KR102491166B1 - Method of forming micro pattern using capillary force and electrostatic force and micro needle including the micro pattern - Google Patents

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Abstract

본원은 기판 상에 고분자 화합물 레지스트 도포하는 단계; 상기 고분자 화합물 레지스트와 미세 패턴 구조를 가지는 주형을 접촉시켜 상기 고분자 화합물 레지스트 상에 상기 미세 패턴의 하부 구조를 형성하는 단계; 상기 기판 상에 전압을 인가하여 상기 미세 패턴의 하부 구조 상에 상기 미세 패턴의 상부 구조를 형성하는 단계; 및 상기 고분자 화합물 레지스트를 경화시키는 단계를 포함하는, 미세 패턴의 형성 방법에 관한 것이다.The present application includes the steps of applying a polymer compound resist on a substrate; contacting the polymer compound resist with a template having a micro pattern structure to form a lower structure of the micro pattern on the polymer compound resist; forming an upper structure of the fine pattern on the lower structure of the fine pattern by applying a voltage to the substrate; and curing the polymer compound resist.

Description

모세관력 및 정전기력을 이용한 미세 패턴의 형성 방법 및 미세 패턴을 포함하는 마이크로 니들 {METHOD OF FORMING MICRO PATTERN USING CAPILLARY FORCE AND ELECTROSTATIC FORCE AND MICRO NEEDLE INCLUDING THE MICRO PATTERN}Method for forming micropatterns using capillary force and electrostatic force, and microneedles including micropatterns

본원은 모세관력과 정전기력을 이용한 미세 패턴의 형성 방법 및 미세 패턴을 포함하는 마이크로 니들에 관한 것이다.The present disclosure relates to a method for forming a micropattern using capillary force and electrostatic force, and a microneedle including the micropattern.

의약품의 효과에 있어서, 약물 자체의 효과뿐만 아니라 제형의 특성 및 어떤 투여경로를 이용할 것인가는 무척 중요하다. 대부분의 의약품은 경구 투여 경로를 이용하여 투여되고 있으나, 경구투여 경로는 간에서의 초회통과 효과 및 위장관 운동의 저하 시 약효가 저하 될 수 있다는 단점이 있다.In the effect of pharmaceuticals, it is very important not only the effect of the drug itself but also the characteristics of the dosage form and which route of administration to use. Most pharmaceuticals are administered using the oral administration route, but the oral administration route has a disadvantage in that drug efficacy may be reduced when the first pass effect in the liver and gastrointestinal motility are reduced.

위장관 내에서의 흡수가 안되는 경우 주사제형을 이용하여 약물을 투여한다. 그러나 주사제형은 투여기술이 있는 숙련된 의료진에 의해 투여되어야 하며, 통증이 있고, 경제적으로 비싸다. 또한, 앰플이나 바이알 개봉 시 유리 파편이나 고무마개의 파편이 혼입될 가능성이 있다. 이러한 경구투여 경로 및 주사제형의 단점으로 인해, 새로운 투여경로를 통한 약물전달시스템이 다양하게 연구되고 있다.If absorption in the gastrointestinal tract is not possible, the drug is administered using an injection formulation. However, injection formulations must be administered by a skilled medical staff with administration skills, are painful, and are economically expensive. In addition, there is a possibility that glass fragments or rubber stopper fragments may be mixed when opening the ampoule or vial. Due to the disadvantages of these oral administration routes and injection formulations, various drug delivery systems through new routes of administration have been studied.

그 중, 마이크로 니들을 이용하는 방법은 피부 표피층을 통증 없이 뚫을 수 있고, 피부를 통해 약물을 투여하기 때문에 경구투여 경로로 전달하기 어려운 약물을 전달할 수 있다. 또한, 약물의 혈류 흡수를 촉진시켜 보다 신속하게 작용을 개시할 수 있고, 자가 투약이 가능하다는 장점이 있는 경피 약물전달시스템(TDDS, Transdermal Drug Delivery System)이다.Among them, the method using a microneedle can pierce the epidermal layer of the skin without pain, and can deliver a drug that is difficult to deliver through an oral administration route because the drug is administered through the skin. In addition, it is a transdermal drug delivery system (TDDS, Transdermal Drug Delivery System) that can initiate action more quickly by facilitating the absorption of drugs into the bloodstream and has the advantage of being able to self-administer.

현재까지, 경피 약물전달시스템을 이용하여 관절염, 백신, 골다공증, 면역성 피부질환, 인슐린 패치 등의 치료제에 활용하고 있고, 항암 치료제, 특수질환 치료용 패치도 개발 중에 있기 때문에 경피 약물전달시스템에 최적화된 마이크로 니들을 제작하는 것은 중요하다.So far, transdermal drug delivery systems have been used for treatments such as arthritis, vaccines, osteoporosis, immune skin diseases, and insulin patches, and anti-cancer drugs and patches for special diseases are also being developed. Fabrication of microneedles is important.

종래의 마이크로 니들 제작 방법에는 경피 약물전달을 위해 필요한 250 ㎛ 내지 1,000 ㎛의 높이를 제작하는 과정에서 미충진, 기포 생성 및 건조 과정에서의 변형 등의 문제가 있다. 따라서, 효과적으로 약물을 전달하고, 통증이 없는 적절한 종횡비를 가지는 최적화된 높이의 마이크로 니들을 제조하는데 한계가 있다.Conventional microneedle manufacturing methods have problems such as unfilling, bubble formation, and deformation during drying in the process of manufacturing the height of 250 μm to 1,000 μm required for transdermal drug delivery. Therefore, there is a limit to manufacturing a microneedle having an optimized height and having an appropriate aspect ratio that effectively delivers drugs and is painless.

국내 마이크로 니들 선도 기업인 라파스(Raphas)의 DEN(Droplet Extension) 기술의 경우, 물방울 형태(droplet)로 약물을 떨어뜨리고 약물의 점성을 활용해 약물을 엿가락처럼 늘려 마이크로 니들을 형성하는 기술이다. 이 공정은 가열과정 없이 5 분 안에 제조가 가능하며 유효성분의 손실이나 변형이 거의 일어나지 않는 이점이 있지만, 점성을 이용하기 때문에 온도와 습도에 민감하며 구조를 임의대로 형성할 수 없는 등의 한계가 있다.In the case of DEN (Droplet Extension) technology of Raphas, a leading microneedle company in Korea, a drug is dropped in the form of a droplet and the drug is stretched like a stick using the viscosity of the drug to form a microneedle. This process can be manufactured in 5 minutes without a heating process and has the advantage that little loss or transformation of active ingredients occurs. there is.

인장 방법 또는 인장 송풍 방법으로 제조한 마이크로 니들의 경우 1,000 kDa 내지 2,500 kDa의 분자량이 큰 고분자 물질을 사용하면 점성 용액의 제조가 불가능하며, 500 Da 내지 50 kDa의 분자량이 작은 고분자 물질을 사용하면 생분해성 마이크로 니들의 구조 형성이 어렵고, 강도가 약해지는 문제점이 있다. 또한, 인장 방법을 이용한 드로잉 공정에서 마이크로 니들은 온도와 습도에 따라 인장력에 영향을 받고 마이크로 니들 수득 시 그 형태가 균일하지 않으며, 물질이 달라지면 그에 따른 점성 조절이 필요하다는 한계 때문에 재현성이 좋지 못하다.In the case of microneedles manufactured by the tensile method or the tensile blowing method, if a high molecular weight polymer material of 1,000 kDa to 2,500 kDa is used, it is impossible to prepare a viscous solution, and if a polymer material with a low molecular weight of 500 Da to 50 kDa is used, it is biodegradable. It is difficult to form the structure of the magnetic microneedles, and there are problems in that the strength is weakened. In addition, in the drawing process using the tensile method, the microneedle is affected by the tensile force depending on the temperature and humidity, and the shape is not uniform when obtaining the microneedle, and the reproducibility is poor because of the limitation that the viscosity must be adjusted accordingly when the material is changed.

또한, 수용성 마이크로 니들은 수용성 성질 때문에 약물을 몰드에 채워 넣는데 어려움이 있으며, 고형화 과정에서 발생하는 에어포켓(air-pocket)이 마이크로 니들 패치의 품질을 저하시킨다.In addition, water-soluble microneedles have difficulty in filling the mold with the drug due to their water-soluble nature, and air-pockets generated during the solidification process degrade the quality of the microneedle patch.

종래의 몰딩 기법은 마이크로 니들 몰드 안에 약물 또는 미용 성분 용액을 넣고 70 kPa 이하로 가압 하는 방식으로 제작되며, 주형에서 마이크로 니들을 하나씩 뽑아내야 한다는 제한이 있다. 또한, 마이크로 니들을 고형화 시키는 건조 과정의 경우 열 건조 및 송풍 등에 의한 응고 과정 등 복잡한 건조 과정이 요구되어 생산성이 떨어지는 문제가 발생한다.Conventional molding techniques are manufactured by putting a solution of a drug or cosmetic ingredient in a microneedle mold and pressurizing it at 70 kPa or less, and there is a limitation in that microneedles must be pulled out one by one from the mold. In addition, in the case of a drying process for solidifying the microneedles, a complicated drying process such as heat drying and a solidification process by blowing is required, resulting in a decrease in productivity.

또한, 틀에 용액을 채워 넣고 열 건조 시켜서 굳히는 과정에서 약물의 유효 성분의 손실이 발생하며, 몰드에 채워진 충진 용액을 열 건조시키는 과정에서 충진 용액의 수축이 일어나서 마이크로 니들 구조체가 완벽하게 형성되지 못하는 문제가 발생한다.In addition, in the process of filling the mold with the solution and drying it with heat, the active ingredient of the drug is lost, and in the process of drying the filling solution filled in the mold with heat, the shrinkage of the filling solution occurs, so that the microneedle structure is not perfectly formed. A problem arises.

마이크로 니들의 다양한 기능을 적용하기 위해서는 대면적에 걸쳐 마이크로 니들 패치의 개발이 필요하다. 고형 마이크로 니들의 경우 피부에 약물을 도포한 뒤 롤러 형태의 마이크로 니들을 사용해 대면적으로 물질을 피하로 침투시킬 수 있지만 약물의 불균일한 도포로 인해 피하에 침투한 양을 조절하기 어렵고, 용해성 마이크로 니들의 경우 대면적 몰드 제작과 형성되는 마이크로 니들 구조의 균일성 문제로 대면적 생산에 제한이 있으며, 에어포켓의 형성으로 대면적의 균일한 마이크로 니들 제작에 한계가 존재한다.In order to apply the various functions of microneedles, it is necessary to develop a microneedle patch over a large area. In the case of a solid microneedle, after applying a drug to the skin, a roller-type microneedle can be used to penetrate the substance subcutaneously over a large area. In the case of , there is a limit to large-area production due to the uniformity of the large-area mold fabrication and the microneedle structure formed, and the formation of air pockets limits the fabrication of large-area uniform microneedles.

또한, 기존의 마이크로 니들은 평평한 판 위에서 제작되어 복잡한 구조에서는 제한적이며, 드로잉 리소그래피 기술로 생산한 마이크로 니들은 원하는 패치 위에 전사하기까지 과정이 복잡하고 시간이 많이 소요되어 대면적 생산에 어려움이 있다.In addition, existing microneedles are manufactured on a flat plate and are limited in complex structures, and microneedles produced by drawing lithography have difficulty in large-area production because the process is complicated and time-consuming to transfer onto a desired patch.

