KR102525456B1 - Method and system for safe operation of manufacturing equipment - Google Patents

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Abstract

본 발명은 제조장비의 작동 상태 또는 작업자의 존재 여부를 고려하여 제조장비의 안전운전을 가능하게 하는 제조장비 안전운전 방법 및 시스템에 대한 것이다. 본 발명은, 제조장비를 수용하는 보호 커버 내부에 존재하는 인체를 센싱하는 인체 감지 센서; 및 상기 인체 감지 센서의 센싱 결과에 따라 상기 제조장비를 제어하거나 경고 신호를 출력하는 경고부를 제어하는 장비 제어부;를 포함하는 제조장비 안전 운전 시스템 및 그 운전 방법을 제공한다. The present invention relates to a method and system for safe operation of manufacturing equipment that enables safe operation of manufacturing equipment in consideration of the operating state of the manufacturing equipment or the presence or absence of a worker. The present invention, a human body detection sensor for sensing a human body present inside the protective cover accommodating the manufacturing equipment; and an equipment controller controlling the manufacturing equipment or a warning unit outputting a warning signal according to a sensing result of the human body sensor.

Description

제조장비 안전운전 방법 및 시스템 {METHOD AND SYSTEM FOR SAFE OPERATION OF MANUFACTURING EQUIPMENT}Manufacturing equipment safety operation method and system {METHOD AND SYSTEM FOR SAFE OPERATION OF MANUFACTURING EQUIPMENT}

본 발명은 제조장비 안전운전 방법 및 시스템에 대한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 제조장비의 작동 상태 또는 작업자의 존재 여부를 고려하여 제조장비의 안전운전을 가능하게 하는 제조장비 안전운전 방법 및 시스템에 대한 것이다. The present invention relates to a method and system for safe operation of manufacturing equipment. More specifically, the present invention relates to a method and system for safely operating manufacturing equipment that enables safe operation of manufacturing equipment in consideration of the operating state of the manufacturing equipment or the presence of a worker.

반도체 제조 공정 또는 디스플레이 제조 공정 등에는 다양한 형태의 제조장비가 사용된다. Various types of manufacturing equipment are used in a semiconductor manufacturing process or a display manufacturing process.

액정 디스플레이(Liquid Crystal Display) 제조 공정을 예로 들면, 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT) 어레이 기판과 컬러 필터 기판을 각각 제조하고, 어느 하나의 기판에 실런트와 액정을 도포하고 양 기판을 합착한 후, 셀 단위로 분할하는 절단 고정을 수행하여 단위 기판을 제조한다. 이러한 공정에는 박막 증착 장비, 배향막이나 컬러 필터를 생성하기 위한 코팅 장비, 액정 디스펜서, 씰 디스펜서, 기판 스크라이버 등 다양한 장비가 사용된다. Taking the liquid crystal display manufacturing process as an example, a thin film transistor (TFT) array substrate and a color filter substrate are manufactured respectively, sealant and liquid crystal are applied to one substrate, and both substrates are bonded. , cutting and fixing to divide into cells is performed to manufacture a unit substrate. Various equipment such as thin film deposition equipment, coating equipment for creating an alignment film or color filter, a liquid crystal dispenser, a seal dispenser, and a substrate scriber are used in this process.

반도체 제조 공정이나 디스플레이 제조 공정 등의 정밀 제조 공정은 통상 고 청정도가 유지되는 클린룸(Clean Room)에서 수행된다. 각각의 세부 공정을 수행하기 위한 제조장비는 장비를 보호하고 외부로부터의 이물질 등을 차단하기 위한 장비 커버 내에 위치할 수 있다. 즉, 장비 커버는 제조장비를 수용하며 제조장비의 설치 공간을 형성할 수 있다.A precision manufacturing process, such as a semiconductor manufacturing process or a display manufacturing process, is usually performed in a clean room where high cleanliness is maintained. Manufacturing equipment for performing each detailed process may be located within an equipment cover for protecting the equipment and blocking foreign substances from the outside. That is, the equipment cover can accommodate manufacturing equipment and form an installation space for manufacturing equipment.

경우에 따라서 장비 커버 내부에는 소정의 공정 가스가 공급될 수 있다. 일례로 대기 중의 수분이나 산소 등에 의한 전자 소자의 손상을 방지하기 위하여 정화된 질소가 장비 커버 내로 공급될 수 있다. 또한, 장비 커버 내부는 대기압보다 낮도록 압력이 설정될 수도 있다. In some cases, a predetermined process gas may be supplied to the inside of the equipment cover. For example, purified nitrogen may be supplied into the equipment cover to prevent damage to electronic devices caused by moisture or oxygen in the air. In addition, the pressure inside the equipment cover may be set to be lower than atmospheric pressure.

장비 커버 내에 위치하는 장비에는 기판 등의 이송을 위한 로봇 장치의 암(arm)이나 기판 상부에서 이동되는 갠트리 등 공정 중에 구동되는 다양한 작동 구조물이 구비될 수 있다. The equipment located in the equipment cover may include various operating structures driven during a process, such as an arm of a robot device for transferring a substrate or the like, or a gantry that moves on top of a substrate.

제조장비의 점검이나 유지보수, 소모성 부품의 교체 등을 위하여 작업자가 장비 커버 내로 들어가는 경우가 발생한다. 그런데 장비 커버 내부에 질소와 같은 공정 가스가 공급된 상태나 진공 상태에서, 또는 공정이 진행되는 중에 작업자가 장비 커버 내로 들어가는 경우에는 생명에 문제가 생기거나 부상이 발생할 수 있는 위험성이 있다. There are cases in which a worker enters the equipment cover for inspection or maintenance of manufacturing equipment, replacement of consumable parts, and the like. However, when a process gas such as nitrogen is supplied to the inside of the equipment cover, in a vacuum state, or when a worker enters the equipment cover while the process is in progress, there is a risk of life-threatening or injury.

또한, 제조장비의 작동을 중지시키고 장비 커버 내의 안전을 확보한 상태에서 작업자가 장비 커버 내로 들어간 경우에도, 작업자가 장비 커버 내에 잔류하고 있음을 간과하고 다른 작업자나 제조 공정을 관리하는 시스템에서 제조장비를 작동시키는 경우에 큰 사고로 이어질 수 있는 문제점이 존재한다. In addition, even if the operator enters the equipment cover while the operation of the manufacturing equipment is stopped and the safety within the equipment cover is secured, the manufacturing equipment in the system that manages other workers or the manufacturing process overlooks that the worker remains in the equipment cover There is a problem that can lead to a serious accident when operating.

한편, 반도체 공정을 위하여 제조장비 중에는 공정에 사용되는 가스를 저장하는 가스 챔버가 구비되기도 한다. 일례로서 질소 가스를 보관하는 질소 가스 챔버를 들 수 있다. 이러한 가스 챔버에 유해 가스가 존재하는 상태에서 작업자가 진입하는 경우 유해 가스의 존재 또는 질식으로 인해 작업자의 사고로 이어지는 문제점이 존재한다. Meanwhile, among manufacturing equipment for a semiconductor process, a gas chamber for storing a gas used in the process may be provided. An example is a nitrogen gas chamber for storing nitrogen gas. When a worker enters such a gas chamber in the presence of harmful gas, there is a problem that leads to an accident of the worker due to the presence of the harmful gas or suffocation.

대한민국 공개특허공보 제10-2003-0054751호 (2003.07.02. 공개)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2003-0054751 (published on July 2, 2003) 대한민국 공개특허공보 제10-2005-0069028호 (2005.07.05. 공개)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2005-0069028 (published on July 5, 2005)

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 제조장비의 작동 상태 및 작업자의 존재 여부를 고려하여 제조장비의 안전운전을 가능하게 하는 제조장비 안전운전 방법 및 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다. In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a safe driving method and system for manufacturing equipment that enables safe operation of manufacturing equipment in consideration of the operating state of the manufacturing equipment and the presence of workers.

또한, 본 발명은 작업자의 존재시 제조장비의 작동을 금지 또는 중단하거나, 안전이 확보된 상태에서 작업자의 작업을 가능하게 하는 제조장비 안전운전 방법 및 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다. In addition, an object of the present invention is to provide a safe driving method and system for manufacturing equipment that prohibits or stops the operation of manufacturing equipment in the presence of a worker or enables the worker to work in a safe state.

또한, 본 발명은 인체에 유해한 환경을 갖는 제조장비 내에 작업자가 진입하는 것을 사전에 차단하거나 작업자의 존재 여부를 확인함으로써 인명사고를 방지하는 제조장비 안전운전 방법 및 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다. In addition, an object of the present invention is to provide a method and system for safely operating manufacturing equipment that prevents human accidents by preventing workers from entering manufacturing equipment having an environment harmful to the human body in advance or confirming the presence of workers.

본 발명은, 제조장비를 수용하는 보호 커버 내부에 존재하는 인체를 센싱하는 인체 감지 센서; 및 상기 인체 감지 센서의 센싱 결과에 따라 상기 제조장비를 제어하거나 경고 신호를 출력하는 경고부를 제어하는 장비 제어부;를 포함하는 제조장비 안전 운전 시스템을 제공한다. The present invention, a human body detection sensor for sensing a human body present inside the protective cover accommodating the manufacturing equipment; and an equipment control unit configured to control a warning unit that controls the manufacturing equipment or outputs a warning signal according to a sensing result of the human body sensor.

