KR102419935B1 - Cooling water treatment device for treatment-liquid supply system - Google Patents

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Abstract

본 발명은 처리액 공급 시스템의 냉각수 처리 장치에 관한 것으로, 다수의 처리액 도포부 각각에 이중관들의 내관을 통해 처리액을 공급하는 처리액 공급부와, 공급관들을 통해 상기 이중관들 각각의 외관에 냉각수를 공급하는 냉각수 순환부와, 상기 이중관들 각각의 외관의 일부에 연결된 음압관들과, 상기 음압관들과 상기 이중관들 각각의 외관에 음압을 발생시켜 누수의 발생을 방지하며, 상기 음압관들을 통해 순환되는 냉각수를 회수관들을 통해 상기 냉각수 순환부로 순환시키는 냉각수 처리부를 포함할 수 있다.The present invention relates to a cooling water treatment apparatus of a treatment liquid supply system, a treatment liquid supply unit for supplying treatment liquid through inner tubes of double tubes to each of a plurality of treatment liquid application units, and cooling water to the exterior of each of the double tubes through the supply tubes A cooling water circulation unit for supplying, negative pressure pipes connected to a part of the exterior of each of the double pipes, and generating a negative pressure in the exterior of each of the negative pressure pipes and the double pipes to prevent the occurrence of leakage, through the negative pressure pipes It may include a cooling water treatment unit that circulates the circulated cooling water to the cooling water circulation unit through the recovery pipes.

Description

처리액 공급 시스템의 냉각수 처리 장치{Cooling water treatment device for treatment-liquid supply system}Cooling water treatment device for treatment-liquid supply system

본 발명은 처리액 공급 시스템의 냉각수 처리 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 냉각수의 누수를 방지할 수 있는 처리액 공급 시스템의 냉각수 처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cooling water treatment apparatus for a treatment liquid supply system, and more particularly, to a cooling water treatment apparatus for a treatment liquid supply system capable of preventing leakage of cooling water.

일반적으로, 반도체나 디스플레이 장치를 제조하는 제조공정에는 용도에 따라 다양한 종류의 처리액을 사용한다. 처리액은 포토레지스트가 될 수 있으며, 통상 포토레지스트를 공급할 때에는 온도의 조절을 위하여 냉각수를 사용한다.In general, in a manufacturing process of manufacturing a semiconductor or a display device, various types of treatment liquids are used depending on the purpose. The treatment solution may be a photoresist, and cooling water is usually used to control the temperature when the photoresist is supplied.

등록특허 10-0696381호(처리액 공급 장치 및 이를 가지는 반도체 소자 제조 장치, 2007년 3월 12일 등록)에는 중앙에 위치하는 처리액 공급관과, 처리액 공급관을 감싸며 탈이온수가 공급되는 액체 공급관을 포함하는 처리액 공급 장치에 대하여 기재하고 있다.Registered Patent No. 10-0696381 (processing liquid supply device and semiconductor device manufacturing apparatus having the same, registered on March 12, 2007) includes a treatment liquid supply pipe located in the center and a liquid supply pipe that surrounds the treatment liquid supply pipe and supplies deionized water. It describes with respect to the processing liquid supply apparatus which includes.

탈이온수는 액체 온도 조절기에 의해 온도가 조절되는 구성이다.Deionized water is a configuration in which the temperature is controlled by a liquid thermostat.

이처럼 처리액의 온도를 조절하기 위하여, 적어도 이중관을 사용하여 중앙에는 처리액을 공급하여 기판 등에 공급할 수 있도록 함과 아울러 중앙의 관을 감싸는 다른 관에 냉각수로서 탈이온수(DI Water)를 공급하고 있다.In this way, to control the temperature of the treatment liquid, at least a double tube is used to supply the treatment liquid to the center so that it can be supplied to the substrate and the like, and deionized water (DI Water) is supplied as cooling water to the other tube surrounding the central tube. .

상기 처리액이 공급되는 관의 끝은 처리액을 기판 등에 공급할 수 있는 노즐이 형성되어 있으며, 노즐의 위치 조정을 위하여 상기 처리액과 냉각수를 공급하는 이중관은 연성 재질이며, 필요시 주름관으로 형성될 수 있다.A nozzle capable of supplying the treatment liquid to the substrate is formed at the end of the pipe to which the treatment liquid is supplied, and the double pipe for supplying the treatment liquid and cooling water for adjusting the position of the nozzle is made of a flexible material, and may be formed of a corrugated tube if necessary. can

처리액을 공급하는 과정의 반복 또는 외력에 의해 이중관의 외피가 손상될 수 있으며, 냉각수가 손상 부분을 통해 유출될 수 있다.The outer shell of the double pipe may be damaged by repetition of the process of supplying the treatment liquid or by external force, and the cooling water may flow out through the damaged portion.

유출된 냉각수가 기판에 떨어지게 되면, 공정 불량을 유발하는 등의 문제를 발생시킨다.When the leaked coolant falls on the substrate, problems such as inducing process defects occur.

종래 처리액 공급 시스템의 구성을 살펴보면 다음과 같다.The configuration of the conventional treatment liquid supply system is as follows.

도 1은 종래 처리액 공급 시스템의 블록 구성도이다.1 is a block diagram of a conventional treatment liquid supply system.

도 1을 참조하면 종래 처리액 공급 시스템은, 내관(220)과 외관(210)을 포함하는 이중관(200)과, 상기 이중관(200)의 내관(220)을 통해 처리액을 처리액 도포부(100)로 공급하는 처리액 공급부(300)와, 상기 외관(210)을 통해 탈이온수를 순환시키는 냉각수 순환부(400)를 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 1 , a conventional treatment liquid supply system includes a double tube 200 including an inner tube 220 and an outer tube 210 , and a treatment liquid application unit ( 100 ), a treatment liquid supply unit 300 , and a cooling water circulation unit 400 circulates deionized water through the exterior 210 .

이와 같이 구성되는 종래 처리액 공급 시스템의 구성과 작용을 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.The configuration and operation of the conventional treatment liquid supply system configured as described above will be described in more detail as follows.

먼저, 이중관(200)은 처리액 공급부(300)와 처리액 도포부(100)의 사이에 위치하며, 도면에는 생략되었으나 기계적인 구동에 의해 대기 위치에서 처리액 도포부(100)의 도포 위치로 끝단(노즐)을 이동시킬 수 있으며, 도포 후 원래의 대기 위치로 이동할 수 있다.First, the double pipe 200 is located between the treatment liquid supply unit 300 and the treatment liquid application unit 100 , and although omitted in the drawing, moves from a standby position to the application position of the treatment liquid application unit 100 by mechanical driving. The tip (nozzle) can be moved, and after application, it can be moved to the original standby position.

이처럼 노즐 위치의 이동 편의를 위하여 이중관(200)의 내관(220)과 외관(210)은 모두 연질의 재질로 이루어지는 것으로 한다.As such, for the convenience of moving the nozzle position, both the inner tube 220 and the outer tube 210 of the double tube 200 are made of a soft material.

상기 처리액 공급부(300)는 포토레지스트를 공급하는 것일 수 있으며, 처리액 도포부(100)는 반도체 기판을 장착하고 이중관(200)의 내관(220)을 통해 공급된 포토레지스트가 반도체 기판에 도포될 수 있도록 한다.The treatment solution supply unit 300 may supply photoresist, and the treatment solution application unit 100 mounts a semiconductor substrate, and the photoresist supplied through the inner tube 220 of the double tube 200 is applied to the semiconductor substrate. make it possible

냉각수 순환부(400)는 액체를 순환시키는 서큘레이터(circulator)이며, 내부에는 냉각수의 열교환을 위한 열교환장치를 포함할 수 있다.The cooling water circulation unit 400 is a circulator for circulating a liquid, and may include a heat exchange device for heat exchange of the cooling water therein.

냉각수 순환부(400)는 공급관(410)과 회수관(420)이 연결되어 있으며, 공급관(410)과 회수관(420)의 타단은 상기 이중관(200)의 외관(210)의 일부에 연통되어 있다.The cooling water circulation unit 400 is connected to a supply pipe 410 and a recovery pipe 420, and the other ends of the supply pipe 410 and the recovery pipe 420 are in communication with a part of the exterior 210 of the double pipe 200. have.

따라서 냉각수를 외관(210)을 통해 순환시킬 수 있다. 이때 냉각수 순환부(400)는 외관(210)에 냉각수가 흐르게 하기 위하여 소정의 압력을 공급관(410)에 인가하게 된다.Accordingly, the cooling water may be circulated through the exterior 210 . At this time, the cooling water circulation unit 400 applies a predetermined pressure to the supply pipe 410 so that the cooling water flows through the exterior 210 .

만약 외관(210)에 이동에 의한 스트레스로 손상이 발생하거나, 외력에 의한 손상이 발생하는 경우 냉각수가 외관(210)의 외측으로 누수될 수 있으며, 누수 자체에 의한 냉각 효과 저하 및 누수된 냉각수가 처리액 도포부(100)로 유입되어 기판을 오염시킬 수 있는 문제점이 발생할 수 있다.If damage occurs to the exterior 210 due to stress caused by movement or damage due to external force occurs, the coolant may leak to the outside of the exterior 210 , and the cooling effect may decrease due to the leakage itself and the leaked coolant may There may be a problem in that the treatment liquid flows into the application unit 100 and contaminates the substrate.

또한, 냉각수로 사용하는 탈이온수에 미생물이 번식할 수 있으며, 이는 부식을 유발하고, 비산수를 흡입하는 경우 레지오넬라증 등 미생물에 의한 질병을 유발할 수 있는 문제점이 있었다. In addition, microorganisms may breed in deionized water used as cooling water, which causes corrosion, and when arsenic water is inhaled, there is a problem that may cause diseases caused by microorganisms such as legionellosis.

미생물이 번식하는 환경의 조성은 포토레지스트의 손상 방지를 위하여 노랑색 조명을 사용하기 때문에 더욱 심화되며, 미생물 발생을 방지할 수 있는 첨가물의 첨가도 제한된다.The composition of the environment in which microorganisms grow is further intensified because yellow light is used to prevent damage to the photoresist, and the addition of additives that can prevent the occurrence of microorganisms is also limited.

종래에는 냉각수 순환부에서 압력을 검출하여 누수 여부를 확인한다. Conventionally, the pressure is detected in the cooling water circulating unit to check for leaks.

이때 처리액 도포부(50)가 다수인 경우 어느 채널에서 누수가 발생했는지 알수 없으며, 또한 압력의 저하를 검출한 시점에서는 이미 누수가 발생한 이후이기 때문에 처리액 도포부(50)에서 공정 불량을 방지할 수 없다는 한계가 있었다.At this time, if there are a plurality of treatment liquid application units 50 , it is not possible to know in which channel the leakage has occurred, and since the leakage has already occurred at the time when the pressure drop is detected, process failure is prevented in the treatment liquid application unit 50 . There was a limit to what I couldn't do.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 냉각수를 순환시키는 이중관의 외관에 미세한 손상이 발생하는 경우에도 냉각수의 누수를 방지할 수 있는 처리액 공급 시스템의 냉각수 처리 장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention to be solved in view of the above problems is to provide a cooling water treatment device for a treatment liquid supply system capable of preventing leakage of cooling water even when minute damage occurs on the exterior of a double pipe circulating cooling water .

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 차압센서를 이용하여 각 채널별로 누수의 발생여부를 쉽게 감지할 수 있는 처리액 공급 시스템의 냉각수 처리 장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a cooling water treatment apparatus of a treatment liquid supply system capable of easily detecting whether leakage has occurred for each channel using a differential pressure sensor.

그리고 본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 순환되는 냉각수에 미생물이 발현되는 것을 방지할 수 있는 처리액 공급 시스템의 냉각수 처리 장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a cooling water treatment apparatus of a treatment liquid supply system capable of preventing the expression of microorganisms in circulating cooling water.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명 처리액 공급 시스템의 냉각수 처리 장치는, 다수의 처리액 도포부 각각에 이중관들의 내관을 통해 처리액을 공급하는 처리액 공급부와, 공급관들을 통해 상기 이중관들 각각의 외관에 냉각수를 공급하는 냉각수 순환부와, 상기 이중관들 각각의 외관의 일부에 연결된 음압관들과, 상기 음압관들과 상기 이중관들 각각의 외관에 음압을 발생시켜 누수의 발생을 방지하며, 상기 음압관들을 통해 순환되는 냉각수를 회수관들을 통해 상기 냉각수 순환부로 순환시키는 냉각수 처리부를 포함할 수 있다.The cooling water treatment apparatus of the treatment liquid supply system of the present invention for solving the above technical problems includes a treatment liquid supply unit for supplying a treatment liquid through inner tubes of double tubes to each of a plurality of treatment liquid application units, and the double tubes through the supply tubes. A cooling water circulation unit for supplying cooling water to each exterior, negative pressure pipes connected to a part of the exterior of each of the double pipes, and generating negative pressure in the exterior of each of the negative pressure pipes and the double pipes to prevent the occurrence of leakage, , a cooling water treatment unit circulating the cooling water circulated through the negative pressure pipes to the cooling water circulation unit through recovery pipes.

본 발명의 실시예에서, 상기 냉각수 처리부는, 상기 음압관들 각각을 통해 순환하는 냉각수를 집수하는 집수부와, 음압을 발생시켜 상기 집수부에 집수된 냉각수를 후단으로 배출하는 음압펌프와, 상기 음압펌프의 후단에서 상기 집수부의 냉각수를 집수하여, 상기 회수관들을 통해 상기 냉각수 순환부로 순환시키는 분배부를 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the cooling water processing unit includes: a water collecting unit collecting cooling water circulating through each of the negative pressure pipes; and a negative pressure pump generating negative pressure and discharging the cooling water collected in the water collecting unit to a rear end; The rear end of the negative pressure pump may include a distribution unit that collects the cooling water of the water collecting unit and circulates it to the cooling water circulation unit through the recovery pipes.

본 발명의 실시예에서, 상기 냉각수 처리부는, 상기 집수부와 상기 음압관들을 연결하는 다수의 포트 각각에 위치하여, 차압을 검출하는 차압센서들과, 상기 차압센서들 각각의 검출결과를 수신하고, 기준압력과 상기 차압센서들 각각에서 검출된 압력을 비교하여, 상기 이중관들 및 음압관 중 손상된 관을 확인하는 제어부와, 손상된 관을 표시하는 표시부를 더 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the cooling water processing unit is located in each of a plurality of ports connecting the water collecting unit and the negative pressure tube, and receives differential pressure sensors for detecting a differential pressure, and a detection result of each of the differential pressure sensors, , by comparing the reference pressure and the pressure detected by each of the differential pressure sensors, may further include a control unit for identifying a damaged tube among the double tube and the negative pressure tube, and a display unit for displaying the damaged tube.

본 발명의 실시예에서, 상기 냉각수 처리부는, 상기 순환되는 냉각수를 필터링하는 정화필터부를 더 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the cooling water treatment unit may further include a purification filter unit for filtering the circulated cooling water.

본 발명의 실시예에서, 상기 냉각수 처리부는, 상기 정화필터부를 지나는 냉각수의 압력을 검출하는 차압센서를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 차압센서의 압력이 설정된 압력 이상이면 교체시기가 됨을 상기 표시부에 표시할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the cooling water processing unit further includes a differential pressure sensor for detecting a pressure of the cooling water passing through the purification filter unit, and the control unit indicates to the display unit that it is time to replace the differential pressure sensor when the pressure of the differential pressure sensor is equal to or greater than a set pressure. can be displayed

본 발명은 냉각수 순환부의 회수관측에 음압을 발생시켜, 냉각수가 순환되는 이중관의 외관에 미세한 손상이 발생한 경우에도, 그 손상부분을 통해 냉각수가 누수되는 것을 방지할 수 있으며, 따라서 냉각수의 누수에 따른 공정 이상을 방지할 수 있는 효과가 있다.The present invention generates a negative pressure on the return pipe side of the cooling water circulation unit, so that even when a slight damage occurs to the exterior of the double pipe through which the cooling water circulates, it is possible to prevent the cooling water from leaking through the damaged part, and thus It has the effect of preventing process abnormalities.

또한 본 발명은 다수의 도포액 처리부를 운영하는 시스템에서 각 채널별로 차압을 측정하는 차압센서를 적용함으로써, 냉각수가 순환되는 외관의 손상에 따른 압력변화를 감지하고 이를 알림으로써, 정확한 채널별 누수 감지가 가능하여 시스템의 유지보수가 용이하게 되는 효과가 있다.In addition, the present invention applies a differential pressure sensor that measures the differential pressure for each channel in a system that operates a plurality of coating liquid processing units to detect and notify pressure changes due to damage to the exterior through which the coolant circulates, thereby accurately detecting leaks for each channel. This has the effect of facilitating the maintenance of the system.

그리고 본 발명은 순환되는 냉각수를 필터링하여 미생물의 발현을 방지함으로써, 미생물에 의한 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has the effect of preventing contamination by microorganisms by preventing the expression of microorganisms by filtering the circulating cooling water.

도 1은 종래 처리액 공급 시스템의 블록 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 처리액 공급 시스템의 냉각수 처리 장치의 블록 구성도이다.
도 3은 도 2에서 냉각수 처리부의 블록 구성도이다.
도 4는 도 3의 구성도이다.
도 5와 도 6은 각각 본 발명의 음압펌프가 동작하지 않을 때와 동작할 때의 누수 현상 발생여부 비교 사진이다.1 is a block diagram of a conventional treatment liquid supply system.
2 is a block diagram of a cooling water treatment apparatus of a treatment liquid supply system according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is a block diagram of the cooling water processing unit in FIG. 2 .
4 is a block diagram of FIG. 3 .
5 and 6 are photographs comparing the occurrence of leaks when the negative pressure pump of the present invention does not operate and when it operates, respectively.

본 발명의 구성 및 효과를 충분히 이해하기 위하여, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라, 여러가지 형태로 구현될 수 있고 다양한 변경을 가할 수 있다. 단지, 본 실시예에 대한 설명은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위하여 제공되는 것이다. 첨부된 도면에서 구성요소는 설명의 편의를 위하여 그 크기를 실제보다 확대하여 도시한 것이며, 각 구성요소의 비율은 과장되거나 축소될 수 있다.In order to fully understand the configuration and effect of the present invention, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, and may be embodied in various forms and various modifications may be made. However, the description of the present embodiment is provided so that the disclosure of the present invention is complete, and to fully inform those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs, the scope of the invention. In the accompanying drawings, components are enlarged in size from reality for convenience of description, and ratios of each component may be exaggerated or reduced.

'제1', '제2' 등의 용어는 다양한 구성요소를 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소는 위 용어에 의해 한정되어서는 안 된다. 위 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리범위를 벗어나지 않으면서 '제1구성요소'는 '제2구성요소'로 명명될 수 있고, 유사하게 '제2구성요소'도 '제1구성요소'로 명명될 수 있다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 표현하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어는 다르게 정의되지 않는 한, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 통상적으로 알려진 의미로 해석될 수 있다.Terms such as 'first' and 'second' may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the above terms. The above term may be used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a 'first component' may be termed a 'second component', and similarly, a 'second component' may also be termed a 'first component'. can Also, the singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. Unless otherwise defined, terms used in the embodiments of the present invention may be interpreted as meanings commonly known to those of ordinary skill in the art.

이하에서는, 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 처리액 공급 시스템의 냉각수 처리 장치에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a cooling water treatment apparatus of a treatment liquid supply system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 처리액 공급 시스템의 냉각수 처리 장치의 블록 구성도이다.2 is a block diagram of a cooling water treatment apparatus of a treatment liquid supply system according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 처리액 공급 시스템의 냉각수 처리 장치는, 다수의 처리액 도포부(50) 각각에 이중관(20)의 내관(22)을 통해 처리액을 공급하는 처리액 공급부(40)와, 공급관(31)을 통해 상기 이중관(20)의 외관(21)에 냉각수를 공급하는 냉각수 순환부(30)와, 상기 이중관(20)의 외관(21)의 일부에 연결된 음압관(60)을 통해 순환되는 냉각수를 처리하여 상기 냉각수 순환부(30)로 순환시키는 냉각수 처리부(10)를 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 2 , in the cooling water treatment apparatus of the treatment liquid supply system according to the preferred embodiment of the present invention, the treatment liquid is supplied to each of the plurality of treatment liquid applicators 50 through the inner tube 22 of the double tube 20 . A treatment liquid supply unit 40, a cooling water circulation unit 30 for supplying cooling water to the exterior 21 of the double pipe 20 through the supply pipe 31, and a part of the exterior 21 of the double pipe 20 and a cooling water treatment unit 10 that processes cooling water circulated through the connected negative pressure pipe 60 and circulates it to the cooling water circulation unit 30 .

상기 처리액 공급부(40)는 포토레지스트를 이중관(20)의 내관(22)을 통해 처리액 도포부(50)로 공급하는 것일 수 있다.The treatment liquid supply unit 40 may supply the photoresist to the treatment liquid application unit 50 through the inner tube 22 of the double tube 20 .

이때 처리액 도포부(50)는 다수로 마련되어 개별적으로 공급된 처리액을 이용하여 공정을 처리하는 장치일 수 있다. 예를 들어 스핀 코팅 장치일 수 있다.In this case, the treatment liquid applicator 50 may be a device for processing a process using a treatment liquid provided in plurality and individually supplied. For example, it may be a spin coating apparatus.

상기 이중관(20)은 처리액을 공급하기 위한 내관(22)을 감싸는 외관(21)을 포함하고 있다. 설명의 편의를 위하여 외관(21), 내관(22)으로 이루어지는 이중관(20)으로 설명하지만 복수의 관이 동심배치되는 다중관을 사용할 수 있다. The double tube 20 includes an outer tube 21 surrounding the inner tube 22 for supplying the treatment liquid. For convenience of explanation, the double tube 20 is described as the outer tube 21 and the inner tube 22, but a multiple tube in which a plurality of tubes are concentrically arranged can be used.

이중관(20)은 처리액 도포부(50)에서 노즐의 위치 변경을 위하여 기계적인 변위를 가지게 되며, 연성재질을 사용하는 것으로 한다.The double pipe 20 has a mechanical displacement to change the position of the nozzle in the treatment liquid application unit 50 and uses a soft material.

상기 이중관(20)의 외관(21)에는 각기 다른 위치에 공급관(31)과 음압관(60)이 연통된다.The supply pipe 31 and the negative pressure pipe 60 communicate with each other at different positions on the exterior 21 of the double pipe 20 .

따라서 냉각수 순환부(30)에서 소정의 압력으로 공급되는 냉각수는 공급관(31)을 통해 외관(21)으로 공급되고, 외관(21)에 공급된 냉각수는 내관(22)을 통해 처리액 도포부(50)에 공급되는 처리액과 열교환 후 음압관(60)을 통해 냉각수 처리부(10)로 공급된다.Accordingly, the cooling water supplied at a predetermined pressure from the cooling water circulation unit 30 is supplied to the outer tube 21 through the supply pipe 31 , and the cooling water supplied to the outer tube 21 is supplied to the treatment liquid application unit ( After heat exchange with the treatment liquid supplied to 50 ), it is supplied to the cooling water treatment unit 10 through the negative pressure pipe 60 .

상기 냉각수는 필요에 따라 처리액 도포부(50) 내의 모터 등의 냉각을 위해서 사용될 수도 있다. 이때 외관(21)은 처리액 도포부(50)로 유입되는 별도의 관이 연결되며, 별도의 관에 상기 음압관(60)이 연결되는 것으로 할 수 있다.The cooling water may be used for cooling a motor in the treatment liquid application unit 50 as necessary. In this case, the exterior 21 may be connected to a separate pipe flowing into the treatment liquid application unit 50 , and the negative pressure pipe 60 may be connected to the separate pipe.

도 3은 도 2에서 냉각수 처리부(10)의 블록 구성도이고, 도 4는 도 3의 구성도이다.3 is a block diagram of the cooling water processing unit 10 in FIG. 2 , and FIG. 4 is a diagram of FIG. 3 .

도 3과 도 4를 참조하면, 냉각수 처리부(10)는 상기 음압관(60)들을 통해 회수되는 냉각수를 수집하는 집수부(11)와, 상기 집수부(11)에 집수된 냉각수를 필터링하는 정화필터부(13)와, 음압을 발생시켜 상기 음압관(60) 및 외관(21)에 음압을 제공하여 누수를 방지하는 음압펌프(14)와, 음압펌프(14)의 후단에서 냉각수를 집수하여 다수의 회수관(32)을 통해 상기 냉각수 순환부(30)로 순환시키는 분배부(15)와, 상기 음압관(60)들 각각의 차압을 검출하는 다수의 차압센서부(12)와, 상기 차압센서부(12)들에서 검출된 압력정보를 입력받아 각 채널별 압력을 기준압력과 비교하는 제어부(16)와, 상기 제어부(16)에서 판단된 결과에 따라 채널별 누수 여부를 표시하는 표시부(17)를 포함할 수 있다.3 and 4 , the cooling water processing unit 10 includes a water collecting unit 11 for collecting cooling water recovered through the negative pressure pipes 60 , and a purification method for filtering the cooling water collected in the water collecting unit 11 . The filter unit 13, the negative pressure pump 14 that generates negative pressure to provide negative pressure to the negative pressure tube 60 and the exterior 21 to prevent water leakage, and the negative pressure pump 14 collects cooling water from the rear end a distribution unit 15 for circulating the coolant to the cooling water circulation unit 30 through a plurality of recovery pipes 32; a plurality of differential pressure sensor units 12 for detecting the differential pressure of each of the negative pressure pipes 60; A control unit 16 that receives the pressure information detected by the differential pressure sensor units 12 and compares the pressure of each channel with a reference pressure, and a display unit that displays whether or not leaks exist for each channel according to the result determined by the control unit 16 (17) may be included.

상기 냉각수 처리부(10)의 음압펌프(14)는, 전단에 위치하는 정화필터부(13), 집수부(11) 및 음압관(60)에 음압을 발생시키며 따라서 이중관(20)의 외관(21)에 미세한 손상이 있는 경우에도, 그 손상부분을 통해 냉각수가 누수되는 것을 방지할 수 있다.The negative pressure pump 14 of the cooling water treatment unit 10 generates negative pressure in the purification filter unit 13, the water collecting unit 11, and the negative pressure pipe 60 located at the front end, and thus the exterior 21 of the double pipe 20 ), it is possible to prevent the coolant from leaking through the damaged part.

도 5는 실험을 위하여 음압관(60)에 구멍을 뚫고, 음압펌프(14)를 동작시키지 않은 상태에서 냉각수가 순환될 때 누수가 발생하는 사진이다.5 is a photograph showing a leak occurs when a hole is drilled in the negative pressure tube 60 for an experiment and the cooling water is circulated in a state in which the negative pressure pump 14 is not operated.

이때의 냉각수 순환은 서큘레이터인 냉각수 순환부(30)의 순환 압력에 의해서만 이루어지며, 이중관(20) 또는 음압관(60)에 손상이 있는 경우 그 손상부분을 통해 냉각수가 유출됨을 확인할 수 있다.At this time, the cooling water circulation is performed only by the circulation pressure of the cooling water circulation unit 30 which is a circulator, and if the double pipe 20 or the negative pressure pipe 60 is damaged, it can be confirmed that the cooling water flows out through the damaged part.

이와 같은 상태에서 음압펌프(14)를 다시 가동하면, 도 6과 같이 음압펌프(14)에서 발생되는 음압에 의해 손상부분에서 냉각수가 유출되지 않는 것을 확인할 수 있다.If the negative pressure pump 14 is operated again in this state, it can be confirmed that the cooling water does not flow out of the damaged portion by the negative pressure generated by the negative pressure pump 14 as shown in FIG. 6 .

이는 음압펌프(14)에서 발생하는 음압에 의해 냉각수가 양압인 관의 외부보다는 음압펌프(14) 측의 압력이 낮은 곳으로 흐르기 때문이다. 여기서 양압과 음압은 서로 상대적인 압력의 차이를 뜻하는 것으로 한다.This is because, due to the negative pressure generated by the negative pressure pump 14 , the cooling water flows to a place where the pressure on the negative pressure pump 14 side is lower than the outside of the positive pressure pipe. Here, the positive pressure and the negative pressure refer to the difference in pressure relative to each other.

상기 냉각수 순환부(30)에서 공급관(31)을 통해 이중관(20)의 외관(21)에 공급된 냉각수는 이중관(20)의 내관(22)을 통해 공급되는 처리액과 열교환 된 후 음압관(60)으로 유입된다.The cooling water supplied from the cooling water circulation unit 30 to the outer tube 21 of the double tube 20 through the supply tube 31 exchanges heat with the treatment liquid supplied through the inner tube 22 of the double tube 20, and then the negative pressure tube ( 60) is introduced.

음압관(60)은 각 채널마다 연결되어 있으며, 상기 냉각수 처리부(10)의 집수부(11)의 포트(11a)에 각각 연결된다.The negative pressure pipe 60 is connected to each channel, and is respectively connected to the port 11a of the water collecting unit 11 of the cooling water treatment unit 10 .

음압관(60)을 통해 회수되는 냉각수는 집수부(11)에 집수되며, 정화필터부(13)를 통해 필터링된다. 이때 정화필터부(13)는 발현되는 미생물을 필터링하는 것으로 한다.The cooling water recovered through the negative pressure pipe 60 is collected in the water collecting unit 11 and filtered through the purification filter unit 13 . At this time, the purification filter unit 13 filters the microorganisms that are expressed.

정화필터부(13)는 적어도 1종의 물리적인 필터를 포함할 수 있으며, 이 필터는 미생물을 필터링한다. 필터는 주기적으로 교체될 수 있는 것으로 한다.The purification filter unit 13 may include at least one physical filter, which filters microorganisms. Filters are to be replaced periodically.

필터의 교체 시점은 예를 들어 3개월 등 설정된 시간이 경과하면 교체하는 것으로 할 수 있다.The replacement time of the filter may be, for example, to be replaced when a set time such as 3 months has elapsed.

또는, 정화필터부(13)의 내에 차압센서를 부가하여 필터를 중심으로 하는 냉각수의 압력차이가 설정된 압력 이상이면 필터의 교체 주기가 도래한 것으로 판단할 수 있다.Alternatively, by adding a differential pressure sensor to the inside of the purification filter unit 13 , if the pressure difference of the cooling water centered on the filter is equal to or greater than a set pressure, it may be determined that the filter replacement cycle has arrived.

이러한 필터의 교체주기는 표시부(17)에 표시되는 것으로 한다.The replacement cycle of such a filter shall be displayed on the display unit 17 .

정화필터부(13)를 통해 필터링된 냉각수는 음압펌프(14)를 통해 분배부(15)에 공급되는 것으로 한다.It is assumed that the cooling water filtered through the purification filter unit 13 is supplied to the distribution unit 15 through the negative pressure pump 14 .

분배부(15)는 다수의 회수관(32)이 각각 연결되는 다수의 포트(15a)를 포함하는 것으로 한다.The distribution unit 15 is assumed to include a plurality of ports 15a to which a plurality of recovery pipes 32 are respectively connected.

분배부(15)에 집수된 냉각수는 상기 회수관(32)을 통해 냉각수 순환부(30)로 회수된다.The cooling water collected in the distribution unit 15 is returned to the cooling water circulation unit 30 through the recovery pipe 32 .

상기 음압펌프(14)를 사용하는 다른 효과로서, 양정이 증가하더라도 충분한 순환 압력을 발생시킴으로써, 시스템의 유연성을 확보할 수 있다.As another effect of using the negative pressure pump 14, the flexibility of the system can be ensured by generating a sufficient circulation pressure even when the head is increased.

즉, 처리액 도포부(50)의 배치가 처리액 공급부(40)로부터 더 먼 위치에 배치되어도 충분한 순환 압력을 제공하여, 냉각수 순환을 원활하게 할 수 있다.That is, even when the treatment liquid applicator 50 is disposed at a position further away from the treatment liquid supply unit 40 , sufficient circulation pressure may be provided to facilitate the circulation of the cooling water.

상기 제어부(16)는 집수부(11)의 포트(11a)의 압력을 검출하는 차압센서부(12)들의 검출신호를 수신한다.The control unit 16 receives detection signals from the differential pressure sensor units 12 that detect the pressure of the port 11a of the water collecting unit 11 .

이때, 설정된 음압 이상의 양압이 검출되는 경우 특정한 이중관(20)에 손상이 발생한 것으로 판단할 수 있으며, 표시부(17)에 설정된 음압 이상의 양압을 검출한 차압센서부(12)가 센싱하는 채널을 표시할 수 있다.At this time, when a positive pressure greater than the set negative pressure is detected, it can be determined that damage has occurred in a specific double tube 20, and the channel sensed by the differential pressure sensor unit 12 that detects a positive pressure greater than or equal to the negative pressure set on the display unit 17 is displayed. can

따라서 작업자는 다수의 이중관(20) 중 어느 이중관에 손상이 발생했는지 쉽게 확인할 수 있으며, 유지 보수가 용이하게 된다.Therefore, the operator can easily check which of the plurality of double pipes 20 is damaged, and maintenance is easy.

또한, 음압펌프(14)에 의하여 누수가 방지된 상태에서, 냉각수가 흐르는 관의 손상여부를 확인할 수 있기 때문에 누수 발생 전에 유지 및 보수 처리가 가능하여, 공정 불량을 방지할 수 있다.In addition, in a state in which water leakage is prevented by the negative pressure pump 14, it is possible to check whether the pipe through which the cooling water flows is damaged, so that maintenance and repair treatment can be performed before leakage occurs, thereby preventing process defects.

본 발명은 음향 또는 시각적 알람을 발생시키는 알람발생부를 더 포함하여, 압력 이상시 알람을 발생시켜 작업자가 용이하게 냉각수가 순환되는 관에 손상이 발생함을 인지하도록 할 수 있다.The present invention further includes an alarm generating unit that generates an acoustic or visual alarm, so that an alarm is generated when the pressure is abnormal so that the operator can easily recognize that damage to the pipe through which the coolant is circulated occurs.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.Although the embodiments according to the present invention have been described above, these are merely exemplary, and those of ordinary skill in the art will understand that various modifications and equivalent ranges of embodiments are possible therefrom. Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the following claims.

10:냉각수 처리부 11:집수부
12:차압센서부 13:정화필터부
14:음압펌프 15:분배부
16:제어부 17:표시부
20:이중관 30:냉각수 순환부
40:처리액 공급부 50:처리액 도포부
60:음압관10: cooling water treatment unit 11: water collecting unit
12: differential pressure sensor unit 13: purification filter unit
14: negative pressure pump 15: distribution unit
16: control unit 17: display unit
20: double pipe 30: cooling water circulation part
40: treatment liquid supply unit 50: treatment liquid application unit
60: negative pressure tube

Claims (5)

다수의 처리액 도포부 각각에 이중관들의 내관을 통해 처리액을 공급하는 처리액 공급부;
공급관들을 통해 상기 이중관들 각각의 외관에 냉각수를 공급하는 냉각수 순환부;
상기 이중관들 각각의 외관의 상기 공급관이 연결된 부분의 반대편 일부에 연결된 음압관들; 및
상기 음압관들과 상기 이중관들 각각의 외관에 음압을 발생시켜 누수의 발생을 방지하며, 상기 음압관들을 통해 순환되는 냉각수를 회수관들을 통해 상기 냉각수 순환부로 순환시키되 냉각수 처리부를 포함하되,
상기 냉각수 처리부는,
상기 음압관들 각각을 통해 순환하는 냉각수를 집수하는 집수부;
음압을 발생시켜 상기 집수부에 집수된 냉각수를 후단으로 배출하는 음압펌프;
상기 음압펌프의 후단에서 상기 집수부의 냉각수를 집수하여, 상기 회수관들을 통해 상기 냉각수 순환부로 순환시키는 분배부;
상기 집수부와 상기 음압관들을 연결하는 다수의 포트 각각에 위치하여, 차압을 검출하는 차압센서들;
상기 차압센서들 각각의 검출결과를 수신하고, 기준압력과 상기 차압센서들 각각에서 검출된 압력을 비교하여, 검출된 압력이 기준압력 이상인 경우 이중관들 및 음압관에 손상이 있는 것으로 판단하는 제어부; 및
손상된 관을 표시하는 표시부를 포함하는 냉각수 처리 장치.a treatment liquid supply unit supplying the treatment liquid to each of the plurality of treatment liquid application units through inner tubes of the double tubes;
a cooling water circulation unit for supplying cooling water to the exterior of each of the double pipes through the supply pipes;
negative pressure tubes connected to a portion opposite to the portion to which the supply tube is connected of the outer appearance of each of the double tubes; and
A negative pressure is generated on the exterior of each of the negative pressure pipes and the double pipes to prevent leakage, and the cooling water circulated through the negative pressure pipes is circulated to the cooling water circulation unit through the recovery pipes, including a cooling water treatment unit,
The cooling water treatment unit,
a water collecting unit collecting cooling water circulating through each of the negative pressure pipes;
a negative pressure pump generating negative pressure and discharging the cooling water collected in the water collecting unit to a rear end;
a distribution unit collecting the cooling water of the water collecting unit at the rear end of the negative pressure pump and circulating it to the cooling water circulation unit through the recovery pipes;
differential pressure sensors positioned at each of a plurality of ports connecting the water collecting unit and the negative pressure pipes to detect a differential pressure;
a control unit receiving the detection result of each of the differential pressure sensors, comparing the reference pressure with the pressure detected by each of the differential pressure sensors, and determining that the double pipes and the negative pressure tube are damaged when the detected pressure is greater than or equal to the reference pressure; and
A cooling water treatment device comprising an indicator for indicating a damaged pipe. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 냉각수 처리부는,
상기 순환되는 냉각수를 필터링하는 정화필터부를 더 포함하는 냉각수 처리 장치.According to claim 1,
The cooling water treatment unit,
The cooling water treatment apparatus further comprising a purification filter for filtering the circulated cooling water. 제4항에 있어서,
상기 냉각수 처리부는,
상기 정화필터부를 지나는 냉각수의 압력을 검출하는 차압센서를 더 포함하고,
상기 제어부는,
상기 차압센서의 압력이 설정된 압력 이상이면 교체시기가 됨을 상기 표시부에 표시하는 것을 특징으로 하는 냉각수 처리 장치.5. The method of claim 4,
The cooling water treatment unit,
Further comprising a differential pressure sensor for detecting the pressure of the cooling water passing through the purification filter unit,
The control unit is
When the pressure of the differential pressure sensor is greater than or equal to a set pressure, the cooling water treatment apparatus according to claim 1, wherein the display unit indicates that it is time for replacement.
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