KR102446082B1 - Ultrasonic Fluid Injection Module - Google Patents
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Abstract
본 발명은 초음파를 이용한 유체 분사 모듈에 관한 것으로, 하우징; 상기 하우징의 내부에 배치되는 진동소자; 및 상기 하우징의 내부에 배치되어 진동소자의 하측에 결합되는 진동전달체;를 포함하되, 모듈에서 기체 및 액체가 모두 분출되거나 액체가 모듈 내의 공간부(R)를 거쳐 분출되도록 이루어져 보다 다양한 분무패턴을 형성하면서 대상물의 균일한 세정과 유체의 코팅이 향상되는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈이다. The present invention relates to a fluid injection module using ultrasonic waves, comprising: a housing; a vibrating element disposed inside the housing; and a vibration transmitting body disposed inside the housing and coupled to the lower side of the vibrating element, wherein both gas and liquid are ejected from the module or liquid is ejected through the space portion (R) in the module to provide more diverse spray patterns It is a fluid injection module using ultrasonic waves that improves uniform cleaning of objects and coating of fluids while forming.
Description
본 발명은 초음파를 이용한 유체 분사 모듈로, 대상물에 초음파로 유체를 분사하여 표면을 세정하거나 표면에 유체를 코팅하는 초음파 분사 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid spray module using ultrasonic waves, and to an ultrasonic spray module for cleaning a surface or coating a fluid on a surface by spraying a fluid to an object with ultrasonic waves.
기판의 세정은 기판을 세정액에 투입하였다가 배출하는 배치식 방식이 종래에 주로 사용되었으나, 최근에는 기판 위에 세정액을 얇게 도포하여 세정액 층을 형성한 후, 세정액 층에 초음파를 인가하여 세정 효율을 높이는 초음파 세정 장치 및 이를 이용한 세정 시스템이 이용되고 있다. 이때, 초음파를 이용한 세정은 입자 가속도와 초음파의 캐비테이션(cavitation) 현상에 의해 이루어진다. A batch-type method in which the substrate is put into the cleaning liquid and then discharged has been mainly used in the prior art, but recently, the cleaning liquid is thinly applied on the substrate to form a cleaning liquid layer, and then ultrasonic waves are applied to the cleaning liquid layer to increase cleaning efficiency. An ultrasonic cleaning apparatus and a cleaning system using the same are being used. In this case, cleaning using ultrasonic waves is performed by particle acceleration and a cavitation phenomenon of ultrasonic waves.
이와 관련된 기술로는 현재 한국등록특허공보 제10-1551271호("반사파 방지를 위한 초음파 세정 장치 및 이를 이용한 세정 시스템", 2015.09.09. 공고)가 개시되어 있다. 도 1을 참조하여 위 기술에 대해서 간략히 설명하자면 다음과 같다. 초음파 세정 장치(1)는 내부에 진동자(2)가 형성되며, 상기 진동자(2)의 하측에는 하나 이상의 진동전달체(3)가 배치되어 피세정물로 초음파를 전달하도록 이루어진다. 그리고 위 기술에는 피세정물에 세정액을 공급하여 세정액 층을 형성하되, 전달된 초음파에 의해 세정이 이루어질 수 있다.As a related technology, currently Korean Patent Publication No. 10-1551271 ("Using an ultrasonic cleaning device for preventing reflected waves and a cleaning system using the same," 2015.09.09. Announcement) is disclosed. The above technology will be briefly described with reference to FIG. 1 as follows. The
그리고 최근 들어 위와 같은 기술을 하나의 장치에 일체로 구성하는 모듈이 개발되고 있으며, 이에 관련된 기술로는 한국등록특허공보 제10-1827296호("대면적 초음파 세정장치", 2018.02.09. 공고)가 개시되어 있다. 하지만, 종래 개시된 초음파 세정장치 모듈은 액체의 분무만이 이루어지며, 기체를 통한 세척 기능이 포함되어 있지는 않다. 이에 현재는 초음파 세정기술과 액체 및 기체를 동시에 분사하는 모듈이 필요로 하는 실정이다.And recently, a module that integrates the above technology into one device has been developed, and as a related technology, Korean Patent Publication No. 10-1827296 (“Large-area ultrasonic cleaning device”, 2018.02.09. Announcement) is disclosed. However, the conventionally disclosed ultrasonic cleaning device module only sprays liquid, and does not include a cleaning function through gas. Accordingly, at present, ultrasonic cleaning technology and a module for simultaneously spraying liquid and gas are required.
본 발명은 초음파, 세정 및 유체 코팅 기술과 액체 및 기체 분사 구조가 하나의 모듈 상에 일체로 구성하도록 안출된 것으로, 유체를 보다 효과적으로 단속하면서 이류체의 분무 패턴을 다양하게 형성할 수 있는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈을 제공하는 것에 그 목적이 있다.The present invention is devised to integrate ultrasonic wave, cleaning and fluid coating technology and liquid and gas spraying structure on one module, and it is an ultrasonic wave that can form various spray patterns of air while controlling the fluid more effectively. An object of the present invention is to provide a fluid ejection module using the same.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파를 이용한 유체 분사 모듈은, 하우징; 상기 하우징의 내부에 배치되는 진동소자; 상기 하우징 내에 배치되되, 상기 진동소자의 하측에 결합되는 제1진동전달체; 및 상기 제1진동전달체의 하측에 배치되는 제2진동전달체;를 포함하며, 상기 하우징의 내면, 상기 제1진동전달체의 외면 및 상기 제2진동전달체의 상면의 연장 면이 액체가 체류할 수 있는 공간부(R)를 형성하고, 액체가 상기 공간부(R)를 거쳐 하측으로 토출되도록 액체유로가 형성될 수 있다.In order to achieve the above object, a fluid injection module using ultrasonic waves according to an embodiment of the present invention includes: a housing; a vibrating element disposed inside the housing; a first vibration transmission body disposed in the housing and coupled to a lower side of the vibration element; and a second vibration transmission member disposed below the first vibration transmission member, wherein an inner surface of the housing, an outer surface of the first vibration transmission member, and an extended surface of an upper surface of the second vibration transmission member may have a liquid therein The space portion R may be formed, and a liquid flow path may be formed so that the liquid is discharged downward through the space portion R.
이때 상기 액체유로는, 상기 하우징을 관통하여 상기 공간부(R)로 액체를 공급하는 제1액체유로; 및 상기 제2진동전달체를 관통하여 하측으로 액체를 분출하는 제2액체유로;를 포함할 수 있다.In this case, the liquid flow path may include: a first liquid flow path passing through the housing and supplying a liquid to the space (R); and a second liquid flow passage that passes through the second vibration transmission member and ejects the liquid downward.
여기서 상기 제2액체유로는 상기 제1진동전달체 및 제2진동전달체를 순차적으로 관통하여 상기 제2진동전달체의 저면에 개구될 수 있다.Here, the second liquid flow path may sequentially pass through the first and second vibration transmitting members and may be opened at the bottom surface of the second vibration transmitting member.
또한 본 발명은 상기 하우징의 하측에 결합되는 결합하우징;을 더 포함하며, 상기 결합하우징의 중공 상에 상기 제2진동전달체가 배치될 수 있다.In addition, the present invention further includes a coupling housing coupled to the lower side of the housing, and the second vibration transmitting body may be disposed on the hollow of the coupling housing.
또한 본 발명은 상기 결합하우징의 외면으로부터 내면으로 관통되는 기체유로;를 더 포함할 수 있다.In addition, the present invention may further include a gas flow passage passing through the inner surface from the outer surface of the coupling housing.
또한 본 발명은 상기 제2진동전달체로 기체를 분출하도록 내부에 기체유로가 형성된 기체공급장치;를 더 포함할 수 있다.In addition, the present invention may further include a gas supply device having a gas flow path formed therein so as to eject gas to the second vibration carrier.
또한 상기 액체유로는, 상기 하우징을 관통하여 상기 공간부(R)로 액체를 공급하는 제1액체유로; 및 상기 결합하우징을 관통하여 하측으로 액체를 분출하는 제2액체유로;를 포함하며, 상기 제2액체유로는 상기 제2진동전달체로 액체를 분출할 수 있다.In addition, the liquid flow path includes: a first liquid flow path for supplying a liquid to the space portion (R) through the housing; and a second liquid flow passage through which the liquid is ejected downward through the coupling housing, wherein the second liquid flow passage may eject the liquid to the second vibration carrier.
이때 상기 제2진동전달체는 저면이 경사지게 형성되되, 상기 제2액체유로는 상기 제2진동전달체의 저면에 액체를 분출할 수 있다.At this time, the second vibration transmission member is formed to have an inclined bottom surface, and the second liquid flow path may eject a liquid to the bottom surface of the second vibration transmission member.
또한 상기 공간부(R)로 개구된 제2액체유로의 일단 개구부는, 발생된 초음파의 변위가 최대인 지점에 형성될 수 있다.In addition, one end of the opening of the second liquid passage opened into the space R may be formed at a point where the displacement of the generated ultrasonic wave is maximum.
또한 상기 제2액체유로가 복수 또는 환형으로 이루어질 수도 있다.In addition, the second liquid flow path may be formed in a plurality or annular shape.
또한 상기 제1진동전달체의 측면에는 체결부가 형성되어 상기 하우징의 내면에 수밀 결합되도록 이루어지며, 상기 체결부가 형성된 영역 상측으로는 냉각유체가 출입되고, 상기 체결부가 형성된 영역 하측으로는 액체가 출입되어, 상기 진동소자 및 제1진동전달체를 냉각하도록 형성될 수 있다.In addition, a fastening part is formed on the side surface of the first vibration transmission body to be watertightly coupled to the inner surface of the housing, and cooling fluid enters and exits above the region where the fastening part is formed, and liquid enters and exits below the region where the fastening part is formed. , it may be formed to cool the vibration element and the first vibration transmission body.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파를 이용한 유체 분사 모듈은, 하우징; 상기 하우징의 하측에 결합되는 결합하우징; 상기 하우징의 내부에 배치되는 진동소자; 상기 하우징의 내부에 배치되되 진동소자의 하측에 결합되는 진동전달체; 액체를 공급 및 분출하는 액체유로; 및 기체를 공급 및 분출하는 기체유로;를 포함하며, 상기 액체유로 및 기체유로에서 공급되는 유체가 혼합되어 이류체로 형성될 수 있다.In order to achieve the above object, a fluid injection module using ultrasonic waves according to another embodiment of the present invention includes: a housing; a coupling housing coupled to a lower side of the housing; a vibrating element disposed inside the housing; a vibration transmission body disposed inside the housing and coupled to a lower side of the vibration element; a liquid flow path for supplying and discharging liquid; and a gas flow path for supplying and ejecting gas; and a fluid supplied from the liquid flow path and the gas flow path may be mixed to form an air mass.
여기서 본 발명은 상기 하우징의 상면을 관통하도록 형성되는 컴팩트;를 더 포함하여 이루어지며, 상기 액체유로는 상기 컴팩트 상에 형성되어 상기 진동전달체의 하단으로 연장될 수도 있다.Here, the present invention further includes a compact formed to penetrate the upper surface of the housing, and the liquid flow path may be formed on the compact and extend to the lower end of the vibration transmitting body.
그리고 본 발명은 상기 액체가 분출되는 상기 진동전달체의 하단에 결합되어 상기 분사액체의 분사 패턴을 조절하는 패턴조절캡;을 더 포함할 수 있다.And the present invention is coupled to the lower end of the vibration transfer member from which the liquid is ejected, the pattern control cap for controlling the spray pattern of the spray liquid; may further include.
또한 상기 액체유로 및 기체유로는 상기 결합하우징을 관통하도록 형성되어 상기 진동전달체의 외측면에 액체 및 기체를 각각 분출할 수 있다.In addition, the liquid flow path and the gas flow path are formed to pass through the coupling housing, so that the liquid and the gas may be ejected on the outer surface of the vibration transmission member, respectively.
이때 본 발명은 상기 진동전달체의 저면이 경사지게 형성되되, 상기 액체유로는 상기 진동전달체의 저면에 액체를 분출할 수 있다.At this time, in the present invention, the bottom surface of the vibration transmission member is formed to be inclined, and the liquid flow path may eject a liquid to the bottom surface of the vibration transmission member.
또한 상기 진동전달체는 다단(多段) 또는 곡선의 형상으로 이루어지되, 하측으로 갈수록 직경이 작게 형성되며, 상기 기체유로는 상기 진동전달체의 하부 외측면에 기체를 분출할 수 있다.In addition, the vibration transmitting body is formed in a multi-stage or curved shape, and the diameter is formed to be smaller toward the lower side, and the gas flow path may eject gas to the lower outer surface of the vibration transmitting member.
이때 상기 진동전달체는 복수로 이루어져 상하방향을 따라 배치되며, 최하측에 배치된 진동전달체의 하부가 다단 또는 곡선의 형상으로 형성될 수 있다.At this time, the vibration transmitting body is made up of a plurality and disposed in the vertical direction, and the lower portion of the vibration transmitting member disposed at the lowermost side may be formed in a multi-stage or curved shape.
또한 본 발명은 상기 결합하우징의 하측에 결합되는 분사노즐;을 더 포함하며, 상기 결합하우징 및 분사노즐이 서로 탈착 가능하게 형성될 수 있다.In addition, the present invention further includes a spray nozzle coupled to the lower side of the coupling housing, the coupling housing and the spray nozzle may be formed to be detachably from each other.
이때 상기 분사노즐은, 상기 결합하우징과 결합되되 내부에 중공이 형성된 노즐본체; 및 상기 노즐본체의 내면에 형성되되 내측으로 돌출된 돌출부;를 포함하며, 상기 노즐본체는, 내면이 상기 돌출부의 형성된 영역 상하로 상부내주면 및 하부내주면으로 구획되고, 상기 상부내주면 및 하부내주면의 상하길이와 상기 돌출부의 형상으로 분사되는 상기 액체 및 기체의 분사각도 및 형상을 제어하고, 상기 돌출부는, 일단이 상기 상부내주면의 하단에서 연장되되 타단이 중공의 내측으로 향하도록 기울어진 제1경사부를 포함하며, 상기 제1경사부는 상기 액체 및 기체를 가이드하도록 형성될 수 있다.At this time, the injection nozzle is coupled to the coupling housing, the nozzle body having a hollow formed therein; and a protrusion formed on the inner surface of the nozzle body and protruding inward, wherein the nozzle body has an inner surface divided into an upper inner circumferential surface and a lower inner circumferential surface above and below the area where the protrusion is formed, the upper and lower inner circumferential surfaces of the upper and lower inner circumferential surfaces The length and shape of the protrusion control the injection angle and shape of the liquid and gas sprayed, and the protrusion includes a first inclined part with one end extending from the lower end of the upper inner circumferential surface and the other end inclined toward the inside of the hollow. Including, the first inclined portion may be formed to guide the liquid and gas.
상술한 구성에 의한 본 발명의 초음파를 이용한 유체 분사 모듈은, 진동소자가 구비된 모듈이 기체 및 액체를 모두 분사하여 세정 또는 유체 코팅 등이 이루어져 보다 다양한 산업군에 활용될 수 있는 장점이 있다. 그리고 본 발명은 하나의 모듈 상에 모두 포함되어 설치와 유지 보수가 보다 용이해지는 효과가 있다.The fluid injection module using ultrasonic waves of the present invention according to the above-described configuration has the advantage that the module equipped with the vibration element sprays both gas and liquid to perform cleaning or fluid coating, and thus can be utilized in more diverse industries. And the present invention has the effect of being more easily installed and maintained by being included in one module.
또한 본 발명은 공간부(R)가 형성되어 하우징의 내측 상부가 냉각유체를 통해 냉각이 이루어지고, 내측 하부가 액체를 통해 냉각이 이루어져 보다 장시간 사용하여도 효율이 유지되는 장점이 있다.In addition, the present invention has an advantage in that the space portion R is formed so that the inner upper portion of the housing is cooled through a cooling fluid, and the inner lower portion is cooled through a liquid, so that the efficiency is maintained even after using it for a longer period of time.
또한 본 발명은 공간부(R) 상에 공급된 액체가 변위가 최대인 지점에서 액체유로로 인입 및 모듈에서 분사되도록 하면 초음파의 압축 및 이완 작용에 의해, 상기 액체가 모듈의 끝부분에서 미립화되거나 유체를 밀어주는 효과가 더불어 발생될 수 있다. 아울러 본 발명은 상기 공간부(R)을 통해 액체 단속 및 인입량 조절이 용이한 장점도 있다.In addition, in the present invention, when the liquid supplied to the space R is introduced into the liquid passage at the point where the displacement is maximum and is injected from the module, the liquid is atomized at the end of the module by the compression and relaxation action of ultrasonic waves or The effect of pushing the fluid may also be generated. In addition, the present invention also has the advantage of easy control of the liquid intermittent and the amount of inlet through the space portion (R).
또한 본 발명은 패턴조절캡과 분사노즐을 구비하여 다양한 형태의 분무형상을 구현할 수 있고, 분무각도 및 형상제어가 보다 용이한 장점이 있다. 그리고 상기 패턴조절캡과 분사노즐이 하우징 또는 진동전달체와 탈착이 가능하도록 형성되어, 상술한 효과가 보다 강화될 수 있다.In addition, the present invention has the advantage of being able to implement various types of spray shapes by having a pattern control cap and a spray nozzle, and more easily control the spray angle and shape. And the pattern control cap and the injection nozzle are formed to be detachable from the housing or the vibration transmission body, so that the above-described effect can be further strengthened.
도 1은 종래기술에 따른 초음파 세정 장치를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 제1 실시예의 다양한 변형예에 따른 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도의 요부를 확대한 도면.
도 8은 본 발명의 제2 실시예의 변형예에 따른 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도의 요부를 확대한 도면.
도 9는 본 발명의 제2 실시예의 다양한 변형예에 따른 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 저면도.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도의 요부를 확대한 도면.1 is a view showing an ultrasonic cleaning apparatus according to the prior art.
Figure 2 is a front cross-sectional view of the fluid injection module using ultrasonic waves according to the first embodiment of the present invention.
3 to 5 are front cross-sectional views of a fluid injection module using ultrasonic waves according to various modifications of the first embodiment of the present invention.
6 is a front cross-sectional view of a fluid injection module using ultrasonic waves according to a second embodiment of the present invention.
7 is an enlarged view of a main part of a front sectional view of a fluid ejection module using ultrasonic waves according to a second embodiment of the present invention;
8 is an enlarged view of a main part of a front sectional view of a fluid ejection module using ultrasonic waves according to a modified example of the second embodiment of the present invention.
9 is a bottom view of a fluid injection module using ultrasonic waves according to various modifications of the second embodiment of the present invention.
10 is a front cross-sectional view of a fluid injection module using ultrasonic waves according to a third embodiment of the present invention.
11 is an enlarged view of a main part of a front sectional view of a fluid injection module using ultrasonic waves according to a third embodiment of the present invention.
이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예와 이의 변형예에 따른 초음파를 이용한 유체 분사 모듈을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 도면들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 제시되는 도면들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 또한 명세서 전반에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, a fluid injection module using ultrasonic waves according to various embodiments of the present invention and modifications thereof will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The drawings introduced below are provided as examples in order to sufficiently convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the present invention is not limited to the drawings presented below and may be embodied in other forms. Also, like reference numerals refer to like elements throughout.
이때 사용되는 기술 용어 및 과학 용어에 있어서 다른 정의가 없다면, 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 통상적으로 이해하고 있는 의미를 가지며, 하기의 설명 및 첨부 도면에서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 설명은 생략한다.If there is no other definition in the technical and scientific terms used at this time, it has the meaning commonly understood by those of ordinary skill in the art to which this invention belongs, and the gist of the present invention is unnecessary in the following description and accompanying drawings Descriptions of known functions and configurations that may be blurry will be omitted.
<제1 실시예><First embodiment>
도 2는 본 발명인 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 제1 실시예에 관한 것으로, 도 2는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도를 나타낸다.FIG. 2 relates to a first embodiment of a fluid ejection module using ultrasonic waves according to the present invention, and FIG. 2 shows a front cross-sectional view of the fluid ejection module using ultrasonic waves.
도 2를 참조하면, 본 발명의 초음파를 이용한 유체 분사 모듈은, 하우징(100), 진동소자(200), 진동전달체(300) 및 결합하우징(400)을 포함하여 이루어질 수 있다. 그리고 본 발명은 액체(LC) 및 기체(AC)가 공급되는 액체유로(10)와 기체유로(20)가 모듈 상에 형성될 수 있다. 이를 보다 상세히 설명하자면 다음과 같다.Referring to FIG. 2 , the fluid injection module using ultrasonic waves of the present invention may include a
본 발명은 상기 하우징(100)의 하측에 상기 결합하우징(400)이 결합될 수 있으며, 상기 진동소자(200)는 상기 하우징(100)의 내부에 배치될 수 있다. 그리고 상기 진동전달체(300)는 제1진동전달체(310) 및 제2진동전달체(320)를 포함할 수 있으며, 상기 제1진동전달체(310) 및 제2진동전달체(320)가 상기 하우징(100) 및 결합하우징(400)의 내부에 각각 배치될 수 있다. 여기서 본 발명은 상기 하우징(100) 내에 공간부(R)가 형성된 것을 특징으로 할 수 있으며, 상기 공간부(R)는 하우징(100)의 내면과 제1진동전달체(310)의 외면 사이에 형성될 수 있다. 일 예로, 상기 공간부(R)는 상기 제1진동전달체(310)가 하측으로 갈수록 직경이 작아지도록 형성되되, 상기 제1진동전달체(310)의 외면, 상기 하우징(100)의 내면 및 상기 결합하우징(400)의 상면을 통해 형성될 수 있다.In the present invention, the
또한 상기 액체유로(10)는 제1액체유로(11) 및 제2액체유로(12)를 포함할 수 있다. 이때 상기 제1액체유로(11)는 상기 하우징(100)을 관통하되, 상기 제1액체유로(11)는 일단이 외부로 개구되고 타단이 상기 공간부(R)으로 개구될 수 있다. 그리고 상기 제2액체유로(12)는 상기 결합하우징(400)을 관통하되, 일단 개구부(12a)가 상기 공간부(R)로 개구되고 타단 개구부(12b)가 이보다 하측에 개구되어 상기 제2진동전달체(320)로 액체가 분출할 수 있다. 또한 상기 제2진동전달체(320)는 저면이 경사지게 형성되되, 상기 제2액체유로(12)의 타단 개구부(12b)는 상기 제2진동전달체(320)의 저면으로 액체(Lc)가 분출되도록 형성될 수 있다. Also, the
이어 도 2에 도시된 진동자의 변위분포를 참조하면, 상기 제2액체유로(12)의 개구부(12a, 12b)는 변위가 최대인 지점(최대 진폭)에 형성될 수 있다. 이에 따라 초음파의 압축 및 이완 작용에 의해 인입되는 액체(LC)가 제2액체유로(12)의 타단 개구부(12b) 부분에서 미립화되거나, 유체를 하측으로 밀어주는 압출 효과가 더불어 발생될 수 있다. 여기서 상기 제1진동전달체(310)는 하부로 갈수록 직경이 작게 형성될 수 있으며, 상기 제2액체유로(12)의 일단 개구부(12a)는 상기 제1진동전달체(310) 측면과 대향하도록 이루어질 수 있다.Next, referring to the displacement distribution of the vibrator shown in FIG. 2 , the
또한 본 발명은 전술한 바와 같이 기체(AC)를 공급하는 기체유로(20)가 형성될 수 있으며, 상기 기체유로(20)는 상기 결합하우징(400)을 관통하도록 형성될 수 있다. 보다 구체적으로 상기 기체유로(20)는 상기 결합하우징(400)의 외면으로부터 관통되어 내측면에 개구될 수 있으며, 상기 제2진동전달체(320)의 외면에 기체(AC)를 분출하도록 이루어질 수 있다. 여기서 상기 결합하우징(400)은 중공이 형성되고 상기 제2진동전달체(320)는 상기 결합하우징(400)의 중공 상에 배치되되, 상기 결합하우징(400)의 중공의 내면과 상기 제2진동전달체(320)의 외면 사이에는 이격 공간이 형성될 수 있다. 그리고 상기 제2진동전달체(320)의 외면에 분사된 기체(Ac)는 이격 공간을 통해 선형 또는 나선형으로 가이드되도록 구성될 수 있다. 이에 따라 상기 기체(Ac)는 상술한 액체(Lc)와의 혼합을 통해 이류체로 형성될 수 있다.In the present invention, as described above, the
상기 하우징(100)은, 상기 진동소자(200)를 냉각하도록 냉각유체(LO)가 출입되는 유로가 형성될 수 있다. 그리고 상기 제1진동전달체(310)는 외측에 체결부(311)가 형성되어 상기 하우징(100)의 내면과 밀착 결합될 수 있으며, 상기 체결부(311) 상에는 가스켓(G) 등의 밀폐를 위한 구성이 더 포함될 수 있다. 아울러 상기 체결부(311)를 기준으로 상부에는 상기 냉각유체(LO)가 유출입되어 상기 진동소자(200)를 냉각하며, 상기 체결부(311)의 하부에는 공간부(R) 상에 상기 액체(LC)가 머물러 상기 제1진동전달체(310)를 냉각하도록 구성될 수 있다.The
도 3 내지 도 5는 본 발명인 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 제1 실시예에 관한 것으로, 도 3 내지 도 5는 다양한 변형예에 따른 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도를 나타낸다.3 to 5 are related to a first embodiment of the present invention of a fluid jetting module using ultrasonic waves, and FIGS. 3 to 5 are front cross-sectional views of the fluid jetting module using ultrasonic waves according to various modifications.
먼저 도 3을 참조하면, 본 발명의 제2액체유로(12)는 상기 제2진동전달체(320)를 관통하도록 형성될 수 있다. 해당 구조의 일 실시예로, 상기 제1진동전달체(310)의 하면의 가장자리 영역이 상기 결합하우징(400)의 상면과 맞닿도록 형성되되, 상기 제1진동전달체(320)의 하면 중심부 부근에 상기 제2진동전달체(320)가 결합될 수 있다. 이때 상기 제2액체유로(12)는 상기 제1진동전달체(310)의 외면으로부터 관통되어 상기 제2진동전달체(320)의 저면에 개구되도록 형성될 수 있다. 그리고 상기 제1진동전달체(310)와 결합하우징(400)이 서로 맞닿는 부분에는 가스켓(G)이 포함되어 액체(Lc)가 누설 되는 것을 방지할 수 있다.First, referring to FIG. 3 , the second
이어 도 4를 참조하면, 본 발명의 제2액체유로(12)가 상기 결합하우징(400)을 관통하도록 형성되되, 상기 제2액체유로(12)가 복수 또는 환형으로 이루어질 수 있다. 아울러 본 발명은 상기 제2진동전달체(320)로 기체(Ac)를 분출하도록 내부에 기체유로가 형성된 기체공급장치(D)를 더 포함할 수 있다.Next, referring to FIG. 4 , the second
또한 본 발명의 제2진동전달체(320)는 상부몸체(321) 및 하부몸체(322)를 포함하여 서로 다른 직경으로 구성되는 복수의 몸체로 구성될 수 있다. 여기서 본 발명의 제2진동전달체(320)는 상대적으로 하측에 배치되는 몸체의 직경이 작게 형성되되, 다단(多段) 또는 곡선 형태로 구성될 수 있다. 그리고 상기 제2액체유로(12)는 상기 제2진동전달체(320)의 하부 외측면에 액체를 분출할 수 있다.In addition, the second
도 5를 참조하면, 본 발명의 제2진동전달체(320)의 저면은 일 방향으로 경사진 형태로 구성될 수 있으며, 결합하우징(400)은 상기 제2진동전달체(320)의 저면과 대향하는 측으로 돌출되는 돌출부(401)가 하부에 형성될 수 있다. 그리고 상기 제2액체유로(12)는 일단 개구부(12a)가 상기 결합하우징(400)의 상면에 형성되되, 타단 개구부(12b)가 상기 돌출부(401)의 내면에 형성되도록 유로가 구성될 수도 있다. Referring to FIG. 5 , the bottom surface of the second
<제2 실시예><Second embodiment>
도 6은 본 발명인 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 제2 실시예에 관한 것으로, 도 6은 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도를 나타낸다.FIG. 6 relates to a second embodiment of a fluid ejection module using ultrasonic waves according to the present invention, and FIG. 6 is a front sectional view of the fluid ejection module using ultrasonic waves.
도 6을 참조하면, 본 발명의 초음파를 이용한 유체 분사 모듈은, 하우징(100) 및 결합하우징(400)이 서로 체결되어 본체를 구성하고, 상기 본체 내부에 진동소자(200) 및 진동전달체(300)가 배치되어 초음파를 발생시키도록 구성될 수 있다. 그리고 본 발명의 초음파를 이용한 유체 분사 모듈은 액체(Lc)를 공급 및 분출하는 액체유로(10)와, 기체(Ac)를 공급 및 분출하는 기체유로(20)를 포함하여 상기 액체(Lc) 및 기체(Ac)를 통해 생성한 이류체를 대상물로 분사하도록 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 6 , in the fluid injection module using ultrasonic waves of the present invention, the
상기 하우징(100)은 상부케이스(110) 및 측면케이스(120)를 포함하되 하부가 개방된 형태로 구성될 수 있으며, 상기 결합하우징(400)은 상기 하우징(100)의 하측에 결합되어 본체로 구성될 수 있다. 이때 상기 하우징(100) 및 결합하우징(400)은 서로 탈착이 가능하게 결합될 수 있다. 그리고 상기 하우징(100)은 냉각유체(Lo)가 유출입할 수 있는 관이 형성될 수 있으며, 본 발명은 상기 냉각유체(Lo)를 통해 내부에 배치된 진동소자(200)를 냉각하여 효율이 일정하게 유지되게 하고 진동소자(200)의 수명을 늘려주는 효과가 있다. The
여기서 본 발명은 상기 하우징(100)의 상부케이스(110)를 관통하는 컴팩트(130)를 포함할 수 있으며, 상기 컴팩트(130) 상에는 액체유로(10)가 형성되어 하측으로 연장될 수 있다. 그리고 상기 액체유로(10)는 진동소자(200)의 하측에 결합된 진동전달체(300)를 관통하여, 상기 진동전달체(300)의 하면으로 개구되어 하측으로 액체(Lc)를 분출하도록 이루어질 수 있다. Here, the present invention may include a compact 130 penetrating the
아울러 본 발명의 기체유로(20)는 상기 결합하우징(400)의 외면으로부터 내면까지 관통하도록 형성되어, 상기 결합하우징(400) 내측에 배치된 진동전달체(300)의 하부에 기체(Ac)를 분출할 수 있다. 여기서 상기 진동전달체(300)는 다단(多段) 또는 곡면 형상으로 이루어지되, 하측으로 갈수록 직경이 작게 형성되며, 상기 기체유로(20)는 상기 진동전달체(300)의 하부 외측면에 기체(Ac)를 분출할 수 있다.In addition, the
또한 본 발명은 상기 결합하우징(400)의 하측에 결합되는 분사노즐(500)을 더 포함할 수 있다. 상기 분사노즐(500)은 상기 액체(Lc) 및 기체(Ac)의 분무패턴을 조절하도록 내측에 돌기가 형성될 수 있으며, 보다 상세한 설명은 후술한다.In addition, the present invention may further include a
이어 도 6에서 도시된 진동자의 변위분포를 참조하면, 본 발명의 진동전달체(300)는 하측 단부에서 초음파의 변위가 최대가 되도록 구성될 수 있으며, 이에 따라 상기 진동전달체(300) 내부에 형성된 상기 액체유로(10)에서 분출되는 액체가 미립화되어 분무되게 할 수 있다.Next, referring to the displacement distribution of the vibrator shown in FIG. 6 , the
도 7은 본 발명인 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 제2 실시예에 관한 것으로, 도 7은 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도 요부를 확대한 도면을 나타낸다.7 is a second embodiment of the present invention, a fluid ejection module using ultrasonic waves, and FIG. 7 is an enlarged front sectional view of the fluid ejection module using ultrasonic waves.
도 7을 참조하면, 본 발명은 상술한 바와 같이 상기 진동전달체(300)의 내부를 관통하도록 형성되는 액체유로(10)와, 결합하우징(400)의 외면에서 내면으로 관통하도록 형성되어 상기 진동전달체(300)의 외면에 기체를 공급하는 기체유로(20)를 통해 이류체를 형성하도록 이루어질 수 있다. 여기서 상기 기체유로(20)에서 분출되는 기체는 상기 진동전달체(300)의 하부를 따라 나선형으로 선회되어 하측으로 분출되도록 형성될 수 있다. Referring to FIG. 7 , the present invention is formed to penetrate from the outer surface of the
이때 본 발명은 상기 혼합된 액체 및 기체의 분무각도, 방향 및 패턴 등을 조절하는 분사노즐(500)이 상기 결합하우징(400)의 하측에 결합될 수 있다. 그리고 본 발명은 다양한 형상의 분사노즐(500)과 상기 결합하우징(400)이 탈착 가능하게 형성되어 보다 다양한 패턴을 구현할 수 있다.At this time, in the present invention, the
상기 분사노즐(500)은, 상기 결합하우징(400)과 결합되되 내부에 중공이 형성된 노즐본체(510) 및 상기 노즐본체(510)의 내면에 형성되되 내측으로 돌출된 돌출부(520)를 포함할 수 있다. 여기서 상기 노즐본체(510)의 내면은 상기 돌출부(520)의 형성된 영역을 기준으로 상측이 상부내주면(511)으로, 하측이 하부내주면(512)으로 구획되고, 상기 상부내주면(511) 및 하부내주면(512)의 상하길이에 따라 분출되는 분무 각도 및 분무 형상을 제어하도록 이루어질 수 있다.The
그리고 상기 돌출부(520)는, 일단이 상기 상부내주면(511)의 하단에서 연장되되 타단이 중공의 내측으로 향하도록 기울어진 제1경사부(521)와, 상기 제1경사부(521)와 하부내주면(512)을 연결하는 제2경사부(522)를 포함할 수 있다. 이때 상기 제1경사부(521)는 상기 혼합된 액체 및 기체를 가이드하여 분사되는 방향을 제어해주도록 형성될 수 있다. 아울러 상기 진동전달체(300)의 하단면과 상기 돌출부(520)의 높이차이에 따라 각도도 함께 제어하도록 구성될 수 있다.And the
도 8은 본 발명인 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 제2 실시예의 변형예에 관한 것으로, 도 8은 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도 요부를 확대한 도면을 나타낸다.FIG. 8 relates to a modified example of the second embodiment of the fluid ejection module using ultrasonic waves according to the present invention, and FIG. 8 is an enlarged front sectional view of the fluid ejection module using ultrasonic waves.
도 8을 참조하면, 본 발명은 상기 진동전달체(300)의 하면에 결합되는 패턴조절캡(330)을 더 포함하여 이루어질 수 있으며, 상기 패턴조절캡(330)에 형성된 중공 형태에 따라 액체유로(10)에서 분출되는 액체의 패턴을 조절하도록 구성될 수도 있다. 여기서 상기 패턴조절캡(330) 또한 복수로 이루어져 각각이 다양한 중공 형태로 구비되되, 상기 패턴조절캡(330)과 진동전달체(300)의 하면이 서로 탈착 가능하게 결합되어 원하는 패턴을 구현하는 패턴조절캡(330)으로 교체하도록 형성될 수 있다. 이에 따라 본 발명은 하나의 모듈로 보다 다양한 패턴을 구현할 수 있는 장점이 있다.Referring to FIG. 8 , the present invention may further include a
도 9는 본 발명인 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 제2 실시예에 관한 것으로, 도 9는 다양한 변형예에 따른 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 저면도를 나타낸다. 여기서 도 9-(a) 및 9-(b)는 상기 패턴조절캡(330)의 결합 전/후에 관한 도면을 도시하고 있다.FIG. 9 relates to a second embodiment of a fluid ejection module using ultrasonic waves according to the present invention, and FIG. 9 shows a bottom view of a fluid ejection module using ultrasonic waves according to various modifications. Here, FIGS. 9-(a) and 9-(b) show views related to before/after coupling of the
도 9를 참조하면, 본 발명의 액체유로(10)는 원형, 다각형 및 타원형 등 다양한 형상으로 개구될 수 있으며, 상기 패턴조절캡(330) 또한 원형, 다각형 및 타원형 등에서 선택되는 어느 하나의 것으로 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 9 , the
액체유로(10)가 원형으로 개구되었다 가정하면, 상기 패턴조절캡(330)은 액체유로(10)의 원형보다 작은 직경의 원형으로 중공이 형성되거나, 다각형이나 타원형 등 다른 형태로 중공이 형성될 수 있다. 그리고 상기 패턴조절캡(330)이 상기 진동전달체(300)와 결합하면 분출되는 액체는 최종적으로 패턴조절캡(330)의 중공에 따라 분무 패턴이 달라질 수 있으며, 상기 패턴조절캡(330)이 슬릿형으로 이루어지는 경우에는 부채꼴형 분무 패턴도 구현할 수 있는 장점이 있다.Assuming that the
<제3 실시예><Third embodiment>
도 10은 본 발명인 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 제3 실시예에 관한 것으로, 도 10은 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도를 나타낸다.FIG. 10 relates to a third embodiment of a fluid ejection module using ultrasonic waves according to the present invention, and FIG. 10 shows a front sectional view of the fluid ejection module using ultrasonic waves.
도 10을 참조하면, 본 발명의 초음파를 이용한 유체 분사 모듈은, 하우징(100) 및 결합하우징(400)이 서로 체결되어 본체를 구성하고, 상기 본체 내부에 진동소자(200) 및 진동전달체(300)가 배치되어 초음파를 발생시키도록 구성될 수 있다. 그리고 본 발명의 초음파를 이용한 유체 분사 모듈은 액체(Lc)를 공급 및 분출하는 액체유로(10)와, 기체(Ac)를 공급 및 분출하는 기체유로(20)를 포함하여 상기 액체(Lc) 및 기체(Ac)를 통해 생성한 이류체를 피대상물로 분사하도록 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 10 , in the fluid injection module using ultrasonic waves of the present invention, a
상기 하우징(100)은 하부가 개방된 형태로 구성될 수 있으며, 상기 결합하우징(400)은 상기 하우징(100)의 하측에 결합되어 본체로 구성될 수 있다. 이때 상기 하우징(100) 및 결합하우징(400)은 서로 탈착이 가능하게 결합될 수 있다. 그리고 본 발명은 상기 하우징(100) 상에 냉각유체(Lo)가 유출입할 수 있는 관이 형성될 수 있으며, 본 발명은 상기 냉각유체(Lo)를 통해 내부에 배치된 진동소자(200)를 냉각하여 효율이 일정하게 유지되게 하고 진동소자(200)의 수명을 늘려주는 효과가 있다. The
그리고 상기 진동전달체(300)는 상기 진동소자(200)의 하측에 결합되는 제1진동전달체(310)와 상기 제1진동전달체(310)의 하측에 결합되는 제2진동전달체(320)를 포함하여 복수로 구성될 수 있다. 여기서 상기 결합하우징(400)은 하부케이스(420)의 중심부가 관통되어 제2진동전달체(320)의 하부가 배치되도록 구성될 수 있다. And the
본 발명의 액체유로(10) 및 기체유로(20)는 각각 상기 결합하우징(400) 하부의 외주면으로부터 내주면을 관통하여, 상기 제2진동전달체(320)로 액체(Lc) 및 기체(Ac)를 분출할 수 있다. 이때 상기 액체유로(10)는 상기 제2진동전달체(320)의 하부의 하면에 액체(Lc)를 분출되게 구성하고, 상기 기체유로(20)는 상기 제2진동전달체(320)의 하부의 측면에 기체(Ac)를 분출할 수 있도록 구성될 수 있다. 여기서 상기 제2진동전달체(320)의 하면은 경사지게 형성되어 상기 액체유로(10)가 하면과 대향하도록 배치되거나, 상기 제2진동전달체(320)의 하면보다 상기 액체유로(10)의 개구부가 하측에 배치되되 상기 액체유로(10)에서 분출되는 액체(Lc)가 상측 방향을 향하도록 구성될 수도 있다.The
여기서 진동자의 변위분포를 살펴보면 제1진동전달체(310)와 제2진동전달체(320)가 서로 결합되는 영역이나, 상기 제2진동전달체(320)의 하단부에서는 초음파의 변위가 최대인 지점으로 구성될 수도 있다.Here, looking at the displacement distribution of the vibrator, the first
그리고 상기 결합하우징(400)의 하측에 결합되는 분사노즐(500)을 더 포함할 수 있으며, 상기 분사노즐(500)은 상기 액체(Lc) 및 기체(Ac)가 서로 혼합되어 생성된 이류체의 분무패턴을 보다 다양화하도록 이루어질 수 있다. 이에 대해서는 도 11을 참조하여 보다 상세히 설명한다.And it may further include an
도 11은 본 발명인 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 제3 실시예에 관한 것으로, 도 11은 초음파를 이용한 유체 분사 모듈의 정단면도 요부를 확대한 도면을 나타낸다.11 is a third embodiment of the present invention, a fluid ejection module using ultrasonic waves, and FIG. 11 is an enlarged front sectional view of the fluid ejection module using ultrasonic waves.
도 11을 참조하면, 상기 분사노즐(500)은, 상기 결합하우징(400)의 하부케이스(420)와 결합되되 내부에 중공이 형성된 노즐본체(510) 및 상기 노즐본체(510)의 내면에 형성되되 내측으로 돌출된 돌출부(520)를 포함할 수 있다. 여기서 상기 노즐본체(510)의 내면은 상기 돌출부(520)의 형성된 영역을 기준으로 상측이 상부내주면(511)으로, 하측이 하부내주면(512)으로 구획되고, 상기 상부내주면(511) 및 하부내주면(512)의 상하길이에 따라 분출되는 이류체의 분무 각도 및 분무 형상 등을 제어하도록 이루어질 수 있다.11, the
그리고 상기 돌출부(520)는, 일단이 상기 상부내주면(511)의 하단에서 연장되되 타단이 중공의 내측으로 향하도록 기울어진 제1경사부(521)와, 상기 제1경사부(521)와 하부내주면(512)을 연결하는 제2경사부(522)를 포함할 수 있다. 이때 상기 제1경사부(521)의 각도에 따라 분출되는 이류체의 분무 각도 및 분무 형상 등을 제어하도록 구성될 수 있다.And the
아울러 본 발명은 상기 액체(Lc)가 상기 제2진동전달체(320)의 하면에 분출되고 분사노즐(500)을 통해 이류체로 토출되도록 구성된다. 여기서 상기 액체(Lc)가 분출되도록 개구된 영역이 상기 분사기체(Ac)가 분출되도록 개구된 영역보다 하측에 배치될 수도 있다.In addition, the present invention is configured so that the liquid (Lc) is ejected to the lower surface of the second vibration transmission body (320) and discharged as a double fluid through the injection nozzle (500). Here, an area open to eject the liquid Lc may be disposed below an area open to eject the injection gas Ac.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 일 실시예에 한정되는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.As described above, the present invention has been described with specific matters such as specific components and limited embodiment drawings, but these are only provided to help a more general understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above one embodiment. No, various modifications and variations are possible from these descriptions by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술되는 특허 청구 범위뿐 아니라, 이 특허 청구 범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and not only the claims described below, but also all of the claims and all equivalents or equivalent modifications fall within the scope of the spirit of the present invention. something to do.
Ac : 기체 C : 하우징 내부공간
D : 기체공급장치 G : 가스켓
Lc : 액체 Lo : 냉각유체
R : 공간부
10 : 액체유로
11 : 제1액체유로 12 : 제2액체유로
20 : 기체유로
100 : 하우징 130 : 컴팩트
200 : 진동소자
300 : 진동전달체
310 : 제1진동전달체 311 : 체결부
320 : 제2진동전달체
321 : 상부몸체 322 : 하부몸체
330 : 패턴조절캡
400 : 결합하우징 401 : 돌출부
410 : 측면케이스 420 : 하부케이스
500 : 분사노즐
510 : 노즐몸체
511 : 상부내주면 512 : 하부내주면
520 : 돌출부
521 : 제1경사부 522 : 제2경사부Ac : Gas C : Housing interior space
D : Gas supply device G : Gasket
Lc : Liquid Lo : Cooling Fluid
R: space part
10: liquid oil
11: first liquid flow path 12: second liquid flow path
20: gas flow path
100: housing 130: compact
200: vibration element
300: vibration transmission body
310: first vibration transmission body 311: fastening part
320: second vibration transmission body
321: upper body 322: lower body
330: pattern control cap
400: coupling housing 401: protrusion
410: side case 420: lower case
500: spray nozzle
510: nozzle body
511: upper inner peripheral surface 512: lower inner peripheral surface
520: protrusion
521: first inclined part 522: second inclined part
Claims (20)
상기 하우징의 내부에 배치되는 진동소자;
상기 하우징 내에 배치되되, 상기 진동소자의 하측에 결합되는 제1진동전달체; 및
상기 제1진동전달체의 하측에 배치되는 제2진동전달체;
를 포함하며,
상기 하우징의 내면, 상기 제1진동전달체의 외면 및 상기 제2진동전달체의 상면의 연장 면이 액체가 체류할 수 있는 공간부(R)를 형성하고,
액체가 상기 공간부(R)를 거쳐 하측으로 토출되도록 액체유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
housing;
a vibrating element disposed inside the housing;
a first vibration transmission body disposed in the housing and coupled to a lower side of the vibration element; and
a second vibration transmission member disposed below the first vibration transmission member;
includes,
The inner surface of the housing, the outer surface of the first vibration transmission body, and the extended surface of the upper surface of the second vibration transmission body form a space (R) in which the liquid can stay,
A fluid injection module using ultrasound, characterized in that the liquid flow path is formed so that the liquid is discharged downward through the space (R).
상기 액체유로는,
상기 하우징을 관통하여 상기 공간부(R)로 액체를 공급하는 제1액체유로; 및
상기 제2진동전달체를 관통하여 하측으로 액체를 분출하는 제2액체유로;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
According to claim 1,
The liquid flow is
a first liquid flow passage for supplying a liquid to the space portion (R) through the housing; and
a second liquid passage passing through the second vibration transmission member and ejecting the liquid downward;
Fluid injection module using ultrasound, characterized in that it comprises a.
상기 제2액체유로는 상기 제1진동전달체 및 제2진동전달체를 순차적으로 관통하여 상기 제2진동전달체의 저면에 개구되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
3. The method of claim 2,
The second liquid flow passage sequentially passes through the first and second vibration transmission members and is opened at the bottom of the second vibration transmission body.
상기 하우징의 하측에 결합되는 결합하우징;
을 더 포함하며,
상기 결합하우징의 중공 상에 상기 제2진동전달체가 배치되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
According to claim 1,
a coupling housing coupled to a lower side of the housing;
further comprising,
The fluid injection module using ultrasonic waves, characterized in that the second vibration transmission body is disposed on the hollow of the coupling housing.
상기 결합하우징의 외면으로부터 내면으로 관통되는 기체유로;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
5. The method of claim 4,
a gas flow passage passing through the inner surface from the outer surface of the coupling housing;
Fluid injection module using ultrasound, characterized in that it further comprises.
상기 제2진동전달체로 기체를 분출하도록 내부에 기체유로가 형성된 기체공급장치;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
a gas supply device having a gas flow path formed therein to eject gas to the second vibration carrier;
Fluid injection module using ultrasound, characterized in that it further comprises.
상기 액체유로는,
상기 하우징을 관통하여 상기 공간부(R)로 액체를 공급하는 제1액체유로; 및
상기 결합하우징을 관통하여 하측으로 액체를 분출하는 제2액체유로;
를 포함하며,
상기 제2액체유로는 상기 제2진동전달체로 액체를 분출하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
5. The method of claim 4,
The liquid flow is
a first liquid flow passage for supplying a liquid to the space portion (R) through the housing; and
a second liquid flow passage for discharging the liquid downward through the coupling housing;
includes,
The second liquid flow passage is a fluid injection module using ultrasonic waves, characterized in that the liquid is ejected to the second vibration transfer body.
상기 제2진동전달체는 저면이 경사지게 형성되되,
상기 제2액체유로는 상기 제2진동전달체의 저면에 액체를 분출하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
8. The method of claim 7,
The second vibration transmission body is formed with an inclined bottom surface,
The second liquid flow passage is a fluid injection module using ultrasonic waves, characterized in that the liquid is ejected on the bottom surface of the second vibration transmission body.
상기 공간부(R)로 개구된 제2액체유로의 일단 개구부는, 발생된 초음파의 변위가 최대인 지점에 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
8. The method of claim 2 or 7,
One end of the opening of the second liquid passage opened to the space (R) is formed at a point where the displacement of the generated ultrasonic wave is maximum.
상기 제2액체유로가 복수 또는 환형으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
8. The method of claim 2 or 7,
A fluid injection module using ultrasound, characterized in that the second liquid flow path is formed in a plurality or annular shape.
상기 제1진동전달체의 측면에는 체결부가 형성되어 상기 하우징의 내면에 수밀 결합되도록 이루어지며,
상기 체결부가 형성된 영역 상측으로는 냉각유체가 출입되고,
상기 체결부가 형성된 영역 하측으로는 액체가 출입되어,
상기 진동소자 및 제1진동전달체를 냉각하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
According to claim 1,
A fastening portion is formed on a side surface of the first vibration transmission body to be watertightly coupled to the inner surface of the housing,
Cooling fluid enters and exits above the area where the fastening part is formed,
The liquid enters and exits the lower side of the region where the fastening part is formed,
A fluid injection module using ultrasonic waves, characterized in that the vibration element and the first vibration transmission body are cooled.
상기 하우징의 하측에 결합되는 결합하우징; 및
상기 하우징의 내부에 배치되는 진동소자;
상기 하우징의 내부에 배치되되 진동소자의 하측에 결합되는 진동전달체;
액체를 공급 및 분출하는 액체유로; 및
기체를 공급 및 분출하는 기체유로;
를 포함하며,
상기 액체유로 및 기체유로에서 공급되는 유체가 혼합되어 이류체로 형성되고,
상기 결합하우징의 하측에 탈착 가능하게 결합되는 분사노즐;
을 더 포함하며,
상기 분사노즐은,
상기 결합하우징과 결합되되 내부에 중공이 형성된 노즐본체; 및
상기 노즐본체의 내면에 형성되되 내측으로 돌출되되 상면이 중공의 내측으로 향하도록 경사진 돌출부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
housing;
a coupling housing coupled to a lower side of the housing; and
a vibrating element disposed inside the housing;
a vibration transmission body disposed inside the housing and coupled to a lower side of the vibration element;
a liquid flow path for supplying and discharging liquid; and
a gas flow path for supplying and discharging gas;
includes,
The fluid supplied from the liquid flow path and the gas flow path is mixed to form an air mass,
a spray nozzle detachably coupled to the lower side of the coupling housing;
further comprising,
The spray nozzle is
a nozzle body coupled to the coupling housing and having a hollow therein; and
a protrusion formed on the inner surface of the nozzle body and protruding inward so that the upper surface is inclined toward the inside of the hollow;
Fluid injection module using ultrasound, characterized in that it comprises a.
상기 하우징의 상면을 관통하도록 형성되는 컴팩트;
를 더 포함하여 이루어지며,
상기 액체유로는 상기 컴팩트 상에 형성되어 상기 진동전달체의 하단으로 연장되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
13. The method of claim 12,
a compact formed to pass through the upper surface of the housing;
It is made by further including
The liquid flow path is formed on the compact and is a fluid injection module using ultrasound, characterized in that it extends to the lower end of the vibration transmission body.
상기 액체가 분출되는 상기 진동전달체의 하단에 결합되어 분사액체의 분사 패턴을 조절하는 패턴조절캡;
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
14. The method of claim 13,
a pattern control cap coupled to the lower end of the vibration transmission body from which the liquid is ejected to adjust the spray pattern of the spray liquid;
Fluid injection module using ultrasound, characterized in that it further comprises.
상기 액체유로 및 기체유로는 상기 결합하우징을 관통하도록 형성되어 상기 진동전달체의 외측면에 액체 및 기체를 각각 분출하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
13. The method of claim 12,
The liquid flow path and the gas flow path are formed to pass through the coupling housing, and the liquid and gas are respectively jetted to the outer surface of the vibration transmitting body.
상기 진동전달체의 저면이 경사지게 형성되되,
상기 액체유로는 상기 진동전달체의 저면에 액체를 분출하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
16. The method of claim 15,
The bottom surface of the vibration transmission body is formed to be inclined,
The liquid flow passage is a fluid injection module using ultrasonic waves, characterized in that the liquid is ejected on the bottom surface of the vibration transmission body.
상기 진동전달체는 다단(多段) 또는 곡선의 형상으로 이루어지되, 하측으로 갈수록 직경이 작게 형성되며,
상기 기체유로는 상기 진동전달체의 하부 외측면에 기체를 분출하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
13. The method of claim 12,
The vibration transmitting body is formed in a multi-stage or curved shape, and the diameter is formed to be smaller toward the lower side,
The gas flow path is a fluid injection module using ultrasonic waves, characterized in that the gas is ejected to the lower outer surface of the vibration transmission body.
상기 진동전달체는 복수로 이루어져 상하방향을 따라 배치되며,
최하측에 배치된 진동전달체의 하부가 다단 또는 곡선의 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.
18. The method of claim 17,
The vibration transmitting body consists of a plurality and is disposed along the vertical direction,
A fluid injection module using ultrasound, characterized in that the lower part of the vibration transmitting body disposed on the lowermost side is formed in a multi-stage or curved shape.
상기 노즐본체는, 내면이 상기 돌출부의 형성된 영역 상하로 상부내주면 및 하부내주면으로 구획되고, 상기 상부내주면 및 하부내주면의 상하길이와 상기 돌출부의 형상으로 분사되는 상기 액체 및 기체의 분사각도 및 형상을 제어하고,
상기 돌출부는, 일단이 상기 상부내주면의 하단에서 연장되되 타단이 중공의 내측으로 향하도록 기울어진 제1경사부를 포함하며, 상기 제1경사부는 상기 액체 및 기체를 가이드하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈.13. The method of claim 12,
The nozzle body has an inner surface divided into an upper inner circumferential surface and a lower inner circumferential surface above and below the area where the protrusion is formed, the vertical length of the upper inner circumferential surface and the lower inner circumferential surface, and the injection angle and shape of the liquid and gas sprayed in the shape of the protrusion control,
The protrusion includes a first inclined part, one end extending from the lower end of the upper inner peripheral surface, and the other end inclined toward the inside of the hollow, and the first inclined part guides the liquid and gas. fluid dispensing module.
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