KR102446756B1 - Stocker - Google Patents
Stocker Download PDFInfo
- Publication number
- KR102446756B1 KR102446756B1 KR1020180054219A KR20180054219A KR102446756B1 KR 102446756 B1 KR102446756 B1 KR 102446756B1 KR 1020180054219 A KR1020180054219 A KR 1020180054219A KR 20180054219 A KR20180054219 A KR 20180054219A KR 102446756 B1 KR102446756 B1 KR 102446756B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- bracket
- shelf
- sensor
- coupling part
- stocker
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스토커는, 대상물이 탑재되도록 구성되는 선반; 선반에 탈착 가능하게 결합되는 브래킷; 및 브래킷을 선반에 고정하는 브래킷 고정 유닛을 포함하고, 브래킷 고정 유닛은, 일측으로 연장되는 로드와, 로드의 단부에 형성되며 폭에 비하여 큰 길이를 갖는 제1 체결부를 갖는 제1 부재; 및 제1 체결부의 폭에 비하여 크고 제1 체결부의 길이에 비하여 작은 폭을 갖는 삽입 슬릿과, 삽입 슬릿과 연통되고 제1 체결부가 삽입되는 제2 체결부를 갖는 제2 부재를 포함할 수 있고, 제1 부재 및 제2 부재의 사이에 선반의 일부 및 브래킷의 일부가 위치되고 제1 체결부가 제2 체결부에 삽입된 상태에서 제1 부재를 로드의 중심축을 기준으로 제2 부재에 대해 회전시키는 것에 의해 브래킷을 선반에 고정할 수 있다.A stocker according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, a shelf configured to be mounted to the object; a bracket detachably coupled to the shelf; and a bracket fixing unit for fixing the bracket to the shelf, the bracket fixing unit comprising: a rod extending to one side, and a first member formed at an end of the rod and having a first fastening portion having a length greater than the width; and an insertion slit having a width larger than the width of the first coupling part and smaller than the length of the first coupling part, and a second member communicating with the insertion slit and having a second coupling part into which the first coupling part is inserted, A part of the shelf and a part of the bracket are positioned between the first member and the second member, and in a state where the first fastening part is inserted into the second fastening part, the first member is rotated with respect to the second member with respect to the central axis of the rod. The bracket can be fixed to the shelf by means of
Description
본 발명은 대상물을 보관하면서 대상물에 대해 소정의 처리를 수행하도록 구성되는 스토커에 관한 것이다.The present invention relates to a stocker configured to perform predetermined processing on an object while storing the object.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치 등과 같은 다양한 전자/전기 장치의 제조 공정에는, 웨이퍼, 기판, 반도체 소자 등(이하, 대상물이라 한다)을 소정의 분위기 하에서 보관하면서 대상물에 대해 소정의 처리를 수행하도록 구성되는 스토커가 사용된다.In the manufacturing process of various electronic/electrical devices such as semiconductor devices or display devices, a stocker configured to perform a predetermined process on an object while storing a wafer, a substrate, a semiconductor element, etc. (hereinafter referred to as an object) under a predetermined atmosphere is used
스토커는 복수의 선반으로 구획된 복수의 구획실을 가지며, 대상물은 카세트나 트레이에 수납된 상태로 구획실 내부에 보관된다.The stocker has a plurality of compartments partitioned by a plurality of shelves, and an object is stored in the compartment in a state stored in a cassette or tray.
스토커의 내부에는 소정의 환경 및 분위기가 조성되며, 이에 따라, 대상물이 소정의 환경 및 분위기 하에서 처리될 수 있다. 그리고, 각 구획실 내에서는 구획실 내의 상태를 계측하기 위한 센서 및 센서와 연결되는 회로 기판이 구비된다.A predetermined environment and atmosphere are created inside the stocker, and accordingly, an object can be processed under a predetermined environment and atmosphere. In addition, in each compartment, a sensor for measuring a state in the compartment and a circuit board connected to the sensor are provided.
