KR102423917B1 - Apparatus for controlling temperature of chemical liquid - Google Patents

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Abstract

본 발명은 약액의 온도제어장치에 관한 것으로, 서로 이격 배치되는 제1 및 제2 히트싱크 블록;
제1 및 제2히트싱크 블록 사이에 배치되며 냉각수 유로가 형성된 냉각수 블록; 제1히트싱크 블록과 냉각수 블록 사이 및 제2히트싱크 블록과 냉각수 블록 사이에 설치되는 열전소자; 및 단일관으로 형성되며, 약액이 유입되는 약액 유입부가 제1히트싱크 블록에 설치되고 약액이 배출되는 약액 배출부가 제2히트싱크 블록에 설치되어 약액이 제1히트싱크 블록과 제2히트싱크 블록을 차례로 관통하여 유동하도록 구성되는 약액관;을 포함한다.The present invention relates to a temperature control device for a chemical, comprising: first and second heat sink blocks spaced apart from each other;
a cooling water block disposed between the first and second heat sink blocks and having a cooling water flow path formed therein; a thermoelectric element installed between the first heat sink block and the coolant block and between the second heat sink block and the coolant block; and a single tube, the chemical liquid inlet through which the chemical is introduced is installed in the first heat sink block, and the chemical liquid outlet through which the chemical is discharged is installed in the second heat sink block, so that the chemical is transferred to the first heat sink block and the second heat sink block. and a chemical liquid tube configured to flow through the in turn.

Description

약액의 온도제어장치{Apparatus for controlling temperature of chemical liquid}Apparatus for controlling temperature of chemical liquid

본 발명은 약액의 온도제어장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 열전달 효율을 향상시키고, 약액의 누출을 방지할 수 있도록 하는 약액의 온도제어장치에 관한 것이다. The present invention relates to a device for controlling a temperature of a chemical, and more particularly, to a device for controlling a temperature of a chemical for improving heat transfer efficiency and preventing leakage of a chemical.

일반적으로, 반도체 공정 및 LCD(Liquid Crystal Display) 공정에서는 기판의 표면 처리를 위해 다양한 약액들을 이용하는 기판처리장치를 사용한다.In general, in a semiconductor process and a liquid crystal display (LCD) process, a substrate processing apparatus using various chemical solutions is used to treat the surface of a substrate.

예를 들어, 기판처리장치는 기판의 식각 공정, 세정 공정 등을 처리하며, 이러한 기판의 공정에서는 불산, 황산, 질산, 인산 등과 같은 산성 용액이나, 수산화칼륨, 수산화나트륨, 암모늄 등과 같은 알칼리성 용액, 또는 이들 중 어느 하나 또는 이들의 혼합액, 유기 용매 등의 다양한 종류의 약액이 사용된다.For example, the substrate processing apparatus processes the etching process and the cleaning process of the substrate, and in the process of the substrate, an acidic solution such as hydrofluoric acid, sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid, etc., or an alkaline solution such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, ammonium, etc.; Or any one of these, a mixture thereof, and various kinds of chemical liquids such as organic solvents are used.

이러한 다양한 종류의 약액을 이용하여 화학 반응을 일으킴으로써 기판상의 불필요한 물질이 제거되거나 세정된다. 기판을 처리하는 공정에서는 기판에 분사되는 약액의 온도가 공정의 주요 요인으로 작용한다. 즉, 식각 또는 세정 공정에서 약액의 온도를 일정하게 유지하는 것이 화학 반응을 원활하게 진행하기 위해 반드시 필요하다. Unnecessary substances on the substrate are removed or cleaned by causing a chemical reaction using these various types of chemical solutions. In the process of treating the substrate, the temperature of the chemical liquid sprayed on the substrate acts as a major factor in the process. That is, maintaining a constant temperature of the chemical solution in the etching or cleaning process is absolutely necessary in order to smoothly proceed with the chemical reaction.

도 1은 종래 기술에 따른 약액 온도제어장치의 일실시예를 도시한 것이다.1 shows an embodiment of a chemical liquid temperature control device according to the prior art.

도 1을 참조하면, 종래의 약액 온도제어장치(10)는 냉각/가열 유로(13)을 통해 냉각/가열 액체가 유입되어 배출되도록 구성되고, 냉각/가열 유로의 내측에 약액이 유동하도록 약액관(11)을 배치한 이중관 방식으로 구성되어 있다. Referring to FIG. 1 , the conventional chemical liquid temperature control device 10 is configured such that the cooling/heating liquid is introduced and discharged through the cooling/heating passage 13 , and the chemical liquid pipe flows inside the cooling/heating passage. (11) is arranged in a double tube system.

그러나, 종래 방식은 약액의 온도 제어를 위해 히터, 냉각장치 등 부피가 큰 장치가 요구되며 약액을 온도를 신속하게 변화시키기 어려워 원활한 약액 온도 조절이 어려운 문제점이 있었다.However, in the conventional method, bulky devices such as a heater and a cooling device are required to control the temperature of the chemical, and it is difficult to quickly change the temperature of the chemical, thereby making it difficult to smoothly control the temperature of the chemical.

한국 등록특허 제10-0753163호Korean Patent Registration No. 10-0753163

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 특히 열전달 효율을 향상시키고, 약액의 누출을 방지할 수 있도록 하는 약액의 온도제어장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above problems, and in particular, it is an object of the present invention to provide a temperature control device for a chemical solution that improves heat transfer efficiency and prevents leakage of the chemical solution.

상기 목적을 달성하기 위해 안출된 본 발명의 일실시예에 따른 약액의 온도제어장치는, 서로 이격 배치되는 제1 및 제2히트싱크 블록; 제1 및 제2히트싱크 블록 사이에 배치되며 냉각수 유로가 형성된 냉각수 블록; 제1히트싱크 블록과 냉각수 블록 사이 및 제2히트싱크 블록과 냉각수 블록 사이에 설치되는 열전소자; 및 단일관으로 형성되며, 약액이 유입되는 약액 유입부가 제1히트싱크 블록에 설치되고 약액이 배출되는 약액 배출부가 제2히트싱크 블록에 설치되어 약액이 제1히트싱크 블록과 제2히트싱크 블록을 차례로 관통하여 유동하도록 구성되는 약액관;을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, devised to achieve the above object, there is provided an apparatus for controlling a temperature of a chemical solution, comprising: first and second heat sink blocks spaced apart from each other; a cooling water block disposed between the first and second heat sink blocks and having a cooling water flow path formed therein; a thermoelectric element installed between the first heat sink block and the coolant block and between the second heat sink block and the coolant block; and a single tube, the chemical liquid inlet through which the chemical is introduced is installed in the first heat sink block, and the chemical liquid outlet through which the chemical is discharged is installed in the second heat sink block, so that the chemical is transferred to the first heat sink block and the second heat sink block. and a chemical liquid tube configured to flow through the in turn.

