KR102517735B1 - Double-layer ionization module for ion mobility spectroscopy - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유입된 시료가스를 코로나 방전하기 위하여 제1전극팁으로 이루어진 제1기판부와 제2전극팁으로 이루어진 제2기판부로 구성된 총 2겹의 이온화모듈을 구비하여 기존 3개의 기판으로 이루어진 이온화모듈과 대비 그 구조를 간소화하고, 제1기판본체의 중심부에 십자형상으로 천공된 방전공을 형성하여 기존 4개의 구멍으로 이루어진 방전공과 대비 이온입자의 이동이 수월해져 많은량의 이온입자를 컬렉터로 보낼 수 있는 효과가 있다.The present invention is provided with a total of two layers of ionization modules consisting of a first substrate portion composed of a first electrode tip and a second substrate portion composed of a second electrode tip in order to corona discharge the introduced sample gas, thereby ionizing the existing three substrates. Compared to the module, the structure is simplified, and a cross-shaped discharge hole is formed in the center of the first substrate body, so that the movement of ion particles becomes easier compared to the existing discharge hole consisting of 4 holes, and a large amount of ion particles are collected. There is an effect that can be sent to .

Description

이온 이동도 분광기용 2겹 이온화모듈 { Double-layer ionization module for ion mobility spectroscopy }Double-layer ionization module for ion mobility spectroscopy }

본 발명은 이온 이동도 분광기용 2겹 이온화모듈에 관한 것으로서 보다 상세하게는 유입된 시료가스를 코로나 방전하기 위하여 기존 3개의 기판으로 이루어진 이온화모듈과 대비 그 구조가 간소화되도록 제1기판부와 제2기판부로 구성된 총 2겹의 이온화모듈이 구비된 이온 이동도 분광기용 2겹 이온화모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a two-layer ionization module for an ion mobility spectrometer, and more particularly, to corona discharge an introduced sample gas, compared to an ionization module consisting of three existing substrates, a first substrate and a second substrate to simplify its structure. It relates to a two-layer ionization module for an ion mobility spectrometer having a total of two layers of ionization modules composed of a substrate portion.

반적으로 이온 이동도 분광기(Ion Mobility Spectrometer; IMS)는 공기 중의 유해 물질의 존재를 검출하는 것으로, 마약류, 폭발물, 유해 화학 물질의 감식에 이용되고 있다.In general, Ion Mobility Spectrometer (IMS) detects the presence of hazardous substances in the air, and is used for identification of narcotics, explosives, and hazardous chemicals.

이러한 이온 이동도 분광법을 활용하기 위해서는 전기장 조건에서 기체상의 물질의 화학적 실체를 특정하기 위해 분석의 선행조건으로 물질의 이온화를 위한 장치 또는 장비가 필수적으로 필요하다. In order to utilize such ion mobility spectroscopy, a device or equipment for ionization of a material is essential as a prerequisite for analysis in order to specify the chemical identity of a gaseous material under an electric field condition.

한편, 종래에는 방사성 동위원소를 사용하여 이온을 형성하는데 이는 별도의 외부 전력의 공급없이 물질의 이온화에 사용되는 약 20keV의 고에너지를 연속적으로 방출하여 이온을 형성하기 쉬우며, 이를 통하여 이온화를 시킨 후 생성된 양전자 및 전자 전이에 의한 시료 가스를 이온화하는 방법이다.On the other hand, conventionally, radioactive isotopes are used to form ions, which is easy to form ions by continuously emitting high energy of about 20 keV used for ionization of materials without supplying a separate external power. This is a method of ionizing the sample gas by positrons and electron transitions generated after the process.

그러나, 종래의 방사성 동위원소를 사용하는 이온 이동도 분광기는 방사성 동위원소의 누설 등에 의한 방사성 피폭에 대한 우려와 운영 및 관리에 별도의 인원과 비용이 소요된다는 단점이 있어 코로나 방전 방식을 통한 이온화모듈부의 개발이 지속되었다.However, conventional ion mobility spectrometers using radioactive isotopes have the disadvantages of requiring extra personnel and costs for operation and management and concerns about radioactive exposure due to leakage of radioactive isotopes, etc. Wealth development continued.