일 실시예에 있어서, 상기 제조장비 안전 운전 시스템은, 상기 제조장비의 작동 명령을 입력하는 조작 패널을 추가로 포함하고, 상기 장비 제어부는 상기 인체 감지 센서에 의해 인체가 감지되는 경우 상기 조작 패널에 경고 메시지를 출력하거나 상기 제조장비 작동을 금지할 수 있다. In one embodiment, the manufacturing equipment safety driving system further includes an operation panel for inputting an operation command of the manufacturing equipment, and the equipment control unit displays the operation panel when a human body is detected by the human body detection sensor. A warning message may be output or operation of the manufacturing equipment may be prohibited.

또한, 상기 인체 감지 센서에 의해 인체가 감지된 경우, 상기 제조장비를 중앙에서 관제하는 통합 제어부에 의한 상기 제조장비의 작동명령에도 불구하고 상기 장비 제어부는 상기 제조장비의 작동을 금지할 수 있다. In addition, when a human body is detected by the human body sensor, the equipment control unit may prohibit the operation of the manufacturing equipment despite an operation command of the manufacturing equipment by an integrated control unit that centrally controls the manufacturing equipment.

또한, 상기 보호커버 내부의 온도, 압력, 및 가스 농도 중 적어도 하나를 센싱하는 환경 센서가 추가로 포함될 수 있다. In addition, an environmental sensor for sensing at least one of temperature, pressure, and gas concentration inside the protective cover may be further included.

또한, 상기 환경 센서의 센싱 결과에 따라, 상기 장비 제어부는 상기 보호커버에 구비된 도어의 개방을 금지하거나 상기 경고부를 통해 경고 신호를 출력할 수 있다. In addition, according to a sensing result of the environment sensor, the equipment controller may prohibit opening of a door provided in the protective cover or output a warning signal through the warning unit.

또한, 상기 인체 감지 센서는 상기 인체의 상태를 센싱하고, 상기 장비 제어부는 상기 인체의 상태에 이상이 발생한 경우 상기 통합 제어부로 통보할 수 있다. In addition, the human body detection sensor senses the state of the human body, and the equipment control unit may notify the integrated controller when an abnormality occurs in the state of the human body.

본 발명의 다른 실시형태에 따르면, 본 발명은 공정 가스를 저장하는 가스 챔버 내부에 존재하는 인체를 센싱하는 인체 감지 센서; 및 상기 인체 감지 센서의 센싱 결과에 따라 상기 가스 챔버를 제어하거나 경고 신호를 출력하는 경고부를 제어하는 장비 제어부;를 포함하는 제조장비 안전 운전 시스템을 제공한다. According to another embodiment of the present invention, the present invention provides a human body detection sensor for sensing a human body present in a gas chamber storing process gas; and an equipment controller controlling the gas chamber or a warning unit outputting a warning signal according to a sensing result of the human body sensor.

일 실시예에 있어서, 상기 가스 챔버 내부의 온도, 압력, 및 가스 농도 중 적어도 하나를 센싱하는 환경 센서가 추가로 포함될 수 있다. In one embodiment, an environmental sensor for sensing at least one of temperature, pressure, and gas concentration inside the gas chamber may be further included.

또한, 상기 인체 감지 센서가 상기 가스 챔버 내부에 인체가 존재하는 것으로 센싱하고, 상기 환경 센서의 센싱 결과 상기 가스 챔버 내부의 환경이 상기 인체에 유해한 것으로 판단된 경우 상기 경고부를 통해 경고 신호를 출력할 수 있다. In addition, when the human body detection sensor senses that a human body exists inside the gas chamber and the environment sensor detects that the environment inside the gas chamber is harmful to the human body, a warning signal is output through the warning unit. can

일 실시예에 있어서, 상기 인체 감지 센서는 IR-UWB(Impulse Radio Ultra Wideband) 통신 기술을 기반으로 한 센서일 수 있다. In one embodiment, the human body detection sensor may be a sensor based on IR-UWB (Impulse Radio Ultra Wideband) communication technology.

또한, 상기 인체 감지 센서는 상기 인체의 움직임 정보, 호흡 상태, 및 심박 상태 중 적어도 하나를 센싱할 수 있다. In addition, the human body detection sensor may sense at least one of motion information of the human body, a breathing state, and a heartbeat state.

또한, 상기 인체 감지 센서는 전자파를 방사하여 반사된 신호를 수신하고, 상기 신호의 반사 거리별 세기에 기반하여 최대 신호 위치를 결정하고, 상기 신호의 주기성에 따라 상기 인체의 호흡 또는 심박을 검출할 수 있다. In addition, the human body detection sensor emits electromagnetic waves to receive a reflected signal, determines a maximum signal position based on the intensity of the reflected distance of the signal, and detects respiration or heartbeat of the human body according to the periodicity of the signal. can

또한, 상기 인체 감지 센서는 소정 시간 동안 추출한 상기 신호의 자기 상관에 따른 상기 신호의 유사도를 산출하여 상기 주기성을 판단할 수 있다. In addition, the human body sensor may determine the periodicity by calculating a similarity of the signal according to autocorrelation of the signal extracted for a predetermined time.

본 발명의 또 다른 실시 형태에 따르면, 본 발명은 제조장비를 외부와 분리하는 보호 커버의 내부, 또는 가스 챔버 내부의 인체의 존재 여부를 인체 감지 센서를 이용하여 센싱하는 센싱 단계; 및 상기 센싱 단계에서 상기 인체가 감지되는 경우, 경고부를 통해 경고 신호를 출력하거나 상기 제조장비 또는 상기 가스 챔버의 작동을 금지하는 보호 단계;를 포함하는 제조장비 안전 운전 방법을 제공한다. According to another embodiment of the present invention, the present invention provides a sensing step of sensing the presence or absence of a human body inside a protective cover separating manufacturing equipment from the outside or inside a gas chamber using a human body sensor; and a protection step of outputting a warning signal through a warning unit or prohibiting the operation of the manufacturing equipment or the gas chamber when the human body is detected in the sensing step.

일 실시예에 있어서, 상기 센싱 단계에서 상기 인체 감지 센서는 IR-UWB(Impulse Radio Ultra Wideband) 통신 기술을 기반으로 한 센서일 수 있다. In one embodiment, in the sensing step, the body detection sensor may be a sensor based on IR-UWB (Impulse Radio Ultra Wideband) communication technology.

또한, 상기 인체 감지 센서는 상기 인체의 호흡 또는 심박 정보를 센싱하고, 상기 인체의 이상이 발생한 것으로 판단되는 경우, 상기 보호 단계에서 경고 신호를 출력하거나, 상기 제조장비 또는 상기 가스 챔버를 중앙에서 관제하는 통합 제어부로 통보할 수 있다. In addition, the human body detection sensor senses breathing or heart rate information of the human body, and when it is determined that an abnormality of the human body has occurred, a warning signal is output in the protection step, or the manufacturing equipment or the gas chamber is centrally controlled. can be notified to the integrated control unit.

또한, 상기 인체 감지 센서는 전자파를 방사하여 반사된 신호를 수신하고, 상기 신호의 반사 거리별 세기에 기반하여 최대 신호 위치를 결정하고, 상기 신호의 주기성에 따라 상기 인체의 호흡 또는 심박을 검출할 수 있다. In addition, the human body detection sensor emits electromagnetic waves to receive a reflected signal, determines a maximum signal position based on the intensity of the reflected distance of the signal, and detects respiration or heartbeat of the human body according to the periodicity of the signal. can

또한, 상기 인체 감지 센서는 소정 시간 동안 추출한 상기 신호의 자기 상관에 따른 상기 신호의 유사도를 산출하여 상기 주기성을 판단할 수 있다. In addition, the human body sensor may determine the periodicity by calculating a similarity of the signal according to autocorrelation of the signal extracted for a predetermined time.

일 실시예에 있어서, 상기 방법은 상기 보호 커버의 내부 또는 상기 가스 챔버 내부의 온도, 압력, 및 가스 농도 중 적어도 하나를 환경 센서를 이용하여 센싱하는 환경 센싱 단계를 추가로 포함할 수 있다. In one embodiment, the method may further include an environment sensing step of sensing at least one of temperature, pressure, and gas concentration inside the protective cover or inside the gas chamber using an environment sensor.

또한, 상기 환경 센싱 단계의 센싱 결과에 따라, 상기 보호 단계는 상기 보호 커버의 내부 또는 상기 가스 챔버 내부로의 진입을 금지할 수 있다. Also, according to the sensing result of the environment sensing step, the protection step may prohibit entry into the inside of the protective cover or the inside of the gas chamber.

또한, 상기 센싱 단계에서 인체의 존재가 감지되고 상기 환경 센싱 단계에서 센싱된 결과가 상기 인체에 유해한 것으로 판단된 경우, 상기 보호단계에서 상기 제조장비 또는 상기 가스 챔버를 중앙에서 관제하는 통합 제어부로 통보할 수 있다. In addition, when the presence of a human body is detected in the sensing step and the sensing result in the environment sensing step is determined to be harmful to the human body, the protection step notifies the integrated control unit that centrally controls the manufacturing equipment or the gas chamber. can do.

본 발명에 따르면, 제조장비가 설치된 보호 커버 내에 작업자가 존재하는지 여부를 판단하고 제조장비의 작동을 제어할 수 있도록 함으로써 장비 운전에 있어서의 안전성이 향상되는 효과가 있다. According to the present invention, it is possible to determine whether a worker exists in the protective cover in which manufacturing equipment is installed and to control the operation of the manufacturing equipment, thereby improving safety in equipment operation.

