KR102471346B1 - Vacuum Pressure Calculator - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 진공압력산출장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 압력을 측정하기 위한 측정저항과 상기 측정저항의 온도영향을 보상하기 위한 보상저항을 갖는 휘스톤 브리지(Wheatstone Bridge) 회로로 진공압력을 검출하는 진공압력검출장치(MEMS(Micro-electro-mechanical system) Pirani Gauge)를 이용하여 측정된 압력을 보정하여 산출할 수 있는 진공압력산출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum pressure calculating device, and more particularly, detects vacuum pressure with a Wheatstone Bridge circuit having a measuring resistor for measuring pressure and a compensating resistor for compensating the temperature effect of the measuring resistor. It relates to a vacuum pressure calculating device capable of correcting and calculating the pressure measured using a vacuum pressure detecting device (MEMS (Micro-electro-mechanical system) Pirani Gauge).
진공압력검출장치(MEMS(Micro-electro-mechanical system) Pirani Gauge)는 IC형태로 집적화되어 있기 때문에 기존의 Pirani Gauge보다 센서 응답속도가 빠르고, 구성이 용이하여 제품구성 시 소형화할 수 있는 장점이 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 진공압력검출장치(MEMS(Micro-electro-mechanical system) Pirani Gauge)는 측정저항(Rp)과 보상저항(Rk)이 연결된 상태의 휘스톤 브리지 회로로 이루어진다.Since the vacuum pressure detection device (MEMS (Micro-electro-mechanical system) Pirani Gauge) is integrated in the form of an IC, it has a faster sensor response speed than the existing Pirani Gauge and is easy to configure, so it can be miniaturized during product configuration. . As shown in FIG. 1, the vacuum pressure detection device (Micro-electro-mechanical system (MEMS) Pirani Gauge) is composed of a Wheatstone bridge circuit in which a measuring resistance Rp and a compensating resistance Rk are connected.
그러나 진공압력검출장치(MEMS(Micro-electro-mechanical system) Pirani Gauge) 내부의 저항특성이 측정저항(Rp)은 압력과 온도의 영향을 받고, 보상저항(Rk)은 온도의 영향만 받아야 하지만, 보상저항(Rk)이 압력의 영향을 같이 받을 경우 오차가 발생하여 정확한 진공압력이 측정되지 않는다는 문제가 있다.However, in the resistance characteristics of the vacuum pressure detection device (Micro-electro-mechanical system (MEMS) Pirani Gauge), the measured resistance (Rp) is affected by pressure and temperature, and the compensation resistance (Rk) is affected only by temperature. When the compensating resistance Rk is also affected by pressure, there is a problem in that an accurate vacuum pressure is not measured due to an error.
따라서 본 발명의 목적은 압력을 측정하는 경우 온도에 대한 영향을 보정하여 정확한 압력을 산출할 수 있는 진공압력산출장치를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a vacuum pressure calculator capable of calculating an accurate pressure by correcting the influence of temperature when measuring pressure.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 측정된 압력을 온도에 따라 보정하여 산출하는 진공압력산출장치는, 압력에 대한 전압을 측정하기 위한 압력측정저항; 온도에 대한 전압을 측정하기 위한 온도보상저항; 및 소정 간격의 2개 또는 다수의 온도 각각에 대한 복수의 압력 각각에 대하여 상기 압력측정저항과 상기 온도보상저항에서 감지된 전압데이터에 따른 매핑테이블을 저장하고, 상기 매핑테이블 중 소정 간격의 2개 또는 다수의 온도 사이의 복수의 온도 각각에 대한 복수의 압력 각각에 대하여 상기 압력측정저항과 상기 온도보상저항에서 감지된 전압데이터에 기초하여 온도 별 가중치에 대응하는 동적매핑테이블을 생성하고 저장하며, 상기 압력측정저항 및 상기 온도보상저항 각각에서 전압데이터를 감지하면 감지된 상기 압력측정저항 및 상기 온도보상저항 각각의 전압데이터에 대응하는 상기 동적매핑테이블에서 압력데이터를 추출하는 진공압력산출부를 포함한다소정 간격의 2개 또는 다수의 온도 각각에 대한 복수의 압력 각각에 대하여 압력측정저항과 온도보상저항에서 감지된 전압데이터에 따른 매핑테이블을 저장하고, 저장된 매핑테이블을 이용하여 압력측정저항과 온도보상저항 각각에 대하여 복수의 온도 각각에 대한 복수의 압력 각각에 대한 동적매핑테이블을 생성하며, 압력측정저항 및 온도보상저항에서 감지된 실시간 전압데이터 각각에 대응하는 압력값을 동적매핑테이블을 참고하여 정확한 압력값을 추출하므로 압력측정의 정확성이 향상될 수 있다.In order to achieve the above object, a vacuum pressure calculating device for correcting and calculating the measured pressure according to the temperature according to the present invention includes a pressure measuring resistor for measuring a voltage with respect to the pressure; a temperature compensation resistor for measuring voltage versus temperature; and storing a mapping table according to voltage data sensed by the pressure measurement resistor and the temperature compensation resistor for each of a plurality of pressures for each of two or a plurality of temperatures at a predetermined interval, wherein two of the mapping tables at a predetermined interval Alternatively, for each of a plurality of pressures for each of a plurality of temperatures between a plurality of temperatures, based on the voltage data sensed by the pressure measurement resistor and the temperature compensation resistor, a dynamic mapping table corresponding to a weight for each temperature is created and stored, and a vacuum pressure calculator extracting pressure data from the dynamic mapping table corresponding to the sensed voltage data of each of the pressure measurement resistor and the temperature compensation resistor when voltage data is sensed from each of the pressure measurement resistor and the temperature compensation resistor. For each of a plurality of pressures for each of two or a plurality of temperatures at a predetermined interval, a mapping table according to voltage data sensed by a pressure measurement resistor and a temperature compensation resistor is stored, and the pressure measurement resistor and temperature are compensated using the stored mapping table. For each resistance, a dynamic mapping table for each of a plurality of pressures for each of a plurality of temperatures is created, and the pressure value corresponding to each of the real-time voltage data detected in the pressure measurement resistance and the temperature compensation resistance is accurately determined by referring to the dynamic mapping table. Since the pressure value is extracted, the accuracy of pressure measurement can be improved.
여기서, 상기 동적매핑테이블은, 상기 압력측정저항에 의해 측정된 복수의 온도 각각에서 설정된 복수의 압력을 가하여 복수의 압력 각각에 대응하여 측정된 복수의 압력전압데이터와, 상기 온도보상저항에 의해 측정된 복수의 온도 각각에서 설정된 복수의 압력을 가하여 복수의 압력 각각에 대응하여 측정된 복수의 보상전압데이터를 포함하면 압력측정저항 및 온도보상저항에서 감지된 전압데이터에 대응하는 압력값에 대한 온도영향을 보정할 수 있어 바람직하다.Here, the dynamic mapping table includes a plurality of pressure voltage data measured corresponding to each of a plurality of pressures by applying a plurality of pressures set at each of a plurality of temperatures measured by the pressure measurement resistance, and the temperature compensation resistance. Temperature effect on the pressure value corresponding to the voltage data sensed by the pressure measurement resistance and the temperature compensation resistance can be corrected, which is desirable.
그리고 상기 진공압력산출부는, 상기 압력측정저항 및 상기 온도보상저항에서 감지된 각각의 전압데이터가 상기 복수의 압력전압데이터와 상기 복수의 보상전압데이터 중 어느 2개의 압력전압데이터 사이와 어느 2개의 보상전압데이터 사이에 있는 경우 동일한 압력구간인 경우 유효한 압력데이터로 인정하고, 상기 압력측정저항 및 상기 온도보상저항에서 감지된 각각의 전압데이터가 유효한 압력데이터로 인정되면 상기 복수의 보상전압데이터 중 어느 2개의 압력전압데이터 사이와 어느 2개의 보상전압데이터 사이에서 선형보간법을 이용하여 압력데이터를 추출하면 산출 압력의 신뢰성을 확보하여 압력을 구할 수 있어 바람직하다.And, the vacuum pressure calculation unit, each of the voltage data sensed by the pressure measuring resistor and the temperature compensation resistor is between the plurality of pressure voltage data and the plurality of compensation voltage data between any two pressure voltage data and any two compensation voltage data If it is between the voltage data, if it is the same pressure range, it is recognized as valid pressure data, and if each voltage data sensed by the pressure measurement resistor and the temperature compensation resistor is recognized as valid pressure data, any two of the plurality of compensated voltage data It is preferable to extract the pressure data using linear interpolation between the two pressure voltage data and between any two compensated voltage data to obtain the pressure by securing the reliability of the calculated pressure.
여기서, 상기 진공압력산출부는, 상기 매핑테이블을 동적으로 생성하면 진공압력산출장치의 저장 공간의 한계로 인한 온도가중치 분해능의 한계가 발생할 수 있는 것을 극복할 수 있어 바람직하다.Here, it is preferable that the vacuum pressure calculation unit can overcome the limitation of temperature weight resolution due to the limitation of the storage space of the vacuum pressure calculation device by dynamically generating the mapping table.
본 발명에 따르면 소정 간격의 2개 또는 다수의 온도 각각에 대한 복수의 압력 각각에 대하여 압력측정저항과 온도보상저항에서 감지된 전압데이터에 따른 매핑테이블을 저장하고, 저장된 매핑테이블을 이용하여 압력측정저항과 온도보상저항 각각에 대하여 복수의 온도 각각에 대한 복수의 압력 각각에 대한 동적매핑테이블을 생성하며, 압력측정저항 및 온도보상저항에서 감지된 실시간 전압데이터 각각에 대응하는 압력값을 동적매핑테이블을 참고하여 정확한 압력값을 추출하므로 압력측정의 정확성이 향상될 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, for each of a plurality of pressures for each of two or a plurality of temperatures at a predetermined interval, a mapping table according to voltage data sensed by a pressure measurement resistor and a temperature compensation resistor is stored, and the pressure is measured using the stored mapping table. A dynamic mapping table for each of a plurality of pressures for each of a plurality of temperatures is generated for each of the resistance and temperature compensation resistor, and the pressure value corresponding to each of the real-time voltage data sensed from the pressure measurement resistor and the temperature compensation resistor is converted into a dynamic mapping table. Since the exact pressure value is extracted with reference to, there is an effect that the accuracy of pressure measurement can be improved.
또한, 압력측정저항 및 온도보상저항에서 감지된 전압데이터에 대응하는 압력값에 대한 온도영향을 보정할 수 있고, 산출 압력의 신뢰성을 확보하여 압력을 구할 수 있으며, 진공압력산출장치의 저장 공간의 한계로 인한 온도가중치 분해능의 한계가 발생할 수 있는 것을 극복할 수 있는 효과가 있다. In addition, the temperature effect on the pressure value corresponding to the voltage data sensed by the pressure measuring resistor and the temperature compensation resistor can be corrected, and the pressure can be obtained by securing the reliability of the calculated pressure, and the storage space of the vacuum pressure calculating device can be calculated. There is an effect of overcoming the limitation of temperature weighting resolution due to limitations.
도 1은 기존의 진공압력검출장치(MEMS(Micro-electro-mechanical system) Pirani Gauge)의 휘스톤 브리지 회로의 예시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 진공압력산출장치의 제어블록도이다.
도 3은 진공압력산출장치의 회로 예시도이다.
도 4는 저장된 매핑테이블과 동적매핑테이블의 예시도이다.
도 5는 Rp와 Rk의 동적매핑테이블의 그래프이다.1 is an exemplary diagram of a Wheatstone bridge circuit of a conventional vacuum pressure detection device (MEMS (Micro-electro-mechanical system) Pirani Gauge).
2 is a control block diagram of a vacuum pressure calculating device according to the present invention.
3 is a circuit diagram of a vacuum pressure calculating device.
4 is an exemplary diagram of a stored mapping table and a dynamic mapping table.
5 is a graph of a dynamic mapping table of Rp and Rk.
이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공압력산출장치(1)를 상세히 설명한다.Hereinafter, a vacuum pressure calculating device 1 according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 진공압력검출장치(MEMS(Micro-electro-mechanical system) Pirani Gauge, 2)의 휘스톤 브리지 회로의 예시도이다.1 is an exemplary diagram of a Wheatstone bridge circuit of a vacuum pressure detection device (Micro-electro-mechanical system (MEMS) Pirani Gauge, 2).
먼저, Rp는 IC내부에 있는 압력측정저항이고, Rk는 IC내부에 있는 온도보상저항이다.First, Rp is a pressure measurement resistor inside the IC, and Rk is a temperature compensation resistor inside the IC.
휘스톤 브리지 전압계산식은 출력전압 Vp = (R2/(R1+R2)- Rp/(Rp+Rk)V0 이다. 이때, 출력전압 Vp는 상기의 휘스톤 브리지 전압계산식에서와 같이 산출되고, 이 출력전압을 압력매핑(Mapping)을 통해서 진공압력을 산출한다. 이때 Rk는 온도영향에 의한 오차를 보상해주는 역할을 한다.The Wheatstone bridge voltage calculation formula is output voltage Vp = (R2/(R1+R2)- Rp/(Rp+Rk)V0. At this time, the output voltage Vp is calculated as in the above Wheatstone bridge voltage calculation formula, and this output Vacuum pressure is calculated through voltage mapping, where Rk plays a role in compensating for errors caused by temperature effects.
그러나 진공압력검출장치(MEMS(Micro-electro-mechanical system) Pirani Gauge) IC내부의 압력측정저항(Rp저항, 2-1)과 온도보상저항(Rk저항, 2-2)은 압력변화, 온도변화 모두 영향을 받는다. 물론 압력측정저항(Rp저항)은 압력변화에 더 민감하게 동작하고, 온도보상저항(Rk저항)은 온도변화에 더 민감하게 동작한다. However, the pressure measurement resistance (Rp resistance, 2-1) and temperature compensation resistance (Rk resistance, 2-2) inside the vacuum pressure detection device (MEMS (Micro-electro-mechanical system) Pirani Gauge) IC Everyone is affected. Of course, the pressure measurement resistor (Rp resistor) operates more sensitively to pressure change, and the temperature compensation resistor (Rk resistor) operates more sensitively to temperature change.
그러나, 도 1의 휘스톤 브리지 회로와 같은 방식의 압력추출방법은 이러한 미세한 변화를 보상하여 정확한 압력측정에는 한계가 있다.However, the pressure extraction method of the same method as the Wheatstone bridge circuit of FIG. 1 compensates for such a minute change, so there is a limit to accurate pressure measurement.
도 2는 본 발명에 따른 진공압력산출장치(1)의 제어블록도이다. 도 3은 진공압력산출장치(1)의 회로 예시도이다.2 is a control block diagram of the vacuum pressure calculating device 1 according to the present invention. 3 is an exemplary circuit diagram of the vacuum pressure calculating device 1.
도2를 참조하여 진공압력산출장치(1)의 구성을 설명한다.Referring to FIG. 2, the configuration of the vacuum pressure calculating device 1 will be described.
진공압력산출장치(1)는 압력측정저항(10), 온도보상저항(20), 진공압력산출부(30) 및 압력출력부(40)를 포함한다.The vacuum pressure calculating device 1 includes a
압력측정저항(10)은 압력에 대한 전압을 측정하기 위한 구성이다.The
온도보상저항(20)은 압력측정저항(10)과 분리되며 온도에 대한 전압을 측정하기 위한 구성이다.The
진공압력산출부(30)는 소정 간격의 2개의 온도 각각에 대한 복수의 압력 각각에 대하여 압력측정저항(10)과 온도보상저항(20)에서 감지된 전압데이터에 따른 매핑테이블을 저장하고, 매핑테이블 중 소정 간격의 2개의 온도 사이의 복수의 온도 각각에 대한 복수의 압력 각각에 대하여 압력측정저항(10)과 온도보상저항(20)에서 감지된 전압데이터에 기초하여 온도 별 가중치에 대응하는 동적매핑테이블을 생성하고, 상기 압력측정저항 및 상기 온도보상저항 각각에서 전압데이터를 감지하면 감지된 압력측정저항(10) 및 온도보상저항(20) 각각의 전압데이터에 대응하는 동적매핑테이블에서 압력데이터를 추출한다. The vacuum
여기서, 매핑테이블은 압력측정저항(10)에 의해 측정된 복수의 온도 각각에서 설정된 복수의 압력을 가하여 복수의 압력 각각에 대응하여 측정된 복수의 압력전압데이터와, 온도보상저항(20)에 의해 측정된 복수의 온도 각각에서 설정된 복수의 압력을 가하여 복수의 압력 각각에 대응하여 측정된 복수의 보상전압데이터를 포함할 수 있다.Here, the mapping table applies a plurality of pressures set at each of a plurality of temperatures measured by the
진공압력산출부(30)는 압력측정저항(Rp저항, 10)과 온도보상저항(Rk저항, 20)에서 감지된 각각의 전압데이터가 복수의 압력전압데이터와 복수의 보상전압데이터 중 어느 2개의 압력전압데이터 사이와 어느 2개의 보상전압데이터 사이에 있는 경우 동일한 압력구간인 경우 유효한 압력데이터로 인정할 수 있다.The vacuum
진공압력산출부(30)는 압력측정저항(10) 및 온도보상저항에서 감지된 각각의 전압데이터가 유효한 압력데이터로 인정되면 복수의 보상전압데이터 중 어느 2개의 압력전압데이터 사이와 어느 2개의 보상전압데이터 사이에서 선형보간법을 이용하여 압력데이터를 추출할 수 있다.The vacuum
진공압력산출부(30)는 동적매핑테이블을 압력을 측정할 때마다 생성할 수 있다. 진공압력산출부(30)는 압력을 측정할 때마다 동적매핑테이블을 생성하여 압력을 추출하며, 압력이 추출되면 동적매핑테이블을 삭제한다. 이후 압력을 측정할 때마다 동적매핑테이블을 생성하여 압력을 추출하며, 압력이 추출되면 동적매핑테이블을 삭제하여 저장공간의 부하가 생기지 않도록 할 수 있다.The vacuum
압력출력부(40)는 진공압력산출부(30)에서 산출된 압력을 출력한다.The
여기서, 진공압력산출부(30)는 저장부를 가지고 있을 수 있다.Here, the vacuum
또한, 진공압력산출장치(1)는 압력측정저항(10), 온도보상저항(20), 진공압력산출부(30) 및 압력출력부(40)로 전원을 공급하는 전원공급부를 추가로 가질 수 있다.In addition, the vacuum pressure calculating device 1 may additionally have a power supply unit for supplying power to the
도 4는 동적매핑테이블의 예시도이다.4 is an exemplary diagram of a dynamic mapping table.
소정 간격의 2개의 온도(T1, T2) 각각에 대한 복수의 압력 각각에 대하여 압력측정저항(Rp저항, 10)과 온도보상저항(Rk저항, 20)에서 감지된 전압데이터에 따른 매핑테이블을 저장한다. 상위 4개의 테이블이 매핑테이블이다.Stores a mapping table according to the voltage data sensed by the pressure measurement resistance (Rp resistance, 10) and the temperature compensation resistance (Rk resistance, 20) for each of a plurality of pressures for each of the two temperatures (T1, T2) at a predetermined interval do. The top four tables are mapping tables.
도4의 동적매핑테이블은 온도가중치가 적용된 동적매핑테이블이다.The dynamic mapping table of FIG. 4 is a dynamic mapping table to which temperature weights are applied.
동적매핑테이블은 하위 2개의 테이블이다. 동적매핑테이블이란 T1에서 측정된 압력측정저항(Rp저항, 10)과 온도보상저항(Rk저항, 20)의 압력 관련 전압데이타와 T2에서 측정된 압력측정저항(Rp저항, 10)과 온도보상저항(Rk저항, 20)의 압력 관련 전압데이터를 이용하여 임의의 온도 Tn에서의 압력측정저항(Rp저항, 10)과 온도보상저항(Rk저항, 20)의 전압데이터를 선형보간법을 이용하여 추출한 압력과 데이터(AD Value)와 관계를 나타내는 테이블이다.The dynamic mapping table is the lower two tables. The dynamic mapping table is the pressure-related voltage data of the pressure measurement resistance (Rp resistance, 10) and temperature compensation resistance (Rk resistance, 20) measured at T1, and the pressure measurement resistance (Rp resistance, 10) and temperature compensation resistance measured at T2. (Rk resistance, 20) using the pressure-related voltage data, the voltage data of the pressure measuring resistance (Rp resistance, 10) and the temperature compensation resistance (Rk resistance, 20) at any temperature Tn using the linear interpolation pressure This is a table that shows the relationship between and data (AD Value).
온도 가중치는 -n부터 +n까지 세분화할 수 있으며, n의 숫자가 증가할수록 생성되는 데이터의 양이 증가하며 더욱 정확한 압력데이터를 추출할 수 있다.The temperature weight can be subdivided from -n to +n, and as the number of n increases, the amount of generated data increases, and more accurate pressure data can be extracted.
동적매핑테이블을 압력을 측정할 때마다 동적으로 사용하는 이유는 진공압력산출장치(1)의 저장공간의 한계로 인해 온도 가증치 분해능의 한계를 극복하기 위해서이다.The reason why the dynamic mapping table is dynamically used whenever the pressure is measured is to overcome the limitation of the temperature increment value resolution due to the limitation of the storage space of the vacuum pressure calculator 1.
생성된 2개의 동적매핑테이블의 유효 판정은 실시간 데이터와 동적매핑테이블 데이터가 일치하는 압력의 유무로 판정된다. 이를 테면, 실시간 측정저항(Rp저항, 10)의 데이터 값이 동적매핑테이블의 P2와 P3의 데이터와 사이에 존재한다면, 보상저항(Rk저항, 20)의 데이터 값도 동적매핑테이블의 P2와 P3의 데이터와 사이에 존재해야 유효한 데이터로 인정할 수 있고, 현재의 압력을 P2와 P3 사이의 값으로 추출할 수 있다. 실제 압력은 P2와 P3 값을 이용하여 선형보간법을 이용하여 추출한다. 유효한 데이터로 인정되지 않으면 적용된 동적맵핑테이블을 생성하여 동일한 작업을 반복한다. Validity of the two created dynamic mapping tables is determined based on the presence or absence of pressure where the real-time data and the dynamic mapping table data coincide. For example, if the data value of the real-time measurement resistance (Rp resistance, 10) exists between the data of P2 and P3 of the dynamic mapping table, the data value of the compensation resistance (Rk resistance, 20) is also P2 and P3 of the dynamic mapping table. It can be recognized as valid data only when it exists between the data of and the current pressure can be extracted as a value between P2 and P3. The actual pressure is extracted using the linear interpolation method using the values of P2 and P3. If it is not recognized as valid data, the applied dynamic mapping table is created and the same operation is repeated.
상기의 실시 예 이외의 변형 가능한 실시 예를 설명한다.Modifiable embodiments other than the above embodiments will be described.
상기의 압력측정저항(10)과 온도보상저항(20)를 복수개 마련하여 동적매핑테이블을 동일한 온도구간과 동일한 압력구간에서 만들어 보다 세밀한 동적매핑테이블을 구출할 수 있도록 할 수 있다.A more detailed dynamic mapping table can be obtained by providing a plurality of
상기의 저장된 매핑테이블이 2개의 온도에서 측정된 매핑테이블이 아니고, 다수의 온도에서 측정된 매핑테이블이 저장될 수 있다.The stored mapping table is not a mapping table measured at two temperatures, but a mapping table measured at multiple temperatures may be stored.
상기의 진공압력산출장치(1)로 인하여, 소정 간격의 2개의 온도 각각에 대한 복수의 압력 각각에 대하여 압력측정저항(10)과 온도보상저항(20)에서 감지된 전압데이터에 따른 매핑테이블을 저장하고, 압력측정저항(10)과 온도보상저항(20) 각각에 대하여 복수의 온도 각각에 대한 복수의 압력 각각에 대한 전압데이터를 측정하여 동적매핑테이블을 생성하며, 압력측정저항(10) 및 온도보상저항(20)에서 감지된 실시간 전압데이터 각각에 대응하는 압력값을 동적매핑테이블을 참고하여 정확한 압력값을 추출하므로 압력측정의 정확성이 향상될 수 있다.Due to the vacuum pressure calculating device 1, a mapping table according to voltage data sensed by the
또한, 압력측정저항(10) 및 온도보상저항(20)에서 감지된 전압데이터에 대응하는 압력값에 대한 온도영향을 보정할 수 있고, 산출 압력의 신뢰성을 확보하여 압력을 구할 수 있으며, 진공압력산출장치(10)의 저장 공간의 한계로 인한 온도가중치 분해능의 한계가 발생할 수 있는 것을 극복할 수 있다. In addition, the temperature effect on the pressure value corresponding to the voltage data sensed by the
1: 진공압력산출장치(1) 2: 진공압력검출장치
2-1: 측정저항 2-2: 보상저항
10: 압력측정저항 20: 온도보상저항
30: 진공압력산출부 40: 압력출력부1: vacuum pressure calculating device (1) 2: vacuum pressure detecting device
2-1: Measurement resistance 2-2: Compensation resistance
10: pressure measurement resistance 20: temperature compensation resistance
30: vacuum pressure calculation unit 40: pressure output unit
Claims (5)
압력에 대한 전압을 측정하기 위한 압력측정저항;
온도에 대한 전압을 측정하기 위한 온도보상저항; 및
소정 간격의 2개 또는 다수의 온도 각각에 대한 복수의 압력 각각에 대하여 상기 압력측정저항과 상기 온도보상저항에서 감지된 전압데이터에 따른 매핑테이블을 저장하고, 상기 매핑테이블 중 소정 간격의 2개 또는 다수의 온도 사이의 복수의 온도 각각에 대한 복수의 압력 각각에 대하여 상기 압력측정저항과 상기 온도보상저항에서 감지된 전압데이터에 기초하여 온도 별 가중치에 대응하는 동적매핑테이블을 생성하며, 상기 압력측정저항 및 상기 온도보상저항 각각에서 전압데이터를 감지하면 감지된 상기 압력측정저항 및 상기 온도보상저항 각각의 전압데이터에 대응하는 상기 동적매핑테이블에서 압력데이터를 추출하는 진공압력산출부를 포함하되,
상기 매핑테이블은,
상기 압력측정저항에 의해 측정된 복수의 온도 각각에서 설정된 복수의 압력을 가하여 복수의 압력 각각에 대응하여 측정된 복수의 압력전압데이터와, 상기 온도보상저항에 의해 측정된 복수의 온도 각각에서 설정된 복수의 압력을 가하여 복수의 압력 각각에 대응하여 측정된 복수의 보상전압데이터를 포함하고,
상기 진공압력산출부는,
상기 압력측정저항 및 상기 온도보상저항에서 감지된 각각의 전압데이터가 상기 복수의 압력전압데이터와 상기 복수의 보상전압데이터 중 어느 2개의 압력전압데이터 사이와 어느 2개의 보상전압데이터 사이에 있는 경우 동일한 압력구간인 경우 유효한 압력데이터로 인정하는 것을 특징으로 하는 진공압력산출장치.
In the vacuum pressure calculating device for correcting and calculating the measured pressure according to the temperature,
a pressure measuring resistor for measuring voltage against pressure;
a temperature compensation resistor for measuring voltage versus temperature; and
A mapping table according to voltage data sensed by the pressure measuring resistor and the temperature compensation resistor is stored for each of a plurality of pressures at two or more temperatures at predetermined intervals, and two or more at predetermined intervals among the mapping tables are stored. For each of a plurality of pressures for each of a plurality of temperatures between a plurality of temperatures, a dynamic mapping table corresponding to weights for each temperature is generated based on voltage data sensed by the pressure measurement resistor and the temperature compensation resistor, and the pressure measurement A vacuum pressure calculation unit for extracting pressure data from the dynamic mapping table corresponding to the sensed voltage data of each of the pressure measuring resistor and the temperature compensating resistor when voltage data is sensed from each of the resistor and the temperature compensating resistor,
The mapping table,
A plurality of pressures set at each of the plurality of temperatures measured by the pressure measurement resistance, a plurality of pressure voltage data measured corresponding to each of the plurality of pressures by applying a plurality of pressures set at each of the plurality of temperatures measured by the temperature compensation resistor Including a plurality of compensation voltage data measured in response to each of the plurality of pressures by applying a pressure of,
The vacuum pressure calculation unit,
When each of the voltage data sensed by the pressure measurement resistor and the temperature compensation resistor is between any two pressure voltage data and any two compensation voltage data among the plurality of pressure voltage data and the plurality of compensation voltage data, the same A vacuum pressure calculating device characterized in that it is recognized as valid pressure data in the case of a pressure section.
상기 진공압력산출부는,
상기 압력측정저항 및 상기 온도보상저항에서 감지된 각각의 전압데이터가 유효한 압력데이터로 인정되면 상기 복수의 보상전압데이터 중 어느 2개의 압력전압데이터 사이와 어느 2개의 보상전압데이터 사이에서 선형보간법을 이용하여 압력데이터를 추출하는 것을 특징으로 하는 진공압력산출장치.
According to claim 1,
The vacuum pressure calculation unit,
When each of the voltage data sensed by the pressure measurement resistor and the temperature compensation resistor is recognized as valid pressure data, a linear interpolation method is used between any two pressure voltage data and any two compensation voltage data among the plurality of compensation voltage data. Vacuum pressure calculating device, characterized in that for extracting the pressure data by.
상기 진공압력산출부는,
상기 동적매핑테이블을 압력을 측정할 때마다 생성하는 것을 특징으로 하는 진공압력산출장치.
According to claim 1,
The vacuum pressure calculation unit,
The vacuum pressure calculation device characterized in that the dynamic mapping table is generated every time the pressure is measured.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220077329A KR102471346B1 (en) | 2022-06-24 | 2022-06-24 | Vacuum Pressure Calculator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220077329A KR102471346B1 (en) | 2022-06-24 | 2022-06-24 | Vacuum Pressure Calculator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102471346B1 true KR102471346B1 (en) | 2022-11-29 |
Family
ID=84235350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020220077329A KR102471346B1 (en) | 2022-06-24 | 2022-06-24 | Vacuum Pressure Calculator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102471346B1 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000509151A (en) * | 1996-04-30 | 2000-07-18 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Temperature compensation circuit of heat transfer gauge |
| KR20150097803A (en) * | 2012-12-24 | 2015-08-26 | 인피콘 게엠베하 | Method and Device for measuring a vacuum pressure using a measuring cell arrangement |
-
2022
- 2022-06-24 KR KR1020220077329A patent/KR102471346B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000509151A (en) * | 1996-04-30 | 2000-07-18 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Temperature compensation circuit of heat transfer gauge |
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