KR102408600B1 - 개선된 고밀도 스토커 - Google Patents
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Abstract
기판 스토커 시스템은, 하나 또는 둘 이상의 기판의 하나 또는 둘 이상의 제 1 컨테이너 또는 스택을 포함하는 스토리지 챔버로서, 각각의 기판이 각각의 캐리어 상에 지지되고, 상기 하나 또는 둘 이상의 제 1 컨테이너 또는 스택이 제 1 피치를 가지는 클로징된 위치에 있는, 스토리지 챔버, 상기 제 1 컨테이너 대비 큰 분리간격으로 기판을 저장하는 하나 또는 둘 이상의 제 2 컨테이너로서 각각의 제 2 컨테이너가 하나 또는 둘 이상의 기판을 저장하도록 구성되는 제 2 컨테이너, 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션으로서, 각각의 오프너 스테이션은 하나 이상의 스토리지 챔버로부터 하나 또는 둘 이상의 스택 또는 컨테이너를 그리고 제 2 컨테이너로부터 하나 또는 둘 이상의 기판을 수신하고 보내도록 구성되며, 각각의 오프너 스테이션이 제 1 컨테이너 또는 스택의 상응하는 하나 또는 둘 이상의 인접 기판 사이의 하나 또는 둘 이상의 거리를 변화시키기 위한 하나 또는 둘 이상의 분리기 모듈을 포함하는, 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션, 복수의 로봇들로서, 상기 복수의 로봇들이: 상기 스토리지 챔버와 상기 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션 사이에서 하나 또는 둘 이상의 컨테이너 또는 스택을 이동시키도록 구성되며, 그리고 상기 제 1 피치보다 큰 제 2 피치를 가지는 개방 위치에 있는 상기 하나 또는 둘 이상의 제 1 컨테이너 또는 스택과 상기 하나 또는 둘 이상의 제 2 컨테이너 사이에서 하나 또는 둘 이상의 기판을 이동시키도록 구성되는, 복수의 로봇들을 포함한다.
Description
본 출원은 적어도 "고밀도 스토커"란 명칭으로 관리번호 TEC004-PRO로서 2016년 10월 24일자로 제출된 미국 가특허출원 제62/412,249호, 및 "기판 스토리지 및 프로세싱"이란 명칭으로 관리번호 TEC001-PRO로서 2016년 6월28일자로 제출된 미국 가특허출원 제62/355,856호에 대해서 우선권을 주장하며, 이 출원들은 그 전체가 모든 목적을 위하여 참조로 본 명세서에 포함될 수 있다.
본 명세서의 개시내용은 일반적으로 기판 스토리지 및 프로세싱에 관한 것이다. 일 예시적 실시예에서는, 개량된 기판 스토리지 시스템, 방법 또는 장치에 관련된다. 더욱 구체적으로는, 처리나 사용을 위한 것과 같이 시스템에 기판을 용이하게 저장하거나 제공할 수 있는 향상된 효율을 제공할 수 있는 스토리지 시스템, 장치 또는 방법에 관한 것이다.
많은 분야들에서, 그리고 구체적으로 기판 제조 및 관련 산업 내에서, 기판과 같은 재료의 효율적이고 적절한 핸들링, 스토리지 및 프로세싱은 극히 중요하다. 300mm 웨이퍼 반도체 재료의 도입 이후로, 전단 개방 통합 포드(Front Opening Unified Pods) 또는 "FOUP"은 기판 및 유사 재료의 표준 스토리지 및 수송 방법이 되어왔다. FOUP들은 반도체 생산에 사용하기 위한 실리콘 웨이퍼를 격리시켜서 보관하기 위해 사용되어 왔다. 디지털 회로, 마이크로프로세서, 및 트랜지스터의 설계에 있어서 핵심적인 반도체는 스토리지 유닛이 허용하는 가능한 한도로 극히 청정한 상태(immaculate condition)에 가깝게 이러한 웨이퍼를 유지시키는 것을 요구한다. 따라서, FOUP들은 웨어퍼의 프로세싱 및 측정에 사용되는 다른 기계들 사이에서 웨이퍼가 이송될 수 있게 한다.
종래의 FOUP은 일반적으로 주변 클린룸 환경으로부터 웨이퍼를 보호하도록 작동한다. 그러나 오늘날 FOUP은 다양한 구조의 결과로 기판 웨이퍼 내용물의 로딩 및 언로딩을 지연시키고, 이들의 내용물을 오염시키고, 웨이퍼를 쓸리게 할 수 있는(chafe) 방법 및 시스템 설계에 의해 방해를 받을 수 있다. 또한 FOUP은, 병목지역(bottle necks) 및 다른 시스템 비효율성이 프로세싱 또는 다른 시스템을 지연시킬 수 있을 정도로, 이들의 설계에 있어서 본질적으로 제한을 받을 수 있다. 따라서, 조립 라인 또는 프로세싱 라인과 같은 대형 시스템 구성 내에서 작동할 때 FOUP들의 바람직한 작업들을 보다 효율적이고 정확하게 달성하지만, 고밀도 스토리지 및 버퍼 능력을 또한 제공하는 발명이 필요하며, 임의의 순간에 FOUP는 라인에 의해 요청되거나 호출될 수 있으며, 이에 따라 프로세싱 영역 근처에서 웨이퍼의 스토리지가 요구된다.
종래의 기판 스토리지 디바이스의 문제는 330mm 이상의 디바이스 높이 및 300mm 웨이퍼 피브(fibs)의 최대 25 웨이퍼 작업을 전형적으로 유지하는, 다중 부품의 다중 스테이지에서 제조될 수 있는 전형적인 FOUP의 구조 크기 때문에 악화될 수 있다. 대용량 선적이 필수적일 수 있다는 점을 상기하면, 이러한 FOUP들의 크기는, 특히 더 작은 크기의 컨테이너가 동일한 용량의 기판을 보관하기 위해 생성될 수 있는 경우, 단계들 및 부분들에서 스토리지 FOUP 구성을 필요로 함으로써, 효율성을 감소시키고 스케일링(scaling) 노력을 방해한다.
따라서, 종래기술의 FOUP 및 연관된 시스템과 장치에 비해 개선된 설계 및 혁신을 포함하는 기판 스토리지 시스템이 필요하다. 프로세스를 간소화하고, 탄력적인 시스템 체계(system hierarchy) 및 단계를 제공할 뿐만 아니라 제조 과정에서의 복사 용이성(ease of replication) 및 창작 효율성(efficiency of creation)을 향상시키는 스토리지 시스템, 방법 및 장치가 필요하며, 여기서는 신속하고 효과적인 스토리지 및 인출(retrieval)에 대한 능력이 이러한 방법, 시스템 또는 장치의 중요한 부분이다.
따라서, 본 발명의 목적은, 고밀도 및 효율적인 스토리지 능력을 통해서, 요구에 따라 채워질 수 있는 FOUP, 기판, 웨이퍼, 및 기판과 같은 제품 그리고 Tec-Cell 웨이퍼 및 시스템을 이동시키는 능력의 탄력성(resiliency) 및 이동에 도움을 주기 위한 시스템, 방법, 또는 장치를 제공하는 것뿐만 아니라 반도체 제조 또는 이와 유사한 프로세스에서 기판 또는 웨이퍼를 통제(containment), 이송, 스토리지 및 유지하기 위해 사용될 수 있는 장치를 제공하는 것이다.
따라서, 본 발명은 고밀도 스토리지, 개방 메커니즘을 가지는 스토커를 제공하며, 또한 스토커에 청정 환경을 제공하는 능력을 제공한다.
일 실시예에서는, 클로징된 위치에 있는 하나 또는 둘 이상의 기판의 하나 또는 둘 이상의 스택을 포함하는 고밀도 스토리지 챔버로서, 각각의 기판이 각각의 캐리어 상에 지지되는 고밀도 스토리지 챔버; 하나 또는 둘 이상의 저밀도 컨테이너로서 각각의 저밀도 컨테이너가 개방 위치에 있는 하나 또는 둘 이상의 기판을 저장하도록 구성되는 저밀도 컨테이너; 상기 하나 또는 둘 이상의 저밀도 컨테이너 및 고밀도 스토리지 챔버에 커플링되는 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션으로서, 각각의 오프너 스테이션은 상기 고밀도 스토리지 챔버 및 상기 하나 또는 둘 이상의 저밀도 컨테이너 중 하나 이상으로부터 하나 또는 둘 이상의 기판을 수용하도록 구성되며, 각각의 오프너 스테이션이 상응하는 하나 또는 둘 이상의 인접 기판 사이의 하나 또는 둘 이상의 거리를 변화시키기 위한 하나 또는 둘 이상의 분리기 모듈을 포함하는, 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션; 상기 고밀도 스토리지 챔버와 상기 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션 사이에서 하나 또는 둘 이상의 스택을 이동시키도록 구성되는 제 1 로봇; 그리고 상기 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션과 상기 하나 또는 둘 이상의 저밀도 컨테이너 사이에서 상기 하나 또는 둘 이상의 기판 각각을 이동시키도록 구성되는 제 2 로봇을 포함하는 기판 스토커 시스템이 개시된다.
다른 실시예에서는, 기판 스토커 시스템에서 기판을 저장하고 이송하기 위한 방법이 제공된다. 상기 방법은, 제 1 로봇을 통해 고밀도 스토리지 챔버로부터 오프너 스테이션으로 하나 또는 둘 이상의 기판의 스택을 이송시키는 단계로서, 상기 이송된 하나 또는 둘 이상의 기판의 스택이 클로징된 상태에 있는, 이송 단계; 오프너 스테이션에서 상기 이송된 스택의 상기 하나 또는 둘 이상의 기판을 개방하는 단계; 상기 하나 또는 둘 이상의 개방된 각각의 기판을 저밀도 컨테이너 및 상기 오프너 스테이션에 커플링된 장비 전방 단부 모듈(EFEM)의 하나 또는 둘 이상의 컨테이너 중 하나 이상으로 이송하는 단계를 포함한다.
본 명세서에 개시된 방법 및 시스템은 다양한 양상들을 달성하기 위한 임의의 수단으로 구현될 수 있다. 다른 특징들은 첨부된 도면들과 이하의 상세한 설명으로부터 분명해질 수 있다.
예시적인 실시예들은 예로서 나타낼 수 있으며 유사한 참조부호들이 유사한 엘리먼트들을 나타내는 첨부된 도면들의 그림들로 제한되지 않을 수 있다.
도 1A는 본 발명의 일 실시예에 따른 고밀도 스토리지 또는 Tec-Cell의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 1B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 고밀도 스토리지 또는 Tec-Cell 의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 1C는 본 발명의 일 실시예에 따른 고밀도 스토리지 또는 Tec-Cell의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 2A는 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 2B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 3A는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 저장 과정의 순서도를 도시한다.
도 3B는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 저장 과정의 순서도를 도시한다.
도 4A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 구성요소도를 도시한다.
도 4B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 구성요소도를 도시한다.
도 4C는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 구성요소도를 도시한다.
도 5A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 5B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 5C는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 6A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 오프너 스테이션의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 6B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 오프너 스테이션의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 7A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 분리기 메커니즘의 측면도를 도시한다.
도 7B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 분리기 메커니즘의 측면도를 도시한다.
도 8A는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 개방 방법의 순서도를 도시한다.
도 8B는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 개방 방법의 순서도를 도시한다.
