KR102443126B1 - Wide angle compound-eye camera and method of manufacturing the same - Google Patents

Wide angle compound-eye camera and method of manufacturing the same Download PDF

Info

Publication number
KR102443126B1
KR102443126B1 KR1020210074557A KR20210074557A KR102443126B1 KR 102443126 B1 KR102443126 B1 KR 102443126B1 KR 1020210074557 A KR1020210074557 A KR 1020210074557A KR 20210074557 A KR20210074557 A KR 20210074557A KR 102443126 B1 KR102443126 B1 KR 102443126B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
micro
wide
array
eye camera
lens array
Prior art date
Application number
KR1020210074557A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
조용진
유재관
정기훈
배상인
김현경
Original Assignee
엘아이지넥스원 주식회사
한국과학기술원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘아이지넥스원 주식회사, 한국과학기술원 filed Critical 엘아이지넥스원 주식회사
Priority to KR1020210074557A priority Critical patent/KR102443126B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102443126B1 publication Critical patent/KR102443126B1/en

Links

Images

Classifications

    • H04N5/2254—
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B3/0006—Arrays
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/02—Diffusing elements; Afocal elements
    • G02B5/0205—Diffusing elements; Afocal elements characterised by the diffusing properties
    • G02B5/021—Diffusing elements; Afocal elements characterised by the diffusing properties the diffusion taking place at the element's surface, e.g. by means of surface roughening or microprismatic structures
    • G02B5/0231—Diffusing elements; Afocal elements characterised by the diffusing properties the diffusion taking place at the element's surface, e.g. by means of surface roughening or microprismatic structures the surface having microprismatic or micropyramidal shape
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B17/00—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor
    • G03B17/02—Bodies
    • G03B17/12—Bodies with means for supporting objectives, supplementary lenses, filters, masks, or turrets
    • H04N5/2253—

Abstract

A wide-angle compound eye camera and a manufacturing method of the wide-angle compound eye camera may be disclosed. The wide-angle compound eye camera according to an embodiment includes: a wafer; a micro lens array formed on a first surface of the wafer; a micro prism array formed on a second surface of the wafer, wherein the second surface is opposite to the first surface, and refracting light to enter the micro lens array; a micro post supporting the micro prism array; an image sensor array recording the light passing through the micro lens array as an image; and a spacer separating the micro lens array from the image sensor array.

Description

광각 복안 카메라 및 광각 복안 카메라의 제조 방법{WIDE ANGLE COMPOUND-EYE CAMERA AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}WIDE ANGLE COMPOUND-EYE CAMERA AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

본 발명은 광각 복안 카메라 및 광각 복안 카메라의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a wide-angle compound-eye camera and a method for manufacturing a wide-angle compound-eye camera.

일반적으로, 광각 카메라(wide angle camera)는 화각이 85도가 넘는 렌즈를 사용하여 넓은 범위의 촬영에 적합하도록 구성되는 카메라로서 화질 향상에 주안점을 갖는 광학계가 적용되고 있다. 한편, 복안 카메라는 복수개의 광학계를 사용하여 다시점 이미지를 획득하 수 있다.In general, a wide angle camera is a camera configured to be suitable for shooting in a wide range using a lens having an angle of view of more than 85 degrees, and an optical system focusing on image quality improvement is applied. Meanwhile, the compound-eye camera may acquire a multi-viewpoint image using a plurality of optical systems.

최근, 복수개의 광학계를 사용하여 넓은 범위를 촬영하기 위해 광각 복안 카메라가 제안되고 있다. 종래에는 마이크로 렌즈에 프리즘 어레이를 각각 매칭시켜 빛의 굴절을 통하여 여러 각도의 어레이 이미지를 획득하는 방식이 사용되고 있다. 즉, 종래에는 상측에 위치하는 프리즘을 통해 빛을 굴절시켜 각각의 마이크로 렌즈가 다른 영역을 관측하도록 설계하고 있다. 그러나, 종래에는 마이크로 렌즈 어레이와 마이크로 프리즘을 정렬하고 제작하는 구체적인 방식이 제시되어 있지 않다.Recently, a wide-angle compound-eye camera has been proposed in order to photograph a wide range using a plurality of optical systems. Conventionally, a method of obtaining array images of various angles through refraction of light by matching each prism array to a micro lens is used. That is, in the related art, light is refracted through a prism located on the upper side, and each microlens is designed to observe a different area. However, a specific method for aligning and manufacturing the micro lens array and the micro prism has not been proposed in the prior art.

한편, 종래에는 곡면을 갖는 기판 위에 마이크로 렌즈를 배열하여 광각을 구현하는 기술이 제안되고 있다. 즉, 종래에는 마이크로 렌즈를 구면 위에 배열하여 광각을 구현하고 있다. 그러나, 종래에는 재현성이 떨어지며 시스템의 크기를 증가시키고 평면 이미지 센서 어레이를 사용할 수 없어 이미지의 해상도가 낮아지는 문제점이 있다.Meanwhile, in the related art, a technique for realizing a wide angle by arranging micro lenses on a substrate having a curved surface has been proposed. That is, conventionally, a wide angle is realized by arranging micro lenses on a spherical surface. However, in the related art, there is a problem in that the reproducibility is poor, the size of the system is increased, and the resolution of the image is lowered because a planar image sensor array cannot be used.

한편, 종래에는 광각을 획득하기 위하여 서로 다른 중심 광축을 갖는 마이크로 렌즈 배열을 이용하는 방식이 제안되고 있다. 그러나 종래에는 서로 다른 중심 광축을 갖는 마이크로 렌즈의 공정 방법과 해당 마이크로 렌즈의 광축에 해당 영역의 이미지 센서를 배열시키기 위한 과정이 매우 복잡하며, 각 마이크로 렌즈에 의해 생기는 광축이 이미지 센서에 수직한 방향이 아니므로 다양한 영상 왜곡이 발생하는 문제점이 있다.Meanwhile, in the related art, a method of using a micro lens array having different central optical axes to obtain a wide angle has been proposed. However, in the related art, the processing method of microlenses having different central optical axes and the process for arranging the image sensor of the corresponding area on the optical axis of the corresponding microlens are very complicated, and the optical axis generated by each microlens is in a direction perpendicular to the image sensor. Since this is not the case, there is a problem in that various image distortions occur.

