KR102416787B1 - Apparatus and Method for Inputting of Data for Plasma Simulating - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 장치 및 방법에 관한 것으로, 물성 데이터 입력을 위한 입력신호가 입력되는 입력부, 입력신호에 따라 복수의 반응 계수를 포함하는 입력데이터를 입력하기 위한 입력화면을 표시하는 표시부 및 입력화면에 입력된 입력데이터 중 적어도 하나의 입력데이터에 대한 입력에러를 확인하고, 입력에러가 수정되면 수정된 입력데이터를 이용하여 시뮬레이션의 수행을 제어하는 제어부를 포함하며 다른 실시 예로도 적용이 가능하다.The present invention relates to a data input device and method for plasma simulation, comprising: an input unit to which an input signal for inputting physical property data is input; and an input screen for inputting input data including a plurality of response coefficients according to the input signal and a control unit that checks an input error for at least one input data among the display unit and the input data input to the input screen, and controls execution of the simulation using the corrected input data when the input error is corrected. Applicable to other embodiments This is possible.

Description

플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터의 입력 장치 및 방법{Apparatus and Method for Inputting of Data for Plasma Simulating}Apparatus and Method for Inputting of Data for Plasma Simulating

본 발명은 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터의 입력 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for inputting data for plasma simulation.

플라즈마 장비 특성을 분석하기 위해 플라즈마 시뮬레이터를 이용하여 플라즈마 장비의 내부 상태를 계산하고 물리적 현상을 설명하는 것은 시간과 비용을 절감하는데 있어서 매우 중요한 작업이다. 이러한 플라즈마 시뮬레이터를 이용하여 플라즈마 장비 특성을 분석하기 위해서는 플라즈마 장비 내에서 발생하는 물리화학 반응 데이터가 반드시 필요하다. 이와 같은 반응 데이터는 플라즈마 방전 시에 생성되는 하나 혹은 복수의 종(species)에 대한 반응 계수를 포함하고, 플라즈마 장비에 주입되는 가스별로 관리되거나 가스가 통합된 상태에서 관리된다.Calculating the internal state of the plasma equipment and explaining the physical phenomena using the plasma simulator to analyze the characteristics of the plasma equipment is very important in reducing time and cost. In order to analyze the characteristics of the plasma equipment using the plasma simulator, data on the physicochemical reaction occurring in the plasma equipment is absolutely necessary. Such reaction data includes reaction coefficients for one or a plurality of species generated during plasma discharge, and is managed for each gas injected into the plasma equipment or managed in an integrated state.

반응 데이터를 확인하기 위해서 사용자는 플라즈마 장비를 제어하는 전자장치를 통해 플라즈마 장비로 반응식과 반응 계수를 포함하는 복수의 입력데이터를 입력하거나, 플라즈마 시뮬레이터에 입력데이터를 직접 입력한다. 이때, 사용자의 입력 오류로 인해 입력데이터가 오입력되는 경우가 발생한다. 이와 같이, 입력 오류가 발생되면 시뮬레이션이 제대로 수행되지 않고, 시뮬레이션이 제대로 수행되지 않은 원인을 확인하기 어려운 문제점이 발생한다.In order to check the reaction data, the user inputs a plurality of input data including a reaction equation and a reaction coefficient to the plasma equipment through an electronic device that controls the plasma equipment, or directly inputs the input data into the plasma simulator. In this case, input data may be erroneously input due to a user's input error. As such, when an input error occurs, the simulation is not performed properly, and it is difficult to determine the cause of the simulation not being performed properly.

이러한 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 실시 예들은 플라즈마 특성을 분석하기 위해 입력하는 반응 계수를 포함하는 입력데이터에 대한 입력 오류를 확인하여 사용자에게 입력 오류 내역을 제공할 수 있는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터의 입력 장치 및 방법을 제공하는 것이다. Embodiments of the present invention for solving these conventional problems are for plasma simulation that can provide input error details to the user by checking input errors for input data including a reaction coefficient input to analyze plasma characteristics. It is to provide a data input device and method.

본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터의 입력 장치는, 물성 데이터 입력을 위한 입력신호가 입력되는 입력부, 상기 입력신호에 따라 복수의 반응 계수를 포함하는 입력데이터를 입력하기 위한 입력화면을 표시하는 표시부 및 상기 입력화면에 입력된 상기 입력데이터 중 적어도 하나의 입력데이터에 대한 입력에러를 확인하고, 상기 입력에러가 수정되면 상기 수정된 입력데이터를 이용하여 상기 시뮬레이션의 수행을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The data input device for plasma simulation according to an embodiment of the present invention includes an input unit to which an input signal for inputting physical property data is input, and an input screen for inputting input data including a plurality of response coefficients according to the input signal. a control unit configured to check an input error for at least one of a display unit for displaying and the input data input to the input screen, and to control execution of the simulation using the corrected input data when the input error is corrected; characterized by including.

또한, 입력데이터는, 반응물과 생성물로 형성된 반응식, 상기 반응 계수를 산출하기 위한 복수의 변수, 충돌 단면적 값 및 이온종과 관련된 이온반응식 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the input data is characterized in that it includes at least one of a reaction equation formed of a reactant and a product, a plurality of variables for calculating the reaction coefficient, a collision cross-sectional area value, and an ionic reaction equation related to an ionic species.

또한, 제어부는, 상기 생성물에 생성항 또는 손실항만 존재하면, 상기 생성항 또는 손실항을 상기 입력에러로 확인하여 강조 표시하는 것을 특징으로 한다.In addition, when only the generation term or the loss term exists in the product, the control unit is characterized in that the product or loss term is identified as the input error and highlighted.

또한, 제어부는, 상기 복수의 변수 중 적어도 하나의 변수에 대한 단위 및 부호 중 적어도 하나에 대한 오입력여부를 기반으로 상기 반응 계수의 유효성을 실시간으로 확인하는 것을 특징으로 한다.In addition, the control unit is characterized in that the validity of the response coefficient is checked in real time based on whether or not an erroneous input is made to at least one of a unit and a sign for at least one of the plurality of variables.

또한, 제어부는, 상기 충돌 단면적 값에 대한 오입력여부를 기반으로 충돌 단면적의 유효성을 실시간으로 확인하는 것을 특징으로 한다. In addition, the control unit is characterized in that the validity of the collision cross-sectional area is checked in real time based on whether or not an erroneous input is made to the collision cross-sectional area value.

또한, 제어부는, 상기 반응물, 상기 생성물, 상기 반응 계수 또는 상기 충돌 단면적 값을 기반으로 상기 입력데이터의 중복여부를 확인하는 것을 특징으로 한다. In addition, the control unit is characterized in that it checks whether the input data is overlapped based on the reactant, the product, the reaction coefficient, or the collision cross-sectional area value.

또한, 제어부는, 상기 반응식을 기반으로 상기 시뮬레이션을 위해 주입할 가스 중 elastic 또는 momentum transfer 반응이 확인되지 않는 가스가 존재하면, 해당 가스를 표시하는 것을 특징으로 한다. In addition, the control unit is characterized in that if there is a gas for which an elastic or momentum transfer reaction is not confirmed among the gases to be injected for the simulation based on the reaction equation, the corresponding gas is displayed.

또한, 제어부는, 상기 이온반응식을 기반으로 상기 시뮬레이션을 위해 주입할 가스 중 벽 반응(wall reaction)이 존재하지 않는 이온종이 확인되면, 해당 이온종을 표시하는 것을 특징으로 한다.In addition, when an ionic species having no wall reaction is identified in the gas to be injected for the simulation based on the ion reaction equation, the controller displays the ionic species.

또한, 제어부는, 상기 반응물 및 상기 생성물 중에서 종(species) 정보가 확인되지 않는 반응물 또는 생성물이 존재하면 해당 메시지를 표시하는 것을 특징으로 한다. In addition, the control unit is characterized in that when there is a reactant or product for which species information is not confirmed among the reactant and the product, a corresponding message is displayed.

아울러, 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터의 입력 방법은, 전자장치가 수신된 물성 데이터 입력신호에 따라 복수의 반응 계수를 포함하는 입력데이터를 입력하기 위한 입력화면을 표시하는 단계, 상기 전자장치가 상기 입력화면에 입력된 상기 입력데이터 중 적어도 하나의 입력데이터에 대한 입력에러를 확인하여 표시하는 단계 및 상기 표시된 입력에러의 수정이 완료되면, 상기 수정된 입력데이터를 이용하여 상기 시뮬레이션 수행을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the method for inputting data for plasma simulation according to an embodiment of the present invention includes: displaying, by an electronic device, an input screen for inputting input data including a plurality of response coefficients according to a received physical property data input signal; Checking and displaying, by the electronic device, an input error for at least one of the input data input on the input screen, and when correction of the displayed input error is completed, the simulation is performed using the corrected input data It characterized in that it comprises the step of controlling the performance.

또한, 입력데이터는, 반응물과 생성물로 형성된 반응식, 상기 반응 계수를 산출하기 위한 복수의 변수, 충돌 단면적 값 및 이온종과 관련된 이온반응식 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the input data is characterized in that it includes at least one of a reaction equation formed of a reactant and a product, a plurality of variables for calculating the reaction coefficient, a collision cross-sectional area value, and an ionic reaction equation related to an ionic species.

또한, 입력에러를 확인하여 표시하는 단계는, 상기 생성물에 생성항 또는 손실항만 존재하면, 상기 생성항 또는 손실항을 강조하여 표시하는 단계인 것을 특징으로 한다.In addition, the step of checking and displaying the input error is characterized in that, if only a product term or a loss term exists in the product, the product or loss term is emphasized and displayed.

또한, 입력에러를 확인하여 표시하는 단계는, 상기 복수의 변수 중 적어도 하나의 변수에 대한 단위 및 부호 중 적어도 하나에 대한 오입력여부를 기반으로 상기 반응 계수의 유효성을 실시간으로 확인하는 단계인 것을 특징으로 한다. In addition, the step of confirming and displaying the input error is a step of checking the validity of the response coefficient in real time based on whether or not an erroneous input is made to at least one of a unit and a sign for at least one of the plurality of variables characterized.

또한, 입력에러를 확인하여 표시하는 단계는, 상기 충돌 단면적 값에 대한 오입력여부를 기반으로 충돌 단면적의 유효성을 실시간으로 확인하는 단계인 것을 특징으로 한다.In addition, the step of checking and displaying the input error is characterized in that it is a step of confirming the validity of the collision cross-sectional area in real time based on whether or not an erroneous input is made to the collision cross-sectional area value.

또한, 입력에러를 확인하여 표시하는 단계는, 상기 반응물, 상기 생성물, 상기 반응 계수 또는 상기 충돌 단면적 값을 기반으로 상기 입력데이터의 중복여부를 확인하는 단계인 것을 특징으로 한다.In addition, the step of checking and displaying the input error is characterized in that it is a step of checking whether the input data is duplicated based on the reactant, the product, the reaction coefficient, or the collision cross-sectional area value.

또한, 입력에러를 확인하여 표시하는 단계는, 상기 반응식을 기반으로 상기 시뮬레이션을 위해 주입할 가스 중 elastic 또는 momentum transfer 반응이 확인되지 않는 가스가 존재하면, 해당 가스를 표시하는 단계인 것을 특징으로 한다. In addition, the step of checking and displaying the input error is characterized in that, based on the above reaction formula, if there is a gas for which elastic or momentum transfer reaction is not confirmed among the gases to be injected for the simulation, the corresponding gas is displayed. .

또한, 입력에러를 확인하여 표시하는 단계는, 상기 이온반응식을 기반으로 상기 시뮬레이션을 위해 주입할 가스 중 벽 반응(wall reaction)이 존재하지 않는 이온종이 확인되면, 해당 이온종을 표시하는 단계인 것을 특징으로 한다.In addition, the step of checking and displaying the input error is a step of displaying the corresponding ion species when an ionic species that does not have a wall reaction among the gas to be injected for the simulation is identified based on the ion reaction equation characterized.

또한, 입력에러를 확인하여 표시하는 단계는, 상기 반응물 및 상기 생성물 중에서 종(species) 정보가 확인되지 않는 반응물 또는 생성물이 존재하면 해당 메시지를 표시하는 단계인 것을 특징으로 한다. In addition, the step of checking and displaying the input error is characterized in that the step of displaying a corresponding message if there is a reactant or product for which species information is not confirmed among the reactant and the product.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터의 입력 장치 및 방법은 플라즈마 특성을 분석하기 위해 입력하는 반응 계수를 포함하는 입력데이터에 대한 입력 오류를 확인하여 사용자에게 입력 오류 내역을 제공함으로써 플라즈마 시뮬레이션이 제대로 수행되지 않는 경우를 해소하고, 시뮬레이션이 수행되지 않은 원인을 시뮬레이션 수행 이전에 확인할 수 있는 효과가 있다. As described above, the apparatus and method for inputting data for plasma simulation according to the present invention check input errors for input data including a reaction coefficient input to analyze plasma characteristics and provide input error details to the user by providing plasma It has the effect of solving the case where the simulation is not performed properly and checking the cause of the simulation not being performed before performing the simulation.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 시뮬레이션을 위해 데이터 입력을 수행하는 전자장치의 주요 구성을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 시뮬레이션을 위해 데이터를 입력하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3 내지 도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 입력데이터의 에러를 표시하는 화면을 나타낸 화면예시도이다. 1 is a diagram showing the main configuration of an electronic device that performs data input for plasma simulation according to an embodiment of the present invention.
2 is a flowchart illustrating a method of inputting data for plasma simulation according to an embodiment of the present invention.
3 to 9 are exemplary screen views showing a screen for displaying an error of input data according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부된 도면과 함께 이하에 개시될 상세한 설명은 본 발명의 예시적인 실시형태를 설명하고자 하는 것이며, 본 발명이 실시될 수 있는 유일한 실시형태를 나타내고자 하는 것이 아니다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략할 수 있고, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용할 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. DETAILED DESCRIPTION The detailed description set forth below in conjunction with the appended drawings is intended to describe exemplary embodiments of the present invention and is not intended to represent the only embodiments in which the present invention may be practiced. In order to clearly explain the present invention in the drawings, parts not related to the description may be omitted, and the same reference numerals may be used for the same or similar components throughout the specification.

본 발명의 일 실시 예에서, “또는”, “적어도 하나” 등의 표현은 함께 나열된 단어들 중 하나를 나타내거나, 또는 둘 이상의 조합을 나타낼 수 있다. 예를 들어, “A 또는 B”, “A 및 B 중 적어도 하나”는 A 또는 B 중 하나만을 포함할 수 있고, A와 B를 모두 포함할 수도 있다.In an embodiment of the present invention, expressions such as “or” and “at least one” may indicate one of the words listed together, or a combination of two or more. For example, “A or B” and “at least one of A and B” may include only one of A or B, or both A and B.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 시뮬레이션을 위해 데이터 입력을 수행하는 전자장치의 주요 구성을 나타낸 도면이다. 이때, 전자장치(100)는 플라즈마 장비(미도시)와 연결되어 반응 계수를 포함하는 복수의 입력데이터를 플라즈마 장비로 전송하거나, 플라즈마 장비를 모사한 플라즈마 시뮬레이터일 수 있다. 아울러, 전자장치(100)가 플라즈마 시뮬레이터일 경우, 전자장치(100)는 플라즈마 장비 내부에서의 다양한 물리/화학적 변화에 대한 기초적 이론을 규명하는 이론적 모델인 다수의 이론모듈을 구비하며, 이론모듈의 이론적 모델을 수치해석하여 플라즈마 장비를 전산모사한다. 이때, 이론적 모델은 전자 및 이온들과 같이 전하를 띄는 성분들의 물리/화학적 현상을 규명하는 모델 플라즈마에서 형성되는 전자장에 관하여 규명하는 모델, 전하를 띄지 않는 화학종들의 반응 및 유동에 관하여 규명하는 모델, 플라즈마 내에서 미립자의 생성 및 성장에 관하여 규명하는 모델, 미립자의 유동에 관하여 규명하는 모델 및 웨이퍼 표면에서의 화학종과 이온에 의한 박막형성 및 식각현상에 관하여 규명하는 모델을 포함할 수 있다. 1 is a diagram showing the main configuration of an electronic device that performs data input for plasma simulation according to an embodiment of the present invention. In this case, the electronic device 100 may be connected to a plasma device (not shown) to transmit a plurality of input data including a reaction coefficient to the plasma device, or may be a plasma simulator simulating the plasma device. In addition, when the electronic device 100 is a plasma simulator, the electronic device 100 includes a plurality of theoretical modules, which are theoretical models for identifying basic theories for various physical/chemical changes inside the plasma equipment, and The theoretical model is numerically analyzed to simulate the plasma equipment. At this time, the theoretical model is a model that identifies the physical/chemical phenomena of charged components such as electrons and ions, a model that investigates the electromagnetic field formed in plasma, and a model that examines the reaction and flow of chemical species without charge , a model for identifying the generation and growth of particulates in plasma, a model for identifying the flow of particulates, and a model for identifying thin film formation and etching phenomena by chemical species and ions on the wafer surface may be included.

본 발명에서는 전자장치(100)가 플라즈마 장비로 입력데이터를 전송하는 것을 예로 설명하기로 한다. 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 전자장치(100)는 통신부(110), 입력부(120), 표시부(130), 메모리(140) 및 제어부(150)를 포함한다. In the present invention, an example in which the electronic device 100 transmits input data to a plasma device will be described. Referring to FIG. 1 , an electronic device 100 according to the present invention includes a communication unit 110 , an input unit 120 , a display unit 130 , a memory 140 , and a control unit 150 .

통신부(110)는 외부장치(미도시)와의 통신을 수행한다. 특히, 통신부(110)는 플라즈마 장비와 통신을 수행하여 플라즈마 장비에서 플라즈마 시뮬레이션을 수행하도록 플라즈마 장비로 입력데이터를 전송한다. 이를 위해, 통신부(110)는 5G(5th generation communication), LTE-A(long term evolution-advanced), LTE(long term evolution), Wi-Fi(wireless fidelity), 블루투스, BLE(bluetooth low energy), NFC(near field communication) 등의 무선 통신을 수행할 수 있고, 케이블 통신 등의 유선 통신을 수행할 수 있다.The communication unit 110 performs communication with an external device (not shown). In particular, the communication unit 110 transmits input data to the plasma equipment to perform a plasma simulation in the plasma equipment by performing communication with the plasma equipment. To this end, the communication unit 110 5G ( 5th generation communication), LTE-A (long term evolution-advanced), LTE (long term evolution), Wi-Fi (wireless fidelity), Bluetooth, BLE (bluetooth low energy) , wireless communication such as near field communication (NFC) may be performed, and wired communication such as cable communication may be performed.

입력부(120)는 전자장치(100)의 사용자 입력에 대응하여 입력데이터를 발생시킨다. 이를 위해, 입력부(120)는 적어도 하나의 입력수단을 포함한다. 입력부(120)는 키보드(key board), 키패드(key pad), 돔 스위치(dome switch), 터치패널(touch panel), 터치 키(touch key), 마우스(mouse), 메뉴 버튼(menu button) 등을 포함할 수 있다.The input unit 120 generates input data in response to a user input of the electronic device 100 . To this end, the input unit 120 includes at least one input means. The input unit 120 includes a keyboard, a keypad, a dome switch, a touch panel, a touch key, a mouse, a menu button, etc. may include

표시부(130)는 전자장치(100)의 동작에 따른 표시 데이터를 표시한다. 표시부(130)는 액정 디스플레이(LCD; liquid crystal display), 발광 다이오드(LED; light emitting diode) 디스플레이, 유기 발광 다이오드(OLED; organic LED) 디스플레이, 마이크로 전자기계 시스템(MEMS; micro electro mechanical systems) 디스플레이 및 전자 종이(electronic paper) 디스플레이를 포함한다. 표시부(130)는 입력부(120)와 결합되어 터치 스크린(touch screen)으로 구현될 수 있다.The display unit 130 displays display data according to the operation of the electronic device 100 . The display unit 130 may include a liquid crystal display (LCD), a light emitting diode (LED) display, an organic light emitting diode (OLED) display, and a micro electro mechanical systems (MEMS) display. and electronic paper displays. The display unit 130 may be combined with the input unit 120 to be implemented as a touch screen.

메모리(140)는 전자장치(100)의 동작 프로그램들을 저장한다. 특히, 메모리(140)는 플라즈마 장비에서의 플라즈마 시뮬레이션을 위해 사용자에 의해 입력된 입력데이터에 대한 입력에러를 확인할 수 있는 프로그램을 저장할 수 있다. The memory 140 stores operation programs of the electronic device 100 . In particular, the memory 140 may store a program capable of confirming an input error with respect to input data input by a user for plasma simulation in a plasma equipment.

제어부(150)는 입력부(120)의 입력에 따라 물성 데이터 입력을 위한 입력신호가 수신되면, 시뮬레이션에 필요한 반응 계수를 포함하는 입력데이터를 입력하기 위한 입력화면을 표시부(130)에 표시한다. 이때, 입력데이터는 반응물과 생성물로 형성된 반응식, 반응 계수를 산출하기 위한 복수의 변수, 충돌 단면적 값 및 이온종과 관련된 이온반응식 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. When an input signal for inputting physical property data is received according to the input of the input unit 120 , the control unit 150 displays an input screen for inputting input data including a reaction coefficient required for simulation on the display unit 130 . In this case, the input data may include at least one of a reaction equation formed of a reactant and a product, a plurality of variables for calculating a reaction coefficient, a collision cross-sectional area value, and an ionic reaction equation related to an ionic species.

제어부(150)는 입력화면에 반응 계수를 포함하는 입력데이터가 입력되면, 적어도 하나의 입력데이터에 대한 입력에러를 확인한다. 보다 구체적으로, 제어부(150)는 반응물과 생성물로 형성된 복수의 반응식에서 생성물에 생성항 또는 손실항만 존재하는 반응식을 입력에러로 확인할 수 있다. When input data including a reaction coefficient is input to the input screen, the controller 150 checks an input error for at least one input data. More specifically, the control unit 150 may check, as an input error, a reaction equation in which only a production term or a loss term exists in a product in a plurality of reaction equations formed of a reactant and a product.

제어부(150)는 반응 계수의 유효성과 충돌 단면적의 유효성을 실시간으로 확인하여 입력에러를 확인할 수 있다. 예컨대, 제어부(150)는 반응 계수를 산출하기 위해 입력된 변수에 의해 산출된 반응 계수가 not a number 이거나 infinite이면 제어부(150)는 반응 계수의 유효성이 확보되지 못한 것으로 확인하여 입력된 변수에 에러가 발생한 것으로 확인할 수 있다. 또한, 제어부(150)는 충돌 단면적 값이 입력데이터로 입력되는 경우, 충돌 단면적 값이 임계치 예컨대,

Figure 112020031351201-pat00001
을 초과하면 입력데이터에 대한 입력에러가 발생한 것으로 확인할 수 있다. The controller 150 may check the input error by checking the validity of the reaction coefficient and the validity of the collision cross-section in real time. For example, if the response coefficient calculated by the variable input to calculate the response coefficient is not a number or infinite, the control unit 150 confirms that the validity of the response coefficient is not secured and errors in the input variable. can be confirmed to have occurred. In addition, when the collision cross-sectional area value is input as input data, the control unit 150 sets the collision cross-sectional area value to a threshold value, for example,
Figure 112020031351201-pat00001
If it exceeds, it can be confirmed that an input error has occurred for the input data.

제어부(150)는 입력된 복수의 반응식 중에서 중복되는 반응식이 존재하거나, 반응 계수 또는 충돌 단면적 값이 중복되면 입력데이터가 중복된 것으로 확인하여 이를 입력에러로 확인할 수 있다. 제어부(150)는 입력된 반응식을 기준으로 플라즈마 장비에 주입할 가스 중 elastic 또는 momentum transfer 반응이 확인되지 않는 가스가 존재하면 이를 입력에러로 확인할 수 있다. When a duplicate reaction equation exists among a plurality of input equations or a value of a reaction coefficient or a collision cross-sectional area is duplicated, the controller 150 may check that the input data is duplicated and check this as an input error. Based on the input reaction equation, if there is a gas for which an elastic or momentum transfer reaction is not confirmed among gases to be injected into the plasma equipment, it may be confirmed as an input error.

제어부(150)는 적어도 하나의 이온반응식을 입력데이터로 입력받고, 입력된 이온반응식을 기반으로 플라즈마 장비에 주입할 가스 중 벽 반응(wall reaction)이 존재하지 않는 이온종이 존재하면 이를 입력에러로 확인한다. 마지막으로, 제어부(150)는 입력된 복수의 반응식에서 species 정보가 없는 반응물 또는 생성물을 입력에러로 확인한다. 이와 같이, 제어부(150)는 입력데이터에서 확인된 입력에러를 표시부(130)에 강조하여 표시하고, 입력에러가 확인된 입력데이터의 수정이 완료되면 수정된 입력데이터를 플라즈마 장비로 전송하여 전송하여 시뮬레이션을 수행한다. The control unit 150 receives at least one ion reaction equation as input data, and based on the input ion reaction equation, if there is an ion species that does not have a wall reaction in the gas to be injected into the plasma equipment, it is confirmed as an input error. do. Finally, the control unit 150 checks a reactant or product without species information in a plurality of input equations as an input error. As such, the control unit 150 highlights and displays the input error confirmed in the input data on the display unit 130, and when the correction of the input data for which the input error is confirmed is completed, the corrected input data is transmitted to the plasma equipment and transmitted. Perform the simulation.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 시뮬레이션을 위해 데이터를 입력하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 2 is a flowchart illustrating a method of inputting data for plasma simulation according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 201단계에서 제어부(150)는 입력부(120)를 통한 시뮬레이션 시작신호의 수신여부를 확인한다. 201단계의 확인결과, 시작신호가 수신되면 제어부(150)는 203단계를 수행하고, 시작신호가 수신되지 않으면 제어부(150)는 시작신호의 수신을 대기한다. 203단계에서 제어부(150)는 시뮬레이션을 위한 입력데이터를 입력할 수 있는 입력화면을 표시부(130)에 표시한다. 이어서, 205단계에서 제어부(150)는 입력부(120)를 통한 입력데이터의 입력여부를 확인하여 입력데이터가 입력되면 207단계를 수행하고, 입력데이터가 입력되지 않으면 입력데이터의 입력을 대기한다. Referring to FIG. 2 , in step 201 , the control unit 150 checks whether a simulation start signal is received through the input unit 120 . As a result of checking in step 201, when the start signal is received, the control unit 150 performs step 203. If the start signal is not received, the control unit 150 waits for the reception of the start signal. In step 203 , the control unit 150 displays an input screen for inputting input data for simulation on the display unit 130 . Subsequently, in step 205 , the controller 150 checks whether input data is input through the input unit 120 , and when input data is input, performs step 207 , and when input data is not input, the controller 150 waits for input of the input data.

207단계에서 제어부(150)는 입력된 입력데이터를 기반으로 입력에러를 확인하고, 209단계를 수행한다. 209단계에서 제어부(150)는 입력데이터에 입력에러가 존재하면 211단계를 수행하고, 입력에러가 존재하지 않으면 215단계를 수행한다. 211단계에서 제어부(150)는 209단계에서 확인된 입력에러를 표시부(130)에 표시한다. 이와 같이 입력데이터를 입력받아 입력에러를 확인하여 표시하는 동작은 하기의 도 3 내지 도 9를 이용하여 구체적으로 설명하기로 한다. 도 3 내지 도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 입력데이터의 에러를 표시하는 화면을 나타낸 화면예시도이다.In step 207 , the control unit 150 checks an input error based on the input data, and performs step 209 . In step 209, the controller 150 performs step 211 if there is an input error in the input data, and performs step 215 if there is no input error. In step 211 , the control unit 150 displays the input error confirmed in step 209 on the display unit 130 . The operation of receiving input data as described above and checking and displaying an input error will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 9 below. 3 to 9 are exemplary screen views showing a screen for displaying an error of input data according to an embodiment of the present invention.

보다 구체적으로, 제어부(150)는 도 3의 (a)에서와 같이 입력화면(310)의 Bulk Reaction 탭(311)을 활성화하여 Equation 영역(312)에 복수의 반응식을 입력데이터로 입력받는다. 이후에, 에러확인을 위한 버튼(313)이 선택되면, 제어부(150)는 복수의 반응식에 대한 입력에러를 확인한다. 입력에러가 확인되면 제어부(150)는 도 3의 (b)와 같이 확인된 입력에러가 표시된 결과화면(320)을 표시부(130)에 표시한다. 예컨대, 제어부(150)는

Figure 112020031351201-pat00002
, Ar+E->Ar++2E, Ar+E->Ar+E와 같이 반응물과 생성물로 형성된 반응식을 입력데이터로 입력받는다. 제어부(150)는 복수의 반응식의 입력이 완료되면 입력된 복수의 반응식에 대한 입력에러를 확인한다. 이때, 생성물에는 생성항과 손실항이 모두 존재하여야만 안정적인 수렴이 가능하므로 제어부(150)는 생성물에 생성항 또는 손실항만 존재하면 이를 입력에러로 확인할 수 있다. 제어부(150)는
Figure 112020031351201-pat00003
에 대한 반응식의 생성물에 생성항만이 존재하는 것으로 확인되면 도 3의 (b)의 결과화면(320)에서와 같이 생성항인
Figure 112020031351201-pat00004
이 포함된 반응식을 표시하되,
Figure 112020031351201-pat00005
의 색상을 다르게 강조하여 표시(321)할 수 있다. More specifically, the controller 150 activates the Bulk Reaction tab 311 of the input screen 310 as shown in FIG. 3A to receive a plurality of reaction equations as input data in the Equation area 312 . Thereafter, when the button 313 for error checking is selected, the controller 150 checks input errors for a plurality of reaction equations. When the input error is confirmed, the control unit 150 displays the result screen 320 in which the confirmed input error is displayed on the display unit 130 as shown in FIG. 3B . For example, the control unit 150
Figure 112020031351201-pat00002
, Ar+E->Ar++2E, Ar+E->Ar+E, the reaction formula formed of reactants and products is input as input data. When the input of the plurality of reaction equations is completed, the control unit 150 checks input errors for the plurality of input reaction equations. At this time, since stable convergence is possible only when both the generation term and the loss term exist in the product, the controller 150 can check this as an input error if only the product term or the loss term exists in the product. The control unit 150
Figure 112020031351201-pat00003
When it is confirmed that only the product term exists in the product of the reaction formula for
Figure 112020031351201-pat00004
Display the reaction equation containing this, but
Figure 112020031351201-pat00005
It is possible to display 321 by emphasizing the color of .

제어부(150)는 도 4의 (a)에서와 같이 반응 계수의 유효성을 실시간으로 확인하기 위한 입력화면(410)에서 입력데이터를 입력받는다. 이때, 제어부(150)는 반응 계수를 산출하기 위한 A, B, C에 대한 변수를 입력받고, 입력된 A, B, C를 하기의 수학식 1에 대입하여 반응 계수를 산출한다. The control unit 150 receives input data from the input screen 410 for checking the validity of the reaction coefficient in real time as shown in FIG. 4A . At this time, the controller 150 receives the variables for A, B, and C for calculating the reaction coefficient, and calculates the reaction coefficient by substituting the input A, B, and C into Equation 1 below.

Figure 112020031351201-pat00006
Figure 112020031351201-pat00006

(단,

Figure 112020031351201-pat00007
는 전자 온도,
Figure 112020031351201-pat00008
는 Boltzmann 상수, A, B, C는 변수일 수 있다)(only,
Figure 112020031351201-pat00007
is the electron temperature,
Figure 112020031351201-pat00008
is a Boltzmann constant, A, B, C can be variables)

반응 계수 산출결과, 반응 계수가 not a number 이거나 infinite일 경우 제어부(150)는 입력데이터에서의 에러를 확인하고, 도 4의 (b)에서와 같이 A, B, C와 관련된 반응식의 색상을 빨간색으로 변경하여 표시할 수 있다. 또한, 제어부(150)는 에러가 확인된 A, B, C와 관련된 반응식 이후에 입력하고자 하는 반응식이 표시될 영역(420)을 비활성화하여 새로운 반응식의 입력을 방지할 수 있다. 아울러, 제어부(150)는 bulk 반응 계수가 1보다 큰 경우 해당 반응식의 색상을 빨간색과 상이한 색으로 변경하여 입력데이터에 대한 입력에러를 확인하여 표시할 수 있다. As a result of calculating the reaction coefficient, if the reaction coefficient is not a number or infinite, the control unit 150 checks the error in the input data, and changes the color of the reaction equations related to A, B, and C to red as shown in FIG. 4(b). can be displayed by changing to . Also, the controller 150 may prevent the input of a new reaction formula by inactivating the area 420 in which a reaction formula to be input is displayed after the reaction formulas A, B, and C for which errors are confirmed. In addition, when the bulk reaction coefficient is greater than 1, the control unit 150 may change the color of the corresponding reaction equation to a color different from red to check and display an input error for the input data.

제어부(150)는 도 5에서와 같이 충돌 단면적의 유효성을 실시간으로 확인하여 입력데이터의 에러를 확인할 수 있다. 전자의 분포함수가 시뮬레이션 결과에 중요한 영향을 미치는 경우, 반응 계수가 아닌 충돌 단면적 값이 입력데이터로 입력되는 경우가 발생한다. 이 경우에 제어부(150)는 입력되는 충돌 단면적 값이

Figure 112020031351201-pat00009
을 초과하면 입력데이터에 대한 입력에러가 발생한 것으로 확인하고, 도 5와 같이 해당 영역(510)의 색상을 빨간색으로 변경하여 입력데이터에 대한 입력에러를 표시할 수 있다. 이때, 충돌 단면적은 10-16 cm2으로 정규화된 값이 입력된 경우에 한계치(106)를 설정할 수 있으며, 한계치는 조절 가능하다.As shown in FIG. 5 , the controller 150 may check the validity of the collision cross-sectional area in real time to check the error of the input data. When the former distribution function has a significant influence on the simulation result, there are cases where the value of the collision cross-section, not the reaction coefficient, is input as input data. In this case, the controller 150 determines that the input collision cross-sectional area value is
Figure 112020031351201-pat00009
If , it is confirmed that an input error has occurred for the input data, and the color of the corresponding area 510 is changed to red as shown in FIG. 5 to display the input error for the input data. In this case, when a value normalized to 10 -16 cm 2 is input for the collision cross-sectional area, a threshold value (10 6 ) may be set, and the threshold value is adjustable.

제어부(150)는 도 6의 (a)에서와 같이 입력화면(610)의 Bulk Reaction 탭(611)을 활성화하여 Equation 영역(612)에 복수의 반응식을 입력데이터로 입력받는다. 이때, 입력화면(610)은 도 3의 입력화면(310)과 동일한 화면일 수 있다. 이후에, 에러확인을 위한 버튼(613)이 선택되면, 제어부(150)는 복수의 반응식 중 중복되는 반응식을 입력에러로 확인한다. 입력에러가 확인되면 제어부(150)는 도 6의 (b)에서와 같이 확인된 입력에러가 표시된 결과화면(620)을 표시부(130)에 표시한다. 예컨대, 제어부(150)는

Figure 112020031351201-pat00010
, Ar+E->Ar++2E, Ar+E->Ar+E,
Figure 112020031351201-pat00011
, Ar+E->Ar++2E와 같이 5개의 반응식이 입력된 이후에 에러확인을 위한 버튼(613)이 선택되면 Ar+E->Ar++2E가 중복된 반응식으로 확인될 수 있다. 제어부(150)는 도 6의 (b)의 결과화면(620)에서와 같이 Ar+E->Ar++2E가 중복된 반응식이며, 해당 반응식이 Equation 영역(612)의 2번째와 5번째에 기재되어 있음을 강조하여 표시(621)할 수 있다. 도 6에서는 중복되는 반응식을 입력에러로 확인하는 것을 예로 설명하고 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 반응식, 반응 계수 또는 충돌 단면적 값이 중복되면 입력데이터가 중복된 것으로 확인하여 이를 입력에러인 것으로 확인할 수 있다. The controller 150 activates the Bulk Reaction tab 611 of the input screen 610 as shown in FIG. 6A , and receives a plurality of reaction equations as input data in the Equation area 612 . In this case, the input screen 610 may be the same screen as the input screen 310 of FIG. 3 . Thereafter, when the button 613 for error checking is selected, the control unit 150 checks the overlapping reaction formula among the plurality of reaction formulas as an input error. When the input error is confirmed, the control unit 150 displays the result screen 620 in which the confirmed input error is displayed on the display unit 130 as shown in FIG. 6B . For example, the control unit 150
Figure 112020031351201-pat00010
, Ar+E->Ar++2E, Ar+E->Ar+E,
Figure 112020031351201-pat00011
, Ar+E->Ar++2E, if the button 613 for error confirmation is selected after five reaction formulas are input, Ar+E->Ar++2E can be confirmed as a duplicate reaction formula. The control unit 150 is a reaction equation in which Ar+E->Ar++2E is overlapped as in the result screen 620 of FIG. It can be highlighted and displayed (621). In FIG. 6 , it is described as an example of checking the overlapping reaction formula as an input error, but it is not necessarily limited thereto. can

제어부(150)는 도 7의 (a)에서와 같이 입력화면(710)의 Bulk Reaction 탭(711)을 활성화하여 Equation 영역(712)에 복수의 반응식을 입력데이터로 입력받는다. 이때, 입력화면(710)은 도 3의 입력화면(310)과 동일한 화면일 수 있다. 이후에, 에러확인을 위한 버튼(713)이 선택되면, 제어부(150)는 반응식을 기준으로 플라즈마 장비에 주입할 가스 중 elastic 또는 momentum transfer 반응이 확인되지 않는 가스의 존재여부를 입력에러로 확인한다. 입력에러가 확인되면 즉, elastic 또는 momentum transfer 반응이 확인되지 않는 가스가 존재하면 제어부(150)는 도 7의 (b)의 결과화면(720)에서와 같이 해당 가스 예컨대, Ar을 강조하여 표시부(130)에 표시(721)한다. The controller 150 activates the Bulk Reaction tab 711 of the input screen 710 as shown in FIG. 7A , and receives a plurality of reaction equations as input data in the Equation area 712 . In this case, the input screen 710 may be the same screen as the input screen 310 of FIG. 3 . Thereafter, when the button 713 for error checking is selected, the control unit 150 checks as an input error whether there is a gas for which elastic or momentum transfer reaction is not confirmed among the gases to be injected into the plasma equipment based on the reaction equation. . When an input error is confirmed, that is, if there is a gas for which an elastic or momentum transfer reaction is not confirmed, the control unit 150 emphasizes the corresponding gas, for example, Ar as in the result screen 720 of FIG. 130) is indicated (721).

제어부(150)는 도 8의 (a)와 같이 입력화면(810)의 Wall Reaction 탭(811)을 활성화하여 Equation 영역(812)에 적어도 하나의 이온반응식을 입력데이터로 입력받는다. 이때, 입력화면(810)은 도 3의 입력화면(310)과 동일한 화면일 수 있다. 이후에, 에러확인을 위한 버튼(813)이 선택되면, 제어부(150)는 이온반응식을 기반으로 플라즈마 장비에 주입할 가스 중 벽 반응(wall reaction)이 존재하지 않는 이온종을 입력에러로써 확인한다. 입력에러가 확인되면 즉, 이온반응식에서 벽 반응이 존재하지 않는 이온종이 존재하면 제어부(150)는 도 8의 (b)와 같은 결과화면(820)을 표시부(130)에 표시하되, 해당 이온종 예컨대, Ar+를 강조하여 표시(821)한다. 즉, 제어부(150)는 Ar++wall와 관련된 이온반응식으로 입력하도록 Ar+를 강조하여 표시할 수 있다. The control unit 150 activates the Wall Reaction tab 811 of the input screen 810 as shown in FIG. In this case, the input screen 810 may be the same screen as the input screen 310 of FIG. 3 . Thereafter, when the button 813 for error confirmation is selected, the control unit 150 identifies, as an input error, an ion species in which a wall reaction does not exist among gases to be injected into the plasma equipment based on the ion reaction equation. . When an input error is confirmed, that is, if there is an ionic species that does not have a wall reaction in the ion reaction equation, the control unit 150 displays the result screen 820 as shown in FIG. For example, Ar+ is emphasized and displayed (821). That is, the control unit 150 may highlight Ar + to be input as an ion reaction equation related to Ar + + wall.

제어부(150)는 도 9의 (a)와 같이 입력화면(910)의 Bulk Reaction 탭(911)을 활성화하여 Equation 영역(912)에 복수의 반응식을 입력데이터로 입력받는다. 이때, 입력화면(910)은 도 3의 입력화면(310)과 동일한 화면일 수 있다. 이후에, 에러확인을 위한 버튼(913)이 선택되면, 반응식을 기준으로 species 정보가 없는 반응물 또는 생성물을 입력에러로 확인한다. 입력에러가 확인되면 예컨대, Equation 영역에 입력된 다섯 개의 반응 식 중에서 Ar+M->Ar++E의 반응식에서 반응물인 M에 대한 종 정보가 확인되지 않으면 제어부(150)는 도 9의 (b)와 같은 결과화면(920)을 표시부(130)에 표시하되, M을 포함하는 반응식을 표시하고, M의 색상을 빨간색으로 변경하여 표시(921)할 수 있다. The controller 150 activates the Bulk Reaction tab 911 of the input screen 910 as shown in FIG. In this case, the input screen 910 may be the same screen as the input screen 310 of FIG. 3 . Thereafter, when the button 913 for error confirmation is selected, a reactant or product without species information is confirmed as an input error based on the reaction equation. When an input error is confirmed, for example, if species information on M, which is a reactant, is not confirmed in the reaction equation of Ar+M->Ar++E among the five reaction equations input in the Equation area, the control unit 150 is ) may be displayed on the display unit 130, but a reaction formula including M may be displayed, and the color of M may be changed to red and displayed 921 .

이와 같이 입력에러가 표시부(130)에 표시된 이후에 제어부(150)는 213단계를 수행한다. 213단계에서 표시부(130)에 표시된 입력에러의 수정이 완료됨이 확인되면 제어부(150)는 215단계를 수행하고, 수정완료가 확인되지 않으면 입력에러와 관련된 입력데이터의 수정완료를 대기한다. 이를 통해, 사용자는 시뮬레이션 이전에 입력데이터에 존재하는 에러를 수정함으로써 시뮬레이션이 제대로 수행되지 않는 경우를 해소할 수 있다.After the input error is displayed on the display unit 130 as described above, the control unit 150 performs step 213 . When it is confirmed in step 213 that the correction of the input error displayed on the display unit 130 is complete, the controller 150 performs step 215. If the correction is not confirmed, the controller 150 waits for the completion of correction of the input data related to the input error. Through this, the user can solve the case where the simulation is not performed properly by correcting errors existing in the input data before the simulation.

215단계에서 제어부(150)는 시뮬레이션을 위해 필요한 입력데이터의 입력이 완료됨이 확인되면 217단계를 수행하고, 입력데이터의 입력완료가 확인되지 않으면 205단계로 회귀한다. 제어부(150)는 205단계 내지 213단계를 재수행할 수 있다. 217단계에서 제어부(150)는 입력이 완료된 입력데이터를 플라즈마 장비로 전송하여 시뮬레이션을 수행한다. In step 215, when it is confirmed that the input of the input data required for the simulation is completed, the controller 150 performs step 217. If it is not confirmed that the input of the input data is completed, the controller 150 returns to step 205. The controller 150 may re-perform steps 205 to 213 . In step 217, the control unit 150 transmits the input data on which the input has been completed to the plasma equipment to perform simulation.

본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 따라서 본 발명의 범위는 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상을 바탕으로 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The embodiments of the present invention disclosed in the present specification and drawings are merely provided for specific examples to easily explain the technical content of the present invention and help the understanding of the present invention, and are not intended to limit the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should be construed as including all changes or modifications derived based on the technical spirit of the present invention in addition to the embodiments disclosed herein are included in the scope of the present invention.

Claims (18)

물성 데이터 입력을 위한 입력신호가 입력되는 입력부;
상기 입력신호에 따라 플라즈마 시뮬레이션에 필요한 반응식 및 복수의 반응 계수를 포함하는 입력데이터를 입력하기 위한 입력화면을 표시하는 표시부; 및
상기 입력화면에 입력된 상기 입력데이터 중 적어도 하나의 입력데이터에 대한 입력에러를 확인하고, 상기 입력에러에 관한 정보를 상기 표시부에 강조하여 표시하고, 상기 입력부를 통해 수정된 입력데이터에 대한 입력신호를 수신한 것에 기초하여 상기 수정된 입력데이터를 이용하여 상기 시뮬레이션의 수행을 제어하는 제어부;
를 포함하고,
상기 제어부는,
상기 반응식을 기반으로 상기 시뮬레이션을 위해 주입할 가스 중 elastic 또는 momentum transfer 반응이 확인되지 않는 가스가 존재하면, 해당 가스를 상기 입력데이터에 대해 발생가능한 복수의 입력에러 중 하나로 확인하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 장치. an input unit to which an input signal for inputting physical property data is input;
a display unit for displaying an input screen for inputting input data including a reaction equation and a plurality of reaction coefficients required for plasma simulation according to the input signal; and
Checking an input error for at least one input data among the input data input to the input screen, highlighting and displaying information on the input error on the display unit, and an input signal for the input data corrected through the input unit a control unit for controlling execution of the simulation using the corrected input data based on receiving
including,
The control unit is
Plasma, characterized in that if there is a gas for which an elastic or momentum transfer reaction is not confirmed among the gases to be injected for the simulation based on the reaction equation, the corresponding gas is identified as one of a plurality of input errors that may occur with respect to the input data Data input device for simulation. 제1항에 있어서,
상기 입력데이터는,
반응물과 생성물로 형성된 상기 반응식, 상기 반응 계수를 산출하기 위한 복수의 변수, 충돌 단면적 값 및 이온종과 관련된 이온반응식 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 장치.The method of claim 1,
The input data is
and at least one of the reaction equation formed of reactants and products, a plurality of variables for calculating the reaction coefficient, a collision cross-sectional area value, and an ion reaction equation related to an ion species. 제2항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 생성물에 생성항 또는 손실항만 존재하면, 상기 생성항 또는 손실항을 상기 입력에러로 확인하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 장치. 3. The method of claim 2,
The control unit is
When only the generation term or the loss term exists in the product, the data input device for plasma simulation, characterized in that the generation term or the loss term is confirmed as the input error. 제2항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 복수의 변수 중 적어도 하나의 변수에 대한 단위 및 부호 중 적어도 하나에 대한 오입력여부를 기반으로 상기 반응 계수의 유효성을 실시간으로 확인하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 장치. 3. The method of claim 2,
The control unit is
The data input apparatus for plasma simulation, characterized in that the validity of the reaction coefficient is checked in real time based on whether at least one of a unit and a sign for at least one of the plurality of variables is incorrectly input. 제2항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 충돌 단면적 값에 대한 오입력여부를 기반으로 충돌 단면적의 유효성을 실시간으로 확인하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 장치. 3. The method of claim 2,
The control unit is
The data input device for plasma simulation, characterized in that the validity of the collision cross-section is checked in real time based on whether the collision cross-sectional area value is incorrectly input. 제2항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 반응물, 상기 생성물, 상기 반응 계수 또는 상기 충돌 단면적 값을 기반으로 상기 입력데이터의 중복여부를 확인하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 장치. 3. The method of claim 2,
The control unit is
The data input apparatus for plasma simulation, characterized in that it is checked whether the input data is overlapped based on the reactant, the product, the reaction coefficient, or the collision cross-sectional area value. 삭제delete 제2항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 이온반응식을 기반으로 상기 시뮬레이션을 위해 주입할 가스 중 벽 반응(wall reaction)이 존재하지 않는 이온종이 확인되면, 해당 이온종을 상기 입력에러로 확인하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 장치. 3. The method of claim 2,
The control unit is
Data input device for plasma simulation, characterized in that when an ion species having no wall reaction is identified in the gas to be injected for the simulation based on the ion reaction equation, the ion species is identified as the input error . 제2항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 반응물 및 상기 생성물 중에서 종(species) 정보가 확인되지 않는 반응물 또는 생성물이 존재하면 해당 메시지를 표시하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 장치. 3. The method of claim 2,
The control unit is
A data input device for plasma simulation, characterized in that if there is a reactant or product for which species information is not confirmed among the reactant and the product, a corresponding message is displayed. 전자장치가 수신된 물성 데이터 입력신호에 따라 플라즈마 시뮬레이션에 필요한 반응식 및 복수의 반응 계수를 포함하는 입력데이터를 입력하기 위한 입력화면을 표시하는 단계;
상기 전자장치가 상기 입력화면에 입력된 상기 입력데이터 중 적어도 하나의 입력데이터에 대한 입력에러를 확인하여 상기 입력에러에 관한 정보를 강조하여 표시하는 단계; 및
수정된 입력데이터에 대한 입력신호를 수신한 것에 기초하여 상기 표시된 입력에러의 수정이 완료되면, 상기 수정된 입력데이터를 이용하여 상기 시뮬레이션 수행을 제어하는 단계;
를 포함하고,
상기 입력에러를 확인하여 강조하여 표시하는 단계는,
상기 반응식을 기반으로 상기 시뮬레이션을 위해 주입할 가스 중 elastic 또는 momentum transfer 반응이 확인되지 않는 가스가 존재하면, 해당 가스를 상기 입력데이터에 대해 발생가능한 복수의 입력에러 중 하나로 확인하여 강조하여 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 방법. displaying, by the electronic device, an input screen for inputting input data including a reaction equation and a plurality of reaction coefficients required for plasma simulation according to the received physical property data input signal;
checking, by the electronic device, an input error for at least one of the input data input on the input screen, and highlighting and displaying information on the input error; and
when the correction of the displayed input error is completed based on receiving the input signal for the corrected input data, controlling execution of the simulation by using the corrected input data;
including,
The step of highlighting and displaying the input error by checking,
If there is a gas for which an elastic or momentum transfer reaction is not confirmed among the gases to be injected for the simulation based on the reaction equation, identifying the gas as one of a plurality of input errors that can occur with respect to the input data and highlighting and displaying the gas Data input method for plasma simulation comprising a. 제10항에 있어서,
상기 입력데이터는,
반응물과 생성물로 형성된 상기 반응식, 상기 반응 계수를 산출하기 위한 복수의 변수, 충돌 단면적 값 및 이온종과 관련된 이온반응식 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 방법. 11. The method of claim 10,
The input data is
The data input method for plasma simulation, characterized in that it includes at least one of the reaction equation formed of a reactant and a product, a plurality of variables for calculating the reaction coefficient, a collision cross-sectional area value, and an ion reaction equation related to an ion species. 제11항에 있어서,
상기 입력에러를 확인하여 강조하여 표시하는 단계는,
상기 생성물에 생성항 또는 손실항만 존재하면, 상기 생성항 또는 손실항을 상기 입력에러로 확인하여 강조하여 표시하는 단계인 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 방법. 12. The method of claim 11,
The step of highlighting and displaying the input error by checking,
When only a generation term or a loss term exists in the product, the data input method for plasma simulation, characterized in that the step of highlighting and displaying the generation term or loss term as the input error. 제11항에 있어서,
상기 입력에러를 확인하여 강조하여 표시하는 단계는,
상기 복수의 변수 중 적어도 하나의 변수에 대한 단위 및 부호 중 적어도 하나에 대한 오입력여부를 기반으로 상기 반응 계수의 유효성을 실시간으로 확인하는 단계를 포함하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 방법. 12. The method of claim 11,
The step of highlighting and displaying the input error by checking,
and checking the validity of the response coefficient in real time based on whether at least one of a unit and a sign for at least one of the plurality of variables is incorrectly inputted. 제11항에 있어서,
상기 입력에러를 확인하여 강조하여 표시하는 단계는,
상기 충돌 단면적 값에 대한 오입력여부를 기반으로 충돌 단면적의 유효성을 실시간으로 확인하는 단계를 포함하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 방법. 12. The method of claim 11,
The step of highlighting and displaying the input error by checking,
and checking the validity of the collision cross-section in real time based on whether the collision cross-sectional area value is incorrectly inputted. 제11항에 있어서,
상기 입력에러를 확인하여 강조하여 표시하는 단계는,
상기 반응물, 상기 생성물, 상기 반응 계수 또는 상기 충돌 단면적 값을 기반으로 상기 입력데이터의 중복여부를 확인하는 단계를 포함하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 방법. 12. The method of claim 11,
The step of highlighting and displaying the input error by checking,
and checking whether the input data overlaps based on the reactant, the product, the reaction coefficient, or the collision cross-sectional area value. 삭제delete 제11항에 있어서,
상기 입력에러를 확인하여 강조하여 표시하는 단계는,
상기 이온반응식을 기반으로 상기 시뮬레이션을 위해 주입할 가스 중 벽 반응(wall reaction)이 존재하지 않는 이온종이 확인되면, 해당 이온종을 상기 입력에러로 확인하여 강조하여 표시하는 단계인 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 방법. 12. The method of claim 11,
The step of highlighting and displaying the input error by checking,
Plasma, characterized in that, when an ion species having no wall reaction is identified in the gas to be injected for the simulation based on the ion reaction equation, the ion species is identified as the input error and highlighted and displayed. Data entry method for simulation. 제11항에 있어서,
상기 입력에러를 확인하여 강조하여 표시하는 단계는,
상기 반응물 및 상기 생성물 중에서 종(species) 정보가 확인되지 않는 반응물 또는 생성물이 존재하면 해당 메시지를 표시하는 단계인 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션을 위한 데이터 입력 방법.12. The method of claim 11,
The step of highlighting and displaying the input error by checking,
The data input method for plasma simulation, characterized in that the step of displaying a corresponding message if there is a reactant or product whose species information is not confirmed among the reactant and the product.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004266098A (en) 2003-02-28 2004-09-24 Toshiba Corp Simulation method, simulation program, simulation device, and surface reaction device
KR100735949B1 (en) * 2002-11-14 2007-07-06 알스톰 페로비아리아 에스.피.에이. Device and method for checking railway logical software engines for commanding plants, particularly station plants
JP2008052530A (en) 2006-08-25 2008-03-06 Hamamatsu Metrix Kk Plasma particle simulation calculation method
JP2015026384A (en) 2014-09-16 2015-02-05 キヤノンマーケティングジャパン株式会社 Input control system, client terminal, input control method and program
KR101715671B1 (en) 2016-10-24 2017-03-13 포스컨트롤 주식회사 Simulation system for simulating manufacturing automation practice apparatus control

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0831747A (en) * 1994-07-13 1996-02-02 Hitachi Ltd Method and equipment for supporting plasma process operation and plasma process equipment
KR100575894B1 (en) * 2003-08-18 2006-05-02 학교법인 호서학원 System and method for diagnosing plasma processing chamber
JP2006163665A (en) * 2004-12-06 2006-06-22 Toshiba Corp Numerical control information verification system for numerically controlled working machine and method
US20170271984A1 (en) * 2016-03-04 2017-09-21 Atigeo Corp. Using battery dc characteristics to control power output
US10197908B2 (en) * 2016-06-21 2019-02-05 Lam Research Corporation Photoresist design layout pattern proximity correction through fast edge placement error prediction via a physics-based etch profile modeling framework

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100735949B1 (en) * 2002-11-14 2007-07-06 알스톰 페로비아리아 에스.피.에이. Device and method for checking railway logical software engines for commanding plants, particularly station plants
JP2004266098A (en) 2003-02-28 2004-09-24 Toshiba Corp Simulation method, simulation program, simulation device, and surface reaction device
JP2008052530A (en) 2006-08-25 2008-03-06 Hamamatsu Metrix Kk Plasma particle simulation calculation method
JP2015026384A (en) 2014-09-16 2015-02-05 キヤノンマーケティングジャパン株式会社 Input control system, client terminal, input control method and program
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