그러나, 종래의 스토커에서는, 센서 및 회로 기판 등의 부품이 나사에 의해 선반에 고정되므로, 센서 및 회로 기판 등의 부품을 선반에 고정하는 공정이 복잡하며 공정의 수가 증가하는 문제가 있다.However, in the conventional stocker, since components such as a sensor and a circuit board are fixed to a shelf by screws, the process of fixing components such as a sensor and a circuit board to the shelf is complicated, and there is a problem in that the number of steps increases.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 선반에 센서 등의 부품이 용이하게 고정될 수 있는 스토커를 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is to solve the problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a stocker in which parts such as a sensor can be easily fixed to a shelf.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스토커는, 대상물이 탑재되도록 구성되는 선반; 선반에 탈착 가능하게 결합되는 브래킷; 및 브래킷을 선반에 고정하는 브래킷 고정 유닛을 포함하고, 브래킷 고정 유닛은, 일측으로 연장되는 로드와, 로드의 단부에 형성되며 폭에 비하여 큰 길이를 갖는 제1 체결부를 갖는 제1 부재; 및 제1 체결부의 폭에 비하여 크고 제1 체결부의 길이에 비하여 작은 폭을 갖는 삽입 슬릿과, 삽입 슬릿과 연통되고 제1 체결부가 삽입되는 제2 체결부를 갖는 제2 부재를 포함할 수 있고, 제1 부재 및 제2 부재의 사이에 선반의 일부 및 브래킷의 일부가 위치되고 제1 체결부가 제2 체결부에 삽입된 상태에서 제1 부재를 로드의 중심축을 기준으로 제2 부재에 대해 회전시키는 것에 의해 브래킷을 선반에 고정할 수 있다.A stocker according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, a shelf configured to be mounted to the object; a bracket detachably coupled to the shelf; and a bracket fixing unit for fixing the bracket to the shelf, the bracket fixing unit comprising: a rod extending to one side, and a first member formed at an end of the rod and having a first fastening portion having a length greater than the width; and an insertion slit having a width larger than the width of the first coupling part and smaller than the length of the first coupling part, and a second member communicating with the insertion slit and having a second coupling part into which the first coupling part is inserted, A part of the shelf and a part of the bracket are positioned between the first member and the second member, and in a state in which the first fastening part is inserted into the second fastening part, the first member is rotated with respect to the second member with respect to the central axis of the rod. The bracket can be fixed to the shelf by means of
삽입 슬릿 및 제2 체결부는 제2 부재의 길이 방향으로 연장될 수 있다.The insertion slit and the second fastening portion may extend in a longitudinal direction of the second member.
브래킷 고정 유닛은, 제1 체결부가 제2 체결부에 삽입되고 제1 부재가 제2 부재에 대해 회전된 상태에서, 제1 부재를 고정하는 제3 부재를 더 포함할 수 있다.The bracket fixing unit may further include a third member for fixing the first member in a state in which the first coupling part is inserted into the second coupling part and the first member is rotated with respect to the second member.
제1 부재 또는 제3 부재 중 어느 하나에는 걸림홈이 형성될 수 있고, 제1 부재 또는 제3 부재 중 다른 하나에는 걸림홈에 끼워지는 걸림 돌기가 형성될 수 있다.A locking groove may be formed in any one of the first member or the third member, and a locking protrusion to be fitted into the locking groove may be formed in the other of the first member or the third member.
브래킷 고정 유닛은, 제1 체결부가 제2 체결부에 삽입되고 제1 부재가 제2 부재에 대해 회전된 상태에서, 제1 부재 및 제3 부재 사이에 개재되는 제4 부재를 더 포함할 수 있다.The bracket fixing unit may further include a fourth member interposed between the first member and the third member in a state in which the first fastening part is inserted into the second fastening part and the first member is rotated with respect to the second member. .
제4 부재는 탄성을 가질 수 있다.The fourth member may have elasticity.
본 발명의 실시예에 따른 스토커는, 브래킷에 부착되며 센서를 고정하도록 구성되는 센서 고정 유닛을 더 포함할 수 있다.The stocker according to an embodiment of the present invention may further include a sensor fixing unit attached to the bracket and configured to fix the sensor.
센서 고정 유닛은, 센서가 수용되는 공간을 제공하는 하우징과, 하우징으로부터 내측으로 돌출되어 센서의 일면에 결합되는 후크부를 포함할 수 있다.The sensor fixing unit may include a housing providing a space in which the sensor is accommodated, and a hook portion protruding inward from the housing and coupled to one surface of the sensor.
본 발명의 실시예에 따른 스토커에 따르면, 제1 부재 및 제2 부재 사이에 선반의 일부 및 브래킷의 일부가 위치되고 제1 부재의 제1 체결부가 제2 부재의 제2 체결부에 삽입된 상태에서 제1 부재를 제2 부재에 대해 소정의 각도로 회전시키는 것에 제1 부재가 제2 부재에 체결될 수 있으며, 이에 따라, 브래킷이 선반에 고정될 수 있다. 따라서, 브래킷을 선반에 고정하기 위해 나사를 사용하는 방식에 비하여, 브래킷을 고정하거나 분해하기 위한 구성 및 과정을 단순화할 수 있다. 따라서, 센서 등의 각종 부품이 브래킷을 통해 선반에 용이하게 고정될 수 있다.According to the stocker according to the embodiment of the present invention, a part of the shelf and a part of the bracket are positioned between the first member and the second member, and the first fastening part of the first member is inserted into the second fastening part of the second member The first member may be fastened to the second member by rotating the first member at a predetermined angle with respect to the second member, and accordingly, the bracket may be fixed to the shelf. Accordingly, compared to a method using screws to fix the bracket to the shelf, the configuration and process for fixing or disassembling the bracket can be simplified. Accordingly, various parts such as the sensor can be easily fixed to the shelf through the bracket.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스토커에 구비되는 선반, 브래킷 및 브래킷 고정 유닛이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스토커에 구비되는 선반, 브래킷 및 브래킷 고정 유닛이 개략적으로 도시된 분해 사시도이다.
