KR102464026B1 - Clamp device for Chamber door - Google Patents

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KR102464026B1
KR102464026B1 KR1020210067332A KR20210067332A KR102464026B1 KR 102464026 B1 KR102464026 B1 KR 102464026B1 KR 1020210067332 A KR1020210067332 A KR 1020210067332A KR 20210067332 A KR20210067332 A KR 20210067332A KR 102464026 B1 KR102464026 B1 KR 102464026B1
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moving plate
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KR1020210067332A
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김호영
유병호
차문길
박종기
윤준영
김도연
오유리
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주식회사 에스엔씨솔루션
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Abstract

The present invention relates to a clamp assembly for a chamber door, and more particularly to a clamp assembly for a chamber door capable of preventing a door from opening due to a pressure change inside a chamber when the door is closed. The present invention includes a driving unit; a first moving plate; and a guide plate.

Description

챔버 도어용 클램프장치 {Clamp device for Chamber door}Clamp device for Chamber door}

본 발명은 챔버 도어용 클램프장치에 대한 것으로서, 보다 상세하게는 도어가 닫힌 경우에 챔버 내부의 압력 변화로 인해 도어가 밀려서 개방되는 것을 방지할 수 있는 챔버 도어용 클램프장치에 관한 것이다.The present invention relates to a clamping device for a chamber door, and more particularly, to a clamping device for a chamber door capable of preventing the door from being pushed and opened due to a change in pressure inside the chamber when the door is closed.

일반적으로 반도체칩에 대한 제조공정이 완료된 후, 해당 제품에 대한 양품 여부를 검사하게 된다. 반도체칩의 경우 온도 변화에 따른 가혹 조건 하에서 정상적으로 작동하는지 여부를 검사할 수 있다. In general, after the manufacturing process for the semiconductor chip is completed, the product is inspected for good quality. In the case of a semiconductor chip, it can be checked whether it operates normally under severe conditions caused by temperature changes.

일반적으로 반도체칩의 테스트를 수행하는 경우에 반도체칩이 홀더 등에 장착되어 테스트 장치의 챔버 내부로 수용되고, 반도체칩의 단자가 일부 돌출되어 챔버 내부의 접속단자와 전기적으로 연결되어 테스트를 진행하게 된다.In general, when performing a test of a semiconductor chip, the semiconductor chip is mounted on a holder, etc. and accommodated in the chamber of the test apparatus, and the terminal of the semiconductor chip partially protrudes and is electrically connected to the connection terminal inside the chamber to conduct the test. .

이 경우, 챔버 내부의 압력 변화로 인해 챔버를 밀폐하는 도어가 의도치 않게 개방될 수 있다. 예를 들어, 챔버 내부에서 공정 진행 시 압력 상승으로 인해 도어가 의도치 않게 밀려서 개방될 수 있다. 이 경우 도어의 개방으로 인해 챔버 내측에 조성된 압력 등의 환경이 변화되어 테스트 등의 공정을 다시 진행하는 문제점을 유발할 수 있다.In this case, the door sealing the chamber may be unintentionally opened due to a change in pressure inside the chamber. For example, a door may be unintentionally pushed open due to a pressure increase during a process inside the chamber. In this case, the environment such as the pressure created inside the chamber is changed due to the opening of the door, which may cause a problem in which the process such as the test is performed again.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 챔버의 도어가 챔버 내부의 압력상승으로 인해 밀려서 개방되는 것을 방지할 수 있는 챔버 도어용 클램프장치를 제공하는데 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a clamp device for a chamber door capable of preventing the chamber door from being pushed and opened due to an increase in pressure inside the chamber in order to solve the above problems.

상기와 같은 본 발명의 목적은 챔버의 도어를 고정하는 챔버 도어용 클램프장치에 있어서, 상기 도어 및 챔버 중에 어느 한쪽에 구비되는 구동부, 상기 구동부에 의해 이동하며 상기 도어를 고정하는 제1 이동플레이트 및 상기 제1 이동플레이트의 이동을 가이드하는 가이드플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버 도어용 클램프장치에 의해 달성된다.An object of the present invention as described above is, in a clamp device for a chamber door for fixing a door of a chamber, a driving unit provided in either one of the door and the chamber, a first moving plate moving by the driving unit and fixing the door; It is achieved by a clamp device for a chamber door, characterized in that it comprises a guide plate for guiding the movement of the first moving plate.

여기서, 상기 제1 이동플레이트를 관통하여 상기 가이드플레이트를 고정하는 연결부재를 더 구비하며, 상기 제1 이동플레이트에는 이동방향을 따라 연장 형성되며 상기 연결부재가 관통하는 관통홀이 형성될 수 있다.Here, a connecting member penetrating through the first moving plate and fixing the guide plate may be further provided, and the first moving plate may have a through hole extending along the moving direction and passing through the connecting member.

또한, 상기 제1 이동플레이트의 측면에 마감플레이트를 더 구비하며, 상기 연결부재는 상기 마감플레이트 및 상기 제1 이동플레이트를 관통하며, 상기 가이드플레이트를 고정할 수 있다.In addition, a finishing plate is further provided on the side of the first moving plate, and the connecting member passes through the finishing plate and the first moving plate, and the guide plate can be fixed.