본 발명의 일실시예에서 약액관은, 불소수지 단일관으로 형성될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the chemical solution pipe may be formed of a single fluororesin pipe.

또한, 약액관은, 제1 및 제2히트싱크 블록 내부에는 길이방향으로 3개의 직관 형태가 상측부, 중간부, 하측부에 각각 배치되고, 제1 및 제2히트싱크 블록 외부에서 상측부와 중간부, 중간부와 하측부 직관 부분을 세로방향으로 서로 연결하는 2개의 방향전환부가 각각 구비될 수 있다.In addition, the chemical liquid tube, inside the first and second heat sink blocks, three straight tube shapes in the longitudinal direction are respectively arranged on the upper part, the middle part, and the lower part, and the upper part and the upper part from the outside of the first and second heat sink blocks The middle part, the middle part, and the lower part straight pipe part may be respectively provided with two direction changing parts which connect each other in a longitudinal direction.

본 발명에 의하면 약액관이 단일관으로 형성됨으로써 약액 온도제어장치에서의 약액 누출을 방지할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, the chemical solution pipe is formed as a single pipe, thereby preventing leakage of the chemical solution from the chemical solution temperature control device.

또한, 본 발명에 의하면 약액관에 방향전환부가 구비됨으로써 약액의 유속과 유량이 균일해지고 유동이 원활하게 진행되어 사장체적(Dead volume)을 최소화함으로써 침전물의 발생을 억제하는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, the flow rate and flow rate of the chemical solution are uniform and the flow proceeds smoothly by providing a direction changing part in the chemical solution pipe, thereby minimizing the dead volume, thereby suppressing the generation of sediment.

또한, 본 발명에 의하면 약액관에 복수개의 방향전환부가 구비되어 약액 유로가 늘어나게 됨으로써 열전달 구간이 길어져 열전달 효율을 향상시키는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, the chemical liquid pipe is provided with a plurality of direction change parts to increase the chemical liquid flow path, so that the heat transfer section is lengthened, thereby improving heat transfer efficiency.

도 1은 종래 기술에 따른 약액 온도제어장치의 일실시예를 도시한 것이고,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 약액 온도제어장치의 사시도이고,
도 3은 도 2의 A-A'방향 단면도이고,
도 4는 도 2의 B-B'방향 단면도이고,
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 약액 온도제어장치의 사시도이고,
도 6은 도 5의 A-A'방향 단면도이고,
도 7은 도 5의 B-B'방향 단면도이고,
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 약액 온도제어장치의 사시도이고,
도 9는 도 8의 A-A'방향 단면도이고,
도 10은 도 8의 B-B'방향 단면도이고,
도 11은 도 10에 방향전환부 고정 블록이 추가된 것을 도시한 것이고,
도 12는 본 발명의 제4실시예에 따른 약액 온도제어장치의 사시도이고,
도 13은 도 12의 정면도 및 배면도를 도시한 것이다.1 shows an embodiment of a chemical liquid temperature control device according to the prior art,
2 is a perspective view of a chemical liquid temperature control device according to a first embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view in the A-A' direction of FIG. 2,
4 is a cross-sectional view in the B-B' direction of FIG. 2,
5 is a perspective view of a chemical temperature control device according to a second embodiment of the present invention;
6 is a cross-sectional view in the A-A' direction of FIG. 5,
7 is a cross-sectional view in the B-B' direction of FIG. 5,
8 is a perspective view of a chemical liquid temperature control device according to a third embodiment of the present invention;
9 is a cross-sectional view taken along the A-A' direction of FIG. 8;
10 is a sectional view in the B-B' direction of FIG. 8;
11 is a view showing that the direction change unit fixing block is added to FIG.
12 is a perspective view of a chemical liquid temperature control device according to a fourth embodiment of the present invention;
13 shows a front view and a rear view of FIG. 12 .

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First of all, it should be noted that in adding reference numerals to the components of each drawing, the same components are given the same reference numerals as much as possible even though they are indicated on different drawings. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, preferred embodiments of the present invention will be described below, but the technical spirit of the present invention is not limited thereto or may be variously implemented by those skilled in the art without being limited thereto.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 약액의 온도제어장치의 사시도이고, 도 3은 도 2의 A-A'방향 단면도이고, 도 4는 도 2의 B-B'방향 단면도이다. 2 is a perspective view of a temperature control apparatus for a chemical according to a first embodiment of the present invention, FIG. 3 is a cross-sectional view taken in the A-A' direction of FIG. 2, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the B-B' direction of FIG.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 약액의 온도제어장치(100)는, 서로 이격 배치되는 제1 및 제2히트싱크 블록(120)과, 제1 및 제2히트싱크 블록(120) 사이에 배치되는 냉각수 블록(150)과, 제1 및 제2히트싱크 블록(120)를 관통하여 배치되는 약액관(110)과, 냉각수 블록(150)과 히트싱크 블록(120) 사이에 설치되는 열전소자(130)를 포함한다.2 to 4 , the temperature control apparatus 100 for a chemical solution according to the first embodiment of the present invention includes first and second heat sink blocks 120 spaced apart from each other, and first and second The coolant block 150 disposed between the heat sink blocks 120, the chemical liquid pipe 110 disposed through the first and second heat sink blocks 120, the coolant block 150 and the heat sink block ( 120) and a thermoelectric element 130 installed between them.

제1 및 제2히트싱크 블록(120)은, 약액관(110)의 외경보다 큰 두께를 갖는, 사각판형으로 형성되며, 내부에 설치된 약액관(110)에서 유동되는 약액의 온도를 제어할 수 있도록 열전달이 원활한 재질을 사용하는 것이 바람직한데, 일례로 알루미늄 재질로 제조될 수 있다.The first and second heat sink blocks 120 are formed in a rectangular plate shape having a thickness greater than the outer diameter of the chemical solution pipe 110 , and can control the temperature of the chemical solution flowing in the chemical solution pipe 110 installed therein. It is preferable to use a material having a smooth heat transfer so that it may be made of, for example, an aluminum material.