또한, 본 발명에 따르면 보호 커버 내에 작업자가 존재하는지 여부를 작업자의 호흡 또는 심박 정보를 바탕으로 정확하게 검출할 수 있도록 함으로써 장비 운용에 있어서의 신뢰성을 향상시킨다. In addition, according to the present invention, it is possible to accurately detect whether or not an operator exists within the protective cover based on the operator's breathing or heart rate information, thereby improving reliability in equipment operation.

또한, 본 발명에 따르면 작업자의 상태 및/또는 보호 커버 내의 환경 정보에 기초하여 위험 요소를 차단하고 인명 손실을 예방하는 효과가 있다. In addition, according to the present invention, there is an effect of blocking risk factors and preventing loss of life based on the worker's condition and/or environmental information within the protective cover.

또한, 본 발명에 따르면 유해 가스를 보관하는 가스 챔버와 같은 제조장비 내의 상태를 센싱하고 작업자의 존재 여부를 확인함으로써 인명 손실을 사전에 차단하는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, loss of human life is prevented in advance by sensing a state in manufacturing equipment such as a gas chamber for storing harmful gases and confirming the presence of an operator.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제조장비 안전운전 시스템에 있어서 제조장비 및 장비 커버를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제조장비 안전운전 시스템의 구성을 도시한 블록도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제조장비 안전운전 시스템에 적용되는 인체 감시 센서의 일례를 도시한 블록도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제조장비 안전운전 시스템에 사용되는 IR-UWB 방식의 인체 감지 센서의 감지 방법을 설명하는 순서도이다.
도 5는 IR-UWB 방식의 인체 감지 센서에서 주기성을 판단하는 방법을 도시한 순서도이다.
도 6은 IR-UWV 방식의 인체 감지 센서의 신호를 처리하는 일례를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제조장비 안전운전 방법을 도시한 순서도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제조장비 안전운전 시스템을 도시한 도면이다.
1 is a perspective view showing manufacturing equipment and equipment covers in a manufacturing equipment safety driving system according to a preferred embodiment of the present invention.
2 is a block diagram showing the configuration of a manufacturing equipment safety driving system according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is a block diagram showing an example of a human body monitoring sensor applied to a manufacturing equipment safety driving system according to a preferred embodiment of the present invention.
4 is a flowchart illustrating a method of detecting a human body detection sensor of the IR-UWB method used in a manufacturing equipment safe driving system according to a preferred embodiment of the present invention.
5 is a flowchart illustrating a method of determining periodicity in an IR-UWB type human body sensor.
6 is a diagram illustrating an example of processing a signal of an IR-UWV type human body sensor.
7 is a flowchart illustrating a safe driving method for manufacturing equipment according to a preferred embodiment of the present invention.
8 is a diagram showing a manufacturing equipment safety driving system according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, in adding reference numerals to components of each drawing, it should be noted that the same components have the same numerals as much as possible even if they are displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. In addition, although preferred embodiments of the present invention will be described below, the technical idea of the present invention is not limited or limited thereto and can be modified and implemented in various ways by those skilled in the art.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제조장비 안전운전 시스템에 있어서 제조장비 및 장비 커버를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing manufacturing equipment and equipment covers in a manufacturing equipment safety driving system according to a preferred embodiment of the present invention.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제조장비 안전운전 시스템은 제조장비(20)의 안전운전을 도모하는 것을 목적으로 하며, 상기 제조장비(20)는 보호 커버(10)의 내부에 구비된다. The manufacturing equipment safety driving system according to a preferred embodiment of the present invention aims to promote safe operation of manufacturing equipment 20, and the manufacturing equipment 20 is provided inside the protective cover 10.

상기 제조장비(20)는 반도체 생산 공정을 수행하는 장비, 디스플레이 제조를 위한 박막 증착 장비, 배향막이나 컬러 필터를 생성하기 위한 코팅 장비, 액정 디스펜서, 씰 디스펜서, 기판 스크라이버 등의 장비일 수 있다. The manufacturing equipment 20 may be equipment such as equipment for performing a semiconductor production process, thin film deposition equipment for manufacturing a display, coating equipment for producing an alignment film or color filter, a liquid crystal dispenser, a seal dispenser, a substrate scriber, and the like.

보호 커버(10)는 제조장비(20)의 외곽에 설치된다. 보호 커버(10)는 작업자들의 통로와 장비의 설치 공간을 분리한다. 보호 커버(10)에는 처리될 기판 등을 반입하기 위한 반입 통로(미도시)가 일측에 설치될 수 있다. 보호 커버(10)의 반입 통로를 통해 반입된 기판 등의 가공 대상물은 제조장비(20)에서 소정의 공정을 통해 가공될 수 있다. 한편, 보호 커버(10)의 상부는 클린룸의 천정으로 이어지도록 개방되거나, 경우에 따라서는 폐쇄될 수 있다. The protective cover 10 is installed outside the manufacturing equipment 20 . The protective cover 10 separates the passage of workers and the installation space of the equipment. A carrying passage (not shown) for carrying in a substrate to be processed or the like may be installed on one side of the protective cover 10 . An object to be processed, such as a substrate, brought in through the carrying passage of the protective cover 10 may be processed through a predetermined process in the manufacturing equipment 20 . On the other hand, the upper portion of the protective cover 10 may be opened to lead to the ceiling of the clean room, or may be closed in some cases.

보호 커버(10)의 일측에는 작업자(60)가 보호 커버(10)의 내측으로 출입하기 위한 도어(12)가 구비될 수 있다. 또한, 보호 커버(10)의 외부에는 작업자(60)가 제조장비(20)의 작동을 위한 명령을 입력하거나 제조장비(20)의 작동 상태를 디스플레이하는 조작 패널(30)이 구비될 수 있다. 상기 조작 패널(30)은 복수의 조작버튼으로 구성되거나 터치 방식으로 입력이 가능하고 시각적 디스플레이가 가능한 터치 패널 형태로 구비될 수 있다. One side of the protective cover 10 may be provided with a door 12 for the worker 60 to enter and exit the inside of the protective cover 10 . In addition, an operation panel 30 may be provided outside the protective cover 10 to allow the operator 60 to input commands for operating the manufacturing equipment 20 or to display the operating state of the manufacturing equipment 20 . The manipulation panel 30 may be composed of a plurality of manipulation buttons or may be provided in the form of a touch panel capable of inputting in a touch manner and capable of visual display.

보호 커버(10)에는 적어도 하나의 인체 감지 센서(40)가 구비된다. 인체 감지 센서(40)는 보호 커버(10) 내측에 작업자(60)가 존재하는 경우 작업자(60)를 감지하는 기능을 수행한다. At least one human sensor 40 is provided in the protective cover 10 . The human body detection sensor 40 performs a function of detecting the operator 60 when the operator 60 exists inside the protective cover 10 .

인체 감지 센서(40)는 보호 커버(10) 내에서 작업자(60)가 위치할 수 있는 장소의 적어도 일부, 바람직하게는 전체 영역을 감지하도록 설치될 수 있다. 이를 위해 인체 감지 센서(40)는 보호 커버(10) 내에 복수로 구비될 수 있으며, 복수의 인체 감지 센서(40)는 각각의 감지 범위를 갖도록 설정될 수 있다. The human body detection sensor 40 may be installed to detect at least a part of a place where the operator 60 may be located within the protective cover 10, preferably the entire area. To this end, a plurality of human body detection sensors 40 may be provided in the protective cover 10, and the plurality of human body detection sensors 40 may be set to have respective detection ranges.

보호 커버(10)의 외측 또는 주변에는 적어도 하나의 경고부(50)가 구비될 수 있다. 상기 경고부(50)는 경광등(52) 또는 스피커(54)일 수 있다. 일 실시예에 있어서 경광등(52)은 안전 상태에서 따라 녹색(안전), 황색(주의요망), 또는 적색(위험상태)으로 점등될 수 있다. 또한, 상기 스피커(54)는 제조장비(20)의 상태에 따른 경고방송이나 경고음을 출력할 수 있다. At least one warning unit 50 may be provided outside or around the protective cover 10 . The warning unit 50 may be a warning light 52 or a speaker 54. In one embodiment, the warning light 52 may be turned on in green (safety), yellow (caution), or red (danger) depending on the safety state. In addition, the speaker 54 may output a warning broadcast or a warning sound according to the state of the manufacturing equipment 20 .

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제조장비 안전운전 시스템의 구성을 도시한 블록도이다. 2 is a block diagram showing the configuration of a manufacturing equipment safety driving system according to a preferred embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 보호 커버(10) 내에 위치한 제조장비(20)의 안전운전을 도모하기 위한 시스템이 도 2에 도시된다. A system for promoting safe operation of the manufacturing equipment 20 located within the protective cover 10 shown in FIG. 1 is shown in FIG. 2 .

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제조장비 안전운전 시스템(100)은, 도어(12)의 개폐 상태를 센싱하는 도어 개폐 센서(14), 보호 커버(10) 내의 작업자의 존재를 감지하는 인체 감지 센서(40), 제조장비(20)의 작동 명령을 입력하거나 작동 상태를 디스플레이하는 조작 패널(30), 센싱 결과 및 조작 패널(30)의 입력에 따라 제조장비(20) 및/또는 경고부(50)의 작동을 제어하는 장비 제어부(70)를 포함한다. 또한, 상기 제조장비 안전운전 시스템(100)은 보호 커버(10) 내의 온도, 기압, 가스 농도 중 적어도 하나를 센싱하는 환경 센서(16)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 2 , the manufacturing equipment safe driving system 100 according to an embodiment of the present invention includes a door open/close sensor 14 for sensing an open/closed state of a door 12 and the presence of a worker inside a protective cover 10 A human body detection sensor 40 for detecting, an operation panel 30 for inputting an operating command or displaying an operating state of the manufacturing equipment 20, and manufacturing equipment 20 and / or includes an equipment control unit 70 that controls the operation of the warning unit 50. In addition, the manufacturing equipment safe driving system 100 may include an environment sensor 16 that senses at least one of temperature, air pressure, and gas concentration within the protective cover 10 .