도 4 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 스토커에서 브래킷이 브래킷 고정 유닛에 의해 선반에 고정되는 과정이 순차적으로 도시된 도면이다.1 and 2 are perspective views schematically illustrating a shelf, a bracket, and a bracket fixing unit provided in a stocker according to an embodiment of the present invention.
3 is an exploded perspective view schematically illustrating a shelf, a bracket, and a bracket fixing unit provided in a stocker according to an embodiment of the present invention.
4 to 8 are views sequentially illustrating a process in which a bracket is fixed to a shelf by a bracket fixing unit in a stocker according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스토커에 대하여 설명한다.Hereinafter, a stocker according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 실시예에 따른 스토커는, 웨이퍼, 기판, 반도체 소자 등의 대상물을 보관하면서 대상물에 대해 소정의 처리를 수행하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 대상물은 카세트나 트레이에 수납된 상태로 스토커의 내부에 보관될 수 있다. 스토커의 내부에는 소정의 환경 및 분위기가 조성될 수 있으며, 이에 따라, 대상물이 소정의 환경 및 분위기 하에서 처리될 수 있다. 예를 들면, 스토커의 내부에는 질소와 같은 비활성 가스가 공급될 수 있으며, 이에 따라, 스토커의 내부에는 반응성이 낮은 분위기가 조성되어, 대상물의 산화 등의 반응을 방지할 수 있다. 또한, 스토커는 외부로부터 차단될 수 있는 내부 공간을 가질 수 있으며, 외부로부터 차단된 내부 공간에 대상물이 보관될 수 있다. 따라서, 스토커는 이물질이 외부로부터 유입되는 것을 방지할 수 있으며, 이에 따라, 이물질이 대상물에 부착되는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다.The stocker according to an embodiment of the present invention may be configured to perform a predetermined process on the object while storing the object such as a wafer, a substrate, a semiconductor device, and the like. For example, the object may be stored inside the stocker in a state stored in a cassette or tray. A predetermined environment and atmosphere may be created inside the stocker, and accordingly, an object may be processed under a predetermined environment and atmosphere. For example, an inert gas such as nitrogen may be supplied to the inside of the stocker, and accordingly, an atmosphere with low reactivity is created inside the stocker, thereby preventing a reaction such as oxidation of an object. In addition, the stocker may have an internal space that can be blocked from the outside, and an object can be stored in the internal space that is blocked from the outside. Accordingly, the stocker can prevent foreign substances from being introduced from the outside, and thus, can serve to prevent foreign substances from adhering to the object.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스토커는, 대상물이 탑재되어 지지되는 선반(10)과, 선반(10)에 탈착 가능하게 결합되는 브래킷(20)과, 브래킷(20)을 선반에 고정하는 브래킷 고정 유닛(30)과, 스토커의 구획실 내부의 상태(환경)를 검출하는 센서(40)와, 센서(40)를 브래킷에 고정하는 센서 고정 유닛(50)을 포함할 수 있다.1 to 3, the stocker according to an embodiment of the present invention includes a
또한, 본 발명의 실시예에 따른 스토커는, 회로 기판(60)을 구비할 수 있다. 회로 기판(60)은 기판 케이싱(70)에 고정될 수 있으며, 기판 케이싱(70)은 브래킷(20)에 고정될 수 있다. 회로 기판(60)은 센서(40)와 전기적으로 연결될 수 있다.In addition, the stocker according to the embodiment of the present invention may include a
