KR102369516B1 - Diaphragm vlave having discrete type seat member - Google Patents

Diaphragm vlave having discrete type seat member Download PDF

Info

Publication number
KR102369516B1
KR102369516B1 KR1020200074726A KR20200074726A KR102369516B1 KR 102369516 B1 KR102369516 B1 KR 102369516B1 KR 1020200074726 A KR1020200074726 A KR 1020200074726A KR 20200074726 A KR20200074726 A KR 20200074726A KR 102369516 B1 KR102369516 B1 KR 102369516B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
seat
handle
diaphragm
knob
sheet
Prior art date
Application number
KR1020200074726A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20210156990A (en
Inventor
박래성
Original Assignee
박래성
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 박래성 filed Critical 박래성
Priority to KR1020200074726A priority Critical patent/KR102369516B1/en
Publication of KR20210156990A publication Critical patent/KR20210156990A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102369516B1 publication Critical patent/KR102369516B1/en

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/126Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a diaphragm, bellows, or the like
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K17/00Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
    • F16K17/02Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side
    • F16K17/04Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44Mechanical actuating means
    • F16K31/50Mechanical actuating means with screw-spindle or internally threaded actuating means
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44Mechanical actuating means
    • F16K31/53Mechanical actuating means with toothed gearing
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44Mechanical actuating means
    • F16K31/60Handles
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K35/00Means to prevent accidental or unauthorised actuation
    • F16K35/02Means to prevent accidental or unauthorised actuation to be locked or disconnected by means of a pushing or pulling action
    • F16K35/022Means to prevent accidental or unauthorised actuation to be locked or disconnected by means of a pushing or pulling action the locking mechanism being actuated by a separate actuating element
    • F16K35/025Means to prevent accidental or unauthorised actuation to be locked or disconnected by means of a pushing or pulling action the locking mechanism being actuated by a separate actuating element said actuating element being operated manually (e.g. a push-button located in the valve actuator)
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K35/00Means to prevent accidental or unauthorised actuation
    • F16K35/06Means to prevent accidental or unauthorised actuation using a removable actuating or locking member, e.g. a key
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Preventing Unauthorised Actuation Of Valves (AREA)

Abstract

본 발명은, 일측에 부식성 가스 또는 부식성 액체에 해당하는 유량이 유동하는 밸브바디(110)와, 밸브 누설을 방지하도록 시트(121) 및 시트홀더(122)로 결합된 시트부(120)와, 밸브바디(110)의 배출로(115)를 개폐하여 유량을 조절하는 다이어프램시트(130)와, 다이어프램시트(130)를 탄성적으로 압착하거나 이격시키는 가압부(140)와, 스템(142)의 승강을 가이드하는 보넷(150)과, 스템(142)이 하단에 고정 결합되고 중앙에 키홀(161)이 관통 형성된 핸들(160)과, 하단은 보넷(150) 상단에 결합되고 상단은 핸들(160) 내측에 인입되되 내측면에 내접기어(171)가 형성된 제1노브(170)와, 제1노브(170)의 내접기어(171)에 치합시켜 핸들(160)의 회전을 제한하는 키락부(180)와, 키홀(161)에 삽입되어 스토퍼(182)의 후단을 가압하여 스토퍼(182)를 회전시켜 스토퍼(182)가 제1노브(170)의 내접기어(171)와 이격되도록 하여 핸들(160)의 회전을 가능하게 하는, 마스터키(190)를 포함하여, 시트(121)와 시트홀더(122)는 분리형으로 상호 결합하도록 구성되어서, 종래의 일체형 구조에 비해, 분리형으로 시트(121)의 손상으로 인한 부품 교체시 시트(121)만을 교체하도록할 수 있는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브를 개시한다.The present invention, the valve body 110 in which the flow rate corresponding to the corrosive gas or corrosive liquid flows on one side, and the seat 120 coupled to the seat 121 and the seat holder 122 to prevent valve leakage, The diaphragm seat 130 for controlling the flow rate by opening and closing the discharge path 115 of the valve body 110, the pressing unit 140 for elastically compressing or spaced apart from the diaphragm seat 130, and the stem 142 A bonnet 150 for guiding the elevation, a handle 160 having a stem 142 fixedly coupled to the lower end and having a key hole 161 penetrating in the center, a lower end coupled to the upper end of the bonnet 150, and a handle 160 at the upper end ) inserted inside the first knob 170 having an internal gear 171 formed on the inner surface thereof, and a key lock part ( 180) and the keyhole 161 and pressurizing the rear end of the stopper 182 to rotate the stopper 182 so that the stopper 182 is spaced apart from the internal gear 171 of the first knob 170, so that the handle ( 160), including the master key 190, which enables the rotation, the seat 121 and the seat holder 122 are configured to be coupled to each other in a detachable manner, and compared to the conventional integrated structure, the seat 121 in a detachable manner. Disclosed is a diaphragm valve having a detachable seat portion that can replace only the seat 121 when replacing parts due to damage of

Description

분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브{DIAPHRAGM VLAVE HAVING DISCRETE TYPE SEAT MEMBER}Diaphragm valve with separable seat part {DIAPHRAGM VLAVE HAVING DISCRETE TYPE SEAT MEMBER}

본 발명은 시트와 시트홀더는 분리형으로 상호 결합하도록 구성되어, 분리형으로 시트의 손상으로 인한 부품 교체시 시트만을 교체하도록 하여 교체비용을 절감할 수 있는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a diaphragm valve having a separable seat part, in which a seat and a seat holder are configured to be coupled to each other in a separable type, and the replacement cost can be reduced by replacing only the seat when replacing parts due to damage to the seat in a separable manner.

주지하는 바와 같이, 현재 상용되고 있는 다이어프램밸브의 경우, 반도체, 디스플레이 또는 케미컬 산업분야에 방진을 요구하는 공정에 많이 사용되고 있다.As is well known, in the case of a diaphragm valve that is currently commercially available, it is widely used in processes requiring dust protection in the semiconductor, display, or chemical industries.

하지만, 부식성 유체 및 가스를 흐를 때 와류 현상에 의해 데드존이 형성되어 원활한 흐름을 보이지 못하고 있으며, 이로 인한 유량 감소 및 정체구간에서 다이어프램밸브를 부식시켜 수명을 단축시키는 원인을 제공하고 있다.However, when flowing corrosive fluids and gases, a dead zone is formed due to a vortex phenomenon, which does not show a smooth flow, thereby reducing the flow rate and corroding the diaphragm valve in the stagnant section, thereby reducing the lifespan.

한편, 이와 관련한 선행기술로서, 한국 등록특허공보 제10-1266301호가 개시되어 있는데, 종래의 다이아프램 밸브의 핸들 풀림 방지 장치는, 다이아프램 밸브의 밸브 개방 시에는 핸들에 내재된 록킹 핀이 스프링의 탄발력에 의해 록킹 브라켓의 밸브 개방 고정용 홀에 걸려서 견고하게 록킹되고, 밸브 폐쇄시에는 핸들에 내재된 록킹 핀이 스프링의 탄발력에 의해 록킹 브래킷의 밸브 폐쇄 고정용 홀에 걸려서 록킹 되도록 이루어져서, 밸브 개방 상태 또는 밸브 폐쇄 상태에서 핸들이 풀리는 것을 방지하지만, 단순히 핸들이 빠지는 현상을 위한 장치로 밸브에 대한 임의조작의 방지역할을 못하는 문제점이 있다.On the other hand, as a prior art related thereto, Korean Patent Registration No. 10-1266301 is disclosed. In the conventional device for preventing handle loosening of a diaphragm valve, when the valve of the diaphragm valve is opened, the locking pin embedded in the handle is of the spring. It is locked firmly by being caught in the valve opening and fixing hole of the locking bracket by the elastic force, and when the valve is closed, the locking pin embedded in the handle is caught and locked in the valve closing fixing hole of the locking bracket by the elastic force of the spring, Although it prevents the handle from being released in the valve open state or the valve closed state, there is a problem in that it is a device for simply removing the handle and does not play a role in preventing arbitrary manipulation of the valve.

또한, 한국 등록특허공보 제10-1708756호의 잠금형 다이어프램 밸브는, 락킹핀의 삽입여부에 따라 핸들부의 잠금 상태가 선택적으로 구속되어 제품의 안전성이 개선되었으나, 밸브의 개폐시 락핀을 제거하고 핸들을 조작하는 구조로 누구나 손쉽게 조작을 할 수 있는 밸브로 유량을 조절한 상태에서는 락을 할 수가 없는 문제점이 있다.In addition, in the locking diaphragm valve of Korean Patent No. 10-1708756, the locking state of the handle part is selectively restrained depending on whether the locking pin is inserted, thereby improving the safety of the product. It is a valve that can be operated easily by anyone with a structure that can be operated, and there is a problem that it cannot be locked when the flow rate is adjusted.

또한, 한국 등록특허공보 제10-2017-0077089호의 유량 제어용 키락 핸들을 가진 볼 밸브는, 유체 유입통로, 유체 유출통로 및 위를 행해 개구된 요부가 설치된 바디와, 바디에 형성된 유체 유입 통로의 둘레 가장자리에 배치된 시트와 시트에 압박·이격됨으로써 유체 유입 통로의 개폐를 행하는 탄성 변형가능한 세형 다이어프램과 다이어프램의 외주 가장자리를 바디의 요부 저면과의 사이에서 유지하는 프레스 어댑터와 다이어프램의 중앙부를 압박하는 다이어프램 프레스와 다이어프램 프레스를 상하 이동시키는 상하 이동 수단을 구비하여 밸브의 기밀성을 높일 수는 있으나 데드존이 발생하는 한계점이 있다.In addition, the ball valve having a key lock handle for flow control of Korean Patent Publication No. 10-2017-0077089 has a fluid inlet passage, a fluid outlet passage, a body in which a recessed portion opened through the upper body is installed, and the circumference of the fluid inlet passage formed in the body A thin elastically deformable diaphragm that opens and closes the fluid inflow passage by being pressed and spaced apart from the seat and the seat disposed at the edge, a press adapter that holds the outer peripheral edge of the diaphragm between the concave bottom surface of the body, and the diaphragm that presses the center of the diaphragm Although it is possible to increase the airtightness of the valve by providing a vertical movement means for vertically moving the press and the diaphragm press, there is a limitation in that a dead zone occurs.

이에, 유량을 증가시키고 밸브 내부공간에 잔존하지 않고 원활하게 유동하도록 가이드하고 데드존의 크기를 최소화하여 와류현상발생을 억제하면서, 소모성 시트부의 교체주기를 증가시켜 내구성을 향상시킬 수 있는 기술이 요구된다.Therefore, there is a need for a technology that can increase the flow rate, guide it to flow smoothly without remaining in the valve internal space, minimize the size of the dead zone to suppress the occurrence of vortex, and increase the replacement cycle of the consumable seat part to improve durability. do.

한국 등록특허공보 제10-1266301호 (다이아프램 밸브의 핸들 풀림 방지 장치, 2013.05.22)Korean Patent Publication No. 10-1266301 (diaphragm valve handle loosening prevention device, 2013.05.22) 한국 등록특허공보 제10-1708756호 (잠금형 다이어프램 밸브, 2017.02.21)Korean Patent Publication No. 10-1708756 (Locking type diaphragm valve, 2017.02.21) 한국 등록특허공보 제10-2017-0077089호 (유량 제어용 키락 핸들을 가진 볼 밸브, 2017.06.19)Korean Patent Publication No. 10-2017-0077089 (Ball valve with key lock handle for flow control, 2017.06.19)

본 발명의 사상이 이루고자 하는 기술적 과제는, 유량을 증가시키고 밸브 내부공간에 잔존하지 않고 원활하게 유동하도록 가이드하고 데드존의 크기를 최소화하여 와류현상발생을 억제하면서, 소모성 시트부의 교체주기를 증가시켜 내구성을 향상시킬 수 있는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브를 제공하는 데 있다.The technical task to be achieved by the spirit of the present invention is to increase the flow rate, guide it to flow smoothly without remaining in the valve inner space, minimize the size of the dead zone to suppress the vortex phenomenon, and increase the replacement cycle of the consumable seat part. An object of the present invention is to provide a diaphragm valve having a separable seat portion, which can improve durability.

전술한 목적을 달성하고자, 본 발명은, 일측에 부식성 가스 또는 부식성 액체에 해당하는 유량이 제1수평방향으로 유입되도록 형성된 유입구와, 타측에 유량이 제2수평방향으로 배출되도록 형성된 배출구와, 상기 유입구로부터 중앙 상단에 형성된 단속공간의 내부영역으로 연통되어 수직방향으로 형성된 유입로와, 상기 단속공간의 중앙영역으로부터 상기 배출구와 연통되어 수직방향으로 형성된 배출로로 구성된, 밸브바디; 상기 배출로와 연통되도록 제1연통홀이 중앙에 형성되어 유량이 통과하는 시트와, 상기 시트를 홀딩하도록 중앙에 결합홀이 형성되고 상기 유입로에 대응하도록 원주상에 제2연통홀이 등간격으로 배열 형성된 시트홀더로 구성된, 시트부; 상기 단속공간 내측의 상기 시트부 상단에 형성되어 상기 제2연통홀 상단과 밀착되거나 이격되어 상기 배출로를 개폐하여 유량을 조절하도록 호형상의 단면구조로 이루어진 원판형태의 다이어프램시트; 상기 다이어프램시트의 중앙 상단에 접촉하는 푸시버튼과, 상기 푸시버튼 상단에 형성되어 수직방향으로 승강하여 상기 푸시버튼에 의해 상기 다이어프램시트를 탄성적으로 압착하거나 이격시키는 스템으로 구성되는, 가압부; 상기 스템의 승강을 가이드하는 보넷; 상기 스템이 하단에 고정 결합되고 중앙에 키홀이 관통 형성된 핸들; 하단은 상기 보넷 상단에 결합되고 상단은 상기 핸들 내측에 인입되되 내측면에 내접기어가 형성된 제1노브; 상기 핸들 하단에 원통형상으로 결합되며, 키홀이 관통 형성되고, 일측면에는 수직방향으로 절개공간이 형성된 제2노브와, 상기 절개공간에 회전가능하도록 형성되어 상기 제1노브의 내접기어와 치합하도록 결합하여 상기 핸들의 회전을 단속하는 스토퍼로 구성된, 키락부; 및 상기 키홀에 삽입되어 상기 스토퍼를 회전시켜 상기 스토퍼가 상기 제1노브의 내접기어와 이격되도록 하여 상기 핸들의 회전을 가능하게 하는, 마스터키;를 포함하여, 상기 시트와 상기 시트홀더는 분리형으로 상호 결합하여 교체를 쉽도록 하고, 상기 마스터키의 상기 키홀의 삽입에 의해 상기 핸들을 회전시켜 상기 푸시버튼에 의해 상기 다이어프램시트를 압착하거나 이격시켜 상기 밸브바디를 유동하는 유량을 조절하는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention, an inlet formed on one side so that a flow rate corresponding to a corrosive gas or corrosive liquid flows in a first horizontal direction, and an outlet formed on the other side such that a flow rate is discharged in a second horizontal direction, A valve body, comprising: an inflow path formed in a vertical direction from the inlet to the inner region of the intermittent space formed at the upper center of the intermittent space; A sheet having a first communication hole formed in the center to communicate with the discharge path and through which a flow rate passes, a coupling hole is formed in the center to hold the sheet, and second communication holes are equally spaced on the circumference to correspond to the inflow path. Consisting of a seat holder arranged in a sheet portion; a disc-shaped diaphragm sheet formed on the upper end of the sheet portion inside the intermittent space and in close contact with or spaced apart from the upper end of the second communication hole to open and close the discharge path to control the flow rate; a push button in contact with the upper center of the diaphragm seat, and a stem formed on the upper end of the push button to vertically elevate and elastically compress or space the diaphragm seat by the push button; a bonnet for guiding the elevation of the stem; a handle having the stem fixedly coupled to the lower end and having a key hole in the center thereof; a first knob having a lower end coupled to the upper end of the bonnet and having an upper end retracted into the handle and having an internal gear formed on an inner surface thereof; A second knob coupled to the lower end of the handle in a cylindrical shape, a key hole is formed through, and a vertical cutout space is formed on one side thereof, and is rotatably formed in the cutout space to mesh with the internal gear of the first knob. A key lock unit comprising a stopper for intermittent rotation of the handle by coupling; and a master key inserted into the keyhole to rotate the stopper so that the stopper is spaced apart from the internal gear of the first knob to enable rotation of the handle; including, the seat and the seat holder are separated Detachable seat for adjusting the flow rate of flowing through the valve body by combining with each other to facilitate replacement, and by rotating the handle by inserting the keyhole of the master key to compress or space the diaphragm seat by the push button A diaphragm valve having a portion is provided.

여기서, 상기 스템의 외주면에는 나사산이 형성되고, 상기 나사산에 상응하여 상기 보넷의 내측면에 나사산이 형성되어 상기 핸들의 회전에 의해 상기 스템이 나사회전하여 승강할 수 있다.Here, a screw thread is formed on the outer circumferential surface of the stem, and a screw thread is formed on the inner surface of the bonnet to correspond to the screw thread, so that the stem can be screwed up and down by rotation of the handle.

또한, 상기 보넷의 하단 외주면에는 체결링이 연장 형성되고, 상기 밸브바디의 단속공간 외곽에는 나사산이 형성되고, 상단 내측면에 상기 체결링이 결합되는 결합홈이 형성되고 하단 내측면에 상기 단속공간의 나사산에 상응하여 나사산이 형성되어 상기 밸브바디에 나사체결하여 상기 보넷과 상기 밸브바디를 고정 결합시키는 보넷너트를 더 포함할 수 있다.In addition, a fastening ring is extended on the lower outer peripheral surface of the bonnet, a screw thread is formed outside the intermittent space of the valve body, a coupling groove for coupling the fastening ring is formed on the upper inner surface, and the intermittent space is formed on the lower inner surface It may further include a bonnet nut having a thread corresponding to the thread of the bonnet and fastening the screw to the valve body to fix the bonnet and the valve body.

또한, 상기 시트는 PCTFE로 구성되며, 상기 시트홀더는 서스로 구성되고, 상기 시트홀더의 결합홀은 단차져 형성되고, 상기 시트는 상기 시트홀더의 결합홀 형상에 상응하여 단차져 형성되어, 상기 시트와 상기 시트홀더는 분리형으로 상호 결합할 수 있다.In addition, the sheet is composed of PCTFE, the seat holder is composed of a suspension, the coupling hole of the seat holder is formed in a step, and the sheet is formed in a step corresponding to the shape of the coupling hole of the sheet holder, The seat and the seat holder may be coupled to each other in a detachable manner.

또한, 상기 시트의 상단 테두리는 상기 시트홀더로부터 일정 높이로 돌출 형성되며, 상기 시트홀더의 외곽 테두리는 일정 높이로 격벽이 돌출 형성되고, 상기 다이어프램시트의 테두리는 상기 격벽에 밀착되도록 결합되어 데드존을 최소화할 수 있다.In addition, the upper edge of the sheet is formed to protrude from the seat holder to a predetermined height, the outer edge of the seat holder is formed to protrude a partition to a predetermined height, and the edge of the diaphragm sheet is coupled to closely contact the partition to form a dead zone can be minimized.

또한, 상기 다이어프램시트의 테두리는 상기 격벽과 상기 보넷의 하단 테두리에 의해 고정되어 부식성 가스 또는 부식성 액체의 누설을 방지할 수 있다.In addition, the edge of the diaphragm sheet may be fixed by the partition wall and the lower edge of the bonnet to prevent leakage of corrosive gas or corrosive liquid.

또한, 상기 다이어프램시트는 이중구조로 적층 형성될 수 있다.In addition, the diaphragm sheet may be laminated in a double structure.

또한, 상기 보넷의 내측면과 밀착하는 상기 스템의 외주면에는 오링이 형성될 수 있다.In addition, an O-ring may be formed on the outer peripheral surface of the stem in close contact with the inner surface of the bonnet.

또한, 상기 핸들의 하단에는 가이드홈이 형성되고, 상기 가이드홈에 대응하여 상기 제1노브의 하단 외측면에는 가이드가 형성되어, 상기 핸들이 180° 정역회전하도록 할 수 있다.In addition, a guide groove is formed at the lower end of the handle, and a guide is formed on an outer surface of the lower end of the first knob to correspond to the guide groove, so that the handle can rotate 180° forward and reverse.

또한, 상기 핸들의 외주면에는 그립이 방사형으로 대칭적으로 이격 형성될 수 있다.In addition, grips may be radially and symmetrically spaced apart from the outer circumferential surface of the handle.

상기 마스터키는 손잡이와, 상기 핸들의 키홀 및 상기 제2노브의 키홀에 인입되는 호형상 단면구조의 키로 구성될 수 있다.The master key may include a handle, a key hole of the handle, and a key having an arc-shaped cross-sectional structure inserted into the key hole of the second knob.

또한, 상기 다이어프램시트의 중앙영역과 접촉하는 상기 푸시버튼의 전단은 볼록하게 돌출 형성되어 상기 다이어프램시트의 중앙영역을 가압하여 상기 제1연통홀을 폐쇄하도록 할 수 있다.In addition, the front end of the push button in contact with the central region of the diaphragm sheet may be convexly formed to press the central region of the diaphragm sheet to close the first communication hole.

본 발명에 의하면, 시트와 시트홀더는 분리형으로 상호 결합하도록 구성되어서, 종래의 일체형 구조에 비해, 분리형으로 시트의 손상으로 인한 부품 교체시 시트만을 교체하도록 하여 교체비용을 절감할 수 있으며, 유량을 증가시키고 단속공간에 잔존하지 않고 원활하게 유동하도록 가이드하고 데드존의 크기를 최소화하여 와류현상발생을 억제하여서 유체의 정체로 인한 부식을 최소화하여 제품수명을 연장시킬 수 있고, 부식발생으로 인한 녹발생을 개선하여 반도체 및 디스플레이 제조라인의 파티클 발생원인을 감소시켜 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, since the seat and the seat holder are configured to be coupled to each other in a separate type, compared to the conventional one-piece structure, the replacement cost can be reduced by replacing only the sheet when replacing the parts due to damage to the sheet in a detachable type, and the flow rate is reduced. Increase and guide to flow smoothly without remaining in the intermittent space, minimize the size of the dead zone to suppress the vortex phenomenon, minimize corrosion due to stagnant fluid, and prolong product life, and rust due to corrosion This has the effect of improving the yield by reducing the causes of particle generation in semiconductor and display manufacturing lines.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브의 사시도를 도시한 것이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브의 단면구조를 각각 도시한 것이다.
도 4 내지 도 6은 도 1의 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브의 분해 사시도를 각각 도시한 것이다.
도 7 내지 도 9는 도 1의 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브의 키락부 관련 주요 구성을 분리 도시한 것이다.
도 10은 도 1의 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브의 다이어프램시트 관련 주요 구성을 분리 도시한 것이다.
도 11은 도 1의 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브의 평면상의 단면구조를 각각 도시한 것이다.
도 12는 도 1의 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브의 밸브바디를 일부 절개한 절개도를 도시한 것이다.
도 13은 도 1의 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브의 시트부를 확대 도시한 것이다.
도 14는 도 13의 시트부 구조에 의한 데드존 크기의 실험결과를 비교예시한 것이다.
1 is a perspective view of a diaphragm valve having a separable seat portion according to an embodiment of the present invention.
2 and 3 respectively show a cross-sectional structure of the diaphragm valve having the separable seat part of FIG. 1 .
4 to 6 are respectively exploded perspective views of the diaphragm valve having the detachable seat part of FIG. 1 .
7 to 9 are views showing the main components related to the key lock of the diaphragm valve having the detachable seat portion of FIG. 1 separated.
FIG. 10 is a view showing the main configuration related to the diaphragm seat of the diaphragm valve having the separable seat part of FIG. 1 separated.
11 is a plan view of a cross-sectional structure of the diaphragm valve having a separable seat portion of FIG. 1, respectively.
FIG. 12 is a partially cutaway view of the valve body of the diaphragm valve having a separable seat part of FIG. 1 .
13 is an enlarged view of the seat portion of the diaphragm valve having the separable seat portion of FIG. 1 .
14 is a comparative example of the experimental results of the size of the dead zone by the seat structure of FIG. 13 .

이하, 첨부된 도면을 참조로 전술한 특징을 갖는 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention having the above-described characteristics will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예에 의한 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브는, 전체적으로, 일측에 부식성 가스 또는 부식성 액체에 해당하는 유량이 유동하는 밸브바디(110)와, 밸브 누설을 방지하도록 시트(121) 및 시트홀더(122)로 결합된 시트부(120)와, 밸브바디(110)의 배출로(115)를 개폐하여 유량을 조절하는 다이어프램시트(130)와, 다이어프램시트(130)를 탄성적으로 압착하거나 이격시키는 가압부(140)와, 스템(142)의 승강을 가이드하는 보넷(150)과, 스템(142)이 하단에 고정 결합되고 중앙에 키홀(161)이 관통 형성된 핸들(160)과, 하단은 보넷(150) 상단에 결합되고 상단은 핸들(160) 내측에 인입되되 내측면에 내접기어(171)가 형성된 제1노브(170)와, 제1노브(170)의 내접기어(171)에 치합시켜 핸들(160)의 회전을 제한하는 키락부(180)와, 키홀(161)에 삽입되어 스토퍼(182)의 후단을 가압하여 스토퍼(182)를 회전시켜 스토퍼(182)가 제1노브(170)의 내접기어(171)와 이격되도록 하여 핸들(160)의 회전을 가능하게 하는, 마스터키(190)를 포함하여, 시트(121)와 시트홀더(122)는 분리형으로 상호 결합하도록 구성되어서, 종래의 일체형 구조에 비해, 분리형으로 시트(121)의 손상으로 인한 부품 교체시 시트(121)만을 교체하도록 하는 것을 요지로 한다.A diaphragm valve having a separable seat portion according to an embodiment of the present invention, as a whole, a valve body 110 in which a flow rate corresponding to a corrosive gas or a corrosive liquid flows on one side, and a seat 121 and a seat to prevent valve leakage The seat portion 120 coupled by the holder 122, the diaphragm seat 130 for controlling the flow rate by opening and closing the discharge path 115 of the valve body 110, and the diaphragm seat 130 are elastically compressed or A pressing part 140 to be spaced apart, a bonnet 150 for guiding the elevation of the stem 142, a handle 160 having the stem 142 fixedly coupled to the lower end and having a key hole 161 penetrating through the center thereof, and the lower end The silver bonnet 150 is coupled to the upper end of the first knob 170 and the upper end is retracted inside the handle 160 and an internal gear 171 is formed on the inner surface, and the internal gear 171 of the first knob 170 The key lock unit 180 for limiting rotation of the handle 160 by engagement, and the key lock unit 180 that is inserted into the key hole 161 to press the rear end of the stopper 182 to rotate the stopper 182 so that the stopper 182 is connected to the first knob ( 170) to be spaced apart from the internal gear 171 to enable rotation of the handle 160, including the master key 190, the seat 121 and the seat holder 122 are configured to be coupled to each other in a detachable manner. , compared to the conventional integrated structure, the main point is to replace only the seat 121 when replacing parts due to damage to the seat 121 in a detachable type.

이하, 도 1 내지 도 14를 참조하여, 전술한 구성의 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브를 구체적으로 상술하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to FIGS. 1 to 14 , a diaphragm valve having a separable seat portion having the above configuration will be described in detail as follows.

우선, 밸브바디(110)는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 일측에 부식성 가스 또는 부식성 액체에 해당하는 유량이 제1수평방향으로 유입되도록 형성된 유입구(inlet)(111)와, 타측에 유량이 제2수평방향으로 배출되도록 형성된 배출구(outlet)(112)와, 유입구(111)로부터 중앙 상단에 형성된 단속공간(113)(도 10 참조)의 내부영역으로 연통되어 수직방향으로 형성된 유입로(114)와, 단속공간(113)의 중앙영역으로부터 배출구(112)와 연통되어 수직방향으로 형성된 배출로(115)로 구성되어서, 반도체 또는 디스플레이 공정 라인을 유동하는 부식성 가스 또는 부식성 액체의 흐름을 단속하여 유량을 조절하도록 한다.First, the valve body 110, as shown in FIGS. 1 to 3, an inlet 111 formed so that a flow rate corresponding to a corrosive gas or a corrosive liquid flows in a first horizontal direction on one side, and the other side An outlet 112 formed so that the flow rate is discharged in the second horizontal direction, and the inlet formed in a vertical direction by communicating with the inner region of the intermittent space 113 (see FIG. 10) formed at the upper center of the inlet 111 A flow of corrosive gas or corrosive liquid flowing through the semiconductor or display process line, composed of a furnace 114 and a discharge path 115 formed in a vertical direction in communication with the outlet 112 from the central region of the intermittent space 113 . to control the flow rate.

다음, 시트부(120)는 밸브바디(110)로 유입되어 배출되는 유량을 단속공간(113)에 잔존하지 않고 원활하게 유동하도록 가이드하고 데드존(dead zone)의 크기를 최소화하여 와류현상발생을 억제하는 역할을 수행하도록 밸브 누설(leak) 방지용 시트(seat)(121)와 시트홀더(seat holder)(122)로 구성되는데, 구체적으로, 도 2 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 배출로(115)와 수직방향으로 연통되도록 정렬된 제1연통홀(121a)이 중앙에 형성되어 유량이 통과하는 시트(121)와, 시트(121)가 인입되어 시트(121)를 홀딩하도록 중앙에 결합홀(122a)이 형성되고 유입로(114)에 대응하도록 원주상에 수직방향으로 정렬된 제2연통홀(122b)이 등간격으로 배열 형성된 시트홀더(122)로 구성된다.Next, the seat portion 120 guides the flow rate flowing into and discharged from the valve body 110 to flow smoothly without remaining in the intermittent space 113 and minimizes the size of the dead zone to prevent the occurrence of a vortex phenomenon. It is composed of a seat 121 and a seat holder 122 for preventing valve leakage to perform a role of suppressing, specifically, as shown in FIGS. 2 to 7, the discharge path ( 115) and the first communication hole (121a) arranged to communicate in the vertical direction is formed in the center, and the sheet 121 through which the flow rate passes, and the sheet 121 is introduced into the coupling hole in the center to hold the sheet 121 It is composed of a seat holder 122 in which the second communication holes 122b are formed and arranged in a vertical direction on the circumference to correspond to the inflow path 114 are arranged at equal intervals.

한편, 시트(121)는 120℃에서도 내열성을 유지하는 폴리머인 PCTFE(PolyChloroTriFluoroEthylene)로 구성되고, 시트홀더(122)는 서스(sus)로 구성되어, 부식성 가스 또는 부식성 액체에도 내부식성을 향상시킬 수 있고, 또한, 도 5 및 도 6에 확대 도시된 바와 같이, 시트홀더(122)의 결합홀(122a)은 단차져 형성되고, 시트(121)는 시트홀더(122)의 결합홀(122a) 형상에 상응하여 단차져 형성되어, 시트(121)와 시트홀더(122)는 분리형으로 상호 결합하도록 구성되어서, 종래의 일체형 구조에 비해, 분리형으로 시트(121)의 손상으로 인한 부품 교체시 시트(121)만을 교체하도록 하여 교체비용을 절감할 수 있다.On the other hand, the sheet 121 is composed of PCTFE (PolyChloroTriFluoroEthylene), which is a polymer that maintains heat resistance even at 120 ° C., and the seat holder 122 is composed of a sus. 5 and 6, the coupling hole 122a of the seat holder 122 is formed with a step difference, and the sheet 121 has a coupling hole 122a shape of the seat holder 122 Formed corresponding to the step difference, the seat 121 and the seat holder 122 are configured to be coupled to each other in a separate type, compared to the conventional one-piece structure, the sheet 121 when replacing parts due to damage to the sheet 121 in a separate type ) to replace only the replacement cost can be reduced.

다음, 다이어프램시트(diaphragm sheet)(130)는. 도 10 및 도 13에 도시된 바와 같이 호형상의 단면구조로 이루어진 원판형태로 형성되고, 구체적으로, 도 2 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 단속공간(113) 내측의 시트부(120) 상단에 형성되어 중앙영역이 제2연통홀(122b) 상단과 밀착되어 제2연통홀(122b)을 폐쇄하거나 제2연통홀(122b)과 이격되어 배출로(115)를 개방하는 개폐동작을 수행하여 밸브바디(110)를 통과하는 유량을 조절하도록 한다.Next, the diaphragm sheet (diaphragm sheet) 130 is. As shown in FIGS. 10 and 13, it is formed in the form of a disk having an arc-shaped cross-sectional structure, and specifically, as shown in FIGS. 2 to 7, the upper end of the sheet portion 120 inside the intermittent space 113 as shown in FIGS. is formed in the central region to close the second communication hole (122b) in close contact with the upper end of the second communication hole (122b) or to open and close the second communication hole (122b) and spaced apart to open the discharge path (115) To adjust the flow rate passing through the valve body (110).

한편, 도 5 및 도 13에 도시된 바와 같이, 시트(121)의 상단 테두리(121b)는 시트홀더(122)로부터 일정 높이로 돌출 형성되어 다이어프램시트(130)의 압착시 상단 테두리(121b)와 선행하여 접촉하여 제2연통홀(122b)을 폐쇄하도록 하고, 시트홀더(122)의 외곽 테두리는 일정 높이로 격벽(122c)이 돌출 형성되고, 다이어프램시트(130)의 테두리는 격벽(122c)에 밀착되도록 결합되어 종래에 비해 데드존의 크기를 최소화할 수 있다.On the other hand, as shown in FIGS. 5 and 13 , the upper edge 121b of the sheet 121 is formed to protrude from the seat holder 122 at a predetermined height, and when the diaphragm sheet 130 is compressed, the upper edge 121b and Contact in advance to close the second communication hole 122b, the outer edge of the seat holder 122 has a partition wall 122c protruding to a predetermined height, and the edge of the diaphragm sheet 130 is on the partition wall 122c. The size of the dead zone can be minimized compared to the prior art by being coupled to be in close contact.

이에, 도 14의 시트부 구조에 의한 데드존 크기의 실험결과 비교예시 및 다음의 [표 1]에 의하면, 다이어프램밸브 내부의 데드존의 크기가 감소하고 와류 현상 발생을 크게 억제하여 유량계수(Cv)를 개선하여 10% 유량증대를 구현하고 부식최소화에 따른 내구성 향상을 구현할 수 있다.Accordingly, according to the comparative example of the experimental result of the size of the dead zone by the seat structure of FIG. 14 and the following [Table 1], the size of the dead zone inside the diaphragm valve is reduced and the occurrence of vortex is greatly suppressed, so that the flow coefficient (Cv) ) to realize a 10% flow rate increase and to improve durability by minimizing corrosion.

종래conventionally 실시예Example 데드존 크기Deadzone size 91.13mm2 91.13mm 2 21.74mm2 21.74mm 2 유량계수(Cv)Flow coefficient (Cv) 0.30.3 0.330.33

여기서, 다이어프램시트(130)의 테두리는 격벽과 보넷(150)의 하단 테두리에 의해 고정되어 부식성 가스 또는 부식성 액체의 외부 누설을 방지하여 안전사고를 방지할 수 있다.또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 다이어프램시트(130)는 이중구조로 적층 형성되어 단일 구조에 비해 다이어프램시트(130)의 탄성적 압착 및 압착 해제에 따른 피로도를 내구성을 향상시킬 수 있다.Here, the edge of the diaphragm sheet 130 is fixed by the lower edge of the partition wall and the bonnet 150 to prevent external leakage of corrosive gas or corrosive liquid to prevent a safety accident. Similarly, since the diaphragm sheet 130 is laminated in a double structure, fatigue due to elastic compression and compression release of the diaphragm sheet 130 can be improved as compared to a single structure.

다음, 가압부(140)는 다이어프램시트(130) 상단에 형성되어 다이어프램시트(130)을 탄성적으로 푸시하는데, 구체적으로, 도 2 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 다이어프램시트(130)의 중앙 상단에 접촉하는 푸시버튼(141)과, 푸시버튼(141) 상단에 형성되어 수직방향으로 승강하여 푸시버튼(141)에 의해 다이어프램시트(130)를 탄성적으로 가압하여 압착하거나 이격시켜 압착상태를 해제하는 스템(stem)(142)으로 구성된다.Next, the pressing part 140 is formed on the upper end of the diaphragm sheet 130 to elastically push the diaphragm sheet 130 . Specifically, as shown in FIGS. 2 to 7 , the center of the diaphragm sheet 130 . The push button 141 in contact with the upper end is formed on the upper end of the push button 141 and ascends and descends in the vertical direction to elastically press the diaphragm sheet 130 by the push button 141 to compress or separate the press state. Consists of a stem (142) to release.

여기서, 도 13에 확대 도시된 바와 같이, 다이어프램시트(130)의 중앙영역과 접촉하는 푸시버튼(141)의 전단은 볼록하게 돌출 형성되어 다이어프램시트(130)의 중앙영역을 가압하여 푸시버튼(141)의 형상에 의해 다이어프램시트(130)의 중앙영역이 볼록하게 변형되어 제1연통홀(121a)을 기밀하거나 수밀하게 폐쇄하도록 할 수 있다.Here, as shown enlarged in FIG. 13 , the front end of the push button 141 in contact with the central region of the diaphragm sheet 130 is convexly formed to press the central region of the diaphragm sheet 130 to press the push button 141 . ), the central region of the diaphragm sheet 130 may be convexly deformed to close the first communication hole 121a hermetically or watertightly.

다음, 보넷(bonnet)(150)은 스템(142)의 승강을 가이드한다. 예컨대, 도 2 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 스템(142)의 외주면에는 나사산(142a)이 형성되고, 나사산(142a)에 상응하여 보넷(150)의 내측면에 나사산(151)이 형성되어서, 스템(142)과 보넷(150)은 상호 나사체결하고 핸들(160)의 회전에 의해 스템(142)이 나사회전하여 승강할 수 있다.Next, the bonnet 150 guides the elevation of the stem 142 . For example, as shown in FIGS. 2 to 7, a screw thread 142a is formed on the outer circumferential surface of the stem 142, and a screw thread 151 is formed on the inner surface of the bonnet 150 to correspond to the screw thread 142a. , the stem 142 and the bonnet 150 are screwed to each other, and the stem 142 is screw-rotated by the rotation of the handle 160 to elevate.

한편, 보넷(150)의 하단 외주면에는 체결링(152)이 연장 형성되고, 밸브바디(110)의 단속공간(113) 외곽에는 나사산(116)이 형성되고, 상단 내측면에 체결링(152)이 결합되는 결합홈(201)이 형성되고 하단 내측면에 단속공간(113)의 나사산(116)에 상응하여 나사산(202)이 형성되어 밸브바디(110)에 나사체결하여 보넷(150)과 밸브바디(110)를 상호 고정 결합시키는 보넷너트(200)를 더 포함할 수 있다.On the other hand, a fastening ring 152 is extended on the lower outer peripheral surface of the bonnet 150, a screw thread 116 is formed outside the intermittent space 113 of the valve body 110, and a fastening ring 152 is formed on the upper inner surface. A coupling groove 201 to be coupled is formed, and a screw thread 202 is formed on the inner surface of the lower end to correspond to the screw thread 116 of the intermittent space 113, and is screwed to the valve body 110 to be screwed into the bonnet 150 and the valve. It may further include a bonnet nut 200 for fixing the body 110 to each other.

또한, 도 13을 참고하면, 보넷(150)의 내측면과 밀착하는 스템(142)의 외주면에는 오링(153)이 형성되어서, 단속공간(113) 외부로 유출될 수 있는 유량을 차단하도록 기밀하거나 수밀한다.In addition, referring to FIG. 13 , an O-ring 153 is formed on the outer circumferential surface of the stem 142 in close contact with the inner surface of the bonnet 150 , so as to block the flow rate that may flow out of the intermittent space 113 , or to be watertight

다음, 핸들(160)은, 도 5, 도 6 및 도 9에 도시된 바와 같이, 스템(142)의 상단이 키락부(180)의 제2노브(181)를 관통하여 하단에 나사체결되어 고정 결합되고, 상단면 중앙에 마스터키(190)가 삽입되는 키홀(161)이 관통 형성된다.Next, the handle 160 is fixed by screwing the upper end of the stem 142 through the second knob 181 of the key lock 180 to the lower end, as shown in FIGS. 5, 6 and 9 . A key hole 161 through which the master key 190 is inserted is formed in the center of the upper surface.

한편, 도 6 및 도 11을 참고하면, 핸들(160)의 하단에는 가이드홈(162)이 형성되고, 가이드홈(162)에 대응하여 제1노브(170)의 하단 외측면에는 가이드(172)가 형성되어, 핸들(160)이 180° 정역회전하도록 하여 핸들(160)의 과도한 회전에 의한 시트(121) 또는 다이어프램시트(130)의 손상을 방지할 수 있다.Meanwhile, referring to FIGS. 6 and 11 , a guide groove 162 is formed at the lower end of the handle 160 , and a guide 172 is formed on the lower outer surface of the first knob 170 to correspond to the guide groove 162 . is formed, so that the handle 160 rotates forward and backward by 180°, thereby preventing damage to the seat 121 or the diaphragm seat 130 due to excessive rotation of the handle 160 .

또한, 도 1을 참고하면, 핸들(160)의 외주면에는 주름구조의 그립(grip)(163)이 방사형으로 대칭적으로 이격 형성되어 미끄러짐없이 안정적으로 회전시키도록 할 수 있다.In addition, referring to FIG. 1 , grips 163 having a wrinkled structure are radially and symmetrically spaced apart from each other on the outer circumferential surface of the handle 160 so that they can be rotated stably without slipping.

다음, 제1노브(knob)(170)는, 도 2, 도 3, 도 5, 도 6 및 도 9에 도시된 바와 같이, 하단은 보넷(150) 상단 외주면에 고정 결합되고 상단은 핸들(160) 내측면과 제2노브(181) 외측면 사이에 인입되어 형성되고, 내측면에는 내접기어(171)가 원주형으로 배열 형성된다.Next, as shown in FIGS. 2, 3, 5, 6 and 9, the first knob 170 is fixedly coupled to the upper outer peripheral surface of the bonnet 150 and the upper end is the handle 160 ) is inserted between the inner surface and the outer surface of the second knob 181 , and the internal gear 171 is arranged in a cylindrical shape on the inner surface.

즉, 보넷(150)과 제2노브(181)는 상호 고정 결합되며, 핸들(160)은 제2노브(181) 외측면에 회전가능하도록 결합되고, 도 2, 도 3 및 도 5를 참고하면, 제2노브(181)는 핸들(160)에 나사체결되어 상호 고정되어 핸들(160)의 회전시 제2노브(181) 및 가압부(140)가 연동하여 회전한다.That is, the bonnet 150 and the second knob 181 are fixedly coupled to each other, and the handle 160 is rotatably coupled to the outer surface of the second knob 181 , and referring to FIGS. 2, 3 and 5 , , the second knob 181 is screwed to the handle 160 and fixed to each other, so that when the handle 160 rotates, the second knob 181 and the pressing unit 140 work together to rotate.

다음, 키락부(key-lock member)(180)는 핸들(160)의 회전을 제한하여 마스터키(190)의 사용시에만 핸들(160)을 회전시키도록 구성되는데, 구체적으로, 도 5 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 핸들(160) 하단에 원통형상으로 결합되며, 키홀(181a)이 관통 형성되고, 일측면에는 수직방향으로 절개공간(181b)이 중심을 향해 형성된 제2노브(181)와, 절개공간(181b)에 양측면에 관통 형성된 홀(182a)에 인입된 회전축(182b)에 회전가능하도록 형성되어 전단이 제1노브(170)의 내접기어(171)와 치합하도록 결합하여 핸들(160)의 회전을 단속하는 스토퍼(182)와, 스토퍼(182)의 일측 하단에 양방향으로 각각 연장 형성된 지지대(183)와, 회전축(182b)에 결합되고 지지대(183)를 탄성적으로 가압하여 스토퍼(182)의 전단을 제1노브(170)의 내접기어(171)에 치합시켜 제1노브(170)와 스토퍼(182)의 상호 치합체결에 의해 핸들(160)의 회전을 제한하는 토션 스프링(torsion spring)(184)으로 구성된다.Next, the key-lock member 180 is configured to rotate the handle 160 only when the master key 190 is used by limiting the rotation of the handle 160 , specifically, FIGS. 5 to 9 . As shown in Fig., the second knob 181 is coupled to the lower end of the handle 160 in a cylindrical shape, a key hole 181a is formed through, and a cut-out space 181b is formed in the vertical direction on one side toward the center. , is formed so as to be rotatable on the rotation shaft 182b introduced into the hole 182a through the both sides of the cutout space 181b, the front end engages with the internal gear 171 of the first knob 170 to engage the handle 160 ), a stopper 182 for intermittent rotation, a support 183 extending in both directions from one lower end of the stopper 182, coupled to the rotation shaft 182b and elastically pressing the support 183 to the stopper ( 182) is meshed with the internal gear 171 of the first knob 170 to limit the rotation of the handle 160 by the mutual engagement between the first knob 170 and the stopper 182 (torsion spring) spring) (184).

한편, 도 3 및 도 8을 참고하면, 절개공간(181b)의 양 내측면의 내부영역에는 토션 스프링(184)의 후단을 지지하도록 경사면(181b-1)이 돌출 형성되어 토션 스프링(184)을 고정시켜 스토퍼(182)의 키(192)에 의한 가압 후 탄성적으로 복귀하도록 하고, 절개공간(181b)의 양 내측면의 외부영역에는 지지대(183)의 양단을 각각 지지하는 지지면(181b-2)이 돌출 형성되어 토션 스프링(184)의 탄성력에 의해 스토퍼(182)의 과도한 회전을 제한한다.On the other hand, referring to FIGS. 3 and 8 , an inclined surface 181b-1 is formed to protrude to support the rear end of the torsion spring 184 in the inner region of both inner surfaces of the cutout space 181b, so that the torsion spring 184 is formed. It is fixed so that it returns elastically after being pressed by the key 192 of the stopper 182, and in the outer region of both inner surfaces of the cutout space 181b, the support surfaces 181b- that support both ends of the support 183, respectively. 2) is formed to protrude to limit excessive rotation of the stopper 182 by the elastic force of the torsion spring 184 .

또한, 도 8 및 도 9를 참고하면, 스토퍼(182)의 전단은 제1노브(170)의 내접기어(171)에 대응하는 단일 치수의 기어 형상으로 돌출 형성되어 안정적으로 치합하여 핸들(160)의 예기치 않은 회전을 제한한다.In addition, referring to FIGS. 8 and 9 , the front end of the stopper 182 is formed to protrude into a gear shape of a single dimension corresponding to the internal gear 171 of the first knob 170 , and is stably engaged with the handle 160 . to limit the unexpected rotation of

다음, 마스터키(190)는, 도 5, 도 7 및 도 9에 도시된 바와 같이, 핸들(160)의 키홀(161)에 삽입되어 키락부(180)의 키홀(181a)까지 인입되어 절개공간(181b)을 통해 키홀(181a)에 노출된 스토퍼(182)의 후단을 가압하여, 스토퍼(182)를 회전축(182b)을 중심으로 회전시켜 스토퍼(182)의 전단이 제1노브(170)의 내접기어(171)와 이격되도록 하여 제1노브(170)와 스토퍼(182)의 치합상태를 해제하여 핸들(160)의 회전을 가능하게 할 수 있다.Next, as shown in FIGS. 5, 7 and 9, the master key 190 is inserted into the key hole 161 of the handle 160 and is drawn into the key hole 181a of the key lock unit 180, so that the cutout space By pressing the rear end of the stopper 182 exposed to the keyhole 181a through the 181b, the stopper 182 is rotated about the rotation shaft 182b so that the front end of the stopper 182 is the first knob 170 . It is spaced apart from the internal gear 171 to release the meshing state between the first knob 170 and the stopper 182 to enable rotation of the handle 160 .

구체적으로, 도 7을 참고하면, 마스터키(190)는, 손잡이(191)와, 손잡이(191) 하단에 연장 형성되어 핸들(160)의 키홀(161) 및 제2노브(181)의 키홀(181a)에 인입되는 180°의 호형상 단면구조의 키(192)로 구성되고, 키(192)의 상단에는 고정홈(193)이 내측으로 90°의 호형상으로 만입되어 형성되고, 도 11을 참고하면, 핸들(160)의 키홀(161)은 키(192)와 동일한 크기인 180°의 호형상으로 절개 형성되고, 제2노브(181)의 키홀(181a)은 키보다 상대적으로 크게 225°의 호형상으로 연장되어 절개 형성되어, 키(192)의 회전시, 고정홈(193)을 통해 제2노브(181)의 키홀(181a)에 45° 추가 회전하여 키(192)의 고정홈(193)이 핸들(160)의 상단면에 고정될 수 있다.Specifically, referring to FIG. 7 , the master key 190 includes a handle 191 and a keyhole 161 of the handle 160 and a keyhole of the second knob 181 extending from the lower end of the handle 191 ( 181a) is composed of a key 192 having an arc-shaped cross-sectional structure of 180°, and a fixing groove 193 is formed by indenting inwardly in an arc shape of 90° at the upper end of the key 192, as shown in FIG. For reference, the keyhole 161 of the handle 160 is cut in an arc shape of 180°, which is the same size as the key 192, and the keyhole 181a of the second knob 181 is 225° larger than the key. is extended in an arc shape and cut out, and when the key 192 is rotated, the fixing groove ( 193 may be fixed to the top surface of the handle 160 .

즉, 마스터키(190)를 키락부(180)에 삽입한 후 회전시켜서, 핸들(160)에 이탈없이 고정시키면서 스토퍼(182)를 지속적으로 가압하여 제1노브(170)와 스토퍼(182)의 치합상태를 해제하여 마스터키(190)를 키락부(180)에 꽂아놓은 상태에서 자유롭게 핸들(160)을 회전시키도록 할 수 있다.That is, after inserting the master key 190 into the key lock 180 and rotating it, the stopper 182 is continuously pressed while being fixed to the handle 160 without being separated from the first knob 170 and the stopper 182 . By releasing the meshing state, the handle 160 can be freely rotated while the master key 190 is inserted into the key lock unit 180 .

따라서, 전술한 바와 같은 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브의 구성에 의해서, 시트와 시트홀더는 분리형으로 상호 결합하도록 구성되어서, 종래의 일체형 구조에 비해, 분리형으로 시트의 손상으로 인한 부품 교체시 시트만을 교체하도록 하여 교체비용을 절감할 수 있으며, 유량을 증가시키고 단속공간에 잔존하지 않고 원활하게 유동하도록 가이드하고 데드존의 크기를 최소화하여 와류현상발생을 억제하여서 유체의 정체로 인한 부식을 최소화하여 제품수명을 연장시킬 수 있고, 부식발생으로 인한 녹발생을 개선하여 반도체 및 디스플레이 제조라인의 파티클 발생원인을 감소시켜 수율을 향상시킬 수 있다.Therefore, by the configuration of the diaphragm valve having a separable seat part as described above, the seat and the seat holder are configured to be coupled to each other in a separable type, so that, compared to the conventional integrated structure, only the seat is detachable when replacing parts due to damage to the seat. Replacement cost can be reduced by replacing the product, and it increases the flow rate, guides it to flow smoothly without remaining in the intermittent space, and minimizes the size of the dead zone to suppress the occurrence of vortex to minimize corrosion due to fluid stagnation. It is possible to extend the lifespan and improve the yield by reducing the cause of the generation of particles in the semiconductor and display manufacturing lines by improving the rust generation due to corrosion.

본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Configurations shown in the embodiments and drawings described in this specification are only the most preferred embodiment of the present invention, and do not represent all of the technical spirit of the present invention, so various equivalents that can be substituted for them at the time of the present application It should be understood that there may be water and variations.

110 : 밸브바디 111 : 유입구
112 : 배출구 113 : 단속공간
114 : 유입로 115 : 배출로
116 : 나사산 120 : 시트부
121 : 시트 122 : 시트홀더
130 : 다이어프램시트 140 : 가압부
141 : 푸시버튼 142 : 스템
150 : 보넷 151 : 나사산
152 : 체결링 153 : 오링
160 : 핸들 161 : 키홀
162 : 가이드홈 163 : 그립
170 : 제1노브 171 : 내접기어
172 : 가이드 180 : 키락부
181 : 제2노브 182 : 스토퍼
183 : 지지대 184 : 토션 스프링
190 : 마스터키 191 : 손잡이
192 : 키 193 : 고정홈
200 : 보넷너트 201 : 결합홈
202 : 나사산
110: valve body 111: inlet
112: outlet 113: intermittent space
114: inflow path 115: discharge path
116: thread 120: seat portion
121: seat 122: seat holder
130: diaphragm sheet 140: pressing part
141: push button 142: stem
150: bonnet 151: thread
152: fastening ring 153: O-ring
160: handle 161: keyhole
162: guide groove 163: grip
170: first knob 171: internal gear
172: guide 180: key lock
181: second knob 182: stopper
183: support 184: torsion spring
190: master key 191: handle
192: key 193: fixing groove
200: bonnet nut 201: coupling groove
202: thread

Claims (13)

일측에 부식성 가스 또는 부식성 액체에 해당하는 유량이 제1수평방향으로 유입되도록 형성된 유입구와, 타측에 유량이 제2수평방향으로 배출되도록 형성된 배출구와, 상기 유입구로부터 중앙 상단에 형성된 단속공간의 내부영역으로 연통되어 수직방향으로 형성된 유입로와, 상기 단속공간의 중앙영역으로부터 상기 배출구와 연통되어 수직방향으로 형성된 배출로로 구성된 밸브바디;
상기 배출로와 연통되도록 제1연통홀이 중앙에 형성되어 유량이 통과하는 시트와, 상기 시트를 홀딩하도록 중앙에 결합홀이 형성되고 상기 유입로에 대응하도록 원주상에 제2연통홀이 등간격으로 배열 형성된 시트홀더로 구성된 시트부;
상기 단속공간 내측의 상기 시트부 상단에 형성되어 상기 제2연통홀 상단과 밀착되거나 이격되어 상기 배출로를 개폐하여 유량을 조절하도록 호형상의 단면구조로 이루어진 원판형태의 다이어프램시트;
상기 다이어프램시트의 중앙 상단에 접촉하는 푸시버튼과, 상기 푸시버튼 상단에 형성되어 수직방향으로 승강하여 상기 푸시버튼에 의해 상기 다이어프램시트를 탄성적으로 압착하거나 이격시키는 스템으로 구성되는 가압부;
상기 스템의 승강을 가이드하는 보넷;
상기 스템이 하단에 고정 결합되고 중앙에 키홀이 관통 형성된 핸들;
하단은 상기 보넷 상단에 결합되고 상단은 상기 핸들 내측에 인입되되 내측면에 내접기어가 형성된 제1노브;
상기 핸들 하단에 원통형상으로 결합되며, 중심에 키홀이 관통 형성되고, 일측면에는 수직방향으로 절개공간이 형성된 제2노브와, 상기 절개공간에 회전가능하도록 설치되며 상기 제1노브의 내접기어와 치합하도록 결합되어 상기 핸들의 회전을 단속하는 스토퍼로 구성된 키락부; 및
상기 키홀에 삽입되어 상기 스토퍼를 회전시켜 상기 스토퍼가 상기 제1노브의 내접기어와 이격되도록 하여 상기 핸들의 회전을 가능하게 하는 마스터키;를 포함하여,
상기 시트와 상기 시트홀더는 분리형으로 상호 결합하여 교체를 쉽도록 하고, 상기 마스터키의 상기 키홀의 삽입에 의해 상기 핸들을 회전시켜 상기 푸시버튼에 의해 상기 다이어프램시트를 압착하거나 이격시켜 상기 밸브바디를 유동하는 유량을 조절하며,
상기 키락부는 상기 스토퍼의 일측 하단에 양방향으로 각각 연장 형성되는 지지대와, 상기 절개공간의 내면 양측으로 양단이 회전 가능하게 설치되는 회전축에 결합되면서 상기 지지대를 탄성적으로 가압하여 상기 스토퍼의 전단을 상기 제1노브의 내접기어에 치합시켜 상기 제1노브와 상기 스토퍼의 상호 치합체결에 의해 상기 핸들의 회전을 제한하는 토션 스프링이 더 포함된 것을 특징으로 하는 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브.
An inlet formed on one side so that a flow rate corresponding to a corrosive gas or corrosive liquid flows in a first horizontal direction, an outlet formed on the other side so that a flow rate is discharged in a second horizontal direction, and an internal region of an intermittent space formed at the upper end of the center from the inlet a valve body composed of an inlet in communication with a vertical direction and an outlet in communication with the outlet from the central region of the intermittent space and formed in a vertical direction;
A sheet having a first communication hole formed in the center to communicate with the discharge path and through which a flow rate passes, a coupling hole is formed in the center to hold the sheet, and second communication holes are equally spaced on the circumference to correspond to the inflow path. A seat portion consisting of a seat holder arranged in the form;
a disk-shaped diaphragm sheet formed on the upper end of the sheet portion inside the intermittent space and closely contacting or spaced apart from the upper end of the second communication hole to open and close the discharge path to control the flow rate;
a pressing part comprising a push button contacting the upper center of the diaphragm seat and a stem formed on the upper end of the push button to vertically elevate and elastically compress or space the diaphragm seat by the push button;
a bonnet for guiding the elevation of the stem;
a handle having the stem fixedly coupled to the lower end and having a key hole in the center thereof;
a first knob having a lower end coupled to the upper end of the bonnet and having an upper end inserted into the handle and having an internal gear formed on an inner side thereof;
A second knob coupled to the lower end of the handle in a cylindrical shape, having a key hole in the center, and having a cutout space formed on one side thereof in a vertical direction, is rotatably installed in the cutout space and includes the internal gear of the first knob and a key lock part coupled to engage and comprising a stopper for intermittent rotation of the handle; and
A master key inserted into the key hole to rotate the stopper so that the stopper is spaced apart from the internal gear of the first knob to enable rotation of the handle; including,
The seat and the seat holder are coupled to each other in a detachable manner to facilitate replacement, and by inserting the keyhole of the master key, the handle is rotated to press the diaphragm seat by the push button or to separate the valve body. Regulates the flow rate,
The key lock unit elastically pressurizes the support while coupled to a support each extending in both directions from the lower end of one side of the stopper, and a rotation shaft having both ends rotatably installed on both sides of the inner surface of the cut-out space, thereby closing the front end of the stopper. The diaphragm valve having a separable seat part, characterized in that it further includes a torsion spring that meshes with the internal gear of the first knob to limit rotation of the handle by mutual engagement between the first knob and the stopper.
제1항에 있어서,
상기 스템의 외주면에는 나사산이 형성되고, 상기 나사산에 상응하여 상기 보넷의 내측면에 나사산이 형성되어 상기 핸들의 회전에 의해 상기 스템이 나사회전하여 승강하는 것을 특징으로 하는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브.
According to claim 1,
A diaphragm having a detachable seat part, characterized in that a thread is formed on the outer circumferential surface of the stem, and a thread is formed on the inner surface of the bonnet to correspond to the screw thread, and the stem is screwed and lifted by rotation of the handle. valve.
제2항에 있어서,
상기 보넷의 하단 외주면에는 체결링이 연장 형성되고, 상기 밸브바디의 단속공간 외곽에는 나사산이 형성되고,
상단 내측면에 상기 체결링이 결합되는 결합홈이 형성되고 하단 내측면에 상기 단속공간의 나사산에 상응하여 나사산이 형성되어 상기 밸브바디에 나사체결하여 상기 보넷과 상기 밸브바디를 고정 결합시키는 보넷너트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브.
3. The method of claim 2,
A fastening ring is extended on the outer peripheral surface of the lower end of the bonnet, and a thread is formed outside the intermittent space of the valve body,
A coupling groove to which the fastening ring is coupled is formed on the upper inner surface, and a thread is formed on the lower inner surface corresponding to the thread of the intermittent space, and the bonnet nut is screwed to the valve body to fix the bonnet and the valve body. A diaphragm valve having a separable seat portion, characterized in that it further comprises.
제1항에 있어서,
상기 시트는 PCTFE로 구성되며, 상기 시트홀더는 서스로 구성되고, 상기 시트홀더의 결합홀은 단차져 형성되고, 상기 시트는 상기 시트홀더의 결합홀 형상에 상응하여 단차져 형성되어, 상기 시트와 상기 시트홀더는 분리형으로 상호 결합하는 것을 특징으로 하는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브.
According to claim 1,
The sheet is composed of PCTFE, the seat holder is composed of a suspension, the coupling hole of the seat holder is formed in a step, and the sheet is formed in a step corresponding to the shape of the coupling hole of the sheet holder, and the sheet and The seat holder is a diaphragm valve having a separable seat portion, characterized in that coupled to each other in a separable type.
제4항에 있어서,
상기 시트의 상단 테두리는 상기 시트홀더로부터 일정 높이로 돌출 형성되며, 상기 시트홀더의 외곽 테두리는 일정 높이로 격벽이 돌출 형성되고, 상기 다이어프램시트의 테두리는 상기 격벽에 밀착되도록 결합되어 데드존을 최소화하는 것을 특징으로 하는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브.
5. The method of claim 4,
The upper edge of the sheet is formed to protrude from the seat holder to a predetermined height, the outer edge of the seat holder has a partition wall protruded to a predetermined height, and the edge of the diaphragm sheet is coupled to closely contact the partition wall to minimize a dead zone A diaphragm valve having a separable seat portion, characterized in that.
제4항에 있어서,
상기 다이어프램시트의 테두리는 상기 격벽과 상기 보넷의 하단 테두리에 의해 고정되어 부식성 가스 또는 부식성 액체의 누설을 방지하는 것을 특징으로 하는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브.
5. The method of claim 4,
An edge of the diaphragm seat is fixed by the partition wall and the lower edge of the bonnet to prevent leakage of corrosive gas or corrosive liquid.
제1항에 있어서,
상기 다이어프램시트는 이중구조로 적층 형성되는 것을 특징으로 하는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브.
According to claim 1,
The diaphragm seat is a diaphragm valve having a separable seat portion, characterized in that the laminated formation in a double structure.
제1항에 있어서,
상기 보넷의 내측면과 밀착하는 상기 스템의 외주면에는 오링이 형성되는 것을 특징으로 하는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브.
According to claim 1,
A diaphragm valve having a separable seat portion, characterized in that an O-ring is formed on an outer peripheral surface of the stem in close contact with the inner surface of the bonnet.
제1항에 있어서,
상기 핸들의 하단에는 가이드홈이 형성되고, 상기 가이드홈에 대응하여 상기 제1노브의 하단 외측면에는 가이드가 형성되어, 상기 핸들이 180° 정역회전하도록 하는 것을 특징으로 하는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브.
According to claim 1,
A guide groove is formed at the lower end of the handle, and a guide is formed on the outer surface of the lower end of the first knob to correspond to the guide groove, so that the handle rotates 180° forward and reverse. diaphragm valve.
제9항에 있어서,
상기 핸들의 외주면에는 그립이 방사형으로 대칭적으로 이격 형성되는 것을 특징으로 하는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브.
10. The method of claim 9,
A diaphragm valve having a separable seat portion, characterized in that grips are radially and symmetrically spaced apart from each other on the outer circumferential surface of the handle.
제1항에 있어서,
상기 마스터키는 손잡이와, 상기 핸들의 키홀 및 상기 제2노브의 키홀에 인입되는 호형상 단면구조의 키로 구성되는 것을 특징으로 하는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브.
According to claim 1,
The master key is a diaphragm valve having a separable seat portion, characterized in that it is composed of a handle, a key hole of the handle and a key of an arc-shaped cross-section that is inserted into the key hole of the second knob.
제1항에 있어서,
상기 마스터키는 손잡이와, 상기 핸들의 키홀 및 상기 제2노브의 키홀에 인입되는 호형상 단면구조의 키로 구성되는 것을 특징으로 하는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브.
According to claim 1,
The master key is a diaphragm valve having a separable seat portion, characterized in that it is composed of a handle, a key hole of the handle and a key of an arc-shaped cross-section that is inserted into the key hole of the second knob.
제1항에 있어서,
상기 다이어프램시트의 중앙영역과 접촉하는 상기 푸시버튼의 전단은 볼록하게 돌출 형성되어 상기 다이어프램시트의 중앙영역을 가압하여 상기 제1연통홀을 폐쇄하도록 하는 것을 특징으로 하는, 분리형 시트부를 구비한 다이어프램 밸브.
According to claim 1,
The front end of the push button in contact with the central region of the diaphragm seat is convexly formed to press the central region of the diaphragm seat to close the first communication hole. .
KR1020200074726A 2020-06-19 2020-06-19 Diaphragm vlave having discrete type seat member KR102369516B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200074726A KR102369516B1 (en) 2020-06-19 2020-06-19 Diaphragm vlave having discrete type seat member

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200074726A KR102369516B1 (en) 2020-06-19 2020-06-19 Diaphragm vlave having discrete type seat member

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210156990A KR20210156990A (en) 2021-12-28
KR102369516B1 true KR102369516B1 (en) 2022-03-03

Family

ID=79178018

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200074726A KR102369516B1 (en) 2020-06-19 2020-06-19 Diaphragm vlave having discrete type seat member

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102369516B1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000088134A (en) * 1998-09-17 2000-03-31 Motoyama Seisakusho:Kk Valve device having safety function
KR100480759B1 (en) * 2001-07-31 2005-04-06 가부시키가이샤 후지킨 Diaphragm valve
KR101708756B1 (en) * 2016-09-21 2017-02-21 태광후지킨 주식회사 lock type diaphragm valve

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101266301B1 (en) 2011-07-01 2013-05-22 주식회사 아스플로 Release preventing apparatus of handle for diaphragm valve
KR101856168B1 (en) 2017-06-22 2018-05-09 쿠팡 주식회사 Method and system for preview package shipping

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000088134A (en) * 1998-09-17 2000-03-31 Motoyama Seisakusho:Kk Valve device having safety function
KR100480759B1 (en) * 2001-07-31 2005-04-06 가부시키가이샤 후지킨 Diaphragm valve
KR101708756B1 (en) * 2016-09-21 2017-02-21 태광후지킨 주식회사 lock type diaphragm valve

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210156990A (en) 2021-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0035056A1 (en) Replaceable cartridge valve assembly and sanitary fitting
JP4491737B2 (en) Vacuum valve
US20070215215A1 (en) Isolation valve with rotatable flange
US8978700B2 (en) Valve cartridge with improved flow rate
JP3861206B2 (en) Fluid controller
KR102312722B1 (en) Diaphragm vlave having key-lock structure
US20060278280A1 (en) Check valve
JP2008138784A (en) Pressure relief valve
US11047490B2 (en) Diaphragm valve and flow rate control device for semiconductor manufacturing apparatus
US5161566A (en) Top-entry check valve with screw-in seat
KR102369516B1 (en) Diaphragm vlave having discrete type seat member
TW202026554A (en) Diaphragm valve
KR101156605B1 (en) A gate valve with an optimized lfit distance of a valve stem
US20080179559A1 (en) Valve cartridge with snap retainer tolerance absorber
US20040226617A1 (en) Isolation valve with rotatable flange
US6533241B1 (en) Retaining piece of a ball valve
JP2010266032A (en) Check valve
US6863085B2 (en) Faucet manifold assembly with in-line integral stops
KR101420711B1 (en) Angle valve
US20050229983A1 (en) Water inlet/outlet structure for ceramic shaft of single-handled faucet
KR101186131B1 (en) A gate valve
KR102613338B1 (en) Manufacturing method of valve device, fluid control device and valve device
KR102347420B1 (en) locking type diaphragm valve
JPH08312804A (en) Double eccentric valve
JP2916732B2 (en) Check valve for liquid

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right