KR102408496B1 - 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치 - Google Patents

반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102408496B1
KR102408496B1 KR1020210109135A KR20210109135A KR102408496B1 KR 102408496 B1 KR102408496 B1 KR 102408496B1 KR 1020210109135 A KR1020210109135 A KR 1020210109135A KR 20210109135 A KR20210109135 A KR 20210109135A KR 102408496 B1 KR102408496 B1 KR 102408496B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
adapter
pipe
saddle
flange
jig assembly
Prior art date
Application number
KR1020210109135A
Other languages
English (en)
Inventor
유재화
Original Assignee
비케이엠 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 비케이엠 주식회사 filed Critical 비케이엠 주식회사
Priority to KR1020210109135A priority Critical patent/KR102408496B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102408496B1 publication Critical patent/KR102408496B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B25B11/02—Assembly jigs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Clamps And Clips (AREA)

Abstract

개시되는 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치는, 길이조절을 위해 일단 측이 절단된 배관을 고정하는 배관 지그 조립체; 상기 배관의 일단 측에 마련된 절단부위에 체결되는 어댑터를 고정하는 어댑터 지그 조립체; 상기 배관과 상기 어댑터 체결 시 상기 어댑터 지그 조립체를 상기 배관 지그 조립체 측으로 이동시키고, 상기 어댑터 체결 완료 시 상기 어댑터 지그 조립체를 복귀시키는 어댑터 체결수단; 및 상기 배관 지그 조립체, 상기 어댑터 지그 조립체 및 상기 어댑터 체결수단을 지지하는 테이블;을 포함한다.

Description

반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치{DEVICE FOR FITTING PIPE ADAPTOR OF SEMICONDUCTOR PROCESSING}
본 발명(Disclosure)은, 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치에 관한 것이다.
여기서는, 본 발명에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).
일반적으로, 반도체 제조공정은 프로세스 챔버에서 반응가스나 공정가스를 사용하는 형태로 진행되고, 소정의 공정이 완료된 후 잔류하는 유해가스나 반응 부산물, 예를 들면 분진 등은 배기라인을 통해서 배출된다.
여기서, 배기라인은 누구나 알 수 있듯이 특정한 길이를 가지는 배관들을 연이어 연결하는 방식으로 구성된다.
그러나 배기라인을 구성하는 배관들은 소정의 길이로 규격화되어 제공되기 때문에 배기라인 구성 시 길이가 맞지 않는 경우가 발생하게 되고, 이에 배관을 소정의 길이로 절단하여 연결하고 있다.
즉, 절단된 배관의 절단부위에는 또 다른 배관의 플랜지와의 연결을 위해 어댑터가 조립된다.
그런데 전술한 종래 어댑터의 조립은 전용공구 없이 작업자들의 수작업에 의존하기 때문 어댑터 조립 작업이 용이하지 못한 문제점이 있었으며, 또한 작업자의 숙련도에 따라 체결력이 상이한 문제점이 있었다.
이에 본 발명의 발명자는 종래의 문제점을 해결하기 위해 노력하였으며, 그 결과물로 본 발명을 특허 출원하기에 이르렀다.
한국등록특허공보 제10-2106164호. 한국등록특허공보 제10-2271335호. 한국등록특허공보 제10-1892981호. 한국등록특허공보 제10-1518679호.
본 발명(Disclosure)은, 길이조절을 위해 절단된 배관의 절단부위에 또 다른 배관의 플랜지와의 연결을 위한 어댑터를 용이하고 신속하게 체결시킬 수 있게 하는 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치의 제공을 일 목적으로 한다.
본 발명(Disclosure)은, 작은 힘으로 배관 및 어댑터를 고정 및 분리시킬 수 있게 하는 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치의 제공을 일 목적으로 한다.
본 발명(Disclosure)은, 배관의 길이에 관계없이 배관을 고정할 수 있게 하는 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치의 제공을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
여기서는, 본 발명의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 발명의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니 된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).
상기한 과제의 해결을 위해, 본 발명을 기술하는 여러 관점들 중 어느 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치는, 길이조절을 위해 일단 측이 절단된 배관을 고정하는 배관 지그 조립체; 상기 배관의 일단 측에 마련된 절단부위에 체결되는 어댑터를 고정하는 어댑터 지그 조립체; 상기 배관과 상기 어댑터 체결 시 상기 어댑터 지그 조립체를 상기 배관 지그 조립체 측으로 이동시키고, 상기 어댑터 체결 완료 시 상기 어댑터 지그 조립체를 복귀시키는 어댑터 체결수단; 및 상기 배관 지그 조립체, 상기 어댑터 지그 조립체 및 상기 어댑터 체결수단을 지지하는 테이블;을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치에서, 상기 테이블은, 수평한 판 형상으로 제공되는 상판; 및 상기 상판을 지지하는 다리부재;들을 포함하되, 상기 상판의 상부면 상에는 상기 상판의 길이 방향을 따라 레일들이 설치될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치에서, 상기 배관 지그 조립체는, 상기 배관의 일단 측 하부가 안치되는 배관 새들; 상기 배관 새들에 안치된 상기 배관의 일단 측 상부를 덮는 배관 고정 암; 및 상기 배관 고정 암을 상기 배관 새들 측으로 가압해 상기 배관의 일단 측을 상기 배관 새들과 상기 배관 고정 암 사이에 고정시키는 배관 고정 클램프;를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치에서, 