도시되지는 않았으나, 스토커 내부에는 복수의 선반(10)이 구비될 수 있으며, 복수의 선반(10)에 의해 스토커의 내부 공간이 복수의 구획실로 구획될 수 있다. 그리고, 복수의 대상물이 복수의 구획실의 내부에 나뉘어 보관될 수 있다.Although not shown, a plurality of
선반(10)에는 선반(10)을 관통하는 수용홈(11)이 형성될 수 있으며, 수용홈(11)의 내부에는 브래킷(20)의 일부가 수용될 수 있다.A receiving
브래킷(20)은 선반(10)에 대해 대략 직교하는 방향으로 연장되는 제1 부(21)와, 제1 부(21)와 연결되며 선반(10)에 대해 대략 평행한 방향으로 연장되는 제2 부(22)를 포함할 수 있다.The
브래킷(20)의 제1 부(21)에는 기판 케이싱(70)이 결합될 수 있으며, 이에 따라, 회로 기판(60)이 브래킷(20)의 제1 부(21)에 지지될 수 있다. 브래킷(20)의 제1 부(21)에는 센서 고정 유닛(50)에 결합될 수 있으며, 이에 따라, 센서(40)가 브래킷(20)의 제1 부(21)에 지지될 수 있다.A
브래킷(20)의 제2 부(22)는 선반(10)에 인접하게 배치될 수 있다. 브래킷(20)의 제2 부(22)는 선반(10)의 수용홈(11)에 삽입될 수 있다. 브래킷(20)의 제2 부(22)는 브래킷 고정 유닛(30)에 의해 선반(10)에 고정되는 부분이다.The
이와 같이, 선반(10)에 고정되는 제2 부(22)에 대해 소정의 각도로 연장된 제1 부(21)에 센서(40) 및 회로 기판(60) 등과 같은 부품이 고정될 수 있으므로, 브래킷(20)을 선반(10)에 고정시키는 과정에서, 센서(40) 및 회로 기판(60) 등과 같은 부품이 선반(10)과 간섭하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 센서(40) 및 회로 기판(60) 등과 같은 부품이 브래킷(20)에 장착된 상태에서도, 브래킷(20)을 선반(10)에 용이하게 고정시킬 수 있다.In this way, since parts such as the
브래킷 고정 유닛(30)은, 제1 부재(31)와, 제2 부재(32)와, 제3 부재(33)를 포함할 수 있다. 제1 부재(31)는 복수로 구비될 수 있으며, 이에 따라, 브래킷(20)이 복수의 제1 부재(31)에 의해 안정적으로 고정될 수 있다.The
제1 부재(31) 및 제2 부재(32)는 선반(10)의 일부 및 브래킷(20)의 일부(제2 부(22))를 사이에 두고 서로 대향하게 배치될 수 있다. 따라서, 제1 부재(31) 및 제2 부재(32)의 사이에 선반(10)의 일부 및 브래킷(20)의 일부가 개재된 상태에서, 제1 부재(31)가 제2 부재(32)에 체결되는 것에 의해, 브래킷(20)이 선반(10)에 고정될 수 있다. 제2 부재(32)는 선반(10)에 탈착 가능하게 고정될 수 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 제2 부재(32)가 선반에 고정된 경우, 제1 부재(31) 및 제2 부재(32)의 사이에 선반(10)의 일부 및 브래킷(20)의 일부가 개재된 상태에서 제1 부재(31) 및 제2 부재(32)가 서로 체결되는 것에 의해 브래킷(20)이 선반(10)에 고정될 수 있다.The
도 4에 도시된 바와 같이, 제1 부재(31)는, 몸체(311)와, 몸체(311)의 일측으로부터 연장되는 로드(312)와, 로드(312)의 단부에 형성되는 제1 체결부(313)를 포함할 수 있다.4 , the
제1 부재(31)의 몸체(311)는 대략 직육면체의 형상으로 형성될 수 있다. 제1 부재(31)의 몸체(311)는 사용자가 제1 부재(31)를 제2 부재(32)에 체결할 때, 사용자가 파지하는 부분(손잡이 부분)이 될 수 있다.The
로드(312)는 몸체(311)로부터 소정의 길이로 연장될 수 있다. 로드(312)는 소정의 두께(직경)을 가질 수 있다.The
제1 체결부(313)는 폭에 비하여 큰 길이를 가질 수 있다. 예를 들면, 제1 체결부(313)는 직육면체 형상으로 형성될 수 있다. 제1 체결부(313)는 로드(312)의 두께(직경)과 거의 유사한 폭을 가질 수 있다. 예를 들면, 제1 체결부(313)는 로드(312)의 두께에 비해 동일한 폭을 가질 수 있다. 제1 체결부(312)는 로드(312)의 두께(직경)에 비하여 큰 길이를 가질 수 있다.The
제2 부재(32)는, 몸체(321)와, 몸체(321)의 내부에 형성되며 외부로 노출되는 개구를 갖는 삽입 슬릿(322)과, 몸체(321)의 내부에 형성되고 삽입 슬릿(322)과 연통되며 제1 부재(31)의 제1 체결부(313)의 단면 형상과 대응되는 단면 형상을 갖는 제2 체결부(323)를 포함할 수 있다.The
제2 부재(32)의 몸체(321)는 대략 막대 형상으로 형성될 수 있다. 삽입 슬릿(322) 및 제2 체결부(323)는 제2 부재(32)의 몸체(321)의 길이 방향을 따라 연장될 수 있다. 따라서, 제2 부재(32)의 몸체(321)의 길이 방향으로의 임의의 위치에서 제1 부재(31)가 제2 부재(32)에 체결될 수 있다. 또한, 하나의 제2 부재(32)의 몸체(321)의 길이 방향으로의 임의의 위치에서 복수의 제1 부재(31)가 체결될 수 있다.The
삽입 슬릿(322)은 로드(312)의 두께(직경)에 비하여 약간 큰 폭을 가질 수 있다. 삽입 슬릿(322)은 제1 체결부(313)의 폭과 거의 같거나 약간 큰 폭을 가질 수 있다. 삽입 슬릿(322)은 제1 체결부(313)의 길이에 비하여 작은 폭을 가질 수 있다. 삽입 슬릿(322)의 길이는 제1 체결부(313)의 길이에 비하여 클 수 있다. 따라서, 제1 체결부(313)의 길이 방향이 삽입 슬릿(322)의 길이 방향과 일치하도록 제1 체결부(313)와 삽입 슬릿(322)이 위치된 경우, 제1 체결부(313)는 삽입 슬릿(322)에 삽입될 수 있다. 반면, 제1 체결부(313)의 길이 방향이 삽입 슬릿(322)의 길이 방향과 일치하지 않도록 제1 체결부(313)와 삽입 슬릿(322)이 위치된 경우, 제1 체결부(313)는 삽입 슬릿(322)에 삽입될 수 없다. 그리고, 제1 체결부(313)가 제2 체결부(323) 내에 수용된 상태에서 제1 체결부(313)의 길이 방향이 삽입 슬릿(322)의 길이 방향과 일치하지 않는 경우, 제1 체결부(313)가 삽입 슬릿(322)을 통해 제2 체결부(323)로부터 이탈되지 않는다.The insertion slit 322 may have a slightly larger width than the thickness (diameter) of the
제2 체결부(323)는 제1 체결부(313)를 수용하는 수용 공간으로서 형성될 수 있다. 제2 체결부(323)의 폭 방향 단면 형상은 제1 체결부(313)의 길이 방향으로의 형상에 대응할 수 있다. 제2 체결부(323)의 폭은 제1 체결부(313)의 길이에 비하여 약간 클 수 있다. 제2 체결부(323)의 길이는 제1 체결부(313)의 길이에 비하여 약간 클 수 있다.The
이러한 구성에 따르면, 제1 체결부(313)의 길이 방향이 삽입 슬릿(322)의 길이 방향과 일치하는 상태에서는, 로드(312) 및 제1 체결부(313)가 삽입 슬릿(322)에 삽입될 수 있고, 제1 체결부(313)가 제2 체결부(323)에 삽입될 수 있다. 이러한 상태에서 제1 부재(31)가 로드(312)의 중심축을 기준으로 제2 부재(32)에 대하여 소정의 각도, 예를 들면, 90도 이내의 각도로 회전되어, 제1 체결부(313)의 길이 방향이 삽입 슬릿(322)의 길이 방향과 일치하지 않게 되면, 제1 체결부(313)가 제2 체결부(323)로부터 이탈될 수 없는 상태가 되며, 이에 따라, 제1 부재(31)가 제2 부재(32)에 체결될 수 있다.According to this configuration, in a state in which the longitudinal direction of the
브래킷(20)의 제2 부(22)에는 로드(312) 및 제1 체결부(313)가 통과하는 관통홀(221)이 형성될 수 있다. 관통홀(221)은 선반(10)의 수용홈(11)과 연통될 수 있다. 로드(312) 및 제1 체결부(313)가 관통홀(221)을 통해 삽입 슬릿(322)에 삽입되어 제1 체결부(313)가 제2 체결부(323)에 삽입되는 것에 의해, 제1 부재(31) 및 제2 부재(32) 사이에 기판(10)의 일부 및 브래킷(20)의 일부가 끼워질 수 있다. 이러한 상태에서, 제1 부재(31)가 로드(312)의 중심축을 기준으로 제2 부재(32)에 대하여 소정의 각도, 예를 들면, 90도 이내의 각도로 회전됨에 따라, 제1 부재(31)가 제2 부재(32)에 체결되면, 제1 부재(31), 제2 부재(32), 선반(10) 및 브래킷(20)이 일체로 조립될 수 있다.A through
제3 부재(33)는 브래킷(20)의 제2 부(22)에 구비될 수 있다. 제3 부재(33)는 브래킷(20)의 제2 부(22)에 부착되거나 일체로 형성될 수 있다. 제1 체결부(313)가 제2 체결부(323) 내에 삽입되고 제1 체결부(313)의 길이 방향이 삽입 슬릿(322)의 길이 방향과 일치하지 않도록 제1 부재(31)가 제2 부재(32)에 대하여 소정의 각도, 예를 들면, 90도 이내의 각도로 회전된 상태(제1 부재(31)가 제2 부재(32)에 체결된 상태)에서, 제3 부재(33)는 제1 부재(31)를 지지(고정)하여 제1 부재(31)가 임의대로 움직이는 것을 방지할 수 있다.The
제3 부재(33)가 제1 부재(31)를 고정할 수 있도록, 걸림홈(314)이 로드(312)에 반대되는 위치에서 제1 부재(31)의 몸체(311)에 형성될 수 있고, 제3 부재(33)에는 걸림홈(314)에 걸리는 걸림 돌기(334)가 형성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 제1 부재(31)에 걸림 돌기가 형성될 수 있고, 제3 부재(33)에 걸림 돌기에 대응하는 걸림홈이 형성될 수 있다.A locking
따라서, 제1 체결부(313)가 제2 체결부(323) 내에 삽입되고 제1 체결부(313)의 길이 방향이 삽입 슬릿(322)의 길이 방향과 일치하지 않도록 제1 부재(31)가 제2 부재(32)에 대하여 회전되면, 제3 부재(33)의 걸림 돌기(334)가 제1 부재(31)의 걸림홈(314)에 끼워지며, 이에 따라, 제1 부재(31)가 제3 부재(33)에 고정될 수 있다.Therefore, the
한편, 브래킷 고정 유닛(30)은 제1 부재(31)가 제3 부재(33)에 고정된 상태에서 제1 부재(31) 및 제3 부재(33)의 사이에 개재되는 제4 부재(34)를 더 포함할 수 있다. 제4 부재(34)는 제1 부재(31) 및 제3 부재(33)의 사이에 개재되어 제3 부재(33)에 대한 제1 부재(31)의 위치를 제한하는 스토퍼로서의 역할을 할 수 있다.Meanwhile, the
