KR102378613B1 - Appratus for chemical sampling - Google Patents

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KR102378613B1
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안재원
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Abstract

Disclosed is a chemical sampling device. A chemical sampling device according to one embodiment of the present invention is a device for supplying chemical to a sampling container for sampling chemical, comprising: a chamber; a chemical sampling container transport unit for transporting a sampling container provided from the outside of the chamber; a chemical sampling container cap attachment and detachment unit for attaching and detaching a cap of the sampling container transported by the sampling container transport unit; and a chemical supply unit for supplying the chemical to the sampling container from which the cap is removed, wherein the chemical sampling container cap attachment and detachment unit is provided with a metal material removal member. According to the present invention, metal particles can be removed.

Description

케미컬 샘플링 장치{APPRATUS FOR CHEMICAL SAMPLING}Chemical sampling device

본 발명은, 케미컬 샘플링 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 금속 파티클을 제거할 수 있는 케미컬 샘플링 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical sampling device, and more particularly, to a chemical sampling device capable of removing metal particles.

일반적으로, 반도체 공장이나 화학약품 공장 등과 같이 다양한 케미컬(chemical)을 사용하는 케미컬 사용처에는 케미컬을 이송하는 배관, 케미컬을 저장하는 저장탱크 등과 같이 케미컬의 이송, 저장, 관리, 처리를 위한 다양한 시설들이 마련되어 있다. 이러한 케미컬 사용처에서는 케미컬을 사용 가능한 상태로 관리하기 위해, 케미컬을 수용하고 있는 각각의 시설이나 배관으로부터 주기적으로 케미컬을 샘플링하는 작업과 샘플링된 케미컬을 검사하는 작업이 이루어지고 있다.In general, various facilities for transporting, storing, managing, and processing chemicals such as pipes for transporting chemicals and storage tanks for storing chemicals are used in places where various chemicals are used, such as semiconductor factories or chemical plants. is provided. In these places where chemicals are used, in order to manage chemicals in a usable state, periodic sampling of chemicals and inspection of sampled chemicals are performed from each facility or pipe that houses chemicals.

그런데, 케미컬은 인체에 유해한 물질을 포함하고 있으므로, 근래 자동으로 케미컬을 샘플링하는 장치가 개발되고 있다(예컨대 특허문헌 1). 이러한 케미컬 샘플링 장치는 챔버 외부로부터 내부로 샘플링 용기를 운반하고, 샘플링 용기의 상부에 결합되어 있는 캡을 제거한 후 샘플링 용기로 케미컬을 공급하며, 이후, 샘플링 용기에 캡을 다시 결합하여 챔버 외부로 이송하도록 구성되어야 한다.However, since the chemical contains a substance harmful to the human body, an apparatus for automatically sampling the chemical has been developed in recent years (eg, Patent Document 1). This chemical sampling device transports the sampling container from the outside to the inside of the chamber, removes the cap coupled to the upper part of the sampling container, supplies the chemical to the sampling container, and then connects the cap to the sampling container again and transfers it to the outside of the chamber should be configured to

여기서, 샘플링 용기의 캡을 착탈하도록 구성되는 캡 착탈 유닛은 금속으로 제작될 수 있으며, 캡을 착탈하기 위한 캡 착탈 유닛의 작동 과정의 마찰에 의해 금속 파티클이 발생할 수 있다. Here, the cap detachable unit configured to attach and detach the cap of the sampling container may be made of metal, and metal particles may be generated by friction in the operation process of the cap detaching unit for attaching and detaching the cap.

일반적으로 케미컬은 금속 성분을 함유하지 않는 것이 많으며 이러한 케미컬의 샘플에서 금속 성분이 검출되면 그 케미컬의 제조, 이송, 공급 과정 중 어디에선가 문제가 있었음을 의미하므로 그 원인을 규명해야 한다. 그런데 금속 성분이 샘플링 장치에 기인한 것이라면 케미컬을 샘플링하여 검사하는 취지가 몰각되므로 샘플링 장치는 샘플링 과정에서 금속 성분이 케미컬에 혼입되지 않도록 하여야 한다.In general, many chemicals do not contain metal components, and if a metal component is detected in a sample of such a chemical, it means that there was a problem somewhere in the process of manufacturing, transporting, and supplying the chemical, so the cause should be investigated. However, if the metal component is due to the sampling device, the purpose of sampling and testing the chemical is lost, so the sampling device must prevent the metal component from being mixed into the chemical during the sampling process.

대한민국 공개특허 제10-2004-0071853호 공보Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2004-0071853

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 샘플링 용기의 캡을 착탈하는 과정에서 발생되는 금속 파티클을 제거할 수 있는 케미컬 샘플링 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a chemical sampling apparatus capable of removing metal particles generated in the process of attaching and detaching a cap of a sampling container.