열전소자(130)는, 인가되는 전원의 극성에 따라 냉각과 가열 동작이 가능한 소자로서 제1 및 제2히트싱크 블록(120)을 냉각 또는 가열함으로써 제1 및 제2히트싱크 블록(120) 내부에 설치된 약액관(110)을 유동하는 약액의 온도를 조절할 수 있게 된다.The thermoelectric element 130 is an element capable of cooling and heating operations according to the polarity of the applied power, and by cooling or heating the first and second heat sink blocks 120 inside the first and second heat sink blocks 120 . It is possible to adjust the temperature of the chemical solution flowing through the chemical solution pipe 110 installed in the.

냉각수 블록(150)은, 제1 및 제2히트싱크 블록(120)의 외관과 대응되는 사각 판형으로 외관이 형성되고, 내부에는 냉각수가 유동할 수 있는 냉각수 유로가 구비된다. 이와 같이 구성된 냉각수 블록(150)은 제1 및 제2히트싱크 블록(120) 사이에 설치되고, 냉각수 블록(150)과 히트싱크 블록들(120) 사이에는 열전소자(130)가 설치됨으로써 열전소자(130)에서 발생되는 열을 냉각하여 열 충격으로 인한 에이징을 방지할 수 있게 된다. 냉각수 블록(150)은 열전달이 원활하도록 알루미늄 재질로 형성되는 것이 바람직하다.The cooling water block 150 has a rectangular plate shape corresponding to the exterior of the first and second heat sink blocks 120 , and a cooling water flow path through which the cooling water can flow is provided therein. The cooling water block 150 configured as described above is installed between the first and second heat sink blocks 120 , and the thermoelectric element 130 is installed between the cooling water block 150 and the heat sink blocks 120 . By cooling the heat generated in 130, it is possible to prevent aging due to thermal shock. The cooling water block 150 is preferably formed of an aluminum material to facilitate heat transfer.

약액관(110)은, 약액이 유입되어 배출되는 중공 배관으로, 그 재질로는 약액과 화학 반응을 일으키지 않도록 내화학성, 내식성이 강한 불소수지 소재, 일례로 PFA(Poly Fluoro Alkoxy), PTFE(Poly Tetra Fluoro Ethylene) 등의 소재로 형성되는 것이 바람직하다.The chemical solution pipe 110 is a hollow pipe through which the chemical solution is introduced and discharged, and the material is a fluororesin material with strong chemical resistance and corrosion resistance so as not to cause a chemical reaction with the chemical solution, for example PFA (Poly Fluoro Alkoxy), PTFE (Poly) It is preferably formed of a material such as Tetra Fluoro Ethylene).

본 발명의 일실시예에서 약액관(110)은, 약액이 유입되는 약액 유입부(111)가 제1히트싱크 블록(120)에 설치되고 약액이 배출되는 약액 배출부(113)가 제2히트싱크 블록(120)에 설치되어 약액이 2개의 히트싱크 블록들(120)을 차례로 관통하여 유동하도록 구성된다.In one embodiment of the present invention, in the chemical liquid pipe 110, the chemical liquid inlet 111 through which the chemical is introduced is installed in the first heat sink block 120, and the chemical discharge unit 113 through which the chemical is discharged is a second heat. It is installed in the sink block 120 so that the chemical solution flows through the two heat sink blocks 120 in turn.

여기서, 약액관(110)은 약액 유입부(111) 및 약액 배출부(113)의 반대측에서 히트싱크 블록(120)의 외부로 돌출되어 약액의 유동 방향을 전환시키는 방향전환부(115)가 각각 형성된다.Here, the chemical liquid pipe 110 protrudes to the outside of the heat sink block 120 from the opposite side of the chemical liquid inlet 111 and the chemical liquid discharge unit 113 to change the flow direction of the chemical solution 115, respectively. is formed

이와 같이, 약액관(110)은 제1 및 제2히트싱크 블록(120)의 상측부에서 제1방향(도면에서는 우측 방향)으로 연장된 이후 방향전환부(115)를 거쳐 제1 및 제2히트싱크 블록(120)의 하측부에서 제1방향과 반대되는 제2방향(도면에서는 좌측 방향)으로 180도 방향전환되어 연장되어 'U'자형을 형성한다.In this way, the chemical liquid pipe 110 extends in the first direction (the right direction in the drawing) from the upper portion of the first and second heat sink blocks 120 and then passes through the direction change unit 115 to the first and second In the lower portion of the heat sink block 120, the direction is changed 180 degrees to the second direction opposite to the first direction (left direction in the drawing) to form a 'U' shape.

본 발명의 일실시예에서 방향전환부(115)를 거쳐 제1 및 제2히트싱크 블록(120)의 하측부에서 제2방향으로 연장되는 한쌍의 약액관(110)의 단부는, 서로 이격된 한쌍의 히트싱크 블록들(120)을 가로지르며 가로방향으로 연장 배치되는 매니폴드 블록(170)에 의해 연결된다.In an embodiment of the present invention, the ends of the pair of chemical liquid pipes 110 extending in the second direction from the lower portions of the first and second heat sink blocks 120 through the direction change unit 115 are spaced apart from each other. A pair of heat sink blocks 120 are crossed and connected by a manifold block 170 extending in the horizontal direction.

매니폴드 블록(170)은 내부에 유동공간이 형성되며 외관은 대략 직육면체로 구성되며, 그 소재는 내화학성, 내식성이 강한 불소수지로 형성되는 것이 바람직하다. The manifold block 170 has a flow space therein, and the exterior is composed of a substantially rectangular parallelepiped, and the material is preferably formed of a fluororesin with strong chemical resistance and corrosion resistance.

본 발명의 일실시예에 따른 약액의 온도제어장치(100)에서, 약액관(110)의 약액 유입부(111)를 통해 유입된 약액은 제1방향으로 제1히트싱크 블록(120)의 상측부를 통과한 이후 방향전환부(115)를 거쳐 180도로 유동방향이 전환되어 제1방향과 반대되는 제2방향으로 제1히트싱크 블록(120)의 하측부를 통과하여 유동되고, 다음으로 매니폴드 블록(170)을 통과하며 가로방향으로 이동하여 매니폴드 블록(170)에 연결된 제2히트싱크 블록(120)의 하측부 약액관(110)에 도달한다. 이후 약액은 제2히트싱크 블록(120)의 하측부에 설치된 약액관(110)을 통해 다시 제1방향으로 유동된 이후 방향전환부(115)를 통해 180도로 유동방향이 전환되어 제2히트싱크 블록(120)에 상측부 약액관(110)을 통해 제2방향으로 이동된 이후 약액 배출부(113)를 통해 배출될 수 있게 된다.In the chemical liquid temperature control apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, the chemical liquid introduced through the chemical liquid inlet 111 of the chemical liquid pipe 110 is the upper side of the first heat sink block 120 in the first direction. After passing through the section, the flow direction is changed by 180 degrees through the direction change unit 115 and flows through the lower portion of the first heat sink block 120 in the second direction opposite to the first direction, and then the manifold block It passes through 170 and moves in the horizontal direction to reach the lower side chemical liquid pipe 110 of the second heat sink block 120 connected to the manifold block 170 . After that, the chemical liquid flows in the first direction again through the chemical liquid pipe 110 installed on the lower side of the second heat sink block 120 and then the flow direction is changed by 180 degrees through the direction change unit 115 to the second heat sink. After the block 120 is moved in the second direction through the upper side chemical liquid pipe 110 , it can be discharged through the chemical liquid discharge unit 113 .