한편, 상기 제1 이동플레이트의 이동방향에 수직한 방향을 따라 상기 챔버에서 멀어지는 방향으로 상기 가이드플레이트, 상기 제1 이동플레이트 및 상기 마감플레이트의 순서로 배치되며, 상기 제1 이동플레이트는 상기 가이드플레이트와 상기 마감플레이트의 사이에서 이동할 수 있다.On the other hand, the guide plate, the first moving plate and the finishing plate are arranged in the order away from the chamber along a direction perpendicular to the moving direction of the first moving plate, and the first moving plate is the guide plate. And it can move between the finishing plate.

나아가, 상기 도어 및 챔버 중에 다른 한쪽에 구비되는 제1 후크부를 더 구비하며, 상기 제1 후크부에는 후크경사부가 형성되고 상기 제1 이동플레이트에는 상기 후크경사부에 대응하는 걸림경사부가 형성되어, 상기 걸림경사부에 의해 상기 후크경사부 및 제1 후크부가 상기 챔버에서 멀어지는 방향으로 이동이 제한될 수 있다.Furthermore, a first hook part provided on the other side of the door and the chamber is further provided, a hook inclined part is formed on the first hook part, and a hooking inclined part corresponding to the hook inclined part is formed on the first moving plate, Movement of the hook inclined part and the first hook part in a direction away from the chamber may be restricted by the engaging inclined part.

상기와 같은 본 발명의 챔버 도어용 클램프장치에 따르면 챔버의 도어가 챔버 내부의 압력상승으로 인해 밀려서 개방되는 것을 방지할 수 있다.According to the clamp device for the chamber door of the present invention as described above, it is possible to prevent the door of the chamber from being pushed and opened due to the increase in pressure inside the chamber.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 도어용 클램프장치가 장착된 챔버의 전면부의 일부를 도시한 정면도,
도 2는 챔버 도어용 클램프장치의 사시도,
도 3은 챔버 도어용 클램프장치의 일부 확대 사시도,
도 4는 후크부와 이동플레이트의 상대이동을 개략적으로 도시한 측면도,
도 5는 후크부와 이동플레이트의 상대이동을 도시한 사시도이다.1 is a front view showing a part of the front part of the chamber in which a clamp device for a chamber door according to an embodiment of the present invention is mounted;
2 is a perspective view of a clamp device for a chamber door;
3 is a partially enlarged perspective view of a clamp device for a chamber door;
Figure 4 is a side view schematically showing the relative movement of the hook portion and the moving plate,
Figure 5 is a perspective view showing the relative movement of the hook portion and the moving plate.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 도어용 클램프장치에 대해 살펴보기로 한다.Hereinafter, a clamp device for a chamber door according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 한 쌍의 챔버 도어용 클램프장치(100, 300)가 장착된 챔버(12)의 일부를 도시한 정면도이고, 도 2는 하나의 챔버 도어용 클램프장치(100)의 사시도이다. 도 2의 (A)는 상기 챔버 도어용 클램프장치(100)의 전체 구성을 도시하며, 도 2의 (B)는 상기 챔버 도어용 클램프장치(100)의 구동부(110), 이동플레이트(134, 154)를 중심으로 도시한다.1 is a front view showing a part of the chamber 12 in which a pair of clamp devices 100 and 300 for chamber doors according to an embodiment of the present invention are mounted, and FIG. 2 is a clamp device for one chamber door ( 100) is a perspective view. FIG. 2A shows the overall configuration of the clamping device 100 for the chamber door, and FIG. 2B shows the driving unit 110, the moving plate 134, and the clamping device 100 for the chamber door. 154) is shown as the center.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 챔버 도어용 클램프장치(100)는 상기 도어(10) 및 챔버(12) 중에 어느 한쪽에 구비되는 구동부(110)와, 상기 구동부(110)에 연결되어 이동하며 상기 도어(10)를 고정하는 제1 이동플레이트(134)를 구비할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2 , the clamping device 100 for the chamber door includes a driving unit 110 provided on either one of the door 10 and the chamber 12 , and is connected to the driving unit 110 to move. and a first moving plate 134 for fixing the door 10 may be provided.

상기 도어(10)는 상기 챔버(12)의 개방된 개구부(미도시)를 밀폐하거나 개방하도록 이동 가능하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 도어(10)는 상기 개구부를 향해 가까워지는 방향, 즉 상기 챔버(12)를 향해 이동하여 상기 개구부를 밀폐할 수 있다. 또한, 상기 개구부를 개방하는 경우에는 상기 개구부에서 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다. 따라서, 상기 도어(10)는 상기 챔버(12)의 전면부에 대해 이격되거나 가까워지는 방향으로 이동 가능하게 배치될 수 있다. 상기 도어(10)의 챔버(12)에 대한 이동방향은 도 4에서 화살표 'A'로 도시된다.The door 10 may be movably disposed to close or open an open opening (not shown) of the chamber 12 . For example, the door 10 may move in a direction approaching the opening, that is, toward the chamber 12 to seal the opening. In addition, when the opening is opened, it can move in a direction away from the opening. Accordingly, the door 10 may be movably disposed in a direction spaced apart from or closer to the front portion of the chamber 12 . The direction of movement of the door 10 with respect to the chamber 12 is indicated by an arrow 'A' in FIG. 4 .

나아가, 상기 도어(10)는 상기 챔버(12)의 전면부에 평행하게 이동하게 구비될 수 있다. 상기 개구부를 개방한 경우 상기 도어(10)는 상기 챔버(12)의 전면부에 평행하게 이동하여 상기 개구부에서 멀어지게 배치될 수 있다. 이에 의해 상기 개구부가 전면을 향해 오픈되어 상기 챔버(12)의 내측으로 대상물을 인입하거나 인출할 수 있다.Furthermore, the door 10 may be provided to move in parallel to the front portion of the chamber 12 . When the opening is opened, the door 10 may move parallel to the front portion of the chamber 12 and be disposed away from the opening. As a result, the opening is opened toward the front so that an object can be drawn in or out of the chamber 12 .

한편, 상기 도어(10)가 상기 개구부에 밀착하여 상기 챔버(12)의 내부를 밀폐하는 경우 상기 도어(10)는 실린더 등의 구동장치 또는 기계적인 장치 등에 의해 힘을 받아 고정된다.On the other hand, when the door 10 is in close contact with the opening to seal the inside of the chamber 12, the door 10 is fixed by receiving a force by a driving device such as a cylinder or a mechanical device.

그런데, 상기 챔버(12) 내부에서 필요한 공정 진행 중에 상기 챔버(12)의 내측 압력이 상승하여 상기 도어(10)가 챔버(12) 내부의 압력에 의해 밀려서 상기 개구부가 의도치 않게 개방될 수 있다. 이는 상기 챔버(12) 내부의 압력 등의 환경이 변화된 경우에 해당되어 해당 공정을 다시 진행하는 등의 문제점을 유발하게 된다.However, the inner pressure of the chamber 12 rises during a required process inside the chamber 12 , and the door 10 is pushed by the pressure inside the chamber 12 , so that the opening may be unintentionally opened. . This corresponds to a case in which the environment such as the pressure inside the chamber 12 is changed, and thus causes problems such as performing the process again.

본 발명에서는 상기 챔버(12) 내부의 압력 변화로 인해 상기 도어(10)에 외측을 향해 힘이 작용하는 경우에도 상기 도어(10)의 개방을 방지할 수 있는 챔버 도어용 클램프장치(100)를 제공하고자 한다.In the present invention, a clamp device 100 for a chamber door capable of preventing the opening of the door 10 even when a force is applied to the door 10 outward due to a change in pressure inside the chamber 12 . would like to provide

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 챔버 도어용 클램프장치(100, 300)는 상기 도어(10)를 중심으로 양측에 한 쌍이 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 챔버 도어용 클램프장치(100)는 후술하는 바와 같이 상기 도어(10) 및 챔버(12) 중에 다른 한쪽에 구비되는 후크부(13)(도 3 참조)를 더 구비할 수 있다.As shown in FIG. 1 , a pair of clamp devices 100 and 300 for the chamber door may be provided on both sides of the door 10 as a center. In this case, the clamp device 100 for the chamber door may further include a hook part 13 (refer to FIG. 3 ) provided on the other of the door 10 and the chamber 12 , as will be described later.

예를 들어, 상기 구동부(110)와 제1 고정어셈블리(130)가 상기 챔버(12)에 구비되는 경우에 상기 후크부(13)는 상기 도어(10)에 구비될 수 있다. 또한, 상기 구동부(110)와 제1 고정어셈블리(130)가 상기 도어(10)에 구비되는 경우에 상기 후크부(13)는 상기 챔버(12)에 구비될 수 있다. 이하에서는 상기 구동부(110)와 제1 고정어셈블리(130)가 상기 챔버(12)에 구비되고, 상기 후크부(13)는 상기 도어(10)에 구비되는 경우를 상정하여 살펴본다.For example, when the driving unit 110 and the first fixing assembly 130 are provided in the chamber 12 , the hook unit 13 may be provided in the door 10 . In addition, when the driving unit 110 and the first fixing assembly 130 are provided in the door 10 , the hook unit 13 may be provided in the chamber 12 . Hereinafter, it is assumed that the driving part 110 and the first fixing assembly 130 are provided in the chamber 12 , and the hook part 13 is provided in the door 10 .

상기 도어(10)의 양측에 배치되는 한 쌍의 챔버 도어용 클램프장치(100, 300)는 대칭적인 구조를 가지므로 이하에서는 도 1에서 오른쪽에 배치된 챔버 도어용 클램프장치(100)에 대해서 살펴보도록 한다.Since the pair of clamp devices 100 and 300 for chamber doors disposed on both sides of the door 10 have a symmetrical structure, the clamp device 100 for chamber doors disposed on the right side in FIG. 1 will be described below. let's see

도 3은 상기 챔버 도어용 클램프장치(100)의 일부 확대 사시도이다.3 is a partially enlarged perspective view of the clamp device 100 for the chamber door.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 챔버 도어용 클램프장치(100)는 상기 챔버(12)에 구비되는 구동부(110)와, 상기 구동부(110)에 의해 구동하는 구동바(112, 114)에 연결되어 이동하며 상기 도어(10)를 고정하는 제1 고정어셈블리(130)를 구비할 수 있다.2 and 3 , the clamp device 100 for the chamber door includes a driving unit 110 provided in the chamber 12 and driving bars 112 and 114 driven by the driving unit 110 . A first fixing assembly 130 for connecting and moving and fixing the door 10 may be provided.

상기 제1 고정어셈블리(130)는 상하로 이동 가능하게 구비되는 제1 이동플레이트(134)와, 상기 제1 이동플레이트(134)의 이동을 가이드하는 제1 가이드플레이트(131)를 구비할 수 있다.The first fixing assembly 130 may include a first movable plate 134 provided to be movable up and down, and a first guide plate 131 for guiding the movement of the first movable plate 134 . .

상기 구동부(110)는 상기 제1 이동플레이트(134)가 이동할 수 있는 구동력을 제공한다. 상기 구동부(110)는 실린더 등으로 구성될 수 있는데, 이에 한정되지는 않으며 구동력을 제공할 수 있는 적절한 형태로 변형될 수 있다.The driving unit 110 provides a driving force for moving the first moving plate 134 . The driving unit 110 may be configured as a cylinder or the like, but is not limited thereto and may be deformed into an appropriate shape capable of providing driving force.

상기 구동부(110)에서 연장된 구동바(112, 114)는 상기 챔버(12)의 전면을 따라 상하로 수직방향으로 이동할 수 있다. 이러한 이동방향은 일예를 들어 설명한 것에 불과하며 상기 구동부(110) 및 구동바(112, 114)의 설치방향에 따라 변형될 수 있다.The driving bars 112 and 114 extending from the driving unit 110 may move vertically along the front surface of the chamber 12 . This movement direction is merely an example, and may be deformed according to the installation directions of the driving unit 110 and the driving bars 112 and 114 .

한편, 상기 구동바(112, 114)는 이동바(120)와 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 구동바(112, 114)는 연결부(116)를 통해 상기 이동바(120)와 연결될 수 있다. 상기 구동바(112, 114)의 하단부가 상기 연결부(116)에 연결되고, 상기 이동바(120)의 상단부가 상기 연결부(116)에 연결될 수 있다. Meanwhile, the driving bars 112 and 114 may be connected to the moving bar 120 . For example, the driving bars 112 and 114 may be connected to the moving bar 120 through a connection part 116 . Lower ends of the driving bars 112 and 114 may be connected to the connection unit 116 , and an upper end of the moving bar 120 may be connected to the connection unit 116 .

상기 이동바(120)는 전술한 제1 이동플레이트(134)에 연결될 수 있다. 즉, 상기 이동바(120)의 하단부가 상기 제1 이동플레이트(134)에 연결될 수 있다. 상기 이동바(120)는 상기 구동바(112, 114)의 이동방향을 따라 하부를 향해 연장되어 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 구동바(112, 114)가 상하로 이동하는 경우 상기 이동바(120)도 마찬가지로 상하로 이동할 수 있다. 따라서, 상기 구동부(110)의 구동에 의해 상기 구동바(112, 114), 이동바(120) 및 상기 제1 이동플레이트(134)가 상하로 수직방향으로 이동할 수 있다.The moving bar 120 may be connected to the above-described first moving plate 134 . That is, the lower end of the moving bar 120 may be connected to the first moving plate 134 . The moving bar 120 may be disposed to extend downward along the moving direction of the driving bars 112 and 114 . In this case, when the driving bars 112 and 114 move up and down, the moving bar 120 may also move up and down. Accordingly, the driving bars 112 , 114 , the moving bar 120 , and the first moving plate 134 may vertically move up and down by the driving of the driving unit 110 .

한편, 상기 챔버 도어용 클램프장치(100)는 상기 제1 이동플레이트(134)의 이동을 가이드하는 제1 가이드플레이트(131)를 더 구비할 수 있다.Meanwhile, the clamping device 100 for the chamber door may further include a first guide plate 131 for guiding the movement of the first moving plate 134 .

상기 제1 가이드플레이트(131)는 상기 챔버(12)의 전면에 고정될 수 있다. 예를 들어, 볼트와 같은 연결부재(133)에 의해 상기 제1 가이드플레이트(131)는 상기 챔버(12)의 전면에 고정될 수 있다.The first guide plate 131 may be fixed to the front surface of the chamber 12 . For example, the first guide plate 131 may be fixed to the front surface of the chamber 12 by a connection member 133 such as a bolt.

이 경우, 상기 제1 가이드플레이트(131)는 대략 'U'자형으로 형성될 수 있으며, 내측에 전술한 제1 이동플레이트(134)가 배치될 수 있다. 따라서, 상기 제1 이동플레이트(134)는 상기 제1 가이드플레이트(131)의 내측에서 수직방향으로 가이드되어 이동될 수 있다.In this case, the first guide plate 131 may be formed in a substantially 'U' shape, and the above-described first moving plate 134 may be disposed inside. Accordingly, the first moving plate 134 may be vertically guided and moved inside the first guide plate 131 .

한편, 전술한 연결부재(133)는 상기 제1 이동플레이트(134)를 관통하여 상기 제1 가이드플레이트(131)를 고정할 수 있다. 즉, 상기 연결부재(133)는 상기 제1 이동플레이트(134)의 관통홀(134A)을 관통하여 배치되며, 상기 제1 가이드플레이트(131)를 상기 챔버(12)에 고정할 수 있다. Meanwhile, the aforementioned connecting member 133 may pass through the first moving plate 134 to fix the first guide plate 131 . That is, the connecting member 133 may be disposed to pass through the through hole 134A of the first moving plate 134 , and the first guide plate 131 may be fixed to the chamber 12 .

또한, 상기 관통홀(134A)은 상기 제1 이동플레이트(134)의 이동방향을 따라 길게 연장되어 형성될 수 있다. 상기 제1 이동플레이트(134)가 수직방향으로 이동하는 경우에 상기 관통홀(134A)도 수직방향으로 길게 연장되어 형성될 수 있다.In addition, the through hole 134A may be formed to extend long along the moving direction of the first moving plate 134 . When the first moving plate 134 moves in the vertical direction, the through hole 134A may also be formed to extend in the vertical direction.

따라서, 상기 구동부(110)의 구동에 의해 상기 제1 이동플레이트(134)가 상하방향으로 이동하는 경우에 길게 연장된 관통홀(134A)의 내측에 상기 연결부재(133)가 배치되어 상기 제1 이동플레이트(134)가 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 관통홀(134A)의 수직방향 길이가 상기 제1 이동플레이트(134)가 이동할 수 있는 최대길이에 해당한다.Accordingly, when the first moving plate 134 moves in the vertical direction by the driving of the driving unit 110 , the connecting member 133 is disposed inside the elongated through-hole 134A, and the first moving plate 134 is moved in the vertical direction. The moving plate 134 may move. In this case, the vertical length of the through hole 134A corresponds to the maximum length that the first moving plate 134 can move.

한편, 상기 제1 고정어셈블리(130)는 제1 마감플레이트(132)를 더 구비할 수 있다. 상기 제1 마감플레이트(132)는 상기 제1 이동플레이트(134)의 측면에 배치될 수 있다. 즉, 상기 연결부재(133)가 상기 제1 마감플레이트(132) 및 상기 제1 이동플레이트(134)를 관통하며, 상기 제1 가이드플레이트(131)를 상기 챔버(12)에 체결하게 된다. Meanwhile, the first fixing assembly 130 may further include a first finishing plate 132 . The first finishing plate 132 may be disposed on a side surface of the first moving plate 134 . That is, the connecting member 133 passes through the first finishing plate 132 and the first moving plate 134 , and the first guide plate 131 is fastened to the chamber 12 .

결국, 상기 제1 가이드플레이트(131), 상기 제1 이동플레이트(134) 및 상기 제1 마감플레이트(132)가 제1 고정어셈블리(130)를 구성할 수 있다. 상기 제1 고정어셈블리(130)는 상기 구동부(110)의 구동에 의해 상기 제1 후크부(13)를 고정하게 된다.As a result, the first guide plate 131 , the first movable plate 134 , and the first finishing plate 132 may constitute the first fixed assembly 130 . The first fixing assembly 130 fixes the first hook part 13 by the driving of the driving part 110 .

한편, 상기 제1 이동플레이트(134)의 이동방향에 수직한 방향을 따라 상기 챔버(12)에서 멀어지는 방향을 향해 상기 제1 가이드플레이트(131), 상기 제1 이동플레이트(134) 및 상기 제1 마감플레이트(132)의 순서로 배치된다. Meanwhile, the first guide plate 131 , the first movable plate 134 and the first guide plate 131 in a direction away from the chamber 12 along a direction perpendicular to the movement direction of the first movable plate 134 . It is arranged in the order of the finish plate (132).

이 경우, 상기 제1 마감플레이트(132)는 상기 연결부재(133)에 의해 고정되며 이동되지 않도록 체결된다. 상기 제1 마감플레이트(132)는 전술한 연결부재(133)와 함께 상기 제1 이동플레이트(134)가 상기 제1 후크부(13)에 의해 챔버(12)에서 이격되는 방향으로 힘을 받는 경우에도 상기 제1 이동플레이트(134)가 밀리지 않도록 고정하는 역할을 하게 된다. 또한, 상기 제1 마감플레이트(132)는 상기 제1 이동플레이트(134)의 이동을 가이드하며, 나아가 상기 제1 이동플레이트(134)의 이동 시에 상기 연결부재(133)의 헤드와 제1 이동플레이트(134) 사이의 간섭을 최대한 억제하게 된다.In this case, the first finishing plate 132 is fixed by the connection member 133 and is fastened so as not to move. When the first finishing plate 132 receives a force in a direction spaced apart from the chamber 12 by the first hook part 13 , the first moving plate 134 together with the above-described connecting member 133 . It also serves to fix the first moving plate 134 so as not to be pushed. In addition, the first finishing plate 132 guides the movement of the first moving plate 134 , and furthermore, when the first moving plate 134 moves, the head and the first movement of the connecting member 133 . Interference between the plates 134 is suppressed as much as possible.

따라서, 상기 제1 이동플레이트(134)는 상기 제1 가이드플레이트(131)와 상기 제1 마감플레이트(132) 사이에서 이동하게 되며, 상기 제1 마감플레이트(132)에 의해 상기 챔버(12)에서 멀어지는 방향(상기 제1 이동플레이트(134)의 이동방향에 수직한 방향)으로 이동이 제한된다. Accordingly, the first moving plate 134 is moved between the first guide plate 131 and the first finishing plate 132 , and in the chamber 12 by the first finishing plate 132 . Movement is restricted in the away direction (direction perpendicular to the moving direction of the first moving plate 134 ).

한편, 상기 연결부재(133)는 도면에 도시되지 않지만 단부측에만 나사산이 형성된 볼트 등으로 구성될 수 있다. 따라서, 상기 연결부재(133)는 상기 제1 마감플레이트(132) 및 제1 이동플레이트(134)는 고정하지 않고 단순히 관통하며, 단부측에 형성된 나사산에 의해 상기 제1 가이드플레이트(131)를 챔버(12)에 고정할 수 있게 된다. 이러한 연결부재(133)의 구성은 일예를 들어 설명한 것이며 적절하게 변형될 수 있다.Meanwhile, although not shown in the drawings, the connecting member 133 may be formed of a bolt having a thread formed only on the end side thereof. Accordingly, the connecting member 133 simply passes through the first finishing plate 132 and the first moving plate 134 without being fixed, and the first guide plate 131 is passed through the chamber by the thread formed on the end side. (12) can be fixed. The configuration of the connection member 133 has been described as an example and may be appropriately modified.

전술한 고정어셈블리는 상기 구동부(110)에 한 개만 연결될 수도 있지만, 상기 도어(10)를 균일하게 고정하기 위하여 상기 고정어셈블리는 복수개로 구성될 수도 있다.Although only one fixing assembly described above may be connected to the driving unit 110 , a plurality of fixing assemblies may be configured to uniformly fix the door 10 .

예를 들어, 상기 이동바(120)와 연결되어 함께 이동하는 연결바(140)를 더 구비하며, 상기 연결바(140)에는 제2 고정어셈블리(150)가 연결될 수 있다.For example, it further includes a connecting bar 140 that is connected to the moving bar 120 and moves together, and the second fixing assembly 150 may be connected to the connecting bar 140 .

상기 이동바(120)의 하단부가 상기 제1 이동플레이트(134)에 연결되고 상기 연결바(140)의 상단부가 상기 제1 이동플레이트(134)에 연결되어 상기 이동바(120)와 상기 연결바(140)가 연결될 수 있다.The lower end of the moving bar 120 is connected to the first moving plate 134 , and the upper end of the connecting bar 140 is connected to the first moving plate 134 , and the moving bar 120 and the connecting bar are connected to the first moving plate 134 . 140 may be connected.

이 경우, 상기 제2 고정어셈블리(150)는 제2 이동플레이트(154), 제2 가이드플레이트(151) 및 제2 마감플레이트(152)를 구비할 수 있다. In this case, the second fixing assembly 150 may include a second moving plate 154 , a second guide plate 151 , and a second finishing plate 152 .

상기 제2 이동플레이트(154)는 상기 연결바(140)의 하단부에 연결될 수 있다. 이 경우, 상기 제2 이동플레이트(154), 제2 가이드플레이트(151), 제2 마감플레이트(152)의 구성은 전술한 제1 이동플레이트(134), 제1 가이드플레이트(131) 및 제1 마감플레이트(132)의 구성과 유사하므로 반복적인 설명은 생략한다.The second moving plate 154 may be connected to the lower end of the connecting bar 140 . In this case, the configuration of the second moving plate 154, the second guide plate 151, and the second finishing plate 152 is the above-described first moving plate 134, the first guide plate 131 and the first Since it is similar to the configuration of the finishing plate 132, a repetitive description will be omitted.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 챔버 도어용 클램프장치(100)는 상기 도어(10)의 측면에 구비되는 제1 후크부(13)를 더 구비할 수 있다. 상기 제1 후크부(13)는 전술한 고정어셈블리의 개수에 대응하여 구비될 수 있다. 즉, 도면에 도시된 바와 같이 하나의 구동부(110)에 2개의 고정어셈블리(130, 150)가 연결되는 경우에 상기 후크부도 2개로 구성될 수 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 3 , the clamp device 100 for the chamber door may further include a first hook part 13 provided on a side surface of the door 10 . The first hook part 13 may be provided corresponding to the number of the aforementioned fixing assemblies. That is, when two fixing assemblies 130 and 150 are connected to one driving unit 110 as shown in the drawing, the hook unit may also be composed of two.

상기 제1 이동플레이트(134)에 대응하는 제1 후크부(13)는 몸체부(14)와, 상기 몸체부(14)의 일측에 형성되는 후크경사부(16)를 구비할 수 있다.The first hook portion 13 corresponding to the first moving plate 134 may include a body portion 14 and a hook inclined portion 16 formed on one side of the body portion 14 .

또한, 전술한 제1 이동플레이트(134)에는 상기 후크경사부(16)에 대응하는 걸림경사부(135)가 형성될 수 있다. 상기 제1 이동플레이트(134)의 이동 시에 상기 걸림경사부(135)가 상기 후크경사부(16)를 향해 이동하여 상기 후크경사부(16)의 이동을 억제함으로써 상기 도어(10)의 밀림을 방지할 수 있다.In addition, a locking inclined portion 135 corresponding to the hook inclined portion 16 may be formed on the first moving plate 134 described above. When the first moving plate 134 is moved, the locking inclined part 135 moves toward the hook inclined part 16 to suppress the movement of the hook inclined part 16, so that the door 10 is pushed. can prevent

이하, 도 4 및 도 5를 참조하여 전술한 구성을 가지는 챔버 도어용 클램프장치(100)의 동작을 살펴보도록 한다.Hereinafter, an operation of the clamp device 100 for a chamber door having the above-described configuration will be described with reference to FIGS. 4 and 5 .

도 4는 상기 제1 후크부(13)와 제1 이동플레이트(134)의 상대이동을 개략적으로 도시한 측면도이고, 도 5는 상기 제1 후크부(13)와 제1 이동플레이트(134)의 상대이동을 도시한 사시도이다. 도 5의 (A)는 상기 제1 이동플레이트(134)가 상승하지 않은 상태를 도시하며, 도 5의 (B)는 상기 제1 이동플레이트(134)가 상승한 상태를 도시한다.4 is a side view schematically illustrating the relative movement of the first hook part 13 and the first moving plate 134 , and FIG. 5 is a side view of the first hook part 13 and the first moving plate 134 . It is a perspective view showing relative movement. FIG. 5A shows a state in which the first moving plate 134 is not raised, and FIG. 5B shows a state in which the first moving plate 134 is raised.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 도어(10)가 전술한 바와 같이 상기 챔버(12)의 개구부를 밀폐하는 경우 상기 챔버(12)에 가까워지는 방향(화살표 'A', 도 4)을 따라 이동한다. 4 and 5 , when the door 10 closes the opening of the chamber 12 as described above, along a direction (arrow 'A', FIG. 4 ) approaching the chamber 12 . Move.

상기 도어(10)가 이동을 마친 경우 전술한 제1 후크부(13)는 상기 챔버(12)에 가까워지는 방향(화살표 'A', 도 4)을 따라 이동하며 도 4에서 점선으로 도시되고, 도 5의 (A)의 상태에 해당한다. 이 경우, 전술한 후크경사부(16)는 실선으로 도시된 위치에서 점선으로 도시된 위치(16')로 이동하게 된다.When the door 10 has finished moving, the first hook part 13 described above moves along a direction (arrow 'A', FIG. 4 ) approaching the chamber 12 and is shown by a dotted line in FIG. 4 , It corresponds to the state of FIG. 5A. In this case, the above-described hook inclined portion 16 is moved from the position shown by the solid line to the position 16' shown by the dotted line.

이어서, 상기 구동부(110)가 구동을 하게 된다. 상기 구동부(110)의 구동에 의해 상기 구동바(112, 114) 및 상기 이동바(120)가 함께 수직방향으로 상승을 하게 된다.Then, the driving unit 110 is driven. By the driving of the driving unit 110, the driving bars 112 and 114 and the moving bar 120 both rise in the vertical direction.

이 경우, 상기 이동바(120)와 연결된 상기 제1 이동플레이트(134)도 수직방향(화살표 'B', 도 4)으로 함께 상승하게 된다. 이 경우, 상기 걸림경사부(135)는 실선으로 도시된 위치에서 점선으로 도시된 위치(135')로 이동하게 된다.In this case, the first moving plate 134 connected to the moving bar 120 also rises together in the vertical direction (arrow 'B', FIG. 4 ). In this case, the engaging slope 135 moves from the position shown by the solid line to the position 135' shown by the dotted line.

상기 제1 이동플레이트(134)가 상승을 하게 되면 도 4의 점선으로 도시된 구성 및 도 5의 (B)와 같이 상기 제1 이동플레이트(134)의 걸림경사부(135')가 상기 제1 후크부(13)의 후크경사부(16')에 안착되어 상기 제1 후크부(13) 및 도어(10)가 밀리지 않게 고정하게 된다.When the first moving plate 134 rises, as shown in the configuration shown by the dotted line in FIG. 4 and FIG. 5B, the engaging inclined portion 135' of the first moving plate 134 is the first It is seated on the hook inclined part 16' of the hook part 13 to fix the first hook part 13 and the door 10 so as not to be pushed.

결국, 상기 도어(10)가 챔버(12) 내측의 압력 상승으로 인해 후방으로 밀리는 경우에도 상기 제1 후크부(13)가 상기 제1 이동플레이트(134)에 의해 고정되어 상기 도어(10)가 밀려서 개방되는 것을 방지할 수 있다.As a result, even when the door 10 is pushed backward due to the pressure increase inside the chamber 12 , the first hook part 13 is fixed by the first moving plate 134 and the door 10 is It can be prevented from being pushed open.

한편, 전술한 바와 같이 상기 이동플레이트가 복수개로 구성되는 경우에 상기 이동플레이트에 대응하여 후크부가 구비될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 이동플레이트(154)를 구비하는 경우에 상기 제2 이동플레이트(154)에 대응하는 제2 후크부(미도시)가 상기 도어(10)에 구비될 수 있다.On the other hand, when the movable plate is configured in plurality as described above, a hook portion may be provided to correspond to the movable plate. For example, when the second moving plate 154 is provided, a second hook part (not shown) corresponding to the second moving plate 154 may be provided in the door 10 .

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 당업자는 이하에서 서술하는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 변형된 실시가 기본적으로 본 발명의 특허청구범위의 구성요소를 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims described below. You can do it. Therefore, if the modified implementation basically includes the elements of the claims of the present invention, all of them should be considered to be included in the technical scope of the present invention.

10 : 도어
12 : 챔버
13 : 후크부
100, 300 : 챔버 도어용 클램프장치
110 : 구동부
120 : 이동바
130, 150 : 고정어셈블리
131, 151 : 가이드플레이트
132, 152 : 마감플레이트
134, 154 : 이동플레이트
140 : 연결바10 : door
12: chamber
13: hook part
100, 300: Clamp device for chamber door
110: drive unit
120: move bar
130, 150: fixed assembly
131, 151: guide plate
132, 152: finish plate
134, 154: moving plate
140: connection bar

Claims (6)

챔버의 도어를 고정하는 챔버 도어용 클램프장치에 있어서,
상기 도어 및 챔버 중에 어느 한쪽에 구비되는 구동부;
상기 구동부에 의해 이동하며 상기 도어를 고정하는 제1 이동플레이트; 및
상기 제1 이동플레이트의 이동을 가이드하는 가이드플레이트;를 구비하고,
상기 제1 이동플레이트를 관통하여 상기 가이드플레이트를 고정하는 연결부재를 더 구비하며, 상기 제1 이동플레이트에는 이동방향을 따라 연장 형성되며 상기 연결부재가 관통하는 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 챔버 도어용 클램프장치.In the chamber door clamp device for fixing the chamber door,
a driving unit provided in either one of the door and the chamber;
a first moving plate moving by the driving unit and fixing the door; and
and a guide plate for guiding the movement of the first moving plate; and
A chamber further comprising a connecting member penetrating through the first moving plate to fix the guide plate, wherein the first moving plate extends along the moving direction and has a through hole through which the connecting member passes. Clamp device for door. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 이동플레이트의 측면에 마감플레이트를 더 구비하며,
상기 연결부재는 상기 마감플레이트 및 상기 제1 이동플레이트를 관통하며, 상기 가이드플레이트를 고정하는 것을 특징으로 하는 챔버 도어용 클램프장치.According to claim 1,
A finishing plate is further provided on the side of the first moving plate,
The connecting member passes through the finishing plate and the first moving plate, and the clamp device for a chamber door, characterized in that it fixes the guide plate. 제3항에 있어서,
상기 제1 이동플레이트의 이동방향에 수직한 방향을 따라 상기 챔버에서 멀어지는 방향으로 상기 가이드플레이트, 상기 제1 이동플레이트 및 상기 마감플레이트의 순서로 배치되며,
상기 제1 이동플레이트는 상기 가이드플레이트와 상기 마감플레이트의 사이에서 이동하는 것을 특징으로 하는 챔버 도어용 클램프장치.4. The method of claim 3,
disposed in the order of the guide plate, the first moving plate and the finishing plate in a direction away from the chamber along a direction perpendicular to the moving direction of the first moving plate,
The first movable plate is a clamp device for a chamber door, characterized in that it moves between the guide plate and the finishing plate. 제1항에 있어서,
상기 도어 및 챔버 중에 다른 한쪽에 구비되는 제1 후크부를 더 구비하며,
상기 제1 후크부에는 후크경사부가 형성되고 상기 제1 이동플레이트에는 상기 후크경사부에 대응하는 걸림경사부가 형성되어, 상기 걸림경사부에 의해 상기 후크경사부 및 제1 후크부가 상기 챔버에서 멀어지는 방향으로 이동이 제한되는 것을 특징으로 하는 챔버 도어용 클램프장치.According to claim 1,
Further comprising a first hook part provided on the other side of the door and the chamber,
A hook inclined part is formed in the first hook part, and a locking inclined part corresponding to the hook inclined part is formed on the first moving plate, and the hook inclined part and the first hook part are separated from the chamber by the engaging inclined part. Clamp device for chamber door, characterized in that the movement is limited. 제1항에 있어서,
상기 구동부의 구동바와 상기 제1 이동플레이트를 연결시키는 이동바를 더 구비하고, 상기 이동바와 연결되는 연결바를 더 구비하며,
상기 연결바에 구비되는 제2 이동플레이트와, 상기 제2 이동플레이트에 대응하는 제2 후크부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버 도어용 클램프장치.
According to claim 1,
Further comprising a moving bar connecting the driving bar of the driving unit and the first moving plate, and further comprising a connecting bar connected to the moving bar,
A clamp device for chamber door, characterized in that it further comprises a second movable plate provided on the connecting bar, and a second hook corresponding to the second movable plate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2012114101A2 (en) * 2011-02-23 2012-08-30 Renew Pod Limited A blast-resistant structure

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