KR102451480B1 - Access detecting device - Google Patents

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Abstract

로우 해머링 현상에 의한 데이터의 왜곡을 방지하기 위해 워드 라인의 액세스를 검출하는 장치가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 액세스 검출 장치는 메모리 셀에 연결된 워드 라인에 연결되는 액세스 검출용 캐패시터; 및 상기 액세스 검출용 캐패시터의 전압을 감지하여, 상기 액세스 검출용 캐패시터의 전압이 기준치 이상이면 플래그를 발생시키는 제어부;를 포함한다.
An apparatus for detecting access of a word line in order to prevent distortion of data due to a row hammering phenomenon is provided.
An access detection apparatus according to an embodiment of the present invention includes: an access detection capacitor connected to a word line connected to a memory cell; and a controller configured to sense the voltage of the access detection capacitor and generate a flag when the voltage of the access detection capacitor is equal to or greater than a reference value.

Description

액세스 검출 장치{ACCESS DETECTING DEVICE}Access detection device {ACCESS DETECTING DEVICE}

본 발명은 액세스 검출 장치에 관한 것으로, 특히 워드 라인의 액세스를 검출 가능한 액세스 검출 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an access detection apparatus, and more particularly to an access detection apparatus capable of detecting access of a word line.

반도체 장치에 있어서 데이터가 저장되는 메모리 셀은 캐패시터로서 구현된다. 이에 따라, 특정 워드 라인이 선택되면, 당해 워드 라인에 연결된 트랜지스터가 온되어, 상기 워드 라인에 해당하는 셀의 전위가 비트 라인에 출력된다.In a semiconductor device, a memory cell in which data is stored is implemented as a capacitor. Accordingly, when a specific word line is selected, the transistor connected to the word line is turned on, and the potential of the cell corresponding to the word line is output to the bit line.

이러한 메모리 셀은 시간이 지남에 따라 그 전위가 점차적으로 감소한다. 즉, 반도체 장치에서 메모리 셀로서 사용되는 캐패시터는 시간이 지남에 따라 자신이 갖고 있는 전하를 방전하며, 이에 따라 데이터가 소실된다. 이는 데이터를 읽고 쓰기 위해 사용되는 메모리 장치로서는 치명적인 단점이다. 따라서, 데이터의 신뢰성을 확보하기 위해 반도체 장치를 사용하는 모든 디바이스는 반드시 메모리 셀의 전하를 회복시켜주는 리프레시(refresh) 동작이 행해지고 있다. The potential of these memory cells gradually decreases over time. That is, a capacitor used as a memory cell in a semiconductor device discharges its own charge over time, and thus data is lost. This is a fatal disadvantage for a memory device used to read and write data. Therefore, in order to ensure data reliability, all devices using a semiconductor device must perform a refresh operation for recovering the charge of the memory cell.

본 발명은 리프레시 동작의 수행 대상이 되는 메모리 셀을 결정하기 위해, 워드 라인의 액세스를 검출하는 액세스 검출 장치를 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide an access detection apparatus for detecting access of a word line in order to determine a memory cell on which a refresh operation is to be performed.

본 발명의 일 실시예에 따른 액세스 검출 장치는, 메모리 셀에 연결된 워드 라인에 연결되는 액세스 검출용 캐패시터와, 상기 액세스 검출용 캐패시터의 전압을 감지하여, 상기 액세스 검출용 캐패시터의 전압이 기준치 이상이면 플래그를 발생시키는 제어부를 포함한다.An access detection apparatus according to an embodiment of the present invention includes an access detection capacitor connected to a word line connected to a memory cell, and sensing a voltage of the access detection capacitor, if the voltage of the access detection capacitor is equal to or greater than a reference value A control unit for generating a flag is included.

본 발명의 일 실시예에 따른 액세스 검출 장치는, 복수의 워드 라인에 연결되는 액세스 검출용 캐패시터와, 상기 액세스 검출용 캐패시터의 전압을 감지하여, 상기 액세스 검출용 캐패시터의 전압이 기준치 이상이면 플래그를 발생시키는 제어부를 포함한다.The access detection apparatus according to an embodiment of the present invention includes an access detection capacitor connected to a plurality of word lines, detects a voltage of the access detection capacitor, and sets a flag if the voltage of the access detection capacitor is greater than or equal to a reference value. control unit for generating

본 발명의 일 실시예에 따른 액세스 검출 장치는, 복수의 워드 라인들로 이루어진 제1 워드 라인 그룹에 연결되는 제1 액세스 검출용 캐패시터와, 상기 제1 액세스 검출용 캐패시터의 전압을 감지하여, 상기 제1 액세스 검출용 캐패시터의 전압이 제1 기준치 이상이면 제1 플래그를 발생시키는 제1 제어부와, 상기 제1 워드 라인 그룹에 속하는 복수의 워드 라인들과는 상이한 복수의 워드 라인들로 이루어진 제2 워드 라인 그룹에 연결되는 제2 액세스 검출용 캐패시터와, 상기 제2 액세스 검출용 캐패시터의 전압을 감지하여, 상기 제2 액세스 검출용 캐패시터의 전압이 제2 기준치 이상이면 제2 플래그를 발생시키는 제2 제어부를 포함한다.An access detection apparatus according to an embodiment of the present invention includes a first access detection capacitor connected to a first word line group including a plurality of word lines, and sensing a voltage of the first access detection capacitor, A first control unit generating a first flag when the voltage of the first access detection capacitor is equal to or greater than a first reference value, and a second word line including a plurality of word lines different from a plurality of word lines belonging to the first word line group a second access detection capacitor connected to the group; and a second controller configured to sense a voltage of the second access detection capacitor and generate a second flag if the voltage of the second access detection capacitor is equal to or greater than a second reference value; include

본 발명의 일 실시예에 따른 액세스 검출 장치에 의하면, 장치의 면적의 증가를 최소화하면서 워드 라인의 액세스 정도를 정확히 검출할 수 있다. 이에 따라, 데이터의 열화 가능성이 있는 메모리 셀에 해당하는 워드 라인에 대해 리프레시를 수행하여 데이터의 왜곡을 방지할 수 있다.According to the access detection apparatus according to an embodiment of the present invention, it is possible to accurately detect the degree of access of a word line while minimizing an increase in the area of the apparatus. Accordingly, it is possible to prevent data distortion by performing refresh on a word line corresponding to a memory cell in which data may be deteriorated.