본 발명의 일 측면에 따르면, 케미컬의 샘플링을 위한 샘플링 용기에 케미컬을 공급하는 장치로서, 챔버; 상기 챔버의 외부에서 제공된 샘플링 용기를 운반하는 케미컬 샘플링 용기 운반 유닛; 상기 샘플링 용기 운반 유닛에 의해 운반된 상기 샘플링 용기의 캡을 착탈하는 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛; 및 상기 캡이 탈거된 상기 샘플링 용기에 상기 케미컬을 공급하는 케미컬 공급 유닛을 포함하며, 상기 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛에는 금속물질 제거부재가 구비된 것을 특징으로 하는 케미컬 샘플링 장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for supplying a chemical to a sampling container for sampling of the chemical, comprising: a chamber; a chemical sampling container carrying unit for carrying a sampling container provided outside the chamber; a chemical sampling vessel cap detachment unit for attaching and detaching a cap of the sampling vessel carried by the sampling vessel transport unit; and a chemical supply unit for supplying the chemical to the sampling container from which the cap is removed, wherein the chemical sampling container cap detachable unit includes a metal material removing member.

또한, 상기 금속물질 제거부재는 자성체를 포함할 수 있다.In addition, the metal material removing member may include a magnetic material.

그리고, 상기 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛은, 개구가 형성된 케이스; 및 상기 케이스 내부에 설치되며, 상기 개구를 통해 외부로 돌출되어 상기 샘플링 용기의 캡을 착탈하는 착탈부재를 포함하며, 상기 금속물질 제거부재는 상기 케이스 내부에 마련될 수 있다.In addition, the chemical sampling container cap detachable unit may include: a case having an opening; and a detachable member installed inside the case and protruding to the outside through the opening to attach and detach the cap of the sampling container, wherein the metal material removing member may be provided inside the case.

또한, 상기 케이스의 상기 개구의 둘레를 따라 제1 돌출부가 형성되며, 상기 금속물질 제거부재는 띠 형상의 자석으로 마련되어 상기 제1 돌출부의 상측에 결합될 수 있다.In addition, a first protrusion may be formed along the periphery of the opening of the case, and the metal material removing member may be provided as a band-shaped magnet and coupled to an upper side of the first protrusion.

그리고, 상기 금속물질 제거부재는 띠 형상의 자석으로 마련되며, 상기 케이스의 상기 개구의 둘레의 측면을 따라 상기 띠 형상의 자석이 결합될 수 있다.In addition, the metal material removing member may be provided as a band-shaped magnet, and the band-shaped magnet may be coupled along a side surface of the periphery of the opening of the case.

또한, 상기 케이스 내부에는 테두리를 따라 제2 돌출부가 형성되며, 상기 금속물질 제거부재는 띠 형상의 자석으로 마련되어 상기 제2 돌출부에 결합될 수 있다.In addition, a second protrusion is formed inside the case along an edge, and the metal material removing member is provided as a band-shaped magnet and may be coupled to the second protrusion.

그리고, 상기 케이스는 PVC 재질로 제작되며, 상기 금속물질 제거부재는 띠 형상의 자석으로 마련되어 상기 케이스에 본딩으로 결합될 수 있다.In addition, the case is made of a PVC material, and the metal material removal member is provided with a band-shaped magnet and may be coupled to the case by bonding.

또한, 상기 케이스의 상기 개구의 둘레 부분이 자석으로 제작될 수 있다.In addition, the peripheral portion of the opening of the case may be made of a magnet.

따라서, 본 발명의 실시예들은, 샘플링 용기의 캡을 착탈하는 과정에서 발생되는 금속 파티클을 금속물질 제거부재에 의해 제거할 수 있는 효과가 있다.Accordingly, in the embodiments of the present invention, metal particles generated in the process of attaching and detaching the cap of the sampling container can be removed by the metal material removing member.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치의 내부의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치에서 하나의 실시예에 따라 샘플링 용기 캡 착탈 유닛에 금속물질 제거부재가 구비된 모습의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치에서 다른 실시예에 따라 샘플링 용기 캡 착탈 유닛에 금속물질 제거부재가 구비된 모습의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치에서 또다른 실시예에 따라 샘플링 용기 캡 착탈 유닛에 금속물질 제거부재가 구비된 모습의 사시도이다.
1 is a schematic perspective view of the inside of a chemical sampling device according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view illustrating a state in which a metal material removing member is provided in a sampling vessel cap detachable unit according to an embodiment of the chemical sampling apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view illustrating a state in which a metal material removing member is provided in a sampling vessel cap detachable unit according to another embodiment of the chemical sampling apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view illustrating a state in which a metal material removing member is provided in a sampling vessel cap detachable unit according to another embodiment of the chemical sampling apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 상세히 설명하기로 한다. 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과하고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to their ordinary or dictionary meanings, and the inventor may properly define the concept of the term in order to best describe his invention. Based on the principle that there is, it should be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention. Therefore, the configuration shown in the embodiments and drawings described in this specification is only the most preferred embodiment of the present invention and does not represent all of the technical idea of the present invention, so at the time of the present application, various It should be understood that there may be equivalents and variations.

도면에서 각 구성요소 또는 그 구성요소를 이루는 특정 부분의 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 따라서, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다. 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그러한 설명은 생략하도록 한다.In the drawings, the size of each component or a specific part constituting the component is exaggerated, omitted, or schematically illustrated for convenience and clarity of description. Therefore, the size of each component does not fully reflect the actual size. When it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, such description will be omitted.

본 명세서에서 사용되는 '결합' 또는 '연결'이라는 용어는, 하나의 부재와 다른 부재가 직접 결합되거나, 직접 연결되는 경우뿐만 아니라 하나의 부재가 이음부재를 통해 다른 부재에 간접적으로 결합되거나, 간접적으로 연결되는 경우도 포함한다.As used herein, the term 'coupled' or 'connected' refers to a case in which one member and another member are directly coupled or directly connected, as well as when one member is indirectly coupled to another member through a joint member, or indirectly. Including cases connected to

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치의 내부의 개략적인 사시도이다. 1 is a schematic perspective view of the inside of a chemical sampling device according to an embodiment of the present invention.

케미컬 샘플링 장치(1)는 케미컬을 수용하고 있는 각각의 시설이나 배관으로부터 케미컬을 샘플링하기 위한 샘플링 용기(400)에 케미컬을 공급하는 장치이다.The chemical sampling device 1 is a device for supplying chemicals to the sampling vessel 400 for sampling chemicals from each facility or pipe accommodating the chemicals.

케미컬 샘플링 장치(1)는, 챔버(40)와, 케미컬 샘플링 용기 운반 유닛(20)과, 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛(10)과, 케미컬 공급 유닛(30)을 포함할 수 있고, 케미컬 샘플링 용기 운반 유닛(20)과, 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛(10)과, 케미컬 공급 유닛(30)은 챔버(40) 내부에 설치된다. 또한, 케미컬 샘플링 용기 운반 유닛(20)과, 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛(10)과, 케미컬 공급 유닛(30)을 제어하는 제어유닛(미도시)이 구비된다.The chemical sampling apparatus 1 may include a chamber 40 , a chemical sampling container transport unit 20 , a chemical sampling container cap detachment unit 10 , and a chemical supply unit 30 , and a chemical sampling container The transport unit 20 , the chemical sampling vessel cap detachment unit 10 , and the chemical supply unit 30 are installed inside the chamber 40 . In addition, a control unit (not shown) for controlling the chemical sampling container transport unit 20 , the chemical sampling container cap detachment unit 10 , and the chemical supply unit 30 is provided.

챔버(40)는 내부에서 샘플링이 이루어지도록 마련되며, 챔버(40)의 외부면에는 챔버(40)의 내부 공간과 연통되는 제1 윈도(미도시)가 형성되고, 제1 윈도(미도시)를 통해 챔버(40) 외부로부터 샘플링 용기(400)가 챔버(40) 내부로 제공될 수 있다. The chamber 40 is provided so that sampling is made inside, and a first window (not shown) communicating with the internal space of the chamber 40 is formed on the outer surface of the chamber 40, and the first window (not shown) The sampling vessel 400 may be provided into the chamber 40 from the outside of the chamber 40 through the .

챔버(40)는 제1 윈도(미도시)를 개폐하는 개폐 도어(미도시)를 포함한다. 이 경우, 개폐 도어(미도시)는 미닫이 또는 여닫이 방식으로 제1 윈도(미도시)를 개폐하도록 구성될 수 있으며, 실시예에 따라, 개폐 도어(미도시)는 자동 또는 수동으로 동작하도록 구성될 수 있다. The chamber 40 includes an opening/closing door (not shown) for opening and closing a first window (not shown). In this case, the opening/closing door (not shown) may be configured to open and close the first window (not shown) in a sliding or swinging manner, and according to an embodiment, the opening/closing door (not shown) may be configured to operate automatically or manually. can

또한, 챔버(40)는 챔버(40) 내부의 공기를 환기시킬 수 있도록 환기 유닛(미도시)이 설치될 수 있다.In addition, a ventilation unit (not shown) may be installed in the chamber 40 to ventilate the air inside the chamber 40 .

케미컬 샘플링 용기 운반 유닛(20)은 샘플링 용기(400)를 파지하도록 구성되며, 챔버(40) 외부로부터 챔버(40) 내부로 제공된 샘플링 용기(400)를 파지하여 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛(10)의 근접한 위치로 운반한다. The chemical sampling container transport unit 20 is configured to hold the sampling container 400 , and grips the sampling container 400 provided from the outside of the chamber 40 to the inside of the chamber 40 to remove the chemical sampling container cap and detachable unit 10 . transported to a location close to

케미컬 샘플링 용기 운반 유닛(20)은 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛(10)에 의해 샘플링 용기(400)의 캡(500)이 열리면 샘플링 용기(400)를 케미컬 공급 유닛(30)측으로 이동시킨다. The chemical sampling container transport unit 20 moves the sampling container 400 toward the chemical supply unit 30 when the cap 500 of the sampling container 400 is opened by the chemical sampling container cap detachment unit 10 .

케미컬 샘플링 용기 운반 유닛(20)은 서보 모터나 공압 또는 유압 실린더 등에 의해 XY 방향의 정확한 위치로 제어되면서 이동되도록 마련될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 케미컬 샘플링 용기 운반 유닛(20)은 보다 다양하게 구성될 수 있다.The chemical sampling container transport unit 20 may be provided to be moved while being controlled to an accurate position in the XY direction by a servo motor, pneumatic or hydraulic cylinder, or the like. However, the present invention is not limited thereto, and the chemical sampling container transport unit 20 may be configured in more various ways.

케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛(10)은 케미컬의 샘플링을 위한 샘플링 용기(400)의 캡(500)을 착탈하는 유닛으로서, 케미컬 샘플링 용기 운반 유닛(20)에 의해 샘플링 용기(400)가 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛(10)의 근접한 위치로 운반되면 샘플링 용기(400)에 결합된 캡(500)을 탈거하며, 케미컬 공급 유닛(30)에 의해 샘플링 용기(400)에 케미컬이 공급되면 샘플링 용기(400)로부터 탈거된 캡(500)을 샘플링 용기(400)에 결합한다. The chemical sampling vessel cap removal unit 10 is a unit for attaching and detaching the cap 500 of the sampling vessel 400 for chemical sampling, and the sampling vessel 400 is attached to the chemical sampling vessel by the chemical sampling vessel transport unit 20 . When the cap 500 coupled to the sampling container 400 is removed when it is transported to a position close to the cap detachment unit 10, when the chemical is supplied to the sampling container 400 by the chemical supply unit 30, the sampling container 400 ), the removed cap 500 is coupled to the sampling vessel 400 .

본 명세서에서는, 샘플링 용기(400)와 캡(500) 각각에 나선형의 수나사와 암나사가 형성되어 있으며, 캡(500)을 회전시키면 캡(500)이 샘플링 용기(400)로부터 분리되거나 결합되도록 마련된 구성을 중심으로 설명한다. 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.In the present specification, a spiral male screw and a female screw are formed in each of the sampling container 400 and the cap 500 , and when the cap 500 is rotated, the cap 500 is separated from or coupled to the sampling container 400 . will be explained based on A detailed description thereof will be given later.

케미컬 공급 유닛(30)은 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛(10)에 의해 캡(500)이 제거된 후 케미컬 샘플링 용기 운반 유닛(20)에 의해 운반된 샘플링 용기(400)에 케미컬을 공급한다. The chemical supply unit 30 supplies the chemical to the sampling vessel 400 transported by the chemical sampling vessel transport unit 20 after the cap 500 is removed by the chemical sampling vessel cap detachment unit 10 .

케미컬 공급 유닛(30)은 다양하게 마련될 수 있으며, 예를 들어, 노즐(31)과, 공급관(32)을 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 케미컬 공급 유닛(30)의 구성이 이에 한정되는 것은 아니다.The chemical supply unit 30 may be provided in various ways, and, for example, may include a nozzle 31 and a supply pipe 32 . However, the configuration of the chemical supply unit 30 is not limited thereto.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치에서 하나의 실시예에 따라 샘플링 용기 캡 착탈 유닛에 금속물질 제거부재가 구비된 모습의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치에서 다른 실시예에 따라 샘플링 용기 캡 착탈 유닛에 금속물질 제거부재가 구비된 모습의 사시도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치에서 또다른 실시예에 따라 샘플링 용기 캡 착탈 유닛에 금속물질 제거부재가 구비된 모습의 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating a state in which a metal material removing member is provided in a sampling vessel cap detachable unit according to an embodiment in a chemical sampling apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an embodiment according to the present invention. According to another embodiment in the chemical sampling device, a perspective view of a metal material removing member is provided in the sampling vessel cap detachable unit according to another embodiment. It is a perspective view of a state in which a metal material removing member is provided in the cap detachable unit.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛(10)은 금속물질 제거부재(300)를 구비한다. 금속물질 제거부재(300)는 예를 들어, 자석과 같은 자성체를 포함하도록 마련될 수 있다. 금속물질 제거부재(300)의 상세한 설명은 후술한다.2 to 4 , the chemical sampling vessel cap detachment unit 10 includes a metal material removing member 300 . The metal material removal member 300 may be provided to include, for example, a magnetic material such as a magnet. A detailed description of the metal material removing member 300 will be described later.

케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛(10)은 케이스(100)와, 착탈부재(200)를 포함한다.The chemical sampling container cap detachable unit 10 includes a case 100 and a detachable member 200 .

케이스(100)는 챔버(40) 내부에 위치한다. 케이스(100) 내부에는 착탈부재(200)가 설치된다. 제어유닛(미도시)은 착탈부재(200)에 연결되며, 케이스(100) 내부에 설치될 수도 있고, 또는 케이스(100) 외부에 설치되어 착탈부재(200)에 연결되도록 구성될 수도 있다. 케이스(100)에는 일측, 예를 들어, 하측에 개구(110)가 형성된다.The case 100 is located inside the chamber 40 . A detachable member 200 is installed inside the case 100 . The control unit (not shown) is connected to the detachable member 200 , and may be installed inside the case 100 , or may be installed outside the case 100 and configured to be connected to the detachable member 200 . The case 100 has an opening 110 formed on one side, for example, on the lower side.

케이스(100)는 케미컬 샘플링 용기 운반 유닛(20) 보다 높은 위치(도 1 참조)에서 챔버(40)에 결합된다. 즉, 케미컬 샘플링 용기 운반 유닛(20)에 의해 샘플링 용기(400)가 케이스(100)의 하측에 위치하면, 착탈부재(200)가 케이스(100)의 개구(110)를 통해 하측으로 이동하여 샘플링 용기(400)로부터 캡(500)을 분리시킨다. The case 100 is coupled to the chamber 40 at a position higher than the chemical sampling container transport unit 20 (see FIG. 1 ). That is, when the sampling container 400 is located on the lower side of the case 100 by the chemical sampling container transport unit 20 , the detachable member 200 moves downward through the opening 110 of the case 100 for sampling. Remove the cap 500 from the container 400 .

케이스(100)는 다양한 형상으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 도 1에서와 같이 육면체 형상으로 형성될 수 있다. 다만, 케이스(100)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다.The case 100 may be formed in various shapes, for example, may be formed in a hexahedral shape as shown in FIG. 1 . However, the shape of the case 100 is not limited thereto.

착탈부재(200)는 케이스(100) 내부에 설치되며, 개구(110)를 통해 외부로 돌출되어 샘플링 용기(400)의 캡(500)을 착탈하도록 구성된다. The detachable member 200 is installed inside the case 100 , and protrudes to the outside through the opening 110 to detach the cap 500 of the sampling container 400 .

착탈부재(200)가 샘플링 용기(400)로부터 캡(500)을 분리시키는 방식은 다양할 수 있으며, 예를 들어, 착탈부재(200)가 캡(500)을 파지하고 회전시켜 샘플링 용기(400)로부터 캡(500)을 분리시킬 수 있다. 다만, 캡(500)의 분리 방식이 이에 한정되는 것은 아니다.The method in which the detachable member 200 separates the cap 500 from the sampling container 400 may vary, for example, the detachable member 200 grips and rotates the cap 500 to the sampling container 400 . The cap 500 may be separated from the . However, the separation method of the cap 500 is not limited thereto.

금속물질 제거부재(300)는 케이스(100) 내부의 다양한 위치에 설치될 수 있다. 금속물질 제거부재(300)는 다른 구성들과의 간섭이 발생되지 않도록 케이스(100) 내부의 테두리를 따라 케이스(100)에 결합될 수 있다.The metal material removing member 300 may be installed at various positions inside the case 100 . The metal material removal member 300 may be coupled to the case 100 along the inner edge of the case 100 so that interference with other components does not occur.

예를 들어, 하나의 실시예로 도 2를 참조하면, 케이스(100)의 개구(110)의 둘레를 따라 제1 돌출부(120)가 형성되고, 금속물질 제거부재(300)는 띠 형상의 자석(310)으로 마련되어 제1 돌출부(120)의 상측에 결합될 수 있다. For example, referring to FIG. 2 as an embodiment, the first protrusion 120 is formed along the periphery of the opening 110 of the case 100 , and the metal material removing member 300 is a band-shaped magnet. It is provided as 310 and may be coupled to the upper side of the first protrusion 120 .

금속으로 제작된 착탈부재(200)가 작동하는 경우, 예를 들어 상승 또는 하강하거나, 회전하는 경우 마찰에 의해 금속 파티클이 발생할 수 있으며, 이와 같이 발생된 금속 파티클이 케이스(100)의 개구(110)를 통해 하측으로 이동하여 케이스(100)의 개구(110) 아래쪽에 위치한 샘플링 용기(400)로 유입될 수 있다. When the detachable member 200 made of metal operates, for example, when it rises, falls, or rotates, metal particles may be generated by friction, and the metal particles generated in this way are generated in the opening 110 of the case 100 . ) and may be introduced into the sampling container 400 located below the opening 110 of the case 100 by moving downward.

하지만, 도 2에서와 같이, 케이스(100)의 개구(110)의 둘레를 따라 제1 돌출부(120)가 형성되고 제1 돌출부(120)의 상측에 띠 형상의 자석(310)이 결합되면, 착탈부재(200)의 작동 중 발생되는 금속 파티클이 개구(110)측으로 이동하더라도 띠 형상의 자석(310)에 부착되므로 금속 파티클이 샘플링 용기(400)로 인입되는 것을 방지할 수 있다.However, as in FIG. 2 , when the first protrusion 120 is formed along the periphery of the opening 110 of the case 100 and the band-shaped magnet 310 is coupled to the upper side of the first protrusion 120 , Even if the metal particles generated during operation of the detachable member 200 move toward the opening 110 , they are attached to the band-shaped magnet 310 , thereby preventing the metal particles from entering the sampling container 400 .

그리고, 다른 실시예로 도 3을 참조하면, 금속물질 제거부재(300)는 띠 형상의 자석(310)으로 마련되며, 케이스(100)의 개구(110)의 둘레의 측면(130)을 따라 띠 형상의 자석(310)이 결합될 수 있다. And, referring to FIG. 3 as another embodiment, the metal material removing member 300 is provided with a band-shaped magnet 310 , and a band along the side 130 of the periphery of the opening 110 of the case 100 . The shaped magnet 310 may be coupled.

또한, 띠 형상의 자석(310)은 케이스(100)의 개구(110)의 둘레의 제1 돌출부(120)의 상측에 결합될 뿐만 아니라 케이스(100)의 개구(110)의 둘레의 측면(130)을 따라 결합될 수도 있다. 즉, 제1 돌출부(120)의 상측과 개구(110)의 둘레의 측면(130) 모두에 띠 형상의 자석(310)이 결합될 수 있다. In addition, the band-shaped magnet 310 is coupled to the upper side of the first protrusion 120 around the opening 110 of the case 100 as well as the side 130 of the periphery of the opening 110 of the case 100 . ) can also be combined. That is, the band-shaped magnet 310 may be coupled to both the upper side of the first protrusion 120 and the side 130 around the opening 110 .

그리고, 또다른 실시예로 도 4를 참조하면, 금속물질 제거부재(300)는 띠 형상의 자석(310)으로 마련되어 케이스(100) 내부의 테두리를 따라 형성된 제2 돌출부(140)에 결합될 수 있다.And, referring to FIG. 4 as another embodiment, the metal material removing member 300 may be provided as a band-shaped magnet 310 and coupled to the second protrusion 140 formed along the inner edge of the case 100 . there is.

또한, 띠 형상의 자석(310)은 제1 돌출부(120)와 제2 돌출부(140)에 결합될 수도 있고, 또는 케이스(100)의 개구(110)의 둘레의 측면(130)과 제2 돌출부(140)에 결합될 수도 있으며, 제1 돌출부(120)와 제2 돌출부(140)와 케이스(100)의 개구(110)의 둘레의 측면(130) 모두에 결합될 수도 있다.In addition, the band-shaped magnet 310 may be coupled to the first protrusion 120 and the second protrusion 140 , or the side surface 130 and the second protrusion around the opening 110 of the case 100 . It may be coupled to 140 , it may be coupled to both the first protrusion 120 , the second protrusion 140 , and the side surface 130 of the periphery of the opening 110 of the case 100 .

다만, 제1 돌출부(120)와, 제2 돌출부(140)와, 케이스(100)의 개구(110)의 둘레의 측면(130)에 결합되는 금속물질 제거유닛은 반드시 띠 형상의 자석(310)일 필요는 없으며, 띠 형상의 자석(310)은 하나의 예시에 불과하다.However, the first protrusion 120 , the second protrusion 140 , and the metal material removal unit coupled to the side surface 130 of the periphery of the opening 110 of the case 100 must have a band-shaped magnet 310 . It is not necessary, and the band-shaped magnet 310 is only an example.

한편, 다른 별개의 실시예로, 케이스(100)의 개구(110)의 둘레 부분이 자석 자체로 제작될 수 있다. 즉, 전술한 실시예들은, 자석이 아닌 다른 재질로 제1 돌출부(120)와, 제2 돌출부(140)와, 케이스(100)의 개구(110)의 둘레의 측면(130)을 제작 후, 띠 형상의 자석(310)을 제1 돌출부(120)와, 제2 돌출부(140)와, 케이스(100)의 개구(110)의 둘레의 측면(130)에 각각 결합하지만, 다른 별개의 실시예의 경우 제1 돌출부(120)와, 제2 돌출부(140)와, 케이스(100)의 개구(110)의 둘레의 측면(130) 그 자체가 자석으로 제작될 수도 있다.On the other hand, as another separate embodiment, the peripheral portion of the opening 110 of the case 100 may be manufactured by the magnet itself. That is, in the above-described embodiments, the first protrusion 120, the second protrusion 140, and the side surface 130 of the periphery of the opening 110 of the case 100 are manufactured with a material other than the magnet, The band-shaped magnet 310 is coupled to the first protrusion 120 , the second protrusion 140 , and the side surface 130 of the periphery of the opening 110 of the case 100 , respectively, but in another separate embodiment In this case, the first protrusion 120 , the second protrusion 140 , and the side 130 around the opening 110 of the case 100 may themselves be made of a magnet.

케이스(100)는 PVC 재질로 제작될 수 있다. 그리고, 금속물질 제거부재(300)가 띠 형상의 자석(310)으로 마련되는 경우 띠 형상의 자석(310)은 PVC 재질의 케이스(100)에 본딩으로 결합될 수 있다.The case 100 may be made of a PVC material. In addition, when the metal material removing member 300 is provided with the band-shaped magnet 310 , the band-shaped magnet 310 may be coupled to the PVC case 100 by bonding.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치(1)의 작용 및 효과에 대해 설명한다.Hereinafter, the operation and effect of the chemical sampling device 1 according to an embodiment of the present invention will be described.

케미컬 샘플링 용기 운반 유닛(20)에 의해 샘플링 용기(400)가 운반되어 케이스(100)의 하측에 위치하면 샘플링 용기(400)의 캡(500)을 착탈하기 위해 착탈부재(200)가 작동한다. 여기서, 착탈부재(200)는 금속으로 제작되므로 착탈부재(200)가 작동하면 마찰에 의해 착탈부재(200)로부터 금속 파티클이 발생할 수 있다. When the sampling container 400 is transported by the chemical sampling container transport unit 20 and located at the lower side of the case 100 , the detachable member 200 operates to detach the cap 500 of the sampling container 400 . Here, since the detachable member 200 is made of metal, when the detachable member 200 operates, metal particles may be generated from the detachable member 200 by friction.

착탈부재(200)로부터 발생된 금속 파티클이 하측으로 이동하면 케이스(100)의 개구(110)의 둘레를 따라 형성된 제1 돌출부(120)의 상측에 결합된 띠 형상의 자석(310)과, 케이스(100)의 개구(110)의 둘레의 측면(130)을 따라 결합된 띠 형상의 자석(310)과, 케이스(100) 내부의 테두리를 따라 형성된 제2 돌출부(140)에 결합된 띠 형상의 자석(310) 중 적어도 하나에 부착되며, 이에 의해, 금속 파티클이 샘플링 용기(400)로 인입되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.When the metal particles generated from the detachable member 200 move downward, the band-shaped magnet 310 coupled to the upper side of the first protrusion 120 formed along the periphery of the opening 110 of the case 100, and the case A band-shaped magnet 310 coupled along the side 130 of the periphery of the opening 110 of 100, and a band-shaped magnet coupled to the second protrusion 140 formed along the inner edge of the case 100 It is attached to at least one of the magnets 310 , thereby having the effect of preventing the metal particles from being introduced into the sampling container 400 .

한편, 이상에서는 금속물질 제거부재(300)를 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛(10)에 마련한 경우를 설명하였지만, 금속물질 제거부재는 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛(10) 이외에도 금속으로 이루어지는 구성요소, 예컨대 케미컬 샘플링 용기 운반 유닛(20)에도 마련될 수 있다. 이 경우, 필요에 따라 전술한 케이스(100)와 유사한 케이스를 마련하고 그 내부나 개구 주변에 금속물질 제거부재를 마련할 수 있다.Meanwhile, in the above description, the case in which the metal material removing member 300 is provided in the chemical sampling vessel cap detaching unit 10 has been described, but the metallic material removing member is a component made of metal in addition to the chemical sampling vessel cap detaching unit 10, for example. It may also be provided in the chemical sampling container transport unit 20 . In this case, if necessary, a case similar to the case 100 described above may be provided, and a metal material removing member may be provided inside or around the opening.

이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.In the above, although the present invention has been described with reference to limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto and will be described below with the technical idea of the present invention by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equivalents of the claims.

10 : 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛
100 : 케이스 110 : 개구
120 : 제1 돌출부 130 : 개구의 둘레의 측면
140 : 제2 돌출부 200 : 착탈부재
300 : 금속물질 제거부재 310 : 띠 형상의 자석
400 : 샘플링 용기 500 : 캡
10: chemical sampling container cap detachable unit
100: case 110: opening
120: first protrusion 130: side of the periphery of the opening
140: second protrusion 200: removable member
300: metal material removal member 310: band-shaped magnet
400: sampling vessel 500: cap

Claims (8)

케미컬의 샘플링을 위한 샘플링 용기에 케미컬을 공급하는 장치로서,
챔버;
상기 챔버의 외부에서 제공된 샘플링 용기를 운반하는 케미컬 샘플링 용기 운반 유닛;
상기 샘플링 용기 운반 유닛에 의해 운반된 상기 샘플링 용기의 캡을 착탈하는 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛; 및
상기 캡이 탈거된 상기 샘플링 용기에 상기 케미컬을 공급하는 케미컬 공급 유닛을 포함하며,
상기 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛은,
개구가 형성된 케이스; 및
상기 케이스 내부에 설치되며, 상기 개구를 통해 외부로 돌출되어 상기 샘플링 용기의 캡을 착탈하되, 금속으로 제작된 착탈부재를 포함하고,
상기 케미컬 샘플링 용기 캡 착탈 유닛에는 금속물질 제거부재가 구비되고, 상기 금속물질 제거부재는 자성체이며,
상기 자성체는 상기 케이스 내부에 마련되어 상기 착탈부재의 작동 중 발생되는 금속 파티클을 부착하도록 마련된 것을 특징으로 하는 케미컬 샘플링 장치.
A device for supplying chemicals to a sampling container for chemical sampling, comprising:
chamber;
a chemical sampling container carrying unit for carrying a sampling container provided outside the chamber;
a chemical sampling container cap detachment unit for attaching and detaching a cap of the sampling container carried by the sampling container transport unit; and
and a chemical supply unit for supplying the chemical to the sampling container from which the cap is removed,
The chemical sampling container cap detachment unit,
a case in which an opening is formed; and
It is installed inside the case and protrudes to the outside through the opening to detach the cap of the sampling container, and includes a detachable member made of metal,
A metal material removing member is provided in the chemical sampling vessel cap detachment unit, and the metal material removing member is a magnetic material,
The magnetic material is provided inside the case to attach metal particles generated during the operation of the detachable member to the chemical sampling device.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 케이스의 상기 개구의 둘레를 따라 제1 돌출부가 형성되며, 상기 금속물질 제거부재는 띠 형상의 자석으로 마련되어 상기 제1 돌출부의 상측에 결합되는 것을 특징으로 하는 케미컬 샘플링 장치.
According to claim 1,
A first protrusion is formed along the periphery of the opening of the case, and the metal material removing member is provided as a band-shaped magnet and is coupled to an upper side of the first protrusion.
제1항에 있어서,
상기 금속물질 제거부재는 띠 형상의 자석으로 마련되며, 상기 케이스의 상기 개구의 둘레의 측면을 따라 상기 띠 형상의 자석이 결합되는 것을 특징으로 하는 케미컬 샘플링 장치.
According to claim 1,
The metal material removing member is provided with a band-shaped magnet, and the chemical sampling device, characterized in that the band-shaped magnet is coupled along a side surface of the periphery of the opening of the case.
제1항에 있어서,
상기 케이스 내부에는 테두리를 따라 제2 돌출부가 형성되며, 상기 금속물질 제거부재는 띠 형상의 자석으로 마련되어 상기 제2 돌출부에 결합되는 것을 특징으로 하는 케미컬 샘플링 장치.
According to claim 1,
A second protrusion is formed inside the case along an edge, and the metal material removing member is provided as a band-shaped magnet and is coupled to the second protrusion.
제1항에 있어서,
상기 케이스는 PVC 재질로 제작되며, 상기 금속물질 제거부재는 띠 형상의 자석으로 마련되어 상기 케이스에 본딩으로 결합되는 것을 특징으로 하는 케미컬 샘플링 장치.
According to claim 1,
The case is made of a PVC material, and the metal material removal member is provided as a band-shaped magnet and is coupled to the case by bonding.
제1항에 있어서,
상기 케이스의 상기 개구의 둘레 부분이 자석으로 제작된 것을 특징으로 하는 케미컬 샘플링 장치.
According to claim 1,
A chemical sampling device, characterized in that the peripheral portion of the opening of the case is made of a magnet.
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002018317A (en) * 2000-07-07 2002-01-22 Japan Gas Association Device for removing metallic powder in fluid pipe
KR20040071853A (en) 2003-02-07 2004-08-16 삼성전자주식회사 Apparatus for sampling a chemical
KR20080107582A (en) * 2007-06-07 2008-12-11 백구영 Automatic capping apparatus
KR102087861B1 (en) * 2019-09-20 2020-03-12 (주)에스티아이 Apparatus for screwing on and off a bottle cap and chemical sampling apparatus including the same
KR102101303B1 (en) * 2019-11-11 2020-04-17 (주)에스티아이 Apparatus for sampling chemical
KR102110403B1 (en) * 2019-11-11 2020-05-14 (주)에스티아이 Apparatus for sampling chemical
KR102151563B1 (en) * 2019-11-06 2020-09-03 (주)에스티아이 Apparatus for preventing outflow of chemical and chemical sampling apparatus having the same

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002018317A (en) * 2000-07-07 2002-01-22 Japan Gas Association Device for removing metallic powder in fluid pipe
KR20040071853A (en) 2003-02-07 2004-08-16 삼성전자주식회사 Apparatus for sampling a chemical
KR20080107582A (en) * 2007-06-07 2008-12-11 백구영 Automatic capping apparatus
KR102087861B1 (en) * 2019-09-20 2020-03-12 (주)에스티아이 Apparatus for screwing on and off a bottle cap and chemical sampling apparatus including the same
KR102151563B1 (en) * 2019-11-06 2020-09-03 (주)에스티아이 Apparatus for preventing outflow of chemical and chemical sampling apparatus having the same
KR102101303B1 (en) * 2019-11-11 2020-04-17 (주)에스티아이 Apparatus for sampling chemical
KR102110403B1 (en) * 2019-11-11 2020-05-14 (주)에스티아이 Apparatus for sampling chemical

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