여기서, 코로나 방전 방식을 통한 이온화모듈부가 구비된 이온 이동도 분광기의 종래기술로써 국내등록특허 제10-1990892호가 개시되었다.Here, Korean Patent Registration No. 10-1990892 has been disclosed as a prior art of an ion mobility spectrometer equipped with an ionization module unit through a corona discharge method.

한편, 종래의 코로나 방전 방식을 통한 이온화모듈부의 구조를 살펴보면 4개의 전극팁(240)이 설치되는 제1원형홀(211)과, 시료가스가 유입되는 제2원형홀(212)로 이루어지며 후면에 이온이 이동하는 이동도관(미도시)과 연결된 제1기판(210)이 구비되고, 상기 제1기판(210)과 밀착되며 상기 제2원형홀(212)과 연통되는 장공홀(222)과, 상기 장공홀(222)의 일단부에 형성되며 상기 제1원형홀(211)과 연통되는 제3원형홀(221)로 이루어진 제2기판(220)이 구비되며, 상기 제2기판(220)과 밀착되며 4개의 전극팁(250)이 설치된 제4원형홀(231)로 이루어진 제3기판(230)으로 구성된다.On the other hand, looking at the structure of the ionization module through the conventional corona discharge method, it is composed of a first circular hole 211 in which four electrode tips 240 are installed and a second circular hole 212 into which sample gas is introduced. A first substrate 210 connected to a movement conduit (not shown) through which ions move is provided, and a long hole 222 that is in close contact with the first substrate 210 and communicates with the second circular hole 212 and , A second substrate 220 formed at one end of the long hole 222 and having a third circular hole 221 communicating with the first circular hole 211 is provided, and the second substrate 220 and a third substrate 230 made of a fourth circular hole 231 in which four electrode tips 250 are installed.

여기서, 상기 제2형홀(212)로 유입된 시료가스가 상기 제3원형홀(221)로 이동된 후 상기 전극팁(240)과 전극팁(250)에 다른 극성을 인가하여 코로나 방전시켜 상기 시료가스를 이온화시키고 이때 발생된 이온입자를 상기 제1원형홀(211)을 통하여 이동도관(미도시)으로 이동시키게 된다.Here, after the sample gas flowing into the second type hole 212 is moved to the third circular hole 221, different polarities are applied to the electrode tip 240 and the electrode tip 250 to corona discharge the sample gas. The gas is ionized, and the ion particles generated at this time are moved to a movement conduit (not shown) through the first circular hole 211 .

이후, 상기 이동도관(미도시)의 후단부에 있는 수집기(4)로 이온입자를 이동시켜 이를 증폭 및 스펙트럼화 시켜 시료가스의 성분을 분석할 수 있게 된다.Thereafter, the ion particles are moved to the collector 4 at the rear end of the moving conduit (not shown) to amplify and spectralize the ion particles so that the components of the sample gas can be analyzed.

그러나, 종래의 이온화모듈부의 구조는 다수개의 기판 즉, 총 3개의 기판으로 이루어져 이온화모듈부의 구조가 복잡해지고 3개의 기판을 정밀하게 결합하는 작업 자체가 어려우며, 3개의 기판을 밀착시킬 경우 가스가 새어나갈 수 있는 부분이 2부분으로 증가되어 유입된 시료가스의 량이 감소하여 정밀한 분석이 불가능해지는 문제점이 있었다.However, the structure of the conventional ionization module unit is composed of a plurality of substrates, that is, a total of three substrates, and the structure of the ionization module unit is complicated, and it is difficult to precisely combine the three substrates. There was a problem in that precise analysis was impossible because the amount of the sample gas flowed in was reduced because the part that could be exited was increased to two parts.