상기 어댑터 지그 조립체는, 상기 어댑터의 어댑터 플랜지의 하부 측이 안치되는 어댑터 새들; 상기 어댑터 새들에 안치된 상기 어댑터 플랜지의 상부를 덮는 어댑터 고정 암; 및 상기 어댑터 고정 암을 상기 어댑터 새들 측으로 가압해 상기 어댑터를 상기 어댑터 새들과 상기 어댑터 고정 암 사이에 고정시키는 어댑터 고정 클램프;을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치에서, 상기 어댑터 새들은, 배관 새들과 상기 어댑터 체결수단의 박스 프레임에 사이에 배치되되, 상기 어댑터 새들의 하부 양측은 상기 레일을 따라 이동 가능하게 설치되고, 상기 어댑터 새들의 상부면 상에는 상기 어댑터의 기밀부재가 상기 배관의 일단 측 절단부위와 마주하도록 상기 어댑터 플랜지의 하부가 안치되는 어댑터 플랜지 안치면이 형성되며, 상기 어댑터 플랜지 안치면은 오목한 반원형으로 형성되되, 상기 박스 프레임과 마주하는 상기 어댑터 플랜지 안치면의 일단 측은 폐쇄되며, 개방된 상기 어댑터 플랜지 안치면의 타단 측에는 상기 어댑터 플랜지 안치면에 안치된 상기 어댑터 플랜지가 걸쳐지는 제 1 어댑터 이탈방지편이 장착될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치에서, 상기 어댑터 플랜지 안치면 상에는 합성수지로 형성된 어댑터 고정 패드가 분리 가능하게 장착될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치에서, 상기 어댑터 고정 클램프는, 수직한 판 형상으로 제공되면서 어댑터 새들의 타단 측에 고정 설치되는 제 2 고정링크; 상기 어댑터 플랜지를 상기 어댑터 새들에 고정 시 상기 어댑터 고정 암을 상기 어댑터 새들 측으로 가압하는 제 2 가압링크; 및 상기 제 2 가압링크의 작동을 안내하는 제 2 작동링크;를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치에서, 상기 어댑터 체결수단은, 볼 스크류; 상기 볼 스크류를 동력을 전달하는 동력 전달부; 및 상기 볼 스크류 및 상기 동력 전달부를 지지하는 박스 프레임;을 포함하되, 상기 박스 프레임은 타단 측이 상기 어댑터 지그 조립체의 일단과 마주하게 상기 테이블의 상판에 고정 설치되고, 상기 박스 프레임의 일단 측에는 상기 상판에 설치되는 레일의 일단 측이 지지될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치에서, 상기 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치는 상기 배관의 타단 측에 형성된 배관 플랜지를 고정하는 배관 플랜지 지그 조립체;를 더 포함하되, 상기 배관 플랜지 지그 조립체는, 상기 배관 새들의 제 2 배관 안치면에 간섭되지 않게 상기 어댑터 지그 조립체와 마주하는 상기 배관 새들의 일단 측에 설치된 배관 플랜지 새들; 및 상기 배관 고정 암의 배관 가압면에 간섭되지 않게 상기 어댑터 지그 조립체와 마주하는 상기 배관 고정 암의 일단 측에 설치되는 배관 플랜지 고정 암;을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치에서, 상기 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치는 상기 배관과 상기 어댑터 체결 시 상기 어댑터의 내부에 삽입되는 상기 배관의 체결 길이를 확인할 수 있게 하는 마커;를 더 포함하고, 상기 마커는 상기 배관의 외경 측에 접할 수 있는 호 형상으로 제공되되, 상기 어댑터 지그 조립체에 간섭되지 않게 상기 배관 새들의 일단에 인접한 어느 하나의 상기 레일에 이동 및 선회 가능하게 설치되되, 상기 마커는 상기 배관의 체결 길이와 동일한 폭의 길이를 가지도록 형성되며, 상기 어댑터 지그 조립체와 마주하는 상기 마커의 일단 측에는 상기 배관의 체결 길이 확인 시 상기 배관의 일단에 접촉하는 스토퍼가 일체로 형성될 수 있다.
본 발명에 의하면, 길이조절을 위해 절단된 배관의 절단부위에 어댑터를 용이하고 신속 정확하게 체결시킬 수 있게 하는 효과를 제공하게 된다.
본 발명에 의하면, 작은 힘으로 배관 및 어댑터를 고정 및 분리시킬 수 있게 하는 효과를 제공하게 된다.
본 발명에 의하면, 배관의 길이에 관계없이 배관을 고정할 수 있게 하는 효과를 제공하게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치를 나타낸 사시도로서, 배관 및 어댑터가 안치된 상태를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치를 나타낸 사시도로서, 배관 및 어댑터가 고정된 상태를 나타낸 도면.
도 3은 도 1에 도시된 배관 지그 조립체 및 어댑터 지그 조립체를 확대하여 나타낸 도면.
도 4는 도 2에 도시된 배관 지그 조립체 및 어댑터 지그 조립체를 확대하여 나타낸 도면.
도 5는 도 1에 도시된 어댑터 체결수단의 내부를 나타낸 도면.
도 6은 도 1에 도시된 배관 플랜지 지그 조립체의 사용상태를 나타낸 도면.
이하, 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치를 구현한 실시형태를 도면을 참조하여 자세히 설명한다.
다만, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상은 이하에서 설명되는 실시형태에 의해 그 실시 가능 형태가 제한된다고 할 수는 없고, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상에 기초하여 통상의 기술자에 의해 이하에서 설명되는 실시형태를 치환 또는 변경의 방법으로 용이하게 제안될 수 있는 범위를 포섭함을 밝힌다.
또한, 이하에서 사용되는 용어는 설명의 편의를 위하여 선택한 것이므로, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상을 파악하는 데 있어서, 사전적 의미에 제한되지 않고 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미로 적절히 해석되어야 할 것이다.
첨부된 도면 중에서, 도 1 내지 도 5는 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치를 나타낸 도면으로서, 도 1 내지 도 5에는 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치(100)에 의해 체결되는 배관(10)과, 어댑터(20)가 도시되어 있다.
본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치(100)를 설명하기에 앞서 배관(10) 및 어댑터(20)에 대해 개략적으로 설명한다.
우선, 본 발명과 관련된 배관(10)은 규격화된 소정의 길이를 가지며, 일단 및 타단 측에 배관 플랜지(12)가 일체로 형성된 상태로 사용처로 제공된다. 그리고 배관(10)은 배기라인 구성 시 길이조절을 위해 도시된 바와 같이 일단 측이 절단된다. 도 1 내지 도 5에는 일단 측이 절단된 배관(10)이 도시되어 있다.
그리고 어댑터(20)는 전술한 바와 같이 길이가 조절된 배관(10)과 또 다른 배관(도시되지 않음)이 이음 연결되도록 길이가 조절된 배관(10)의 일단 측에 체결된다.