일 실시예에 있어서, 상기 제조장비 안전운전 시스템(100)은 상기 제조장비(20)를 중앙에서 관제하거나 복수의 제조장비(20)를 통합 관제하는 통합 제어부(80)를 포함할 수 있다. In one embodiment, the manufacturing equipment safety driving system 100 may include an integrated control unit 80 that centrally controls the manufacturing equipment 20 or controls a plurality of manufacturing equipment 20 in an integrated manner.

도어 개폐 센서(14)는 보호 커버(10)에 구비된 도어(12)의 개폐 여부를 센싱한다. 일 실시예에 있어서 도어 개폐 센서(14)는 도어(12)에 장착된 미캐니컬 센서 또는 도어(12)와 도어 프레임에 각각 구비된 마그네트 센서와 마그네트로 이루어질 수 있다. The door open/close sensor 14 senses whether the door 12 provided in the protective cover 10 is opened or closed. In one embodiment, the door open/close sensor 14 may include a mechanical sensor mounted on the door 12 or a magnetic sensor and a magnet respectively provided on the door 12 and the door frame.

인체 감지 센서(40)는 보호 커버(10) 내에 작업자(60)의 존재 여부를 센싱한다. 일 실시예에 있어서, 인체 감지 센서(40)는 열선 탐지 또는 적외선 탐지 방식으로 인체를 탐지하는 것일 수 있다. 다만, 열선 탐지는 실내 열 변화에 취약하며, 인체가 방호복이나 마스크 또는 제조장비에 의해 가려지는 경우 정확한 탐지가 어려울 수 있는 단점이 있다. 또한, 적외선 탐지는 수분에 의한 산란이나 광원 등 외부 환경에 민감하다는 단점이 있을 수 있다. 이에 본 발명에 있어서는 인체 감지 센서(40)로서 IR-UWB(Impulse Radio Ultra Wideband) 통신 기술을 기반으로 한 센서를 적용하는 것을 추가로 제안한다. 인체 감지 센서(40)의 구체적인 기술에 대해서는 후술한다. The human body detection sensor 40 senses the presence or absence of the worker 60 within the protective cover 10 . In one embodiment, the human body detection sensor 40 may detect a human body using a heat ray detection method or an infrared detection method. However, heat ray detection is vulnerable to indoor heat changes, and accurate detection may be difficult when the human body is covered by protective clothing or masks or manufacturing equipment. In addition, infrared detection may have a disadvantage in that it is sensitive to external environments such as scattering by moisture or a light source. Therefore, in the present invention, it is further proposed to apply a sensor based on IR-UWB (Impulse Radio Ultra Wideband) communication technology as the human body detection sensor 40. A specific technology of the human body detection sensor 40 will be described later.

장비 제어부(70)는 제조장비(20)의 안전운전을 제어한다. 장비 제어부(70)는 도어 개폐 센서(14) 및/또는 인체 감지 센서(40)로부터 센싱 정보를 입력받을 수 있다. 장비 제어부(70)는 조작 패널(30)로부터의 정보를 입력받을 수 있고, 조작 패널(30)에 제조장비(20)의 운전 상태에 대한 정보가 출력되도록 할 수 있다. 또한, 장비 제어부(70)는 경고부(50)를 통해 제조장비(20)의 작동 상태 또는 위험 상태를 출력할 수 있다. The equipment controller 70 controls safe operation of the manufacturing equipment 20 . The equipment controller 70 may receive sensing information from the door open/close sensor 14 and/or the human body sensor 40 . The equipment control unit 70 may receive information from the operation panel 30 and output information on the operating state of the manufacturing equipment 20 to the operation panel 30 . In addition, the equipment control unit 70 may output an operating state or a dangerous state of the manufacturing equipment 20 through the warning unit 50 .

장비 제어부(70)는 제조장비(20)의 작동시 도어(12)의 개방을 금지할 수 있다. 이 경우 도어(12)에 잠금장치(미도시)가 구비되고 장비 제어부(70)는 상기 잠금장치를 잠금 상태로 유지할 수 있다. The equipment control unit 70 may prohibit opening of the door 12 during operation of the manufacturing equipment 20 . In this case, a locking device (not shown) is provided on the door 12, and the equipment controller 70 may maintain the locking device in a locked state.

작업자가 제조장비(20)의 점검이나 유지보수를 위해 보호 커버(10) 내로 진입하고자 하는 경우 작업자는 조작 패널(30)을 통해 제조장비(20)의 작동을 중지시키고 보호 커버(10)로의 진입을 조작 패널(30)에 입력할 수 있다. 이 경우 장비 제어부(70)는 작업자의 출입을 승인할 수 있고, 도어 개폐 센서(14)의 센싱에 따라 도어(12)의 개방을 감지할 수 있다. When the worker wants to enter the protective cover 10 for inspection or maintenance of the manufacturing equipment 20, the worker stops the operation of the manufacturing equipment 20 through the operation panel 30 and enters the protective cover 10. can be input to the operation panel 30. In this case, the equipment control unit 70 may approve the entry and exit of the worker, and may detect the opening of the door 12 according to the sensing of the door opening/closing sensor 14 .

작업자가 보호 커버(10) 내에 진입한 경우 인체 감지 센서(40)는 작업자를 감지한다. 장비 제어부(70)는 인체 감지 센서(40)가 작업자를 감지한 신호를 전달하면, 장비 제어부(70)는 경고부(50)를 통해 시각적 또는 청각적으로 보호 커버(10) 내에 작업자가 있음을 경고할 수 있고, 조작 패널(30)을 통해서도 경고 메시지를 출력할 수 있다. 또한, 장비 제어부(70)는 작업자가 보호 커버(10) 내에 존재하는 경우 제조장비(20)의 작동을 금지시킬 수 있다. When a worker enters the protective cover 10, the human body detection sensor 40 detects the worker. When the equipment control unit 70 transmits a signal that the human body detection sensor 40 detects a worker, the equipment control unit 70 visually or audibly through the warning unit 50 indicates that there is a worker within the protective cover 10. A warning can be issued, and a warning message can also be output through the operation panel 30 . In addition, the equipment controller 70 may prohibit the operation of the manufacturing equipment 20 when an operator is present in the protective cover 10 .

한편, 장비 제어부(70)는 인체 감지 센서(40)의 센싱에 따라 작업자의 상태 정보를 모니터링할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 인체 감지 센서(40)는 작업자의 움직임 정보, 호흡 상태, 및 심박 상태 중 적어도 하나를 센싱하고, 장비 제어부(70)는 인체 감지 센서(40)의 센싱 결과에 따라 작업자의 이상 여부를 판단하여 경고부(50) 등을 통해 통지할 수 있다. 또한, 장비 제어부(70)는 환경 센서(16)의 센싱 결과에 따라 작업자의 보호 커버(10) 내로의 진입이 위험하다고 판단된 경우, 또는 작업자가 보호 커버(10) 내에 진입한 상태에서 보호 커버(10) 내의 환경이 작업자에게 유해하다고 판단된 경우 작업자의 진입을 금지하거나 경고부(50)를 통해 경고 메시지를 출력할 수 있다. Meanwhile, the equipment control unit 70 may monitor state information of the worker according to the sensing of the human body sensor 40 . In one embodiment, the human body sensor 40 senses at least one of movement information, a breathing state, and a heartbeat state of the worker, and the equipment control unit 70 detects the human body sensor 40 according to the sensing result of the worker. An abnormality may be determined and notified through a warning unit 50 or the like. In addition, the equipment control unit 70 determines that the operator's entry into the protective cover 10 is dangerous according to the sensing result of the environmental sensor 16, or the protective cover in a state in which the operator enters the protective cover 10. If it is determined that the environment in (10) is harmful to the worker, the worker's entry may be prohibited or a warning message may be output through the warning unit 50.

일 실시예에 있어서, 작업자가 보호 커버(10) 내에 존재하는 것으로 인체 감지 센서(40)에 의해 감지된 경우, 외부에서 다른 작업자가 조작 패널(30)을 이용하여 제조장비(20)의 작동을 입력하더라도 장비 제어부(70)는 제조장비(20)의 작동을 금지할 수 있다. In one embodiment, when it is detected by the human body detection sensor 40 that a worker is present in the protective cover 10, another worker from the outside uses the operation panel 30 to control the operation of the manufacturing equipment 20. Even if input, the equipment controller 70 may prohibit the operation of the manufacturing equipment 20 .

이러한 구성에 의하여 장비 제어부(70)는 제조장비(20)의 안전운전을 도모할 수 있다. With this configuration, the equipment controller 70 can promote safe operation of the manufacturing equipment 20 .