이와 같이 구성됨으로써, 본 발명의 일실시예에 따른 약액 온도제어장치(100)는 약액관(110) 내부를 유동하는 약액의 온도를 열전소자(130)에 의해 냉각 또는 가열시킴으로써 약액의 온도를 조절할 수 있게 된다.By being configured in this way, the chemical liquid temperature control device 100 according to an embodiment of the present invention adjusts the temperature of the chemical liquid by cooling or heating the temperature of the chemical liquid flowing inside the chemical liquid pipe 110 by the thermoelectric element 130 . be able to

그러나, 전술한 일실시예에 따른 약액 온도제어장치(100)은, 약액이 유동하는 유로를 형성하도록 매니폴드 블록(170)과 약액관(110)이 결합되어 구성되기 때문에 결합 부위에 누출(leak)가 발생할 가능성이 있는 문제점이 있다.However, since the chemical solution temperature control device 100 according to the above-described embodiment is configured by coupling the manifold block 170 and the chemical solution pipe 110 to form a flow path through which the chemical solution flows, it leaks at the coupling site. ), which may cause problems.

또한, 매니폴드 블록(170)이 직육면체 형태이기 때문에 각 모서리와 모퉁이 부위에서 유속 차이가 발생하며 사장영역(Dead zone)이 형성될 수 있다. 콜로이드 상의 약액이 유동할 경우, 이러한 사장영역에서는 침전물이 발생할 수 있는 문제점이 있다.In addition, since the manifold block 170 has a rectangular parallelepiped shape, a flow velocity difference occurs at each corner and a corner region, and a dead zone may be formed. When the colloidal chemical liquid flows, there is a problem that precipitates may be generated in this dead zone.

본 발명의 제2실시예에서는 매니폴드 블록(170) 구성을 삭제하고, 약액관(110)을 단일관으로 형성함으로써 이러한 일실시예의 문제점을 해소하는데, 구체적인 구성 및 작용은 이하에서 상술한다.In the second embodiment of the present invention, the problem of this embodiment is solved by deleting the manifold block 170 configuration and forming the chemical liquid pipe 110 as a single pipe, and the specific configuration and operation will be described in detail below.

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 약액의 온도제어장치의 사시도이고, 도 6은 도 5의 A-A'방향 단면도이고, 도 7은 도 5의 B-B'방향 단면도이다. 이하, 본 발명의 다른 실시예들에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 제1실시예와 동일한 도면부호를 가지는 구성은 동일한 기능을 하는 동일한 구성으로, 그 설명을 생략하고 차별되는 구성을 중심으로 설명한다.5 is a perspective view of a temperature control apparatus for a chemical according to a second embodiment of the present invention, FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line A-A' of FIG. 5, and FIG. 7 is a cross-sectional view taken along a direction B-B' of FIG. Hereinafter, other embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Configurations having the same reference numerals as those of the first embodiment are identical configurations having the same functions, and descriptions thereof will be omitted and the different configurations will be mainly described.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 약액의 온도제어장치(200)는, 제1 및 제2히트싱크 블록(120)과, 제1 및 제2히트싱크 블록(120) 사이에 배치되는 냉각수 블록(150)과, 제1 및 제2히트싱크 블록(120)를 관통하여 배치되는 약액관(210)과, 냉각수 블록(150)과 히트싱크 블록(120) 사이에 설치되는 열전소자(130)를 포함한다.5 to 7, the chemical temperature control device 200 according to the second embodiment of the present invention includes first and second heat sink blocks 120 and first and second heat sink blocks ( The coolant block 150 disposed between the 120 , the chemical liquid pipe 210 disposed through the first and second heat sink blocks 120 , and the coolant block 150 and the heat sink block 120 . and a thermoelectric element 130 to be installed.

열전소자(130)는 복수개가 설치될 수 있으며, 히트싱크 블록(120) 내부에 설치된 약액관(210)의 경로에 대응되게 배치하는 것이 바람직하다. 이에 따라 약액관(210) 내부 약액의 온도 조절을 신속하게 원활하게 수행할 수 있게 된다.A plurality of thermoelectric elements 130 may be installed, and it is preferable to arrange to correspond to the path of the chemical liquid pipe 210 installed inside the heat sink block 120 . Accordingly, it is possible to quickly and smoothly perform temperature control of the chemical liquid inside the chemical liquid pipe 210 .

본 발명의 실시예에서는 열전소자(130)에 의해 가열 또는 냉각이 발생하게 되는데, 일례로 불소수지 소재로 형성된 약액관(210)은 이러한 열전소자(130)을 통해 팽창되거나 수축된다. 따라서, 불소수지 소재 약액관(210)의 팽창 및 수축(최대 ±5% 정도)을 고려하여 히트싱크 블록(120)과 약액관(210) 사이의 이격현상을 방지할 수 있도록 약액관(210)은 최대 6% 정도의 억지끼움으로 히트싱크 블록(120)에 설치되는 것이 바람직하다. In the embodiment of the present invention, heating or cooling is generated by the thermoelectric element 130 . For example, the chemical liquid tube 210 formed of a fluororesin material is expanded or contracted through the thermoelectric element 130 . Therefore, in consideration of the expansion and contraction (up to ±5%) of the chemical solution pipe 210 of the fluororesin material, the chemical solution pipe 210 to prevent the separation between the heat sink block 120 and the chemical solution pipe 210 It is preferable to be installed in the heat sink block 120 with an interference fit of up to 6%.

