KR102395800B1 - Flexible Cover Window with Complex Pattern - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플렉시블 커버 윈도우에 관한 것으로서, 플렉시블 디스플레이의 평면 영역에 대응하여 형성된 평면부와, 상기 평면부에 이어져 형성되며, 플렉시블 디스플레이의 폴딩 영역에 대응하여 형성된 폴딩부를 포함하는 플렉시블 커버 윈도우에 있어서, 상기 글래스 기판 상에 충격 보상용 패턴과, 상기 충격 보상용 패턴에 중첩되어 형성된 나노패턴으로 이루어진 복합패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 커버 윈도우 및 그 제조방법을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 글래스 기판 상에 스케일이 서로 다른 충격 보상용 패턴과 나노패턴으로 이루어진 복합패턴을 형성하여, 표면 스크래치를 개선시키고, 충격력을 분산시켜 내충격성을 개선시키고, 강도 특성 및 폴딩 특성이 확보된 플렉시블 커버 윈도우를 제공하는 것이다.The present invention relates to a flexible cover window, comprising: a flat portion formed to correspond to the flat area of a flexible display; A flexible cover window and a method for manufacturing the same, characterized in that a composite pattern comprising a pattern for impact compensation and a nano-pattern superimposed on the pattern for impact compensation is formed on the glass substrate, and a method for manufacturing the same. As a result, a composite pattern consisting of a pattern for impact compensation and a nano-pattern with different scales is formed on the glass substrate to improve surface scratches, disperse impact force to improve impact resistance, and flexible with strength characteristics and folding characteristics It provides a cover window.

Description

복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우{Flexible Cover Window with Complex Pattern}Flexible Cover Window with Complex Pattern

본 발명은 플렉시블 커버 윈도우에 관한 것으로, 글래스 기판 상에 복합패턴을 구현하여, 표면을 개선시키고, 충격력을 분산시켜 강도 특성 및 폴딩 특성이 확보된 플렉시블 커버 윈도우에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible cover window, and to a flexible cover window in which strength characteristics and folding characteristics are secured by implementing a composite pattern on a glass substrate, improving the surface, and dispersing impact force.

최근 전기, 전자 기술들이 급속도로 발전하고, 새로운 시대적 요구 및 다양한 소비자들의 요구에 맞춰 다양한 형태의 디스플레이 제품이 나오고 있으며, 그 중 화면을 접고 펼칠 수 있는 플렉시블 디스플레이에 대한 연구가 활발한 실정이다.In recent years, electrical and electronic technologies are rapidly developing, and various types of display products are emerging to meet the needs of the new era and the needs of various consumers.

플렉시블 디스플레이의 경우, 기본적으로 접히는 것에서부터 출발하여 구부리고 말고 늘리는 형태로 연구가 진행되고 있으며, 디스플레이 패널뿐만 아니라 이를 보호하기 위한 커버 윈도우 또한 플렉시블하게 형성되어야 한다.In the case of a flexible display, research is being conducted in the form of basically bending, rolling, and stretching starting from folding, and a cover window for protecting the display panel as well as the display panel must be formed to be flexible.

이러한 플렉시블한 커버 윈도우는 기본적으로 유연성이 좋아야 하며, 반복적인 폴딩에도 폴딩 부위에 자국이 발생하지 않아야 하고, 그에 따른 화질의 왜곡이 없어야 한다.Such a flexible cover window should basically have good flexibility, and should not cause marks on the folding part even when repeatedly folding, and there should be no distortion of image quality.

기존의 플렉시블 디스플레이의 커버 윈도우는 디스플레이 패널 표면에 PI나 PET 필름과 같은 고분자 필름을 사용하여 왔다.For the cover window of the existing flexible display, a polymer film such as PI or PET film has been used on the surface of the display panel.

그러나, 고분자 필름의 경우 기계적 강도가 약해 단순히 디스플레이 패널의 스크래치를 방지하는 역할을 할 뿐 내충격성에 취약하고, 낮은 투과율을 갖는 단점이 있으며, 비교적 고가로 알려져 있다.However, in the case of a polymer film, the mechanical strength is weak, and it merely serves to prevent scratches on the display panel, but it is weak in impact resistance, has low transmittance, and is known to be relatively expensive.

또한, 이러한 고분자 필름의 경우 디스플레이의 폴딩 횟수가 많아질수록 폴딩 부위에 자국이 남게 되면서 접히게 되는 부분의 손상을 초래하게 된다. 예컨대 폴딩 한계 평가(통상 20만회) 시 고분자 필름의 눌림이나 찢김이 발생하고 있다.In addition, in the case of such a polymer film, as the number of folds of the display increases, marks are left on the foldable portion, resulting in damage to the foldable portion. For example, pressing or tearing of the polymer film occurs during the evaluation of the folding limit (normally 200,000 times).

최근에는 고분자 필름의 커버 윈도우에 대한 한계를 극복하고자 글래스 기반의 커버 윈도우에 대한 다양한 연구가 이루어지고 있다.Recently, various studies on glass-based cover windows have been made in order to overcome the limitations of polymer film cover windows.

이러한 글래스 기반의 커버 윈도우의 경우 폴딩 특성을 만족하면서, 화면의 왜곡이 없고, 터치펜 등의 반복적인 접촉, 일정 압력에도 충분한 강도를 가져야 하는 기본 요구 물성이 요구되고 있다.In the case of such a glass-based cover window, basic required properties such as satisfying folding characteristics, no screen distortion, and sufficient strength even in repeated contact with a touch pen and constant pressure are required.

이러한 커버 윈도우의 강도 특성을 만족시키기 위해서는 글래스가 일정 두께 이상이어야 한 반면에, 폴딩 특성을 만족하기 위해서는 글래스가 일정 두께 이하이어야 하므로, 강도 특성을 만족하면서 폴딩 특성을 만족하고, 또한 화면의 왜곡이 없는 최적의 커버 윈도우 두께 및 구조에 대한 연구가 필요하다.In order to satisfy the strength characteristics of the cover window, the glass must have a certain thickness or more, whereas to satisfy the folding characteristics, the glass must be less than a certain thickness. Research on the optimal cover window thickness and structure is required.

또한, 글래스가 일정 두께 이하일 경우 강화 글래스 고유의 질감이 저하되기 때문에 이러한 점도 고려하여야 한다.In addition, since the inherent texture of tempered glass is deteriorated when the glass is less than a certain thickness, this point must be taken into consideration.

따라서 강화 글래스 고유의 질감은 유지하면서, 강도를 확보할 수 있는 적정 두께는 유지하고, 동시에 폴딩 특성 또한 만족하는 커버 윈도우를 제공하기 위한 기술이 필요한 실정이다.Accordingly, there is a need for a technology for providing a cover window that maintains the inherent texture of tempered glass, maintains an appropriate thickness for securing strength, and at the same time satisfies folding characteristics.

또한, 박판 글래스의 사용으로 인한 글래스 표면의 스크래치 제거를 위한 공정이 매우 번거롭고 어려워 고품질의 커버 윈도우의 제공이 어려운 실정이다.In addition, it is difficult to provide a high-quality cover window because the process for removing scratches on the glass surface due to the use of thin glass is very cumbersome and difficult.

박판의 글래스를 이용한 커버 윈도우의 강도 특성 및 폴딩 특성을 만족시키기 위해서, 종래에는 글래스 상에 특정 패턴을 형성하는 시도가 이루어지고 있다.In order to satisfy the strength characteristics and folding characteristics of a cover window using thin glass, an attempt has been made to form a specific pattern on the glass in the prior art.

이러한 박판의 글래스에 패턴을 형성하기 위한 공정으로 포토리소그래피 공정이 주로 이루어지고 있으나, 박판의 글래스를 다루는 것이 매우 어렵고, 광 패터닝 공정의 경우 노광 해상도의 한계, 이미지 분해능의 제약이 있어 미세 패턴의 구현이 어려운 실정이다.The photolithography process is mainly performed as a process for forming a pattern on such a thin glass plate, but it is very difficult to handle the thin plate glass, and in the case of the optical patterning process, there are limitations in exposure resolution and image resolution. This is a difficult situation.

대한민국 특허청 공개번호 10-2017-0122554호(폴더블 디스플레이 장치).Korean Patent Office Publication No. 10-2017-0122554 (foldable display device).

본 발명은 상기 필요성에 의해 고안된 것으로서, 글래스 기판 상에 복합패턴을 형성하여, 표면을 개선시키고, 충격력을 분산시켜 강도 특성 및 폴딩 특성이 확보된 고품질의 플렉시블 커버 윈도우의 제공을 그 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a high-quality flexible cover window in which strength characteristics and folding characteristics are secured by forming a composite pattern on a glass substrate, improving the surface, and dispersing impact force.

상기 목적을 달성하기 위해 플렉시블 디스플레이의 평면 영역에 대응하여 형성된 평면부와, 상기 평면부에 이어져 형성되며, 플렉시블 디스플레이의 폴딩 영역에 대응하여 형성된 폴딩부를 포함하는 플렉시블 커버 윈도우에 있어서, 상기 글래스 기판 상에 충격 보상용 패턴과, 상기 충격 보상용 패턴에 중첩되어 형성된 나노패턴으로 이루어진 복합패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 커버 윈도우를 또 다른 기술적 요지로 한다.In order to achieve the above object, in a flexible cover window comprising a flat portion formed to correspond to a flat area of a flexible display, and a folding portion formed to be connected to the flat portion and formed to correspond to a folding area of the flexible display, the glass substrate Another technical subject is a flexible cover window, characterized in that a composite pattern comprising a pattern for impact compensation and a nano-pattern superimposed on the pattern for impact compensation is formed.

본 발명은 플렉시블 커버 윈도우에 관한 것으로서, 글래스 기판 상에 스케일이 서로 다른 충격 보상용 패턴과 나노패턴으로 이루어진 복합패턴을 형성하여, 충격력을 분산시켜 내충격성을 개선시키고, 강도 특성 및 폴딩 특성이 확보된 플렉시블 커버 윈도우에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible cover window, and by forming a composite pattern consisting of a pattern for impact compensation and a nano-pattern having different scales on a glass substrate to disperse the impact force to improve impact resistance, and to secure strength and folding properties It relates to a flexible cover window.

특히 이종 폴리머 구조체의 상분리 현상을 이용한 나노패터닝 공정으로부터 충격 보상용 패턴이 형성된 글래스 기판 상에 나노패턴을 형성하는 것으로서, 나노패턴의 형성 및 제어가 용이한 장점이 있다. In particular, as a nanopattern is formed on a glass substrate on which a pattern for impact compensation is formed from a nanopatterning process using a phase separation phenomenon of a heterogeneous polymer structure, there is an advantage in that the formation and control of the nanopattern is easy.

이와 같이, 글래스 기판 상에 복합패턴을 포함하는 폴딩부 또는 폴딩부 및 평면부를 구현함으로써, 펜드랍(Pen-Drop) 충격 시에 충격이 분산되어 펜드랍에 대한 강성을 증가시켜, 강도 특성 및 폴딩 특성을 동시에 만족시키게 된다.As described above, by implementing the folding part or the folding part and the flat part including the composite pattern on the glass substrate, the impact is dispersed during pen-drop impact to increase the rigidity against the pen-drop, and strength characteristics and folding characteristics are satisfied at the same time.

또한 본 발명은 복합패턴 형성에 따른 글래스 기판 표면에서의 스크래치를 개선하여 고품질의 플렉시블 커버 윈도우를 제공하게 된다.In addition, the present invention provides a high-quality flexible cover window by improving scratches on the surface of a glass substrate according to the formation of a composite pattern.

또한, 본 발명은 글래스와 수지재와의 복합 재료로 구현되어, 글래스의 질감은 최대한 유지하면서 수지재에 의한 유연성, 복원력, 탄성력 및 강도 특성은 보강되도록 하며, 특히 수지재에서 펜드랍과 같은 충격을 흡수하여 내충격성을 더욱 개선시키고 복합패턴이 외부 시인되지 않도록 하는 복합 재료로 구현된 플렉시블 커버 윈도우를 제공하도록 한 것이다.In addition, the present invention is implemented as a composite material of glass and resin material, so that flexibility, restoring force, elasticity and strength characteristics by the resin material are reinforced while maintaining the texture of the glass as much as possible. It is intended to provide a flexible cover window implemented with a composite material that further improves impact resistance by absorbing and prevents the composite pattern from being visually recognized from the outside.

도 1 내지 도 6 - 본 발명의 다양한 실시예에 따른 플렉시블 커버 윈도우의 제조방법을 나타낸 모식도.
도 7 내지 도 9 - 본 발명의 다양한 실시예에 따른 플렉시블 커버 윈도우에 대한 모식도를 나타낸 도.
도 10 - 본 발명의 일실시예에 따른 플렉시블 커버 윈도우 표면에 대한 전자현미경 사진을 나타낸 도.
1 to 6 - A schematic diagram showing a method of manufacturing a flexible cover window according to various embodiments of the present invention.
7 to 9 - A view showing a schematic diagram of a flexible cover window according to various embodiments of the present invention.
10 - A view showing an electron micrograph of the surface of the flexible cover window according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 플렉시블 커버 윈도우에 관한 것으로서, 글래스 기판 상에 스케일이 서로 다른 충격 보상용 패턴과 나노패턴으로 이루어진 복합패턴을 형성하여, 표면 스크래치를 개선시키고, 충격력을 분산시켜 내충격성을 개선시키고, 강도 특성 및 폴딩 특성이 확보된 플렉시블 커버 윈도우에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible cover window, and by forming a composite pattern consisting of a pattern for impact compensation and a nano-pattern having different scales on a glass substrate to improve surface scratches, disperse impact force, improve impact resistance, and strength It relates to a flexible cover window with secured characteristics and folding characteristics.

특히 본 발명은 일반적인 건식 또는 습식 식각 공정에 의해 글래스 기판 상에 규칙 또는 불규칙적인 충격 보상용 패턴을 형성하고, 이종 폴리머 구조체 간의 상분리를 이용하여 나노패턴을 구현하여, 스크래치를 개선시키고, 충격력을 더욱 효과적으로 분산시켜 강도 특성 및 폴딩 특성이 확보되는 플렉시블 커버 윈도우 및 그 제조방법에 관한 것이다.In particular, the present invention forms a pattern for regular or irregular impact compensation on a glass substrate by a general dry or wet etching process, and implements a nanopattern using phase separation between heterogeneous polymer structures to improve scratches and further increase impact force It relates to a flexible cover window in which strength characteristics and folding characteristics are secured by effectively dispersing, and a method for manufacturing the same.

즉, 글래스 기판의 폴딩부 또는 폴딩부 및 평면부에 복합패턴을 구현함으로써, 스크래치 점유율을 낮추고, 펜드랍 충격 시에 충격이 분산되도록 하여 펜드랍에 대한 강성을 증가시켜, 강도 특성 및 폴딩 특성을 동시에 만족시키도록 하는 것이다.That is, by implementing a composite pattern on the folding part or the folding part and the flat part of the glass substrate, the share of scratches is lowered and the impact is dispersed during pendrop impact to increase the rigidity against the pendrop, thereby improving the strength and folding characteristics. at the same time to satisfy.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명하고자 한다. 도 1 내지 도 6은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 플렉시블 커버 윈도우의 제조방법을 나타낸 모식도이고, 도 7 내지 도 9는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 플렉시블 커버 윈도우에 대한 모식도를 나타낸 것이다. 도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 플렉시블 커버 윈도우 표면에 대한 전자현미경 사진을 나타낸 도이다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 to 6 are schematic views showing a method of manufacturing a flexible cover window according to various embodiments of the present invention, and FIGS. 7 to 9 are schematic views showing a flexible cover window according to various embodiments of the present invention. 10 is a view showing an electron micrograph of the surface of the flexible cover window according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 도면에서의 스케일은 설명의 편의를 위해 과장되거나 확대되어 표현될 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다.The scale in the drawings of the present invention may be expressed exaggerated or enlarged for convenience of description, but is not limited thereto.

도시된 바와 같이 본 발명에 따른 플렉시블 커버 윈도우(100)의 제조방법은, 플렉시블 디스플레이의 평면 영역에 대응하여 형성된 평면부(P)와, 상기 평면부(P)에 이어져 형성되며, 플렉시블 디스플레이의 폴딩 영역에 대응하여 형성된 폴딩부(F)를 포함하는 플렉시블 커버 윈도우의 제조방법에 있어서, 글래스 기판(110)을 제공하는 제1단계와, 상기 글래스 기판(110) 상에 이종 폴리머 구조체를 포함하는 폴리머층을 형성하는 제2단계와, 상기 폴리머층에 포함된 이종 폴리머 구조체 간의 상분리를 유도하는 제3단계와, 상기 상분리가 된 폴리머층 중에서 어느 하나의 폴리머 구조체를 선택적으로 제거하여 상기 글래스 기판(110) 상에 잔존 폴리머 구조체로 이루어진 마스크패턴층을 형성하는 제4단계 및 상기 마스크패턴층을 식각 마스크로 하여 상기 평면부(P) 및 폴딩부(F) 전 영역에 나노패턴(122)을 형성하는 제5단계를 포함하며, 상기 제1단계에서 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판(110)이 제공되거나, 상기 제5단계의 나노패턴(122) 형성 후 상기 글래스 기판(110)에 충격 보상용 패턴(121)을 형성하여, 상기 글래스 기판(110) 상에 충격 보상용 패턴(121)과, 상기 충격 보상용 패턴(121)에 중첩되어 형성된 나노패턴(122)으로 이루어진 복합패턴(120)을 형성하는 것을 특징으로 하는 복합패턴(120)이 구현된 플렉시블 커버 윈도우의 제조방법을 기술적 요지로 한다.As shown, the manufacturing method of the flexible cover window 100 according to the present invention includes a flat portion (P) formed to correspond to the flat area of the flexible display, and the flat portion (P) connected to, and folding of the flexible display A method of manufacturing a flexible cover window including a folding part (F) formed to correspond to a region, the method comprising: a first step of providing a glass substrate (110); and a polymer including a heterogeneous polymer structure on the glass substrate (110) A second step of forming a layer, a third step of inducing phase separation between the heterogeneous polymer structures included in the polymer layer, and selectively removing any one of the polymer structures from the phase-separated polymer layers to obtain the glass substrate 110 ) of the fourth step of forming a mask pattern layer made of a residual polymer structure on the surface and using the mask pattern layer as an etching mask to form a nanopattern 122 in the entire area of the flat portion P and the folding portion F a fifth step, wherein the glass substrate 110 on which the pattern 121 for impact compensation is formed in the first step is provided, or the glass substrate 110 is impacted after the nanopattern 122 is formed in the fifth step A compensating pattern 121 is formed to form a composite pattern 120 including a shock compensating pattern 121 on the glass substrate 110 and a nanopattern 122 superimposed on the shock compensating pattern 121 . ) as a technical gist of the manufacturing method of the flexible cover window in which the composite pattern 120 is implemented, characterized in that the forming.

본 발명에서 디스플레이의 폴딩 영역은 디스플레이가 반으로 접히는 영역이나 구부려지는 영역을 말하며, 이 영역에 대응되어 커버 윈도우(100)가 폴딩되는 영역을 본 발명에서는 커버 윈도우(100)의 "폴딩부"(F)라 하며, 폴딩부(F)를 제외한 평면 영역을 커버 윈도우(100)의 "평면부"(P)라고 한다.In the present invention, the folding area of the display refers to an area in which the display is folded or bent in half, and the area in which the cover window 100 is folded corresponding to this area is referred to as the "folding part" of the cover window 100 in the present invention ( It is referred to as F), and a flat area excluding the folding portion F is referred to as a “planar portion” (P) of the cover window 100 .

특히 본 발명은 글래스 기반으로 형성되며, 상기 폴딩부(F)는 상기 평면부(P)와 동일한 평면으로 형성되어 동일한 물리적, 화학적 성질을 가지거나, 상기 평면부(P)에 대해 물리적 또는 화학적 추가 공정을 수행하여 그 형상, 두께, 물리적 또는 화학적 성질이 다르게 형성될 수 있다.In particular, the present invention is formed based on glass, and the folding part (F) is formed on the same plane as the plane part (P) and has the same physical and chemical properties, or physical or chemical addition to the plane part (P) By performing the process, the shape, thickness, physical or chemical properties may be formed differently.

바람직하게는 상기 폴딩부(F)는 상기 평면부(P)에 비해 두께가 얇게 슬리밍(Slimming)되어 형성되는 것이 바람직하며, 대체적으로 상기 커버 윈도우(100)의 평면부(P)의 두께는 50~300㎛이고, 상기 폴딩부(F)의 두께는 10~100㎛ 정도로, 매우 얇은 박판의 글래스를 가공하여 폴딩부(F)를 형성하는 것이다.Preferably, the folding portion F is formed by slimming to a thinner thickness than the flat portion P. In general, the thickness of the flat portion P of the cover window 100 is 50 ~300㎛, the thickness of the folding portion (F) is about 10 ~ 100㎛, to form a folding portion (F) by processing a very thin glass plate.

여기에서 상기 폴딩부(F)는 두께가 균일하게 형성되거나, 폴딩 영역의 중심에서 바깥쪽으로 갈수록 두께가 점차적으로 두껍게 형성될 수 있다. 즉, 폴딩부(F)는 직선 또는 곡선 형태로 형성될 수 있다.Here, the folding portion F may have a uniform thickness or may be formed to gradually increase in thickness from the center of the folding area toward the outside. That is, the folding part F may be formed in a straight or curved shape.

상기 폴딩부(F)가 직선 형태로 형성된 경우에는 곡선 형태로 형성된 기술에 비해 폴딩 특성을 더욱 개선시킨 것으로, 폴딩부(F)가 곡선 형태인 경우 최소 두께의 범위가 상대적으로 작아 폴딩이 반복되게 되면 두께가 두꺼운 부분에서 폴딩 시 깨지는 등 폴딩 특성이 저하되게 되나, 폴딩부(F)가 전체적으로 두께가 균일하게 즉, 두께가 동일하게 직선 형태로 형성된 경우에는 최소 두께를 이루는 영역이 넓게 형성되어 유연성, 복원력 및 탄성력 등이 향상되어 폴딩 특성을 개선시키게 된다.When the folding part (F) is formed in a straight shape, folding characteristics are further improved compared to the technology formed in a curved shape. When folded, the folding characteristics are deteriorated, such as cracking when folded in a thick part, but when the folding part (F) has a uniform thickness as a whole, that is, when it is formed in a straight shape with the same thickness, the area making the minimum thickness is formed widely and flexible , restoring force and elasticity are improved to improve folding characteristics.

또한, 곡선형 폴딩부(F)는 기구적으로 조립시 센터를 맞추는 것이 용이하지 않으나, 본 발명에 따른 폴딩부(F)는 두께가 균일하게 형성되어, 기구적으로 조립시 즉 디스플레이 패널의 전면에 접합시 조립공차를 줄일 수 있어 제품 간 품질 차이를 최소화할 수 있으며, 불량률을 줄일 수 있게 된다.In addition, it is not easy to align the center of the curved folding part (F) when assembling mechanically, but the folding part (F) according to the present invention has a uniform thickness, so that when assembling mechanically, that is, the front surface of the display panel It is possible to reduce the assembly tolerance when joining to the product, thereby minimizing the quality difference between products and reducing the defect rate.

상기와 같이 직선형 폴딩부(F)의 장점이 곡선형 폴딩부(F)에 비해 더 많으나, 제품의 사양에 따라 직선형 폴딩부(F) 또는 곡선형 폴딩부(F)를 선택하여 제조할 수 있다.As described above, the advantages of the straight folding part (F) are more than those of the curved folding part (F), but it can be manufactured by selecting the straight folding part (F) or the curved folding part (F) according to the specifications of the product. .

여기에서, 상기 폴딩부(F)의 폭은 커버 윈도우(100)를 접었을 때의 곡률반경을 고려하여 설계되게 되는데, 대략적으로 곡률반경 x π로 설정되게 되며, 상기 폴딩부(F)에서의 커버 윈도우(100)의 두께는 10~100㎛로 형성되고, 이는 폴딩부(F)와 관련되게 된다.Here, the width of the folding part (F ) is designed in consideration of the radius of curvature when the cover window 100 is folded. The thickness of the window 100 is formed in a range of 10 to 100 μm, which is related to the folding part (F).

상기 폴딩부(F)의 깊이가 너무 깊게 되면 즉, 커버 윈도우(100)의 폴딩 영역이 너무 얇으면 폴딩성은 좋지만 강화시 주름이 생기거나 강도는 불리해지고, 너무 두껍게 형성된 경우에는 폴딩 영역에서의 유연성, 복원력 및 탄성력이 떨어지게 되어 폴딩 특성이 저하되게 되므로, 상기 폴딩부(F)에서의 커버 윈도우(100)의 두께는 10~100㎛ 정도가 적당하다.If the depth of the folding part F is too deep, that is, if the folding area of the cover window 100 is too thin, foldability is good, but wrinkles or strength are disadvantageous during reinforcement, and when it is formed too thickly, flexibility in the folding area , the restoring force and the elastic force are reduced, so that the folding characteristics are deteriorated, the thickness of the cover window 100 in the folding part (F) is suitable about 10 ~ 100㎛.

본 발명에서의 커버 윈도우(100)는 글래스 기반으로 두께 50~300㎛ 정도로 형성되며, 이 두께에서, 상기와 같이 폴딩부(F)의 폭 및 깊이 등을 적절히 설계하게 된다. 상기 두께보다 얇으면 폴딩부(F)의 형성 후 커버 윈도우(100)의 폴딩 영역의 두께가 너무 얇게 되어 상기와 같은 문제점이 발생하게 되고, 상기 두께보다 두꺼워도 상기와 같이 글래스 기반으로 유연성, 복원력 및 탄성력이 떨어지게 되며, 디스플레이 제품의 경량화에 지장을 초래하게 된다.The cover window 100 in the present invention is formed with a thickness of about 50 to 300 μm on a glass basis, and at this thickness, the width and depth of the folding part F are appropriately designed as described above. If it is thinner than the thickness, the thickness of the folding area of the cover window 100 becomes too thin after the formation of the folding part F, and thus the above problems occur. And the elasticity is lowered, which causes trouble in reducing the weight of the display product.

본 발명의 일실시예로 상기 폴딩부(F)와 상기 평면부(P)가 동일한 평면을 이루거나, 다른 실시예로 상기 커버 윈도우(100)의 폴딩 영역에서 내측으로 슬리밍(Slimming)된 형태로 전체적으로 사각의 트렌치(Trench) 형태로 형성된 것으로, 상기 폴딩부(F)의 양측단에는 상기 폴딩부(F)에서 두께가 점진적으로 두꺼워지는 경사부를 형성시켜 상기 커버 윈도우(100)의 평면 영역으로 이어지도록 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the folding part F and the flat part P form the same plane, or in another embodiment, in the form of being slimmed inward in the folding area of the cover window 100 It is formed in a rectangular trench (Trench) shape as a whole, and at both ends of the folding part (F), inclined parts whose thickness is gradually increased in the folding part (F) are formed to lead to the planar area of the cover window (100). It can be formed to be

특히 폴딩부(F)의 양측단(평면부(P)와의 경계부)에 기울기가 낮은 경사부를 형성시켜 폴딩부(F) 전 영역에서 반사면에 의한 반사각의 크기를 비슷하게 조절하여 빛의 간섭 및 반사면에서의 육안 시인성이 최소화될 수 있도록 하는 것이다.In particular, by forming a slope with a low inclination on both ends (the boundary with the flat part P) of the folding part F, the size of the reflection angle by the reflective surface is similarly adjusted in the entire area of the folding part F to prevent light interference and anti-reflection. This is to minimize the visual visibility on the slope.

본 발명은 폴딩 특성 및 강도 특성이 유지되도록 하여, 디스플레이 패널의 전면에 형성되어 디스플레이 패널을 보호하는 용도로 사용되게 되며, CPI(Clear Polyimide) 커버 위에 배치되어 CPI 커버 보호용으로도 사용할 수 있다.The present invention is formed on the front surface of the display panel to protect the display panel by maintaining the folding characteristics and strength characteristics, and is disposed on the CPI (clear polyimide) cover to protect the CPI cover.

이와 같이 본 발명은 글래스 기반으로 형성되며, 플렉시블 디스플레이에 적용될 수 있도록 박판이면서도 강도 특성 및 폴딩 특성이 확보된 플렉시블 커버 윈도우(100)를 제공하고자 하며, 특히 표면 스크래치 개선, 충격력 분산으로 강도 특성 및 폴딩 특성이 보강된 플렉시블 커버 윈도우(100)를 제공하기 위한 것으로, 상기 폴딩부(F) 또는 상기 평면부(P) 및 폴딩부(F) 전 영역에 복합패턴(120)을 형성하는 것을 특징으로 한다.As described above, the present invention is formed on a glass basis and intends to provide a flexible cover window 100 that has strength characteristics and folding characteristics while being thin so that it can be applied to a flexible display. In order to provide a flexible cover window 100 with reinforced characteristics, it is characterized in that the composite pattern 120 is formed in the entire area of the folding part (F) or the flat part (P) and the folding part (F). .

이러한 본 발명에 따른 글래스 기판(110) 상에 복합패턴(120)을 제조하기 위한 방법으로, 도 1 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 먼저 글래스 기판(110)을 제공한다(제1단계).As a method for manufacturing the composite pattern 120 on the glass substrate 110 according to the present invention, as shown in FIGS. 1 to 6 , the glass substrate 110 is first provided (first step).

상기 글래스 기판(110)은 가공되지 않은 원판 글래스, 강화처리된 글래스 또는 상기 폴딩부(F)가 슬리밍 가공되거나, 상기 폴딩부(F)에 특정 패턴이 형성된 글래스 등 제품 사양 등에 맞춰 준비한다.The glass substrate 110 is prepared according to product specifications, such as unprocessed raw glass, tempered glass, slimming processing of the folding part F, or glass having a specific pattern formed on the folding part F, and the like.

본 발명은 크게 두가지 실시예에 따른 제조방법에 의해 진행될 수 있다. 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판(110) 상에 나노패턴(122)을 형성하여 복합패턴(120)이 구비된 플렉시블 커버 윈도우를 제공하거나, 또는 나노패턴(122)이 형성된 글래스 기판(110) 상에 충격 보상용 패턴(121)을 형성하여 복합패턴(120)이 구비된 플렉시블 커버 윈도우를 제공하는 공정으로 진행될 수 있다.The present invention can be largely carried out by the manufacturing method according to two embodiments. A flexible cover window provided with a composite pattern 120 is provided by forming a nanopattern 122 on the glass substrate 110 on which the pattern 121 for impact compensation is formed, or a glass substrate on which the nanopattern 122 is formed ( The process of providing the flexible cover window provided with the composite pattern 120 by forming the pattern 121 for impact compensation on the 110 ) may proceed.

먼저, 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판(110) 상에 나노패턴(122)을 형성하는 공정에 대해 먼저 설명하고자 한다.First, a process of forming the nanopattern 122 on the glass substrate 110 on which the pattern 121 for impact compensation is formed as shown in FIGS. 1 to 3 will be described first.

상기 충격 보상용 패턴(121)은 글래스 기판(110)을 건식 또는 습식 식각하여 주기적 또는 비주기적인 패턴을 연속적으로 형성하는 것으로, 상기 폴딩부(F) 또는 상기 평면부(P) 및 폴딩부(F) 전영역에 형성되며, 상기 글래스 기판(110)의 두께에 대해 절반 이하로 형성되는 것이 바람직하다.The impact compensation pattern 121 continuously forms periodic or aperiodic patterns by dry or wet etching the glass substrate 110, and includes the folding part F or the flat part P and the folding part ( F) It is formed over the entire region, and is preferably formed to be less than half the thickness of the glass substrate 110 .

일반적으로 글래스 재질을 이용하여 플렉시블 커버 윈도우(100)를 구현하고자 하는 경우, 글래스 기판(110)의 두께가 얇아야 하고 강도 특성을 확보하기 위해서는 일정 두께 이상이어야 한다.In general, when the flexible cover window 100 is to be implemented using a glass material, the thickness of the glass substrate 110 should be thin, and a predetermined thickness or more to secure strength characteristics.

예컨대 폴딩 시 곡률반경이 최소 0.5mm 이상을 만족하여야 하는 경우, 커버 윈도우(100)의 두께는 200㎛ 이하, 바람직하게는 20~100㎛로 형성될 수 있으며, 이 경우 펜드랍(Pen-Drop)과 같이 단면적이 좁은 물체가 상기 글래스 기판(110)의 상면(앞면)에 충격이 가해지는 경우, 펜드랍 접촉부를 중심으로 글래스 기판(110) 전체의 변형 및 파손이 가해질 수 있다.For example, when the radius of curvature must satisfy at least 0.5 mm or more during folding, the thickness of the cover window 100 may be 200 μm or less, preferably 20 to 100 μm, in this case, a Pen-Drop When an object with a narrow cross-sectional area, such as the one shown above, is impacted on the upper surface (front) of the glass substrate 110 , deformation and damage to the entire glass substrate 110 may be applied centered on the pendrop contact portion.

기존의 슬리밍된 폴딩 영역을 갖는 커버 윈도우(100)의 경우, 그 부분의 두께가 특히 얇아 펜드랍 특성이 매우 취약할 뿐만 아니라, 폴딩 영역과 평면 영역 간의 두께 차이로 인한 응력 차이가 발생하여 글래스 기판(110)의 웨이브니스(Waveness) 등의 문제가 함께 플러스되어, 내충격성에 매우 취약한 단점이 있다.In the case of the existing cover window 100 having a slimmed folding area, the thickness of the portion is particularly thin, so pendrop characteristics are very weak, and a stress difference occurs due to the difference in thickness between the folding area and the planar area, so that the glass substrate (110) The problem such as waveness (Waveness) is added together, there is a disadvantage that is very vulnerable to impact resistance.

본 발명은 상기의 펜드랍 특성 개선을 통한 내충격성 향상, 그와 동시에 폴딩 특성 및 강도 특성을 향상시키기 위해 충격 보상용 패턴(121)을 글래스 기판(110)의 일면 또는 양면에 부분적 또는 전체적으로 즉, 폴딩부(F) 또는 평면부(P) 및 폴딩부(F)에 형성할 수 있다.The present invention provides a pattern 121 for impact compensation on one or both surfaces of the glass substrate 110, partially or wholly, in order to improve impact resistance through the improvement of pendrop characteristics and, at the same time, improve folding characteristics and strength characteristics. It may be formed in the folding part (F) or the flat part (P) and the folding part (F).

즉, 글래스 기판(110) 상에 펜드랍 충격이 가해지는 경우, 그 충격력은 상기 글래스 기판(110)의 내부로 전달되어 충격 보상용 패턴(121)에 부딪히거나 흡수되어 그 충격력이 분산되거나 흡수될 수 있도록 하는 것이다.That is, when a pendrop impact is applied to the glass substrate 110 , the impact force is transmitted to the inside of the glass substrate 110 and collides with or is absorbed by the impact compensation pattern 121 , so that the impact force is dispersed or absorbed. to make it possible

또한 본 발명은 슬리밍된 폴딩부를 형성하지 않고도, 글래스 기판(110) 전체적으로 형성된 충격 보상용 패턴(121)에 의해 폴딩 특성을 보강할 수 있으며, 슬리밍된 폴딩부와 평면부와의 두께 차이로 인한 응력 차이를 해소할 수 있어, 이에 따른 내충격성을 향상시키고, 화면 왜곡이나 해상도 저하를 최소화할 수 있어 고품질의 플렉시블 디스플레이를 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention, the folding characteristics can be reinforced by the impact compensation pattern 121 formed entirely on the glass substrate 110 without forming the slimmed folding part, and stress due to the difference in thickness between the slimmed folding part and the flat part It is possible to resolve the difference, thereby improving impact resistance, and minimizing screen distortion or resolution degradation, thereby providing a high-quality flexible display.

그리고 본 발명에서의 충격 보상용 패턴(121)의 높이는 상기 글래스 기판(110)의 두께에 대해 절반 이하로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, in the present invention, the height of the pattern 121 for impact compensation is preferably formed to be less than half the thickness of the glass substrate 110 .

상기의 범위보다 높이가 더 낮은 경우, 충격력 분산의 효과가 미미하며, 이보다 더 높은 경우에는 유효 두께의 감소로 전체적인 강도 특성을 저하시키게 된다.When the height is lower than the above range, the effect of impact force dispersion is insignificant, and when it is higher than this, the overall strength characteristics are deteriorated due to a decrease in the effective thickness.

또한 상기 폴딩부(F)에 형성된 충격 보상용 패턴(121)의 패턴 밀집도와 상기 평면부(P)에 형성된 충격 보상용 패턴(121)의 패턴 밀집도는 동일하거나 거의 비슷하게 형성될 수 있다.In addition, the pattern density of the shock compensation pattern 121 formed on the folding part F and the pattern density of the shock compensation pattern 121 formed on the flat part P may be the same or substantially similar.

또한 필요에 의해 상기 폴딩부(F)에 형성된 충격 보상용 패턴(121)의 패턴 밀집도가 상기 평면부(P)에 형성된 충격 보상용 패턴(121)의 패턴 밀집도보다 더 조밀하게 형성될 수도 있다.Also, if necessary, the pattern density of the shock compensation pattern 121 formed on the folding part F may be formed more densely than the pattern density of the shock compensation pattern 121 formed on the flat part P.

구체적으로는 상기 평면부(P)에 형성된 충격 보상용 패턴(121)의 패턴 밀집도가 전체 글래스 기판(110)에 대해 10~50% 정도의 밀집도로 형성되었다면, 상기 폴딩부(F)에 형성된 충격 보상용 패턴(121)의 패턴 밀집도는 이와 같거나 거의 비슷하게 형성되거나, 이보다 높은 20~70% 정도의 밀집도로 형성될 수 있다.Specifically, if the pattern density of the impact compensation pattern 121 formed on the flat portion P is about 10 to 50% with respect to the entire glass substrate 110, the impact formed on the folding portion F The pattern density of the compensation pattern 121 may be the same or substantially similar to this, or may be formed at a density of about 20 to 70% higher than this.

상기 범위보다 상기 폴딩부(F)에 형성되는 충격 보상용 패턴(121)의 밀집도가 더 높게 되면 강도가 저하될 수 있으므로, 상기의 범위 내에서 패턴 밀집도를 형성하는 것이 바람직하다.If the density of the impact compensation pattern 121 formed on the folding part F is higher than the above range, the strength may be lowered. Therefore, it is preferable to form the pattern density within the above range.

이는 폴딩부(F)에서의 폴딩 특성을 더욱 보완하면서 충격력의 분산 효과를 더욱 증진시키기 위한 것이다.This is to further enhance the effect of dispersing the impact force while further supplementing the folding characteristics in the folding part (F).

그리고, 상기 폴딩부(F)에 형성된 충격 보상용 패턴(121)의 패턴의 높이와 상기 평면부(P)에 형성된 충격 보상용 패턴(121)의 패턴의 높이가 같거나 거의 비슷하게 형성될 수 있다.In addition, the height of the pattern of the shock compensation pattern 121 formed on the folding part (F) and the height of the pattern of the shock compensation pattern 121 formed on the flat part (P) may be the same or almost the same. .

또한, 필요에 의해 상기 폴딩부(F)에 형성된 충격 보상용 패턴(121)의 패턴의 높이가 상기 평면부(P)에 형성된 충격 보상용 패턴(121)의 패턴의 높이보다 더 낮게 형성할 수 있다.In addition, if necessary, the height of the pattern of the shock compensation pattern 121 formed on the folding part (F) may be lower than the height of the pattern of the shock compensation pattern 121 formed on the flat part (P). there is.

즉, 상기 폴딩부(F)에서는 패턴의 밀집도가 더 높은 대신 패턴의 높이를 더 낮게 형성하여 펜드랍 특성과 강도 특성을 동시에 개선시키면서, 더불어 폴딩 특성 또한 개선시킬 수 있도록 하는 것이다.That is, in the folding part (F), the pattern density is higher, but the pattern height is formed to be lower, so that the pendrop characteristics and the strength characteristics can be improved at the same time, and the folding characteristics can also be improved.

이러한 상기 충격 보상용 패턴(121)은, 구형, 각뿔, 원뿔, 다각 기둥, 원기둥 형상 중 어느 하나 이상의 패턴이 규칙 또는 불규칙적으로 형성될 수 있으며, 각 패턴의 높이 또한 다양하게 형성되어, 상기 글래스 기판(110) 내부로 전달되는 충격력의 분산이 효과적으로 이루어지도록 한다.In the shock compensation pattern 121, any one or more patterns of a spherical shape, a pyramidal shape, a cone shape, a polygonal pillar shape, and a cylindrical shape may be formed regularly or irregularly, and the height of each pattern may also be varied, so that the glass substrate. (110) to effectively distribute the impact force transmitted to the inside.

또한, 상기 충격 보상용 패턴(121)의 패턴은 내측 수평단면적보다 외측 수평단면적이 더 넓게 형성된 것으로서, 즉 글래스 기판(110)의 뒷면에 가까울수록 수평단면적이 더 넓게 형성되어 상기 글래스 기판(110) 내부로 전달된 충격력이 외부로 효과적으로 발산되도록 하는 것이다.In addition, the pattern of the shock compensation pattern 121 has a larger outer horizontal cross-sectional area than the inner horizontal cross-sectional area, that is, the closer to the rear surface of the glass substrate 110, the wider the horizontal cross-sectional area is formed. This is to effectively dissipate the impact force transmitted to the outside.

이러한 충격 보상용 패턴(121)은 습식 에칭(Wet Etching), 레이저 패터닝(Laser Patterning), 블라스팅(Blasting), Roller Stamping 공정 중 어느 하나, 또는 레이저 패터닝 후 습식 에칭 공정, 블라스팅 후 습식 에칭 공정 및 Roller Stamping 후 습식 에칭 공정 중 어느 하나에 의해 형성될 수 있다. 여기에서, Roller Stamping 공정은 Glass Drawing Tower에서 Glass 성형시 Hot pattern roller stamping에 의해 충격 보상용 패턴(121)을 형성하는 것이다.The pattern 121 for impact compensation is wet etching, laser patterning, blasting, roller stamping, any one of, or a wet etching process after laser patterning, a wet etching process after blasting, and a roller After stamping, it may be formed by any one of the wet etching processes. Here, the roller stamping process is to form a pattern 121 for impact compensation by hot pattern roller stamping when forming glass in a glass drawing tower.

일실시예로 포토레지스트나 DFR을 상기 글래스 기판(110) 상에 형성하고, 패터닝하여 레지스트 패턴층을 형성하고, 이를 식각 마스크로 하여 습식 에칭, 레이저 패터닝, 블라스팅, Roller Stamping 공정 중 어느 하나, 또는 레이저 패터닝 후 습식 에칭, 블라스팅 후 습식 에칭 공정, Roller Stamping 후 습식 에칭 공정 중 어느 하나를 수행하여 충격 보상용 패턴(121)을 형성하는 것이다.In one embodiment, photoresist or DFR is formed on the glass substrate 110, patterned to form a resist pattern layer, and using this as an etching mask, any one of wet etching, laser patterning, blasting, and roller stamping processes, or The pattern 121 for impact compensation is formed by performing any one of a wet etching process after laser patterning, a wet etching process after blasting, and a wet etching process after roller stamping.

상기 충격 보상용 패턴(121)이 상기 평면부(P) 및 폴딩부(F) 전 영역에 형성되는 경우에는, 별도의 마스킹 얼라인 공정이 필요없으며, 상기 글래스 기판(110)의 두께에 대해 절반 이하로 형성될 수 있도록 상기의 에칭 공정 조건을 조절하여 구현한다.When the impact compensation pattern 121 is formed on the entire area of the flat portion P and the folding portion F, a separate masking alignment process is not required, and is half the thickness of the glass substrate 110 . It is implemented by controlling the above etching process conditions so that it can be formed as follows.

또한 본 발명의 다른 실시예에 따른 충격 보상용 패턴(121)은 스트라이프 패턴(Stripe Pattern) 또는 스트라이프 앤 스페이스 패턴(Stripe and Space Pattern)이 반복적으로 형성될 수 있다.In addition, in the pattern 121 for impact compensation according to another embodiment of the present invention, a stripe pattern or a stripe and space pattern may be repeatedly formed.

여기에서 상기 충격 보상용 패턴(121)은 상기 평면부(P)에 형성된 패턴과 상기 폴딩부(F)에 형성된 패턴의 간격이 동일하거나 거의 비슷하게 형성될 수 있다.Here, the pattern 121 for impact compensation may be formed so that the interval between the pattern formed on the flat portion P and the pattern formed on the folding portion F is the same or almost similar.

또한, 상기 충격 보상용 패턴(121)은 상기 평면부(P)에 형성된 패턴보다 상기 폴딩부(F)에 형성된 패턴의 간격이 더 조밀하게 형성될 수 있으며, 상기 스트라이프의 방향은 폴딩 라인을 따라 형성되도록 하여, 펜드랍 특성, 강도 특성 및 폴딩 특성을 보완할 수 있도록 한다.In addition, in the pattern 121 for impact compensation, the spacing between the patterns formed on the folding portion F may be denser than that of the pattern formed on the flat portion P, and the direction of the stripe is along the folding line. to be formed, so that the pendrop characteristics, strength characteristics and folding characteristics can be supplemented.

이와 같이 글래스 기판(110) 상에 충격 보상용 패턴(121)을 형성함으로써, 충격력을 분산시키고, 전체적으로 글래스 기판(110)의 두께는 감소하지 않았지만 유효 두께는 감소시킴으로써, 펜드랍에 대한 내충격성 개선, 폴딩 특성 및 전체적인 강도 증가 특성에 기여하게 된다.By forming the pattern 121 for impact compensation on the glass substrate 110 in this way, the impact force is dispersed, and although the thickness of the glass substrate 110 as a whole is not reduced, the effective thickness is decreased, thereby improving the impact resistance against the pendrop. , and contributes to the folding properties and overall strength-increasing properties.

그리고 상기 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판(110) 상에 이종 폴리머 구조체를 포함하는 폴리머층을 형성한다(제2단계).Then, a polymer layer including a heterogeneous polymer structure is formed on the glass substrate 110 on which the impact compensation pattern 121 is formed (second step).

상기 이종 폴리머 구조체는 서로 다른 성질을 갖는 폴리머를 둘 이상 결합 또는 혼합시켜 형성하는 것으로서, 서로 상분리가 일어나는 폴리머이면 무방하며, 특별히 한정되는 것은 아니다.The heterogeneous polymer structure is formed by bonding or mixing two or more polymers having different properties, and may be any polymer in which phase separation occurs, and is not particularly limited.

본 발명의 일실예로 상기 이종 폴리머 구조체로, 두 종류의 서로 다른 성질을 갖는 폴리머 A 블록 및 폴리머 B 블록을 포함하는 블록 공중합체 또는 폴리머 A 및 폴리머 B를 포함하는 폴리머 혼합물을 사용한다. 이러한 블록 공중합체 또는 폴리머 혼합물은 용매를 더 포함하여 용액으로 제공될 수 있다. 상기 용매는 각 폴리머에 대해서 용해도가 서로 다른 용매일 수도 있으며, 용해도가 동일한 용매일 수도 있다.In one embodiment of the present invention, as the heterogeneous polymer structure, a block copolymer including a polymer A block and a polymer B block having two different properties or a polymer mixture including polymer A and polymer B is used. Such block copolymer or polymer mixture may be provided as a solution by further including a solvent. The solvent may be a solvent having different solubility for each polymer, or a solvent having the same solubility.

먼저, 상기 블록 공중합체는 두 개 이상의 화학적으로 다른 블록들이 공유결합되어 있는 것으로, 각 블록의 화학적 성질과 블록의 길이(또는 분자량), 그리고 조성비, 어닐링 온도 등에 따라서 그 상분리 구조와 크기가 다르게 나타나게 된다.First, in the block copolymer, two or more chemically different blocks are covalently bonded, and the phase separation structure and size are different depending on the chemical properties of each block, the length (or molecular weight) of the block, and the composition ratio, annealing temperature, etc. do.

그리고 상기 폴리머 혼합물은 두 개 이상의 화학적으로 다른 폴리머들이 혼합되어 불균일계 혼합물로 형성된 것으로서, 각 폴리머의 화학적 성질, 분자량 그리고 혼합비, 어닐링 온도 등에 따라서 그 상분리 구조와 크기가 다르게 나타나게 된다. In addition, the polymer mixture is formed by mixing two or more chemically different polymers to form a heterogeneous mixture, and the phase separation structure and size are different depending on the chemical properties, molecular weight, mixing ratio, annealing temperature, etc. of each polymer.

특히, 상기 블록 공중합체 또는 폴리머 혼합물을 이루는 상기 폴리머 A와 폴리머 B는 서로 다른 성질 즉, 비상용성을 가지고 있다. 예컨대 상기 폴리머 A와 폴리머 B는 각각의 화학 구조의 차이로 인해 서로 다른 용해도를 가질 수 있다. 이에 의해 어느 하나의 폴리머로 이루어지는 상이 다른 종류의 폴리머로 이루어지는 상보다 용해도가 높아 어느 하나의 폴리머를 선택적으로 용이하게 제거가 가능하게 된다.In particular, the polymer A and the polymer B constituting the block copolymer or polymer mixture have different properties, that is, incompatibility. For example, the polymer A and the polymer B may have different solubility due to a difference in their respective chemical structures. As a result, the phase made of any one polymer has higher solubility than the phase made of another type of polymer, so that any one polymer can be selectively and easily removed.

구체적으로는, 상기 블록 공중합체는, 스티렌 또는 그 유도체로부터 유도되는 폴리머 A 블록과 아크릴산에스테르로부터 유도되는 폴리머 B 블록을 결합시킨 것을 사용한다.Specifically, as the block copolymer, a polymer A block derived from styrene or a derivative thereof and a polymer B block derived from an acrylic acid ester are combined.

예컨대, 상기 블록 공중합체는, 폴리스티렌(PS)-폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 블록 공중합체, 폴리스티렌(PS)-폴리부타디엔(PB) 블록 공중합체 및 폴리스티렌(PS)-폴리디메틸실록산(PDMS) 블록 공중합체 중 어느 하나를 바람직하게 사용할 수 있다.For example, the block copolymer is a polystyrene (PS)-polymethylmethacrylate (PMMA) block copolymer, a polystyrene (PS)-polybutadiene (PB) block copolymer, and a polystyrene (PS)-polydimethylsiloxane (PDMS) Any one of block copolymers can be used preferably.

또한 구체적으로 상기 폴리머 혼합물은, 스티렌 또는 그 유도체로부터 유도되는 폴리머 A와 아크릴산에스테르로부터 유도되는 폴리머 B를 포함하는 불균일계 혼합물일 수 있다.In addition, specifically, the polymer mixture may be a heterogeneous mixture including a polymer A derived from styrene or a derivative thereof and a polymer B derived from an acrylic acid ester.

예컨대, 상기 폴리머 혼합물은, 폴리스티렌(PS)-폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 폴리머 혼합물, 폴리스티렌(PS)-폴리부타디엔(PB) 폴리머 혼합물 및 폴리스티렌(PS)-폴리디메틸실록산(PDMS) 폴리머 혼합물 중 어느 하나를 바람직하게 사용할 수 있다.For example, the polymer mixture may include a polystyrene (PS)-polymethylmethacrylate (PMMA) polymer mixture, a polystyrene (PS)-polybutadiene (PB) polymer mixture, and a polystyrene (PS)-polydimethylsiloxane (PDMS) polymer mixture. Either one can be preferably used.

상기 폴리머층은 상기 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판(110) 상에 공지된 방법 예컨대 스핀코팅과 같은 공정에 의해 형성될 수 있으며, 상기 폴리머층을 형성하기 전에 상기 글래스 기판(110)의 표면에 중성층 처리를 먼저 수행할 수 있다.The polymer layer may be formed on the glass substrate 110 on which the impact compensation pattern 121 is formed, for example, by a process such as spin coating. A neutral layer treatment can be performed first on the surface of

상기 중성층(neutral)은 상기 글래스 기판(110) 상에 수직 구조의 상분리를 효과적으로 유도하기 위한 것으로서, 상기 이종 폴리머 구조체를 이루는 어느 폴리머와도 친화도가 높지 않고 중립적인 친화도를 제공하는 것이다.The neutral layer is for effectively inducing phase separation of the vertical structure on the glass substrate 110 , and provides a neutral affinity without high affinity with any polymer constituting the heterogeneous polymer structure.

즉, 상기 중성층 표면에서 상기 폴리머들은 대등한 친화도를 가지게 되어, 상기 글래스 기판(110) 상에 수직 구조를 이루는 상분리 구조를 형성하게 되는데 유리한 작용을 하게 된다.That is, the polymers have an equal affinity on the surface of the neutral layer, thereby advantageously forming a phase-separated structure forming a vertical structure on the glass substrate 110 .

상기 중성층은 유기물로 형성되거나, 비유기물 층으로 형성될 수 있으며, 비유기물층인 경우 표면을 이온 주입에 의한 글래스 기판의 표면을 소수성 처리함으로써, 개개의 폴리머 블록들이 수직하게 배향되도록 유도할 수 있다.The neutral layer may be formed of an organic material or an inorganic material layer. In the case of an inorganic material layer, the surface of the glass substrate may be hydrophobically treated by ion implantation to induce vertical alignment of individual polymer blocks. .

그리고, 상기 폴리머층에 포함된 이종 폴리머 구조체 간의 상분리를 유도한다(제3단계).And, it induces phase separation between the heterogeneous polymer structures included in the polymer layer (third step).

상기 블록 공중합체에서의 폴리머 블록 성분들은 자발적 재정렬에 의한 상분리 또는 어닐링(annealing)에 의해서 재정렬(reordering)되어 상분리될 수 있다. 즉, 어닐링 등에 의해서 폴리머 A 블록들이 정렬(order)된 영역 A와 폴리머 B 블록들이 정렬된 영역 B로 상분리될 수 있으며, 각 영역의 형태는 상술한 각 블록의 화학적 성질과 블록의 길이(또는 분자량), 그리고 조성비, 어닐링 온도 등에 따라서 그 상분리 구조와 크기가 다르게 나타나게 된다.Polymer block components in the block copolymer may be phase separated by reordering or phase separation by spontaneous rearrangement or annealing. That is, by annealing, etc., the region A in which the polymer A blocks are ordered and the region B in which the polymer B blocks are arranged may be phase-separated, and the shape of each region depends on the above-described chemical properties of each block and the length (or molecular weight) of each block. ), and the phase separation structure and size are different depending on the composition ratio, annealing temperature, etc.

상기 어닐링 온도는 일반적으로 블록 공중합체의 유리 전이 온도보다는 높고, 열분해 온도보다는 낮은 온도에서 수행될 수 있으며, 예컨대 100~190℃ 정도에서 수십초 내지 24시간 정도에서 수행될 수 있다.The annealing temperature is generally higher than the glass transition temperature of the block copolymer, and may be performed at a temperature lower than the thermal decomposition temperature, for example, at about 100 to 190°C, and may be performed for several tens of seconds to 24 hours.

상기 폴리머 A 블록으로 이루어진 영역 A와 폴리머 B 블록으로 이루어진 영역 B는 상술한 각각의 화학적 성질, 블록의 길이, 조성비, 어닐링 온도 등에 따라서 다양한 상분리 구조를 형성하게 되며, 이 조건들을 조정함으로써, 영역 A와 영역 B 중 어느 하나가 매트릭스(matrix)가 될 수 있고, 나머지 하나는 마스크 패턴층을 이루어 상기 매트릭스를 이루는 영역 A는 후속 공정에서 선택적으로 제거될 수 있다.Region A composed of the polymer A block and region B composed of the polymer B block form various phase-separated structures according to each of the above-described chemical properties, block length, composition ratio, annealing temperature, etc., and by adjusting these conditions, region A and region B may serve as a matrix, and the other region may constitute a mask pattern layer, and region A constituting the matrix may be selectively removed in a subsequent process.

또한, 상기 폴리머 혼합물을 이루는 폴리머 A, 폴리머 B에 의한 상분리된 영역 A와 영역 B의 경우에도 동일하게 설명될 수 있다.In addition, the case of the regions A and B phase-separated by the polymer A and the polymer B constituting the polymer mixture may be described in the same way.

여기서, 상기 블록 공중합체의 경우 상기 각각의 조건에 따라 비교적 규칙적인 영역 패턴이 구현될 수 있고, 상기 폴리머 혼합물의 경우 상기 각각의 조건에 따라 비교적 불규칙적인 영역 패턴이 구현될 수 있다.Here, in the case of the block copolymer, a relatively regular region pattern may be implemented according to each condition, and in the case of the polymer mixture, a relatively irregular region pattern may be implemented according to each condition.

이는 블록 공중합체의 경우 비상용성의 이종의 폴리머 블럭이 공유결합으로 연결되어 있어 상분리 공정을 통해 비교적 규칙적으로 각 폴리머 블록으로 이루어진 영역이 구현되게 되고, 폴리머 혼합물의 경우 비상용성의 이종의 폴리머가 혼합된 불균일계 혼합물로 상기 블록 공중합체의 경우보다 비교적 불규칙적인 영역 패턴으로 구현되게 된다.This is because in the case of a block copolymer, incompatible heterogeneous polymer blocks are covalently linked, so that a region composed of each polymer block is implemented relatively regularly through the phase separation process. As a system mixture, it is realized in a relatively irregular region pattern than in the case of the block copolymer.

이러한 이종의 폴리머 블록 또는 이종의 폴리머는, 후속 공정의 나노패턴(122) 형성을 위해 제거되는 영역을 이루는 폴리머 블록 또는 폴리머는 제거되지 않는 영역을 이루는 폴리머 블록 또는 폴리머에 대해 더 높은 용해도를 가지는 것으로, 남아 있는 폴리머 블록 또는 폴리머를 식각 마스크로 하여 패터닝이 이루어지게 된다.Such a heterogeneous polymer block or a heterogeneous polymer has higher solubility in the polymer block or polymer constituting the region in which the polymer block or polymer is not removed for the formation of the nanopattern 122 in the subsequent process. , patterning is performed using the remaining polymer block or polymer as an etch mask.

*그리고, 상기 상분리가 된 폴리머층 중에서 어느 하나의 폴리머 구조체를 선택적으로 제거하여 상기 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판(110) 상에 잔존 폴리머 구조체로 이루어진 마스크패턴층을 형성한다(제4단계).* And, by selectively removing any one of the polymer structures from the phase-separated polymer layers, a mask pattern layer made of the remaining polymer structures is formed on the glass substrate 110 on which the impact compensation pattern 121 is formed (the second step). Step 4).

상기 상분리가 된 폴리머층 중에서 어느 하나의 폴리머 구조체, 즉, 상기 영역 A와 영역 B 중 어느 하나를 제거하게 되는데, 이는 최종 형성하고자 하는 나노패턴(122)의 형상에 따라 폴리머의 종류, 분자량, 혼합비 또는 조성비, 어닐링 온도 등을 제어하여 제거되는 폴리머 구조체를 설계하게 된다.Any one of the polymer structures in the phase-separated polymer layer, that is, any one of the regions A and B, is removed, which depends on the shape of the nanopattern 122 to be finally formed, depending on the type of polymer, molecular weight, and mixing ratio. Alternatively, the polymer structure to be removed is designed by controlling the composition ratio, annealing temperature, and the like.

본 발명의 일실시예에 따르면, 폴리스티렌(PS)-폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 블록 공중합체를 이용하여 상분리를 유도한 후, PS 또는 PMMA를 선택적으로 제거할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, after phase separation is induced using a polystyrene (PS)-polymethylmethacrylate (PMMA) block copolymer, PS or PMMA may be selectively removed.

예를 들어 PMMA를 매트릭스 영역으로 설정한 경우, PS와 PMMA 간의 용해도 차이를 이용하여 습식 식각, 열분해, UV 처리 등을 통해 PMMA가 이루는 상분리 영역을 제거할 수 있다. 여기에서 열분해나 UV 처리를 수행한 경우에는 현상 공정 등에 의해 저분자량화된 PMMA를 제거하게 된다.For example, when PMMA is set as the matrix region, the phase separation region formed by PMMA can be removed through wet etching, thermal decomposition, UV treatment, etc. by using the solubility difference between PS and PMMA. Here, when thermal decomposition or UV treatment is performed, the low molecular weight PMMA is removed by a developing process or the like.

이와 같이 선택적으로 상분리된 폴리머층이 이루는 영역을 제거함으로써, 상기 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판(110) 상에 잔존 폴리머 구조체로 이루어진 마스크패턴층이 형성되게 된다.By selectively removing the region formed by the phase-separated polymer layer as described above, a mask pattern layer made of the remaining polymer structure is formed on the glass substrate 110 on which the impact compensation pattern 121 is formed.

그리고, 상기 마스크패턴층을 식각 마스크로 하여 상기 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판(110) 상에 나노패턴(122)을 형성한다(제5단계).Then, using the mask pattern layer as an etching mask, a nanopattern 122 is formed on the glass substrate 110 on which the impact compensation pattern 121 is formed (fifth step).

상기 나노패턴(122)은 상기 글래스 기판(110) 상의 충격 보상용 패턴을 따라 폴딩부, 또는 평면부(P) 및 폴딩부(F) 전영역(Total area), 필요에 따라 글래스 기판의 측면에도 형성되는 것으로서, 상기 마스크패턴층을 식각 마스크로 하여, 상기 글래스 기판(110)을 식각하여 형성하게 된다.The nanopattern 122 is formed along the impact compensation pattern on the glass substrate 110 in a folding portion, or in the total area of the flat portion P and the folding portion F, and, if necessary, also on the side surface of the glass substrate. It is formed by etching the glass substrate 110 using the mask pattern layer as an etching mask.

상기 글래스 기판(110)의 식각은 상기 마스크패턴층을 식각 마스크로 하여 물리적 또는 화학적 식각 방법에 의하며, 특히 플라즈마 에칭과 같은 건식 식각 공정을 바람직하게 수행할 수 있다.The glass substrate 110 is etched by a physical or chemical etching method using the mask pattern layer as an etching mask, and in particular, a dry etching process such as plasma etching may be preferably performed.

여기에서 도 1에 도시한 바와 같이, 상기 마스크패턴층과 글래스 기판(110)은 식각 선택비가 충분히 차이가 나도록 구현되어, 상기 마스크패턴층의 패턴에 대응하여 상기 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판(110)상에 나노패턴(122)이 형성되도록 한다.Here, as shown in FIG. 1 , the mask pattern layer and the glass substrate 110 have a sufficiently different etch selectivity, so that the impact compensation pattern 121 is formed corresponding to the pattern of the mask pattern layer. A nanopattern 122 is formed on the glass substrate 110 .

즉, 글래스 기판(110) 상에 일반적인 건식 또는 습식 식각 공정에 의한 충격 보상용 패턴(121)을 형성하고, 상기 충격 보상용 패턴(121)에 중첩되어 이종 폴리머 구조체 간의 상분리를 이용하여 나노패턴(122)을 구현하여, 상기 글래스 기판(110) 상에 복합패턴(120)을 형성하는 것이다.That is, a pattern 121 for impact compensation is formed on the glass substrate 110 by a general dry or wet etching process, and the nanopattern ( 122) to form the composite pattern 120 on the glass substrate 110 .

이러한 나노패턴(122) 형성을 위한 식각 공정에서 상기 마스크패턴층이 남아 있다면, 상기 마스크패턴층을 제거함으로써 나노패턴(122) 형성 공정이 완료되어, 충격 보상용 패턴(121)과 함께 복합패턴(120)을 이루게 된다.If the mask pattern layer remains in the etching process for forming the nanopattern 122, the nanopattern 122 forming process is completed by removing the mask pattern layer, and the composite pattern (with the pattern 121 for impact compensation) ( 120) is achieved.

또한, 상기 나노패턴(122)의 크기는, 수평 단면의 길이가 30~1000nm, 높이는 30~1000nm 인 것이 바람직하며, 상기 나노패턴(122)은 상기 충격 보상용 패턴(121)을 따라 형성되는 것으로, 상기 충격 보상용 패턴(121)의 형태(곡면, 사각 트렌치 형태, 사다리꼴 형태 등), 에칭 깊이나 싸이즈(폭)에 따라 상기 나노패턴(122)은 상기 충격 보상용 패턴(121)의 상면에만 형성되거나, 상기 충격 보상용 패턴(121)의 상면 및 측면 즉, 상기 충격 보상용 패턴(121)의 표면을 따라 형성될 수 있다.In addition, the size of the nanopattern 122 is preferably 30 to 1000nm in length and 30 to 1000nm in height of the horizontal cross section, and the nanopattern 122 is formed along the impact compensation pattern 121 . , depending on the shape (curved surface, rectangular trench shape, trapezoidal shape, etc.), etching depth or size (width) of the impact compensation pattern 121, the nanopattern 122 is only on the upper surface of the impact compensation pattern 121 It may be formed, or it may be formed along the top and side surfaces of the shock compensation pattern 121 , that is, along the surface of the shock compensation pattern 121 .

여기에서, 상기 블록 공중합체를 사용하는 경우에는 동일한 종류의 폴리머끼리 뭉친 상태로 상분리가 되므로, 폴리머의 분자량이 패턴의 크기를 결정하게 되는데, 고분자 합성 조건의 한계 때문에 100nm 이하의 나노패턴(122)을 형성하는데 유리하다.Here, in the case of using the block copolymer, since phase separation occurs in a state where polymers of the same type are agglomerated, the molecular weight of the polymer determines the size of the pattern. It is advantageous to form

그리고 폴리머 혼합물을 사용하는 경우에는 비상용성을 가지는 폴리머를 이용하여 불균일계 혼합물을 형성하게 되는 성질을 이용하는 것으로, 마스크 패턴층을 이루는 폴리머의 혼합비가 커질수록 나노패턴(122)의 싸이즈가 커지게 되며, 100nm 이상의 싸이즈를 갖는 나노패턴(122)을 형성하는데 유리하다.And when a polymer mixture is used, the property of forming a heterogeneous mixture using a polymer having incompatibility is used. As the mixing ratio of the polymer constituting the mask pattern layer increases, the size of the nanopattern 122 increases. , it is advantageous to form the nanopattern 122 having a size of 100 nm or more.

즉, 상기 블록 공중합체의 경우 100nm 이하의 나노패턴(122)의 형성에 유리하게 사용할 수 있으며, 폴리머 혼합물의 경우 100nm 이상의 나노패턴(122)의 형성에 유리하게 사용할 수 있다.That is, in the case of the block copolymer, it can be advantageously used to form the nanopatterns 122 of 100 nm or less, and in the case of the polymer mixture, it can be advantageously used to form the nanopatterns 122 of 100 nm or more.

상기 마스크패턴층의 형상에 따라 수평 단면이 원기둥 형태, 각기둥 형태 또는 스트라이프 형태 등 다양하게 형성될 수 있다. 이러한 나노패턴(122)의 형상 및 크기의 제어는 상술한 바와 같이, 상기 이종 폴리머 구조체를 이루는 폴리머 블록 또는 폴리머의 화학적 성질과 블록의 길이(또는 분자량), 그리고 조성비 또는 혼합비, 어닐링 온도 등에 따라 조절될 수 있다.Depending on the shape of the mask pattern layer, the horizontal cross section may be formed in various ways, such as a cylindrical shape, a prismatic shape, or a stripe shape. As described above, the control of the shape and size of the nanopattern 122 is controlled according to the polymer block constituting the heterogeneous polymer structure or the chemical properties of the polymer and the length (or molecular weight) of the block, and the composition ratio or mixing ratio, annealing temperature, etc. can be

또한 본 발명에 따른 나노패턴(122)은 규칙 또는 불규칙적으로 동일한 크기 또는 서로 다른 크기로 형성될 수 있으며, 이러한 패턴의 형태 및 규칙성은 상술한 바와 같이 상분리를 위한 공정에 있어서, 폴리머의 종류 및 상분리 조건을 조정함으로써 구현 가능하다.In addition, the nanopatterns 122 according to the present invention may be formed to have the same size or different sizes regularly or irregularly, and the shape and regularity of these patterns may vary depending on the type of polymer and the phase separation in the process for phase separation as described above. It can be implemented by adjusting the conditions.

즉, 상기 블록 공중합체의 경우 비교적 규칙적인 영역 패턴이 구현되고, 상기 폴리머 혼합물의 경우 비교적 불규칙적인 영역 패턴이 구현될 수 있으며, 이에 따라 블록 공중합체를 사용한 경우 비교적 규칙적인 나노패턴(122)을 구현할 수 있고, 상기 폴리머 혼합물을 사용한 경우 비교적 불규칙적인 나노패턴(122)을 구현할 수 있다. That is, in the case of the block copolymer, a relatively regular region pattern may be implemented, and in the case of the polymer mixture, a relatively irregular region pattern may be implemented. It can be implemented, and when the polymer mixture is used, a relatively irregular nanopattern 122 can be implemented.

또한, 상기 글래스 기판(110) 상에 식각 선택비가 높은 별도의 가이드패턴을 형성하여, 특정 방향으로의 상분리를 유도할 수 있으며, 이에 따라 특정 패턴의 나노패턴(122)을 유도할 수도 있다.In addition, by forming a separate guide pattern having a high etch selectivity on the glass substrate 110 , phase separation in a specific direction may be induced, and accordingly, the nanopattern 122 of a specific pattern may be induced.

한편, 상기 충격 보상용 패턴(121)은 상기 나노패턴(122)의 스케일보다는 크게 형성되는 것으로, 바람직하게는 상기 글래스 기판(110)의 두께(폴딩부 또는 평면부의 두께)의 절반 이하로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 나노패턴(122)의 크기(폭)보다는 10배 이상 크게 형성될 수 있으며, 바람직하게는 상기 충격 보상용 패턴의 폭은 10~300㎛, 더욱 바람직하게는 100~120㎛로 형성될 수 있다.Meanwhile, the impact compensation pattern 121 is formed to be larger than the scale of the nanopattern 122 , and is preferably formed to be less than half the thickness of the glass substrate 110 (thickness of the folding part or the flat part). it is preferable It may be formed to be 10 times larger than the size (width) of the nanopattern 122, and preferably, the width of the pattern for impact compensation is 10 to 300 μm, more preferably 100 to 120 μm. .

이와 같이, 글래스 기판(110) 상에 스케일이 서로 다른 두 종류의 패턴이 중첩되어 이루어진 복합패턴(120)을 형성함으로써, 펜드랍과 같은 충격력을 더욱 효과적으로 완충, 분산시킬 수 있어 강도 특성을 더욱 더 보강할 수 있으며, 또한 폴딩부에서의 폴딩 특성도 더욱 더 보강할 수 있게 한다.As described above, by forming the composite pattern 120 in which two types of patterns having different scales are superimposed on the glass substrate 110 as described above, it is possible to more effectively buffer and disperse the impact force such as a pen drop, thereby further improving the strength characteristics. It can be reinforced, and also the folding characteristics in the folding part can be further reinforced.

이렇게 상기 복합패턴(120)이 형성된 글래스 기판(110)은 필요에 따라 강화 공정을 수행하여 강도 특성이 보강되도록 할 수도 있다.In this way, the glass substrate 110 on which the composite pattern 120 is formed may be reinforced in strength by performing a strengthening process as necessary.

만약, 상기 마스크패턴층과 글래스 기판(110) 간의 식각 선택비가 충분히 차이가 나지 않는 경우에는 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 마스크패턴층이 형성된 글래스 기판(110) 상에 하드 마스크층을 형성한 후, 상기 마스크패턴층을 제거하여, 상기 하드 마스크층으로 이루어진 하드 마스크패턴층을 형성하고, 상기 하드 마스크패턴층을 식각 마스크로 하여 상기 나노패턴(122)을 형성할 수도 있다.If the etching selectivity between the mask pattern layer and the glass substrate 110 is not sufficiently different, as shown in FIG. 2 , a hard mask layer is formed on the glass substrate 110 on which the mask pattern layer is formed. Thereafter, the mask pattern layer may be removed to form a hard mask pattern layer including the hard mask layer, and the nanopattern 122 may be formed using the hard mask pattern layer as an etching mask.

즉, 상기 글래스 기판(110)과 식각 선택비를 충분히 높이기 위해 상기 글래스 기판(110) 상에 하드 마스크패턴층을 형성하는 것이다. 상기 하드 마스크패턴층으로는 식각 선택비가 높은 SiO2, SiON과 같은 재료로 형성된다.That is, in order to sufficiently increase the etch selectivity with the glass substrate 110 , a hard mask pattern layer is formed on the glass substrate 110 . The hard mask pattern layer is formed of a material such as SiO 2 and SiON having a high etch selectivity.

한편, 상기 나노패턴(122)은 상기 글래스 기판(110)의 일면 또는 양면 즉, 앞면 측 또는 뒷면 측 또는 앞, 뒷면 측 모두에 형성될 수 있으며, 상기의 폴리머층 형성 공정, 상분리 현상 유도 공정, 마스크패턴층 형성 공정 및 상기 나노패턴(122) 형성 공정을 글래스 기판(110)의 앞면 또는 뒷면에, 또는 앞면과 뒷면에 진행하여 구현할 수 있다.On the other hand, the nanopattern 122 may be formed on one or both sides of the glass substrate 110, that is, on the front side or on the back side, or on both the front and back sides, the polymer layer forming process, the phase separation induction process, The mask pattern layer forming process and the nanopattern 122 forming process may be implemented on the front or back side of the glass substrate 110 , or on the front and back sides of the glass substrate 110 .

필요에 따라 상기 나노패턴(122)은 상기 공정에 따라 상기 글래스 기판(110)의 측면에도 형성될 수 있다.If necessary, the nanopattern 122 may also be formed on the side surface of the glass substrate 110 according to the above process.

이와 같이 상기 나노패턴(122)은 상기 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판(110) 상의 전영역에 형성되거나, 필요시 폴딩부에만 또는 폴딩부 및 평면부에 형성되어 글래스 기판(110) 상에 복합패턴(120)을 구현함으로써, 글래스 기판(110) 표면에서의 스크래치를 개선시키고, 충격력을 분산시켜 내충격성을 개선시키고, 강도 특성 및 폴딩 특성이 더욱 확보된 플렉시블 커버 윈도우(100)를 제공하게 된다.As described above, the nanopattern 122 is formed over the entire area of the glass substrate 110 on which the impact compensation pattern 121 is formed, or is formed only on the folding portion or on the folding portion and the flat portion when necessary. By implementing the composite pattern 120 on the glass substrate 110, the surface of the glass substrate 110 is improved, the impact force is dispersed to improve the impact resistance, and the flexible cover window 100 has further secured strength characteristics and folding characteristics. will provide

한편, 본 발명에 따른 상기 폴딩부(F)는 상술한 바와 같이 상기 평면부(P)에 비해 두께가 얇게 형성될 수 있으며, 이와 같은 형상을 가지면서, 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판(110)의 폴딩부 또는 전영역에 본 발명에 따른 나노패턴(122)이 형성되게 된다.On the other hand, the folding part (F) according to the present invention may be formed to have a thinner thickness than the flat part (P) as described above, and while having such a shape, a glass having a pattern 121 for impact compensation is formed. The nanopattern 122 according to the present invention is formed on the folded portion or the entire region of the substrate 110 .

도 3은 슬리밍된 평면부(P)를 가지면서, 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판(110)을 이용하여 나노패턴(122)을 형성하는 공정을 나타낸 것이다.3 illustrates a process of forming the nanopattern 122 using the glass substrate 110 on which the pattern 121 for impact compensation is formed while having the slimmed flat portion P. Referring to FIG.

본 발명은 상기의 폴딩부(F)에서의 펜드랍 특성 개선을 통한 내충격성 향상, 그와 동시에 폴딩 특성 및 강도 특성을 향상시키기 위해 나노패턴(122)을 글래스 기판(110)의 일면 또는 양면에 형성하는 것으로, 펜드랍 특성에 취약한 폴딩부(F)뿐만 아니라 글래스 기판(110)의 전체적인 펜드랍 특성을 보강하기 위해 평면부(P)에도 나노패턴(122)을 형성하는 것이다.In the present invention, nanopatterns 122 are applied to one or both surfaces of the glass substrate 110 in order to improve impact resistance through improvement of pendrop characteristics in the folding part (F) and, at the same time, to improve folding characteristics and strength characteristics. By forming, the nanopatterns 122 are formed on the flat portion P to reinforce the overall pendrop characteristics of the glass substrate 110 as well as the folding portion F, which is vulnerable to the pendrop characteristics.

또한, 상기 충격 보상용 패턴(121)과 유사하게 상기 폴딩부(F)에 형성된 나노패턴(122)의 패턴 밀집도와 상기 평면부(P)에 형성된 나노패턴(122)의 패턴 밀집도가 동일하거나, 특히 두께가 얇은 폴딩부(F)에서의 펜드랍 특성을 보강하기 위해 상기 폴딩부(F)에 형성된 나노패턴(122)의 패턴 밀집도를 상기 평면부(P)에 형성된 나노패턴(122)의 패턴 밀집도보다 상대적으로 더 조밀하게 형성할 수도 있다.In addition, similarly to the pattern 121 for impact compensation, the pattern density of the nanopattern 122 formed on the folding part F is the same as the pattern density of the nanopattern 122 formed on the flat part P, or In particular, the pattern density of the nanopatterns 122 formed in the folding portion F in order to reinforce the pendrop characteristics in the thin folding portion F. The pattern of the nanopatterns 122 formed in the flat portion P. It can also be formed to be relatively denser than the density.

또한, 상기 폴딩부에 형성된 나노패턴(122)의 높이는, 상기 평면부(P)에 형성된 나노패턴(122)의 높이와 동일하거나, 특히 두께가 얇은 상기 폴딩부(F)에 형성된 나노패턴(122)의 높이가 상기 평면부(P)에 형성된 나노패턴(122)의 높이보다 더 낮게 형성될 수도 있다.In addition, the height of the nanopattern 122 formed in the folding part is the same as the height of the nanopattern 122 formed in the flat part P, or the nanopattern 122 formed in the folding part F is particularly thin. ) may be formed to be lower than the height of the nanopattern 122 formed on the planar portion P.

이는 두께가 상대적으로 얇은 폴딩부(F)에서의 폴딩 특성을 더욱 보완하면서 충격력의 분산 효과를 더욱 증진시키기 위한 것이다.This is to further enhance the effect of dispersing the impact force while further supplementing the folding characteristics of the relatively thin folding part (F).

이에 의해 상기 글래스 기판(110)의 앞면(터치면)으로부터 전달된 충격력은 글래스 기판(110)의 내부로 전달되어 상기 복합패턴(120)에 의해 그 충격력이 분산되거나 흡수될 수 있도록 한 것이다.Accordingly, the impact force transmitted from the front surface (touch surface) of the glass substrate 110 is transmitted to the inside of the glass substrate 110 so that the impact force can be dispersed or absorbed by the composite pattern 120 .

그리고, 도 4 내지 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제조방법으로, 나노패턴(122)이 형성된 글래스 기판(110) 상에 충격 보상용 패턴(121)을 형성하여 복합패턴(120)이 구비된 플렉시블 커버 윈도우를 제공하는 것이다.4 to 8 show the composite pattern 120 by forming the impact compensation pattern 121 on the glass substrate 110 on which the nanopattern 122 is formed in a manufacturing method according to another embodiment of the present invention. It is to provide a flexible cover window provided.

본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉시블 커버 윈도우의 제조방법은, 글래스 기판(110)을 제공하는 제1단계와, 상기 글래스 기판(110) 상에 이종 폴리머 구조체를 포함하는 폴리머층을 형성하는 제2단계와, 상기 폴리머층에 포함된 이종 폴리머 구조체 간의 상분리를 유도하는 제3단계와, 상기 상분리가 된 폴리머층 중에서 어느 하나의 폴리머 구조체를 선택적으로 제거하여 상기 글래스 기판(110) 상에 잔존 폴리머 구조체로 이루어진 마스크패턴층을 형성하는 제4단계 및 상기 마스크패턴층을 식각 마스크로 하여 상기 평면부 및 폴딩부 전 영역에 나노패턴(122)을 형성하는 제5단계를 포함하며, 상기 제5단계의 나노패턴(122) 형성 후 상기 글래스 기판(110)에 충격 보상용 패턴(121)을 형성하여, 상기 글래스 기판(110) 상에 충격 보상용 패턴(121)과, 상기 충격 보상용 패턴(121)에 중첩되어 형성된 나노패턴(122)으로 이루어진 복합패턴(120)을 형성하는 것을 특징으로 한다.A method of manufacturing a flexible cover window according to another embodiment of the present invention includes a first step of providing a glass substrate 110 , and a second step of forming a polymer layer including a heterogeneous polymer structure on the glass substrate 110 . A third step of inducing phase separation between the heterogeneous polymer structures included in the polymer layer, and selectively removing any one polymer structure from among the phase-separated polymer layers to form a polymer structure remaining on the glass substrate 110 . A fourth step of forming a mask pattern layer made of After the nanopattern 122 is formed, a pattern 121 for impact compensation is formed on the glass substrate 110 , and a pattern 121 for impact compensation and the pattern 121 for impact compensation on the glass substrate 110 are formed. It is characterized in that the composite pattern 120 made of the nano-pattern 122 superimposed on the formed surface is formed.

상기 제1단계 내지 제5단계는 상술한 바와 같이 첫번째 실시예에 따른 제조방법과 매우 유사하게 진행된다. 즉, 첫번째 제조방법에 따른 실시예는 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판 상에 나노패턴(122)을 형성하는 것이고, 두번째 제조방법에 따른 실시예는 표면에 아무런 패턴이 형성되지 않은 글래스 기판, 또는 슬리밍된 폴딩부가 형성된 글래스 기판, 또는 슬리밍된 폴딩부에 소정의 패턴이 형성된 글래스 기판 등에 먼저 나노패턴(122)을 형성하는 것이다.The first to fifth steps are performed very similarly to the manufacturing method according to the first embodiment as described above. That is, in the embodiment according to the first manufacturing method, the nanopattern 122 is formed on the glass substrate on which the pattern 121 for impact compensation is formed, and in the embodiment according to the second manufacturing method, no pattern is formed on the surface of the glass. The nanopattern 122 is first formed on a substrate, a glass substrate on which a slimmed folding part is formed, or a glass substrate on which a predetermined pattern is formed on the slimmed folding part.

상기 나노패턴(122)의 형성공정은 상기 제1단계 내지 제5단계와 동일, 유사하게 진행되므로, 상세한 설명은 생략하기로 한다.Since the formation process of the nanopattern 122 proceeds in the same manner as in the first to fifth steps, a detailed description thereof will be omitted.

도 4에 도시한 바와 같이 나노패턴(122)이 형성된 글래스 기판(110) 상에 충격 보상용 패턴(121)을 형성하기 위한 일실시예로, 포토레지스트나 DFR을 상기 글래스 기판(110) 상에 형성하고, 패터닝하여 레지스트 패턴층을 형성한다.As shown in FIG. 4 , in an embodiment for forming the pattern 121 for impact compensation on the glass substrate 110 on which the nanopattern 122 is formed, photoresist or DFR is applied on the glass substrate 110 . formed and patterned to form a resist pattern layer.

이를 식각 마스크로 하여 습식 에칭, 레이저 패터닝, 블라스팅, Roller Stamping 공정 중 어느 하나, 또는 레이저 패터닝 후 습식 에칭, 블라스팅 후 습식 에칭 공정, Roller Stamping 후 습식 에칭 공정 중 어느 하나를 수행하여 충격 보상용 패턴(121)을 형성하는 것이다.Using this as an etching mask, any one of wet etching, laser patterning, blasting, and roller stamping processes, or wet etching after laser patterning, wet etching after blasting, or wet etching after roller stamping 121) is formed.

그 후 잔존하는 레지스트 패턴층을 제거함으로써, 충격 보상용 패턴(121)과 나노패턴(122)이 복합적으로 형성된 복합패턴(120)이 형성된 플렉시블 커버 윈도우를 제공하게 된다.Thereafter, by removing the remaining resist pattern layer, the flexible cover window in which the composite pattern 120 in which the pattern 121 for impact compensation and the nano-pattern 122 are compositely formed is provided.

*상술한 바와 같이 충격 보상용 패턴의 형태(곡면, 사각 트렌치 형태, 사다리꼴 형태 등), 에칭 깊이나 싸이즈에 따라 상기 나노패턴은 상기 충격 보상용 패턴의 상면에만 형성되거나, 상기 충격 보상용 패턴의 상면 및 측면 즉, 상기 충격 보상용 패턴의 표면을 따라 형성될 수 있다.* As described above, depending on the shape of the pattern for impact compensation (curved surface, rectangular trench shape, trapezoidal shape, etc.), the etching depth or size, the nano-pattern is formed only on the upper surface of the impact compensation pattern, or of the impact compensation pattern It may be formed along the upper surface and the side surface, that is, the surface of the impact compensation pattern.

이와 같이 충격 보상용 패턴(121)이 형성된 글래스 기판(110) 상에 나노패턴(122)을 중첩형성하여 복합패턴(120)을 구현함으로써, 글래스 기판(110) 표면의 스크래치를 개선할 수 있게 된다. 특히 일반적으로 박판의 글래스 기판(110)의 스크래치 발생 점유율은 24% 정도이나 본 발명에 따른 패턴 형성 과정에 의해 스크래치 발생 점유율이 0.4% 수준으로 개선되어, 고품질의 커버 윈도우(100)를 제공할 수 있게 된다.As described above, by superimposing the nanopattern 122 on the glass substrate 110 on which the pattern 121 for impact compensation is formed to implement the composite pattern 120 , it is possible to improve scratches on the surface of the glass substrate 110 . . In particular, in general, the share of the occurrence of scratches of the thin glass substrate 110 is about 24%, but the share of occurrence of scratches is improved to the level of 0.4% by the pattern forming process according to the present invention, so that it is possible to provide a high-quality cover window 100 . there will be

도 7은 본 발명의 일실시예로, 상기 글래스 기판(110)의 양면에 충격 보상용 패턴(121)에 중첩된 나노패턴(122)으로 이루어진 복합패턴(120)이 형성된 것을 도시한 것이다.7 illustrates a composite pattern 120 including a nanopattern 122 superimposed on an impact compensation pattern 121 on both sides of the glass substrate 110 according to an embodiment of the present invention.

한편 본 발명에 따른 복합패턴(120)이 형성된 글래스 기판(110)의 일면 또는 양면에 투명수지층(130)을 더 형성하여, 디스플레이 패널의 전면(Total Surface)에 빈 공간없이 접합되도록 하면서 접합성을 개선시키는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the transparent resin layer 130 is further formed on one or both sides of the glass substrate 110 on which the composite pattern 120 according to the present invention is formed, so as to be bonded to the total surface of the display panel without empty space, and to improve bonding properties. characterized by improvement.

상기 복합패턴(120)이 형성된 글래스 기판(110) 상에 투명수지층(130)이 충진되어, 전체적으로 두께가 균일한 커버 윈도우(100)를 제공하게 되며, 충격력을 흡수하고, 디스플레이 패널의 전면에 접합시 빈 공간(공기층)이 존재하지 않도록 하여 시인성 및 접합성이 개선되도록 한다.The transparent resin layer 130 is filled on the glass substrate 110 on which the composite pattern 120 is formed, to provide the cover window 100 with a uniform thickness as a whole, to absorb the impact force, and to be applied to the front surface of the display panel. When bonding, an empty space (air layer) is not present, so that visibility and bonding are improved.

상기 투명수지층(130)은 글래스의 굴절율(1.5)과 거의 동일한 OCR(Optical Clear Resin)과 같은 투명 수지를 사용하며, 예컨대 아크릴, 에폭시, 실리콘, 우레탄, 우레탄합성물, 우레탄아크릴 합성물, 하이브리드졸겔, 실록산계 등을 사용할 수 있다. 상기 투명수지층(130)의 성질에 따라 이를 다양한 조합으로 혼합하여 강도 및 탄성 보강을 위해 사용될 수 있다.The transparent resin layer 130 uses a transparent resin such as OCR (Optical Clear Resin) that is almost the same as the refractive index (1.5) of glass, for example, acrylic, epoxy, silicone, urethane, urethane compound, urethane acrylic compound, hybrid sol gel, A siloxane type, etc. can be used. According to the properties of the transparent resin layer 130, it may be mixed in various combinations to enhance strength and elasticity.

상기 투명수지층(130)은 제품 사양에 따라 단일층 또는 다층으로 동일 또는 다른 소재로 형성될 수 있으며, 상기 글래스 기판(110)의 앞면 측 및 뒷면 측에 형성되거나, 상기 글래스 기판(110)의 앞면 측, 뒷면 측 및 측면의 전면(Total Surface)에 형성될 수 있다. 도 8은 글래스 기판(110)의 뒷면 측에 복합패턴(120)이 형성되고, 그 상층에 투명수지층(130)이 형성된 것을 도시한 것이고, 도 9는 슬리밍된 폴딩부(F)가 형성된 글래스 기판(110)의 뒷면 측에 복합패턴(120)이 형성되고, 그 상층에 투명수지층(130)이 형성된 것을 도시한 것이다.The transparent resin layer 130 may be formed of the same or different materials as a single layer or multiple layers according to product specifications, and may be formed on the front side and the back side of the glass substrate 110 or of the glass substrate 110 . It may be formed on the front side, the back side, and the front side (Total Surface). 8 shows that the composite pattern 120 is formed on the back side of the glass substrate 110 and the transparent resin layer 130 is formed on the upper layer, and FIG. It shows that the composite pattern 120 is formed on the back side of the substrate 110, and the transparent resin layer 130 is formed on the upper layer.

상기 글래스 기판(110)의 뒷면 측에 형성된 투명수지층과 상기 글래스 기판(110)의 앞면 측에 형성된 투명수지층은 동일한 소재로 형성되거나, 상기 글래스 기판(110)의 뒷면 측에 형성된 투명수지층이 상기 글래스 기판(110)의 앞면 측에 형성된 투명수지층보다 상대적으로 더 소프트(Soft)한 소재로 형성될 수도 있다.The transparent resin layer formed on the back side of the glass substrate 110 and the transparent resin layer formed on the front side of the glass substrate 110 are formed of the same material, or a transparent resin layer formed on the back side of the glass substrate 110 . It may be formed of a relatively softer material than the transparent resin layer formed on the front side of the glass substrate 110 .

이는 사용자가 터치하는 부분에 상대적으로 하드(hard)한 소재로 투명수지층을 형성함으로써, 내구성이 유지되도록 한다.This allows the durability to be maintained by forming a transparent resin layer with a relatively hard material on the part touched by the user.

또한, 이는 인폴딩 또는 아웃폴딩 방식에 따라 폴딩되어 접혀지는 쪽은 더 하드한 소재로 형성시키고, 늘어나는 부분은 상대적으로 소프트한 소재로 형성시켜, 늘어지는 부분에서의 크랙을 최소화할 수 있도록 한 것이다.In addition, according to the in-folding or out-folding method, the folded side is made of a harder material, and the stretched part is formed of a relatively soft material, so that cracks in the sagging part can be minimized. .

또한 본 발명의 다른 실시예로, 복합패턴이 형성된 글래스 기판의 앞면 측에 완충수지층이 형성되고, 상기 완충수지층 상에 커버 글래스 기판이 형성될 수도 있다. 즉, 글래스 기판 사이에 완충수지층이 형성되고, 뒷면 측의 글래스 기판 상에는 복합패턴이 형성된 것이다.In another embodiment of the present invention, a buffer resin layer may be formed on the front side of the glass substrate on which the composite pattern is formed, and a cover glass substrate may be formed on the buffer resin layer. That is, a buffer resin layer is formed between the glass substrates, and a composite pattern is formed on the glass substrate on the back side.

이에 의해 앞면 측에 충격이 가해지는 경우 상기 완충수지층에 의해 1차적으로 충격력이 흡수되고, 상기 복합패턴에 의해 2차적으로 충격력을 흡수할 수 있도록 하는 것이다.Accordingly, when an impact is applied to the front side, the impact force is primarily absorbed by the buffer resin layer, and the impact force can be absorbed secondarily by the composite pattern.

이 경우 전체적으로 커버 글래스 기판 및 글래스 기판의 두께는 더 얇게 형성되어도 무방하며, 펜드랍에 대한 내충격성 개선, 폴딩 특성 및 전체적인 강도를 증가 시키게 된다.In this case, the overall thickness of the cover glass substrate and the glass substrate may be made thinner, and the impact resistance to pendrops is improved, the folding characteristics and overall strength are increased.

상기 투명수지층이 형성된 본 발명은 글래스와 수지재와의 복합 재료로 구현되어 글래스의 질감은 최대한 유지하면서 수지재에 의한 유연성, 복원력, 탄성력 및 강도 특성은 보강되도록 한다.The present invention in which the transparent resin layer is formed is implemented as a composite material of glass and a resin material, so that the flexibility, restoring force, elasticity and strength characteristics of the resin material are reinforced while maintaining the texture of the glass as much as possible.

특히 본 발명은 상기 글래스 기판 상에 복합패턴을 형성하고, 상기 투명수지층을 형성함으로써, 펜드랍에 대한 충격력을 더욱 분산 또는 흡수시켜 내충격성을 더욱 개선시키게 된다.In particular, in the present invention, by forming a composite pattern on the glass substrate and forming the transparent resin layer, the impact force on the pendrop is further dispersed or absorbed to further improve the impact resistance.

또한, 폴딩부에서의 크랙 발생을 최소화하고, 상기 복합패턴의 형태가 외부에서 시인되는 것을 방지하면서, 디스플레이 패널과 접하는 부분의 평탄도(Flatness)가 확보될 수 있도록 하는 것이다.In addition, the occurrence of cracks in the folding part is minimized, and the shape of the composite pattern is prevented from being visually recognized from the outside, and flatness of a portion in contact with the display panel can be secured.

또한, 디스플레이 패널에 접하는 면에서는 커버 윈도우에 탄성력을 보강하여 내충격성이 향상되도록 하며, 글래스가 깨졌을 때 비산을 방지하는 기능을 하게 된다.In addition, on the surface in contact with the display panel, the impact resistance is improved by reinforcing the elastic force on the cover window, and it functions to prevent scattering when the glass is broken.

또한 상기 커버 윈도우의 일면 또는 양면에는 기능성 코팅층이 더 형성될 수 있다. 상기 기능성 코팅층은 상술한 투명수지층과 같이 투명한 소재로 형성되며, 다양한 성질을 가지는 수지를 합성하여 기능성이 부여되도록 한다.In addition, a functional coating layer may be further formed on one or both surfaces of the cover window. The functional coating layer is formed of a transparent material like the above-described transparent resin layer, and by synthesizing resins having various properties, functionality is imparted.

상기 기능성 코팅층은 상기 복합패턴 상에 투명수지층이 형성된 경우에 그 상층에 형성될 수 있다. 이는 스프레이, 딥핑, 스핀 코팅 등 공지의 수지 코팅 방법으로 형성할 수 있다.The functional coating layer may be formed on the upper layer when the transparent resin layer is formed on the composite pattern. It can be formed by a known resin coating method such as spraying, dipping, or spin coating.

상기 기능성 코팅층은 단일층 또는 다층으로 형성될 수 있으며, 상기 커버 윈도우 앞면에 형성된 기능성 코팅층은 강도 보강층으로 구현되고, 상기 커버 윈도우 뒷면에 형성된 기능성 코팅층은 탄성 보강층으로 구현될 수 있다.The functional coating layer may be formed as a single layer or multiple layers, the functional coating layer formed on the front surface of the cover window may be implemented as a strength reinforcing layer, and the functional coating layer formed on the back surface of the cover window may be implemented as an elastic reinforcing layer.

상기 커버 윈도우 앞면의 강도 보강층(Hard Coating)의 경우 경화되었을 때 상대적으로 경도가 높은 수지 예컨대 아크릴이나 에폭시 같은 수지의 함량이 높은 것을 사용하며, 상기 커버 윈도우 뒷면의 탄성 보강층(Soft Coating)의 경우 경화되었을 때 상대적으로 탄성도가 높은 수지 예컨대 실리콘, 우레탄 합성수지 등의 함량이 높게 하여 사용한다. 또한 유무기 하이브리드졸겔에서 유기물 및 무기물의 함량을 조절하여 강도나 탄성을 보강하여 사용할 수 있다.In the case of the hard coating on the front surface of the cover window, a resin having a relatively high hardness when cured, for example, a resin having a high content such as acrylic or epoxy, is used, and in the case of the soft coating on the rear surface of the cover window, hardening When used, the content of a relatively high elastic resin such as silicone or urethane synthetic resin is used. In addition, by controlling the content of organic and inorganic substances in the organic-inorganic hybrid sol-gel, it can be used by reinforcing strength or elasticity.

또한, 상기 기능성 코팅층이 다층으로 형성된 경우, 상기 커버 윈도우의 앞면에 형성된 기능성 코팅층은 상층으로 갈수록 상대적으로 하드(Hard)한 소재로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, when the functional coating layer is formed in multiple layers, the functional coating layer formed on the front surface of the cover window is preferably formed of a relatively hard material toward the upper layer.

또한, 상기 기능성 코팅층 특히 최상층에 형성되는 기능성 코팅층에는 AF(Anti Finger) 또는 AR(Anti Reflective) 기능이 부여되도록 할 수 있으며, 이러한 기능을 갖는 수지를 합성하여 구현하거나, 상기 기능성 코팅층에 다양한 패턴 예컨대 moth eye와 같은 패턴을 형성하여 구현할 수도 있다.In addition, the functional coating layer, particularly the functional coating layer formed on the uppermost layer, may be given an AF (Anti Finger) or AR (Anti Reflective) function, and may be realized by synthesizing a resin having such a function, or various patterns may be applied to the functional coating layer, for example. It can also be implemented by forming a pattern like moth eye.

이와 같이 본 발명에 따른 커버 윈도우는 기본적으로 박판의 글래스 기판의 사용에 따른 강도 및 탄성을 보강하기 위해 기능성 코팅층을 추가로 형성한 것으로, 외부 충격, 터치펜의 압력에 의해서도 커버 윈도우를 보호할 수 있도록 한다.As described above, the cover window according to the present invention is basically a functional coating layer additionally formed to reinforce the strength and elasticity according to the use of a thin glass substrate, and the cover window can be protected even by an external impact or the pressure of the touch pen. let it be

또한 상기 기능성 코팅층은 폴딩 영역에서의 크랙 발생을 더욱 방지하며, 디스플레이 패널에 접하는 면에서는 커버 윈도우에 탄성력을 보강하여 내충격성이 향상되도록 하고, 비산 방지 기능을 하게 된다.In addition, the functional coating layer further prevents the occurrence of cracks in the folding area, and enhances the impact resistance by reinforcing the elastic force on the cover window on the surface in contact with the display panel, and functions to prevent scattering.

다음은 본 발명의 일실시예에 따른 플렉시블 커버 윈도우의 펜드랍 특성 및 폴딩 특성을 테스트한 것이다.The following is a test of pendrop characteristics and folding characteristics of the flexible cover window according to an embodiment of the present invention.

펜드랍 테스트는 Ball size 0.5mm, 중량 6.2g의 펜을 이용하였으며, 상기 글래스 기판의 앞면 측 다양한 높이에서 상기 펜을 자유 낙하하여 상기 커버 윈도우가 파손되는 높이를 측정한 것이고, 폴딩 테스트는 두 지점을 구부려 폴딩시 파손되는 순간 측정된 곡률반경(2 Point Bending R)을 측정하는 것이다.For the pen drop test, a pen having a ball size of 0.5 mm and a weight of 6.2 g was used, and the height at which the cover window is broken by free-falling the pen from various heights on the front side of the glass substrate was measured, and the folding test was performed at two points. It is to measure the radius of curvature (2 Point Bending R) measured at the moment when it is bent and broken.

본 발명의 일실시예로는 도 5에 도시한 바와 같이, 글래스 기판(두께 0.08mm)의 뒷면에 복합패턴(나노패턴의 크기 ~50nm, 나노패턴의 높이 ~50nm, 충격 보상용 패턴의 크기 ~0.02mm, 충격 보상용 패턴의 높이 ~0.02mm)을 형성하고, 그 상층에 아크릴계 투명수지층(두께 0.01mm)을 형성한 것이다.In one embodiment of the present invention, as shown in Figure 5, a composite pattern (size of the nanopattern ~50nm, the height of the nanopattern ~50nm, the size of the impact compensation pattern on the back side of the glass substrate (thickness 0.08mm) ~ 0.02mm, the height of the pattern for impact compensation ~0.02mm) is formed, and an acrylic transparent resin layer (thickness 0.01mm) is formed on the upper layer.

본 발명의 일실시예에 따른 복합패턴이 형성된 글래스 기판의 경우 2 Point Bending R 값이 평균 1.68mm로 우수한 폴딩 특성을 나타내는 것을 확인할 수 있었다.In the case of the glass substrate on which the composite pattern is formed according to an embodiment of the present invention, it was confirmed that the 2 Point Bending R value was 1.68 mm on average, indicating excellent folding characteristics.

그리고, 펜드랍 테스트는 복합패턴이 형성된 글래스 기판의 경우 평균 8cm 높이에서 펜드랍 후 파손되어, 우수한 펜드랍 특성을 나타내는 것을 확인할 수 있었다.And, in the pendrop test, it was confirmed that the glass substrate on which the composite pattern was formed was broken after the pendrop at an average height of 8 cm, showing excellent pendrop characteristics.

도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 플렉시블 커버 윈도우 표면에 대한 전자현미경 사진을 나타낸 것으로, 글래스 기판 상에 나노패턴이 형성된 것을 확인할 수 있었다.10 is an electron micrograph of a surface of a flexible cover window according to an embodiment of the present invention, and it was confirmed that a nanopattern was formed on the glass substrate.

이와 같이 본 발명에 따른 플렉시블 커버 윈도우는, 글래스 기판 상에 복합패턴을 형성하여, 표면 스크래치 점유율을 개선시키고, 충격력을 효율적으로 분산시켜 펜드랍 특성 개선에 따른 내충격성이 현저히 향상시키면서, 강도 특성 및 폴딩 특성이 확보된 플렉시블 커버 윈도우를 제공할 수 있는 것이다.As described above, the flexible cover window according to the present invention forms a composite pattern on a glass substrate to improve the surface scratch occupancy rate, and efficiently distributes the impact force to remarkably improve the impact resistance according to the improvement of the pendrop properties, while significantly improving the strength characteristics and It is possible to provide a flexible cover window with a secured folding characteristic.

100 : 커버 윈도우 110 : 글래스 기판
120 : 복합패턴 121 : 충격 보상용 패턴
122 : 나노패턴 130 : 투명수지층
P : 평면부 F : 폴딩부
100: cover window 110: glass substrate
120: composite pattern 121: shock compensation pattern
122: nano pattern 130: transparent resin layer
P: flat part F: folding part

Claims (16)

플렉시블 디스플레이의 평면 영역에 대응하여 형성된 평면부와, 상기 평면부에 이어져 형성되며, 플렉시블 디스플레이의 폴딩 영역에 대응하여 형성된 폴딩부를 포함하는 플렉시블 커버 윈도우에 있어서,
상기 플렉시블 커버 윈도우의 글래스 기판 상에 충격 보상용 패턴과, 상기 충격 보상용 패턴에 중첩되어 형성된 나노패턴으로 이루어진 복합패턴이 형성되되,
상기 충격 보상용 패턴은 규칙 또는 불규칙적으로 동일한 크기 또는 서로 다른 크기로 형성되며,
상기 나노패턴은 상기 충격 보상용 패턴에 중첩되어 규칙 또는 불규칙적으로 동일한 크기 또는 서로 다른 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
In the flexible cover window comprising: a flat portion formed corresponding to the flat area of the flexible display;
A composite pattern comprising a pattern for impact compensation and a nano-pattern formed by overlapping the pattern for impact compensation is formed on the glass substrate of the flexible cover window,
The shock compensation pattern is formed in the same size or different sizes regularly or irregularly,
The nano-pattern is overlapped with the pattern for impact compensation, and the flexible cover window with a composite pattern, characterized in that it is formed to have the same size or different sizes regularly or irregularly.
제 1항에 있어서, 상기 복합패턴은,
상기 나노패턴의 크기는 수평 단면의 길이가 30~1000nm, 높이는 30~1000nm이며,
상기 충격 보상용 패턴의 폭은 상기 나노패턴의 폭에 대해 10배 이상 큰 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
According to claim 1, wherein the composite pattern,
The size of the nanopattern is 30-1000 nm in length and 30-1000 nm in height of the horizontal section,
The width of the pattern for impact compensation is a flexible cover window implemented with a composite pattern, characterized in that 10 times or more is greater than the width of the nanopattern.
삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 충격 보상용 패턴은,
상기 폴딩부 또는 상기 평면부 및 폴딩부 전영역에 형성되며, 상기 글래스 기판의 두께에 대해 절반 이하로 형성된 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
According to claim 1, The impact compensation pattern,
A flexible cover window with a composite pattern, which is formed on the folding part or the entire area of the flat part and the folding part, and is formed to be less than half the thickness of the glass substrate.
제 1항에 있어서, 상기 충격 보상용 패턴은,
상기 글래스 기판의 일면 또는 양면에 형성되는 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
According to claim 1, The impact compensation pattern,
A flexible cover window embodying a composite pattern, characterized in that it is formed on one or both surfaces of the glass substrate.
제 1항에 있어서, 상기 폴딩부에 형성된 충격 보상용 패턴의 패턴 밀집도와 상기 평면부에 형성된 충격 보상용 패턴의 패턴 밀집도가 동일하거나,
상기 폴딩부에 형성된 충격 보상용 패턴의 패턴 밀집도가 상기 평면부에 형성된 충격 보상용 패턴의 패턴 밀집도보다 상대적으로 더 조밀한 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
The method according to claim 1, wherein the pattern density of the shock compensation pattern formed on the folding part is the same as that of the shock compensation pattern formed on the flat part, or
A flexible cover window embodying a composite pattern, characterized in that the pattern density of the shock compensation pattern formed in the folding part is relatively denser than the pattern density of the shock compensation pattern formed in the flat part.
제 1항에 있어서, 상기 폴딩부에 형성된 충격 보상용 패턴의 패턴의 높이와 상기 평면부에 형성된 충격 보상용 패턴의 패턴의 높이와 동일하거나,
상기 폴딩부에 형성된 충격 보상용 패턴의 패턴의 높이가 상기 평면부에 형성된 충격 보상용 패턴의 패턴의 높이보다 더 낮은 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
The method according to claim 1, wherein the height of the pattern for impact compensation formed on the folding part is equal to the height of the pattern for impact compensation formed on the flat part, or
A flexible cover window embodying a composite pattern, characterized in that the height of the pattern for the shock compensation pattern formed on the folding part is lower than the height of the pattern for the shock compensation pattern formed on the flat part.
제 1항에 있어서, 상기 충격 보상용 패턴은,
습식 에칭(Wet Etching), 레이저 패터닝(Laser Patterning), 블라스팅(Blasting), Roller Stamping 공정 중 어느 하나,
또는 레이저 패터닝 후 습식 에칭 공정, 블라스팅 후 습식 에칭 공정 및 Roller Stamping 후 습식 에칭 공정 중 어느 하나에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
According to claim 1, The impact compensation pattern,
Any one of Wet Etching, Laser Patterning, Blasting, and Roller Stamping processes,
Or a flexible cover window embodying a composite pattern, characterized in that it is formed by any one of a wet etching process after laser patterning, a wet etching process after blasting, and a wet etching process after roller stamping.
제 1항에 있어서, 상기 나노패턴은,
상기 폴딩부 또는 상기 평면부 및 폴딩부 전 영역에 형성되고, 이종 폴리머 구조체 간의 상분리 현상을 이용한 패터닝 공정에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
According to claim 1, wherein the nanopattern,
A flexible cover window with a composite pattern, which is formed on the folding part or the entire area of the flat part and the folding part, and implemented by a patterning process using a phase separation phenomenon between heterogeneous polymer structures.
제 9항에 있어서, 상기 이종 폴리머 구조체는,
폴리머 A 블록 및 폴리머 B 블록을 포함하는 블록 공중합체,
또는 폴리머 A 및 폴리머 B를 포함하는 폴리머 혼합물인 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
10. The method of claim 9, wherein the heterogeneous polymer structure,
a block copolymer comprising a polymer A block and a polymer B block;
Or a flexible cover window with a composite pattern, characterized in that it is a polymer mixture comprising polymer A and polymer B.
제 10항에 있어서, 상기 블록 공중합체는,
스티렌 또는 그 유도체로부터 유도되는 폴리머 A 블록과 아크릴산에스테르로부터 유도되는 폴리머 B 블록을 결합시킨 것,
또는 상기 폴리머 혼합물은,
스티렌 또는 그 유도체로부터 유도되는 폴리머 A와 아크릴산에스테르로부터 유도되는 폴리머 B를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
The method of claim 10, wherein the block copolymer,
A polymer A block derived from styrene or a derivative thereof and a polymer B block derived from an acrylic acid ester are combined;
or the polymer mixture,
A flexible cover window with a composite pattern comprising a polymer A derived from styrene or a derivative thereof and a polymer B derived from an acrylic acid ester.
제 1항에 있어서, 상기 나노패턴은,
상기 글래스 기판의 일면 또는 양면에 형성되거나,
상기 글래스 기판의 양면 및 측면에 형성되는 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
According to claim 1, wherein the nanopattern,
formed on one or both sides of the glass substrate,
A flexible cover window embodying a composite pattern, characterized in that it is formed on both sides and side surfaces of the glass substrate.
제 1항에 있어서, 상기 나노패턴이 형성된 글래스 기판은,
강화처리된 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
The glass substrate of claim 1 , wherein the glass substrate on which the nanopatterns are formed comprises:
A flexible cover window with a composite pattern implemented, characterized in that it is reinforced.
제 1항 내지 제13항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 폴딩부는,
상기 평면부에 비해 두께가 얇게 형성된 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
The method according to any one of claims 1 to 13, wherein the folding part,
A flexible cover window embodying a composite pattern, characterized in that it is formed thinner than the flat portion.
제 14항에 있어서, 상기 나노패턴이 형성된 글래스 기판의 일면 또는 양면에는 투명수지층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.15. The flexible cover window of claim 14, wherein a transparent resin layer is further formed on one or both surfaces of the glass substrate on which the nano-pattern is formed. 제 15항에 있어서, 상기 투명수지층은,
단일층 또는 다층으로 동일 또는 다른 소재로 형성된 것을 특징으로 하는 복합패턴이 구현된 플렉시블 커버 윈도우.
The method of claim 15, wherein the transparent resin layer,
A flexible cover window embodying a composite pattern, characterized in that it is formed of the same or different material as a single layer or multiple layers.
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