KR102381129B1 - The method of calibration of packaged photonic sensor pixel array by evaluating its characteristic - Google Patents
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Abstract
본 발명은 패키지된 광센서 어레이 모듈 보정방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 패키지된 광센서 어레이 모듈 보정방법은 일정 특성 값을 가지는 표준 광원에서 방출되는 광에 대한 광 센서 어레이의 통계적 특성을 분석하여 대표값을 추출하고, 상기 추출된 대표값에 따른 상기 측정 값의 제1 보정값을 산출하는 단계; 및 적용 광원에서 방출되는 광 또는 상기 적용 광원에 대한 형광 반응에 의해 방출되는 광에 대하여, 제1 보정값에 의해 보정된 상기 광 센서 어레이의 측정 값에 대한 제2 보정값을 산출하는 단계를 포함한다. The present invention relates to a method for calibrating a packaged photosensor array module, and the method for calibrating a packaged photosensor array module according to the present invention analyzes the statistical characteristics of an optical sensor array with respect to light emitted from a standard light source having a certain characteristic value. extracting a representative value and calculating a first correction value of the measured value according to the extracted representative value; and calculating a second correction value for the measurement value of the optical sensor array corrected by the first correction value with respect to light emitted from the applied light source or light emitted by a fluorescence response to the applied light source do.
Description
본 발명은 광 센서 어레이의 특성평가를 통한 패키지된 광센서 어레이 모듈 보정방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 패키지된 광 센서 어레이 모듈의 측정 값의 보정을 통하여 신뢰성을 높이기 위한 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method for calibrating a packaged optical sensor array module through characteristic evaluation of an optical sensor array, and more particularly, to a method for improving reliability through correction of a measured value of a packaged optical sensor array module.
최근에는 광 센서의 성능이 발전함에 따라, 외부렌즈를 추가하여 스마트폰 카메라, 디지털카메라, 보안카메라와 같은 용도의 카메라모듈 사용 산업분야뿐만 아니라, 외부 광학렌즈부가 없는 광 센서 어레이 각각 그 자체를 측정기기로 응용하는 사례들이 늘어나고 있다. In recent years, as the performance of the optical sensor develops, an external lens is added to measure not only the industrial field using camera modules for purposes such as smartphone cameras, digital cameras, and security cameras, but also the optical sensor array itself without an external optical lens part. Cases of application to devices are increasing.
그러나, 일반적으로 반도체 팹에서 생산된 이미지 센서의 특성은 웨이퍼의 센서 위치마다 다르고, 같은 센서 내에서도 각 픽셀마다 특성이 다르다. However, in general, the characteristics of an image sensor produced in a semiconductor fab are different for each sensor position on the wafer, and even within the same sensor, each pixel has different characteristics.
이미지센서 자체의 감응도(responsivity, 혹은 response)가 각 픽셀에 따라 차이가 나는 정도, 즉 감응균일도(spatial uniformity of response)를 높은 정확도로 측정하는 기술은 미비한 상황이다. 그 이유는 일반적인 카메라에 사용하는 이미지센서의 감응균일도는 렌즈까지 장착한 완제품 단계에서 이미지영상을 획득하여 디지털 신호처리 부분에서 평가하도록 되어 센서 단계에서 정확한 측정은 생산 공정에서의 품질관리 등 매우 제한적인 경우에만 필요하기 때문이다. 하지만 이미지센서 자체를 측정기기로 사용하는 바이오칩 등 응용분야에서는 센서 단계에서 각 픽셀별 감응도의 균일도를 측정하고 이를 보정하는 단계의 중요성과 필요성이 매우 높다.The technology for measuring the degree of difference in the responsiveness (or response) of the image sensor itself for each pixel, that is, the spatial uniformity of response with high accuracy, is insufficient. The reason is that the uniformity of response of the image sensor used in general cameras is evaluated in the digital signal processing section by acquiring image images at the finished product stage equipped with a lens. Because it is only necessary when However, in application fields such as biochips that use the image sensor itself as a measuring device, the importance and necessity of measuring and correcting the uniformity of the sensitivity of each pixel in the sensor stage is very high.
특히 반응 광 반응 측정기기, 렌즈프리 현미경, 면역크로마토그래피의 광 반응 측정을 이용한 체외진단기기, DNA 분석용 멀티플랙싱 기기, 헬스케어용 생체신호 측정기, 이식형 또는 패치형 의료측정기기 등에 사용이 확대되고 있다.In particular, its use is expanded to include reactive photoresponse measuring instruments, lens-free microscopes, in vitro diagnostic instruments using photoresponse measurement of immunochromatography, multiplexing instruments for DNA analysis, biosignal measuring instruments for healthcare, implanted or patch type medical measuring instruments, etc. is becoming
따라서, 이러한 진단기기에서는 광 센서 어레이의 각 픽셀에 대한 측정정확도에 대한 신뢰성이 중요한 이슈가 되고 있으며, 이에 적합한 측정장치 셋업 및 어레이 모듈의 특성 측정 방법과 보정을 통한 정확도 향상이 필요하다.Therefore, reliability of the measurement accuracy for each pixel of the optical sensor array becomes an important issue in such a diagnostic device, and it is necessary to set up a measurement device suitable for this and improve the accuracy through a method and correction of the characteristic measurement method of the array module.
본 발명은 측정정확도에 대한 신뢰도가 중요한 분야에 적용되는 광 센서 어레이의 모든 픽셀들의 특성을 표준광원 환경 및 실제 적용되는 적용 광원 환경 하에서 다양한 조건에 따른 보정 기준을 제안하여 신뢰성 있는 측정 값을 산출하는 방법을 제안하는 것을 목적으로 한다. The present invention proposes a correction criterion according to various conditions under a standard light source environment and an actually applied light source environment for the characteristics of all pixels of an optical sensor array applied to a field where reliability for measurement accuracy is important to calculate reliable measurement values. It aims to suggest a method.
또한, 광 센서 어레이에 적층되는 중간층에 따른 오차 보정 값을 제시하여 더욱 신뢰성 있는 측정 값을 산출하는 방법을 제안하는 것을 목적으로 한다.Another object of the present invention is to propose a method of calculating a more reliable measurement value by presenting an error correction value according to an intermediate layer stacked on an optical sensor array.
또한, 측정값과 보정계수 그리고 주요 특성 값 등을 데이터 목록화 하여 이 센서를 활용하고자 하는 사용자가 측정 결과값의 오차범위를 인지하여 중요한 판단의 오류를 줄이고 신뢰도를 높이는 것을 목적으로 한다.In addition, the purpose of this sensor is to reduce important judgment errors and increase reliability by recognizing the error range of measurement results by users who want to use this sensor by listing the measured values, correction factors, and main characteristic values.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 패키지된 광센서 어레이 모듈 보정방법은 일정 특성 값을 가지는 표준 광원에서 방출되는 광에 대한 광 센서 어레이의 통계적 특성을 분석하여 대표값을 추출하고, 상기 추출된 대표값에 따른 상기 측정 값의 제1 보정값을 산출하는 단계; 및 적용 광원에서 방출되는 광 또는 상기 적용 광원에 대한 형광 반응에 의해 방출되는 광에 대하여, 제1 보정값에 의해 보정된 상기 광 센서 어레이의 측정 값에 대한 제2 보정값을 산출하는 단계를 포함한다.In order to solve the above technical problem, the packaged optical sensor array module calibration method according to the present invention analyzes the statistical characteristics of the optical sensor array with respect to light emitted from a standard light source having a certain characteristic value, extracts a representative value, and extracts the calculating a first correction value of the measured value according to the obtained representative value; and calculating a second correction value for the measurement value of the optical sensor array corrected by the first correction value with respect to light emitted from the applied light source or light emitted by a fluorescence response to the applied light source do.
본 발명에 따르면, 다양한 환경에 적용되는 패키지된 광 센서 어레이 모듈의 측정 신뢰성 확보를 위한 측정 및 보정 기준을 마련할 수 있으며, 측정값의 신뢰범위를 파악할 수 있기 때문에 실제 바이오/의료분야 등에 종사하는 사용자가 측정 결과값의 오차범위를 인지하여 판단의 오류를 줄이고 신뢰도를 높일 수 있게 된다.According to the present invention, measurement and correction criteria for securing measurement reliability of a packaged optical sensor array module applied to various environments can be prepared, and since the reliability range of the measured value can be grasped, the actual bio/medical field By recognizing the error range of the measurement result, the user can reduce the error of judgment and increase the reliability.