본 발명은 하나의 웨이퍼에 마이크로 프리즘 어레이와 마이크로 렌즈 어레이를 동시에 구현하고 평면의 이미지 센서 어레이를 사용할 수 있는 광각 복안 카메라 및 광각 복안 카메라의 제조 방법을 제공할 수 있다.The present invention can provide a wide-angle compound-eye camera and a method of manufacturing a wide-angle compound-eye camera that can simultaneously implement a micro-prism array and a micro-lens array on a single wafer and use a planar image sensor array.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 광각 복안 카메라가 개시될 수 있다. 일 실시예에 따른 광각 복안 카메라는 웨이퍼; 상기 웨이퍼의 제1 면에 형성되는 마이크로 렌즈 어레이; 상기 웨이퍼의 제2 면 - 상기 제2 면은 상기 제1 면과 대향하는 면임 - 에 형성되고 빛을 굴절시켜 상기 마이크로 렌즈 어레이로 입사시키는 마이크로 프리즘 어레이; 상기 마이크로 프리즘 어레이를 지지하는 마이크로 포스트; 상기 마이크로 렌즈 어레이를 통과한 상기 빛을 영상으로 기록하는 이미지 센서 어레이; 및 상기 마이크로 렌즈 어레이를 상기 이미지 센서 어레이로부터 이격시키는 스페이서를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a wide-angle compound eye camera may be disclosed. A wide-angle compound-eye camera according to an embodiment includes a wafer; a micro lens array formed on the first surface of the wafer; a micro prism array formed on a second surface of the wafer, the second surface being a surface opposite to the first surface, and refracting light to enter the micro lens array; a micro post supporting the micro prism array; an image sensor array that records the light passing through the micro lens array as an image; and a spacer separating the micro lens array from the image sensor array.

일 실시예에 있어서, 상기 마이크로 프리즘 어레이는 광시야각 정보를 획득하기 위해 서로 다른 각도를 가질 수 있다.In an embodiment, the micro-prism array may have different angles to obtain wide viewing angle information.

일 실시예에 있어서, 상기 마이크로 프리즘 어레이는 열가소성 포토레지스트의 패터닝을 통해 형성될 수 있다.In an embodiment, the micro-prism array may be formed through patterning of a thermoplastic photoresist.

일 실시예에 있어서, 상기 열가소성 포토레지스트는 상기 마이크로 포스트의 제1 기둥면에 접착되고 상기 마이크로 포스트의 제2 기둥면에 접착되지 않도록 패터닝될 수 있다.In an embodiment, the thermoplastic photoresist may be patterned so as to adhere to the first pillar surface of the micro-post and not adhere to the second pillar surface of the micro-post.

일 실시예에 있어서, 상기 마이크로 프리즘 어레이는 서로 다른 각도를 갖도록 상기 열가소성 포토레지스트의 패터닝을 복수회 수행하고 열적 재유동 처리를 수행하여 형성될 수 있다.In an embodiment, the micro-prism array may be formed by patterning the thermoplastic photoresist a plurality of times to have different angles and performing a thermal reflow process.

일 실시예에 있어서, 상기 마이크로 렌즈 어레이는 열가소성 소재로 형성될 수 있다.In one embodiment, the micro lens array may be formed of a thermoplastic material.

일 실시예에 있어서, 상기 마이크로 렌즈 어레이는 열가소성 포토레지스트의 패터닝 및 열적 재유동을 통해 형성될 수 있다.In an embodiment, the micro lens array may be formed through patterning and thermal reflow of a thermoplastic photoresist.

일 실시예에 있어서, 상기 마이크로 포스트는 열경화성 폴리머로 형성될 수 있다.In one embodiment, the micro post may be formed of a thermosetting polymer.

일 실시예에 있어서, 상기 마이크로 포스트는 상기 열경화성 폴리머를 복수회 패터닝하고 상기 열경화성 폴리머를 열경화시켜 형성될 수 있다.In an embodiment, the micro post may be formed by patterning the thermosetting polymer a plurality of times and thermosetting the thermosetting polymer.

일 실시예에 있어서, 상기 마이크로 포스트는 상기 열경화성 폴리머와 금속 박막의 조합으로 형성될 수 있다.In one embodiment, the micro post may be formed of a combination of the thermosetting polymer and the metal thin film.

본 발명의 일 실시예에 따르면 광각 복안 카메라의 제조 방법이 개시될 수 있다. 일 실시예에 따른 광각 복안 카메라의 제조 방법은 (a) 웨이퍼의 제1 면에 마이크로 렌즈 어레이를 형성하는 공정; (b) 상기 웨이퍼의 제2 면 - 상기 제2 면은 상기 제1 면과 대향하는 면임 - 에 열경화성 폴리머를 마이크로 포스트 형태로 패터닝하는 공정; (c) 상기 제2 면에 열가소성 포토레지스트를 패터닝하는 공정; (d) 상기 (b) 공정 및 상기 (c) 공정을 복수회 수행하여 마이크로 프리즘 어레이 및 마이크로 포스트를 상기 제2 면에 형성하는 공정; 및 (e) 상기 마이크로 렌즈 어레이가 이미지 센서 어레이로부터 이격되도록 상기 웨이퍼에 스페이서를 플립칩 본딩을 통해 패키징하는 단계를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a method of manufacturing a wide-angle compound eye camera may be disclosed. A method of manufacturing a wide-angle compound-eye camera according to an embodiment includes (a) forming a microlens array on a first surface of a wafer; (b) patterning a thermosetting polymer in the form of micro posts on the second surface of the wafer, the second surface being a surface opposite to the first surface; (c) patterning a thermoplastic photoresist on the second surface; (d) forming a micro-prism array and micro-posts on the second surface by performing the steps (b) and (c) a plurality of times; and (e) packaging the spacers on the wafer through flip-chip bonding so that the micro lens array is spaced apart from the image sensor array.

일 실시예에 있어서, 상기 마이크로 프리즘 어레이는 광시야각 정보를 획득하기 위해 서로 다른 각도를 가질 수 있다.In an embodiment, the micro-prism array may have different angles to obtain wide viewing angle information.

일 실시예에 있어서, 상기 열가소성 포토레지스트는 상기 마이크로 포스트의 제1 기둥면에 접착되고 상기 마이크로 포스트의 제2 기둥면에 접착되지 않도록 패터닝될 수 있다.In an embodiment, the thermoplastic photoresist may be patterned so as to adhere to the first pillar surface of the micro-post and not adhere to the second pillar surface of the micro-post.

일 실시예에 있어서, 상기 마이크로 프리즘 어레이는 상기 열가소성 포토레지스트의 패터닝 및 열적 재유동을 통해 형성될 수 있다.In an embodiment, the micro-prism array may be formed through patterning and thermal reflow of the thermoplastic photoresist.

일 실시예에 있어서, 상기 마이크로 렌즈 어레이는 상기 열가소성 포토레지스트의 패터닝 및 열적 재유동을 통해 형성될 수 있다.In an embodiment, the micro lens array may be formed through patterning and thermal reflow of the thermoplastic photoresist.

일 실시예에 있어서, 상기 마이크로 포스트는 상기 열경화성 폴리머를 열경화시켜 형성될 수 있다.In one embodiment, the micro post may be formed by thermosetting the thermosetting polymer.

본 발명의 다양한 실시예에 따르면, 마이크로 렌즈 어레이를 서로 다른 각도(예를 들어, 기울기)를 갖는 마이크로 프리즘 어레이와 결합하여 서로 다른 시야각(field-of-view)의 이미지를 획득할 수 있다.According to various embodiments of the present disclosure, images of different field-of-view may be obtained by combining a micro lens array with a micro prism array having different angles (eg, inclination).

또한, 마이크로 프리즘 어레이를 마이크로 포스트에 인접시키기 위해 열가소성 포토레지스트를 패터닝하고, 열적 재유동을 통해 마이크로 프리즘 어레이를 형성할 수 있어, 광각 복안 카메라를 단일 구조로 형성할 수 있고, 이에 의해 광각 복안 카메라의 소형화를 도모할 수 있다.In addition, the thermoplastic photoresist can be patterned to adjoin the micro-prism array to the micro-posts, and the micro-prism array can be formed through thermal reflow, so that the wide-angle compound-eye camera can be formed into a single structure, whereby the wide-angle compound-eye camera miniaturization can be achieved.

또한, 낮은 높이의 마이크로 프리즘 어레이와 짧은 초점 거리를 갖는 마이크로 렌즈 어레이를 통해 렌즈의 전체 길이(total track length)를 서브 밀리미터 수준으로 줄일 수 있다. 따라서, 복수의 렌즈군을 사용하여 광각 이미지를 구현하는 기존 상용 카메라에 비하여 광각 복안 카메라의 두께를 현저히 낮게 제조할 수 있다.In addition, the total track length of the lens can be reduced to a sub-millimeter level through the micro-prism array having a low height and the micro-lens array having a short focal length. Therefore, the thickness of the wide-angle compound-eye camera can be manufactured significantly lower than that of a conventional commercial camera that implements a wide-angle image by using a plurality of lens groups.

또한, 마이크로 프리즘 어레이와 마이크로 렌즈 어레이를 통과한 빛을 평면의 이미지 센서 어레이를 통해 어레이 이미지들로 획득할 수 있고, 획득된 어레이 이미지들을 이미지 프로세싱을 통해 결합하여 하나의 광각 이미지를 형성할 수 있으며 중첩된 이미지의 해상도를 증가시킬 수 있다.In addition, the light passing through the micro prism array and the micro lens array can be acquired as array images through a flat image sensor array, and the acquired array images can be combined through image processing to form a single wide-angle image. The resolution of the superimposed image can be increased.

더욱이, 본 발명의 다양한 실시예에 따르면, 마이크로 프리즘 어레이와 마이크로 렌즈 어레이를 하나의 웨이퍼 상에 동시에 구현할 수 있어서, 이후 광각 복안 카메라의 개발에 기여할 수 있다.Moreover, according to various embodiments of the present invention, a micro prism array and a micro lens array can be simultaneously implemented on a single wafer, thereby contributing to the development of a wide-angle compound eye camera.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광각 복안 카메라를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 복안 카메라의 마이크로 프리즘 어레이 및 마이크로 렌즈 어레이를 통과하는 빛을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광각 복안 카메라의 광학 시뮬레이션 결과를 나타낸 도면이다.
도 4는 발명의 일 실시예에 따른 광각 복안 카메라의 마이크로 프리즘 어레이에 입사되는 빛의 굴절을 나타낸 예시도이다.
도 5a 내지 도 5h는 본 발명의 일 실시예에 따른 광각 어레이 카메라를 제조하는 공정을 나타낸 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating a wide-angle compound-eye camera according to an embodiment of the present invention.
2 is a view illustrating light passing through a micro prism array and a micro lens array of an optical compound eye camera according to an embodiment of the present invention.
3 is a diagram illustrating an optical simulation result of a wide-angle compound-eye camera according to an embodiment of the present invention.
4 is an exemplary diagram illustrating refraction of light incident on a micro-prism array of a wide-angle compound-eye camera according to an embodiment of the present invention.
5A to 5H are diagrams illustrating a process of manufacturing a wide-angle array camera according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 발명에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.Embodiments of the present invention are exemplified for the purpose of explaining the technical spirit of the present invention. The scope of the rights according to the present invention is not limited to the embodiments presented below or specific descriptions of these embodiments.

본 발명에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 발명에 사용되는 모든 용어들은 본 발명을 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 발명에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.All technical and scientific terms used in the present invention, unless otherwise defined, have the meanings commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. All terms used in the present invention are selected for the purpose of more clearly describing the present invention and not to limit the scope of the present invention.

본 발명에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.As used herein, expressions such as "comprising", "including", "having", etc. are open-ended terms that include the possibility of including other embodiments, unless otherwise stated in the phrase or sentence in which the expression is included. (open-ended terms).

본 발명에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.Expressions in the singular in the present invention may include the meaning of the plural unless otherwise stated, and the same applies to expressions in the singular in the claims.