또한, 종래의 이온화모듈부는 코로나 방전시 발생되는 이온입자가 상기 제1원형홀(211)을 통하여 이동도관(미도시)으로 이동하게 되는데 4개의 개별적인 제1원형홀(211)의 구조로 인하여 상기 이온입자의 이동이 수월하지 못한 문제점이 있었다. In addition, in the conventional ionization module unit, ion particles generated during corona discharge move to a movement conduit (not shown) through the first circular hole 211. Due to the structure of the four individual first circular holes 211, There was a problem that the movement of ion particles was not easy.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로 본 발명의 목적은 유입된 시료가스를 코로나 방전하기 위하여 제1전극팁으로 이루어진 제1기판부와 제2전극팁으로 이루어진 제2기판부로 구성된 총 2겹의 이온화모듈을 구비하여 기존 3개의 기판으로 이루어진 이온화모듈과 대비 그 구조를 간소화하고, 제1기판본체의 중심부에 십자형상으로 천공된 방전공을 형성하여 기존 4개의 구멍으로 이루어진 방전공과 대비 이온입자의 이동이 수월해져 많은량의 이온입자를 컬렉터로 보낼 수 있는 이온 이동도 분광기용 2겹 이온화모듈을 제공함에 있다.The present invention was created to solve the problems of the prior art as described above, and an object of the present invention is to corona discharge the introduced sample gas. A total of 2 layers of ionization module consisting of a substrate is provided to simplify the structure compared to the existing ionization module consisting of 3 substrates, and a discharge hole perforated in a cross shape is formed in the center of the first substrate body to form a discharge hole with 4 existing holes. It is an object of the present invention to provide a two-layer ionization module for ion mobility spectroscopy that can send a large amount of ion particles to a collector by facilitating the movement of ion particles compared to the formed discharge hole.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 이온 이동도 분광기용 2겹 이온화모듈은 분석하려는 시료가스를 흡입하는 샘플링부와, 상기 샘플링부와 연결되어 코로나 방전으로 발생된 이온입자를 이동시키는 이동도관과, 상기 이동도관의 후단부에 구비되어 상기 이온입자를 수집하고 분석하는 컬렉터로 이루어진 이온 이동도 분광기에 구비되어 상기 시료가스를 코로나 방전시키는 2겹 이온화모듈로서 상기 이동도관의 전단부에 밀착된 박스형상의 이온화본체와, 상기 이온화본체의 중심부에 상기 시료가스에서 발생된 이온입자가 상기 이동도관으로 이동되도록 천공된 도관이동공으로 이루어진 본체부와; 상기 이온화본체의 일면에 안착된 판형상의 제1기판본체와, 상기 제1기판본체의 일면에 상기 시료가스가 유입되는 제1유입공과, 상기 제1기판본체의 중심부에 십자형상으로 천공된 방전공과, 상기 방전공의 중심부로 배치된 다수개의 제1전극팁으로 이루어진 제1기판부와; 상기 제1기판부의 일면에 밀착된 판형상의 제2기판본체와, 상기 제2기판본체의 일면에 상기 방전공 방향으로 배치된 다수개의 제2전극팁으로 이루어진 제2기판부로 구성된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a two-layer ionization module for ion mobility spectrometer according to the present invention includes a sampling unit for inhaling a sample gas to be analyzed, and a movement conduit connected to the sampling unit to move ion particles generated by corona discharge. and a collector provided at the rear end of the mobility conduit to collect and analyze the ion particles. A two-layered ionization module provided in an ion mobility spectrometer to corona discharge the sample gas, which is in close contact with the front end of the mobility conduit. a body portion comprising a box-shaped ionization body and a conduit moving hole formed in the center of the ionization body so that the ion particles generated from the sample gas are moved to the movement conduit; A plate-shaped first substrate body seated on one surface of the ionization body, a first inlet hole through which the sample gas flows into one surface of the first substrate body, and a discharge hole bored in a cross shape in the center of the first substrate body and a first substrate portion composed of a plurality of first electrode tips arranged in the center of the discharge hole; It is characterized in that it consists of a plate-shaped second substrate body closely adhered to one surface of the first substrate body and a plurality of second electrode tips disposed on one surface of the second substrate body in the direction of the discharge hole.

상기 제1기판본체의 일면에는 상기 제1유입공과 방전공을 연결하여 상기 시료가스가 이동되도록 정해진 깊이만큼 요입된 가스이동로가 형성된 것을 특징으로 하는 특징으로 한다.It is characterized in that a gas movement path is formed on one surface of the first substrate body, which connects the first inlet hole and the discharge hole and is recessed by a predetermined depth to move the sample gas.

상기 이온화본체의 상면에는 시료가스가 유입되는 가스유입공이 형성되고, 상기 이온화본체이 하면에는 코로나 방전시 발생되는 유해가스가 배출되는 가스배출공이 형성된 것을 특징으로 한다.A gas inlet hole through which sample gas flows is formed on the upper surface of the ionization body, and a gas discharge hole through which harmful gas generated during corona discharge is discharged is formed on the lower surface of the ionization body.

상기 방전공의 일면에는 상기 가스이동로와 연통되며 코로나 방전시 정해진 면적의 공간이 형성되도록 상기 방전공의 직경보다 크게 요입된 방전유도홈이 형성된 것을 특징으로 한다.It is characterized in that a discharge guiding groove is formed on one surface of the discharge hole, which communicates with the gas flow path and is recessed larger than the diameter of the discharge hole so that a space of a predetermined area is formed during corona discharge.

이와 같이 본 발명에 따른 이온 이동도 분광기용 2겹 이온화모듈의 효과는 다음과 같다.As such, the effects of the two-layer ionization module for ion mobility spectrometer according to the present invention are as follows.

첫째, 유입된 시료가스를 코로나 방전하기 위하여 제1전극팁으로 이루어진 제1기판부와 제2전극팁으로 이루어진 제2기판부로 구성된 총 2겹의 이온화모듈을 구비함으로써, 기존 3개의 기판으로 이루어진 이온화모듈과 대비 그 구조가 매우 간편해지고,First, in order to corona discharge the introduced sample gas, a total of two layers of ionization modules consisting of a first substrate portion composed of a first electrode tip and a second substrate portion composed of a second electrode tip are provided, thereby ionizing the existing three substrates. Compared to the module, the structure is very simple,

둘째, 제1기판본체의 중심부에 십자형상으로 천공된 방전공을 형성함으로써, 기존 4개의 구멍으로 이루어진 방전공과 대비 이온입자의 이동이 수월해져 많은량의 이온입자를 컬렉터로 보낼 수 있어 검출 정밀도를 향상시킬 수 있으며,Second, by forming a cross-shaped discharge hole in the center of the first substrate body, the movement of ion particles becomes easier compared to the existing discharge hole consisting of four holes, so that a large amount of ion particles can be sent to the collector, resulting in detection accuracy. can improve,

셋째, 제1기판본체의 일면에 제1유입공과 방전공이 연결되도록 정해진 깊이만큼 요입된 가스이동로를 형성함으로써, 제1기판본체와 제2기판본체의 사이에 시료가스가 이동하는 가스이동로를 통하여 또 다른 부품의 추가를 방지할 수 있고,Third, a gas flow path through which sample gas moves between the first substrate body and the second substrate body by forming a gas flow path recessed by a predetermined depth so that the first inlet hole and the discharge hole are connected to one surface of the first substrate body. It is possible to prevent the addition of another part through

넷째, 방전공의 일면에 방전공의 직경보다 크게 요입된 방전유도홈을 형성함으로써, 가스이동로와 연통되며 코로나 방전시 정해진 면적의 공간을 형성시켜 많은량의 시료가스를 수용할 수 있어 많은 이온입자를 발생시킬 수 있는 효과가 있다.Fourth, by forming a concave discharge induction groove larger than the diameter of the discharge hole on one side of the discharge hole, it communicates with the gas movement path and forms a space of a predetermined area during corona discharge to accommodate a large amount of sample gas, resulting in a large number of ions. There is an effect that can generate particles.

도 1은 종래기술에 따른 이온 이동도 분광기의 구조를 나타내 보인 사시도이고,
도 2는 종래기술에 따른 이온화모듈을 나타내 보인 부분 분해사시도이며,
도 3은 본 발명에 따른 2겹 이온화모듈을 나타내 보인 분해사시도 및 부분 후면분해사시도이고,
도 4는 본 발명에 따른 이온화방전부를 나타내 보인 부분 분해사시도 및 겹합단면도이며,
도 5는 본 발명에 따른 이온입자 및 가스의 이동방향을 나타내 보인 결합단면도이다.
1 is a perspective view showing the structure of an ion mobility spectrometer according to the prior art;
2 is a partially exploded perspective view showing an ionization module according to the prior art;
3 is an exploded perspective view and a partial rear exploded perspective view showing a two-layer ionization module according to the present invention;
4 is a partially exploded perspective view and a combined cross-sectional view showing an ionization discharge unit according to the present invention;
5 is a cross-sectional view showing the direction of movement of ion particles and gas according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 이온 이동도 분광기용 2겹 이온화모듈은 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이 분석하려는 시료가스(G)를 흡입하는 샘플링부(2)와, 상기 샘플링부(2)와 연결되어 코로나 방전으로 발생된 이온입자(i)를 이동시키는 이동도관(3)과, 상기 이동도관(3)의 후단부에 구비되어 상기 이온입자(i)를 수집하고 분석하는 컬렉터(4)로 이루어진 이온 이동도 분광기(M)에 구비되어 상기 시료가스(G)를 코로나 방전시키는 2겹 이온화모듈(1)로서 상기 이동도관(3)의 전단부에 밀착된 박스형상의 이온화본체(11)와, 상기 이온화본체(11)의 중심부에 상기 시료가스(G)에서 발생된 이온입자(i)가 상기 이동도관(3)으로 이동되도록 천공된 도관이동공(12)으로 이루어진 본체부(10)와; 상기 이온화본체(11)의 일면에 안착된 판형상의 제1기판본체(21)와, 상기 제1기판본체(21)의 일면에 상기 시료가스(G)가 유입되는 제1유입공(22)과, 상기 제1기판본체(21)의 중심부에 십자형상으로 천공된 방전공(23)과, 상기 방전공(23)의 중심부로 배치된 다수개의 제1전극팁(24)으로 이루어진 제1기판부(20)와; 상기 제1기판부(20)의 일면에 밀착된 판형상의 제2기판본체(31)와, 상기 제2기판본체(31)의 일면에 상기 방전공(23) 방향으로 배치된 다수개의 제2전극팁(32)으로 이루어진 제2기판부(30)로 구성된다.As shown in FIGS. 3 to 5, the two-layer ionization module for ion mobility spectrometer according to the present invention is connected to a sampling unit 2 for inhaling a sample gas G to be analyzed, and the sampling unit 2 Ion consisting of a movement conduit 3 for moving ion particles (i) generated by corona discharge, and a collector 4 provided at the rear end of the movement conduit 3 to collect and analyze the ion particles (i) A box-shaped ionization body 11 closely attached to the front end of the mobility conduit 3 as a two-layer ionization module 1 provided in the mobility spectrometer M to corona discharge the sample gas G; a body part 10 formed of a conduit moving hole 12 bored in the center of the ionization main body 11 so that the ion particles i generated from the sample gas G move to the moving conduit 3; A plate-shaped first substrate body 21 seated on one surface of the ionization body 11, and a first inlet hole 22 through which the sample gas G flows into one surface of the first substrate body 21, , A first substrate portion composed of a discharge hole 23 cross-shaped in the center of the first substrate body 21 and a plurality of first electrode tips 24 disposed in the center of the discharge hole 23 (20) and; A plate-shaped second substrate body 31 closely adhered to one surface of the first substrate unit 20, and a plurality of second electrodes disposed on one surface of the second substrate body 31 in the direction of the discharge holes 23. It consists of a second substrate portion 30 made of a tip (32).

한편, 상기 기판부(30)의 일면에는 상기 본체부(10)와 볼트(B)로 체결되며 상기 기판부(30)와 본체부(10)를 면밀히 밀착시키는 커버부(C)가 더 구비되는 것이 바람직하다.On the other hand, one surface of the substrate portion 30 is fastened with the body portion 10 and a bolt (B) and a cover portion (C) for closely contacting the substrate portion 30 and the body portion 10 is further provided it is desirable

그리고, 상기 제1기판본체(21)의 일면에는 상기 제1유입공(22)과 방전공(23)을 연결하여 상기 시료가스(G)가 이동되도록 정해진 깊이만큼 요입된 가스이동로(25)가 형성된다.In addition, a gas flow path 25 connected to the first inlet hole 22 and the discharge hole 23 on one surface of the first substrate body 21 and recessed by a predetermined depth to move the sample gas G is formed

또한, 상기 이온화본체(11)의 상면에는 시료가스(G)가 유입되는 가스유입공(13)이 형성되고, 상기 이온화본체(11)이 하면에는 코로나 방전시 발생되는 유해가스(G1)가 배출되는 가스배출공(14)이 형성된다.In addition, a gas inlet hole 13 through which sample gas G is introduced is formed on the upper surface of the ionization body 11, and harmful gas G1 generated during corona discharge is discharged on the lower surface of the ionization body 11. A gas discharge hole 14 is formed.

그리고, 상기 방전공(23)의 일면에는 상기 가스이동로(25)와 연통되며 코로나 방전시 정해진 면적의 공간이 형성되도록 상기 방전공(23)의 직경보다 크게 요입된 방전유도홈(26)이 형성된다.In addition, on one surface of the discharge hole 23, there is a discharge guide groove 26 concave larger than the diameter of the discharge hole 23 so that a space of a predetermined area is formed during corona discharge and communicates with the gas flow path 25. is formed

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 이온 이동도 분광기용 2겹 이온화모듈의 작용을 살펴보면 다음과 같다.The operation of the two-layered ionization module for ion mobility spectrometer according to the present invention having the above configuration is as follows.

본 발명에 따른 이온 이동도 분광기용 2겹 이온화모듈은 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이 분석하려는 시료가스(G)를 흡입하는 샘플링부(2)와, 상기 샘플링부(2)와 연결되어 코로나 방전으로 발생된 이온입자(i)를 이동시키는 이동도관(3)과, 상기 이동도관(3)의 후단부에 구비되어 상기 이온입자(i)를 수집하고 분석하는 컬렉터(4)로 이루어진 이온 이동도 분광기(M)에 구비되어 상기 시료가스(G)를 코로나 방전시키는 2겹 이온화모듈(1)이다.As shown in FIGS. 3 to 5, the two-layer ionization module for ion mobility spectrometer according to the present invention is connected to a sampling unit 2 for inhaling a sample gas G to be analyzed, and the sampling unit 2 Ion consisting of a movement conduit 3 for moving ion particles (i) generated by corona discharge, and a collector 4 provided at the rear end of the movement conduit 3 to collect and analyze the ion particles (i) It is a two-layer ionization module 1 provided in the mobility spectrometer M to corona discharge the sample gas G.

즉, 유입된 시료가스(G)를 코로나 방전하기 위하여 제1전극팁(24)으로 이루어진 제1기판부(20)와 제2전극팁(32)으로 이루어진 제2기판부(30) 총 2겹의 이온화모듈(1)을 구비함으로써, 기존 3개의 기판으로 이루어진 이온화모듈과 대비 그 구조가 매우 간편해진다.That is, in order to corona discharge the introduced sample gas (G), the first substrate portion 20 made of the first electrode tip 24 and the second substrate portion 30 made of the second electrode tip 32 are a total of two layers. By providing the ionization module 1 of , the structure is very simple compared to the existing ionization module consisting of three substrates.

이때, 상기 제1기판본체(21)의 중심부에 십자형상으로 천공된 방전공(23)을형성함으로써, 기존 4개의 구멍으로 이루어진 방전공과 대비 상기 이온입자(i)의 이동이 수월해져 많은량의 이온입자(i)를 상기 컬렉터(4)로 보낼 수 있어 검출 정밀도를 대폭 향상시킬 수 있게 된다.At this time, by forming the discharge hole 23 drilled in a cross shape in the center of the first substrate body 21, the movement of the ion particles (i) becomes easier compared to the conventional discharge hole consisting of four holes, resulting in a large amount Since the ion particles (i) of can be sent to the collector 4, the detection accuracy can be significantly improved.

그리고, 상기 제1기판본체(21)의 일면에 상기 제1유입공(22)과 방전공(23)을 연결하여 상기 시료가스(G)가 이동되도록 정해진 깊이만큼 요입된 가스이동로(25)를 형성함으로써, 상기 제1기판본체(21)와 제2기판본체(31)의 사이에 상기 시료가스(G)가 이동하는 상기 가스이동로(25)를 통하여 또 다른 부품추가를 방지하여 구조를 간편하게 유지할 수 있게 된다.In addition, a gas flow path 25 connected to one surface of the first substrate body 21 with the first inlet hole 22 and the discharge hole 23 and recessed by a predetermined depth to move the sample gas G By forming, through the gas flow path 25 through which the sample gas (G) moves between the first substrate body 21 and the second substrate body 31, the addition of another component is prevented, thereby improving the structure. be easily maintained.

또한, 상기 방전공(23)의 일면에 상기 방전공(23)의 직경보다 크게 요입된 방전유도홈(26)을 형성함으로써, 상기 가스이동로(25)와 연통되며 코로나 방전시 정해진 면적의 공간을 형성시켜 많은량의 시료가스(G)를 수용할 수 있게 된다.In addition, by forming a discharge guiding groove 26 concave larger than the diameter of the discharge hole 23 on one surface of the discharge hole 23, the space communicates with the gas flow path 25 and has a predetermined area during corona discharge. It is possible to accommodate a large amount of sample gas (G) by forming.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.The present invention is not limited to the specific preferred embodiments described above, and various modifications can be made by anyone having ordinary knowledge in the art to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes are within the scope of the claims.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
G : 시료가스 i : 이온입자
M : 이온 이동도 분광기 C : 커버부
G1 : 유해가스 1 : 2겹 이온화모듈
2 : 샘플링부 3 : 이동도관
4 : 컬렉터 10 : 본체부
11 : 이온화본체 12 : 도관이동공
13 : 가스유입공 14 : 가스배출공
15 : 유해가스이동로 20 : 제1기판부
21 : 제1기판본체 22 : 제1유입공
23 : 방전공 24 : 제1전극팁
25 : 가스이동로 26 : 방전유도홈
30 : 제2기판부 31 : 제2기판본체
32 : 제2전극팁
<Description of symbols for main parts of drawings>
G: sample gas i: ion particles
M: ion mobility spectrometer C: cover
G1: Harmful gas 1: 2-layer ionization module
2: sampling unit 3: moving conduit
4: collector 10: main body
11: ionization body 12: conduit moving hole
13: gas inlet hole 14: gas discharge hole
15: noxious gas passage 20: first substrate
21: first substrate body 22: first inlet hole
23: discharge hole 24: first electrode tip
25: gas flow path 26: discharge induction groove
30: second board unit 31: second board body
32: second electrode tip

Claims (4)

분석하려는 시료가스(G)를 흡입하는 샘플링부(2)와, 상기 샘플링부(2)와 연결되어 코로나 방전으로 발생된 이온입자(i)를 이동시키는 이동도관(3)과, 상기 이동도관(3)의 후단부에 구비되어 상기 이온입자(i)를 수집하고 분석하는 컬렉터(4)로 이루어진 이온 이동도 분광기(M)에 구비되어 상기 시료가스(G)를 코로나 방전시키는 2겹 이온화모듈(1)에 있어서,
상기 이동도관(3)의 전단부에 밀착된 박스형상의 이온화본체(11)와, 상기 이온화본체(11)의 중심부에 상기 시료가스(G)에서 발생된 이온입자(i)가 상기 이동도관(3)으로 이동되도록 천공된 도관이동공(12)으로 이루어진 본체부(10)와;
상기 이온화본체(11)의 일면에 안착된 판형상의 제1기판본체(21)와, 상기 제1기판본체(21)의 일면에 상기 시료가스(G)가 유입되는 제1유입공(22)과, 상기 제1기판본체(21)의 중심부에 십자형상으로 천공된 방전공(23)과, 상기 방전공(23)의 중심부로 배치된 다수개의 제1전극팁(24)으로 이루어진 제1기판부(20)와;
상기 제1기판부(20)의 일면에 밀착된 판형상의 제2기판본체(31)와, 상기 제2기판본체(31)의 일면에 상기 방전공(23) 방향으로 배치된 다수개의 제2전극팁(32)으로 이루어진 제2기판부(30)로 구성되고;
상기 제1기판본체(21)의 일면에는 상기 제1유입공(22)과 방전공(23)을 연결하여 상기 시료가스(G)가 이동되도록 정해진 깊이만큼 요입된 가스이동로(25)가 형성되며;
상기 이온화본체(11)의 상면에는 시료가스(G)가 유입되는 가스유입공(13)이 형성되고, 상기 이온화본체(11)이 하면에는 코로나 방전시 발생되는 유해가스(G1)가 배출되는 가스배출공(14)이 형성되고;
상기 방전공(23)의 일면에는 상기 가스이동로(25)와 연통되며 코로나 방전시 정해진 면적의 공간이 형성되도록 상기 방전공(23)의 직경보다 크게 요입된 방전유도홈(26)이 형성된 것을 특징으로 하는 이온 이동도 분광기용 2겹 이온화모듈.

A sampling unit (2) for inhaling the sample gas (G) to be analyzed, a movement conduit (3) connected to the sampling unit (2) and moving ion particles (i) generated by corona discharge, and the movement conduit ( 3) A two-layer ionization module ( In 1),
A box-shaped ionization body (11) closely attached to the front end of the movement conduit (3) and ion particles (i) generated from the sample gas (G) in the center of the ionization body (11) are placed in the movement conduit ( 3) a body portion 10 made of a conduit moving hole 12 that is perforated to move;
A plate-shaped first substrate body 21 seated on one surface of the ionization body 11, and a first inlet hole 22 through which the sample gas G flows into one surface of the first substrate body 21, , A first substrate portion composed of a discharge hole 23 cross-shaped in the center of the first substrate body 21 and a plurality of first electrode tips 24 disposed in the center of the discharge hole 23 (20) and;
A plate-shaped second substrate body 31 closely adhered to one surface of the first substrate unit 20, and a plurality of second electrodes disposed on one surface of the second substrate body 31 in the direction of the discharge hole 23. It consists of a second substrate portion 30 made of a tip 32;
On one surface of the first substrate main body 21, a gas flow path 25 connected to the first inlet hole 22 and the discharge hole 23 and recessed by a predetermined depth to move the sample gas G is formed. is;
A gas inlet hole 13 through which sample gas G is introduced is formed on the upper surface of the ionization body 11, and a gas through which harmful gas G1 generated during corona discharge is discharged on the lower surface of the ionization body 11. discharge holes 14 are formed;
On one surface of the discharge hole 23, a discharge guiding groove 26 is formed that is larger than the diameter of the discharge hole 23 so that a space of a predetermined area is formed during corona discharge and communicates with the gas flow path 25. A two-layer ionization module for ion mobility spectroscopy.

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KR101990892B1 (en) * 2019-01-31 2019-06-19 주식회사 뉴원에스엔티 Ion Mobility Spectrometer
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