한편, 장비 제어부(70)는 통합 제어부(80)와 통신할 수 있다. 통합 제어부(80)는 제조장비(20)의 작동을 중앙에서 관제하는 장치할 수 있다. 통합 제어부(80)는 하나의 제조장비(20) 또는 복수의 제조장비(20)를 중앙에서 관제하는 기능을 수행할 수 있다. 일 실시예에 있어서 상기 제조장비(20)는 액정 디스플레이를 제조하는 특정 공정을 수행하는 장치이고, 통합 제어부(80)는 액정 디스플레이의 제조를 위한 복수의 공정을 수행하는 복수의 제조장비(20)를 중앙에서 제어할 수 있다. Meanwhile, the equipment control unit 70 may communicate with the integrated control unit 80. The integrated control unit 80 may be a device that centrally controls the operation of the manufacturing equipment 20 . The integrated control unit 80 may perform a function of centrally controlling one manufacturing equipment 20 or a plurality of manufacturing equipment 20 . In one embodiment, the manufacturing equipment 20 is a device that performs a specific process of manufacturing a liquid crystal display, and the integrated control unit 80 is a plurality of manufacturing equipment 20 that performs a plurality of processes for manufacturing a liquid crystal display can be centrally controlled.

장비 제어부(70)는 제조장비(20)의 작동 상태 및/또는 보호 커버(10) 내의 작업자 존재 여부를 통합 제어부(80)로 전송할 수 있다. 또한, 장비 제어부(70)는 보호 커버(10) 내의 작업자에게 문제가 발생한 경우 문제 발생 사실을 통합 제어부(80)로 전송하여 구조를 위한 조치가 즉각적으로 이루어지도록 할 수 있다. The equipment control unit 70 may transmit the operating state of the manufacturing equipment 20 and/or whether a worker exists in the protective cover 10 to the integrated control unit 80 . In addition, the equipment control unit 70 may transmit the occurrence of a problem to the integrated control unit 80 when a problem occurs to the operator in the protective cover 10 so that rescue measures can be taken immediately.

통합 제어부(80)에 의해 제조장비(20)의 작동이 지시된 경우, 장비 제어부(70)는 보호 커버(10) 내에 작업자가 존재하는 것을 감지한 상태에서는 제조장비(20)의 작동을 수행하지 않도록 제어할 수 있다. When the operation of the manufacturing equipment 20 is instructed by the integrated control unit 80, the equipment control unit 70 does not operate the manufacturing equipment 20 in a state in which a worker is present in the protective cover 10. You can control not to.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제조장비 안전운전 시스템에 적용되는 인체 감시 센서의 일례를 도시한 블록도이다. 3 is a block diagram showing an example of a human body monitoring sensor applied to a manufacturing equipment safety driving system according to a preferred embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 인체 감지 센서(40)는 IR-UWB 대역의 전자파를 방사하여 물체에서 반사된 신호를 수신하여 물체의 움직임과 거리를 탐지하는 센서일 수 있다. IR-UWB 통신 기술은 수 ns에서 수백 ps에 이르는 매우 좁은 폭의 임펄스를 사용함으로써 협대역 신호들에 비해 보다 높은 정확도로 임의의 객체로부터 반사된 전파 신호를 탐지하고 이로부터 호흡이나 심박 신호를 유효하게 추출할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the human body detection sensor 40 may be a sensor that emits electromagnetic waves in the IR-UWB band and receives a signal reflected from an object to detect motion and distance of the object. IR-UWB communication technology detects a radio signal reflected from an arbitrary object with higher accuracy than narrowband signals by using a very narrow width impulse ranging from a few ns to hundreds of ps, and uses it as a respiration or heartbeat signal. can be extracted.

도 3을 참조하면, 인체 감지 센서(40)는, 시스템과 연결되는 인터페이스부(42), 센서의 작동을 제어하는 센서 제어부(44), 전자파의 방사와 수신을 수행하는 트랜시버(46), 및 전자파를 방사하고 수신하는 안테나(48)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3, the human body sensor 40 includes an interface unit 42 connected to the system, a sensor controller 44 that controls the operation of the sensor, a transceiver 46 that emits and receives electromagnetic waves, and An antenna 48 for radiating and receiving electromagnetic waves may be included.

상기 인체 감지 센서(40)는 물체와의 거리 정보를 산출할 수 있다. 또한, 상기 인체 감지 센서(40)는 탐지 구역 내에서 작동하는 물체나 인체의 경우 거리 정보의 변동에 따라 움직임을 감지할 수 있다. 또한, 상기 인체 감지 센서(40)는 인체의 호흡 정보 또는 심박 정보를 센싱할 수 있다. 인체 감지 센서(40)에 의해 움직임이 검출된 물체에서 호흡 정보 또는 심박 정보를 센싱한 경우 해당 물체는 인체인 것으로 센싱하는 것이 가능할 수 있다. The human body detection sensor 40 may calculate distance information with an object. In addition, the human body detection sensor 40 may detect a movement according to a change in distance information in the case of an object or a human body operating within a detection area. In addition, the body detection sensor 40 may sense breathing information or heartbeat information of the human body. When breathing information or heart rate information is sensed from an object whose movement is detected by the human body sensor 40, it may be possible to sense that the corresponding object is a human body.

또한, 본 발명에 있어서, 인체 감지 센서(40)에 의해 인체의 호흡 또는 심박 정보가 센싱되나 인체의 기타 움직임이 멈춘 경우, 또는 호흡 또는 심박 정보의 센싱 결과가 점차 느려지는 경우 등에 있어서는 보호 커버(10) 내에 위치한 작업자의 신체 상태에 이상이 발생하는 것으로 판단될 수 있다. In addition, in the present invention, when the human body sensor 40 detects breathing or heart rate information, but other movements of the human body stop, or when the sensing result of breathing or heart rate information gradually slows down, the protective cover ( 10) It can be determined that an abnormality occurs in the physical condition of the worker located inside.

IR-UWB 방식의 인체 감지 센서(40)의 구체적인 작동 방식을 설명하면 다음과 같다. A detailed operation method of the human body detection sensor 40 of the IR-UWB method is described as follows.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제조장비 안전운전 시스템에 사용되는 IR-UWB 방식의 인체 감지 센서의 감지 방법을 설명하는 순서도이고, 도 5는 IR-UWB 방식의 인체 감지 센서에서 주기성을 판단하는 방법을 도시한 순서도이다. 4 is a flowchart illustrating a detection method of an IR-UWB type human body sensor used in a safe driving system for manufacturing equipment according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. It is a flow chart showing how to judge.

인체 감지 센서(40)는 전자파를 방사하고 임의의 객체로부터 반사된 신호를 수신하며, 수신된 신호로부터 배경 신호를 제거한다(S200). 배경 신호는 움직이지 않는 정적 물체로부터 반사된 신호이거나, 소정 세기 미만 또는 소정 세기 이상의 신호일 수 있다. The human sensor 40 emits electromagnetic waves, receives a signal reflected from an object, and removes a background signal from the received signal (S200). The background signal may be a signal reflected from a stationary object that is not moving, or a signal with a certain intensity below or above a certain intensity.

센서 제어부(44)는 배경 신호가 제거된 전파 신호를 반사된 거리에 따라 분류할 수 있다. 반사된 거리는 비행 시간(Time-of-flight)에 따라 산출될 수 있다. 센서 제어부(44)는 전파 신호를 거리에 따라 분류한 후, 신호의 반사 거리별 세기에 기반하여 시간-반사 거리별 전파 신호를 기록하고 신호 세기가 최대 분산 또는 최대 에너지를 가지는 최대 신호 위치를 결정한다(S202). 신호 세기가 최대 분산 또는 최대 에너지를 가지는 지점은 동적 객체가 존재할 것으로 예상되는 제 1 후보 위치가 될 수 있다. The sensor controller 44 may classify the radio signal from which the background signal is removed according to the reflected distance. The reflected distance may be calculated according to the time-of-flight. The sensor control unit 44 classifies the radio signal according to the distance, records the radio signal for each time-reflection distance based on the intensity for each reflection distance of the signal, and determines the position of the maximum signal having the maximum dispersion or maximum energy in the signal intensity. Do (S202). A point where the signal strength has the maximum variance or maximum energy may be a first candidate position where a dynamic object is expected to exist.

센서 제어부(44)는 최대 신호 위치에서 소정의 시간 동안 전파 신호를 추출한다(S204). The sensor control unit 44 extracts a radio wave signal for a predetermined time at the maximum signal position (S204).

센서 제어부(44)는 소정의 시간 동안 추출된 전파 신호의 주기성(periodicity)을 관찰하고 주기성이 관찰되는지 여부에 따라 인체의 호흡 또는 심박을 검출할 수 있다. 이를 구체적으로 설명하면 다음과 같다. The sensor control unit 44 may observe the periodicity of the radio signal extracted for a predetermined period of time, and detect the respiration or heartbeat of the human body according to whether or not the periodicity is observed. A detailed description of this is as follows.

센서 제어부(44)는 S204 단계에서 추출된 전파 신호에 대하여, 소정의 시간 동안 추출한 제 1 전파 신호와 상기 제 1 전파 신호를 일정 시간만큼 지연시킨 제 2 전파 신호 사이의 자기 상관(self-correlation)을 수행하고(S206), 자기 상관 연산에 따라 두 전파 신호간 유사도를 산출하고(S208), 전파 신호의 주기성을 판단한다(S210). With respect to the radio signal extracted in step S204, the sensor control unit 44 determines the self-correlation between the first radio signal extracted for a predetermined time and the second radio signal obtained by delaying the first radio signal by a predetermined time. is performed (S206), the similarity between the two radio signals is calculated according to the autocorrelation operation (S208), and the periodicity of the radio signals is determined (S210).

S206 단계 내지 S210 단계의 구체적인 실시예를 도 5에 도시하였다. A specific embodiment of steps S206 to S210 is shown in FIG. 5 .