또한, 열전소자(130)는 가열, 냉각이 반복적으로 발생되는 상황에서 열전달 효과를 최대로 하기 위해서 정압 나사 조임으로 고정될 수 있다. 다만, 최대 길이 1m 이하의 소형 장치에서의 열팽창 정도가 정압 나사의 조절 범위보다 상당히 작아서 정압 나사를 사용하지 않고 일반 나사 체결방식을 적용할 수도 있다. 그러나, q본 발명에서는 열전소자(130)가 가열, 냉각에 의해 완전히 반대방향으로 반복 하중이 걸리기 때문에 나사 풀림 현상이 발생할 가능성이 있기 때문에 이를 방지하기 위해 나사산 접착제를 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 나사산 접착제를 사용하는 나사 체결방식은 열전소자(130)의 가열/냉각이 영향을 미치는 히트싱크 블록(120)이나 냉각수 블록(150) 등을 고정하기 위한 나사 체결구조에 모두 적용될 수 있다.In addition, the thermoelectric element 130 may be fixed by a constant pressure screw in order to maximize the heat transfer effect in a situation in which heating and cooling are repeatedly generated. However, since the degree of thermal expansion in small devices with a maximum length of 1 m or less is significantly smaller than the adjustment range of the static pressure screw, a general screw fastening method may be applied without using a constant pressure screw. However, q in the present invention, since the thermoelectric element 130 is subjected to repeated loads in the completely opposite direction by heating and cooling, there is a possibility that a screw loosening phenomenon may occur, so it is preferable to use a thread adhesive to prevent this. The screw fastening method using such a screw thread adhesive can be applied to both the screw fastening structure for fixing the heat sink block 120 or the coolant block 150 on which heating/cooling of the thermoelectric element 130 is affected.

도 5 내지 도 7의 실시예에서 약액관(210)은, 일례로 불소수지 소재로 형성되며, 단일관으로 형성되어 제1 및 제2히트싱크 블록(120)의 내부를 관통하여 설치됨으로써 내부를 유동하는 약액의 누출을 원천적으로 방지할 수 있게 된다.In the embodiment of FIGS. 5 to 7 , the chemical liquid pipe 210 is formed of, for example, a fluororesin material, is formed as a single pipe, and is installed through the inside of the first and second heat sink blocks 120 to provide the inside. It is possible to fundamentally prevent leakage of the flowing chemical solution.

본 발명의 실시예에 따른 약액관(210)의 구성을 보다 상세히 살펴보면, 약액이 유입되는 약액 유입부(211)가 제1히트싱크 블록(120)에 설치되고 약액이 배출되는 약액 배출부(213)가 제2히트싱크 블록(120)에 설치되어 약액이 2개의 히트싱크 블록들(120)을 차례로 지나면서 유동하도록 구성된다.Looking at the configuration of the chemical liquid pipe 210 according to the embodiment of the present invention in more detail, the chemical liquid inlet 211 through which the chemical is introduced is installed in the first heat sink block 120, and the chemical discharge unit 213 through which the chemical is discharged. ) is installed in the second heat sink block 120 so that the chemical liquid flows through the two heat sink blocks 120 in turn.

약액관(210)은 히트싱크 블록(120)과의 열전달 면적을 보다 증가시킬 수 있도록, 한 쌍의 히트싱크 블록(120)들의 내부에 대략 'S'자형으로 각각 배치되도록 형성될 수 있다.The chemical liquid tube 210 may be formed to be disposed in an approximately 'S' shape inside the pair of heat sink blocks 120 to further increase the heat transfer area with the heat sink block 120 .

여기서, 약액관(210)은, 제1 및 제2히트싱크 블록(120) 내부에 길이방향으로 3개의 직관 형태가 상측부, 중간부, 하측부에 각각 배치되고, 제1 및 제2히트싱크 블록(120) 외부에서 상측부와 중간부, 중간부와 하측부 직관 부분을 세로방향으로 서로 연결된다. Here, the chemical liquid pipe 210 is, in the first and second heat sink blocks 120, three straight tube shapes in the longitudinal direction are respectively disposed on the upper part, the middle part, and the lower part, the first and second heat sinks From the outside of the block 120, the upper part and the middle part, the middle part and the lower part straight pipe part are connected to each other in the longitudinal direction.

즉, 약액관(210)은, 제1 및 제2히트싱크 블록(120)의 상측부에서 제1방향(도면에서는 우측 방향)으로 연장된 이후 방향전환부(215)를 거쳐 제1 및 제2히트싱크 블록(120)의 중간부에서 제1방향과 반대되는 제2방향(도면에서는 좌측 방향)으로 180도 방향전환되어 연장되고, 이후 방향전환부(216)를 거쳐 제1방향(도면에서는 우측 방향)으로 180도 방향전환되어 연장됨으로써 대략 'S'자형을 형성하게 된다.That is, the chemical liquid pipe 210 extends in the first direction (right direction in the drawing) from the upper portion of the first and second heat sink blocks 120 and then passes through the direction change unit 215 to the first and second In the middle portion of the heat sink block 120, the direction is changed 180 degrees to the second direction (left direction in the drawing) opposite to the first direction and extends, and then passes through the direction change unit 216 to the first direction (right side in the drawing) direction) to form an approximately 'S' shape by being extended 180 degrees.

이에 따라 제1 및 제2히트싱크 블록(120)의 후단(도면에서 우측단)에 상측부 직관과 중간부 직관을 연결하는 1개의 방향전환부(215)가 돌출 구비되고, 제1 및 제2히트싱크 블록(120)의 전단(도면에서 좌측단)에 중간부 직관과 하측부 직관을 연결하는 1개의 방향전환부(216)가 돌출 구비된다.Accordingly, at the rear end (right end in the drawing) of the first and second heat sink blocks 120, one direction changing part 215 connecting the upper straight pipe and the middle part straight pipe is protruded, and the first and second At the front end (left end in the drawing) of the heat sink block 120, one direction changing part 216 for connecting the middle part straight pipe and the lower part straight pipe is provided to protrude.

또한, 제1히트싱크 블록(120)의 후단(도면에서 우측단)과 제2히트싱크 블록(120)의 후단(도면에서 우측단)에서 하측부 직관 부분을 가로방향으로 서로 연결하는 방향전환부(217)이 돌출 구비된다.In addition, at the rear end (right end in the drawing) of the first heat sink block 120 and the rear end (right end in the drawing) of the second heat sink block 120, a direction change unit connecting the lower straight pipe portion to each other in the horizontal direction 217 is provided with a protrusion.