또한, 추가적인 외부 렌즈모듈 구성없이 광센서를 구현할 수 있어서 구성을 보다 간소화 시킬 수 있으며, 초소형 고성능의 랩온어칩 또는 이식형 패치 형태의 진단기기 등의 산업분야 활성화에 기여하게 된다.In addition, since the optical sensor can be implemented without an additional external lens module configuration, the configuration can be simplified, and it contributes to the activation of industrial fields such as ultra-small, high-performance lab-on-a-chip or implantable patch-type diagnostic devices.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 패키지된 광센서 어레이 모듈 보정값 산출을 위한 측정의 환경을 나타내는 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따라 보정되는 광 센서 어레이의 중간층 적층을 나타내는 예시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 패키지된 광센서 어레이 모듈 보정 방법의 흐름도이다.
도 5 내지 9은 본 발명의 일실시예에 따른 패키지된 광센서 어레이 모듈 보정 방법의 수행 과정 중 일부를 설명하기 위한 예시도이다.
도 10 내지 도 12은 본 발명의 일실시예에 따른 패키지된 광센서 어레이 모듈 보정 방법의 단계별 측정 환경을 개념적으로 나타내는 예시도이다.
도 13은 본 발명의 일실시예에 따른 패키지된 광센서 어레이 모듈 보정 방법의 수행 과정 중 일부를 설명하기 위한 예시도이다.1 and 2 are exemplary views illustrating a measurement environment for calculating a correction value of a packaged photosensor array module according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an exemplary diagram illustrating the interlayer stacking of an optical sensor array calibrated according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart of a method for calibrating a packaged photosensor array module according to an embodiment of the present invention.
5 to 9 are exemplary views for explaining a part of a process of performing a method for calibrating a packaged photosensor array module according to an embodiment of the present invention.
10 to 12 are exemplary diagrams conceptually illustrating a step-by-step measurement environment of a method for calibrating a packaged photosensor array module according to an embodiment of the present invention.
13 is an exemplary diagram for explaining a part of a process of performing a method for calibrating a packaged photosensor array module according to an embodiment of the present invention.
이하의 내용은 단지 발명의 원리를 예시한다. 그러므로 당업자는 비록 본 명세서에 명확히 설명되거나 도시되지 않았지만 발명의 원리를 구현하고 발명의 개념과 범위에 포함된 다양한 장치를 발명할 수 있는 것이다. 또한, 본 명세서에 열거된 모든 조건부 용어 및 실시예들은 원칙적으로, 발명의 개념이 이해되도록 하기 위한 목적으로만 명백히 의도되고, 이와같이 특별히 열거된 실시예들 및 상태들에 제한적이지 않는 것으로 이해되어야 한다. The following is merely illustrative of the principles of the invention. Therefore, those skilled in the art can devise various devices that, although not explicitly described or shown herein, embody the principles of the invention and are included in the spirit and scope of the invention. It should also be understood that all conditional terms and examples listed herein are, in principle, expressly intended only for the purpose of understanding the inventive concept, and not limited to the specifically enumerated embodiments and states as such. .
상술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이며, 그에 따라 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. The above-described objects, features and advantages will become more apparent through the following detailed description in relation to the accompanying drawings, and accordingly, those of ordinary skill in the art to which the invention pertains will be able to easily practice the technical idea of the invention. .
또한, 발명을 설명함에 있어서 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 이하에는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세하게 설명한다.In addition, in the description of the invention, if it is determined that a detailed description of a known technology related to the invention may unnecessarily obscure the gist of the invention, the detailed description thereof will be omitted. Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 패키지된 광센서 어레이 모듈의 보정을 위한 측정이 수행되는 측정 환경에 대하여 설명한다.First, with reference to the drawings, a measurement environment in which measurement for correction of the packaged optical sensor array module according to the present embodiment is performed will be described.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 보정값 산출을 위한 측정의 환경을 나타내는 예시도이다.1 and 2 are exemplary views illustrating a measurement environment for calculating a correction value according to an embodiment of the present invention.
도 1에 따르면 측정 환경은 암실 구성(10)을 통해 외부 잡광의 진입이 막힌 환경이 바람직하다. 따라서, 측정 하기 위한 장치는 하우징으로 밀폐될 수 있다. According to FIG. 1 , the measurement environment is preferably an environment in which the entry of external light is blocked through the
구체적인 측정 장치는 도 2를 참조하여 설명한다.A specific measuring device will be described with reference to FIG. 2 .
도 2는 도 1의 A 영역을 확대한 것이다.FIG. 2 is an enlarged view of area A of FIG. 1 .
도 2를 참조하면 본 실시예에서는 광원에 수직하게 광 센서 어레이(30)를 배치한다. 본 실시예에서는 공인인증기관에서 검증된 공간적 균일도를 만족하는 광원을 표준 광원(20)이라 한다. 예를 들어 표준 광원의 공간적 균일도는 광 센서 어레이 전체 면적에 대하여 0.1%이내, 시간에 따른 균일도 0.5% 이내가 되도록 한다. 또한 픽셀출력 값의 1코드에 해당하는 광량의 1%이내 균질도를 유지하는 경우 표준 광원으로 이용할 수 있다.Referring to FIG. 2 , in this embodiment, the
본 실시예에서 적용 광원은 실제 광 센서 어레이가 적용되는 환경의 광원을 의미한다.In this embodiment, the applied light source means a light source in an environment to which an actual optical sensor array is applied.
본 실시예에서 적용 광원은 광을 방출하는 발광원(LED, OLED, 화학발광, 레이저 등), 발광원으로부터 광에너지를 받고 이에 대한 반응으로 새로운 광을 방출하는 형광원 등을 포함한다. 발광 또는 형광의 세기를 측정하거나, 광원이 중간매질을 투과하는 정도 또는 흡수하는 정도를 측정하는 실시예를 포함한다.In this embodiment, the applied light source includes a light emitting source (LED, OLED, chemiluminescence, laser, etc.) that emits light, a fluorescent source that receives light energy from the light emitting source and emits new light in response thereto. Examples include measuring the intensity of light emission or fluorescence, or measuring the degree of penetration or absorption of the light source through an intermediate medium.
본 실시예에 따른 광 센서 어레이는 광원으로부터 방출된 광원의 특성 값을 수집하기 위한 구성으로 바람직하게는 외부 렌즈를 포함하고 있지 않으므로 광원과 센서 어레이 사이의 거리가 특성 평가에 영향을 미치는 파라미터로 작용될 수 있다.The optical sensor array according to the present embodiment is a configuration for collecting characteristic values of the light source emitted from the light source, and preferably does not include an external lens, so the distance between the light source and the sensor array acts as a parameter affecting the characteristic evaluation can be
이때는 센서 어레이 자체의 마이크로 렌즈 유무 등의 기하학적 특성을 고려하여 거리를 산출하고, 산출된 거리에 따른 보정값을 보정 파라미터로 설정할 수 있다. 추가적으로 광원의 광축 또는 센서 어레이와의 거리를 정렬하기 위한 지그 구성(40)이 포함될 수 있고, 광축과 거리가 설정되면 보정값 산출을 위한 테스트를 수행한다.In this case, the distance may be calculated in consideration of geometric characteristics such as the presence or absence of a microlens of the sensor array itself, and a correction value according to the calculated distance may be set as a correction parameter. Additionally, a
즉, 본 실시예에서 측정을 수행하기 위해서는 상술한 구성을 통해 측정값에 영향을 미치는 파라미터들의 초기 설정이 필요하다.That is, in order to perform the measurement in the present embodiment, it is necessary to initially set parameters affecting the measurement value through the above-described configuration.
광원(20)으로 LED(Light Emitting Diode) 를 예로 들어 설명하면, LED의 효율은 온도에 영향을 받으므로, 온도 균일성을 맞추기 위하여, TEC(Thermo Electric Cooler)를 LED가 실장되는 기판에 적용하여 일정한 온도가 유지되도록 할 수 있다. Taking an LED (Light Emitting Diode) as the
또한, LED의 밝기의 균일성을 구현하기 위하여 LED 회로에 피드백 회로로서, APC(Automatic Power control)를 구현하여 하여 일정한 밝기를 내도록 인입되는 전력을 제어하는 것도 가능하다. In addition, in order to implement the uniformity of the brightness of the LED, it is possible to control the incoming power to give a constant brightness by implementing APC (Automatic Power Control) as a feedback circuit in the LED circuit.
또한, 상술한 광원의 균일성의 설정 외에 광원에서 방출되는 광의 광축을 정렬하는 단계를 더 포함할 수 있다. 구체적으로 본 실시예에서 광원의 평행광의 광축은 센서 면과 수직으로 정렬되는 것이 바람직하다. 광축의 정렬여부를 판단하기 위한 방법의 하나로, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 그레이팅 을 이용할 수 있다. In addition, the method may further include aligning the optical axis of the light emitted from the light source in addition to the above-described setting of the uniformity of the light source. Specifically, in this embodiment, the optical axis of the parallel light of the light source is preferably aligned perpendicular to the sensor surface. As one of the methods for determining whether the optical axes are aligned, MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) grating can be used.
즉 테스트 환경 내에 MEMS 그레이팅을 형성하고, 그레이팅을 통해 반사되는 광의 파장을 판단하여 수직으로 입사되는 광 만을 추출하여 측정에 이용할 수 있다.That is, it is possible to form a MEMS grating in the test environment, determine the wavelength of light reflected through the grating, and extract only vertically incident light to be used for measurement.
또한 기준거울을 이용하여 상술한 LED에서 나온 광이 하나의 광축을 지나 센서가 고정된 스테이지 지그에 부착된 거울에 입사되었다 반사되고, 스테이지 지그의 거울로부터 반사된 빛과 하나의 광원에서 분리되어 기준거울에 반사된 빛을 비교 분석하여 전후 이동거리를 알 수 있는 마이켈스 간섭계와 스테이지 거울로부터 반사된 빛이 입사되는 위치를 분석하는 오토콜리메이터에 의해 광의 변위와 각도 변화를 동시에 측정하도록 구성할 수도 있다.In addition, using a reference mirror, the light emitted from the above-described LED passes through one optical axis and is incident and reflected on the mirror attached to the stage jig on which the sensor is fixed. It can also be configured to simultaneously measure the displacement and angle change of light by a Michels interferometer that compares and analyzes the reflected light from the mirror to determine the forward and backward movement distance and an autocollimator that analyzes the incident position of the light reflected from the stage mirror. .
이를 통해 입사되는 광의 변위와 각도를 조절하여 수직으로 입사되는 광 만을 추출하거나, 조건에 따른 소정 변위와 각도 범위 내의 광 만을 추출하여 측정에 이용할 수 있다. 측정된 변위나 각도는 후술하는 표 1의 센서와 광원 간의 거리차이에 따른 보정 값의 추출에 이용될 수 있다..나아가 물리적인 공간적 평행광을 구성하기 위하여, 디퓨저 또는 평행광 렌즈 등을 조합하여 구성할 수 있다.Through this, only the vertically incident light can be extracted by adjusting the displacement and angle of the incident light, or only light within a predetermined displacement and angle range according to conditions can be extracted and used for measurement. The measured displacement or angle can be used to extract a correction value according to the distance difference between the sensor and the light source in Table 1, which will be described later. Furthermore, in order to construct a physical spatially parallel light, a diffuser or a collimated light lens is combined to configurable.
본 발명의 다른 실시예로서 적용 광원에서 방출되는 광이 형광반응 또는 투과반응을 통해 방출 되는 경우에는 광원의 균일성을 위하여 광원의 파장 또는 세기를 제어하는 구성을 추가로 포함할 수 있다.As another embodiment of the present invention, when the light emitted from the applied light source is emitted through a fluorescence reaction or a transmission reaction, a configuration for controlling the wavelength or intensity of the light source may be further included for uniformity of the light source.
부가적으로 디머(Dimmer) 회로를 구성하여, 광원의 세기를 조정하는 것도 가능하다. Additionally, it is possible to adjust the intensity of the light source by configuring a dimmer circuit.
즉, 이상의 설명에 따른 광원과의 거리, 온도, 광축 등의 측정값에 영향을 미치는 파라미터의 초기 설정이 완료되면, 광원의 파장을 설정하고 광원의 세기를 균일한 간격으로 증가시키면서, 모든 픽셀의 출력 코드 값을 특성 값으로 읽어 들인다.That is, when the initial setting of parameters affecting the measured values such as the distance from the light source, temperature, and optical axis according to the above description is completed, the wavelength of the light source is set and the intensity of the light source is increased at uniform intervals, and Read the output code value as a property value.
또한, 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 광 센서 어레이는 광 센서 어레이의 상부에 복수의 중간층(32)을 더 포함할 수 있다.Also, referring to FIG. 3 , the optical sensor array according to the present embodiment may further include a plurality of
본 실시예에 따른 적용 환경에서, 광 센서 어레이는 복수의 중간층이 상부에 접합되며, 따라서 수집되는 특성 값은 중간층을 통과하여 수집된 것일 수 있다.In the application environment according to the present embodiment, in the optical sensor array, a plurality of intermediate layers are bonded thereto, and thus, the characteristic values to be collected may be those collected through the intermediate layers.
본 실시예에서 중간층은 적용 광원과 광 센서 어레이 사이에 구성되는 매질로 이루어진 층 뿐만 아니라, 반응 물질층 및 광이 통과하는 물리적 공간을 모두 포함한다.In this embodiment, the intermediate layer includes not only the layer made of the medium configured between the applied light source and the optical sensor array, but also the reactive material layer and the physical space through which light passes.
본 실시예에 따른 보정 방법은 이러한 물리적 공간이 무시할 수 있는 범위 내인 경우로서, 중간층이 존재하지 않는 환경에서 광 센서 어레이 단일 구성인 경우와, 복수의 중간층이 형성된 경우에 대한 측정을 모두 수행하여 이에 따른 보정값을 산출한다.The correction method according to the present embodiment is a case in which such a physical space is within a negligible range, and in an environment in which an intermediate layer does not exist, a single optical sensor array configuration and a case in which a plurality of intermediate layers are formed. A correction value is calculated accordingly.
이하, 도 4를 참조하여, 상술한 환경에서 보정값의 산출을 수행하는 광 센서 어레이의 보정 방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, with reference to FIG. 4 , a method of calibrating an optical sensor array for calculating a correction value in the above-described environment will be described.
본 실시예에 따른 광 센서 어레이의 보정 방법은 도 4와 같이 수행될 수 있다.The method of calibrating the optical sensor array according to the present embodiment may be performed as shown in FIG. 4 .
도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 광 센서 어레이의 보정 방법은 제1 보정값 산출 단계(S100), 제2 보정값 산출 단계(S200), 제3 보정값 산출 단계(S300) 및 제4 보정값 산출 단계(S400)를 포함한다.Referring to FIG. 4 , the method for calibrating the optical sensor array according to the present embodiment includes a first correction value calculation step ( S100 ), a second correction value calculation step ( S200 ), a third correction value calculation step ( S300 ), and the fourth A correction value calculation step (S400) is included.
상기 보정 단계들에서, 제1 및 제2 보정값 산출 단계는 광 센서 어레이의 상부에 중간층이 올라가기 전(패키지되기 이전) 광 센서 어레이에 대한 보정 단계이고, 제3 및 제4 보정값 산출 단계는 중간층이 올라간 이후 패키지된 광 센서 어레이에 대한 보정 단계에 해당된다.In the above correction steps, calculating the first and second correction values is a correction stage for the optical sensor array before the intermediate layer is raised on top of the optical sensor array (before being packaged), and calculating the third and fourth correction values corresponds to the calibration step for the packaged optical sensor array after the intermediate layer is raised.
본 실시예에 따른 제1 보정값 산출 단계(S100)는 일정 특성 값을 가지는 표준 광원에서 방출되는 광에 대한 광 센서 어레이의 측정 값의 통계적 특성을 분석하여 대표값을 추출하고, 상기 추출된 대표값에 따른 상기 측정 값의 제1 보정값을 산출한다.In the first correction value calculation step (S100) according to the present embodiment, a representative value is extracted by analyzing the statistical characteristics of the measurement value of the optical sensor array with respect to light emitted from a standard light source having a predetermined characteristic value, and the extracted representative value is extracted. A first correction value of the measured value is calculated according to the value.
본 실시예에 따른 제1 보정값 산출 단계(S100)는 암실 박스 내에서 표준 광원에 대한 광 센서 어레이의 제1 보정값을 산출한다.In the step of calculating the first correction value ( S100 ) according to the present embodiment, the first correction value of the optical sensor array for the standard light source is calculated in the darkroom box.
본 실시예에서 수행되는 측정은 노출 시간, 아날로그 이득, 디지털 이득 및 프레임 레이트를 조절하여 수행될 수 있다.The measurement performed in this embodiment may be performed by adjusting the exposure time, analog gain, digital gain, and frame rate.
구체적으로 측정되는 측정 값은 상기 광원에서 방출되는 광의 세기 또는 파장에 따라 상기 광 센서 어레이에서 수집되는 값인 것이 바람직하다.Specifically, the measured value is preferably a value collected by the optical sensor array according to the intensity or wavelength of light emitted from the light source.
본 실시예에서 측정 값은 상기 광원에서 방출되는 광의 세기 및 파장을 고정하여 복수의 N번 수집된 값 간의 차 또는 기준 오프셋 값과 수집된 값 간의 차를 이용하여 결정되는 값일 수 있다. In the present exemplary embodiment, the measured value may be a value determined by using a difference between a plurality of N times collected values or a difference between a reference offset value and a collected value by fixing the intensity and wavelength of light emitted from the light source.
즉, 도 5와 같이 결정된 프레임 레이트에 따라 N번의 측정을 통해 측정값을 산출한다.That is, a measurement value is calculated through N measurements according to the frame rate determined as shown in FIG. 5 .
또한 도 6과 같이 N번 측정된 일련의 값들 중 연속 한 프레임 내의 측정 값의 차이를 산출한다. 또한, 다크 프레임으로 광원의 동작 없이 광 센서 어레이에서 측정된 값을 기준 오프셋 값으로 이를 이용하여 복수의 측정된 값 간의 차이 산출할 수 있으며, 이러한 차이값을 이용하여 측정 값에 포함된 노이즈 값을 산출할 수 있다.Also, as shown in FIG. 6 , a difference between the measured values within one continuous frame among a series of values measured N times is calculated. In addition, the difference between a plurality of measured values can be calculated using the value measured in the optical sensor array as a reference offset value without operation of the light source as a dark frame, and the noise value included in the measured value can be calculated using the difference value. can be calculated.
본 실시예에서 대표값은 상기 측정 값의 통계적 특성에 따라 추출되는 값으로, 상술한 노이즈 값을 고려하여 결정될 수 있다. In this embodiment, the representative value is a value extracted according to the statistical characteristics of the measured value, and may be determined in consideration of the above-described noise value.
구체적으로 대표값은 상기 광원에서 방출되는 광의 세기 및 파장을 고정하여 복수의 N번 수집된 측정 값의 중간값, 평균값, 최빈값 또는 노이즈의 RMS(Root Mean Square) 값을 고려하여 결정된다. Specifically, the representative value is determined in consideration of the RMS (Root Mean Square) value of the median value, the average value, the mode, or the noise of a plurality of measured values collected N times by fixing the intensity and wavelength of light emitted from the light source.
도 7 내지 도 9를 참조하면 본 실시예에서 대표값은 박스플롯을 이용하여 결정될 수 있다. 7 to 9 , in the present embodiment, the representative value may be determined using a box plot.
도 7 내지 도 9는 본 실시예에 따른 통계적 특성을 설명하기 위한 것으로, 먼저 도 7을 참조하면 본 실시예에서 박스플롯은 동일한 광세기에 대하여 측정된 측정값의 통계적 특성으로 최대값, 최소값, 평균값, 중간값, 최빈값 외에 평균에 노이즈 RMS를 더한 값을 함께 표시하여 사용자가 용이하게 대표값을 선택하게 할 수 있다. 일반적으로 평균값 및 중간값은 노이즈를 포함하고 있는 값이어서, 이를 분리하여 표시하는 것이, 측정값에 어느 정도의 노이즈값이 포함되어 있는지를 즉흥적으로 알 수 있게 한다.7 to 9 are for explaining the statistical characteristics according to the present embodiment. First, referring to Fig. 7, the box plot in this embodiment is the statistical characteristic of the measured values measured for the same light intensity, the maximum value, the minimum value, In addition to the average value, the median value, and the mode value, the value obtained by adding the noise RMS to the average value is also displayed so that the user can easily select a representative value. In general, the average value and the median value are values that include noise, and displaying them separately makes it possible to instantly know how much noise is included in the measured value.
별도로 노이즈 RMS를 표시하면, 박스플롯에서 많이 벗어나게 될 수 있으므로, 사용자가 직관적인 대표값의 선택이 어려우므로 가장 일반적인 표현인 평균값에 노이즈 RMS 를 더하는 것으로 하여, 사용자는 최대값, 최소값으로 분포, 노이즈의 정도 등을 판단하여 대표값을 용이하게 판단할 수 있다.If noise RMS is displayed separately, it may deviate a lot from the box plot, so it is difficult for the user to intuitively select a representative value. The representative value can be easily determined by judging the degree of .
본 실시예에서 평균값에 노이즈 RMS를 더하는 대신 빼기를 한다면 신호가 낮은 영역에서는 신호가 노이즈에 묻히는 경우가 있을 수 있어, 더하여 표시한다. 다만 신호의 최소값이 어느 정도 이상인 경우 빼기를 통해 노이즈 RMS를 함께 표시하여도 무방하다. In the present embodiment, if noise RMS is subtracted instead of added to the average value, the signal may be buried in noise in a low signal region, so it is added and displayed. However, if the minimum value of the signal is higher than a certain level, it is okay to display the noise RMS together through subtraction.
본 실시예에서 측정은 광센서 어레이내의 동일 행으로 존재하는 픽셀에 대한 광 세기 또는 파장을 측정하는 것을 통해 수행될 수 있다.In this embodiment, the measurement may be performed by measuring the light intensity or wavelength for pixels existing in the same row in the photosensor array.
도 8을 참조하면, 박스 플롯과 추론되는 값들을 통해 평탄화 보정을 위한 통계적 분포의 대표값으로 "보정의 기준값"을 어떤 것으로 결정하는 것이 좋을지 판단할 수 있다. 예를 들어, 도 8에 따른 측정값의 분포에 대하여 차이를 갖는 측정 값을 평탄화 하기 위한 기준을 산출하고, 이를 만족하는 값을 보정의 기준 값으로 설정할 수 있다. 도 8 에 따르면, 점선으로 표시되는 기준값에 대하여 픽셀 A의 중간값이 대응되므로, 픽셀 A의 중간값을 대표값으로 보정의 기준을 설정하는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 8 , it is possible to determine which “reference value for correction” should be determined as a representative value of a statistical distribution for flattening correction through a box plot and inferred values. For example, a criterion for flattening a measurement value having a difference with respect to the distribution of measurement values according to FIG. 8 may be calculated, and a value satisfying this may be set as a reference value for correction. According to FIG. 8 , since the median value of the pixel A corresponds to the reference value indicated by the dotted line, it is preferable to set the correction standard using the median value of the pixel A as a representative value.
또한, 본 실시예에서 측정은 광 세기, 파장을 변화시키는 것을 통해 수행될 수 있다. In addition, in the present embodiment, the measurement may be performed by changing the light intensity and wavelength.
도 9를 참조하면, 도 9는 광 세기에 따라 측정된 광 센서 어레이의 픽셀의 출력값을 그래프로 나타낸 것으로, 이상의 그래프 및 박스플롯을 통해 측정값의 포화 레벨(Saturatoin Level) 암흑 레벨(Dark Level), 노이즈, 선형성, 반응도, 측정 에러 분포 등을 추론할 수 있다. Referring to FIG. 9 , FIG. 9 is a graph showing output values of pixels of the optical sensor array measured according to light intensity, and the saturation level and dark level of the measured values through the above graph and boxplot. , noise, linearity, reactivity, and measurement error distribution can be inferred.
도 9를 참조하면, 박스 플롯과 추론되는 값들을 통해 선형성의 보정을 위한 통계적 분포의 대표값으로 "보정의 기준값"을 어떤 것으로 결정하는 것이 좋을지 판단할 수 있다. 예를 들어, 도 9에 따른 측정값의 분포에 대하여 선형성을 만족하는 기준 선을 산출하고, 이를 만족하는 값을 보정의 기준 값으로 설정할 수 있다. 즉, 평균값, 중간값, 최빈값 또는 최대/최소의 분포를 비교하여 기준 선과 비교하여 벗어나는 폭이 큰 값을 제외할 수 있다. 선형성을 만족하는 중간값을 대표값으로 정하는 것으로 결정되면, 기준되는 중간값으로 다른 측정값을 변환되도록 보정값을 결정한다.Referring to FIG. 9 , through a box plot and inferred values, it may be determined which “reference value for correction” should be determined as a representative value of a statistical distribution for correction of linearity. For example, a reference line that satisfies linearity with respect to the distribution of measured values according to FIG. 9 may be calculated, and a value that satisfies this may be set as a reference value for correction. That is, the average value, the median value, the mode value , or the maximum/minimum distribution may be compared to exclude a value with a large deviation from the reference line. If it is determined that the median value satisfying the linearity is set as the representative value, the correction value is determined so that other measured values are converted into the standard median value.
이러한 대표값이 결정되면, 본 실시예에 따른 제1 보정값 산출단계는 결정된 대표값을 목표로 측정값을 평탄화, 또는 선형화하는 보정값을 산출한다.When the representative value is determined, the first correction value calculating step according to the present embodiment calculates a correction value for flattening or linearizing the measured value with the determined representative value as a target.
즉, 상술한 제1 보정값 산출 단계 및 후술하는 제 2 내지 제4 보정값 산출 단계에서 산출되는 값은 대표값을 만족시키기 위한 광 센서 어레이의 표준 광원에 대한 측정 값을 보정하기 위한 값으로, 광원의 파장 또는 세기의 조건에 따라 각 픽셀 별로 보정값을 가질 수 있으며, 이러한 보정값은 표 1과 같은 룩업테이블 형태로 저장 및 관리 될 수 있다. That is, the values calculated in the above-described first correction value calculation step and the second to fourth correction value calculation steps described later are values for correcting the measurement value for the standard light source of the optical sensor array to satisfy the representative value, Each pixel may have a correction value according to the condition of the wavelength or intensity of the light source, and these correction values may be stored and managed in the form of a lookup table as shown in Table 1.
(n : 광세기)calibration target
(n: light intensity)
(, ) 는 위치 i,j의 픽셀을 이미함. (, ) already includes the pixel at position i,j.
OES 는 전기 신호 출력 값(output electric signal value)을 의미함.OES stands for output electric signal value.
OESmeasure _ zz(, )는 위치 i,j의 픽셀에서 측정된 전기 신호 출력 값을 의미함.OES measure _ zz (, ) means the electrical signal output value measured at the pixel at position i,j.
PCC(, )는 위치i,j의 픽셀의 측정값의 광센서 평탄화 보정값을 의미함.PCC(, ) means the optical sensor flattening correction value of the measured value of the pixel at position i,j.
LCC(, )는 위치i,j의 픽셀의 측정값의 광센서 선형화 보정값을 의미함.LCC(, ) means the optical sensor linearization correction value of the measured value of the pixel at position i,j.
LSCC(, )는 위치i,j의 픽셀의 측정값의 적용 광원 특성 보정값.LSCC(, ) is the applied light source characteristic correction value of the measured value of the pixel at position i,j.
LUCC(, )는 위치i,j의 픽셀의 측정값의 적용 광원과 센서픽셀간 거리차이에 기인한 공간적 불균일 보정값.LUCC(, ) is the spatial non-uniformity correction value due to the difference in distance between the applied light source and the sensor pixel of the measured value of the pixel at position i,j.
RMCC(, )는 위치i,j의 픽셀의 측정값의 중간층 매질특성에 기인한 보정값.RMCC(, ) is the correction value due to the intermediate layer medium characteristic of the measured value of the pixel at position i,j.
LURMCC(, )는 위치i,j의 픽셀의 측정값의 적용 광원과 센서픽셀간 거리차이 및 중간 매질특성차이에 기인한 광경로와 투과율 불균일 보정값.LURMCC(, ) is the optical path and transmittance non-uniformity correction value due to the difference in the distance between the applied light source and the sensor pixel and the difference in intermediate medium characteristics of the measured value of the pixel at position i, j.
본 실시예에 따른 제2 보정값 산출 단계(S200)는 적용 광원에서 방출되는 광 또는 상기 적용 광원에 대한 형광 반응에 의해 방출되는 광에 대하여, 제1 보정값에 의해 보정된 상기 광 센서 어레이의 측정 값에 대한 제2 보정값을 산출한다.The second correction value calculation step ( S200 ) according to the present embodiment includes the light emitted from the applied light source or the light emitted by the fluorescence response to the applied light source, of the optical sensor array corrected by the first correction value. A second correction value for the measured value is calculated.
구체적으로 제2 보정값 산출 단계(S200)는 제1 보정값 산출 단계(S100)와 동일하게 암실 환경에서 수행될 수 있다. 다만, 광원과 관련하여 표준 광원이 아닌 적용 환경의 적용 광원에 대하여 수행된다.In detail, the second correction value calculation step ( S200 ) may be performed in a dark room environment in the same manner as the first correction value calculation step ( S100 ). However, in relation to the light source, it is performed with respect to the applied light source of the application environment, not the standard light source.
제2 보정값 산출 단계(S200)를 위한 측정의 환경 변수로, 온도, 파장, 입사각 등을 결정하고 이에 따른 광 센서 어레이의 측정값을 수집한다. As environmental variables of measurement for the second correction value calculation step ( S200 ), a temperature, a wavelength, an incident angle, etc. are determined, and measurement values of the optical sensor array are collected accordingly.
구체적인 측정은 상술한 제1 보정값 산출 단계(S100)와 동일하게 적용 광원에서 방출되는 광의 세기 및 파장을 고정하여 복수의 N번 수집된 값 간의 차 또는 기준 오프셋 값과 수집된 값 간의 차를 이용하여 값을 결정하는 것으로 수행될 수 있다.Specific measurement is performed by fixing the intensity and wavelength of light emitted from the applied light source in the same manner as in the above-described first correction value calculation step (S100), and using a difference between a plurality of N times collected values or a difference between a reference offset value and a collected value to determine the value.
도 5와 같이 결정된 프레임 레이트에 따라 N번의 측정이 수행되고, 도 6과 같이 N번 측정된 일련의 값들 중 연속 한 프레임 내의 측정 값의 차이를 산출한다. 이러한 측정값과 측정값의 차이 값의 통계를 통해 도 7과 같은 박스 플롯을 통해 대표값을 설정할 수 있다. According to the frame rate determined as shown in FIG. 5, N measurements are performed, and as shown in FIG. 6, a difference between measurement values within one continuous frame among a series of values measured N times is calculated. A representative value may be set through a box plot as shown in FIG. 7 through statistics of the difference between the measured values and the measured values.
다음 상술한 도 3과 같이 본 실시예에 따른 광 센서 어레이는 상부에 반응을 위한 중간층을 더 포함할 수 있다.Next, as shown in FIG. 3 described above, the optical sensor array according to the present embodiment may further include an intermediate layer for reaction thereon.
중간층은 실제 광 센서 어레이의 패키징에 따라 적층될 수 있으며, 복수의 레이어로 구성될 수 있다.The intermediate layer may be stacked according to the actual packaging of the optical sensor array, and may be composed of a plurality of layers.
따라서 본 실시예에 따른 보정 방법은 추가적인 보정값 산출 단계를 수행한다.Therefore, the correction method according to the present embodiment performs an additional correction value calculation step.
본 실시예에서 제3 보정값 산출 단계(S300)는 표준 광원에서 방출되는 광에 대하여 미리 결정된 중간층이 적층된 광 센서 어레이의 측정 값의 통계적 특성을 분석하여 대표값을 추출하고, 상기 추출된 대표값에 따른 상기 측정 값의 제3 보정값을 산출한다.In this embodiment, the third correction value calculation step (S300) extracts a representative value by analyzing the statistical characteristics of the measured values of the optical sensor array in which a predetermined intermediate layer is stacked with respect to the light emitted from the standard light source, and the extracted representative A third correction value of the measured value is calculated according to the value.
즉, 제3 보정값 산출 단계(S300)는 암실 환경 및 표준 광원에 대하여 광 센서 어레이가 중간층을 포함하는 경우에 대한 보정값을 산출한다.That is, the third correction value calculating step S300 calculates a correction value for a case in which the optical sensor array includes an intermediate layer in a dark room environment and a standard light source.
다만, 제3 보정값 산출 단계(S300)에서 통계적 특성에 따른 대표값을 추출함에 있어, 이상의 도 7 내지 도 9에 따른 박스플롯을 적용하되, 중간층과의 상대적 노이즈 레벨에 대한 구분이 필요하고, 이에 따라 실제 중간층의 영향에 따른 대표값을 추출하는 것이 필요하다. However, in extracting the representative values according to the statistical characteristics in the third correction value calculation step (S300), the box plots according to the above FIGS. 7 to 9 are applied, but it is necessary to distinguish the relative noise level with the intermediate layer, Accordingly, it is necessary to extract a representative value according to the influence of the actual middle layer.
즉, 단순히 광 센서 어레이의 측정값에 대한 박스 플롯의 크기만을 고려하여 대표값을 설정하는 것이 아니라, 중간층에 따라 발생되는 노이즈로 인한 측정값의 오차가 가장 적게 나타나는 픽셀의 측정값을 대표값으로 설정하는 과정이 필요하다. That is, the representative value is not set simply by considering the size of the box plot for the measured value of the optical sensor array, but the measured value of the pixel showing the smallest error in the measured value due to noise generated according to the intermediate layer is used as the representative value. A setup process is required.
또한, 이때의 전제로, 광 센서 어레이 자체가 갖는 불확도의 범위가 중간층의 불확도의 범위보다 클 경우, 중간층에서의 노이즈를 판단하는 것이 불가능하므로, 상호 간의 불확도의 범위를 판단하여, 노이즈의 판단이 가능한 범위 내의 중간층에 대해서 대표값 및 보정값을 산출하는 것이 바람직하다.Also, as a premise at this time, if the range of uncertainty of the optical sensor array itself is larger than that of the intermediate layer, it is impossible to determine the noise in the intermediate layer. It is preferable to calculate the representative value and the correction value for the intermediate layer within the possible range.
다음 제4 보정값 산출 단계(S400)는 적용 광원에서 방출되는 광 또는 상기 적용 광원에 대한 형광 반응에 의해 방출되는 광에 대한 제3 보정값에 의해 보정된 상기 중간층이 적층된 광 센서 어레이의 측정 값에 대한 제4 보정값을 산출한다.Next, the fourth correction value calculation step (S400) is a measurement of the optical sensor array in which the intermediate layer is stacked, corrected by a third correction value for light emitted from the applied light source or light emitted by a fluorescence response to the applied light source A fourth correction value for the value is calculated.
제4 보정값 산출 단계(S400)는 암실 환경 및 적용 광원에 대하여 광 센서 어레이가 중간층을 포함하는 경우에 대한 보정값을 산출한다.In the fourth correction value calculation step ( S400 ), a correction value is calculated for a case in which the optical sensor array includes an intermediate layer in a dark room environment and an applied light source.
구체적인 보정값의 산출 방법은 상술한 제2 보정값 산출 단계(S200)와 대응되나, 이때 광 센서 어레이는 제1 보정값이 아닌 제3 보정값을 적용하여 측정을 수행하는 것이 바람직하다.A detailed method of calculating the correction value corresponds to the step of calculating the second correction value ( S200 ), but in this case, it is preferable that the optical sensor array performs measurement by applying a third correction value instead of the first correction value.
이상의 제1 내지 제4 보정값 산출 단계에서 산출되는 보정값들은 상술한 표 1과 같은 룩업 테이블 형태로 저장 및 관리 될 수 있다.The correction values calculated in the above first to fourth correction value calculation steps may be stored and managed in the form of a lookup table as shown in Table 1 above.
즉, 본 실시예에서 표 1은 제1 보정값 또는 제3 보정값 산출단계와 관련하여 표준 광원에 따른 광 센서 어레이의 측정값의 보정을 위한 값들을 나타내는 테이블로서, 추가적인 제2 보정값을 위한 적용 광원에 따른 보정값을 포함하는 열이 추가 될 수 있다.That is, in the present embodiment, Table 1 is a table showing values for correction of the measurement value of the optical sensor array according to the standard light source in relation to the step of calculating the first correction value or the third correction value. A column containing a correction value according to the applied light source can be added.
나아가, 적용 광원 외에도 중간층과 관련된 보정값으로 제4 보정값이 포함될 수 있는 열이 추가될 수 있다. 이때 열은 중간층에 대한 특징으로 반응에 영향을 미치는 다양한 팩터로 세분화 될 수 도 있다.Furthermore, in addition to the applied light source, a column in which a fourth correction value may be included as a correction value related to the intermediate layer may be added. At this time, heat may be subdivided into various factors affecting the reaction as a characteristic of the intermediate layer.
즉, 중간층에 대한 큰 분류에 대하여 중간층을 구성하는 다양한 레이어들의 종류(예, 친수성/소수성/항체고정화/밴드패스(bandpass)필터/유리막 등)와 이러한 레이어들의 조합 정보, 기타 중간층을 구성하는 화학물의 몰 농도 등이 세부 분류 항목으로 포함될 수 있다.That is, with respect to the large classification of the intermediate layer, the types of various layers constituting the intermediate layer (eg, hydrophilicity/hydrophobicity/antibody immobilization/bandpass filter/glass film, etc.), combination information of these layers, and other chemistry constituting the intermediate layer The molar concentration of water may be included as a sub-category item.
따라서, 광 센서 어레이의 측정값에 영향을 미치는 다양한 요소와 이에 대한 보정값들이 추가되는 열에 포함될 수 있다.Accordingly, various factors affecting the measured values of the optical sensor array and correction values for them may be included in the added column.
이하, 도면을 참조하여 상술한 제1 내지 제4 보정값 산출 단계의 구체적인 측정환경에 대하여 설명한다. Hereinafter, a detailed measurement environment of the above-described first to fourth correction value calculation steps will be described with reference to the drawings.
이상의 설명에 따른 제1 내지 제4 보정값의 산출을 위한 측정 환경은 도 10 및 도 11과 같이 표시될 수 있다.A measurement environment for calculating the first to fourth correction values according to the above description may be displayed as shown in FIGS. 10 and 11 .
도 10을 참조하면, 제1 보정값의 산출 단계(S100)는 암실 환경에서 표준 광원(22)에 대하여 수행되고(a), 제2 보정값의 산출 단계(S200)는 암실 환경에서 적용 광원(24)에 대하여 수행된다(b).10, the calculating step (S100) of the first correction value is performed with respect to the standard
제3 보정값의 산출 단계(S300)는 암실 환경에서 표준 광원(22)에 대하여 수행되되, 광 센서 어레이에 중간층(32)을 적층하여 측정을 수행하고(c), 제4 보정값의 산출 단계(S400)는 제3 보정값의 환경에서 표준 광원이 아닌 적용 광원(24)에 대하여 측정을 수행한다(d).Calculating the third correction value (S300) is performed with respect to the standard
이후 제1 내지 제4 보정값을 적용하여 실제 적용환경의 패키지 내에서 적용 광원(24)과 중간층(32)이 적용된 광 센서 어레이의 측정을 수행하여 진단을 수행할 수 있다(e).Thereafter, by applying the first to fourth correction values, the measurement of the optical sensor array to which the applied
추가적으로 이상의 예에서는 직접 발광하는 적용 광원에 대한 측정을 예시하여 설명하였으나, 적용 광원에서 방출된 광에 대한 형광 반응을 함께 고려하여 보정값을 산출하는 것도 가능하다.Additionally, in the above example, the measurement of the applied light source that directly emits light has been exemplified and described, but it is also possible to calculate the correction value in consideration of the fluorescence response to the light emitted from the applied light source.
도 11을 참조하면, 제1 보정값의 산출 단계(S100)는 암실 환경에서 표준 광원(22)에 대하여 수행되고(a), 제2 보정값의 산출 단계(S200)는 암실 환경에서 적용 광원(24) 및 형광 반응(26)에 대하여 수행된다(b).11, the calculating step (S100) of the first correction value is performed with respect to the standard
제3 보정값의 산출 단계(S300)는 암실 환경에서 표준 광원(22)에 대하여 수행되되, 광 센서 어레이에 중간층(32)을 적층하여 측정을 수행하고(c), 제4 보정값의 산출 단계(S400)는 제3 보정값의 환경에서 표준 광원(22)이 아닌 적용 광원(24)에 대하여 적용 광원(24) 및 형광 반응(26)의 측정을 수행한다(d).Calculating the third correction value (S300) is performed with respect to the standard
이후 제1 내지 제4 보정값을 적용하여 실제 적용환경의 패키지 내에서 적용 광원(24)과 형광 반응(26)에 대한 중간층(32)이 적용된 광 센서 어레이의 측정을 수행하여 진단을 수행할 수 있다(e). 즉, 적용 광원(24) 및 중간층(32)이 구성된 광 센서 어레이에 대하여 본 실시예에 따른 제1 보정값 내지 제4 보정값을 선택하여 이를 적용하고 실제 반응에 따른 측정값을 산출하는 것도 가능하다.Thereafter, the first to fourth correction values are applied to perform the measurement of the optical sensor array to which the
구체적으로 본 실시예에서는 제1 보정값 내지 제4 보정값 중 적어도 하나의 보정값이 적용된 적용환경의 광 센서 어레이의 반응 전 측정값을 수정하고, 이에 대한 평균값을 산출한다. 이에 대한 광 센서 어레이 각 픽셀(x,y)에 대한 측정값은 수학식 1과 같이 표시될 수 있다.Specifically, in the present embodiment, the measured value before the reaction of the optical sensor array in the application environment to which at least one correction value among the first correction value to the fourth correction value is applied is corrected, and an average value thereof is calculated. A measurement value for each pixel (x, y) of the optical sensor array may be expressed as in Equation (1).
[수학식 1][Equation 1]
다음, 반응이 일어나는 동안의 광 센서 어레이 각 픽셀(x,y)에 대한 측정값은 수학식 2와 같이 표시될 수 있다.Next, a measurement value for each pixel (x, y) of the optical sensor array during the reaction may be expressed as Equation (2).
[수학식 2][Equation 2]
이때, 반응 전 측정값의 평균과 반응 동안의 측정값의 평균의 차이를 이용하여 최종 출력값을 산출하고 광 센서 어레이를 통한 진단을 수행할 수 있다.In this case, the final output value may be calculated using the difference between the average of the measured values before the reaction and the average of the measured values during the reaction, and the diagnosis may be performed through the optical sensor array.
최종 출력값은 수학식 3과 같이 표시될 수 있다.The final output value may be expressed as in Equation (3).
[수학식 3][Equation 3]
추가적으로 이상의 실시예에서는 보정의 기준이 되는 대표값을 광 센서 어레이의 측정값, 보다 바람직하게는 동일한 행 또는 열의 측정값들을 비교하여 가장 오차 범위가 작은, 박스플롯의 값의 범위가 작은 픽셀의 측정값을 대표값으로 설정하였으나, 추가적인 보정된 단일 포토 다이오드를 측정환경에 설정하고 이를 함께 비교하여 대표값을 선택하는 것도 가능하다.Additionally, in the above embodiment, the measurement value of the optical sensor array, more preferably the measurement value of the same row or column, is compared with the representative value serving as the basis for correction, and the pixel having the smallest error range and the smallest range of values of the box plot is measured. Although the value is set as a representative value, it is also possible to select a representative value by setting an additional corrected single photodiode in the measurement environment and comparing them together.
도 12를 참조하면, 다른 실시예에 따르면, 도 10과 같은 환경에서 광센서 어레이의 측면에 별도의 보정된 포토 다이오드(33)를 구성하여 측정을 수행한다.Referring to FIG. 12 , according to another embodiment, a separate calibrated
이에 따르면, 제1 보정값을 산출하는 단계에서 대표값을 결정함에 있어 일정 특성 값을 가지는 표준 광원(22)에서 방출되는 광에 대한 보정된 단일 포토다이오드(33)의 감응도 측정값의 통계적 특성과 광센서 어레이의 전체 픽셀에서 감응도 측정값의 통계적 특성을 비교하여 대표 픽셀 및 대표값을 산출하는 단계를 더욱 수행할 수 있다.According to this, in determining the representative value in the step of calculating the first correction value, the statistical characteristics of the measured sensitivity of the
예를 들어, 통계적 특성을 이용함에 있어, 광센서 어레이의 측정값들의 통계적 특성과 포토다이오드(33)의 감응도 측정값의 통계적 특성을 상호 비교하여 박스플롯의 범위가 제일 작게 형성된 광 센서 어레이의 픽셀 또는 보정된 단일 포토 다이오드(33)의 측정값을 대표값으로 설정할 수 있다.For example, in using the statistical characteristics, the pixel of the optical sensor array having the smallest boxplot range is formed by comparing the statistical characteristics of the measured values of the photosensor array with the statistical characteristics of the sensitivity measured value of the
도 13을 참조하면, 보정된 포토 다이오드(33)의 박스 플롯(ref)과, 광센서 어레이의 각 픽셀의 박스 플롯(A, B, C, G)을 비교하여 범위가 가장 작게 나타나는 값을 기준 픽셀로, 또한 기준 픽셀의 평균, 중간값, 최빈값 중의 하나를 대표값으로 설정할 수 있다. 또한, 보정된 포토 다이오드(32)의 박스 폴롯이 오히려 광센서 어레이의 어느 픽셀의 박스 플롯보다 큰 통계적 분포를 갖는다면 더 성능이 좋은 보정된 포토 다이오드로 교체하여 다시 수행할 수도 있다.Referring to FIG. 13 , the box plot (ref) of the corrected
또한, 보정된 포토 다이오드(33)가 아닌 광센서 어레이의 한 픽셀을 기준 픽셀로 설정한 경우, 설정된 기준 픽셀에 대한 측정횟수를 증가시켜 대표값의 신뢰도를 높이는 것도 가능하다.In addition, when one pixel of the photosensor array instead of the corrected
이러한 포토다이오드(33)의 측정값은 제1 보정값 산출 단계외 제2 내지 제4 보정값 산출단계에 모두 적용될 수 있으며, 상대적으로 정확도가 광센서 어레이 만을 이용할 때 보다 높아질 수 있다.The measured values of the
또한, 제2 보정값 산출 단계(S200)는 시간 또는 온도 변화에 따른 영향과 공간적 불균일도를 함께 판단하여 제2 보정값을 산출하는 것도 가능하다.In addition, in calculating the second correction value ( S200 ), it is also possible to calculate the second correction value by determining the spatial non-uniformity and the effect of time or temperature change together.
즉, 상술한 실시예에서는 제1 보정값이 적용되어 선형화 및 평탄화된 광 센서 어레이의 적용 광원(24)의 측정의 오차를 보정하기 위한 제2 보정값을 산출하나, 추가적으로 시간 또는 온도와 공간적 불균일도에 따른 영향을 고려하여 더욱 정확한 제2 보정값을 산출하는 것도 가능하다.That is, in the above-described embodiment, the first correction value is applied to calculate the second correction value for correcting the measurement error of the applied
구체적으로 제2 보정값 산출 단계(S200)는 대표 단일 픽셀을 이용하여 적용 광원(24)의 세기를 연속하여 M번 측정후 적용 광원(24)에 대한 시간 또는 온도변화에 따른 통계적 특성을 분석하여 광출력 불안정성을 보정하기 위한 제2-1의 보정값을 산출하는 단계(S210)와, 제1 보정값을 적용하여 보정된 상기 광센서 어레이 전체를 이용하여 적용 광원(24)에 대한 빛의 세기를 측정함으로써 적용 광원(24)으로부터 각 센서 어레이간의 거리 및 입사각 차이에 따른 공간적 불균일도를 분석하여 제2-2의 보정값을 산출하는 단계(S220)를 더욱 포함할 수 있다.Specifically, in the second correction value calculation step (S200), the intensity of the applied
이상의 본 발명에 따르면, 다양한 환경에 적용되는 패키지된 광 센서 어레이 모듈의 측정 신뢰성 확보를 위한 측정 및 보정 기준을 마련할 수 있으며, 측정값의 신뢰범위를 파악할 수 있기 때문에 실제 바이오/의료분야 등에 종사하는 사용자가 측정 결과값의 오차범위를 인지하여 판단의 오류를 줄이고 신뢰도를 높일 수 있게 된다.According to the present invention as described above, it is possible to prepare measurement and correction standards for securing measurement reliability of a packaged optical sensor array module applied to various environments, and since it is possible to grasp the reliability range of the measured value, it is possible to actually engage in bio/medical fields, etc. By recognizing the error range of the measurement result, the user can reduce the error of judgment and increase the reliability.
또한, 추가적인 외부 렌즈모듈 구성없이 광센서를 구현할 수 있어서 구성을 보다 간소화 시킬 수 있으며, 초소형 고성능의 랩온어칩 또는 이식형 패치 형태의 진단기기 등의 산업분야 활성화에 기여하게 된다.In addition, since the optical sensor can be implemented without an additional external lens module configuration, the configuration can be simplified, and it contributes to the activation of industrial fields such as ultra-small, high-performance lab-on-a-chip or implantable patch-type diagnostic devices.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains may make various modifications, changes and substitutions within the scope without departing from the essential characteristics of the present invention. will be.
따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구 범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are for explaining, not limiting, the technical spirit of the present invention, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments and the accompanying drawings . The protection scope of the present invention should be construed by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.
Claims (8)
노출시간, 아날로그 이득, 디지털 이득 및 프레임 레이트 중 적어도 하나를 조절하는 단계;
일정 특성 값을 가지는 표준 광원에서 방출되는 광을 이용하여 암실 박스 내에서 렌즈-프리 광센서 어레이의 수집 특성을 통계적으로 분석하여 제1 대표값을 추출하고, 상기 제1 대표값에 따라 상기 렌즈-프리 광센서 어레이의 각 픽셀별 제1 보정값을 산출하고, 상기 제1 보정값에 의해 상기 렌즈-프리 광센서 어레이의 수집 특성을 상기 제1 대표값을 기준으로 보정하는 단계;
적용 환경의 적용 광원에서 방출되는 광을 이용하여 상기 암실 박스 내에서 상기 제1 보정값에 의해 보정된 상기 렌즈-프리 광센서 어레이의 수집 특성을 통계적으로 분석하여 제2 대표값을 추출하고, 상기 제2 대표값에 따라 상기 각 픽셀별 제2 보정값을 산출하고, 상기 제2 보정값에 의해 상기 렌즈-프리 광센서 어레이의 수집 특성을 상기 제2 대표값을 기준으로 보정하는 단계;
상기 표준 광원에서 방출되는 광을 이용하여 상기 암실 박스 내에서 상기 제2 보정값에 의해 보정된 상기 렌즈-프리 광센서 어레이 및 상기 렌즈-프리 광 센서 어레이 상에 접합된 하나 이상의 중간층이 패키지된 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈의 수집 특성을 통계적으로 분석하여 제3 대표값을 추출하고, 상기 제3 대표값에 따라 상기 각 픽셀별 제3 보정값을 산출하고, 상기 제3 보정값에 의해 상기 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈의 수집 특성을 상기 제3 대표값을 기준으로 보정하는 단계; 및
상기 적용 광원에서 방출되는 광을 이용하여 상기 암실 박스 내에서 상기 제3 보정값에 의해 보정된 상기 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈의 수집 특성을 통계적으로 분석하여 제4 대표값을 추출하고, 상기 제4 대표값에 따라 상기 각 픽셀별 제4 보정값을 산출하고, 상기 제4 보정값에 의해 상기 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈의 수집 특성을 상기 제4 대표값을 기준으로 보정하는 단계를 포함하는, 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈의 보정 방법.In the method carried out by the measuring device,
adjusting at least one of exposure time, analog gain, digital gain and frame rate;
A first representative value is extracted by statistically analyzing the collection characteristics of a lens-free optical sensor array in a darkroom box using light emitted from a standard light source having a certain characteristic value, and the lens- calculating a first correction value for each pixel of the free photosensor array, and correcting a collection characteristic of the lens-free photosensor array based on the first representative value by the first correction value;
A second representative value is extracted by statistically analyzing the collection characteristics of the lens-free optical sensor array corrected by the first correction value in the darkroom box using light emitted from an application light source in an application environment, and calculating a second correction value for each pixel according to a second representative value, and correcting a collection characteristic of the lens-free optical sensor array based on the second representative value by the second correction value;
The lens-free optical sensor array corrected by the second correction value in the darkroom box using the light emitted from the standard light source and one or more intermediate layers bonded on the lens-free optical sensor array are packaged - Statistical analysis of the collection characteristics of the pre-optical sensor array module to extract a third representative value, calculate a third correction value for each pixel according to the third representative value, and use the third correction value to determine the lens - correcting the collection characteristics of the pre-optical sensor array module based on the third representative value; and
A fourth representative value is extracted by statistically analyzing the collection characteristics of the lens-free photosensor array module corrected by the third correction value in the darkroom box using the light emitted from the applied light source, and the fourth representative value is extracted. Comprising the step of calculating a fourth correction value for each pixel according to 4 representative values, and correcting a collection characteristic of the lens-free optical sensor array module based on the fourth representative value by the fourth correction value , Calibration method of lens-free optical sensor array module.
상기 제1 보정값을 산출하는 것은, 상기 렌즈-프리 광센서 어레이의 수집 특성을 평탄화 또는 선형화하는 보정값을 산출하는 것을 포함하는, 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈의 보정 방법.The method of claim 1,
Calculating the first correction value includes calculating a correction value for flattening or linearizing a collection characteristic of the lens-free optical sensor array.
상기 제2 보정값을 산출하는 것은, 상기 적용 광원의 공간적 불균일도를 보정하는 보정값을 산출하는 것을 포함하는, 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈의 보정 방법.According to claim 1,
Calculating the second correction value includes calculating a correction value for correcting the spatial non-uniformity of the applied light source, a lens-free correction method of an optical sensor array module.
상기 제3 보정값을 산출하는 것은, 상기 표준 광원 하에서 상기 중간층의 매질 특성에 기인하는 보정값을 산출하는 것을 포함하는, 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈의 보정 방법.The method of claim 1,
Calculating the third correction value includes calculating a correction value resulting from the medium characteristic of the intermediate layer under the standard light source, a lens-free correction method of an optical sensor array module.
상기 제4 보정값을 산출하는 것은, 상기 적용 광원 하에서 상기 중간층의 매질 특성에 기인하는 보정값을 산출하는 것을 포함하는, 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈의 보정 방법.The method of claim 1,
Calculating the fourth correction value includes calculating a correction value resulting from the medium characteristic of the intermediate layer under the applied light source, a method for correcting a lens-free optical sensor array module.
상기 적용 광원에서 방출되는 광 또는 상기 적용 광원에서 방출되는 광에 의한 형광을 이용하여 실제 적용 환경 내에서 상기 제4 보정값에 의해 보정된 상기 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈의 측정을 수행하고, 반응 전 측정 값의 평균값과 반응 동안의 측정 값의 평균값의 차이를 이용하여 최종 출력 값을 산출하고, 상기 최종 출력 값을 이용하여 상기 제4 보정값에 의해 보정된 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈을 진단하는 단계를 더 포함하는, 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈의 보정 방법.The method of claim 1,
Measuring the lens-free optical sensor array module corrected by the fourth correction value in an actual application environment using light emitted from the applied light source or fluorescence caused by light emitted from the applied light source, and reacting The final output value is calculated using the difference between the average value of the previous measurement values and the average value of the measurement values during the reaction, and the lens-free optical sensor array module corrected by the fourth correction value is diagnosed using the final output value Further comprising the step of, a lens-free calibration method of the optical sensor array module.
상기 수집 특성을 통계적으로 분석하는 것은 광원의 파장을 변화시키면서 수행되는, 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈의 보정 방법.The method of claim 1,
Statistical analysis of the collection characteristics is performed while changing the wavelength of the light source, a method of calibrating a lens-free optical sensor array module.
상기 제1 내지 제4 보정값은 보정계수 룩업 테이블의 형태로 데이터베이스에 저장되는, 렌즈-프리 광센서 어레이 모듈의 보정 방법.The method of claim 1,
The first to fourth correction values are stored in a database in the form of a correction coefficient lookup table, a method of correcting a lens-free optical sensor array module.
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Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004191244A (en) | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Minolta Co Ltd | Spectrograph and correction method |
| JP2005156242A (en) | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Konica Minolta Sensing Inc | Photometer, and nonlinearity correction method therefor |
| JP2011064941A (en) | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Toppan Printing Co Ltd | Method for measuring and correcting illuminance, and exposure apparatus |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102532441B1 (en) * | 2022-05-24 | 2023-05-17 | (주)대한엔지니어링 | Portable light quantity corrector of illuminance sensor of led lantern and method for correcting light quantity of the illuminance sensor of led lantern using the same |
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