KR102421125B1 - Lighting module of surface defect inspection apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 라인 하우징에 결합되는 복수 개의 조명의 각도 조절이 가능하며, 하우징에 구비된 각도 조절부를 통해 조명이 기울어지는 각도를 조절할 수 있는 2가지 각도로 조절이 가능한 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈에 관한 것이다. The present invention relates to a lighting module of a surface defect inspection device, and more particularly, it is possible to adjust the angle of a plurality of lights coupled to a line housing, and to adjust the angle at which the lights are inclined through an angle adjusting unit provided in the housing. It relates to a lighting module of a surface defect inspection device that can be adjusted to two angles.
일반적으로 강판, PCB 기판, 반도체 웨이퍼, 필름 등과 같은 제품의 경우, 제조공정이 완료된 이후에 제품의 표면에 스크래치, 찍힘, 크랙, 오염물 부착 등의 결함이 존재하는지 여부를 평가하는 표면 검사 공정이 진행된다. In general, in the case of products such as steel plates, PCB substrates, semiconductor wafers, and films, a surface inspection process is performed to evaluate whether defects such as scratches, dents, cracks, and contaminants are present on the surface of the product after the manufacturing process is completed. do.
이와 같은 표면 검사 공정은 검사자가 육안이나 현미경 등을 이용하여 제품의 표면을 직접 검사하는 방식으로 이루어졌으나, 이와 같은 방법의 경우 불량여부가 검사자의 육안 관찰에 의해 주관적으로 판단되기 때문에 균일한 품질에 대한 신뢰성을 확보하기 어려운 문제점이 있다. Such a surface inspection process was performed in such a way that the inspector directly inspects the surface of the product using the naked eye or a microscope. There is a problem in that it is difficult to secure reliability.
이러한 문제점을 해결하기 위해 검사체인 제품의 표면에 광을 조사하고, 광원이 제품의 표면에서 반사된 반사광에 의한 이미지를 촬영하여, 제품의 표면에 결함이 존재하는지 여부를 판단하는 표면 결함 검사 장치가 개발되었다. In order to solve this problem, a surface defect inspection device that irradiates light on the surface of the product, which is an inspection body, takes an image by the reflected light reflected from the surface of the product, and determines whether there is a defect on the surface of the product. was developed
도 1은 종래의 표면 결함 검사 장치를 나타내는 도면이고, 도 2는 종래의 표면 결함 검사 장치에 사용되는 조명모듈(40)을 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 종래에는 이송부(30)를 통해 검사체(20)를 이동시키고, 조명모듈(40)을 통해 검사체(20)에 광을 조사하여, 카메라(10)를 통해 반사된 반사광에 의한 이미지를 촬영하여 검사체(20)의 표면 결함 여부를 판단하였다. 1 is a view showing a conventional surface defect inspection apparatus, Figure 2 is a view showing a
그러나 종래의 표면 결함 검사 장치는 다음과 같은 문제점이 있다. 최근, 표면 결함 검사 장치를 이용한 표면 검사 공정이 발전함에 따라 검사체의 검사 범위가 증가하고 있으며, 이에 단순한 구조가 아닌 다양한 각도의 곡률 구조 형상을 가지는 검사체에 대한 검사가 진행되고 있다. However, the conventional surface defect inspection apparatus has the following problems. Recently, as a surface inspection process using a surface defect inspection apparatus has been developed, the inspection range of an inspection object is increasing, and thus inspection of an inspection object having a curvature structure shape of various angles rather than a simple structure is in progress.
다양한 각도의 곡률 구조 형상을 가지는 검사체에 대한 검사를 진행할 때, 광이 조사되는 방향에 따라 출력되는 결함의 종류 및 형상이 달라지기 때문에 결함의 종류에 따라 검사체로 조사되는 광의 각도를 변경해야 한다. When inspecting an inspection object having a curvature structure shape of various angles, the type and shape of the output defect varies depending on the direction in which the light is irradiated. .
그러나 도 2와 같이 종래의 조명모듈(40)은 광이 조사되는 각도가 고정되어 있음에 따라 곡률 구조 형상을 가지는 검사체(20)에 대한 검사를 진행하기 어려운 문제점이 있다. However, as shown in FIG. 2 , the
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 더욱 상세하게는 라인 하우징에 결합되는 복수 개의 조명의 각도 조절이 가능하며, 하우징에 구비된 각도 조절부를 통해 조명이 기울어지는 각도를 조절할 수 있는 2가지 각도로 조절이 가능한 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈에 관한 것이다. The present invention is to solve the above-mentioned problems, and more particularly, it is possible to adjust the angle of a plurality of lights coupled to the line housing, and the angle at which the lights are inclined can be adjusted through the angle adjusting unit provided in the housing. It relates to a lighting module of an angle-adjustable surface defect inspection device.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은, 표면 결함 검사 장치에 사용되는 조명 모듈로서, 길이 방향으로 연장된 라인 하우징; 상기 라인 하우징에 결합되는 복수 개의 조명; 복수 개의 상기 조명 각각은 상기 라인 하우징에 회전 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 것이다. The lighting module of the surface defect inspection apparatus of the present invention for solving the above-mentioned problems, as a lighting module used in the surface defect inspection apparatus, a line housing extending in the longitudinal direction; a plurality of lights coupled to the line housing; Each of the plurality of lights is characterized in that it is rotatably coupled to the line housing.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈의 복수 개의 상기 조명은, 상기 라인 하우징이 연장되는 길이 방향에 대해 수직한 축을 중심으로 회전할 수 있다. The plurality of illuminations of the illumination module of the surface defect inspection apparatus of the present invention for solving the above-described problems may be rotated about an axis perpendicular to the longitudinal direction in which the line housing extends.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈의 복수 개의 상기 조명은 상기 라인 하우징에 힌지 결합되고, 상기 조명에 결합되는 제1고정 볼트를 더 포함하며, 상기 라인 하우징의 외측에는, 상기 제1고정 볼트가 관통되는 관통공이 구비되며, 상기 제1고정 볼트는, 상기 라인 하우징의 외측에서 상기 관통공을 통과하여 상기 조명에 결합될 수 있다. The plurality of lights of the lighting module of the surface defect inspection apparatus of the present invention for solving the above-described problems is hinged to the line housing, further comprising a first fixing bolt coupled to the light, the outside of the line housing is provided with a through hole through which the first fixing bolt passes, and the first fixing bolt may be coupled to the lighting by passing through the through hole from the outside of the line housing.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은 상기 라인 하우징에 상부에 구비되는 하우징을 더 포함하며, 상기 하우징에는, 상기 라인 하우징과 연결되면서 상기 하우징에 대하여 상기 라인 하우징이 기울어지는 각도를 조절하는 각도 조절부가 구비될 수 있다. The lighting module of the surface defect inspection apparatus of the present invention for solving the above problems further includes a housing provided on the line housing, wherein the housing has the line housing with respect to the housing while being connected to the line housing. An angle adjusting unit for adjusting the inclination angle may be provided.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈의 상기 하우징에는, 상기 라인 하우징이 연장되는 길이 방향과 수직한 방향으로 연장되되, 곡률이 형성된 라운드 형상으로 이루어지며, 상기 하우징을 관통하는 각도 조절공이 구비되며, 상기 각도 조절부는, 상기 각도 조절공의 상부에 구비되는 상부 플레이트와, 상기 각도 조절공의 하부에 구비되되, 상기 라인 하우징과 연결되는 하부 플레이트와, 상기 상부 플레이트에 연결되고, 상기 각도 조절공을 관통하여 상기 하부 플레이트에 연결되는 제2고정 볼트를 포함하며, 상기 상부 플레이트를 상기 각도 조절공을 따라 움직이면, 상기 하우징에 대하여 상기 라인 하우징이 기울어지는 각도가 조절될 수 있다. In the housing of the lighting module of the surface defect inspection apparatus of the present invention for solving the above-mentioned problems, the housing is extended in a direction perpendicular to the longitudinal direction in which the line housing is extended, is formed in a round shape with a curvature, and the housing is A penetrating angle adjustment hole is provided, and the angle adjustment unit includes an upper plate provided on the upper portion of the angle adjustment hole, a lower plate provided under the angle adjustment hole, and connected to the line housing, and the upper plate. and a second fixing bolt connected to and connected to the lower plate through the angle adjusting hole, and when the upper plate is moved along the angle adjusting hole, the angle at which the line housing is inclined with respect to the housing is adjusted. can
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈의 상기 제2고정 볼트는, 상기 하부 플레이트를 관통하여 상기 조명에 결합될 수 있다. The second fixing bolt of the illumination module of the surface defect inspection apparatus of the present invention for solving the above-described problems may be coupled to the illumination through the lower plate.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈의 상기 하우징에는, 상기 라인 하우징의 길이 방향을 따라 2개 이상의 상기 각도 조절공과 상기 상부 플레이트가 구비될 수 있다. In the housing of the lighting module of the surface defect inspection apparatus of the present invention for solving the above-described problems, two or more angle adjusting holes and the upper plate may be provided along the length direction of the line housing.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈의 2개 이상의 상기 상부 플레이트는, 상기 제2고정 볼트를 통해 하나의 상기 하부 플레이트에 연결될 수 있다. The two or more upper plates of the lighting module of the surface defect inspection apparatus of the present invention for solving the above-described problems may be connected to one of the lower plates through the second fixing bolt.
본 발명은 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈에 관한 것으로, 복수 개의 조명이 회전 가능하게 라인 하우징에 결합됨에 따라 복수 개의 조명 각각에 대한 각도를 조절할 수 있는 장점이 있다. The present invention relates to a lighting module of a surface defect inspection apparatus, and as a plurality of lights are rotatably coupled to a line housing, there is an advantage that angles for each of the plurality of lights can be adjusted.
또한, 본 발명은 하우징에 구비된 각도 조절부를 통해 조명이 기울어지는 각도를 조절할 수 있는 장점이 있으며, 이를 통해 2가지 각도로 조명을 조절할 수 있는 장점이 있다. In addition, the present invention has the advantage of being able to adjust the angle at which the lighting is inclined through the angle adjusting unit provided in the housing, and through this, there is an advantage that the lighting can be adjusted at two angles.
본 발명은 2가지 각도로 조명을 조절할 수 있음에 따라 검사체에 조사되는 광의 각도를 광범위하게 변경할 수 있으며, 이를 통해 다양한 각도의 곡률 구조 형상을 가지는 검사체에 대한 검사를 진행할 수 있는 장점이 있다. The present invention has the advantage of being able to change the angle of the light irradiated to the test object in a wide range as the lighting can be adjusted at two angles, and through this, the test object having the curvature structure shape of various angles can be inspected. .
도 1은 종래의 표면 결함 검사 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 종래의 표면 결함 검사 장치에 구비된 조명모듈을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따라 조명이 2열로 배치되면서 서로 다른 방향으로 광을 조사하는 것을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따라 상부 플레이트가 하우징의 각도 조절공을 따라 움직일 수 있는 것을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따라 하우징에서 각도 조절부가 제거한 상태를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따라 하우징을 제거한 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따라 하우징의 측면 플레이트를 제거하고, 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈을 측면에서 바라본 것을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 각도 표시부를 나타내는 도면이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the conventional surface defect inspection apparatus.
2 is a view showing a lighting module provided in a conventional surface defect inspection apparatus.
3 is a view showing a lighting module of the surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a view illustrating that lights are irradiated in different directions while the lights are arranged in two rows according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing that the upper plate can move along the angle adjusting hole of the housing according to an embodiment of the present invention.
6 is a view illustrating a state in which the angle adjusting unit is removed from the housing according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing a state in which the housing is removed according to an embodiment of the present invention.
8 is a view illustrating a side view of the lighting module of the surface defect inspection apparatus after removing the side plate of the housing according to an embodiment of the present invention.
9 is a view showing an angle display unit according to an embodiment of the present invention.
이하, 본 발명의 다양한 실시 예가 첨부된 도면과 연관되어 기재된다. 본 발명의 다양한 실시 예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들이 도면에 예시되고 관련된 상세한 설명이 기재되어 있다. 그러나 이는 본 발명의 다양한 실시 예를 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 다양한 실시 예의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경 및/또는 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 도면의 설명과 관련하여, 유사한 구성요소에 대해서는 유사한 참조 부호가 사용되었다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in connection with the accompanying drawings. Various embodiments of the present invention can be made various changes and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and the related detailed description is described. However, this is not intended to limit the various embodiments of the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all changes and/or equivalents or substitutes included in the spirit and scope of various embodiments of the present invention. In connection with the description of the drawings, like reference numerals have been used for like components.
본 발명의 다양한 실시 예에서 사용될 수 있는 "포함한다" 또는 "포함할 수 있다" 등의 표현은 발명(disclosure)된 해당 기능, 동작 또는 구성요소 등의 존재를 가리키며, 추가적인 하나 이상의 기능, 동작 또는 구성요소 등을 제한하지 않는다. 또한, 본 발명의 다양한 실시예에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Expressions such as “comprises” or “may include” that may be used in various embodiments of the present invention indicate the existence of a corresponding disclosed function, operation, or component, and may include one or more additional functions, operations, or components, etc. are not limited. In addition, in various embodiments of the present invention, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described in the specification is present, It should be understood that it does not preclude the possibility of addition or existence of one or more other features or numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있을 수도 있지만, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있어야 할 것이다.When a component is referred to as being “connected” to another component, the component may be directly connected to the other component, but a new component is formed between the component and the other component. It should be understood that there may be On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it will be understood that no new element exists between the element and the other element. should be able to
본 발명의 다양한 실시 예에서 사용한 용어는 단지 특정일 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명의 다양한 실시 예를 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.Terms used in various embodiments of the present invention are only used to describe a specific embodiment, and are not intended to limit various embodiments of the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명의 다양한 실시 예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by those of ordinary skill in the art to which various embodiments of the present invention pertain.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명의 다양한 실시 예에서 명백하게 정의되지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in various embodiments of the present invention, ideal or excessively formal terms not interpreted as meaning
본 발명은 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈에 관한 것으로, 라인 하우징에 결합되는 복수 개의 조명의 각도 조절이 가능하며, 하우징에 구비된 각도 조절부를 통해 조명이 기울어지는 각도를 조절할 수 있는 2가지 각도로 조절이 가능한 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈에 관한 것이다. The present invention relates to a lighting module of a surface defect inspection apparatus, wherein the angle of a plurality of lights coupled to a line housing can be adjusted, and the angle at which the lights are inclined can be adjusted through an angle adjusting unit provided in the housing. It relates to an illumination module of an adjustable surface defect inspection device.
본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은 표면 결함 장치에 사용되는 것으로, 검사체에 광을 조사할 수 있는 것이다. 본 발명의 실시 예에 따른 상기 검사체는 강판, PCB 기판, 반도체 웨이퍼, 필름 등과 같이 검사가 필요한 다양한 제품일 수 있다. The illumination module of the surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention is used for the surface defect apparatus, and can irradiate light to the inspection object. The inspection body according to an embodiment of the present invention may be various products that require inspection, such as a steel plate, a PCB substrate, a semiconductor wafer, a film, and the like.
본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은 표면 결합 검사 장치에 사용될 수 있으나, 이에 반드시 한정되는 것은 아니며, 검사체의 검사를 위해 검사체에 광을 조사하는 장치에도 사용될 수 있음은 물론이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하기로 한다. The illumination module of the surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention may be used in the surface coupling inspection apparatus, but is not necessarily limited thereto, and may also be used in an apparatus for irradiating light to the inspection object for the inspection of the inspection object. Of course. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은 라인 하우징(110), 조명(120)을 포함한다. 3 and 4 , the lighting module of the surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention includes a
상기 라인 하우징(110)은 길이 방향으로 연장되는 것으로, 상기 라인 하우징(110)은 바 형상으로 이루어지면서 일 방향으로 연장되는 하우징일 수 있다. 상기 라인 하우징(110)에는 복수 개의 상기 조명(120)이 결합될 수 있다. The
상기 조명(120)은 상기 라인 하우징(110)에 결합되는 것으로, 상기 라인 하우징(110)의 측면에 복수 개의 상기 조명(120)이 결합될 수 있다. 도 4를 참조하면, 상기 라인 하우징(110)은 복수 개가 구비될 수 있으며, 상기 라인 하우징(110)은 2개가 구비될 수 있다. 2개의 상기 라인 하우징(110)은 서로 이격되어 배치될 수 있으며, 2개의 상기 라인 하우징(110) 사이에 복수 개의 상기 조명(120)이 결합될 수 있다. The
2개의 상기 라인 하우징(110)에 결합되는 복수 개의 상기 조명(120)은 서로 다른 방향으로 광을 조사할 수 있다. 구체적으로, 도 4를 참조하면, 하나의 라인 하우징(110)의 일측에 구비된 복수 개의 조명(120)은 제1방향으로 광을 조사할 수 있으며, 하나의 라인 하우징(110)의 타측에 구비된 복수 개의 조명(120)은 제2방향으로 광을 조사할 수 있다. The plurality of
또한, 다른 하나의 라인 하우징(110)의 일측에 구비된 복수 개의 조명(120)은 제3방향으로 광을 조사할 수 있으며, 다른 하나의 라인 하우징(110)의 타측에 구비된 복수 개의 조명(120)은 제4방향으로 광을 조사할 수 있다. In addition, the plurality of
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 라인 하우징(110)에 결합되는 복수 개의 상기 조명(120)은 톱니 형상을 형성하면서 상기 라인 하우징(110)에 결합될 수 있다. 도 3을 참조하면, 복수 개의 상기 조명(120)은 제1경사면과 제2경사면을 형성할 수 있는 것으로, 상기 제1경사면과 상기 제2경사면이 톱니 형상을 형성하면서 연장될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the plurality of
본 발명의 실시 예에 따른 복수 개의 상기 조명(120)은 상기 라인 하우징(110)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 도 3을 참조하면, 상기 라인 하우징(110)에 결합되는 복수 개의 상기 조명(120) 각각은 상기 라인 하우징(110)에 대하여 회전 가능할 수 있다. The plurality of
구체적으로, 도 3과 같이 복수 개의 상기 조명(120)은, 상기 라인 하우징(110)이 연장되는 길이 방향에 대해 수직한 축을 중심으로 회전할 수 있다. 이를 위해 복수 개의 상기 조명(120)은 상기 라인 하우징(110)에 힌지 결합될 수 있다. 복수 개의 상기 조명(120)이 상기 라인 하우징(110)에 힌지 결합됨에 따라 복수 개의 상기 조명(120)의 각도를 각각 조절할 수 있게 된다. Specifically, as shown in FIG. 3 , the plurality of
본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은 상기 조명(120)에 결합되는 제1고정 볼트(112)를 더 포함할 수 있으며, 상기 라인 하우징(110)의 외측에는 상기 제1고정 볼트(112)가 관통되는 관통공(111)이 구비될 수 있다. The lighting module of the surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a
상기 제1고정 볼트(112)는 상기 라인 하우징(110)의 외측에서 상기 관통공(111)을 통과하여 상기 조명(120)에 결합될 수 있다. 복수 개의 상기 조명(120)에 대하여 각각 각도를 조절한 이후에, 검사체에 대한 검사를 진행하기 위해서는 상기 조명(120)이 움직이지 않도록 상기 조명(120)을 고정시켜야 한다. The
상기 제1고정 볼트(112)는 상기 조명(120)이 회전하지 않도록 고정할 수 있는 것으로, 상기 라인 하우징(110)의 외측에서 상기 관통공(111)을 통과시켜 상기 제1고정 볼트(112)를 상기 조명(120)에 결합시키면, 상기 조명(120)이 회전되지 않고 고정될 수 있다. The
상기 관통공(111)은 상기 라인 하우징(110)의 길이 방향을 따라 연장되는 장공으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 관통공(111)은 상기 제1고정 볼트(112)를 관통시켜 상기 조명(120)에 결합시킬 수 있다면 다양한 형상으로 이루어질 수 있다. The through
본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은 상기 라인 하우징(110) 상부에 구비되는 하우징(130)을 더 포함할 수 있다. 상기 하우징(130)은 상기 조명(120)의 각도를 조절하기 위한 각도 조절부(140)가 구비되는 하우징일 수 있다. The lighting module of the surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a
도 5를 참조하면, 상기 하우징(130)에는 상기 라인 하우징(110)과 연결되면서 상기 하우징(130)에 대하여 상기 라인 하우징(110)이 기울어지는 각도를 조절하는 상기 각도 조절부(140)가 구비될 수 있다. Referring to FIG. 5 , the
상기 각도 조절부(140)는 상기 하우징(130)에 대한 상기 라인 하우징(110)이 기울어지는 각도를 조절할 수 있는 것으로, 상기 각도 조절부(140)를 통해 상기 라인 하우징(110)이 기울어지는 각도를 조절함에 따라 상기 라인 하우징(110)에 결합되는 상기 조명(120)의 각도를 조절할 수 있게 된다. The
구체적으로, 도 5, 도 6, 도 7을 참조하면, 상기 각도 조절부(140)는, 상부 플레이트(141), 제2고정 볼트(142), 하부 플레이트(143)를 포함한다. 또한, 상기 하우징(130)에는, 상기 라인 하우징(110)이 연장되는 길이 방향과 수직한 방향으로 연장되되, 곡률이 형성된 라운드 형상으로 이루어지면서 상기 하우징(130)을 관통하는 각도 조절공(131)이 구비될 수 있다. Specifically, referring to FIGS. 5 , 6 and 7 , the
도 6을 참조하면, 상기 각도 조절공(131)은 상기 하우징(130)을 관통하는 것으로, 상기 라인 하우징(110)이 연장되는 길이 방향과 수직한 방향으로 연장되는 것이다. Referring to FIG. 6 , the
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 하우징(130)은 판 형상으로 이루어지되, 볼록한 형상으로 이루어질 수 있다. 상기 하우징(130)은 곡률이 형성된 라운드 형상으로 이루어질 수 있는 것으로, 상기 각도 조절공(131)은 상기 하우징(130)의 표면을 따라 형성될 수 있다. 또한, 상기 하우징(130)의 측면에는 상기 하우징(130)을 지지하기 위한 측면 플레이트(132)가 결합될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the
도 5 및 도 7을 참조하면, 상기 상부 플레이트(141)는 상기 각도 조절공(131)의 상부에 구비되는 것이다. 상기 상부 플레이트(141)는 판 형상으로 이루어질 수 있는 것으로, 상기 상부 플레이트(141)는 상기 각도 조절공(131)의 상부에서 움직일 수 있는 것일 수 있다. 5 and 7 , the
상기 하부 플레이트(143)는 상기 각도 조절공(131)의 하부에 구비되되, 상기 라인 하우징(110)과 연결되는 것이다. 상기 하부 플레이트(143)는 상기 라인 하우징(110)과 일체로 움직일 수 있는 것으로, 상기 하부 플레이트(143)가 움직이면 상기 라인 하우징(110)도 함께 움직일 수 있게 된다. The
상기 제2고정 볼트(142)는 상기 상부 플레이트(141)에 연결되고, 상기 각도 조절공(131)을 관통하여 상기 하부 플레이트(143)에 연결되는 것이다. 상기 제2고정 볼트(142)는 상기 상부 플레이트(141)와 상기 하부 플레이트(143)를 연결하는 것으로, 상기 제2고정 볼트(142)는 상기 각도 조절공(131)에 끼워질 수 있다. The
상기 제2고정 볼트(142)를 통해 상기 각도 조절공(131)의 상부와 하부에 있는 상기 상부 플레이트(141)와 상기 하부 플레이트(143)를 연결하면, 상기 제2고정 볼트(142)는 상기 각도 조절공(131)에 끼워지게 된다. When the
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 상부 플레이트(141)를 상기 각도 조절공(131)을 따라 움직이면, 상기 하우징(130)에 대하여 상기 라인 하우징(110)이 기울어지는 각도를 조절할 수 있게 된다. According to an embodiment of the present invention, when the
구체적으로, 도 5 및 도 8을 참조하면, 상기 상부 플레이트(141)와 상기 하부 플레이트(143)를 연결하는 상기 제2고정 볼트(142)가 상기 각도 조절공(131)에 끼워져 있기 때문에, 상기 상부 플레이트(141)는 상기 각도 조절공(131)을 따라 움직일 수 있게 된다. Specifically, referring to FIGS. 5 and 8 , since the
상기 상부 플레이트(141)를 움직이면, 상기 제2고정 볼트(142)를 통해 상기 상부 플레이트(141)에 결합되어 있는 상기 하부 플레이트(143)가 움직이게 된다. 상기 하부 플레이트(143)가 움직이면, 상기 하부 플레이트(143)에 연결되어 있는 상기 라인 하우징(110)도 함께 움직이게 된다. When the
여기서, 상기 각도 조절공(131)은 곡률이 형성된 라운드 형상으로 이루어져 있기 때문에, 상기 상부 플레이트(141)가 상기 각도 조절공(131)을 따라 이동하는 경로 또한 곡률이 형성된 라운드 형상으로 이루어지게 된다. Here, since the
상기 상부 플레이트(141)가 상기 각도 조절공(131)을 따라 곡률이 형성된 라운드 형상으로 움직이면, 상기 하부 플레이트(143)와 상기 라인 하우징(110)도 동일한 경로로 이동될 수 있다. When the
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 라인 하우징(110)이 상기 각도 조절공(131)을 따라 곡률이 형성된 라운드 형상으로 움직임에 따라, 상기 하우징(130)에 대하여 상기 라인 하우징(110)이 기울어지는 각도가 변경될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, as the
상기 하우징(130)에 대하여 상기 라인 하우징(110)이 기울어지는 각도가 변경되면, 상기 라인 하우징(110)에 결합되어 있는 상기 조명(120)이 기울어지는 각도도 함께 변경된다. When the inclination angle of the
즉, 상기 상부 플레이트(141)가 상기 각도 조절공(131)을 따라 움직이면, 상기 라인 하우징(110)이 연장되는 길이 방향을 기준으로 상기 라인 하우징(110)은 좌, 우로 기울어질 수 있으며, 상기 라인 하우징(110)이 좌, 우로 기울어짐에 따라 상기 라인 하우징(110)에 결합되어 있는 상기 조명(120)이 좌, 우로 기울어질 수 있게 된다. That is, when the
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 상부 플레이트(141)에는, 상기 상부 플레이트(141)의 외측으로 돌출되는 각도 표시부(144)가 구비될 수 있다. 도 9를 참조하면, 상기 각도 표시부(144)는 뾰족한 형상으로 이루어지면서 상기 상부 플레이트(141)의 외측으로 돌출될 수 있는 것이다. According to an embodiment of the present invention, the
상기 각도 표시부(144)는 상기 상부 플레이트(141)가 상기 각도 조절공(131)을 따라 이동한 위치를 표시할 수 있는 것으로, 상기 각도 표시부(144)의 위치에 따라 상기 상부 플레이트(141), 상기 하부 플레이트(143), 상기 라인 하우징(110), 상기 조명(120)이 기울어지는 각도를 측정할 수 있게 된다. The
상기 하우징(130)의 표면에는, 상기 각도 표시부(144)의 이동 경로를 따라 연장되는 눈금이 구비될 수 있으며, 상기 각도 표시부(144)와 상기 눈금을 통해 상기 상부 플레이트(141), 상기 하부 플레이트(143), 상기 라인 하우징(110), 상기 조명(120)이 기울어지는 각도를 측정할 수 있게 된다. A scale extending along a movement path of the
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 하우징(130)에는 2개의 상기 라인 하우징(110)이 결합될 수 있다. 도 5를 참조하면, 상기 하우징(130)의 일측에 하나의 상기 라인 하우징(110)이 결합될 수 있으며, 하나의 상기 라인 하우징(110)과 이격되면서 다른 하나의 상기 라인 하우징(110)이 상기 하우징(130)의 타측에 결합될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the two
상기 하우징(130)의 상기 각도 조절공(131)에는 2개의 상기 각도 조절부(140)가 구비될 수 있다. 하나의 상기 각도 조절부(140)는 상기 하부 플레이트(143)를 통해 하나의 상기 라인 하우징(110)에 결합될 수 있으며, 다른 하나의 상기 각도 조절부(140)는 상기 하부 플레이트(143)를 통해 다른 하나의 상기 라인 하우징(110)에 결합될 수 있다. The
본 발명의 실시 예에 따르면, 하나의 상기 각도 조절공(131)에 구비되는 2개의 상기 각도 조절부(140)를 조절함에 따라 상기 하우징(130)에 결합되는 2개의 상기 라인 하우징(110)의 거리를 변경할 수도 있다. According to an embodiment of the present invention, the two
상기 각도 조절공(131)은 상기 라인 하우징(110)이 연장되는 방향과 수직한 방향으로 연장되어 있다. 따라서 상기 각도 조절공(131)에 구비되는 2개의 상기 각도 조절부(140)의 상기 상부 플레이트(141) 사이의 거리를 조절하면, 상기 하우징(130)에 결합되는 2개의 상기 라인 하우징(110) 사이의 거리를 변경할 수 있게 된다. The
상기 하우징(130)에 결합되는 2개의 상기 라인 하우징(110) 사이의 거리를 변경함에 따라, 2개의 상기 라인 하우징(110)에 결합되어 있는 상기 조명(120) 사이의 거리를 조절할 수 있게 된다. By changing the distance between the two
이와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은, 상기 라인 하우징(110)이 연장되는 방향과 수직한 축을 중심으로 상기 라인 하우징(110)에 결합되는 복수 개의 상기 조명(120) 각각에 대한 각도를 조절할 수 있다. As described above, the lighting module of the surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention includes a plurality of
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은, 상기 각도 조절부(140)를 통해 상기 하우징(130)에 대하여 상기 라인 하우징(110)이 기울어지는 각도를 조절함에 따라 상기 조명(120)이 기울어지는 각도를 조절할 수 있으며, 상기 각도 조절부(140)를 통해 상기 하우징(130)에 결합되는 2개의 상기 라인 하우징(110) 사이의 거리를 조절하여, 2개의 상기 라인 하우징(110)에 결합되는 상기 조명(120)의 사이의 거리를 조절할 수도 있다. In addition, the illumination module of the surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention adjusts the angle of inclination of the
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 제2고정 볼트(142)는 상기 하부 플레이트(143)를 관통하여 상기 조명(120)에 결합될 수 있다. 상기 각도 조절부(140)를 통해 상기 조명(120)이 기울어지는 각도를 조절한 이후에, 검사체에 대한 검사를 진행하기 위해서는 상기 조명(120)이 움직이지 않도록 상기 조명(120)을 고정시켜야 한다. According to an embodiment of the present invention, the
상기 제2고정 볼트(142)가 상기 하부 플레이트(143)를 관통하여 상기 조명(120)에 결합되면, 상기 상부 플레이트(141)와 상기 하부 플레이트(143)가 움직이지 않고 고정될 수 있게 된다. When the
상기 상부 플레이트(141)와 상기 하부 플레이트(143)가 고정되면, 상기 라인 하우징(110)이 기울어지는 각도가 고정되면서 상기 조명(120)이 기울어지는 각도가 고정될 수 있다. When the
이와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은, 상기 제1고정 볼트(112)와 상기 제2고정 볼트(142)를 조이거나 풀면서 상기 조명(120)에 대한 각도를 2가지 방향으로 조절할 수 있게 된다. As described above, the lighting module of the surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention tightens or loosens the
상기 제1고정 볼트(112)를 풀음에 따라 상기 라인 하우징(110)이 연장되는 길이 방향과 수직한 축으로 상기 조명(120)의 각도를 조절할 수 있고, 상기 제2고정 볼트(142)를 풀음에 따라 상기 하우징(130)에 대하여 상기 조명(120)(상기 라인 하우징(110))이 기울어지는 각도를 조절할 수 있게 된다. As the
이후, 검사체에 대한 검사가 진행될 때에는, 상기 제1고정 볼트(112)와 상기 제2고정 볼트(142)를 조임에 따라 상기 조명(120)의 각도가 변경되지 않도록 상기 조명(120)을 고정시킬 수 있게 된다. Thereafter, when the inspection of the test object is performed, the
도 5를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 상기 하우징(130)에는 상기 라인 하우징(110)의 길이 방향을 따라 2개 이상의 상기 각도 조절공(131)과 상기 상부 플레이트(141)가 구비될 수 있다. Referring to FIG. 5 , the
상기 하우징(130)에 구비되는 2개 이상의 상기 각도 조절공(131)은 서로 이격되어 있는 것으로, 상기 각도 조절공(131) 각각에 상기 상부 플레이트(141)가 배치될 수 있다. 또한, 2개 이상의 상기 상부 플레이트(141)는 2개의 상기 제2고정 볼트(142)를 통해 하나의 상기 하부 플레이트(143)에 연결될 수 있다. The two or more
구체적으로, 상기 각도 조절부(140)는 2개의 상기 상부 플레이트(141), 2개의 상기 제2고정 볼트(142), 1개의 상기 하부 플레이트(143)를 통해, 하나의 상기 라인 하우징(110)을 상기 하우징(130)에 연결할 수 있다. Specifically, the
상기 라인 하우징(110)은 길이 방향으로 연장되는 바 형상으로 이루어져 있기 때문에, 1개의 상기 상부 플레이트(141)와 1개의 상기 하부 플레이트(143) 만을 사용할 경우 뒤틀림이 발생할 수 있다. Since the
구체적으로, 1개의 상기 상부 플레이트(141)를 통해 길이 방향으로 연장된 상기 라인 하우징(110) 및 복수 개의 상기 조명(120)이 기울어지는 각도를 변경하면, 상기 상부 플레이트(141)와 멀어질수록 상기 라인 하우징(110) 및 상기 조명(120)에서 뒤틀림이 발생할 수 있다. Specifically, when the inclination angle of the
이를 방지하기 위해, 상기 각도 조절부(140)는 2개 이상의 상기 상부 플레이트(141)를 사용하면서 하나의 상기 라인 하우징(110)을 상기 하우징(130)에 연결할 수 있다. To prevent this, the
2개 이상의 상기 상부 플레이트(141)를 사용하면서 하나의 상기 라인 하우징(110)을 상기 하우징(130)에 연결하기 위해, 상기 하우징(130)에는 상기 라인 하우징(110)의 길이 방향을 따라 2개 이상의 상기 각도 조절공(131)이 구비될 수 있으며, 2개의 상기 각도 조절공(131) 각각에 상기 상부 플레이트(141)가 배치될 수 있다. In order to connect one
도 7을 참조하면, 2개의 상기 상부 플레이트(141)는 2개의 상기 제2고정 볼트(142)를 통해 1개의 상기 하부 플레이트(143)에 연결될 수 있다. 2개의 상기 상부 플레이트(141)가 1개의 상기 하부 플레이트(143)를 통해 연결됨에 따라 2개의 상기 상부 플레이트(141)는 동시에 움직일 수 있게 된다. Referring to FIG. 7 , the two
이와 같이 2개의 상기 상부 플레이트(141)와 1개의 상기 하부 플레이트(143)를 통해 하나의 상기 라인 하우징(110) 및 상기 조명(120)이 기울어지는 각도를 조절함에 따라, 각도 조절시 뒤틀림이 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다. As described above, as the angle at which one of the
상술한 본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은 다음과 같은 효과가 있다. The lighting module of the surface defect inspection apparatus according to the embodiment of the present invention described above has the following effects.
본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은 복수 개의 조명이 회전 가능하게 라인 하우징에 결합됨에 따라 복수 개의 조명 각각에 대한 각도를 조절할 수 있는 장점이 있다. The lighting module of the surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention has the advantage of being able to adjust the angle of each of the plurality of lights as the plurality of lights are rotatably coupled to the line housing.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은 하우징에 구비된 각도 조절부를 통해 조명이 기울어지는 각도를 조절할 수 있는 장점이 있다.In addition, the lighting module of the surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention has the advantage of being able to adjust the angle at which the lighting is inclined through the angle adjusting unit provided in the housing.
이와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은, 라인 하우징이 연장되는 방향과 수직한 축을 중심으로 라인 하우징에 결합되는 복수 개의 조명 각각에 대한 각도를 조절할 수 있으며, 각도 조절부를 통해 하우징에 대하여 라인 하우징이 기울어지는 각도를 조절함에 따라 조명이 기울어지는 각도를 조절할 수 있는 것으로, 본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은 2가지 각도로 조명을 조절할 수 있는 장점이 있다. As described above, the lighting module of the surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention can adjust the angle for each of the plurality of lights coupled to the line housing about an axis perpendicular to the extending direction of the line housing, and the angle adjusting unit It is possible to adjust the angle at which the lighting is tilted by adjusting the angle at which the line housing is tilted with respect to the housing. There is this.
본 발명의 실시 예에 따른 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈은, 2가지 각도로 조명을 조절할 수 있음에 따라 검사체에 조사되는 광의 각도를 광범위하게 변경할 수 있으며, 이를 통해 다양한 각도의 곡률 구조 형상을 가지는 검사체에 대한 검사를 진행할 수 있는 장점이 있다. The illumination module of the surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention can change the angle of the light irradiated to the inspection object in a wide range as the illumination can be adjusted to two angles, and through this, the curvature structure shape of various angles can be obtained. Eggplant has the advantage of being able to proceed with the inspection of the test object.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되지 않으며, 본 발명의 범주를 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 많은 변형이 제공될 수 있다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위를 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.In the above, the present invention has been described in detail with reference to a preferred embodiment, but the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications may be provided without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the technical spirit of the appended claims.
110...라인 하우징 111...관통공
112...제1고정 볼트 120...조명
130...하우징 131...각도 조절공
132...측면 플레이트 140...각도 조절부
141...상부 플레이트 142...제2고정 볼트
143...하부 플레이트 144...각도 표시부110...
112...First fixing
130...
132...
141...
143...
Claims (8)
길이 방향으로 연장된 라인 하우징;
상기 라인 하우징에 결합되는 복수 개의 조명;
복수 개의 상기 조명 각각은 상기 라인 하우징에 회전 가능하게 결합되며,
상기 라인 하우징에 상부에 구비되는 하우징을 더 포함하며,
상기 하우징에는, 상기 라인 하우징과 연결되면서 상기 하우징에 대하여 상기 라인 하우징이 기울어지는 각도를 조절하는 각도 조절부가 구비되며,
상기 하우징에는, 상기 라인 하우징이 연장되는 길이 방향과 수직한 방향으로 연장되되, 곡률이 형성된 라운드 형상으로 이루어지며, 상기 하우징을 관통하는 각도 조절공이 구비되며,
상기 각도 조절부는,
상기 각도 조절공의 상부에 구비되는 상부 플레이트와,
상기 각도 조절공의 하부에 구비되되, 상기 라인 하우징과 연결되는 하부 플레이트와,
상기 상부 플레이트에 연결되고, 상기 각도 조절공을 관통하여 상기 하부 플레이트에 연결되는 제2고정 볼트를 포함하며,
상기 상부 플레이트를 상기 각도 조절공을 따라 움직이면, 상기 하우징에 대하여 상기 라인 하우징이 기울어지는 각도가 조절되는 것을 특징으로 하는 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈.In the lighting module used in the surface defect inspection device,
a line housing extending in the longitudinal direction;
a plurality of lights coupled to the line housing;
Each of the plurality of lights is rotatably coupled to the line housing,
Further comprising a housing provided on the line housing,
The housing is provided with an angle adjusting unit for adjusting an angle at which the line housing is inclined with respect to the housing while being connected to the line housing,
The housing is provided with an angle adjusting hole extending in a direction perpendicular to the lengthwise direction in which the line housing is extended, having a round shape with a curvature, and penetrating the housing,
The angle adjustment unit,
an upper plate provided on the upper part of the angle adjusting hole;
a lower plate provided under the angle adjusting hole and connected to the line housing;
and a second fixing bolt connected to the upper plate and connected to the lower plate through the angle adjustment hole,
When the upper plate moves along the angle adjusting hole, the lighting module of the surface defect inspection apparatus, characterized in that the angle at which the line housing is inclined with respect to the housing is adjusted.
복수 개의 상기 조명은, 상기 라인 하우징이 연장되는 길이 방향에 대해 수직한 축을 중심으로 회전하는 것을 특징으로 하는 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈.According to claim 1,
The plurality of lights, the illumination module of the surface defect inspection apparatus, characterized in that the rotation about an axis perpendicular to the longitudinal direction in which the line housing extends.
복수 개의 상기 조명은 상기 라인 하우징에 힌지 결합되고,
상기 조명에 결합되는 제1고정 볼트를 더 포함하며,
상기 라인 하우징의 외측에는, 상기 제1고정 볼트가 관통되는 관통공이 구비되며,
상기 제1고정 볼트는, 상기 라인 하우징의 외측에서 상기 관통공을 통과하여 상기 조명에 결합되는 것을 특징으로 하는 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈.3. The method of claim 2,
A plurality of the lights are hinged to the line housing,
Further comprising a first fixing bolt coupled to the lighting,
A through hole through which the first fixing bolt passes is provided on the outside of the line housing,
The first fixing bolt, the lighting module of the surface defect inspection device, characterized in that coupled to the lighting through the through hole from the outside of the line housing.
상기 제2고정 볼트는,
상기 하부 플레이트를 관통하여 상기 조명에 결합되는 것을 특징으로 하는 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈.According to claim 1,
The second fixing bolt,
The illumination module of the surface defect inspection device, characterized in that coupled to the illumination through the lower plate.
상기 하우징에는,
상기 라인 하우징의 길이 방향을 따라 2개 이상의 상기 각도 조절공과 상기 상부 플레이트가 구비되는 것을 특징으로 하는 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈.7. The method of claim 6,
In the housing,
The lighting module of the surface defect inspection device, characterized in that at least two of the angle adjusting hole and the upper plate are provided along the longitudinal direction of the line housing.
2개 이상의 상기 상부 플레이트는, 상기 제2고정 볼트를 통해 하나의 상기 하부 플레이트에 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 결함 검사 장치의 조명 모듈.8. The method of claim 7,
Two or more of the upper plate, the lighting module of the surface defect inspection apparatus, characterized in that connected to the one lower plate through the second fixing bolt.
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Citations (5)
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---|---|---|---|---|
JP2016148570A (en) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | シーシーエス株式会社 | Line light irradiation device |
KR101836425B1 (en) * | 2017-10-12 | 2018-04-19 | (주)코리아반도체조명 | Crosswalk lighting devices |
JP2019049478A (en) * | 2017-09-11 | 2019-03-28 | 株式会社エアロ | Work inspection device |
CN212275745U (en) * | 2019-09-17 | 2021-01-01 | 青海省交通科学研究院 | Testing device for indoor simulation of soil evaporation process |
CN214150465U (en) * | 2020-11-03 | 2021-09-07 | 东莞市鼎力自动化科技有限公司 | Detection mechanism is swept to line |
-
2021
- 2021-12-23 KR KR1020210186601A patent/KR102421125B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016148570A (en) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | シーシーエス株式会社 | Line light irradiation device |
JP2019049478A (en) * | 2017-09-11 | 2019-03-28 | 株式会社エアロ | Work inspection device |
KR101836425B1 (en) * | 2017-10-12 | 2018-04-19 | (주)코리아반도체조명 | Crosswalk lighting devices |
CN212275745U (en) * | 2019-09-17 | 2021-01-01 | 青海省交通科学研究院 | Testing device for indoor simulation of soil evaporation process |
CN214150465U (en) * | 2020-11-03 | 2021-09-07 | 东莞市鼎力自动化科技有限公司 | Detection mechanism is swept to line |
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