따라서, 경피로 약물을 전달하기 위해 필요한 종횡비를 가지고, 재현성과 생산성이 높은 마이크로 니들의 제조 방법의 개발이 요구되며, 생산과정에서 약물의 유효 성분이 유실되지 않고, 대면적으로 제조 가능한 마이크로 니들의 제조 방법이 요구된다.Therefore, it is required to develop a method for manufacturing a microneedle having an aspect ratio required for transdermal drug delivery, and having high reproducibility and productivity, and a microneedle that can be manufactured in a large area without losing active ingredients of the drug during the production process. A manufacturing method is required.

대한민국 공개특허 제10-2020-0079376호는 마이크로 니들 및 이의 제조방법에 관한 특허이다. 상기 특허는 주형을 이용하여 마이크로 니들을 제조하는 방법에 관하여 설명하고 있으나, 정전기력을 이용하여 패턴의 상부에 형성된 에어포켓을 레지스트로 채워서 마이크로 니들의 팁을 형성하는 과정에 대해서는 명시하고 있지 않다.Korean Patent Publication No. 10-2020-0079376 is a patent on a microneedle and a manufacturing method thereof. The patent describes a method of manufacturing microneedles using a mold, but does not specify a process of forming a microneedle tip by filling air pockets formed on the top of a pattern with resist using electrostatic force.

본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 미세 패턴을 형성하는 과정에서 에어포켓의 형성으로 인해 미세 패턴의 상부 구조를 형성하는 데에 어려움이 있었던 기존의 방법과는 달리, 상기 에어포켓을 정전기력에 의하여 고분자 화합물의 레지스트로 채워서 상기 미세 패턴의 상부 구조를 형성하는 미세 패턴의 형성 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is intended to solve the above-mentioned problems of the prior art, and unlike conventional methods in which there was difficulty in forming the upper structure of the fine pattern due to the formation of the air pocket in the process of forming the fine pattern, the air pocket It is an object of the present invention to provide a method for forming a micropattern in which an upper structure of the micropattern is formed by filling a resist of a polymer compound with an electrostatic force.

또한, 상기 미세 패턴의 형성 방법에 의해 제조된 마이크로 니들을 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, it is an object of the present invention to provide microneedles manufactured by the method for forming a micropattern.

또한, 상기 마이크로 니들을 포함하는 약물 전달 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a drug delivery system including the microneedle.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제 1 측면은 기판 상에 고분자 화합물 레지스트를 도포하는 단계; 상기 고분자 화합물 레지스트와 미세 패턴 구조를 가지는 주형을 접촉시켜 상기 고분자 화합물 레지스트 상에 상기 미세 패턴의 하부 구조를 형성하는 단계; 상기 기판 상에 전압을 인가하여 상기 미세 패턴의 하부 구조 상에 상기 미세 패턴의 상부 구조를 형성하는 단계; 및 상기 고분자 화합물 레지스트를 경화시키는 단계를 포함하는 미세 패턴의 형성 방법을 제공한다.As a technical means for achieving the above technical problem, the first aspect of the present application is a step of applying a polymer compound resist on a substrate; contacting the polymer compound resist with a template having a micro pattern structure to form a lower structure of the micro pattern on the polymer compound resist; forming an upper structure of the fine pattern on the lower structure of the fine pattern by applying a voltage to the substrate; and curing the polymer compound resist.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 미세 패턴의 하부 구조를 형성하는 단계에서 상기 하부 구조 상에 에어 포켓이 형성되고, 상기 전압 인가에 의해 상기 에어 포켓이 상기 고분자 화합물 레지스트로 채워져 상기 미세 패턴의 상부 구조가 형성되는 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, in the step of forming the lower structure of the micropattern, an air pocket is formed on the lower structure, and the air pocket is filled with the polymer compound resist by applying the voltage, thereby forming an upper portion of the micropattern. It may include forming a structure, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 미세 패턴의 하부 구조를 형성하는 단계는 모세관력에 의해 상기 레지스트가 상기 미세 패턴 구조에 흡입되어 상기 하부 구조가 형성되는 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the step of forming the lower structure of the micropattern may include forming the lower structure by sucking the resist into the micropattern structure by capillary force, but is limited thereto not.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 전압은 1.0 kV 이상 3.0 kV 이하인 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the voltage may include, but is not limited to, 1.0 kV or more and 3.0 kV or less.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 기판 상에 절연층이 배치된 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, it may include an insulating layer disposed on the substrate, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 미세 패턴 구조를 가지는 주형 상에 전압을 인가하기 위한 전극이 배치된 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, an electrode for applying a voltage may be disposed on a mold having the fine pattern structure, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 미세 패턴 구조를 가지는 주형을 제거하는 단계를 추가 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the step of removing the template having the fine pattern structure may be further included, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 미세 패턴 구조를 가지는 주형은 폴리디메틸실록산(PDMS, polydimethylsiloxane), 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리염화비닐수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 나일론, 에폭시, 폴리이미드, 폴리에스테르, 우레탄, 아크릴, 폴리카보네이트, 요소, 멜라닌, 염화고무, 폴리비닐알콜, 폴리비닐에스테르, 비닐리덴플루오라이드-헥사플루오로프로필렌 코폴리머(PVDF-co-HFP), 폴리비닐리덴플루오라이드(polyvinylidenefluoride: PVDF), 폴리아크릴로니트릴(polyacrylonitrile), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate), 폴리테트라불화에틸렌(polytetrafluoroethylene: PTFE), 스틸렌부타디엔 고무(styrenebutadiene rubber: SBR) 또는 에틸렌프로필렌디엔 공중합체(ethylene-propylene-diene copolymer: EPDM)를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the template having the fine pattern structure is polydimethylsiloxane (PDMS), polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride resin, polyethylene terephthalate (PET), nylon, epoxy, polyimide, poly Ester, urethane, acrylic, polycarbonate, urea, melanin, chlorinated rubber, polyvinyl alcohol, polyvinyl ester, vinylidenefluoride-hexafluoropropylene copolymer (PVDF-co-HFP), polyvinylidenefluoride : PVDF), polyacrylonitrile, polymethylmethacrylate, polytetrafluoroethylene (PTFE), styrenebutadiene rubber (SBR) or ethylene-propylene copolymer -diene copolymer: EPDM), but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 미세 패턴 구조는 피라미드, 프리즘, 정사면체, 반구, 비구면, 및 이들의 조합들로부터 선택된 패턴을 포함하는 것 일수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the fine pattern structure may include a pattern selected from a pyramid, prism, tetrahedron, hemisphere, aspherical surface, and combinations thereof, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 고분자 화합물 레지스트는 열가소성 고분자를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the polymer compound resist may include a thermoplastic polymer, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 열가소성 고분자는 폴리스티렌(PS), ABS수지(acrylonitrile butadiene-styrene), 폴리옥시메틸렌(POM), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 셀룰로스아세테이트(CA), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 폴리클로로트리플루오르에틸렌(PCTEF), 불화비닐수지(PVF), 폴리비닐리덴플로우라이드(PVDF), 폴리메틸펜텐(PMP), 폴리아마이드(PA), 폴리카보네이트(PC), 폴리에틸렌(PE), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리이미드(PI), 폴리페닐렌옥사이드(PPO), 폴리프로필렌(PP), 폴리설폰(PSul), 폴리염화비닐리덴(PVDC), 폴리염화비닐(PVC) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the thermoplastic polymer is polystyrene (PS), ABS resin (acrylonitrile butadiene-styrene), polyoxymethylene (POM), polymethyl methacrylate (PMMA), cellulose acetate (CA), polytetra Fluoroethylene (PTFE), polychlorotrifluoroethylene (PCTEF), polyvinyl fluoride (PVF), polyvinylidene fluoride (PVDF), polymethylpentene (PMP), polyamide (PA), polycarbonate (PC) , polyethylene (PE), polyethylene terephthalate (PET), polyimide (PI), polyphenylene oxide (PPO), polypropylene (PP), polysulfone (PSul), polyvinylidene chloride (PVDC), polyvinyl chloride (PVC), and may include those selected from the group consisting of combinations thereof, but are not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 고분자 화합물 레지스트는 수용성 고분자를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the polymer compound resist may include a water-soluble polymer, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 수용성 고분자는 카복시메틸셀룰로오스(carboxymethyl cellulose), 히알루론산(hyaluronic acid), 콘드로이틴황산(chondroitin sulfate), 글리코겐(glycogen), 덱스트린(dextrin), 덱스트란(dextran), 덱스트란 황산(dextran sulfate), 히드록시프로필메틸셀룰로스(hydroxypropyl methylcellulose), 알긴산(alginic acid), 키틴(chitin), 키토산(chitosan), 풀루란(pullulan), 콜라겐(collagen), 젤라틴(gelatin) 및 이들의 가수분해물, 폴리비닐알코올(polyvinyl alcohol), 폴리비닐피롤리돈(polyvinyl pyrrolidone), 폴리아크릴산(polyacrylic acid) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the water-soluble polymer is carboxymethyl cellulose, hyaluronic acid, chondroitin sulfate, glycogen, dextrin, dextran, Dextran sulfate, hydroxypropyl methylcellulose, alginic acid, chitin, chitosan, pullulan, collagen, gelatin and It may include those selected from the group consisting of hydrolysates thereof, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, polyacrylic acid, and combinations thereof, but are limited thereto It is not.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 고분자 화합물 레지스트를 경화시키는 단계는 단순 냉각 또는 동결건조에 의해 수행되는 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the curing of the polymer compound resist may include, but is not limited to, simple cooling or lyophilization.

또한, 본원의 제 2 측면은 제 1 측면에 따라 제조된 미세 패턴을 포함하는, 마이크로 니들을 제공한다.In addition, a second aspect of the present disclosure provides a microneedle including a micropattern manufactured according to the first aspect.

또한, 본원의 제 3 측면은 제 2 측면에 따른 마이크로 니들을 포함하는, 약물 전달 시스템을 제공한다.In addition, a third aspect of the present application provides a drug delivery system comprising the microneedle according to the second aspect.

상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본원을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.The above-described problem solving means are merely exemplary and should not be construed as intended to limit the present disclosure. In addition to the exemplary embodiments described above, additional embodiments may exist in the drawings and detailed description of the invention.

종래의 마이크로 니들을 제작하는 방법은 마이크로 니들 주형 안에 약물 또는 미용 성분 용액을 넣고 가압하는 방식으로 제작되며, 주형에서 마이크로 니들을 하나씩 뽑아내야 한다는 단점이 있다.The conventional method of manufacturing microneedles is manufactured by putting a drug or cosmetic ingredient solution into a microneedle mold and pressurizing it, and has a disadvantage in that microneedles must be pulled out from the mold one by one.

또한, 인장 방법을 이용한 드로잉 공정에서 마이크로 니들은 온도와 습도에 따른 인장력의 영향, 마이크로 니들 수득 시 형태의 비균일 및 사용 물질에 따른 점성 조절이 필요하다는 한계 때문에 재현성이 좋지 못하다.In addition, in the drawing process using the tensile method, microneedles have poor reproducibility due to the influence of tensile force according to temperature and humidity, the non-uniformity of the shape when microneedles are obtained, and the need to adjust the viscosity according to the material used.

또한, 마이크로 니들을 고형화 시키는 건조 과정에서, 열 건조 및 송풍 등에 의한 응고 과정과 같은 복잡한 건조 과정이 요구되어 생산성이 떨어지는 문제가 발생한다.In addition, in the drying process of solidifying the microneedles, a complicated drying process such as heat drying and solidification process by blowing is required, resulting in a decrease in productivity.

본원에 따른 미세 패턴을 형성하는 방법은 레지스트와 주형이 접촉함과 동시에 발생하는 모세관력을 이용하여 수 nm까지 미세 패턴 구조를 형성할 수 있다. 다만, 베르누이 원리에 따라 미세 패턴 구조의 하부에서 상부로 레지스트가 올라갈수록 부피가 줄어들고 압력이 높아져서 에어포켓이 형성될 수 있으며, 이는 높은 종횡비를 가지는 미세 패턴 구조의 형성에 문제가 될 수 있다.In the method of forming a micropattern according to the present disclosure, a micropattern structure up to several nanometers may be formed by using capillary force generated simultaneously with contact between a resist and a mold. However, according to Bernoulli's principle, as the resist rises from the bottom to the top of the micro-pattern structure, the volume decreases and the pressure increases, so air pockets may be formed, which may be a problem in forming a micro-pattern structure having a high aspect ratio.

이러한 문제를 해결하기 위하여, 본원에 따른 미세 패턴의 형성 방법은 고전압에 의해 발생한 정전기력에 의하여 미세 패턴의 상부에 형성된 에어포켓을 레지스트로 채워 수백 ㎛높이의 미세 패턴 구조를 형성하여, 높은 종횡비를 가지는 미세 패턴 구조를 형성할 수 있다.In order to solve this problem, the method of forming a fine pattern according to the present invention forms a fine pattern structure with a height of several hundred μm by filling air pockets formed on the top of the fine pattern with a resist by electrostatic force generated by a high voltage, thereby forming a fine pattern structure having a high aspect ratio. A fine pattern structure can be formed.

또한, 온도와 습도에 민감한 약품 성분을 이용함에도 불구하고, 고전압 자기장의 영향이 지배적으로 우세하므로, 미세 패턴의 형성이 용이하고, 마이크로 니들의 재현성이 보장되며, 공정 중 발생하는 외부요인들을 제어하는데 드는 비용이 감소할 수 있다는 장점이 있다.In addition, despite the use of chemical components sensitive to temperature and humidity, the influence of a high-voltage magnetic field dominates, making it easy to form fine patterns, ensuring reproducibility of microneedles, and controlling external factors occurring during the process. It has the advantage of reducing costs.

또한, 약물의 점성이 높을수록 미세 패턴의 형성이 어렵지만, 전압을 높여 응집력을 상쇄하고 물질을 끌어당겨 높은 종횡비를 가지는 미세 패턴의 형성이 가능하다. In addition, the higher the viscosity of the drug, the more difficult it is to form a fine pattern. However, it is possible to form a fine pattern having a high aspect ratio by increasing the voltage to offset the cohesive force and attracting the material.

또한, 비교적 단순한 공정을 거쳐 수득률이 높으며, 폴리디메틸실록산(PDMS, polydimethylsiloxane)으로 제작된 주형은 재활용이 가능하고, 반복 생산에서도 형태 변화가 쉽게 발생하지 않는 장점이 있다.In addition, the yield is high through a relatively simple process, the mold made of polydimethylsiloxane (PDMS) can be recycled, and there are advantages in that shape change does not easily occur even in repeated production.

종래의 미세 패턴을 형성하는 방법은 주형에 용액을 채워 넣고 열 건조를 시켜서 굳히는 과정에서 약물의 유효 성분의 손실이 발생하고, 충진 용액의 수축이 발생하여 마이크로 니들 구조체가 완벽하게 형성되지 못하는 문제가 발생한다.In the conventional method of forming micropatterns, the active ingredient of the drug is lost in the process of solidifying by filling the mold with a solution and drying it with heat, and shrinkage of the filling solution occurs, so that the microneedle structure is not perfectly formed. Occurs.

전술한 본원의 과제의 해결수단에 따르면, 열 건조 및 송풍 건조의 단점인 약물의 유효성분 변화 및 마이크로 니들 구조체의 변형을 보완하기 위해 동결건조 방식을 채택하여 패턴 수축이 10% 미만인 패턴을 제작할 수 있다.According to the solution to the above problem of the present application, a pattern with a pattern shrinkage of less than 10% can be produced by adopting a freeze-drying method to compensate for the change in the active ingredient of the drug and the deformation of the microneedle structure, which are disadvantages of heat drying and blow drying. there is.

또한, 동결건조를 이용해 건조시킨 뒤 주형으로부터 분리하면 제작시 발생하는 결함 및 열에 의한 손실이 없어서 수득률이 높다.In addition, when dried using freeze-drying and then separated from the mold, the yield is high because there are no defects and loss due to heat during manufacture.

또한, 동결건조는 내부의 미세섬유 매트릭스를 그대로 유지하면서 수분을 선택적으로 제거하여 변형을 최소화하고, 열에 민감해서 사용하지 못했던 약물 및 피부 미용제를 마이크로 니들로 제작 가능하다는 장점이 있다.In addition, freeze-drying has the advantage of minimizing deformation by selectively removing moisture while maintaining the internal microfiber matrix as it is, and manufacturing drugs and skin care agents that have not been used because they are sensitive to heat with microneedles.

또한, 급속 냉각을 하면 용액 내의 물 분자가 더 적게 팽창하며 분자구조에 영향을 덜 미치고, 마이크로 니들 외형의 변화 및 내부 기공의 형성을 방지한다.In addition, when the rapid cooling is performed, the water molecules in the solution expand less and the molecular structure is less affected, and the change in the outer shape of the microneedle and the formation of internal pores are prevented.

또한, 전술한 과제의 해결수단에 따르면, 폴리디메틸실록산(PDMS, polydimethylsiloxane)을 사용하여 5 ㎝ × 5 ㎝ 내지 30 ㎝ × 30 ㎝의 미세 패턴을 가지는 대면적 주형을 만들 수 있다. 전극 기판은 원하는 크기의 대면적으로 형성이 가능하며, 고전압 전기장을 전극판 전면적에 일정하게 가해줄 수 있기 때문에 균일한 마이크로 니들 패턴의 형성이 가능하다. 또한, 마이크로 니들을 올려둘 패치 위에 구조체 형성이 가능하며, 플렉서블한 패치 위에도 제작이 가능하다.In addition, according to the solution to the above-described problem, a large-area mold having a fine pattern of 5 cm × 5 cm to 30 cm × 30 cm can be made using polydimethylsiloxane (PDMS). The electrode substrate can be formed in a large area of a desired size, and a uniform microneedle pattern can be formed because a high voltage electric field can be applied uniformly over the entire area of the electrode plate. In addition, the structure can be formed on the patch on which the microneedles will be placed, and it can also be fabricated on the flexible patch.

또한, 클린룸(clean-room)이 아닌 외부에서 제조가 가능해 공간의 제약을 받지 않으며, 스크류, 스피어 등 원하는 형태의 주형을 제작한 뒤 충진물을 넣고 5 분 내지 10 분 동안 고전압 전기장을 가해준다면, 원하는 형태의 마이크로 니들을 얻을 수 있다.In addition, it is possible to manufacture outside of a clean room, so it is not limited by space, and after manufacturing a mold of the desired shape such as a screw or sphere, insert a filler and apply a high voltage electric field for 5 to 10 minutes. A microneedle having a desired shape can be obtained.

다만, 본원에서 얻을 수 있는 효과는 상기된 바와 같은 효과들로 한정되지 않으며, 또 다른 효과들이 존재할 수 있다.However, the effects obtainable herein are not limited to the effects described above, and other effects may exist.

도 1 은 본원의 일 구현예에 따른 미세 패턴 구조를 형성하는 과정을 나타낸 순서도이다.
도 2 의 (a)는 본원의 일 구현예에 따른 미세 패턴 구조를 형성하는 과정의 간략한 순서도이며, 도 2 의 (b)는 본원의 일 구현예에 따른, 미세 패턴 구조를 형성하는 과정의 상세한 순서도이다.
도 3 은 본원의 일 실시예에 따른 미세 패턴 구조를 가지는 주형을 제작하는 과정의 순서도 및 상기 주형의 실제 이미지이다.
도 4 의 (A)는 본원의 일 실시예에 따른 열가소성 고분자로 제작된 레지스트로 미세 패턴 구조를 형성하는 과정의 순서도이며, 도 4 의 (B)는 형성된 미세 패턴의 실제 이미지이다.
도 5 의 (A)는 본원의 일 실시예에 따른 수용성 고분자로 제작된 레지스트로 미세 패턴 구조를 형성하는 과정의 순서도이며, 도 5 의 (B)는 형성된 미세 패턴의 실제 이미지이다.
도 6 은 본원의 일 실험예에 따른 모세관력에 의해 형성된 미세 패턴의 하부 구조와 정전기력에 의해 형성된 미세 패턴의 상부 구조의 이미지이다.
도 7 은 본원의 일 실험예에 따른 동결건조를 수행한 시간에 따른 미세 패턴 구조의 전자주사현미경 이미지이다.
도 8 의 (A)는 본원의 일 비교예에 따른 수분처리를 하지 않고 미세 패턴 형성을 진행하였을 때의 미세 패턴 구조의 이미지이며, 도 8 의 (B)는 본원의 일 실시예에 따른 최적화된 조건으로 반응을 진행하였을 때의 미세 패턴 구조의 이미지이다.
1 is a flowchart illustrating a process of forming a micro-pattern structure according to an exemplary embodiment of the present disclosure.
Figure 2 (a) is a simplified flow chart of a process of forming a micro-pattern structure according to an embodiment of the present application, and Figure 2 (b) is a detailed flow chart of a process of forming a micro-pattern structure according to an embodiment of the present application It is a flow chart.
3 is a flowchart of a process of manufacturing a mold having a fine pattern structure according to an embodiment of the present disclosure and an actual image of the mold.
Figure 4 (A) is a flow chart of a process of forming a micro-pattern structure with a resist made of a thermoplastic polymer according to an embodiment of the present application, and Figure 4 (B) is an actual image of the formed micro-pattern.
Figure 5 (A) is a flow chart of a process of forming a micro-pattern structure with a resist made of a water-soluble polymer according to an embodiment of the present application, and Figure 5 (B) is an actual image of the formed micro-pattern.
6 is an image of a lower structure of a micropattern formed by capillary force and an upper structure of a micropattern formed by electrostatic force according to an experimental example of the present application.
7 is a scanning electron microscope image of a micro-pattern structure over time after freeze-drying according to an experimental example of the present application.
8(A) is an image of a micropattern structure when micropattern formation is performed without water treatment according to a comparative example of the present application, and FIG. 8(B) is an image of an optimized structure according to an embodiment of the present application. This is an image of the micropattern structure when the reaction proceeds under the conditions.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present application will be described in detail so that those skilled in the art can easily practice with reference to the accompanying drawings.

그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.However, the present disclosure may be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. And in order to clearly describe the present application in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and similar reference numerals are attached to similar parts throughout the specification.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.Throughout this specification, when a part is said to be "connected" to another part, this includes not only the case of being "directly connected" but also the case of being "electrically connected" with another element in between. do.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에", "상부에", "상단에", "하에", "하부에", "하단에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.Throughout the present specification, when a member is referred to as being “on,” “above,” “on top of,” “below,” “below,” or “below” another member, this means that a member is located in relation to another member. This includes not only the case of contact but also the case of another member between the two members.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the present specification, when a certain component is said to "include", it means that it may further include other components without excluding other components unless otherwise stated.

본 명세서에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 또한, 본원 명세서 전체에서, "~ 하는 단계" 또는 "~의 단계"는 "~를 위한 단계"를 의미하지 않는다. As used herein, the terms "about," "substantially," and the like are used at or approximating that number when manufacturing and material tolerances inherent in the stated meaning are given, and are intended to assist in the understanding of this disclosure. Accurate or absolute figures are used to prevent undue exploitation by unscrupulous infringers of the stated disclosure. In addition, throughout the present specification, “steps of” or “steps of” do not mean “steps for”.

본원 명세서 전체에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 "이들의 조합"의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.Throughout the present specification, the term "combination thereof" included in the expression of the Markush form means one or more mixtures or combinations selected from the group consisting of the components described in the expression of the Markush form, and the components It means including one or more selected from the group consisting of.

본원 명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 의 기재는, "A 또는 B, 또는, A 및 B" 를 의미한다.Throughout this specification, reference to "A and/or B" means "A or B, or A and B".

이하에서는 본원의 모세관력과 정전기력을 이용한 미세 패턴의 형성방법, 미세 패턴을 포함하는 마이크로 니들 및 상기 마이크로 니들을 포함하는 약물 전달 시스템에 대한, 구현예 및 실시예와 도면을 참조하여 구체적으로 설명하도록 한다. 그러나 본원이 이러한 구현예 및 실시예와 도면에 제한되는 것은 아니다.Hereinafter, a method of forming a micropattern using capillary force and electrostatic force of the present application, a microneedle including the micropattern, and a drug delivery system including the microneedle will be described in detail with reference to embodiments, examples, and drawings. do. However, the present application is not limited to these embodiments and examples and drawings.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제 1 측면은 기판 상에 고분자 화합물 레지스트를 도포하는 단계; 상기 고분자 화합물 레지스트와 미세 패턴 구조를 가지는 주형을 접촉시켜 상기 고분자 화합물 레지스트 상에 상기 미세 패턴의 하부 구조를 형성하는 단계; 상기 기판 상에 전압을 인가하여 상기 미세 패턴의 하부 구조 상에 상기 미세 패턴의 상부 구조를 형성하는 단계; 및 상기 고분자 화합물 레지스트를 경화시키는 단계를 포함하는 미세 패턴의 형성 방법을 제공한다.As a technical means for achieving the above technical problem, the first aspect of the present application is a step of applying a polymer compound resist on a substrate; contacting the polymer compound resist with a template having a micro pattern structure to form a lower structure of the micro pattern on the polymer compound resist; forming an upper structure of the fine pattern on the lower structure of the fine pattern by applying a voltage to the substrate; and curing the polymer compound resist.

이하, 도 1 및 도 2 를 참조하여 본원에 따른 미세 패턴의 형성 방법을 설명한다.Hereinafter, a method of forming a fine pattern according to the present disclosure will be described with reference to FIGS. 1 and 2 .

도 1 은 본원의 일 구현예에 따른 미세 패턴 구조를 형성하는 과정을 나타낸 순서도이다.1 is a flowchart illustrating a process of forming a micro-pattern structure according to an exemplary embodiment of the present disclosure.

도 2 의 (a)는 본원의 일 구현예에 따른 미세 패턴 구조를 형성하는 과정의 간략한 순서도이며, 도 2 의 (b)는 본원의 일 구현예에 따른, 미세 패턴 구조를 형성하는 과정의 상세한 순서도이다.Figure 2 (a) is a simplified flow chart of a process of forming a micro-pattern structure according to an embodiment of the present application, and Figure 2 (b) is a detailed flow chart of a process of forming a micro-pattern structure according to an embodiment of the present application It is a flow chart.

먼저, 기판(100) 상에 고분자 화합물 레지스트(200)를 도포한다(S100).First, the polymer compound resist 200 is applied on the substrate 100 (S100).

상기 기판(100)은, 예를 들어, 실리콘일 수 있다. The substrate 100 may be, for example, silicon.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 고분자 화합물 레지스트(200)는 열가소성 고분자를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the polymer compound resist 200 may include a thermoplastic polymer, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 열가소성 고분자는 폴리스티렌(PS), ABS수지(acrylonitrile butadiene-styrene), 폴리옥시메틸렌(POM), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 셀룰로스아세테이트(CA), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 폴리클로로트리플루오르에틸렌(PCTEF), 불화비닐수지(PVF), 폴리비닐리덴플로우라이드(PVDF), 폴리메틸펜텐(PMP), 폴리아마이드(PA), 폴리카보네이트(PC), 폴리에틸렌(PE), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리이미드(PI), 폴리페닐렌옥사이드(PPO), 폴리프로필렌(PP), 폴리설폰(PSul), 폴리염화비닐리덴(PVDC), 폴리염화비닐(PVC) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the thermoplastic polymer is polystyrene (PS), ABS resin (acrylonitrile butadiene-styrene), polyoxymethylene (POM), polymethyl methacrylate (PMMA), cellulose acetate (CA), polytetra Fluoroethylene (PTFE), polychlorotrifluoroethylene (PCTEF), polyvinyl fluoride (PVF), polyvinylidene fluoride (PVDF), polymethylpentene (PMP), polyamide (PA), polycarbonate (PC) , polyethylene (PE), polyethylene terephthalate (PET), polyimide (PI), polyphenylene oxide (PPO), polypropylene (PP), polysulfone (PSul), polyvinylidene chloride (PVDC), polyvinyl chloride (PVC), and may include those selected from the group consisting of combinations thereof, but are not limited thereto.

상기 고분자 화합물 레지스트(200)가 열가소성 고분자인 경우, 상기 열가소성 고분자의 유리전이온도 이상으로 레지스트(200)를 가열하여 표면을 액상으로 만든 후 미세 패턴을 제작할 수 있다.When the polymeric compound resist 200 is a thermoplastic polymer, the surface of the resist 200 is heated above the glass transition temperature of the thermoplastic polymer to make the resist 200 into a liquid phase, and then fine patterns can be fabricated.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 고분자 화합물 레지스트(200)는 수용성 고분자를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the polymer compound resist 200 may include a water-soluble polymer, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 수용성 고분자는 카복시메틸셀룰로오스(carboxymethyl cellulose), 히알루론산(hyaluronic acid), 콘드로이틴황산(chondroitin sulfate), 글리코겐(glycogen), 덱스트린(dextrin), 덱스트란(dextran), 덱스트란 황산(dextran sulfate), 히드록시프로필메틸셀룰로스(hydroxypropyl methylcellulose), 알긴산(alginic acid), 키틴(chitin), 키토산(chitosan), 풀루란(pullulan), 콜라겐(collagen), 젤라틴(gelatin) 및 이들의 가수분해물, 폴리비닐알코올(polyvinyl alcohol), 폴리비닐피롤리돈(polyvinyl pyrrolidone), 폴리아크릴산(polyacrylic acid) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the water-soluble polymer is carboxymethyl cellulose, hyaluronic acid, chondroitin sulfate, glycogen, dextrin, dextran, Dextran sulfate, hydroxypropyl methylcellulose, alginic acid, chitin, chitosan, pullulan, collagen, gelatin and It may include those selected from the group consisting of hydrolysates thereof, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, polyacrylic acid, and combinations thereof, but are limited thereto It is not.

상기 고분자 화합물 레지스트(200)가 수용성 고분자인 경우, 열처리를 하여 수분을 증발시켜 상기 레지스트(200)를 경화시킨 후, 상기 레지스트(200)의 표면에 일정량의 물을 분사하여 표면부분만 액상으로 만든 후 미세 패턴을 제작할 수 있다.When the polymer compound resist 200 is a water-soluble polymer, heat treatment is performed to evaporate moisture to harden the resist 200, and then a certain amount of water is sprayed on the surface of the resist 200 to make only the surface portion in a liquid phase. After that, fine patterns can be produced.

이어서, 상기 고분자 화합물 레지스트(200)와 미세 패턴 구조를 가지는 주형(300)을 접촉시켜 상기 고분자 화합물 레지스트(200) 상에 상기 미세 패턴의 하부 구조(210)를 형성한다 (S200).Next, the polymer compound resist 200 is brought into contact with the mold 300 having a micro-pattern structure to form the micro-pattern lower structure 210 on the polymer compound resist 200 (S200).

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 미세 패턴 구조는 피라미드, 프리즘, 정사면체, 반구, 비구면, 및 이들의 조합들로부터 선택된 패턴을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the fine pattern structure may include a pattern selected from a pyramid, prism, tetrahedron, hemisphere, aspherical surface, and combinations thereof, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 미세 패턴 구조를 가지는 주형(300)은 폴리디메틸실록산(PDMS, polydimethylsiloxane), 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리염화비닐수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 나일론, 에폭시, 폴리이미드, 폴리에스테르, 우레탄, 아크릴, 폴리카보네이트, 요소, 멜라닌, 염화고무, 폴리비닐알콜, 폴리비닐에스테르, 비닐리덴플루오라이드-헥사플루오로프로필렌 코폴리머(PVDF-co-HFP), 폴리비닐리덴플루오라이드(polyvinylidenefluoride: PVDF), 폴리아크릴로니트릴(polyacrylonitrile), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate), 폴리테트라불화에틸렌(polytetrafluoroethylene: PTFE), 스틸렌부타디엔 고무 (styrenebutadiene rubber: SBR) 또는 에틸렌프로필렌디엔 공중합체(ethylene-propylene-diene copolymer: EPDM)을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the template 300 having the fine pattern structure is polydimethylsiloxane (PDMS), polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride resin, polyethylene terephthalate (PET), nylon, epoxy, poly Mead, polyester, urethane, acrylic, polycarbonate, urea, melanin, chlorinated rubber, polyvinyl alcohol, polyvinyl ester, vinylidene fluoride-hexafluoropropylene copolymer (PVDF-co-HFP), polyvinylidene fluoro polyvinylidenefluoride (PVDF), polyacrylonitrile, polymethylmethacrylate, polytetrafluoroethylene (PTFE), styrenebutadiene rubber (SBR) or ethylenepropylenediene copolymer ( ethylene-propylene-diene copolymer: EPDM), but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 미세 패턴의 하부 구조(210)를 형성하는 단계는, 모세관력에 의해 상기 레지스트(200)가 상기 미세 패턴 구조에 흡입되어 상기 하부 구조(210)가 형성되는 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the forming of the lower structure 210 of the fine pattern may include forming the lower structure 210 by sucking the resist 200 into the fine pattern structure by capillary force. It may include, but is not limited thereto.

모세관력이란, 액체가 중력과 같은 외부 도움 없이 좁은 관을 오르는 현상을 말한다. 이는, 모세관의 지름이 충분히 작을 때 액체의 표면장력과 액체와 고체 사이의 흡착력에 의해 발생한다.Capillary force refers to a phenomenon in which a liquid climbs a narrow tube without external help such as gravity. This is caused by the surface tension of the liquid and the adsorption force between the liquid and the solid when the diameter of the capillary is sufficiently small.

미세 패턴 구조를 가지는 주형(300)과 기판(100)상에 도포된 고분자 화합물 레지스트(200)를 접촉시키면, 모세관력에 의해서 고분자 화합물 레지스트(200)가 미세 패턴 구조로 흡입 되면서, 미세 패턴의 하부 구조(210)가 형성된다.When the mold 300 having a micro-pattern structure and the polymer compound resist 200 applied on the substrate 100 come into contact, the polymer compound resist 200 is sucked into the micro-pattern structure by capillary force, and the bottom of the micro-pattern Structure 210 is formed.

또한, 베르누이 원리에따라 미세 패턴 구조의 하부에서 상부로 고분자 화합물 레지스트(200)가 올라갈수록 부피가 줄어들고 압력이 높아져서 에어포켓(220)이 형성이 될 수 있다.In addition, according to Bernoulli's principle, as the polymer compound resist 200 rises from the bottom to the top of the micropattern structure, the volume decreases and the pressure increases, so air pockets 220 may be formed.

따라서, 모세관력에 의해 피라미드 형태의 미세 패턴의 하부 구조(210)만 형성이 되고, 미세 패턴의 상부 구조(230)는 아직 형성이 되지 않는다.Therefore, only the lower structure 210 of the pyramidal micropattern is formed by the capillary force, and the upper structure 230 of the micropattern is not yet formed.

이어서, 상기 기판(100) 상에 전압을 인가하여 상기 미세 패턴의 하부 구조(210) 상에 상기 미세 패턴의 상부 구조(230)를 형성한다 (S300).Subsequently, a voltage is applied to the substrate 100 to form an upper structure 230 of the fine pattern on the lower structure 210 of the fine pattern (S300).

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 미세 패턴의 하부 구조(210)를 형성하는 단계에서 상기 하부 구조(210) 상에 에어 포켓(220)이 형성되고, 상기 전압 인가에 의해 상기 에어 포켓(220)이 상기 고분자 화합물 레지스트(200)로 채워져 상기 미세 패턴의 상부 구조(230)가 형성되는 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, in the step of forming the lower structure 210 of the fine pattern, an air pocket 220 is formed on the lower structure 210, and the air pocket 220 is formed by applying the voltage. The upper structure 230 of the fine pattern may be formed by filling the polymer compound resist 200, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 미세 패턴 구조를 가지는 주형(300) 상에 전압을 인가하기 위한 전극(310)이 배치된 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the electrode 310 for applying a voltage may be disposed on the mold 300 having the fine pattern structure, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 전압은 1.0 kV 이상 3.0 kV 이하인 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the voltage may include, but is not limited to, 1.0 kV or more and 3.0 kV or less.

기판(100)과 전극(310)을 연결하여 1.0 kV 이상 3.0 kV 이하의 고전압을 인가하기 때문에 쉽게 아크방전이 발생할 수 있다. 아크방전이란, 전극사이에 전위차가 발생하여 전극이 가열되어 열전자를 방출하며 강렬한 빛을 내는 방전이다.Since the substrate 100 and the electrode 310 are connected and a high voltage of 1.0 kV or more and 3.0 kV or less is applied, an arc discharge can easily occur. An arc discharge is a discharge in which a potential difference is generated between electrodes and the electrodes are heated to emit hot electrons and emit intense light.

아크 방전이 발생하는 것을 방지하기 위하여, 상기 기판(100) 상에 절연층(110)을 추가 배치할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 절연층(110)은, 예를 들어, 3 mm이하의 두께를 가질 수 있다.In order to prevent arc discharge from occurring, an insulating layer 110 may be additionally disposed on the substrate 100, but is not limited thereto. The insulating layer 110 may have a thickness of, for example, 3 mm or less.

기판(100)과 전극(310)에 전압을 인가하게 되면, 미세 패턴을 가진 주형(300)의 표면이 대전되고, 전위차에 의해 상기 레지스트(200)의 전하가 이동하게 되며 상기 에어포켓(220)을 상기 레지스트(200)로 채워서, 미세 패턴의 상부 구조(230)가 형성된다.When a voltage is applied to the substrate 100 and the electrode 310, the surface of the mold 300 having a fine pattern is charged, and the charge of the resist 200 moves due to the potential difference, and the air pocket 220 is filled with the resist 200 to form an upper structure 230 of fine patterns.

이러한 방법을 통해서, 예를 들어, 피라미드 형태의 미세 패턴을 형성 시킬 수 있다.Through this method, for example, a pyramid-shaped fine pattern can be formed.

종래의 미세 패턴을 형성하는 방법은 패턴 구조의 상부에 에어 포켓이 형성되어 높은 종횡비를 가지는 미세 패턴 구조를 형성하는데에 한계가 있었다. 그러나, 본원에 따른 미세 패턴을 형성하는 방법은 형성되는 에어포켓을 정전기력을 이용하여 레지스트로 채우기 때문에 고종횡비를 가지는 미세 패턴 구조를 형성할 수 있다. 구체적으로, 가로 200 ㎛, 세로 250 ㎛의 길이를 갖는 종횡비가 1.25 에 다다르는 미세 패턴 구조를 형성할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.Conventional methods of forming micropatterns have limitations in forming micropattern structures having a high aspect ratio by forming air pockets on top of the pattern structures. However, since the method of forming a fine pattern according to the present disclosure fills formed air pockets with a resist using electrostatic force, it is possible to form a fine pattern structure having a high aspect ratio. Specifically, a fine pattern structure having a length of 200 μm in width and 250 μm in length and an aspect ratio reaching 1.25 may be formed, but is not limited thereto.

이어서, 고분자 화합물 레지스트(200)를 경화시킨다 (S400).Subsequently, the polymer compound resist 200 is cured (S400).

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 고분자 화합물 레지스트(200)를 경화시키는 단계는 단순 냉각 또는 동결건조에 의해 수행되는 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the step of curing the polymer compound resist 200 may include simple cooling or freeze drying, but is not limited thereto.

전술한 바와 같이, 상기 고분자 화합물 레지스트(200)에 사용되는 고분자 화합물은 열가소성 고분자 또는 수용성 고분자일 수 있다. 사용되는 고분자 화합물의 종류에 따라 경화방법을 다르게 수행할 수 있다.As described above, the polymer compound used for the polymer compound resist 200 may be a thermoplastic polymer or a water-soluble polymer. Curing methods may be performed differently depending on the type of polymer compound used.

예를 들어, 열가소성 고분자를 사용하여 레지스트(200)를 제작한 경우에는 단순냉각을 통해서 경화를 진행하고, 수용성 고분자를 사용하여 레지스트(200)를 제작한 경우에는 동결건조에 의해 경화를 진행할 수 있다.For example, when the resist 200 is manufactured using a thermoplastic polymer, curing is performed through simple cooling, and when the resist 200 is manufactured using a water-soluble polymer, hardening may be performed by lyophilization. .

동결건조란, 용기의 온도를 급격하게 낮추어 건조시키고자 하는 재료를 얼린 다음 용기내부의 압력을 진공에 가깝게하여 재료에 포함된 고체화된 용매를 바로 수증기로 승화시켜 건조하는 방법이다.Freeze-drying is a method of freezing the material to be dried by rapidly lowering the temperature of the vessel, and then sublimating the solidified solvent contained in the material into water vapor by making the pressure inside the vessel close to vacuum.

이러한 방법을 통해서, 패턴 수축이 10% 미만인 미세 패턴 구조를 형성할 수 있다.Through this method, a fine pattern structure having a pattern shrinkage of less than 10% can be formed.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 미세 패턴 구조를 가지는 주형(300)을 제거하는 단계를 추가 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present application, the step of removing the template 300 having the fine pattern structure may be further included, but is not limited thereto.

상기 미세 패턴을 경화시키는 단계 이후에, 형성된 미세 패턴 구조로부터 미세 패턴 구조를 가지는 주형(300)을 제거하여, 미세 패턴 구조를 수득할 수 있다.After curing the fine pattern, the mold 300 having the fine pattern structure may be removed from the formed fine pattern structure to obtain the fine pattern structure.

또한, 본원의 제 2 측면은 제 1 측면에 따라 제조된 미세 패턴을 포함하는, 마이크로 니들을 제공한다.In addition, a second aspect of the present disclosure provides a microneedle including a micropattern manufactured according to the first aspect.

본원의 제 2 측면에 따른 마이크로 니들에 대하여, 본원의 제 1 측면과 중복되는 부분들에 대해서는 상세한 설명을 생략하였으나, 그 설명이 생략되었더라도 본원의 제 1 측면에 기재된 내용은 본원의 제 2 측면에 동일하게 적용될 수 있다.With respect to the microneedle according to the second aspect of the present application, detailed descriptions of parts overlapping with those of the first aspect of the present application have been omitted. The same can be applied.

상기 마이크로 니들의 패턴을 제조하기 위한 주형은, 예를 들어, 폴리디메틸실록산(PDMS, polydimethylsiloxane) 으로 제작된 5 ㎝ × 5 ㎝ 내지 30 ㎝ × 30 ㎝의 크기를 가지는 대면적 주형일 수 있다. 전극 기판은 원하는 크기의 대면적으로 형성이 가능하며, 고전압 전기장을 전극판 전면적에 일정하게 가해줄 수 있기 때문에 균일한 마이크로 니들 패턴의 형성이 가능하다. 또한, 마이크로 니들을 올려둘 패치 위에 구조체 형성이 가능하며, 플렉서블한 패치 위에도 제작이 가능하다.The mold for preparing the microneedle pattern may be, for example, a large-area mold having a size of 5 cm × 5 cm to 30 cm × 30 cm made of polydimethylsiloxane (PDMS). The electrode substrate can be formed in a large area of a desired size, and a uniform microneedle pattern can be formed because a high voltage electric field can be applied uniformly over the entire area of the electrode plate. In addition, the structure can be formed on the patch on which the microneedles will be placed, and it can also be fabricated on the flexible patch.

본원에 따른 마이크로 니들은 경피를 뚫고 약물을 전달하기 위한 충분한 높이를 가지는 고종횡비의 마이크로 니들일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The microneedle according to the present disclosure may be a microneedle having a high aspect ratio having a sufficient height to deliver a drug through the skin, but is not limited thereto.

또한, 본원의 제 3 측면은 제 2 측면에 따른 상기 마이크로 니들을 포함하는 약물 전달 시스템을 제공한다.In addition, a third aspect of the present application provides a drug delivery system including the microneedle according to the second aspect.

본원의 제 3 측면에 따른 약물 전달 시스템에 대하여, 본원의 제 2 측면과 중복되는 부분들에 대해서는 상세한 설명을 생략하였으나, 그 설명이 생략되었더라도 본원의 제 2 측면에 기재된 내용은 본원의 제 3 측면에 동일하게 적용될 수 있다.With respect to the drug delivery system according to the third aspect of the present application, detailed descriptions of parts overlapping with the second aspect of the present application have been omitted. The same can be applied to

마이크로니들을 통한 경피 약물전달시스템은, 통증을 수반하지 않고, 환자의 복용편의성이 우수하다는 장점을 가지고있고, 저분자화합물, 생물학적 의약품 및 백신 등의 약물뿐만 아니라 화장품에도 사용되는 등 다양한 분야에서 적용되고 있다.The transdermal drug delivery system through the microneedle has the advantage of being painless and of excellent patient convenience. there is.

또한, 여러 회사에서 의약품 개발을 목적으로 안전성, 유효성 및 복용편의성 개선 확인을 위한 다양한 임상시험이 진행 중에 있다. 현재 주사 제형의 투여경로를 경피 약물전달시스템으로 변경, 복용편의성 개선과 약물의 약효 향상과 같은 획기적인 효과에 대해서 추가적인 임상적 확인과 상업화된 제조방법 등이 계속적으로 연구되고 있다. In addition, various clinical trials are in progress for the purpose of drug development by various companies to confirm the improvement of safety, efficacy and convenience of taking. Additional clinical confirmation and commercialized manufacturing methods are continuously being studied for innovative effects such as changing the administration route of the current injectable formulation to a transdermal drug delivery system, improving the convenience of taking the drug, and improving the efficacy of the drug.

이하 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명하고자 하나, 하기의 실시예는 단지 설명의 목적을 위한 것이며 본원의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다.The present invention will be described in more detail through the following examples, but the following examples are for illustrative purposes only and are not intended to limit the scope of the present application.

[실시예 1: 주형의 제작][Example 1: Production of mold]

도 3 은 본원의 일 실시예에 따른, 미세 패턴 구조를 가지는 주형의 제작과정을 나타낸 순서도 및 실제 제작된 미세 패턴 구조를 가지는 주형의 이미지이다.3 is a flowchart illustrating a process of manufacturing a mold having a micro-pattern structure and an image of a mold having a micro-pattern structure actually manufactured according to an embodiment of the present disclosure.

도 3 을 참조하면, 상기 미세 패턴 구조를 가지는 주형의 제작과정은 (a) 마스터 패턴을 준비하는 단계; (b) 마스터 패턴 상에 폴리디메틸실록산(PDMS, polydimethylsiloxane)을 주입하는 단계; (c) 폴리디메틸실록산 주형 상에 전극으로 사용될 실리콘을 배치하는 단계; (d) 폴리디메틸실록산을 경화시키는 단계로 수행했다.Referring to FIG. 3 , the manufacturing process of the mold having the fine pattern structure includes (a) preparing a master pattern; (b) injecting polydimethylsiloxane (PDMS) on the master pattern; (c) disposing silicon to be used as an electrode on a polydimethylsiloxane mold; (d) curing the polydimethylsiloxane.

상기 도 3 의 (a)에서 마스터 패턴을 반영구적으로 이용할 수 있으며, 식각을 통한 패턴 획득이 가능하다.The master pattern in (a) of FIG. 3 can be used semi-permanently, and the pattern can be obtained through etching.

상기 미세 패턴 구조를 가지는 주형을 제작하기위해 실리콘 엘라스토머 베이스(silicone elastomer base)와 실리콘 엘라스토머 큐어링 에이전트(silicone elastomer curing agent)를 10:1 비율로 혼합하여 폴리디메틸실록산을 제조했다.In order to prepare a mold having the micropattern structure, polydimethylsiloxane was prepared by mixing a silicone elastomer base and a silicone elastomer curing agent in a ratio of 10:1.

상기 마스터 패턴에 도 3 의 (b)와 같이 상기 제조된 폴리디메틸실록산을 주입하였고, 도 3 의 (c)와 같이 상기 제조된 폴리디메틸실록산 주형 상에 전극으로 사용될 실리콘을 배치했다.The prepared polydimethylsiloxane was injected into the master pattern as shown in (b) of FIG. 3, and silicon to be used as an electrode was placed on the prepared polydimethylsiloxane template as shown in (c) of FIG.

상기 주형 상에 전극을 배치하는 과정은, 상기 주형을 제작하는 단계에서 전극을 배치하여도 되고, 제작이 완료된 주형 상에 전극을 부착하여도 된다.In the process of disposing the electrode on the mold, the electrode may be disposed in the step of manufacturing the mold, or the electrode may be attached to the mold after fabrication is completed.

이후, 발생된 기포 제거를 위해 진공(1 Torr 이상)에서 20 분 내지 2 시간동안 유지했다. 상기 기포가 제거된 주형을 1 시간 내지 5 시간 동안 50℃ 내지 100℃의 온도에서 경화시키는 과정을 거쳐 미세 패턴을 가지는 주형을 제작했다.Thereafter, it was maintained for 20 minutes to 2 hours in a vacuum (1 Torr or more) to remove generated bubbles. The mold from which the air bubbles were removed was cured at a temperature of 50° C. to 100° C. for 1 hour to 5 hours to prepare a mold having a fine pattern.

이때, 상기 미세 패턴을 가지는 주형은 다양한 높이 또는 형태를 가질 수 있으며, 실시예에서는 피라미드 형태(200 ㎛ × 200 ㎛ × 250 ㎛)의 패턴을 가지는 주형을 제작했다.At this time, the mold having the fine pattern may have various heights or shapes, and in the embodiment, a mold having a pattern of a pyramid shape (200 μm × 200 μm × 250 μm) was manufactured.

상기 미세 패턴을 가지는 주형의 두께는 3 mm이하로 제작되었다.The thickness of the mold having the fine pattern was manufactured to be 3 mm or less.

[실시예 2: 열가소성 고분자를 이용한 미세 패턴의 형성][Example 2: Formation of fine patterns using thermoplastic polymers]

실시예 2 에서, 고분자 화합물 레지스트의 용매로 톨루엔, 클로로포름, 벤젠, 아세톤 등과 같은 유기용매를 사용하는 열가소성 고분자인 폴리스타이렌으로 고분자 화합물 레지스트를 제작하였고, 상기 레지스트에 미세 패턴 구조를 형성하였다.In Example 2, a polymer compound resist was prepared with polystyrene, a thermoplastic polymer, using an organic solvent such as toluene, chloroform, benzene, or acetone as a solvent for the polymer compound resist, and a fine pattern structure was formed on the resist.

도 4 의 (A)는 본원의 일 실시예에 따른 미세 패턴을 형성하는 방법을 단계적으로 나타낸 순서도이며, 도 4 의 (B)는 제작된 미세 패턴 구조의 실제 이미지이다.Figure 4 (A) is a flow chart showing a method of forming a micro pattern step by step according to an embodiment of the present application, Figure 4 (B) is an actual image of the fabricated micro pattern structure.

도 4 의 (A)를 참조하면, 실시예1에서 제조한 상부에 실리콘 전극이 배치된 폴리디메틸실록산으로 제작된 주형을 사용했다. 또한, 실리콘 기판위에 절연층으로 유리를 배치하였고, 상기 절연층 상에 상기 고분자 화합물 레지스트를 도포했다.Referring to (A) of FIG. 4 , a mold made of polydimethylsiloxane having a silicon electrode disposed thereon prepared in Example 1 was used. In addition, glass was disposed on the silicon substrate as an insulating layer, and the polymer compound resist was applied on the insulating layer.

또한, 상기 레지스트를 유리전이온도 이상의 온도로 가열을 시켜 패턴을 형성했다. 50℃ 내지 200℃의 온도에서 가능하며, 더 상세히는 100℃ 내지 120℃의 열을 가할 수 있다.In addition, the resist was heated to a temperature higher than the glass transition temperature to form a pattern. It is possible at a temperature of 50 ° C to 200 ° C, and in more detail, heat of 100 ° C to 120 ° C can be applied.

미세 패턴 복제 초기에 모세관력에 의하여 상기 레지스트가 상승하여 미세 패턴의 하부 구조를 형성하고, 상기 미세 패턴의 하부 구조 상에 에어포켓이 형성된다.At the initial stage of fine pattern replication, the resist rises by capillary force to form a lower structure of the fine pattern, and air pockets are formed on the lower structure of the fine pattern.

또한, 상기 미세 패턴을 가지는 주형 상에 배치된 전극과 상기 기판에 1.5 kV, 5 ㎂의 전력을 공급하여 상기 폴리디메틸실록산으로 제작된 주형의 표면을 대전시키고, 전위차에 의해 상기 레지스트의 전하가 이동하게 되며 상기 에어포켓을 상기 레지스트로 채우게 된다.In addition, power of 1.5 kV and 5 ㎂ is supplied to the substrate and the electrode disposed on the mold having the fine pattern to charge the surface of the mold made of polydimethylsiloxane, and the charge of the resist is moved by the potential difference And the air pocket is filled with the resist.

고전압으로 미세 패턴을 형성시키는 시간은 미세 패턴의 형태에 따라서 상이하며, 1 분 내지 24 시간을 유지할 수 있다.The time for forming the fine pattern with the high voltage varies depending on the shape of the fine pattern, and may be maintained for 1 minute to 24 hours.

또한, 형성된 미세 패턴 구조를 상온에서 단순 냉각 과정을 거쳐 레지스트를 경화했다.In addition, the formed fine pattern structure was cured through a simple cooling process at room temperature to cure the resist.

또한, 상기 형성된 미세 패턴 구조로부터 상기 주형을 제거하여 미세 패턴 구조를 완성했다.In addition, the mold was removed from the formed fine pattern structure to complete the fine pattern structure.

도 4 의 (B)는 실시예 2 에 따라 제작된 미세 패턴 구조의 실제 이미지이다.4(B) is an actual image of the micro-pattern structure fabricated according to Example 2.

도 4 의 (B)를 참조하면, 피라미드 형태의 미세 패턴 구조가 형성되어 있는 것을 확인할 수 있다. 또한, 미세 패턴의 상부 구조가 잘 형성 되어있는 것을 확인할 수 있다.Referring to (B) of FIG. 4 , it can be confirmed that a pyramidal micropattern structure is formed. In addition, it can be confirmed that the upper structure of the fine pattern is well formed.

[실시예 3: 수용성 고분자를 이용한 미세 패턴의 형성] [Example 3: Formation of fine patterns using water-soluble polymers]

실시예 3 은 상기 실시예 2 와는 다르게 고분자 화합물 레지스트의 용매로 물이 사용되는 수용성 고분자인 카복시메틸셀룰로오스와 히알루론산을 사용하여 고분자 화합물 레지스트를 제작하였다. 상기 실시예 2 와는 다르게, 패턴형성을 하기 전에 고분자 화합물 레지스트를 수분처리를 하는 과정이 있고, 냉각 과정에서 동결건조를 이용했다.Unlike Example 2, in Example 3, a polymer compound resist was prepared using water-soluble carboxymethylcellulose and hyaluronic acid, which are water-soluble polymers in which water is used as a solvent for the polymer compound resist. Unlike Example 2, there is a process of water treatment of the polymer compound resist before pattern formation, and lyophilization is used in the cooling process.

도 5 의 (A)는 본원의 일 실시예에 따른 미세 패턴을 형성하는 방법을 단계적으로 나타낸 순서도이며, 도 5 의 (B)는 제작된 미세 패턴 구조의 실제 이미지이다.Figure 5 (A) is a flow chart showing a method of forming a micro pattern step by step according to an embodiment of the present application, Figure 5 (B) is a real image of the fabricated micro pattern structure.

도 5 의 (A)를 참조하면, 실시예 1 에서 제조한 상부에 실리콘 전극이 배치된 폴리디메틸실록산으로 제작된 주형을 사용했다. 실리콘 기판위에 절연층으로 유리를 배치하였고, 상기 절연층 상에 상기 고분자 화합물 레지스트를 도포했다.Referring to (A) of FIG. 5 , a mold made of polydimethylsiloxane having a silicon electrode disposed thereon prepared in Example 1 was used. Glass was disposed as an insulating layer on a silicon substrate, and the polymer compound resist was applied on the insulating layer.

도포 후, 레지스트를 열처리 하여 수분을 증발시켜 경화시킨 뒤, 도포된 레지스트의 표면에 물을 일정량 분사시켜 레지스트의 표면만 액상으로 만들었다.After coating, the resist was heat-treated to evaporate moisture and hardened, and then a certain amount of water was sprayed on the surface of the applied resist to make only the surface of the resist liquid.

또한, 패턴 복제 초기에 모세관력에 의하여 레지스트가 상승하여 미세 패턴의 하부 구조를 형성하고, 상기 미세 패턴의 하부 구조 상에 에어포켓이 형성된다.In addition, at the beginning of pattern replication, the resist rises by capillary force to form a lower structure of the fine pattern, and air pockets are formed on the lower structure of the fine pattern.

또한, 전극과 기판에 1.5 kV, 5 ㎂의 전력을 공급하여 상기 폴리디메틸실록산으로 제작된 주형의 표면을 대전시키고, 전위차에 의해 상기 레지스트의 전하가 이동하게 되며 상기 에어포켓을 상기 레지스트로 채우게 된다.In addition, power of 1.5 kV and 5 ㎂ is supplied to the electrode and the substrate to charge the surface of the mold made of the polydimethylsiloxane, and the charge of the resist is moved by the potential difference, and the air pocket is filled with the resist .

고전압으로 패턴을 형성시키는 시간은 패턴의 형태에 따라서 상이하며, 1 분 내지 24 시간을 유지할 수 있다.The time for forming the pattern with the high voltage varies depending on the shape of the pattern, and may be maintained for 1 minute to 24 hours.

또한, 형성된 미세 패턴 구조를 주형과 함께 액체질소나 드라이아이스와 같은 냉매에 넣어 온도를 영하 18℃ 이하로 떨어뜨려 형성된 미세 패턴 구조를 동결시켰다.In addition, the formed micro-pattern structure was put into a refrigerant such as liquid nitrogen or dry ice together with the mold to lower the temperature to -18° C. or less to freeze the formed micro-pattern structure.

동결건조는 3 단계로 진행되며, 동결 단계, 승화 단계 및 건조 단계를 포함한다.Freeze-drying proceeds in three steps, including a freezing step, a sublimation step and a drying step.

상기 동결 단계에서, 상기 형성된 미세 패턴 구조를 영하 196℃ 와 영하 20℃ 사이의 온도에서 급속냉각을 시켰다.In the freezing step, the formed fine pattern structure was rapidly cooled at a temperature between -196°C and -20°C.

구체적으로, 액체질소(-196℃), 드라이아이스(-78.5℃) 및 냉장고(-20℃)를 사용하여 동결건조를 실시했다. 세가지 경우 모두 동결건조가 가능했지만, 온도가 0℃에 가까워 질수록 동결건조 후 미세 패턴의 수축률이 증가했다.Specifically, freeze-drying was performed using liquid nitrogen (-196°C), dry ice (-78.5°C), and a refrigerator (-20°C). Freeze-drying was possible in all three cases, but the shrinkage rate of the micropatterns after freeze-drying increased as the temperature approached 0 °C.

이를 통해, 동결건조 시 극저온에서의 급속 냉각이 반드시 필요한 것은 아니지만, 저온에서 동결건조를 진행할수록 원하는 형태의 미세 패턴 구조를 형성하는 것이 더 용이하다는 것을 확인할 수 있었다.Through this, it was confirmed that rapid cooling at a cryogenic temperature is not necessarily required during freeze-drying, but it is easier to form a fine pattern structure of a desired shape as freeze-drying is performed at a lower temperature.

상기 승화 단계에서, 상기 동결된 미세 패턴 구조를 낮은 압력(1 Torr 이상)과 영하 20℃의 저온에서 유지시켰고, 용매인 물의 승화로 카복시메틸 셀룰로오스 또는 히알루론산이 잔류했다.In the sublimation step, the frozen micropattern structure was maintained at a low pressure (1 Torr or more) and at a low temperature of minus 20° C., and carboxymethyl cellulose or hyaluronic acid remained due to sublimation of water as a solvent.

상기 건조 단계는, 얼어붙은 용질의 잔류 용매를 제거하는 단계이다. 용질에 영향을 주지 않고 용매만 제거하는 단계로서 1 일 내지 10 일 동안 지속 가능하다.The drying step is a step of removing the residual solvent of the frozen solute. As a step of removing only the solvent without affecting the solute, it can be continued for 1 to 10 days.

또한, 상기 형성된 미세 패턴 구조로부터 상기 주형을 제거하여 미세 패턴 구조를 완성했다.In addition, the mold was removed from the formed fine pattern structure to complete the fine pattern structure.

도 5 의 (B)는 실시예 3 에 따라 제작된 미세 패턴 구조의 실제 이미지이다.5(B) is an actual image of the micro-pattern structure fabricated according to Example 3.

도 5 의 (B)를 참조하면, 피라미드 형태의 미세 패턴 구조가 형성되어 있는 것을 확인할 수 있다. 또한, 미세 패턴의 상부 구조가 잘 형성 되어있는 것을 확인할 수 있다.Referring to (B) of FIG. 5 , it can be seen that a pyramidal micropattern structure is formed. In addition, it can be confirmed that the upper structure of the fine pattern is well formed.

[실험예 1][Experimental Example 1]

도 6 은 실시예 2 에 따른, 고분자 화합물 레지스트로서 폴리스타이렌을 사용하였을때, 미세 패턴의 형성 과정에서, 모세관력에 의해 형성된 미세 패턴의 하부구조와 정전기력에 의해 형성된 미세 패턴의 상부구조의 이미지이다.FIG. 6 is an image of a lower structure of the micropattern formed by capillary force and an upper structure of the micropattern formed by electrostatic force during the formation process of the micropattern when polystyrene was used as a polymer compound resist according to Example 2. FIG.

도 6 을 참조하면, STEP 1 에서 모세관력에 의해 미세 패턴의 하부 구조만 형성되고, 상기 미세 패턴의 하부 구조 상에 에어포켓이 형성되어 사각뿔대 형태의 미세 패턴 구조가 형성된 것을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 6 , it can be confirmed that in STEP 1, only the lower structure of the micropattern was formed by capillary force, and an air pocket was formed on the lower structure of the micropattern, thereby forming a quadrangular truncated micropattern structure.

따라서, 본원의 일 실시예에서는 상기 미세 패턴의 하부 구조 상에 형성된 에어포켓을 정전기력을 이용하여 상기 레지스트로 채워 미세 패턴의 상부 구조를 형성하였고, STEP 2 에서 원하는 미세 패턴의 형태인 피라미드 형태를 제작할 수 있었다.Therefore, in one embodiment of the present application, the air pockets formed on the lower structure of the fine pattern are filled with the resist using electrostatic force to form the upper structure of the fine pattern, and in STEP 2, a pyramid shape, which is the desired shape of the fine pattern, can be manufactured. could

[실험예 2][Experimental Example 2]

도 7 은 본원의 실험예에 따른 모세관력과 정전기력을 이용한 미세 패턴의 제작 후, 동결건조를 수행한 시간에 따른 카복시메틸셀룰로오스의 패턴 축소율을 확인하기 위한 전자주사현미경 이미지이다.7 is a scanning electron microscope image for confirming the pattern reduction rate of carboxymethylcellulose according to the freeze-drying time after fabrication of the micropattern using capillary force and electrostatic force according to the experimental example of the present application.

도 7 의 (A)는 원래의 패턴, (B)는 동결건조 1 일, (C)는 동결건조 3 일, (D)는 동결건조 4 일을 수행하였을 때의 미세 패턴의 실제 이미지이다.7 (A) is the original pattern, (B) is a real image of the micropattern when lyophilization was performed on 1 day, (C) is lyophilization on 3 days, and (D) is lyophilization on 4 days.

도 7 의 (B)를 참조하면, 동결건조 단계에서 충분한 건조 시간을 거치지 않을 경우 마이크로 니들 패턴이 변형된 것을 볼수 있다.Referring to (B) of FIG. 7 , it can be seen that the microneedle pattern is deformed when a sufficient drying time is not passed in the lyophilization step.

도 7 의 (C)와 (D)를 참조하면, 원래의 패턴인 (A)와 비교하여 패턴 수축률이 10%미만인 패턴을 제작할 수 있었다.Referring to (C) and (D) of FIG. 7 , a pattern with a pattern shrinkage rate of less than 10% could be produced compared to the original pattern (A).

따라서, 본 발명에서는 바람직한 동결건조 시간이 3 일 내지 5 일인 것으로 확인 할 수 있었다.Therefore, it could be confirmed that the preferred freeze-drying time in the present invention is 3 to 5 days.

[비교예 1][Comparative Example 1]

도 8 의 (A)는 본원의 일 비교예에 따른, 수분처리를 하지 않고 미세 패턴 형성을 진행하였을 때의 미세 패턴 구조의 이미지이며, 도 8 의 (B)는 본원의 일 실시예에 따른 최적화된 조건으로 반응을 진행하였을 때의 미세 패턴 구조의 이미지이다.8(A) is an image of a micropattern structure when micropattern formation is performed without water treatment according to a comparative example of the present application, and FIG. 8(B) is an image of optimization according to an embodiment of the present application This is an image of the micro-pattern structure when the reaction proceeds under the specified conditions.

도 8 의 (A)를 참조하면, 히알루론산을 사용하여 제작된 레지스트로 패턴형성을 진행할 때, 수분처리 과정을 거치지 않고 미세 패턴의 형성을 진행하면, 다공성을 가지는 미세 패턴 구조가 형성 되는 것을 확인할 수 있었다.Referring to (A) of FIG. 8 , when pattern formation is performed with a resist manufactured using hyaluronic acid, it can be confirmed that a micropattern structure having porosity is formed when a micropattern is formed without going through a water treatment process. could

따라서, 다공성을 가지지 않는 미세 패턴 구조를 형성하기 위해서는, 레지스트를 가열하여 수분을 증발시켜 경화시킨 후, 표면에 수분을 공급하여 표면을 액상 상태로 만드는 과정을 진행한 후, 미세 패턴을 형성해야 하는 것을 알 수 있었다.Therefore, in order to form a micropattern structure without porosity, after heating the resist to evaporate moisture and hardening it, supplying moisture to the surface to make the surface in a liquid state, and then forming a micropattern. could find out

도 8 의 (B)는 본 발명을 통해 제어된 수분함량을 갖는 표면에 모세관력과 정전기력을 이용한 미세 패턴의 형성방법을 통해서, 최적화된 코팅조건에서 미세 패턴을 형성하여 동결건조를 진행하였을 때, 형성된 미세 패턴의 구조이다.(B) of FIG. 8 shows a method of forming a fine pattern using capillary force and electrostatic force on a surface having a moisture content controlled through the present invention, when freeze-drying is performed by forming a fine pattern under optimized coating conditions, This is the structure of the formed micropattern.

먼저, 유리기판 위에 히알루론산으로 제작된 레지스트를 코팅 후, 히터위에 올려 120℃의 온도를 가하여 수분을 증발시켜 레지스트를 경화시켰다.First, after coating a resist made of hyaluronic acid on a glass substrate, it was put on a heater and a temperature of 120° C. was applied to evaporate moisture to cure the resist.

상기 경화된 레지스트의 표면에 물분사를 하여, 상기 표면을 액상상태로 만들었다. 스프레이로 0.5 ml/cm2미만의 수분을 공급하였고, 에어건으로 표면에 맺혀있는 수분을 제거하였다.Water was sprayed on the surface of the cured resist to make the surface in a liquid state. Moisture of less than 0.5 ml/cm 2 was supplied by spraying, and moisture condensed on the surface was removed with an air gun.

미리 제작된 주형을 액상상태의 표면에 부착하여 모세관력에 의해서 미세 패턴의 하부 구조를 형성한다. 이후, 전기장을 가하여 미세 패턴 하부 상에 형성된 에어포켓을 레지스트로 채워서 미세 패턴의 상부 구조를 형성한다.A prefabricated mold is attached to the surface of the liquid phase to form the lower structure of the micropattern by capillary force. Thereafter, an electric field is applied to fill the air pockets formed on the lower portion of the fine pattern with a resist to form an upper structure of the fine pattern.

형성된 미세 패턴 구조를 몰드와 같이 동결건조를 진행하였고, 동결건조가 끝난 이후, 미세 패턴 구조로부터 주형을 제거하여 미세 패턴 구조를 획득하였다.The formed micropattern structure was freeze-dried like a mold, and after the freeze-drying was finished, the micropattern structure was obtained by removing the mold from the micropattern structure.

도 8 의 (B)를 참조하면, 도 8 의 (A)와 달리, 미세 패턴의 구조가 다공성 특성을 가지지 않고, 복제하려고 했던 피라미드 형태의 미세 패턴 구조가 형성된 것을 확인할 수 있다. Referring to FIG. 8(B), unlike FIG. 8(A), it can be confirmed that the structure of the micropattern does not have a porous characteristic, and the pyramidal micropattern structure to be replicated is formed.

도 8 을 참조하면, 수용성 고분자를 사용하여 제작된 고분자 화합물 레지스트에 미세 패턴을 형성하는 과정은, 다공성을 가지지 않기 위해서 상기 레지스트를 기판에 도포하고 가열을 통해 수분을 증발시켜 레지스트를 경화시킨 후, 일정량의 수분을 레지스트의 표면에 분사하여 레지스트의 표면을 액상상태로 만드는 수분처리 과정이 필요하다는 것을 알 수 있었다.Referring to FIG. 8 , the process of forming a micropattern on a polymer compound resist made using a water-soluble polymer includes applying the resist to a substrate in order not to have porosity, evaporating moisture through heating to harden the resist, It was found that a moisture treatment process of making the surface of the resist in a liquid state by spraying a certain amount of moisture on the surface of the resist was necessary.

또한, 상기 레지스트의 표면을 액상 상태로 만드는 과정 중 공급된 수분량이 많을 경우, 다공성 특성을 가지는 패턴 형성 및 패턴 축소 현상이 발생한다. 반면에, 공급된 수분량이 너무 적을 경우 패턴 제작이 이뤄지지 않는 것을 확인할 수 있었다. 이를 통해, 적절한 수분량을 레지스트의 표면에 분사하는 것이 미세 패턴의 형성에 있어서 중요하다는 것을 알 수 있었다.In addition, when the amount of moisture supplied during the process of making the surface of the resist into a liquid state is large, patterns having porous characteristics and pattern shrinkage occur. On the other hand, it was confirmed that pattern production was not performed when the amount of supplied moisture was too low. Through this, it was found that spraying an appropriate amount of moisture to the surface of the resist is important in forming a fine pattern.

전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The above description of the present application is for illustrative purposes, and those skilled in the art will understand that it can be easily modified into other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present application. Therefore, the embodiments described above should be understood as illustrative in all respects and not limiting. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may be implemented in a combined form.

본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present application is indicated by the following claims rather than the detailed description above, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and equivalent concepts thereof should be construed as being included in the scope of the present application.

100: 기판
110: 절연층
200: 고분자 화합물 레지스트
210: 미세 패턴의 하부 구조
220: 에어 포켓
230: 미세 패턴의 상부 구조
300: 미세 패턴 구조를 가지는 주형
310: 전극
100: substrate
110: insulating layer
200: polymer compound resist
210: lower structure of fine pattern
220: air pocket
230: upper structure of fine pattern
300: mold having a fine pattern structure
310: electrode

Claims (16)

기판 상에 고분자 화합물 레지스트를 도포하는 단계;
상기 고분자 화합물 레지스트와 미세 패턴 구조를 가지는 주형을 접촉시켜 상기 고분자 화합물 레지스트 상에 상기 미세 패턴의 하부 구조를 형성하는 단계;
전압을 인가하여 상기 미세 패턴의 하부 구조 상에 상기 미세 패턴의 상부 구조를 형성하는 단계; 및
상기 고분자 화합물 레지스트를 경화시키는 단계;
를 포함하고,
상기 미세 패턴 구조를 가지는 주형 상부에 전압을 인가하기 위한 전극이 배치된 것이고,
상기 전극 및 상기 기판을 전원 장치와 연결하여 전압을 인가하는 것이며,
상기 미세 패턴의 하부 구조를 형성하는 단계에서 상기 하부 구조 상에 에어 포켓이 형성되고, 상기 전압 인가에 의해 상기 에어 포켓이 상기 고분자 화합물 레지스트로 채워져 상기 미세 패턴의 상부 구조가 형성되는 것이고,
상기 미세 패턴의 하부 구조를 형성하는 단계는, 모세관력에 의해 상기 레지스트가 상기 미세 패턴 구조에 흡입되어 상기 하부 구조가 형성되는 것인,
미세 패턴의 형성 방법.
coating a polymer compound resist on a substrate;
contacting the polymer compound resist with a mold having a micro pattern structure to form a lower structure of the micro pattern on the polymer compound resist;
forming an upper structure of the fine pattern on the lower structure of the fine pattern by applying a voltage; and
curing the polymer compound resist;
including,
An electrode for applying a voltage is disposed above the mold having the fine pattern structure,
Applying a voltage by connecting the electrode and the substrate with a power supply,
In the step of forming the lower structure of the fine pattern, an air pocket is formed on the lower structure, and the upper structure of the fine pattern is formed by filling the air pocket with the polymer compound resist by applying the voltage,
In the step of forming the lower structure of the fine pattern, the resist is sucked into the fine pattern structure by capillary force to form the lower structure.
A method of forming a fine pattern.
삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 전압은 1.0 kV 이상 3.0 kV 이하인 것인, 미세 패턴의 형성 방법.
According to claim 1,
The voltage is 1.0 kV or more and 3.0 kV or less, the method of forming a fine pattern.
제 1 항에 있어서,
상기 기판 상에 절연층이 배치된 것인, 미세 패턴의 형성 방법.
According to claim 1,
A method of forming a fine pattern, wherein an insulating layer is disposed on the substrate.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 미세 패턴 구조를 가지는 주형을 제거하는 단계를 추가 포함하는,
미세 패턴의 형성 방법.
According to claim 1,
Further comprising the step of removing the template having the fine pattern structure,
A method of forming a fine pattern.
제 1 항에 있어서,
상기 미세 패턴 구조를 가지는 주형은 폴리디메틸실록산(PDMS, polydimethylsiloxane), 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리염화비닐수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 나일론, 에폭시, 폴리이미드, 폴리에스테르, 우레탄, 아크릴, 폴리카보네이트, 요소, 멜라닌, 염화고무, 폴리비닐알콜, 폴리비닐에스테르, 비닐리덴플루오라이드-헥사플루오로프로필렌 코폴리머(PVDF-co-HFP), 폴리비닐리덴플루오라이드(polyvinylidenefluoride: PVDF), 폴리아크릴로니트릴 (polyacrylonitrile), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate), 폴리테트라불화에틸렌(polytetrafluoroethylene: PTFE), 스틸렌부타디엔 고무 (styrenebutadiene rubber: SBR) 또는 에틸렌프로필렌디엔 공중합체(ethylene-propylene-diene copolymer: EPDM)를 포함하는 것인, 미세 패턴의 형성 방법.
According to claim 1,
The template having the fine pattern structure is polydimethylsiloxane (PDMS), polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride resin, polyethylene terephthalate (PET), nylon, epoxy, polyimide, polyester, urethane, acrylic, polycarbonate , urea, melanin, chlorinated rubber, polyvinyl alcohol, polyvinyl ester, vinylidene fluoride-hexafluoropropylene copolymer (PVDF-co-HFP), polyvinylidenefluoride (PVDF), polyacrylonitrile (polyacrylonitrile), polymethylmethacrylate, polytetrafluoroethylene (PTFE), styrenebutadiene rubber (SBR) or ethylene-propylene-diene copolymer (EPDM) That is, a method of forming a fine pattern.
제 1 항에 있어서,
상기 미세 패턴 구조는 피라미드, 프리즘, 정사면체, 반구, 비구면, 및 이들의 조합들로부터 선택된 패턴을 포함하는 것인, 미세 패턴의 형성 방법.
According to claim 1,
The fine pattern structure includes a pattern selected from a pyramid, a prism, a regular tetrahedron, a hemisphere, an aspherical surface, and combinations thereof.
제 1 항에 있어서,
상기 고분자 화합물 레지스트는 열가소성 고분자를 포함하는 것인, 미세 패턴의 형성 방법.
According to claim 1,
The method of forming a fine pattern, wherein the polymer compound resist includes a thermoplastic polymer.
제 10 항에 있어서,
상기 열가소성 고분자는 폴리스티렌(PS), ABS수지(acrylonitrile butadiene-styrene), 폴리옥시메틸렌(POM), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 셀룰로스아세테이트(CA), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 폴리클로로트리플루오르에틸렌(PCTEF), 불화비닐수지(PVF), 폴리비닐리덴플로우라이드(PVDF), 폴리메틸펜텐(PMP), 폴리아마이드(PA), 폴리카보네이트(PC), 폴리에틸렌(PE), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리이미드(PI), 폴리페닐렌옥사이드(PPO), 폴리프로필렌(PP), 폴리설폰(PSul), 폴리염화비닐리덴(PVDC), 폴리염화비닐(PVC) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인,
미세 패턴의 형성 방법.
According to claim 10,
The thermoplastic polymer is polystyrene (PS), ABS resin (acrylonitrile butadiene-styrene), polyoxymethylene (POM), polymethyl methacrylate (PMMA), cellulose acetate (CA), polytetrafluoroethylene (PTFE), poly Chlorotrifluoroethylene (PCTEF), polyvinyl fluoride resin (PVF), polyvinylidene fluoride (PVDF), polymethylpentene (PMP), polyamide (PA), polycarbonate (PC), polyethylene (PE), polyethylene tere Phthalates (PET), polyimide (PI), polyphenylene oxide (PPO), polypropylene (PP), polysulfone (PSul), polyvinylidene chloride (PVDC), polyvinyl chloride (PVC) and combinations thereof Which includes selected from the group consisting of
A method of forming a fine pattern.
제 1 항에 있어서,
상기 고분자 화합물 레지스트는 수용성 고분자를 포함하는 것인, 미세 패턴의 형성 방법.
According to claim 1,
The method of forming a fine pattern, wherein the polymer compound resist includes a water-soluble polymer.
제 12 항에 있어서,
상기 수용성 고분자는 카복시메틸셀룰로오스(carboxymethyl cellulose), 히알루론산(hyaluronic acid), 콘드로이틴황산(chondroitin sulfate), 글리코겐(glycogen), 덱스트린(dextrin), 덱스트란(dextran), 덱스트란 황산(dextran sulfate), 히드록시프로필메틸셀룰로스(hydroxypropyl methylcellulose), 알긴산(alginic acid), 키틴(chitin), 키토산(chitosan), 풀루란(pullulan), 콜라겐(collagen), 젤라틴(gelatin) 및 이들의 가수분해물, 폴리비닐알코올(polyvinyl alcohol), 폴리비닐피롤리돈(polyvinyl pyrrolidone), 폴리아크릴산(polyacrylic acid) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인,
미세 패턴의 형성 방법.
According to claim 12,
The water-soluble polymer is carboxymethyl cellulose, hyaluronic acid, chondroitin sulfate, glycogen, dextrin, dextran, dextran sulfate, Hydroxypropyl methylcellulose, alginic acid, chitin, chitosan, pullulan, collagen, gelatin and their hydrolysates, polyvinyl alcohol (polyvinyl alcohol), polyvinylpyrrolidone, polyacrylic acid, and combinations thereof,
A method of forming a fine pattern.
제 1 항에 있어서,
상기 고분자 화합물 레지스트를 경화시키는 단계는 단순 냉각 또는 동결건조에 의해 수행되는 것인, 미세 패턴의 형성 방법.
According to claim 1,
The step of curing the polymer compound resist is performed by simple cooling or freeze-drying, a method of forming a fine pattern.
삭제delete 삭제delete
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