도 1은 반도체 장치의 셀에 관한 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액세스 검출 장치를 포함하는 반도체 장치의 구성도.
도 3은 도 2의 제어부에 대한 상세 구성도.
도 4는 도 2의 제어부에 대한 다른 상세 구성도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액세스 검출 장치를 포함하는 반도체 장치의 구성도.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액세스 검출 장치를 포함하는 반도체 장치의 구성도.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액세스 검출 장치를 포함하는 시스템의 구성도.
1 is a block diagram of a cell of a semiconductor device;
2 is a block diagram of a semiconductor device including an access detection apparatus according to an embodiment of the present invention;
Figure 3 is a detailed configuration diagram of the control unit of Figure 2;
Figure 4 is another detailed configuration diagram of the control unit of Figure 2;
5 is a block diagram of a semiconductor device including an access detection apparatus according to another embodiment of the present invention;
6 is a block diagram of a semiconductor device including an access detection apparatus according to another embodiment of the present invention;
7 is a block diagram of a system including an access detection apparatus according to another embodiment of the present invention;

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 반도체 장치의 셀에 관한 구성도이다.1 is a block diagram of a cell of a semiconductor device.

도 1에서 워드 라인 WL<n>은 활성화 횟수가 많은 워드 라인에 해당하며, 워드 라인 WL<n-1> 및 워드 라인 WL<n+1>은 각각 워드 라인 WL<n>에 인접하게 배치된 워드 라인, 즉 활성화 횟수가 많은 워드 라인에 인접한 워드 라인에 해당한다. 워드 라인 WL<n-1>, WL<n>, WL<n+1>과 비트 라인 BL<0>, BL<1>이 교차하는 지점에는, 셀 캐패시터와 셀 트랜지스터로 이루어진 메모리 셀이 형성되어 있다.In FIG. 1, the word line WL<n> corresponds to a word line with a large number of activations, and the word line WL<n-1> and the word line WL<n+1> are disposed adjacent to the word line WL<n>, respectively. Corresponds to a word line, that is, a word line adjacent to a word line having a large number of activations. At the intersection of the word lines WL<n-1>, WL<n>, WL<n+1> and the bit lines BL<0>, BL<1>, a memory cell including a cell capacitor and a cell transistor is formed. have.

도 1에서 워드 라인 WL<n>이 활성화되거나 비활성화되면, 워드 라인 WL<n>과 워드 라인 WL<n-1>의 사이 및 워드 라인 WL<n>과 워드 라인 WL<n+1> 사이에 발생하는 커플링 현상으로 인해 워드 라인 WL<n-1> 및 워드 라인 WL<n+1>의 전압이 상승하거나 하강하면서 워드 라인 WL<n-1> 및 워드 라인 WL<n+1>에 연결된 셀 캐패시터의 전하량에도 영향을 미친다. 따라서 워드 라인 WL<n>의 활성화가 빈번하게 일어나서 워드 라인 WL<n>이 활성화 상태와 비활성화 상태 사이에서 토글하는 경우 워드 라인 WL<n-1> 및 워드 라인 WL<n+1>에 연결된 셀에 포함된 셀 캐패시터에 저장된 전하의 양이 변화하여 메모리 셀의 데이터가 열화될 수 있다.1, when word line WL<n> is activated or deactivated, between word line WL<n> and word line WL<n-1> and between word line WL<n> and word line WL<n+1> As the voltage on word line WL<n-1> and word line WL<n+1> rises or falls due to the coupling phenomenon that occurs, the voltage connected to word line WL<n-1> and word line WL<n+1> It also affects the amount of charge on the cell capacitor. Thus, word line WL<n-1> and the cell connected to word line WL<n+1> when word line WL<n> is activated frequently, causing word line WL<n> to toggle between enabled and disabled states. Data of the memory cell may be deteriorated because the amount of electric charge stored in the cell capacitor included in the memory cell is changed.

또한, 워드 라인이 활성화 상태와 비활성화 상태를 토글하면서 발생한 전자기파가 인접한 워드 라인에 연결된 메모리 셀의 셀 캐패시터에 전자를 유입시키거나 셀 캐패시터로부터 전자를 유출시킴으로써 데이터를 손상시킨다.In addition, electromagnetic waves generated while the word line toggles an active state and an inactive state cause data to be corrupted by introducing electrons into or outflowing electrons from the cell capacitor of a memory cell connected to an adjacent word line.

이와 같이, 높은 활성화 횟수로 인하여 해당 로우 또는 그 주변 로우에 접속된 메모리 셀의 데이터가 손상되는 현상을 로우 해머링이라고 하며 워드 라인 디스터번스 현상이라도고 한다. As described above, a phenomenon in which data of a memory cell connected to a corresponding row or a neighboring row is damaged due to a high number of activations is called row hammering and is also called a word line disturbance phenomenon.

이러한 로우 해머링 현상을 방지하기 위하여 워드 라인마다 카운터를 구비하고 기설정된 횟수 이상 활성화되는 워드 라인에 대하여 추가적으로 리프레쉬 동작을 수행하는 방안을 생각할 수 있다. In order to prevent such row hammering, it is possible to provide a counter for each word line and additionally perform a refresh operation on a word line that is activated more than a preset number of times.

그러나, 이러한 경우 각각의 워드 라인에 대응하여 카운터가 구비되어야 하기 때문에 많은 면적을 차지한다. 또한, 카운터를 구비하는 방식은 메모리 셀의 데이터가 열화되었는지 여부를 직접적으로 검출하는 것이 아니라, 외부 주소를 카운팅한 값으로부터 메모리 셀의 데이터의 열화 여부를 간접적으로 추정하는 것에 불과하기 때문에, 그 결과가 부정확할 수 있다.However, in this case, since a counter must be provided corresponding to each word line, it occupies a large area. In addition, since the method of including the counter does not directly detect whether the data of the memory cell is deteriorated, but only indirectly estimates whether the data of the memory cell is deteriorated from the value counted by the external address, the result may be inaccurate.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액세스 검출 장치를 포함하는 반도체 장치의 구성도이다.2 is a block diagram of a semiconductor device including an access detection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치는 액세스 검출 장치(100)와 메모리 셀(200)을 구비하며, 액세스 검출 장치(100)는 액세스 검출용 캐패시터 C_DET와 제어부(300)를 포함한다.Referring to FIG. 2 , a semiconductor device according to an embodiment of the present invention includes an access detection apparatus 100 and a memory cell 200 , and the access detection apparatus 100 includes an access detection capacitor C_DET and a controller 300 . includes

