KR102503681B1 - 발수층이 구비된 스피커 및 발수층 제작을 위한 화학 기상 증착 장치 - Google Patents

발수층이 구비된 스피커 및 발수층 제작을 위한 화학 기상 증착 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에는 발수층을 이용한 방수 스피커가 개시될 수 있다. 개시된 방수 스피커는 자계장; 상기 자계장과 대면하게 배치되어, 상기 자계장에서 제공하는 전자기력에 의해 진동하며, 상기 자계장을 향하는 내면과, 상기 내면과 반대 방향으로 향하는, 외부에 노출될 수 있는 외면을 포함하는 진동판; 상기 진동판 외면 상에 배치된 보호 부재; 및 상기 진동판 외면의 적어도 일부에 형성된, 상기 보호 부재와 대면하는 발수층을 포함하고, 상기 보호 부재는 상단부 둘레에 있는 모서리에 적어도 하나 이상의 수분 배출부를 포함할 수 있다.

Description

발수층이 구비된 스피커 및 발수층 제작을 위한 화학 기상 증착 장치{SPEAKER WITH HYDROPHOBIC LAYER AND INITIATED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE FOR MANUFACTURING HYDROPHOBIC LAYER}
본 발명의 다양한 실시예는 전자 장치의 방수 스피커에 관한 것으로서, 특히, 스피커 방수를 위한 발수층을 제작하기 위한 개시제를 이용한 화학 기상 증착(iCVD;initiated Chemical Vapor Deposition) 장치에 관한 것이다.
전자 장치, 예를 들어 방수 기능을 구비한 스마트 폰이나 웨어러블 전자 장치에서, 음향 부품으로 사용되는 스피커 또는 마이크는 방수 구조가 필요할 수 있다.
예를 들어, 전자 장치를 수중에 떨어질 경우, 스피커에서 침수 후 물기가 스피커 홀을 경유하여 진동판에 존재하게 되어서 음향 품질을 저해할 수 있다.
이를 해결하기 위해, 스피커 방수 구조는 물기가 진동판에 안 맺히도록, 또는 맺히더라도 물기가 스스로 뭉쳐 자중에 의해 거동하여, 진동판 표면에서 제거될 수 있도록 하는 발수 코팅 및 기구 설계 기술 등이 필요할 수 있다.
종래의 스피커 방수를 위한 디핑 방법(dipping)이나 스프레이(spray) 기법의 액상 고분자 코팅 공정은 코팅액 제조 기술이 동시에 수반되어야 하고, 코팅 대상물의 형상이나 기재의 종류에 영향을 받아서, 코팅 막의 두께 균일도가 낮고, 종이나 직물 등 액상에 영향을 받는 기재는 코팅이 불가능할 수 있다.
또한, 열증착 등의 종래의 기상 고분자 코팅 공정은 분자량이 큰 비휘발성 물질인 고분자를 활성화시키는 소재 제조 기술이 수반되어야 하고, 그 과정에서 기능성 고분자 이외에 타 첨가제들을 혼합하므로서, 기능성 고분자의 순도가 저하될 뿐만 아니라, 고온/고진공의 공정 조건으로 기재가 손상될 가능성도 있을 수 있다.
또한, 종래의 고분자 코팅 기술은 기능성 고분자 원소재의 직접-코팅(direct-coating)이 불가하여 코팅에 적합한 코팅액 및 증착 타켓을 따로 제작해야 한다.
또한, 종래의 고분자 코팅 기술은 기능성 고분자들이 흡착하는 형태의 기술이므로 균일한 두께의 코팅막을 얻을 수 없다.
또한, 종래의 고분자 코팅 기술은 모노머와 개시제가 투입되는 방식이 가열자켓(heat jacket)으로 콘테이너(container)를 둘러싼 형태로 온도를 가하여 증기를 형성시킨 다음 챔버 내부 압력을 낮게 하여 유입시키는 방식은 수동적인 형태로 증착 두께형성 효율에 불리하다.
또한, 필라멘트가 챔버 내에 구성되어있어서 필라멘트에서 발생된 열에 의해 증착 두께 균일도에 불리하다.
일반적으로 스마트폰을 포함하는 웨어러블 전자 장치의 사용자 요구가 생활 방수 수준에서, 수영 및 수중 활동까지 가능한 수준으로 확대됨에 따라, 방수 사양이 현재 5기압까지 상향되었다.
특히, 전자 장치에 채용된 스피커, 마이크로폰 등을 포함한 음을 전달하거나 받는 음향 부품의 경우는 공기를 통해 전달되므로서, 이를 위한 관로와 같은 공기의 이동 경로가 설계되는데, 침수되는 경우 물이 이 관로를 통해 이동하게 되므로서, 음향 품질의 저하의 주 원인일 될 수 있다.
전자 장치의 침수 후, 물기가 스피커의 진동판에 머무른 경우에 음질 저하가 일어나는 현상이며, 진동판에 묻은 물기가 스스로 제거되는 시간은 수일이 소요될 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예는 진동판에 발수층을 코팅하여 방수 구조를 구현한 방수 스피커를 제공할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예는 단순 진동판 표면 코팅처리로 신속하게 자연 물기제거 효과를 기대 할 수 있는 방수 스피커를 제공할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예는 스피커 디자인 원형을 유지할 수 있는 방수 스피커를 제공할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예는 스피커의 발수층 제작 기술에서, 모노머와 개시제의 투입방식을 수동형에서 능동형으로 바꾸고, 챔버 내부에서 필라멘트를 삭제하여 증착 속도 및 균일도를 동시에 향상시킬 수 있는 발수층 제작을 위한 화학 기상 증착 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예는 스피커의 발수층 제작 기술에서, 고분자의 원료가 되는 모노머(단량체)를 직접 기상의 전구체로 사용하여 공정 편의성 증대 및 원소재에 대한 원가절감 효과를 기대할 수 있는 화학 기상 증착 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예는 스피커의 발수층 제작 기술에서, 기재의 자유도가 높아져 플라스틱, 섬유 등 유연소재에 직접 코팅(direct-coating)이 가능하고 기재 표면에서 성장하는 기법의 기술로 두께 균일도를 확보하여 품질 향상을 기대할 수 있는 화학 기상 증착 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예는 자계장; 상기 자계장과 대면하게 배치되어, 상기 자계장에서 제공하는 전자기력에 의해 진동하며, 상기 자계장을 향하는 내면과, 상기 내면과 반대 방향으로 향하는, 외부에 노출될 수 있는 외면을 포함하는 진동판; 상기 진동판 외면 상에 배치된 보호 부재; 및 상기 진동판 외면의 적어도 일부에 형성된, 상기 보호 부재와 대면하는 발수층을 포함하고, 상기 보호 부재는 상단부 둘레에 있는 모서리에 적어도 하나 이상의 수분 배출부를 포함할 수 있다.
삭제
본 발명의 다양한 실시예는 심플한 공정을 통해 스피커 진동판 표면에 초발수 기능을 형성함으로서, 물 맺힘 또는 물기 제거가 용이하도록 구성하여, 스피커 방수를 구현할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예는 스피커 디자인 원형을 변경하지 않아도 되고, 스피커 제조 원가도 저렴해질 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예는 방수 스피커 구조의 발수층 제작에 있어서, 발수층 두께 증착 속도 및 발수층 두께 균일도를 개선할 수 있다.
도 1은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 진동판에 발수층이 구비된 방수 스피커의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 방수 스피커가 경사진 상태가 되어서, 발수층에 맺힌 물기가 자중에 의해 외부로 배출되는 예를 나타내는 단면도이다.
도 3은 종래의 발수층을 제작하기 위한 화학 기상 증착 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치의 액상 모노머를 기화하여 캐리어 가스와 혼합하기 위한 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치의 액상 모노머를 기화 장치를 사용하여 기화하여 캐리어 가스와 혼합하기 위한 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 발수층을 제작하기 위한 화학 기상 증착 장치의 구성을 개략적으로 각각 나타내는 도면이다.
이하, 본 개시의 다양한 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 기재된다. 그러나, 이는 본 개시를 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 개시의 실시예의 다양한 변경(modification), 균등물(equivalent), 및/또는 대체물(alternative)을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 도면의 설명과 관련하여, 유사한 구성요소에 대해서는 유사한 참조 부호가 사용될 수 있다.
본 문서에서, "가진다," "가질 수 있다,""포함한다," 또는 "포함할 수 있다" 등의 표현은 해당 특징(예:수치, 기능, 동작, 또는 부품 등의 구성요소)의 존재를 가리키며, 추가적인 특징의 존재를 배제하지 않는다.
본 문서에서, "A 또는 B,""A 또는/및 B 중 적어도 하나,"또는 "A 또는/및 B 중 하나 또는 그 이상" 등의 표현은 함께 나열된 항목들의 모든 가능한 조합을 포함할 수 있다. 예를 들면, "A 또는 B," A 및 B 중 적어도 하나,"또는 " A 또는 B 중 적어도 하나"는, (1) 적어도 하나의 A를 포함, (2) 적어도 하나의 B를 포함, 또는 (3) 적어도 하나의 A 및 적어도 하나의 B 모두를 포함하는 경우를 모두 지칭할 수 있다.
다양한 실시예에서 사용된 "제 1,""제 2,""첫째,"또는"둘째,"등의 표현들은 다양한 구성요소들을, 순서 및/또는 중요도에 상관없이 수식할 수 있고, 해당 구성요소들을 한정하지 않는다. 상기 표현들은 한 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 제1사용자 기기와 제2사용자 기기는, 순서 또는 중요도와 무관하게, 서로 다른 사용자 기기를 나타낼 수 있다. 예를 들면, 본 개시의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성요소는 제 2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성요소도 제 1 구성요소로 바꾸어 명명될 수 있다.
어떤 구성요소(예: 제 1 구성요소)가 다른 구성요소(예: 제 2 구성요소)에 "(기능적으로 또는 통신적으로) 연결되어 ((operatively or communicatively) coupled with/to)" 있다거나, "접속되어 (connected to)" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나, 다른 구성요소(예:제 3 구성요소)를 통하여 연결될 수 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소 (예: 제 1 구성요소)가 다른 구성요소 (예: 제 2 구성요소)에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 다른 구성요소(예: 제 3 구성요소)가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있다.
본 문서에서 사용된 표현 "~하도록 구성된 (또는 설정된)(configured to)"은 상황에 따라, 예를 들면, "~에 적합한 (suitable for)," "하는 능력을 가지는 (having the capacity to)," "하도록 설계된 (designed to)," "하도록 변경된 (adapted to)," "~하도록 만들어진 (made to)," 또는 "~를 할 수 있는(capable of)"과 바꾸어 사용될 수 있다. 용어 "~하도록 구성 (또는 설정)된"은 하드웨어적으로 "특별히 설계된(specifically designed to) 것만 반드시 의미하지 않을 수 있다. 대신, 어떤 상황에서는, "~하도록 구성된 장치" 라는 표현은, 그 장치가 다른 장치 또는 부품들과 함께 "~할 수 있는"것을 의미할 수 있다. 예를 들면, 문구 A, B, 및 C를 수행하도록 구성(또는 설정)된 프로세서"는 해당 동작을 수행하기 위한 전용 프로세서(예: 임베디드 프로세서), 또는 메모리 장치에 저장된 하나 이상의 소프트웨어 프로그램들을 실행함으로써, 해당 동작들을 수행할 수 있는 범용 프로세서(generic-purpose processor)(예: CPU 또는 application processor)를 의미할 수 있다.
본 문서에서 사용된 용어들은 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 다른 실시예의 범위를 한정하려는 의도가 아닐 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 개시의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가질 수 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의된 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 동일 또는 유사한 의미를 가지는 것으로 해석될 수 있으며, 본 문서에서 명백하게 정의되지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. 경우에 따라서, 본 문서에서 정의된 용어일지라도 본 개시의 실시예들을 배제하도록 해석될 수 없다.
본 개시의 다양한 실시예들에 따른 전자 장치는, 예를 들면, 전자 장치는 스마트폰(smartphone), 태블릿 PC(tablet personal computer), 이동 전화기(mobile phone), 화상 전화기, 전자북 리더기(e-book reader), 데스크탑 PC(desktop personal computer), 랩탑 PC(laptop personal computer), 넷북 컴퓨터(netbook computer), 워크스테이션(workstation), 서버, PDA(personal digital assistant), PMP(portable multimedia player), MP3 플레이어, 모바일 의료기기, 카메라(camera), 또는 웨어러블 장치(wearable device)(예: 스마트 안경, 머리 착용형 장치(head-mounted-device(HMD)), 전자 의복, 전자 팔찌, 전자 목걸이, 전자 앱세서리(appcessory), 전자 문신, 스마트 미러, 또는 스마트 와치(smart watch))중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
어떤 실시예들에서, 전자 장치는 스마트 가전 제품(smart home appliance)일 수 있다. 스마트 가전 제품은, 예를 들면, 텔레비전, DVD(digital video disk) 플레이어, 오디오, 냉장고, 에어컨, 청소기, 오븐, 전자레인지, 세탁기, 공기 청정기, 셋톱 박스(set-top box), 홈 오토매이션 컨트롤 패널(home automation control panel), 보안 컨트롤 패널(security control panel), TV 박스(예: 삼성 HomeSync™, 애플TVTM 또는 구글 TVTM, 게임 콘솔 (예:Xbox™, PlayStation™), 전자 사전, 전자 키, 캠코더(camcorder), 또는 전자 액자 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 전자 장치는, 각종 의료기기(예:각종 휴대용 의료측정기기 (혈당 측정기, 심박 측정기, 혈압 측정기, 또는 체온 측정기 등), MRA(magnetic resonance angiography), MRI(magnetic resonance imaging), CT(computed tomography), 촬영기, 또는 초음파기 등), 네비게이션(navigation) 장치, GPS 수신기(global positioning system receiver), EDR(event data recorder), FDR(flight data recorder), 자동차 인포테인먼트(infotainment) 장치, 선박용 전자 장비(예: 선박용 항법 장치, 자이로 콤파스 등), 항공 전자기기(avionics), 보안 기기, 차량용 헤드 유닛(head unit), 산업용 또는 가정용 로봇, 금융 기관의 ATM(automatic teller's machine), 상점의 POS(point of sales), 또는 사물 인터넷 장치 (internet of things)(예:전구, 각종 센서, 전기 또는 가스 미터기, 스프링클러 장치, 화재경보기, 온도조절기(thermostat), 가로등, 토스터(toaster), 운동기구, 온수탱크, 히터, 보일러 등) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
어떤 실시예에 따르면, 전자 장치는 가구(furniture) 또는 건물/구조물의 일부, 전자 보드(electronic board), 전자 사인 수신 장치(electronic signature receiving device), 프로젝터(projector), 또는 각종 계측 기기(예:수도, 전기, 가스, 또는 전파 계측 기기 등) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 다양한 실시예에서, 전자 장치는 전술한 다양한 장치들 중 하나 또는 그 이상의 조합일 수 있다. 어떤 실시예에 따른 전자 장치는 플렉서블 전자 장치일 수 있다. 또한, 본 개시의 실시예에 따른 전자 장치는 전술한 기기들에 한정되지 않으며, 기술 발전에 따른 새로운 전자 장치를 포함할 수 있다.
도 1은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 진동판에 발수층이 구비된 방수 스피커의 구성을 나타내는 단면도이다. 도 2는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 방수 스피커가 경사진 상태가 되어서, 발수층에 맺힌 물기가 자중에 의해 외부로 배출되는 예를 나타내는 단면도이다.
도 1, 도 2를 참조하면, 다양한 실시예에 따른 전자 장치는 적어도 하나 이상의 음향 부품이 배치될 수 있다. 예를 들어, 전자 장치는 휴대하는 스마트 폰이나 인체에 착용하는 웨어러블 장치 등을 포함할 수 있으며, 웨어러블 장치는 예컨대 손목에 착용할 수 있는 와치 타입 웨어러블 전자 장치를 포함할 수있다. 이러한 전자 장치에 배치되는 음향 부품은 적어도 하나 이상의 스피커나 마이크를 포함하며, 이하에서 본 발명의 다양한 실시예에 따른 음향 부품은 스피커(100)를 일 예로 하여 설명하기로 한다.
다양한 실시예에 따른 스피커(100)는 적어도 하나 이상의 스피커 홀(미도시)을 포함할 수 있고, 스피커 홀은, 외부 스피커 홀 및 통화용 리시버 홀을 포함할 수 있다. 어떤 실시예에서는 스피커 홀과 마이크 홀이 하나의 홀로 구현 되거나, 스피커 홀 없이 스피커가 포함될 수 있다(예: 피에조 스피커). 스피커(100)는 칩 사이즈의 작은 음향 부품으로서, 전자 장치 내에 장착되되, 스피커(100)에서 발산된 음향이 전자 장치 외부로 전달되기 위한 적어도 하나 이상의 홀을 구비해야 하고, 스피커(100)에서 홀 간의 음향 전달 통로가 구비되어야 함으로서, 별도의 방수 구조가 필요할 수 있다.
다양한 실시예에 따른 스피커(100)는 방수 스피커로서, 별도의 실링 재질을 이용하여 방수 구조를 구현한 것이 아니라, 스피커(100)로 침투한 물기를 배출하게 하는 구조로 방수 구조를 구현할 수 있다.
다양한 실시예에 따른 방수 스피커(100)는 자계장(110)(magnetic field)과, 진동판(120)(vibrating plate)과, 진동자(130)(vibrator)와, 보호 부재(150)(protective member) 및 발수층(140)(hydrophobic layer)을 포함할 수 있다.
다양한 실시예에 따른 자계장(110)은 미도시된 코일체와, 적어도 하나 이상의 자성체 간의 동작에 의해 발생할 수 있다. 자계장(110)은 자성체와 코일체 간에 발생하는 전자기력에 의해 진동판(120)을 진동시키는 구동힘을 제공할 수 있다.
다양한 실시예에 따른 진동판(120)은 미도시된 하우징의 적어도 일부에 고정되어서, 제공된 전자기력에 의해 상하로 진동할 수 있다. 진동판(120)의 둘레 부분을 따라서 다이어프램(121)(diaphragm)이 형성되고, 둘레의 끝부분의 적어도 일부는 미도시된 하우징(예 ; 요크)에 의해 지지되게 배치될 수 있다. 진동판(120)은 자계장(110)을 향하는 내면(120a)과, 내면(120a)과 반대 방향으로 향하는, 외부에 노출될 수 있는 외면(120b)을 포함할 수 있다.
다양한 실시예에 따른 진동자(130)는 진동판의 외면(120b) 중심 영역에 배치되어서, 상하 진동 운동을 수행할 수 있다.
다양한 실시예에 따른 보호 부재(150)는 스피커 내부 부품을 보호하는 부재로서, 적어도 하나 이상의 홀(152,152,153)이 구비될 수 있다. 예컨대, 보호 부재(150)는 그릴을 포함할 수 있다. 홀은 보호 부재(150)의 중앙 영역에 형성된 중앙 홀(151)을 포함할 수 있다.
다양한 실시예에 따른 보호 부재(150)는 상단부 둘레에 적어도 하나 이상의 수분 배출부(152,153)를 포함할 수 있다. 스피커(100)는 발수층(140)에 부착된 수분이 일정 경사 각도 이상에서 자중에 의해 분리된 후, 수분 배출부(152,153)를 통해 스피커(100) 외부로 배출시킬 수 있다. 예를 들어 수분 배출부(152,153)는 구명 형상으로 구성될 수 있으며, 보호 부재(150)의 상단 둘레, 즉 단차 형상인 부분(예 ; 모서리 부분)에 한 군데 이상 형성될 수 있다.