도 9A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 9B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 10A는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 10B는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 11A는 본 발명의 일 실시예에 따른, 스택으로부터 오프너로 이송되는 Tec-Cell의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 11B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 스택으로부터 오프너로 이송되는 Tec-Cell의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 11C는 본 발명의 일 실시예에 따른, 스택으로부터 오프너로 이송되는 Tec-Cell의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 12A는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 12B는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 12C는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 13A는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 상부 구성요소도를 도시한다.
도 13B는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 상부 구성요소도를 도시한다.
도 13C는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 상부 구성요소도를 도시한다.
도 13D는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 상부 구성요소도를 도시한다.
도 13E는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 상부 구성요소도를 도시한다.
도 14A는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 14B는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 14C는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 15A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 15B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 15C는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커 오버헤드 이송기(OHT)의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 17A는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 17B는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 18A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 18B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 19A는 본 발명의 일 실시예에 따른, 로봇에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 19B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 로봇에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 20은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 및 로딩 방법의 순서도를 도시한다.
도 21는 본 발명의 일 실시예에 따른, 상이한 컨테이너로 이송 및 로딩하는 방법에 대한 순서도를 도시한다.
도 22A는 본 발명의 일 실시예에 따른, 로봇 및 이동식 구성요소에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 22B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 로봇 및 이동식 구성요소에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 23A는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트(dock cart)에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 23B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트(dock cart)에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 24A는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트에 의한 이송 및 로딩 방법에 대한 순서도를 도시한다.
도 24B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트에 의한 이송 및 로딩 방법에 대한 순서도를 도시한다.
도 24C는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트에 의한 이송 및 로딩 방법에 대한 순서도를 도시한다.
도 24D는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트에 의한 이송 및 로딩 방법에 대한 순서도를 도시한다.
도 1B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 고밀도 스토리지 또는 Tec-Cell 의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 1C는 본 발명의 일 실시예에 따른 고밀도 스토리지 또는 Tec-Cell의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 2A는 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 2B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 3A는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 저장 과정의 순서도를 도시한다.
도 3B는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 저장 과정의 순서도를 도시한다.
도 4A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 구성요소도를 도시한다.
도 4B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 구성요소도를 도시한다.
도 4C는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 구성요소도를 도시한다.
도 5A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 5B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 5C는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 6A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 오프너 스테이션의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 6B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 오프너 스테이션의 측면 구성요소도를 도시한다.
도 7A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 분리기 메커니즘의 측면도를 도시한다.
도 7B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 분리기 메커니즘의 측면도를 도시한다.
도 8A는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 개방 방법의 순서도를 도시한다.
도 8B는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 개방 방법의 순서도를 도시한다.
도 9A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 9B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 10A는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 10B는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 11A는 본 발명의 일 실시예에 따른, 스택으로부터 오프너로 이송되는 Tec-Cell의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 11B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 스택으로부터 오프너로 이송되는 Tec-Cell의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 11C는 본 발명의 일 실시예에 따른, 스택으로부터 오프너로 이송되는 Tec-Cell의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 12A는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 12B는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 12C는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 13A는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 상부 구성요소도를 도시한다.
도 13B는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 상부 구성요소도를 도시한다.
도 13C는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 상부 구성요소도를 도시한다.
도 13D는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 상부 구성요소도를 도시한다.
도 13E는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 상부 구성요소도를 도시한다.
도 14A는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 14B는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 14C는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 15A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 15B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 15C는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커 오버헤드 이송기(OHT)의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 17A는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 17B는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다.
도 18A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 18B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 19A는 본 발명의 일 실시예에 따른, 로봇에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 19B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 로봇에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 20은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 및 로딩 방법의 순서도를 도시한다.
도 21는 본 발명의 일 실시예에 따른, 상이한 컨테이너로 이송 및 로딩하는 방법에 대한 순서도를 도시한다.
도 22A는 본 발명의 일 실시예에 따른, 로봇 및 이동식 구성요소에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 22B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 로봇 및 이동식 구성요소에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 23A는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트(dock cart)에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 23B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트(dock cart)에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다.
도 24A는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트에 의한 이송 및 로딩 방법에 대한 순서도를 도시한다.
도 24B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트에 의한 이송 및 로딩 방법에 대한 순서도를 도시한다.
도 24C는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트에 의한 이송 및 로딩 방법에 대한 순서도를 도시한다.
도 24D는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트에 의한 이송 및 로딩 방법에 대한 순서도를 도시한다.
본 발명의 다른 특징들은 첨부된 도면들과 이하의 상세한 설명으로부터 분명해질 것이다.
예를 들어 프로세싱 또는 사용을 위해, 용이하게 시스템에 기판을 제공하고 저장할 수 있는 개선된 효율성을 제공할 수 있는 스토리지 시스템, 장치 또는 방법을 제공할 수 있는 방법, 장치, 및 시스템이 개시될 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 기판 스토리지 또는 스토커를 제공할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 적어도 본 명세서에서 언급되는 추가적인 방법, 장치, 시스템 및 서브시스템과 디바이스를 포함하는 기판 스토리지 또는 스토커를 제공할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 기판 스토커를 제공할 수 있고, 기판 스토커 또는 스토커는 도크 카트 어셈블리, 교체 스토커(alternate stoker), 스토커들 사이의 직접 수송일 수 있는 스토리지 내의 통합형 오버헤드 트랜스포트(overhead transport; OHT), 다른 OHT 장점들, 테크-셀 캐리어 및 FOUP를 위한 EFEM 중 적어도 하나를 포함한다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 적어도, 임의의 지점에서 기판 스토리지 모듈을 개방할 수 있는 오프너, FOUP, 테크-셀 캐리어, 또는 기판과 같은 기판 스토리지 모듈을 이동시키기 위한 적어도 하나의 로봇, 기본 스토커 또는 스토리지를 제공하는 범용 시스템, 방법 및 장치를 갖는 기판 스토커를 제공할 수 있으며, 여기서 스토리지는 EFEM 로드 스테이션을 포함할 수 있고, 로드 스테이션은 오염원이 제한적이거나 오염원이 전혀 없이 견고하고, 신속하고, 효율적인 로딩 능력들을 제공할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 FOUP 가 EFEM 로딩 스테이션으로 로딩될 수 있는 방법을 구비하는 기판 스토커를 제공할 수 있다. 이후 EFEM 의 로봇이 FOUP로부터 웨이퍼를 집어 올릴 수 있다. 이후 각각의 웨이퍼 사이의 간격이 더 커지도록(예를 들어, 10 mm) 오프너가 Tec-Cell 스택을 분리시킬 수 있다. 이후 오프너는 밀집된(dense) 웨이퍼 스택을 형성하기 위해 컬랩싱을 실시할 수 있다. 스토커 내의 하나 이상의 다른 로봇이 전체 스택을 집어 올려 스토리지 내에 스택을 배치할 수 있다. 로봇은 임의 유형의 로봇일 수 있으나, 오버헤드 장착식 로봇, 아암 장착식 로봇, 및 컨베이어를 포함할 수 있다. 이뿐만 아니라, 로봇은 임의의 공지된 방법에 의해서 FOUP의 Tec-Cell 캐리어, 또는 기판과 상호작용할 수 있다. 또한, 일부 실시예에서는, 복수의 오프너 스테이션 및 임의 개수의 오프너 또는 로봇이 있을 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 모든 웨이퍼 또는 일부 또는 단지 하나의 웨이퍼를 분리 및 컬랩싱하도록 구성될 수 있는 오프너 스테이션을 제공할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 EFEM, 오프너 및 로봇이, 임의의 방법을 통한 물체의 검사에 의해서, 또는 물리적, 무선, 또는 유선 마커(marker) 일 수 있으며 데이터 베이스에 연결될 수 있는 개별적인 캐리어, 기판 또는 피스(piece) 상의 식별자(identifier)로 부터와 같이, 공지의 배치이든 아니든, 일부 방법에 의해 기판, 캐리어, 또는 그룹을 조직(organizing), 소팅, 그레이딩(grading) 또는 이동시키거나 선택하는 것과 같은 작동을 제공하거나, 소팅을 실행할 수 있는 기판 스토커를 제공할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 기판 또는 웨이퍼 스택이 스토리지일 수 있거나 또는 일부 실시예에서 컨테이너에 저장될 수 있는 기판 스토커를 제공할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은, 예를 들어 더 적은 오염을 제공하기 위해서, 시스템의 임의의 지점에 그리고 웨이퍼 사이에서 사용될 수 있는 퍼징(purging) 기능을 제공할 수 있다. 분할적인(sectional) 또는 시스템에 기초한 것 뿐만 아니라, 도어 및 개별적인 웨이퍼 퍼지를 구비한, 개별적인 스토리지 컨테이너가 있을 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 개별적인 저장 컨테이너가 스토커로부터 제거될 수 있는 기판 스토커를 제공할 수 있다. 일부 실시예에서, 스토리지 컨테이너는 타워 내에 배치될 수 있고, 상기 타워와 내부 피스가 이후 격리되어 오염을 제한하도록, 상기 타워가 전체적으로 스토커로부터 제거될 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 컨테이너를 스토커에 직접 배치하기 위해 사용될 수 있는 독 카트(dock cart)를 제공할 수 있다. 일부 실시예에서, 상기 독 카트는 스토커 사이에서, 또는 스토커 내에서 내부적으로, 컨테이너와 타워를 이동시킬 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은, 독 카트 대신에, Tec-Cell 캐리어 또는 FOUP가 수동적으로 또는 다른 방식을 통해서 스토리지로 직접 운반될 수 있는 기판 스토커를 제공할 수 있다.
본 명세서 내에서, 주요한 장치 및 시스템은 표준적인 종래 기술과 함께 실행될 수 있으나, 바람직한 실시에에서는, 본 명세서에 설명되어 있는 개량형 Tec-Cell 캐리어를 사용할 수 있다.
일부 실시예들은 특정 양상의 사용을 요구하지 않거나, 또는 그 양상이 고장인 경우, 시스템이 스킵되거나 탄력적인 운영을 위해 다른 방법을 사용할 수 있다는 점에서, 특정 실시예들에서 임의의 부분의 시스템, 방법 또는 장치가 없거나 존재하지 않을 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 본 스토커 및 다른 프로세싱 스테이션에 접속할 수 있는 Tec-Cell 캐리어 및 FOUP를 위한 EFEM을 제공할 수 있다. 이러한 EFEM은 하나의 옵션으로서 오프너를 갖는 Tec-Cell캐리어 및 FOUP를 수용할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 실링, 바닥 위 또는 바닥 아래 컨베이어(conveyor), 로봇 또는 아암(arm)과 같은, 제로 풋프린트 솔루션을 포함할 수 있는 FOUP, Tec-Cell 캐리어 또는 기판을 위한 이송 메커니즘의 임의의 방법, 시스템 또는 장치를 제공할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 한정된 환경 내에서 N2/XCDA 및 다른 가스에 의한 보호, 공간 제약 및 밀도를 위한 스택 능력, 모듈식, 및 수송기들을 포함하는 바닥 및 실링 장착 및 장착 시스템과 같은, 특징들을 포함할 수 있는 고밀도 스토리지를 제공하기 위한 임의의 방법을 제공할 수 있다. 또한, 시스템의 아키텍처는 다른 모듈 중에서 Tec-Cell 및 이송 모듈 내에서의 스토리지, 및 클린룸 환경을 요구하지 않도록 허용하는 특징들을 적어도 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 이는 개선된 밀봉 및 이송 시스템 및 방법 뿐만 아니라, 추가적인 품질 제어를 위한 보다 양호한 패키징 및 ESD 웨이퍼 최적화(이온화)를 포함할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 FOUP로부터 테크-셀(줌 포드)로 웨이퍼를 수동 또는 자동으로 이동시키는 것을 제공하는 이송 모듈을 제공할 수 있고, 다수의 웨이퍼 엔드 이펙터에 적응될 수 있는 능력, 및 수동 또는 자동으로 조정가능한 또는 상이한 오프너 설계, 피치를 갖는 능력을 제공할 수 있다. 또한, 스톡(stock) 또는 타워(tower)는 자동 또는 수동일 수 있으며, 스톡을 정렬할 수 있고 스택으로서 그 정렬을 잘 판독할 수 있으며, 이 둘은 모두 적절한 배치, 편성, 소팅(sorting) 등을 위한 것이다.
일부 실시예들에서, Tec-Cell 설계는 입자 및 오염물 없는 기판의 스토리지, 수송 및 프로세싱을 제공할 수 있고, 예를 들어 정화, 세정, 또는 그렇치 않으면 클린 환경을 보장하기 위해, 프로세스 가스 또는 가스를 사용하는 능력을 포함할 수 있다. 본 발명의 새로운 Tec-Cell은 필요로 하는 공간을 최소화하는 로봇 엔드-이펙터가 되거나 로봇 엔드-이펙터를 대체하는 적정 능력을 그 설계 내에 포함할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 Tec-Cell 내에서 라미너 플로우(Laminar flow)을 기판에 개별적으로 또는 그룹으로서 제공할 수 있고, 회복(recovery) 시간의 종료 이후, 동안, 이전에 높은 유동/낮은 유동/정화 시간, 정화 가스 온도 제어를 포함할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 임의의 사용 또는 구조에서 나노-튜브 재료와 같은 임의의 새로운 보다 가벼운(lighter) 재료를 제공할 수 있다. 일부 실시예에서, 사용되는 재료는 또한 피크(Peak) 코팅된 재료를 포함할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 스토리지를 위한 웨이퍼 밀도 증가, 공장 내에서의 수송을 위한 웨이퍼 밀도 증가, 감소된 점유면적, 웨이퍼에 대한 단축된 대기 시간 및 이송, 제조 및 프로세싱의 개선된 효율, 증가된 수송 시스템 처리량을 제공하여, Tec-Cell 스택에 의해 XCDA 가스 정화기, N2, NO 또는 임의의 다른 가스 정화를 포함하도록 구성가능한 단일 및 다중 또는 임의의 복수의 웨이퍼 전달을 허용할 수 있는 전술한 Tec-Cell 스택 "줌(Zoom)" 모듈을 포함할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 Tec-Cell 스택 내에서, 개별 모듈 또는 개별 기판이 예를 들어 습도, 온도, 충격, 충전(charge), 스택 ID를 감지, 저장, 통신하는 전자 추적 장치를 포함할 수 있고, 예를 들어 IR, RFID, 바코드나 QR 코드와 같은 사진 기반(photo based), 유선, 또는 임의의 다른 방법과 같은, 광 기반(optical based) 또는 유선 또는 무선의 임의의 장치 또는 방법으로 정보를 제공할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 개방 단일/다중 슬롯을 동시에 포함할 수 있고 무버(Mover) 오프너/무브(move) 셀, 로봇 또는 Tec-Cell을 개방하는 다른 장치를 포함할 수 있는 Tec-Cell 오프너를 제공할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 임의의 개선된 SSCMS 스토커 관리 시스템을 제공할 수 있고, 이에 따라 스토커 관리 시스템은 제3자, 특허권자 등의 것일 수 있는 다른 외부 또는 내부 시스템 및 소프트웨어 뿐만 아니라, MES(manufacturing execution: 제조 실행) 및 재료 추적 시스템으로 작동된다. 또한, 소프트웨어는 로컬 인트라넷 또는 인터넷의 임의의 현존하는 장치와 통신 및 네트워킹할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 개별 및 다중 Tec-Cell 웨이퍼 전달을 제공할 수 있는 개선된 수송 차량을 제공할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 유지되는 기판 또는 대상 및 애플리케이션에 따라 이온화 및 탈이온화를 제공할 수 있다. 이는 스토리지 또는 이송의 임의의 지점에서 수행될 수 있고, 또한 각각의 Tec-Cell 또는 FOUP와 같이, 섹션 기반, 컴파트먼트 기반일 수 있으며 개별 웨이퍼 상에서 능동적으로 제공될 수 있거나, 또는 임의의 방법 또는 이온화 또는 탈이온화 기기 또는 솔루션을 통하여 그리고 시스템 전체 기반으로 능동적으로 제공될 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 모두 줌 가능할 수 있는 새로운 로드 포트들, 줌/FOUP 포트 로더를 포함할 수 있는 T3k-셀/줌 모듈들에서 공장 레벨 및 로드/언로드 능력을 제공할 수 있다. 부가적으로, T3k-셀/줌 및 연동되는 장치 및 시스템은 AHMS 어댑터/수송, 줌 어댑터, 및 어댑터용 FOUP 바닥판/최상부판 처럼 구조화될 수 있는 바닥판 또는 최상부판과 같은, 임의의 다른 어댑터 및 능력을 포함할 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 이동, 효율을 촉진시키고 청결하고 안전하고 조직화된 방식으로 내부 시스템 이동 및 요청을 충족시키기 위해, 줌 포드들 간에 가능한 통신을 포함할 수 있을 뿐만 아니라, 줌 모듈들이 전력공급되거나, 비-전력공급되거나, RF 전력공급되거나, 무선 충전될 수 있다. 많은 무선 통신은 시스템 내에서 RFID 장치들을 통해 수행될 수 있으며, 이들은 제3자 또는 특허권자의 설계일 수 있다.
임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 본 발명은 프로세스 툴로 웨이퍼를 정시 전달(on time delivery)하고 최대 활용을 제공할 수 있는 향상된 저장 및 웨이퍼 이송 시스템을 제공할 수 있다.
본 실시예들은 특정한 예의 실시예들을 참조로 설명되었지만, 다양한 실시예들의 보다 넓은 사상과 범주를 벗어남이 없이 이러한 실시예들에 대해 다양한 변형들 및 변경들이 이루어질 수 있다는 것은 명백할 것이다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 프로세스, 제품, 구성 부재, 또는 방법을 설명하는 용어가 산업 용어일 수 있다는 점 및 유사한 대체 용어를 언급할 수 있다는 점을 이해할 것이다. 또한, 도면에 도시된 구성요소, 이들의 연결, 커플링, 및 관계 그리리고 이들의 기능은 단지 예일 뿐이며, 본 명세서에서 설명된 실시예를 제한하고자 하는 것은 아닐 수 있다.
도 1A는 본 발명의 일 실시예에 따른 고밀도 스토리지(100)의 측면 구성요소도를 도시한다. 고밀도 스토리지(100)는 지지부(120) 내에 유지되는 웨이퍼(110)를 포함할 수 있다. 고밀도 스토리지(100)는, 웨이퍼(110) 및 지지부(120)에 접근하기 위해 제거가능할 수 있는, 상부 플레이트(130) 및 하부 플레이트(140)와 같은, 하나 또는 둘 이상의 분리된 부분으로 형성될 수 있다. 또한, 분리식 상부 및 하부 플레이트(130, 140)를 구비하더라도, 일부 실시예에서는 웨이퍼 및 지지부(120)가 어떠한 측면에서도 접근 가능할 수 있다.
도 1B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 고밀도 스토리지(100)의 측면 구성요소도를 도시한다. 고밀도 스토리지(100)는 웨이퍼 지지부(121) 내에 유지되는 웨이퍼(111)를 포함할 수 있다. 본 예시적 실시예에서 고밀도 스토리지(100)는, 적어도 3개의 측면으로부터 웨이퍼(111)를 둘러싸는 컨테이너 몸체(151), 그리고 컨테이너 몸체(151)의 내용물로 접근하기 위해 개방될 수 있는, 오른쪽 측면 상의 컨테이너 도어(161)로 형성되는 컨테이너이다. 바람직한 실시예에서는, 컨테이너 도어(161)가 임의의 측면 상에 있을 수 있다.
도 1C는 본 발명의 일 실시예에 따른 고밀도 스토리지(100)의 측면 구성요소도를 도시한다. 고밀도 스토리지(100)는 웨이퍼 지지부(122) 내에 유지되는 웨이퍼(112)를 포함할 수 있다. 본 예시적 실시예에서 고밀도 스토리지(100)는, 적어도 3개의 측면으로부터 웨이퍼를 둘러싸는 컨테이너 몸체(152), 그리고 컨테이너 몸체(152)의 내용물로 접근하기 위해 개방될 수 있는, 하부 측면 상의 컨테이너 도어(162)로 형성되는 컨테이너이다.
도 2A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 측면 구성요소도를 도시한다. Tec-Cell 스토커는 종래의 로더 스테이션(loader station) 또는 고밀도 로더 스테이션을 구비하는 고밀도 스토리지 챔버를 가지며, 여기서 로딩은 이송 스테이션에서 제공될 수 있다.
Tec-Cell 스토커는 제 1 기판 스택(241), 측면 도어를 가지는 컨테이너에 있는 제 2 기판 스택(242), 오버헤드 이송 차량(OHT) 또는 하부 도어를 가진 컨테이너에 있는 제 3 기판 스택(243)과 같은 하나 또는 둘 이상의 Tec-cell 또는 FOUP를 저장하는 스토리지 챔버(210)를 포함한다.
인접 챔버(220)는 컬랩싱된 구성(collapsed configuration)의 스택(251)과 개방 구성(open configuration)의 제 2 스택(252)을 도시하는 오프너 스테이션(opener station)이다. 개방 구성은 기판에 쉽게 접근할 수 있게 하며, 컬랩싱된 구성은 저장 공간 제약을 최적화한다. 일 실시예에서, 개방 구성의 스택은 제 2 챔버(220)로부터 제 3 챔버(230)로 이송될 수 있다. 제 3 챔버(230)는 개방 구성인 종래 FOUP(261)에 대한 로더 스테이션을 도시한다.
도 2B는 본 발명의 다른 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 측면 구성요소도를 도시한다. Tec-Cell 스토커는 종래 로더 스테이션 또는 고밀도 로더 스테이션을 구비하는 고밀도 스토리지 챔버(215)를 가진다. 스토리지 챔버(215)는 제 1 기판 스택(246), 도어를 가진 컨테이너에 있는 제 2 기판 스택(247) 및 OHT 를 가진 컨테이너에 있는 제 3 스택(248)을 포함할 수 있다. Tec-Cell 스토커는 또한 제 2 챔버(235)를 포함하는데, 이는 FOUP(267), 그리고 OHT를 가진 스택(266)을 저장한다. 따라서 스토리지 챔버(235)는 컬랩싱된 구성의 고밀도 컨테이너를 포함한다.
도 3A는 Tec-Cell 스토커와 같은 스토커 시스템에 기판을 저장하기 위한 일 실시예의 방법에 대한 순서도를 도시한다. 단계(300)는 스토커 시스템의 오프너 스테이션과 컨테이너 사이에서 기판을 이송하는 것을 설명한다. 컨테이너는 일반적으로 기판 스택을 저장하는 이동가능한 컴파트먼트(compartment)를 언급하며, 오프너 스테이션은 컬랩싱된 기판의 개방이 이루어지는 컴파트먼트이다. 일반적으로, 스택에서, 각각의 기판은 바로 인접한 기판과 각각의 갭에 의해 분리될 수 있다. 이러한 갭의 크기(magnitude)는 '피치(pitch)' 로서 언급된다.
일 실시예에서, 컨테이너의 기판 스택은 제 1 피치를 가진다. 일 실시예에서, 오프너 스테이션의 피치는, 상이한 구조 및 디자인에 맞도록, 웨이퍼와 같이 특별한 대상에 매칭되도록, 그리고 임의 유형의 로봇에 커플링되도록, 제 1 피치와 유사하거나 제 1 피치와 상이할 수 있다.
단계(310)는 오프너 스테이션에 있는 기판 스택의 기판을 컬랩싱(collapsing)하는 과정을 설명하는데, 여기서 컬랩싱된 상태의 기판은 제 1 피치보다 작은 제 2 피치를 가진다. 단계(320)는 컬랩싱된 상태의 기판을, 오프너 스테이션으로부터 스토커 시스템의 스토리지 챔버로 이송하는 과정을 설명한다.
단계(300-310)이 임의의 순서로 실행될 수 있다는 것은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이며, 사실 이들은 기판을 스토리지 챔버로부터 로더 스테이션으로 가져오기 위하여 역순으로 실행될 수 있다.
추가로, 일부 추가적인 단계들 뿐만 아니라, 전술한 단계(300-310) 사이에 다수의 중간 단계가 있을 수 있다는 것은, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다. 중간 및 추가 단계의 예로는, 기판을 구비한 지지부를 이송하는 것, 기판의 전체 스택을 한꺼번에 이송하는 것, 컨테이너에 스택을 배치하는 것, 컨테이너를 위한 도어 개방 등등이 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
도 3B는 Tec-Cell 스토커와 같은 스토커 시스템에 기판을 저장하기 위한 일 실시예의 방법에 대한 순서도를 도시한다.
단계(340)는 컨테이너로부터 스토리지 챔버로 기판을 이송하는 과정을 설명하는데, 여기서 컨테이너의 기판 피치는 SEMI 표준의 피치보다 현저히 적다. 단계(350)는 컨테이너 없이 스토리지 챔버에 기판을 이송하는 과정을 설명하며, 단계(360)는 컨테이너와 함께 기판을 스토리지 챔버로 이송하는 과정을 설명한다.
그러나, 일 실시예에서는 표준 피치를 가지는 일반적인(generic) FOUP 및 Tec-cell 그리고 기타 다른 유형의 컨테이너를 사용할 수 있다. 추가로, 일 실시예에서는 상이한 유형의 컨테이너를 동시에 사용하거나, 또는 오퍼레이터에 대해 FOUP를 그리고 OHT에 대해 고밀도 컨테이너를 사용하는 것과 같이, 예를 들어 2개 유형의 로더 스테이션을 사용하는 스토커와 같은 상이한 목적을 위해 사용할 수 있다.
도 4A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커 시스템의 구성요소도를 도시한다. Tec-Cell 스토커는 FOUP 에 저장되거나 Tec-Cell 캐리어와 같은 캐리어 상에 지지되는 하나 또는 둘 이상의 웨이퍼 스택(410)을 포함하는 스토리지 챔버(430)를 포함한다. 스토리지 챔버(430)는 하나 또는 둘 이상의 웨이퍼, 또는 하나 또는 둘 이상의 스택을 전체로서 스토리지 챔버(430) 내의 한 위치로부터 다른 위치로 이동시키도록 구성될 수 있는 로봇(440)을 더 포함한다. 본 발명의 일 실시예에서, 각각의 스택(410)은 일반적으로 퍼지 가스를 제공하는 능력을 가진다.
도 4B는 본 발명의 다른 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커를 구성요소도를 도시한다. Tec-Cell 스토커는 각각이 컨테이너 몸체(451) 및 컨테이너 도어(461)를 구비하는, 하나 또는 둘 이상의 이동 가능한 컨테이너(411)를 포함하는 스토리지 챔버(431)를 포함한다. 각각의 이동 가능한 컨테이너(411)는 웨이퍼 스택, Tec-Cell 또는 FOUP을 저장할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 하나 또는 둘 이상의 컨테이너(411)는 로봇(441)을 통해서 스토리지 챔버(431)로부터 제거될 수 있다. 일 실시예에서, 로봇(441)은 전체 컨테이너(411) 또는 컨테이너(411)의 각각의 내용물/기판을 한 위치로부터 다른 위치로 이동시킬 수 있다. 로봇(441)은 컨테이너를 열기 위한 아암(컨테이너에 도달하기 전에 도어를 열기 위해 예측함)과 로봇(441)이 도어로 다가갈 때 도어를 열기 위한 센서를 가질 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에서는, 각각의 컨테이너(411)가 일반적으로 스토리지 챔버(431) 내의 오염을 방지하기 위하여 퍼지 가스를 제공하는 능력을 가진다.
도 4C는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 구성요소도를 도시한다. Tec-Cell 스토커는 스토리지 또는 스토커 챔버(432)를 포함하는데, 이는 하나 또는 둘 이상의 컨테이너(472) 내의 하나 또는 둘 이상의 Tec-Cell 또는 웨이퍼(412)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 컨테이너(472)는 (FOUP와 유사하게) 선반, 또는 측면 도어 또는 하부 도어를 가질 수 있다. 스토리지 챔버(432)는 전체 컨테이너(472) 또는 컨테이너(472)의 각각의 내용물/기판을 한 위치로부터 다른 위치로 이동시키기 위하여 로봇(442)을 포함할 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에서는, 각각의 컨테이너(412)가 일반적으로 스토리지 챔버(432) 내의 오염을 방지하기 위하여 퍼지 가스를 제공하는 능력을 가진다.
도 5A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell의 측면 구성요소도를 도시한다. 도 5A는 Tec-cell 스택(510) 및 Tec-cell 스택을 취급하기 위하여 단부 이펙터(end effector; 560)를 가지는 로봇(550)을 도시한다. 스택은 이동식 하부 및 상부 플레이트(530, 540)를 가질 수 있으며, 로봇은 하부 플레이트를 지지하거나, 또는 다른 실시예에서는 기타 다른 측면을 지지할 수 있다.
도 5B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell의 측면 구성요소도를 도시한다. 도 5B는 도어(541)를 구비하는 컨테이너 몸체(531) 또는 컴파트먼트 내에 저장되는 Tec-cell 스택(511)을 도시한다. 또한, 이펙터(561A)를 가진 로봇(551A) 및 이펙터(561B)를 가진 로봇(551B)이 도어(541)를 개방할 수 있다.
도 5C는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell의 측면 구성요소도를 도시한다. 도 5C는 OHT 핸들(572)을 포함하는 컨테이너(532) 내에 저장되는 Tec-cell 스택(512)을 도시한다. 또한, 이펙터(562)를 구비하는 로봇(552)은 OHT를 통해서 컨테이너(532) 및 스택을 처리(handling)할 수 있다. 임의의 메커니즘이 이펙터(562)와 OHT 핸들(572)를 사용하여 스택(512)과 컨테이너(532)를 처리할 수 있다.
도 6A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 오프너 스테이션의 측면 구성요소도를 도시한다. 도 6A는 상부 단부(630)와 하부 단부(640)를 구비하는, 클로징된(closed) 위치에 있는 오프너 스테이션을 도시하며, 이들 단부들 사이에 아암(620) 상에 유지되는 웨이퍼(610)를 포함할 수 있다. 또한, 화살표(650)로 표시된 바와 같은 웨이퍼 사이의 거리를 변화시키기 위하여, 이펙터(660)를 구비하는 액츄에이터(670)가 이후 작동하거나 이동할 수 있다. 이러한 작동은 전술한 바와 같이 임의의 방법에 의해 이루어질 수 있다.
예를 들면, 동일한 분리 간격을 두고 있는 핀 또는 이펙터(660)를 가지는 분리기 또는 액츄에이터(670)에 의해, 클로징된 위치에서, 웨이퍼의 분리 간격(650)은 최소(1-5 mm 정도)가 된다는 것을 알 수 있다.
도 6B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 오프너 스테이션의 측면 구성요소도를 도시한다. 도 6B는 웨이퍼가 분리되는 개방 위치에 있는 오프너 스테이션을 도시한다. 분리 간격(655)은, 본 발명이 속하는 기술 분야에 공지된 임의의 방식에 의하여, 액츄에이터 및 핀에 의해 제공되었으나, 더 큰 분리 간격(665)을 두는 핀을 가지는 분리기(670)에 의해 분리 간격을 증가시킬 수 있다.
도 7A는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell 스택(701) 용 Tec-Cell 분리기 메커니즘(700)의 측면도를 도시한다. Tec-Cell 스택(701)의 웨이퍼는 상이한 위치에 있을 수 있다. 일부 웨이퍼는 분리될 수 있는 반면, 일부 웨이퍼는 컬랩싱될 수 있다. 상기 메커니즘은 고정된 피치(706)에 의해서 스택(701)의 웨이퍼를 분리하기 위한 모터 구동식 톱니바퀴(cogwheel; 708)를 구비하는 와이어 또는 벨트(702)를 포함할 수 있다. 또한, 풀리 또는 다른 메커니즘에 의해 벨트나 와이어에 인장력을 가할 수 있는, 자동식 또는 수동식일 수 있는, 스프링 또는 유압 텐셔너(tensioner)와 같은 텐셔너(709)가 있을 수 있다.
도 7B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 분리 메커니즘의 측면도를 도시한다. 추가로, 와이어(702) 상에 Tec-cell (701)의 웨이퍼를 지지하고 이들을 이동시켜서 분리 간격을 제공하기 위하여, 와이어(702)가 너브(nub) 또는 인터로킹 피스(interlocking piece; 710)를 가질 수 있다. 상기 시스템은, 후에 이동되거나 분리될 수 있도록 여타의 인터로크(interlock) 또는 메커니즘을 제공할 필요없이, 웨이퍼나 Tec-cell (701)을 스택에 추가하거나 제거할 수 있도록 너브나 인터로킹 피스(710)를 제공한다.
도 8A는 Tec-Cell 스토커 시스템과 같은 스토커 시스템의 오프너 스테이션에서 기판을 개방하기 위한 일 실시예의 방법에 대한 순서도를 도시한다. 일 실시예에서 설명된 바와 같이, 단계(800)는 예를 들어 스토리지 챔버로부터 오프너 스테이션으로, 제 1 피치를 포함하는 기판 스택을 이송하는 과정을 포함한다. 단계(810)는, 분리된 기판 스택이 제 1 피치보다 큰 제 2 피치를 포함하도록, 인접한 기판들 간의 간격을 증가시킴으로써 기판 스택을 분리/개방하는 과정을 포함한다. 단계(820)는 제 2 피치를 가지는 각각의 기판을 오프너 스테이션으로부터 저밀도 로딩 스테이션으로 이송하는 과정을 포함한다.
도 8B는 Tec-Cell 스토커 시스템에서 기판을 클로징시키기 위한 일 실시예의 방법에 대한 순서도를 도시한다. 단계(840)는 제 1 피치를 포함하는 기판 스택을 형성하기 위하여 각각의 기판을 이송하는 과정을 포함한다. 단계(850)는, 컬랩싱된 기판 스택이 제 1 피치보다 작은 제 2 피치를 가지도록, 인접한 기판 사이의 간격을 감소시킴으로써 기판 스택을 컬랩싱(collapsing)/클로징 하는 과정을 포함한다. 마지막으로, 단계(860)는 컬랩싱/클로징된 기판 스택을 이송하는 과정을 포함한다.
도 9A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커 시스템의 평면 구성요소도를 도시한다. Tec-Cell 스토커 시스템은, 각각이 컬랩싱/클로징된 기판 스택을 저장하기 위한 도어를 구비하는, 하나 또는 둘 이상의 고밀도 컨테이너(940)를 포함하는 스토리지 챔버(910) 및 개방된 기판 스택(950)을 생성하기 위하여 컨테이너(940)로부터 오프너 스테이션(920)으로 스택을 이동시키기 위한 제 1 로봇(945)을 포함한다. 개방된 상태에서, 스택(950)의 각각의 기판/웨이퍼는 제 2 로봇(955)에 의해서 오프너(950)로부터 로드 포트(930)를 구비한 FOUP와 같은 다른 컨테이너(960)로 이동될 수 있다.
도 9B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다. Tec-Cell 스토커는 컨테이너(941)로부터 복수의 오프너 스테이션(920) 중 하나 이상으로 하나 이상의 스택을 이동시키기 위한 하나 이상의 로봇(946), 도어를 구비하는 하나 또는 둘 이상의 컨테이너(941)를 포함하는 스토리지 챔버(910)를 포함하며, 로드 포트(930)에 커플링된 하나 이상의 장비 전방 단부 모듈(Equipment Front End Module; EFEM)은 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션(920)으로부터 FOUP와 같은 하나 또는 둘 이상의 다른 컨테이너(961)로 하나 또는 둘 이상의 개방된 웨이퍼(951)를 이동시키기 위해 EFEM 로봇(956)을 포함한다.
도 10A는 Tec-Cell 스토커 시스템에서 각각의 기판을 이송시키기 위한 일 실시예의 방법에 대한 순서도를 도시한다. 단계(1000)는 제 1 피치를 가지는 컬랩싱/클로징된 기판의 스택을 스토리지 챔버로부터 오프너 스테이션으로 이송하는 과정을 포함한다. 단계(1010)는 분리된 상태에 있는 기판이 제 1 피치보다 큰 제 2 피치를 가지도록, 상응하는 인접한 기판 사이의 간격을 증가시킴으로써 오프너 스테이션에 있는 기판 스택을 분리/개방하는 과정을 포함한다. 단계(1020)는 오프너 스테이션으로부터 FOUP와 같은 컨테이너로 분리된 기판을 이송하는 과정을 설명한다.
도 10B는 Tec-Cell 스토커 시스템에서 각각의 기판을 이송시키기 위한 일 실시예의 방법에 대한 순서도를 도시한다. 단계(1040)는 스토리지 챔버로부터 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션으로 하나 또는 둘 이상의 클로징된 기판 스택을 이송하는 과정을 설명하며, 여기서 상기 하나 또는 둘 이상의 클로징된 기판 스택은 SEMI 표준의 피치보다 훨씬 더 적은 피치를 가진다. 단계(1050)는 상응하는 인접 기판 사이의 간격을 증가시킴으로써 상기 하나 또는 둘 이상의 스택의 기판을 분리시키는 과정을 설명한다. 단계(1060)는 EFEM 로봇을 통해서 FOUP와 같은 컨테이너로 상기 하나 또는 둘 이상의 스택의 각각의 기판을 이송하는 과정을 설명한다.
도 11A는 본 발명의 일 실시예로, Tec-Cell 스토커 내의 기판 스택을 이송하는 구성요소도를 도시한다. 도 11A(a)는 로봇(1141)을 통해서 컨테이너(1140)로부터 오프너 스테이션(1150)으로 기판 스택을 이송하는 것을 도시하며, 여기서 기판은 오프너 스테이션(1150)에서 클로징된 상태이다. 이제 도 11A(b)는 측면 도어(1170)를 구비한 빈 컨테이너(1110)를 도시하며, 여기서 로봇(1130)은 상기 스택을, 거리 또는 분리간격(1160)에 의해 분리된 기판 스택을 포함하는 오프너 스테이션(1120)으로 이송 완료 했다.
도 11B는 본 발명의 일 실시예로, Tec-Cell 스토커 내의 기판 스택을 이송하는 평면 구성요소도를 도시한다. 여기서 도 11B(a)는 이펙터를 구비하는 로봇(1131)에 의해 개방될 수 있는 도어(1176)를 구비하는 컨테이너(1171)를 도시한다. 도 11B(b)는 이후 오프너 스테이션으로 이송하기 위하여, 이펙터(1136)를 구비하는 로봇에 의해 컨테이너(1171)로부터 제거되고 있는, 클로징된 기판 스택(1141)을 도시하며, 도 11B(c)는 이후 빈 컨테이너(1111) 및 개방 상태에 있는 스택(1121)을 도시한다.
도 11C는 본 발명의 일 실시예로, Tec-Cell 스토커 내의 기판 스택을 이송하는 평면 구성요소도를 도시한다. 여기서 도 11C(a)는, 그 내용물이 로봇(1132)에 의해 오프너 스테이션(도시되지 않음)으로 이송되고 있는, OHT를 구비한 컨테이너(1172)를 도시한다. 도 11C(b)는 이후 스택이 오프너 스테이션에서 베어(bare) 상태가 되도록 임의의 방법을 통해 제거되고 있는 오버헤드 컴파트먼트 벽(1177)을 도시한다. 도 11C(c)는 이후 개방 및 분리 상태에 있는 기판을 포함하는 스택(1122)을 도시한다.
도 12A는 Tec-Cell 스토커 시스템에서 기판을 이송시키기 위한 일 실시예의 방법에 대한 순서도를 도시한다. 단계(1200)는 클로징된 기판 스택을 스토리지 챔버로부터 수신하는 과정을 설명한다. 단계(1210)는 더 큰 피치를 가지는 분리된 기판 스택을 생성하기 위하여 오프너 스테이션으로 수신된 스택을 이송하는 과정을 설명한다.
도 12B는 Tec-Cell 스토커 시스템에서 기판을 이송시키기 위한 일 실시예의 방법에 대한 순서도를 도시한다. 단계(1230)는 클로징된 기판의 스택을 수신하기 위하여, 스토리지 챔버에서 컴파트먼트 도어를 개방하는 과정을 설명한다. 단계(1240)는 개방 기판의 스택의 피치와 비교하여 더 큰 피치를 가지는 개방 기판의 스택을 생성하기 위하여, 클로징된 기판 스택을 오프너 스테이션으로 이송하는 과정을 설명한다.
도 12C는 기판을 이송시키기 위한 일 실시예의 방법에 대한 순서도를 도시한다. 단계(1260)는 클로징된 기판 스택을 가지는 컨테이너를 오프너 스테이션으로 이송하는 과정을 설명한다. 일 실시예에서, 컨테이너에는 OHT가 제공될 수 있다. 단계(1270)는 컨테이너를 개방하는 과정을 설명하며, 단계(1280)는 클로징된 기판 스택을 분리/개방하는 과정을 설명하는데, 여기서 분리된 기판 스택은 클로징된 기판 스택의 피치와 비교하여 더 큰 피치를 포함할 수 있다.
도 13A는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 평면 구성요소도를 도시한다. 도 13A(a)는 하나의 스택, 컴파트먼트, 또는 스토커(1300)로부터 하나의 기판을 가져와서 이를 목적지로 이동시키는 로봇(1310)을 도시한다. 도 13A(b)는 로봇(1311)을 가지는 웨이퍼 스택, 컨테이너, 챔버, 또는 FOUP(1320)를 도시하는데, 여기서 로봇(1311)은 웨이퍼를 웨이퍼 스택, 컨테이너, 챔버, 또는 FOUP(1330 또는 1330a)로 이동시킬 수 있다.
도 13B는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 평면 구성요소도를 도시한다. 도 13B(a)는 더 큰 배치의 단일 기판을 하나의 웨이퍼 스택, 컨테이너, 챔버, 또는 FOUP(1301)로부터 다른 하나로 가져가는 로봇(1312)을 도시한다. 도 13B(b)는 로봇(1313)에 의해 단일 웨이퍼를 배치(1321)로부터 가져와서 이를 배치(1331)로 이동시키는 과정을 도시한다.
도 13C는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 평면 구성요소도를 도시한다. 도 13C(a)는 더 큰 배치의 배치 서브세트(batch subset)를 하나의 웨이퍼 스택, 컨테이너, 챔버, 또는 FOUP(1302)로부터 다른 하나로 가져가는 로봇(1314)을 도시한다. 도 13C(b)는 로봇(1315)에 의하여 전체 웨이퍼 스택, 컨테이너, 챔버, 또는 FOUP(1322)를 가져와서 이를 배치(1332)로 이동시키는 과정을 도시한다.
도 13D는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 평면 구성요소도를 도시한다. 도 13D는 더 큰 배치의 단일 웨이퍼를 하나의 웨이퍼 스택, 컨테이너, 챔버, 또는 FOUP(1323)로부터 다른 하나로 가져가는 로봇(1316)을 도시하는데, 여기서 웨이퍼를 스택(1323) 내의 특정 스폿(spot)으로부터 가져오거나, 또는 웨이퍼가 특별히 선택되어, 목적 스택(1333) 내의 특정 스폿으로 이동될 수 있다. 이러한 과정은 또한 임의의 개수의 웨이퍼 또는 배치에서 한꺼번에 이루어질 수도 있다.
도 13E는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell의 이송에 대한 평면 구성요소도를 도시한다. 도 13E(a)는 로봇(1317)에 하나의 스택으로부터 다른 스택으로 가져와지는 웨이퍼를 도시하며, 여기서 웨이퍼는 특정 위치에 배치되거나 소팅(sort)된다. 도 13E(b)는 더 큰 배치의 단일 웨이퍼를 하나의 웨이퍼 스택, 컨테이너, 챔버, 또는 FOUP(1324)로부터 다른 하나로 가져가는 로봇(1318)을 도시하는데, 여기서 웨이퍼를 스택(1324) 내의 특정 스폿(spot)으로부터 가져오거나, 또는 웨이퍼가 특별히 선택되어, 목적 스택(1334) 내의 특정 스폿으로 이동될 수 있으며, 여기서 소팅 및 이동은 1대1 방식, 1대2 방식, 또는 여타의 방식일 수 있다. 또한 이러한 과정은 임의의 개수의 웨이퍼 또는 배치에서 한꺼번에 이루어질 수도 있다.
도 14A는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다. 단계(1400)는 오프너 스테이션으로부터 유사한 기판 피치를 가지는, 또는 일부 실시예에서는 조정가능한 피치를 가질 수 있는 하나 또는 둘 이상의 스테이션으로 기판을 이송시키는 과정을 설명한다.
도 14B는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다. 단계(1420)는 오프너 스테이션으로부터 유사한 기판 피치를 가지는 스테이션으로 기판 스택의 일부분을 동시에 이송하는 과정을 설명한다.
도 14C는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 순서도를 도시한다. 단계(1440)는 기판 스택을 오프너 스테이션으로 이송하는 과정을 설명한다. 단계(1450)는 기판 스택의 피치를 증가시키는 과정을 설명하며, 단계(1460)는 오프너 스테이션으로부터 유사한 피치를 가지는 하나 또는 둘 이상의 스테이션으로 기판을 소팅(sorting)하는 과정을 설명한다.
도 15A는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다. 여기서, 스토커 시스템은 스토리지 챔버(1500)를 포함하는 것으로 도시되며, 스토리지 챔버는 OHT 시스템을 구비하는, 독립식 또는 이동가능한 컨테이너(1520)을 포함한다. 일 실시예에서, 스토커는 챔버(1500) 내에서 컨테이너 및 웨이퍼를 이동시키기 위한 복수의 로봇들(1510, 1530), 오프너 스테이션(1540), 및 FOUP와 같은 하나 또는 둘 이상의 외부 컨테이너(1560)를 포함할 수 있다.
도 15B는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다. 여기서, 스토커 시스템은 스토리지 챔버(1501)를 포함하는 것으로 도시되며, 스토리지 챔버는 OHT 시스템을 구비하는, 독립식 또는 이동가능한 컨테이너(1521)을 포함한다. 일 실시예에서, 스토커는 컨테이너(1521)를 이송시키기 위한 로봇(1511), 웨이퍼/기판을 이송시키기 위한 EFEM 로봇(1531), 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션(1541) 및 FOUP와 같은 외부 컨테이너(1561)를 포함할 수 있다.
도 15C는 본 발명의 일 실시예에 따른 Tec-Cell 스토커의 평면 구성요소도를 도시한다. 여기서, 스토커 시스템은 스토리지 챔버(1502)를 포함하는 것으로 도시되는데, 스토리지 챔버는 저밀도 및 고밀도 로더 스테이션의 조합과 함께, 하나 또는 둘 이상의 기판을 저장하기 위한, 컴파트먼트 도어를 구비하거나 또는 구비하지 않은, 하나 또는 둘 이상의 독립식 컨테이너(1522)를 포함한다. 일 실시예에서, 스토커는 컨테이너를 이송시키기 위한 제 1 로봇(1512), 기판을 이송시키기 위한 제 2 로봇(1532), 오프너 스테이션(1542), 그리고 하나 또는 둘 이상의, FOUP와 같은 컨테이너(1562)를 포함할 수 있다.
도 16은 본 발명의 일 실시예로, Tec-Cell 스토커 시스템(1600)의 평면 구성요소도를 도시한다. 여기서, OHT 시스템(1610)은 스토리지 챔버(1630)에 저장된 하나 또는 둘 이상의 Tec-Cell 모듈(1620)에 대해 도시된다. 일 실시예에서, Tec-Cell 모듈(1620)은 컬랩싱된 상태에 있는 기판 스택을 저장하도록 구성된 이동가능한 컨테이너일 수 있다. OHT 시스템(1610)은 하나 또는 둘 이상의 Tec-Cell 모듈(1620)을 위로부터 아래 방향으로 인도하는 것을 수행하도록 구성될 수 있다. 또한, Tec-Cell 모듈 및 기판과 같은 이들의 내용물은 로봇에 의해 이동되거나 조종될 수 있는데, 예를 들어 웨이퍼를 FOUP와 같은 다른 컨테이너(1640)로 또는 다른 컨테이너(1640)로부터 이송하기 위해 오프너 스테이션이나 버퍼 스테이션에 로봇이 연결될 수 있다. 일 실시예에서는, FOUP 가 또한 OHT 시스템(1650)을 이용할 수 있다.
또한, 스토리지 영역 내와 같이, 시스템 내에, 격리되거나 격리되지 않을 수 있는 영역 또는 컴파트먼트가 존재할 수 있고, 여기에는 가스 또는 기계장치(mechanical)가 저장, 전송(route), 비축(reservoir)되거나 또는 그렇지 않으면 시스템에 대해 영역을 제공할 수 있다. 또한 1670과 같은 전용 OHT 이송 스테이션 뿐만 아니라 오프너 스테이션(1671)과 같은 오프너 스테이션에 있는 로봇 뿐만 아니라, 로봇(1681)과 같이 OHT로 또는 OHT로부터 이송하기 위한 보조 로봇이 있을 수 있다. 또한, 시스템 내에 버퍼 스테이션이 있을 수 있는데, 여기서는 기계장치 백로그(machine backlog), 이송 백로그 또는 여타의 목적으로 컨테이너, 기판, 캐리어 등이 시스템 내에 유지될 수 있다. 특히 어떠한 특징들도 임의의 실시예에 걸쳐 공유될 수 있다.
도 17A는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell 스토커 시스템에서 기판을 이송하는 방법에 대한 순서도를 도시한다. 여기서, 단계(1700)는 오프너 스테이션 및 OHT 스테이션을 포함하는 스토커를 제공하는 것을 포함한다. 단계(1710)는 오프너 스테이션을 통해 각각의 기판을 이송하는 것을 포함하며, 단계(1720)는 OHT 스테이션을 통해 이동가능한 컨테이너를 이송하는 것을 포함한다. 일 실시예에서는, 먼저 이동가능한 컨테이너가 OHT 스테이션을 통해 오프너 스테이션으로 이송되고, 이후 이동가능한 컨테이너의 기판이 오프너 스테이션에서 개방되며, 이후 각각의 기판이 오프너 스테이션과 로드 포트 사이에서 이송된다. 한정된 오염물질을 갖거나 오염물질이 전혀 없는 청정 환경(sterile environment)에서 이송이 실행되도록, 로드 포트가 기밀(airtight)이 될 수 있으며 모든 표준 연결을 제공할 수 있다.
도 17B는 본 발명의 일 실시예에 따른, Tec-Cell 스토커 시스템에서 기판을 이송하는 방법에 대한 순서도를 도시한다. 여기서, 단계(1740)는 스토커를 제공하는 것을 포함하는데, 여기서는 스토커가 SEMI 표준보다 더 작은 피치를 가지는 스택 내에 기판을 저장하도록 구성되며, 또한 스토커는 오퍼레이터 로딩 스테이션 및 자동 로딩 스테이션을 포함한다. 오퍼레이터 로딩 스테이션은 사람의 수동 입력(manual entry)에 의해 접근 가능한 포트/터미널이다. 오퍼레이터 로딩 스테이션은 기계 이송 메터니즘에 의해 접근될 수 있는 포트이다. 단계(1750)는 오퍼레이터 로딩 스테이션을 통해 각각의 기판을 이송하는 것을 포함하며, 단계(1760)는 자동 로딩 스테이션을 통해 컨테이너를 이송하는 것을 포함한다. 이는 전술한 바와 같이 부분적으로 이루어질 수 있다.
도 18A는 본 발명의 일 실시예로, Tec-Cell 스토커에서의 Tec-Cell 이송에 대한 평면 구성요소도를 도시한다. 여기서, 스토커는 스토리지 챔버(1800)는 포한하는 것으로 도시되며, 스토리지 챔버는, 저밀도 및 고밀도 로더 스테이션의 조합과 함께, 하나 또는 둘 이상의 기판을 저장하기 위한 (OHT를 갖는) 하나 또는 둘 이상의 이동가능한 컨테이너(1820)를 포함한다. 일 실시예에서는 스토커가, 오프너 스테이션(1872)으로부터 하나 또는 둘 이상의 FOUP(1875)로 단일 기판을 이송하기 위한 독립형 로드 포트를 포함한다. 다른 실시예에서는, 오퍼레이터가 컨테이너 이송을 위해 컨테이너 로드 포트(1865)에 접근할 수 있으며, 여기서 스토리지 로봇(1870)은 스토리지 챔버(1800)로 이송되도록 하기 위해 컨테이너를 집을 수 있다. 버퍼 또는 웨이퍼, Tec-Cell 또는 다른 재료를 제공하는 다른 시스템에 접근하기 위해, 로드 포트(1865)가 수동식으로 또는 자동식으로 접근될 수 있다.
도 18B는 본 발명의 일 실시예로, Tec-Cell 스토커에서의 Tec-Cell 이송에 대한 평면 구성요소도를 도시한다. Tec-Cell 스토커는 클로징된 기판의 하나 또는 둘 이상의 (OHT를 구비한) 컨테이너(1881)를 포함하는 스토리지 챔버(1880)를 포함한다. 여기서, EFEM 로드 포트(1882)는 컨테이너 이송뿐만 아니라 각각의 기판 이송을 위해 도시된다. 일 실시예에서, EFEM 로봇(1883)은 컨테이너(1881)를 컨테이너 로드 포트(1882)로 이송할 수 있으며, 여기서 스토리지 로봇(1884)은 스토리지 영역(1880) 또는 챔버의 여타 다른 영역으로 이송되도록 컨테이너 로드 포트(1882)로부터 컨테이너를 집을 수 있다.
도 19A는 본 발명의 일 실시예로, Tec-Cell 스토커에서의 Tec-Cell 이송에 대한 평면 구성요소도를 도시한다. Tec-Cell 스토커는 독립형 로드 포트(1920), (컴파트먼트/도어를 구비하거나 구비하지 않는) 베어 스택(bare stack), 저밀도 및 고밀도 로더 스테이션의 조합, 하나 또는 둘 이상의 컨테이너(1910)를 구비하는 스토리지 챔버(1900)를 포함한다. 컨테이너를 수용하기 위하여 오퍼레이터 또는 다른 메커니즘이 컨테이너 로드 포트(1920)에 접근할 수 있다. 일 실시예에서는, 컨테이너 로드 포트(1920)에서, 컨테이너가 개방될 수 있으며, 스토리지 로봇(1930)은 스토리지 챔버(1900)로 이송되도록 전체 스택을 집을 수 있다.
도 19B는 본 발명의 일 실시예로, Tec-Cell 스토커에서의 Tec-Cell 이송에 대한 평면 구성요소도를 도시한다. 도 19B는 각각의 기판 이송 및 컨테이너 이송을 위한 EFEM을 도시한다. 컨테이너 로드 포트(1940)에서, 컨테이너가 개방될 수 있으며, EFEM 로봇(1950)은 오프너 스테이션(1960)으로 이송되도록 전체 스택(1955)을 집을 수 있다. 일 실시예에서, 전체 스택(1955)은 스토리지 로봇(1980)에 의해서 스토리지 챔버(1970)로 이송될 수 있다. 다른 실시예에서는, 오프너 스테이션(1960)에서 기판 스택(1955)의 개방 시에, EFEM 개별 로봇(1950)이 각각의 기판을 오프너 스테이션(1960)으로부터 FOUP 또는 다른 컨테이너(1990)로 이송할 수 있다.
도 20은 Tec-Cell 스토커에서 기판 스택을 이송 및 로딩하기 위한 일 실시예의 방법에 대한 순서도를 도시한다. 여기서 단계(2000)는 스토커를 제공하는 과정을 개시하며, 여기서 스토커는 SEMI 표준보다 더 작은 피치를 가지는 스택에 기판을 저장하도록 구성되며, 또한 스토커는 컨테이너 이송을 위해 구성된 로딩 스테이션 및 각각의 기판 이송을 위해 구성되는 로딩 스테이션을 포함하며, 스토커는 각각의 기판 이송을 위해 구성되는 부분 및 컨테이너 이송을 위해 구성되는 부분을 가지는 통합식 로딩 스테이션을 포함한다. 단계(2010)는 각각의 기판 이송을 위해 구성된 부분 또는 로딩 스테이션을 통해 각각의 기판을 이송하는 것을 설명하며, 단계(2020)는 컨테이너 이송을 위해 구성된 부분 또는 로딩 스테이션을 통해 컨테이너를 이송하는 것을 개시한다. 일 실시예에서는, 단일 기판 취급을 위한 로봇을 가지는 것과 컨테이너 취급을 위한 로봇을 가지는 것의 2개의 로딩 스테이션이 교체될 수 있거나, 또는 전술한 바와 같이 OHT 시스템에 보조 서비스를 제공할 수 있다.
도 21은 다른 컨테이너로 이송 및 로딩하기 위한 일 실시예의 방법에 대한 순서도를 도시한다. 여기서 단계(2100)는 고밀도 컨테이너를 위한 로딩 스테이션 및 저밀도 컨테이너를 위한 로딩 스테이션을 포함하는 EFEM을 형성하는 것을 포함하며, EFEM은 고밀도 컨테이너에서의 기판 스택 취급을 위한 로봇 및 저밀도 컨테이너에서의 각각의 기판 취급을 위한 로봇을 포함하며, 또한 EFEM은 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션과 접속하도록 구성된다. 단계(2110)는 오프너 스테이션 및 로딩 스테이션 사이에서 기판을 이송하는 것을 설명한다. 단계(2120)는 오프너 스테이션을 통해 로딩 스테이션 사이에서 기판을 이송하는 것을 설명한다.
도 22A는 본 발명의 일 실시예에서, Tec-Cell 스토커에서 로봇 및 이동식 구성요소(removable component)에 의한 Tec-Cell 이송의 평면도를 도시한다. 여기서, 스토커는 이동식 컨테이너(2210)을 구비하는 스토리지 챔버(2200)를 가지는 것으로 도시되며, 여기서 각각의 컨테이너는 스택, 또는 하나 이상의 베어 웨이퍼를 포함할 수 있거나, 비어 있을 수 있다. 컨테이너(2220)는 서비스 받거나 이동되거나 또는 다른 시스템에 제공되도록 챔버(2200)로부터 제거될 수 있다. 일 실시예에서, 각각의 컨테이너(2210)는 지속적인 사용 중에, 그리고 컨테이너가 오염없이 제거될 수 있도록 챔버(2200)로부터 제거될 때 외부 주위로부터 격리되도록 하기 위해 도어를 가질 수 있다.
도 22B는 본 발명의 일 실시예에서, 이동식 구성요소 및 로봇에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다. 여기서 스토리지 챔버(2250)는 OHT를 구비하는 하나 또는 둘 이상의 컨테이너(2260)를 포함한다.
도 23A는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트(dock cart)에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다. 도 23A는 독 카트(2310) 정합 구성(mating configuration)을 구비하는 스토커 시스템(2300)을 도시한다. 컴파트먼트(2320)는 베어 스토커를 포함할 수 있거나 웨이퍼를 운반하는 컨테이너를 포함할 수 있다. 컴파트먼트(2320)는 스토커와 정합하기 위한 독 카트(2310)에 의해 제거되거나 또는 정합할 수 있다. 고밀도 스토리지 독 카트(2310)는 독 카트(2310) 상의 로봇(2340)에 의해서 또는 카트의 배치를 통해서와 같이, 컴파트먼트(2320)를 제거하기 위하여 스토커(2300)의 스토리지 영역에 커플링될 수 있다. 또한, 카트는 컴파트먼트 또는 컨테이너(2320, 2350)를 교환(switch out)할 수 있으며, 또한 단일 웨이퍼 또는 웨이퍼들을 챔버 내의 컴파트먼트 또는 컨테이너에 추가하는 것과 같이, 임의의 조합으로 교환할 수 있다. 이는 임의의 방법으로 실행될 수 있으나, 컴파트먼트를 제거함으로써, 그리고, 컴파트먼트를 교체하기 전에, 로봇(2330, 2340)을 이용하여 웨이퍼를 추가하거나 제거함으로써 실행될 수 있을 것이다. 추가로, 로봇(2330)이 컴파트먼트를 제거하고, 이후 다른 컴파트먼트를 독 카트(2310) 상에 다시 놓을 수 있다. 독 카트(2310)는 전방에 위치하는 대신에, 예를 들어 임의의 측면에 커플링되는 것과 같이, 스토커의 스토리지 영역에 커플링될 수 있다.
도 23B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트(dock cart)에 의한 Tec-Cell 이송의 평면 구성요소도를 도시한다. 일 실시예에서, 독 카트(2311) 내의 로봇(2341)은 컨테이너(2350)를 독 스테이션으로 가져오고, 이후 스토리지 영역(2301) 내의 로봇(2331)이 독 스테이션 내의 컨테이너를 스토리지 선반으로 이동시킬 수 있다.
도 24A는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트에 의한 이송 및 로딩 방법에 대한 순서도를 도시한다. 단계(2400)는 이동식 스토리지 컴파트먼트를 구비하는 스토리지 영역을 형성하는 과정을 설명하는데, 여기서 스토리지 영역은 고밀도로 기판을 저장하도록 구성된다.
도 24B는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트에 의한 이송 및 로딩 방법에 대한 순서도를 도시한다. 단계(2420)는 기판을 수용하기 위한 도킹 스테이션을 구비한 스토리지 영역을 형성하는 과정을 설명하는데, 여기서 스토리지 영역은 고밀도로 기판을 저장하도록 구성된다.
도 24C는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트에 의한 이송 및 로딩 방법에 대한 순서도를 도시한다. 단계(2440)는 스토리지 영역과 정합하기 위한 독 카트를 형성하는 과정을 설명하는데, 여기서 스토리지 영역은 고밀도로 기판을 저장하도록 구성된다.
도 24D는 본 발명의 일 실시예에 따른, 독 카트에 의한 이송 및 로딩 방법에 대한 순서도를 도시한다. 단계(2460)는 스토커의 스토리지 영역에 독 카트를 정합하는 과정을 설명하며, 단계(2470)는 독 카트로부터 스토리지 영역으로 기판을 이송시키는 과정을 설명한다.
다수의 실시예들이 기술되었다. 그럼에도 불구하고, 청구된 발명의 사상과 범주를 벗어남이 없이 다양한 변형들이 이루어질 수 있다는 것을 이해할 것이다. 또한, 도면들에 도시된 논리 흐름들은 바람직한 결과들을 달성하기 위해, 도시된 특정 순서, 또는 순차적 순서를 요구하지 않는다. 또한, 다른 단계들이 제공될 수 있거나, 또는 기술된 흐름들로부터 단계들이 제거될 수 있으며, 기술된 시스템들에 다른 컴포넌트들이 부가될 수 있거나 기술된 시스템들로부터 다른 컴포넌트들이 제거될 수 있다. 따라서, 다른 실시예들은 이하의 청구범위의 범주 내에 있을 수 있다.
본 명세서에 개시된 다양한 시스템들, 방법들, 및 장치는, 데이터 프로세싱 시스템(예, 컴퓨터 시스템)과 호환가능하고 임의의 순서로 수행될 수 있을 뿐만 아니라 일시적(transitory), 비일시적 또는 반복성 데이터 시스템들을 포함하여, 임의의 형태일 수 있는, 기계-판독가능 매체 및/또는 기계 액세스가능 매체로 구현될 수 있다는 것이 고려될 수 있다.
도면들에서 구조들 및 모듈들은 일부 특정 구조들과만 통신하고 다른 것들과는 통신하지 않는 것으로 도시되고 별개(distinct)인 것으로 도시될 수 있다. 구조들은 서로 병합될 수 있고, 중첩하는 기능들을 수행할 수 있으며, 도면들에서 연결되는 것으로 도시되지 않은 다른 구조들과 통신할 수 있다. 따라서, 명세서 및/또는 도면들은 제한적인 관점이라기 보다는 예시적인 것으로 간주될 수 있다.
Claims (20)
- 기판 스토커 시스템으로서,
둘 이상의 기판의 하나 또는 둘 이상의 제 1 컨테이너 또는 스택을 포함하는 스토리지 챔버로서, 각각의 기판이 각각의 캐리어 상에 지지되고, 상기 하나 또는 둘 이상의 제 1 컨테이너 또는 스택이 각각의 기판이 인접한 기판과 제 1 피치를 가지도록 분리되는 클로징된 위치에 있는, 스토리지 챔버;
상기 제 1 컨테이너 대비 큰 분리간격으로 둘 이상의 기판을 저장하는 하나 또는 둘 이상의 제 2 컨테이너로서 각각의 제 2 컨테이너가 하나 또는 둘 이상의 기판을 저장하도록 구성되는 제 2 컨테이너;
하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션으로서, 각각의 오프너 스테이션은 하나 이상의 스토리지 챔버로부터 상기 하나 또는 둘 이상의 제 1 컨테이너 또는 스택을 그리고 상기 제 2 컨테이너로부터 하나 또는 둘 이상의 기판을 수신하고 보내도록 구성되며, 각각의 오프너 스테이션이 상기 제 1 컨테이너 또는 스택의 상응하는 둘 이상의 인접 기판 사이의 하나 또는 둘 이상의 거리를 변화시키기 위한 하나 또는 둘 이상의 분리기 모듈을 포함하는, 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션;
복수의 로봇들로서, 상기 복수의 로봇들이:
상기 스토리지 챔버와 상기 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션 사이에서 하나 또는 둘 이상의 상기 제 1 컨테이너 또는 스택을 이동시키도록 구성되며; 그리고
상기 제 1 피치보다 큰 제 2 피치를 가지는 개방 위치에 있는 상기 하나 또는 둘 이상의 상기 제 1 컨테이너 또는 스택과 상기 하나 또는 둘 이상의 상기 제 2 컨테이너 사이에서 하나 또는 둘 이상의 기판을 이동시키도록 구성되는,
복수의 로봇들;을 포함하는,
기판 스토커 시스템.
- 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 피치가, 반도체 장비 및 재료 국제 (SEMI) 표준에 의해 정의되는 거리 한계값보다 작은,
기판 스토커 시스템.
- 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 피치를 가지는 클로징된 상태에 있는 상기 둘 이상의 기판의 상기 하나 또는 둘 이상의 제 1 컨테이너 또는 스택이, 상기 스토리지 챔버 내에 배치되고,
상기 하나 또는 둘 이상의 제1 컨테이너 또는 스택은,
이동식 상부 및 하부 플레이트를 구비한 컨테이너;
몸체 및 도어를 가지는 이동가능한 컨테이너;
하나 또는 둘 이상의 선반, 측면 도어, 및 하부 도어를 가지는 이동가능한 컨테이너;
오버헤드 이송 차량(OHT) 핸들을 구비한 이동가능한 컨테이너;
중 하나 이상을 포함하는,
기판 스토커 시스템.
- 제 3 항에 있어서,
상기 OHT 핸들을 구비한 상기 이동가능한 컨테이너를 수신하고 저장하도록 구성되는 컨테이너 로드 포트를 더 포함하고,
로봇이 상기 OHT 핸들을 구비한 상기 이동가능한 컨테이너를 상기 컨테이너 로드 포트로부터 상기 스토리지 챔버로 이송하도록 구성되는,
기판 스토커 시스템.
- 제 1 항에 있어서,
상기 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션에 커플링되는 장비 전방 단부 모듈(EFEM)을 더 포함하고,
상기 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션과 상기 하나 또는 둘 이상의 제 2 컨테이너 사이에서 하나 또는 둘 이상의 기판을 이동시키기 위해 로봇이 상기 EFEM 내에 배치되는,
기판 스토커 시스템.
- 제 1 항에 있어서,
상기 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션 내외로, 하나 또는 둘 이상의 개별 기판 및 캐리어의 이송을 가능하게 하도록 구성되는 오퍼레이터 로딩 스테이션; 및
상기 스토리지 챔버 내외로, 상기 하나 또는 둘 이상의 제 1 컨테이너의 자동적 이송을 가능하게 하도록 구성되는 자동식 로딩 스테이션;을 더 포함하는,
기판 스토커 시스템.
- 제 1 항에 있어서,
상기 분리기 모듈은 하나 또는 둘 이상의 돌출부(extrusion)를 구비하는 액추에이터를 포함하고,
상기 돌출부가 개별적인 캐리어 및 기판을 유지하도록 상기 돌출부가 상응하는 개별적 캐리어 및 기판과 정합하며,
상기 액추에이터가 구동 가능하게 될 때, 상기 돌출부가 둘 이상의 캐리어 및 기판을 하나 또는 둘 이상의 미리 정해진 거리만큼 분리시키는,
기판 스토커 시스템.
- 제 1 항에 있어서,
상기 오프너 스테이션 내의 상기 분리기 모듈이, 벨트 및 모터 구동식 톱니바퀴(cogwheel)를 포함하고,
상기 벨트가 각각의 캐리어 내의 상응하는 노치(notch)와 맞물리는 복수의 인터로킹 너브를 포함하고,
분리 프로세스는 상기 너브가 상기 캐리어와 맞물려서 둘 이상의 캐리어 및 기판을 하나 또는 둘 이상의 미리 정해진 거리만큼 이동 또는 분리시키도록 상기 벨트를 구동하는 것을 포함하는,
기판 스토커 시스템.
- 제 1 항에 있어서,
외부 독 카트를 더 포함하고,
상기 외부 독 카트는 상기 외부 독 카트 내외로, 상기 하나 또는 둘 이상의 제 1 컨테이너 및 하나 또는 둘 이상의 캐리어 및 기판을 이동시키기 위한 하나 또는 둘 이상의 로봇을 포함하고,
상기 스토리지 챔버는 상기 외부 독 카트와 정합하기 위한 도킹 스테이션을 포함하고,
상기 하나 또는 둘 이상의 로봇은 상기 도킹 스테이션과 상기 독 카트 사이에서 상기 제 1 컨테이너와 기판 중 하나 이상을 이송하도록 구성되는,
기판 스토커 시스템.
- 기판 스토커 시스템의 기판 저장 및 이송 방법으로서,
제 1 로봇을 통해, 스토리지 챔버로부터 오프너 스테이션으로 둘 이상의 캐리어 및 기판의 클로징된 스택 또는 컨테이너를 이송하는 단계;
상기 오프너 스테이션에서 상기 스택 또는 컨테이너를 개방하는 단계로서, 상기 개방에 의해 각각의 캐리어 및 기판 사이의 거리가 증가하는, 개방하는 단계; 및
제 1 컨테이너, 상기 오프너 스테이션으로 이송된 상기 컨테이너와 다른 장비 전방 단부 모듈(EFEM)의 하나 또는 둘 이상의 컨테이너, 또는 외부 독 카트 중 하나 이상으로, 상기 둘 이상의 개방된 기판을 이송하는 단계;를 포함하는,
기판 스토커 시스템의 기판 저장 및 이송 방법.
- 제 10 항에 있어서,
상기 제 1 컨테이너로부터, 상기 오프너 스테이션에서 상기 둘 이상의 캐리어 및 기판의 스택을 수신하는 단계와 상기 스택을 개방 위치에 있고 상기 제 1 컨테이너 대비 작은 분리간격으로 상기 둘 이상의 기판을 저장하는 제 2 컨테이너로 이송하는 단계;
상기 제 2 컨테이너의 상기 스택을 클로징하는 단계로서, 상기 클로징에 의해 각각의 캐리어 및 기판 사이의 거리가 감소하는, 클로징 단계; 및
상기 클로징된 제 2 컨테이너 또는 스택을 상기 스토리지 챔버로 이송하는 단계;를 포함하는,
기판 스토커 시스템의 기판 저장 및 이송 방법.
- 제 10 항에 있어서,
상기 제 1 로봇을 통해, 상기 스토리지 챔버로부터 상기 오프너 스테이션으로 상기 둘 이상의 캐리어 및 기판의 상기 클로징된 스택 또는 컨테이너를 이송하는 단계에서, 상기 둘 이상의 캐리어 및 기판의 상기 클로징된 스택 또는 컨테이너가 상기 스토리지 챔버로 이송되어 상기 스토리지 챔버 내에 저장되고,
상기 스토리지 챔버 내에 저장되는 상기 스택 또는 컨테이너는,
이동식 상부 및 하부 플레이트를 구비한 컨테이너;
몸체 및 도어를 가지고, 상기 제 1 컨테이너 대비 작은 분리간격으로 둘 이상의 기판을 저장하는 이동가능한 제 2 컨테이너;
하나 또는 둘 이상의 선반, 측면 도어, 및 하부 도어를 가지고, 상기 제 1 컨테이너 대비 작은 분리간격으로 둘 이상의 기판을 저장하는 이동가능한 제 2 컨테이너;
오버헤드 이송 차량(OHT) 핸들을 구비하고, 상기 제 1 컨테이너 대비 작은 분리간격으로 둘 이상의 기판을 저장하는 이동가능한 제 2 컨테이너; 중 하나 이상을 포함하는,
기판 스토커 시스템의 기판 저장 및 이송 방법.
- 제 12 항에 있어서,
상기 오프너 스테이션에서 상기 컨테이너를 개방하기 전에, 상기 스토리지 챔버 내에 저장되는 상기 스택 또는 컨테이너 중 상기 이동가능한 제 2 컨테이너의 하나 또는 둘 이상의 오버헤드, 측면 또는 하부 컴파트먼트 벽을 적어도 제거하는 단계; 및
상기 제 2 컨테이너를 상기 오프너 스테이션으로 이송하는 단계;를 더 포함하는,
기판 스토커 시스템의 기판 저장 및 이송 방법.
- 제 10 항에 있어서,
컨테이너 로드 포트에 수납된 이동가능한 제 2 컨테이너를 개방하는 단계;
상기 이동가능한 제 2 컨테이너에 수납된 스택 또는 개별 캐리어 및 기판을 오프너 스테이션에 있는 개방된 제 2 컨테이너로 이송하는 단계;
상기 오프너 스테이션에서 상기 제 2 컨테이너를 클로징하는 단계; 및
압축된 상기 제 2 컨테이너를 상기 오프너 스테이션으로부터 상기 스토리지 챔버로 이송하는 단계;를 더 포함하되,
상기 이동가능한 제 2 컨테이너는 상기 제 1 컨테이너 대비 작은 분리간격으로 둘 이상의 기판을 저장하는,
기판 스토커 시스템의 기판 저장 및 이송 방법.
- 제 10 항에 있어서,
상기 제 1 로봇에 의해서, 상기 스택 내의 하나 또는 둘 이상의 위치 사이에서 하나 또는 둘 이상의 기판 및 캐리어를 이동시킴으로써, 상기 오프너 스테이션으로 이송된 스택 또는 컨테이너 내에서 상기 하나 또는 둘 이상의 기판 및 캐리어를 소팅하는 단계를 더 포함하는,
기판 스토커 시스템의 기판 저장 및 이송 방법.
- 제 10 항에 있어서,
상기 오프너 스테이션 내외로, 하나 또는 둘 이상의 개별 캐리어 및 기판의 이송을 가능하게 하도록 구성되는 오퍼레이터 로딩 스테이션을 제공하는 단계; 및
상기 스토리지 챔버 내외로, 하나 또는 둘 이상의 클로징된 스택을 수납하는 하나 또는 둘 이상의 이동가능한 제 2 컨테이너의 자동적 이송을 가능하게 하도록 구성되는 자동식 로딩 스테이션을 제공하는 단계;를 더 포함하되,
상기 이동가능한 제 2 컨테이너는 상기 제 1 컨테이너 대비 작은 분리간격으로 둘 이상의 기판을 저장하는,
기판 스토커 시스템의 기판 저장 및 이송 방법.
- 제 10 항에 있어서,
상기 제 1 컨테이너를 위한 제 1 로딩 스테이션 및 제 2 컨테이너를 위한 제 2 로딩 스테이션을 포함하는 상기 EFEM을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 EFEM은 상기 제 1 컨테이너에서의 개별 기판 및 캐리어 취급을 위한 복수의 로봇 및 상기 제 2 컨테이너에서의 기판 및 캐리어 스택 취급을 위한 복수의 로봇을 포함하고, 상기 EFEM이 하나 또는 둘 이상의 오프너 스테이션과 접속하도록 구성되고,
상기 제 2 컨테이너는 상기 제 1 컨테이너 대비 작은 분리간격으로 둘 이상의 기판을 저장하는,
기판 스토커 시스템의 기판 저장 및 이송 방법.
- 제 10 항에 있어서,
상기 오프너 스테이션은 하나 또는 둘 이상의 돌출부(extrusion)를 구비하는 액추에이터를 포함하는 분리기 모듈을 더 포함하고,
상기 돌출부가 개별적인 캐리어 및 기판을 유지하도록 상기 돌출부가 상응하는 개별 캐리어 및 기판과 정합하며,
상기 액추에이터가 구동 가능하게 될 때, 상기 돌출부가 상기 둘 이상의 캐리어 및 기판을 하나 또는 둘 이상의 미리 정해진 거리만큼 분리시키는,
기판 스토커 시스템의 기판 저장 및 이송 방법.
- 제 10 항에 있어서,
상기 오프너 스테이션은 벨트 및 모터 구동식 톱니바퀴(cogwheel)를 더 포함하고,
상기 벨트가 개별 캐리어 내의 상응하는 노치(notch)와 맞물리는 복수의 인터로킹 너브를 포함하고,
분리 프로세스는 상기 너브가 상기 캐리어와 맞물려서 상기 둘 이상의 캐리어 및 기판을 하나 또는 둘 이상의 미리 정해진 거리만큼 이동 또는 분리시키도록 상기 벨트를 구동하는 것을 포함하는,
기판 스토커 시스템의 기판 저장 및 이송 방법.
- 제 10 항에 있어서,
상기 스토리지 챔버에 도킹 스테이션을 형성하는 단계;
상기 제 1 컨테이너 대비 작은 분리간격으로 둘 이상의 캐리어 및 기판을 저장하기 위한 하나 또는 둘 이상의 제 2 컨테이너 및 상기 하나 또는 둘 이상의 제 2 컨테이너를 이동시키기 위한 복수의 로봇들을 포함하는 독 카트를 형성하는 단계;
상기 독 카트를 상기 도킹 스테이션과 정합시키는 단계; 및
상기 도킹 스테이션과 상기 독 카트 사이에서 하나 이상의 상기 제 2 컨테이너를 이송하는 단계;를 더 포함하는
기판 스토커 시스템의 기판 저장 및 이송 방법.
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| KR1020170029130A KR102408600B1 (ko) | 2016-06-28 | 2017-03-07 | 개선된 고밀도 스토커 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102408600B1 (ko) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009260252A (ja) | 2008-03-27 | 2009-11-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置およびその方法ならびに基板搬送装置 |
-
2017
- 2017-03-07 KR KR1020170029130A patent/KR102408600B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009260252A (ja) | 2008-03-27 | 2009-11-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置およびその方法ならびに基板搬送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20180002003A (ko) | 2018-01-05 |
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Legal Events
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