메모리 셀(200)은 도 1과 관련하여 설명한 바와 같이 데이터가 저장되는 셀 캐패시터 C_CELL와 셀 트랜지스터 TR_CELL로 구성된다. 셀 트랜지스터 TR_CELL는 워드 라인 WL에 연결된다. 셀 캐패시터 C_CELL는 셀 트랜지스터 TR_CELL를 통해 비트 라인 BL에 연결된다.As described with reference to FIG. 1 , the memory cell 200 includes a cell capacitor C_CELL in which data is stored and a cell transistor TR_CELL. Cell transistor TR_CELL is coupled to word line WL. Cell capacitor C_CELL is connected to bit line BL through a cell transistor TR_CELL.

워드 라인 WL에 액티브 신호가 인가되어 워드 라인 WL의 전위가 소정의 전위, 예를 들어 VPP로 승압되면, 셀 트랜지스터 TR_CELL가 인에이블된다. 이에 따라, 리드(read) 커맨드의 입력시에는 셀 캐패시터 C_CELL에 저장된 데이터가 비트 라인 BL으로 전달되어 출력되며, 라이트(write) 커맨드의 입력시에는 비트 라인 BL을 통해 입력된 데이터가 셀 캐패시터 C_CELL에 저장된다.When an active signal is applied to the word line WL and the potential of the word line WL is boosted to a predetermined potential, for example, VPP, the cell transistor TR_CELL is enabled. Accordingly, when a read command is input, data stored in the cell capacitor C_CELL is transferred to and outputted to the bit line BL, and when a write command is input, data input through the bit line BL is transferred to the cell capacitor C_CELL. is saved

액세스 검출용 캐패시터 C_DET는 워드 라인 WL 및 접지 전압의 사이에 위치한다. 따라서, 워드 라인 WL이 VPP로 인에이블되면, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET에도 VPP가 인가되어 액세스 검출용 캐패시터 C_DET가 충전된다. 워드 라인 WL이 액세스될 때마다 액세스 검출용 캐패시터 C_DET에는 전하가 충전되므로, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 전위는 워드 라인 WL의 액세스 횟수에 비례하게 된다.The access detection capacitor C_DET is located between the word line WL and the ground voltage. Accordingly, when the word line WL is enabled with VPP, VPP is also applied to the access detection capacitor C_DET to charge the access detection capacitor C_DET. Each time the word line WL is accessed, an electric charge is charged in the access detection capacitor C_DET, so that the potential of the access detection capacitor C_DET is proportional to the number of accesses of the word line WL.

제어부(300)는 액세스 검출용 캐패시터 C_DET에 연결되어, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 전위를 검출하여 그에 따른 결과를 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG로서 출력한다. The control unit 300 is connected to the access detection capacitor C_DET, detects the potential of the access detection capacitor C_DET, and outputs the result as a low hammering flag signal RH_FLAG.

또한, 제어부(300)는 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG를 인에이블시킨 후에, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET에 충전된 전하를 방전시킬 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시하지는 않았지만, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 양단에 스위치를 구비하고, 제어부(300)는 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG가 인에이블되면 상기 스위치를 온 시킴으로써, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET에 충전된 전하를 방전시킬 수 있다.Also, after enabling the low hammering flag signal RH_FLAG, the controller 300 may discharge charges charged in the access detection capacitor C_DET. For example, although not shown in FIG. 2, a switch is provided at both ends of the access detection capacitor C_DET, and the control unit 300 turns on the switch when the low hammering flag signal RH_FLAG is enabled. Charged charges can be discharged.

이하, 제어부(300)의 구체예에 대하여 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.Hereinafter, a specific example of the control unit 300 will be described with reference to FIGS. 3 and 4 .

도 3은 도 2의 제어부(300)에 대한 상세 구성도이다.3 is a detailed configuration diagram of the control unit 300 of FIG. 2 .

도 3의 제어부(300)는 스위칭부(310), 센싱부(320) 및 비교부(330)를 포함한다.The control unit 300 of FIG. 3 includes a switching unit 310 , a sensing unit 320 , and a comparison unit 330 .

스위칭부(310)는 액세스 검출용 캐패시터 C_DET와 센싱부(320)를 연결 또는 분리하는 기능을 수행한다. 예를 들어, 스위칭부(310)는 워드 라인 인에이블 신호 WL_EN에 의해 제어되도록 구성될 수 있다. The switching unit 310 connects or disconnects the access detection capacitor C_DET and the sensing unit 320 . For example, the switching unit 310 may be configured to be controlled by the word line enable signal WL_EN.

구체적으로, 워드 라인 인에이블 신호 WL_EN가 인에이블되면, 스위치(310)가 오프된다. 이에 따라, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET가 충전된다. 이때, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET는 센싱부(320)와 연결되지 않기 때문에, 센싱부(320)는 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 전압을 센싱하지 않는다.Specifically, when the word line enable signal WL_EN is enabled, the switch 310 is turned off. Accordingly, the capacitor C_DET for access detection is charged. In this case, since the access detection capacitor C_DET is not connected to the sensing unit 320 , the sensing unit 320 does not sense the voltage of the access detection capacitor C_DET.

또한, 워드 라인 인에이블 신호 WL_EN가 디스에이블되면, 스위치(310)가 온된다. 이에 따라, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET와 센싱부(320)가 연결되어, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 전위가 센싱부(320)에 전달된다. Also, when the word line enable signal WL_EN is disabled, the switch 310 is turned on. Accordingly, the access detection capacitor C_DET and the sensing unit 320 are connected, and the potential of the access detection capacitor C_DET is transmitted to the sensing unit 320 .

즉, 본 실시예에서는 스위칭부(310)가 워드 라인 인에이블 신호 WL_EN를 반전시킨 값에 따라 제어되도록 한다. 이에 따라, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET를 센싱하는 동안에는 액세스 검출용 캐패시터 C_DET이 충전이 이루어지지 않도록 할 수 있다. That is, in the present embodiment, the switching unit 310 is controlled according to a value obtained by inverting the word line enable signal WL_EN. Accordingly, it is possible to prevent the access detection capacitor C_DET from being charged while sensing the access detection capacitor C_DET.