최대 신호 위치로부터 반사되어 수신된 전파 신호를 소정의 시간 동안 추출한 제1 전파 신호와 상기 제 1 전파 신호를 일정 시간만큼 지연시킨 제 2 전파 신호 사이의 자기 상관 연산을 통해 두 전파 신호간 유사도를 계산하며, 상기 두 전파 신호간 유사도가 최대값을 나타내는 피크 사이의 주기의 역수값(f1)을 계산한다(S300). Calculate similarity between two radio signals through an autocorrelation operation between a first radio signal obtained by extracting a radio signal reflected from a maximum signal position and received for a predetermined time and a second radio signal obtained by delaying the first radio signal by a predetermined time And, the reciprocal value f1 of the period between the peaks representing the maximum similarity between the two propagation signals is calculated (S300).

상기 최대 신호 위치로부터 반사되어 수신된 전파 신호를 소정의 시간 동안 추출한 후 푸리에 변환(Fourier transform) 연산을 통해 상기 전파 신호의 최대 주파수값(f2)을 계산한다(S302). After extracting the received radio signal reflected from the position of the maximum signal for a predetermined time, the maximum frequency value f2 of the radio signal is calculated through a Fourier transform operation (S302).

상기 역수값(f1)과 상기 주파수값(f2)의 차이의 절대값이 소정의 범위 내인지 여부를 판단하여(S304), 소정 범위 이내인 경우는 주기성이 있는 것으로 판단되고 소정 범위를 벗어나는 경우는 주기성이 없는 것으로 판단한다.It is determined whether the absolute value of the difference between the reciprocal value f1 and the frequency value f2 is within a predetermined range (S304). If it is within the predetermined range, it is determined that there is periodicity, and if it is out of the predetermined range, It is judged that there is no periodicity.

상기 S300 및 S302 단계에서 최대 신호 위치로부터 반사되어 수신된 전파 신호를 추출하는 "소정의 시간(T1)"은 추출된 전파 신호를 자기 상관 연산 및 푸리에 변환 연산을 했을 때 유의미한 결과값이 얻어지기에 충분한 시간(즉, 적어도 호흡 또는 심박 신호로 추정할 수 있는 주기성이 충분히 발현될 수 있는 시간)을 의미한다. The "predetermined time (T1)" for extracting the received radio signal reflected from the maximum signal position in steps S300 and S302 is to obtain a meaningful result when autocorrelation operation and Fourier transform operation are performed on the extracted radio signal It means a sufficient time (ie, at least a time during which periodicity that can be estimated from a respiration or heart rate signal can be sufficiently expressed).

또한, S304 단계에서 역수값(f1) 및 주파수값(f2)의 차이의 절대값이 존재하여야 할 "소정의 범위(d)"는 대표적인 유의미한 동적 객체에 해당하는 사람의 일반적인 호흡 패턴 또는 심박 패턴에 따라 달라질 수 있으나, 사람의 호흡 또는 심박 신호는 사인(Sin) 또는 코사인(Cos) 파형과 상당히 유사하기 때문에 역수값(f1)과 주파수값(f2)의 차이는 최대 신호 위치에서 추출된 전파 신호가 호흡 신호로 추정되는 주기성을 나타낼 경우, "소정의 범위(d)"는 역수값(f1) 및 주파수값(f2) 중 어느 하나의 값의 10% 미만, 바람직하게는 5% 미만일 수 있다.In addition, in step S304, the "predetermined range (d)" in which the absolute value of the difference between the reciprocal value (f1) and the frequency value (f2) should exist is a typical breathing pattern or heartbeat pattern of a person corresponding to a representative meaningful dynamic object. However, since the human respiration or heart rate signal is very similar to a sine or cosine waveform, the difference between the reciprocal value (f1) and the frequency value (f2) is the radio signal extracted from the maximum signal position. In the case of representing the periodicity estimated by the breathing signal, the "predetermined range (d)" may be less than 10%, preferably less than 5% of any one of the reciprocal value (f1) and the frequency value (f2).

도 6은 IR-UWV 방식의 인체 감지 센서의 신호를 처리하는 일례를 도시한 도면이다. 6 is a diagram illustrating an example of processing a signal of an IR-UWV type human body sensor.

도 6의 (a)는 호흡 신호로 추정되는 신호의 주기성이 존재하는 전파 신호의 추출 결과를 나타낸 것이며, (b)는 (a)에 나타낸 전파 신호의 푸리에 변환(Fourier transform) 연산 결과를 나타낸 것이며, (c)는 (a)에 나타낸 전파 신호의 자기 상관(auto-correlation) 연산 결과를 나타낸 것이다.Figure 6 (a) shows the extraction result of the radio wave signal in which the periodicity of the signal estimated as a respiration signal exists, and (b) shows the result of Fourier transform operation of the radio signal shown in (a). , (c) shows the auto-correlation calculation result of the radio signal shown in (a).

도 6의 (b)에 나타낸 바와 같이, 도 6의 (a)에 나타낸 전파 신호를 푸리에 변환(Fourier transform) 연산한 후, 최대 주파수값을 통해 호흡수를 연산할 경우, 29.7회/분의 결과값이 얻어지는 반면, 도 6의 (c)에 나타낸 바와 같이, 도 6의 (a)에 나타낸 전파 신호와 이를 일정 시간만큼 지연시킨 신호 사이의 자기 상관(autocorrelation) 연산을 통해 얻어진 두 신호간 유사도가 최대값을 나타내는 피크 사이의 주기의 역수값을 통해 얻어진 호흡수는 30.2회/분이다.As shown in (b) of FIG. 6, after performing the Fourier transform operation on the radio signal shown in (a) of FIG. 6 and then calculating the respiratory rate through the maximum frequency value, the result is 29.7 times/minute While the value is obtained, as shown in (c) of FIG. 6, the similarity between the two signals obtained through the autocorrelation operation between the propagation signal shown in (a) of FIG. 6 and the signal delayed by a certain time is The respiratory rate obtained through the reciprocal value of the period between peaks representing the maximum value is 30.2 times/min.

도 6의 (a)에 나타낸 전파 신호로부터 연산된 역수값(f1)와 주파수값(f2)의 차이는 또는 역수값(f1) 및 주파수값(f2) 중 어느 하나의 값의 10% 미만에 해당하는 바, 나타낸 전파 신호는 호흡 신호로 추정되는 주기성이 존재하는 것으로 판정할 수 있다.The difference between the reciprocal value f1 and the frequency value f2 calculated from the radio signal shown in (a) of FIG. 6 corresponds to less than 10% of either of the reciprocal value f1 and the frequency value f2. As such, it can be determined that the indicated radio signal has a periodicity estimated as a respiration signal.

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제조장비 안전운전 방법을 도시한 순서도이다.7 is a flowchart illustrating a safe driving method for manufacturing equipment according to a preferred embodiment of the present invention.

먼저, 제조장비(20)가 작동중인 상태로 가정한다(S400).First, it is assumed that the manufacturing equipment 20 is operating (S400).

제조장비(20)가 작동중인 경우, 외부에서의 도어(12) 개방을 금지하거나 도어(12)를 개방하고 보호 커버(10) 내로 진입하는 경우 장비 제어부(70)는 경고를 발생시킴으로써 보호 커버(10) 내로의 진입을 차단한다(S402). If the manufacturing equipment 20 is in operation, prohibiting the opening of the door 12 from the outside or opening the door 12 and entering the protective cover 10, the equipment control unit 70 issues a warning so that the protective cover ( 10) The entry into the inside is blocked (S402).

보호 커버(10)로 내로 작업자가 진입하고자 하는 경우, 작업자가 조작 패널(30) 등을 조작하거나 통합 제어부(80)의 제어에 따라 의해 장비 제어부(70)는 제조장비(10) 작동을 중지시킨다(S404). When a worker wants to enter into the protective cover 10, the equipment controller 70 stops the operation of the manufacturing equipment 10 by the operator manipulating the operation panel 30 or under the control of the integrated controller 80. (S404).

인체 감지 센서(40)는 보호 커버(10) 내에 진입한 인체를 감지한다(S406). 인체 감지 센서(40)가 보호 커버(10) 내의 인체를 감지한 경우 다음과 같은 조치가 이루어진다. The human body detection sensor 40 detects a human body entering the protective cover 10 (S406). When the human body detection sensor 40 detects a human body within the protective cover 10, the following measures are taken.

보호 커버(10) 내에서 인체가 감지되는 경우임에도 보호 커버(10) 외부의 조작 패널(30) 또는 통합 제어부(80)를 통해 제조장비 작동 요청이 있는 경우(S408), 장비 제어부(70)는 제조장비(20)의 작동을 금지하는 한편, 경고부(50)를 통해 경고 신호를 출력할 수 있다(S410). Even when a human body is detected within the protective cover 10, if there is a request to operate manufacturing equipment through the operation panel 30 or integrated control unit 80 outside the protective cover 10 (S408), the equipment control unit 70 While prohibiting the operation of the manufacturing equipment 20, a warning signal may be output through the warning unit 50 (S410).

한편, 인체 감지 센서(40)는 보호 커버(10) 내에 진입한 인체의 호흡 또는 심박 정보를 센싱하고 인체의 상태를 판단할 수 있다(S412). 인체의 이상이 발생한 것으로 판단된 경우 장비 제어부(70)는 경고 신호를 출력한다(S416). Meanwhile, the human body detection sensor 40 may sense respiration or heartbeat information of a human body entering the protective cover 10 and determine the human body condition (S412). When it is determined that an abnormality has occurred in the human body, the equipment controller 70 outputs a warning signal (S416).

또한, 보호 커버(10) 내에 구비된 환경 센서(16)는 보호 커버(10) 내의 환경 정보를 센싱하고(S414), 보호 커버(10) 내의 환경이 인체에 유해한 경우 장비 제어부(70)는 경고 신호를 출력한다(S416).In addition, the environmental sensor 16 provided in the protective cover 10 senses environmental information in the protective cover 10 (S414), and if the environment in the protective cover 10 is harmful to the human body, the equipment control unit 70 warns A signal is output (S416).

또한, S416 단계에서, 장비 제어부(70)는 이상 발생 사실을 통합 제어부(80)로 전달할 수 있다. In addition, in step S416, the equipment control unit 70 may transmit the occurrence of an abnormality to the integrated control unit 80.

도 8은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 제조장비 안전운전 시스템을 도시한 도면이다.8 is a diagram showing a manufacturing equipment safety driving system according to another preferred embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 제조장비 안전운전 시스템은 제조장비(90), 상기 제조장비(90) 내에 설치된 인체 감지 센서(40), 상기 인체 감지 센서(40)의 센싱 정보를 입력받는 장비 제어부(510), 및 상기 장비 제어부(510)의 제어에 의해 경고 신호를 발생하는 경고부(520)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 8 , the manufacturing equipment safe driving system according to another embodiment of the present invention detects the manufacturing equipment 90, the human body detection sensor 40 installed in the manufacturing equipment 90, and the human body detection sensor 40. It may include an equipment control unit 510 that receives information, and a warning unit 520 that generates a warning signal under the control of the equipment control unit 510.

도 8에 도시된 제조장비는 반도체 공정 또는 디스플레이 등의 제조 공정에 사용되는 공정 가스를 저장하는 가스 챔버(90)인 것을 특징으로 한다. 일 실시예에 있어서, 상기 가스 챔버(90)는 질소를 저장하는 것일 수 있다. The manufacturing equipment shown in FIG. 8 is characterized in that it is a gas chamber 90 for storing a process gas used in a manufacturing process such as a semiconductor process or a display. In one embodiment, the gas chamber 90 may store nitrogen.

상기 가스 챔버(90)는 가스를 보관하는 용기부(92)와 상기 용기부(92)의 개방부를 덮는 커버부(94)를 포함할 수 있다. 가스 챔버(90) 내의 세정과 같은 유지보수나 점검이 필요한 경우 커버부(94)를 열고 작업자가 가스 챔버(90) 내부로 들어갈 수 있다.The gas chamber 90 may include a container part 92 for storing gas and a cover part 94 covering an open portion of the container part 92 . When maintenance or inspection such as cleaning of the gas chamber 90 is required, the cover part 94 can be opened and an operator can enter the inside of the gas chamber 90 .

커버부(94) 또는 용기부(92)의 소정 위치에는 상기 커버부(94)의 개폐를 인식하는 개폐 센서(96)가 구비될 수 있다. 장비 제어부(510)는 개폐 센서(96)의 센싱에 따라 커버부(94)가 개방됨을 인식할 수 있다. An opening/closing sensor 96 for recognizing opening/closing of the cover unit 94 may be provided at a predetermined location of the cover unit 94 or the container unit 92 . The equipment control unit 510 may recognize that the cover unit 94 is opened according to the sensing of the opening/closing sensor 96 .

또한, 상기 용기부(92)의 내부에는 온도, 압력, 및 농도 중 적어도 하나를 센싱하는 환경 센서(98)가 구비될 수 있다. 장비 제어부(510)는 환경 센서(98)의 센싱에 따라 용기부(92) 내부의 온도, 압력, 또는 유해가스의 농도를 인식할 수 있다. In addition, an environment sensor 98 for sensing at least one of temperature, pressure, and concentration may be provided inside the container part 92 . The equipment control unit 510 may recognize the temperature, pressure, or concentration of harmful gases inside the storage unit 92 according to the sensing of the environment sensor 98 .

용기부(92) 내부로 작업자가 들어간 경우, 인체 감지 센서(40)는 인체를 센싱하고 센싱 결과를 장비 제어부(510)로 전달한다. 인체 감지 센서(40)는 인체의 동작을 센싱하거나, 인체의 존재를 호흡이나 심박을 센싱함으로써 파악할 수 있다. 또한, 인체 감지 센서(40)는 인체의 호흡이나 심박 정도를 센싱할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 인체 감지 센서(40)는 상기 개폐 센서(96)에 의해 커버부(94)가 개방된 것으로 인식한 경우에 작동되도록 설정될 수 있다. When a worker enters the container part 92, the human body sensor 40 senses the human body and transmits the sensing result to the equipment control unit 510. The human body detection sensor 40 may sense the movement of the human body or detect the existence of the human body by sensing respiration or heartbeat. In addition, the human body detection sensor 40 may sense the degree of respiration or heart rate of the human body. In one embodiment, the human body detection sensor 40 may be set to operate when it is recognized that the cover part 94 is opened by the opening/closing sensor 96 .

장비 제어부(510)는 인체 감지 센서(40)의 센싱에 따라 경고부(520)를 통해 가스 챔버(90)에 작업자가 존재함을 경고하거나, 통합 제어부(80)로 작업자가 가스 챔버(90)에 진입하였음을 통보할 수 있다. The equipment controller 510 warns that a worker exists in the gas chamber 90 through the warning unit 520 according to the sensing of the human body sensor 40, or the integrated controller 80 alerts the operator to the gas chamber 90. You can be notified that you have entered.

또한, 장비 제어부(510)는 인체 감지 센서(40)의 센싱 결과에 따라 작업자의 호흡 상태 또는 심박 상태가 정상 상태인지를 판단하고, 정상 상태가 아닌 경우 경고부(520)를 통해 경고 또는 통합 제어부(80)로 통보할 수 있다. In addition, the equipment control unit 510 determines whether the worker's breathing or heart rate is normal according to the sensing result of the human body sensor 40, and if it is not normal, the warning unit 520 issues a warning or an integrated control unit. (80).

또한, 장비 제어부(510)는 환경 센서(98)의 센싱 결과에 따라 작업자가 가스 챔버(90)로 진입하기에 부적절한 상태인 경우, 또는 작업자가 가스 챔버(90)로 진입한 상태에서 가스 챔버(90) 내부의 상태가 인체에 유해한 상태로 변화된 경우 경고부(520)를 통해 경고할 수 있다. In addition, the equipment control unit 510 determines whether the operator is in an inappropriate state to enter the gas chamber 90 according to the sensing result of the environment sensor 98 or the gas chamber ( 90) When the internal state is changed to a state harmful to the human body, a warning may be given through the warning unit 520.

경우에 따라서, 상기 가스 챔버(90)로 가스가 공급되도록 통합 제어부(80)가 다른 장치를 제어할 수 있다. 가스 챔버(90) 내부에 작업자가 존재함을 상기 인체 감지 센서(40)가 센싱한 경우, 상기 통합 제어부(80)는 상기 가스 챔버(90)로의 가스 공급이 요청되는 경우라도 상기 가스 챔버(90)로의 가스 공급이 이루어지지 않도록 제어할 수 있다. In some cases, the integrated control unit 80 may control other devices so that gas is supplied to the gas chamber 90 . When the human body sensor 40 senses that an operator exists inside the gas chamber 90, the integrated control unit 80 controls the gas chamber 90 even when gas supply to the gas chamber 90 is requested. ) can be controlled so that gas supply is not made.

도 8에 도시된 실시예에 따르면, 유해 가스를 보관하는 가스 챔버(90)의 상태가 인체에 유해한 경우 작업자의 진입을 방지할 수 있다. 또한, 가스 챔버(90) 내에 작업자가 진입한 것을 인체 감지 센서(40)로 센싱하거나 또는 작업자의 상태를 인체 감지 센서(40)로 센싱함으로써 안전 사고의 위험을 사전에 방지할 수 있다. According to the embodiment shown in FIG. 8 , when the state of the gas chamber 90 for storing harmful gas is harmful to the human body, it is possible to prevent workers from entering. In addition, the risk of a safety accident can be prevented in advance by sensing the human body detection sensor 40 that a worker enters the gas chamber 90 or sensing the human body state sensor 40 of the worker.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely an example of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art can make various modifications, changes, and substitutions without departing from the essential characteristics of the present invention. will be. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments and the accompanying drawings. . The protection scope of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the equivalent range should be construed as being included in the scope of the present invention.

10 : 보호 커버
12 : 도어
14 : 도어 개폐 센서
16 : 환경 센서
20 : 제조장비
30 : 조작 패널
40 : 인체 감지 센서
42 : 인터페이스부
44 : 센서 제어부
46 : 트랜시버
48 : 안테나
50 : 경고부
70 : 장비 제어부
80 : 통합 제어부
90 : 가스 챔버
10: protective cover
12: door
14: door open sensor
16: environment sensor
20: manufacturing equipment
30: operation panel
40: human body detection sensor
42: interface unit
44: sensor control unit
46: transceiver
48: antenna
50: warning part
70: equipment control unit
80: integrated control unit
90: gas chamber

Claims (21)

제조장비를 수용하는 보호 커버 내부에 존재하는 인체를 센싱하는 인체 감지 센서;
상기 인체 감지 센서의 센싱 결과에 따라 상기 제조장비를 제어하거나 경고 신호를 출력하는 경고부를 제어하는 장비 제어부; 및,
상기 보호커버 내부의 온도, 압력, 및 가스 농도 중 적어도 하나를 센싱하는 환경 센서;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 시스템.
A human body detection sensor for sensing a human body existing inside a protective cover accommodating manufacturing equipment;
an equipment controller controlling the manufacturing equipment or a warning unit outputting a warning signal according to a sensing result of the human body sensor; and,
an environmental sensor for sensing at least one of temperature, pressure, and gas concentration inside the protective cover;
Manufacturing equipment safety driving system comprising a.
제 1 항에 있어서,
상기 제조장비의 작동 명령을 입력하는 조작 패널이 추가로 구비되고,
상기 장비 제어부는 상기 인체 감지 센서에 의해 인체가 감지되는 경우 상기 조작 패널에 경고 메시지를 출력하거나 상기 제조장비 작동을 금지하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 시스템.
According to claim 1,
An operation panel for inputting an operation command of the manufacturing equipment is further provided,
The equipment control unit outputs a warning message to the operation panel or prohibits the operation of the manufacturing equipment when a human body is detected by the human body sensor.
제 1 항에 있어서,
상기 인체 감지 센서에 의해 인체가 감지된 경우, 상기 제조장비를 중앙에서 관제하는 통합 제어부에 의한 상기 제조장비의 작동명령에도 불구하고 상기 장비 제어부는 상기 제조장비의 작동을 금지하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 시스템.
According to claim 1,
When a human body is detected by the human body sensor, the equipment control unit prohibits the operation of the manufacturing equipment despite an operation command of the manufacturing equipment by an integrated control unit that centrally controls the manufacturing equipment Equipment safety driving system.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 환경 센서의 센싱 결과에 따라, 상기 장비 제어부는 상기 보호커버에 구비된 도어의 개방을 금지하거나 상기 경고부를 통해 경고 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 시스템.
According to claim 1,
According to the sensing result of the environment sensor, the equipment control unit prohibits the opening of the door provided in the protective cover or outputs a warning signal through the warning unit.
제 3 항에 있어서,
상기 인체 감지 센서는 상기 인체의 상태를 센싱하고, 상기 장비 제어부는 상기 인체의 상태에 이상이 발생한 경우 상기 통합 제어부로 통보하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 시스템.
According to claim 3,
The human body detection sensor senses the state of the human body, and the equipment control unit notifies the integrated controller when an abnormality occurs in the state of the manufacturing equipment.
공정 가스를 저장하는 가스 챔버 내부에 존재하는 인체를 센싱하는 인체 감지 센서;
상기 인체 감지 센서의 센싱 결과에 따라 상기 가스 챔버를 제어하거나 경고 신호를 출력하는 경고부를 제어하는 장비 제어부; 및
상기 가스 챔버 내부의 온도, 압력, 및 가스 농도 중 적어도 하나를 센싱하는 환경 센서;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 시스템.
A human body detection sensor for sensing a human body present in a gas chamber storing process gas;
an equipment control unit controlling the gas chamber or a warning unit outputting a warning signal according to a sensing result of the human body sensor; and
an environmental sensor for sensing at least one of temperature, pressure, and gas concentration inside the gas chamber;
Manufacturing equipment safety driving system comprising a.
삭제delete 제 7 항에 있어서,
상기 인체 감지 센서가 상기 가스 챔버 내부에 인체가 존재하는 것으로 센싱하고, 상기 환경 센서의 센싱 결과 상기 가스 챔버 내부의 환경이 상기 인체에 유해한 것으로 판단된 경우 상기 경고부를 통해 경고 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 시스템.
According to claim 7,
Characterized in that the human body detection sensor senses that a human body exists inside the gas chamber, and outputs a warning signal through the warning unit when it is determined that the environment inside the gas chamber is harmful to the human body as a result of sensing by the environment sensor. manufacturing equipment safety operation system.
제 1 항 내지 제 3 항, 제 5 항 내지 제 7 항 및 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 인체 감지 센서는 IR-UWB(Impulse Radio Ultra Wideband) 통신 기술을 기반으로 한 센서임을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 시스템.
The method of any one of claims 1 to 3, 5 to 7 and 9,
The human body detection sensor is a manufacturing equipment safety driving system, characterized in that the sensor is based on IR-UWB (Impulse Radio Ultra Wideband) communication technology.
제 10 항에 있어서,
상기 인체 감지 센서는 상기 인체의 움직임 정보, 호흡 상태, 및 심박 상태 중 적어도 하나를 센싱하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 시스템.
According to claim 10,
The human body detection sensor senses at least one of the motion information of the human body, a breathing state, and a heartbeat state.
제 11 항에 있어서,
상기 인체 감지 센서는 전자파를 방사하여 반사된 신호를 수신하고, 상기 신호의 반사 거리별 세기에 기반하여 최대 신호 위치를 결정하고, 상기 신호의 주기성에 따라 상기 인체의 호흡 또는 심박을 검출하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 시스템.
According to claim 11,
The body detection sensor emits electromagnetic waves to receive a reflected signal, determines a maximum signal position based on the intensity of each reflection distance of the signal, and detects the respiration or heartbeat of the human body according to the periodicity of the signal. manufacturing equipment safety operation system.
제 12 항에 있어서,
상기 인체 감지 센서는 소정 시간 동안 추출한 상기 신호의 자기 상관에 따른 상기 신호의 유사도를 산출하여 상기 주기성을 판단하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 시스템.
According to claim 12,
The human body detection sensor determines the periodicity by calculating the similarity of the signal according to the autocorrelation of the signal extracted for a predetermined time.
제조장비를 외부와 분리하는 보호 커버의 내부, 또는 가스 챔버 내부의 인체의 존재 여부를 인체 감지 센서를 이용하여 센싱하는 센싱 단계;
상기 센싱 단계에서 상기 인체가 감지되는 경우, 경고부를 통해 경고 신호를 출력하거나 상기 제조장비 또는 상기 가스 챔버의 작동을 금지하는 보호 단계; 및
상기 보호 커버의 내부 또는 상기 가스 챔버 내부의 온도, 압력, 및 가스 농도 중 적어도 하나를 환경 센서를 이용하여 센싱하는 환경 센싱 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 방법.
A sensing step of sensing the presence or absence of a human body inside a protective cover separating manufacturing equipment from the outside or inside a gas chamber using a human body detection sensor;
a protection step of outputting a warning signal through a warning unit or prohibiting operation of the manufacturing equipment or the gas chamber when the human body is detected in the sensing step; and
an environment sensing step of sensing at least one of temperature, pressure, and gas concentration inside the protective cover or inside the gas chamber using an environment sensor;
Manufacturing equipment safe driving method comprising a.
제 14 항에 있어서,
상기 센싱 단계에서 상기 인체 감지 센서는 IR-UWB(Impulse Radio Ultra Wideband) 통신 기술을 기반으로 한 센서인 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 방법.
15. The method of claim 14,
In the sensing step, the human body detection sensor is a sensor based on IR-UWB (Impulse Radio Ultra Wideband) communication technology.
제 15 항에 있어서,
상기 인체 감지 센서는 상기 인체의 호흡 또는 심박 정보를 센싱하고, 상기 인체의 이상이 발생한 것으로 판단되는 경우,
상기 보호 단계에서 경고 신호를 출력하거나, 상기 제조장비 또는 상기 가스 챔버를 중앙에서 관제하는 통합 제어부로 통보하는 것을 특징으로 하는 것을 제조장비 안전 운전 방법.
According to claim 15,
The human body detection sensor senses respiration or heart rate information of the human body, and when it is determined that an abnormality of the human body has occurred,
In the protection step, a warning signal is output or notified to an integrated control unit that centrally controls the manufacturing equipment or the gas chamber.
제 16 항에 있어서,
상기 인체 감지 센서는 전자파를 방사하여 반사된 신호를 수신하고, 상기 신호의 반사 거리별 세기에 기반하여 최대 신호 위치를 결정하고, 상기 신호의 주기성에 따라 상기 인체의 호흡 또는 심박을 검출하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 방법.
17. The method of claim 16,
The body detection sensor emits electromagnetic waves to receive a reflected signal, determines a maximum signal position based on the intensity of each reflection distance of the signal, and detects the respiration or heartbeat of the human body according to the periodicity of the signal. How to operate manufacturing equipment safely.
제 17 항에 있어서,
상기 인체 감지 센서는 소정 시간 동안 추출한 상기 신호의 자기 상관에 따른 상기 신호의 유사도를 산출하여 상기 주기성을 판단하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 방법.
18. The method of claim 17,
The human body detection sensor determines the periodicity by calculating the similarity of the signal according to the autocorrelation of the signal extracted for a predetermined time.
삭제delete 제 14 항에 있어서,
상기 환경 센싱 단계의 센싱 결과에 따라, 상기 보호 단계는 상기 보호 커버의 내부 또는 상기 가스 챔버 내부로의 진입을 금지하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 방법.
15. The method of claim 14,
According to the sensing result of the environment sensing step, the protection step prohibits entry into the inside of the protective cover or the inside of the gas chamber.
제 14 항에 있어서,
상기 센싱 단계에서 인체의 존재가 감지되고 상기 환경 센싱 단계에서 센싱된 결과가 상기 인체에 유해한 것으로 판단된 경우, 상기 보호단계에서 상기 제조장비 또는 상기 가스 챔버를 중앙에서 관제하는 통합 제어부로 통보하는 것을 특징으로 하는 제조장비 안전 운전 방법.
15. The method of claim 14,
In the sensing step, when the presence of a human body is detected and the sensing result in the environment sensing step is determined to be harmful to the human body, in the protection step, the integrated control unit that centrally controls the manufacturing equipment or the gas chamber is notified. Manufacturing equipment safety operation method characterized by.
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