본 발명에서 사용되는 "~에 기초하여"라는 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 기술되는, 결정 판단의 행위 또는 동작에 영향을 주는 하나 이상의 인자를 기술하는데 사용되며, 이 표현은 결정, 판단의 행위 또는 동작에 영향을 주는 추가적인 인자를 배제하지 않는다.As used herein, the expression "based on" is used to describe one or more factors affecting the action or action of a decision judgment, which are described in a phrase or sentence in which the expression is included, which expression is a decision , does not exclude additional factors affecting the conduct or behavior of judgment.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the accompanying drawings, identical or corresponding components are assigned the same reference numerals. In addition, in the description of the embodiments below, overlapping description of the same or corresponding components may be omitted. However, even if description regarding components is omitted, it is not intended that such components are not included in any embodiment.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광각 복안 카메라를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 1을 참조하면, 광각 복안 카메라(100)는 마이크로 프리즘 어레이(110), 마이크로 렌즈 어레이(120), 웨이퍼(130), 마이크로 포스트(140), 스페이서(150) 및 이미지 센서 어레이(160)를 포함할 수 있다. 또한, 광각 복안 카메라(100)는 이미지 프로세서(도시하지 않음)를 더 포함할 수 있다.1 is a diagram schematically illustrating a wide-angle compound-eye camera according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1 , the wide-angle compound eye camera 100 includes a micro prism array 110 , a micro lens array 120 , a wafer 130 , a micro post 140 , a spacer 150 , and an image sensor array 160 . may include Also, the wide-angle compound-eye camera 100 may further include an image processor (not shown).

마이크로 프리즘 어레이(110)는 광시야각 정보를 획득하기 위해 빛을 굴절시킬 수 있다. 일 실시예에 있어서, 마이크로 프리즘 어레이(110)는 광시야각 정보를 획득하기 위해 서로 다른 각도(예를 들어, 기울기)를 가질 수 있다. 따라서, 마이크로 프리즘 어레이(110)는 마이크로 렌즈 어레이(120)가 서로 다른 각도의 상을 형성시키도록, 도 2에 도시된 바와 같이 광각의 빛을 각각 다른 각도로 굴절시킬 수 있다.The micro prism array 110 may refract light to obtain wide viewing angle information. In an embodiment, the micro-prism array 110 may have different angles (eg, inclination) to obtain wide viewing angle information. Accordingly, the micro-prism array 110 may refract the wide-angle light at different angles as shown in FIG. 2 so that the micro-lens array 120 forms images of different angles.

일 실시예에 있어서, 마이크로 프리즘 어레이(110)는 열가소성 소재로 형성될 수 있다. 예를 들면, 마이크로 프리즘 어레이(110)는 열가소성 포토레지스트 패터닝을 통해 형성될 수 있다.In one embodiment, the micro-prism array 110 may be formed of a thermoplastic material. For example, the micro-prism array 110 may be formed through thermoplastic photoresist patterning.

마이크로 렌즈 어레이(120)는 마이크로 프리즘 어레이(110)를 통과한 빛을 굴절시킬 수 있다. 일 실시예에 있어서, 마이크로 렌즈 어레이(120)는 도 2에 도시된 바와 같이, 이미지 센서 어레이(160)에 서로 다른 시야각(field-of-view)의 이미지가 획득되도록 빛을 굴절시킬 수 있다.The micro lens array 120 may refract light passing through the micro prism array 110 . In an embodiment, as shown in FIG. 2 , the micro lens array 120 may refract light so that images of different field-of-views are obtained from the image sensor array 160 .

일 실시예에 있어서, 마이크로 렌즈 어레이(120)는 열가소성 소재로 형성될 수 있다. 예를 들면, 마이크로 렌즈 어레이(120)는 열가소성 포토레지스트 패터닝 및 열적 재유동을 통해 형성될 수 있다.In one embodiment, the micro lens array 120 may be formed of a thermoplastic material. For example, the micro lens array 120 may be formed through thermoplastic photoresist patterning and thermal reflow.

웨이퍼(130)는 마이크로 프리즘 어레이(110) 및 마이크로 렌즈 어레이(120)가 배치될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 웨이퍼(130)는 유리로 형성될 수 있다. 그러나, 웨이퍼(130)는 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The wafer 130 may have a micro prism array 110 and a micro lens array 120 disposed therein. In one embodiment, the wafer 130 may be formed of glass. However, the wafer 130 is not necessarily limited thereto.

일 실시예에 있어서, 웨이퍼(130)는 외부로부터 빛이 입력되는 면(이하, "상단면"이라 함)에 마이크로 프리즘 어레이(110)가 배치되고, 상단면과 대향하는 면(이하, "하단면"이라 함)에 마이크로 렌즈 어레이(120)가 배치될 수 있다. 이와 같이, 마이크로 프리즘 어레이(110) 및 마이크로 렌즈 어레이(120)는 하나의 소자, 즉 웨이퍼(130)의 양면에 단일 구조로 제작될 수 있다.In one embodiment, the wafer 130 has the micro-prism array 110 disposed on a surface (hereinafter, referred to as “top surface”) to which light is input from the outside, and a surface opposite to the top surface (hereinafter, “bottom surface”). The micro lens array 120 may be disposed on the surface”. As described above, the micro prism array 110 and the micro lens array 120 may be fabricated as a single structure on both sides of one device, that is, the wafer 130 .

마이크로 포스트(140)는 마이크로 프리즘 어레이(110)를 지지할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 마이크로 포스트(140)는 마이크로 프리즘 어레이(110) 사이의 광학 크로스토크(cross-talk)를 저감시키기 위해 높은 광흡수율을 갖는 소재로 형성될 수 있다. 예를 들면, 마이크로 포스트(140)는 열경화성 흑색 폴리머로 형성될 수 있다. 예를 들면, 마이크로 포스트(140)는 열경화성 폴리머와 금속 박막의 조합으로 형성될 수 있다. 그러나, 마이크로 포스트(140)는 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The micro post 140 may support the micro prism array 110 . In an embodiment, the micro posts 140 may be formed of a material having a high light absorption rate in order to reduce optical cross-talk between the micro prism arrays 110 . For example, the micro posts 140 may be formed of a thermosetting black polymer. For example, the micro post 140 may be formed of a combination of a thermosetting polymer and a metal thin film. However, the micro post 140 is not necessarily limited thereto.

스페이서(150)는 마이크로 렌즈 어레이(120)를 이미지 센서 어레이(160)로부터 소정 거리 이격시켜 고정시킬 수 있다. 일 실시예에 있어서, 스페이서(150)는 마이크로 렌즈 어레이(120), 즉 마이크로 렌즈의 초점 거리만큼 마이크로 렌즈 어레이(120)를 이격시켜 고정시킬 수 있다. 일 실시예에 있어서, 스페이서(150)는 AlxOy로 형성될 수 있다. 그러나, 스페이서(150)는 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The spacer 150 may fix the micro lens array 120 by a predetermined distance away from the image sensor array 160 . In one embodiment, the spacer 150 may be fixed by spacing the micro lens array 120 apart by the focal length of the micro lens array 120 , that is, the micro lens. In one embodiment, the spacer 150 is to be formed of Al x O y can However, the spacer 150 is not necessarily limited thereto.