제4 부재(34)는 탄성을 갖는 패드로서의 역할을 할 수 있다. 제1 부재(31)가 제3 부재(33)에 고정될 때 제4 부재(34)는 제1 부재(31) 및 제3 부재(33)에 탄성력을 제공하는 역할을 한다. 따라서, 제1 부재(31)가 제3 부재(33)에 고정될 때 제4 부재(34)에 의해 제공되는 완충력에 의해 제1 부재(31)가 제3 부재(33)에 큰 충격 없이 원활하게 고정될 수 있다. 또한, 제1 부재(31)가 제3 부재(33)에 고정된 상태(걸림 돌기(334)가 걸림홈(314)에 끼워진 상태)에서, 제4 부재(34)가 제공하는 탄성력에 의해 제1 부재(31) 및 제3 부재(33)에는 각각 반대 방향으로의 힘(즉, 척력)이 가해지며, 이에 따라, 걸림 돌기(334)가 걸림홈(314)에 걸린 상태가 견고하게 유지될 수 있다. 따라서, 제1 부재(31)가 제3 부재(33)에 견고하게 고정될 수 있으며, 이에 따라, 제1 부재(31)가 임의대로 이동되는 것이 방지될 수 있다.The
센서(40)는 스토커의 내부의 다양한 상태(환경)를 검출할 수 있는 다양한 센서로서 구성될 수 있다. 예를 들면, 센서(40)는, 압력 센서, 온도 센서, 습도 센서, 위치 센서, 광 센서 등의 각종 센서 중 어느 하나의 센서 또는 이들 센서들 중 둘 이상의 센서들의 조합으로 구성될 수 있다.The
센서 고정 유닛(50)은 센서(40)를 브래킷(20)에 고정시키는 역할을 한다. 센서 고정 유닛(50)은, 브래킷(20)의 제1 부(21)에 고정되고 센서(40)가 수용되는 공간을 제공하는 하우징(51)과, 하우징(51)으로부터 하우징(51)의 내측으로 돌출되는 후크부(52)를 포함할 수 있다.The
하우징(51)은 브래킷(20)의 제1 부(21)와 일체로 형성되거나, 브래킷(20)과는 별도의 부재로 마련되어 브래킷(20)의 제1 부(21)에 부착될 수 있다.The
후크부(52)는 하우징(51)에 수용된 센서(40)를 고정시키는 역할을 한다. 센서(40)가 하우징(51) 내부의 공간에 수용되면, 후크부(52)는 센서(40)의 일면과 접촉하면서 센서(40)를 고정한다. 센서(40)가 후크부(52)에 의해 고정되므로, 나사를 사용하는 방식에 비하여, 센서(40)를 용이하게 고정할 수 있고, 센서(40)를 고정하는 공정을 단순화시킬 수 있다.The
이하, 도 4 내지 도 8을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스토커에서, 선반(10), 브래킷(20) 및 센서(30)를 조립하는 과정에 대하여 설명한다.Hereinafter, a process of assembling the
먼저, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 부재(31) 및 제2 부재(32) 사이에 선반(10)의 일부 및 브래킷(20)의 일부가 개재되고 제1 부재(31) 및 제2 부재(32)가 서로 대향하게 배치된 상태(또는, 제2 부재(32)가 선반(10)에 고정되고 브래킷(20)의 제2 부(22)가 선반(10)의 수용홈(11)에 수용된 상태)에서, 제1 체결부(313)의 길이 방향이 삽입 슬릿(322)의 길이 방향과 일치하도록 제1 부재(31)가 브래킷(20)의 제2 부(22) 및 제2 부재(32)에 인접하게 위치된다.First, as shown in FIGS. 4 and 5, a part of the
이러한 상태에서, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 체결부(313)가 브래킷(20)의 제2 부(22)의 관통홀(221) 및 제2 부재(32)의 삽입 슬릿(322)을 통해 제2 체결부(323)에 삽입된다.In this state, as shown in FIG. 6 , the
이러한 상태에서, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 체결부(313)의 길이 방향이 삽입 슬릿(322)의 길이 방향과 일치하지 않도록 제1 부재(31)가 로드(312)의 중심축을 기준으로 제2 부재(32)에 대하여 소정의 각도, 예를 들면, 90도 이내의 각도로 회전된다. 따라서, 제1 체결부(313)가 제2 체결부(323)로부터 임의대로 이탈되지 않는 상태가 되며, 이에 따라, 제1 부재(31)가 제2 부재(32)에 체결된다.In this state, as shown in FIGS. 7 and 8 , the
그리고, 제1 부재(31)의 회전에 의해 제3 부재(33)의 걸림 돌기(334)가 제1 부재(31)의 걸림홈(314)에 끼워지며, 이에 따라, 제1 부재(31)가 제3 부재(33)에 고정됨으로써, 제1 부재(31)가 임의대로 이동되는 것이 방지될 수 있다.And, by the rotation of the
브래킷(20)을 선반(10)으로부터 분리시키는 과정은, 제1 체결부(313)의 길이 방향이 삽입 슬릿(322)의 길이 방향과 일치하도록 제1 부재(31)를 제3 부재(33)에 대하여 회전시키고, 제1 부재(31)를 제2 부재(32)로부터 빼내는 단순한 과정에 의해 수행될 수 있다.In the process of separating the
한편, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 센서(40)는 브래킷(20)의 제1 부(21)에 부착된 센서 고정 유닛(50)의 하우징(51) 내에 삽입되며, 센서(40)의 일면이 후크부(52)에 걸리는 것에 의해 센서(40)가 브래킷(20)에 조립될 수 있다.Meanwhile, as shown in FIGS. 1 to 3 , the
상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 스토커에 따르면, 제1 부재(31) 및 제2 부재(32)의 사이에 선반(10)의 일부 및 브래킷(20)의 일부가 위치되고 제1 부재(31)의 제1 체결부(313)가 제2 부재(32)의 제2 체결부(323)에 삽입된 상태에서 제1 부재(31)를 로드(312)의 중심축을 기준으로 제2 부재(32)에 대해 소정의 각도, 예를 들면, 90도 이내의 각도로 회전시키는 것에 의해 제1 부재(31)가 제2 부재(32)에 체결될 수 있으며, 이에 따라, 브래킷(20)이 선반(10)에 고정될 수 있다. 따라서, 브래킷(20)을 선반(10)에 고정하기 위해 나사를 사용하는 방식에 비하여, 브래킷(20)을 고정하거나 분해하기 위한 구성 및 과정을 단순화할 수 있다. 따라서, 센서(40) 등의 각종 부품이 브래킷(20)을 통해 선반(10)에 용이하게 고정될 수 있다.According to the stocker according to the embodiment of the present invention as described above, a part of the
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to such specific embodiments, and may be appropriately modified within the scope described in the claims.
10: 선반
20: 브래킷
30: 브래킷 고정 유닛
40: 센서
50: 센서 고정 유닛10: shelf
20: bracket
30: bracket fixing unit
40: sensor
50: sensor fixing unit
Claims (8)
상기 선반에 탈착 가능하게 결합되는 브래킷; 및
상기 브래킷을 상기 선반에 고정하는 브래킷 고정 유닛을 포함하고,
상기 브래킷 고정 유닛은,
일측으로 연장되는 로드와, 상기 로드의 단부에 형성되며 폭에 비하여 큰 길이를 갖는 제1 체결부를 갖는 제1 부재; 및
상기 제1 체결부의 폭에 비하여 크고 상기 제1 체결부의 길이에 비하여 작은 폭을 갖는 삽입 슬릿과, 상기 삽입 슬릿과 연통되고 상기 제1 체결부가 삽입되는 제2 체결부를 갖는 제2 부재를 포함하고,
상기 제1 부재 및 상기 제2 부재의 사이에 상기 선반의 일부 및 상기 브래킷의 일부가 위치되고 상기 제1 체결부가 상기 제2 체결부에 삽입된 상태에서 상기 제1 부재를 상기 로드의 중심축을 기준으로 상기 제2 부재에 대해 회전시키는 것에 의해 상기 브래킷을 상기 선반에 고정하는 것을 특징으로 하는 스토커.a shelf configured to mount an object;
a bracket detachably coupled to the shelf; and
a bracket fixing unit for fixing the bracket to the shelf;
The bracket fixing unit,
a first member having a rod extending to one side and a first coupling portion formed at an end of the rod and having a length greater than a width; and
Comprising a second member having an insertion slit having a width larger than the width of the first coupling part and smaller than the length of the first coupling part, and a second coupling part communicating with the insertion slit and into which the first coupling part is inserted,
A portion of the shelf and a portion of the bracket are positioned between the first member and the second member, and the first member is set with the central axis of the rod in a state in which the first fastening part is inserted into the second fastening part. and fixing the bracket to the shelf by rotating it with respect to the second member.
상기 삽입 슬릿 및 상기 제2 체결부는 상기 제2 부재의 길이 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 스토커.The method according to claim 1,
The insertion slit and the second fastening portion stocker, characterized in that extending in the longitudinal direction of the second member.
상기 브래킷 고정 유닛은, 상기 제1 체결부가 상기 제2 체결부에 삽입되고 상기 제1 부재가 상기 제2 부재에 대해 회전된 상태에서, 상기 제1 부재를 고정하는 제3 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.The method according to claim 1,
The bracket fixing unit may further include a third member for fixing the first member in a state in which the first coupling part is inserted into the second coupling part and the first member is rotated with respect to the second member A stalker characterized by.
상기 제1 부재 또는 상기 제3 부재 중 어느 하나에는 걸림홈이 형성되고, 상기 제1 부재 또는 상기 제3 부재 중 다른 하나에는 상기 걸림홈에 끼워지는 걸림 돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 스토커.4. The method of claim 3,
A stocker, characterized in that a locking groove is formed in any one of the first member or the third member, and a locking protrusion fitted into the locking groove is formed in the other one of the first member or the third member.
상기 브래킷 고정 유닛은, 상기 제1 체결부가 상기 제2 체결부에 삽입되고 상기 제1 부재가 상기 제2 부재에 대해 회전된 상태에서, 상기 제1 부재 및 상기 제3 부재 사이에 개재되는 제4 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.4. The method of claim 3,
The bracket fixing unit may include a fourth interposed between the first member and the third member in a state in which the first coupling part is inserted into the second coupling part and the first member is rotated with respect to the second member. Stocker, characterized in that it further comprises a member.
상기 제4 부재는 탄성을 갖는 것을 특징으로 하는 스토커.6. The method of claim 5,
The fourth member is a stocker, characterized in that it has elasticity.
상기 브래킷에 부착되며 센서를 고정하도록 구성되는 센서 고정 유닛을 더 포함하는 스토커.The method according to claim 1,
and a sensor holding unit attached to the bracket and configured to secure the sensor.
상기 센서 고정 유닛은, 상기 센서가 수용되는 공간을 제공하는 하우징과, 상기 하우징으로부터 내측으로 돌출되어 상기 센서의 일면에 결합되는 후크부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.8. The method of claim 7,
The sensor fixing unit may include a housing providing a space in which the sensor is accommodated, and a hook portion protruding inwardly from the housing and coupled to one surface of the sensor.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020180054219A KR102446756B1 (en) | 2018-05-11 | 2018-05-11 | Stocker |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020180054219A KR102446756B1 (en) | 2018-05-11 | 2018-05-11 | Stocker |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20190129489A KR20190129489A (en) | 2019-11-20 |
KR102446756B1 true KR102446756B1 (en) | 2022-09-23 |
Family
ID=68729394
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020180054219A KR102446756B1 (en) | 2018-05-11 | 2018-05-11 | Stocker |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102446756B1 (en) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200355321Y1 (en) | 2004-03-26 | 2004-07-06 | 주식회사 아바코 | Flow Control Stocker Shelf |
KR101505004B1 (en) | 2013-11-25 | 2015-03-23 | 명진실업 주식회사 | The clamp device for shelf |
KR101647923B1 (en) | 2015-04-29 | 2016-08-11 | 세메스 주식회사 | Stocker for receiving cassettes and method of teaching a stocker robot disposed therein |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012129471A2 (en) * | 2011-03-24 | 2012-09-27 | Illinois Tool Works Inc. | Verification arrangement for fastener system |
-
2018
- 2018-05-11 KR KR1020180054219A patent/KR102446756B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200355321Y1 (en) | 2004-03-26 | 2004-07-06 | 주식회사 아바코 | Flow Control Stocker Shelf |
KR101505004B1 (en) | 2013-11-25 | 2015-03-23 | 명진실업 주식회사 | The clamp device for shelf |
KR101647923B1 (en) | 2015-04-29 | 2016-08-11 | 세메스 주식회사 | Stocker for receiving cassettes and method of teaching a stocker robot disposed therein |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20190129489A (en) | 2019-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20070290512A1 (en) | Hooking device | |
US20070223189A1 (en) | Electronic Device with Removable Module | |
US8294460B2 (en) | Local coil arrangement for magnetic resonance applications and patient bed for a magnetic resonance system, with integrated electrical interfaces | |
JP2009540621A (en) | Reusable elastic cushion for wafer storage containers | |
KR101721308B1 (en) | Connector | |
US6923414B2 (en) | Stand for installing plurality of box bodies | |
KR102446756B1 (en) | Stocker | |
JP5217921B2 (en) | Module and module mounting structure | |
US8100710B1 (en) | Flash drive mounting apparatus having a base with a plurality of openings and two fixing members with hook-and-loop fasteners | |
US10043695B1 (en) | Apparatus for carrying and shielding wafers | |
JP2010123795A (en) | Fastening device, module mounting mechanism and information processing apparatus | |
JP2007124294A (en) | Holder, speaker, and speaker unit | |
JP4890951B2 (en) | Explosion-proof gas detector | |
US6275389B1 (en) | Electronic device retainer | |
JP7138004B2 (en) | Probe card holder | |
JP5563794B2 (en) | Electronic component storage box | |
JP2011138978A (en) | Recorder set and holder | |
US20200371129A1 (en) | Acceleration sensor core unit, and method for preventing deflection of a base board on which acceleration sensor is mounted | |
JP4716804B2 (en) | Game machine | |
JP2020053597A (en) | Automotive electronics housing | |
KR102543902B1 (en) | Apparatus for testing display panel | |
JP5189013B2 (en) | Electronics | |
JP7063580B2 (en) | Mounting members and mounting structures for electronic devices | |
WO2020045066A1 (en) | Probe pin housing, inspection tool, inspection unit, and inspection device | |
JP7076001B2 (en) | Switch device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right |