다양한 실시예에 따른 진동판(120)의 일면에 형성된 발수층(140)은 저온, 저진공의 개시제(예 ; 열, 자외선, 플라즈마 등등)을 이용한 화학 기상 증착 공정을 통해 제작될 수 있고, 유연한 플라스틱 기재 위에 코팅 방식으로 형성될 수 있다. 발수층(140) 제작은 챔버(반응기) 내부에 비닐기, 아클릴기 또는 메타아크릴기를 포함하는 단량체와 개시제를 기상으로 주입한 후, 가열 또는 자외선 조사 또는 플라즈마 처리를 이용하여 고분자의 박막 필름을 중합시키는 방식으로 제작될 수 있다.
다양한 실시예에 따른 발수층(140)의 표면은 화학적 강도가 우수하여 직물 및 플라스틱 표면에 적용되어서, 물흡수 방지, 전자 장치의 보호 등의 다양한 용도로 이용될 수 있다.
다양한 실시예에 따른 발수층(140)의 재질은 다수의 불소를 함유한 비닐계, 아크릴계 또는 메타아크릴계 모노머 PFDA(Perfluorodecyl acrylate), PFDMA(Perfluorodecyl methacrylate), C6FMA(Perfluorohexylethyl methacrylate) 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 또한 발수층과 접합되는 진동판 표면은 진동판 강성 유지하면서 초발수 코팅막과의 접합력을 확보하기 위해 DVB(Divinylbenzene) 또는 EGDMA(Ethylene glycol dimethacrylate)와 같은 연질의 프리머(Primer)를 포함할 수 있다.
다양한 실시예에 따른 발수층(140)은 프리머와, 상기 프리머 상에 증착되는 불소층을 포함할 수 있다. 상기 프리머의 두께는 2 나노 미터 ~ 수십 마이크로 미터 사이의 두께이고, 상기 불소층의 두께는 10 나노 미터 ~ 수백 마이크로 미터 사이의 두께로 구성될 수 있다. 예컨대, 발수층(140)의 두께는 프리머와 불소층의 두께를 포함할 수 있다.
만약에 전자 장치가 침수되어서 스피커의 발수층(140)에서 제거되지 않은 물기는 큰 접촉각을 이루면서 발수층 표면에 맺일 수 있다. 예컨대 전자 장치가 소정 각도 이상으로 경사지면, 발수층(140)에 존재하는 물기, 예컨대 물방울은 자중에 의해 약간의 경사를 주면서 아래로 흐를 수 있다. 이어서, 흐른 물방울은 수분 배출부(152)를 통해서 외부로 흘러나가게 된다. 대략적으로 발수층(140)에 맺힌 물방울은 지면을 기준으로 10도 정도 경사지면, 물방울은 자중에 의해 발수층(140) 표면에서 흐르게 될 수 있다.
이하에서는 스피커의 진동판에 형성되는 발수층을 제작하기 위한 화학 기상 증착 장치의 구성에 대해서 설명하기로 한다.
도 3은 종래의 발수층을 제작하기 위한 화학 기상 증착 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3을 참조하면, 종래의 화학 기상 증착 장치(300)는 챔버(310) 외부에서 제1,2콘테이너(331,332)에 저장된 고분자의 재료인 제1,2모노머(341,342)와 제3콘테이너(333)에 저장된 개시제(343)에 약간의 온도를 가해 Vapor를 형성시켜 압력차로 연결된 각각의 파이프(P1,P2)를 통해 챔버(310) 내부로 유입되는 구조를 이루어질 수 있다.
챔버(310) 내부에는 개시제(343)를 활성화하기 위한 필라멘트(320)가 동작되고, 약간의 진공 상태일 수 있다. 또한 Vapor화 된 모노머(341,342)는 상대적으로 낮은 온도를 유지하고 있는 스테이지(stage) 상의 기판(302)에 에너지 차로 흡착이 될 수 있다. 최종적으로 라디칼(Radical)이 된 개시제(343)가 모노머(341,342)와 결합을 이루게 되고, 활성화된 모노머들이 또 결합을 하면서 중합이 되어서, 기판(302) 상에 고분자 박막 필름(thin film)이 증착막 성장 영역(a1)에서 형성 및 성장될 수 있다.
다양한 실시예에 따른 모노머(341,342)와 개시제(343)가 투입되는 방식은 heat jacket 방식으로서, 콘테이너(container)를 둘러싼 형태로 온도를 가하여 증기를 형성시킨 다음, 챔버(310) 내부 압력을 낮게 하여 유입시키는 종래의 방식은 수동적인 형태로, 증착 두께 형성 효율에 불리할 수 있고, 필라멘트(320)가 챔버(310) 내에 구성되어 있어서, 필라멘트(320)에서 발생된 열에 의해 증착 두께 균일도에 불리할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치의 액상 모노머를 기화하여 캐리어 가스와 혼합하기 위한 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4를 참조하면, 다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치(400)는 모노머(단량체)와 개시제의 투입 방식을 증기보다 상대적으로 제어하기 용이한 액상 제어로 모노머와 개시제의 토출량을 조절하고 중간에 별도 구간을 설정하여 액상이 기화가 될 수 있도록 한다.
다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치(400)는 각각의 파이프(P1,P2)를 통해 액상의 모노머(410)와 캐리어 가스(420)가 혼합되면서, 혼합된 파이프 라인의 별도 구간(440)에서 기화될 수 있도록 구성할 수 있다. 별도 구간(440)에서는 고온으로 유입된 액상 모노머(410)와 캐리어 가스(420)를 예열(pre-heating)할 수 있다. 이렇게 예열된 기화된 모노머와 캐리어 가스가 섞인 혼합 가스(430)는 기화된 상태로 챔버 내로 토출될 수 있다. 예를 들어 캐리어 가스(420)는 질소 등을 포함할 수 있고, 별도 구간(440)은 액상 모노머(410)(liquid monomer)가 흐르는 파이프(P1)와, 캐리어 가스(420)(carrier gas)가 흐르는 파이프(P2)가 만나서 지점에 배치될 수 있다. 별도 구간(440)에서는 파이프를 열처리하여(thermal treating) 지나가는 혼합 가스를 활성화할 수 있다. 별도 구간(440)에는 미도시된 열처리 장치, 예컨대 히터 등을 포함할 수 있다. 액상의 모노머(410)는 별도 구간을 지나면서 완전한 기화 상태로 될 수 있다. 한편, 별도 구간(440)은 화학 기상 증착 장치에서 생략될 수 있다.
도 5는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치(iCVD)의 액상 모노머를 기화 장치를 사용하여 기화하여 캐리어 가스와 혼합하기 위한 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5를 참조하면, 다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치(500)는 콘테이너(510)에 기화 장치(520)가 실장되며, 콘테이너(510)의 모노머 투입구 부근에 실장된 기화 장치(520)는 모노머(532)의 기상화(Vapor)를 빠르게 형성하기 위해 액상의 모노머(532)를 수 um의 미립자로 분산 시킨 다음, 온도를 가하여 액상 모노머(532)를 증기화하여 콘테이너 내부에 기상 모노머(534)로 분사할 수 있다. 즉 기화 장치(520)는 액상 모노머(532)를 기상 모노머(534)로 상변화 시, 비표면적을 최대화하여 증기화하는 방식이며 이를 통해 모노머의 기상 공급량을 증가시킬 수 있다.
다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치(500)에 실장되는 기화 장치(520)는 액상의 모노머(532)를 미립화하는 방법으로 ESD(Electro Static Deposition), 에어로졸, 스프레이 중 하나를 이용할 수 있다.
또한 다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치(500)는 고온 또는 상온의 질소와 같은 비활성 기체를 캐리어 가스(542)(Carrier gas)로 함께 적용하여 유속 제어 및 기화 효율을 추가적으로 높일 수 있다. 이러한 기화된 모노머와 캐리어 가스가 혼합된 가스(544)는 챔버 내로 토출될 수 있다.
도 6은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 발수층을 제작하기 위한 화학 기상 증착 장치의 구성을 개략적으로 각각 나타내는 도면이다.
도 6을 참조하면, 다양한 실시예에 따른 개시제를 이용한 화학 기상 증착 장치(iCVD)(600)는 화학적 라디칼 중합 반응을 이용하여 대면적의 기판에 유기물 등을 증착시키는 개시제(initiator)를 이용하는 장치일 수 있다. 개시제를 이용한 화학 기상 증착 장치(iCVD)(600)는 라디칼 반응을 일으키게 하는 열처리 방법에 따라서 여러 가지로 구분될 수 있다.
다양한 실시예에 따른 개시제를 이용한 화학 기상 증착 장치(iCVD)(600)는 콘테이너(631)에 각각 저장된 모노머 및 개시제(630)가 유입되는 챔버(610)의 유입구(inlet) 내부에 열처리 장치(620)를 배치하여, 모노머 및 개시제(630)가 챔버(610) 내부로 유입되기 직전에 활성환된 상태로 유입될 수 있게 구성할 수 있다.
예컨대, 열처리 장치(620)는 가열 장치인 핫 블록(hot block)(이하 열처리 장치를 핫 블록으로 지칭하기로 한다)으로서, 복수 개의 홀(미도시)들 및 샤워 헤드들로 구성될 수 있다. 복수 개의 홀은 핫 블록(620)의 몸통에서 챔버(610)로 향하는 통로로서, 모노머 및 개시제(630)의 혼합물이 통과하면서 열을 받아서, 활성화된 상태로 챔버(610) 내로 토출될 수 있다. 핫 블록(620)을 통과한 모노머 및 개시제(630)는 샤워기 물분사 방식처럼 챔버(610) 내에서 미도시된 샤워 헤드로부터 기화 상태로 분출될 수 있다.
토출된 활성화된 혼합 가스(632)는 기판(602)에 에너지 차로 서로 결합하면서 흡착되어서, 기판(602) 상에 소정의 두께로 레이어 형상으로 증착될 수 있다. 증착된 레이어는 화학 기상 증착 영역(a1)에서 성장하여, 고분자 박막 필름으로 기판(602) 상에 소정의 두께, 예컨대 수십 마이크로 미터의 두께로 형성될 수 있고, 이러한 고분자 박막 필름은 방수 스피커의 발수층(예 ; 도 1, 도 2에 도시된 발수층)으로 활용될 수 있다.
다양한 실시예에 따른 핫 블록(620)은 챔범(610) 내에 있는 일면에 미도시된 복수개의 샤워 헤드들이 설치되어서, 각각의 샤워 헤드에 의해 개시제가 챔버 내로 분사될 수 있다.
도 7은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 발수층을 제작하기 위한 화학 기상 증착 장치의 구성을 개략적으로 각각 나타내는 도면이다.
도 7을 참조하면, 다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치(700)는 각각 콘테이너(731)에 저장된 모노머 및 개시제(730)가 유입되는 챔버(710)의 유입구(inlet) 내부에 열처리(가열 또는 열공급) 장치(720)를 배치하여, 모노머 및 개시제(730)가 챔버(710) 내부로 유입되기 직전에 활성화된 상태로 유입될 수 있게 구성할 수 있다. 예컨대, 열처리 장치(720)는 가열 장치인 핫 블록(hot block)(이하 열처리 장치를 핫 블록으로 지칭하기로 한다)으로서, 복수 개의 홀(미도시)로 구성될 수 있다. 복수 개의 홀은 핫 블록(720)의 몸통에서 챔버(710)로 향하는 통로로서, 모노머 및 개시제(730)의 혼합물이 통과하면서 열을 받아서, 활성화된 상태로 챔버(710) 내로 토출될 수 있다. 핫 블록(720)을 통과한 모노머 및 개시제(732)는 샤워기 물분사처럼 챔버 내에 기화 상태로 분사될 수 있다.
또한, 다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치(700)는 챔버(710) 내로 투입되는 개시제를 활성화하기 위한 개시제 활성화 장치를 추가적으로 구비될 수 있다. 예컨대, 개시제 활성화 장치는 적어도 하나 이상의 적외선 램프(740,742)를 포함할 수 있다. 개시제 활성화 장치는 챔버(710) 내에 적어도 한 개 이상 설치될 수 있고, 챔버(710) 내에 핫 블록(720) 아래에 배치되어서, 핫 블록(720) 아래에 적어도 하나 이상의 개시제 활성화 영역(a2)을 형성할 수 있다.
다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치(700)는 적어도 하나 이상의 적외선(Infrared) 램프(740,742)를 사용하여 챔버(710) 내의 특정 공간에 고온 영역이 초점화되어 형성될 수 있게 구성될 수 있다. 적외선 램프(740,742)는 챔버(710)에 실장되고, 특정 영역으로 적외선을 조사할 수 있게 배치될 수 있다.
적외선 램프(740,742)의 조사에 의해, 챔버(710) 내에 개시제 활성화 영역(a2)이 형성될 수 있다. 핫 블록(720)을 통과하면서 모노머는 활성화되고, 개시제는 개시제 활성화 영역(a2)을 통과하면서 활성화될 수 있다. 활성화된 모노머 및 개시제는 기판(702)에 에너지 차로 서로 결합하면서 흡착되어서, 기판(702) 상에 소정의 두께로 레이어 형상으로 증착될 수 있다. 증착된 레이어는 화학 기상 증착 영역(a1)에서 성장하여, 고분자 박막 필름으로 기판(702) 상에 형성될 수 있고, 이러한 고분자 박막 필름은 방수 스피커의 발수층(예 ; 도 1, 도 2에 도시된 발수층)으로 활용될 수 있다.
도 8은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 발수층을 제작하기 위한 화학 기상 증착 장치의 구성을 개략적으로 각각 나타내는 도면이다.
도 8을 참조하면, 다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치(800)는 도 7에 도시된 적외선 램프(740,742) 대신에 마이크로파 발생 장치(840,842)로 대체될 수 있다. 다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치(800)의 나머지 구성은 도 7에 도시된 화학 기상 증착 장치(700)와 동일하기 때문에 생략하기로 한다.
도 9는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 발수층을 제작하기 위한 화학 기상 증착 장치의 구성을 개략적으로 각각 나타내는 도면이다.
도 9를 참조하면, 다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치(900)는 챔버(910) 내로 투입되는 개시제를 활성화하기 위한 개시제 활성화 장치를 추가적으로 구비될 수 있다. 예컨대, 개시제 활성화 장치는 플라즈마 발생 장치(920)를 포함할 수 있다.
다양한 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치(700)는 플라즈마 발생 장치(920)를 사용하여 챔버(910) 내의 특정 영역에 개시제 활성화 영역(a3)(플라즈마 영역)을 형성할 수 있다. 플라즈마 발생 장치(920)는 챔버(910)에 실장되어서, 특정 영역에 플라즈마를 제공할 수 있다.
다양한 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(920)에 의해, 챔버(910) 내에 개시제 활성화 영역(a3)이 형성될 수 있다. 개시제(930)는 개시제 활성화 영역(a3)을 통과하면서 활성화될 수 있다. 활성화된 모노머 및 개시제는 기판(902)에 에너지 차로 서로 결합하면서 흡착되어서, 기판(902) 상에 소정의 두께로 레이어 형상으로 증착될 수 있다. 증착된 레이어는 화학 기상 증착 영역(a1)에서 성장하여, 고분자 박막 필름으로 기판(902) 상에 형성될 수 있고, 이러한 고분자 박막 필름은 방수 스피커의 발수층(예 ; 도 1, 도 2에 도시된 발수층)으로 활용될 수 있다.
본 명세서와 도면에 개시된 본 개시의 다양한 실시예들은 본 개시의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 개시의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 개시의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 따라서 본 개시의 범위는 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 개시의 기술적 사상을 바탕으로 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 개시의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (22)

  1. 전자 장치의 스피커에 있어서,
    자계장;
    상기 자계장과 대면하게 배치되어, 상기 자계장에서 제공하는 전자기력에 의해 진동하며, 상기 자계장을 향하는 내면과, 상기 내면과 반대 방향으로 향하는, 외부에 노출될 수 있는 외면을 포함하는 진동판;
    상기 진동판 외면 상에 배치된 보호 부재; 및
    상기 진동판 외면의 적어도 일부에 형성된, 상기 보호 부재와 대면하는 발수층을 포함하고,
    상기 보호 부재는 상단부 둘레에 있는 모서리에 적어도 하나 이상의 수분 배출부를 포함하는 스피커.
  2. 제1항에 있어서, 상기 진동판은 외면 중심 영역에 진동자를 더 포함하는 스피커.
  3. 제2항에 있어서, 상기 진동자는 노출된 표면에 발수층이 더 형성되는 스피커.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 각각의 수분 배출부는 구멍 형상으로 구성되어서, 상기 발수층에 맺힌 수분이 배출되는 스피커.
  6. 제1항에 있어서, 상기 발수층은 고분자 박막 필름으로서,
    프리머; 및
    상기 프리머 상에 증착되는 불소층을 포함하며,
    상기 프리머의 두께는 2 나노 미터 ~ 수십 마이크로 미터 사이의 두께이고, 상기 불소층의 두께는 10 나노 미터 ~ 수백 마이크로 미터 사이의 두께로 구성되는 스피커.
  7. 제1항에 있어서, 상기 발수층은 복수 개의 불소를 함유한 비닐계, 아크릴계 또는 메타아크릴계 모노머 PFDA(Perfluorodecyl acrylate), PFDMA(Perfluorodecyl methacrylate), C6FMA(Perfluorohexylethyl methacrylate) 중 어느 하나를 포함하는 스피커.
  8. 제1항에 있어서, 상기 진동판은 강성을 유지하면서 상기 발수층과의 접합력을 확보하기 위해 DVB(Divinylbenzene) 또는 EGDMA(Ethylene glycol dimethacrylate)중 어느 하나와 같은 연질의 프리머(Primer)를 포함하는 스피커.
  9. 제1항에 있어서, 상기 발수층은 개시제를 이용한 화학 기상 증착 장치를 이용하여 진동판에 소정의 두께로 증착되는 스피커.
  10. 제9항에 있어서, 상기 개시제를 이용한 화학 기상 증착 장치는
    내부에 기판이 마련된 챔버;
    상기 챔버 입구를 통해 각각 유입되는 액상 모노머와 개시제;
    상기 입구에 설치되어, 상기 액상 모노머 및 개시제를 미립화하여 분산한 후, 가열 장치를 이용하여 미립화된 모노머 및 개시제들을 열처리하는 기화 장치로 구성되며,
    상기 열처리되어 기화된 모노머와 개시제의 반응에 의해 상기 기판 상에 발수층을 증착하는 스피커.
  11. 제10항에 있어서, 상기 액상의 모노머 및 개시제는 ESD, 에어로졸, 스프레이 중 어느 하나를 이용하여 미립화시켜 발수층을 증착한 스피커.
  12. ◈청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제10항에 있어서, 상기 가열 장치는 상기 챔버 유입구에 배치되어 통과하는 모노머와 개시제를 예열하는 핫 블록을 구비하는 챔버로 발수층을 증착한 스피커.
  13. ◈청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제10항에 있어서, 상기 미립화된 모노머는 캐리어 가스와 혼합되어서, 가열된 후에 상기 챔버 내로 활성화 상태로 공급되는 챔버로 발수층을 증착한 스피커.
  14. 삭제
  15. ◈청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제10항에 있어서, 상기 챔버는 상기 개시제가 통과하는 영역을 초점화하여 활성화하기 위한 적어도 하나 이상의 적외선 램프를 더 구비하는 챔버로 발수층을 증착한 스피커.
  16. ◈청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제10항에 있어서, 상기 챔버는 상기 개시제가 통과하는 영역을 활성화하기 위한 적어도 하나 이상의 마이크로 웨이브 발생 장치를 더 구비하는 챔버로 발수층을 증착한 스피커.
  17. ◈청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제10항에 있어서, 상기 챔버는 상기 모노머 및 개시제가 통과하는 영역을 활성화하기 위한 적어도 하나 이상의 플라즈마 발생 장치를 더 구비하는 챔버로 발수층을 증착한 스피커.
  18. 삭제
  19. 삭제
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  22. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005094270A (ja) 2003-09-16 2005-04-07 Nof Corp 被膜形成用材料
KR101607570B1 (ko) 2014-09-29 2016-03-30 주식회사 선익시스템 화학 기상 증착 장치 및 화학 기상 증착 방법
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