이미지 센서 어레이(160)는 마이크로 렌즈 어레이(120)를 통과한 빛을 수신하고, 수신된 빛에 기초하여 영상을 기록할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 이미지 센서 어레이(160)는 평면 형상을 갖는 복수의 이미지 센서로 이루어질 수 있다. 일 실시예에 있어서, 이미지 센서 어레이(160)는 수신된 빛을 영상으로 기록할 수 있는 다양한 센서로 구현될 수 있다. 이미지 센서 어레이(160)에 의해 획득된 이미지(즉, 어레이 이미지)는 이미지 프로세서에 의해 결합되어 하나의 광각 이미지로 형성될 수 있으며, 중첩된 이미지의 해상도가 증가될 수 있다.The image sensor array 160 may receive light passing through the micro lens array 120 and record an image based on the received light. In an embodiment, the image sensor array 160 may include a plurality of image sensors having a planar shape. In an embodiment, the image sensor array 160 may be implemented as various sensors capable of recording received light as an image. The images (ie, array images) acquired by the image sensor array 160 may be combined by an image processor to form one wide-angle image, and the resolution of the superimposed image may be increased.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광각 복안 카메라의 광학 시뮬레이션 결과를 나타낸 도면이다. 도 3의 광학 시뮬레이션에서는 마이크로 프리즘 어레이(110)가 각각 30°, 20°, 10° 및 0°의 각도를 가지며 대칭 배열하였다. 이러한 구조를 통해, 기존의 시야각과 대비하여 마이크로 렌즈 어레이(120)에 입사되는 평행광(수직 입사)을 기준으로 각각 20°, 11° 및 5°의 시야각이 추가적으로 확보될 수 있다. 마이크로 프리즘 어레이(110)의 각도는 중심으로 갈수록 낮아지며, 중심의 마이크로 프리즘 어레이(110)의 각도는 0°로 수렴할 수 있다.3 is a diagram illustrating an optical simulation result of a wide-angle compound-eye camera according to an embodiment of the present invention. In the optical simulation of FIG. 3 , the micro-prism arrays 110 have angles of 30°, 20°, 10° and 0°, respectively, and are symmetrically arranged. Through this structure, viewing angles of 20°, 11°, and 5°, respectively, based on the parallel light (normal incidence) incident on the micro lens array 120 can be additionally secured in comparison with the conventional viewing angle. The angle of the micro-prism array 110 decreases toward the center, and the angle of the micro-prism array 110 at the center may converge to 0°.

도 4는 발명의 일 실시예에 따른 광각 복안 카메라의 마이크로 프리즘 어레이에 입사되는 빛의 굴절을 나타낸 예시도이다. 도 4를 참조하면, 60°의 각도로 입사되는 빛은 마이크로 프리즘 어레이(110)에 의해 굴절되고 마이크로 렌즈 어레이(120)에 입사되어 결상면(예를 들어, 이미지 센서(160))에 집속될 수 있다. 60°의 각도보다 큰 각도의 빛이 마이크로 렌즈 어레이(120)에 입사되는 경우, 수차(상면 만곡 등)에 의해 이미지가 흐려지거나 전반사 각도에 의해 입사된 빛이 굴절될 수 있다.4 is an exemplary diagram illustrating refraction of light incident on a micro-prism array of a wide-angle compound-eye camera according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4 , the light incident at an angle of 60° is refracted by the micro-prism array 110 , and is incident on the micro-lens array 120 to be focused on the imaging plane (eg, the image sensor 160 ). can When light having an angle greater than 60° is incident on the microlens array 120 , an image may be blurred due to aberrations (field curvature, etc.) or the incident light may be refracted due to a total reflection angle.

도 5a 내지 도 5i는 본 발명의 일 실시예에 따른 광각 어레이 카메라를 제조하는 공정을 나타낸 도면이다. 도 5a를 참조하면, 마이크로 렌즈 어레이(120)가 웨이퍼(130)의 제1 면에 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 마이크로 렌즈 어레이(120)는 열가소성 포토레지스트를 패터닝하고 고온에서 열적 재유동을 통해 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제1 면은 웨이퍼(130)의 하단면일 수 있다.5A to 5I are diagrams illustrating a process of manufacturing a wide-angle array camera according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 5A , the micro lens array 120 may be formed on the first surface of the wafer 130 . In one embodiment, the micro lens array 120 may be formed by patterning a thermoplastic photoresist and thermal reflow at a high temperature. In an embodiment, the first surface may be a lower surface of the wafer 130 .

도 5b를 참조하면, 마이크로 포스트(140)를 형성하기 위한 열경화성 폴리머(540_1)가 웨이퍼(130)의 제2 면에 마이크로 포스트 형태로 패터닝될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 열경화성 폴리머(540_1)는 광흡수율이 높은 열경화성 흑색 폴리머일 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제2 면은 웨이퍼(130)의 상단면일 수 있다. 즉, 제2 면은 외부로부터 빛이 입사되는 면일 수 있다.Referring to FIG. 5B , the thermosetting polymer 540_1 for forming the micro posts 140 may be patterned in the form of micro posts on the second surface of the wafer 130 . In an embodiment, the thermosetting polymer 540_1 may be a thermosetting black polymer having a high light absorption rate. In one embodiment, the second surface may be a top surface of the wafer 130 . That is, the second surface may be a surface on which light is incident from the outside.

도 5c를 참조하면, 마이크로 프리즘 어레이(110)를 형성하기 위한 열가소성 포토레지스트(510_1)가 웨이퍼(130)의 제2 면에 패터닝될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 열가소성 포토레지스트(510_1)는 열경화성 폴리머(540_1)의 제1 기둥면에 접착될 수 있다. 예를 들면, 제1 기둥면은 마이크로 포스트(140), 즉 열경화성 폴리머(540_1)의 바깥쪽 기둥면일 수 있다. 일 실시예에 있어서, 마이크로 프리즘 어레이(110)를 형성하기 위해 열가소성 포토레지스트(510_1)는 마이크로 포스트(140), 즉 열경화성 폴리머(540_1)의 제2 기둥면에 접착되지 않아야 한다. 예를 들면, 제2 기둥면은 마이크로 포스트(140), 즉 열경화성 폴리머(540_1)의 안쪽 기둥면일 수 있다.Referring to FIG. 5C , a thermoplastic photoresist 510_1 for forming the micro-prism array 110 may be patterned on the second surface of the wafer 130 . In an embodiment, the thermoplastic photoresist 510_1 may be adhered to the first pillar surface of the thermosetting polymer 540_1 . For example, the first pillar surface may be an outer pillar surface of the micro post 140 , that is, the thermosetting polymer 540_1 . In one embodiment, in order to form the micro-prism array 110 , the thermoplastic photoresist 510_1 should not be adhered to the micro-post 140 , that is, the second pillar surface of the thermosetting polymer 540_1 . For example, the second pillar surface may be an inner pillar surface of the micro post 140 , that is, the thermosetting polymer 540_1 .

도 5d를 참조하면, 열경화성 폴리머(540_2)가 도 5b에서 형성된 열경화성 폴리머(540_1) 상에 패터닝될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 열경화성 폴리머(540_2)는 마이크로 포스트 형태로 도 5b에서 형성된 열경화성 폴리머(540_1) 상에 패터닝될 수 있다. Referring to FIG. 5D , a thermosetting polymer 540_2 may be patterned on the thermosetting polymer 540_1 formed in FIG. 5B . In an embodiment, the thermosetting polymer 540_2 may be patterned on the thermosetting polymer 540_1 formed in FIG. 5B in the form of micro posts.

도 5e를 참조하면, 마이크로 프리즘 어레이(110)를 형성하기 위한 열가소성 포토레지스트(510_2)가 도 5c에서 형성된 열가소성 포토레지스트(510_1) 상에 패터닝될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 열가소성 포토레지스트(510_2)는 도 5e에 도시된 바와 같이 서로 다른 높이를 갖도록 열가소성 포토레지스트(510_1) 상에 패터닝될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 열가소성 포토레지스트(510_2)는 마이크로 포스트(140), 즉 열경화성 폴리머(540_2)의 제1 기둥면에 접착되고 열경화성 폴리머(540_2)의 제2 기둥면에 접착되지 않아야 한다.Referring to FIG. 5E , a thermoplastic photoresist 510_2 for forming the micro-prism array 110 may be patterned on the thermoplastic photoresist 510_1 formed in FIG. 5C . In an embodiment, the thermoplastic photoresist 510_2 may be patterned on the thermoplastic photoresist 510_1 to have different heights as shown in FIG. 5E . In one embodiment, the thermoplastic photoresist 510_2 should be adhered to the micro-post 140 , that is, the first pillar surface of the thermosetting polymer 540_2 and not to the second pillar surface of the thermosetting polymer 540_2 .

도 5f를 참조하면, 열경화성 폴리머(540_3)가 도 5d에서 형성된 열경화성 폴리머(540_2) 상에 패터닝될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 열경화성 폴리머(540_3)는 마이크로 포스트 형태로 도 5d에서 형성된 열경화성 폴리머(540_2) 상에 패터닝될 수 있다.Referring to FIG. 5F , a thermosetting polymer 540_3 may be patterned on the thermosetting polymer 540_2 formed in FIG. 5D . In one embodiment, the thermosetting polymer 540_3 may be patterned on the thermosetting polymer 540_2 formed in FIG. 5D in the form of micro posts.

도 5g를 참조하면, 마이크로 프리즘 어레이(110)를 형성하기 위한 열가소성 포토레지스트(510_3)가 도 5e에서 형성된 열가소성 포토레지스트(510_2) 상에 패터닝될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 열가소성 포토레지스트(510_3)는 도 5g에 도시된 바와 같이 서로 다른 높이를 갖도록 열가소성 포토레지스트(510_2) 상에 패터닝될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 열가소성 포토레지스트(510_3)는 마이크로 포스트(140), 즉 열경화성 폴리머(540_3)의 제1 기둥면에 접착되고 열경화성 폴리머(540_3)의 제2 기둥면에 접착되지 않아야 한다.Referring to FIG. 5G , a thermoplastic photoresist 510_3 for forming the micro-prism array 110 may be patterned on the thermoplastic photoresist 510_2 formed in FIG. 5E . In an embodiment, the thermoplastic photoresist 510_3 may be patterned on the thermoplastic photoresist 510_2 to have different heights as shown in FIG. 5G . In one embodiment, the thermoplastic photoresist 510_3 should be adhered to the micro post 140 , that is, the first pillar surface of the thermosetting polymer 540_3 and not to the second pillar surface of the thermosetting polymer 540_3 .

도 5h를 참조하면, 마이크로 프리즘 어레이(110) 및 마이크로 포스트(140)가 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 마이크로 프리즘 어레이(110)는 열가소성 포토레지스트(510_1, 510_2, 510_3)에 열적 재유동 처리를 수행함으로써 형성될 수 있다. 또한, 마이크로 포스트(140)는 열경화성 폴리머(540_1, 540_2, 540_3)를 고온 대류식 오븐에서 경화시킴으로써 형성될 수 있다.Referring to FIG. 5H , a micro prism array 110 and a micro post 140 may be formed. In an embodiment, the micro-prism array 110 may be formed by performing a thermal reflow process on the thermoplastic photoresists 510_1 , 510_2 , and 510_3 . In addition, the micro posts 140 may be formed by curing the thermosetting polymers 540_1 , 540_2 , and 540_3 in a high temperature convection oven.

전술한 실시예에서는 열가소성 포토레지스트 및 열경화성 폴리머를 각각 3회 패터닝하여 마이크로 프리즘 어레이(110) 및 마이크로 포스트(140)를 형성하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 마이크로 프리즘 어레이(110) 및 마이크로 포스트(140)의 크기 및 형상에 따라 열가소성 포토레지스트 및 열경화성 폴리머를 각각 복수회 패터닝하여 마이크로 프리즘 어레이(110) 및 마이크로 포스트(140)를 형성할 수 있다.In the above embodiment, it has been described that the micro-prism array 110 and the micro post 140 are formed by patterning the thermoplastic photoresist and the thermosetting polymer three times, respectively, but the present invention is not limited thereto, and the micro-prism array 110 and The micro-prism array 110 and the micro-post 140 may be formed by patterning each of the thermoplastic photoresist and the thermosetting polymer a plurality of times according to the size and shape of the micro-post 140 .

다른 실시예로, 마이크로 포스트(140)는 열경화성 폴리머와 금속 박막의 조합으로 형성될 수 있다. 즉, 마이크로 포스트(140)가 제작될 때, 불투명한 마이크로 포스트의 복수회 패터닝을 통해 형성도 가능하지만, 투명한 마이크로 포스트를 복수회 패터닝 후 금속박막의 증착을 통해 조리개 역할을 수행하도록 할 수 있다. In another embodiment, the micro posts 140 may be formed of a combination of a thermosetting polymer and a metal thin film. That is, when the micro-posts 140 are manufactured, they can be formed by patterning the opaque micro-posts a plurality of times, but after patterning the transparent micro-posts a plurality of times, it is possible to perform the role of an diaphragm through deposition of a metal thin film.

웨이퍼(130)의 마이크로 렌즈 어레이(120)가 하단면으로 향하도록 하고 스페이서(150)로 플립칩 본딩을 통해 패키징하여, 도 1에 도시된 바와 같이, 이미지 센서(160)가 부착된 광각 어레이 카메라(100)가 제조될 수 있다. A wide-angle array camera with an image sensor 160 attached thereto, as shown in FIG. 1 by packaging the microlens array 120 of the wafer 130 toward the bottom surface and packaging through flip-chip bonding with a spacer 150 . (100) can be prepared.

이상 일부 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예에 의해 본 발명의 기술적 사상이 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이해할 수 있는 본 발명의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 치환, 변형 및 변경이 이루어질 수 있다는 점을 알아야 할 것이다. 또한, 그러한 치환, 변형 및 변경은 첨부된 청구범위 내에 속하는 것으로 생각되어야 한다.Although the technical spirit of the present invention has been described by the examples shown in some embodiments and the accompanying drawings above, it does not depart from the technical spirit and scope of the present invention that can be understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. It should be understood that various substitutions, modifications, and alterations within the scope may be made. Further, such substitutions, modifications, and alterations are intended to fall within the scope of the appended claims.

100: 광각 복안 카메라, 110: 마이크로 프리즘 어레이, 120: 마이크로 렌즈 어레이, 130: 웨이퍼, 140: 마이크로 포스트, 150: 스페이서, 160: 이미지 센서 어레이, 510_1, 510_2, 510_3: 열가소성 포토레지스트, 540_1, 540_2, 540_3: 열경화성 폴리머100: wide-angle compound eye camera, 110: micro prism array, 120: micro lens array, 130: wafer, 140: micro post, 150: spacer, 160: image sensor array, 510_1, 510_2, 510_3: thermoplastic photoresist, 540_1, 540_2 , 540_3: thermosetting polymer

Claims (18)

광각 복안 카메라로서,
웨이퍼;
상기 웨이퍼의 제1 면에 형성되는 마이크로 렌즈 어레이;
상기 웨이퍼의 제2 면 - 상기 제2 면은 상기 제1 면과 대향하는 면임 - 에 형성되고 빛을 굴절시켜 상기 마이크로 렌즈 어레이로 입사시키는 마이크로 프리즘 어레이;
상기 마이크로 프리즘 어레이를 지지하는 마이크로 포스트;
상기 마이크로 렌즈 어레이를 통과한 상기 빛을 영상으로 기록하는 이미지 센서 어레이; 및
상기 마이크로 렌즈 어레이를 상기 이미지 센서 어레이로부터 이격시키는 스페이서를 포함하고,
상기 마이크로 프리즘 어레이는 열가소성 포토레지스트의 패터닝을 통해 형성되고,
상기 열가소성 포토레지스트는 상기 마이크로 포스트의 제1 기둥면에 접착되고 상기 마이크로 포스트의 제2 기둥면에 접착되지 않도록 패터닝되는 광각 복안 카메라.A wide-angle compound-eye camera comprising:
wafer;
a micro lens array formed on the first surface of the wafer;
a micro prism array formed on a second surface of the wafer, the second surface being a surface opposite to the first surface, and refracting light to enter the micro lens array;
a micro post supporting the micro prism array;
an image sensor array that records the light passing through the micro lens array as an image; and
a spacer separating the micro lens array from the image sensor array;
The micro-prism array is formed through patterning of a thermoplastic photoresist,
wherein the thermoplastic photoresist is patterned so as to be adhered to the first columnar surface of the micro-post and not adhered to the second columnar surface of the micro-post. 제1항에 있어서, 상기 마이크로 프리즘 어레이는 광시야각 정보를 획득하기 위해 서로 다른 각도를 갖는 광각 복안 카메라.The wide-angle compound-eye camera of claim 1 , wherein the micro-prism array has different angles to obtain wide-viewing-angle information. 제1항에 있어서, 상기 마이크로 프리즘 어레이는 열가소성 소재로 형성되는 광각 복안 카메라.The wide-angle compound eye camera of claim 1, wherein the micro-prism array is made of a thermoplastic material. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 마이크로 프리즘 어레이는 서로 다른 각도를 갖도록 상기 열가소성 포토레지스트의 패터닝을 복수회 수행하고 열적 재유동 처리를 수행하여 형성되는 광각 복안 카메라.The wide-angle compound eye camera of claim 1 , wherein the micro-prism array is formed by patterning the thermoplastic photoresist multiple times to have different angles and performing thermal reflow treatment. 제1항에 있어서, 상기 마이크로 렌즈 어레이는 열가소성 소재로 형성되는 광각 복안 카메라.The wide-angle compound eye camera of claim 1, wherein the micro lens array is made of a thermoplastic material. 제7항에 있어서, 상기 마이크로 렌즈 어레이는 열가소성 포토레지스트의 패터닝 및 열적 재유동을 통해 형성되는 광각 복안 카메라.The wide-angle compound eye camera according to claim 7, wherein the micro lens array is formed through patterning and thermal reflow of a thermoplastic photoresist. 제1항에 있어서, 상기 마이크로 포스트는 열경화성 폴리머로 형성되는 광각 복안 카메라.The wide-angle compound eye camera of claim 1, wherein the micro post is formed of a thermosetting polymer. 제9항에 있어서, 상기 마이크로 포스트는 상기 열경화성 폴리머를 복수회 패터닝하고 상기 열경화성 폴리머를 열경화시켜 형성되는 광각 복안 카메라.The wide-angle compound eye camera of claim 9 , wherein the micro posts are formed by patterning the thermosetting polymer a plurality of times and thermosetting the thermosetting polymer. 삭제delete 광각 복안 카메라의 제조 방법으로서,
(a) 웨이퍼의 제1 면에 마이크로 렌즈 어레이를 형성하는 공정;
(b) 상기 웨이퍼의 제2 면 - 상기 제2 면은 상기 제1 면과 대향하는 면임 - 에 열경화성 폴리머를 마이크로 포스트 형태로 패터닝하는 공정;
(c) 상기 제2 면에 열가소성 포토레지스트를 패터닝하는 공정;
(d) 상기 (b) 공정 및 상기 (c) 공정을 복수회 수행하여 마이크로 프리즘 어레이 및 마이크로 포스트를 상기 제2 면에 형성하는 공정; 및
(e) 상기 마이크로 렌즈 어레이가 이미지 센서 어레이로부터 이격되도록 상기 웨이퍼에 스페이서를 플립칩 본딩을 통해 패키징하는 단계를 포함하고,
상기 열가소성 포토레지스트는 상기 마이크로 포스트의 제1 기둥면에 접착되고 상기 마이크로 포스트의 제2 기둥면에 접착되지 않도록 패터닝되는 광각 복안 카메라의 제조 방법.A method for manufacturing a wide-angle compound eye camera, comprising:
(a) forming a micro lens array on the first surface of the wafer;
(b) patterning a thermosetting polymer in the form of micro posts on the second surface of the wafer, the second surface being a surface opposite to the first surface;
(c) patterning a thermoplastic photoresist on the second surface;
(d) forming a micro-prism array and micro-posts on the second surface by performing the steps (b) and (c) a plurality of times; and
(e) packaging the spacers on the wafer through flip-chip bonding so that the micro lens array is spaced apart from the image sensor array,
The method of manufacturing a wide-angle compound eye camera, wherein the thermoplastic photoresist is patterned so as to be adhered to the first pillar surface of the micro-post and not adhered to the second pillar surface of the micro-post. 제12항에 있어서, 상기 마이크로 프리즘 어레이는 광시야각 정보를 획득하기 위해 서로 다른 각도를 갖는 광각 복안 카메라의 제조 방법.The method of claim 12 , wherein the micro-prism array has different angles to obtain wide-viewing-angle information. 삭제delete 제12항에 있어서, 상기 마이크로 프리즘 어레이는 상기 열가소성 포토레지스트의 패터닝 및 열적 재유동을 통해 형성되는 광각 복안 카메라의 제조 방법.The method of claim 12 , wherein the micro-prism array is formed through patterning and thermal reflow of the thermoplastic photoresist. 제12항에 있어서, 상기 마이크로 렌즈 어레이는 상기 열가소성 포토레지스트의 패터닝 및 열적 재유동을 통해 형성되는 광각 복안 카메라의 제조 방법.The method of claim 12 , wherein the micro lens array is formed through patterning and thermal reflow of the thermoplastic photoresist. 제12항에 있어서, 상기 마이크로 포스트는 상기 열경화성 폴리머를 열경화시켜 형성되는 광각 복안 카메라의 제조 방법.The method of claim 12 , wherein the micro post is formed by thermosetting the thermosetting polymer. 삭제delete
KR1020210074557A 2021-06-09 2021-06-09 Wide angle compound-eye camera and method of manufacturing the same KR102443126B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210074557A KR102443126B1 (en) 2021-06-09 2021-06-09 Wide angle compound-eye camera and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210074557A KR102443126B1 (en) 2021-06-09 2021-06-09 Wide angle compound-eye camera and method of manufacturing the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102443126B1 true KR102443126B1 (en) 2022-09-14

Family

ID=83279546

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210074557A KR102443126B1 (en) 2021-06-09 2021-06-09 Wide angle compound-eye camera and method of manufacturing the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102443126B1 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008288449A (en) * 2007-05-18 2008-11-27 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> Imaging apparatus
KR101738883B1 (en) * 2016-01-06 2017-05-23 한국과학기술원 Ultrathin digital camera and manufacturing method of the same

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008288449A (en) * 2007-05-18 2008-11-27 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> Imaging apparatus
KR101738883B1 (en) * 2016-01-06 2017-05-23 한국과학기술원 Ultrathin digital camera and manufacturing method of the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20220052093A1 (en) Aperture-Metasurface and Hybrid Refractive-Metasurface Imaging Systems
US9880391B2 (en) Lens array modules and wafer-level techniques for fabricating the same
CN108351492B (en) Multi-aperture imaging apparatus including optical substrate
US20100002313A1 (en) Method and apparatus providing singlet wafer lens system with field flattener
US7916204B2 (en) Multiple microlens system for image sensors or display
JP5312774B2 (en) Thin authentication sensor
WO2017202323A1 (en) Photosensitive image element, image collector, fingerprint collection device, and display device
US7525733B2 (en) Solid-state imaging device and method for manufacturing the same
KR101185881B1 (en) Camera system and associated methods
US7894139B2 (en) Imaging apparatus and method for manufacturing microlens array
US20110268868A1 (en) Imaging Systems Having Ray Corrector, And Associated Methods
KR101410002B1 (en) Image sensing apparatus with artificial ommatidia and Manufacturing method for artificial ommatidia unit
US20090225405A1 (en) Wide-Angle Lens, Optical Device Using the Wide-Angle Lens, and Method for Fabricating the Wide-Angle Lens
US20070070507A1 (en) Aspherical microlens arrays and fabrication method thereof and applications using the same
US10277788B2 (en) Ultrathin digital camera and method of manufacturing the same
WO2023011365A1 (en) Metalens, camera module and electronic device
KR102614907B1 (en) Image sensor and method to produce image sensor
KR102443126B1 (en) Wide angle compound-eye camera and method of manufacturing the same
US10916575B2 (en) Image sensor and method of manufacturing image sensor
JPH03175403A (en) Solid-state image pickup device
CN112262476A (en) Solid-state image pickup device and electronic apparatus
US11048067B2 (en) Lens system
US11726307B2 (en) Camera module, optical apparatus, and method for manufacturing camera module
EP3129819B1 (en) Image acquisition system
WO2022080168A1 (en) Light-receiving apparatus and electronic device

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant