KR102395539B1 - A Particle Trap Apparatus for Preventing an Error Occurrence From a Measurement of a Manometer - Google Patents

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KR102395539B1
KR102395539B1 KR1020220011591A KR20220011591A KR102395539B1 KR 102395539 B1 KR102395539 B1 KR 102395539B1 KR 1020220011591 A KR1020220011591 A KR 1020220011591A KR 20220011591 A KR20220011591 A KR 20220011591A KR 102395539 B1 KR102395539 B1 KR 102395539B1
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최우형
이상우
장휘곤
권경호
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Abstract

The present invention relates to a particle trap device for preventing pressure measurement errors. The particle trap device for preventing pressure measurement errors includes: a pressure measuring means (15); a measuring conduit (12) connecting a process chamber (11) and the pressure measuring means (15); and a trapping means coupled to the measuring conduit (12), or forming part of the measuring conduit (12) and trapping particles included in fluid flowing along the measuring conduit (12).

Description

압력 측정 오차 방지를 위한 입자 트랩 장치{A Particle Trap Apparatus for Preventing an Error Occurrence From a Measurement of a Manometer}A Particle Trap Apparatus for Preventing an Error Occurrence From a Measurement of a Manometer

본 발명은 압력 측정 오차 방지를 위한 입자 트랩 장치에 관한 것이고, 구체적으로 압력계로 유입 가능한 입자를 미리 포획하여 측정 오차의 발생을 방지하는 압력 측정 오차 방지를 위한 입자 트랩 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a particle trapping device for preventing a pressure measurement error, and more particularly, to a particle trapping device for preventing a pressure measurement error from occurring by pre-trapping particles that can flow into a pressure gauge.

반도체 공정을 위한 공정 챔버의 진공도 탐지를 위하여 마노미터(Manometer)와 같은 압력계가 사용될 수 있다. 마노미터가 공정 챔버에 연결되어 공정 챔버 내부의 압력이 탐지되고 이에 기초하여 공정 과정의 진공 적합도가 판단될 수 있다. 이와 같은 기능을 가지는 마노미터는 탄성 다이아프램(elastic diaphragm)의 정전 용량을 압력으로 변환하는 구조를 가질 수 있다. 그러나 에칭 또는 이와 유사한 공정 과정에서 공정 부산물로 인한 탄성 다이아프램의 특성 변형으로 인하여 측정 오류가 발생될 수 있다. 구체적으로 공정 과정에서 발생되어 챔버 내부에 부유하는 입자가 측정 도관을 따라 유동되어 탄성 다이아프램에 부착되어 탄성 특성을 변형시킬 수 있고 이로 인하여 마노미터의 측정에 오류를 발생시킬 수 있다. 이와 관련하여 미국특허번호 US 6,451,159는 플라즈마 기기에서 압력을 측정하는 방법에 대하여 개시한다. 또한 미국특허번호 US 6,901,808은 기체 압력의 측정을 위한 전기 용량 마노미터에 대하여 개시한다. 탄성 다이아프램에 부착될 수 있는 입자 또는 이물질은 마노미터에 도달하기 전에 미리 제거되는 것이 유리하다. 예를 들어 입자는 챔버와 마노미터를 연결하는 측정 도관에서 미리 제거되는 것이 유리하다. 그러나 선행기술은 이와 같은 방법에 대하여 개시하지 않는다.A pressure gauge such as a manometer may be used to detect a vacuum level of a process chamber for a semiconductor process. A manometer is connected to the process chamber to detect a pressure inside the process chamber, and the vacuum suitability of the process process can be determined based on this. A manometer having such a function may have a structure that converts the capacitance of an elastic diaphragm into pressure. However, measurement errors may occur due to deformation of the properties of the elastic diaphragm due to process by-products during etching or similar processes. Specifically, particles generated during the process and floating inside the chamber may flow along the measurement conduit, attach to the elastic diaphragm, and may deform elastic properties, thereby causing an error in the measurement of the manometer. In this regard, US Patent No. 6,451,159 discloses a method for measuring pressure in a plasma device. U.S. Patent No. 6,901,808 also discloses a capacitive manometer for the measurement of gas pressure. It is advantageous if particles or foreign matter that may adhere to the elastic diaphragm are removed in advance before reaching the manometer. For example, it is advantageous if the particles are previously removed from the measuring conduit connecting the chamber and the manometer. However, the prior art does not disclose such a method.

본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.The present invention is to solve the problems of the prior art and has the following objects.

선행기술1: 미국특허번호 US 6,451,159(Lam Research Corporation, 2002.09.17. 공고) Ground Centering Ring for Inhibiting Polymer Build-up on the Diaphragm of a ManometerPrior Art 1: US Patent No. US 6,451,159 (Lam Research Corporation, 2002.09.17. Announced) Ground Centering Ring for Inhibiting Polymer Build-up on the Diaphragm of a Manometer 선행기술2: 미국특허번호 US 6,901,808(Lam Research Corporation, 2005.06.07. 공고) Capacitive Manometer Having Reduced Process DriftPrior Art 2: US Patent No. US 6,901,808 (Lam Research Corporation, published on Jun. 7, 2005) Capacitive Manometer Having Reduced Process Drift

본 발명의 목적은 공정 챔버와 압력 측정을 위한 압력 측정 수단을 연결하는 측정 도관에 배치되어 유동 입자의 포획이 가능한 압력 측정 오차 방지를 위한 입자 트랩 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a particle trap device for preventing a pressure measurement error that is disposed in a measurement conduit connecting a process chamber and a pressure measurement means for measuring pressure, and capable of trapping flowing particles.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 압력 측정 오차 방지를 위한 입자 트랩 장치는 압력 측정 수단; 공정 챔버와 압력 측정 수단을 연결하는 측정 도관; 및 측정 도관에 결합되거나, 측정 도관의 일부를 형성하면서 측정 도관을 따라 유동되는 유체에 포함된 입자를 포획하는 포획 수단을 포함한다.According to a suitable embodiment of the present invention, a particle trap device for preventing a pressure measurement error is a pressure measurement means; a measuring conduit connecting the process chamber and the pressure measuring means; and capture means coupled to the measurement conduit or forming part of the measurement conduit for capturing particles comprised in a fluid flowing along the measurement conduit.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 포획 수단은 유체의 온도를 조절하는 온도 조절 수단을 포함한다. According to another suitable embodiment of the invention, the trapping means comprises a temperature regulating means for regulating the temperature of the fluid.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 포획 수단은 입자의 포획을 위한 필터 블록을 포함한다. According to another suitable embodiment of the invention, the trapping means comprises a filter block for trapping the particles.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 필터 블록은 다수 개의 기공이 형성되면서 연속적으로 배열된 다수 개의 다공 판을 포함하고, 서로 인접하는 다공 판은 유체 이동 방향에 대하여 서로 어긋난 위치에 기공이 형성된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the filter block includes a plurality of perforated plates that are continuously arranged while forming a plurality of pores, and the perforated plates adjacent to each other have pores at positions shifted from each other with respect to the direction of fluid movement. do.

본 발명의 또 다른 실시 예에 따르면, 포획 수단은 아노다이징에 의하여 형성된 알루미늄 다공 판을 포함한다.According to another embodiment of the present invention, the trapping means comprises an aluminum perforated plate formed by anodizing.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 포획 수단은 서로 분리되어 적층된 다수 개의 다공 판 블록이 된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the catching means are a plurality of perforated plate blocks stacked separately from each other.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 냉각수의 유동을 위한 유동 블록을 포함한다.According to another suitable embodiment of the present invention, it comprises a flow block for the flow of cooling water.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 포획 수단은 다공 포획 챔버가 되고, 다공 포획 챔버는 실린더 형상으로 연장되는 포획 몸체; 및 포획 몸체의 앞쪽 면 및 뒤쪽 면을 형성하는 유입 다공 판 및 배출 다공 판으로 이루어진다.According to another suitable embodiment of the present invention, the capturing means is a perforated capturing chamber, the perforated capturing chamber comprising: a cylindrically extending capturing body; and an inlet perforated plate and an outlet perforated plate forming the front and rear faces of the capture body.

본 발명에 따른 압력 측정 오차 방지를 위한 입자 트랩 장치는 공정 챔버에 잔류하는 입자 형태의 물질이 유동되어 마노미터와 같은 압력 측정 수단에 부착되어 공정 챔버 내부의 압력 측정 오류가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 구체적으로 입자가 마노미터의 다이아프램의 전면에 부착되어 탄성 특성이 변화되어 정전 용량 방식의 압력 측정 오류가 발생되는 것이 방지될 수 있다. 본 발명에 따른 트랩은 독립적인 모듈에 만들어져 공정 챔버와 압력계 사이의 유동 경로에 설치될 수 있고 이에 의하여 이미 설치된 압력 측정 수단에 적용이 가능하다는 이점을 가진다. 본 발명에 따른 트랩은 유동 경로에 다양한 포집 경로가 형성된 필터가 형성되어 압력 측정 수단의 측정 오류가 방지되도록 하고 이에 따라 감소된 공정 드리프트 및 개선된 공정 제어 능력이 제공되도록 한다.The particle trap device for preventing a pressure measurement error according to the present invention can prevent a particle-type material remaining in the process chamber from flowing and attached to a pressure measuring means such as a manometer, thereby preventing a pressure measurement error inside the process chamber. . In detail, it is possible to prevent a capacitive pressure measurement error from occurring due to a change in elastic properties as particles are attached to the front surface of the diaphragm of the manometer. The trap according to the present invention is made in an independent module and can be installed in the flow path between the process chamber and the pressure gauge, thereby having the advantage of being applicable to the already installed pressure measuring means. In the trap according to the present invention, a filter having various collection paths is formed in the flow path to prevent measurement errors of the pressure measuring means, thereby providing reduced process drift and improved process control capability.

도 1은 본 발명에 따른 압력 측정 오차의 방지를 위한 입자 트랩 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 입자 트랩 장치의 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 입자 트랩 장치를 위한 다공 블록의 생성 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 입자 트랩 장치의 또 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 입자 트랩 장치의 또 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 입자 트랩 장치를 위한 다공 판의 생성 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 입자 트랩 장치가 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 입자 트랩 장치가 적용된 공정 챔버의 압력 측정 과정의 실시 예를 도시한 것이다.1 is a view showing an embodiment of a particle trap device for preventing a pressure measurement error according to the present invention.
2 shows another embodiment of the particle trap apparatus according to the present invention.
3 is a view showing an embodiment of a process for generating a porous block for a particle trap device according to the present invention.
4 shows another embodiment of the particle trap apparatus according to the present invention.
5 shows another embodiment of the particle trap apparatus according to the present invention.
6 shows an embodiment of a process for producing a perforated plate for a particle trap apparatus according to the present invention.
7 shows an embodiment to which the particle trap device according to the present invention is applied.
8 illustrates an embodiment of a pressure measurement process in a process chamber to which the particle trap apparatus according to the present invention is applied.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, but the embodiments are for a clear understanding of the present invention, and the present invention is not limited thereto. In the following description, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, so unless necessary for the understanding of the invention, the description will not be repeated and well-known components will be briefly described or omitted, but the present invention It should not be construed as being excluded from the embodiment of

도 1은 본 발명에 따른 압력 측정 오차의 방지를 위한 입자 트랩 장치의 실시 예를 도시한 것이다. 1 is a view showing an embodiment of a particle trap device for preventing a pressure measurement error according to the present invention.

도 1을 참조하면, 압력 측정 오차의 방지를 위한 입자 트랩 장치는 압력 측정 수단(15); 공정 챔버(11)와 압력 측정 수단(15)을 연결하는 측정 도관(12); 및 측정 도관(12)에 결합되거나, 측정 도관(12)의 일부를 형성하면서 측정 도관(12)을 따라 유동되는 유체에 포함된 입자를 포획하는 포획 수단을 포함한다.Referring to FIG. 1 , a particle trap device for preventing a pressure measurement error includes a pressure measurement means 15 ; a measuring conduit 12 connecting the process chamber 11 and the pressure measuring means 15; and trapping means coupled to, or forming part of, the measuring conduit 12 for catching particles contained in the fluid flowing along the measuring conduit 12 .

공정 챔버(11)는 예를 들어 반도체 공정을 위한 챔버가 될 수 있고, 다양한 공정 과정이 진행될 수 있다. 공정 챔버(11)에서 공정이 진행되기 전, 진행 되는 과정 또는 진행 후 내부 압력이 측정될 수 있고, 측정된 압력에 기초하여 공정 조건이 설정될 수 있다. 압력 측정 수단(15)은 예를 들어 마노미터(Manometer)가 될 수 있고, 공정 챔버(11)와 기체 유동이 가능하도록 연결될 수 있다. 압력 측정 수단(15)은 기체가 유입되는 유입 튜브(151); 기체에 의하여 가해지는 압력을 탐지하는 다이아프램과 같은 측정 막(152); 및 측정 막(152)에 가해지는 압력을 탐지하는 탐지 센서(153)을 포함할 수 있다. 압력 측정 수단(15)은 정전 용량 방식으로 작동될 수 있고, 측정 막(152)의 압력을 전기적 신호로 변환하는 방식이 될 수 있다. 공정 챔버(11)에 측정 도관(12)이 연결될 수 있고, 측정 도관(12)은 압력 측정 수단(15)과 연결될 수 있다. 측정 도관(12)이 입자의 포획을 위한 포획 수단이 배치될 수 있고, 포획 수단에 의하여 측정 도관(12)을 따라 기체와 함께 유동되는 입자(P)가 포획될 수 있다. 본 발명의 하나의 실시 예에 따르면, 포획 수단은 유체의 온도를 조절하는 온도 조절 수단이 될 수 있다. 예를 들어 온도 조절 수단은 유동 기체를 냉각시키는 냉각 수단이 될 수 있고, 측정 도관(12)을 둘러싸는 열전 소자 모듈(16) 또는 냉각 재킷이 될 수 있다. 온도 조절 수단은 측정 도관(12)의 일부를 둘러싸는 재킷 블록(13)이 될 수 있고, 재킷 블록(13)은 냉각 유체의 유동을 위한 유동 라인을 포함하거나, 열전 효과를 발생시키는 열전 소자 모듈(16)을 포함할 수 있다. 재킷 블록(13)은 예를 들어 열전도성 소재를 포함할 수 있고, 재킷 블록(13)에 냉각수 또는 냉각 기체의 유동을 위한 다양한 형태의 냉각 라인이 형성될 수 있다. 그리고 냉각 라인으로 냉각 유체가 유동되면서 유동 기체를 냉각시켜 일부가 미립자(V)로 되면서 입자(P)를 포획할 수 있고 이에 의하여 입자(P)가 압력 측정 수단(15)으로 유입되는 것이 방지될 수 있다. 또는 재킷 블록(13)은 열전 소자 모듈(16)을 포함할 수 있고, 열전 소자 모듈(16)은 열의 흡수(H_IN) 및 방출(H_OUT)을 위한 한 쌍의 절연 기판(161, 162); 한 상의 절연 기판(161, 162)의 내부에 배치되는 한 쌍의 전도 기판(165a, 165b); 및 한 쌍의 전도 기판(165a, 165b) 사이에 배치되는 N형 및 P형 반도체(163, 164)로 이루어질 수 있다. 각각의 반도체(163, 164)는 구리와 같은 전도 기판(165a, 165b)에 고정될 수 있고, 전도 기판(165a, 165b)의 바깥쪽에 세라믹 소재와 같은 절연체로 이루어지면서 열전도성이 큰 절연 기판(161, 162)이 결합될 수 있다. 각각의 반도체(163, 164)에 연결된 전극(166a, 166b)을 통하여 전력이 공급되면 하나의 전도 기판(165a)이 냉각되면서 측정 도관(12)의 내부를 따라 유동되는 유도 기체로부터 열을 흡수할 수 있다. 그리고 흡수된 열은 제2 전도 기판(165b) 및 제2 절연 기판(162)을 통하여 외부로 방출될 수 있다.The process chamber 11 may be, for example, a chamber for a semiconductor process, and various process processes may be performed. The internal pressure may be measured before, during, or after the process is performed in the process chamber 11 , and process conditions may be set based on the measured pressure. The pressure measuring means 15 may be, for example, a manometer, and may be connected to the process chamber 11 to enable gas flow. The pressure measuring means 15 includes an inlet tube 151 through which gas is introduced; a measuring membrane 152, such as a diaphragm, which detects the pressure applied by the gas; and a detection sensor 153 that detects pressure applied to the measurement film 152 . The pressure measuring means 15 may be operated in a capacitive manner, and may be in a manner that converts the pressure of the measuring film 152 into an electrical signal. A measuring conduit 12 may be connected to the process chamber 11 , and the measuring conduit 12 may be connected to the pressure measuring means 15 . The measuring conduit 12 may be provided with a trapping means for capturing particles, and the particles P flowing along with the gas along the measuring conduit 12 may be captured by the trapping means. According to one embodiment of the present invention, the capture means may be a temperature control means for controlling the temperature of the fluid. For example, the temperature control means may be a cooling means for cooling the flowing gas, and may be a thermoelectric element module 16 or a cooling jacket surrounding the measuring conduit 12 . The temperature control means may be a jacket block 13 surrounding a part of the measuring conduit 12 , the jacket block 13 comprising a flow line for the flow of a cooling fluid or a thermoelectric element module for generating a thermoelectric effect (16) may be included. The jacket block 13 may include, for example, a thermally conductive material, and various types of cooling lines for the flow of cooling water or cooling gas may be formed in the jacket block 13 . And as the cooling fluid flows into the cooling line, the flowing gas is cooled to capture the particles P while some of them become fine particles V, thereby preventing the particles P from flowing into the pressure measuring means 15. can Alternatively, the jacket block 13 may include a thermoelectric element module 16, and the thermoelectric element module 16 includes a pair of insulating substrates 161 and 162 for heat absorption (H_IN) and emission (H_OUT); a pair of conductive substrates 165a and 165b disposed inside the one-phase insulating substrates 161 and 162; and N-type and P-type semiconductors 163 and 164 disposed between a pair of conductive substrates 165a and 165b. Each of the semiconductors 163 and 164 may be fixed to conductive substrates 165a and 165b such as copper, and is made of an insulator such as a ceramic material on the outside of the conductive substrates 165a and 165b and has high thermal conductivity ( 161 and 162) may be combined. When power is supplied through the electrodes 166a and 166b connected to the respective semiconductors 163 and 164, one conductive substrate 165a is cooled while absorbing heat from the induction gas flowing along the inside of the measurement conduit 12. can In addition, the absorbed heat may be discharged to the outside through the second conductive substrate 165b and the second insulating substrate 162 .

도 1의 아래쪽을 참조하면, 측정 도관(12)의 적어도 일부는 벤추리 관(venturi pipe)(12a)이 될 수 있다. 이와 같은 벤추리 관(12a)에 의하여 측정 도관(12)의 내부에서 확산 효과가 발생되어 입자가 포집될 수 있다. 이와 같은 벤추리 관(12a)에 또는 벤추리 관(12a)의 뒤쪽에 위에서 설명된 재킷 블록(13)이 배치될 수 있다. 측정 도관(12)은 냉각 효과를 발생시킬 수 있는 다양한 구조를 가질 수 있고, 재킷 블록(13)은 다양한 냉각 수단을 포함할 수 있다. 포획 수단은 또한 재킷 블록(13)과 함께 또는 재킷 블록(13)과 독립적으로 필터 블록을 포함할 수 있다.Referring to the lower part of FIG. 1 , at least a portion of the measurement conduit 12 may be a venturi pipe 12a. The diffusion effect is generated inside the measurement conduit 12 by the venturi tube 12a, so that particles can be collected. The jacket block 13 described above may be disposed in such a venturi tube 12a or behind the venturi tube 12a. The measuring conduit 12 may have various structures capable of generating a cooling effect, and the jacket block 13 may include various cooling means. The catching means may also comprise a filter block together with the jacket block 13 or independently of the jacket block 13 .

도 2는 본 발명에 따른 입자 트랩 장치의 다른 실시 예를 도시한 것이다.Figure 2 shows another embodiment of the particle trap device according to the present invention.

도 2를 참조하면, 포획 수단은 입자의 포획을 위한 필터 블록이 된다. 또한 필터 블록은 다수 개의 기공이 형성되면서 연속적으로 배열된 다수 개의 다공 판(23_1 내지 24_K)을 포함하고, 서로 인접하는 다공 판(23_1 내지 24_K)은 유체 이동 방향에 대하여 서로 어긋난 위치에 기공이 형성된다.Referring to FIG. 2 , the trapping means is a filter block for trapping particles. In addition, the filter block includes a plurality of perforated plates 23_1 to 24_K that are continuously arranged while forming a plurality of pores, and the adjacent perforated plates 23_1 to 24_K have pores at positions shifted from each other with respect to the direction of fluid movement. do.

필터 블록에 의하여 입자가 포획될 수 있고, 필터 블록은 적어도 하나의 필터를 포함할 수 있다. 필터 블록은 각각이 속이 빈 반 실린더 형상이 되는 한 쌍의 필터 케이스(21a, 21b); 및 한 쌍의 필터 케이스(21a, 21b)의 내부에 배치되는 적어도 하나의 다공 판(23_1 내지 23_K)을 포함할 수 있다. 한 쌍의 필터 케이스(21a, 21b)는 서로 결합되어 전체적으로 실린더 형상으로 만들어질 수 있고, 각각의 필터 케이스(21a, 21b)의 내부 둘레 면에 길이 방향을 따라 서로 분리되어 연속적으로 배열된 고정 탭(22_1 내지 22_N)이 형성될 수 있다. 그리고 고정 탭(22_1 내지 22_N)에 다공 판(23_1 내지 24_N)이 배치될 수 있다. 각각의 다공 판(23_1 내지 24_N)은 원판 형상이 될 수 있고, 서로 다른 다공 판(23_1 내지 24_N)은 동일 또는 유사한 형상이 될 수 있다. 각각의 다공 판(23_1 내지 24_N)에 다수 개의 기공(P_1 내지 P_K)이 형성될 수 있다. 각각의 다공 판(23_1 내지 24_N)은 동일 또는 유사한 형상을 가지면서 동일 또는 유사한 위치에 기공(P_1 내지 P_K)이 형성될 수 있다. 각각의 다공 판(23_1 내지 24_K)에 기공(P_1 내지 P_K)이 형성되는 방법은 서로 인접하는 다공 판(23_1 내지 24_K)의 기공(P_1 내지 P_K)이 기체의 유동 방향에 대하여 서로 어긋나도록 형성될 수 있다. 구체적으로 1그룹의 제1 다공 판(23_1)과 2 그룹의 제2 다공 판(24_1)의 동일 또는 유사한 위치에 기공(P_1 내지 P_K)이 형성되고, 필터 케이스(21a, 21b)에 배치하는 과정에서 2 그룹 제1 다공 판(24_1)을 1 그룹 제1 다공 판(23_1)에 대하여 일정 각도만큼 회전시킬 수 있다. 이에 의하여 1, 2 그룹의 제1 다공 판(23_1, 24_1)은 서로 어긋나도록 기공(P_1 내지 P_K)이 위치하게 된다. 이와 같이 한 쌍의 필터 케이스(231a, 21b)에 배치되는 다공 판(23_1 내지 24_N)은 1 그룹 다공 판(23_1 내지 23_N)과 1 그룹 다공 판(23_1 내지 23_N)의 사이에 배치되면서 기공(P_1 내지 P_K)의 위치가 어긋나도록 회전된 2 그룹 다공 판(24_1 내지 24_N)으로 이루어질 수 있다. 이와 같은 방법으로 다수 개의 다공 판(23_1 내지 24_N)이 일정 간격으로 서로 분리되어 한 쌍의 필터 케이스(21a, 21b)의 내부에 배치될 수 있다. 기체는 한 쌍의 필터 케이스(21a, 21b)의 내부에서 유체 흐름(F)을 형성할 수 있고, 유체 흐름(F)은 인접하는 다공 판(23_1 내지 24_N)에서 서로 휘어진 형태가 될 수 있다. 이와 같은 유체 흐름에 의하여 입자가 다공 판(23_1 내지 24_K)의 표면에 부착될 수 있다. 다공 판(23_1 내지 24_N)은 다양한 소재로 만들어질 수 있고, 예를 들어 알루미늄(Al) 또는 이와 유사한 소재로 만들어질 수 있다. 아래에서 이와 같은 소재의 다공 판(23_1 내지 23_K)이 만들어지는 과정에 대하여 설명된다.Particles may be captured by the filter block, and the filter block may include at least one filter. The filter block includes a pair of filter cases 21a and 21b each having a hollow semi-cylindrical shape; and at least one porous plate 23_1 to 23_K disposed inside the pair of filter cases 21a and 21b. The pair of filter cases 21a and 21b may be coupled to each other to have a cylindrical shape as a whole, and fixed tabs that are separated from each other and continuously arranged along the longitudinal direction on the inner circumferential surface of each filter case 21a and 21b (22_1 to 22_N) may be formed. In addition, the perforated plates 23_1 to 24_N may be disposed on the fixing tabs 22_1 to 22_N. Each of the perforated plates 23_1 to 24_N may have a disk shape, and the different perforated plates 23_1 to 24_N may have the same or similar shape. A plurality of pores P_1 to P_K may be formed in each of the perforated plates 23_1 to 24_N. Each of the perforated plates 23_1 to 24_N may have the same or similar shape, and pores P_1 to P_K may be formed at the same or similar positions. The method in which the pores P_1 to P_K are formed in each of the perforated plates 23_1 to 24_K is to be formed so that the pores (P_1 to P_K) of the perforated plates 23_1 to 24_K adjacent to each other are formed to be offset from each other with respect to the flow direction of the gas. can Specifically, pores (P_1 to P_K) are formed at the same or similar positions of the first perforated plate 23_1 of the first group and the second perforated plate 24_1 of the second group, and the process of arranging the filter cases 21a and 21b In the second group, the first perforated plate 24_1 may be rotated by a predetermined angle with respect to the first perforated plate 23_1 of the first group. Accordingly, the pores P_1 to P_K are positioned so that the first and second groups of the first perforated plates 23_1 and 24_1 are shifted from each other. As described above, the porous plates 23_1 to 24_N disposed in the pair of filter cases 231a and 21b are disposed between the group 1 porous plates 23_1 to 23_N and the group 1 porous plates 23_1 to 23_N and the pores P_1 to P_K) may be formed of two groups of porous plates 24_1 to 24_N rotated to shift positions. In this way, the plurality of perforated plates 23_1 to 24_N may be separated from each other at regular intervals and disposed inside the pair of filter cases 21a and 21b. The gas may form a fluid flow F inside the pair of filter cases 21a and 21b, and the fluid flow F may be bent to each other in the adjacent perforated plates 23_1 to 24_N. Particles may be attached to the surfaces of the perforated plates 23_1 to 24_K by such a fluid flow. The perforated plates 23_1 to 24_N may be made of various materials, for example, aluminum (Al) or a similar material. A process in which the perforated plates 23_1 to 23_K of such a material is made will be described below.

도 3은 본 발명에 따른 입자 트랩 장치를 위한 다공 블록의 생성 과정의 실시 예를 도시한 것이다.3 is a view showing an embodiment of a process for producing a porous block for a particle trap device according to the present invention.

도 3을 참조하면, 포획 수단은 아노다이징에 의하여 형성된 알루미늄 다공 판이 된다. 기재 블록(31)에 알루미늄 베이스(32)가 배치될 수 있고, 알루미늄 베이스(32)는 공기 중에서 산화가 되어 예를 들어 0.5 내지 10 ㎚ 두께를 가지는 산화 필름 층을 형성할 수 있다. 산화 필름 층이 형성된 알루미늄 베이스(32)를 황산(sulfate)을 포함하는 전해조(electrolytic bath)에 침전시키면 배리어(barrier) 형태의 산화 층(32a)이 형성될 수 있다. 이와 같은 상태에서 전기 분해(electrolyzation)를 계속 진행시키면, 황산알루미늄이 생성되면서 미세 다공 층(33)이 형성될 수 있다. 이후 산화 반응(oxidative reaction) 및 용리 반응(elution reaction)이 지속되면서 균일한 다공 층(34)이 형성될 수 있다. 다공 층의 두께는 전기 분해 또는 아노다이징의 시간에 따라 결정될 수 있고, 최종적으로 5 내지 100 ㎚의 직경을 가지면서 균일하게 분포된 다공 필름 층(35)이 획득될 수 있고 이에 의하여 알루미늄 아노다이징 소재의 다공 판이 획득될 수 있다. 기공은 다양한 소재를 이용하여 다양한 방법으로 형성될 수 있고, 이에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다.Referring to FIG. 3 , the trapping means is an aluminum perforated plate formed by anodizing. An aluminum base 32 may be disposed on the base block 31 , and the aluminum base 32 may be oxidized in air to form, for example, an oxide film layer having a thickness of 0.5 to 10 nm. When the aluminum base 32 on which the oxide film layer is formed is precipitated in an electrolytic bath containing sulfuric acid, the oxide layer 32a in the form of a barrier may be formed. If the electrolyzation is continued in this state, the microporous layer 33 may be formed while aluminum sulfate is generated. Thereafter, a uniform porous layer 34 may be formed while an oxidative reaction and an elution reaction are continued. The thickness of the porous layer can be determined according to the time of electrolysis or anodizing, and finally, the porous film layer 35 having a diameter of 5 to 100 nm and uniformly distributed can be obtained, whereby the porosity of the aluminum anodizing material can be obtained. A plate may be obtained. The pores may be formed by various methods using various materials, and the present invention is not limited thereby.

도 4는 본 발명에 따른 입자 트랩 장치의 또 다른 실시 예를 도시한 것이다.4 shows another embodiment of the particle trap apparatus according to the present invention.

도 4를 참조하면, 포획 수단은 서로 분리되어 적층된 다수 개의 다공 판 블록이 된다. 각각의 다공 판(432)은 위에서 설명된 방법에 따라 만들어질 수 있고, 각각의 다공 판(432)은 전체적으로 사각 판 형상이 될 수 있다. 다수 개의 다공 판(432)의 서로 분리되어 수직 방향으로 적층이 될 수 있고, 서로 적층된 다공 판(432)의 중심 부분에 수직 방향으로 분리 판(431)이 형성될 수 있다. 또한 가장 아래쪽에 위치하는 다공 판(432)에 접촉 부분(433)이 형성될 수 있다. 분리 판(431)은 위쪽 부분으로 돌출되는 덮개(44)와 결합될 수 있다. 이와 같은 구조를 가지는 다공 필터 블록이 육면체 형상 또는 박스 형상의 유동 필터 케이스(41)의 내부에 배치될 수 있다. 유동 필터 케이스(41)의 한쪽 면에 공정 챔버와 연결되는 유입 도관(42a)이 형성되고, 유동 필터 케이스(41)의 다른 쪽 면에 압력 측정 수단(15)과 연결되는 필터 도관(42b)이 형성될 수 있다. 다공 필터 블록은 덮개(44)에 결합될 수 있고, 분리 판(431)에 냉각 경로(CL)가 형성될 수 있다. 냉각 경로(CL)는 덮개(44)이 바깥쪽에 형성된 입구(45a) 및 출구(45b)와 연결될 수 있다. 이와 같은 구조에서 덮개(44)가 유동 필터 케이스(41)에 결합되면, 다공 필터 블록이 유동 필터 케이스(41)의 내부에 위치하면서 유입 도관(42a)을 통하여 유입된 기체가 다공 필터 블록을 경유하여 필터 도관(42b)을 통하여 압력 측정 수단(15)으로 이동될 수 있다. 이와 같은 과정에서 다공 필터 블록에 의하여 입자가 제거될 수 있다. 냉각 기체 또는 냉각수가 입구(45a)를 통하여 유입되어 분리 판(431)을 경유하여 출구(45b)를 통하여 배출될 수 있고, 유동 기체의 냉각에 의하여 입자의 제거가 용이해질 수 있다. 다공 필터 블록은 다양한 구조로 만들어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.Referring to FIG. 4 , the catching means becomes a plurality of perforated plate blocks that are separated from each other and stacked. Each perforated plate 432 may be made according to the method described above, and each perforated plate 432 may have an overall rectangular plate shape. A plurality of perforated plates 432 may be separated from each other and stacked in a vertical direction, and a separation plate 431 may be formed in a vertical direction at a central portion of the stacked perforated plates 432 . Also, a contact portion 433 may be formed on the perforated plate 432 positioned at the lowermost portion. The separation plate 431 may be coupled to the cover 44 protruding toward the upper portion. A porous filter block having such a structure may be disposed inside the flow filter case 41 having a hexagonal shape or a box shape. An inlet conduit 42a connected to the process chamber is formed on one side of the flow filter case 41, and a filter conduit 42b connected to the pressure measuring means 15 is formed on the other side of the flow filter case 41. can be formed. The porous filter block may be coupled to the cover 44 , and a cooling path CL may be formed in the separation plate 431 . The cooling path CL may be connected to the inlet 45a and the outlet 45b formed on the outside of the cover 44 . In this structure, when the cover 44 is coupled to the flow filter case 41, the gas introduced through the inlet conduit 42a passes through the porous filter block while the porous filter block is located inside the flow filter case 41. It can be moved to the pressure measuring means 15 through the filter conduit (42b). In this process, particles may be removed by the porous filter block. The cooling gas or cooling water may be introduced through the inlet 45a and discharged through the outlet 45b through the separation plate 431, and the removal of particles may be facilitated by cooling the flowing gas. The porous filter block can be made in various structures and is not limited to the presented embodiment.

도 5는 본 발명에 따른 입자 트랩 장치의 또 다른 실시 예를 도시한 것이다.5 shows another embodiment of the particle trap apparatus according to the present invention.

도 5를 참조하면, 포획 수단은 전면, 후면 또는 둘레 면에 다수의 기공이 형성된 실린더 형상의 다공 포획 챔버(53)를 포함한다. 다공 포획 챔버(53)는 전체적으로 실린더 형상이 되면서 내부에 기체의 유동이 가능한 구조를 가질 수 있다. 다공 포획 챔버(53)는 실린더 형상으로 연장되는 포획 몸체(531); 포획 몸체(531)의 앞쪽 면 및 뒤쪽 면을 형성하는 유입 다공 판(532) 및 배출 다공 판; 및 포획 몸체(531)의 앞쪽 끝 부분 및 뒤쪽 끝 부분에 형성된 고정 테두리(533a, 533b)를 포함할 수 있다. 포획 챔버(531)는 내부 표면에 입자가 부착될 수 있는 다양한 소재로 만들어질 수 있고, 선택적으로 표면에 균일하게 형성된 다수 개의 기공을 포함할 수 있다. 또는 내부 표면에 균일하게 형성된 포집 홀을 포함할 수 있다. 유입 다공 판(532)은 미리 결정된 직경을 가지는 기공을 포함할 수 있고, 기공의 직경은 예를 들어 일정 크기의 직경을 가지는 입자가 투과할 수 없는 직경이 될 수 있다. 배출 다공 판은 유입 다공 판(532)과 동일 또는 유사한 구조를 가질 수 있다. 다만 배출 다공 판에 형성되는 기공은 유입 다공 판(532)에 형성되는 기공과 대비하여 동일한 직경을 가지거나 더 작은 직경을 가질 수 있다. 이와 같은 구조에 의하여 입자는 포획 챔버(53)의 앞쪽에 포집되거나, 포획 챔버(53)의 내부에 포집되거나 또는 포획 챔버(53)의 둘레 면에 포획될 수 있다. 포획 챔버(53)는 각각의 실린더 형상을 가지는 한 쌍의 챔버 케이스(51a, 51b)의 내부에 배치될 수 있고, 챔버 케이스(51a, 21b)의 앞쪽 및 뒤쪽에 포획 챔버(53)의 고정 테두리(533a, 533b)가 고정되는 내부 고정 홈(52a, 52b)이 형성될 수 있다. 이와 같은 구조를 가지는 다공 챔버 블록은 위에서 설명된 측정 도관의 내부에 배치되거나, 측정 도관의 연결하는 구조가 될 수 있다. 유입 다공 판(532), 배출 다공 판 또는 포획 몸체(531)는 다양한 소재로 만들어질 수 있고, 아래에서 설명되는 것처럼 알루미늄 소재로 만들어질 수 있다.Referring to FIG. 5 , the trapping means includes a cylindrical porous trapping chamber 53 in which a plurality of pores are formed on the front, back, or circumferential surface. The porous trapping chamber 53 may have a structure in which the gas can flow therein while being in a cylindrical shape as a whole. The perforated capture chamber 53 includes a capture body 531 extending in a cylindrical shape; an inlet perforated plate 532 and an outlet perforated plate forming the front and rear surfaces of the capture body 531; and fixing rims 533a and 533b formed at the front end and rear end of the capture body 531 . The capture chamber 531 may be made of various materials to which particles may be attached to the inner surface, and may optionally include a plurality of pores uniformly formed on the surface. Alternatively, it may include a collection hole uniformly formed on the inner surface. The inlet perforated plate 532 may include pores having a predetermined diameter, and the diameter of the pores may be, for example, a diameter through which particles having a predetermined size cannot penetrate. The outlet perforated plate may have the same or similar structure to the inlet perforated plate 532 . However, the pores formed in the outlet perforated plate may have the same diameter or have a smaller diameter compared to the pores formed in the inlet perforated plate 532 . Due to this structure, the particles may be collected at the front of the capture chamber 53 , inside the capture chamber 53 , or may be captured on the circumferential surface of the capture chamber 53 . The capture chamber 53 may be disposed inside a pair of chamber cases 51a and 51b each having a cylindrical shape, and fixed rims of the capture chamber 53 at the front and rear sides of the chamber cases 51a and 21b Internal fixing grooves 52a and 52b to which the 533a and 533b are fixed may be formed. The porous chamber block having such a structure may be disposed inside the measurement conduit described above, or may have a structure for connecting the measurement conduit. The inlet perforated plate 532 , the outlet perforated plate or the capture body 531 may be made of a variety of materials, and may be made of aluminum as described below.

도 6은 본 발명에 따른 입자 트랩 장치를 위한 다공 판의 생성 과정의 실시 예를 도시한 것이다.6 shows an embodiment of a process for producing a perforated plate for a particle trap device according to the present invention.

도 6을 참조하면, 유입 다공 판 또는 배출 다공 판과 같은 다공 판은 미리 결정된 크기의 직경을 가지는 기공을 가질 수 있다. 이와 같은 미리 결정된 기공 직경을 가지는 다공 판의 제조를 위하여 몰드(61)가 준비될 수 있고, 몰드(61)에 미리 결정된 직경을 가지는 제1 소재 결정(61_1 내지 61_N)이 균일하게 배치될 수 있다. 제1 소재 결정(61_1 내지 61_N)은 예를 들어 약 800 ℃의 녹는점을 가지는 나트륨 입자가 될 수 있다. 제1 소재 결정(61_1 내지 61_N)이 균일하게 몰드(61)에 배치되면 용해된 제2 소재(62)가 몰드(61)로 주입될 수 있다. 제2 소재(62)는 액체 형태가 될 수 있고, 제1 소재 결정(61_1 내지 61_N)의 사이를 채우면서 층을 형성할 수 있다. 제2 소재(62)는 예를 들어 약 660 ℃의 녹는점을 가지는 알루미늄이 될 수 있다. 이와 같이 제2 소재(62)는 제1 소재 결정(61_1 내지 61_N)에 비하여 낮은 녹는점을 가질 수 있다. 이에 의하여 몰드(61)에 제2 소재(62)가 채워지는 과정에서 제1 소재 결정(61_1 내지 61_N)의 형상이 유지될 수 있다. 몰드(61)가 제2 소재(62)로 완전히 채워진 후 제2 소재(62)가 냉각이 되고 이에 의하여 제2 소재 층(63)이 형성될 수 있다. 이와 같은 상태에서 제1 소재 결정(61_1 내지 61_N)을 용해시키는 용매를 주입하여 제1 소재 결정(61_1 내지 61_N)을 제거할 수 있다. 이에 의하여 제2 소재 기공(63_K)가 균일하게 형성된 제2 소재 층(63)이 획득될 수 있다. 용매는 예를 들어 물이 될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 이와 같이 획득된 제2 소재 기공(63_K)을 포함하는 소재 층(63)에 의하여 위에서 설명된 유입 다공 판, 배출 다공 판 또는 포획 몸체가 가공될 수 있다. 제1 소재 결정(61_1 내지 61_N) 또는 제2 소재(62)는 제시된 조건을 충족시키는 다양한 소재가 될 수 있고 이에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다.Referring to FIG. 6 , a perforated plate such as an inlet perforated plate or an outlet perforated plate may have pores having a diameter of a predetermined size. The mold 61 may be prepared for manufacturing a perforated plate having such a predetermined pore diameter, and the first material crystals 61_1 to 61_N having a predetermined diameter may be uniformly disposed in the mold 61 . . The first material crystals 61_1 to 61_N may be, for example, sodium particles having a melting point of about 800°C. When the first material crystals 61_1 to 61_N are uniformly disposed on the mold 61 , the molten second material 62 may be injected into the mold 61 . The second material 62 may be in a liquid form, and a layer may be formed while filling a space between the first material crystals 61_1 to 61_N. The second material 62 may be, for example, aluminum having a melting point of about 660°C. As such, the second material 62 may have a lower melting point than the first material crystals 61_1 to 61_N. Accordingly, the shape of the first material crystals 61_1 to 61_N may be maintained while the second material 62 is filled in the mold 61 . After the mold 61 is completely filled with the second material 62 , the second material 62 is cooled, whereby the second material layer 63 may be formed. In this state, the first material crystals 61_1 to 61_N may be removed by injecting a solvent dissolving the first material crystals 61_1 to 61_N. Accordingly, the second material layer 63 in which the second material pores 63_K are uniformly formed may be obtained. The solvent may be, for example, but not limited to, water. The inlet perforated plate, the outlet perforated plate, or the trapping body described above can be processed by the material layer 63 including the second material pores 63_K obtained in this way. The first material crystals 61_1 to 61_N or the second material 62 may be various materials satisfying the suggested conditions, and the present invention is not limited thereto.

도 7은 본 발명에 따른 입자 트랩 장치가 적용된 실시 예를 도시한 것이다.7 shows an embodiment to which the particle trap apparatus according to the present invention is applied.

도 7를 참조하면, 공정 챔버(71)의 내부에 정전 척(72)이 배치될 수 있고, 정전 척(72)에서 웨이퍼에 대한 공정이 진행될 수 있다. 공정 진행 과정에서 다양한 형태의 입자(P)가 발생되어 잔류할 수 있고, 입자는 측정 도관(74a, 74b)을 경유하여 압력 측정 수단(15a, 15b)에 도달할 수 있다. 압력 측정 수단(15a, 15b)은 예를 들어 마노미터가 될 수 있고, 예를 들어 100 Torr 수준의 압력을 측정하는 마노미터 또는 5 torr 수준의 압력을 측정하는 마노미터가 될 수 있다. 입자 트랩 장치(10)는 공정 챔버(71)와 제1 압력 측정 수단(15a)을 연결하는 제1 측정 도관(74a)에 결합되어 입자(P)가 제1 압력 측정 수단(15a)에 도달하는 것을 방지할 수 있다. 이에 의하여 제1 압력 측정 수단(15a)의 공정 챔버(71)의 압력 측정 오류가 방지될 수 있다. 다양한 압력 측정 수단(15a, 15b)에 본 발명에 따른 입자 트랩 장치(10)가 설치될 수 있고 이에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다.Referring to FIG. 7 , an electrostatic chuck 72 may be disposed inside the process chamber 71 , and a process for a wafer may be performed in the electrostatic chuck 72 . In the course of the process, various types of particles P may be generated and remain, and the particles may reach the pressure measuring means 15a and 15b via the measuring conduits 74a and 74b. The pressure measuring means 15a, 15b may be, for example, a manometer, for example, a manometer measuring a pressure of 100 Torr level or a manometer measuring a pressure of 5 torr level. The particle trap device 10 is coupled to the first measuring conduit 74a connecting the process chamber 71 and the first pressure measuring means 15a so that the particles P reach the first pressure measuring means 15a. it can be prevented Accordingly, an error in measuring the pressure of the process chamber 71 of the first pressure measuring means 15a can be prevented. The particle trap device 10 according to the present invention may be installed in various pressure measuring means 15a, 15b, and the present invention is not limited thereby.

도 8은 본 발명에 따른 입자 트랩 장치가 적용된 공정 챔버의 압력 측정 과정의 실시 예를 도시한 것이다.8 is a view showing an embodiment of a pressure measurement process in a process chamber to which the particle trap apparatus according to the present invention is applied.

도 8을 참조하면, 입자 트랩 장치에 의한 공정 챔버의 압력 측정 과정은 공정 챔버 내부의 압력이 측정되는 방법은 측정 유도관의 기체 유도 특성이 결정되는 단계(P81); 측정 유도관에 입자 포획 필터 모듈이 배치되는 단계(P82); 마노미터에 의한 공정 챔버 내부의 압력 측정이 준비되는 단계(P83); 포획 필터 모듈의 온도가 조절되는 단계(P84); 마노미터에 의한 압력 측정이 개시되면서 입자 포획 필터의 입자 포획 상태가 탐지되는 단계(P85); 및 공정 챔버의 압력이 탐지되는 단계(P86)을 포함한다. 기체 유도 특성은 예를 들어 유동 기체의 특성, 입자의 포함 수준 또는 이와 유사한 유동 특성을 포함한다. 입자 포획 필터는 입자 트랩 장치를 형성할 수 있고, 측정 유도관의 내부에 설치되거나. 측정 유도관의 일부를 형성할 수 있다(P62). 선택적으로 입자 포획 필터의 온도가 조절될 수 있고(P64). 입자 포획 필터에 의한 입자 포획 수준이 탐지될 수 있다(P65). 이와 같은 입자 포획 필터에 의하여 공정 챔버의 압력이 오류가 없이 측정될 수 있다(P66). 공정 챔버의 압력은 다양한 방법으로 측정될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.Referring to FIG. 8 , in the process of measuring the pressure in the process chamber by the particle trap device, the method of measuring the pressure inside the process chamber includes determining the gas induction characteristic of the measuring guide tube (P81); A step of disposing a particle trapping filter module in the measurement guide tube (P82); Preparing to measure the pressure inside the process chamber by the manometer (P83); adjusting the temperature of the capture filter module (P84); a step of detecting the particle trapping state of the particle trapping filter while the pressure measurement by the manometer is started (P85); and a step P86 in which the pressure in the process chamber is detected. Gas inducing properties include, for example, the properties of the flowing gas, the level of inclusion of particles, or similar flow properties. The particle trapping filter may form a particle trapping device and be installed inside the measurement guide tube. It may form part of the measurement guide tube (P62). Optionally, the temperature of the particle trapping filter can be adjusted (P64). The level of particle capture by the particle capture filter can be detected (P65). The pressure in the process chamber can be measured without error by such a particle trapping filter (P66). The pressure in the process chamber may be measured in various ways and is not limited to the examples presented.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.Although the present invention has been described in detail with reference to the presented embodiment, those skilled in the art will be able to make various modifications and variations of the invention without departing from the technical spirit of the present invention with reference to the presented embodiment. . The present invention is not limited by such variations and modifications, but only by the claims appended hereto.

11: 공정 챔버 12: 측정 도관
15: 압력 측정 수단 16: 열전 소자 모듈
21a, 21b: 필터 케이스 23_1 내지 24_K: 다공 판
31: 기재 블록 32: 알루미늄 베이스
51a, 51b: 챔버 케이스 53: 다공 포획 챔버
431: 유동 블록 432: 다공 판
531: 포획 몸체 532: 유입 다공 판11: process chamber 12: measurement conduit
15: pressure measuring means 16: thermoelectric element module
21a, 21b: filter cases 23_1 to 24_K: perforated plate
31: base block 32: aluminum base
51a, 51b: chamber case 53: perforated capture chamber
431: flow block 432: perforated plate
531: catch body 532: inlet perforated plate

Claims (8)

압력 측정 수단(15);
공정 챔버(11)와 압력 측정 수단(15)을 연결하는 측정 도관(12); 및
측정 도관(12)에 결합되거나, 측정 도관(12)의 일부를 형성하면서 측정 도관(12)을 따라 유동되는 유체에 포함된 입자를 포획하는 포획 수단을 포함하고,
포획 수단은 입자의 포획을 위한 필터 블록을 포함하고,
필터 블록은 다수 개의 기공이 형성되면서 연속적으로 배열된 다수 개의 다공 판(23_1 내지 24_K)을 포함하고, 서로 인접하는 다공 판 (23_1 내지 24_K)은 유체 이동 방향에 대하여 서로 어긋난 위치에 기공이 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 측정 오차 방지를 위한 입자 트랩 장치. pressure measuring means (15);
a measuring conduit 12 connecting the process chamber 11 and the pressure measuring means 15; and
catching means coupled to, or forming a part of, the measuring conduit (12) for catching particles contained in the fluid flowing along the measuring conduit (12);
the trapping means comprises a filter block for trapping the particles;
The filter block includes a plurality of perforated plates 23_1 to 24_K that are continuously arranged while forming a plurality of pores, and the perforated plates 23_1 to 24_K adjacent to each other have pores formed at positions shifted from each other with respect to the direction of fluid movement. Particle trap device for preventing pressure measurement error, characterized in that. 청구항 1에 있어서, 포획 수단은 유체의 온도를 조절하는 온도 조절 수단을 포함하는 압력 측정 오차 방지를 위한 입자 트랩 장치. The particle trap device for preventing a pressure measurement error according to claim 1, wherein the trapping means includes a temperature control means for adjusting the temperature of the fluid. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 압력 측정 수단(15);
공정 챔버(11)와 압력 측정 수단(15)을 연결하는 측정 도관(12); 및
측정 도관(12)에 결합되거나, 측정 도관(12)의 일부를 형성하면서 측정 도관(12)을 따라 유동되는 유체에 포함된 입자를 포획하는 포획 수단을 포함하고,
포획 수단은 서로 분리되어 적층된 다수 개의 다공 판 블록이 되는 것을 특징으로 하는 압력 측정 오차 방지를 위한 입자 트랩 장치.pressure measuring means (15);
a measuring conduit 12 connecting the process chamber 11 and the pressure measuring means 15; and
catching means coupled to, or forming a part of, the measuring conduit (12) for catching particles contained in the fluid flowing along the measuring conduit (12);
A particle trapping device for preventing a pressure measurement error, characterized in that the trapping means is a plurality of perforated plate blocks that are separated from each other and stacked. 청구항 1 또는 청구항 6에 있어서, 냉각수의 유동을 위한 유동 블록(431)을 포함하는 압력 측정 오차 방지를 위한 입자 트랩 장치.
The particle trap device for preventing a pressure measurement error according to claim 1 or 6, comprising a flow block (431) for the flow of cooling water.
 삭제delete
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