KR102491087B1 - 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치에 관한 것으로서, 유전율이 서로 다른 복수의 유체가 각각 주입되는 주입구와, 상기 주입구를 통해 주입된 유체가 통과하는 미세유체 채널과, 상기 미세유체 채널을 통과한 유체가 배출되는 배출구가 형성되는 일회용 패널과, 상기 일회용 패널과 별도로 분리되어 재사용이 가능한 기판과, 상기 기판의 상면에 패터닝되어 상기 미세유체 채널을 통과하는 유체의 캐패시턴스 값에 의해 측정된 전압 값으로 액적의 길이를 측정하는 센싱 전극부와, 상기 미세유체 채널을 통과하는 시료가 상기 센싱 전극부에 직접 닿지 않도록 상기 일회용 패널의 하면에 구비되어 상기 일회용 패널과 기판을 분리하는 박막과, 상기 일회용 패널과 기판이 탈부착이 가능하도록 상기 일회용 패널과 기판 사이에 음압을 인가하기 위한 음압형성수단을 포함하며, 전극의 손상을 방지하고 채널 내의 교차 오염을 방지하여 기판의 재사용이 가능하며, 액적 속도와 관계없이 상기 센싱 전극부를 액적이 지나갈 때 액적의 길이가 길수록 전극에서 측정되는 전압 값이 높아지므로, 상기 센싱 전극부에서 측정되는 전압 값을 통해 액적의 길이를 측정할 수 있다.

Description

정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치{Droplet length measuring device using capacitive electrode}

본 발명은 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 미세유체 채널이 형성된 일회용 패널과, 센싱 전극이 형성된 기판을 분리하여 구성함으로써, 전극의 손상 및 채널 내의 교차 오염을 방지하여 기판의 재사용이 가능하며, 액적 속도와 관계없이 액적의 길이를 측정할 수 있는 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치에 관한 것이다.

종래에 액적의 길이를 측정하는 장치로서, 임피던스를 측정하여 액적(droplet)의 크기를 측정하는 방식의 임피던스 액적 측정(Impedimetric Droplet Measurement) 디바이스가 있다. 이러한 종래의 임피던스 액적 측정 디바이스는 액적의 길이, 속도 등 액적의 형태학적 특성을 실시간으로 측정하여 약물 전달, 세포 연구, 물질 합성 및 화학 반응 등의 연구에 응용되고 있는데, 도 13에서 보는 바와 같이, 액적(Droplet) 물질이 바뀜에 따라 액적의 컨덕티비티(conductivity)도 바뀌게 되고, 컨덕티비티에 따라 감지되는 전압(sensing voltage) 값이 달라지기 때문에, 컨덕티비티가 다른 물질의 경우 측정되는 전압 값 만으로는 액적의 길이 측정이 어려운 단점이 있다.

또한, 액적의 속도에 따라 변수가 작용하여 액적의 길이 측정에 영향을 미칠 수 있다. 그래서 종래 기술에서는 유체의 속도는 일정하다는 전제 조건하에 액적의 길이를 측정하지만, 이로 인해 액적의 길이 측정에 있어서 정밀도가 떨어진다고 볼 수 있다.

한편, 종래의 임피던스 액적 측정 디바이스를 제작하는 프로세스는 다음과 같다.

먼저, 기판 위에 금을 증착 후 리소그라피로 컨덕티비티(conductivity) 측정용 전극을 패터닝한다. 이후, 전극 보호를 위해 15nm 두께의 SiO2 산화막을 e-beam evaporator로 증착하고, PDMS로 이루어진 패널과 기판을 플라즈마로 결합시켜 일체화시킨다.

이와 같은 종래의 액적 측정 디바이스는 패널과 기판이 일체형으로 제작되기 때문에 유체와 전극이 바로 접촉하게 되어 재사용할 경우 전극의 오염 위험이 있고, 오염을 막기 위해 한 번 쓰고 버리게 되면 고가의 전극으로 인해 비용 손실이 큰 문제점이 있는 것이다.

한국등록특허 제10-0814083호

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 미세유체 채널이 형성된 일회용 패널과, 전극이 형성된 기판을 분리하여 구성함으로써 유체와 전극이 바로 접촉하는 것을 방지하고, 진공으로 전극과 미세유체 채널이 형성된 일회용 패널이 탈부착이 가능하여 사용 후 측정용 전극은 재사용함으로써 비용을 크게 절감할 수 있는 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 액적의 유전율만 같으면, 컨덕티비티가 다른 물질도 액적의 길이 측정이 가능할 수 있는 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 액적의 속도와 관계없이 액적의 길이를 정확하게 측정할 수 있는 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적들을 달성하기 위하여 본 발명에서는 유전율이 서로 다른 복수의 유체가 각각 주입되는 주입구와, 상기 주입구를 통해 주입된 유체가 통과하는 미세유체 채널과, 상기 미세유체 채널을 통과한 유체가 배출되는 배출구가 형성되는 일회용 패널과, 상기 일회용 패널과 별도로 분리되어 재사용이 가능한 기판과, 상기 기판의 상면에 패터닝되어 상기 미세유체 채널을 통과하는 유체의 캐패시턴스 값에 의해 측정된 전압 값으로 액적의 길이를 측정하는 센싱 전극부와, 상기 미세유체 채널을 통과하는 시료가 상기 센싱 전극부에 직접 닿지 않도록 상기 일회용 패널의 하면에 구비되어 상기 일회용 패널과 기판을 분리하는 박막과, 상기 일회용 패널과 기판이 탈부착이 가능하도록 상기 일회용 패널과 기판 사이에 음압을 인가하기 위한 음압형성수단을 포함하며, 상기 센싱 전극부를 액적이 지나갈 때 액적의 길이가 길수록 전극에서 측정되는 전압 값이 높아지므로, 상기 센싱 전극부에서 측정되는 전압 값을 통해 액적의 길이를 측정하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치가 제공된다.

본 발명에 있어서, 상기 미세유체 채널은, 상기 복수의 주입구를 통해 주입된 유체가 각각 흐르는 단일 채널 구간과, 상기 단일 채널 구간을 통과한 유체가 합류되는 합류 채널 구간과, 상기 센싱 전극부에 의해 시료의 액적 길이를 측정하기 위한 측정 채널 구간을 포함할 수 있다.

여기서, 상기 측정 채널 구간의 하부에 상기 센싱 전극부가 위치하도록 배치되어 상기 측정 채널 구간을 통과하는 시료의 액적 길이를 센싱 전극부가 측정할 수 있다.

또한, 상기 주입구는 유전율이 낮는 오일이 주입되는 오일주입구와, 상기 오일보다 유전율이 높은 시료가 주입되는 시료주입구로 이루어지며, 상기 합류 채널 구간에서는 상기 시료가 흐르는 채널에 상기 오일이 흐르는 채널이 서로 직교하는 방향으로 만나도록 이루어질 수 있다.

한편, 상기 센싱 전극부는 시료의 흐름 방향으로 측정 채널 구간에 위치하는 제1 전극과, 상기 제1 전극과 나란하게 대칭 설치되는 제2 전극과, 상기 측정 채널 구간에 유입된 액적의 위치에 따른 신호를 감지하기 위한 감지 전극으로 구성될 수 있다.

상기 센싱 전극부가 측정가능한 액적의 길이는 상기 채널의 폭 길이에서 제1 전극의 길이까지이며, 최소로 측정할 수 있는 액적의 길이는 채널 폭과 동일하고, 최대로 측정할 수 있는 액적의 길이는 상기 제1 전극의 길이까지인 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 본 발명에 의하면, 미세유체 채널이 형성된 일회용 패널과, 전극이 형성된 기판을 분리하여 구성함으로써 유체와 전극이 바로 접촉하는 것을 방지하고, 진공으로 전극과 미세유체 채널이 형성된 일회용 패널이 탈부착이 가능하여 사용 후 측정용 전극은 재사용함으로써 비용을 크게 절감할 수 있는 효과가 있다.

또한, 액적의 유전율만 같으면, 컨덕티비티가 다른 물질도 액적 길이의 측정 가능하므로, 보다 범용적으로 사용할 수 있는 효과가 있다.

또한, 정전용량형 전극을 이용하여 액적 속도와 관계없이 액적 길이를 측정 할 수 있는 효과가 있다.

또한, 액적의 길이를 측정하는 장치가 매우 간단하여 저렴한 비용으로 제작이 가능하고 양산이 가능하므로 다양한 어플리케이션으로 여러 분야에 활용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치의 전체 구성을 도시한 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 액적 길이 측정장치의 결합 사시도이다.
도 3은 본 발명의 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치의 평면도이다.
도 4는 도 3에서의 센싱 전극부를 확대한 확대도이다.
도 5는 유전율 차이에 의한 전기장 밀도 변화를 보여주는 단면도이다.
도 6은 Droplet 위치에 따른 캐패시턴스 변화를 보여주는 도면이다.
도 7은 액적 길이 측정을 위한 전극구조를 상세하게 나타내는 확대도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에서, Droplet 위치에 따른 감지신호 출력모습을 나타내는 그래프이다.
도 9는 실제 전극의 감지신호를 나타내는 그래프이다.
도 10은 일회용 미세유체 채널 디바이스의 재현성 테스트 결과를 나타내는 그래프이다.
도 11은 컨덕티비티에 따른 감지신호변화 테스트를 나타내는 그래프이다.
도 12는 Droplet velocity에 따른 감지신호 변화 테스트를 나타내는 그래프이다.
도 13은 종래의 임피던스 액적 측정 디바이스에서 Conductivity에 따라 sensing voltage값이 달라지는 것을 알 수 있는 그래프이다.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.

도 1은 본 발명의 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치의 전체 구성을 도시한 분해 사시도이고, 도 2는 도 1의 액적 길이 측정장치의 결합 사시도이고, 도 3은 본 발명의 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치의 평면도이고, 도 4는 도 3에서의 센싱 전극부를 확대한 확대도이다.

본 발명의 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치는 크게, 미세유체 채널(220)이 형성되는 일회용 패널(200)과, 상기 일회용 패널(200)과 별도로 분리되어 재사용이 가능한 기판(100)과, 상기 기판(100)의 상면에 패터닝되는 센싱 전극부(110)와, 상기 일회용 패널(200)과 기판(100)을 분리하는 박막(300)과, 상기 일회용 패널(200)과 기판(100)을 탈부착이 가능하도록 하는 음압형성수단을 포함한다.

이와 같이, 본 발명에서는 미세유체 채널(220)이 형성된 일회용 패널(200)과 전극이 형성된 기판(100)을 분리하여 구성함으로써, 유체와 전극이 바로 접촉하는 것을 방지하여 측정용 전극을 재사용 가능하게 하는데 큰 특징이 있다.

상기 일회용 패널(200)은 PDMS 재질로 이루어질 수 있으며, 유전율이 서로 다른 유체를 각각 유입시킬 수 있도록 복수의 주입구(210)와, 상기 주입구를 통해 주입된 유체가 통과하는 미세유체 채널(220)과, 상기 미세유체 채널을 통과한 유체가 배출되는 배출구(230)가 형성된다.

상기 미세유체 채널(220)은 일회용 패널(200)의 하면에 형성되며, 상기 미세유체 채널(220)을 통해 흐르는 시료가 상기 기판(100)의 전극에 직접 닿지 않으면서도 전극에서 전압 값을 측정할 수 있도록 상기 일회용 패널(200)의 하면에는 상기 박막(300)이 부착된다.

여기서, 상기 박막(300)은 상기 미세유체 채널(220)을 모두 포함하는 크기로 이루어져야 하며, 미세유체 채널(220)에 흐르는 시료에 전기장, 자기력 등이 잘 전달될 수 있도록 예컨대, 4㎛ 정도로 얇게 형성되는 것이 바람직하다. .

본 발명에 있어서, 상기 주입구(210)는 유전율이 서로 다른 유체를 각각 주입할 수 있도록 복수로 이루어지며, 본 발명의 실시예에서는 유전율이 낮는 오일이 주입되는 오일주입구(212)와, 상기 오일보다 유전율이 높은 시료가 주입되는 시료주입구(214)로 이루어진다.

또한, 상기 미세유체 채널(220)은, 도 3에서 보는 바와 같이, 상기 복수의 주입구(212)(214)를 통해 주입된 유체가 각각 흐르는 단일 채널 구간(222)과, 상기 단일 채널 구간(222)을 통과한 유체가 합류되는 합류 채널 구간(224)과, 상기 합류 채널 구간(224)에서 합류된 유체가 통과하면서 상기 센싱 전극부(110)에 의해 시료의 액적 길이를 측정하기 위한 측정 채널 구간(226)으로 이루어진다.

여기서, 상기 단일 채널 구간(222)은 오일 또는 시료가 각각 주입되는 주입구에 연통되어 오일과 시료가 만나는 지점인 합류 채널 구간(224)까지 연결되며, 상기 합류 채널 구간에서는 상기 시료와 오일이 직교하는 방향으로 만날 수 있도록 형성된다.

도 3의 확대도에서 보는 바와 같이, 시료(PBS)는 시료주입구(214)에서 배출구(230)까지 직선적으로 흐를 수 있도록 채널이 형성되며, 상기 합류 채널 구간(224)에서 오일이 흐르는 채널은 시료가 흐르는 채널에 수직으로 형성되는 것이다.

상기 합류 채널 구간(224)에서 합류된 유체는 측정 채널 구간(226)으로 흘러가고, 상기 측정 채널 구간(226)에서 센싱 전극부(110)에 의해 시료의 액적 길이를 측정하게 된다.

상기 센싱 전극부(110)는 상기 기판(100)의 상면에 패터닝되어 상기 미세유체 채널을 통과하는 유체의 캐패시턴스 값에 의해 측정된 전압 값으로 액적의 길이를 측정하며, 상기 측정 채널 구간(226)의 하부에 상기 센싱 전극부(110)가 위치하도록 배치되어 상기 측정 채널 구간을 통과하는 시료의 액적 길이를 센싱 전극부가 측정할 수 있다.

이 경우, 상기 박막에 의해 시료와 전극이 분리되므로, 액적이 센싱 전극부에 접촉하지 않고 액적의 길이를 측정할 수 있다.

본 발명에서는 상기 센싱 전극부(110)를 액적이 지나갈 때 액적의 길이가 길수록 전극에서 측정되는 전압 값이 높아지므로, 상기 센싱 전극부(110)에서 측정되는 전압 값을 통해 액적의 길이를 측정하는 원리로 액적의 길이를 측정하는 것을 특징으로 한다.

즉, 채널에 평소에는 전기장이 형성되고 있는데, 오일이 지나가면 유전율이 낮아서 전류 측정이 안되다가 시료가 흐르면 전류가 흐르게 되고 이를 센싱 전극부에서 감지하여 액적의 길이를 측정할 수 있는 것이다.

한편, 상기 센싱 전극부(110)는 시료의 흐름 방향으로 측정 채널 구간(226)에 위치하는 제1 전극(112)과, 상기 제1 전극(112)과 나란하게 대칭 설치되는 제2 전극(114)과, 상기 측정 채널 구간에 유입된 액적의 위치에 따른 신호를 감지하기 위한 감지 전극(116)으로 구성될 수 있다.

도 4에서 보는 바와 같이, 상기 제1 전극(112)과 제2 전극(114)이 나란하게 대칭 설치되며, 그 반대편에는 신호를 감지하기 위한 감지 전극(116)이 설치된다.

이때, 상기 센싱 전극부(110)가 측정가능한 액적의 길이는 상기 채널(226)의 폭 길이(a)에서 제1 전극(112)의 길이(b)까지이며, 최소로 측정할 수 있는 액적의 길이는 채널 폭(a)과 동일하고, 최대로 측정할 수 있는 액적의 길이는 상기 제1 전극의 길이(b)까지가 된다.

본 발명의 실시예에서는 제1 전극(C1)의 길이인 260㎛ 까지 측정할 수 있고, 최소로 측정할 수 있는 것은 채널 폭 100㎛이다.

그러나, 상기 채널(226)의 폭 길이(a)와 제1 전극(112)의 길이(b)는 실시예에 따라 다양하게 적용할 수 있으므로, 본 발명에서는 이를 한정하지 않는다.

한편, 본 발명에서는 상기 일회용 패널(100)과 기판(200)이 탈부착이 가능하도록 상기 일회용 패널과 기판 사이에 음압을 인가하기 위한 음압형성수단을 포함하며, 상기 음압형성수단은 상기 기판(100)과 일회용 패널(200)의 접하는 면에 연통되어 음압을 인가함으로써, 상기 기판과 일회용 패널을 흡착시키는 음압인가홀(240)을 포함한다.

상기 음압인가홀(240)은 외부의 기기에 연결되어 음압을 인가할 수 있으며, 이에 대한 상세한 설명은 생략하도록 한다.

도 5는 유전율 차이에 의한 전기장 밀도 변화를 보여주는 단면도로서, 전극 위로 오일이 지나갈 때는 오일이 캐패시턴스 사이의 매질로 작용한다. 하지만, 오일의 유전율이 낮아 캐패시턴스가 작고 전압이 거의 측정되지 않는다.

하지만, 오른쪽 그림에서와 같이, 유전율이 높은 시료(PBS)가 전극 위로 지나갈 때는 시료(PBS)가 매질로 작용되면서, 캐패시턴스 값이 증가하여 전압이 측적되는 것이다.

이와 같이 구성되는 본 발명의 액적 길이 측정장치의 기능을 실험결과들을 참조하여 설명하면 다음고 같다.

도 6은 Droplet 위치에 따른 캐패시턴스 변화를 보여주는 도면이다.

상기 제1 전극, 감지 전극, 제2 전극이 나열되어 있는 상태에서, 전극 위로 액적(droplet)이 지나갈때, 액적의 길이가 길수록 전극에서 발생되는 전기장(electric fileld)는 커지게 되고, 이에 캐패시턴스가 커져 측정되는 전압(sensing voltage)값이 높아진다.

여기서, 제1 전극(C1)과 제2 전극(C2)의 길이가 길어질수록 측정할 수 있는액적의 길이가 길어진다.

도 7은 액적 길이 측정을 위한 전극구조를 상세하게 나타내는 확대도이고, 도 8은 본 발명의 실시예에서, Droplet 위치에 따른 감지신호 출력모습을 나타내는 그래프이다.

도 8에서의 그림과 그래프는 전정용량형 전극(capacitive electrode)를 지나면서 변하는 감지신호 출력을 나타내며, Droplet이 C1영역에 돌입하는 순간(1), Droplet이 C1영역에 완전히 들어온 순간(2), Droplet이 C1영역에서 벗어나고 C2영역에 들어가는 순간(3), Droplet이 C2영역에 완전히 들어온 순간(4), Droplet이 C2영역에서 벗어나기 시작한 순간(5), Droplet이 C2영역에서 완전히 벗어난 순간(6)을 알 수 있다.

도 9는 실제 전극의 감지신호를 나타내는 그래프이다.

Droplet length별 측정되는 sensing graph는,

-100um : 0.25v

-130um : 0.37v

-160um : 0.49v

이때, Droplet length가 길수록 측정되는 시간이 길어지는 이유는 Droplet의 크기는 oil의 flow 속도를 바꾸면서 조절되고, Oil이 느릴수록 droplet length는 길어지며, 따라서 droplet length가 길수록 전극을 지나는 시간이 더 오래 걸리게 된다.

도 10은 일회용 미세유체 채널 디바이스의 재현성 테스트 결과를 나타내는 그래프이다.

여기서, 보는 바와 같이, 일회용 미세유체 채널 디바이스(Disposable microchannel device)를 여러개 사용해도 Droplet length별 Sensing voltage 값이변하면 안되는데, 이를 테스트로 확인하였다.

테스트 결과, 5개의 device를 사용했음에도 값이 거의 변하지 않는 것을 확인할 수 있었다.

도 11은 컨덕티비티에 따른 감지신호변화 테스트를 나타내는 그래프이다.

캐패시턴스(Capacitance)값은 유전율과 전극의 거리, 전극과 전극의 간격에 따라 달라진다. 그래서 컨덕티비티(conductivity)를 바꿔도 sensing voltage는 변하지 않는다.

그래서 droplet의 conductivity를 바꿔서 test해본 결과 값이 바뀌지 않는 것을 확인할 수 있다.

결론적으로, 유전율만 같으면 conductivity가 다른 물질도 database를 쌓을 필요없이 droplet length 측정이 가능하다.

도 12는 Droplet velocity에 따른 감지신호 변화 테스트를 나타내는 그래프이다.

동일한 droplet length를 속도(velocity)만 다르게하여 sensing voltage를 측정한 결과, droplet의 velocity가 변해도 sensing voltage 값은 변하지 않는 것을 확인할 수 있었다.

즉, 액적의 Velocity에 상관없이 길이 측정이 가능하다.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.

100: 기판 110: 센싱 전극부
112: 제1 전극 114: 제2 전극
116: 감지전극 200: 일회용 패널
210: 주입구 220: 미세유체 채널
230: 배출구 300: 박막

Claims (6)

1. 유전율이 서로 다른 오일과 시료가 각각 주입되는 복수의 주입구와, 상기 주입구를 통해 주입된 유체가 통과하는 미세유체 채널과, 상기 미세유체 채널을 통과한 유체가 배출되는 배출구가 형성되는 일회용 패널;
   상기 일회용 패널과 별도로 분리되어 재사용이 가능한 기판;
   상기 기판의 상면에 패터닝되어 상기 미세유체 채널을 통과하는 유체의 캐패시턴스 값에 의해 측정된 전압 값으로 액적의 길이를 측정하는 센싱 전극부;
   상기 미세유체 채널을 통과하는 시료가 상기 센싱 전극부에 직접 닿지 않도록 상기 일회용 패널의 하면에 구비되어 상기 일회용 패널과 기판을 분리하는 박막; 및
   상기 일회용 패널과 기판이 탈부착이 가능하도록 상기 일회용 패널과 기판 사이에 음압을 인가하기 위한 음압형성수단;
   을 포함하며,
   상기 센싱 전극부를 액적이 지나갈 때 액적의 길이가 길수록 전극에서 측정되는 전압 값이 높아지므로, 상기 센싱 전극부에서 측정되는 전압 값을 통해 액적의 길이를 측정하며,
   상기 센싱 전극부는 시료의 흐름 방향으로 측정 채널 구간에 위치하는 제1 전극과, 상기 제1 전극과 나란하게 대칭 설치되는 제2 전극과, 상기 측정 채널 구간에 유입된 액적의 위치에 따른 신호를 감지하기 위한 감지 전극으로 구성되고,
   상기 센싱 전극부가 측정가능한 액적의 길이는 상기 채널의 폭 길이에서 제1 전극의 길이까지이며,
   최소로 측정할 수 있는 액적의 길이는 채널 폭과 동일하고, 최대로 측정할 수 있는 액적의 길이는 상기 제1 전극의 길이까지인 것을 특징으로 하는 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치.
   
2. 청구항 1에 있어서, 상기 미세유체 채널은,
   상기 복수의 주입구를 통해 주입된 유체가 각각 흐르는 단일 채널 구간과,
   상기 단일 채널 구간을 통과한 유체가 합류되는 합류 채널 구간과,
   상기 센싱 전극부에 의해 시료의 액적 길이를 측정하기 위한 측정 채널 구간을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 측정 채널 구간의 하부에 상기 센싱 전극부가 위치하도록 배치되어 상기 측정 채널 구간을 통과하는 시료의 액적 길이를 센싱 전극부가 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치.
4. 청구항 2에 있어서,
   상기 주입구는 유전율이 낮는 오일이 주입되는 오일주입구와,
   상기 오일보다 유전율이 높은 시료가 주입되는 시료주입구로 이루어지며,
   상기 합류 채널 구간에서는 상기 시료가 흐르는 채널에 상기 오일이 흐르는 채널이 서로 직교하는 방향으로 만나도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전용량형 전극을 이용한 액적 길이 측정장치.
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