어댑터(20)는 길이가 조절된 배관(10) 일단의 내부로 삽입되면서 배관(10)의 내주면과의 사이에 패킹(24)을 개재시키는 합성수지로 형성된 중공의 기밀부재(22)와, 기밀부재(22)의 일단 외주면 측에 연결되게 형성되되 배관(10)의 외경보다 큰 직경으로 돌출 형성되는 금속으로 형성된 어댑터 플랜지(26)와, 체결되는 배관(10)의 일단과 맞닿는 어댑터 플랜지(26)의 일측면 형성되되 배관(10)의 일단 측 외주면을 감싸도록 돌출 형성되는 고정부재(28) 및 고정부재(28)를 배관(10)의 외주면 측으로 가압 고정할 수 있도록 고정부재(28)에 체결되는 어댑터 너트(30)를 포함한다.
여기서, 전술한 어댑터(20)는 본 발명의 출원인에 의해 특허 출원되고 특허 등록된 '한국등록특허공보 제10-2106164호'를 통해 그 구체적인 구성을 확인할 수 있다.
하기에는 도 1 내지 도 5를 참조하면서 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치(100)를 설명한다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치(100)는 길이조절을 위해 일단 측이 절단된 배관(10)을 고정하는 배관 지그 조립체(120)와, 배관(10)의 일단 측에 마련된 절단부위에 체결되는 어댑터(20)를 고정하는 어댑터 지그 조립체(140)와, 배관(10)과 어댑터(20) 체결 시 어댑터 지그 조립체(140)를 배관 지그 조립체(120) 측으로 이동시키고 어댑터(20) 체결 완료 시 어댑터 지그 조립체(140)를 복귀시키는 어댑터 체결수단(160)을 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치(100)는 배관 지그 조립체(120), 어댑터 지그 조립체(140) 및 어댑터 체결수단(160)을 지지하는 테이블(110)을 포함한다.
먼저, 테이블(110)은 상판(111)과, 상판(111)을 지지하는 다리부재(112)들을 포함한다.
상판(111)은 도시된 바와 같이 수평한 판 형상으로 제공되며, 상판(111)의 상부면 상에는 상판(111)의 길이 방향을 따라 2개가 짝을 이루며 나란하게 연장되는 레일(113)들이 설치된다.
이때, 레일(113)들의 일단은 어댑터 체결수단(160)을 구성하는 박스 프레임(161) 상에 지지되고 레일(113)들의 타단은 하부면이 상판(111)에 고정 설치되는 레일 블록(114)에 지지된다.
그리고 레일 블록(114)의 상부면 상에는 배관(10)의 타단 측 하부가 안치될 수 있도록 배관(10)의 외경에 대응하는 오목한 반원형의 제 1 배관 안치면(115)이 형성된다.
배관 지그 조립체(120)는 배관(10)의 일단 측이 안치되는 배관 새들(121), 배관 새들(121)에 안치된 배관(10)의 상부를 덮는 배관 고정 암(126) 및 배관 고정 암(126)을 배관 새들(121) 측으로 가압해 배관(10)을 배관 새들(121)과 배관 고정 암(126) 사이에 고정시키는 배관 고정 클램프(130)를 포함한다.
배관 새들(121)은 어댑터 체결수단(160)의 박스 프레임(161)에 인접하도록 레일 블록(114)과 박스 프레임(161)이 사이에 배치되며, 하부면이 상판(111)에 고정 설치된다.
이를 위해서, 배관 새들(121)의 하부 양측으로는 도시된 바와 같이 레일(113)이 관통된다.
그리고 배관 새들(121)의 상부면 상에는 배관(10)의 일단 측 하부가 안치될 수 있도록 배관(10)의 외경에 대응하는 오목한 반원형의 제 2 배관 안치면(122)이 형성된다.
여기서, 배관 새들(121)에 안치되는 배관(10)은 일단 측에 형성된 절단부위가 배관 새들(121)의 일단 외측, 즉 박스 프레임(161) 측으로 연장되어 노출되도록 배관 새들(121)의 제 2 배관 안치면(122)에 안치된다.
한편, 배관 새들(121)과 레일 블록(114) 사이에는 레일(113)의 길이 방향을 따라 이동하는 슬라이드 블록(123)이 레일(113)에 설치된다.
이렇게 설치된 슬라이드 블록(123)은 배관 새들(121)과 레일 블록(114)에 안치된 배관(10)을 대략 중간부분을 받쳐 지지하며, 또한 슬라이드 블록(123)은 배관(10)의 길이가 짧아 배관(10)의 타단 측이 레일 블록(114)에 안치되지 못할 경우 경우 레일(113)의 길이방향을 따라 이동하면서 배관(10)의 타단 측을 지지한다.
이러한 슬라이드 블록(123)의 상부면 상에는 배관(10)의 하부가 안치될 수 있도록 배관(10)의 외경에 대응하는 오목한 반원형의 제 3 배관 안치면(124)이 형성된다.
배관 고정 암(126)은 배관 새들(121)의 상부 측에 배치되고, 배관 새들(121)의 안치된 배관(10)의 일단 측 상부를 신속하게 덮을 수 있도록 형성된다.
이를 위해서, 배관 고정 암(126)의 하부면 상에는 배관(10)의 일단 측 상부를 덮을 수 있도록 배관(10)의 외경에 대응하는 볼록한 반원형의 배관 가압면(127)이 형성되고, 배관 고정 암(126)의 일단 측은 힌지핀을 매개로 배관 새들(121)의 상부면 일단 측에 선회 가능하게 연결된다.
그리고 배관 고정 암(126)의 타단 측에는 배관(10) 고정 시 배관 고정 클램프(130)에 의해 가압되는 배관 가압 노브(128)가 형성된다.
바람직하게는, 배관 가압면(127) 및 제 2 배관 안치면(122) 상에는 배관 가압면(127) 및 제 2 배관 안치면(122)의 마모를 방지하면서 배관(10)의 일단 측을 탄력적으로 잡아주는 합성수지로 형성된 배관 고정 패드(129)들이 분리 가능하게 장착된다.
배관 고정 클램프(130)는 대략 수직한 판 형상으로 제공되면서 배관 새들(121)의 타단 측에 고정 설치되는 제 1 고정링크(131)와, 배관(10)을 배관 새들(121)에 고정 시 배관 고정 암(126)을 배관 새들(121) 측으로 가압하는 제 1 가압링크(132) 및 제 1 가압링크(132)의 작동을 안내하는 제 1 작동링크(134)를 포함한다.
제 1 가압링크(132)는 도시된 바와 같이 일단 측이 링크핀을 매개로 제 1 고정링크(131)의 상부 측에 상하 방향으로 선회 가능하게 연결된다.
이때, 제 1 가압링크(132)의 타단 측은 배관 고정 암(126)을 가압 할 수 있도록 배관 새들(121)의 상부 측으로 연장되는데, 제 1 가압링크(132)의 타단 하부 측에는 배관(10)을 배관 새들(121)에 고정 시 배관 고정 암(126)의 타단 측에 형성된 배관 가압 노브(128)를 가압하는 제 1 가압 로드(133)가 장착된다.
여기서, 제 1 가압 로드(133)는 가압력을 용이하게 조절할 수 있도록 통상의 볼트(bolt)로 제공될 수 있다.
제 1 작동링크(134)는 배관(10)을 배관 새들(121)과 배관 고정 암(126) 사이에 고정 시 배관 고정 암(126) 측으로 선회하고, 배관(10)에 대한 고정 해제 시 배관 고정 암(126) 측에서 멀어지게 선회한다.
이를 위해서, 제 1 작동링크(134)는 제 1 가압링크(132)에 간섭되지 않게 도시된 바와 같이 일단 측이 링크핀을 매개로 제 1 고정링크(131)의 측면 측에 선회 가능하게 연결된다.
그리고 제 1 작동링크(134)의 타단 측은 제 1 고정링크(131)의 상부 측으로 연장되는데, 제 1 작동링크(134)의 타단 측에는 작업자가 용이하게 제 1 작동링크(134)를 선회 작동시킬 수 있도록 제 1 작동레버(136)가 장착된다.
한편, 제 1 작동링크(134)와 제 1 가압링크(132)는 제 1 연결링크(135)를 매개로 서로 연결되며, 이에 의해 제 1 작동링크(134)와 제 1 가압링크(132)는 서로 연동된다.
즉, 제 1 연결링크(135)의 일단은 도시된 바와 같이 링크핀을 매개로 제 1 가압링크(132)의 타단 측에 연결되고, 제 1 연결링크(135)의 타단은 링크핀을 매개로 제 1 작동링크(134)의 타단 측에 연결되는데, 이렇게 제 1 작동링크(134)와 제 1 가압링크(132)를 연결하는 제 1 연결링크(135)는 제 1 작동링크(134)가 배관 고정 암(126) 측으로 선회하면 제 1 가압링크(132)의 제 1 가압 로드(133)가 배관 가압 노브(128)를 가압할 수 있도록 제 1 가압링크(132)의 타단 측을 하강시킨다.
반대로, 제 1 연결링크(135)는 제 1 작동링크(134)가 배관 고정 암(126) 측에서 멀어지게 선회하면 제 1 가압링크(132)의 제 1 가압로드(133)가 배관 가압 노브(128)에 이격되도록 제 1 가압링크(132)의 타단 측을 상승시킨다.
이와 같이 제 1 고정링크(131), 제 1 가압링크(132) 및 제 1 작동링크(134)로 이루어진 배관 고정 클램프(130)는 적은 힘으로도 신속하게 배관 새들(121)과 배관 고정 암(126) 사이에 배관(10)을 고정할 수 있게 한다.
어댑터 지그 조립체(140)는 어댑터(20)의 어댑터 플랜지(26)의 하부 측이 안치되는 어댑터 새들(141)과, 어댑터 새들(141)에 안치된 어댑터 플랜지(26)의 상부를 덮는 어댑터 고정 암(144) 및 어댑터 고정 암(144)을 어댑터 새들(141) 측으로 가압해 어댑터(20)를 어댑터 새들(141)과 어댑터 고정 암(144) 사이에 고정시키는 어댑터 고정 클램프(150)를 포함한다.
어댑터 새들(141)은 배관 새들(121)과 어댑터 체결수단(160)의 박스 프레임(161)에 사이에 이동 가능하게 배치된다.
이를 위해서, 어댑터 새들(141)의 하부 양측은 레일(113)을 따라 이동 가능하게 설치된다.
그리고 어댑터 새들(141)의 상부면 상에는 어댑터(20)의 기밀부재(22)가 배관(10)의 일단 측 절단부위와 마주하도록 어댑터 플랜지(26)의 하부가 안치되는 어댑터 플랜지 안치면(142)이 형성된다.
어댑터 플랜지 안치면(142)은 어댑터 플랜지(26)의 외경에 대응하는 오목한 반원형으로 형성되되, 박스 프레임(161)과 마주하는 어댑터 플랜지 안치면(142)의 일단 측은 폐쇄되며, 개방된 어댑터 플랜지 안치면(142)의 타단 측에는 어댑터 플랜지 안치면(142)에 안치된 어댑터 플랜지(26)에 걸쳐져 어댑터 플랜지(26)의 이탈을 방지하는 제 1 어댑터 이탈방지편(143a)이 장착된다.
즉, 어댑터 플랜지(26)의 하부는 플랜지 안치면(142)의 폐쇄된 일단 측과 제 1 어댑터 이탈방지편(143a) 사이로 삽입되면서 어댑터 플랜지 안치면(142)에 안치된다.
어댑터 고정 암(144)은 어댑터 새들(141)의 상부 측에 배치되고, 어댑터 새들(141)의 안치된 어댑터 플랜지(26)의 상부를 신속하게 덮을 수 있도록 형성된다.
이를 위해서, 어댑터 고정 암(144)의 하부면 상에는 어댑터 플랜지(26)의 상부를 덮을 수 있도록 어댑터 플랜지(26)의 외경에 대응하는 볼록한 반원형의 어댑터 플랜지 가압면(145)이 형성되고, 어댑터 고정 암(144)의 일단 측은 힌지핀을 매개로 어댑터 새들(141)의 상부면 일단 측에 선회 가능하게 연결된다.
이때, 박스 프레임(161)과 마주하는 어댑터 플랜지 가압면(145)의 일단에는 어댑터 플랜지(26)의 이탈을 방지하는 이탈방지턱(146)이 어댑터 가압면(145)을 따라 일체로 형성되며, 개방된 어댑터 플랜지 가압면(145)의 타단 측에는 어댑터 플랜지(26)에 걸쳐져 어댑터 플랜지(26)의 이탈을 방지하는 제 2 어댑터 이탈방지편(143b)이 장착된다.
즉, 어댑터 플랜지(26)의 상부는 제 2 어댑터 이탈방지편(143b) 및 이탈방지턱(146) 사이로 삽입되면서 어댑터 플랜지 가압면(145)에 의해 덮어진다.
그리고 어댑터 고정 암(144)의 타단 측에는 어댑터 플랜지(26) 고정 시 어댑터 고정 클램프(150)에 의해 가압되는 어댑터 가압 노브(147)가 형성된다.
바람직하게는, 어댑터 플랜지 가압면(145) 및 어댑터 플랜지 안치면(142) 상에는 어댑터 플랜지 가압면(145) 및 어댑터 플랜지 안치면(142)의 마모를 방지하면서 어댑터 플랜지(26)를 탄력적으로 잡아주는 합성수지로 형성된 어댑터 고정 패드(148)가 분리 가능하게 장착된다.
어댑터 고정 클램프(150)는 배관 지그 조립체(120)의 배관 고정 클램프(130)와 동일 구성을 가진다.
어댑터 고정 클램프(150)는 대략 수직한 판 형상으로 제공되면서 어댑터 새들(141)의 타단 측에 고정 설치되는 제 2 고정링크(151)와, 어댑터 플랜지(26)를 어댑터 새들(141)에 고정 시 어댑터 고정 암(144)을 어댑터 새들(141) 측으로 가압하는 제 2 가압링크(152) 및 제 2 가압링크(152)의 작동을 안내하는 제 2 작동링크(154)를 포함한다.
제 2 가압링크(152)는 도시된 바와 같이 일단 측이 링크핀을 매개로 제 2 고정링크(121)의 상부 측에 상하 방향으로 선회 가능하게 연결된다.
이때, 제 2 가압링크(152)의 타단 측은 어댑터 고정 암(144)을 가압 할 수 있도록 어댑터 새들(141)의 상부 측으로 연장되는데, 제 2 가압링크(152)의 타단 하부 측에는 어댑터 플랜지(26)을 어댑터 새들(141)에 고정 시 어댑터 고정 암(144)의 타단 측에 형성된 어댑터 가압 노브(147)를 가압하는 제 2 가압 로드(153)가 장착된다.
여기서, 제 2 가압 로드(153)는 제 1 가압 로드(133)와 마찬가지로 통상의 볼트(bolt)로 제공될 수 있다.
제 2 작동링크(154)는 어댑터 플랜지(26)를 어댑터 새들(141)과 어댑터 고정 암(144) 사이에 고정 시 어댑터 고정 암(144) 측으로 선회하고, 어댑터 플랜지(26)에 대한 고정 해제 시 어댑터 고정 암(144) 측에서 멀어지게 선회한다.
이를 위해서, 제 2 작동링크(154)는 제 2 가압링크(152)에 간섭되지 않게 도시된 바와 같이 일단 측이 링크핀을 매개로 제 2 고정링크(151)의 측면 측에 선회 가능하게 연결된다.
그리고 제 2 작동링크(154)의 타단 측은 제 2 고정링크(151)의 상부 측으로 연장되는데, 제 2 작동링크(154)의 타단 측에는 작업자가 용이하게 제 2 작동링크(154)를 선회 작동시킬 수 있도록 제 2 작동레버(156)가 장착된다.
한편, 제 2 작동링크(154)와 제 2 가압링크(152)는 제 2 연결링크(155)를 매개로 서로 연결되며, 이에 의해 제 2 작동링크(154)와 제 2 가압링크(152)는 서로 연동된다.
즉, 제 2 연결링크(155)의 일단은 도시된 바와 같이 링크핀을 매개로 제 2 가압링크(152)의 타단 측에 연결되고, 제 2 연결링크(155)의 타단은 링크핀을 매개로 제 2 작동링크(154)의 타단 측에 연결되는데, 이렇게 제 2 작동링크(154)와 제 2 가압링크(152)를 연결하는 제 2 연결링크(155)는 제 2 작동링크(154)가 어댑터 고정 암(144) 측으로 선회하면 제 2 가압링크(152)의 제 2 가압 로드(153)가 어댑터 가압 노브(147)를 가압할 수 있도록 제 2 가압링크(152)의 타단 측을 하강시킨다.
반대로, 제 2 연결링크(155)는 제 2 작동링크(154)가 어댑터 고정 암(144) 측에서 멀어지게 선회하면 제 2 가압링크(152)의 제 2 가압로드(153)가 어댑터 가압 노브(147)에 이격되도록 제 2 가압링크(152)의 타단 측을 상승시킨다.
이와 같이 제 2 고정링크(151), 제 2 가압링크(152) 및 제 2 작동링크(154)로 이루어진 어댑터 고정 클램프(150)는 적은 힘으로도 신속하게 어댑터 새들(141)과 어댑터 고정 암(144) 사이에 어댑터 플랜지(26)를 고정할 수 있게 한다.
어댑터 체결수단(160)은 볼 스크류(168)와, 볼 스크류(168)를 동력을 전달하는 동력 전달부(162)를 포함한다.
또한, 어댑터 체결수단(160)은 볼 스크류(168) 및 동력 전달부(162)를 지지하는 박스 프레임(161)을 더 포함한다.
박스 프레임(161)은 도시된 바와 같이 내부가 중공된 박스(box) 형상으로 제공되며, 박스 프레임(161)은 타단 측이 어댑터 지그 조립체(140)의 일단과 마주하게 테이블(110)의 상판(110)에 고정 설치된다.
이렇게 테이블(110)의 상판(111)에 고정 설치된 박스 프레임(161)의 일단 측에는 전술한 바와 같이 레일(113)의 일단 측이 지지된다.
동력 전달부(162)는 박스 프레임(161) 내부에 회전 가능하게 설치되는 원동 스프로킷(163)과, 종동 스프로킷(164) 및 원동 스프로킷(163)과 종동 스프로킷(164)에 지지되어 회전하는 체인(165)을 포함한다.
이때, 원동 스프로킷(163)은 박스 프레임(161)의 외부에 배치되는 핸들(166)과 연결되고, 회전 하는 핸들(166)을 따라 원동 스프로킷(163)은 회전된다. 그리고 누구나 알 수 있듯이 원동 스프로킷(163)의 회전력은 체인(165)을 통해 종동 스프로킷(164)에 전달된다.
한편, 종동 스프로킷(164)의 회전 중심부에는 볼 스크류(168)가 관통 체결되는 볼 스크류 너트(167)가 고정 장착된다.
볼 스크류(168)는 동력 전달부(162)로부터 구동력을 전달받아 어댑터 지그 조립체(140)를 이동시킨다.
이러한 볼 스크류(168)는 도시된 바와 같이 박스 프레임(161)의 일단 외측에서부터 박스 프레임(161)을 관통해 박스 프레임(161)의 타단 외측으로 수평하게 연장된다.
이때, 박스 프레임(161)의 타단 외측으로 연장된 볼 스크류(168)의 연장단은 어댑터 새들(141)의 일단 측에 회전 가능하게 연결된다.
그리고 박스 프레임(161)을 관통하는 볼 스크류(168)는 종동 스프로킷(164)의 회전 중심부에 고정 장착된 볼 스크류 너트(167)에 관통 체결되는데, 볼 스크류(168)는 종동 스프로킷(164)을 따라 회전하는 볼 스크류 너트(167)에 의해 직선 왕복 운동을 하며, 이에 의해 볼 스크류(168)와 연결된 어댑터 지그 조립체(140)는 볼 스크류(168)를 따라 직선 왕복 운동을 하게 된다.
즉, 볼 스크류(168)는 어댑터 플랜지(26)가 고정된 어댑터 지그 조립체(140)를 배관 지그 조립체(120) 측으로 이동시켜 어댑터(20)를 배관(10)에 체결시키고, 어댑터(20)가 배관(10)에 체결이 완료되면 볼 스크류(168)는 어댑터 지그 조립체(140)를 복귀시킨다.
여기서, 회전하는 볼 스크류 너트(167)에 의한 볼 스크류(168)의 직선 이동은 공지의 기술이므로 상세한 설명은 생략한다.
한편, 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치(100)는 배기라인 구성을 위해 길이 조절된 배관(10) 중 길이가 짧아 배관 새들(121)에 안치되지 못하는 배관(10; 도 6 참조)을 고정할 수 있게 하는 배관 플랜지 지그 조립체(170)를 더 포함한다.
배관 플랜지 지그 조립체(170)는 도시된 바와 같이 배관 플랜지 새들(171) 및 배관 플랜지 고정 암(173)을 포함한다.
배관 플랜지 새들(171)은 제 2 배관 안치면(122)에 간섭되지 않게 어댑터 지그 조립체(140)와 마주하는 배관 새들(121)의 일단 측에 설치되며, 배관 플랜지 고정 암(173)은 배관 가압면(142)에 간섭되지 않게 어댑터 지그 조립체(140)와 마주하는 배관 고정 암(126)의 일단 측에 설치된다.
이때, 배관 플랜지 새들(171)의 상부면 상에는 배관 플랜지(12)의 하부 측이 안치될 수 있도록 배관 플랜지(12)의 외경에 대응하는 오목한 반원형의 배관 플랜지 안치면(172)이 형성되고, 배관 플랜지 고정 암(173)의 하부면 상에는 배관 플랜지(12)의 상부에 덮을 수 있도록 배관 플랜지(12)의 외경에 대응하는 볼록한 반원형의 배관 플랜지 가압면(174)이 형성된다.
이렇게 배관 고정 암(126)에 설치된 배관 플랜지 고정 암(173)은 배관 고정 암(126)을 따라 선회 작동하면서 배관 플랜지(12)의 상부를 덮으며, 배관 플랜지(12)의 상부를 덮은 배관 플랜지 고정 암(173)은 배관 고정 암(126)을 배관 새들(121) 측으로 가압하는 배관 고정 클램프(130)에 의해 배관 플랜지(12)를 배관 플랜지 새들(171) 측으로 가압해 고정시킨다.
바람직하게는, 어댑터 지그 조립체(140)와 마주하는 배관 플랜지 안치면(172) 및 배관 플랜지 가압면(174)에는 배관 플랜지(12)의 이탈을 방지하는 배관 플랜지 이탈방지편(175)이 장착된다.
즉, 배관 플랜지(12)의 하부는 배관 새들(121)과 배관 플랜지 이탈방지편(175) 사이로 삽입되면서 배관 플랜지 안치면(172)에 안치되고, 배관 플랜지(12)의 상부는 배관 고정 암(126)과 배관 플랜지 이탈방지편(175) 사이로 삽입되면서 배관 플랜지 가압면(174)에 의해 덮어진다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치(100)는 배관(10)과 어댑터(20) 체결 시 어댑터(20)의 내부 삽입되는 배관(10)의 체결 길이를 육안으로 확인할 수 있게 하는 마커(180)를 더 포함한다.
마커(180)는 배관(10)의 외경 측에 접할 수 있는 호(弧) 형상으로 제공되되, 도시된 바와 같이 어댑터 지그 조립체(140)에 간섭되지 않게 배관 새들(121)의 일단에 인접한 어느 하나의 레일(113)에 이동 및 선회 가능하게 설치된다.
그리고 마커(180)는 배관(10)의 체결 길이와 동일한 폭의 길이를 가지도록 형성되며, 어댑터 지그 조립체(140)와 마주하는 마커(180)의 일단 측에는 배관(10)의 체결 길이 확인 시 배관(10)의 일단에 접촉하는 스토퍼(181)가 일체로 형성된다.
즉, 배관(10)을 배관 지그 조립체(120)에 고정 시킨 상태 하에서 마커(180)를 배관(10)의 일단 측에 접촉시킨 후 스토퍼(181)를 배관(10)의 절단된 일단에 밀착시키면 어댑터(20)에 체결되는 배관(10)의 길이를 육안으로 확인할 수 있을 뿐만 아니라 통상의 펜(pen) 등을 이용해 마커(180)의 타단을 따라 체결 길이를 배관(10)의 외주면에 표시할 수 있다.
하기에는 전술한 바와 같이 형성된 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치(100)의 사용상태를 간략하게 설명한다.
배기라인 구성 시 길이조절을 위해 일단 측이 절단된 배관(10)에 어댑터(20)를 체결하기 위해서는, 우선 배관(10)의 절단부위가 어댑터 지그 조립체(140)와 마주하게 하도록 배관(10)을 배관 지그 조립체(120)에 고정시키고, 마찬가지로 배관(10)의 절단부위로 체결된 어댑터(20)를 어댑터 지그 조립체(140)에 고정시킨다.
그리고 절단부위가 형성된 배관(10)의 일단 측 외주면 상에 어댑터 너트(30)를 끼워 넣고, 마커(180)를 이용해 배관(10)의 체결 길이를 확인한 후 배관(10)의 절단부위에 패킹을 끼워 마감한다.
전술한 바와 같이 배관(10)이 배관 지그 조립체(120)에 고정되고 어댑터(20)가 어댑터 지그 조립체(140)에 고정되면, 작업자는 핸들(166)을 회전시켜 어댑터 지그 조립체(140)로 이동시켜 어댑터(20)를 배관(10)에 체결시킨다.
이때, 어댑터(20)의 기밀부재(22)는 배관(10)의 내주면 측으로 삽입되어 패킹(24)을 배관(10)의 내주면에 개재시키고, 배관(10)은 기밀부재(22)와 고정부재(28) 사이로 삽입된다.
그리고 배관(10)은 기밀부재(22)와 고정부재(28) 사이로 삽입되면 어댑터 너트(30)를 고정부재(28)에 체결시켜 배관(10)에 대한 어댑터(20)의 체결을 완료한다.
전술한 배관(10)에 어댑터(20)의 체결이 완료되면 배관(10) 및 어댑터(20)를 배관 지그 조립체(120) 및 어댑터 지그 조립체(140)에 분리시킨 후 핸들(166)을 회전시켜 어댑터 지그 조립체(140)를 복귀시킨다.
이와 같이 형성된 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치(100)는 길이조절을 위해 절단된 배관(10)의 절단부위에 어댑터(20)를 용이하고 신속 정확하게 체결시킬 수 있게 한다.
본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치(100)는 작은 힘으로 배관(10) 및 어댑터(20)를 고정 및 분리시킬 수 있게 한다.
본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치(100)는 배관(10)의 길이에 관계없이 배관(10)을 고정할 수 있게 한다.
앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

Claims (10)

  1. 길이조절을 위해 일단 측이 절단된 배관을 고정하는 배관 지그 조립체;
    상기 배관의 일단 측에 마련된 절단부위에 체결되는 어댑터를 고정하는 어댑터 지그 조립체;
    상기 배관과 상기 어댑터 체결 시 상기 어댑터 지그 조립체를 상기 배관 지그 조립체 측으로 이동시키고, 상기 어댑터 체결 완료 시 상기 어댑터 지그 조립체를 복귀시키는 어댑터 체결수단; 및
    상기 배관 지그 조립체, 상기 어댑터 지그 조립체 및 상기 어댑터 체결수단을 지지하는 테이블;을 포함하되,
    상기 어댑터 지그 조립체는,
    상기 어댑터의 어댑터 플랜지의 하부 측이 안치되는 어댑터 새들;
    상기 어댑터 새들에 안치된 상기 어댑터 플랜지의 상부를 덮는 어댑터 고정 암; 및
    상기 어댑터 고정 암을 상기 어댑터 새들 측으로 가압해 상기 어댑터를 상기 어댑터 새들과 상기 어댑터 고정 암 사이에 고정시키는 어댑터 고정 클램프;을 포함하며,
    상기 어댑터 새들은,
    배관 새들과 상기 어댑터 체결수단의 박스 프레임에 사이에 배치되되, 상기 어댑터 새들의 하부 양측은 상기 테이블에 설치되는 레일을 따라 이동 가능하게 설치되고,
    상기 어댑터 새들의 상부면 상에는 상기 어댑터의 기밀부재가 상기 배관의 일단 측 절단부위와 마주하도록 상기 어댑터 플랜지의 하부가 안치되는 어댑터 플랜지 안치면이 형성되며,
    상기 어댑터 플랜지 안치면은 오목한 반원형으로 형성되되, 상기 박스 프레임과 마주하는 상기 어댑터 플랜지 안치면의 일단 측은 폐쇄되며, 개방된 상기 어댑터 플랜지 안치면의 타단 측에는 상기 어댑터 플랜지 안치면에 안치된 상기 어댑터 플랜지가 걸쳐지는 제 1 어댑터 이탈방지편이 장착되는 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 테이블은,
    수평한 판 형상으로 제공되는 상판; 및
    상기 상판을 지지하는 다리부재;들을 포함하되,
    상기 상판의 상부면 상에는 상기 상판의 길이 방향을 따라 상기 레일들이 설치되는 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 배관 지그 조립체는,
    상기 배관의 일단 측 하부가 안치되는 배관 새들;
    상기 배관 새들에 안치된 상기 배관의 일단 측 상부를 덮는 배관 고정 암; 및
    상기 배관 고정 암을 상기 배관 새들 측으로 가압해 상기 배관의 일단 측을 상기 배관 새들과 상기 배관 고정 암 사이에 고정시키는 배관 고정 클램프;를 포함하는 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 어댑터 플랜지 안치면 상에는 합성수지로 형성된 어댑터 고정 패드가 분리 가능하게 장착되는 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 어댑터 고정 클램프는,
    수직한 판 형상으로 제공되면서 어댑터 새들의 타단 측에 고정 설치되는 제 2 고정링크;
    상기 어댑터 플랜지를 상기 어댑터 새들에 고정 시 상기 어댑터 고정 암을 상기 어댑터 새들 측으로 가압하는 제 2 가압링크; 및
    상기 제 2 가압링크의 작동을 안내하는 제 2 작동링크;를 포함하는 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 어댑터 체결수단은,
    볼 스크류;
    상기 볼 스크류를 동력을 전달하는 동력 전달부; 및
    상기 볼 스크류 및 상기 동력 전달부를 지지하는 박스 프레임;을 포함하되,
    상기 박스 프레임은 타단 측이 상기 어댑터 지그 조립체의 일단과 마주하게 상기 테이블의 상판에 고정 설치되고,
    상기 박스 프레임의 일단 측에는 상기 상판에 설치되는 레일의 일단 측이 지지되는 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치.
  9. 청구항 3에 있어서,
    상기 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치는 상기 배관의 타단 측에 형성된 배관 플랜지를 고정하는 배관 플랜지 지그 조립체;를 더 포함하되,
    상기 배관 플랜지 지그 조립체는,
    상기 배관 새들의 제 2 배관 안치면에 간섭되지 않게 상기 어댑터 지그 조립체와 마주하는 상기 배관 새들의 일단 측에 설치된 배관 플랜지 새들; 및
    상기 배관 고정 암의 배관 가압면에 간섭되지 않게 상기 어댑터 지그 조립체와 마주하는 상기 배관 고정 암의 일단 측에 설치되는 배관 플랜지 고정 암;을 포함하는 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치.
  10. 청구항 3에 있어서,
    상기 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치는 상기 배관과 상기 어댑터 체결 시 상기 어댑터의 내부에 삽입되는 상기 배관의 체결 길이를 확인할 수 있게 하는 마커;를 더 포함하고,
    상기 마커는 상기 배관의 외경 측에 접할 수 있는 호 형상으로 제공되되, 상기 어댑터 지그 조립체에 간섭되지 않게 상기 배관 새들의 일단에 인접한 어느 하나의 상기 레일에 이동 및 선회 가능하게 설치되되,
    상기 마커는 상기 배관의 체결 길이와 동일한 폭의 길이를 가지도록 형성되며, 상기 어댑터 지그 조립체와 마주하는 상기 마커의 일단 측에는 상기 배관의 체결 길이 확인 시 상기 배관의 일단에 접촉하는 스토퍼가 일체로 형성되는 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치.
KR1020210109135A 2021-08-19 2021-08-19 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치 KR102408496B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210109135A KR102408496B1 (ko) 2021-08-19 2021-08-19 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210109135A KR102408496B1 (ko) 2021-08-19 2021-08-19 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102408496B1 true KR102408496B1 (ko) 2022-06-13

Family

ID=81984301

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210109135A KR102408496B1 (ko) 2021-08-19 2021-08-19 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102408496B1 (ko)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010255701A (ja) * 2009-04-23 2010-11-11 Jmi:Kk 配管用クランプ継手
KR101518679B1 (ko) 2014-10-13 2015-05-15 주식회사 비비테크 덕트 연결용 아답터 및 이의 조립장치
KR101892981B1 (ko) 2017-10-30 2018-08-31 한국생산기술연구원 다양한 규격의 너트에 사용될 수 있는 파이프 자동 체결장치 및, 그 방법
KR20190026079A (ko) * 2017-09-04 2019-03-13 (주)이노이엔씨 파이프에 플랜지를 장착하는 장치
KR102106164B1 (ko) 2019-08-06 2020-05-11 비케이엠 주식회사 파이프 기밀유지 연결용 어댑터
KR102271335B1 (ko) 2021-04-29 2021-06-30 주식회사 우진아이엔에스 다규격 파이프용 어댑터의 파이프 체결을 위한 지그장치

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010255701A (ja) * 2009-04-23 2010-11-11 Jmi:Kk 配管用クランプ継手
KR101518679B1 (ko) 2014-10-13 2015-05-15 주식회사 비비테크 덕트 연결용 아답터 및 이의 조립장치
KR20190026079A (ko) * 2017-09-04 2019-03-13 (주)이노이엔씨 파이프에 플랜지를 장착하는 장치
KR101892981B1 (ko) 2017-10-30 2018-08-31 한국생산기술연구원 다양한 규격의 너트에 사용될 수 있는 파이프 자동 체결장치 및, 그 방법
KR102106164B1 (ko) 2019-08-06 2020-05-11 비케이엠 주식회사 파이프 기밀유지 연결용 어댑터
KR102271335B1 (ko) 2021-04-29 2021-06-30 주식회사 우진아이엔에스 다규격 파이프용 어댑터의 파이프 체결을 위한 지그장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6119052B2 (ja) クランプ装置
US7976252B2 (en) Pocket hole jig tool system
CN101616774B (zh) 夹具
US8033024B2 (en) Pipe cutter
JPH0721281Y2 (ja) 切断角度可変丸鋸装置
US20070280795A1 (en) Pocket Hole Jig Tool System
US4971122A (en) Fence and fence position adjusting mechanism in joint machine
JP2015136789A (ja) 管状及び円形断面の対象物を操作するための装置
US6615696B2 (en) Oval manway facing machine
JP6768458B2 (ja) 卓上切断機
KR101465848B1 (ko) 카운터-래칫을 갖는 조립용 수동식 플라이어
KR102408496B1 (ko) 반도체 공정용 배관 어댑터 체결장치
JPH0547353B2 (ko)
WO2011015158A1 (zh) 切割机
KR102374473B1 (ko) 클램핑 장치
US5383382A (en) Saw table with releasable locking device
US2771103A (en) Fence for the work-supporting table of a power tool
GB2311485A (en) Tile cutter of hole cutting type
WO2023075727A1 (en) Sample cutting machine for grp pipes
JP2008290238A (ja) 直角位置決め装置、ロッキングプライヤーとｆクランプ
JP2002013510A (ja) メカニカルクランプ
JP6830797B2 (ja) 卓上切断機
WO2004091851A1 (ja) クランプ装置
JP4672393B2 (ja) 皿取り加工装置
JP2753213B2 (ja) 鉄道レール切断機

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant