KR102388037B1 - Multi-layer ceiling buffer for storing wafer carrier and ceiling buffer system having the same - Google Patents

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KR102388037B1 KR1020210139561A KR20210139561A KR102388037B1 KR 102388037 B1 KR102388037 B1 KR 102388037B1 KR 1020210139561 A KR1020210139561 A KR 1020210139561A KR 20210139561 A KR20210139561 A KR 20210139561A KR 102388037 B1 KR102388037 B1 KR 102388037B1
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권용환
조세환
최성구
김형석
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Abstract

The present invention provides a multi-layer ceiling buffer for storing a wafer carrier which expands a shelf placed therein with the wafer carrier to have two or more stages to significantly increase a loaded wafer carrier, and a ceiling buffer system having the same. The multi-layer ceiling buffer for storing a wafer carrier comprises: a frame including an upper frame and a lower frame located at a lower side of the upper frame, and hung at a ceiling to be located at a side of a driving line of a vehicle; one stage shelf installed at the upper frame and placed therein with the wafer carrier; a two stage shelf including a pair of placing ports being a placed target of the wafer carrier and installed at the lower frame so that the pair of placing ports is located at a retreat position being a lower position of the one stage shelf; and an integrated drive module installed with respect to the frame and the two stage shelf to integrally slide the pair of placing port from the retreat position to a deployment position being a lower position of the driving line.

Description

웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼 및 그를 포함하는 천장 버퍼 시스템{MULTI-LAYER CEILING BUFFER FOR STORING WAFER CARRIER AND CEILING BUFFER SYSTEM HAVING THE SAME}Multi-level ceiling buffer for wafer carrier storage and ceiling buffer system including same

본 발명은 반도체 공장에서 웨이퍼 캐리어를 공중에 보관하는데 사용되는 다단 천장 버퍼 및 그를 포함하는 천장 버퍼 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-level ceiling buffer used for aerial storage of wafer carriers in a semiconductor factory and a ceiling buffer system comprising the same.

일반적으로, 반도체 제조 공정에서는 웨이퍼를 생산하고, 생산된 웨이퍼를 연속적인 가공 단계들로 이송해가며 반도체 패키지를 제조하게 된다. 웨이퍼는 웨이퍼 캐리어에 수납된 채로, 천장 대차 시스템(OHT)에 의해 이송되는 것이 통상적이다.In general, in a semiconductor manufacturing process, a wafer is produced and a semiconductor package is manufactured by transferring the produced wafer to successive processing steps. Wafers are typically transported by an overhead trolley system (OHT) while being housed in a wafer carrier.

천장 대차 시스템을 통한 웨이퍼 캐리어의 이송 중에, 웨이퍼 캐리어는 일정 시간 동안 대기해야 하는 경우가 있다. 웨이퍼 캐리어를 보관하는 설비 중 하나로는, 천장 대차 시스템의 비히클(vehicle)의 주행 라인 옆에 위치하도록 천장에 매달리게 설치되는 천장 버퍼(buffer)가 있다. During transfer of the wafer carrier through the overhead trolley system, the wafer carrier may have to wait for a certain period of time. As one of the facilities for storing the wafer carrier, there is a ceiling buffer that is suspended from the ceiling so as to be located next to the running line of the vehicle of the overhead bogie system.

천장 버퍼는 비히클이 바로 옆에서 웨이퍼 캐리어를 이적재하여 이적재 시간을 줄이기에 짧은 시간 동안 웨이퍼 캐리어를 보관하기에 적합한 이점이 있다. 그러나, 웨이퍼 캐리어가 안착되는 선반이 1단 구성으로 적재 가능한 웨이퍼 캐리어의 수량이 한정적인 한계가 있다. Ceiling buffers have the advantage of being suitable for holding wafer carriers for short periods of time as the vehicle loads wafer carriers right next to the vehicle, reducing load times. However, there is a limit in the number of wafer carriers that can be stacked on a shelf on which the wafer carrier is mounted in a single-stage configuration.

본 발명의 일 목적은, 웨이퍼 캐리어가 안착되는 선반을 2단 이상으로 확장하여 적재되는 웨이퍼 캐리어를 크게 늘릴 수 있게 하는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼 및 그를 포함하는 천장 버퍼 시스템을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a multi-level ceiling buffer for storing wafer carriers and a ceiling buffer system including the same, which allows the wafer carrier to be loaded by extending the shelf on which the wafer carrier is mounted to two or more stages.

본 발명의 다른 일 목적은, 하나의 선반에서 2개의 포트를 전개 포지션과 후퇴 포지션 간에 통합 구동 방식으로 이동시켜, 천장에 매달리는 선반 등의 무게 및 그에 대한 전력 공급에서의 제약을 극복할 수 있게 하는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼 및 그를 포함하는 천장 버퍼 시스템을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to move two ports on one shelf in an integrated driving manner between the deployed position and the retracted position, so that it is possible to overcome the weight of the shelf suspended from the ceiling and the limitation in power supply therefor. , to provide a multi-level ceiling buffer for storing wafer carriers and a ceiling buffer system including the same.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼는, 상부 프레임과 상기 상부 프레임의 하측에 위치하는 하부 프레임을 구비하고, 비히클의 주행 라인의 측방에 위치하도록 천장에 매달리게 구성되는 프레임; 상기 상부 프레임에 설치되고, 웨이퍼 캐리어가 안착되도록 형성되는 1단 선반; 웨이퍼 캐리어가 안착되는 대상이 되는 한 쌍의 안착 포트를 구비하고, 상기 한 쌍의 안착 포트가 상기 1단 선반의 하측 위치인 후퇴 포지션에 위치하도록 상기 하부 프레임에 설치되는 2단 선반; 및 상기 프레임 및 상기 2단 선반에 대해 설치되고, 상기 한 쌍의 안착 포트를 상기 후퇴 포지션에서 상기 주행 라인의 하측 위치인 전개 포지션으로 통합적으로 슬라이딩시키도록 구성되는 통합구동 모듈을 포함할 수 있다. A multi-level ceiling buffer for storage of wafer carriers according to an aspect of the present invention for realizing the above object includes an upper frame and a lower frame located below the upper frame, and the ceiling is located on the side of the driving line of the vehicle a frame configured to be hung on; a first shelf installed on the upper frame and formed to seat a wafer carrier; a second-stage shelf having a pair of seating ports on which the wafer carrier is mounted, the two-stage shelf installed in the lower frame so that the pair of seating ports are located in a retracted position that is a lower position of the first-stage shelf; and an integrated driving module installed with respect to the frame and the two-stage shelf and configured to integrally slide the pair of seating ports from the retracted position to a deployment position that is a lower position of the travel line.

여기서, 상기 2단 선반은, 상기 한 쌍의 안착 포트가 각각 장착되는 한 쌍의 관통홀을 구비하는 베이스 플레이트를 포함하고, 상기 통합구동 모듈은, 상기 베이스 플레이트를 슬라이딩 구동하여, 상기 한 쌍의 안착 포트가 상기 후퇴 포지션과 상기 전개 포지션 간에 통합적으로 이동되게 하는 것일 수 있다. Here, the two-stage shelf includes a base plate having a pair of through-holes to which the pair of seating ports are respectively mounted, and the integrated driving module slides the base plate to drive the pair of The seating port may be integrally moved between the retracted position and the deployed position.

여기서, 상기 통합구동 모듈은, 상기 베이스 플레이트의 일측을 슬라이딩 구동하기 위한 동력을 발생시키는 동력발생 유닛; 및 상기 베이스 플레이트의 타측을 슬라이딩 가능하게 지지하는 지지 유닛을 포함할 수 있다. Here, the integrated driving module may include: a power generating unit for generating power for slidingly driving one side of the base plate; and a support unit slidably supporting the other side of the base plate.

여기서, 상기 동력발생 유닛은, 상기 후퇴 포지션에서 상기 전개 포지션을 향한 전개 방향을 따라 슬라이딩되는 제1 슬라이더를 구비하는 원동부; 및 상기 제1 슬라이더에 연동되어 상기 전개 방향을 따라 슬라이딩되며 상기 베이스 플레이트가 연결되는 제2 슬라이더를 구비하는 연동부를 포함할 수 있다. Here, the power generating unit may include: a prime mover having a first slider slid in a deployment direction from the retracted position toward the deployed position; and an interlocking part having a second slider linked to the first slider to slide along the unfolding direction and to which the base plate is connected.

여기서, 상기 상부 프레임과 상기 하부 프레임을 연결하고, 상기 하부 프레임이 상기 상부 프레임을 향해 상승되게 하는 승강 모듈이 더 구비될 수 있다. Here, a lifting module connecting the upper frame and the lower frame and allowing the lower frame to rise toward the upper frame may be further provided.

여기서, 상기 한 쌍의 안착 포트를 통해 상기 웨이퍼 캐리어를 퍼지하도록 구성되는 퍼지 모듈이 더 구비될 수 있다. Here, a purge module configured to purge the wafer carrier through the pair of seating ports may be further provided.

여기서, 상기 퍼지 모듈은, 상기 프레임에 설치되는 퍼지가스 공급라인; 상기 안착 포트에 설치되어, 상기 안착 포트에 안착된 상기 웨이퍼 캐리어와 접속되는 공급 노즐; 및 상기 퍼지가스 공급 라인과 상기 공급 노즐을 연결하는 연질의 연결 튜브를 포함할 수 있다. Here, the purge module may include a purge gas supply line installed in the frame; a supply nozzle installed in the seating port and connected to the wafer carrier seated in the seating port; and a soft connecting tube connecting the purge gas supply line and the supply nozzle.

여기서, 상기 퍼지 모듈은, 상기 안착 포트에 설치되고, 상기 안착 포트에 안착된 웨이퍼 캐리어와 접속되는 배기 노즐; 상기 프레임에 설치되는 퍼지가스 배기라인; 상기 배기 노즐에 연통되는 선반 노즐; 및 상기 퍼지가스 배기라인에 연결되고, 상기 2단 선반의 슬라이딩에 따라 상기 선반 노즐과 접속되거나 접속 해제되는 프레임 노즐을 포함할 수 있다. Here, the purge module may include: an exhaust nozzle installed in the seating port and connected to the wafer carrier seated in the seating port; a purge gas exhaust line installed on the frame; a shelf nozzle in communication with the exhaust nozzle; and a frame nozzle connected to the purge gas exhaust line and connected to or disconnected from the shelf nozzle according to sliding of the second-stage shelf.

여기서, 상기 퍼지 모듈은, 상기 프레임 노즐을 상기 퍼지가스 배기라인에 대해 탄성적으로 지지하는 스프링 너트를 더 포함할 수 있다. Here, the purge module may further include a spring nut elastically supporting the frame nozzle with respect to the purge gas exhaust line.

여기서, 상기 퍼지 모듈은, 상기 한 쌍의 안착 포트가 상기 후퇴 포지션에서 이탈함에 따라, 상기 웨이퍼 캐리어에 대한 배기를 중단하도록 구성될 수 있다. Here, the purge module may be configured to stop evacuation of the wafer carrier as the pair of seating ports depart from the retracted position.

여기서, 상기 통합구동 모듈은, 회전력을 발생시키는 모터를 포함하고, 상기 퍼지 모듈은, 상기 모터의 홈 포지션에 대한 감지 결과에 기초하여, 상기 안착 포트가 상기 후퇴 포지션에서 이탈함을 판단하도록 구성될 수 있다. Here, the integrated driving module may include a motor generating a rotational force, and the purge module may be configured to determine that the seating port is deviating from the retracted position based on a detection result of the home position of the motor. can

본 발명의 다른 일 측면에 따른 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 천장 버퍼 시스템은, 주행 라인을 향해 통합적으로 구동되는 한 쌍의 제1 안착 포트를 구비하는 제1 다단 천장 버퍼; 상기 주행 라인을 향해 통합적으로 구동되는 한 쌍의 제2 안착 포트를 구비하고, 상기 한 쌍의 제2 안착 포트 중 하나는 상기 주행 라인을 향해 이동시에 상기 주행 라인을 향해 이동된 상기 한 쌍의 제1 안착 포트 중 하나와 간섭하도록 배치되는 제2 다단 천장 버퍼; 및 상기 제1 다단 천장 버퍼 및 상기 제2 다단 천장 버퍼와 통신 가능하게 연결되어, 상기 주행 라인을 향한 상기 한 쌍의 제1 안착 포트와 상기 한 쌍의 제2 안착 포트의 이동시 그들 간의 충돌 가능성을 판단하는 제어 모듈을 포함할 수 있다. A multi-level ceiling buffer system for storing wafer carriers according to another aspect of the present invention includes: a first multi-level ceiling buffer having a pair of first seating ports integrally driven toward a traveling line; and a pair of second seating ports integrally driven toward the travel line, wherein one of the pair of second seating ports is moved toward the travel line when moving toward the travel line. a second multi-level ceiling buffer disposed to interfere with one of the first seating ports; and the first multi-level ceiling buffer and the second multi-level ceiling buffer are communicatively connected to each other to reduce the possibility of collision between the pair of first seating ports and the pair of second seating ports when moving toward the driving line. It may include a control module for determining.

여기서, 상기 주행 라인을 따라 이동하며 상기 한 쌍의 제1 안착 포트 중 하나 또는 상기 한 쌍의 제2 안착 포트 중 하나에 웨이퍼 캐리어를 이재하는 제1 비히클 및 제2 비히클을 더 포함하고, 상기 제어 모듈은, 상기 제1 비히클 및 상기 제2 비히클과도 통신 가능하게 연결되어, 상기 한 쌍의 제1 안착 포트 중 하나에 대한 상기 제1 비히클로부터의 이재 요청과 상기 한 쌍의 제2 안착 포트 중 하나에 대한 상기 제2 비히클로부터의 이재 요청을 수신한 경우에 상기 한 쌍의 제1 안착 포트와 상기 한 쌍의 제2 안착 포트의 상기 주행 라인을 향한 이동시 그들 간의 충돌 가능성을 판단할 수 있다. Here, further comprising a first vehicle and a second vehicle moving along the travel line and transferring a wafer carrier to one of the pair of first seating ports or one of the pair of second seating ports; The module is also communicatively connected to the first vehicle and the second vehicle, and is configured to include a transfer request from the first vehicle to one of the pair of first landing ports and a transfer request from the first vehicle to the pair of second landing ports. When the transfer request from the second vehicle for one is received, the possibility of collision between the pair of first landing ports and the pair of second landing ports may be determined when moving toward the driving line.

여기서, 상기 제어 모듈은, 상기 충돌 가능성에 기초하여, 상기 한 쌍의 제1 안착 포트의 이동을 승인하여 상기 한 쌍의 제1 안착 포트가 상기 주행 라인을 향해 이동하여 상기 주행 라인의 하측에 위치하는 동안에는 상기 한 쌍의 제2 안착 포트의 상기 주행 라인을 향한 이동을 불승인하도록 구성될 수 있다. Here, the control module, based on the collision possibility, approves the movement of the pair of first seating ports so that the pair of first seating ports moves toward the travel line and is located below the travel line It may be configured to disapprove the movement of the pair of second seating ports toward the travel line during the operation.

여기서, 상기 제어 모듈은, 상기 충돌 가능성에 기초하여, 상기 한 쌍의 제1 안착 포트가 상기 주행 라인을 향해 이동된 상태에서, 상기 주행 라인을 향한 상기 한 쌍의 제2 안착 포트의 전진을 차단하도록 구성될 수 있다. Here, the control module, based on the collision possibility, blocks the advance of the pair of second seating ports toward the travel line in a state in which the pair of first seating ports are moved toward the travel line can be configured to

여기서, 상기 제1 다단 천장 버퍼 및 상기 제2 다단 천장 버퍼 각각은, 상기 한 쌍의 제1 안착 포트 또는 상기 한 쌍의 제2 안착 포트를 통합 구동하기 위한 구동력을 발생시키는 모터를 포함하고, 상기 제어 모듈은, 상기 모터의 위치값에 대한 모니터링 결과에 기초하여, 상기 한 쌍의 제1 안착 포트 및 상기 한 쌍의 제2 안착 포트의 위치를 판단하도록 구성될 수 있다. Here, each of the first multi-level ceiling buffer and the second multi-level ceiling buffer includes a motor that generates a driving force for integrally driving the pair of first seating ports or the pair of second seating ports, and The control module may be configured to determine the positions of the pair of first seating ports and the pair of second seating ports based on a monitoring result of the position value of the motor.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼 및 그를 포함하는 천장 버퍼 시스템에 의하면, 프레임에 대해서는 1단 선반과 2단 선반이 층 구조를 이루도록 설치되고, 2단 선반은 한 쌍의 안착 포트를 포함하는데, 통합구동 모듈은 한 쌍의 안착 포트를 후퇴 포지션과 전개 포지션 간에 통합적으로 구동하도록 구성되어, 2단 선반에도 비히클이 호이스트를 이용하여 웨이퍼 캐리어를 이재할 수 있도록 하여 웨이퍼 캐리어의 보관 용량을 증가시킴과 동시에, 한 쌍의 안착 포트 각각에 대한 개별 구동시에 비해 구동원을 줄이고 그에 대한 전력 공급 라인도 줄여서, 천장에 매달리는 버퍼에서의 무게 및 전력 공급에서의 제약을 극복할 수 있게 한다. According to the multi-stage ceiling buffer for storing wafer carriers and the ceiling buffer system including the same according to the present invention configured as described above, the first shelf and the second shelf are installed to form a layered structure with respect to the frame, and the second shelf is a pair The integrated driving module is configured to integrally drive a pair of seating ports between the retracted position and the deployed position, so that the vehicle can move the wafer carrier using a hoist even on the second shelf, so that the wafer carrier while increasing the storage capacity of the pair of seating ports, reducing the driving source and reducing the power supply line compared to individual driving for each of the pair of seating ports do.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼 시스템(100)의 일 상태를 보인 개념적 측면도이다.
도 2는 도 1의 다단 천장 버퍼 시스템(100)의 다른 상태를 보인 개념적 측면도이다.
도 3은 도 1의 다단 천장 버퍼(200)에 대한 사시도이다.
도 4는 도 3에서 프레임(210)의 높이 조절을 설명하기 위한 다단 천장 버퍼(200)의 일 부분에 대한 개략적 정면도이다.
도 5는 도 3에서 2단 선반(250)이 전개 포지션(DP)으로 이동된 상태를 보인 사시도이다.
도 6은 도 5에서 퍼지 모듈(290)을 분리하여 보인 사시도이다.
도 7은 도 6에서 선반 노즐(295a)과 프레임 노즐(296a) 간의 대응 관계를 보인 개념도이다.
도 8은 2단 선반(250)에 대한 퍼지 모듈(290)의 작동에 관해 설명하기 위한 순서도이다.
도 9는 도 1의 다단 천장 버퍼 시스템(100)의 제어를 설명하기 위한 개념도이다.
도 10은 도 1의 다단 천장 버퍼 시스템(100)에 대한 다른 제어를 설명하기 위한 개념도이다. 1 is a conceptual side view showing a state of a multi-level ceiling buffer system 100 for storing wafer carriers according to an embodiment of the present invention.
2 is a conceptual side view showing another state of the multi-level ceiling buffer system 100 of FIG. 1 .
3 is a perspective view of the multi-level ceiling buffer 200 of FIG. 1 .
4 is a schematic front view of a portion of the multi-level ceiling buffer 200 for explaining the height adjustment of the frame 210 in FIG. 3 .
5 is a perspective view showing a state in which the second-stage shelf 250 is moved to the deployed position DP in FIG. 3 .
FIG. 6 is a perspective view showing the purge module 290 separated from FIG. 5 .
7 is a conceptual diagram illustrating a correspondence relationship between the shelf nozzle 295a and the frame nozzle 296a in FIG. 6 .
8 is a flowchart for explaining the operation of the purge module 290 for the two-stage shelf 250 .
FIG. 9 is a conceptual diagram for explaining the control of the multi-level ceiling buffer system 100 of FIG. 1 .
FIG. 10 is a conceptual diagram for explaining another control of the multi-level ceiling buffer system 100 of FIG. 1 .

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼 및 그를 포함하는 천장 버퍼 시스템에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.Hereinafter, a multi-level ceiling buffer for storing wafer carriers and a ceiling buffer system including the same according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present specification, the same and similar reference numerals are assigned to the same and similar components even in different embodiments, and the description is replaced with the first description.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼 시스템(100)의 일 상태를 보인 개념적 측면도이고, 도 2는 도 1의 다단 천장 버퍼 시스템(100)의 다른 상태를 보인 개념적 측면도이다.1 is a conceptual side view showing one state of a multi-level ceiling buffer system 100 for storing wafer carriers according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a conceptual side view showing another state of the multi-level ceiling buffer system 100 of FIG. 1 . It is a side view.

본 도면들을 참조하면, 다단 천장 버퍼 시스템(100)은, 제1 다단 천장 버퍼(110), 제2 다단 천장 버퍼(130), 그리고 비히클(150)을 포함할 수 있다. Referring to the drawings, the multi-level ceiling buffer system 100 may include a first multi-level ceiling buffer 110 , a second multi-level ceiling buffer 130 , and a vehicle 150 .

제1 다단 천장 버퍼(110)와 제2 다단 천장 버퍼(130)는 모두 웨이퍼 캐리어(C)를 공중에 보관하기 위한 구성으로서, 대체로 동일한 형태를 가질 수 있다. 이들은 비히클(150)의 좌우에 각각 배치될 수 있다. Both the first multi-level ceiling buffer 110 and the second multi-level ceiling buffer 130 are configured to store the wafer carrier C in the air, and may have substantially the same shape. These may be respectively disposed on the left and right sides of the vehicle 150 .

제1 다단 천장 버퍼(110)을 기준으로 설명하자면, 그의 프레임(111)은 천장에 매달리도록 설치되게 된다. 프레임(111)은 수직 방향을 따라 일정한 간격을 가져서, 1단 선반(113)과 2단 선반(115)이 그에 설치된다. 1단 선반(113)은 비히클(150)에 대응하는 레벨에 위치하는 반면에, 2단 선반(115)은 1단 선반(113)의 하측에 배치되며 비히클(150) 보다 낮은 레벨에 위치하게 된다. 필요에 따라서는 2단 선반(115)의 하측에 3단 선반이 추가로 설치될 수도 있을 것이다. To describe the first multi-level ceiling buffer 110 as a reference, its frame 111 is installed to be suspended from the ceiling. The frame 111 has regular intervals along the vertical direction, and the first-stage shelf 113 and the second-stage shelf 115 are installed therein. The first shelf 113 is located at a level corresponding to the vehicle 150 , while the second shelf 115 is disposed below the first shelf 113 and is located at a lower level than the vehicle 150 . . If necessary, a three-stage shelf may be additionally installed below the second-stage shelf 115 .

2단 선반(115)은 후퇴 포지션(RP)과 전개 포지션(DP) 간에 이동 가능하게 구성될 수 있다. 후퇴 포지션(RP)에서 2단 선반(115)은 1단 선반(113)의 바로 하측에 위치하게 되나, 전개 포지션(DP)에서는 비히클(150)의 하측에 위치하게 된다. 3단 선반이 갖춰진 경우라면, 그 역시 전개 포지션(DP)으로 이동되도록 구성될 수 있다. The two-stage shelf 115 may be configured to be movable between the retracted position RP and the deployed position DP. In the retracted position RP, the second-stage shelf 115 is positioned directly below the first-stage shelf 113 , but in the deployed position DP, the second-stage shelf 115 is positioned below the vehicle 150 . If a three-tier shelf is provided, it may also be configured to be moved to the deployed position DP.

비히클(150)은 천장에 설치된 레일(R)을 따라 주행하는 장치이다. 비히클(150)은 웨이퍼 캐리어(C)를 파지하고 이동 가능하다. 나아가, 비히클(150)은 그에 대응하는 레벨에 위치하는 1단 선반(113)에 대해서는, 측면 방향(S)으로 사이드 슬라이딩 기구(미도시)를 좌우로 뻗어서 웨이퍼 캐리어(C)를 이재한다. 반면에, 비히클(150)은 그보다 낮은 레벨에 위치하는 2단 선반(115)에 대해서는, 2단 선반(115)이 전개 포지션(DP)로 이동된 상태에서, 높이 방향(H)으로 호이스트(미도시)를 내려서 웨이퍼 캐리어(C)를 이재한다. The vehicle 150 is a device that travels along a rail R installed on the ceiling. The vehicle 150 holds the wafer carrier C and is movable. Further, the vehicle 150 transfers the wafer carrier C by extending a side sliding mechanism (not shown) left and right in the lateral direction S for the first shelf 113 positioned at a level corresponding thereto. On the other hand, the vehicle 150 is a hoist (not shown) in the height direction H with the second shelf 115 moved to the deployed position DP with respect to the two-stage shelf 115 located at a lower level. time) and transfer the wafer carrier (C).

레일(R)은 비히클(150)이 주행하는 경로를 형성하는 점에서 주행 라인이라 불려질 수 있다. 또한, 주행 라인이 설치된 레벨과 제2단 선반(115)이 이동하는 레벨은 서로 간에 차이가 있으나, 편의상 2단 선반(115)이 전개 포지션(DP)으로 이동하는 것에 대해서 주행 라인{정확히는 주행 라인이 2단 선반(115)이 이동하는 평면 상에 투영된 주행 라인}을 향해 이동하는 것으로 말하기도 한다. The rail R may be called a traveling line in that it forms a path along which the vehicle 150 travels. In addition, there is a difference between the level at which the driving line is installed and the level at which the second-stage shelf 115 moves, but for convenience, the driving line (exactly the driving line) is related to the movement of the second-stage shelf 115 to the deployed position DP. It is also said that this two-stage shelf 115 moves toward a traveling line projected on a moving plane.

제1 다단 천장 버퍼(110)와 제2 다단 천장 버퍼(130)의 구체적 형태는 도 3을 참조하여 설명한다. 양자의 형태는 대체로 동일하므로, 이하에서는 이들의 일 예로서 다단 천장 버퍼(200)를 설명한다.Specific shapes of the first multi-level ceiling buffer 110 and the second multi-level ceiling buffer 130 will be described with reference to FIG. 3 . Since both shapes are substantially the same, the multi-level ceiling buffer 200 will be described below as an example thereof.

도 3은 도 1의 다단 천장 버퍼(200)에 대한 사시도이다.3 is a perspective view of the multi-level ceiling buffer 200 of FIG. 1 .

본 도면을 참조하면, 다단 천장 버퍼(200)는, 앞서 설명한 바와 유사하게, 프레임(210), 1단 선반(230), 및 2단 선반(250)을 포함한다. 나아가, 승강 모듈(260), 통합구동 모듈(270), 및 퍼지 모듈(290)도 추가로 포함할 수 있다. Referring to this figure, the multi-level ceiling buffer 200 includes a frame 210 , a first-stage shelf 230 , and a second-stage shelf 250 , similarly to the above description. Furthermore, the elevating module 260 , the integrated driving module 270 , and the purge module 290 may be additionally included.

프레임(210)은, 구체적으로, 상부 프레임(211)과 하부 프레임(215)으로 구분될 수 있다. 상부 프레임(211)은 천장에 매달리는 부분이다. 하부 프레임(215)은 상부 프레임(211)의 하측에 배치된다.The frame 210 may be specifically divided into an upper frame 211 and a lower frame 215 . The upper frame 211 is a part suspended from the ceiling. The lower frame 215 is disposed below the upper frame 211 .

1단 선반(230)은 상부 프레임(211)에 설치되어, 웨이퍼 캐리어(C)를 지지하게 된다. 구체적으로, 1단 선반(230)은 한 쌍의 안착 포트(235)를 가지고, 그 안착 포트(235)에 웨이퍼 캐리어(C)가 각각 안착될 수 있다. The first shelf 230 is installed on the upper frame 211 to support the wafer carrier (C). Specifically, the first stage shelf 230 has a pair of seating ports 235 , and the wafer carriers C may be respectively mounted on the seating ports 235 .

2단 선반(250)은 하부 프레임(215)에 설치되고, 역시 웨이퍼 캐리어(C)를 지지하게도록 구성된다. 2단 선반(250) 역시 한 쌍의 안착 포트(255)를 가지고, 그 안착 포트(255)에 웨이퍼 캐리어(C)가 각각 안착될 수 있다. 안착 포트(255)가 안착 포트(235)의 하측에 위치하는 상태는, 안착 포트(255)가 후퇴 포지션(RP)에 위치하는 것이 된다. 본 실시예에서는 안착 포트(235)와 안착 포트(255)가 각각 한 쌍인 것을 예시하나, 이들은 그 이상으로, 예를 들어 두 쌍으로 구비될 수도 있다. The two-stage shelf 250 is installed on the lower frame 215 and is also configured to support the wafer carrier (C). The two-stage shelf 250 also has a pair of seating ports 255 , and the wafer carriers C may be respectively mounted on the seating ports 255 . A state in which the seating port 255 is positioned below the seating port 235 is that the seating port 255 is positioned in the retracted position RP. In this embodiment, the seating port 235 and the seating port 255 are each exemplified as a pair, but they may be provided in more than one pair, for example, in two pairs.

승강 모듈(260)은 상부 프레임(211)에 대해 하부 프레임(215)을 상승시키거나 반대로 하강시키는 구성이다. 이를 위해, 승강 모듈(260)은 상부 프레임(211)에 대해 하부 프레임(215)을 이동 가능하게 연결한다. 승강 모듈(260)은, 다단 천장 버퍼(200)를 최대한 천장 측으로 밀착시켜서 그의 하측에서 장비를 이동시키기 위한 경우에 필요하다. 이에 대해서는 도 4를 참조하여 구체적으로 설명한다. The lifting module 260 is configured to raise the lower frame 215 with respect to the upper frame 211 or vice versa. To this end, the elevating module 260 movably connects the lower frame 215 with respect to the upper frame 211 . The elevating module 260 is required in order to move the equipment from the lower side of the multi-level ceiling buffer 200 by as closely as possible to the ceiling side. This will be described in detail with reference to FIG. 4 .

다시 도 3을 참조하면, 통합구동 모듈(270)은 2단 선반(250)에서 안착 포트(255)를 후퇴 포지션(RP)와 전개 포지션(DP) 간에 이동시킬 때 한 쌍의 안착 포트(255)를 통합적으로 슬라이딩 구동하는 구성이다. 이를 위해, 통합구동 모듈(270)은 프레임(210), 구체적으로 하부 프레임(215)과 2단 선반(250)에 대해 설치될 수 있다. Referring back to FIG. 3 , the integrated driving module 270 includes a pair of seating ports 255 when moving the seating port 255 between the retracted position RP and the deployed position DP on the two-stage shelf 250 . It is a configuration that integrally slides and drives. To this end, the integrated driving module 270 may be installed with respect to the frame 210 , specifically, the lower frame 215 and the two-stage shelf 250 .

퍼지 모듈(290)은 1단 선반(230) 및 2단 선반(250), 적어도 2단 선반(250)에 안착된 웨이퍼 캐리어(C)를 퍼지하기 위한 구성이다. 퍼지는, 구체적으로 안착 포트(235 및 255)에 안착된 웨이퍼 캐리어(C) 내로 불활성 가스인 퍼지 가스를 주입하는 방식으로 이루어진다. 이를 위해, 퍼지 모듈(290)은 웨이퍼 캐리어(C)로 퍼지 가스를 공급하고 웨이퍼 캐리어(C)로부터 그를 배기시키기 위한 배관들을 포함한다. 상기 배관 중 주 배관은 상부 프레임(211)의 상부 공간에 설치되고, 분기 배관은 주 배관에서 분기되어 안착 포트(235 및 255)로 이어질 수 있다. The purge module 290 is configured to purge the first-stage shelf 230 , the second-stage shelf 250 , and at least the wafer carrier C seated on the second-stage shelf 250 . The purge is specifically performed in a manner of injecting a purge gas, which is an inert gas, into the wafer carrier C seated in the seating ports 235 and 255 . To this end, the purge module 290 includes pipes for supplying a purge gas to the wafer carrier C and evacuating the purge gas from the wafer carrier C. Among the pipes, the main pipe is installed in the upper space of the upper frame 211 , and the branch pipe is branched from the main pipe to lead to the seating ports 235 and 255 .

앞서의 승강 모듈(260)에 대해서는 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 도 3에서 프레임(210)의 높이 조절을 설명하기 위한 다단 천장 버퍼(200)의 일 부분에 대한 개략적 정면도이다. The aforementioned elevating module 260 will be described with reference to FIG. 4 . 4 is a schematic front view of a portion of the multi-level ceiling buffer 200 for explaining the height adjustment of the frame 210 in FIG. 3 .

본 도면을 참조하면, 승강 모듈(260)은 상부 프레임(211)에 대해 하부 프레임(215)을 연결하는 승강 로드(261)를 구비할 수 있다. 승강 로드(261)는 하부 프레임(215)의 승강 방향을 따라 배치되게 된다. Referring to this drawing, the lifting module 260 may include a lifting rod 261 connecting the lower frame 215 to the upper frame 211 . The lifting rod 261 is disposed along the lifting direction of the lower frame 215 .

승강 로드(261)의 승강을 위한 원동력은, 작업자가 핸들(263)을 회전시키는 것으로부터 발생할 수 있다. 핸들(263)의 회전에 연동하여 작동하는 동력 변환부(265)는, 핸들(263)의 회전력을 승강 로드(261)의 승강을 위한 힘으로 변환한다. 동력 변환부(265)는 웜과 웜 기어 등의 기어 세트를 구비하여, 동력을 변환하게 된다. The driving force for the lifting and lowering of the lifting rod 261 may be generated by the operator rotating the handle 263 . The power conversion unit 265 operating in association with the rotation of the handle 263 converts the rotational force of the handle 263 into a force for lifting and lowering the lifting rod 261 . The power conversion unit 265 includes a gear set such as a worm and a worm gear to convert power.

이러한 구성에 따라, 작업자는 필요시에 핸들(263)을 조작하여 하부 프레임(215)을 상부 프레임(211)을 향해 상승시키거나, 그 반대의 조작을 할 수 있다. According to this configuration, the operator may operate the handle 263 when necessary to raise the lower frame 215 toward the upper frame 211, or vice versa.

핸들(263)과 기어 세트를 이용한 수동 구동 방식은 별도의 모터나 실린더 등의 사용을 배제하여, 천장에 매달린 다단 천장 버퍼(200)의 구조 설계의 제한(전원 공급의 제한 등)을 회피할 수 있는 이점을 제공한다. 그러나, 그러한 제한이 문제되지 않는다면, 승강 모듈(260)은 실린더, 모터 등을 채용하여, 전동 방식으로 작동하도록 구성될 수도 있을 것이다.The manual driving method using the handle 263 and the gear set excludes the use of a separate motor or cylinder, thereby avoiding the limitation of the structural design of the multi-level ceiling buffer 200 suspended from the ceiling (restriction of power supply, etc.) provides advantages. However, if such a limitation is not a problem, the elevating module 260 may be configured to operate in an electric manner by employing a cylinder, a motor, or the like.

다음으로, 통합구동 모듈(270) 등의 구성에 관해서는 도 5를 참조하여 설명한다. 도 5는 도 3에서 2단 선반(250)이 전개 포지션(DP)으로 이동된 상태를 보인 사시도이다. Next, the configuration of the integrated driving module 270 and the like will be described with reference to FIG. 5 . 5 is a perspective view illustrating a state in which the second-stage shelf 250 is moved to the deployed position DP in FIG. 3 .

본 도면을 참조하면, 먼저 2단 선반(250)은 베이스 플레이트(251)를 구비할 수 있다. 베이스 플레이트(251)는 대체로 직사각형 형상을 갖는 플레이트이다. 베이스 플레이트(251)에는 관통홀(253)이 개구된다. Referring to this drawing, first, the two-stage shelf 250 may include a base plate 251 . The base plate 251 is a plate having a generally rectangular shape. A through hole 253 is opened in the base plate 251 .

관통홀(253)은 안착 포트(255)에 대응하는 사이즈를 갖도록 개구되는데, 역시 안착 포트(255)의 수에 대응하여 한 쌍으로 형성될 수 있다. 관통홀(253) 마다 안착 포트(255)가 장착되고, 관통홀(253)에 의해 외부로 노출된 안착 포트(255)의 저면에는 퍼지 모듈(290)의 구성요소들 중 일부가 설치될 수 있다. The through-hole 253 is opened to have a size corresponding to the seating port 255 , and may also be formed as a pair corresponding to the number of seating ports 255 . A seating port 255 is mounted for each through hole 253 , and some of the components of the purge module 290 may be installed on the bottom surface of the seating port 255 exposed to the outside by the through hole 253 . .

통합구동 모듈(270)은 베이스 플레이트(251)를 구동함에 의해, 한 쌍의 안착 포트(255)를 통합적으로 구동하도록 구성된다. 베이스 플레이트(251)에 대한 구동은, 그의 일 측에 연결되어 동력을 발생시키는 동력발생 유닛(271)에 의해 이루어진다. 베이스 플레이트(251)의 반대 측을 지지하는 지지 유닛(278)은 단순히 슬라이딩되는 베이스 플레이트(251)을 지지할 뿐이다. 다시 말해서, 베이스 플레이트(251)를 후퇴 포지션(RP)와 전개 포지션(DP) 간에 이동시키기 위한 동력은 동력발생 유닛(271)에서만 발생되고, 지지 유닛(278)은 그러한 동력을 발생시키지는 않는다.The integrated driving module 270 is configured to integrally drive the pair of seating ports 255 by driving the base plate 251 . The driving of the base plate 251 is made by a power generating unit 271 connected to one side thereof to generate power. The support unit 278 supporting the opposite side of the base plate 251 simply supports the sliding base plate 251 . In other words, the power for moving the base plate 251 between the retracted position RP and the deployed position DP is generated only by the power generating unit 271 , and the supporting unit 278 does not generate such power.

동력발생 유닛(271)은, 2단 구조로서 전개 방항(D)을 따라 전개될 수 있다. 2단 구조는, 구체적으로 원동부(272)와 연동부(275)로 구성될 수 있다. The power generating unit 271 may be deployed along the deployment direction D as a two-stage structure. The two-stage structure may be specifically composed of a driving part 272 and an interlocking part 275 .

원동부(272)는 모터(273)와 제1 슬라이더(274)를 구비할 수 있다. 모터(273)는 전력을 공급받아 회전력을 발생시킨다. 제1 슬라이더(274)는 동력 변환부(미도시)에 의해 상기 회전력을 직선 운동을 일으키는 힘으로 전달받아 전개 방향(D)으로 슬라이딩 이동된다. 상기 동력 변환부는 모터(273)와 연동되어 회전하는 볼스크류일 수 있다. 상기 볼스크류에서 스크류는 전개 방향(D)을 따라 배치될 것이고, 그와 나사 결합되어 직선 운동하는 너트는 제1 슬라이더(274)와 결합되면 된다. 여기서, 전개 방향(D)은 후퇴 포지션(RP)에서 전개 포지션(DP)을 향한 방향이다.The driving unit 272 may include a motor 273 and a first slider 274 . The motor 273 receives power to generate rotational force. The first slider 274 is slidably moved in the deployment direction D by receiving the rotational force as a force causing a linear motion by a power converter (not shown). The power converter may be a ball screw that rotates in conjunction with the motor 273 . In the ball screw, the screw will be disposed along the unfolding direction D, and the nut screwed with it and moving in a straight line may be coupled to the first slider 274 . Here, the deployment direction D is a direction from the retracted position RP to the deployed position DP.

연동부(275)는 제1 슬라이더(274)의 직선 운동에 연동되어, 역시 전개 방향(D)을 따라 제2 슬라이더(276)가 슬라이딩하도록 하는 구성이다. 제2 슬라이더(276)에는 베이스 플레이트(251)가 결합되기에, 그들은 모터(273)의 작동시에 함께 전개 포지션(DP)으로 슬라이딩된다. 이러한 작동을 위해, 연동부(275)는 휠(277)과 벨트(278)를 더 가질 수 있다. 한 쌍의 휠(277)에는 벨트(278)가 장착되고, 벨트(278)의 일 부분에는 제2 슬라이더(276)가 결합된다. 또한, 벨트(278)의 타 부분에는 하부 프레임(215)에 고정된 브라켓(279)이 결합된다. 이러한 구성에 의해, 제1 슬라이더(274)의 슬라이딩시에 그에 연동되어 벨트(278)가 회전하며, 벨트(278)에 연결된 제2 슬라이더(276)가 역시 추가적으로 슬라이딩할 수 있게 된다. The linkage portion 275 is configured to be linked to the linear motion of the first slider 274 so that the second slider 276 slides along the unfolding direction D as well. Since the base plate 251 is coupled to the second slider 276 , they slide together to the deployed position DP upon actuation of the motor 273 . For this operation, the linkage 275 may further have a wheel 277 and a belt 278 . A belt 278 is mounted on the pair of wheels 277 , and a second slider 276 is coupled to a portion of the belt 278 . In addition, a bracket 279 fixed to the lower frame 215 is coupled to the other portion of the belt 278 . With this configuration, when the first slider 274 slides, the belt 278 rotates in association with it, and the second slider 276 connected to the belt 278 can also additionally slide.

지지 유닛(278)은 동력발생 유닛(271)의 제1 슬라이더(274)와 제2 슬라이더(276) 등과 유사한 구성을 가지나, 동력발생 유닛(271)에서의 모터(273)나 상기 동력 변환부와 같은 구성을 갖지는 않는다.The support unit 278 has a configuration similar to the first slider 274 and the second slider 276 of the power generating unit 271 , but with the motor 273 or the power conversion unit in the power generating unit 271 . They do not have the same composition.

이러한 구성에 의해, 후퇴 포지션(RP)와 전개 포지션(DP) 간의 이동을 위해 요구되는 스트로크를 확보할 수 있게 된다. 나아가, 동력발생 유닛(271)에만 모터(273)가 구비되고 지지 유닛(278)에는 그러한 구성을 배제함에 의해, 천장에 전원 공급함에 있어서의 제한 등의 문제에서 지지 유닛(278)에까지 전원을 공급하는 경우에 비해 설계의 제한을 보다 쉽게 극복할 수 있게 된다. With this configuration, it is possible to secure a stroke required for movement between the retracted position RP and the deployed position DP. Furthermore, only the power generating unit 271 is provided with the motor 273 and the support unit 278 is excluded from such a configuration, so that power is supplied to the support unit 278 from the problem of limitation in supplying power to the ceiling. It is possible to overcome the design limitations more easily than in the case of

퍼지 모듈(290)로서 하부 프레임(215)에는 퍼지가스 공급라인(291)과 퍼지가스 배기라인(296, 이상 도 6 참조) 등이 설치될 수 있다. 나아가, 안착 포트(255)에는 공급 노즐(292)과 배기 노즐(295) 등이 설치될 수 있다. 이들에 관해서는 도 6 및 도 7을 참조하여 설명한다.As the purge module 290 , a purge gas supply line 291 and a purge gas exhaust line 296 (refer to FIG. 6 above) may be installed in the lower frame 215 . Furthermore, a supply nozzle 292 and an exhaust nozzle 295 may be installed in the seating port 255 . These will be described with reference to FIGS. 6 and 7 .

도 6은 도 5에서 퍼지 모듈(290)을 분리하여 보인 사시도이고, 도 7은 도 6에서 선반 노즐(295a)과 프레임 노즐(296a) 간의 대응 관계를 보인 개념도이다.FIG. 6 is a perspective view showing the purge module 290 separated from FIG. 5 , and FIG. 7 is a conceptual diagram illustrating a correspondence relationship between the shelf nozzle 295a and the frame nozzle 296a in FIG. 6 .

본 도면들을 참조하면, 퍼지 모듈(290) 중 웨이퍼 캐리어(C)에 퍼지가스를 공급하기 위한 구성은, 퍼지가스 공급라인(291), 공급 노즐(292), 및 연결 튜브(293)를 가질 수 있다. Referring to the drawings, a configuration for supplying a purge gas to the wafer carrier C among the purge module 290 may include a purge gas supply line 291 , a supply nozzle 292 , and a connection tube 293 . there is.

퍼지가스 공급라인(291)은 하부 프레임(215)에 설치되어, 퍼지가스 탱크로부터 퍼지가스를 공급받는 라인이다. 공급 노즐(292)은 안착 포트(255)에 설치되고, 안착 포트(255)에 안착되는 웨이퍼 캐리어(C)의 급기구와 접속된다. The purge gas supply line 291 is installed in the lower frame 215 to receive the purge gas from the purge gas tank. The supply nozzle 292 is installed in the seating port 255 and is connected to the supply port of the wafer carrier C that is seated in the seating port 255 .

연결 튜브(293)는 퍼지가스 공급라인(291)과 공급 노즐(292)을 연결하는 구성이다. 연결 튜브(293)는 연질 재질, 예를 들어 폴리우레탄 재질로 제작될 수 있다. 연결 튜브(293)는 안착 포트(255)가 후퇴 포지션(RP)와 전개 포지션(DP) 간에 이동하더라도, 그에 대응하여 변형되면서 퍼지가스 공급라인(291)와 공급 노즐(292)을 안정적으로 연통시키게 된다.The connection tube 293 is configured to connect the purge gas supply line 291 and the supply nozzle 292 . The connection tube 293 may be made of a soft material, for example, a polyurethane material. The connection tube 293 is deformed correspondingly even when the seating port 255 moves between the retracted position RP and the deployment position DP to stably communicate the purge gas supply line 291 and the supply nozzle 292 do.

퍼지 모듈(290) 중 웨이퍼 캐리어(C)로부터 퍼지가스를 배기하기 위한 구성은, 배기 노즐(295), 선반 노즐(295a), 퍼지가스 배기라인(296), 그리고 프레임 노즐(296a)을 가질 수 있다. A configuration for exhausting the purge gas from the wafer carrier C among the purge module 290 may include an exhaust nozzle 295, a shelf nozzle 295a, a purge gas exhaust line 296, and a frame nozzle 296a. there is.

배기 노즐(295)은 공급 노즐(292)과 유사하게 안착 포트(255)에 설치되어, 그에 안착되는 웨이퍼 캐리어(C)의 배기구와 접속되는 구성이다. 선반 노즐(295a)은 배기 노즐(295)에 연통되며, 안착 포트(255)의 하측에 배치되는 노즐이다.The exhaust nozzle 295 is installed in the seating port 255 similarly to the supply nozzle 292, and is configured to be connected to the exhaust port of the wafer carrier C seated therein. The shelf nozzle 295a communicates with the exhaust nozzle 295 and is a nozzle disposed below the seating port 255 .

퍼지가스 배기라인(296)은 하부 프레임(215)에 설치되고, 퍼지가스를 회수탱크로 이송하는 구성이다. 프레임 노즐(296a)은 퍼지가스 배기라인(296)에 연통되고, 선반 노즐(295a)을 마주하도록 배치된다. The purge gas exhaust line 296 is installed in the lower frame 215 and is configured to transfer the purge gas to the recovery tank. The frame nozzle 296a communicates with the purge gas exhaust line 296 and is disposed to face the shelf nozzle 295a.

선반 노즐(295a)과 프레임 노즐(296a)은 서로 접속된 상태 또는 접속 해제된 상태에 놓이게 된다. 구체적으로, 안착 포트(255)가 후퇴 포지션(RP)에 위치한 경우에 그들은 서로 접속되고, 안착 포트(255)가 전개 포지션(DP)에 위치한 경우에 그들은 서로 접속 해제된 상태(이격된 상태)가 된다. The shelf nozzle 295a and the frame nozzle 296a are placed in a connected state or a disconnected state. Specifically, when the seating port 255 is located in the retracted position RP, they are connected to each other, and when the seating port 255 is located in the deployed position DP, they are disconnected from each other (a separate state). do.

선반 노즐(295a)과 프레임 노즐(296a)이 접속 상태로 전환을 위해 서로 간에 충돌하게 되는데, 그 충돌에 의한 충격은 스프링 너트(297)에 의해 완충될 수 있다. 스프링 너트(297)는 프레임 노즐(296a)과 퍼지가스 배기라인(296) 사이에 설치되어, 프레임 노즐(296a)을 퍼지가스 배기라인(296)에 대해 탄성적으로 지지할 수 있다. The shelf nozzle 295a and the frame nozzle 296a collide with each other to switch to the connected state, and the impact caused by the collision may be buffered by the spring nut 297 . The spring nut 297 may be installed between the frame nozzle 296a and the purge gas exhaust line 296 to elastically support the frame nozzle 296a with respect to the purge gas exhaust line 296 .

이상에서 배기 흐름을 위해서는 연질 튜브를 사용하지 않고, 선반 노즐(295a)과 프레임 노즐(296a)을 채용한 기술을 설명하였다. 본 발명자는 배기를 통해 나오는 불순화합물에 의해 튜브가 부식되는 문제를 원천적으로 방지하고자, 이러한 기술을 개발한 것이다.In the above description, the technology employing the shelf nozzle 295a and the frame nozzle 296a without using a soft tube for exhaust flow has been described. The present inventors have developed such a technology to fundamentally prevent the problem of tube corrosion by impure compounds coming out through exhaust.

다음으로, 2단 선반(250)에 대한 퍼지 작업에 대해서는, 도 8을 참조하여 설명한다. 도 8은 2단 선반(250)에 대한 퍼지 모듈(290)의 작동에 관해 설명하기 위한 순서도이다.Next, a purge operation on the two-stage shelf 250 will be described with reference to FIG. 8 . 8 is a flowchart for explaining the operation of the purge module 290 for the two-stage shelf 250 .

본 도면을 참조하면, 퍼지 모듈(290)은 안착 포트(255)에 설치된 감지 센서(미도시)가 웨이퍼 캐리어(C)를 감지함(S1)에 의해, 웨이퍼 캐리어(C)에 퍼지가스를 공급하도록(S3) 제어된다. 퍼지가스 공급 후에 일정 시간 경과 후에는(S5), 웨이퍼 캐리어(C) 내의 퍼지가스를 배기하도록(S7) 제어된다. Referring to this figure, the purge module 290 supplies a purge gas to the wafer carrier C by a detection sensor (not shown) installed in the seating port 255 detects the wafer carrier C (S1). It is controlled to do so (S3). After a predetermined time elapses after supply of the purge gas (S5), the control is performed to exhaust the purge gas in the wafer carrier C (S7).

이러한 배기는, 안착 포트(255)가 전개 포지션(DP)으로 이동을 위해 후퇴 포지션(RP)에서 이탈함(S9)에 따라 중단되도록(S11) 제어될 수 있다. 안착 포트(255)가 후퇴 포지션(RP)에서 이탈함에 대한 판단에는 모터(273)의 홈 포지션에 대한 감지 센서(미도시)의 감지 결과가 이용될 수 있다. 모터(273)가 홈 포지션에 위치한다는 것은 안착 포트(255)가 후퇴 포지션(RP)에 위치한다는 것이 된다. 따라서, 모터(273)가 홈 포지션에서 벗어나서 작동하는 시점에, 배기 작업은 중단된다.Such exhaust may be controlled to be stopped (S11) as the seating port 255 moves away from the retracted position RP to move to the deployed position DP (S9). A detection result of a detection sensor (not shown) for the home position of the motor 273 may be used to determine that the seating port 255 is deviating from the retracted position RP. Positioning the motor 273 at the home position means that the seating port 255 is located at the retracted position RP. Accordingly, when the motor 273 moves out of the home position, the exhaust operation is stopped.

이는 안착 포트(255)가 전개 포지션(DP)으로 이동하는 시점에 안착 포트(255)에 여전히 웨이퍼 캐리어(C)가 안착되어 있기는 하지만, 선반 노즐(295a)과 프레임 노즐(296a)의 접속이 해제되어 배기 흐름이 끊어짐을 고려한 것이다. 배기 흐름이 끊어지고 나서야 배기 동작이 중단되면, 배기 동작에 의한 압력의 차이 또는 배기 배관 내의 미세한 잔류 불순화합물 등으로 인해 웨이퍼 캐리어(C) 내의 불순화합물이 미세한 누출을 야기할 수 있기 때문이다. This is because the wafer carrier C is still seated in the seating port 255 at the time the seating port 255 moves to the deployment position DP, but the connection between the shelf nozzle 295a and the frame nozzle 296a is It is considered that the exhaust flow is cut off due to release. This is because, if the exhaust operation is stopped only after the exhaust flow is cut off, the impurity compounds in the wafer carrier C may cause minute leakage due to a pressure difference due to the exhaust operation or minute residual impurities in the exhaust pipe.

배기 중단 후에 웨이퍼 캐리어(C)가 이재되어 더 이상 감지되지 않는다면, 퍼지가스의 공급도 중단될 것이다(S13). 이와달리, 퍼지가스는 웨이퍼 캐리어(C)가 감지되더라도, 설정 시간 경과에 따라 공급이 중단될 수도 있다.If the wafer carrier C is transferred and is no longer detected after the exhaust is stopped, the supply of the purge gas will also be stopped (S13). On the other hand, even if the wafer carrier C is detected, the purge gas may be supplied according to the lapse of a set time.

이제 도 9 및 10을 참조하여, 다시 다단 천장 버퍼 시스템(100)으로 돌아가서, 그의 제어에 관해 설명한다. Referring now to FIGS. 9 and 10 , returning to the multi-level ceiling buffer system 100 , the control thereof will be described.

도 9는 도 1의 다단 천장 버퍼 시스템(100)의 제어를 설명하기 위한 개념도이다. FIG. 9 is a conceptual diagram for explaining the control of the multi-level ceiling buffer system 100 of FIG. 1 .

본 도면을 참조하면, 다단 천장 버퍼 시스템(100)에서는, 제1 다단 천장 버퍼(110)와 제2 다단 천장 버퍼(130)가 레일(R)을 기준으로 서로 반대 측에 배치될 수 있다. Referring to this figure, in the multi-level ceiling buffer system 100 , the first multi-level ceiling buffer 110 and the second multi-level ceiling buffer 130 may be disposed on opposite sides with respect to the rail R.

이들은 각각 제1 안착 포트(115) 또는 제2 안착 포트(135)를 가진다. 제1 안착 포트(115)와 제2 안착 포트(135) 각각은 한 쌍의 안착 포트를 가진다. 구체적으로, 제1 안착 포트(115)는 제1-1 안착 포트(116)와 제1-2 안착 포트(117)를 가지며, 제2 안착 포트(135)는 제2-1 안착 포트(136)와 제2-2 안착 포트(137)를 가진다. 한 쌍의 안착 포트들은, 앞서 설명한 바대로, 통합구동 모듈(270, 도 3 참조)에 의해 통합적으로 구동되는 구성이다. They each have a first seating port 115 or a second seating port 135 . Each of the first seating port 115 and the second seating port 135 has a pair of seating ports. Specifically, the first seating port 115 has a 1-1 seating port 116 and a 1-2 seating port 117 , and the second seating port 135 is a 2-1 seating port 136 . and a 2-2 seating port 137 . The pair of seating ports are configured to be integrally driven by the integrated driving module 270 (refer to FIG. 3 ), as described above.

이러한 통합 구동에 의해, 제1 안착 포트(115) 중 제1-1 안착 포트(116)와 제2 안착 포트(135) 중 제2-2 안착 포트(137)는 전개 포지션(DP)으로 이동하는 중에 서로 충돌될 수 있다. By this integrated driving, the 1-1 seat port 116 of the first seat port 115 and the second seat port 137 of the second seat port 135 are moved to the deployment position DP. may collide with each other.

제1 비히클(151)은 제1 다단 천장 버퍼(110)의 제1-2 안착 포트(117)에 대해 웨이퍼 캐리어(C)를 이재하려 하고, 제2 비히클(155)은 제2 다단 천장 버퍼(130)의 제2-1 안착 포트(136)에 대해 웨이퍼 캐리어(C)를 이재하려 하는 경우라서, 제1-2 안착 포트(117)와 제2-1 안착 포트(136)는 레일(R)의 연장 방향을 따라 서로 충분히 이격되어 있음에도 충돌 가능성이 있는 것이다. 이는 제1 안착 포트(115)와 제2 안착 포트(135)가 각각 통합 구동되고, 개별 포트(117 및 136)가 개별적으로 구동되는 상황과는 다르기 때문이다. The first vehicle 151 tries to transfer the wafer carrier C to the 1-2 seating port 117 of the first multi-level ceiling buffer 110, and the second vehicle 155 is the second multi-level ceiling buffer ( Since it is a case of transferring the wafer carrier (C) to the 2-1 seating port 136 of 130), the 1-2 seating port 117 and the 2-1 seating port 136 are rails (R) Even though they are sufficiently spaced apart from each other along the extension direction, there is a possibility of collision. This is because the first seating port 115 and the second seating port 135 are each integrally driven, and it is different from a situation in which the individual ports 117 and 136 are individually driven.

이러한 충돌 가능성에 대응하기 위하서는, 제어 모듈(170)이 추가로 구비된다. 제어 모듈(170)은 제1 다단 천장 버퍼(110), 제2 다단 천장 버퍼(130), 제1 비히클(151), 및 제2 비히클(155)과 통신하게 된다. In order to cope with such a collision possibility, the control module 170 is additionally provided. The control module 170 communicates with the first multi-level ceiling buffer 110 , the second multi-level ceiling buffer 130 , the first vehicle 151 , and the second vehicle 155 .

그에 의해, 한 쌍의 제1 안착 포트(115) 중 하나(116 또는 117)에 대한 제1 비히클(151)로부터의 이재 요청과 한 쌍의 제2 안착 포트(135) 중 하나(136 또는 137)에 대한 제2 비히클(155)로부터의 이재 요청을 수신한 경우에, 제어 모듈(170)은 한 쌍의 제1 안착 포트(115)와 한 쌍의 제2 안착 포트(135)의 주행 라인(R)을 향한 이동시 그들 간의 충돌 가능성을 판단하게 된다. Thereby, a transfer request from the first vehicle 151 to one (116 or 117) of the pair of first seating ports 115 and one (136 or 137) of the pair of second seating ports 135 When receiving a transfer request from the second vehicle 155 for ) to determine the possibility of collision between them.

제어 모듈(170)은 판단된 충돌 가능성에 기초하여, 한 쌍의 제1 안착 포트(115)의 이동을 승인하여 그가 주행 라인(R)을 향해 이동하여 전개 포지션(DP)에 위치하는 동안에는 한 쌍의 제2 안착 포트(135)의 주행 라인(R)을 향한 이동을 불승인하게 된다. 그에 의해, 제1 안착 포트(115)와 제2 안착 포트(135) 간의 충돌은 방지된다. The control module 170 approves the movement of the pair of first seating ports 115 on the basis of the determined collision possibility, so that the pair of first seating ports 115 move toward the driving line R and are positioned in the deployed position DP. The movement of the second seating port 135 toward the driving line R is disapproved. Thereby, collision between the first seating port 115 and the second seating port 135 is prevented.

도 10은 도 1의 다단 천장 버퍼 시스템(100)에 대한 다른 제어를 설명하기 위한 개념도이다. FIG. 10 is a conceptual diagram for explaining another control of the multi-level ceiling buffer system 100 of FIG. 1 .

본 도면을 참조하면, 다단 천장 버퍼 시스템(100)은 앞선 실시예와 대체로 동일하나, 제1 비히클(151) 및 제2 비히클(155)이 운용되지 않는 상태이다. 이 상태에서 작업자는 수동 운전을 통해서 제1 안착 포트(115, 119)와 제2 안착 포트(135)의 작동 상태를 점검할 수 있다. Referring to this drawing, the multi-level ceiling buffer system 100 is substantially the same as the previous embodiment, but the first vehicle 151 and the second vehicle 155 are not in operation. In this state, the operator may check the operating states of the first seating ports 115 and 119 and the second seating port 135 through manual operation.

제1 안착 포트(115, 119)와 제2 안착 포트(135)는 여전히 통합 구동되기에, 작업자는 그들이 전개 포지션(DP)으로 이동하는 중에 서로 충돌하지 않도록 주의해야 한다. 그러나 그들은 천장에 매달려 있고 멀리 떨어져 있어서, 작업자의 주의만으로 충돌을 피하기는 쉽지 않다. 따라서, 본 발명자는 수동 운전 중에도 포트들 간의 충돌을 방지할 수 있는 제어 방식을 추가로 제안하고자 하는 것이다. Since the first seating ports 115 and 119 and the second seating ports 135 are still integrally driven, the operator must be careful not to collide with each other while they are moving to the deployment position DP. However, they are suspended from the ceiling and are far away, so it is not easy to avoid collisions with the operator's attention alone. Accordingly, the present inventors intend to further propose a control method capable of preventing collision between ports even during manual driving.

구체적으로, 작업자에 의해 한 쌍의 제2 안착 포트(135)가 주행 라인(R)을 향해 이동된 상태에서, 추가적으로 한 쌍의 제1 안착 포트(115, 119)를 주행 라인(R)을 향해 전진시키려고 할 수 있다. 이때, 제어 모듈(170)은 그들 간의 충돌 가능성을 판단하게 된다. 여기서, 제어 모듈(170)은 제1 안착 포트(115, 119)와 제2 안착 포트(135) 각각에 대해 그들을 구동하는 모터(273, 도 5 참조)의 위치값을 모니터링하여, 그들이 후퇴 포지션(RP)에 위치한지 혹은 전개 포지션(DP)에 위치한지를 판단한다. Specifically, in a state in which the pair of second seating ports 135 are moved toward the traveling line R by the operator, the pair of first seating ports 115 and 119 are additionally moved toward the traveling line R You can try to move forward. At this time, the control module 170 determines the possibility of collision between them. Here, the control module 170 monitors the position values of the motors 273 (refer to FIG. 5 ) that drive them for each of the first seating ports 115 and 119 and the second seating ports 135, so that they are retracted (see FIG. 5 ). It is determined whether it is located in the RP) or the deployed position (DP).

제어 모듈(170)은 판단된 충돌 가능성에 기초하여, 한 쌍의 제1 안착 포트(115, 119)의 전진을 차단할 수 있다. 그에 의해, 제1 안착 포트(115)와 제2 안착 포트(135) 간의 충돌은 제어적으로 회피된다. The control module 170 may block advancement of the pair of first seating ports 115 and 119 based on the determined collision possibility. Thereby, a collision between the first seating port 115 and the second seating port 135 is controlledly avoided.

상기와 같은 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼 및 그를 포함하는 천장 버퍼 시스템은 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다. The multi-level ceiling buffer for storing wafer carriers and the ceiling buffer system including the same are not limited to the configuration and operation method of the above-described embodiments. The above embodiments may be configured so that various modifications can be made by selectively combining all or part of each of the embodiments.

100: 천장 버퍼 시스템 110: 제1 다단 천장 버퍼
130: 제2 다단 천장 버퍼 150: 비히클
170: 제어 모듈 200: 다단 천장 버퍼
210: 프레임 230: 1단 선반
250: 2단 선반 260: 승강 모듈
270: 통합구동 모듈 290: 퍼지 모듈100: ceiling buffer system 110: first multi-level ceiling buffer
130: second multi-level ceiling buffer 150: vehicle
170: control module 200: multi-level ceiling buffer
210: frame 230: single shelf shelf
250: two-level shelf 260: elevating module
270: integrated drive module 290: purge module

Claims (16)

상부 프레임과 상기 상부 프레임의 하측에 위치하는 하부 프레임을 구비하고, 비히클의 주행 라인의 측방에 위치하도록 천장에 매달리게 구성되는 프레임; 상기 상부 프레임에 설치되고, 웨이퍼 캐리어가 안착되도록 형성되는 1단 선반; 웨이퍼 캐리어가 안착되는 대상이 되는 한 쌍의 안착 포트를 구비하고, 상기 한 쌍의 안착 포트가 상기 1단 선반의 하측 위치인 후퇴 포지션에 위치하도록 상기 하부 프레임에 설치되는 2단 선반; 상기 프레임 및 상기 2단 선반에 대해 설치되고, 상기 한 쌍의 안착 포트를 상기 후퇴 포지션에서 상기 주행 라인의 하측 위치인 전개 포지션으로 통합적으로 슬라이딩시키도록 구성되는 통합구동 모듈; 및 상기 한 쌍의 안착 포트를 통해 상기 웨이퍼 캐리어를 퍼지하도록 구성되는 퍼지 모듈을 포함하고,
상기 퍼지 모듈은, 상기 안착 포트에 설치되고, 상기 안착 포트에 안착된 웨이퍼 캐리어와 접속되는 배기 노즐; 상기 프레임에 설치되는 퍼지가스 배기라인; 상기 배기 노즐에 연통되는 선반 노즐; 및 상기 퍼지가스 배기라인에 연결되고, 상기 2단 선반의 슬라이딩에 따라 상기 선반 노즐과 접속되거나 접속 해제되는 프레임 노즐을 포함하는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼.
a frame having an upper frame and a lower frame positioned below the upper frame, the frame being configured to be suspended from the ceiling so as to be positioned on the side of the vehicle traveling line; a first shelf installed on the upper frame and formed to seat a wafer carrier; a second-stage shelf having a pair of seating ports on which the wafer carrier is mounted, the two-stage shelf installed in the lower frame so that the pair of seating ports are located in a retracted position that is a lower position of the first-stage shelf; an integrated driving module installed with respect to the frame and the two-stage shelf and configured to integrally slide the pair of seating ports from the retracted position to a deployment position that is a lower position of the travel line; and a purge module configured to purge the wafer carrier through the pair of seating ports;
The purge module may include: an exhaust nozzle installed in the seating port and connected to the wafer carrier seated in the seating port; a purge gas exhaust line installed on the frame; a shelf nozzle in communication with the exhaust nozzle; and a frame nozzle connected to the purge gas exhaust line and connected to or disconnected from the shelf nozzle according to sliding of the second shelf.
 제1항에 있어서,
상기 2단 선반은, 상기 한 쌍의 안착 포트가 각각 장착되는 한 쌍의 관통홀을 구비하는 베이스 플레이트를 포함하고,
상기 통합구동 모듈은, 상기 베이스 플레이트를 슬라이딩 구동하여, 상기 한 쌍의 안착 포트가 상기 후퇴 포지션과 상기 전개 포지션 간에 통합적으로 이동되게 하는 것인, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼.
According to claim 1,
The two-stage shelf includes a base plate having a pair of through-holes to which the pair of seating ports are respectively mounted,
The integrated driving module is, by sliding the base plate, the pair of seating ports are integrally moved between the retracted position and the deployed position, the multi-level ceiling buffer for wafer carrier storage.
 제2항에 있어서,
상기 통합구동 모듈은,
상기 베이스 플레이트의 일측을 슬라이딩 구동하기 위한 동력을 발생시키는 동력발생 유닛; 및
상기 베이스 플레이트의 타측을 슬라이딩 가능하게 지지하는 지지 유닛을 포함하는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼.
3. The method of claim 2,
The integrated driving module is
a power generating unit for generating power for slidingly driving one side of the base plate; and
A multi-level ceiling buffer for storing wafer carriers, comprising a support unit slidably supporting the other side of the base plate.
 제3항에 있어서,
상기 동력발생 유닛은,
상기 후퇴 포지션에서 상기 전개 포지션을 향한 전개 방향을 따라 슬라이딩되는 제1 슬라이더를 구비하는 원동부; 및
상기 제1 슬라이더에 연동되어 상기 전개 방향을 따라 슬라이딩되며 상기 베이스 플레이트가 연결되는 제2 슬라이더를 구비하는 연동부를 포함하는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼.
4. The method of claim 3,
The power generating unit is
a prime mover having a first slider slid from the retracted position along a deployment direction toward the deployed position; and
A multi-level ceiling buffer for wafer carrier storage, comprising an interlocking part interlocked with the first slider, sliding along the unfolding direction, and having a second slider to which the base plate is connected.
 제1항에 있어서,
상기 상부 프레임과 상기 하부 프레임을 연결하고, 상기 하부 프레임이 상기 상부 프레임을 향해 상승되게 하는 승강 모듈을 더 포함하는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼.
According to claim 1,
Connecting the upper frame and the lower frame, and further comprising a lifting module for allowing the lower frame to rise toward the upper frame, Multi-level ceiling buffer for wafer carrier storage.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 퍼지 모듈은,
상기 프레임에 설치되는 퍼지가스 공급라인;
상기 안착 포트에 설치되어, 상기 안착 포트에 안착된 상기 웨이퍼 캐리어와 접속되는 공급 노즐; 및
상기 퍼지가스 공급 라인과 상기 공급 노즐을 연결하는 연질의 연결 튜브를 포함하는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼.
According to claim 1,
The purge module is
a purge gas supply line installed on the frame;
a supply nozzle installed in the seating port and connected to the wafer carrier seated in the seating port; and
A multi-level ceiling buffer for storing wafer carriers, comprising a flexible connecting tube connecting the purge gas supply line and the supply nozzle.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 퍼지 모듈은,
상기 프레임 노즐을 상기 퍼지가스 배기라인에 대해 탄성적으로 지지하는 스프링 너트를 더 포함하는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼.
According to claim 1,
The purge module is
The multi-level ceiling buffer for storing wafer carriers further comprising a spring nut elastically supporting the frame nozzle with respect to the purge gas exhaust line.
 제1항에 있어서,
상기 퍼지 모듈은,
상기 한 쌍의 안착 포트가 상기 후퇴 포지션에서 이탈함에 따라, 상기 웨이퍼 캐리어에 대한 배기를 중단하도록 구성되는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼.
According to claim 1,
The purge module is
and cease evacuation of the wafer carrier as the pair of seating ports depart from the retracted position.
 제10항에 있어서,
상기 통합구동 모듈은,
회전력을 발생시키는 모터를 포함하고,
상기 퍼지 모듈은,
상기 모터의 홈 포지션에 대한 감지 결과에 기초하여, 상기 안착 포트가 상기 후퇴 포지션에서 이탈함을 판단하도록 구성되는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼.
11. The method of claim 10,
The integrated driving module is
Including a motor for generating rotational force,
The purge module is
and determine that the seating port is out of the retracted position based on a detection result of the home position of the motor.
 주행 라인을 향해 통합적으로 구동되는 한 쌍의 제1 안착 포트를 구비하는 제1 다단 천장 버퍼; 상기 주행 라인을 향해 통합적으로 구동되는 한 쌍의 제2 안착 포트를 구비하고, 상기 한 쌍의 제2 안착 포트 중 하나는 상기 주행 라인을 향해 이동시에 상기 주행 라인을 향해 이동된 상기 한 쌍의 제1 안착 포트 중 하나와 간섭하도록 배치되는 제2 다단 천장 버퍼; 및 상기 제1 다단 천장 버퍼 및 상기 제2 다단 천장 버퍼와 통신 가능하게 연결되어, 상기 주행 라인을 향한 상기 한 쌍의 제1 안착 포트와 상기 한 쌍의 제2 안착 포트의 이동시 그들 간의 충돌 가능성을 판단하는 제어 모듈을 포함하고,
상기 주행 라인을 따라 이동하며 상기 한 쌍의 제1 안착 포트 중 하나 또는 상기 한 쌍의 제2 안착 포트 중 하나에 웨이퍼 캐리어를 이재하는 제1 비히클 및 제2 비히클을 더 포함하고,
상기 제어 모듈은, 상기 제1 비히클 및 상기 제2 비히클과도 통신 가능하게 연결되어, 상기 한 쌍의 제1 안착 포트 중 하나에 대한 상기 제1 비히클로부터의 이재 요청과 상기 한 쌍의 제2 안착 포트 중 하나에 대한 상기 제2 비히클로부터의 이재 요청을 수신한 경우에 상기 한 쌍의 제1 안착 포트와 상기 한 쌍의 제2 안착 포트의 상기 주행 라인을 향한 이동시 그들 간의 충돌 가능성을 판단하는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼 시스템.
a first multi-level ceiling buffer having a pair of first seating ports integrally driven toward the driving line; and a pair of second seating ports integrally driven toward the travel line, wherein one of the pair of second seating ports is moved toward the travel line when moving toward the travel line. a second multi-level ceiling buffer disposed to interfere with one of the first seating ports; and the first multi-level ceiling buffer and the second multi-level ceiling buffer are communicatively connected to each other to reduce the possibility of collision between the pair of first seating ports and the pair of second seating ports when moving toward the driving line. comprising a control module for determining;
Further comprising: a first vehicle and a second vehicle moving along the travel line and transferring a wafer carrier to one of the pair of first seating ports or one of the pair of second seating ports;
The control module is also communicatively connected to the first vehicle and the second vehicle to receive a transfer request from the first vehicle to one of the pair of first landing ports and the pair of second landing ports. Determining the possibility of collision between the pair of first landing ports and the pair of second landing ports when moving toward the travel line upon receiving a transfer request from the second vehicle for one of the ports; Multi-level ceiling buffer system for storage of wafer carriers.
 삭제delete 제12항에 있어서,
상기 제어 모듈은,
상기 충돌 가능성에 기초하여, 상기 한 쌍의 제1 안착 포트의 이동을 승인하여 상기 한 쌍의 제1 안착 포트가 상기 주행 라인을 향해 이동하여 상기 주행 라인의 하측에 위치하는 동안에는 상기 한 쌍의 제2 안착 포트의 상기 주행 라인을 향한 이동을 불승인하도록 구성되는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼 시스템.
13. The method of claim 12,
The control module is
Based on the collision possibility, the movement of the pair of first seating ports is approved so that the pair of first seating ports move toward the travel line and are positioned below the travel line while the pair of first seating ports are positioned below the travel line. 2 A tiered ceiling buffer system for storage of wafer carriers, configured to disallow movement of a seating port towards the travel line.
 제12항에 있어서,
상기 제어 모듈은,
상기 충돌 가능성에 기초하여, 상기 한 쌍의 제1 안착 포트가 상기 주행 라인을 향해 이동된 상태에서, 상기 주행 라인을 향한 상기 한 쌍의 제2 안착 포트의 전진을 차단하도록 구성되는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼 시스템.
13. The method of claim 12,
The control module is
and block advancement of the pair of second seating ports toward the travel line, in a state in which the pair of first seating ports are moved toward the travel line, based on the collision possibility. For multi-level ceiling buffer systems.
 제12항에 있어서,
상기 제1 다단 천장 버퍼 및 상기 제2 다단 천장 버퍼 각각은,
상기 한 쌍의 제1 안착 포트 또는 상기 한 쌍의 제2 안착 포트를 통합 구동하기 위한 구동력을 발생시키는 모터를 포함하고,
상기 제어 모듈은,
상기 모터의 위치값에 대한 모니터링 결과에 기초하여, 상기 한 쌍의 제1 안착 포트 및 상기 한 쌍의 제2 안착 포트의 위치를 판단하도록 구성되는, 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼 시스템.13. The method of claim 12,
Each of the first multi-level ceiling buffer and the second multi-level ceiling buffer,
A motor for generating a driving force for integrally driving the pair of first seating ports or the pair of second seating ports;
The control module is
and to determine positions of the pair of first seating ports and the pair of second seating ports based on a monitoring result of the position value of the motor.
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