이와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 약액의 온도제어장치(200)에서, 약액관(210)의 약액 유입부(211)를 통해 유입된 약액은 제1방향으로 제1히트싱크 블록(120)의 상측부를 통과한 이후 방향전환부(215)를 거쳐 180도로 유동방향이 전환되어 제1방향과 반대되는 제2방향으로 제1히트싱크 블록(120)의 중간부를 통과하여 유동되고, 다음으로 제1히트싱크 블록(120)의 전단에 위치한 방향전환부(216)을 거쳐 180도로 유동방향이 전환되어 다시 제1방향으로 제1히트싱크 블록(120)의 하측부를 통과하게 된다. In the chemical liquid temperature control apparatus 200 according to the embodiment of the present invention configured as described above, the chemical liquid introduced through the chemical liquid inlet 211 of the chemical liquid pipe 210 is the first heat sink block 120 in the first direction. After passing through the upper portion of the flow direction is changed 180 degrees through the direction change unit 215, the flow through the middle portion of the first heat sink block 120 in the second direction opposite to the first direction, and then The flow direction is changed 180 degrees through the direction change unit 216 located at the front end of the first heat sink block 120 to pass through the lower portion of the first heat sink block 120 in the first direction again.

이후, 약액은 제1히트싱크 블록(120)의 후단 하측부에 위치한 방향전환부(217)를 통해 가로방향으로 이동하여 제2히트싱크 블록(120)의 후단 하측부에서 제2방향으로 유동되고 제2히트싱크 블록(120)의 전단 하측부에서 방향전환부(216)를 통해 180도 방향 전환되어 제1방향으로 제2히트싱크 블록(120)의 중간부를 통과하고, 제2히트싱크 블록(120)의 후단 중간부에서 방향전환부(215)를 통해 제2히트싱크 블록(120)의 후단 상측부에서 제2방향으로 유동하여 약액 배출부(213)를 통해 배출되게 된다. Thereafter, the chemical liquid moves in the horizontal direction through the direction change unit 217 located at the lower lower portion of the rear end of the first heat sink block 120 and flows in the second direction from the lower lower portion of the rear end of the second heat sink block 120 , The direction is changed 180 degrees through the direction change unit 216 at the lower end of the front end of the second heat sink block 120, passes through the middle of the second heat sink block 120 in the first direction, and the second heat sink block ( The liquid flows in the second direction from the upper side of the rear end of the second heat sink block 120 through the direction change unit 215 in the middle portion of the rear end of 120 , and is discharged through the chemical discharge unit 213 .

전술된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 약액의 온도제어장치(200)은 약액관(210)을 단일관 형태로 구성하고 다수의 방향전환부(215,216,217)를 구비하여 열전달 구간을 대폭 증가시킴으로써 결과적으로 온도 변화 특성 및 열전달 효율이 향상될 수 있게 된다.As described above, the chemical liquid temperature control apparatus 200 according to the second embodiment of the present invention comprises the chemical liquid tube 210 in a single tube form and includes a plurality of direction change parts 215, 216, 217 to greatly increase the heat transfer section. By increasing it, the temperature change characteristic and heat transfer efficiency can be improved as a result.

또한, 본 발명의 제1실시예에서 사용된 매니폴드 블록(170)의 구성을 삭제하고 유동이 원활하게 진행될 수 있는 방향전환부(215,216,217)을 구비한 단일관으로 약액이 유동하는 유로를 형성함으로써 약액의 누출을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 사장영역(Dead zone) 없이 유동하여 침전물 발생을 방지하며 약액관(210)을 유동하는 약액의 유속 및 유량을 일정하게 제어가 가능한 장점이 있다. In addition, by deleting the configuration of the manifold block 170 used in the first embodiment of the present invention and forming a flow path through which the chemical liquid flows into a single pipe having direction change parts 215, 216, 217 that can flow smoothly. Not only can the leakage of the chemical be prevented, but it also flows without a dead zone to prevent the occurrence of sediment, and has the advantage that the flow rate and flow rate of the chemical flowing through the chemical pipe 210 can be constantly controlled.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 약액관(210)은, 내부를 유동하는 약액의 유량을 고려하면 전체 체적이 대략 400 x 120 x 82.5mm이거나 그 이상인 것이 바람직하다.On the other hand, the chemical liquid pipe 210 according to the embodiment of the present invention, considering the flow rate of the chemical liquid flowing inside, it is preferable that the total volume is about 400 x 120 x 82.5mm or more.

이러한 복수의 방향전환부(215,216,217)를 구비한 약액관(210)을 제조하기 위한 방법의 일실시예는 다음과 같다. An embodiment of a method for manufacturing the chemical liquid pipe 210 having a plurality of direction changing parts 215, 216, 217 is as follows.

먼저, 소정 범위의 크기를 갖는 세라믹 가루 분말을 고온으로 가열한 이후 약액관(210) 내부에 충진한다.First, the ceramic powder having a size in a predetermined range is heated to a high temperature and then filled in the chemical liquid tube 210 .

다음으로, 벤딩머신으로 치수에 맞게 벤딩 작업을 수행하여 하나의 방향전환부(215)를 형성한다.Next, a bending operation is performed according to the size with a bending machine to form one direction changing part 215 .

이후, 고온의 공기로 5분 정도 열처리한 다음, 공기중에서 자연 냉각하여 방향전환부(215)에서의 벤딩 작업에 의한 잔류 응력을 제거함으로써 'U'자형의 약액관(210)을 형성한다.Thereafter, after heat treatment with high-temperature air for about 5 minutes, and then naturally cooling in air to remove residual stress due to bending operation in the direction change unit 215, a 'U'-shaped chemical liquid pipe 210 is formed.

동일한 방식으로 정해진 위치에서 방향전환부(216)를 형성하여 대략 'S'자형의 불소수지 소재 약액관(210)을 형성하고, 추가적으로 방향전환부(217)를 형성함으로써 최종적인 다수의 방향전환부(215,216,217)를 갖는 약액관(210)을 완성하게 된다. In the same manner, the direction changing part 216 is formed at a predetermined position to form an approximately 'S'-shaped fluororesin material chemical liquid pipe 210 , and additionally a direction changing part 217 is formed to finally form a plurality of direction changing parts. (215,216,217) to complete the chemical liquid tube (210).

도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 약액 온도제어장치의 사시도이고, 도 9는 도 8의 A-A'방향 단면도이고, 도 10은 도 8의 B-B'방향 단면도이다.8 is a perspective view of a chemical temperature control device according to a third embodiment of the present invention, FIG. 9 is a cross-sectional view taken in the A-A' direction of FIG. 8, and FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the B-B' direction of FIG.

도 8 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 약액 온도제어장치(300)는, 제1 및 제2히트싱크 블록(120)과, 제1 및 제2히트싱크 블록(120) 사이에 배치되는 냉각수 블록(150)과, 제1 및 제2히트싱크 블록(120)를 관통하여 배치되는 약액관(310)과, 냉각수 블록(150)과 히트싱크 블록(120) 사이에 설치되는 열전소자(130)를 포함한다.8 to 10 , the chemical temperature control device 300 according to the third embodiment of the present invention includes first and second heat sink blocks 120 , and first and second heat sink blocks 120 . ), the coolant block 150 disposed between, the chemical liquid pipe 310 disposed through the first and second heat sink blocks 120 , and the coolant block 150 and the heat sink block 120 . and a thermoelectric element 130 that is

본 발명의 제3실시예에서는, 약액이 유입되는 약액 유입부(311)가 제1히트싱크 블록(120)에 설치되고 약액이 배출되는 약액 배출부(313)가 제2히트싱크 블록(120)에 설치되어 약액이 2개의 히트싱크 블록들(120)을 차례로 지나면서 유동하도록 구성되는데, 특히 약액관(210)은 히트싱크 블록(120)과의 열전달 면적을 제2실시예보다 더 증가시킬 수 있도록, 한 쌍의 히트싱크 블록(120)들의 내부에 대략 'W'자형으로 각각 배치되도록 형성될 수 있다.In the third embodiment of the present invention, the chemical inlet 311 through which the chemical is introduced is installed in the first heat sink block 120 and the chemical discharge 313 through which the chemical is discharged is the second heat sink block 120 . It is installed in the chemical solution to flow while passing through the two heat sink blocks 120 in turn. In particular, the chemical solution pipe 210 can increase the heat transfer area with the heat sink block 120 more than in the second embodiment. Thus, it may be formed to be disposed in an approximately 'W' shape inside the pair of heat sink blocks 120 , respectively.

여기서, 약액관(310)은, 제1 및 제2히트싱크 블록(120) 내부에 길이방향으로 4개의 직관 형태가 각각 배치되고, 제1 및 제2히트싱크 블록(120) 외부에서 직관 부분이 세로방향으로 다수의 방향전환부(315,316,317)에 의해 서로 연결된다. Here, in the chemical liquid pipe 310, four straight pipe shapes are respectively arranged in the longitudinal direction inside the first and second heat sink blocks 120, and the straight pipe parts are formed from the outside of the first and second heat sink blocks 120. They are connected to each other by a plurality of direction changing parts 315, 316, 317 in the longitudinal direction.

또한, 제1히트싱크 블록(120)의 전단과 제2히트싱크 블록(120)의 전단에서 최하측 직관 부분을 가로방향으로 서로 연결하는 방향전환부(318)이 돌출 구비된다.In addition, a direction changing part 318 for connecting the lowermost straight pipe portion in the horizontal direction at the front end of the first heat sink block 120 and the front end of the second heat sink block 120 is provided to protrude.

이와 같이 구성된 본 발명의 제3실시예에 따른 약액 온도제어장치(300)는, 약액관(310)을 단일관 형태로 구성하고 다수의 방향전환부(315,316,317,318)를 구비함으로써 단위공간에서의 전열 면적을 보다 더 향상시킬 수 있게 된다. 본 발명의 약액 온도제어장치(300)는, 일례로 반도체 제조 공정에 적용될 수 있는데 이 경우 제한된 설치공간에서 전열 면적을 극대화함으로써 가열 또는 냉각 효율을 더욱 향상시킬 수 있게 된다. 제3실시예는 'U'자형의 약액관(110)을 구비한 제1실시예에 비해 2배에 해당하는 전열 면적을 가질 수 있게 된다. The chemical liquid temperature control device 300 according to the third embodiment of the present invention configured as described above comprises a chemical liquid tube 310 in a single tube form and includes a plurality of direction changers 315,316, 317,318, so that the heat transfer area in a unit space can be further improved. The chemical temperature control device 300 of the present invention can be applied, for example, to a semiconductor manufacturing process. In this case, the heating or cooling efficiency can be further improved by maximizing the heat transfer area in a limited installation space. The third embodiment can have a heat transfer area equivalent to twice that of the first embodiment having the 'U'-shaped chemical liquid tube 110 .

한편, 도 11은 도 10에 방향전환부 고정 블록이 추가된 것을 도시한 것이다.On the other hand, FIG. 11 shows that the direction change unit fixing block is added to FIG. 10 .

도 11에 도시된 실시예에서는, 약액관(310)의 방향전환부(315,316,317,318)를 외측에서 감싸는 방향전환부 고정 블록(180)이 구비된다. In the embodiment shown in FIG. 11 , a direction change unit fixing block 180 surrounding the direction change units 315 , 316 , 317 , 318 of the chemical liquid pipe 310 from the outside is provided.

이와 같이 방향전환부 고정 블록(180)은 방향전환부(315,316,317,318)의 외측에 설치됨으로써 방향전환부(315,316,317,318)의 외부 노출을 방지하게 된다. In this way, the direction change unit fixing block 180 is installed on the outside of the direction change unit (315,316, 317,318) to prevent external exposure of the direction change unit (315,316, 317,318).

여기서, 방향전환부 고정 블록(180)은 단열 소재로 형성될 수 있으며 방향전환부(315,316,317,318)의 이동을 제한하며 외부 충격에서 보호할 수 있는 강성을 가지는 것이 바람직하다.Here, the direction change unit fixing block 180 may be formed of a heat insulating material, and it is preferable to limit the movement of the direction change unit (315,316, 317,318) and to have rigidity to protect from external impact.

방향전환부(315,316,317,318)가 외부에 노출될 경우, 단열에 취약하게 되며 열전소자(130)가 작동하여 가열 또는 냉각이 반복됨에 따라 열충격에 의해 불소수지 소재의 약액관(310)가 변형될 가능성이 있다. 본 실시예에서는 방향전환부 고정 블록(180)를 설치함으로써 단열 효과를 증대시키고 약액관(310)의 변형, 왜곡을 방지할 수 있게 된다. 또한, 약액관(310)를 벤딩하여 방향전환부(315,316,317,318)를 형성하는 벤딩 작업에서 약액관(310)의 벤딩 후 방향전환부 고정 블록(180)을 바로 체결함으로써 벤딩 작업 효율을 향상시키는 장점이 있다. When the direction change parts 315, 316, 317, 318 are exposed to the outside, they become vulnerable to thermal insulation, and as the thermoelectric element 130 operates and heating or cooling is repeated, there is a possibility that the chemical liquid pipe 310 made of a fluororesin material may be deformed by thermal shock. have. In this embodiment, it is possible to increase the heat insulation effect and prevent deformation and distortion of the chemical liquid pipe 310 by installing the direction changing unit fixing block 180 . In addition, in the bending operation of bending the chemical liquid pipe 310 to form the direction changing parts 315,316, 317,318, after bending the chemical liquid pipe 310, the direction changing part fixing block 180 is directly fastened to improve the bending operation efficiency. have.

방향전환부 고정 블록(180)은 도 11의 실시예에서 적용되었지만, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고 방향전환부를 포함하는 본 발명의 다른 실시예들에서도 적용될 수 있음은 물론이다. Although the direction change unit fixing block 180 has been applied in the embodiment of FIG. 11 , the present invention is not limited thereto and may be applied to other embodiments of the present invention including a direction change unit.

도 12는 본 발명의 제4실시예에 따른 약액 온도제어장치의 사시도이고, 도 13a는 도 12의 정면도이고, 도 13b는 도 13의 배면도를 도시한 것이다.12 is a perspective view of a chemical temperature control device according to a fourth embodiment of the present invention, FIG. 13A is a front view of FIG. 12 , and FIG. 13B is a rear view of FIG. 13 .

도 12 및 도 13을 참조하면, 본 발명의 제4실시예에 따른 약액 온도제어장치(400)는 냉각수 블록(150)을 감싸는 스파이럴 형상의 약액관(410)을 포함한다. 12 and 13 , the chemical liquid temperature control apparatus 400 according to the fourth embodiment of the present invention includes a spiral-shaped chemical liquid pipe 410 surrounding the cooling water block 150 .

이와 같이 약액관(410)을 벤딩 성형하고 냉각수 블록(150)의 외측을 감싸도록 설치할 경우, 제3실시예의 전열 면적을 그대로 유지하여 열전달 효율이 높을 뿐만 아니라 제작이 보다 용이한 장점이 있다. As such, when the chemical liquid pipe 410 is bent and installed to surround the outside of the cooling water block 150, the heat transfer area of the third embodiment is maintained as it is, so that heat transfer efficiency is high, and manufacturing is easier.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various modifications, changes and substitutions are possible within the scope that does not depart from the essential characteristics of the present invention by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. will be. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are for explanation rather than limiting the technical spirit of the present invention, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments and the accompanying drawings. . The protection scope of the present invention should be construed by the following claims, and all technical ideas within the equivalent range should be construed as being included in the scope of the present invention.

100,200: 약액의 온도제어장치
111,211,311: 약액 유입부
113,213,313: 약액 배출부
115,215,216,217,315,316,317,318: 방향전환부
120: 히트싱크 블록
130: 열전소자
150: 냉각수 블록
170: 매니폴드 블록
180: 방향전환부 고정 블록100,200: temperature control device of chemical solution
111,211,311: chemical liquid inlet
113,213,313: chemical discharge unit
115,215,216,217,315,316,317,318: direction change unit
120: heat sink block
130: thermoelectric element
150: coolant block
170: manifold block
180: direction change unit fixed block

Claims (3)

서로 이격 배치되는 제1 및 제2 히트싱크 블록;
제1 및 제2히트싱크 블록 사이에 배치되며 냉각수 유로가 형성된 냉각수 블록;
제1히트싱크 블록과 냉각수 블록 사이 및 제2히트싱크 블록과 냉각수 블록 사이에 설치되는 열전소자; 및
단일관으로 형성되며, 약액이 유입되는 약액 유입부가 제1히트싱크 블록에 설치되고 약액이 배출되는 약액 배출부가 제2히트싱크 블록에 설치되어 약액이 제1히트싱크 블록과 제2히트싱크 블록을 차례로 관통하여 유동하도록 구성되는 약액관;을 포함하되,
약액관은,
제1 및 제2히트싱크 블록 내부에는 길이방향으로 3개의 직관 형태가 상측부, 중간부, 하측부에 각각 배치되고, 제1 및 제2히트싱크 블록 외부에서 상측부와 중간부, 중간부와 하측부 직관 부분을 세로방향으로 서로 연결하는 2개의 방향전환부가 각각 구비되고,
방향전환부는,
소정 범위의 크기를 갖는 세라믹 가루 분말을 가열한 이후 약액관 내부에 충진하고, 다음으로 벤딩머신으로 치수에 맞게 벤딩 작업을 수행하여 형성되고, 이후 공기로 열처리한 다음, 공기중에서 자연 냉각되고,
방향전환부의 외부노출을 방지하고 변형을 방치하도록 방향전환부의 외측에서 감싸도록 설치되는 방향전환부 고정 블록을 더 포함하되,
방향전환부 고정 블록은 약액관이 벤딩되어 방향전환부가 형성된 이후 바로 방향전환부에 체결되는, 약액의 온도제어장치.
first and second heat sink blocks spaced apart from each other;
a cooling water block disposed between the first and second heat sink blocks and having a cooling water flow path formed therein;
a thermoelectric element installed between the first heat sink block and the coolant block and between the second heat sink block and the coolant block; and
It is formed as a single tube, and the chemical liquid inlet through which the chemical is introduced is installed in the first heat sink block, and the chemical liquid outlet through which the chemical is discharged is installed in the second heat sink block, so that the chemical liquid separates the first heat sink block and the second heat sink block. A chemical liquid tube configured to flow through in turn;
drug tube,
Inside the first and second heat sink blocks, three straight tube shapes are arranged in the upper part, the middle part, and the lower part in the longitudinal direction, respectively, and the upper part, the middle part, the middle part and the upper part and the middle part and the middle part outside the first and second heat sink blocks Two direction change parts for connecting the lower part straight pipe part to each other in the longitudinal direction are respectively provided,
direction change unit,
After heating the ceramic powder having a size in a predetermined range, filling the inside of the chemical liquid tube, then performing a bending operation according to the size with a bending machine is formed, then heat-treated with air, then naturally cooled in the air,
Further comprising a direction changing unit fixing block installed to wrap from the outside of the direction change unit to prevent external exposure of the direction change unit and leave deformation,
The direction change unit fixing block is fastened to the direction change unit immediately after the chemical liquid pipe is bent to form the direction change unit, the temperature control device of the chemical solution.
 청구항 1에 있어서,
약액관은,
불소수지 단일관으로 형성되는, 약액의 온도제어장치.
The method according to claim 1,
drug tube,
A device for controlling the temperature of a chemical liquid, which is formed of a single fluororesin tube.
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