또한, 스위칭부(310)는, 워드 라인 인에이블 신호가 아닌, 타이밍을 조절 가능한 다른 제어 신호에 의해 제어되도록 구성될 수도 있다. 전술한 바와 같이, 스위칭부(310)가 워드 라인 인에이블 신호 WL_EN를 반전시킨 값에 따라 제어되도록 하면, 스위칭부(310)는 워드 라인이 인에이블될 때마다 센싱부(320)에 연결된다. 따라서, 센싱부(320)는 워드 라인이 인에이블될 때마다 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 전위를 검출하게 된다. 이 경우, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 전위가 기준치에 도달하지 않았음에도 잦은 센싱으로 불필요한 전력 낭비가 될 수도 있다.Also, the switching unit 310 may be configured to be controlled by other control signals capable of adjusting timing, rather than the word line enable signal. As described above, if the switching unit 310 is controlled according to the inverted value of the word line enable signal WL_EN, the switching unit 310 is connected to the sensing unit 320 whenever the word line is enabled. Accordingly, the sensing unit 320 detects the potential of the access detection capacitor C_DET whenever the word line is enabled. In this case, even though the potential of the access detection capacitor C_DET does not reach the reference value, unnecessary power may be wasted due to frequent sensing.

따라서, 제어부(300)는 소정의 주기로 스위칭부(310)를 온시키기 위한 제어 신호를 발생시킬 수 있다. 이때, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET이 충전되지 않는 동안 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 전위를 검출하기 위해, 상기 스위칭부(310)를 온시키기 위한 제어 신호는 워드 라인 인에이블 신호 WL_EN가 디스에이블되는 동안만 인에이블되도록 할 수 있다. 즉, 스위칭부(310)를 온시키기 위한 제어 신호는, 소정의 주기와, 워드 라인 인에이블 신호 WL_EN를 모두 고려하여 생성할 수 있다.Accordingly, the control unit 300 may generate a control signal for turning on the switching unit 310 at a predetermined cycle. At this time, in order to detect the potential of the access detection capacitor C_DET while the access detection capacitor C_DET is not charged, the control signal for turning on the switching unit 310 is activated only while the word line enable signal WL_EN is disabled. can be enabled. That is, the control signal for turning on the switching unit 310 may be generated in consideration of both a predetermined period and the word line enable signal WL_EN.

스위칭부(310)에 의해 센싱부(320)가 액세스 검출용 캐패시터 C_DET에 연결되면, 센싱부(320)는 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 전위 V_C_DET를 센싱하여 비교부(330)에 출력하는 기능을 수행한다.When the sensing unit 320 is connected to the access detection capacitor C_DET by the switching unit 310 , the sensing unit 320 senses the potential V_C_DET of the access detection capacitor C_DET and outputs to the comparator 330 . do.

비교부(330)는 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 전위 V_C_DET와 기설정된 값 V_REF을 비교한다. 그리고, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 전위 V_C_DET가 기설정된 값 V_REF보다 크면, 로우 해머링의 발생 여부를 나타내는 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG를 인에이블시킨다.The comparison unit 330 compares the potential V_C_DET of the access detection capacitor C_DET with a preset value V_REF. Then, when the potential V_C_DET of the access detection capacitor C_DET is greater than the preset value V_REF, the low hammering flag signal RH_FLAG indicating whether low hammering occurs is enabled.

이후의 과정을 도면에 도시하지는 않았지만, 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG가 인에이블되면, 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG가 인에이블된 워드 라인 WL에 대해 리프레시를 수행함으로써 로우 해머링에 의한 데이터의 왜곡이 방지될 수 있다.Although the subsequent process is not shown in the drawings, when the low hammering flag signal RH_FLAG is enabled, the data distortion due to the row hammering can be prevented by performing refreshing on the word line WL in which the row hammering flag signal RH_FLAG is enabled. .

도 4는 도 2의 제어부(300)에 대한 다른 상세 구성도이다.FIG. 4 is another detailed configuration diagram of the control unit 300 of FIG. 2 .

도 4의 제어부(300')는 스위칭부(310), 센싱부(320), 아날로드-디지털 변환부(340), 비교부(330')를 포함한다.The control unit 300 ′ of FIG. 4 includes a switching unit 310 , a sensing unit 320 , an analog-to-digital conversion unit 340 , and a comparison unit 330 ′.

스위칭부(310), 센싱부(320)는 도 3의 스위칭부(310), 센싱부(320)와 동일하므로 이에 대한 설명은 생략한다.Since the switching unit 310 and the sensing unit 320 are the same as the switching unit 310 and the sensing unit 320 of FIG. 3 , a description thereof will be omitted.

아날로그-디지털 변환부(340)는 센싱부(320)로부터 출력된 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 전위 V_C_DET를 소정의 비트수로 디지털화한 값 V_C_DET'을 출력한다. The analog-to-digital conversion unit 340 outputs a value V_C_DET' obtained by digitizing the potential V_C_DET of the access detection capacitor C_DET output from the sensing unit 320 by a predetermined number of bits.

비교부(330')는 디지털화된 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 전위 V_C_DET'를 기설정된 디지털화된 값 V_REF'과 비교하여, 디지털화된 액세스 검출용 캐패시터 C_DET의 전위 V_C_DET'가 기설정된 디지털화된 값 V_REF' 보다 크면, 로우 해머링의 발생 여부를 나타내는 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG를 활성화시킨다.The comparator 330' compares the potential V_C_DET' of the digitized access detection capacitor C_DET with a preset digitized value V_REF', so that the potential V_C_DET' of the digitized access detection capacitor C_DET is higher than the preset digitized value V_REF'. If it is large, the row hammering flag signal RH_FLAG indicating whether row hammering has occurred is activated.

이후, 도 3에서와 마찬가지로, 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG가 활성화되면, 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG가 활성화된 워드 라인 WL에 대해 리프레시를 수행함으로써 로우 해머링에 의한 데이터의 왜곡이 방지될 수 있다.Thereafter, as in FIG. 3 , when the row hammering flag signal RH_FLAG is activated, the word line WL in which the low hammering flag signal RH_FLAG is activated is refreshed, thereby preventing data distortion due to row hammering.

이러한 구조의 반도체 장치에 의하면, 워드 라인 WL마다 카운터를 구비하는 대신에 단순한 구조의 액세스 검출용 커패시터 C_DET를 부가함으로써, 워드 라인 WL의 액세스 횟수가 인용 한도를 넘었는지를 직접적으로 검출할 수 있다. 이에 따라, 인용 한도를 초과한 워드 라인 WL에 대해 리프레시를 수행함으로써 로우 해머링에 의해 데이터의 왜곡을 방지할 수 있다.According to the semiconductor device having such a structure, by adding a capacitor C_DET for access detection having a simple structure instead of providing a counter for each word line WL, it is possible to directly detect whether the number of accesses of the word line WL exceeds the quoting limit. Accordingly, it is possible to prevent data distortion due to row hammering by performing refresh on the word line WL exceeding the quoting limit.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액세스 검출 장치를 포함하는 반도체 장치의 구성도이다.5 is a block diagram of a semiconductor device including an access detection apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 5의 반도체 장치는, 복수의 워드 라인 WL과, 워드 라인 WL에 각각 연결된 메모리 셀 CELL과, 워드 라인 WL과 연결된 액세스 검출 장치(100_0~100_N)를 포함한다.The semiconductor device of FIG. 5 includes a plurality of word lines WL, memory cells CELL respectively connected to the word lines WL, and access detection devices 100_0 to 100_N connected to the word lines WL.

액세스 검출 장치(100_0~100_N)는 4개의 워드 라인 WL(워드 라인 그룹)마다 하나씩 구비된다. 액세스 검출 장치(100_0~100_N)의 각각은 액세스 검출용 캐패시터(C_DET_0~C_DET_N)와, 당해 액세스 검출용 캐패시터(C_DET_0~C_DET_N)에 각각 연결된 제어부(300_0~300_N)를 포함한다.One access detection device 100_0 to 100_N is provided for every four word lines WL (word line group). Each of the access detection apparatuses 100_0 to 100_N includes an access detection capacitor (C_DET_0 to C_DET_N) and a control unit 300_0 to 300_N respectively connected to the access detection capacitor (C_DET_0 to C_DET_N).

다시 말해, 도 2의 액세스 검출 장치(100)가 한 개의 워드 라인 WL에 대해 연결되는 것과는 달리, 도 5의 액세스 검출 장치(100_0~100_N)의 각각은, 4개의 워드 라인(워드 라인 그룹)에 대해 연결되어 있다.In other words, unlike the access detection apparatus 100 of FIG. 2 connected for one word line WL, each of the access detection apparatuses 100_0 to 100_N of FIG. 5 is connected to four word lines (word line groups). is connected to

이러한 구성을 갖는 도 5의 반도체 장치에 의하면, 액세스 검출용 캐패시터 C_DET_0~C_DET_N가 연결되어 있는 4개의 워드 라인(워드 라인 그룹) 중 적어도 어느 하나가 인에이블되면 액세스 검출용 캐패시터 C_DET_0~C_DET_N가 충전된다. According to the semiconductor device of FIG. 5 having such a configuration, when at least one of the four word lines (word line groups) to which the access detection capacitors C_DET_0 to C_DET_N are connected is enabled, the access detection capacitors C_DET_0 to C_DET_N are charged .

제어부(300_0~300_N)는 대응하는 액세스 검출용 캐패시터 C_DET_0~C_DET_N의 전위를 센싱한다. 그리고, 그 전위가 소정의 기준치보다 크면, 그룹 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG_0~RH_FLAG_N를 인에이블시킨다. The controllers 300_0 to 300_N sense potentials of the corresponding access detection capacitors C_DET_0 to C_DET_N. Then, when the potential is greater than a predetermined reference value, the group row hammering flag signals RH_FLAG_0 to RH_FLAG_N are enabled.

이때, 각 액세스 검출용 캐패시터 C_DET_0~C_DET_N에는 4개의 워드 라인(워드 라인 그룹)이 연결되어 있기 때문에, 도 2의 실시예에 비해 충전 속도가 빠를 수 있다. 따라서, 도 2의 실시예에 비해 액세스 검출용 캐패시터 C_DET_0~C_DET_N의 전위를 센싱하는 주기를 길게 하거나, 그룹 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG_0~RH_FLAG_N를 인에이블시키는 기준치를 높게 설정할 수 있다. 또는 도 2의 실시예에 비해 주기나 기준치를 낮게 설정할 수도 있다.In this case, since four word lines (word line groups) are connected to each of the access detection capacitors C_DET_0 to C_DET_N, the charging speed may be faster than in the embodiment of FIG. 2 . Therefore, compared to the embodiment of FIG. 2 , the period for sensing the potentials of the access detection capacitors C_DET_0 to C_DET_N may be lengthened, or the reference value for enabling the group row hammering flag signals RH_FLAG_0 to RH_FLAG_N may be set higher. Alternatively, a period or a reference value may be set lower than in the embodiment of FIG. 2 .

이후, 도면에 도시하지는 않았지만, 그룹 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG_0~RH_FLAG_N가 인에이블되면, 당해 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG_0~RH_FLAG_N가 인에이블된 액세스 검출 장치 100_0~100_N에 연결된 4개의 워드 라인 전체에 대해 리프레시를 수행한다.Thereafter, although not shown in the drawing, when the group row hammering flag signals RH_FLAG_0 to RH_FLAG_N are enabled, refresh is performed on all four word lines connected to the access detection devices 100_0 to 100_N in which the row hammering flag signals RH_FLAG_0 to RH_FLAG_N are enabled. carry out

그리고, 제어부(300_0~300_N)는 액세스 검출용 캐패시터 C_DET_0~C_DET_N를 방전시켜, 다음 주기동안 액세스 검출용 캐패시터 C_DET_0~C_DET_N가 충전될 수 있도록 준비시킨다.Then, the control unit 300_0 to 300_N discharges the access detection capacitors C_DET_0 to C_DET_N to prepare the access detection capacitors C_DET_0 to C_DET_N to be charged during the next cycle.

본 실시예의 반도체 장치에 의하면, 복수의 워드 라인에 대해 하나의 액세스 검출용 캐패시터만을 설치하기 때문에, 어느 워드 라인에 로우 해머링이 발생할 위험이 있는지 정확히 알 수는 없어, 실제로는 로우 해머링에 의한 데이터 왜곡이 발생할 가능성이 적은 워드 라인에 대해서도 리프레시가 수행될 수 있다. According to the semiconductor device of this embodiment, since only one access detection capacitor is provided for a plurality of word lines, it is impossible to know exactly which word line is in danger of low hammering, and in fact, data distortion due to low hammering The refresh may also be performed on a word line that is less likely to occur.

그러나, 로우 해머링 현상은 인접한 워드 라인 사이에서 발생한다. 따라서, 워드 라인별로 액세스 정도를 검출하고 리프레시를 수행하는 것보다, 인접하는 복수의 워드 라인에 대해 함께 리프레시를 행하는 것이 효율적일 수 있다. 또한, 복수의 워드 라인에 대해 하나의 액세스 검출용 캐패시터만을 설치하기 때문에, 캐패시터 및 제어부를 설치하는 데 드는 면적을 감소시킬 수 있다. However, row hammering occurs between adjacent word lines. Accordingly, it may be more efficient to perform the refresh on a plurality of adjacent word lines together, rather than detecting the access level for each word line and performing the refresh. In addition, since only one access detection capacitor is provided for a plurality of word lines, the area required for installing the capacitor and the control unit can be reduced.

본 실시예에서 각 액세스 검출 장치 100_0~100_N에 연결되는 4개의 워드 라인이 연결되는 것에 설명하였다. 그러나, 이는 예시에 불과하며, 각 액세스 검출 장치 100_0~100_N에 연결되는 워드 라인의 개수는 다양하게 설정 가능하다. In the present embodiment, it has been described that four word lines connected to each access detection device 100_0 to 100_N are connected. However, this is only an example, and the number of word lines connected to each access detection device 100_0 to 100_N may be variously set.

이때, 각 액세스 검출 장치 100_0~100_N에 연결되는 워드 라인의 수가 많아지면, 캐패시터 및 제어부의 설치 면적은 감소한다. 그러나, 로우 해머링의 발생 가능성이 적은 워드 라인에 대해서도 리프레시가 수행되기 때문에 리프레시 수행 시간이 증가하여 효율은 저하된다. 따라서, 각 액세스 검출 장치 100_0~100_N에 연결되는 워드 라인의 개수는 설치 면적과 제품의 효율을 고려하여 적절한 값으로 설정되어야 할 것이다.In this case, as the number of word lines connected to each access detection device 100_0 to 100_N increases, the installation area of the capacitor and the controller decreases. However, since the refresh is performed even for a word line that is less likely to cause row hammering, the refresh execution time increases, thereby reducing efficiency. Accordingly, the number of word lines connected to each access detection device 100_0 to 100_N should be set to an appropriate value in consideration of an installation area and product efficiency.

또한, 각 액세스 검출 장치 100_0~100_N 내의 제어부 300_0~300_N에서 그룹 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG_0~RH_FLAG_N를 발생시키기 위한 기준치를 상이하게 설정할 수 있다. 예를 들어, 테스트시 장치 특성상 어느 그룹에 대해 로우 해머링의 발생 가능성이 높다면, 그 그룹에 대해서는 로우 해머링 플래그 신호를 발생시키는 기준치를 낮게 설정할 수 있다.In addition, different reference values for generating the group row hammering flag signals RH_FLAG_0 to RH_FLAG_N in the controllers 300_0 to 300_N in each of the access detection devices 100_0 to 100_N may be set differently. For example, if there is a high probability of low hammering in a group due to the characteristics of the device during testing, the reference value for generating the low hammering flag signal for the group may be set low.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액세스 검출 장치를 포함하는 반도체 장치의 구성도이다.6 is a block diagram of a semiconductor device including an access detection apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 6의 반도체 장치는, 복수의 워드 라인 WL과, 워드 라인 WL에 각각 연결된 메모리 셀 CELL과, 복수의 워드 라인 WL에 연결된 액세스 검출 장치(100_0'~100_N')를 포함한다.The semiconductor device of FIG. 6 includes a plurality of word lines WL, memory cells CELL respectively connected to the word lines WL, and access detection devices 100_0' to 100_N' connected to the plurality of word lines WL.

액세스 검출 장치(100_0'~100_N')의 각각은 복수의 워드 라인 WL(워드 라인 그룹)에 연결된 액세스 검출용 캐패시터 C_DET_0'~C_DET_N'와, 당해 액세스 검출용 캐패시터 C_DET_0'~C_DET_N'에 각각 연결된 제어부(300_0'~300_N')를 포함한다. 구체적으로, 액세스 검출 장치(100_0')는 k개의 워드 라인(제1 워드 라인 그룹)에 연결되어 있으며, 액세스 검출 장치(100_1')는 m개의 워드 라인(제2 워드 라인 그룹)에 연결되어 있으며, 액세스 검출 장치(100_N')는 n개의 워드 라인(제N+1 워드 라인 그룹)에 연결되어 있다. Each of the access detection devices 100_0' to 100_N' has access detection capacitors C_DET_0' to C_DET_N' connected to a plurality of word lines WL (word line group), and a control unit connected to the access detection capacitors C_DET_0' to C_DET_N', respectively. (300_0'~300_N'). Specifically, the access detection apparatus 100_0' is connected to k word lines (first word line group), and the access detection apparatus 100_1' is connected to m word lines (second word line group), and , the access detection apparatus 100_N' is connected to n word lines (N+1th word line group).

다시 말해, 도 5의 반도체 장치의 액세스 검출 장치(100_0~100_N)의 각각이 동일한 개수의 워드 라인에 연결되었던 것과는 달리, 도 6의 반도체 장치의 액세스검출 장치(100_0'~100_N')의 각각은, 상이한 개수의 워드 라인에 연결되어 있다.In other words, unlike each of the access detecting devices 100_0 to 100_N of the semiconductor device of FIG. 5 is connected to the same number of word lines, each of the access detecting devices 100_0' to 100_N' of the semiconductor device of FIG. 6 is , connected to a different number of word lines.

이에 따라, 장치의 면적, 로우 해머링이 발생하는 범위, 리프레시로 인한 장치의 효율 저하 등을 고려하여, 액세스 검출 장치(100_0'~100_N')에 연결되는 워드 라인 WL의 개수를 유연하게 설정할 수 있다.Accordingly, the number of word lines WL connected to the access detection devices 100_0' to 100_N' can be flexibly set in consideration of the area of the device, the range in which row hammering occurs, and the reduction in device efficiency due to refresh. .

이때, 각 액세스 검출 장치(100_0'~100_N') 내의 제어부(300_0'~300_N')에서 그룹 로우 해머링 플래그 신호 RH_FLAG_0'~RH_FLAG_N'를 발생시키기 위한 기준치를 상이하게 설정할 수 있다. 예를 들어, 상기 기준치는 각 그룹의 크기 Group_0'~Group_N'에 비례하도록 설정될 수 있다. In this case, the reference values for generating the group row hammering flag signals RH_FLAG_0' to RH_FLAG_N' in the control units 300_0' to 300_N' in each of the access detection devices 100_0' to 100_N' may be set differently. For example, the reference value may be set to be proportional to the size of each group Group_0' to Group_N'.

도면에 도시하지는 않았지만, 액세스 검출 장치가 연결되는 워드 라인의 개수를, 일부는 동일하게 하고, 일부는 상이하게 하는 것도 가능하다.Although not shown in the drawings, the number of word lines to which the access detection device is connected may be partially made the same and some may be different.

액세스 검출 장치가 연결되는 워드 라인의 개수와, 액세스 검출 장치에서 사용되는 기준치는 전술한 사항에 한정되지 않으며, 다양한 방법으로 설정 가능하다.The number of word lines to which the access detecting device is connected and the reference value used in the access detecting device are not limited to the above, and may be set in various ways.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액세스 검출 장치를 포함하는 반도체 시스템의 구성도이다.7 is a block diagram of a semiconductor system including an access detection apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이, 반도체 시스템은 호스트(3) 및 반도체 장치(1)를 포함할 수 있고, 반도체 장치(1)는 메모리 컨트롤러(20) 및 메모리(10)를 포함할 수 있다. 7 , the semiconductor system may include a host 3 and a semiconductor device 1 , and the semiconductor device 1 may include a memory controller 20 and a memory 10 .

호스트(3)는 메모리(10)를 액세스하기 위해 메모리 컨트롤러(20)로 리퀘스트 및 데이터를 전송할 수 있다. 호스트(3)는 메모리(10)에 데이터를 저장시키기 위해 데이터를 메모리 컨트롤러(20)로 전송할 수 있다. 또한, 호스트(3)는 메모리 컨트롤러(20)를 통해 메모리(10)로부터 출력된 데이터를 수신할 수 있다. 메모리 컨트롤러(20)는 리퀘스트에 응답하여 데이터 정보, 어드레스 정보, 메모리 설정 정보, 라이트 리퀘스트, 리드 리퀘스트 등을 메모리(10)에 제공하여 라이트 또는 리드 동작이 수행되도록 메모리(10)를 제어할 수 있다. 메모리 컨트롤러(20)는 호스트(3)와 메모리(10) 사이의 통신을 중계할 수 있다. 메모리 컨트롤러(20)는 호스트(3)로부터 리퀘스트와 데이터를 수신하고, 메모리(10)의 동작을 제어하기 위하여 데이터(DQ), 데이터 스트로브(DQS), 커맨드(CMD), 메모리 어드레스 신호(ADD) 및 클럭신호(CLK)등을 생성하여 메모리(10)로 제공할 수 있다. 또한, 메모리 컨트롤러(20)는 메모리(10)로부터 출력된 데이터(DQ) 및 데이터 스트로브(DQS)를 호스트(3)로 제공할 수 있다.The host 3 may transmit a request and data to the memory controller 20 to access the memory 10 . The host 3 may transmit data to the memory controller 20 to store the data in the memory 10 . Also, the host 3 may receive data output from the memory 10 through the memory controller 20 . The memory controller 20 may control the memory 10 to perform a write or read operation by providing data information, address information, memory setting information, a write request, a read request, etc. to the memory 10 in response to the request. . The memory controller 20 may relay communication between the host 3 and the memory 10 . The memory controller 20 receives a request and data from the host 3 and controls the operation of the memory 10 with data DQ, data strobe DQS, command CMD, and a memory address signal ADD. and a clock signal CLK may be generated and provided to the memory 10 . Also, the memory controller 20 may provide the data DQ and the data strobe DQS output from the memory 10 to the host 3 .

메모리(10) 내에는 전술한 액세스 검출 장치(100)가 포함될 수 있다. 이에 따라, 메모리 컨트롤러(20)로부터 메모리 어드레스 신호(ADD)가 입력되어 이에 해당하는 워드 라인이 인에이블되면, 당해 워드 라인에 연결된 액세스 검출 장치(100) 내의 액세스 검출용 캐패시터가 충전된다. 워드 라인의 액세스 횟수가 증가하여 상기 액세스 검출용 캐패시터의 전하량이 증가하고, 이에 따라 액세스 검출용 캐패시터의 전위가 소정의 기준치 이상이 되면, 액세스 검출 장치(100)는 로우 해머링 플래그 신호를 인에이블시킨다. 이에 따라, 당해 워드 라인에 대해 리프레시가 수행된다.The above-described access detection apparatus 100 may be included in the memory 10 . Accordingly, when the memory address signal ADD is input from the memory controller 20 and a corresponding word line is enabled, the access detection capacitor in the access detection apparatus 100 connected to the corresponding word line is charged. When the number of accesses of the word line increases and the charge amount of the access detection capacitor increases, and accordingly, when the potential of the access detection capacitor becomes equal to or greater than a predetermined reference value, the access detection apparatus 100 enables the low hammering flag signal. . Accordingly, refresh is performed on the word line.

도 7에서는 액세스 검출 장치(100)가 메모리(10) 내에 포함되는 것으로 도시하였지만, 액세스 검출 캐패시터는 메모리(10) 내에 위치하고, 제어부는 메모리 컨트롤러(20)에 위치할 수도 있다.Although the access detection apparatus 100 is illustrated as being included in the memory 10 in FIG. 7 , the access detection capacitor may be located in the memory 10 , and the control unit may be located in the memory controller 20 .

도 7에서는 호스트(3)와 메모리 컨트롤러(20)를 물리적으로 분리된 구성으로 도시되었으나, 메모리 컨트롤러(20)가 호스트(3)의 중앙처리장치(CPU), 애플리케이션 프로세서(AP), 그래픽처리장치(GPU)와 같은 프로세서에 포함(내장)되거나 SoC(System On Chip)의 형태로 이들 프로세서들과 함께 하나의 칩으로 구현될 수 있다. In FIG. 7 , the host 3 and the memory controller 20 are physically separated, but the memory controller 20 is a central processing unit (CPU), an application processor (AP), and a graphic processing unit of the host 3 . It may be included (embedded) in a processor such as (GPU) or implemented as a single chip together with these processors in the form of an SoC (System On Chip).

메모리(10)는 적어도 하나의 액세스 검출 장치(100)를 포함하며, 메모리 컨트롤러(20)로부터 커맨드(CMD), 메모리 어드레스 신호(ADD), 데이터(DQ), 데이터 스트로브(DQS) 및 클럭 신호(CLK) 등을 수신하고, 신호들에 기초하여 데이터 수신 동작을 수행할 수 있다.The memory 10 includes at least one access detection device 100 , and includes a command CMD, a memory address signal ADD, data DQ, a data strobe DQS, and a clock signal from the memory controller 20 . CLK) and the like, and a data reception operation may be performed based on the signals.

메모리(10)는 복수의 메모리 뱅크를 포함할 수 있고, 메모리 어드레스 신호(ADD)에 기초하여 데이터(DQ)를 메모리의 뱅크 중 특정 영역에 저장할 수 있다. 또한, 메모리(10)는 메모리 컨트롤러(20)로부터 수신된 커맨드(CMD) 및 메모리 어드레스 신호(ADD)와 데이터 스트로브(DQS) 등에 기초하여 데이터 송신 동작을 수행할 수 있다. 메모리는 메모리 어드레스 신호(ADD), 데이터(DQ) 및 데이터 스트로브(DQS)에 기초하여 메모리 뱅크 중의 특정 영역에 저장된 데이터를 메모리 컨트롤러(20)로 송신할 수 있다. The memory 10 may include a plurality of memory banks, and may store the data DQ in a specific area among the banks of the memory based on the memory address signal ADD. Also, the memory 10 may perform a data transmission operation based on the command CMD received from the memory controller 20 , the memory address signal ADD, the data strobe DQS, and the like. The memory may transmit data stored in a specific region of the memory bank to the memory controller 20 based on the memory address signal ADD, the data DQ, and the data strobe DQS.

이상에서 설명한 본 발명이 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It is common in the technical field to which the present invention pertains that the present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications and changes are possible within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be clear to those who have the knowledge of

Claims (20)

메모리 셀에 연결된 워드 라인에 연결되는 액세스 검출용 캐패시터; 및
상기 액세스 검출용 캐패시터의 전압을 감지하여, 상기 액세스 검출용 캐패시터의 전압이 기준치 이상이면 플래그를 발생시키는 제어부;
를 포함하고,
상기 액세스 검출용 캐패시터는 상기 워드 라인이 인에이블되면 충전되는 액세스 검출 장치.
a capacitor for access detection coupled to the word line coupled to the memory cell; and
a control unit sensing a voltage of the access detection capacitor and generating a flag when the voltage of the access detection capacitor is equal to or greater than a reference value;
including,
The access detection capacitor is charged when the word line is enabled.
◈청구항 2은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈◈Claim 2 was abandoned when paying the registration fee.◈ 제1항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 액세스 검출용 캐패시터의 전압을 감지하는 센싱부; 및
상기 액세스 검출용 캐패시터의 전압이 기준치 이상이면 상기 플래그를 발생시키는 비교부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 액세스 검출 장치.
The method of claim 1,
The control unit is
a sensing unit sensing a voltage of the access detection capacitor; and
a comparator for generating the flag when the voltage of the access detection capacitor is equal to or greater than a reference value;
Access detection device comprising a.
◈청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈◈Claim 3 was abandoned when paying the registration fee.◈ 제2항에 있어서, 상기 제어부는,
상기 워드 라인을 인에이블시키는 워드 라인 인에이블 신호에 기초하여, 상기 액세스 검출용 캐패시터와 상기 센싱부의 사이를 연결 또는 분리시키는 스위칭부
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액세스 검출 장치.
According to claim 2, wherein the control unit,
A switching unit connecting or disconnecting the access detection capacitor and the sensing unit based on a word line enable signal enabling the word line
Access detection apparatus further comprising a.
◈청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈◈Claim 4 was abandoned when paying the registration fee.◈ 제3항에 있어서,
상기 스위칭부는, 상기 워드 라인 인에이블 신호가 인에이블되면 상기 액세스 검출용 캐패시터와 상기 센싱부의 사이를 분리시키는 것을 특징으로 하는 액세스 검출 장치.
4. The method of claim 3,
and the switching unit separates the access detection capacitor from the sensing unit when the word line enable signal is enabled.
◈청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈◈Claim 5 was abandoned when paying the registration fee.◈ 제3항에 있어서,
상기 스위칭부는, 상기 워드 라인 인에이블 신호가 디스에이블되면 상기 액세스 검출용 캐패시터와 상기 센싱부의 사이를 연결시키는 것을 특징으로 하는 액세스 검출 장치.
4. The method of claim 3,
and the switching unit connects the access detection capacitor and the sensing unit when the word line enable signal is disabled.
◈청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈◈Claim 6 was abandoned when paying the registration fee.◈ 제5항에 있어서,
상기 센싱부는, 상기 워드 라인 인에이블 신호가 디스에이블되면, 상기 액세스 검출용 캐패시터의 전위를 감지하는 것을 특징으로 하는 액세스 검출 장치.
6. The method of claim 5,
and the sensing unit detects a potential of the access detection capacitor when the word line enable signal is disabled.
◈청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈◈Claim 7 was abandoned when paying the registration fee.◈ 제2항에 있어서, 상기 제어부는,
상기 센싱부로부터 출력된 액세스 검출용 캐패시터의 전압을 소정의 비트수로 디지털화하는 아날로그-디지털 변환부
를 추가로 구비하고,
상기 비교부는, 상기 아날로그-디지털 변환부로부터 출력된 소정의 비트수의 전압을, 소정의 비트수로 표현된 기준치와 비교하는 것을 특징으로 하는 액세스 검출 장치.
According to claim 2, wherein the control unit,
An analog-to-digital converter that digitizes the voltage of the capacitor for access detection output from the sensing unit into a predetermined number of bits
additionally provided,
and the comparison unit compares the voltage of a predetermined number of bits output from the analog-digital conversion unit with a reference value expressed by the predetermined number of bits.
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