동전극을 회전시킴에 따라 동박의 두께편차를 감소시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 평면도 1 is a schematic side view of an electrolytic copper foil electrodeposition apparatus according to the prior art
Figure 2 is a schematic side view of the electrodeposited copper foil manufacturing apparatus according to the present invention
3 is a schematic perspective view of an electrolytic copper foil electrodeposition apparatus according to the present invention
4 is a schematic side view of an electrolytic copper foil electrodeposition apparatus according to the present invention
Figure 5 is a schematic front view showing the moving electrodes of the electrodeposited copper foil electrodeposition device according to the present invention
6 is a conceptual plan view for explaining that the thickness deviation of the copper foil is reduced by moving the moving electrodes along the width direction;
7 is a conceptual plan view for explaining that the thickness deviation of the copper foil is reduced by moving the moving electrodes along the thickness direction;
8 is a schematic front view showing a moving electrode and a power supply electrode of the electrolytic copper foil electrodeposition device according to the present invention
9 is a conceptual perspective view for explaining a width guide member and a width guide groove in the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus according to the present invention.
10 is a schematic side view showing a dam of an electrolytic copper foil electrodeposition device according to the present invention.
11 is a schematic front view showing a dam of an electrolytic copper foil electrodeposition device according to the present invention
12 is a schematic front view showing a rotating part in the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus according to the present invention.
13 is a schematic plan view for explaining that the thickness variation of copper foil is reduced as the rotating unit rotates the first movable electrode;

이하에서는 본 발명에 따른 전해동박 전착장치 및 전해동박 제조장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명에 따른 전해동박 전착장치는 본 발명에 따른 전해동박 제조장치에 포함될 수 있으므로, 본 발명에 따른 전해동박 제조장치의 실시예를 설명하면서 함께 설명한다. 또한, 도 2, 도 4, 도 5, 도 6, 및 도 7에 도시된 해칭은 단면을 도시한 것이 아니라, 본 발명의 이해를 위해 구성을 구분하여 도시한 것이다.Hereinafter, embodiments of an electrodeposited copper foil electrodeposition device and an electrodeposited copper foil manufacturing device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the electrodeposited copper foil electrodeposition device according to the present invention can be included in the electrodeposited copper foil manufacturing device according to the present invention, an embodiment of the electrodeposited copper foil manufacturing device according to the present invention will be described together. In addition, the hatching shown in FIGS. 2, 4, 5, 6, and 7 is not a cross section, but a divided configuration for understanding of the present invention.

도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 전해동박 제조장치(10, 이하 도 2에 도시됨)는 이차전지용 음극, 연성인쇄회로기판(Flexible Printed Circuit Board: FPCB) 등 다양한 제품을 제조하는데 이용되는 동박(銅箔)(20)을 제조하는 것이다. 이를 위해, 본 발명에 따른 전해동박 제조장치(10)는 운반부(11), 권취부(12), 및 절단부(13)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 2, the electrodeposited copper foil manufacturing apparatus 10 (hereinafter shown in FIG. 2) according to the present invention is a copper foil used to manufacture various products such as a negative electrode for a secondary battery and a flexible printed circuit board (FPCB) ( It is to manufacture copper (20). To this end, the electrodeposited copper foil manufacturing apparatus 10 according to the present invention may include a carrying unit 11, a winding unit 12, and a cutting unit 13.

도 2를 참고하면, 상기 운반부(11, 이하 도 2에 도시됨)는 상기 동박(20)을 운반하는 것이다. 상기 운반부(11)는 상기 동박(20)을 상기 절단부(13)와 상기 권취부(12)로 운반할 수 있다. 상기 운반부(11)는 복수개의 롤러 등을 이용해 상기 동박(20)을 운반할 수도 있다. 상기 운반부(11)는 상기 동박(20)을 운반하면서, 상기 동박(20)의 표면에 남은 전해액 등을 건조시킬 수도 있다.Referring to FIG. 2 , the carrying unit 11 (hereinafter shown in FIG. 2 ) carries the copper foil 20 . The carrying unit 11 may transport the copper foil 20 to the cutting unit 13 and the winding unit 12 . The transport unit 11 may transport the copper foil 20 using a plurality of rollers or the like. While carrying the copper foil 20 , the carrying unit 11 may dry the electrolyte remaining on the surface of the copper foil 20 .

도 2를 참고하면, 상기 권취부(12, 이하 도 2에 도시됨)는 상기 운반부(11)로부터 운반된 상기 동박(20)을 권취(捲取)하는 것이다. 상기 권취부(12)는 상기 절단부(13)에 의해 절단된 동박(20)을 권취(捲取)할 수도 있다. 상기 권취부(12)는 권취축을 중심으로 회전하면서 연속적으로 상기 동박(20)을 권취할 수 있다. 상기 권취부(12)에 권취된 동박(20)은, 작업자에 의해 기설정된 폭으로 재단될 수 있다. 상기 권취부(12)는 전체적으로 상기 동박(20)이 이동하는 이동방향에 대해 수직한 폭방향(X축 방향)으로 연장된 드럼(Drum) 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 권취축을 중심으로 회전하면서 상기 동박(20)을 권취하는 권취작업을 연속적으로 수행할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.Referring to FIG. 2 , the winding unit 12 (hereinafter shown in FIG. 2 ) winds the copper foil 20 transported from the carrying unit 11 . The winding unit 12 may wind the copper foil 20 cut by the cutting unit 13 . The winding unit 12 may continuously wind the copper foil 20 while rotating around a winding shaft. The copper foil 20 wound around the winding unit 12 may be cut to a predetermined width by a worker. The winding unit 12 as a whole may be formed in the form of a drum extending in a width direction (X-axis direction) perpendicular to the moving direction in which the copper foil 20 moves, but is not limited thereto, and the winding shaft It may be formed in other shapes as long as it can continuously perform the winding operation of winding the copper foil 20 while rotating about the center.

도 2를 참고하면, 상기 절단부(13, 이하 도 2에 도시됨)는 상기 운반부(11)로부터 운반된 동박(20)을 절단하는 것이다. 상기 절단부(13)는 전착 과정에서 상기 동박(20)의 다른 부분에 비해 두껍게 형성된 동박(20)의 양측을 절단할 수 있다. 상기 절단부(13)는 상기 폭방향(X축 방향)을 기준으로, 상기 동박(20)의 양측을 절단할 수 있다. 상기 절단부(13)에 의해 양측이 절단된 동박(20)은 상기 권취부(12)로 운반될 수 있다.Referring to FIG. 2 , the cutting part 13 (hereinafter shown in FIG. 2 ) cuts the copper foil 20 transported from the carrying part 11 . The cut portion 13 may cut both sides of the copper foil 20 that is thicker than other portions of the copper foil 20 during the electrodeposition process. The cutting portion 13 may cut both sides of the copper foil 20 based on the width direction (X-axis direction). The copper foil 20 cut on both sides by the cutting part 13 may be transported to the winding part 12 .

이와 같이, 상기 운반부(11), 상기 절단부(13), 및 상기 권취부(12)를 통해 운반되고 권취되는 동박(20)을 제조하기 위해, 본 발명에 따른 전해동박 제조장치(10)는 전해동박 전착장치(1)를 포함할 수 있다. In this way, in order to manufacture the copper foil 20 that is transported and wound through the carrying unit 11, the cutting unit 13, and the winding unit 12, the electrodeposited copper foil manufacturing apparatus 10 according to the present invention is Electrodeposition device 1 may be included.

도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 전해동박 전착장치(1)는 동박을 전착(電着)시켜 동박을 제조하는 것이다. 상기 전해동박 전착장치(1)를 통해 제조된 동박은 상기 운반부(11), 상기 절단부(13) 등을 거쳐 상기 권취부(12)에 권취될 수 있다.Referring to FIGS. 3 to 5 , the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 manufactures copper foil by electrodepositing copper foil. The copper foil manufactured by the electrolytic copper foil electrodeposition device 1 may be wound around the winding unit 12 through the carrying unit 11 and the cutting unit 13 .

본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 전해액을 이용하여 전기도금(電氣鍍金) 방식으로 상기 동박(20)을 전착(電着)시키는 음극부(2), 전해액을 통해 상기 음극부(2)와 통전(通電)되는 양극부(3), 상기 동박(20)의 두께를 측정하는 측정부(4), 상기 음극부(2)와 상기 양극부(3) 사이에 배치된 전원전극(6), 및 상기 전원전극(6)에 상기 동박(20)의 상기 폭방향(X축 방향)으로 이동 가능하게 결합된 복수개의 이동전극(5)을 포함한다. 상기 폭방향(X축 방향)은 동박이 운반되는 방향에 대해 수직한 방향으로, 상기 음극부(2)의 회전축인 음극축(21)에 대해 평행한 방향일 수 있다.The electrolytic copper foil electrodeposition device 1 according to the present invention includes a cathode part 2 for electrodepositing the copper foil 20 in an electroplating method using an electrolyte, and the cathode part 2 through the electrolyte. A cathode part 3 that is energized, a measuring part 4 that measures the thickness of the copper foil 20, and a power electrode 6 disposed between the cathode part 2 and the anode part 3 , and a plurality of movable electrodes 5 movably coupled to the power electrode 6 in the width direction (X-axis direction) of the copper foil 20 . The width direction (X-axis direction) is a direction perpendicular to the direction in which the copper foil is transported, and may be a direction parallel to the cathode axis 21, which is the rotational axis of the cathode part 2.

상기 이동전극(5)들 중에서 제1이동전극(51)은 상기 측정부(4)가 측정한 결과에 따라 상기 이동전극(5)들 중에서 상기 제2이동전극(52)으로부터 이격된 거리가 변경되도록 상기 전원전극(6)에 결합된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 동박(20)의 두께가 상대적으로 얇은 영역에 대응되는 위치로 상기 제1이동전극(51)을 이동시킴으로써, 상기 동박(20)의 두께에 대한 균일성을 증대시킬 수 있다. 이를 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Among the movable electrodes 5, the distance of the first movable electrode 51 from the second movable electrode 52 among the movable electrodes 5 is changed according to the measurement result of the measurement unit 4. It is coupled to the power electrode 6 as much as possible. Accordingly, the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention moves the first movable electrode 51 to a position corresponding to a region where the thickness of the copper foil 20 is relatively thin, thereby increasing the thickness of the copper foil 20. uniformity can be increased. This will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

우선, 상기 음극부(2)가 연속적으로 전착작업 및 권출작업을 수행함에 있어서 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 상기 동박(20)의 두께편차가 발생될 수 있다. 이에 따라, 상기 동박(20)에는 상대적으로 두께가 얇은 영역인 제1불균일영역(IA1), 및 상대적으로 두께가 두꺼운 영역인 제2불균일영역(IA2)이 형성될 수 있다. 도 6는 상기 제1불균일영역(IA1) 및 상기 제2불균일영역(IA2)을 모식적으로 도시한 것이다. 도 6에서는 2개의 불균일영역들(IA1, IA2)을 도시하였으나 이는 예시적인 것이며, 상기 동박(20)에는 3개 이상의 불균일영역들이 형성될 수도 있다.First, when the negative electrode part 2 continuously performs electrodeposition and unwinding, a thickness deviation of the copper foil 20 may occur along the width direction (X-axis direction). Accordingly, the copper foil 20 may be formed with a first uneven region IA1 that is a relatively thin region and a second uneven region IA2 that is a relatively thick region. 6 schematically shows the first non-uniform area IA1 and the second non-uniform area IA2. Although FIG. 6 shows two non-uniform regions IA1 and IA2, this is exemplary, and three or more non-uniform regions may be formed in the copper foil 20.

다음, 상기 측정부(4)는 상기 동박(20)의 상기 제1불균일영역(IA1)을 측정할 수 있다. 상기 제1이동전극(51)은 상기 측정부(4)가 측정한 결과를 통해 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제1불균일영역(IA1)에 대응되는 위치로 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제1이동전극(51) 및 상기 제2이동전극(52) 간의 이격거리는 증가될 수 있다. 상기 제1이동전극(51)이 상기 제1불균일영역(IA1)에 대응되는 위치로 이동함에 따라 상기 음극부(2)와 상기 양극부(3) 사이의 통전력(通電力)은 상기 제1불균일영역(IA1)에서 증가될 수 있다. 통전력은 상기 음극부(2)와 상기 양극부(3) 사이에 통전되는 전류의 양을 의미하는 것으로서, 통전력이 높을수록 상기 동박(20)은 빠르게 전착될 수 있다. 이에 따라, 상기 동박(20)은 상기 제2불균일영역(IA2)에 비해 상기 제1불균일영역(IA1)에서 더 빠르게 전착될 수 있도록 구현될 수 있다.Next, the measuring unit 4 may measure the first non-uniform area IA1 of the copper foil 20 . The first movable electrode 51 travels in the width direction (X-axis direction) to a position corresponding to the first non-uniform area IA1 as shown in FIG. 6 through the measurement result of the measurement unit 4. can move along. In this case, the separation distance between the first movable electrode 51 and the second movable electrode 52 may be increased. As the first movable electrode 51 moves to a position corresponding to the first non-uniform area IA1, the energized power between the cathode part 2 and the anode part 3 increases. It can be increased in the non-uniform area IA1. The energizing power refers to the amount of current passed between the cathode part 2 and the anode part 3, and the higher the energizing power, the faster the copper foil 20 can be electrodeposited. Accordingly, the copper foil 20 may be implemented to be more quickly electrodeposited in the first non-uniform area IA1 than in the second non-uniform area IA2.

다음, 상기 측정부(4)는 상기 동박(20)의 상기 제2불균일영역(IA2)을 측정할 수 있다. 상기 제2이동전극(52)은 상기 측정부(4)가 측정한 결과를 통해 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제2불균일영역(IA2)에 대응되는 위치에서 벗어나기 위해 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제2이동전극(52) 및 상기 제1이동전극(51) 간의 이격거리는 증가될 수 있다. 상기 제2이동전극(52)이 상기 제2불균일영역(IA2)에 대응되는 위치에서 벗어남에 따라 상기 음극부(2)와 상기 양극부(3) 사이의 통전력은 상기 제2불균일영역(IA2)에서 감소될 수 있다. 이에 따라, 상기 동박(20)은 상기 제1불균일영역(IA1)에 비해 상기 제2불균일영역(IA2)에서 더 느리게 전착될 수 있도록 구현될 수 있다.Next, the measuring unit 4 may measure the second non-uniform area IA2 of the copper foil 20 . The second movable electrode 52 is moved in the width direction (X-axis direction) to deviate from a position corresponding to the second non-uniform area IA2 as shown in FIG. 6 through the measurement result of the measurement unit 4. ) can be moved along the In this case, the separation distance between the second movable electrode 52 and the first movable electrode 51 may be increased. As the second movable electrode 52 moves away from the position corresponding to the second non-uniform area IA2, the current between the cathode part 2 and the anode part 3 increases. ) can be reduced. Accordingly, the copper foil 20 may be implemented to be electrodeposited more slowly in the second non-uniform area IA2 than in the first non-uniform area IA1.

상기와 같이, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 측정부(4)가 측정한 결과에 따라 상기 제1이동전극(51) 및 상기 제2이동전극(52)이 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 이동함으로써, 상기 제1이동전극(51) 및 상기 제2이동전극(52) 사이의 이격거리가 변경되도록 구현될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 동박(20)의 상기 불균일영역들(IA1, IA2)에서 서로 다른 크기의 통전력이 인가됨으로써, 상기 동박(20)의 두께편차를 감소시키도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 동박(20)의 두께에 대한 균일성을 증대시켜 제조된 동박(20)의 품질을 향상시킬 수 있다.As described above, in the electrodeposited copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention, the first movable electrode 51 and the second movable electrode 52 are formed in the width direction (X The separation distance between the first movable electrode 51 and the second movable electrode 52 may be changed by moving along the axial direction). Accordingly, in the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention, the thickness variation of the copper foil 20 is reduced by applying different amounts of current to the non-uniform regions IA1 and IA2 of the copper foil 20. can be implemented to do so. Therefore, the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention can improve the quality of the manufactured copper foil 20 by increasing the uniformity of the thickness of the copper foil 20 .

상기에서는 상기 이동전극(5)들이 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 이동함으로써, 상기 불균일영역들(IA1, IA2)에 서로 다른 크기의 통전력이 인가되는 것을 설명하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 이동전극(5)들이 두께방향(Y축 방향)을 따라 이동함으로써, 불균일영역들(IA1, IA2)에 서로 다른 크기의 통전력이 인가되도록 구현될 수도 있다. 이를 위해, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 다음과 같이 구현될 수 있다. 상기 두께방향(Y축 방향)은 상기 폭방향(X축 방향)에 대해 수직하면서 상기 음극부(2)와 상기 양극부(3)가 서로 이격된 방향일 수 있다.In the above, it has been described that as the movable electrodes 5 move along the width direction (X-axis direction), energized powers of different magnitudes are applied to the non-uniform areas IA1 and IA2, but one embodiment of the present invention The electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the example may be implemented such that different magnitudes of energizing power are applied to the non-uniform regions IA1 and IA2 by moving the moving electrodes 5 along the thickness direction (Y-axis direction). there is. To this end, the electrodeposited copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention can be implemented as follows. The thickness direction (Y-axis direction) may be a direction in which the cathode part 2 and the anode part 3 are spaced apart from each other while being perpendicular to the width direction (X-axis direction).

본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 전해액을 이용하여 전기도금(電氣鍍金) 방식으로 상기 동박(20)을 전착(電着)시키는 상기 음극부(2), 전해액을 통해 상기 음극부(2)와 통전(通電)되는 상기 양극부(3), 상기 동박(20)의 두께를 측정하는 상기 측정부(4), 상기 음극부(2)와 상기 양극부(3) 사이에 배치된 상기 전원전극(6), 및 상기 전원전극(6)에 상기 동박(20)의 두께방향으로 이동 가능하게 결합된 복수개의 이동전극(5)을 포함한다. 상기 이동전극(5)들은 상기 측정부(4)가 측정한 결과에 따라 상기 음극부(2)와의 이격된 거리가 변경되도록 상기 전원전극(6)에 결합된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 동박(20)의 두께가 상대적으로 얇은 영역에서 상기 이동전극(5)들을 상기 음극부(2)에 가깝게 배치시킴으로써, 상기 동박(20)의 두께에 대한 균일성을 증대시킬 수 있다. 이를 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Electrodeposited copper foil electrodeposition device 1 according to the present invention includes the cathode part 2 for electrodepositing the copper foil 20 in an electroplating method using an electrolyte, and the cathode part 2 through the electrolyte. ) and the anode part 3 that is energized, the measuring part 4 that measures the thickness of the copper foil 20, and the power source disposed between the cathode part 2 and the anode part 3 An electrode 6 and a plurality of movable electrodes 5 movably coupled to the power electrode 6 in the thickness direction of the copper foil 20 are included. The movable electrodes 5 are coupled to the power electrode 6 so that the distance between them and the cathode part 2 is changed according to the measurement result of the measuring part 4 . Accordingly, the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention arranges the moving electrodes 5 close to the cathode part 2 in a region where the thickness of the copper foil 20 is relatively thin, so that the copper foil 20 It is possible to increase the uniformity of the thickness of. This will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

우선, 상기 음극부(2)가 연속적으로 전착작업 및 권출작업을 수행함에 있어서 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 상기 동박(20)의 두께편차가 발생될 수 있다. 이에 따라, 상기 동박(20)에는 상대적으로 두께가 얇은 영역인 제1불균일영역(IA1), 및 상대적으로 두께가 두꺼운 영역인 제2불균일영역(IA2)이 형성될 수 있다. 도 7는 상기 제1불균일영역(IA1) 및 상기 제2불균일영역(IA2)을 모식적으로 도시한 것이다. 도 7에서는 2개의 불균일영역들(IA1, IA2)을 도시하였으나 이는 예시적인 것이며, 상기 동박(20)에는 3개 이상의 불균일영역들이 형성될 수도 있다.First, when the negative electrode part 2 continuously performs electrodeposition and unwinding, a thickness deviation of the copper foil 20 may occur along the width direction (X-axis direction). Accordingly, the copper foil 20 may be formed with a first uneven region IA1 that is a relatively thin region and a second uneven region IA2 that is a relatively thick region. 7 schematically shows the first non-uniform area IA1 and the second non-uniform area IA2. Although FIG. 7 shows two non-uniform regions IA1 and IA2, this is exemplary, and three or more non-uniform regions may be formed in the copper foil 20.

다음, 상기 측정부(4)는 상기 동박(20)의 상기 제1불균일영역(IA1)을 측정할 수 있다. 상기 제1이동전극(51)은 상기 측정부(4)가 측정한 결과를 통해 상기 제1불균일영역(IA1)에 대응되는 위치에서 상기 두께방향(Y축 방향)을 따라 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제1이동전극(51) 및 상기 음극부(2) 간의 이격거리는 감소될 수 있다. 상기 제1이동전극(51)이 상기 음극부(2)와 가깝게 배치되도록 이동함에 따라 상기 음극부(2)와 상기 양극부(3) 사이의 통전력은 상기 제1불균일영역(IA1)에서 증가될 수 있다. 이에 따라, 상기 동박(20)은 상기 제2불균일영역(IA2)에 비해 상기 제1불균일영역(IA1)에서 더 빠르게 전착될 수 있도록 구현될 수 있다.Next, the measuring unit 4 may measure the first non-uniform area IA1 of the copper foil 20 . The first movable electrode 51 may move along the thickness direction (Y-axis direction) from a position corresponding to the first non-uniform area IA1 based on the measurement result of the measuring unit 4 . In this case, the separation distance between the first movable electrode 51 and the cathode part 2 may be reduced. As the first movable electrode 51 is moved to be closer to the cathode part 2, the current between the cathode part 2 and the anode part 3 increases in the first non-uniform region IA1. It can be. Accordingly, the copper foil 20 may be implemented to be more quickly electrodeposited in the first non-uniform area IA1 than in the second non-uniform area IA2.

다음, 상기 측정부(4)는 상기 동박(20)의 상기 제2불균일영역(IA2)을 측정할 수 있다. 상기 제2이동전극(52)은 상기 측정부(4)가 측정한 결과를 통해 상기 제2불균일영역(IA2)에 대응되는 위치에서 상기 두께방향(Y축 방향)을 따라 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제2이동전극(52) 및 상기 음극부(2) 간의 이격거리는 증가될 수 있다. 상기 제2이동전극(52)이 상기 음극부(2)와 멀게 배치되도록 이동함에 따라 상기 음극부(2)와 상기 양극부(3) 사이의 통전력은 상기 제2불균일영역(IA2)에서 감소될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 동박(20)이 상기 제1불균일영역(IA1)에 비해 상기 제2불균일영역(IA2)에서 더 느리게 전착될 수 있게 구현될 수 있다.Next, the measuring unit 4 may measure the second non-uniform area IA2 of the copper foil 20 . The second movable electrode 52 may move along the thickness direction (Y-axis direction) from a position corresponding to the second non-uniform area IA2 based on the measurement result of the measuring unit 4 . In this case, the separation distance between the second movable electrode 52 and the cathode part 2 may be increased. As the second movable electrode 52 is moved to be farther from the cathode part 2, the energized power between the cathode part 2 and the anode part 3 decreases in the second non-uniform region IA2. It can be. Therefore, in the electrodeposited copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention, the copper foil 20 may be electrodeposited more slowly in the second non-uniform area IA2 than in the first non-uniform area IA1.

상기와 같이, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 측정부(4)가 측정한 결과에 따라 상기 제1이동전극(51) 및 상기 제2이동전극(52)이 상기 두께방향(Y축 방향)을 따라 이동함으로써, 상기 이동전극(5)들과 상기 음극부(2) 사이의 이격거리가 변경되도록 구현될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 동박(20)의 상기 불균일영역들(IA1, IA2)에 서로 다른 크기의 통전력을 인가시킴으로써, 상기 동박(20)의 두께편차를 감소시키도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 동박(20)의 두께에 대한 균일성을 증대시켜 제조된 동박의 품질을 향상시킬 수 있다.As described above, in the electrodeposited copper foil electrodeposition device 1 according to the present invention, the first movable electrode 51 and the second movable electrode 52 are formed in the thickness direction (Y) according to the measurement result of the measuring unit 4 A separation distance between the movable electrodes 5 and the cathode part 2 may be changed by moving along the axial direction). Accordingly, the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention reduces the thickness variation of the copper foil 20 by applying different amounts of current to the non-uniform regions IA1 and IA2 of the copper foil 20. can be implemented to do so. Therefore, the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention can increase the uniformity of the thickness of the copper foil 20 to improve the quality of the manufactured copper foil.

이하에서는 상기 음극부(2), 상기 양극부(3), 상기 측정부(4), 상기 이동전극(5)들, 및 상기 전원전극(6)에 관해, 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the cathode part 2, the anode part 3, the measurement part 4, the movable electrodes 5, and the power electrode 6 will be described in detail with reference to the accompanying drawings. do.

도 2 내지 도 7을 참고하면, 상기 음극부(2)는 전해액을 이용하여 전기도금 방식으로 상기 동박(20)을 전착시키는 것이다. 상기 음극부(2)는 상기 동박(20)을 전착시키는 전착작업을 수행하기 위해 음극(陰極)으로 기능할 수 있다. 상기 음극부(2)는 상기 양극부(3)와 통전될 수 있다. 상기 음극부(2)가 상기 양극부(3)와 통전되어 전류가 흐르면, 전해액에 용해된 동 이온은 상기 음극부(2)에서 환원될 수 있다. 이에 따라, 상기 음극부(2)의 표면에는 상기 동박(20)이 전착될 수 있다. 상기 음극부(2)는 상기 이동전극(5)들과 통전될 수도 있다. 상기 음극부(2)가 상기 이동전극(5)들과 통전되어 전류가 흐르면, 전해액에 용해된 동 이온은 상기 음극부(2)에서 환원될 수 있다. 이에 따라, 상기 음극부(2)의 표면에는 상기 동박(20)이 전착될 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 7 , the cathode part 2 is electrodeposited on the copper foil 20 by electroplating using an electrolyte. The negative electrode part 2 may function as a negative electrode to perform an electrodeposition operation of electrodepositing the copper foil 20 . The negative electrode part 2 may be electrically connected to the positive electrode part 3 . When the cathode part 2 is energized with the anode part 3 and current flows, the copper ions dissolved in the electrolyte may be reduced in the cathode part 2 . Accordingly, the copper foil 20 may be electrodeposited on the surface of the cathode part 2 . The cathode part 2 may be electrically connected to the movable electrodes 5 . When the cathode part 2 is energized with the mobile electrodes 5 and current flows, the copper ions dissolved in the electrolyte may be reduced in the cathode part 2 . Accordingly, the copper foil 20 may be electrodeposited on the surface of the cathode part 2 .

상기 음극부(2)는 음극축(21)을 중심으로 회전될 수 있다. 상기 음극부(2)는 상기 양극부(3)와 통전되어 전류가 흐르는 상태에서 상기 음극축(21)을 중심으로 회전함에 따라, 표면에 상기 동박(20)을 전착시키는 전착작업과 전착된 상기 동박(20)을 표면으로부터 이탈시키는 권출(捲出)작업을 연속적으로 수행할 수 있다. 상기 음극부(2)는 상기 양극부(3)에 대해 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽에 배치될 수 있다. 상기 음극부(2)는 전체적으로 드럼(Drum) 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며, 회전되면서 전착작업과 권출작업을 연속적으로 수행할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.The cathode part 2 may be rotated about the cathode shaft 21 . As the cathode part 2 is energized with the anode part 3 and rotates around the cathode shaft 21 in a state where current flows, the electrodeposition work of electrodepositing the copper foil 20 on the surface and the electrodeposition of the electrodeposited An unwinding operation of separating the copper foil 20 from the surface can be continuously performed. The negative electrode part 2 may be disposed in an upward direction (direction of arrow UD) with respect to the positive electrode part 3 . The cathode part 2 may be formed in a drum shape as a whole, but is not limited thereto, and may be formed in other shapes as long as it can continuously perform electrodeposition and unwinding operations while being rotated.

도 2 내지 도 7을 참고하면, 상기 양극부(3)는 상기 동박(20)을 전착시키는 전착작업을 수행하기 위해 양극(陽極)으로 기능하는 것이다. 상기 양극부(3)는 상기 음극부(2)에 대해 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽에 배치될 수 있다. 상기 양극부(3)는 상기 음극부(2)의 표면으로부터 이격되도록 상기 음극부(2)에 대해 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽에 배치될 수 있다. 상기 양극부(3)는 상기 음극부(2)의 표면 중 적어도 일부분과 대략적으로 동일한 형태로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 음극부(2)가 원형의 장방체 형태로 형성된 경우, 상기 양극부(3)는 반원의 장방체 형태로 형성될 수 있다. 상기 양극부(3)에는 상기 전원전극(6)이 결합될 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 7 , the anode part 3 functions as an anode to perform an electrodeposition operation of electrodepositing the copper foil 20 . The anode part 3 may be disposed in a lower direction (DD arrow direction) with respect to the cathode part 2 . The anode part 3 may be disposed in a lower direction (DD arrow direction) with respect to the cathode part 2 so as to be spaced apart from the surface of the cathode part 2 . The anode part 3 may be formed in substantially the same shape as at least a portion of the surface of the cathode part 2 . For example, when the negative electrode part 2 is formed in a circular rectangular shape, the positive electrode part 3 may be formed in a semicircular rectangular shape. The power electrode 6 may be coupled to the anode part 3 .

상기 양극부(3)에는 전해액공급슬릿(31, 도 3에 도시됨)이 형성될 수 있다. 상기 전해액공급슬릿(31)은 전해액이 통과하기 위한 것이다. 상기 전해액공급슬릿(31)은 상기 양극부(3)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 전해액공급슬릿(31)을 통해, 전해액은 상기 음극부(2) 및 상기 양극부(3)의 사이로 공급될 수 있다. 상기 전해액공급슬릿(31)은 폭방향(X축 방향)을 따라 상기 양극부(3)에 형성될 수 있다.An electrolyte supply slit 31 (shown in FIG. 3) may be formed in the anode part 3. The electrolyte supply slit 31 is for passing the electrolyte. The electrolyte supply slit 31 may be formed through the anode part 3 . Electrolyte may be supplied between the cathode part 2 and the anode part 3 through the electrolyte supply slit 31 . The electrolyte supply slit 31 may be formed in the anode part 3 along the width direction (X-axis direction).

도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 전해액공급부(3A)를 포함할 수 있다. 상기 전해액공급부(3A)는 상기 전해액공급슬릿(31)을 통해 상기 음극부(2) 및 상기 양극부(3) 사이에 전해액을 공급할 수 있다. 상기 전해액공급부(3A)는 상기 전해액공급슬릿(31)에 대해 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽에 위치할 수 있다. 이 경우, 전해액은 상기 전해액공급부(3A)로부터 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽으로 유동되어 상기 전해액공급슬릿(31)을 통과할 수 있다.Referring to FIG. 3 , the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention may include an electrolyte supply unit 3A. The electrolyte supply unit 3A may supply electrolyte between the cathode unit 2 and the anode unit 3 through the electrolyte supply slit 31 . The electrolyte supply unit 3A may be located in the lower direction (DD arrow direction) with respect to the electrolyte supply slit 31 . In this case, the electrolyte may flow from the electrolyte supply part 3A toward the upper side (direction of arrow UD) and pass through the electrolyte supply slit 31 .

도 6 및 도 7을 참고하면, 상기 측정부(4)는 상기 동박(20)의 두께를 측정하는 것이다. 상기 동박(20)의 두께는 상기 두께방향(Y축 방향)을 기준으로 하는 상기 동박(20)의 길이일 수 있다. 상기 측정부(4)는 상기 동박의 불균일영역들(IA1, IA2)에 관한 정보를 측정할 수 있다. 상기 측정부(4)는 상기 불균일영역들(IA1, IA2)에 관한 정보를 상기 이동전극(5)들에 제공할 수 있다. 상기 측정부(4)는 상기 음극부(2)에 결합될 수 있다. 상기 측정부(4)는 상기 양극부(3)에 결합될 수도 있다.Referring to FIGS. 6 and 7 , the measuring unit 4 measures the thickness of the copper foil 20 . The thickness of the copper foil 20 may be the length of the copper foil 20 based on the thickness direction (Y-axis direction). The measuring unit 4 may measure information about the non-uniform areas IA1 and IA2 of the copper foil. The measuring unit 4 may provide information about the non-uniform areas IA1 and IA2 to the movable electrodes 5 . The measurement unit 4 may be coupled to the cathode unit 2 . The measurement unit 4 may be coupled to the anode unit 3 .

도 3 내지 도 9를 참고하면, 상기 이동전극(5)들은 상기 전원전극(6)에 결합된 것이다. 상기 이동전극(5)들은 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 이동 가능하게 상기 전원전극(6)에 결합될 수 있다. 상기 이동전극(5)들은 상기 두께방향(Y축 방향)을 따라 이동 가능하게 상기 전원전극(6)에 결합될 수도 있다. 상기 이동전극(5)들 각각은 전체적으로 다공전극으로 구현될 수 있다.Referring to FIGS. 3 to 9 , the movable electrodes 5 are coupled to the power electrode 6 . The movable electrodes 5 may be coupled to the power electrode 6 to be movable along the width direction (X-axis direction). The movable electrodes 5 may be coupled to the power electrode 6 to be movable along the thickness direction (Y-axis direction). Each of the movable electrodes 5 may be implemented as a porous electrode as a whole.

상기 이동전극(5)들 각각은 직사각형 형태의 수평단면을 갖는 직방체 형태로 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 이동전극(5)들은 각각 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 상기 두께방향(Y축 방향)에 비해 상기 폭방향(X축 방향)으로 더 긴 길이를 갖는 직사각형 형태로 형성될 수 있다.Each of the movable electrodes 5 may be formed in a rectangular parallelepiped shape having a rectangular horizontal cross section. In this case, the movable electrodes 5 are formed in a rectangular shape having a longer length in the width direction (X-axis direction) than in the thickness direction (Y-axis direction), as shown in FIGS. 5 and 6, respectively. can

도 6 및 도 7을 참고하면, 상기 이동전극(5)들 중에서 상기 제1이동전극(51)은 상기 전원전극(6)에 결합된 것이다. 상기 제1이동전극(51)은 상기 이동전극(5)들 중에 포함된 어느 하나의 전극일 수 있다. 상기 제1이동전극(51)은 상기 측정부(4)가 측정한 결과에 따라 상기 제2이동전극(52)으로부터 이격된 거리가 변경되도록 상기 전원전극(6)에 결합될 수 있다. 상기 제1이동전극(51)은 상기 불균일영역들(IA1, IA2)에 관한 정보를 제공받음에 따라 상기 폭방향(X축 방향) 및 상기 두께방향(Y축 방향) 각각으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 불균일영역들(IA1, IA2)에 서로 다른 크기의 통전력을 인가시킴으로써, 상기 동박(20)의 두께편차를 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 동박(20)의 두께에 대한 균일성을 향상시킬 수 있다. 상기 제1이동전극(51)은 이동기구(미도시)에 의해 상기 폭방향(X축 방향) 및 상기 두께방향(Y축 방향) 각각을 따라 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 이동기구는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터방식 등을 이용하여 상기 제1이동전극(51)을 이동시킬 수 있다.Referring to FIGS. 6 and 7 , among the movable electrodes 5 , the first movable electrode 51 is coupled to the power supply electrode 6 . The first movable electrode 51 may be any one electrode included in the movable electrodes 5 . The first movable electrode 51 may be coupled to the power supply electrode 6 such that the distance separated from the second movable electrode 52 is changed according to the measurement result of the measuring unit 4 . The first movable electrode 51 may move in the width direction (X-axis direction) and the thickness direction (Y-axis direction), respectively, as information on the non-uniform areas IA1 and IA2 is provided. Accordingly, the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention can reduce the thickness variation of the copper foil 20 by applying different magnitudes of energizing power to the non-uniform regions IA1 and IA2. Therefore, the electrodeposited copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention can improve the uniformity of the thickness of the copper foil 20 . The first movable electrode 51 may move along the width direction (X-axis direction) and the thickness direction (Y-axis direction), respectively, by a moving mechanism (not shown). In this case, the moving mechanism is a method using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw method using a motor and a ball screw, a gear method using a motor, a rack gear, and a pinion gear, and a belt method using a motor, a pulley, and a belt. , The first movable electrode 51 may be moved using a linear motor method using a coil and a permanent magnet.

도 8을 참고하면, 상기 제1이동전극(51)은 이동전극본체(510), 및 이동절연부재(511)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8 , the first movable electrode 51 may include a movable electrode body 510 and a movable insulating member 511 .

상기 이동전극본체(510)는 상기 전원전극(6)과 전기적으로 연결된 것이다. 상기 이동전극본체(510)가 상기 전원전극(6)과 전기적으로 연결됨에 따라, 상기 이동전극본체(510)에는 전원이 인가될 수 있다. 이에 따라, 상기 이동전극본체(510)는 전해액을 통해 상기 음극부(2)와 통전될 수 있다. 상기 이동전극본체(510)는 상기 제1이동전극(51)의 본체로서 기능할 수 있다.The movable electrode body 510 is electrically connected to the power electrode 6 . As the movable electrode body 510 is electrically connected to the power electrode 6, power may be applied to the movable electrode body 510. Accordingly, the movable electrode body 510 may be energized with the cathode part 2 through the electrolyte solution. The movable electrode body 510 may function as a body of the first movable electrode 51 .

상기 이동전극본체(510)에는 유동공(미도시)이 형성될 수 있다. 상기 유동공은 상기 두께방향(Y축 방향)을 따라 상기 이동전극본체(510)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 유동공을 통해 전해액은 상기 이동전극본체(510)의 내부를 유동할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 이동전극본체(510)가 전해액과 접촉되는 면적을 증대시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 이동전극(5)의 면적증대를 통해 더 높은 전류를 인가할 수 있으므로, 생산성 향상에 기여할 수 있다.A flow hole (not shown) may be formed in the movable electrode body 510 . The flow hole may be formed through the movable electrode body 510 along the thickness direction (Y-axis direction). Electrolyte may flow inside the movable electrode body 510 through the flow hole. Accordingly, in the electrodeposited copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention, the contact area of the movable electrode body 510 with the electrolyte solution can be increased. Therefore, since the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention can apply a higher current through the increase in the area of the movable electrode 5, it can contribute to productivity improvement.

상기 이동절연부재(511)는 상기 이동전극본체(510)에 결합된 것이다. 상기 이동절연부재(511)는 상기 이동전극(5)들 간에 전기적 단락(Short Circuit)을 방지하기 위해 상기 이동전극본체(510)의 외면(外面)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 전기적 단락으로 인한 상기 이동전극(5)들의 손상 가능성을 감소시킴으로써, 상기 이동전극(5)들의 교체주기를 증대시킴과 아울러 상기 이동전극(5)들의 유지보수비용을 감소시킬 수 있다. 상기 이동절연부재(511)는 절연성(絶緣性)을 갖는 재질로 형성될 수 있다. 상기 이동절연부재(511)는 상기 이동전극본체(510)의 일부에 결합될 수 있다. 상기 이동절연부재(511)는 상기 폭방향(X축 방향)을 기준으로 상기 이동전극본체(510)의 양면, 상기 양면에 연결된 상기 이동전극본체(510)의 상면, 및 상기 양면에 연결된 상기 이동전극본체(510)의 하면에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 음극부(2)를 향하는 이동전극본체(510)의 전면(前面)에는 상기 이동절연부재(511)가 위치하지 않을 수 있다. 상기 이동전극본체(510)의 후면(後面)에도 상기 이동절연부재(511)가 위치하지 않을 수 있다. 상기 이동전극본체(510)의 후면 및 상기 이동전극본체(510)의 전면(前面)은 서로 반대쪽을 향하는 면이다.The movable insulating member 511 is coupled to the movable electrode body 510 . The movable insulating member 511 may be coupled to an outer surface of the movable electrode body 510 to prevent an electrical short circuit between the movable electrodes 5 . Accordingly, the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention reduces the possibility of damage to the movable electrodes 5 due to an electrical short, thereby increasing the replacement cycle of the movable electrodes 5 and the movable electrodes 5 ) can reduce maintenance costs. The movable insulating member 511 may be formed of a material having insulating properties. The movable insulating member 511 may be coupled to a part of the movable electrode body 510 . The movable insulating member 511 includes both sides of the movable electrode body 510, an upper surface of the movable electrode body 510 connected to both sides, and the movable insulating member 511 connected to both sides in the width direction (X-axis direction). It may be coupled to the lower surface of the electrode body 510. In this case, the movable insulating member 511 may not be positioned on the front surface of the movable electrode body 510 toward the cathode part 2 . The movable insulating member 511 may not be located on the rear surface of the movable electrode body 510 as well. The rear surface of the movable electrode body 510 and the front surface of the movable electrode body 510 face opposite to each other.

상기 이동전극(5)들 중에서 상기 제2이동전극(52)은 상기 전원전극(6)에 결합된 것이다. 상기 제2이동전극(52)은 상기 이동전극(5)들 중에 포함된 어느 하나의 전극일 수 있다. 상기 제2이동전극(52)은 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 상기 제1이동전극(51)로부터 이격된 위치에 배치될 수 있다. 상기 제2이동전극(52)은 상기 측정부(4)가 측정한 결과에 따라 상기 제1이동전극(51)로부터 이격된 거리가 변경되도록 상기 전원전극(6)에 결합될 수 있다. 상기 제2이동전극(52)은 상기 제1이동전극(51)과 대략적으로 동일하게 구현되므로, 구체적인 설명은 생략한다.Among the movable electrodes 5, the second movable electrode 52 is coupled to the power supply electrode 6. The second movable electrode 52 may be any one electrode included among the movable electrodes 5 . The second movable electrode 52 may be disposed at a position spaced apart from the first movable electrode 51 along the width direction (X-axis direction). The second movable electrode 52 may be coupled to the power supply electrode 6 such that a distance separated from the first movable electrode 51 is changed according to the measurement result of the measuring unit 4 . Since the second movable electrode 52 is implemented substantially the same as the first movable electrode 51, a detailed description thereof will be omitted.

상기에서는 상기 이동전극(5) 중에서 두개의 이동전극들(51, 52)을 기준으로 설명하였으나 이는 설명의 편의를 위한 것이며, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 3개 이상의 이동전극들을 포함할 수 있다. 상기 이동전극(5)들은 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 상기 이동전극(5)들 각각은 상술한 상기 제1이동전극(51)과 대략 동일하게 구현될 수 있으므로, 구체적인 설명은 생략한다. 상기 이동전극(5)들의 일부 전극들은 상기 폭방향(X축 방향) 및 상기 두께방향(Y축 방향)으로 이동하도록 상기 전원전극(6)에 결합될 수 있고, 상기 이동전극(5)들의 일부 전극들은 상기 전원전극(6)에 고정되게 결합될 수도 있다.In the above, the two movable electrodes 51 and 52 among the movable electrodes 5 have been described, but this is for convenience of explanation, and the electrodeposited copper foil electrodeposition device 1 according to the present invention includes three or more movable electrodes. can do. The movable electrodes 5 may be arranged to be spaced apart from each other along the width direction (X-axis direction). Since each of the movable electrodes 5 may be implemented substantially the same as the above-described first movable electrode 51, a detailed description thereof will be omitted. Some electrodes of the movable electrodes 5 may be coupled to the power electrode 6 to move in the width direction (X-axis direction) and the thickness direction (Y-axis direction), and some of the movable electrodes 5 The electrodes may be fixedly coupled to the power electrode 6.

도 2 및 도 8을 참고하면, 상기 전원전극(6)은 상기 음극부(2)와 상기 양극부(3) 사이에 배치된 것이다. 상기 전원전극(6)은 상기 양극부(3)의 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽에 배치될 수 있다. 상기 전원전극(6)은 상기 양극부(3)에 결합될 수 있다. 상기 전원전극(6)은 상기 양극부(3)에 의해 지지될 수 있다. 상기 전원전극(6)에는 상기 이동전극(5)들이 결합될 수 있다. 상기 전원전극(6)은 전체적으로 직방체 형태로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않으며, 상기 음극부(2)와 상기 양극부(3) 사이에 배치될 수 있는한 원통 형태 등 다른 형태로 형성될 수도 있다.Referring to FIGS. 2 and 8 , the power electrode 6 is disposed between the cathode part 2 and the anode part 3 . The power electrode 6 may be disposed in an upper direction (direction of arrow UD) of the anode part 3 . The power electrode 6 may be coupled to the anode part 3 . The power electrode 6 may be supported by the anode part 3 . The mobile electrodes 5 may be coupled to the power electrode 6 . The power electrode 6 may be formed in a rectangular parallelepiped shape as a whole, but is not limited thereto, and may be formed in other shapes such as a cylindrical shape as long as it can be disposed between the cathode part 2 and the anode part 3. .

도 8을 참고하면, 상기 전원전극(6)은 전원전극부재(61), 및 전원절연부재(62)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8 , the power electrode 6 may include a power electrode member 61 and a power insulating member 62 .

상기 전원전극부재(61)는 상기 양극부(3)에 전기적으로 연결된 것이다. 상기 전원전극부재(61)는 상기 전원절연부재(62)를 통해 상기 양극부(3)에 결합될 수 있다. 상기 전원전극부재(61)는 일측이 상기 양극부(3)에 결합됨과 아울러, 타측이 전원장치(미도시)에 연결될 수 있다. 상기 전원장치는 상기 음극부(2), 상기 양극부(3), 및 상기 전원전극부재(61)에 전원을 공급하는 것이다. 상기 양극부(3)는 상기 전원전극부재(61)를 통해 상기 전원장치에 전기적으로 연결될 수 있다.The power electrode member 61 is electrically connected to the anode part 3 . The power electrode member 61 may be coupled to the anode part 3 through the power insulating member 62 . One side of the power electrode member 61 may be coupled to the anode part 3 and the other side may be connected to a power supply device (not shown). The power supply supplies power to the cathode part 2, the anode part 3, and the power electrode member 61. The anode part 3 may be electrically connected to the power supply device through the power electrode member 61 .

상기 전원절연부재(62)는 상기 전원전극부재(61)에 결합된 것이다. 상기 전원절연부재(62)는 상기 양극부(3) 및 상기 전원전극부재(61) 간의 전기적 단락을 방지하기 위해 상기 전원전극부재(61)의 외면에 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 전기적 단락으로 인한 상기 전원전극(6)의 손상 가능성을 감소시킴으로써, 상기 전원전극(6)의 교체주기를 증대시킴과 아울러 상기 전원전극(6)의 유지보수비용을 감소시킬 수 있다. 상기 전원절연부재(62)는 상기 전원전극부재(61)의 일부에 결합될 수 있다. 상기 전원절연부재(62)는 절연성을 갖는 재질로 형성될 수 있다.The power insulating member 62 is coupled to the power electrode member 61. The power insulating member 62 may be coupled to an outer surface of the power electrode member 61 to prevent an electrical short between the anode part 3 and the power electrode member 61 . Accordingly, the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention reduces the possibility of damage to the power electrode 6 due to an electrical short, thereby increasing the replacement cycle of the power electrode 6 and the power electrode 6 ) can reduce maintenance costs. The power insulating member 62 may be coupled to a part of the power electrode member 61 . The power insulating member 62 may be formed of an insulating material.

도 9를 참고하면, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 이동전극(5)들이 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 직선으로 이동하도록 구현될 수 있다. 이를 위해, 상기 제1이동전극(51) 및 상기 전원전극(6)은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 9 , in the electrodeposited copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention, the moving electrodes 5 may move in a straight line along the width direction (X-axis direction). To this end, the first movable electrode 51 and the power electrode 6 may include the following configurations.

상기 제1이동전극(51)은 폭가이드부재(512)를 포함할 수 있다.The first movable electrode 51 may include a width guide member 512 .

상기 폭가이드부재(512)는 상기 이동전극본체(510)와 함께 이동하는 것이다. 상기 폭가이드부재(512)는 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 상기 이동전극본체(510)와 함께 이동할 수 있다. 상기 폭가이드부재(512)는 상기 이동전극본체(510)에 결합될 수 있다. 상기 폭가이드부재(512)는 상기 이동전극본체(510)와 일체로 형성될 수도 있다. 상기 폭가이드부재(512)는 상기 이동전극본체(510)의 하측방향(DD 화살표 방향)에 결합될 수 있다.The width guide member 512 moves together with the movable electrode body 510 . The width guide member 512 may move together with the movable electrode body 510 along the width direction (X-axis direction). The width guide member 512 may be coupled to the movable electrode body 510 . The width guide member 512 may be integrally formed with the movable electrode body 510 . The width guide member 512 may be coupled to the lower direction (DD arrow direction) of the movable electrode body 510 .

상기 제1이동전극(51)이 상기 폭가이드부재(512)를 포함할 경우, 상기 전원전극(6)은 폭가이드홈(63)을 포함할 수 있다.When the first movable electrode 51 includes the width guide member 512 , the power electrode 6 may include a width guide groove 63 .

상기 폭가이드홈(63)은 상기 폭가이드부재(512)가 삽입되는 것이다. 상기 폭가이드부재(512)는 상기 폭가이드홈(63)에 삽입된 채로 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 이동할 수 있다. 상기 폭가이드홈(63)은 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 연장되어 형성될 수 있다. 상기 폭가이드홈(63)은 상기 폭가이드부재(512)에 대응되는 형태로 형성될 수 있다. 상기 폭가이드홈(63)은 상기 전원절연부재(62)의 상면에서 소정 깊이 홈을 가공하는 작업으로 형성될 수 있다. 상기 폭가이드홈(63)은 상기 전원전극부재(61)의 상면에서 소정 깊이 홈을 가공하는 작업으로 형성될 수도 있다.The width guide groove 63 is into which the width guide member 512 is inserted. The width guide member 512 may move along the width direction (X-axis direction) while being inserted into the width guide groove 63 . The width guide groove 63 may be formed to extend along the width direction (X-axis direction). The width guide groove 63 may be formed in a shape corresponding to the width guide member 512 . The width guide groove 63 may be formed by processing a groove of a predetermined depth on the upper surface of the power insulating member 62 . The width guide groove 63 may be formed by processing a groove of a predetermined depth on the upper surface of the power electrode member 61 .

상기 폭가이드홈(63)은 상기 이동전극본체(510)가 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 직선으로 이동하도록 상기 폭가이드부재(512)를 가이드 할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 폭방향(X축 방향)을 기준으로 상기 이동전극본체(510)를 상기 불균일영역들에 위치시키는 작업에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.The width guide groove 63 may guide the width guide member 512 so that the movable electrode body 510 moves in a straight line along the width direction (X-axis direction). Therefore, the electrodeposited copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention can improve the accuracy of positioning the movable electrode body 510 in the non-uniform areas based on the width direction (X-axis direction).

상기에서는 상기 이동전극(5)들이 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 직선으로 이동하는 것을 기준으로 설명하였으나, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 이동전극(5)들이 상기 두께방향(Y축 방향)을 따라 직선으로 이동하도록 구현될 수도 있다. 이를 위해, 상기 제1이동전극(51) 및 상기 전원전극(6)은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.In the above, the moving electrodes 5 have been described based on moving in a straight line along the width direction (X-axis direction), but in the electrodeposited copper foil electrodeposition device 1 according to the present invention, the moving electrodes 5 move in the thickness direction. It may be implemented to move in a straight line along (Y-axis direction). To this end, the first movable electrode 51 and the power electrode 6 may include the following configurations.

상기 제1이동전극(51)은 두께가이드부재를 포함할 수 있다.The first movable electrode 51 may include a thickness guide member.

상기 두께가이드부재는 상기 이동전극본체(510)와 함께 이동하는 것이다. 상기 두께가이드부재는 상기 두께방향(Y축 방향)을 따라 상기 이동전극본체(510)와 함께 이동할 수 있다. 상기 두께가이드부재는 상기 이동전극본체(510)에 결합될 수 있다. 상기 두께가이드부재는 상기 이동전극본체(510)와 일체로 형성될 수도 있다. 상기 두께가이드부재는 상기 이동전극(5)의 하측방향(DD 화살표 방향)에 결합될 수 있다.The thickness guide member moves together with the movable electrode body 510 . The thickness guide member may move together with the movable electrode body 510 along the thickness direction (Y-axis direction). The thickness guide member may be coupled to the movable electrode body 510 . The thickness guide member may be integrally formed with the movable electrode body 510 . The thickness guide member may be coupled to the lower direction (direction of arrow DD) of the movable electrode 5 .

상기 제1이동전극(51)이 상기 두께가이드부재를 포함할 경우, 상기 전원전극(6)은 두께가이드홈을 포함할 수 있다.When the first movable electrode 51 includes the thickness guide member, the power electrode 6 may include a thickness guide groove.

상기 두께가이드홈은 상기 두께가이드부재가 삽입되는 것이다. 상기 두께가이드부재는 상기 두께가이드홈에 삽입된 상태로 상기 두께방향(Y축 방향)을 따라 이동할 수 있다. 상기 두께가이드홈은 상기 두께방향(Y축 방향)을 따라 연장되어 형성될 수 있다. 상기 두께가이드홈은 상기 두께가이드부재에 대응되는 형태로 형성될 수 있다. 상기 두께가이드홈은 상기 전원절연부재(62)의 상면에서 소정 깊이 홈을 가공하는 작업으로 형성될 수 있다. 상기 두께가이드홈은 상기 전원전극부재(61)의 상면에서 소정 깊이 홈을 가공하는 작업으로 형성될 수도 있다.The thickness guide groove is to be inserted into the thickness guide member. The thickness guide member may move along the thickness direction (Y-axis direction) while being inserted into the thickness guide groove. The thickness guide groove may be formed to extend along the thickness direction (Y-axis direction). The thickness guide groove may be formed in a shape corresponding to the thickness guide member. The thickness guide groove may be formed by processing a groove of a predetermined depth on the upper surface of the power insulating member 62 . The thickness guide groove may be formed by processing a groove of a predetermined depth on the upper surface of the power electrode member 61 .

상기 두께가이드홈은 상기 이동전극본체(510)가 상기 두께방향(Y축 방향)을 따라 직선으로 이동하도록 상기 두께가이드부재를 가이드 할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 두께방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 이동전극본체(510)를 상기 불균일영역들에 위치시키는 작업에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다. 도 9에서는 상기 폭가이드홈(63)이 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 연장되어 형성된 것을 도시하였으나 이는 상기 폭가이드부재(512)가 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 직선으로 이동하는 것을 설명하기 위해 도시한 것이며, 상기 두께가이드부재가 상기 두께방향(Y축 방향)을 따라 직선으로 이동하기 위해 도 9을 기준으로 하여 두께가이드홈은 상기 두께방향(Y축 방향)으로 연장되어 형성될 수 있다.The thickness guide groove may guide the thickness guide member so that the movable electrode body 510 moves in a straight line along the thickness direction (Y-axis direction). Therefore, the electrodeposited copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention can improve the accuracy of positioning the movable electrode body 510 in the non-uniform areas based on the thickness direction (Y-axis direction). 9 shows that the width guide groove 63 is formed to extend along the width direction (X-axis direction), but this is because the width guide member 512 moves in a straight line along the width direction (X-axis direction). It is shown to explain that, with reference to FIG. 9 in order for the thickness guide member to move in a straight line along the thickness direction (Y-axis direction), the thickness guide groove is formed by extending in the thickness direction (Y-axis direction) It can be.

도 4 및 도 8을 참고하면, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 제한부(7)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 4 and 8 , the electrodeposited copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention may include a limiting portion 7 .

상기 제한부(7)는 상기 전원전극(6)에 결합된 것이다. 상기 제한부(7)는 상기 이동전극(5)들의 이동을 제한하기 위한 것이다. 상기 제한부(7)는 상기 이동전극(5)의 이동을 제한하기 위한 스토퍼(Stopper)로 기능할 수 있다. 상기 제한부(7)는 상기 전원전극(6)으로부터 돌출될 수 있다. 상기 제한부(7)는 전체적으로 직방체 형태로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않으며, 상기 이동전극(5)들의 이동을 제한할 수 있는 한 원통 형태로 형성될 수도 있다.The limiting part 7 is coupled to the power electrode 6. The limiting part 7 is for limiting the movement of the movable electrodes 5 . The limiting part 7 may function as a stopper for limiting the movement of the movable electrode 5 . The limiting portion 7 may protrude from the power electrode 6 . The limiting portion 7 may be formed in a rectangular parallelepiped shape as a whole, but is not limited thereto, and may be formed in a cylindrical shape as long as it can restrict the movement of the movable electrodes 5 .

상기 제한부(7)는 폭제한부재(71)를 포함할 수 있다.The limiting part 7 may include a width limiting member 71 .

상기 폭제한부재(71)는 상기 이동전극(5)들이 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 이동하는 것을 제한하기 위한 것이다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 폭제한부재(71)를 통하여 상기 이동전극(5)들이 서로 충돌함에 따른 상기 이동전극(5)들의 손상가능성을 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 이동전극(5)들의 유지보수비용을 감소시킬 수 있다.The width limiting member 71 is for limiting the movement of the movable electrodes 5 along the width direction (X-axis direction). Accordingly, the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention can reduce the possibility of damage to the movable electrodes 5 due to collision between the movable electrodes 5 through the width limiting member 71 . Therefore, the electrodeposited copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention can reduce the maintenance cost of the moving electrodes 5.

상기 제한부(7)는 복수개의 폭제한부재(71)를 포함할 수 있다. 이 경우, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 폭제한부재(71)들은 상기 폭방향(X축 방향)을 기준으로 하여 상기 이동전극(5)의 양측에 배치될 수 있다. 상기 폭제한부재(71)들은 상기 폭방향(X축 방향)을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다.The limiting part 7 may include a plurality of width limiting members 71 . In this case, as shown in FIG. 8 , the width limiting members 71 may be disposed on both sides of the movable electrode 5 based on the width direction (X-axis direction). The width limiting members 71 may be arranged to be spaced apart from each other along the width direction (X-axis direction).

상기 제한부(7)는 두께제한부재(72)를 포함할 수 있다.The limiting part 7 may include a thickness limiting member 72 .

상기 두께제한부재(72)는 상기 이동전극(5)들이 상기 두께방향(Y축 방향)을 따라 이동하는 것을 제한하기 위한 것이다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 두께방향(Y축 방향)을 기준으로 하여 상기 이동전극(5)들이 상기 음극부(2) 및 상기 양극부(3)와 충돌함에 따른 상기 이동전극(5)들의 손상가능성을 감소시킬 수 있다.The thickness limiting member 72 is for limiting the movement of the movable electrodes 5 along the thickness direction (Y-axis direction). Accordingly, in the electrodeposited copper foil electrodeposition device 1 according to the present invention, the moving electrodes 5 collide with the cathode part 2 and the anode part 3 based on the thickness direction (Y-axis direction). The possibility of damage to the movable electrodes 5 can be reduced.

상기 제한부(7)는 복수개의 두께제한부재(72)를 포함할 수 있다. 이 경우, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 두께제한부재(72)들은 상기 두께방향(Y축 방향)을 기준으로 하여 상기 이동전극(5)의 양측에 배치될 수 있다.The limiting part 7 may include a plurality of thickness limiting members 72 . In this case, as shown in FIG. 4 , the thickness limiting members 72 may be disposed on both sides of the movable electrode 5 based on the thickness direction (Y-axis direction).

도 10 및 도 11을 참고하면, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 댐(8)을 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 10 and 11 , the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention may include a dam 8.

상기 댐(8)은 상기 이동전극(5)들을 도금액에 침지(浸漬)시키기 위한 것이다. 상기 댐(8)은 상기 이동전극(5)들에 비해 상기 상측방향(UD 화살표 방향)으로 돌출되도록 높게 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 이동전극(5)들이 도금액에 침지되므로, 전착작업의 용이성을 향상시킬 수 있다. 상기 댐(8)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여 상기 이동전극(5)들과 이격되게 배치될 수 있다. 상기 댐(8)은 상기 양극부(3)에 결합될 수 있다. 상기 댐(8)은 상기 양극부(3)와 일체로 형성될 수도 있다, 상기 댐(8)은 전체적으로 직방체 형태로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고, 상기 이동전극(5)들을 도금액에 침지시킬 수 있는 한 원형체 등 다른 형태로 형성될 수도 있다.The dam 8 is for immersing the movable electrodes 5 in a plating solution. The dam 8 may be formed higher than the movable electrodes 5 so as to protrude in the upward direction (direction of arrow UD). Accordingly, in the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention, since the moving electrodes 5 are immersed in a plating solution, the ease of electrodeposition work can be improved. The dam 8 may be disposed to be spaced apart from the movable electrodes 5 based on the first axial direction (X-axis direction). The dam 8 may be coupled to the anode part 3 . The dam 8 may be integrally formed with the anode part 3, the dam 8 may be formed in a rectangular parallelepiped shape as a whole, but is not limited thereto, and the movable electrodes 5 may be immersed in a plating solution. As long as possible, it may be formed in other shapes such as a circular shape.

도 12 및 도 13을 참고하면, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 회전부(9)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 12 and 13 , the electrodeposited copper foil electrodeposition device 1 according to the present invention may include a rotating part 9 .

상기 회전부(9)는 상기 제1이동전극(51)을 회전시키는 것이다. 상기 회전부(9)는 도 13에 도시된 제3불균일영역(IA3)에서 상기 제1이동전극(51)을 회전시킬 수 있다. 상기 제3불균일영역(IA3)은 도 6 및 도 7에 도시된 상기 제2불균일영역(IA2)에 비해 상기 폭방향(X축 방향)을 기준으로 더 짧게 형성됨과 아울러 상기 두께방향(Y축 방향)을 기준으로 더 깊게 형성된 영역일 수 있다. 이에 따라, 상기 회전부(9)는 상기 제3불균일영역(IA3)에 대응되게 배치된 상기 제1이동전극(51)을 회전시킴으로써, 상기 두께방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 제1이동전극(51)과 상기 동박(20) 간의 거리를 감소시킬 수 있다. 도 13에 점선으로 도시된 바와 같이 상기 제1이동전극(51)이 회전되기 이전에는 상기 폭방향(X축 방향)을 기준으로 상기 제1이동전극(51)의 길이가 더 길게 배치되는 반면, 도 13에 실선으로 도시된 바와 같이 상기 제1이동전극(51)이 회전된 이후에는 상기 두께방향(Y축 방향)을 기준으로 제1이동전극(51)의 길이가 더 길게 배치되기 때문이다. 또한, 도 13에 실선으로 도시된 바와 같이 상기 제1이동전극(51)이 회전된 이후에는 상기 폭방향(X축 방향)을 기준으로 상기 제1이동전극(51)의 길이가 더 짧게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제3불균일영역(IA3)에 집중적으로 상기 동박(20)이 전착될 수 있다. The rotating part 9 rotates the first movable electrode 51 . The rotating part 9 may rotate the first movable electrode 51 in the third non-uniform area IA3 shown in FIG. 13 . The third non-uniform area IA3 is shorter in the width direction (X-axis direction) than the second non-uniform area IA2 shown in FIGS. 6 and 7 and is formed in the thickness direction (Y-axis direction). ), it may be a region formed deeper. Accordingly, the rotating part 9 rotates the first movable electrode 51 disposed to correspond to the third non-uniform area IA3, thereby rotating the first movable electrode 51 in the thickness direction (Y-axis direction) as a reference. The distance between (51) and the copper foil (20) can be reduced. As shown by the dotted line in FIG. 13, before the first movable electrode 51 is rotated, the length of the first movable electrode 51 is longer with reference to the width direction (X-axis direction). As shown by a solid line in FIG. 13 , after the first movable electrode 51 is rotated, the length of the first movable electrode 51 is longer with reference to the thickness direction (Y-axis direction). In addition, as shown by a solid line in FIG. 13, after the first movable electrode 51 is rotated, the length of the first movable electrode 51 may be shorter with reference to the width direction (X-axis direction). can Accordingly, the copper foil 20 may be intensively electrodeposited in the third non-uniform region IA3.

따라서, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 상기 동박(20)의 두께편차를 감소시킴으로써, 상기 동박(20)의 두께에 대한 균일성을 증대시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전해동박 전착장치(1)는 동박(20)의 품질을 향상시킬 수 있다.Therefore, the electrolytic copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention can increase the uniformity of the thickness of the copper foil 20 by reducing the thickness variation of the copper foil 20 . Accordingly, the electrodeposited copper foil electrodeposition apparatus 1 according to the present invention can improve the quality of the copper foil 20 .

한편, 상기 회전부(9)는 상기 제1이동전극(91)이 상기 두께방향(Y축 방향)을 기준으로 하여 소정 각도로 기울어진 상태로 배치되도록 상기 제1이동전극(91)를 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1이동전극(91)에 상기 이동절연부재(511, 도 8에 도시됨)가 구비된 경우에도, 상기 제1이동전극(91)에서 상기 이동절연부재(511, 도 8에 도시됨)가 위치하지 않은 전면(前面) 또는 후면이 상기 두께방향(Y축 방향)을 기준으로 하여 소정 각도로 기울어진 상태로 상기 제3불균일영역(IA3)을 향하도록 배치될 수 있다.Meanwhile, the rotation unit 9 may rotate the first movable electrode 91 so that the first movable electrode 91 is disposed inclined at a predetermined angle with respect to the thickness direction (Y-axis direction). there is. Accordingly, even when the movable insulating member 511 (shown in FIG. 8) is provided in the first movable electrode 91, the movable insulating member 511 (shown in FIG. 8) in the first movable electrode 91 A front surface or a rear surface on which the (shown) is not positioned may be disposed toward the third non-uniform area IA3 in a state of being tilted at a predetermined angle with respect to the thickness direction (Y-axis direction).

상기에서는 상기 회전부(9)가 상기 제1이동전극(51)을 회전시키는 것을 기준으로 설명하였으나 이는 설명의 편의를 위한 것이며, 상기 회전부(9)는 상기 이동전극(5)들 각각을 회전시킬 수 있다. 상기 회전부(9)는 상기 이동전극(5)들 각각의 회전축을 중심으로 상기 이동전극(5)들을 회전시킬 수 있다. 상기 이동전극(5)들 각각의 회전축은 높이방향에 대해 평행하게 배치될 수 있다. 상기 높이방향은 상기 폭방향(X축 방향) 및 상기 두께방향(Y축 방향) 각각에 대해 수직한 축 방향이다. 상기 이동전극(5)들 각각의 회전축은 상기 폭방향(X축 방향) 을 기준으로 하여 상기 이동전극(5)의 일측과 상기 이동전극(5)의 타측으로부터 동일한 거리로 이격된 지점에 배치될 수 있다. 상기 이동전극(5)들 각각의 회전축을 상기 두께방향(Y축 방향)을 기준으로 하여 상기 이동전극(5)의 일측과 상기 이동전극(5)의 타측으로부터 동일한 거리로 이격된 지점에 배치될 수 있다.In the above description, the rotation unit 9 rotates the first movable electrode 51, but this is for convenience of explanation, and the rotation unit 9 can rotate each of the movable electrodes 5. there is. The rotation unit 9 may rotate the movable electrodes 5 around a rotation axis of each of the movable electrodes 5 . A rotational axis of each of the movable electrodes 5 may be disposed parallel to a height direction. The height direction is an axis direction perpendicular to each of the width direction (X-axis direction) and the thickness direction (Y-axis direction). The rotational axis of each of the movable electrodes 5 is disposed at a point spaced apart by the same distance from one side of the movable electrode 5 and the other side of the movable electrode 5 based on the width direction (X-axis direction) can The rotational axis of each of the movable electrodes 5 is disposed at a point spaced apart by the same distance from one side of the movable electrode 5 and the other side of the movable electrode 5 based on the thickness direction (Y-axis direction) can

상기 회전부(9)는 상기 이동전극(5)들 각각을 상기 폭방향(X축 방향) 및 상기 두께방향(Y축 방향)으로 이동시킬 수도 있다. 상기 회전부(9)는 상기 이동전극(5)들 각각에 결합될 수 있다. 상기 회전부(9)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터방식 등을 이용하여 상기 이동전극(5)들을 회전, 및 이동시킬 수 있다.The rotating part 9 may move each of the moving electrodes 5 in the width direction (X-axis direction) and the thickness direction (Y-axis direction). The rotating part 9 may be coupled to each of the movable electrodes 5 . The rotating part 9 is a method using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw method using a motor and a ball screw, a gear method using a motor, a rack gear, a pinion gear, etc., a belt method using a motor, a pulley, a belt, etc. The movable electrodes 5 may be rotated and moved using a linear motor method using a coil and a permanent magnet.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and it is common in the technical field to which the present invention belongs that various substitutions, modifications, and changes are possible without departing from the technical spirit of the present invention. It will be clear to those who have knowledge of

1 : 전해동박 전착장치 2 : 음극부
3 : 양극부 4 : 측정부
5 : 이동전극 6 : 전원전극
7 : 제한부 8 : 댐
9 : 회전부 10 : 전해동박 제조장치
11 : 운반부 12 : 권취부
13 : 절단부 21 : 음극축
31 : 전해액공급슬릿 51 : 제1이동전극
52 : 제2이동전극 61 : 전원전극부재
62 : 전원절연부재 63 : 폭가이드홈
510 : 이동전극본체 511 : 이동절연부재
512 : 폭가이드부재1: electrolytic copper foil electrodeposition device 2: cathode part
3: anode part 4: measuring part
5: mobile electrode 6: power electrode
7: restriction part 8: dam
9: rotating part 10: electrolytic copper foil manufacturing device
11: transport unit 12: winding unit
13: cutting part 21: cathode shaft
31: electrolyte supply slit 51: first movable electrode
52: second moving electrode 61: power electrode member
62: power insulating member 63: width guide groove
510: moving electrode body 511: moving insulating member
512: width guide member

Claims (13)

전해액을 이용하여 전기도금(電氣鍍金) 방식으로 동박을 전착(電着)시키는 음극부;
전해액을 통해 상기 음극부와 통전(通電)되는 양극부;
상기 동박의 두께를 측정하는 측정부;
상기 음극부와 상기 양극부 사이에 배치된 전원전극; 및
상기 전원전극에 상기 동박의 폭방향으로 이동 가능하게 결합된 복수개의 이동전극을 포함하고,
상기 이동전극들 중에서 제1이동전극은, 상기 측정부가 측정한 결과에 따라 상기 이동전극들 중에서 제2이동전극으로부터 이격된 거리가 변경되도록 상기 전원전극에 결합되며,
상기 제1이동전극은 상기 전원전극과 전기적으로 연결된 이동전극본체, 및 상기 이동전극본체와 함께 상기 폭방향을 따라 이동하는 폭가이드부재를 포함하고,
상기 전원전극은 상기 폭가이드부재가 삽입되는 폭가이드홈을 포함하며,
상기 폭가이드홈은 상기 이동전극본체가 상기 폭방향을 따라 직선으로 이동하도록 상기 폭가이드부재를 가이드 하는 것을 특징으로 하는 전해동박 전착장치.A cathode part for electrodepositing copper foil by electroplating using an electrolyte;
an anode part that is electrically connected to the cathode part through an electrolyte;
a measuring unit for measuring the thickness of the copper foil;
a power electrode disposed between the cathode part and the anode part; and
A plurality of movable electrodes movably coupled to the power electrode in the width direction of the copper foil,
Among the movable electrodes, a first movable electrode is coupled to the power source electrode such that a distance separated from the second movable electrode among the movable electrodes is changed according to the measurement result of the measuring unit,
The first movable electrode includes a movable electrode body electrically connected to the power electrode, and a width guide member moving along the width direction together with the movable electrode body,
The power electrode includes a width guide groove into which the width guide member is inserted,
The width guide groove guides the width guide member so that the moving electrode body moves in a straight line along the width direction. 제1항에 있어서,
상기 전원전극은 상기 양극부와 전기적으로 연결된 전원전극부재, 및 상기 전원전극부재에 결합된 전원절연부재를 포함하고,
상기 전원절연부재는 상기 양극부 및 상기 전원전극부재 간의 전기적 단락(Short Circuit)을 방지하기 위해 상기 전원전극부재의 외면에 결합된 것을 특징으로 하는 전해동박 전착장치.According to claim 1,
The power electrode includes a power electrode member electrically connected to the anode portion, and a power insulating member coupled to the power electrode member,
The electrodeposited copper foil electrodeposition device, characterized in that the power insulating member is coupled to the outer surface of the power electrode member to prevent an electrical short circuit between the anode portion and the power electrode member. 제1항에 있어서,
상기 제1이동전극은 상기 전원전극과 전기적으로 연결된 이동전극본체, 및 상기 이동전극본체에 결합된 이동절연부재를 포함하고,
상기 이동절연부재는 상기 이동전극들 간에 전기적 단락(Short Circuit)을 방지하기 위해 상기 이동전극본체의 외면에 결합된 것을 특징으로 하는 전해동박 전착장치.According to claim 1,
The first movable electrode includes a movable electrode body electrically connected to the power electrode and a movable insulating member coupled to the movable electrode body,
The electrodeposited copper foil electrodeposition device, characterized in that the movable insulating member is coupled to the outer surface of the movable electrode body to prevent an electrical short circuit between the movable electrodes. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 전원전극에 결합된 제한부를 포함하고,
상기 제한부는 상기 이동전극들이 결합됨에 따라 상기 이동전극들이 상기 폭방향으로 이동하는 것을 제한하기 위한 폭제한부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 전해동박 전착장치.According to claim 1,
A limiting unit coupled to the power electrode,
The electrodeposited copper foil electrodeposition device of claim 1, wherein the limiting part includes a width limiting member for limiting movement of the movable electrodes in the width direction as the movable electrodes are coupled. 제1항에 있어서,
상기 양극부는 상기 폭방향에 대해 수직한 두께방향을 상기 음극부로부터 이격되고,
상기 이동전극들은 각각 상기 두께방향에 비해 상기 폭방향으로 더 긴 길이를 갖는 직사각형 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 전해동박 전착장치.According to claim 1,
The anode portion is spaced apart from the cathode portion in a thickness direction perpendicular to the width direction,
Electrodeposited copper foil electrodeposition device, characterized in that each of the moving electrodes is formed in a rectangular shape having a longer length in the width direction than in the thickness direction. 전해액을 이용하여 전기도금(電氣鍍金) 방식으로 동박을 전착(電着)시키는 음극부;
전해액을 통해 상기 음극부와 통전(通電)되는 양극부;
상기 동박의 두께를 측정하는 측정부;
상기 음극부와 상기 양극부 사이에 배치된 전원전극; 및
상기 전원전극에 상기 동박의 두께방향으로 이동 가능하게 결합된 복수개의 이동전극을 포함하고,
상기 이동전극들은 상기 측정부가 측정한 결과에 따라 상기 음극부와의 이격된 거리가 변경되도록 상기 전원전극에 결합되며,
상기 이동전극들 중에서 제1이동전극은, 상기 전원전극과 전기적으로 연결된 이동전극본체 및 상기 이동전극본체와 함께 상기 두께방향을 따라 이동하는 두께가이드부재를 포함하고,
상기 전원전극은 상기 두께가이드부재가 삽입되는 두께가이드홈을 포함하며,
상기 두께가이드홈은 상기 이동전극본체가 상기 두께방향을 따라 직선으로 이동하도록 상기 두께가이드부재를 가이드 하는 것을 특징으로 하는 전해동박 전착장치.A cathode part for electrodepositing copper foil by electroplating using an electrolyte;
an anode part that is electrically connected to the cathode part through an electrolyte;
a measuring unit for measuring the thickness of the copper foil;
a power electrode disposed between the cathode part and the anode part; and
A plurality of movable electrodes movably coupled to the power electrode in the thickness direction of the copper foil,
The movable electrodes are coupled to the power electrode so that the distance separated from the cathode part is changed according to the measurement result of the measuring part,
Among the movable electrodes, a first movable electrode includes a movable electrode body electrically connected to the power electrode and a thickness guide member that moves along the thickness direction together with the movable electrode body,
The power electrode includes a thickness guide groove into which the thickness guide member is inserted,
The thickness guide groove guides the thickness guide member so that the moving electrode body moves in a straight line along the thickness direction. 삭제delete 제7항에 있어서,
상기 전원전극에 결합된 제한부를 포함하고,
상기 제한부는 상기 이동전극들이 결합됨에 따라 상기 이동전극들이 상기 두께방향으로 이동하는 것을 제한하기 위한 두께제한부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 전해동박 전착장치.According to claim 7,
A limiting unit coupled to the power electrode,
The electrodeposited copper foil electrodeposition device of claim 1, wherein the limiting part includes a thickness limiting member for limiting movement of the movable electrodes in the thickness direction as the movable electrodes are coupled. 제7항에 있어서,
상기 전원전극에는 상기 이동전극들이 상기 두께방향에 대해 수직한 폭방향으로 이격되어 결합되고,
상기 이동전극들은 각각 상기 두께방향에 비해 상기 폭방향으로 더 긴 길이를 갖는 직사각형 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 전해동박 전착장치.According to claim 7,
The moving electrodes are coupled to the power electrode while being spaced apart in a width direction perpendicular to the thickness direction,
Electrodeposited copper foil electrodeposition device, characterized in that each of the moving electrodes is formed in a rectangular shape having a longer length in the width direction than in the thickness direction. 제1항 또는 제7항에 있어서,
상기 제1이동전극을 회전시키기 위한 회전부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전해동박 전착장치.According to claim 1 or 7,
Electrodeposited copper foil electrodeposition device comprising a rotation unit for rotating the first movable electrode. 제1항 또는 제7항에 있어서,
상기 이동전극들을 도금액에 침지시키기 위한 댐을 포함하고,
상기 댐은 상기 이동전극들에 비해 상측방향으로 돌출되도록 높게 형성된 것을 특징으로 하는 전해동박 전착장치.According to claim 1 or 7,
A dam for immersing the mobile electrodes in a plating solution,
The electrodeposited copper foil electrodeposition device, characterized in that the dam is formed higher than the movable electrodes so as to protrude upward. 제1항 내지 제3항, 제5항 내지 제7항, 제9항 또는 제10항 중 어느 하나의 전해동박 전착장치를 포함하는 전해동박 제조장치로서,
상기 음극부로부터 권출된 동박을 운반하는 운반부; 및
상기 운반부로부터 운반된 동박을 권취하는 권취부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전해동박 제조장치.An electrodeposited copper foil manufacturing apparatus including the electrodeposited copper foil electrodeposition apparatus of any one of claims 1 to 3, 5 to 7, 9 or 10,
a carrying unit for transporting the copper foil unwound from the cathode unit; and
Electrodeposited copper foil manufacturing apparatus further comprising a winding unit for winding the copper foil transported from the transport unit.
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